JP2001336957A - Chemical resisting sensor system - Google Patents

Chemical resisting sensor system

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JP2001336957A
JP2001336957A JP2000154160A JP2000154160A JP2001336957A JP 2001336957 A JP2001336957 A JP 2001336957A JP 2000154160 A JP2000154160 A JP 2000154160A JP 2000154160 A JP2000154160 A JP 2000154160A JP 2001336957 A JP2001336957 A JP 2001336957A
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JP
Japan
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sensor
nitrogen gas
chemical
drawer
exterior body
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Application number
JP2000154160A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Hamazaki
健一 濱崎
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chemical resisting sensor system having good chemical resistance and hardly causing troubles such as corrosion. SOLUTION: This chemical resisting sensor system 10 is provided with a sensor main body 12, an exterior body 14 for air-tightly covering the sensor main body 12, a sensor leading-out conductor 16 penetrating the exterior body 14 to the outside, a leading-out part 18 for putting the sensor leading-out conductor 16 and an object to be checked in the connecting or contacting state, a protecting tube 20 permitting the sensor leading-out conductor 16 to pass through the interior thereof, and nitrogen gas supply equipment for supplying nitrogen gas to the leading-out part 18. The nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas supply equipment to fill up the inside of the leading-out part, the inside of the protecting tube and the inside of the exterior body with nitrogen gas, and then the sensor main body is operated, whereby the sensor main body is always held in the nitrogen gas atmosphere and intercepted from the corrosive atmosphere so as to prevent corrosion of the sensor main body and the sensor leading-out conductor.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、耐薬品性センサ・
システムに関し、更に詳細には、腐食性雰囲気下でも腐
食することなく長期間にわたり良好に動作する耐薬品性
センサ・システムに関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a chemical resistant sensor.
More particularly, the present invention relates to a chemical resistant sensor system that operates well for a long period of time without corrosion even in a corrosive atmosphere.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置の製造工場、化学工場等で
は、腐食性物質に抗する耐腐食性を備え、塩素系ガス、
砒素系ガス、塩酸、硫酸等の腐食性薬液を検査対象とす
る耐薬品センサ、或いは塩素ガス、砒素ガス等の腐食性
雰囲気中で使用される耐薬品センサが多用されている。
耐薬品センサには、検査目的、検査対象等によって、例
えば赤外線センサ、超音波センサ、近接センサ等の種々
の種類の耐薬品センサがある。
2. Description of the Related Art Semiconductor device manufacturing factories, chemical factories, and the like are provided with corrosion resistance against corrosive substances, and use chlorine-based gas,
2. Description of the Related Art Chemical resistance sensors for testing corrosive chemicals such as arsenic gas, hydrochloric acid, and sulfuric acid, and chemical resistance sensors used in corrosive atmospheres such as chlorine gas and arsenic gas are frequently used.
There are various types of chemical resistant sensors, such as an infrared sensor, an ultrasonic sensor, and a proximity sensor, depending on the inspection purpose, the inspection target, and the like.

【0003】ここで、図4を参照して、従来の耐薬品セ
ンサの構成を説明する。図4は従来の耐薬品センサの構
成を示す模式図である。従来の耐薬品センサ50は、図
4に示すように、センサ本体52と、センサ本体52を
覆って腐食性雰囲気からセンサ本体52を遮断、保護す
る耐薬品性外装体54とで構成されている。耐薬品性外
装体54は、テフロン(登録商標)或いは塩化ビニルと
いった耐薬品材料で形成されていて、腐食性薬品に対し
て耐腐食性を有する。耐薬品センサ50は、センサ本体
52から出る数本のセンサ引き出し導線56を介して検
査対象と接触していて、従来、センサ引き出し導線56
は、保護管内に収められることなく、配線経路に沿って
露出した状態で配線されている。なお、センサ引き出し
導線56が外装体54を貫通する貫通孔は、ブッシング
等で気密に封止されている。
Here, a configuration of a conventional chemical resistant sensor will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional chemical resistant sensor. As shown in FIG. 4, the conventional chemical resistant sensor 50 includes a sensor main body 52, and a chemical resistant outer body 54 that covers the sensor main body 52 and shields and protects the sensor main body 52 from a corrosive atmosphere. . The chemical-resistant exterior body 54 is formed of a chemical-resistant material such as Teflon (registered trademark) or vinyl chloride, and has corrosion resistance to corrosive chemicals. The chemical resistant sensor 50 is in contact with the object to be inspected via several sensor lead wires 56 coming out of the sensor main body 52.
Are wired so as to be exposed along the wiring path without being housed in the protective tube. The through-hole through which the sensor lead-out wire 56 passes through the exterior body 54 is hermetically sealed with a bushing or the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の耐薬品
センサには、以下のような問題があった。第1には、耐
薬品センサの外装体は腐食性環境に曝されていることが
多いので、腐食により外装体にピンホールが発生するこ
ともある。その際には、ピンホールを通って薬液等の腐
食性流体がセンサ本体に進入してセンサ機能を損傷さ
せ、更には、センサ内部に浸透した薬液が導線等の絶縁
被覆を腐食して、電気回路を短絡させるという問題が発
生することもあった。電気回路の短絡は、重大な事故の
端緒ともなり得る。第2には、耐薬品センサが薬品等の
腐食性環境下に設置されているときには、センサ本体は
耐薬品性の外装体で外装されているので、腐食され難い
ものの、センサ引き出し導線が腐食され、また、センサ
引き出し導線の引き出し口からは薬品が外装体内に浸透
するために、センサ本体が腐食するという問題があっ
た。
However, the conventional chemical resistant sensor has the following problems. First, since the exterior of the chemical-resistant sensor is often exposed to a corrosive environment, pinholes may be generated in the exterior due to corrosion. At that time, a corrosive fluid such as a chemical solution enters the sensor body through the pinhole and damages the sensor function. There was also a problem that the circuit was short-circuited. Short circuits in electrical circuits can also be a significant accident. Second, when the chemical-resistant sensor is installed in a corrosive environment such as a chemical, the sensor main body is covered with a chemical-resistant outer body. In addition, there is a problem that the sensor body corrodes because the chemicals penetrate into the exterior body from the outlet of the sensor lead wire.

【0005】そこで、本発明の目的は、耐薬品性が良好
で、腐食等の問題が生じ難い耐薬品性センサ・システム
を提供することである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a chemical resistant sensor system which has good chemical resistance and hardly causes problems such as corrosion.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る耐薬品性センサ・システムは、センサ
本体と、センサ本体を気密的に覆う耐薬品性外装体と、
センサ本体に接続し、外装体を貫通して外部に出るセン
サ引き出し導線と、耐薬品性箱体として形成され、箱体
内にセンサ引き出し導線を引き入れ、かつ検査対象に接
続ないし接触させる引き出し部と、外装体から引き出し
部まで延在し、内部にセンサ引き出し導線を通線した耐
薬品性保護管と、引き出し部に窒素ガスを供給する窒素
ガス供給設備とを備え、窒素ガス供給設備から窒素ガス
を供給して、引き出し部内、保護管内、及び外装体内を
窒素ガスで充満した後、センサ本体を動作させるように
したことを特徴としている。
In order to achieve the above object, a chemical resistant sensor system according to the present invention comprises: a sensor body; a chemical resistant outer body which hermetically covers the sensor body;
A sensor lead wire connected to the sensor body and penetrating the exterior body and going out, and a lead portion formed as a chemical resistant box body, pulling the sensor lead wire into the box body, and connecting or contacting the inspection object, It is provided with a chemical-resistant protective tube extending from the outer body to the lead-out part and passing a sensor lead-out wire inside, and a nitrogen gas supply facility for supplying nitrogen gas to the draw-out part. The sensor body is operated after the supply, the inside of the drawer, the inside of the protective tube, and the inside of the exterior are filled with nitrogen gas.

【0007】本発明で、センサ引き出し導線を備えたも
のである限り、センサ本体の種類、構造、検査対象等に
は制約はない。また、耐薬品性外装体、耐薬品性保護
管、及び耐薬品性箱体は、耐薬品性センサ・システムが
設置されている周りに雰囲気の腐食性及び、検査対象の
腐食性に抗する耐腐食性を有する箱体であって、箱体の
形成材料は、耐薬品性センサ・システムが曝される雰囲
気に対して耐腐食性を有する限り制約はなく、通常、例
えばテフロン(登録商標)、塩化ビニル等を使用する。
窒素ガス供給設備は窒素ガスを供給できる限り制約はな
く、例えば窒素ボンベ、工場の窒素ガス供給管等を使用
できる。窒素ガス供給設備から窒素ガスを供給して、引
き出し部内、保護管内及び外装体内を窒素ガスで充満し
た後、センサ本体を動作させるようにしたことにより、
外部から外装体への腐食性流体の侵入を防止して、セン
サ本体を腐食性雰囲気から遮断し、腐食、更には短絡か
ら保護することができる。また、センサ引き出し導線自
体も窒素ガス雰囲気中に維持されるので、従来のように
センサ引き出し導線の引き出し口からは腐食性流体が外
装体内に浸透して、センサ本体を腐食させるという問題
も生じない。
In the present invention, the type, structure, inspection target, and the like of the sensor body are not limited as long as the sensor lead-out wire is provided. In addition, the chemical-resistant outer casing, chemical-resistant protective tube, and chemical-resistant box are designed to withstand the corrosiveness of the atmosphere around the area where the chemical-resistant sensor system is installed and the corrosion resistance of the inspection target. It is a corrosive box, and the material for forming the box is not limited as long as it has corrosion resistance to the atmosphere to which the chemical resistance sensor system is exposed, and is usually, for example, Teflon (registered trademark), Use vinyl chloride or the like.
The nitrogen gas supply equipment is not limited as long as it can supply nitrogen gas, and for example, a nitrogen cylinder, a factory nitrogen gas supply pipe, or the like can be used. By supplying nitrogen gas from the nitrogen gas supply equipment and filling the drawer portion, the inside of the protective tube and the exterior with nitrogen gas, and then operating the sensor body,
By preventing the corrosive fluid from entering the exterior body from the outside, the sensor body can be shielded from the corrosive atmosphere, and can be protected from corrosion and further short-circuit. Further, since the sensor lead wire itself is also maintained in the nitrogen gas atmosphere, there is no problem that a corrosive fluid permeates into the exterior body from the outlet of the sensor lead wire and corrodes the sensor body as in the related art. .

【0008】本発明の好適な実施態様では、窒素ガス供
給設備から引き出し部に窒素ガスを供給する供給管に
は、開閉弁が設けられ、開閉弁下流の供給管又は引き出
し部には、圧力計及び圧力スイッチが設けられ、外装
体、保護管、及び引き出し部の少なくともいずれかにピ
ンホール等の窒素ガス流出孔が開口したときには、圧力
スイッチが窒素ガスの圧力低下を検知し、その旨の信号
を出力するようにする。例えば、その旨を信号をコント
ロール室に出力して警報を発することにより、窒素ガス
流出孔の開口に対する処置を直ちに講ずることができ
る。
In a preferred embodiment of the present invention, an on-off valve is provided on a supply pipe for supplying nitrogen gas from the nitrogen gas supply equipment to the drawer, and a pressure gauge is provided on a supply pipe or drawer downstream of the on-off valve. And a pressure switch is provided, and when a nitrogen gas outflow hole such as a pinhole is opened in at least one of the exterior body, the protection tube, and the drawer, the pressure switch detects a decrease in the pressure of the nitrogen gas, and a signal to that effect is provided. Output. For example, by outputting a signal to that effect to the control room and issuing an alarm, it is possible to immediately take measures for the opening of the nitrogen gas outlet.

【0009】本発明の別の好適な実施態様では、センサ
本体が、接点式センサであって、接点式センサの可動部
が外装体に設けた接点式センサ取り付け用貫通孔を貫通
するように、外装体に取り付けられ、かつ、接点式セン
サの可動部と貫通孔の孔壁との間には僅かな環状間隙が
確保されており、接点式センサの動作時には、接点式セ
ンサの可動部と外装体の貫通孔との間の環状間隙から窒
素ガスを吹き出させるようにしている。これにより、動
作中の接点式センサを窒素ガス雰囲気中に維持すること
ができるので、稼働部分に隙間があって、従来、腐食性
雰囲気中での使用が難しかった接点式センサを腐食性雰
囲気中で使用することができる。
In another preferred embodiment of the present invention, the sensor main body is a contact type sensor, and the movable portion of the contact type sensor passes through a contact type sensor mounting through hole provided in the exterior body. A small annular gap is secured between the movable part of the contact type sensor and the hole wall of the through hole, and the movable part of the contact type sensor is Nitrogen gas is blown out from an annular gap between the body and the through hole. This makes it possible to maintain the operating contact type sensor in the nitrogen gas atmosphere, so that there is a gap in the operating part, and the contact type sensor, which was conventionally difficult to use in a corrosive atmosphere, can be used in a corrosive atmosphere. Can be used with

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細
に説明する。実施形態例1 本実施形態例は、本発明に係る耐薬品性センサ・システ
ムの実施形態の一例であって、図1は本実施形態例の耐
薬品性センサ・システムの構成を示す斜視図、図2は窒
素ガスで充満された状態の耐薬品性センサ・システムを
示す模式図である。本実施形態例の耐薬品性センサ・シ
ステム10は、図1に示すように、センサ本体12と、
センサ本体12を気密的に覆う外装体14と、センサ本
体12から引き出され、外装体14を貫通して外部に出
るセンサ引き出し導線16と、センサ引き出し導線16
と検査対象とを接続ないし接触させる引き出し部18
と、外装体14から引き出し部18まで延在し、内部に
センサ引き出し導線16を通す保護管20と、引き出し
部18に窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備22とを
備えている。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Embodiment 1 This embodiment is an example of an embodiment of a chemical resistant sensor system according to the present invention. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a chemical resistant sensor system according to this embodiment. FIG. 2 is a schematic diagram showing a chemical resistant sensor system filled with nitrogen gas. As shown in FIG. 1, the chemical resistance sensor system 10 according to the present embodiment includes a sensor main body 12,
An exterior body 14 that hermetically covers the sensor main body 12, a sensor lead-out lead 16 drawn out of the sensor main body 12, and penetrating through the exterior body 14 to the outside, and a sensor lead-out lead 16
Drawer 18 for connecting or contacting the inspection object
And a protective tube 20 extending from the exterior body 14 to the lead-out portion 18 and passing the sensor lead-out wire 16 therein, and a nitrogen gas supply facility 22 for supplying nitrogen gas to the lead-out portion 18.

【0011】外装体14は、腐食性環境に抗する耐腐食
性を有する、例えばテフロン(登録商標)、塩化ビニル
等の耐薬品性材料で形成され、センサ引き出し導線16
を貫通させる貫通部として貫通孔24を備えている。ま
た、引き出し部18は、外装体14と同様に、テフロン
(登録商標)、塩化ビニル等の耐薬品性材料で形成され
た箱体であって、センサ引き出し導線16を引き入れる
ために設けた外装体14の貫通孔24とほぼ同じ口径の
貫通孔26と、センサ引き出し導線の外部との接続部2
8と、窒素ガス供給設備22から窒素ガスを供給する供
給口30とを備えている。また、窒素ガス供給設備22
から供給口30に窒素ガスを導く導管32には開閉弁3
4が設けられ、更に、引き出し部18には、引き出し部
18の窒素ガス圧力を検出する圧力計36、及び引き出
し部18内の窒素ガス圧力が設定圧力に低下した時に
は、その旨の信号を出力する圧力スイッチ38が設けて
ある。
The exterior body 14 is made of a chemical-resistant material, such as Teflon (registered trademark) or vinyl chloride, which has corrosion resistance against a corrosive environment.
Is provided with a through-hole 24 as a penetrating portion for penetrating through. The lead-out portion 18 is a box made of a chemical-resistant material such as Teflon (registered trademark), vinyl chloride, or the like, similarly to the case 14, and is a case provided to draw in the sensor lead-out lead 16. 14 and a connecting portion 2 between the through hole 26 having substantially the same diameter as the through hole 24 and the outside of the sensor lead wire.
8 and a supply port 30 for supplying nitrogen gas from the nitrogen gas supply equipment 22. In addition, the nitrogen gas supply equipment 22
A conduit 32 for introducing nitrogen gas from the supply port 30 to the supply port 30
The drawer 18 is further provided with a pressure gauge 36 for detecting the nitrogen gas pressure in the drawer 18 and, when the nitrogen gas pressure in the drawer 18 decreases to the set pressure, a signal to that effect is output. A pressure switch 38 is provided.

【0012】保護管20は、外装体14の貫通孔24及
び引き出し部18の貫通孔26の口径より多少大きな内
径を有し、外装体14と同じようにテフロン(登録商
標)、塩化ビニル等の耐薬品性材料で形成され、センサ
引き出し導線16を内部に通線させた管体である。保護
管20は、貫通孔24及び貫通孔26を覆うようにして
外装体14及び引き出し部18に気密的に接続されてい
る。これにより、保護管20は、外装体14から引き出
し部18に到るセンサ引き出し導線16を腐食性環境か
ら保護する。
The protective tube 20 has an inner diameter slightly larger than the diameter of the through-hole 24 of the exterior body 14 and the through-hole 26 of the lead-out portion 18, and, like the exterior body 14, is made of Teflon (registered trademark), vinyl chloride or the like. This is a tube formed of a chemical-resistant material and having a sensor lead-out wire 16 penetrated therein. The protection tube 20 is air-tightly connected to the exterior body 14 and the drawer 18 so as to cover the through holes 24 and the through holes 26. Thus, the protection tube 20 protects the sensor lead-out conductor 16 from the exterior body 14 to the lead-out portion 18 from a corrosive environment.

【0013】本実施形態例の耐薬品性センサ・システム
10を使用する際には、先ず、窒素ガス供給設備22か
ら窒素ガスを引き出し部18に供給し、大気圧より多少
高い所定圧力に昇圧し、次いで開閉弁34を閉止する。
これにより、図2に示すように、窒素ガスは、図2に示
すように、引き出し部18内、保護管20内及び保護管
20を介して外装体14内に充満し、外部からの腐食性
ガスの侵入を防止する。また、外装体14、保護管2
0、引き出し部18等にピンホールが発生し、窒素ガス
がピンホールから流出して、圧力が圧力スイッチ38の
設定圧力、つまり動作圧力まで低下すると、圧力スイッ
チ38が窒素ガスの圧力低下を検知し、その旨を信号を
コントロール室に出力するので、直ちに処置を講ずるこ
とができる。
When using the chemical resistant sensor system 10 of this embodiment, first, nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas supply equipment 22 to the extraction unit 18 and the pressure is increased to a predetermined pressure slightly higher than the atmospheric pressure. Then, the on-off valve 34 is closed.
As a result, as shown in FIG. 2, the nitrogen gas fills the inside of the drawer portion 18, the inside of the protection tube 20, and the inside of the exterior body 14 through the protection tube 20, as shown in FIG. Prevent gas intrusion. In addition, the exterior body 14, the protection tube 2
0. When a pinhole is generated in the drawer 18 or the like, and nitrogen gas flows out of the pinhole and the pressure drops to the set pressure of the pressure switch 38, that is, the operating pressure, the pressure switch 38 detects a drop in the pressure of the nitrogen gas. Then, a signal to that effect is output to the control room, so that an immediate action can be taken.

【0014】実施形態例2 本実施形態例は、本発明に係る耐薬品性センサ・システ
ムの実施形態の別の例であって、図3(a)は本実施形
態例の耐薬品性センサ・システムの要部を示す模式図、
及び図3(b)は使用状態での耐薬品性センサ・システ
ムの要部を示す模式図である。本実施形態例の耐薬品性
センサ・システム40は、センサ本体がマイクロスチッ
チ等の接点式センサ42であって、かつ外装体44から
窒素ガスを吹き出させていることを除いて、実施形態例
1と同じ構成を備えている。
Embodiment 2 This embodiment is another example of the embodiment of the chemical resistant sensor system according to the present invention, and FIG. 3 (a) shows the chemical resistant sensor of this embodiment. Schematic diagram showing the main parts of the system,
FIG. 3B is a schematic view showing a main part of the chemical resistance sensor system in use. The chemical resistance sensor system 40 of the present embodiment is the same as that of the first embodiment except that the sensor body is a contact type sensor 42 such as a micro switch and the nitrogen gas is blown out from the exterior body 44. It has the same configuration as.

【0015】本実施形態例では、接点式センサ42は、
COM線とNO線との接続をオフにしてCOM線とNC
線との接続をオンし、逆にNC線との接続をオフにして
COM線とNO線との接続をオンにする接点式センサで
ある。接点式センサ42は、可動部43を下部に有する
ので、図3(a)に示すように、可動部43が外装体4
4の接点式センサ取り付け用貫通孔46を貫通するよう
に取り付けられていて、接点式センサ42の可動部43
と貫通孔46との間には小さな間隙の環状間隙が確保さ
れている。
In this embodiment, the contact sensor 42 is
Turn off the connection between the COM line and the NO line, and
This is a contact type sensor that turns on the connection with the line, and turns off the connection with the NC line, and turns on the connection between the COM line and the NO line. Since the contact type sensor 42 has the movable part 43 at the lower part, as shown in FIG.
The movable part 43 of the contact sensor 42 is attached so as to pass through the through hole 46 for attaching the contact sensor 4.
An annular gap having a small gap is secured between the hole and the through hole 46.

【0016】以上の構成によって、実施形態例2の耐薬
品性センサ・システム40では、実施形態例1と同様に
外装体44が窒素ガスで充満され、かつ窒素ガスが、図
3(b)に示すように、接点式センサ42の可動部43
と外装体44との間の環状間隙から吹き出すので、腐食
性ガスの侵入を防止する。尚、本実施形態例の耐薬品性
センサ・システム40では、引き出し部18には、常
時、窒素ガスが所定圧力で供給されるようになってい
る。これにより、可動部43を含め接点式センサ42が
窒素ガス雰囲気中に維持されるので、従来、腐食性雰囲
気中での使用が難しかった接点式センサを腐食性雰囲気
中で使用することができる。
With the above configuration, in the chemical resistance sensor system 40 of the second embodiment, similarly to the first embodiment, the exterior body 44 is filled with nitrogen gas, and the nitrogen gas is filled in the case shown in FIG. As shown, the movable portion 43 of the contact sensor 42
Since the air blows out from the annular gap between the outer casing 44 and the outer body 44, the intrusion of corrosive gas is prevented. In the chemical resistance sensor system 40 according to the present embodiment, a nitrogen gas is always supplied to the drawer 18 at a predetermined pressure. Thereby, since the contact sensor 42 including the movable portion 43 is maintained in the nitrogen gas atmosphere, the contact sensor which has conventionally been difficult to use in the corrosive atmosphere can be used in the corrosive atmosphere.

【0017】[0017]

【発明の効果】本発明によれば、センサ本体と、センサ
本体を覆う耐薬品性外装体と、センサ引き出し導線と、
耐薬品性箱体として形成され、センサ引き出し導線を引
き入れ、検査対象に接続、接触させる引き出し部と、外
装体から引き出し部までセンサ引き出し導線を通線した
耐薬品性保護管と、窒素ガス供給設備とで、耐薬品性セ
ンサ・システムを構成している。窒素ガス供給設備から
窒素ガスを供給して、引き出し部内、保護管内及び外装
体内を窒素ガスで充満した後、センサ本体を動作させる
ようにしたことにより、外部からの腐食性流体の侵入を
防止して、センサ本体を腐食、更には短絡から保護する
ことができる。
According to the present invention, a sensor main body, a chemical-resistant exterior covering the sensor main body, a sensor lead-out wire,
Formed as a chemical-resistant box, draws in the sensor lead-out wire, connects and contacts the object to be inspected, a chemical-resistant protective tube that passes the sensor lead-out wire from the exterior body to the drawer, and a nitrogen gas supply facility These constitute a chemical resistant sensor system. Nitrogen gas is supplied from the nitrogen gas supply equipment, and after filling the inside of the drawer, the inside of the protective tube, and the inside of the exterior with the nitrogen gas, the sensor body is operated to prevent the invasion of corrosive fluid from the outside. Thus, the sensor body can be protected from corrosion and short circuit.

【0018】また、好適な実施態様では、窒素ガス供給
管、又は引き出し部に圧力計及び圧力スイッチを設け、
外装体、保護管、及び引き出し部の少なくともいずれか
にピンホール等の窒素ガス流出孔が開口したときには、
圧力スイッチが窒素ガスの圧力低下を検知し、その旨の
信号を出力するようにしている。これにより、ピンボー
ルが発生したことを直ちに認識し、適宜、対応すること
ができる。
In a preferred embodiment, a pressure gauge and a pressure switch are provided on a nitrogen gas supply pipe or a drawer,
When a nitrogen gas outflow hole such as a pinhole is opened in at least one of the exterior body, the protective tube, and the drawer,
The pressure switch detects a pressure drop of the nitrogen gas and outputs a signal to that effect. As a result, it is possible to immediately recognize that a pinball has occurred, and to respond appropriately.

【0019】更には、接点式センサの可動部と、外装体
の可動部取り付け用貫通孔の孔壁との間に僅かな環状間
隙を確保することにより、接点式センサの動作時には、
接点式センサの可動部と外装体の貫通孔との間の環状間
隙から窒素ガスを吹き出させるようにしたことにより、
従来、腐食性雰囲気中で使用困難であった接点式センサ
を腐食性雰囲気中で使用できるようにしている。また、
窒素ガスを圧入しているので、内部での発火を抑制する
ことができる。
Further, by securing a slight annular gap between the movable portion of the contact sensor and the hole wall of the through hole for attaching the movable portion of the exterior body, during operation of the contact sensor,
By allowing nitrogen gas to blow out from the annular gap between the movable part of the contact type sensor and the through hole of the exterior body,
Conventionally, a contact type sensor that has been difficult to use in a corrosive atmosphere can be used in a corrosive atmosphere. Also,
Since nitrogen gas is injected, ignition inside can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態例1の耐薬品性センサ・システムの構
成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration of a chemical resistant sensor system according to a first embodiment.

【図2】窒素ガスで充満された状態の実施形態例1の耐
薬品性センサ・システムを示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing the chemical resistance sensor system of Embodiment 1 in a state filled with nitrogen gas.

【図3】図3(a)及び(b)は、それぞれ、実施形態
例2の耐薬品性センサ・システムの要部を示す模式図、
及び使用状態での耐薬品性センサ・システムの要部を示
す模式図である。
FIGS. 3A and 3B are schematic diagrams showing main parts of a chemical resistant sensor system according to a second embodiment, respectively.
It is a schematic diagram which shows the principal part of the chemical resistance sensor system in a use state.

【図4】従来の耐薬品センサの構成を示す模式図であ
る。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional chemical resistant sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10……実施形態例1の耐薬品性センサ・システム、1
2……センサ本体、14……外装体、16……センサ引
き出し導線、18……引き出し部、20……保護管、2
2……窒素ガス供給設備、24……貫通孔、26……貫
通孔、28……接続部、30……供給口、32……導
管、34……開閉弁、36……圧力計、38……圧力ス
イッチ、40……実施形態例2の耐薬品性センサ・シス
テム、42……接点式センサ、43……可動部、44…
…外装体、46……貫通孔、50……従来の耐薬品セン
サ、52……センサ、54……外装体、56……センサ
引き出し導線。
10 ... Chemical resistance sensor system of Embodiment 1
2 ... Sensor body, 14 ... Outer body, 16 ... Sensor lead wire, 18 ... Drawer part, 20 ... Protective tube, 2
2 ... nitrogen gas supply equipment, 24 ... through-hole, 26 ... through-hole, 28 ... connection part, 30 ... supply port, 32 ... conduit, 34 ... on-off valve, 36 ... pressure gauge, 38 ... pressure switch, 40 ... chemical resistance sensor system of Embodiment 2, 42 ... contact type sensor, 43 ... movable part, 44 ...
... exterior body, 46 ... through-hole, 50 ... conventional chemical resistant sensor, 52 ... sensor, 54 ... exterior body, 56 ... sensor lead-out lead wire.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 センサ本体と、 センサ本体を気密的に覆う耐薬品性外装体と、 センサ本体に接続し、外装体を貫通して外部に出るセン
サ引き出し導線と、 耐薬品性箱体として形成され、箱体内にセンサ引き出し
導線を引き入れ、かつ検査対象に接続ないし接触させる
引き出し部と、 外装体から引き出し部まで延在し、内部にセンサ引き出
し導線を通線した耐薬品性保護管と、 引き出し部に窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備とを
備え、 窒素ガス供給設備から窒素ガスを供給して、引き出し部
内、保護管内、及び外装体内を窒素ガスで充満した後、
センサ本体を動作させるようにしたことを特徴とする耐
薬品性センサ・システム。
1. A sensor body, a chemical-resistant exterior body that hermetically covers the sensor body, a sensor lead wire connected to the sensor body and penetrating through the exterior body to the outside, and formed as a chemical-resistant box body. A drawer for drawing in the sensor lead wire into the box body and connecting or contacting the object to be inspected; a chemical-resistant protective tube extending from the exterior body to the drawer portion, and passing the sensor lead wire inside, and a drawer After supplying nitrogen gas from the nitrogen gas supply facility to fill the drawer, protective tube, and exterior with nitrogen gas,
A chemical resistant sensor system characterized by operating a sensor body.
【請求項2】 窒素ガス供給設備から引き出し部に窒素
ガスを供給する供給管には、開閉弁が設けられ、 開閉弁下流の供給管又は引き出し部には、圧力計及び圧
力スイッチが設けられ、 外装体、保護管、及び引き出し部の少なくともいずれか
にピンホール等の窒素ガス流出孔が開口したときには、
圧力スイッチが窒素ガスの圧力低下を検知し、その旨の
信号を出力するようにしたことを特徴とする請求項1に
記載の耐薬品性センサ・システム。
2. An on-off valve is provided on a supply pipe for supplying nitrogen gas from a nitrogen gas supply facility to a drawer, and a pressure gauge and a pressure switch are provided on a supply pipe or drawer downstream of the on-off valve. When a nitrogen gas outflow hole such as a pinhole is opened in at least one of the exterior body, the protective tube, and the drawer,
2. The chemical resistant sensor system according to claim 1, wherein the pressure switch detects a pressure drop of the nitrogen gas and outputs a signal to that effect.
【請求項3】 センサ本体が、接点式センサであって、
接点式センサの可動部が外装体に設けた接点式センサ取
り付け用貫通孔を貫通するように、外装体に取り付けら
れ、かつ、接点式センサの可動部と貫通孔の孔壁との間
には僅かな環状間隙が確保されており、 接点式センサの動作時には、接点式センサの可動部と外
装体の貫通孔との間の環状間隙から窒素ガスを吹き出さ
せるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の耐薬
品性センサ・システム。
3. The sensor body is a contact type sensor,
The movable part of the contact type sensor is attached to the exterior body so as to pass through the through hole for mounting the contact type sensor provided on the exterior body, and between the movable part of the contact type sensor and the hole wall of the through hole. A slight annular gap is secured, and when the contact type sensor is operated, nitrogen gas is blown out from the annular gap between the movable portion of the contact type sensor and the through hole of the exterior body. Item 7. The chemical resistant sensor system according to Item 1.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018169205A (en) * 2017-03-29 2018-11-01 新日鐵住金株式会社 Protection structure of strain gauge, method for mounting strain gauge, and specimen
WO2021140908A1 (en) * 2020-01-09 2021-07-15 ヤマハファインテック株式会社 Gas mixing device

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