JP2001335858A - 高活性材料の処理方法 - Google Patents
高活性材料の処理方法Info
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- JP2001335858A JP2001335858A JP2000156853A JP2000156853A JP2001335858A JP 2001335858 A JP2001335858 A JP 2001335858A JP 2000156853 A JP2000156853 A JP 2000156853A JP 2000156853 A JP2000156853 A JP 2000156853A JP 2001335858 A JP2001335858 A JP 2001335858A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リチウムのような特に高活性の材料を処理す
る際に、酸化及び窒化を大幅に抑制することができる高
活性材料の処理方法を提供する。 【解決手段】 グローブボックス２０内に高純度の不活
性ガスを充填し、少なくとも一部が開放した容器２１ａ
内で対象試料と同一の材料を昇温して溶融させ、かつ対
象試料を冷却しながら処理する。これにより、対象試料
と同一の材料が昇温・溶融により活性が一層高まり、一
種のゲッターとして微量の酸素，窒素と急速に反応する
ので、不活性ガス中の酸素／窒素の濃度が下がり、対象
試料の酸化及び窒化を抑制する。また、対象試料を冷却
しながら処理することにより、対象試料の活性を抑制
し、その酸化及び窒化を更に低減する。
る際に、酸化及び窒化を大幅に抑制することができる高
活性材料の処理方法を提供する。 【解決手段】 グローブボックス２０内に高純度の不活
性ガスを充填し、少なくとも一部が開放した容器２１ａ
内で対象試料と同一の材料を昇温して溶融させ、かつ対
象試料を冷却しながら処理する。これにより、対象試料
と同一の材料が昇温・溶融により活性が一層高まり、一
種のゲッターとして微量の酸素，窒素と急速に反応する
ので、不活性ガス中の酸素／窒素の濃度が下がり、対象
試料の酸化及び窒化を抑制する。また、対象試料を冷却
しながら処理することにより、対象試料の活性を抑制
し、その酸化及び窒化を更に低減する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高活性材料の処理
方法に関する。
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、活性の高い試料１（例えばリチ
ウム，Ｌｉ）の天然物１ａとその同位体１ｂの間の拡散
係数を計測するためには、図４（Ａ）に示すように、天
然物１ａと同位体１ｂを界面２で密着させた状態で、筒
状の保持容器３内に格納し、これを昇温して天然物１ａ
とその同位体１ｂを溶解・凝固させる必要がある。この
溶解・凝固の際に、試料１ａ，１ｂが熱膨張・熱収縮す
るので、保持容器３の蓋部は、固定蓋３ａ、可動蓋３
ｂ、及びその間に圧縮状態で挟持された圧縮バネ３ｃか
らなり、天然物１ａをその同位体１ｂに向けて付勢する
ようになっている。なお、かかる保持容器３、固定蓋３
ａ、可動蓋３ｂ、及び圧縮バネ３ｃは、例えば耐熱性の
高い窒化ボロン（ＢＮ）で構成することができる。
ウム，Ｌｉ）の天然物１ａとその同位体１ｂの間の拡散
係数を計測するためには、図４（Ａ）に示すように、天
然物１ａと同位体１ｂを界面２で密着させた状態で、筒
状の保持容器３内に格納し、これを昇温して天然物１ａ
とその同位体１ｂを溶解・凝固させる必要がある。この
溶解・凝固の際に、試料１ａ，１ｂが熱膨張・熱収縮す
るので、保持容器３の蓋部は、固定蓋３ａ、可動蓋３
ｂ、及びその間に圧縮状態で挟持された圧縮バネ３ｃか
らなり、天然物１ａをその同位体１ｂに向けて付勢する
ようになっている。なお、かかる保持容器３、固定蓋３
ａ、可動蓋３ｂ、及び圧縮バネ３ｃは、例えば耐熱性の
高い窒化ボロン（ＢＮ）で構成することができる。
【０００３】更に、試料１（天然物１ａ及び同位体１
ｂ）の活性が高い場合には、保持容器３のままでのハン
ドリングや保管が困難であるため、図４（Ｂ）に示すよ
うに、耐熱金属製の密封容器４内に保持容器３を封入す
る必要がある。更に、この密封容器４内には、試料と反
応しない不活性ガスが所定の圧力で封入される。この圧
力は、例えば多種の試料を同一条件で試験する場合に、
溶融温度における圧力を一定（例えば常圧）にするため
に、封入ガス圧を負圧（例えば０．４ａｔａ）に設定す
る。
ｂ）の活性が高い場合には、保持容器３のままでのハン
ドリングや保管が困難であるため、図４（Ｂ）に示すよ
うに、耐熱金属製の密封容器４内に保持容器３を封入す
る必要がある。更に、この密封容器４内には、試料と反
応しない不活性ガスが所定の圧力で封入される。この圧
力は、例えば多種の試料を同一条件で試験する場合に、
溶融温度における圧力を一定（例えば常圧）にするため
に、封入ガス圧を負圧（例えば０．４ａｔａ）に設定す
る。
【０００４】このように製作された密封容器４は、内部
に試料１と保持容器３を封入したままで、容易に取り扱
うことができ、これを例えば宇宙空間等において、溶融
試験炉内でそのまま昇温して所定の試験を行うことがで
きる。
に試料１と保持容器３を封入したままで、容易に取り扱
うことができ、これを例えば宇宙空間等において、溶融
試験炉内でそのまま昇温して所定の試験を行うことがで
きる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、リチウムのよ
うな特に高活性の材料を試験する場合には、酸化等の変
質を抑えるために、試料１の保持容器３内への格納、保
持容器３の密封容器４内への封入等のすべての作業をグ
ローブボックス内で行う必要がある。この場合に、グロ
ーブボックス内に高純度アルゴンを充填した状態で作業
するが、それにもかかわらず、微量に含まれる酸素や窒
素により材料が酸化又は窒化する問題点があった。
うな特に高活性の材料を試験する場合には、酸化等の変
質を抑えるために、試料１の保持容器３内への格納、保
持容器３の密封容器４内への封入等のすべての作業をグ
ローブボックス内で行う必要がある。この場合に、グロ
ーブボックス内に高純度アルゴンを充填した状態で作業
するが、それにもかかわらず、微量に含まれる酸素や窒
素により材料が酸化又は窒化する問題点があった。
【０００６】すなわち、精度のよい拡散係数を得るため
には、拡散界面２で成分の拡散が問題なく行われる必要
がある。拡散界面２における試料の表面が理想的に清浄
であれば、そうなるはずであるが、実際には試料表面は
反応しやすいガス成分（Ｌｉの場合には窒素）と化学反
応を起こし、表面に被膜を形成してしまうため、拡散は
なかなか理想的な形で進行しない。また、それ以前の問
題として、表面が被膜で覆われてしまうと、試料を融点
よりかなり高温に加熱しても、試料が表面まで完全に溶
融せず、拡散界面で両試料が融着しない現象が起こる。
には、拡散界面２で成分の拡散が問題なく行われる必要
がある。拡散界面２における試料の表面が理想的に清浄
であれば、そうなるはずであるが、実際には試料表面は
反応しやすいガス成分（Ｌｉの場合には窒素）と化学反
応を起こし、表面に被膜を形成してしまうため、拡散は
なかなか理想的な形で進行しない。また、それ以前の問
題として、表面が被膜で覆われてしまうと、試料を融点
よりかなり高温に加熱しても、試料が表面まで完全に溶
融せず、拡散界面で両試料が融着しない現象が起こる。
【０００７】なお、Ｌｉ（リチウム）以外でも、同様に
活性の高いＣｓ（セシウム），Ｉｎ（インジウム），Ｋ
（カリウム），Ｎａ（ナトリウム），Ｐ（リン），Ｒｂ
（ルビジウム），Ｉ（ヨウ素），Ｓｂ（アンチモン），
Ｔｌ（タリウム）等でも同様の問題が生じる。
活性の高いＣｓ（セシウム），Ｉｎ（インジウム），Ｋ
（カリウム），Ｎａ（ナトリウム），Ｐ（リン），Ｒｂ
（ルビジウム），Ｉ（ヨウ素），Ｓｂ（アンチモン），
Ｔｌ（タリウム）等でも同様の問題が生じる。
【０００８】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、リチ
ウムのような特に高活性の材料を処理する際に、酸化及
び窒化を大幅に抑制することができる高活性材料の処理
方法を提供することにある。
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、リチ
ウムのような特に高活性の材料を処理する際に、酸化及
び窒化を大幅に抑制することができる高活性材料の処理
方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、グロー
ブボックス内に高純度の不活性ガスを充填し、少なくと
も一部が開放した容器内で対象試料と同一の材料を昇温
して溶融させ、かつ対象試料を冷却しながら処理する、
ことを特徴とする高活性材料の処理方法が提供される。
ブボックス内に高純度の不活性ガスを充填し、少なくと
も一部が開放した容器内で対象試料と同一の材料を昇温
して溶融させ、かつ対象試料を冷却しながら処理する、
ことを特徴とする高活性材料の処理方法が提供される。
【００１０】上記本発明の方法によれば、グローブボッ
クス内に高純度の不活性ガス（例えば、高純度アルゴ
ン）を充填するので、グローブボックス内で、材料の調
整から容器封入までの処理を比較的容易にかつ確実に行
うことができる。また、少なくとも一部が開放した容器
内で対象試料と同一の材料を昇温して溶融させるので、
不活性ガスに微量に酸素や窒素が含まれる場合でも、対
象試料と同一の材料が昇温・溶融により活性が一層高ま
り、一種のゲッターとして微量の酸素，窒素と急速に反
応するので、不活性ガス中の酸素／窒素の濃度が下が
り、対象試料の酸化及び窒化を抑制する。更に、対象試
料を冷却しながら処理することにより、対象試料の活性
を抑制し、その酸化及び窒化を更に低減することができ
る。
クス内に高純度の不活性ガス（例えば、高純度アルゴ
ン）を充填するので、グローブボックス内で、材料の調
整から容器封入までの処理を比較的容易にかつ確実に行
うことができる。また、少なくとも一部が開放した容器
内で対象試料と同一の材料を昇温して溶融させるので、
不活性ガスに微量に酸素や窒素が含まれる場合でも、対
象試料と同一の材料が昇温・溶融により活性が一層高ま
り、一種のゲッターとして微量の酸素，窒素と急速に反
応するので、不活性ガス中の酸素／窒素の濃度が下が
り、対象試料の酸化及び窒化を抑制する。更に、対象試
料を冷却しながら処理することにより、対象試料の活性
を抑制し、その酸化及び窒化を更に低減することができ
る。
【００１１】すなわち、活性な材料の場合には、材料の
調整中に同じ材料を別の開放容器中で加熱・溶融し、そ
の状態を保持しておくことによって、グローブボックス
内の雰囲気を簡便に改善し、対象となっている材料の変
質を著しく低減することができる。また、材料の変質を
低減させるには、例えば液体窒素を流すことによって、
グローブボックス内の雰囲気温度を下げることも有効で
ある。
調整中に同じ材料を別の開放容器中で加熱・溶融し、そ
の状態を保持しておくことによって、グローブボックス
内の雰囲気を簡便に改善し、対象となっている材料の変
質を著しく低減することができる。また、材料の変質を
低減させるには、例えば液体窒素を流すことによって、
グローブボックス内の雰囲気温度を下げることも有効で
ある。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
図１は、本発明の処理方法を適用するグローブボックス
内の機器配置図である。この図に示すように、本発明の
処理方法を適用するために、グローブボックス２０内
に、ホットプレート２１、コールドプレート２２，２
３、温度センサー２４、溶接トーチ２５、及びポジショ
ナー２６を予め収容しておく。また、ホットプレート２
１上には、Ｌｉ溶融用容器２１ａを載せておく。
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
図１は、本発明の処理方法を適用するグローブボックス
内の機器配置図である。この図に示すように、本発明の
処理方法を適用するために、グローブボックス２０内
に、ホットプレート２１、コールドプレート２２，２
３、温度センサー２４、溶接トーチ２５、及びポジショ
ナー２６を予め収容しておく。また、ホットプレート２
１上には、Ｌｉ溶融用容器２１ａを載せておく。
【００１３】本発明の高活性材料の処理方法は、以下の
３つの工程からなる。 （１）まず、グローブボックス２０内の空気を不活性ガ
スで完全にパージした後、高純度の不活性ガスを充填す
る。この不活性ガスには、高純度アルゴンを用いるのが
よい。 （２）次に、Ｌｉ溶融用容器２１ａ内に対象試料（この
場合、Ｌｉ）の粉末を入れ、ホットプレート２１の温度
を上げて溶融状態にする。この容器２１ａは、少なくと
も一部が開放しており、溶融した分子が気相中のガスと
反応しやすくなっているのがよい。 （３）この状態で、対象試料をコールドプレート２２，
２３上で冷却しながら処理する。コールドプレート２
２，２３は、液体窒素等により間接的に十分に冷却し、
対象試料の反応性を低下させるようにする。なお、この
状態で対象試料に施す処理とは、試料１の保持容器３内
への格納、保持容器３の密封容器４内への封入等のグロ
ーブボックス内で行うすべての作業を意味する。
３つの工程からなる。 （１）まず、グローブボックス２０内の空気を不活性ガ
スで完全にパージした後、高純度の不活性ガスを充填す
る。この不活性ガスには、高純度アルゴンを用いるのが
よい。 （２）次に、Ｌｉ溶融用容器２１ａ内に対象試料（この
場合、Ｌｉ）の粉末を入れ、ホットプレート２１の温度
を上げて溶融状態にする。この容器２１ａは、少なくと
も一部が開放しており、溶融した分子が気相中のガスと
反応しやすくなっているのがよい。 （３）この状態で、対象試料をコールドプレート２２，
２３上で冷却しながら処理する。コールドプレート２
２，２３は、液体窒素等により間接的に十分に冷却し、
対象試料の反応性を低下させるようにする。なお、この
状態で対象試料に施す処理とは、試料１の保持容器３内
への格納、保持容器３の密封容器４内への封入等のグロ
ーブボックス内で行うすべての作業を意味する。
【００１４】図２は、グローブボックス内での処理の一
例として、封入容器の封入処理を模式的に示している。
この図で、（Ａ）は試料１を格納した保持容器３、
（Ｂ）は内部の減圧工程、（Ｃ）は溶接による封入工程
を示している。この図に示すように、この封入処理で
は、予め、試料１を内部に格納する耐熱金属製の容器部
材１１に中空円筒形の開口部１１ａを備え、かつこの中
空円筒形に隙間をもって嵌まる円筒面１２ａを有する蓋
部材１２を準備する。次いで、（Ｂ）に示すように蓋部
材１２で開口部１１ａを閉じ、その隙間から容器部材１
１の開口部１１ａから弾性のある排気管１３等を用いて
内部を所定の圧力まで減圧し、この状態のままで、
（Ｃ）に示すように開口部１１ａと円筒面１２ａとを外
部からＴＩＧ溶接、レーザ溶接、シーム溶接等で重ね溶
接１４して内部を封入する。
例として、封入容器の封入処理を模式的に示している。
この図で、（Ａ）は試料１を格納した保持容器３、
（Ｂ）は内部の減圧工程、（Ｃ）は溶接による封入工程
を示している。この図に示すように、この封入処理で
は、予め、試料１を内部に格納する耐熱金属製の容器部
材１１に中空円筒形の開口部１１ａを備え、かつこの中
空円筒形に隙間をもって嵌まる円筒面１２ａを有する蓋
部材１２を準備する。次いで、（Ｂ）に示すように蓋部
材１２で開口部１１ａを閉じ、その隙間から容器部材１
１の開口部１１ａから弾性のある排気管１３等を用いて
内部を所定の圧力まで減圧し、この状態のままで、
（Ｃ）に示すように開口部１１ａと円筒面１２ａとを外
部からＴＩＧ溶接、レーザ溶接、シーム溶接等で重ね溶
接１４して内部を封入する。
【００１５】
【実施例】次に、本発明の高活性材料の処理方法の適用
例を説明する。Ｌｉの同位体６Ｌｉ，７Ｌｉとこれらを
５０％づつ含む５０％Ｌｉを用いて、図３に示す試料を
同一のグローブボックス内で製作し、密封容器４内に封
入して同一条件（３００℃、５分間保持）で拡散試験を
実施した。このうち、試料１，２，３は従来の方法、試
料４，５，６は本発明の方法を適用した。従来の方法に
よる試料１は、７Ｌｉ側の界面は融着しておらず、６Ｌ
ｉの界面は融着したもののピンセットで引っ張ると容易
に離れてしまった。また、試料２は、ピンセットでは離
れず、目視でも界面が分からなかった。更に、試料３
は、２つの界面とも、ピンセットで引っ張ると容易に離
れてしまった。従って、Ｌｉの融点（１７９℃）よりも
相当高温まで加熱したにもかかわらず、試料の２／３が
融着しない結果となった。これに対して、本発明の方法
により試料４，５，６は、３本とも拡散界面で確実に融
着しており、界面での分離はできなかった。また、試料
の表面もきれいであり、窒化がほとんど生じていないこ
とが目視で確認できた。
例を説明する。Ｌｉの同位体６Ｌｉ，７Ｌｉとこれらを
５０％づつ含む５０％Ｌｉを用いて、図３に示す試料を
同一のグローブボックス内で製作し、密封容器４内に封
入して同一条件（３００℃、５分間保持）で拡散試験を
実施した。このうち、試料１，２，３は従来の方法、試
料４，５，６は本発明の方法を適用した。従来の方法に
よる試料１は、７Ｌｉ側の界面は融着しておらず、６Ｌ
ｉの界面は融着したもののピンセットで引っ張ると容易
に離れてしまった。また、試料２は、ピンセットでは離
れず、目視でも界面が分からなかった。更に、試料３
は、２つの界面とも、ピンセットで引っ張ると容易に離
れてしまった。従って、Ｌｉの融点（１７９℃）よりも
相当高温まで加熱したにもかかわらず、試料の２／３が
融着しない結果となった。これに対して、本発明の方法
により試料４，５，６は、３本とも拡散界面で確実に融
着しており、界面での分離はできなかった。また、試料
の表面もきれいであり、窒化がほとんど生じていないこ
とが目視で確認できた。
【００１６】上述したように本発明の方法によれば、グ
ローブボックス２０内に高純度の不活性ガス（例えば、
高純度アルゴン）を充填するので、グローブボックス２
０内で、材料の調整から容器封入までの処理を比較的容
易にかつ確実に行うことができる。また、少なくとも一
部が開放した容器２１ａ内で対象試料と同一の材料を昇
温して溶融させるので、不活性ガスに微量に酸素や窒素
が含まれる場合でも、対象試料と同一の材料が昇温・溶
融により活性が一層高まり、一種のゲッターとして微量
の酸素，窒素と急速に反応するので、不活性ガス中の酸
素／窒素の濃度が下がり、対象試料の酸化及び窒化を抑
制する。更に、対象試料を冷却しながら処理することに
より、対象試料の活性を抑制し、その酸化及び窒化を更
に低減することができる。
ローブボックス２０内に高純度の不活性ガス（例えば、
高純度アルゴン）を充填するので、グローブボックス２
０内で、材料の調整から容器封入までの処理を比較的容
易にかつ確実に行うことができる。また、少なくとも一
部が開放した容器２１ａ内で対象試料と同一の材料を昇
温して溶融させるので、不活性ガスに微量に酸素や窒素
が含まれる場合でも、対象試料と同一の材料が昇温・溶
融により活性が一層高まり、一種のゲッターとして微量
の酸素，窒素と急速に反応するので、不活性ガス中の酸
素／窒素の濃度が下がり、対象試料の酸化及び窒化を抑
制する。更に、対象試料を冷却しながら処理することに
より、対象試料の活性を抑制し、その酸化及び窒化を更
に低減することができる。
【００１７】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。例えば、上述した説明では、グロー
ブボックスを対象にしたが、その他の気密容器内でも本
発明をそのまま適用することができる。
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。例えば、上述した説明では、グロー
ブボックスを対象にしたが、その他の気密容器内でも本
発明をそのまま適用することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明の材料処理方法を適用することに
より、グローブボックス内での材料の容器への封入作業
が比較的容易にできるようになり、材料の活性度に関係
なく、あらゆる材料をグローブボックス内で容器に封入
し、その後グローブボックス外へ取り出すことによっ
て、各種の物性調査作業を容易に、かつ適切／高精度に
行うことが可能となる。すなわち、本発明の高活性材料
の処理方法は、リチウムのような特に高活性の材料を処
理する際に、酸化及び窒化を大幅に抑制することができ
る、等の優れた効果を有する。
より、グローブボックス内での材料の容器への封入作業
が比較的容易にできるようになり、材料の活性度に関係
なく、あらゆる材料をグローブボックス内で容器に封入
し、その後グローブボックス外へ取り出すことによっ
て、各種の物性調査作業を容易に、かつ適切／高精度に
行うことが可能となる。すなわち、本発明の高活性材料
の処理方法は、リチウムのような特に高活性の材料を処
理する際に、酸化及び窒化を大幅に抑制することができ
る、等の優れた効果を有する。
【図１】本発明の処理方法を適用するグローブボックス
内の機器配置図である。
内の機器配置図である。
【図２】本発明による封入容器の封入方法の模式図であ
る。
る。
【図３】本発明の実施例を示す図である。
【図４】従来の封入容器の模式図である。
１ 試料（高活性試料） １ａ 天然物 １ｂ 同位体 ２ 界面 ３ 保持容器 ３ａ 固定蓋 ３ｂ 可動蓋 ３ｃ 圧縮バネ ４ 密封容器 １１ 容器部材 １１ａ 開口部 １１ｂ 閉鎖部材 １２ 蓋部材 １２ａ 円筒面 １３ 排気管 １４ 重ね溶接 ２０ グローブボックス ２１ ホットプレート ２２，２３ コールドプレート ２４ 温度センサー ２５ 溶接トーチ ２６ ポジショナー
フロントページの続き (72)発明者 丹治 彰 東京都千代田区大手町２丁目２番１号 石 川島播磨重工業株式会社本社内 (72)発明者 伊丹 俊夫 北海道札幌市北区北10条西８丁目 北海道 大学 学内
Claims (1)
- 【請求項１】 グローブボックス内に高純度の不活性ガ
スを充填し、少なくとも一部が開放した容器内で対象試
料と同一の材料を昇温して溶融させ、かつ対象試料を冷
却しながら処理する、ことを特徴とする高活性材料の処
理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000156853A JP2001335858A (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 高活性材料の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000156853A JP2001335858A (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 高活性材料の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001335858A true JP2001335858A (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=18661575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000156853A Pending JP2001335858A (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 高活性材料の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001335858A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100509865B1 (ko) * | 2003-03-11 | 2005-08-22 | 주식회사 엘지화학 | 은 무전해 도금을 위한 표면 활성화 방법 |
-
2000
- 2000-05-26 JP JP2000156853A patent/JP2001335858A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100509865B1 (ko) * | 2003-03-11 | 2005-08-22 | 주식회사 엘지화학 | 은 무전해 도금을 위한 표면 활성화 방법 |
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