JP2001322825A - Method and device for manufacturing optical fiber preform - Google Patents
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用母材
の製造方法及び製造装置に関する。The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a preform for an optical fiber.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ファイバ母材を製造する装置は、チャ
ンバ内に配置されたバーナから酸水素火炎中に原料ガス
としてのＳｉＣｌ4 等を噴出し、加水分解反応によりガ
ラス微粒子を生成し、ターゲット棒下端に連続的に堆積
させるものである。2. Description of the Related Art In an apparatus for manufacturing an optical fiber preform, a burner arranged in a chamber blows out SiCl 4 or the like as a raw material gas into an oxyhydrogen flame, generates glass fine particles by a hydrolysis reaction, and generates a target. It is deposited continuously at the lower end of the rod.
【０００３】図１０は従来の光ファイバ用母材の製造方
法を適用した製造装置の概念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram of a manufacturing apparatus to which a conventional method for manufacturing a preform for optical fiber is applied.
【０００４】同図に示す製造装置は、排気管１が接続さ
れたチャンバ２と、チャンバ２内でターゲット棒３を鉛
直に保持し、ターゲット棒３の中心軸を回転軸として矢
印Ｒ方向に回転させながら矢印Ｕ方向に引上げる回転引
上げ機構４と、チャンバ２内の底部に配置されターゲッ
ト棒３の下端にガラス微粒子を吹き付けてスート５を堆
積させるバーナ６、７と、チャンバ２の上側に設けられ
空気導入口８が接続され、チャンバ２より上昇したスー
ト５を格納する上チャンバ９とで構成されたものであ
る。The manufacturing apparatus shown in FIG. 1 holds a chamber 2 to which an exhaust pipe 1 is connected, and holds a target rod 3 vertically in the chamber 2 and rotates the target rod 3 in a direction indicated by an arrow R about a central axis of the target rod 3 as a rotation axis. A rotating pull-up mechanism 4 for pulling up in the direction of arrow U, a burner 6, 7 disposed at the bottom of the chamber 2 and spraying glass particles on the lower end of the target rod 3 to deposit soot 5; An air inlet 8 is connected to the upper chamber 9 for storing the soot 5 raised from the chamber 2.
【０００５】ターゲット棒３を排気管１の上部より垂下
させ、ターゲット棒３の下端に屈折率制御用のドーパン
トを含む原料ガスＳｉＣｌ4 をバーナ６より噴出させ、
酸水素火炎中６ａで生成されるガラス微粒子を堆積させ
る。また、バーナ６の上部に配置されたバーナ７より原
料ガスＳｉＣｌ4 のみを噴出させ、酸水素火炎７ｂ中で
生成されるガラス微粒子を、ガラス微粒子の集合体であ
るスート５の外層に堆積させる。このスート５の堆積時
にターゲット棒３はターゲット棒３の中心軸を回転軸と
して矢印Ｒ方向に回転し、スート５の成長に応じてター
ゲット棒３を鉛直（矢印Ｕ方向）に引き上げることで光
ファイバ用母材が得られる。The target rod 3 is hung down from the upper part of the exhaust pipe 1, and a source gas SiCl 4 containing a dopant for controlling the refractive index is jetted from the burner 6 at the lower end of the target rod 3.
The glass particles generated in the oxyhydrogen flame 6a are deposited. Further, only the source gas SiCl 4 is ejected from the burner 7 disposed above the burner 6, and the glass fine particles generated in the oxyhydrogen flame 7 b are deposited on the outer layer of the soot 5 which is an aggregate of the glass fine particles. When the soot 5 is deposited, the target rod 3 rotates in the direction of arrow R with the center axis of the target rod 3 as the rotation axis, and the target rod 3 is pulled up vertically (the direction of arrow U) according to the growth of the soot 5 so that the optical fiber A base material is obtained.
【０００６】このような光ファイバ用母材を製造する工
程において、不純物の混入を防止するため、ターゲット
棒３及びバーナ６、７は密閉されたチャンバ２、９内に
配置されている。In the process of manufacturing such an optical fiber preform, the target rod 3 and the burners 6 and 7 are arranged in closed chambers 2 and 9 in order to prevent contamination of impurities.
【０００７】チャンバ２に接続された排気管１からは、
スート５として堆積しなかった余剰のガラス微粒子が反
応時に生成されるＨＣｌガスと共に排出される。From the exhaust pipe 1 connected to the chamber 2,
Excess glass particles not deposited as soot 5 are discharged together with HCl gas generated during the reaction.
【０００８】バーナ６、７から噴出される酸水素の燃焼
により熱上昇対流で余剰ガラス微粒子が上昇し、上チャ
ンバ９の壁面に付着することを防止するために清浄な空
気を上チャンバ９の空気導入口８より取り入れている。
また、スート５を安定して製造するために、チャンバ
２、９内の圧力を一定に保つ必要がある。[0008] In order to prevent excess glass particles from rising due to the heat convection caused by the combustion of the oxyhydrogen ejected from the burners 6 and 7 and sticking to the wall surface of the upper chamber 9, clean air is supplied to the upper chamber 9. Introduced from inlet 8.
In addition, in order to manufacture the soot 5 stably, it is necessary to keep the pressure in the chambers 2 and 9 constant.
【０００９】そこで、排気管１から排出されるガス量を
制御する制御弁（図示せず。）が取付けられている。Therefore, a control valve (not shown) for controlling the amount of gas discharged from the exhaust pipe 1 is provided.
【００１０】一方、光ファイバ用母材の価格を下げるに
は、いかに太径長尺の光ファイバ用母材を短時間に製造
できるかにかかっている。その方策としてバーナ６、７
から噴出される原料ガス及び酸水素の量を増やし、単位
時間当たりのスート堆積量を増やす必要がある。[0010] On the other hand, to reduce the price of the optical fiber preform depends on how a large diameter and long optical fiber preform can be manufactured in a short time. Burners 6, 7 as a measure
It is necessary to increase the amount of raw material gas and oxyhydrogen spouted from the fuel cell to increase the soot deposition amount per unit time.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の光フ
ァイバ母材の製造装置は、バーナ６、７での燃焼により
熱上昇対流が生じチャンバ２、９内の圧力が不安定にな
り、バーナ６、７自体の火炎６ａ、７ａの揺らぎが増大
する。このため、光ファイバの特性の一つである比屈折
率差の長手方向におけるばらつきが増大し、品質低下を
まねいてしまう。In the conventional optical fiber preform manufacturing apparatus, however, the combustion in the burners 6 and 7 causes heat convection and the pressure in the chambers 2 and 9 becomes unstable, and the burner 6 , 7 themselves have increased fluctuation of the flames 6a, 7a. For this reason, the variation in the relative refractive index difference, which is one of the characteristics of the optical fiber, in the longitudinal direction increases, which leads to quality deterioration.
【００１２】また、熱上昇対流が増大することは、スー
ト５として堆積しなかった余剰のガラス微粒子が直接排
気管１へ導かれず上昇対流に多く含まれ、上チャンバ９
内壁面に付着し、堆積中にその一部が落下しスート５の
表面に付着する。すなわち、後工程としてスート５を透
明ガラス化したとき気泡として生じ、光ファイバの品質
低下をまねいてしまうという問題があった。The increase in the heat rising convection means that the excess glass particles not deposited as the soot 5 are not directly guided to the exhaust pipe 1 but are largely contained in the rising convection, and the upper chamber 9
It adheres to the inner wall surface, a part of which falls during deposition, and adheres to the surface of the soot 5. That is, there is a problem that when the soot 5 is made into a transparent glass as a post-process, the soot 5 is generated as air bubbles, which leads to deterioration of the quality of the optical fiber.
【００１３】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、長手方向の比屈折率差が小さく、かつ、気泡のない
光ファイバ用母材の製造方法及び製造装置を提供するこ
とにある。It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and to provide a method and an apparatus for manufacturing a preform for an optical fiber having a small relative refractive index difference in a longitudinal direction and having no bubbles.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光ファイバ用母材の製造方法は、チャンバ内
のターゲット棒を鉛直に保持し、ターゲット棒の中心軸
を回転軸として回転させながら引上げると共に、チャン
バ内に設けられたバーナでターゲット棒の下端にガラス
微粒子を吹き付けてスートを堆積させ、チャンバより上
昇したスートをチャンバの上に設けられた上チャンバに
格納する光ファイバ用母材の製造方法において、ガラス
微粒子堆積後のスートを、チャンバの最大内径より小さ
い内径の丸穴若しくは円筒内を通過させた後上チャンバ
に格納するものである。In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing a preform for an optical fiber, comprising: holding a target rod in a chamber vertically, and rotating the target rod in a center axis of the target rod as a rotation axis. While pulling up, the soot is deposited by spraying glass particles on the lower end of the target rod with a burner provided in the chamber, and the soot rising from the chamber is stored in the upper chamber provided above the chamber. In the method of manufacturing the base material, the soot after the deposition of the glass particles is stored in the upper chamber after passing through a round hole or a cylinder having an inner diameter smaller than the maximum inner diameter of the chamber.
【００１５】本光ファイバ用母材の製造装置は、排気管
が接続されたチャンバと、チャンバ内のターゲット棒を
鉛直に保持し、ターゲット棒の中心軸を回転軸として回
転させながら引上げる回転引上げ機構と、チャンバ内の
底部に配置されターゲット棒の下端にガラス微粒子を吹
き付けてスートを堆積させるバーナと、チャンバの上側
に設けられチャンバより上昇したスートを格納する上チ
ャンバとを備えた光ファイバ用母材の製造装置におい
て、チャンバと上チャンバとの間にガラス微粒子堆積後
のスートが通過でき、かつチャンバの最大内径より小さ
い内径の丸穴を有する仕切板が設けられているものであ
る。The apparatus for manufacturing a preform for an optical fiber according to the present invention comprises a chamber to which an exhaust pipe is connected, a target rod in the chamber held vertically, and a rotary pull-up which is rotated while using the center axis of the target rod as a rotation axis. A mechanism, a burner that is disposed at the bottom of the chamber and sprays glass particles to the lower end of the target rod to deposit soot, and an upper chamber that is provided above the chamber and stores the soot elevated from the chamber In the base material manufacturing apparatus, a partition plate having a round hole with an inner diameter smaller than the maximum inner diameter of the chamber is provided between the chamber and the upper chamber so that the soot after the deposition of the glass fine particles can pass therethrough.
【００１６】上記構成に加え本発明の光ファイバ用母材
の製造装置は、仕切り板の丸穴の断面積をＳ１とし、ガ
ラス微粒子堆積後のスートの断面積をＳ２としたとき
に、両断面積の差Ｓ１−Ｓ２は数１式In addition to the above structure, the optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention has a structure in which the cross-sectional area of the round hole of the partition plate is S1 and the cross-sectional area of the soot after the deposition of the glass particles is S2. The difference S1-S2 is
【００１７】[0017]
【数１】１０ｃｍ2 ＜Ｓ１−Ｓ２＜２００ｃｍ2 を満足するのが好ましい。It is preferable to satisfy 10 cm 2 <S1−S2 <200 cm 2 .
【００１８】本発明の光ファイバ用母材の製造装置は、
排気管が接続されたチャンバと、チャンバ内のターゲッ
ト棒を鉛直に保持し、ターゲット棒の中心軸を回転軸と
して回転させながら引上げる回転引上げ機構と、チャン
バ内の底部に配置されターゲット棒の下端にガラス微粒
子を吹き付けてスートを堆積させるバーナと、チャンバ
の上側に設けられチャンバより上昇したスートを格納す
る上チャンバとを備えた光ファイバ用母材の製造装置に
おいて、チャンバは高さ方向に断面形状が変化し、上チ
ャンバはチャンバの最大内径より小さく、かつガラス微
粒子堆積後のスートが通過できる内径を有する円筒状で
あるものである。The optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention comprises:
A chamber to which an exhaust pipe is connected, a rotary pulling mechanism that vertically holds the target rod in the chamber and pulls up while rotating about the center axis of the target rod as a rotation axis, and a lower end of the target rod disposed at the bottom in the chamber In an apparatus for manufacturing a preform for optical fiber, comprising: a burner for spraying glass particles onto a soot to deposit soot; and an upper chamber provided above the chamber and storing soot elevated from the chamber, the chamber has a cross section in the height direction. The shape of the upper chamber is changed, and the upper chamber is a cylinder having a smaller inner diameter than the maximum inner diameter of the chamber and having an inner diameter through which soot after deposition of the glass particles can pass.
【００１９】上記構成に加え本発明の光ファイバ用母材
の製造装置は、上チャンバの断面積をＳ３とし、ガラス
微粒子堆積後のスートの断面積をＳ２としたときに両断
面積の差Ｓ３−Ｓ２は数２式In addition to the above structure, the optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention has a difference S3--3 between the cross-sectional area of the upper chamber and the cross-sectional area of the soot after the deposition of the glass fine particles. S2 is Equation 2
【００２０】[0020]
【数２】１０ｃｍ2 ＜Ｓ３−Ｓ２＜２００ｃｍ2 を満足するのが好ましい。It is preferable to satisfy 10 cm 2 <S3-S2 <200 cm 2 .
【００２１】ここで、長手方向の比屈折率差のバラツキ
は、火炎の揺らぎによるものであり、気泡は余剰ガラス
微粒子が効率よく排気されないためであり、その主原因
はバーナによる熱上昇対流によるものである。すなわ
ち、いかに熱上昇対流を抑え、効率よく排気させるかが
重要となる。Here, the variation in the relative refractive index difference in the longitudinal direction is due to the fluctuation of the flame, and the bubbles are due to the fact that surplus glass particles are not efficiently exhausted. It is. That is, it is important how to suppress the heat convection and exhaust the air efficiently.
【００２２】そこで、本発明によれば、排気管とチャン
バとの接続部の断面積がチャンバの最大内径より小さく
なるようにする、すなわち、チャンバ形状が高さ方向
に一定な筒状の場合には仕切板を用いるか、チャンバ
の形状が高さ方向に断面形状が変化し、上チャンバが筒
状の場合には上チャンバをチャンバの最大内径より小さ
い内径の円筒状にする、ことにより、バーナ火炎の上昇
対流を抑止することができる。すなわち、仕切板を用い
る場合は、仕切板の位置をチャンバ内の排気管の上に設
けるのが好ましい。Therefore, according to the present invention, the cross-sectional area of the connecting portion between the exhaust pipe and the chamber is made smaller than the maximum inner diameter of the chamber. By using a partition plate, or when the shape of the chamber changes in cross-section in the height direction and the upper chamber is cylindrical, the upper chamber is made into a cylindrical shape having an inner diameter smaller than the maximum inner diameter of the chamber. The upward convection of the flame can be suppressed. That is, when a partition plate is used, the position of the partition plate is preferably provided on the exhaust pipe in the chamber.
【００２３】ここで、光ファイバ用母材を製造する上で
スート外径として現実的な値はφ１００ｍｍ〜φ２００
ｍｍ程度である。ガラス微粒子堆積後のスートの断面積
をＳ２（ｃｍ2 ）とし、仕切板の穴の断面積をＳ１（ｃ
ｍ2 ）とし、仕切板を用いない場合の上チャンバの断面
積をＳ３（ｃｍ2 ）とすると、数３式を満足させる必要
がある。Here, a practical value of the soot outer diameter in manufacturing the optical fiber preform is from φ100 mm to φ200.
mm. The cross-sectional area of the soot after the deposition of the glass particles is S2 (cm 2 ), and the cross-sectional area of the hole of the partition plate is S1 (c
m 2 ), and assuming that the sectional area of the upper chamber when no partition plate is used is S3 (cm 2 ), it is necessary to satisfy Expression 3.
【００２４】[0024]
【数３】Ａｃｍ2 ＜Ｓ１−Ｓ２（若しくはＳ３−Ｓ２）
＜Ｂｃｍ2 スート外径が仕切板もしくはチャンバの内壁に接触しな
いようにするためには、隙間（片側で３ｍｍ程度）が必
要であり、Ａの値はこの隙間の値で決定される。Acm 2 <S1-S2 (or S3-S2)
A gap (about 3 mm on one side) is required to prevent the outer diameter of Bcm 2 soot from contacting the partition plate or the inner wall of the chamber, and the value of A is determined by the value of this gap.
【００２５】すなわち、スート外径φが１００ｍｍのと
きＡは数４式のようになる。That is, when the soot outer diameter φ is 100 mm, A is given by the following equation (4).
【００２６】[0026]
【数４】 Ａ＝π（１０．６2 −１０2 ）／４〜１０ｃｍ2 Ｂの値は、上昇対流を抑止できる最大の値であり、最適
条件で述べる。## EQU4 ## The value of A = π (10.6 2 −10 2 ) / 4 to 10 cm 2 B is the maximum value that can suppress the rising convection, and will be described under the optimum condition.
【００２７】[0027]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
【００２８】図１は本発明の光ファイバ用母材の製造方
法を適用した製造装置の一実施の形態を示す正面断面図
である。尚、図１０に示した従来例と同様の部材には共
通の符号を用いた。FIG. 1 is a front sectional view showing an embodiment of a manufacturing apparatus to which the method for manufacturing a preform for an optical fiber according to the present invention is applied. The same members as those of the conventional example shown in FIG.
【００２９】本製造装置は、排気管１が接続されたチャ
ンバ２と、チャンバ２内のターゲット棒３を鉛直に保持
し、ターゲット棒３の中心軸を回転軸として矢印Ｒ方向
に回転させながら矢印Ｕ方向に引上げる回転引上げ機構
４と、チャンバ２内の底部に配置されターゲット棒３の
下端にガラス微粒子を吹き付けてスート５を堆積させる
バーナ６、７と、チャンバ２の上側に設けられチャンバ
２より上昇したスート５を格納する上チャンバ１０と、
チャンバ２と上チャンバ１０との間に設けられガラス微
粒子堆積後のスート５が通過でき、かつチャンバ２の最
大内径より小さい内径の丸穴１１ａを有する仕切板１１
とで構成されたものである。This manufacturing apparatus holds the chamber 2 to which the exhaust pipe 1 is connected and the target rod 3 in the chamber 2 vertically, and rotates the target rod 3 in the direction of arrow R with the center axis of the target rod 3 as the rotation axis. A rotary pulling mechanism 4 for pulling up in the U direction, burners 6 and 7 disposed at the bottom of the chamber 2 and spraying glass particles on the lower end of the target rod 3 to deposit soot 5; An upper chamber 10 for storing the raised soot 5;
A partition plate 11 provided between the chamber 2 and the upper chamber 10 and having a round hole 11 a having an inner diameter smaller than the maximum inner diameter of the chamber 2, through which the soot 5 after deposition of the glass fine particles can pass.
It is composed of
【００３０】このような製造装置を用いた光ファイバ用
母材の製造について述べる。The production of an optical fiber preform using such a production apparatus will be described.
【００３１】ターゲット棒３をチャンバ２の上部より垂
下させ、ターゲット棒３の下端に、屈折率制御用ドーパ
ントを含む原料ガスＳｉＣｌ4 をバーナ６より噴出さ
せ、酸水素火炎６ａ中で生成されるガラス微粒子を堆積
させる。また、バーナ６の上部に配置されたバーナ７よ
り原料ガスＳｉＣｌ4 のみを噴出させ、酸水素火炎７ａ
中で生成されるガラス微粒子を前述したガラス微粒子の
集合体であるスート５の外層に堆積させる。このスート
堆積時にターゲット棒３は中心軸を回転軸として矢印Ｒ
方向に回転し、スート５の成長に応じてターゲット棒３
を上方（矢印Ｕ方向）に引き上げることにより、光ファ
イバ用母材が得られる。The target rod 3 is hung down from the upper part of the chamber 2, and a source gas SiCl 4 containing a dopant for controlling the refractive index is jetted from the burner 6 to the lower end of the target rod 3, and the glass generated in the oxyhydrogen flame 6 a Deposit fine particles. Further, only the source gas SiCl 4 is jetted from the burner 7 disposed above the burner 6 to generate an oxyhydrogen flame 7a.
The glass fine particles generated therein are deposited on the outer layer of the soot 5 which is an aggregate of the above glass fine particles. At the time of this soot deposition, the target rod 3 uses the central axis as a rotation axis and an arrow R
The target rod 3 according to the growth of the soot 5
Is pulled upward (in the direction of the arrow U) to obtain an optical fiber preform.
【００３２】ここで、光ファイバ母材を製造する工程に
おいて、不純物の混入を防止するため、ターゲット棒
３、バーナ６、７は密閉されたチャンバ２及び上チャン
バ１０内に配置され、スート５の成長と共にチャンバ２
の上部より上昇したスート５が上チャンバ１０内に格納
される。チャンバ２には排気管１が接続されており、ス
ートとして堆積しなかった余剰のガラス微粒子が反応時
に生成されるＨＣｌガスとともに排出される。Here, in the process of manufacturing the optical fiber preform, the target rod 3, the burners 6, 7 are placed in the closed chamber 2 and the upper chamber 10 to prevent impurities from being mixed, and the soot 5 Chamber 2 with growth
The soot 5 rising from the upper part of the upper chamber 10 is stored in the upper chamber 10. An exhaust pipe 1 is connected to the chamber 2, and surplus glass particles not deposited as soot are discharged together with HCl gas generated during the reaction.
【００３３】チャンバ１０は筒状形状を有し、バーナ
６、７の燃焼による熱上昇対流を防止するための仕切板
１１の位置は排気管１の上面に接する部分にある。The chamber 10 has a cylindrical shape, and the position of the partition plate 11 for preventing the heat convection caused by the combustion of the burners 6 and 7 is located at a portion in contact with the upper surface of the exhaust pipe 1.
【００３４】図２は図１に示した製造装置のＡ−Ａ線断
面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【００３５】仕切板１１の中央部には外径φｄ1 のスー
ト５が通過できる内径φｄ2 の丸穴１１ａが形成されて
いる。仕切板１１の丸穴１１ａとスート５の外径とで形
成される隙間１２の断面積Ｓ１−Ｓ２は数５式で表され
る。[0035] The central portion of the partition plate 11 round holes 11a of the inner diameter .phi.d 2 soot 5 of outer diameter .phi.d 1 can pass is formed. The cross-sectional area S1-S2 of the gap 12 formed by the round hole 11a of the partition plate 11 and the outer diameter of the soot 5 is expressed by Formula 5.
【００３６】[0036]
【数５】Ｓ１−Ｓ２＝π（φｄ2 2 −φｄ1 2 ）／４ このような製造装置を用いることにより、長手方向の比
屈折率差が小さく、かつ、気泡のない光ファイバ用母材
が得られる。また、本製造装置は従来の製造装置のチャ
ンバ２を流用することができるメリットがある。By using Equation 5] S1-S2 = π (φd 2 2 -φd 1 2) / 4 this manufacturing apparatus, the longitudinal direction of the relative refractive index difference is small and preform for bubble-free optical fiber Is obtained. Further, the present manufacturing apparatus has an advantage that the chamber 2 of the conventional manufacturing apparatus can be used.
【００３７】図３は本発明の光ファイバ用母材の製造方
法を適用した製造装置の他の実施の形態を示す正面断面
図である。図４は図３に示した製造装置のＢ−Ｂ線断面
図である。FIG. 3 is a front sectional view showing another embodiment of the manufacturing apparatus to which the method of manufacturing the optical fiber preform according to the present invention is applied. FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【００３８】図１に示した実施の形態との相違点は、仕
切板がなく、上チャンバの形状そのものが仕切板の機能
を有する点である。The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that there is no partition plate, and the shape of the upper chamber itself has the function of the partition plate.
【００３９】すなわち、本製造装置は、排気管１が接続
され、高さ方向に断面形状が変化する（増加し減少す
る）チャンバ１３と、チャンバ１３内のターゲット棒３
を鉛直に保持し、ターゲット棒３の中心軸を回転軸とし
て矢印Ｒ方向に回転させながら矢印Ｕ方向に引上げる回
転引上げ機構４と、チャンバ１３内の底部に配置されタ
ーゲット棒３の下端にガラス微粒子を吹き付けてスート
５を堆積させるバーナ６、７と、チャンバ１３の上側に
設けられチャンバ１３より上昇したスート５を格納する
と共に、チャンバ１３の最大内径より小さく、かつガラ
ス微粒子堆積後のスート５が通過できる内径を有する円
筒状の上チャンバ１４とで構成されたものである。That is, in this manufacturing apparatus, the exhaust pipe 1 is connected, and the chamber 13 whose sectional shape changes (increases and decreases) in the height direction, and the target rod 3 in the chamber 13
And a rotation pulling mechanism 4 that pulls up in the direction of arrow U while rotating in the direction of arrow R with the center axis of the target rod 3 as the rotation axis, and a glass disposed at the lower end of the target rod 3 in the chamber 13. Burners 6 and 7 for spraying fine particles to deposit soot 5 and soot 5 provided above chamber 13 and housed above chamber 13 are stored, and are smaller than the maximum inner diameter of chamber 13 and soot 5 after glass fine particles are deposited. And a cylindrical upper chamber 14 having an inner diameter capable of passing through.
【００４０】上チャンバ１４の内径φｄ3 は、外径φｄ
1 のスート５が通過できるように数６式を満足する必要
がある。The inner diameter φd 3 of the upper chamber 14 is equal to the outer diameter φd
Equation 6 needs to be satisfied so that one soot 5 can pass.
【００４１】[0041]
【数６】φｄ3 ＞φｄ1 円筒状の上チャンバ１４とスート５との間に形成される
隙間１５の断面積Ｓ３−Ｓ２は数７式で表される。Φd 3 > φd 1 The cross-sectional area S3-S2 of the gap 15 formed between the cylindrical upper chamber 14 and the soot 5 is expressed by the following equation (7).
【００４２】[0042]
【数７】Ｓ３−Ｓ２＝π（φｄ3 2 −φｄ1 2 ）／４ このような製造装置においても図１に示した製造装置と
同様の効果が得られる。Equation 7] S3-S2 = π (φd 3 2 -φd 1 2) / 4 the same effect as the manufacturing apparatus is also shown in FIG. 1 in such a production device is obtained.
【００４３】図５は本発明の光ファイバ用母材の製造方
法を適用した製造装置の他の実施の形態を示す正面断面
図である。図６は図５に示した製造装置のＣ−Ｃ線断面
図である。FIG. 5 is a front sectional view showing another embodiment of the manufacturing apparatus to which the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention is applied. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line CC of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【００４４】本製造装置は図１に示した実施の形態と、
図２に示した実施の形態とを合わせた点である。This manufacturing apparatus is different from the embodiment shown in FIG.
This is a combination of the embodiment shown in FIG.
【００４５】すなわち、本製造装置は、排気管１が接続
されたチャンバ２と、チャンバ２内のターゲット棒３を
鉛直に保持し、ターゲット棒３の中心軸を回転軸として
矢印Ｒ方向に回転させながら矢印Ｕ方向に引上げる回転
引上げ機構４と、チャンバ２内の底部に配置されターゲ
ット棒３の下端にガラス微粒子を吹き付けてスート５を
堆積させるバーナ６、７と、チャンバ２の上側に設けら
れチャンバ２より上昇したスート５を格納すると共に、
チャンバ２の最大内径より小さく、かつガラス微粒子堆
積後のスート５が通過できる内径を有する円筒状の上チ
ャンバ１４と、チャンバ２と上チャンバ１４との間に設
けられガラス微粒子堆積後のスート５が通過でき、かつ
チャンバ２の最大内径より小さい内径の丸穴１１ａを有
する仕切板１１とで構成されたものである。That is, the present manufacturing apparatus holds the chamber 2 to which the exhaust pipe 1 is connected and the target rod 3 in the chamber 2 vertically, and rotates the target rod 3 in the direction of arrow R with the center axis of the target rod 3 as the rotation axis. A rotating pull-up mechanism 4 that pulls up soot 5 in the direction of arrow U, burners 6 and 7 that are arranged at the bottom of the chamber 2 and spray soot 5 on the lower end of the target rod 3 to deposit soot 5, and provided above the chamber 2. While storing the soot 5 raised from the chamber 2,
A cylindrical upper chamber 14 smaller than the maximum inner diameter of the chamber 2 and having an inner diameter through which the soot 5 after the deposition of the glass fine particles can pass; and a soot 5 provided between the chamber 2 and the upper chamber 14 after the deposition of the glass fine particles. And a partition plate 11 having a round hole 11 a having an inner diameter smaller than the maximum inner diameter of the chamber 2.
【００４６】上チャンバ１４の内径φｄ3 は、外径φｄ
1 のスート５が通過できるように数６式を満足する必要
がある。The inner diameter φd 3 of the upper chamber 14 is equal to the outer diameter φd
Equation 6 needs to be satisfied so that one soot 5 can pass.
【００４７】円筒状の上チャンバ１４とスート５との間
に形成される隙間１６の断面積Ｓ３−Ｓ２は数７式で表
される。The cross-sectional area S3-S2 of the gap 16 formed between the cylindrical upper chamber 14 and the soot 5 is expressed by the following equation (7).
【００４８】このような製造装置においても図１に示し
た製造装置と同様の効果が得られる。In such a manufacturing apparatus, the same effect as that of the manufacturing apparatus shown in FIG. 1 can be obtained.
【００４９】（最適条件）図１に示した製造装置におい
て、バーナに屈折率制御用ドーパントＧｅＣｌ4を含む
原料ガスＳｉＣｌ4 を２ｇ／分、Ｈ2 ：８ＳＬＭ、
Ｏ2 ：１６ＳＬＭを流し、バーナにはＳｉＣｌ4 ：１５
ｇ／分、Ｈ2 ：８０ＳＬＭ、Ｏ2 ：８０ＳＬＭを流し、
スート５を堆積させた。(Optimal conditions) In the manufacturing apparatus shown in FIG. 1, a source gas SiCl 4 containing a refractive index controlling dopant GeCl 4 was supplied to a burner at 2 g / min, H 2 : 8 SLM,
O 2 : 16 SLM is flowed, and SiCl 4 : 15 is supplied to the burner.
g / min, H 2: 80SLM, O 2 : flowing 80SLM,
Soot 5 was deposited.
【００５０】このとき、バーナ６、７の火炎６ａ、７ａ
を図示しないＣＣＤカメラで撮影し、コンピュータで画
像処理することにより火炎６ａ、７ａの振れ幅を測定し
た。At this time, the flames 6a, 7a of the burners 6, 7
Was photographed by a CCD camera (not shown), and image processing was performed by a computer to measure the swing width of the flames 6a and 7a.
【００５１】図７は仕切板とスートとの間の隙間の断面
積と火炎の振れ幅との関係を示す図であり、横軸が隙間
の断面積（Ｓ１−Ｓ２）軸を示し、縦軸が火炎の振れ幅
軸を示している。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the sectional area of the gap between the partition plate and the soot and the swing width of the flame. The horizontal axis indicates the sectional area (S1-S2) axis of the gap, and the vertical axis indicates the axis. Indicates the flame swing width axis.
【００５２】すなわち、同図はスート外径φ１００ｍ
ｍ、φ１５０ｍｍ、φ２００ｍｍのときの仕切板とスー
トとの間の隙間の断面積（Ｓ１−Ｓ２）を変化させたと
きの火炎の振れ幅を示す図である。That is, the figure shows a soot outer diameter of 100 m.
It is a figure which shows the swing width of the flame when changing the cross-sectional area (S1-S2) of the clearance gap between a partition plate and a soot at m, (phi) 150mm, and (phi) 200mm.
【００５３】上述した方法で製造したスートを脱ＯＨ処
理した後、透明ガラス化させ長手方向の比屈折率差を１
０点測定し、その（ｍａｘ−ｍｉｎ）値が火炎の振れ幅
との関係を図８に示す。After the soot produced by the above-mentioned method is subjected to deOH treatment, it is made vitreous and the relative refractive index difference in the longitudinal direction is reduced to 1%.
FIG. 8 shows the relationship between the (max-min) value measured at zero point and the flame swing width.
【００５４】図８は火炎の振れ幅と比屈折率差との関係
を示す図であり、横軸が火炎の振れ幅軸を示し、縦軸が
比屈折率差軸を示している。FIG. 8 is a graph showing the relationship between the flame deflection width and the relative refractive index difference. The horizontal axis indicates the flame deflection width axis, and the vertical axis indicates the relative refractive index difference axis.
【００５５】図７及び図８より、仕切板１１の丸穴１１
ａとスート５との間の隙間１２の断面積（Ｓ１−Ｓ２）
が２００ｍｍ2 以下であれば火炎６ａ、７ａの振れ幅が
１．０ｍｍ以下となり、比屈折率差は０．０１％以下と
なる。7 and 8, the round hole 11 of the partition plate 11 is shown.
Sectional area of gap 12 between a and soot 5 (S1-S2)
Is 200 mm 2 or less, the deflection width of the flames 6 a and 7 a becomes 1.0 mm or less, and the relative refractive index difference becomes 0.01% or less.
【００５６】スート５の外径φが１００ｍｍ、１５０ｍ
ｍ、２００ｍｍのいずれの場合も火炎６ａ、７ａの振れ
量が１．０ｍｍ以上のとき、余剰ガラス微粒子が熱上昇
対流により舞い上がり、仕切板１１の丸穴１１ａ及び上
チャンバ１０の内壁面に多く付着した。この付着量が多
い場合、堆積中に一部がはがれ落下した。スート堆積中
に付着物がはがれ落下した光ファイバ用母材は、脱ＯＨ
処理透明ガラス化してみると気泡が数個確認できた。The outer diameter φ of the soot 5 is 100 mm, 150 m
In both cases of m and 200 mm, when the deflection amount of the flames 6 a and 7 a is 1.0 mm or more, the excess glass fine particles soar up due to heat convection and adhere to the round hole 11 a of the partition plate 11 and the inner wall surface of the upper chamber 10. did. When the amount of adhesion was large, a part was peeled off during deposition. During the soot deposition, the preform for optical fiber that was peeled off and dropped
When the treated glass was turned into a transparent glass, several bubbles could be confirmed.
【００５７】また、仕切板１１の位置を排気管１の上面
の位置から５０、１００ｍｍ上に取付けた場合、排気管
１の上面位置に取付けたときと比較すると、火炎６ａ、
７ａの振れ幅が若干大きくなり、かつ仕切板１１の丸穴
１１ａ及び上チャンバ１０の内壁面に付着する量が大幅
に増加した。When the position of the partition plate 11 is set at 50 or 100 mm above the position of the upper surface of the exhaust pipe 1, the flame 6a,
The swing width of 7a was slightly increased, and the amount of the sticking to the round hole 11a of the partition plate 11 and the inner wall surface of the upper chamber 10 was greatly increased.
【００５８】したがって熱上昇対流を抑制し、余剰ガラ
ス微粒子を効率よく排気するための仕切板１１の位置は
排気管１の上面位置が最良である。Therefore, the best position of the partition plate 11 for suppressing the heat convection and efficiently exhausting the excessive glass particles is the upper surface of the exhaust pipe 1.
【００５９】ここで、上述した実施の形態ではチャンバ
の形状が略有蓋有底の円筒状、丸底フラスコ状及び合成
した形状の場合について説明したが、本発明はこれに限
定されるものではない。すなわち、Ｓ１−Ｓ２（Ｓ３−
Ｓ２）が１０ｃｍ2 より大きく、２００ｃｍ2 未満であ
れば三角フラスコ状や徳利状等他の形状であってもよ
い。さらに、図１に示した実施の形態では、チャンバと
仕切板とを別個のものとして示したが、仕切板とチャン
バとが一体構造となっていてもよい。Here, in the above-described embodiment, the case where the shape of the chamber is a cylindrical shape having a substantially closed bottom and a bottom, a round bottom flask, and a combined shape has been described, but the present invention is not limited to this. . That is, S1-S2 (S3-
S2) is greater than 10 cm 2, may be a conical flask-like or liquor bottle shaped like another shape if it is less than 200 cm 2. Further, in the embodiment shown in FIG. 1, the chamber and the partition plate are shown as being separate from each other, but the partition plate and the chamber may be integrated.
【００６０】また、本実施の形態では光ファイバ用母材
の製造工程の中でコアスートを製造する場合について説
明したが、後工程でコアスート（光ファイバ用母材）を
透明ガラス化した後さらに、原料ガスＳｉＣｌ4 のみを
透明ガラス母材に吹き付け、さらにクラッド部を堆積さ
せる外付スート堆積工程があるが、この外付スート堆積
工程においても本発明を適用することができる。この場
合の効果は火炎が安定することにより、収率（単位時間
当りのスート堆積量／単位時間当りの原料ガス量）が増
加する。また、余剰スートの上昇対流が抑止できること
により、気泡の低減を図ることができる。In this embodiment, the case where the core soot is manufactured in the manufacturing process of the optical fiber base material has been described. There is an external soot deposition step of spraying only the source gas SiCl 4 onto the transparent glass base material and further depositing a clad portion. The present invention can also be applied to this external soot deposition step. The effect in this case is that the yield (the amount of soot deposited per unit time / the amount of source gas per unit time) increases because the flame is stabilized. In addition, since the rising convection of the excess soot can be suppressed, it is possible to reduce bubbles.
【００６１】図９は本発明の技術により製造したスート
の比屈折率差を長手方向に測定した結果を示す図であ
り、図１０は従来の技術により製造したスートの比屈折
率差を長手方向に測定した結果を示す図である。図９及
び図１０において横軸が測定位置軸を示し、縦軸が比屈
折率差軸を示している。図９及び図１０に示す図は、ス
ート径φは１５０ｍｍであり、スート長さは２０００ｍ
ｍであり、脱ＯＨ処理、透明ガラス化した後、比屈折率
差を長手方向で測定した結果である。FIG. 9 is a diagram showing the results of measuring the relative refractive index difference of soot manufactured by the technique of the present invention in the longitudinal direction, and FIG. 10 shows the relative refractive index difference of soot manufactured by the conventional technique in the longitudinal direction. FIG. 7 is a diagram showing the results of the measurement. 9 and 10, the horizontal axis indicates the measurement position axis, and the vertical axis indicates the relative refractive index difference axis. 9 and 10 show that the soot diameter φ is 150 mm and the soot length is 2000 m.
m is the result of measuring the relative refractive index difference in the longitudinal direction after deOH treatment and vitrification.
【００６２】従来のスート製造時の火炎の振れ幅は２．
５ｍｍ程度であり、堆積中に余剰ガラス微粒子が上チャ
ンバ内壁面に付着し、その余剰ガラス微粒子の一部が落
下していた。透明ガラス化後、比屈折率差は０．０２％
であり、スート長手方向において気泡が１０個確認でき
た。The swing width of the flame at the time of the conventional soot production is 2.
It was about 5 mm, and during the deposition, excess glass particles adhered to the inner wall surface of the upper chamber, and some of the excess glass particles were falling. After vitrification, the relative refractive index difference is 0.02%
And 10 bubbles were confirmed in the longitudinal direction of the soot.
【００６３】これに対して本発明の技術でスート製造時
の火炎の振れ幅は０．５ｍｍ程度であり、スート堆積中
に余剰ガラス微粒子が若干仕切板の下に付着したものの
落下には至らなかった。透明ガラス化後、比屈折率差は
０．０１％であり、長手方向において気泡は確認できな
かった。On the other hand, the deflection width of the flame during the production of soot by the technique of the present invention is about 0.5 mm, and surplus glass particles slightly adhered under the partition plate during soot deposition, but did not fall. Was. After vitrification, the relative refractive index difference was 0.01%, and no air bubbles could be confirmed in the longitudinal direction.
【００６４】したがって、仕切板を用いるか若しくはチ
ャンバを仕切板と同等の効果を有する形状とすることに
より、バーナの熱上昇対流を抑止し、火炎の振れ幅は小
さくなり、光ファイバの特性の一つである長手方向の比
屈折率差０．０１％以内の光ファイバ用母材（径１５０
ｍｍ、長さ２０００ｍｍ）を２０時間以内に製造するこ
とができた。しかも余剰ガラス微粒子も上昇対流するこ
となく効率よく排気されたため、製造された光ファイバ
用母材には気泡が全くなかった。Therefore, by using a partition plate or by forming the chamber to have the same effect as the partition plate, the convection of heat from the burner is suppressed, the flame swing width is reduced, and the characteristics of the optical fiber are reduced. The optical fiber preform (diameter 150) having a relative refractive index difference of 0.01% or less in the longitudinal direction.
mm, length 2000 mm) within 20 hours. Moreover, since the excess glass fine particles were efficiently evacuated without rising and convection, the manufactured optical fiber preform had no bubbles.
【００６５】[0065]
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.
【００６６】長手方向の比屈折率差が小さく、かつ、気
泡のない光ファイバ用母材の製造方法及び製造装置の提
供を実現することができた。It was possible to provide a method and an apparatus for manufacturing an optical fiber preform having a small relative refractive index difference in the longitudinal direction and having no bubbles.
【図１】本発明の光ファイバ用母材の製造方法を適用し
た製造装置の一実施の形態を示す正面断面図である。FIG. 1 is a front sectional view showing an embodiment of a manufacturing apparatus to which a method for manufacturing a preform for optical fiber of the present invention is applied.
【図２】図１に示した製造装置のＡ−Ａ線断面図であ
る。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【図３】本発明の光ファイバ用母材の製造方法を適用し
た製造装置の他の実施の形態を示す正面断面図である。FIG. 3 is a front sectional view showing another embodiment of the manufacturing apparatus to which the method for manufacturing an optical fiber preform of the present invention is applied.
【図４】図３に示した製造装置のＢ−Ｂ線断面図であ
る。4 is a sectional view of the manufacturing apparatus shown in FIG. 3, taken along line BB.
【図５】本発明の光ファイバ用母材の製造方法を適用し
た製造装置の他の実施の形態を示す正面断面図である。FIG. 5 is a front sectional view showing another embodiment of the manufacturing apparatus to which the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention is applied.
【図６】図５に示した製造装置のＣ−Ｃ線断面図であ
る。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line CC of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【図７】仕切板とスートとの間の隙間の断面積と火炎の
振れ幅との関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a relationship between a sectional area of a gap between a partition plate and a soot and a swing width of a flame.
【図８】火炎の振れ幅と比屈折率差との関係を示す図で
ある。FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a flame swing width and a relative refractive index difference.
【図９】本発明の技術により製造したスートの比屈折率
差を長手方向に測定した結果を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing the results of measuring the relative refractive index difference of soot manufactured by the technique of the present invention in the longitudinal direction.
【図１０】従来の光ファイバ用母材の製造方法を適用し
た製造装置の概念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram of a manufacturing apparatus to which a conventional optical fiber preform manufacturing method is applied.
【図１１】従来の技術により製造したスートの比屈折率
差を長手方向に測定した結果を示す図である。FIG. 11 is a view showing a result of measuring a relative refractive index difference of a soot manufactured by a conventional technique in a longitudinal direction.
１ 排気管 ２ チャンバ ３ ターゲット棒 ５ スート ６、７ バーナ ６ａ、７ａ バーナ火炎 １１ 仕切板 １１ａ 丸穴 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exhaust pipe 2 Chamber 3 Target rod 5 Soot 6, 7 Burner 6a, 7a Burner flame 11 Partition plate 11a Round hole
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 伸幸 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社日高工場内 (72)発明者 西尾 友幸 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 白井 祐介 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社日高工場内 Ｆターム(参考） 4G021 EA01 EB00 EB11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Nobuyuki Takahashi, Inventor, 5-1-1 Hidakacho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside the Hidaka Factory, Hitachi Cable Co., Ltd. (72) Tomoyuki Nishio 5, Hidakacho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture 1-1-1, Hitachi Cable, Ltd. Opto-System Research Laboratories (72) Inventor Yusuke Shirai 5-1-1, Hidaka-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture F-term in the Hidaka Factory, Hitachi Cable, Ltd. 4G021 EA01 EB00 EB11
Claims (5)
し、該ターゲット棒の中心軸を回転軸として回転させな
がら引上げると共に、上記チャンバ内に設けられたバー
ナで上記ターゲット棒の下端にガラス微粒子を吹き付け
てスートを堆積させ、上記チャンバより上昇したスート
を上記チャンバの上に設けられた上チャンバに格納する
光ファイバ用母材の製造方法において、上記ガラス微粒
子堆積後のスートを、上記チャンバの最大内径より小さ
い内径の丸穴若しくは円筒内を通過させた後に上記上チ
ャンバに格納することを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法。1. A target rod in a chamber is vertically held, pulled up while rotating about a center axis of the target rod as a rotation axis, and glass particles are attached to a lower end of the target rod by a burner provided in the chamber. Is sprayed to deposit soot, and the soot raised from the chamber is stored in an upper chamber provided above the chamber. A method of manufacturing a preform for an optical fiber, wherein the preform is stored in the upper chamber after passing through a round hole or a cylinder having an inner diameter smaller than the maximum inner diameter.
ンバ内のターゲット棒を鉛直に保持し、該ターゲット棒
の中心軸を回転軸として回転させながら引上げる回転引
上げ機構と、上記チャンバ内の底部に配置され上記ター
ゲット棒の下端にガラス微粒子を吹き付けてスートを堆
積させるバーナと、上記チャンバの上側に設けられ上記
チャンバより上昇したスートを格納する上チャンバとを
備えた光ファイバ用母材の製造装置において、上記チャ
ンバと上記上チャンバとの間に上記ガラス微粒子堆積後
のスートが通過でき、かつ上記チャンバの最大内径より
小さい内径の丸穴を有する仕切板が設けられていること
を特徴とする光ファイバ用母材の製造装置。2. A chamber to which an exhaust pipe is connected, a rotary pulling mechanism that holds a target rod in the chamber vertically, and pulls up while rotating about a central axis of the target rod as a rotation axis; A burner that is disposed at the bottom and sprays glass particles to the lower end of the target rod to deposit soot, and an optical fiber preform having an upper chamber provided above the chamber and storing the soot elevated from the chamber. In the manufacturing apparatus, a soot after the deposition of the glass fine particles can pass between the chamber and the upper chamber, and a partition plate having a round hole having an inner diameter smaller than a maximum inner diameter of the chamber is provided. For manufacturing optical fiber preforms.
し、ガラス微粒子堆積後のスートの断面積をＳ２とした
ときに、両断面積の差Ｓ１−Ｓ２は数１式 【数１】１０ｃｍ2 ＜Ｓ１−Ｓ２＜２００ｃｍ2 を満足する請求項２に記載の光ファイバ用母材の製造装
置。3. When the cross-sectional area of the round hole of the partition plate is S1 and the cross-sectional area of the soot after the deposition of the glass particles is S2, the difference S1-S2 between the two cross-sectional areas is given by the following equation: The optical fiber preform manufacturing apparatus according to claim 2 , wherein 2 <S1-S2 <200 cm2 is satisfied.
ンバ内のターゲット棒を鉛直に保持し、該ターゲット棒
の中心軸を回転軸として回転させながら引上げる回転引
上げ機構と、上記チャンバ内の底部に配置され上記ター
ゲット棒の下端にガラス微粒子を吹き付けてスートを堆
積させるバーナと、上記チャンバの上側に設けられ上記
チャンバより上昇したスートを格納する上チャンバとを
備えた光ファイバ用母材の製造装置において、上記チャ
ンバは高さ方向に断面形状が変化し、上記上チャンバは
上記チャンバの最大内径より小さく、かつ上記ガラス微
粒子堆積後のスートが通過できる内径を有する円筒状で
あることを特徴とする光ファイバ用母材の製造装置。4. A chamber to which an exhaust pipe is connected, a rotary pulling mechanism for vertically holding a target rod in the chamber, and pulling the target rod while rotating about a center axis of the target rod as a rotation axis; A burner that is disposed at the bottom and sprays glass particles to the lower end of the target rod to deposit soot, and an optical fiber preform having an upper chamber provided above the chamber and storing the soot elevated from the chamber. In the manufacturing apparatus, the cross-sectional shape of the chamber changes in the height direction, and the upper chamber is smaller than the maximum inner diameter of the chamber, and has a cylindrical shape having an inner diameter through which soot after the deposition of the glass fine particles can pass. For manufacturing an optical fiber preform.
ラス微粒子堆積後のスートの断面積をＳ２としたときに
両断面積の差Ｓ３−Ｓ２は数２式 【数２】１０ｃｍ2 ＜Ｓ３−Ｓ２＜２００ｃｍ2 を満足する請求項４に記載の光ファイバ用母材の製造装
置。5. The cross-sectional area of the upper chamber and S3, the difference S3-S2 is [2 Number] Equation 2 10 cm 2 of bisected area when the cross-sectional area of the soot after a soot and S2 <S3- S2 <manufacturing device for an optical fiber preform according to claim 4, satisfying 200 cm 2.
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