JP2001342553A - Method for forming alloy protection coating - Google Patents
Method for forming alloy protection coatingInfo
- Publication number
- JP2001342553A JP2001342553A JP2000165608A JP2000165608A JP2001342553A JP 2001342553 A JP2001342553 A JP 2001342553A JP 2000165608 A JP2000165608 A JP 2000165608A JP 2000165608 A JP2000165608 A JP 2000165608A JP 2001342553 A JP2001342553 A JP 2001342553A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- eutectic
- layer
- alumina
- forming
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、合金を保護する合
金保護皮膜の形成方法及びこのような方法により得られ
る新規耐熱素材並びにこの素材を使用して製造されるも
のに関し、特に、ガスタービンのタービンブレード及び
タービンベーンのように、高温条件下で使用する耐熱合
金からなる製品を保護する場合に採用することができる
技術に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming an alloy protective film for protecting an alloy, a new heat-resistant material obtained by such a method, and a material manufactured using the material. The present invention relates to a technique that can be employed when protecting a product made of a heat-resistant alloy used under high-temperature conditions, such as a turbine blade and a turbine vane.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、発電用ガスタービンプラントにお
いては発電効率を向上させることを目的として、ガスタ
ービンの温度を高温化する技術が検討されており、これ
に関連して、ガスタービンの構成部品の耐熱性を向上さ
せることが望まれている。例えば、タービン部材として
Ｎｉ、Ｃｏなどの耐熱性合金材料の開発が進められてい
る。しかし、このような耐熱性合金にあっては、９００
℃程度が限界で、これ以上の温度では、酸化や腐食が激
しく長期使用に耐えない。又、耐熱性に優れる共晶型セ
ラミックス材料をタービン部材として用いることも検討
されているが、靱性に乏しいため、構造材料に用いるに
は問題がある。2. Description of the Related Art Conventionally, in a gas turbine plant for power generation, a technique for increasing the temperature of a gas turbine has been studied for the purpose of improving the power generation efficiency. It has been desired to improve the heat resistance of the steel. For example, development of heat-resistant alloy materials such as Ni and Co as turbine members has been advanced. However, in such a heat resistant alloy, 900
The limit is about ° C. At temperatures higher than this, oxidation and corrosion are severe, and it cannot withstand long-term use. Although the use of a eutectic ceramic material having excellent heat resistance as a turbine member has been studied, there is a problem in using it as a structural material due to poor toughness.
【０００３】そこで、このような部材の高温化に対処す
るために、耐熱性合金母材の表面に、熱伝導率が低いセ
ラミックス材料をコーティングして多孔質の保護皮膜を
形成する遮熱方法が提案されている。一般に、耐熱性合
金母材の表面に、このような遮熱コーティング加工を施
すことによって、５０〜１００℃程度、耐熱性が向上す
ると考えられる。[0003] In order to cope with such a high temperature of the member, a heat shielding method of forming a porous protective film by coating the surface of a heat-resistant alloy base material with a ceramic material having a low thermal conductivity has been proposed. Proposed. Generally, it is considered that by performing such a thermal barrier coating process on the surface of the heat-resistant alloy base material, the heat resistance is improved by about 50 to 100 ° C.
【０００４】また、他種のセラミックス材料として、ア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）とイットリア・アルミナ・ガーネ
ット（Ａｌ2 Ｏ3 −Ｙ2 Ｏ3 、以下、「ＹＡＧ」とい
う）とから構成され、一方向凝固法によって形成される
共晶型複合材料（共晶型セラミック）が提案されている
（特開平７−１４９５９７号公報、特開平７−１８７８
９３号公報、特開平８−８１２５７号公報、及び、日本
金属学会誌 第５９巻第１号 ７１〜７８頁（１９９５
年）参照）。この共晶型複合材料は、アルミナとＹＡＧ
の混合溶解液を真空炉の坩堝に仕込み、真空下で、坩堝
を一方向に移動させることによって、前記混合溶解液を
一方向に凝固させるものであって、巨大粒成長が無く、
粒界にボイドがないため、高温条件下において、機械的
強度および耐クリープ性に優れている。Another type of ceramic material is composed of alumina (Al 2 O 3 ) and yttria-alumina-garnet (Al 2 O 3 -Y 2 O 3 , hereinafter referred to as “YAG”). Eutectic composite materials (eutectic ceramics) formed by a solidification method have been proposed (JP-A-7-149597, JP-A-7-1878).
No. 93, JP-A-8-81257, and Journal of the Japan Institute of Metals, Vol. 59, No. 1, pp. 71-78 (1995)
Year)). This eutectic composite material is made of alumina and YAG
The mixed solution is charged in a crucible of a vacuum furnace, and the mixed solution is solidified in one direction by moving the crucible in one direction under vacuum.
Since there are no voids at the grain boundaries, they have excellent mechanical strength and creep resistance under high temperature conditions.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のセラミックス遮熱コーティングによれば、高温
条件における使用に際して、熱膨張差、温度差に起因す
る熱応力によって、セラミックスコーティングが前記合
金母材から剥離する虞れがあった。又、セラミックスコ
ーティングが多孔質であるので、前記セラミックス膜の
間隙を通過して、酸素（Ｏ）、硫黄（Ｓ）、ナトリウム
（Ｎａ）、又は、バナジウム（Ｖ）等の腐食成分が前記
合金母材表面に接触することもあり、これによって、合
金母材の酸化や腐食が起こり、前記セラミックス層が剥
離し易いという問題点があった。また、前記共晶型複合
材料にあっては、その製造にあたって、高温（例えば、
１８００〜２５００℃）に保持可能な真空炉を必要と
し、製造に要する時間が長いことから生産性が低いとい
う問題点があった。更に、前記共晶型複合材料は、前記
真空炉の内部形状と同一形状のバルク試料として得られ
るので、製品形状に加工する必要がある。ところが、前
記共晶型複合素材は、強度・クリープ特性に優れている
がゆえに、切削等の加工を施すことが非常に困難であっ
て、加工性が著しく低いという問題点があった。However, according to the above-mentioned conventional ceramic thermal barrier coating, when used under high-temperature conditions, the ceramic coating is separated from the alloy base material by a thermal expansion difference and a thermal stress caused by the temperature difference. There was a risk of peeling. In addition, since the ceramic coating is porous, a corrosion component such as oxygen (O), sulfur (S), sodium (Na), or vanadium (V) passes through the gap of the ceramic film, and the corrosion of the alloy base is prevented. There is a problem in that the ceramic layer may come into contact with the surface of the material, thereby causing oxidation or corrosion of the alloy base material, and the ceramic layer is easily peeled off. Further, in the eutectic type composite material, at the time of its production, high temperature (for example,
(1800 to 2500 ° C.), which requires a vacuum furnace, and has a problem that productivity is low due to a long time required for production. Further, since the eutectic composite material is obtained as a bulk sample having the same shape as the internal shape of the vacuum furnace, it needs to be processed into a product shape. However, since the eutectic type composite material is excellent in strength and creep characteristics, it is very difficult to perform processing such as cutting, and there is a problem that workability is extremely low.
【０００６】従って、本発明の目的は、上記欠点に鑑
み、加工が容易である上に母材合金から剥離・脱落し難
く、更に、高温での耐酸化性および耐腐食性に優れた保
護皮膜を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a protective film which is easy to work, hardly peels off or falls off from a base metal alloy, and has excellent oxidation resistance and corrosion resistance at high temperatures in view of the above-mentioned disadvantages. Is to provide.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明の合金保護皮膜形成方法の特徴手段は、図面を
参酌して説明すると、請求項１に記載されているよう
に、共晶し得る成分を共晶を生成し得る割合で含む共晶
型セラミックス前駆体３２で、合金母材４表面を被覆し
て、共晶型セラミックス前駆体層３を形成する前駆体層
形成工程と、この共晶型セラミックス前駆体層３の外表
面を、エネルギー照射によって溶融処理し、前記共晶型
セラミックス前駆体層３の少なくとも外表面に、第一結
晶相２１が第二結晶相２２に分散した共晶型セラミック
ス被覆層２を形成する被覆層形成工程とを有する点にあ
る。例えば、前記第一結晶相２１としてはＹＡＧ相があ
げられ、前記第二結晶相２２としてはアルミナ相があげ
られる。又、上記特徴手段において、請求項２に記載さ
れているように、前記共晶型セラミックス前駆体層３が
多孔質であることが好ましく、更に、請求項３に記載さ
れているように、前記共晶型セラミックス前駆体３２が
遮熱性素材であることが好ましく、更に、請求項４に記
載されているように、前記前駆体層形成工程において、
前記合金母材４表面を剥離防止材で被覆した後に、この
剥離防止材被覆面の表面を、前記共晶型セラミックス前
駆体３２で被覆することが好ましい。更に、上記特徴手
段において、請求項５に記載されているように、前記共
晶型セラミックス被覆層２がアルミナとＹＡＧとの共
晶、若しくは、アルミナとジルコニアとの共晶であるこ
とが好ましく、又、請求項６に記載されているように、
請求項１〜５の何れか１項に記載の合金保護皮膜形成方
法によって、合金保護皮膜１を形成すれば良い。更に、
この目的を達成するための本発明の耐熱素材の特徴構成
は、図面を参酌して説明すると、請求項７に記載されて
いるように、第一結晶相２１が第二結晶相２２間に分散
してなる共晶型セラミックス被覆層２を耐熱性合金母材
４表面に備えた点にある。又、請求項８に記載されてい
るように、前記共晶型セラミックス被覆層２がアルミナ
とイットリア・アルミナ・ガーネットとの共晶、若しく
は、アルミナとジルコニアとの共晶であることが好まし
い。又、請求項９に記載されているように、前記共晶型
セラミックス被覆層２と前記合金母材４との間に、セラ
ミックス中間層６からなる遮熱層があることが好まし
い。そして、請求項１０に記載されているように、前記
耐熱素材をタービンブレード及びタービンベーンとして
用いても良い。これらの作用・効果は以下の通りであ
る。The characteristic means of the method for forming an alloy protective film according to the present invention for achieving this object will be described with reference to the drawings. A precursor layer forming step of forming a eutectic ceramic precursor layer 3 by coating the surface of the alloy base material 4 with a eutectic ceramic precursor 32 containing a component capable of forming a eutectic at a ratio capable of forming a eutectic; The outer surface of the eutectic ceramic precursor layer 3 was subjected to a melting treatment by energy irradiation, and at least the outer surface of the eutectic ceramic precursor layer 3 had the first crystal phase 21 dispersed in the second crystal phase 22. And a coating layer forming step of forming the eutectic ceramic coating layer 2. For example, the first crystal phase 21 is a YAG phase, and the second crystal phase 22 is an alumina phase. Further, in the above-mentioned characteristic means, it is preferable that the eutectic ceramic precursor layer 3 is porous, as described in claim 2, and further, as described in claim 3, It is preferable that the eutectic ceramic precursor 32 is a heat shielding material, and further, as described in claim 4, in the precursor layer forming step,
After coating the surface of the alloy base material 4 with the anti-stripping material, it is preferable to coat the surface of the anti-stripping material coated surface with the eutectic ceramic precursor 32. Furthermore, in the above-mentioned characteristic means, as described in claim 5, the eutectic ceramic coating layer 2 is preferably a eutectic of alumina and YAG, or a eutectic of alumina and zirconia, Also, as described in claim 6,
The alloy protective film 1 may be formed by the alloy protective film forming method according to any one of claims 1 to 5. Furthermore,
The characteristic configuration of the heat-resistant material of the present invention for achieving this object will be described with reference to the drawings. As described in claim 7, the first crystal phase 21 is dispersed between the second crystal phases 22. The eutectic ceramic coating layer 2 is provided on the surface of the heat-resistant alloy base material 4. Further, as described in claim 8, the eutectic ceramic coating layer 2 is preferably a eutectic of alumina and yttria / alumina / garnet, or a eutectic of alumina and zirconia. Further, as described in claim 9, it is preferable that there is a heat shield layer composed of a ceramic intermediate layer 6 between the eutectic ceramic coating layer 2 and the alloy base material 4. The heat-resistant material may be used as a turbine blade and a turbine vane. These actions and effects are as follows.
【０００８】即ち、上記特徴手段によれば、前駆体層形
成工程において、保護すべき合金母材４の表面を、共晶
し得る成分を共晶し得る割合で含む共晶型セラミックス
前駆体３２で被覆して、共晶型セラミックス前駆体層３
を形成し、更に、被覆層形成工程において、前記共晶型
セラミックス前駆体層３の外表面を、電子ビーム照射等
のエネルギー照射によって溶融すると、前記共晶型セラ
ミックス前駆体３２を構成する夫々のセラミック材料が
混合した液状混合物が得られる。例えば、図２に示すよ
うに、前記共晶型セラミックス前駆体３２がアルミナと
イットリア（Ｙ 2 Ｏ3 ）の混合物であって、Ａの組成比
で前記アルミナとイットリアが存在するとき、この混合
物を充分に溶融して（矢印）、徐冷すると（矢印
）、前記共晶型セラミックス前駆体層３の外表面に、
先ず、アルミナ結晶を主材とする第二結晶相２２（海構
造）が形成される（矢印）。その後に、共晶点Ｅまで
冷却されると、イットリア・アルミナ・ガーネットから
なる第一結晶相２１が前記第二結晶相２２の海構造に島
の様に分散する海島構造を有する共晶型セラミックス被
覆層２が形成される。このように、海島構造を有する共
晶型セラミックス被覆層２は、従来の一方向凝固のセラ
ミックス複合材料と同様に、機械強度とクリープ特性に
優れ、従って、耐衝撃性にも優れている。前記共晶型セ
ラミックス被覆層２は、前記共晶型セラミックス前駆体
層３を溶解して再結晶化したものであるから、図３に示
すように、この共晶型セラミックス被覆層２とそれより
下側の層は連続した構造を持ち、２層間での剥離が極め
て生じ難い。又、この共晶型セラミックス被覆層２は、
図４又は３に示すように、結晶が密に詰まったものであ
るためボイドが生じ難く、前記合金母材４が外気と接触
し難い。従って、前記合金母材４が前記腐食成分に接触
するのを防ぐことができるため、耐酸化性、耐腐食性が
向上する。更に、本願の合金保護皮膜１は、前記合金母
材４の表面に被覆加工して形成するものであるため、前
記合金母材４の形状に合わせて形成可能である。従っ
て、本発明に係る合金保護皮膜１は、加工が容易である
だけでなく、所望の形状を得ることが容易であり、この
ような点で、従来の共晶型複合材料と比して優れている
といえる。That is, according to the above characteristic means, the precursor layer type
In the forming step, the surface of the alloy base material 4 to be protected is eutectic.
-Type eutectic ceramics containing susceptible components in eutectic proportion
Eutectic ceramic precursor layer 3 covered with precursor 32
And further, in the coating layer forming step, the eutectic type
The outer surface of the ceramic precursor layer 3 is irradiated with an electron beam or the like.
Eutectic ceramic when melted by energy irradiation
Each ceramic material constituting the mix precursor 32 is
A mixed liquid mixture is obtained. For example, as shown in FIG.
Thus, the eutectic ceramic precursor 32 is
Yttria (Y TwoOThree), Wherein the composition ratio of A
When the alumina and yttria are present in
The material is sufficiently melted (arrow) and slowly cooled (arrow)
), On the outer surface of the eutectic ceramic precursor layer 3,
First, the second crystal phase 22 mainly composed of alumina crystal (sea structure)
Is formed (arrow). Then, to eutectic point E
When cooled, the yttria alumina garnet
The first crystalline phase 21 is an island in the sea structure of the second crystalline phase 22
Eutectic ceramics with sea-island structure dispersed like
The cover layer 2 is formed. In this way, a shared island-sea structure
The crystalline ceramic coating layer 2 is made of a conventional unidirectionally solidified ceramic.
As with mixed composites, mechanical strength and creep properties
Excellent, and therefore also excellent in impact resistance. The eutectic type
The Lamix coating layer 2 is made of the eutectic ceramic precursor
Since layer 3 was dissolved and recrystallized, it is shown in FIG.
As shown in FIG.
The lower layer has a continuous structure and the separation between the two layers is extremely high
Hardly occur. This eutectic ceramic coating layer 2
As shown in FIG. 4 or 3, the crystals are densely packed.
Therefore, voids hardly occur, and the alloy base material 4 comes into contact with the outside air.
Difficult to do. Therefore, the alloy base material 4 comes into contact with the corrosion component.
Oxidation and corrosion resistance.
improves. Further, the alloy protective film 1 of the present application is formed by
Because it is formed by coating the surface of the material 4,
It can be formed according to the shape of the alloy base material 4. Follow
Therefore, the alloy protective film 1 according to the present invention is easy to process.
Not only is it easy to get the desired shape
In this respect, it is superior to conventional eutectic composite materials
It can be said that.
【０００９】又、請求項２に記載されているように、前
記合金母材４と前記共晶型セラミックス被覆層２の間に
介在する共晶型セラミックス前駆体層３（中間層６）が
多孔質であると、共晶型セラミックス前駆体３２（以
下、前記合金保護皮膜形成後に残存するものは、「共晶
型セラミックス前駆体６２」と記す）の粒子間にすべり
が生じるため、前記合金母材４と共晶型セラミックス材
料との熱膨張の差を緩和する緩衝作用を発揮する。従っ
て、このように構成することによって、前記共晶型セラ
ミックス被覆層２が、前記合金母材４から剥離し難くな
って、前記合金保護皮膜１の耐久性が向上する。In addition, as described in claim 2, the eutectic ceramic precursor layer 3 (intermediate layer 6) interposed between the alloy base material 4 and the eutectic ceramic coating layer 2 is porous. In the case of the alloy, a slip occurs between particles of the eutectic ceramic precursor 32 (hereinafter, what remains after the formation of the alloy protective film is referred to as “eutectic ceramic precursor 62”). It exerts a buffering action to reduce the difference in thermal expansion between the material 4 and the eutectic ceramic material. Therefore, with such a configuration, the eutectic ceramic coating layer 2 is less likely to be separated from the alloy base material 4, and the durability of the alloy protective film 1 is improved.
【００１０】更に、請求項３に記載してあるように、前
記共晶型セラミックス前駆体３２が、安定化ジルコニア
のように熱伝導率が低い遮熱性素材を含むものである
と、合金母材４への温度負荷が低減されるので、ガスタ
ービンの構成部品の様に、高温条件下での使用が想定さ
れている部品にも適用可能となって、好ましい。Further, when the eutectic ceramic precursor 32 contains a heat-shielding material having a low thermal conductivity, such as stabilized zirconia, as described in claim 3, the alloy base material 4 Since the temperature load is reduced, the present invention can be applied to parts that are expected to be used under high-temperature conditions, such as components of a gas turbine, which is preferable.
【００１１】尚、前記前駆体層形成工程において、請求
項４に記載してあるように、前記合金母材４の表面を、
例えば、いわゆるＭＣｒＡｌＹ（Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆ
ｅ、又はこれらの複合体等）のような剥離防止材で被覆
しておいて、この剥離防止材被覆面の表面に、前記共晶
型セラミックス前駆体３２を重ねて被覆すると、前記共
晶型セラミックス前駆体６２が、前記合金母材４から剥
がれ難くなるので、更に、前記合金保護皮膜１の耐久性
が向上し、これによって、前記合金保護皮膜１による前
記合金母材４の保護効果が向上する。[0011] In the precursor layer forming step, the surface of the alloy base material 4 is
For example, so-called MCrAlY (M is Ni, Co, F
e, or a composite thereof), and the eutectic ceramic precursor 32 is coated on the surface of the surface of the anti-stripping material, whereby the eutectic type is obtained. Since the ceramic precursor 62 is less likely to be peeled from the alloy base material 4, the durability of the alloy protective film 1 is further improved, thereby improving the protection effect of the alloy protective film 1 on the alloy base material 4. I do.
【００１２】上記構成において、具体的には、請求項５
に記載されているように、前記共晶型セラミックス被覆
層２がアルミナとイットリア・アルミナ・ガーネットの
共晶からなるものであると、機械強度とクリープ特性に
優れた合金保護皮膜１を得ることができる。尚、前記共
晶型セラミックス被覆層２がアルミナとジルコニアの共
晶からなる場合にも、同様に、機械強度とクリープ特性
に優れた合金保護皮膜１を形成することができるので好
ましい。In the above configuration, specifically, claim 5
When the eutectic ceramic coating layer 2 is made of eutectic of alumina and yttria-alumina-garnet as described in the above, it is possible to obtain the alloy protective film 1 having excellent mechanical strength and creep characteristics. it can. It is preferable that the eutectic ceramic coating layer 2 is made of an eutectic of alumina and zirconia because the alloy protective film 1 having excellent mechanical strength and creep characteristics can be formed.
【００１３】このようにして、請求項６に記載されてい
るように、合金保護皮膜１を形成することができる。Thus, the alloy protective film 1 can be formed as described in claim 6.
【００１４】又、請求項７に記載されているように、第
一結晶相２１が第二結晶相２２間に分散してなる共晶型
セラミックス被覆層２を耐熱性合金母材４表面に備えて
いることによって、上述の如く、耐食性及び高温条件下
におけるクリープ特性に優れた耐熱素材を得ることがで
きる。As described in claim 7, the eutectic ceramic coating layer 2 in which the first crystal phase 21 is dispersed between the second crystal phases 22 is provided on the surface of the heat-resistant alloy base material 4. Accordingly, as described above, a heat-resistant material having excellent corrosion resistance and creep characteristics under high-temperature conditions can be obtained.
【００１５】又、請求項８に記載されているように、前
記共晶型セラミックス被覆層２がアルミナとイットリア
・アルミナ・ガーネットとの共晶であると、高温条件下
において塑形変形し難いガーネット構造を有するイット
リア・アルミナ・ガーネットが分散しているために、特
に、高温条件下において耐食性、クリープ特性に優れた
耐熱素材が得られる。この効果は、アルミナとイットリ
ア・アルミナ・ガーネットとの共晶に代えて、前記アル
ミナとジルコニアとの共晶の場合にも得られる。Further, when the eutectic ceramic coating layer 2 is a eutectic of alumina and yttria-alumina-garnet, it is difficult for the eutectic ceramic coating layer 2 to undergo plastic deformation under high-temperature conditions. Since the yttria-alumina-garnet having the structure is dispersed, a heat-resistant material having excellent corrosion resistance and creep characteristics can be obtained, especially under high temperature conditions. This effect can also be obtained in the case of the eutectic of alumina and zirconia instead of the eutectic of alumina and yttria-alumina-garnet.
【００１６】又、請求項９に記載されているように、前
記共晶型セラミックス被覆層２と前記合金母材４との間
に、セラミックス中間層６からなる遮熱層があると、前
記合金母材４が曝される温度を低下させることができる
ので好ましい。Further, as described in claim 9, when there is a heat shielding layer composed of a ceramic intermediate layer 6 between the eutectic ceramic coating layer 2 and the alloy base material 4, the alloy is This is preferable because the temperature to which the base material 4 is exposed can be reduced.
【００１７】又、請求項１０に記載されているように、
上述の耐熱素材は耐食性及びクリープ特性に優れ、且
つ、複雑な形状にも容易に加工することができるため、
高温条件下で、前記腐食成分に曝されながら使用するタ
ービンブレード及びタービンベーンを構成するのに適し
ている。Further, as described in claim 10,
Since the above-mentioned heat-resistant material is excellent in corrosion resistance and creep characteristics, and can be easily processed into a complicated shape,
It is suitable for constructing turbine blades and turbine vanes to be used while exposed to the corrosive components under high temperature conditions.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、耐
熱合金からなるタービンブレード母材に、耐熱性保護皮
膜を形成する場合を例に、図面に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, taking as an example a case where a heat-resistant protective film is formed on a turbine blade base material made of a heat-resistant alloy.
【００１９】先ず、本願方法によって耐熱合金母材４表
面に製造される耐熱性合金保護皮膜１の構造について説
明すると、本発明に係る合金保護皮膜１は、図１に示す
ように、耐熱性合金母材４の表面に、耐熱性を有する多
孔質の中間層６と、第一結晶相２１が第二結晶相２２に
分散した海島構造を有する共晶型セラミックス被覆層２
（外層）とを積層してなるものである。前記共晶型セラ
ミックス被覆層２と前記中間層６は連続して形成されて
いるので、この両者間での剥離は起こり難い。前記共晶
型セラミックス被覆層２は、第一結晶相２１（島構造）
が第二結晶相２２（海構造）に分散した、ほとんどボイ
ドを有しない緻密な構造であるため、腐食性成分が前記
合金母材４に触れ難く、前記合金母材４の腐食を防ぐこ
とができる。又、前記共晶型セラミックス被覆層２と前
記合金母材４との間に介在する中間層６は、伝熱性の低
い遮熱性素材（共晶型セラミックス前駆体６２）で構成
されるものであって、それ自身も前記合金母材４の耐熱
性に貢献するものである。更に、この中間層６は、共晶
型セラミックス前駆体６２の粒子間にボイド６１が存在
する多孔質構造をとるので、前記共晶型セラミックス被
覆層２と前記合金母材４の熱膨張の差を、前記共晶型セ
ラミックス前駆体６２粒子の滑りによって緩和して、前
記共晶型セラミックス被覆層２の剥離を防止する。First, the structure of the heat-resistant alloy protective film 1 produced on the surface of the heat-resistant alloy base material 4 according to the method of the present invention will be described. As shown in FIG. A heat-resistant porous intermediate layer 6 and a eutectic ceramic coating layer 2 having a sea-island structure in which a first crystal phase 21 is dispersed in a second crystal phase 22 are provided on the surface of the base material 4.
(Outer layer). Since the eutectic ceramic coating layer 2 and the intermediate layer 6 are formed continuously, peeling between the two hardly occurs. The eutectic ceramic coating layer 2 has a first crystal phase 21 (island structure).
Is dispersed in the second crystal phase 22 (sea structure) and has a dense structure with almost no voids, so that the corrosive component is less likely to touch the alloy base material 4 and the corrosion of the alloy base material 4 can be prevented. it can. The intermediate layer 6 interposed between the eutectic ceramic coating layer 2 and the alloy base material 4 is made of a heat-shielding material (eutectic ceramic precursor 62) having low heat conductivity. Thus, the alloy itself contributes to the heat resistance of the alloy base material 4. Further, since the intermediate layer 6 has a porous structure in which voids 61 exist between particles of the eutectic ceramic precursor 62, the difference in thermal expansion between the eutectic ceramic coating layer 2 and the alloy base material 4 is obtained. Is mitigated by the sliding of the eutectic ceramic precursor 62 particles to prevent the eutectic ceramic coating layer 2 from peeling off.
【００２０】このような合金保護皮膜１を備えたタービ
ンブレードは、以下のようにして形成することができ
る。先ず、図５（ａ）にあるように、前記合金母材４の
表面に、共晶し得る成分を共晶し得る割合で含む共晶型
セラミックス前駆体３２を塗布して、厚さ１０〜３００
０μｍ、好ましくは１００〜１０００μｍの共晶型セラ
ミックス前駆体層３を形成する。尚、前記共晶型セラミ
ックス前駆体層３を前記合金母材４表面に形成する方法
としては、前記共晶型セラミックス前駆体３２を含むス
ラリーを前記合金母材４にスプレーして焼成する方法、
プラズマ溶射、化学蒸着法（ＣＶＤ）、物理蒸着法（Ｐ
ＶＤ）などいずれの方法を採用してもよい。この中で
も、プラズマ溶射は、密着性や成膜速度などに優れてい
るため好ましい。ここで、前記合金母材４と、前記共晶
型セラミックス前駆体層３との間の剥離を防止するため
に、ＭＣｒＡｌＹ（Ｍは、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、又はこれ
らの複合体等）のような剥離防止材で、前記合金母材４
の表面を被覆した後に、前記共晶型セラミックス前駆体
層３を設けても良い。この剥離防止材の層の厚みは材質
によって異なるが、前記ＭＣｒＡｌＹであれば、１０〜
２００μｍ程度とすることが好ましい。A turbine blade provided with such an alloy protective film 1 can be formed as follows. First, as shown in FIG. 5A, a eutectic ceramic precursor 32 containing a eutectic component in a eutectic ratio in a eutectic ratio is applied to the surface of the alloy base material 4 to have a thickness of 10 to 10 mm. 300
The eutectic ceramic precursor layer 3 having a thickness of 0 μm, preferably 100 to 1000 μm is formed. The eutectic ceramic precursor layer 3 may be formed on the surface of the alloy base material 4 by spraying a slurry containing the eutectic ceramic precursor 32 onto the alloy base material 4 and firing the slurry.
Plasma spraying, chemical vapor deposition (CVD), physical vapor deposition (P
Any method such as VD) may be employed. Among them, plasma spraying is preferable because of its excellent adhesion and film formation rate. Here, in order to prevent exfoliation between the alloy base material 4 and the eutectic ceramic precursor layer 3, a material such as MCrAlY (M is Ni, Co, Fe, or a composite thereof) is used. The anti-peeling material, the alloy base material 4
After coating the surface of the above, the eutectic ceramic precursor layer 3 may be provided. The thickness of the layer of the separation preventing material varies depending on the material.
Preferably, the thickness is about 200 μm.
【００２１】次いで、前記共晶型セラミックス前駆体層
３の外表面に対して、エネルギー照射して（ここでは、
電子ビーム照射装置５を用いるが、レーザであっても良
い）、前記共晶型セラミックス前駆体層３を溶融する
（図５（ｂ）参照）。そして、溶融した共晶型セラミッ
クス前駆体３２が、冷えて固化すると、前記中間層６の
外側に、第二結晶相２２に第一結晶相２１が分散した、
厚さ１０〜２００μｍの海島構造の共晶型セラミックス
被覆層２が形成される（図５（ｃ）参照）。前記電子ビ
ームの照射装置は、それ自身が移動可能であって、前記
前駆体表面を走査するものであっても良く、又、前記電
子ビームの照射装置を固定して、前記電子ビームの照射
面に対して、合金母材４を移動させるものであっても良
い。尚、前記エネルギー照射の強度は、前記共晶型セラ
ミックス前駆体３２の融点、熱伝導率、共晶型セラミッ
クス前駆体層３の厚さ等によって適宜調整する必要があ
る。更に詳しくは、前記共晶型セラミックス被覆層２の
厚み、及び、これを構成する第一結晶相２１及び第二結
晶相２２の単結晶のサイズも、前記エネルギー照射（電
子ビームの強度、電流密度、走査速度等）を調整するこ
とによって調整可能である。Next, the outer surface of the eutectic type ceramic precursor layer 3 is irradiated with energy (here,
The electron beam irradiation device 5 is used, but a laser may be used.) The eutectic ceramic precursor layer 3 is melted (see FIG. 5B). When the molten eutectic ceramic precursor 32 cooled and solidified, the first crystal phase 21 was dispersed in the second crystal phase 22 outside the intermediate layer 6.
The eutectic ceramic coating layer 2 having a sea-island structure with a thickness of 10 to 200 μm is formed (see FIG. 5C). The electron beam irradiating device may itself be movable, and may scan the precursor surface, or may fix the electron beam irradiating device and irradiate the electron beam irradiating surface. On the other hand, the alloy base material 4 may be moved. Note that the intensity of the energy irradiation needs to be appropriately adjusted depending on the melting point and thermal conductivity of the eutectic ceramic precursor 32, the thickness of the eutectic ceramic precursor layer 3, and the like. More specifically, the thickness of the eutectic ceramic coating layer 2 and the size of the single crystal of the first crystal phase 21 and the second crystal phase 22 constituting the same are also determined by the energy irradiation (electron beam intensity, current density). , Scanning speed, etc.).
【００２２】ここで、例えば、アルミナ・ＹＡＧを含む
共晶型セラミックス被覆層２の形成する場合、図２に示
すように、前記アルミナとＹＡＧ（又はイットリア）が
充分に溶融するような走査速度・温度条件となるように
前記電子ビームを照射し（矢印）、徐冷すると（矢印
）、先ず、アルミナを主材とする第二結晶相２２（海
構造）が成長し（矢印）、その後に、温度が共晶点Ｅ
まで低下するとＹＡＧの第一結晶相２１が形成され、前
記第二結晶相２２の海構造に、前記ＹＡＧの第一結晶相
２１が島の様に分散する海島構造が形成される。Here, for example, when the eutectic ceramic coating layer 2 containing alumina / YAG is formed, as shown in FIG. 2, the scanning speed and the speed at which the alumina and YAG (or yttria) sufficiently melt. The electron beam is irradiated (arrow) so as to satisfy the temperature condition, and is gradually cooled (arrow). First, a second crystal phase 22 (sea structure) mainly composed of alumina grows (arrow), and thereafter, Temperature is eutectic point E
When the temperature decreases to a lower level, a first crystal phase 21 of YAG is formed, and a sea-island structure in which the first crystal phase 21 of YAG is dispersed like an island is formed in the sea structure of the second crystal phase 22.
【００２３】このように、本発明に係る合金保護皮膜１
は、母材合金から剥離・脱落し難く、高温での耐酸化性
および耐腐食性に優れている上に、更に、合金母材４の
形状に合わせて容易に形成することができるため、容易
且つ簡便に、所望の形状に加工することができる。As described above, the alloy protective film 1 according to the present invention
Is not easily peeled or dropped off from the base metal alloy, has excellent oxidation resistance and corrosion resistance at high temperatures, and can be easily formed in accordance with the shape of the alloy base material 4. And it can be easily processed into a desired shape.
【００２４】共晶型セラミックス前駆体３２は、例え
ば、アルミナとＹＡＧの共晶型セラミックスでは、最終
的にアルミナに対してＹＡＧが２０〜８０容積％となる
ような、アルミナとＹＡＧの混合物、あるいはアルミナ
とイットリアの混合物とする。例えば、アルミナに対し
てＹＡＧを２０〜８０容積％含む共晶型セラミックス前
駆体３２、アルミナに対してイットリアを５〜３７モル
％含む共晶型セラミックス前駆体３２が好ましく、特
に、アルミナ８２モル％、イットリア１８モル％で混合
焼成し、プラズマ溶射したものが好ましい。このような
割合が、本願にいう共晶を生成し得る割合であり、本来
の共晶割合に対して、広い許容範囲を有する。同様に、
アルミナの第二結晶相２２にジルコニアの第一結晶相２
１が分散した前記共晶型セラミックス被覆層２も遮熱
性、耐食性、高温におけるクリープ特性に優れていて、
このような共晶型セラミックス被覆層２を形成する場
合、アルミナに対してジルコニアが２０〜８０容積％と
なるような、アルミナとジルコニアの混合物を共晶型セ
ラミックス前駆体３２として用いることが好ましい。The eutectic ceramic precursor 32 is, for example, a eutectic ceramic of alumina and YAG, a mixture of alumina and YAG such that the final amount of YAG is 20 to 80% by volume with respect to alumina, or It is a mixture of alumina and yttria. For example, a eutectic ceramic precursor 32 containing 20 to 80% by volume of YAG with respect to alumina, and a eutectic ceramic precursor 32 containing 5 to 37 mol% of yttria with respect to alumina, particularly 82 mol% of alumina Preferably, the mixture is fired by mixing and firing at 18 mol% of yttria and plasma sprayed. Such a ratio is a ratio capable of forming the eutectic referred to in the present application, and has a wide allowable range with respect to the original eutectic ratio. Similarly,
The first crystal phase 2 of zirconia is replaced with the second crystal phase 22 of alumina.
The eutectic ceramic coating layer 2 in which 1 is dispersed also has excellent heat shielding properties, corrosion resistance, and creep characteristics at high temperatures,
When such a eutectic ceramic coating layer 2 is formed, it is preferable to use a mixture of alumina and zirconia as the eutectic ceramic precursor 32 such that zirconia accounts for 20 to 80% by volume of alumina.
【００２５】[0025]
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。アルミナを８２モル％、イットリアを１８モル％
の比で混合した後に、溶融粉砕して得た粒子を、プラズ
マ溶射（原料供給ガスとしてＡｒ、プラズマガスとして
Ａｒ及びＨ2 を用いて、５００Ａ、６５Ｖの電離条件で
照射する）によって、ＳＵＳ３１６鋼製の基板上に塗布
し、厚さ５００μｍのＡｌ2 Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 多孔膜（共
晶型セラミックス前駆体層３）を形成した。このアルミ
ナ−イットリア多孔膜表面に、出力が８ｋｅＶ、電流密
度が試料表面で約５００ｍＡ／ｃｍ2 の電子ビームを、
０．０６ｃｍ2 に、１分程度照射して試料を得た。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 82 mol% alumina, 18 mol% yttria
SUS 316 steel particles were obtained by mixing at a ratio of 0.1 g / g and then subjecting the particles obtained by melt-pulverization to plasma spraying (irradiation under Ar ion as the raw material supply gas, Ar and H 2 as the plasma gas under ionization conditions of 500 A and 65 V). To form a porous Al 2 O 3 .Y 2 O 3 film (eutectic ceramic precursor layer 3) having a thickness of 500 μm. An electron beam having an output of 8 keV and a current density of about 500 mA / cm 2 on the surface of the sample is applied to the surface of the alumina-yttria porous film.
The sample was irradiated to 0.06 cm 2 for about 1 minute to obtain a sample.
【００２６】図３に、前記試料縦断面の走査型電子顕微
鏡（ＳＥＭ）写真を、図４に、前記試料の共晶型セラミ
ックス被覆層２横断面の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）写
真を示す。図３のＳＥＭ写真から、本発明の方法によっ
て、金属基板上に多孔性共晶型セラミックス層６と緻密
な共晶型セラミックス層２が形成されていることがわか
る。２つのセラミックス層２、６は、その界面で融合し
連続した構造をし、クラックなどは認められない。従っ
て、両者は、剥離し難い構造となっている。FIG. 3 shows a scanning electron microscope (SEM) photograph of a longitudinal section of the sample, and FIG. 4 shows a transmission electron microscope (TEM) photograph of a transverse section of the eutectic ceramic coating layer 2 of the sample. From the SEM photograph of FIG. 3, it can be seen that the porous eutectic ceramic layer 6 and the dense eutectic ceramic layer 2 are formed on the metal substrate by the method of the present invention. The two ceramic layers 2 and 6 fuse at the interface and have a continuous structure, and no cracks or the like are observed. Therefore, both have a structure that is difficult to peel off.
【００２７】図４のＴＥＭ写真は、表面側の緻密な共晶
型セラミックス被覆層２を撮影したものであって、この
層２が、アルミナの第二結晶相２２にＹＡＧからなる第
一結晶相２１が分散した海島構造を形成していることを
示している。尚、アルミナとＹＡＧ単結晶間の粒界は１
ｎｍ以下で、ボイドはまったく観察されない。このよう
な緻密な共晶型セラミックス被覆層２が、前記合金保護
皮膜１表面を被覆しているため、合金母材４は酸素、腐
食成分にさらされることが無く、高温で良好な耐酸化
性、耐食性が得られる。又、この共晶型セラミックス被
覆層２は、アルミナを主材とする第二結晶相２２と、高
温で塑形変形し難いＹＡＧの第一結晶相２１が複雑に絡
み合った海島構造を有していることから、高温条件にお
いてクリープ特性に優れている。The TEM photograph of FIG. 4 is a photograph of the dense eutectic ceramic coating layer 2 on the surface side, and this layer 2 is composed of a second crystal phase 22 of alumina and a first crystal phase of YAG. 21 indicates that the dispersed sea-island structure is formed. The grain boundary between the alumina and the YAG single crystal is 1
Below nm, no voids are observed. Since such a dense eutectic ceramic coating layer 2 covers the surface of the alloy protective film 1, the alloy base material 4 is not exposed to oxygen and corrosive components, and has good oxidation resistance at high temperatures. And corrosion resistance. The eutectic ceramic coating layer 2 has a sea-island structure in which a second crystal phase 22 mainly composed of alumina and a first crystal phase 21 of YAG, which is hardly plastically deformed at high temperatures, are intricately entangled. Therefore, it has excellent creep characteristics under high temperature conditions.
【００２８】〔別実施形態〕以下に別実施形態を説明す
る。前記第一結晶相としてＹＡＧ相を、前記第二結晶相
としてアルミナ相を例示したが、前記第一結晶相がジル
コニア相であって、又、前記第二結晶相がアルミナ相で
ある合金保護皮膜も、同様にして、形成することができ
る。又、同様にして、本発明に係る耐熱素材からなるタ
ービンベーンを得ることもできる。[Another Embodiment] Another embodiment will be described below. Although the YAG phase is exemplified as the first crystal phase and the alumina phase is exemplified as the second crystal phase, an alloy protective film in which the first crystal phase is a zirconia phase and the second crystal phase is an alumina phase Can be formed in a similar manner. Similarly, a turbine vane made of the heat-resistant material according to the present invention can be obtained.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明に係る合金保護皮膜の模式図FIG. 1 is a schematic view of an alloy protective film according to the present invention.
【図２】アルミナ−イットリア系の相図FIG. 2 is a phase diagram of an alumina-yttria system.
【図３】本発明に係る合金保護皮膜の縦断面の走査型電
子顕微鏡写真FIG. 3 is a scanning electron micrograph of a longitudinal section of the protective alloy film according to the present invention.
【図４】本発明に係る合金保護皮膜の横断面の透過型電
子顕微鏡写真FIG. 4 is a transmission electron micrograph of a cross section of the protective alloy film according to the present invention.
【図５】本発明に係る合金保護皮膜の形成工程を示す模
式図FIG. 5 is a schematic view showing a step of forming an alloy protective film according to the present invention.
１ 合金保護皮膜 ２ 共晶型セラミックス被覆層 ３ 共晶型セラミックス前駆体層 ４ 合金母材 ２１ 共晶相 ２２ 固溶体相 ３２ 共晶型セラミックス前駆体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Alloy protective film 2 Eutectic ceramic coating layer 3 Eutectic ceramic precursor layer 4 Alloy base material 21 Eutectic phase 22 Solid solution phase 32 Eutectic ceramic precursor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 齋藤 禎 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 松尾 博 京都府京都市下京区中堂寺南町17 株式会 社関西新技術研究所内 (72)発明者 梶村 敦子 京都府京都市下京区中堂寺南町17 株式会 社関西新技術研究所内 Ｆターム(参考） 3G002 EA05 EA06 EA08 4K031 AA02 AB03 AB08 AB09 CB14 CB42 DA04 FA02 4K044 AA06 AB10 BA12 BB03 BC02 BC11 CA11 CA41 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Tadashi Saito 4-1-2, Hirano-cho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Osaka Gas Co., Ltd. Inside the Kansai New Technology Research Institute (72) Atsuko Kajimura Inventor 17 Nakadoji Minamimachi, Shimogyo-ku, Kyoto, Kyoto Prefecture F-term (reference) 3G002 EA05 EA06 EA08 4K031 AA02 AB03 AB08 AB09 CB14 CB42 DA04 FA02 4K044 AA06 AB10 BA12 BB03 BC02 BC11 CA11 CA41
Claims (10)
で含む共晶型セラミックス前駆体で、合金母材表面を被
覆して、共晶型セラミックス前駆体層を形成する前駆体
層形成工程と、 前記共晶型セラミックス前駆体層の外表面を、エネルギ
ー照射によって溶融処理し、前記共晶型セラミックス前
駆体層の少なくとも外表面に、第一結晶相が第二結晶相
に分散した共晶型セラミックス被覆層を形成する被覆層
形成工程とを有する合金保護皮膜形成方法。1. A precursor layer for forming a eutectic ceramic precursor layer by coating a surface of an alloy base material with a eutectic ceramic precursor containing a eutectic component in a proportion capable of forming a eutectic. Forming step, the outer surface of the eutectic ceramic precursor layer was subjected to a melting treatment by energy irradiation, and at least the outer surface of the eutectic ceramic precursor layer, the first crystal phase was dispersed in the second crystal phase. A coating layer forming step of forming a eutectic ceramic coating layer.
質である請求項１記載の合金保護皮膜形成方法。2. The method according to claim 1, wherein the eutectic ceramic precursor layer is porous.
素材である請求項１又は２に記載の合金保護皮膜形成方
法。3. The method for forming an alloy protective film according to claim 1, wherein the eutectic ceramic precursor is a heat-shielding material.
金母材表面を剥離防止材で被覆した後に、この剥離防止
材被覆面の表面を、前記共晶型セラミックス前駆体で被
覆する請求項１〜３の何れか一項に記載の合金保護皮膜
形成方法。4. In the precursor layer forming step, after coating the surface of the alloy base material with an anti-stripping material, the surface of the surface of the anti-stripping material is coated with the eutectic ceramic precursor. The method for forming an alloy protective film according to any one of claims 1 to 3.
ナとイットリア・アルミナ・ガーネットとの共晶、若し
くは、アルミナとジルコニアとの共晶である請求項１〜
４の何れか一項に記載の合金保護皮膜形成方法。5. The eutectic ceramic coating layer is a eutectic of alumina and yttria / alumina / garnet or a eutectic of alumina and zirconia.
5. The method for forming an alloy protective film according to any one of 4.
保護皮膜形成方法により形成される合金保護皮膜。6. An alloy protective film formed by the method for forming an alloy protective film according to claim 1.
る共晶型セラミックス被覆層を耐熱性合金母材表面に備
えた耐熱素材。7. A heat-resistant material having a eutectic ceramic coating layer in which a first crystal phase is dispersed between second crystal phases on the surface of a heat-resistant alloy base material.
ナとイットリア・アルミナ・ガーネットとの共晶、若し
くは、アルミナとジルコニアとの共晶である請求項７記
載の耐熱素材。8. The heat-resistant material according to claim 7, wherein the eutectic ceramic coating layer is a eutectic of alumina and yttria-alumina-garnet or a eutectic of alumina and zirconia.
金母材との間に、セラミックス中間層からなる遮熱層が
ある請求項７又は８に記載の耐熱素材。9. The heat-resistant material according to claim 7, wherein a heat-shielding layer comprising a ceramic intermediate layer is provided between the eutectic ceramic coating layer and the alloy base material.
熱素材からなるタービンブレード、及びタービンベー
ン。10. A turbine blade and a turbine vane made of the heat-resistant material according to claim 7.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165608A JP2001342553A (en) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | Method for forming alloy protection coating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165608A JP2001342553A (en) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | Method for forming alloy protection coating |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001342553A true JP2001342553A (en) | 2001-12-14 |
Family
ID=18669057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000165608A Pending JP2001342553A (en) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | Method for forming alloy protection coating |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001342553A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006501363A (en) * | 2002-09-25 | 2006-01-12 | ボルボ エアロ コーポレイション | Thermal barrier coating and method of applying such a coating |
| WO2007023971A1 (en) * | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Tocalo Co., Ltd. | Structural member coated with spray coating film excellent in thermal emission properties and the like, and method for production thereof |
| US7648782B2 (en) | 2006-03-20 | 2010-01-19 | Tokyo Electron Limited | Ceramic coating member for semiconductor processing apparatus |
| JP2010153339A (en) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Iwasaki Electric Co Ltd | High-pressure discharge lamp |
| US7767268B2 (en) | 2005-09-08 | 2010-08-03 | Tocalo Co., Ltd. | Spray-coated member having an excellent resistance to plasma erosion and method of producing the same |
| US8231986B2 (en) | 2005-08-22 | 2012-07-31 | Tocalo Co., Ltd. | Spray coating member having excellent injury resistance and so on and method for producing the same |
| JP2019026862A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-21 | 学校法人日本大学 | Heat-resistant corrosion-resistant film, heat-resistant corrosion-resistant component, and production method of heat-resistant corrosion-resistant film |
-
2000
- 2000-06-02 JP JP2000165608A patent/JP2001342553A/en active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006501363A (en) * | 2002-09-25 | 2006-01-12 | ボルボ エアロ コーポレイション | Thermal barrier coating and method of applying such a coating |
| WO2007023971A1 (en) * | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Tocalo Co., Ltd. | Structural member coated with spray coating film excellent in thermal emission properties and the like, and method for production thereof |
| JPWO2007023971A1 (en) * | 2005-08-22 | 2009-03-05 | トーカロ株式会社 | Thermal spray coating coated member having excellent heat radiation characteristics and method for producing the same |
| JP4555864B2 (en) * | 2005-08-22 | 2010-10-06 | トーカロ株式会社 | Thermal spray coating coated member having excellent heat radiation characteristics and method for producing the same |
| US8231986B2 (en) | 2005-08-22 | 2012-07-31 | Tocalo Co., Ltd. | Spray coating member having excellent injury resistance and so on and method for producing the same |
| US7767268B2 (en) | 2005-09-08 | 2010-08-03 | Tocalo Co., Ltd. | Spray-coated member having an excellent resistance to plasma erosion and method of producing the same |
| US8053058B2 (en) | 2005-09-08 | 2011-11-08 | Tocalo Co., Ltd. | Spray-coated member having an excellent resistance to plasma erosion and method of producing the same |
| US7648782B2 (en) | 2006-03-20 | 2010-01-19 | Tokyo Electron Limited | Ceramic coating member for semiconductor processing apparatus |
| JP2010153339A (en) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Iwasaki Electric Co Ltd | High-pressure discharge lamp |
| JP2019026862A (en) * | 2017-07-25 | 2019-02-21 | 学校法人日本大学 | Heat-resistant corrosion-resistant film, heat-resistant corrosion-resistant component, and production method of heat-resistant corrosion-resistant film |
| JP7006904B2 (en) | 2017-07-25 | 2022-02-10 | 学校法人日本大学 | Method for manufacturing heat-resistant corrosion-resistant film, heat-resistant corrosion-resistant member and heat-resistant corrosion-resistant film |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5780110A (en) | Method for manufacturing thermal barrier coated articles | |
| JP4578584B2 (en) | Thermal barrier coating system, material for the same, gas turbine component using the same, and method of insulating a metal substrate | |
| Zhou et al. | Thermal cycling behavior of nanostructured 8YSZ, SZ/8YSZ and 8CSZ/8YSZ thermal barrier coatings fabricated by atmospheric plasma spraying | |
| JPH11264059A (en) | Ceramic material coating and coating method | |
| JP2001151571A (en) | Heat barrier composition, super-alloy machine product with ceramic coating having heat barreir composition and method of producing the ceramic coating | |
| Nejati et al. | Microstructural analysis and thermal shock behavior of plasma sprayed ceria-stabilized zirconia thermal barrier coatings with micro and nano Al2O3 as a third layer | |
| JP3865705B2 (en) | Heat shielding coating material excellent in corrosion resistance and heat resistance, and method for producing the same | |
| Abdollahi et al. | High temperature ablation-oxidation performance of SiC nanowhisker toughened-SiC/ZrB2-SiC ultra-high temperature multilayer coatings under supersonic flame | |
| Deng et al. | Microstructure and oxidation resistance of a multiphase Mo-Si-B ceramic coating on Mo substrates deposited by a plasma transferred arc process | |
| KR20030068054A (en) | Hybrid thermal barrier coating and method of making the same | |
| Perepezko et al. | Extended functionality of environmentally-resistant Mo-Si-B-based coatings | |
| Li et al. | Microstructure evolution and high-temperature oxidation behavior of FeCrAlNbNi alloyed zone prepared by laser surface alloying on 304 stainless steel | |
| Ding et al. | Microstructure and properties of Mo-Si-B-Y2O3 composite coating on nickel-based alloy by laser cladding | |
| JP2001342553A (en) | Method for forming alloy protection coating | |
| Qin et al. | Effect of Al2O3 content on the high-temperature oxidation behaviour of CoCrAlYTa coatings produced by laser-induction hybrid cladding | |
| CA2753184C (en) | Method of forming a protective coating against oxidation on a silicon- and niobium-based high temperature refractory composite material based | |
| JP3803104B2 (en) | Heat shielding film-coated member excellent in corrosion resistance and heat resistance and method for producing the same | |
| He et al. | Carbide reinforced Ni–Cr–B–Si–C composite coating on 4Cr5MoSiV1 steel by comprehensive plasma melt injection method | |
| Suilik et al. | Preparation and high temperature oxidation behavior of refractory disilicide coatings for γ-TiAl intermetallic compounds | |
| Sun et al. | Improved mechanical properties of Ni-rich Ni 3 Al coatings produced by EB-PVD for repairing single crystal blades | |
| JPH1161438A (en) | Heat shielding coating member and its production | |
| Zheng et al. | Cyclic oxidation behavior of NiCoCrAlY/YSZ@ Ni composite coatings fabricated by laser cladding | |
| JP4313459B2 (en) | High temperature exposed member and manufacturing method thereof | |
| JP3914989B2 (en) | MoSi2-2wt% SiO2 / B-added Mo5Si3-5wt% SiO2 / Mo-Nb-Si ternary alloy three-layer coated Nb-based alloy and method for producing the same | |
| JPH0676265B2 (en) | Method for producing surface-coated carbon material |