JP2001319496A - Semiconductor memory and its test method - Google Patents

Semiconductor memory and its test method

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JP2001319496A
JP2001319496A JP2000137596A JP2000137596A JP2001319496A JP 2001319496 A JP2001319496 A JP 2001319496A JP 2000137596 A JP2000137596 A JP 2000137596A JP 2000137596 A JP2000137596 A JP 2000137596A JP 2001319496 A JP2001319496 A JP 2001319496A
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JP
Japan
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memory cell
memory cells
signal
test
memory
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Application number
JP2000137596A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Shirata
修一 白田
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that since data are read out alternately and repeatedly from memory cells arranged on a word line physically adjacently by an extensive number of times, an extensive time is required for test time. SOLUTION: This device is provided with a memory cell selecting means which makes prescribed plural word lines out of plural word lines constituting a memory cell array a selection-state and sets plural memory cells corresponding to the prescribed plural word lines to a read-out enable state, and a memory cell test means for testing stability of write-in contents of the memory cell by repeatedly reading out write-in contents of the plural memory cells made to the read-out enable state for a prescribed number of times.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明はマイクロコンピュ
ータに内蔵される半導体記憶回路装置に係り、特に書き
込まれた内容の安定性に対する試験を短時間で効率よく
行うことができる半導体記憶回路装置及びその試験方法
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory circuit device incorporated in a microcomputer, and more particularly to a semiconductor memory circuit device capable of performing a test for stability of written contents efficiently in a short time and a test thereof. It is about the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】マイクロコンピュータ(以下、マイコン
と略す)に内蔵される半導体記憶回路装置、例えばSR
AM(スタティックRAM)の書き込み内容の安定性を
検査するテストは、その品質を見る上で重要である。
2. Description of the Related Art A semiconductor memory circuit device, for example, an SR built in a microcomputer (hereinafter abbreviated as "microcomputer").
A test for examining the stability of the written contents of an AM (static RAM) is important in seeing the quality.

【0003】図11は従来のSRAMの構成を概略的に
示す図である。図において、1〜3はメモリセルアレイ
11を構成するメモリセルであって、マトリクス状に直
交させて配置された複数のワード線と複数のビット線と
の各交点上に設けられている。11はマトリクス状に直
交させて配置された複数のワード線と複数のビット線
と、メモリセル1〜3を含めて構成されるメモリセルア
レイ、12はSRAMに対して不図示のCPUから所定
のメモリセルに対応するアドレス信号を受けると、上記
所定のメモリセルが設けられたワード線にデコード信号
を出力して選択状態にするXデコーダ、13はSRAM
に対して不図示のCPUから所定のメモリセルに対応す
るアドレス信号を受けると、上記所定のメモリセルが設
けられたビット線に対応するデコード信号をセレクタ1
4に出力するYデコーダ、14はYデコーダ13からデ
コード信号を受けると、所定のメモリセルが設けられた
ビット線に出力して選択状態にするセレクタ、15はX
デコーダ12、Yデコーダ13、及びセレクタ14によ
って選択状態となったワード線及びビット線の交点上の
メモリセルから出力される信号を増幅するセンスアンプ
である。
FIG. 11 schematically shows a structure of a conventional SRAM. In the figure, reference numerals 1 to 3 denote memory cells constituting a memory cell array 11, which are provided at intersections of a plurality of word lines and a plurality of bit lines arranged orthogonally in a matrix. Reference numeral 11 denotes a memory cell array including a plurality of word lines and a plurality of bit lines and memory cells 1 to 3 arranged orthogonally in a matrix, and 12 denotes a predetermined memory from a CPU (not shown) to the SRAM. Upon receiving an address signal corresponding to a cell, an X decoder 13 outputs a decode signal to a word line provided with the predetermined memory cell and sets the selected memory cell to a selected state.
When an address signal corresponding to a predetermined memory cell is received from a CPU (not shown), a decode signal corresponding to a bit line provided with the predetermined memory cell is supplied to selector 1.
4 receives a decode signal from the Y decoder 13, outputs a signal to a bit line provided with a predetermined memory cell, and sets a selector to a selected state.
This is a sense amplifier that amplifies a signal output from a memory cell on an intersection of a word line and a bit line selected by the decoder 12, the Y decoder 13, and the selector 14.

【0004】次に動作について説明する。ここでは、S
RAMのデータ記憶動作についての説明は省略し、SR
AMを構成するメモリセルに書き込まれた内容の安定性
に対する試験について説明する。先ず、メモリセルアレ
イ11を構成する全てのメモリセルに、例えば値0のデ
ータを書き込む。具体的にはXデコーダ12、Yデコー
ダ13、及びセレクタ14によって全てのワード線及び
ビット線を選択状態としてメモリセルアレイ11を構成
する全てのメモリセルを接地電位Vssとして記憶内容
を0値にする。
Next, the operation will be described. Here, S
The description of the data storage operation of the RAM is omitted,
A description will be given of a test for the stability of the contents written in the memory cells constituting the AM. First, for example, data having a value of 0 is written to all the memory cells constituting the memory cell array 11. Specifically, all the word lines and bit lines are selected by the X decoder 12, the Y decoder 13, and the selector 14, and all the memory cells constituting the memory cell array 11 are set to the ground potential Vss, and the stored content is set to 0 value.

【0005】次に、マイコンの不図示のCPUからSR
AMに所定のメモリセルに対応するアドレス信号(この
場合、例えばメモリセルアレイ11のメモリセル1に対
応するアドレス信号)が入力されると、Xデコーダ12
はそのメモリセルを有するワード線(例えば、1行目の
ワード線)に対応するデコード信号を出力し、これを選
択状態とする。次にYデコーダ13が上記メモリセルを
有するビット線(例えば、1列目のビット線)に対応す
るデコード信号をセレクタ14に出力し、これを選択状
態とする。これにより、選択状態となったワード線及び
ビット線の交点に位置する上記メモリセル(例えば、メ
モリセル1)を読み出し可能な状態とする。このように
して読み出し可能な状態となったメモリセルからセンス
アンプ15を介して書き込み内容に係る信号を読み出
す。
Next, a CPU (not shown) of the microcomputer
When an address signal corresponding to a predetermined memory cell (in this case, for example, an address signal corresponding to the memory cell 1 of the memory cell array 11) is input to the AM, the X decoder 12
Outputs a decode signal corresponding to the word line having the memory cell (for example, the word line in the first row), and sets it to the selected state. Next, the Y decoder 13 outputs a decode signal corresponding to the bit line having the memory cell (for example, the bit line in the first column) to the selector 14 to set it to the selected state. As a result, the memory cell (for example, the memory cell 1) located at the intersection of the selected word line and bit line is made readable. From the memory cell in the readable state in this way, a signal related to the written content is read via the sense amplifier 15.

【0006】上述した読み出し動作をメモリセルアレイ
11のワード線上に物理的に隣り合って配置されたメモ
リセルに対して交互に128〜50000回繰り返し行
う。図示の例では、先ず、メモリセル1及びメモリセル
2について交互に書き込み内容の読み出し動作を繰り返
し行う。次に1ビット隣にシフトして、メモリセル2及
びメモリセル3について交互に書き込み内容の読み出し
動作を繰り返し行う。
The above-described read operation is repeated 128 to 50,000 times alternately for memory cells physically adjacently arranged on a word line of the memory cell array 11. In the illustrated example, first, the read operation of the written content is repeatedly performed alternately on the memory cells 1 and 2. Next, the data is shifted by one bit, and the read operation of the written contents is repeatedly performed alternately on the memory cells 2 and 3.

【0007】上記のようなメモリセルの書き込み内容の
繰り返し読み出し動作が1つのワード線上に設けられた
全てのメモリセルに対して行われると、引き続いて、次
のワード線上のメモリセルに対して同様の繰り返し読み
出し動作が行われる。
When the above-described repeated reading operation of the written contents of the memory cells is performed on all the memory cells provided on one word line, the same operation is continuously performed on the memory cells on the next word line. Are repeatedly performed.

【0008】メモリセルアレイを構成する全てのワード
線に対して上記繰り返し読み出し動作が行われると、最
後にXデコーダ12、Yデコーダ13、及びセレクタ1
4によってワード線及びビット線を順次選択状態として
メモリセルアレイ11を構成する全てのメモリセルを読
み出し、全てのメモリセルの書き込み内容が0値である
ことを確認してテストを終了する。
When the above-described repetitive read operation is performed on all the word lines constituting the memory cell array, finally, the X decoder 12, the Y decoder 13, and the selector 1
The word line and the bit line are sequentially selected by 4 and all the memory cells constituting the memory cell array 11 are read, and it is confirmed that the written contents of all the memory cells are 0 values, and the test is finished.

【0009】このようなSRAMの書き込み内容の安定
性を検査することで、SRAMの品質を維持することが
できる。上記の例では、ワード線上に物理的に隣り合っ
て配置されたメモリセルに対して交互に繰り返し読み出
し動作を行うことで、接地電位Vssが変動してメモリ
セルの書き込み内容が0値を示さなくなったら、所定の
安定性がないものとして不良セルを有するSRAMとし
て検出される。
The quality of the SRAM can be maintained by checking the stability of the written contents of the SRAM. In the above example, by repeatedly performing the read operation alternately on the memory cells physically adjacently arranged on the word line, the ground potential Vss fluctuates, and the write contents of the memory cells do not show a 0 value. Then, an SRAM having a defective cell is detected as having no predetermined stability.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体記憶回路
装置は以上のように構成されているので、メモリセルの
書き込み内容の安定性の試験にあたって、ワード線上に
物理的に隣り合って配置されたメモリセルを交互に膨大
な回数繰り返し読み出すことから、試験時間に膨大な時
間を要するという課題があった。
Since the conventional semiconductor memory circuit device is configured as described above, it is arranged physically adjacent to the word line in testing the stability of the written content of the memory cell. There is a problem that a huge amount of time is required for the test time because the memory cells are alternately and repeatedly read a huge number of times.

【0011】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、メモリセルアレイを構成するメモ
リセルを同時に複数選択して繰り返し読み出し動作を行
うことで、メモリセルの書き込み内容の安定性の試験を
短時間で効率のよく行うことができる半導体記憶回路装
置及びその試験方法を得ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and a plurality of memory cells constituting a memory cell array are simultaneously selected to repeatedly perform a read operation, thereby stabilizing the write contents of the memory cells. It is an object of the present invention to obtain a semiconductor memory circuit device capable of efficiently performing the test in a short time and a test method thereof.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体記
憶回路装置は、メモリセルアレイを構成する複数のワー
ド線及び/若しくはビット線から所定の複数のワード線
及び/若しくはビット線を選択状態とし、所定の複数の
ワード線及び/若しくはビット線に対応する複数のメモ
リセルを読み出し可能な状態に設定するメモリセル選択
手段と、このメモリセル選択手段によって読み出し可能
な状態にされた複数のメモリセルの書き込み内容を所定
回数繰り返し読み出して、メモリセルの書き込み内容の
安定性を試験するメモリセル試験手段とを備えるもので
ある。
A semiconductor memory circuit device according to the present invention selects a predetermined plurality of word lines and / or bit lines from a plurality of word lines and / or bit lines constituting a memory cell array, A memory cell selecting means for setting a plurality of memory cells corresponding to a plurality of predetermined word lines and / or bit lines to a readable state; and a plurality of memory cells set to a readable state by the memory cell selecting means. And memory cell testing means for repeatedly reading the written contents a predetermined number of times and testing the stability of the written contents of the memory cells.

【0013】この発明に係る半導体記憶回路装置は、メ
モリセルアレイを構成する複数のワード線及び/若しく
はビット線から所定の複数のワード線及び/若しくはビ
ット線を選択状態とし、所定の複数のワード線及び/若
しくはビット線に対応する複数のメモリセルを読み出し
可能な状態に設定するメモリセル選択手段と、このメモ
リセル選択手段によって読み出し可能な状態にされた複
数のメモリセルの書き込み内容を所定回数繰り返し読み
出して、メモリセルの書き込み内容の安定性を試験する
メモリセル試験手段と、CPUから受信した開始信号を
トリガとして、マイクロコンピュータの動作クロック信
号に同期させながら、CPUを介さずに、メモリセル選
択手段、及びメモリセル試験手段を動作させる自動試験
手段とを備えるものである。
In the semiconductor memory circuit device according to the present invention, a predetermined plurality of word lines and / or bit lines are selected from a plurality of word lines and / or bit lines constituting a memory cell array, and a predetermined plurality of word lines and / or bit lines are selected. And / or memory cell selecting means for setting a plurality of memory cells corresponding to bit lines to a readable state, and writing contents of the plurality of memory cells set to a readable state by the memory cell selecting means are repeated a predetermined number of times. A memory cell test means for reading and testing the stability of the written contents of the memory cell; and selecting a memory cell without using the CPU while synchronizing with the operation clock signal of the microcomputer using the start signal received from the CPU as a trigger. Means, and automatic test means for operating the memory cell test means. It is.

【0014】この発明に係る半導体記憶回路装置は、自
動試験手段がメモリセルアレイにおける全てのメモリセ
ルが試験されると、試験が完了した旨を伝える割込信号
をCPUに送信するものである。
In the semiconductor memory circuit device according to the present invention, when all the memory cells in the memory cell array are tested by the automatic test means, the automatic test means transmits an interrupt signal indicating that the test is completed to the CPU.

【0015】この発明に係る半導体記憶回路装置は、メ
モリセル選択手段が、装置の消費電力の許容値を越えな
いように、同時に選択状態にするワード線及び/若しく
はビット線の数を制限するものである。
In a semiconductor memory circuit device according to the present invention, the number of word lines and / or bit lines to be simultaneously selected by the memory cell selecting means is limited so as not to exceed an allowable value of power consumption of the device. It is.

【0016】この発明に係る半導体記憶回路装置の試験
方法は、メモリセルアレイを構成する全てのメモリセル
に同一内容のデータを書き込むデータ書き込みステップ
と、メモリセルアレイを構成する複数のワード線及び/
若しくはビット線から所定の複数のワード線及び/若し
くはビット線を選択状態とし、所定の複数のワード線及
び/若しくはビット線に対応する複数のメモリセルを読
み出し可能な状態に設定するメモリセル選択ステップ
と、このメモリセル選択ステップで読み出し可能な状態
にされた複数のメモリセルの書き込み内容を所定回数繰
り返し読み出して、書き込み内容の安定性を試験するメ
モリセル試験ステップとを備え、メモリセル選択ステッ
プからメモリセル試験ステップまでの操作がメモリセル
アレイを構成する全てのメモリセルに対して行われるま
で繰り返すものである。
A method for testing a semiconductor memory circuit device according to the present invention includes a data writing step of writing data of the same content to all memory cells forming a memory cell array, a plurality of word lines and / or a plurality of word lines forming a memory cell array.
Alternatively, a memory cell selecting step of setting a predetermined plurality of word lines and / or bit lines from bit lines to a selected state and setting a plurality of memory cells corresponding to the predetermined plurality of word lines and / or bit lines to a readable state. And a memory cell test step of repeatedly reading the write contents of the plurality of memory cells in a readable state in the memory cell select step a predetermined number of times, and testing the stability of the write contents. This operation is repeated until the operation up to the memory cell test step is performed on all the memory cells constituting the memory cell array.

【0017】この発明に係る半導体記憶回路装置の試験
方法は、CPUがメモリセルアレイを構成する全てのメ
モリセルに同一内容のデータを書き込むデータ書き込み
ステップと、メモリセルアレイを構成する複数のワード
線及び/若しくはビット線から所定の複数のワード線及
び/若しくはビット線を選択状態とし、所定の複数のワ
ード線及び/若しくはビット線に対応する複数のメモリ
セルを読み出し可能な状態に設定するメモリセル選択手
段と、このメモリセル選択ステップで読み出し可能な状
態にされた複数のメモリセルの書き込み内容を所定回数
繰り返し読み出して、書き込み内容の安定性を試験する
メモリセル試験ステップとを備え、CPUから受信した
開始信号をトリガとして、マイクロコンピュータの動作
クロック信号に同期させながら、CPUを介さずに、メ
モリセル選択ステップからメモリセル試験ステップまで
の操作がメモリセルアレイを構成する全てのメモリセル
に対して行われるまで繰り返すものである。
According to a method of testing a semiconductor memory circuit device according to the present invention, a data write step in which a CPU writes data of the same content to all memory cells constituting a memory cell array, and a plurality of word lines and / or a plurality of word lines constituting a memory cell array are provided. Alternatively, a memory cell selecting means for selecting a predetermined plurality of word lines and / or bit lines from bit lines and setting a plurality of memory cells corresponding to the predetermined plurality of word lines and / or bit lines to a readable state. And a memory cell test step of repeatedly reading a predetermined number of times the written contents of the plurality of memory cells that can be read in the memory cell selecting step, and testing the stability of the written contents. The signal is used as a trigger to synchronize with the operation clock signal of the microcomputer. While, without interrupting CPU, in which repeated from the memory cell selecting step up operation to the memory cell test steps are performed for all the memory cells constituting the memory cell array.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による半
導体記憶回路装置の構成を概略的に示す図である。図に
おいて、1〜8はメモリセルアレイ11を構成するメモ
リセルであって、マトリクス状に直交させて配置された
複数のワード線と複数のビット線との各交点上に設けら
れている。11はマトリクス状に直交させて配置された
複数のワード線と複数のビット線と、メモリセル1〜8
を含めて構成されるメモリセルアレイ、12はSRAM
に対して不図示のCPUから所定の複数のメモリセルに
対応するアドレス信号を受けると、上記所定の複数のメ
モリセルを有するワード線にHレベルのデコード信号を
出力して選択状態にするXデコーダ(メモリセル選択手
段)、13はSRAMに対して不図示のCPUから所定
の複数のメモリセルに対応するアドレス信号を受ける
と、上記所定のメモリセルを有する複数のビット線に対
応するHレベルのデコード信号をORゲート16に出力
するYデコーダ(メモリセル選択手段)、14はORゲ
ート16の出力信号に基づいてビット線を選択状態にす
るセレクタ(メモリセル選択手段)、15はXデコーダ
12、Yデコーダ13、セレクタ14、及びORゲート
16によって選択状態となったワード線及びビット線の
交点上のメモリセルから出力される信号を増幅するセン
スアンプ(メモリセル試験手段)である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below. Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numerals 1 to 8 denote memory cells constituting a memory cell array 11, which are provided at intersections between a plurality of word lines and a plurality of bit lines arranged orthogonally in a matrix. Reference numeral 11 denotes a plurality of word lines and a plurality of bit lines arranged orthogonally in a matrix, and memory cells 1 to 8.
, And a memory cell array 12 including an SRAM
When an address signal corresponding to a plurality of predetermined memory cells is received from a CPU (not shown), an X-decoder outputs an H-level decode signal to a word line having the plurality of predetermined memory cells to enter a selected state. Upon receiving an address signal corresponding to a plurality of predetermined memory cells from the CPU (not shown) to the SRAM, the memory cell selecting means 13 outputs an H level signal corresponding to the plurality of bit lines having the predetermined memory cells. A Y decoder (memory cell selecting means) for outputting a decode signal to the OR gate 16; a selector (memory cell selecting means) 14 for selecting a bit line based on the output signal of the OR gate 16; A memory cell on the intersection of a word line and a bit line selected by the Y decoder 13, the selector 14, and the OR gate 16 A sense amplifier for amplifying a signal et output (memory cell test unit).

【0019】16はYデコーダ13とセレクタ14との
間に複数のビット線に対応して設けられ、外部から信号
線17,18を介して入力する制御信号に基づいて所定
のメモリセルを有する複数のビット線を選択状態にする
ORゲート(メモリセル選択手段)、17,18は外部
から不図示のテストモード用端子を介して入力される制
御信号をORゲート16に伝送する信号線(メモリセル
選択手段)で、制御信号として値1に相当するHレベ
ル、値0に相当するLレベルの信号が適宜入力される。
ここで、ORゲート16を構成するOR回路の出力信号
はセレクタ14内で複数のビット線に対応するセレクタ
に出力され、OR回路からHレベルの信号を受けたビッ
ト線が選択状態となる。なお、図示の例では半導体記憶
回路装置としてSRAMを使用している。
Reference numeral 16 denotes a plurality of memory cells provided between the Y decoder 13 and the selector 14 corresponding to a plurality of bit lines and having predetermined memory cells based on a control signal inputted from outside via signal lines 17 and 18. OR gates (memory cell selecting means) 17 and 18 for selecting the bit line of the memory cell (memory cell selecting means) for transmitting a control signal input from the outside through a test mode terminal (not shown) to the OR gate 16 In the selection means), an H-level signal corresponding to a value 1 and an L-level signal corresponding to a value 0 are appropriately input as control signals.
Here, the output signal of the OR circuit constituting the OR gate 16 is output to the selector corresponding to the plurality of bit lines in the selector 14, and the bit line receiving the H level signal from the OR circuit is in the selected state. In the illustrated example, an SRAM is used as the semiconductor storage circuit device.

【0020】次に動作について説明する。本願発明は半
導体記憶回路装置を構成するメモリセルに書き込まれた
内容の安定性に対する試験の効率化を図るものであるの
で、半導体記憶回路装置のデータ記憶動作については説
明を省略する。図2は実施の形態1による半導体記憶回
路装置のメモリセルの書き込み内容の安定性試験の動作
を示すタイミング図である。図において、17,18は
図1中の信号線17,18を伝搬する制御信号のレベル
を時間に対して示したものである。この図2に沿って実
施の形態1による半導体記憶回路装置のメモリセルの書
き込み内容の安定性試験について述べる。先ず、図2中
の期間T21において、信号線17,18を伝搬する制
御信号はどちらも0値に対応するLレベルである。この
とき、不図示のCPUがメモリセルアレイ11を構成す
る全てのメモリセルに、例えば値0のデータを書き込
む。具体的に説明すると、SRAMに対して不図示のC
PUから全てのメモリセルに対応するアドレス信号が送
信されると、Xデコーダ12はメモリセルアレイ11を
構成する各ワード線にHレベルのデコード信号を順次出
力して選択状態にする。また、Yデコーダ13はORゲ
ート16を構成する各OR回路にHレベルのデコード信
号を順次出力する。信号線17,18を伝搬する制御信
号はどちらもLレベルであるので、Yデコーダ13から
のHレベルのデコード信号によってビット線が選択状態
となる。これにより、選択状態となったワード線及びビ
ット線に対応するメモリセルが書き込み若しくは読み出
し可能な状態となり、このメモリセルを接地電位Vss
にして記憶内容を0値にする動作を順次行って、全ての
メモリセルに0値を書き込んでゆく(データ書き込みス
テップ)。また、マイコンが通常動作を行うときは、こ
の期間T21の状態、つまり、メモリセルアレイ11を
構成する全てのメモリセルが書き込み若しくは読み出し
可能な状態となるようにする。
Next, the operation will be described. Since the present invention aims at improving the efficiency of the test for the stability of the contents written in the memory cells constituting the semiconductor memory circuit device, the description of the data storage operation of the semiconductor memory circuit device is omitted. FIG. 2 is a timing chart showing the operation of the stability test of the written contents of the memory cell of the semiconductor memory circuit device according to the first embodiment. In the drawing, reference numerals 17 and 18 indicate the levels of control signals propagating through the signal lines 17 and 18 in FIG. 1 with respect to time. A stability test of the written contents of the memory cells of the semiconductor memory circuit device according to the first embodiment will be described with reference to FIG. First, in a period T21 in FIG. 2, the control signals propagating through the signal lines 17 and 18 are both at the L level corresponding to the 0 value. At this time, the CPU (not shown) writes, for example, data of value 0 to all the memory cells constituting the memory cell array 11. More specifically, C (not shown) is used for the SRAM.
When an address signal corresponding to all memory cells is transmitted from the PU, the X decoder 12 sequentially outputs an H level decode signal to each word line constituting the memory cell array 11 to be in a selected state. Further, the Y decoder 13 sequentially outputs an H level decode signal to each OR circuit constituting the OR gate 16. Since the control signals propagating through the signal lines 17 and 18 are both at the L level, the bit line is selected by the H level decode signal from the Y decoder 13. As a result, the memory cell corresponding to the selected word line and bit line becomes in a writable or readable state, and this memory cell is set to the ground potential Vss.
Then, the operation of setting the stored contents to the 0 value is sequentially performed, and the 0 value is written to all the memory cells (data writing step). When the microcomputer performs a normal operation, the state during the period T21, that is, a state where all the memory cells constituting the memory cell array 11 can be written or read is set.

【0021】次に、期間T22において、信号線17を
伝搬する制御信号をLレベル、信号線18を伝搬する制
御信号をHレベルとする。このとき、ORゲート16か
らの出力信号がHレベルとなる図1中のメモリセル1,
3,5,7に対応するビット線が選択状態になり、Xデ
コーダ12によって図1中のメモリセルアレイ11を構
成する1行目のワード線を選択状態にしておくことで、
複数のメモリセル1,3,5,7が同時に読み出し可能
な状態になるので、これらから書き込み内容に係る信号
を出力させて、これをセンスアンプ15で増幅して不図
示の検出器により書き込み内容を検査する(メモリセル
選択ステップ、メモリセル試験ステップ)。
Next, in a period T22, the control signal propagating through the signal line 17 is set at L level, and the control signal propagating through the signal line 18 is set at H level. At this time, the memory cells 1 and 2 in FIG.
The bit lines corresponding to 3, 5, 7 are selected, and the X decoder 12 sets the word lines in the first row of the memory cell array 11 in FIG.
Since the plurality of memory cells 1, 3, 5, and 7 can be read simultaneously, a signal relating to the write content is output from these, and this is amplified by the sense amplifier 15 and the write content is detected by a detector (not shown). (Memory cell selection step, memory cell test step).

【0022】上記のようにしてメモリセル1,3,5,
7の書き込み内容を検出した後、期間T23に進む。期
間T23において、信号線17を伝搬する制御信号をH
レベル、信号線18を伝搬する制御信号をLレベルとす
る。このとき、ORゲート16からの出力信号がHレベ
ルとなる図1中のメモリセル2,4,6,8に対応する
ビット線が選択状態になり、Xデコーダ12によって図
1中のメモリセルアレイ11を構成する1行目のワード
線を選択状態にしておくことで、期間T22において読
み出し動作が行われたメモリセル1,3,5,7の各々
に物理的に隣接するメモリセル2,4,6,8が同時に
読み出し可能な状態となるので、これらから書き込み内
容に係る信号を出力させ、これをセンスアンプ15で増
幅して不図示の検出器により書き込み内容を検査する
(メモリセル選択ステップ、メモリセル試験ステッ
プ)。
As described above, the memory cells 1, 3, 5,
After detecting the written content of No. 7, the process proceeds to period T23. In the period T23, the control signal propagating through the signal line 17 is set to H level.
The control signal propagating through the signal line 18 is set to L level. At this time, the bit lines corresponding to the memory cells 2, 4, 6, and 8 in FIG. 1 in which the output signal from the OR gate 16 is at the H level are selected, and the X decoder 12 causes the memory cell array 11 in FIG. Is set to the selected state, the memory cells 2, 4, 5, 7 physically adjacent to the memory cells 1, 3, 5, 7 from which the read operation was performed in the period T22. Since signals 6 and 8 are simultaneously readable, a signal relating to the contents to be written is outputted therefrom, amplified by the sense amplifier 15 and inspected for the contents to be written by a detector (not shown) (memory cell selection step, Memory cell test step).

【0023】このあと、期間T24に示すように、信号
線17,18を伝搬する制御信号を交互にHレベル、L
レベルにする。この信号線17,18を伝搬する制御信
号のレベル変化を、周期的に試験の仕様に合わせた所定
回数、例えば128〜50000回行うことで、上述し
た1行目のワード線上の物理的に隣り合ったメモリセル
の書き込み内容が交互に読み出され、1行目のワード線
における全てのメモリセルに対する書き込み内容が検査
される(メモリセル選択ステップ、メモリセル試験ステ
ップ)。
Thereafter, as shown in a period T24, control signals propagating through the signal lines 17 and 18 are alternately changed to H level and L level.
To level. The level change of the control signal propagating through the signal lines 17 and 18 is periodically performed a predetermined number of times, for example, 128 to 50,000 times in accordance with the specification of the test, so that the control signal is physically adjacent to the word line in the first row. The written contents of the matched memory cells are alternately read, and the written contents of all the memory cells in the word line of the first row are inspected (memory cell selecting step, memory cell testing step).

【0024】1行目のワード線における全てのメモリセ
ルに対する書き込み内容の安定性試験が完了すると、X
デコーダ12が次のワード線(2行目)に対応するデコ
ード信号を出力して、このワード線上のメモリセルに対
して同様の書き込み内容の読み出し動作が行われる(メ
モリセル選択ステップ、メモリセル試験ステップ)。
When the stability test of the written contents for all the memory cells in the first word line is completed, X
The decoder 12 outputs a decode signal corresponding to the next word line (second row), and the same write operation is performed on the memory cells on this word line (memory cell selection step, memory cell test). Steps).

【0025】このようにして、メモリセルアレイ11を
構成する全てのメモリセルに対して、上記書き込み内容
の検査が完了すると、最後にXデコーダ12、Yデコー
ダ13、セレクタ14、及びORゲート16によって、
各ワード線及び複数のビット線を順次選択状態としてメ
モリセルアレイ11を構成する全てのメモリセルを読み
出し、全てのメモリセルの書き込み内容が0値であるこ
とを確認してテストを終了する。
When the inspection of the written contents is completed for all the memory cells constituting the memory cell array 11, the X decoder 12, the Y decoder 13, the selector 14, and the OR gate 16 finally operate.
With each word line and a plurality of bit lines sequentially selected, all the memory cells constituting the memory cell array 11 are read, and the test is completed after confirming that the written contents of all the memory cells are 0 values.

【0026】これにより、実施の形態1による半導体記
憶回路装置であるSRAMの書き込み内容の安定性を検
査することで、SRAMの品質を維持することができ
る。上記の例では、ワード線上に物理的に隣り合って配
置されたメモリセルに対して交互に繰り返し読み出し動
作を行うことで、接地電位Vssが変動してメモリセル
の書き込み内容が0値を示さなくなったら、所定の安定
性がないものとして不良セルを有するSRAMとして検
出される。
Thus, the quality of the SRAM can be maintained by checking the stability of the written contents of the SRAM which is the semiconductor memory circuit device according to the first embodiment. In the above example, by repeatedly performing the read operation alternately on the memory cells physically adjacently arranged on the word line, the ground potential Vss fluctuates, and the write contents of the memory cells do not show a 0 value. Then, an SRAM having a defective cell is detected as having no predetermined stability.

【0027】以上のように、この実施の形態1によれ
ば、メモリセルアレイ11を構成する複数のビット線か
ら所定の複数のビット線を選択状態とし、所定の複数の
ビット線に対応する複数のメモリセルを読み出し可能な
状態に設定するXデコーダ12、Yデコーダ13、セレ
クタ14、及びORゲート16からなるメモリセル選択
手段と、このメモリセル選択手段によって読み出し可能
な状態にされた複数のメモリセルの書き込み内容を所定
回数繰り返し読み出して、メモリセルの書き込み内容の
安定性を試験するセンスアンプ15などを有するメモリ
セル試験手段とを備えるので、メモリセルアレイ11を
構成する各メモリセル毎に書き込み内容を読み出す動作
が不要となり、各ワード線上で複数のメモリセルが同時
に選択されることから、大幅にメモリセルの書き込み内
容の安定性試験に要する時間を短縮することができる。
As described above, according to the first embodiment, a predetermined plurality of bit lines are selected from a plurality of bit lines constituting memory cell array 11, and a plurality of bit lines corresponding to the predetermined plurality of bit lines are selected. A memory cell selecting means including an X decoder 12, a Y decoder 13, a selector 14, and an OR gate 16 for setting a memory cell to a readable state, and a plurality of memory cells readable by the memory cell selecting means And a memory cell test means having a sense amplifier 15 for testing the stability of the written contents of the memory cells by repeatedly reading the written contents of the memory cell for a predetermined number of times. Read operation is not required and multiple memory cells are selected simultaneously on each word line , It is possible to greatly reduce the time required for the stability test of writing the contents of the memory cell.

【0028】実施の形態2.上記実施の形態1ではメモ
リセルアレイ11を構成する各ワード線上で複数のメモ
リセルを同時に選択するものであったが、この実施の形
態2はメモリセルアレイ11を構成する複数のビット線
を同時に選択することができるようにしたものである。
Embodiment 2 In the first embodiment, a plurality of memory cells are simultaneously selected on each word line constituting the memory cell array 11, but in the second embodiment, a plurality of bit lines constituting the memory cell array 11 are simultaneously selected. It is something that can be done.

【0029】図3はこの発明の実施の形態2による半導
体記憶回路装置の構成を概略的に示す図である。図にお
いて、1〜16はメモリセルアレイ11を構成するメモ
リセル、31はXデコーダ12とメモリセルアレイ11
との間にワード線毎に対応して設けられ、信号線32,
33を伝搬して入力する制御信号に基づいて所定のメモ
リセルを有する複数のワード線を選択状態にするORゲ
ート(メモリセル選択手段)、32,33は外部から不
図示のテストモード用端子を介して入力される制御信号
をORゲート31に伝送する信号線(メモリセル選択手
段)で、制御信号として値1に相当するHレベル、値0
に相当するLレベルの信号が適宜入力される。ここで、
ORゲート31を構成するOR回路の出力信号はメモリ
セルアレイ11内でワード線毎に出力され、OR回路か
らHレベルの信号を受けたワード線が選択状態となる。
また、図示の例では半導体記憶回路装置としてSRAM
を使用している。なお、図1と同一構成要素には同一符
号を付して重複する説明を省略する。
FIG. 3 schematically shows a structure of a semiconductor memory circuit device according to a second embodiment of the present invention. In the figure, reference numerals 1 to 16 denote memory cells constituting the memory cell array 11, 31 denotes an X decoder 12 and the memory cell array 11.
Are provided in correspondence with each word line, and the signal lines 32,
OR gates (memory cell selection means) for selecting a plurality of word lines having predetermined memory cells based on a control signal input through propagation through 33, and 32, 33 are externally connected test mode terminals (not shown). A signal line (memory cell selecting means) for transmitting a control signal input through the OR gate 31 to an H level corresponding to a value 1 and a value 0 as a control signal
Is appropriately input. here,
The output signal of the OR circuit constituting the OR gate 31 is output for each word line in the memory cell array 11, and the word line receiving the H-level signal from the OR circuit is selected.
In the illustrated example, an SRAM is used as a semiconductor storage circuit device.
You are using The same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.

【0030】次に動作について説明する。本願発明は半
導体記憶回路装置を構成するメモリセルに書き込まれた
内容の安定性に対する試験の効率化を図るものであるの
で、半導体記憶回路装置のデータ記憶動作については説
明を省略する。先ず、信号線32,33に外部から0値
に対応するLレベルの信号を制御信号として入力する。
このとき、不図示のCPUがメモリセルアレイ11を構
成する全てのメモリセルに、例えば値0のデータを書き
込む。具体的に説明すると、SRAMに対して不図示の
CPUから全てのメモリセルに対応するアドレス信号が
送信されると、Xデコーダ12はORゲート31を構成
する各OR回路にHレベルのデコード信号を順次出力す
る。このとき、信号線32,33を伝搬する制御信号は
どちらもLレベルであるので、ORゲート31を介して
Xデコーダ12からのHレベルのデコード信号が各ワー
ド線に順次入力されて選択状態になる。また、Yデコー
ダ13は所定のビット線に対応するHレベルのデコード
信号をセレクタ14に出力する。これにより、選択状態
となったワード線及びビット線に対応するメモリセルが
書き込み若しくは読み出し可能な状態になり、このメモ
リセルを接地電位Vssにして記憶内容を0値にする動
作を順次行い、全てのメモリセルに0値を書き込む(デ
ータ書き込みステップ)。また、マイコンが通常動作を
行うときは、メモリセルアレイ11を構成する全てのメ
モリセルが書き込み若しくは読み出し可能な状態となる
ようにする。
Next, the operation will be described. Since the present invention aims at improving the efficiency of the test for the stability of the contents written in the memory cells constituting the semiconductor memory circuit device, the description of the data storage operation of the semiconductor memory circuit device is omitted. First, an L-level signal corresponding to a 0 value is externally input to the signal lines 32 and 33 as a control signal.
At this time, the CPU (not shown) writes, for example, data of value 0 to all the memory cells constituting the memory cell array 11. More specifically, when an address signal corresponding to all memory cells is transmitted from a CPU (not shown) to the SRAM, the X decoder 12 sends an H level decode signal to each OR circuit constituting the OR gate 31. Output sequentially. At this time, since the control signals propagating through the signal lines 32 and 33 are both at the L level, the H level decode signal from the X decoder 12 is sequentially input to each word line via the OR gate 31 to be in the selected state. Become. Further, Y decoder 13 outputs an H level decode signal corresponding to a predetermined bit line to selector 14. As a result, the memory cells corresponding to the selected word line and bit line become in a writable or readable state. The operation of setting the memory cells to the ground potential Vss and setting the stored contents to 0 is sequentially performed. Is written to the memory cell (data writing step). When the microcomputer performs a normal operation, all the memory cells constituting the memory cell array 11 are set to a state in which writing or reading is possible.

【0031】次に、信号線32を伝搬する制御信号をH
レベル、信号線33を伝搬する制御信号をLレベルとす
る。このとき、Xデコーダ12から全てのワード線に対
するデコード信号をLレベルとしてORゲート31に出
力しておくことで、1行目のワード線及び3行目のワー
ド線が選択状態になる。また、Yデコーダ13によっ
て、図3中のメモリセルアレイ11を構成する1列目の
ビット線及び2列目のビット線を交互に選択状態とす
る。これにより、1行目のワード線のメモリセル1,2
及び3行目のワード線のメモリセル9,10が同時に読
み出し可能な状態となるので、これらから書き込み内容
に係る信号を出力させ、これをセンスアンプ15で増幅
して不図示の検出器により書き込み内容を検査する。上
述したYデコーダ13によるビット線の交互選択を周期
的に試験の仕様に合わせた所定回数、例えば128〜5
0000回行うことで、1行目のワード線上の物理的に
隣り合ったメモリセル1,2及び3行目のワード線上の
物理的に隣り合ったメモリセル9,10の書き込み内容
が検査される(メモリセル選択ステップ、メモリセル試
験ステップ)。
Next, the control signal propagating through the signal line 32 is set to H
The control signal propagating through the signal line 33 is set to L level. At this time, by outputting the decode signals for all the word lines from the X decoder 12 to the L level to the OR gate 31, the word line in the first row and the word line in the third row are selected. Further, the Y-decoder 13 alternately selects the bit lines in the first column and the bit lines in the second column that constitute the memory cell array 11 in FIG. Thereby, the memory cells 1 and 2 of the word line in the first row
Since the memory cells 9 and 10 of the third row word line are simultaneously readable, a signal relating to the contents to be written is outputted therefrom, amplified by the sense amplifier 15 and written by a detector (not shown). Inspect the contents. The above-described alternate selection of the bit lines by the Y decoder 13 is periodically performed a predetermined number of times in accordance with the test specification, for example, 128 to 5 bits.
By performing 0000 times, the written contents of the physically adjacent memory cells 1 and 2 on the first row word line and the physically adjacent memory cells 9 and 10 on the third row word line are inspected. (Memory cell selection step, memory cell test step).

【0032】上記のようにしてメモリセル1,2,9,
10の書き込み内容を検出した後、信号線32を伝搬す
る制御信号をLレベル、信号線33を伝搬する制御信号
をHレベルとする。このとき、上記と同様にXデコーダ
12から全てのワード線に対するデコード信号をLレベ
ルとしてORゲート31に出力しておくことで、2行目
のワード線及び4行目のワード線が選択状態になる。ま
た、Yデコーダ13によって、図3中のメモリセルアレ
イ11を構成する1列目のビット線及び2列目のビット
線を交互に選択状態とする。上述したYデコーダ13に
よるビット線の交互選択を周期的に試験の仕様に合わせ
た所定回数、例えば128〜50000回行うことで、
2行目のワード線上の物理的に隣り合ったメモリセル
5,6及び4行目のワード線上の物理的に隣り合ったメ
モリセル13,14の書き込み内容が検査される(メモ
リセル選択ステップ、メモリセル試験ステップ)。
As described above, the memory cells 1, 2, 9,
After detecting the writing content of 10, the control signal propagating on the signal line 32 is set at L level, and the control signal propagating on the signal line 33 is set at H level. At this time, as described above, the decode signals for all the word lines are output from the X decoder 12 to the OR gate 31 at the L level, so that the word lines in the second row and the fourth row are in the selected state. Become. Further, the Y-decoder 13 alternately selects the bit lines in the first column and the bit lines in the second column that constitute the memory cell array 11 in FIG. By performing the above-described alternate selection of the bit line by the Y decoder 13 periodically a predetermined number of times according to the test specification, for example, 128 to 50,000 times,
The written contents of the physically adjacent memory cells 5 and 6 on the second row word line and the physically adjacent memory cells 13 and 14 on the fourth row word line are inspected (memory cell selecting step, Memory cell test step).

【0033】1列目及び2列目のビット線における全て
のメモリセルに対する書き込み内容の安定性試験が完了
すると、Yデコーダ13が次のビット線(2列目及び3
列目)に対応するデコード信号を交互に出力して2列目
及び3列目のビット線上のメモリセル2,3,6,7,
10,11,14,15に対して同様の書き込み内容の
読み出し動作を行う(メモリセル選択ステップ、メモリ
セル試験ステップ)。
When the stability test of the written contents for all the memory cells in the bit lines in the first and second columns is completed, the Y decoder 13 sets the next bit line (in the second and third columns).
The decode signals corresponding to the second column and the third column are alternately output, and the memory cells 2, 3, 6, 7,.
The same read operation of the written contents is performed for 10, 11, 14, and 15 (memory cell selection step, memory cell test step).

【0034】このようにして、メモリセルアレイ11を
構成する全てのメモリセルに対して、上記書き込み内容
の検査が完了すると、最後にXデコーダ12、Yデコー
ダ13、セレクタ14、及びORゲート31によって、
各ビット線及び複数のワード線を順次選択状態としてメ
モリセルアレイ11を構成する全てのメモリセルを読み
出し、全てのメモリセルの書き込み内容が0値であるこ
とを確認してテストを終了する。
In this manner, when the inspection of the written contents is completed for all the memory cells constituting the memory cell array 11, finally, the X decoder 12, the Y decoder 13, the selector 14, and the OR gate 31
With each bit line and a plurality of word lines sequentially selected, all the memory cells constituting the memory cell array 11 are read, and it is confirmed that the written contents of all the memory cells are 0 values, and the test is terminated.

【0035】これにより、実施の形態2による半導体記
憶回路装置であるSRAMの書き込み内容の安定性を検
査することで、SRAMの品質を維持することができ
る。上記の例では、ワード線上に物理的に隣り合って配
置されたメモリセルに対して交互に繰り返し読み出し動
作を行うことで、接地電位Vssが変動してメモリセル
の書き込み内容が0値を示さなくなったら、所定の安定
性がないものとして不良セルを有するSRAMとして検
出される。
Thus, the quality of the SRAM can be maintained by checking the stability of the written contents of the SRAM which is the semiconductor memory circuit device according to the second embodiment. In the above example, by repeatedly performing the read operation alternately on the memory cells physically adjacently arranged on the word line, the ground potential Vss fluctuates, and the write contents of the memory cells do not show a 0 value. Then, an SRAM having a defective cell is detected as having no predetermined stability.

【0036】以上のように、この実施の形態2によれ
ば、メモリセルアレイ11を構成する複数のワード線か
ら所定の複数のワード線を選択状態とし、所定の複数の
ワード線に対応する複数のメモリセルを読み出し可能な
状態に設定するXデコーダ12、Yデコーダ13、セレ
クタ14、及びORゲート31からなるメモリセル選択
手段と、このメモリセル選択手段によって読み出し可能
な状態にされた複数のメモリセルの書き込み内容を所定
回数繰り返し読み出して、メモリセルの書き込み内容の
安定性を試験するセンスアンプ15などからなるメモリ
セル試験手段とを備えるので、メモリセルアレイ11を
構成する各メモリセル毎に書き込み内容を読み出す動作
が不要となり、各ビット線上で複数のメモリセルが同時
に選択されることから、大幅にメモリセルの書き込み内
容の安定性試験に要する時間を短縮することができる。
As described above, according to the second embodiment, a predetermined plurality of word lines are selected from a plurality of word lines constituting memory cell array 11, and a plurality of word lines corresponding to the predetermined plurality of word lines are selected. A memory cell selecting means including an X decoder 12, a Y decoder 13, a selector 14, and an OR gate 31 for setting a memory cell to a readable state, and a plurality of memory cells readable by the memory cell selecting means And a memory cell testing means including a sense amplifier 15 for testing the stability of the written contents of the memory cells by repeatedly reading the written contents of the memory cell for a predetermined number of times. Read operation is not required and multiple memory cells are simultaneously selected on each bit line , It is possible to greatly reduce the time required for the stability test of writing the contents of the memory cell.

【0037】実施の形態3.この実施の形態3は上記実
施の形態1及び2を組み合わせた構成を有し、メモリセ
ルアレイを構成する複数のワード線及び複数のビット線
を同時に選択することができるようにしたものである。
Embodiment 3 The third embodiment has a configuration in which the first and second embodiments are combined, so that a plurality of word lines and a plurality of bit lines constituting a memory cell array can be simultaneously selected.

【0038】図4はこの発明の実施の形態3による半導
体記憶回路装置の構成を示す図である。図において、1
〜56はメモリセルアレイ11を構成するメモリセル、
16aはYデコーダ13とセレクタ14との間に複数の
ビット線に対応して設けられ、外部から信号線17a,
18aを介して入力する制御信号に基づいて所定のメモ
リセルを有する複数のビット線を選択状態にするORゲ
ート(メモリセル選択手段)、17a,18aは外部か
ら不図示のテストモード用端子を介して入力される制御
信号をORゲート16aに伝送する信号線(メモリセル
選択手段)で、制御信号として値1に相当するHレベ
ル、値0に相当するLレベルの信号が適宜入力される。
ここで、ORゲート16aを構成するOR回路の出力信
号はセレクタ14内で複数のビット線に対応するセレク
タに出力され、OR回路からHレベルの信号を受けたビ
ット線が選択状態となる。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a third embodiment of the present invention. In the figure, 1
To 56 are memory cells constituting the memory cell array 11,
16a is provided between the Y decoder 13 and the selector 14 in correspondence with a plurality of bit lines, and the signal lines 17a,
OR gates (memory cell selecting means) for selecting a plurality of bit lines having predetermined memory cells based on a control signal input via 18a, and 17a and 18a are externally connected via a test mode terminal (not shown). A signal line (memory cell selecting means) for transmitting a control signal input to the OR gate 16a to the H-level signal corresponding to the value 1 and an L-level signal corresponding to the value 0 are appropriately input as control signals.
Here, the output signal of the OR circuit forming the OR gate 16a is output to the selector corresponding to the plurality of bit lines in the selector 14, and the bit line receiving the H level signal from the OR circuit is selected.

【0039】31aはXデコーダ12とメモリセルアレ
イ11との間にワード線毎に対応して設けられ、信号線
32a,33aを伝搬して入力する制御信号に基づいて
所定のメモリセルを有する複数のワード線を選択状態に
するORゲート(メモリセル選択手段)、32a,33
aは外部から不図示のテストモード用端子を介して入力
される制御信号をORゲート31aに伝送する信号線
(メモリセル選択手段)で、制御信号として値1に相当
するHレベル、値0に相当するLレベルの信号が適宜入
力される。ここで、ORゲート31aを構成するOR回
路の出力信号はメモリセルアレイ11内でワード線毎に
出力され、OR回路からHレベルの信号を受けたワード
線が選択状態となる。また、図示の例では半導体記憶回
路装置としてSRAMを使用している。なお、図1及び
図2と同一構成要素には同一符号を付して重複する説明
を省略する。
A plurality of reference numerals 31a are provided between the X decoder 12 and the memory cell array 11 for each word line, and include a plurality of predetermined memory cells based on a control signal transmitted and input through the signal lines 32a and 33a. OR gate (memory cell selecting means) for selecting a word line, 32a, 33
Reference symbol a denotes a signal line (memory cell selection means) for transmitting a control signal input from the outside via a test mode terminal (not shown) to the OR gate 31a. A corresponding L-level signal is appropriately input. Here, the output signal of the OR circuit constituting the OR gate 31a is output for each word line in the memory cell array 11, and the word line that has received the H level signal from the OR circuit is selected. In the illustrated example, an SRAM is used as the semiconductor storage circuit device. The same components as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0040】次に動作について説明する。本願発明は半
導体記憶回路装置を構成するメモリセルに書き込まれた
内容の安定性に対する試験の効率化を図るものであるの
で、半導体記憶回路装置のデータ記憶動作については説
明を省略する。図5は実施の形態3による半導体記憶回
路装置のメモリセルの書き込み内容の安定性試験の動作
を示すタイミング図である。図において、17a,18
a,32a,33aは図4中の信号線17a,18a,
32a,33aを伝搬する制御信号のレベルを時間に対
して示したものである。この図5に沿って実施の形態3
による半導体記憶回路装置のメモリセルの書き込み内容
の安定性試験について述べる。
Next, the operation will be described. Since the present invention aims at improving the efficiency of the test for the stability of the contents written in the memory cells constituting the semiconductor memory circuit device, the description of the data storage operation of the semiconductor memory circuit device is omitted. FIG. 5 is a timing chart showing the operation of the stability test of the written contents of the memory cells of the semiconductor memory circuit device according to the third embodiment. In the figure, 17a, 18
a, 32a, 33a are signal lines 17a, 18a,
The level of a control signal propagating through 32a and 33a is shown with respect to time. Embodiment 3 along this FIG.
A description will be given of the stability test of the written contents of the memory cell of the semiconductor memory circuit device according to the present invention.

【0041】先ず、図5中の期間T51において、信号
線17a,18a,32a,33aを伝搬する制御信号
は、どちらも0値に対応するLレベルである。このと
き、不図示のCPUがメモリセルアレイ11を構成する
全てのメモリセルに、例えば値0のデータを書き込む。
具体的に説明すると、SRAMに対して不図示のCPU
から全てのメモリセルに対応するアドレス信号が送信さ
れると、Xデコーダ12はORゲート31aを構成する
OR回路にHレベルのデコード信号を順次出力する。こ
のとき、信号線32a,33aを伝搬する制御信号は、
どちらもLレベルであるので、Xデコーダ12からのデ
コード信号に従ってワード線が選択状態になる。また、
Yデコーダ13はORゲート16aを構成するOR回路
にHレベルのデコード信号を順次出力する。信号線17
a,18aを伝搬する制御信号はどちらもLレベルであ
るので、Yデコーダ13からのHレベルのデコード信号
はセレクタ14を介して出力され、ビット線が順次選択
状態となる。これにより、選択状態となったワード線及
びビット線に対応するメモリセルが書き込み若しくは読
み出し可能な状態となり、このメモリセルを接地電位V
ssとして記憶内容を0値にする動作を順次行い、全て
のメモリセルに0値を書き込む(データ書き込みステッ
プ)。また、マイコンが通常動作を行うときは、この期
間T51の状態、つまり、メモリセルアレイ11を構成
する全てのメモリセルが書き込み若しくは読み出し可能
な状態となるようにする。
First, in a period T51 in FIG. 5, the control signals propagating through the signal lines 17a, 18a, 32a, and 33a are all at the L level corresponding to the 0 value. At this time, the CPU (not shown) writes, for example, data of value 0 to all the memory cells constituting the memory cell array 11.
More specifically, a CPU (not shown) is provided for the SRAM.
When the address signals corresponding to all the memory cells are transmitted from X, the X decoder 12 sequentially outputs an H level decode signal to the OR circuit constituting the OR gate 31a. At this time, the control signal propagating through the signal lines 32a and 33a is:
Since both are at the L level, the word line is selected according to the decode signal from the X decoder 12. Also,
The Y decoder 13 sequentially outputs an H level decode signal to an OR circuit forming the OR gate 16a. Signal line 17
Since the control signals propagating through a and 18a are both at the L level, the H level decode signal from the Y decoder 13 is output via the selector 14, and the bit lines are sequentially selected. As a result, the memory cell corresponding to the selected word line and bit line becomes in a writable or readable state, and this memory cell is set to the ground potential V.
The operation of sequentially setting the storage content to 0 value as ss is performed, and the 0 value is written to all the memory cells (data writing step). When the microcomputer performs a normal operation, the state during the period T51, that is, a state where all the memory cells constituting the memory cell array 11 can be written or read is set.

【0042】次に、期間T52において、信号線32a
を伝搬する制御信号をHレベル、信号線33aを伝搬す
る制御信号をLレベルとする。このとき、Xデコーダ1
2から全てのワード線に対するデコード信号をLレベル
としてORゲート31aに出力しておくことで、1,
3,5,7行目のワード線が選択状態になる。さらに、
図5に示すように、信号線17a,18aを伝搬する制
御信号を交互にLレベル、Hレベルにする。ここで、信
号線17aを伝搬する制御信号がLレベル、信号線18
aを伝搬する制御信号がHレベルのとき、ORゲート3
1aからの出力信号がHレベルとなる図4中のメモリセ
ルアレイ11を構成する1,3,5,7行目のワード線
が選択状態となり、ORゲート16aからの出力信号が
Hレベルとなる図4中の1,3,5,7列目のビット線
が選択状態となることから、複数のメモリセル1,3,
5,7,17,19,21,23,33,35,37,
39,49,51,53,55が同時に読み出し可能な
状態となるので、これらから書き込み内容に係る信号を
出力させ、これをセンスアンプ15で増幅して不図示の
検出器により書き込み内容を検査する(メモリセル選択
ステップ、メモリセル試験ステップ)。
Next, in a period T52, the signal line 32a
Is set to H level, and the control signal propagating through the signal line 33a is set to L level. At this time, the X decoder 1
By outputting the decode signals for all the word lines from L2 to the L level to the OR gate 31a,
The word lines in the third, fifth, and seventh rows are selected. further,
As shown in FIG. 5, the control signals propagating through the signal lines 17a and 18a are alternately set to L level and H level. Here, the control signal propagating through the signal line 17a is at L level,
When the control signal propagating through a is at the H level, the OR gate 3
FIG. 4 shows that the word lines on the first, third, fifth, and seventh rows constituting the memory cell array 11 in FIG. 4 in which the output signal from 1a goes high are in a selected state, and the output signal from the OR gate 16a goes high. 4, the bit lines in the first, third, fifth and seventh columns are in a selected state.
5, 7, 17, 19, 21, 23, 33, 35, 37,
Since 39, 49, 51, 53, and 55 are simultaneously in a readable state, a signal relating to the contents to be written is outputted therefrom, amplified by the sense amplifier 15, and inspected by a detector (not shown). (Memory cell selection step, memory cell test step).

【0043】また、信号線17aを伝搬する制御信号が
Hレベル、信号線18aを伝搬する制御信号がLレベル
のとき、ORゲート31aからの出力信号がHレベルと
なる図4中のメモリセルアレイ11を構成する1,3,
5,7行目のワード線が選択状態となり、ORゲート1
6aからの出力信号がHレベルとなる図4中の2,4,
6,8列目のビット線が選択状態となることから、複数
のメモリセル2,4,6,8,18,20,22,2
4,34,36,38,40,50,52,54,56
が同時に読み出し可能な状態となるので、これらから書
き込み内容に係る信号を出力させ、これをセンスアンプ
15で増幅して不図示の検出器により書き込み内容を検
査する(メモリセル選択ステップ、メモリセル試験ステ
ップ)。
When the control signal propagating on signal line 17a is at H level and the control signal propagating on signal line 18a is at L level, the output signal from OR gate 31a attains H level. 1,3
The word lines on the fifth and seventh rows are selected, and the OR gate 1
4 in which the output signal from 6a is at the H level.
Since the bit lines in the sixth and eighth columns are in the selected state, a plurality of memory cells 2, 4, 6, 8, 18, 20, 22, 2
4,34,36,38,40,50,52,54,56
Are simultaneously readable, so that a signal relating to the contents of writing is output from them, amplified by the sense amplifier 15 and inspected for the contents of writing by a detector (not shown) (memory cell selection step, memory cell test). Steps).

【0044】上記のように、信号線32aを伝搬する制
御信号がHレベル、信号線33aを伝搬する制御信号が
Lレベルの下で、信号線17a,18aを伝搬する制御
信号を周期的に試験の仕様に合わせた所定回数、例えば
128〜50000回だけ交互にLレベル、Hレベルに
する。これにより、奇数行目のワード線上の物理的に隣
接するメモリセルの書き込み内容が交互に読み出され、
奇数行目のワード線における全てのメモリセルに対する
書き込み内容が検査される(メモリセル選択ステップ、
メモリセル試験ステップ)。
As described above, when the control signal propagating on the signal line 32a is at the H level and the control signal propagating on the signal line 33a is at the L level, the control signals transmitted on the signal lines 17a and 18a are periodically tested. Are alternately set to the L level and the H level only a predetermined number of times, for example, from 128 to 50,000 times in accordance with the specification. Thereby, the written contents of the physically adjacent memory cells on the odd-numbered word lines are alternately read,
The contents written to all the memory cells in the odd-numbered word lines are checked (memory cell selecting step,
Memory cell test step).

【0045】上記のようにして奇数行目のワード線にお
けるメモリセルの書き込み内容を検出した後、期間T5
3に進む。期間T53において、信号線32aを伝搬す
る制御信号をLレベル、信号線33aを伝搬する制御信
号をHレベルとする。このとき、Xデコーダ12から全
てのワード線に対するデコード信号をLレベルとしてO
Rゲート31aに出力しておくことで、2,4,6,8
行目のワード線が選択状態になる。さらに、図5に示す
ように、信号線17a,18aを伝搬する制御信号を交
互にLレベル、Hレベルにする。ここで、信号線17a
を伝搬する制御信号がLレベル、信号線18aを伝搬す
る制御信号がHレベルのとき、ORゲート31aからの
出力信号がHレベルとなる図4中のメモリセルアレイ1
1を構成する2,4,6行目のワード線が選択状態にな
り、ORゲート16aからの出力信号がHレベルとなる
図4中の1,3,5,7列目のビット線が選択状態とな
ることから、複数のメモリセル9,11,13,15,
25,27,29,31,41,43,45,47が同
時に読み出し可能な状態となるので、これらから書き込
み内容に係る信号を出力させ、これをセンスアンプ15
で増幅して不図示の検出器により書き込み内容を検査す
る(メモリセル選択ステップ、メモリセル試験ステッ
プ)。
After detecting the written contents of the memory cells in the odd-numbered word lines as described above, the period T5
Proceed to 3. In the period T53, a control signal transmitted through the signal line 32a is set at an L level, and a control signal transmitted through the signal line 33a is set at an H level. At this time, the decode signals for all the word lines from the X decoder 12 are set to L level,
By outputting to the R gate 31a, 2, 4, 6, 8
The word line in the row is selected. Further, as shown in FIG. 5, the control signals propagating through the signal lines 17a and 18a are alternately set to L level and H level. Here, the signal line 17a
When the control signal propagating through the signal line L is at the L level and the control signal propagating through the signal line 18a is at the H level, the output signal from the OR gate 31a is at the H level.
4, the word lines in the second, fourth, and sixth rows are selected, and the bit lines in the first, third, fifth, and seventh columns in FIG. 4 in which the output signal from the OR gate 16a goes high are selected. State, a plurality of memory cells 9, 11, 13, 15,
25, 27, 29, 31, 41, 43, 45, and 47 are simultaneously in a readable state, so that a signal relating to the contents of writing is output from these, and this is output to the sense amplifier 15.
And write data is inspected by a detector (not shown) (memory cell selection step, memory cell test step).

【0046】また、信号線17aを伝搬する制御信号が
Hレベル、信号線18aを伝搬する制御信号がLレベル
のとき、ORゲート31aからの出力信号がHレベルと
なる図4中のメモリセルアレイ11を構成する2,4,
6行目のワード線が選択状態となり、ORゲート16a
からの出力信号がHレベルとなる図4中の2,4,6,
8列目のビット線が選択状態となることから、複数のメ
モリセル10,12,14,16,26,28,30,
32,42,44,46,48が同時に読み出し可能な
状態となるので、これらから書き込み内容に係る信号を
出力させ、これをセンスアンプ15で増幅して不図示の
検出器により書き込み内容を検査する(メモリセル選択
ステップ、メモリセル試験ステップ)。
When the control signal propagating on signal line 17a is at H level and the control signal propagating on signal line 18a is at L level, the output signal from OR gate 31a attains H level. Make up 2,4
The word line in the sixth row is selected, and the OR gate 16a
2, 4, 6, and 6 in FIG.
Since the bit line in the eighth column is in the selected state, the plurality of memory cells 10, 12, 14, 16, 26, 28, 30,
Since 32, 42, 44, 46, and 48 are simultaneously in a readable state, a signal relating to the written content is output from these, and the amplified signal is amplified by the sense amplifier 15 and the written content is inspected by a detector (not shown). (Memory cell selection step, memory cell test step).

【0047】上記のように、信号線32aを伝搬する制
御信号がLレベル、信号線33aを伝搬する制御信号が
Hレベルの下で、信号線17a,18aを伝搬する制御
信号を周期的に試験の仕様に合わせた所定回数、例えば
128〜50000回だけ交互にLレベル、Hレベルに
する。これにより、偶数行目のワード線上の物理的に隣
接するメモリセルの書き込み内容が交互に読み出され、
偶数行目のワード線における全てのメモリセルに対する
書き込み内容が検査される(メモリセル選択ステップ、
メモリセル試験ステップ)。
As described above, when the control signal propagating on the signal line 32a is at L level and the control signal propagating on the signal line 33a is at H level, the control signals propagating on the signal lines 17a and 18a are periodically tested. Are alternately set to the L level and the H level only a predetermined number of times, for example, from 128 to 50,000 times in accordance with the specification. As a result, the written contents of the physically adjacent memory cells on the even-numbered word lines are alternately read out,
The write contents for all the memory cells in the even-numbered word lines are checked (memory cell selecting step,
Memory cell test step).

【0048】このようにして、メモリセルアレイ11を
構成する全てのメモリセルに対して、上記書き込み内容
の検査が完了すると、最後にXデコーダ12、Yデコー
ダ13、セレクタ14、ORゲート16a、及びORゲ
ート31aによって、複数のワード線及び複数のビット
線を順次選択状態としてメモリセルアレイ11を構成す
る全てのメモリセルを読み出し、全てのメモリセルの書
き込み内容が0値であることを確認してテストを終了す
る。
When the inspection of the written contents is completed for all the memory cells constituting the memory cell array 11, the X decoder 12, the Y decoder 13, the selector 14, the OR gate 16a, and the OR The gate 31a reads out all the memory cells constituting the memory cell array 11 while sequentially selecting the plurality of word lines and the plurality of bit lines, and confirms that the written contents of all the memory cells are 0 values and performs a test. finish.

【0049】以上のように、この実施の形態3によれ
ば、メモリセルアレイ11を構成する複数のワード線及
びビット線から所定の複数のワード線及びビット線を選
択状態とし、所定の複数のワード線及びビット線に対応
する複数のメモリセルを読み出し可能な状態に設定する
Xデコーダ12、Yデコーダ13、セレクタ14、OR
ゲート16a、及びORゲート31aからなるメモリセ
ル選択手段と、このメモリセル選択手段によって読み出
し可能な状態にされた複数のメモリセルの書き込み内容
を所定回数繰り返し読み出して、メモリセルの書き込み
内容の安定性を試験するセンスアンプ15などからなる
メモリセル試験手段とを備えるので、複数のワード線及
び複数のビット線上で複数のメモリセルが同時に選択さ
れることから、上記実施の形態1及び2と比較して大幅
にメモリセルの書き込み内容の安定性試験に要する時間
を短縮することができる。
As described above, according to the third embodiment, a predetermined plurality of word lines and bit lines are selected from a plurality of word lines and bit lines constituting memory cell array 11, and a plurality of predetermined word lines and bit lines are selected. X decoder 12, Y decoder 13, selector 14, OR for setting a plurality of memory cells corresponding to a line and a bit line to a readable state
A memory cell selecting means comprising a gate 16a and an OR gate 31a; and a plurality of times of repeatedly reading the written contents of the plurality of memory cells which are made readable by the memory cell selecting means, thereby stabilizing the written contents of the memory cells. And a memory cell testing means including a sense amplifier 15 for testing a memory cell, a plurality of memory cells are simultaneously selected on a plurality of word lines and a plurality of bit lines. Thus, the time required for the stability test of the written contents of the memory cell can be greatly reduced.

【0050】実施の形態4.上記実施の形態では、マイ
コンのCPUがメモリセルに対応するアドレス信号を送
信するなどしてメモリセルの書き込み内容の安定性試験
を制御する例を示したが、この実施の形態4はCPUを
介さずにメモリセルの書き込み内容の安定性試験を自動
的に行えるようにしたものである。
Embodiment 4 In the above-described embodiment, an example has been described in which the CPU of the microcomputer controls the stability test of the written content of the memory cell by transmitting an address signal corresponding to the memory cell. In this case, the stability test of the written contents of the memory cell can be performed automatically.

【0051】図6はこの発明の実施の形態4による半導
体記憶回路装置の構成を概略的に示す図である。図示の
例では半導体記憶回路装置としてSRAMを使用してい
る。図において、16bはYデコーダ13とセレクタ1
4との間に複数のビット線に対応して設けられ、AND
回路60,64から入力する制御信号に基づいて所定の
メモリセルを有する複数のビット線を選択状態にするO
Rゲート(メモリセル選択手段)、60はSRAMテス
トレジスタ69及び2分周器62からの信号を入力し、
演算結果をORゲート16bに出力するAND回路(メ
モリセル選択手段、自動試験手段)、61aはSRAM
テストレジスタ69に格納されたデータに対応する信号
をセレクタ66,68、AND回路60,64に伝送す
る信号線(自動試験手段)、62はマイコンの動作クロ
ック信号であるXin信号を1/2分周して、AND回
路60、インバータ63、及びカウンタ65に出力する
2分周器(自動試験手段)である。
FIG. 6 schematically shows a structure of a semiconductor memory circuit device according to a fourth embodiment of the present invention. In the illustrated example, an SRAM is used as a semiconductor storage circuit device. In the figure, 16b is the Y decoder 13 and the selector 1
4, a plurality of bit lines are provided corresponding to a plurality of bit lines.
O that sets a plurality of bit lines having predetermined memory cells to a selected state based on a control signal input from circuits 60 and 64
An R gate (memory cell selection means), 60 receives signals from the SRAM test register 69 and the frequency divider 62,
AND circuit (memory cell selecting means, automatic test means) for outputting the operation result to the OR gate 16b, 61a is an SRAM
A signal line (automatic test means) for transmitting a signal corresponding to the data stored in the test register 69 to the selectors 66 and 68, the AND circuits 60 and 64, and a signal 62 for dividing the Xin signal, which is the operation clock signal of the microcomputer, by 1 / A frequency divider (automatic test means) that outputs the signal to the AND circuit 60, the inverter 63, and the counter 65.

【0052】63は2分周器62からの1/2分周され
たXin信号のレベルを反転させてAND回路64に出
力するインバータ(自動試験手段)、64はSRAMテ
ストレジスタ69及びインバータ63からの信号を入力
し、演算結果をORゲート16bに出力するAND回路
(メモリセル選択手段、自動試験手段)、65はAND
回路60,64の出力信号のレベル変化の回数(つま
り、Yデコーダ13、セレクタ14、及びORゲート1
6bによるビット線の選択回数)を計数するカウンタ
(自動試験手段)で、試験の仕様に合わせた所定回数、
例えば128〜50000回を計数するように設定され
る。また、カウンタ65は所定回数の計数を終えると、
その旨を伝える信号をカウンタ67に出力する。66は
SRAMテストレジスタ69に格納されたデータに対応
する信号に基づいて、センスアンプ15に入力する信号
を通常動作モード時における不図示のCPUからのSR
AM読み出し信号からテストモード時におけるXin信
号に切り換えるセレクタ(自動試験手段)、66aはセ
レクタ66にXin信号を入力するための信号線(自動
試験手段)で、セレクタ66を信号線66a側に切り換
えることで、センスアンプ15がXin信号に同期して
メモリセルの読み出し動作を行うことができる。67は
カウンタ65から所定回数の計数を終えた旨を伝える信
号を受けると、セレクタ68に切り替え信号を出力し
て、信号線68a側からアドレス側に切り換えさせるカ
ウンタ(自動試験手段)、68はSRAMテストレジス
タ69に格納されたデータに対応する信号及びカウンタ
67からの切り替え信号に基づいて、信号線68a側又
はアドレス側に切り替えるセレクタ(自動試験手段)で
あって、アドレス側に切り替えられると、通常動作モー
ドで不図示のCPUがXデコーダ12を制御可能な状態
になる。68aはセレクタ68とカウンタ67との間で
信号を伝搬する信号線(自動試験手段)、69は不図示
のCPUが0値若しくは1値のデータを格納すること
で、通常動作モード若しくはテストモードを設定するS
RAMテストレジスタ(自動試験手段)である。なお、
図1と同一構成要素には同一符号を付して重複する説明
を省略する。
Reference numeral 63 denotes an inverter (automatic test means) for inverting the level of the Xin signal obtained by dividing the frequency of the Xin signal from the 2 frequency divider 62 and outputting the inverted signal to the AND circuit 64; AND circuit (memory cell selection means, automatic test means) which inputs the signal of
The number of times of the level change of the output signals of the circuits 60 and 64 (that is, the Y decoder 13, the selector 14, and the OR gate 1)
6b) is a counter (automatic test means) that counts the number of times a bit line is selected according to 6b.
For example, it is set to count 128 to 50,000 times. When the counter 65 has counted the predetermined number of times,
A signal to that effect is output to the counter 67. 66, based on a signal corresponding to the data stored in the SRAM test register 69, converts a signal input to the sense amplifier 15 into an SR from a CPU (not shown) in the normal operation mode.
A selector (automatic test means) for switching from the AM read signal to the Xin signal in the test mode, 66a is a signal line (automatic test means) for inputting the Xin signal to the selector 66, and switches the selector 66 to the signal line 66a side. Thus, the sense amplifier 15 can perform the read operation of the memory cell in synchronization with the Xin signal. When receiving a signal indicating that the predetermined number of counts have been completed from the counter 65, the counter 67 outputs a switching signal to the selector 68 to switch from the signal line 68a side to the address side (automatic test means). A selector (automatic test means) for switching to the signal line 68a or the address side based on a signal corresponding to the data stored in the test register 69 and a switching signal from the counter 67. In the operation mode, a CPU (not shown) can control the X decoder 12. Reference numeral 68a denotes a signal line (automatic test means) for transmitting a signal between the selector 68 and the counter 67, and 69 denotes a normal operation mode or a test mode when a CPU (not shown) stores 0-value or 1-value data. S to set
RAM test register (automatic test means). In addition,
The same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0053】次に動作について説明する。本願発明は半
導体記憶回路装置を構成するメモリセルに書き込まれた
内容の安定性に対する試験の効率化を図るものであるの
で、半導体記憶回路装置のデータ記憶動作については説
明を省略する。先ず、不図示のCPUはSRAMテスト
レジスタ69に0値のデータを格納する。これにより、
SRAMテストレジスタ69から0値のデータに対応す
るLレベルの信号が信号線61aを介してAND回路6
0,64、セレクタ66,68に出力される。AND回
路60,64にLレベルの信号を入力すると、ORゲー
ト16bに入力する制御信号は、どちらも0値に対応す
るLレベルとなる。このとき、不図示のCPUがメモリ
セルアレイ11を構成する全てのメモリセルに、例えば
値0のデータを書き込む。具体的に説明すると、SRA
Mに対して不図示のCPUから全てのメモリセルに対応
するアドレス信号が送信されると、Xデコーダ12はア
ドレス側に接続したセレクタ68から不図示のレジスタ
に格納されたメモリセルに対するアドレス信号を受ける
と、これに対応する各ワード線にHレベルのデコード信
号を順次出力して選択状態にする。また、Yデコーダ1
3はORゲート16bを構成する各OR回路にHレベル
のデコード信号を順次出力する。ORゲート16bに入
力するAND回路60,64からの信号はどちらもLレ
ベルであるので、Yデコーダ13からのHレベルのデコ
ード信号によってビット線が選択状態となる。これによ
り、選択状態となったワード線及びビット線に対応する
メモリセルが書き込み若しくは読み出し可能な状態とな
り、このメモリセルを接地電位Vssにして記憶内容を
0値にする動作を順次行って、全てのメモリセルに0値
を書き込んでゆく(データ書き込みステップ)。また、
マイコンが通常動作を行うときは、SRAMテストレジ
スタ69に0値のデータが格納され、センスアンプ15
がSRAM読み出し信号を受信可能な状態で、つまり、
メモリセルアレイ11を構成する全てのメモリセルが書
き込み若しくは読み出し可能な状態にする。
Next, the operation will be described. Since the present invention aims at improving the efficiency of the test for the stability of the contents written in the memory cells constituting the semiconductor memory circuit device, the description of the data storage operation of the semiconductor memory circuit device is omitted. First, a CPU (not shown) stores 0-value data in the SRAM test register 69. This allows
From the SRAM test register 69, an L-level signal corresponding to 0-value data is sent to the AND circuit 6 via the signal line 61a.
0, 64 and output to selectors 66, 68. When an L-level signal is input to the AND circuits 60 and 64, the control signal input to the OR gate 16b becomes L level corresponding to the 0 value. At this time, the CPU (not shown) writes, for example, data of value 0 to all the memory cells constituting the memory cell array 11. Specifically, SRA
When an address signal corresponding to all memory cells is transmitted from the CPU (not shown) to M, the X decoder 12 outputs an address signal for the memory cell stored in the register (not shown) from the selector 68 connected to the address side. When it is received, an H-level decode signal is sequentially output to each corresponding word line to bring it into a selected state. Also, Y decoder 1
Reference numeral 3 sequentially outputs an H level decode signal to each OR circuit constituting the OR gate 16b. Since the signals from the AND circuits 60 and 64 input to the OR gate 16b are both at L level, the bit line is selected by the H level decode signal from the Y decoder 13. As a result, the memory cells corresponding to the selected word line and bit line become in a writable or readable state, and the memory cells are sequentially set to the ground potential Vss and the operation of resetting the stored contents to 0 is performed. Is written to the memory cell (data writing step). Also,
When the microcomputer performs a normal operation, zero-value data is stored in the SRAM test register 69, and the sense amplifier 15
Is ready to receive the SRAM read signal, that is,
All the memory cells constituting the memory cell array 11 are set to be in a writable or readable state.

【0054】次に、不図示のCPUはSRAMテストレ
ジスタ69に1値のデータ(開始信号)を格納する。こ
れにより、SRAMテストレジスタ69から1値のデー
タに対応するHレベルの信号が信号線61aを介してA
ND回路60,64、セレクタ66,68に出力され
る。セレクタ66は信号線61aを介してHレベルの信
号を受けると、SRAM読み出し信号側から信号線66
a側に切り替わり、センスアンプ15がSRAM読み出
し信号を受信可能な状態からXin信号を受信可能な状
態となる。また、セレクタ68は信号線61aを介して
Hレベルの信号を受けると、アドレス側から信号線68
a側に切り替わり、Xデコーダ12がカウンタ67の出
力信号で制御可能な状態になる。
Next, the CPU (not shown) stores one-value data (start signal) in the SRAM test register 69. As a result, an H-level signal corresponding to one-value data is output from the SRAM test register 69 through the signal line 61a.
The signals are output to the ND circuits 60 and 64 and the selectors 66 and 68. When the selector 66 receives the H-level signal via the signal line 61a, the selector 66 receives the signal from the SRAM read signal side.
The state is switched to the side a, and the sense amplifier 15 changes from a state capable of receiving the SRAM read signal to a state capable of receiving the Xin signal. When the selector 68 receives the signal of H level via the signal line 61a, the selector 68 receives the signal line 68 from the address side.
The state is switched to the side a, and the X decoder 12 becomes controllable by the output signal of the counter 67.

【0055】AND回路60,64はHレベルの信号を
入力すると、動作クロック信号であるXin信号に同期
して、ORゲート16bに入力する制御信号が交互にH
レベル、Lレベルとなる。具体的に説明すると、AND
回路60,64は、いずれもSRAMテストレジスタ6
9からのHレベルの信号が入力し、2分周器62からの
Xin信号がAND回路60にはそのまま入力し、AN
D回路64にはインバータ63によりXin信号のレベ
ルが反転されて入力する。従って、AND回路60,6
4から出力する信号はXin信号に同期して交互にHレ
ベル、Lレベルとなる。
When an H level signal is input to the AND circuits 60 and 64, the control signal input to the OR gate 16b is alternately changed to H in synchronization with the Xin signal which is the operation clock signal.
Level, L level. More specifically, AND
Each of the circuits 60 and 64 includes the SRAM test register 6
9 and the Xin signal from the divide-by-2 frequency divider 62 is directly input to the AND circuit 60.
The level of the Xin signal is inverted and input to the D circuit 64 by the inverter 63. Therefore, the AND circuits 60 and 6
The signal output from 4 alternately goes to H level and L level in synchronization with the Xin signal.

【0056】このとき、Xin信号に同期して交互にH
レベル、LレベルとなるAND回路60,64からの出
力信号がORゲート16bに入力されるので、ORゲー
ト16bからの出力信号もXin信号に同期して交互に
Hレベル、Lレベルとなる。これにより、例えばYデコ
ーダ13からORゲート16bに出力する信号をLレベ
ルとし、AND回路60,64からの出力信号がそれぞ
れLレベル、Hレベルであるとき、ORゲート16bか
らの出力信号がHレベルになる図6中のメモリセル1,
3,5,7に対応するビット線が選択状態となり、AN
D回路60,64からの出力信号がそれぞれHレベル、
Lレベルであるとき、ORゲート16bからの出力信号
がHレベルになる図6中のメモリセル2,4,6,8に
対応するビット線が選択状態となる。従って、カウンタ
67からの出力信号に基づいてXデコーダ12によって
図6中のメモリセルアレイ11を構成する1行目のワー
ド線を選択状態にしておけば、複数のメモリセル1,
3,5,7とメモリセル2,4,6,8とが、Xin信
号に同期して交互に同時に読み出し可能な状態となるの
で、これらから書き込み内容に係る信号を出力させ、こ
れをセンスアンプ15で増幅して不図示の検出器により
書き込み内容を検査する(メモリセル選択ステップ、メ
モリセル試験ステップ)。
At this time, H is alternately synchronized with the Xin signal.
Since the output signals from the AND circuits 60 and 64 at the L level and the L level are input to the OR gate 16b, the output signal from the OR gate 16b also alternately goes to the H level and the L level in synchronization with the Xin signal. Thus, for example, the signal output from the Y decoder 13 to the OR gate 16b is set at L level, and when the output signals from the AND circuits 60 and 64 are at L level and H level, respectively, the output signal from the OR gate 16b is at H level. The memory cell 1 in FIG.
The bit lines corresponding to 3, 5, and 7 are selected, and AN
Output signals from the D circuits 60 and 64 are at H level, respectively.
When the output signal from the OR gate 16b is at the L level, the bit lines corresponding to the memory cells 2, 4, 6, and 8 in FIG. 6 are selected. Therefore, if the word line of the first row constituting the memory cell array 11 in FIG. 6 is selected by the X decoder 12 based on the output signal from the counter 67, a plurality of memory cells 1
Since the memory cells 3, 5, 7 and the memory cells 2, 4, 6, 8 are simultaneously and alternately readable in synchronization with the Xin signal, a signal relating to the contents of writing is output from these, and this is sensed. The amplified data is amplified at 15 and the written contents are inspected by a detector (not shown) (memory cell selection step, memory cell test step).

【0057】このあと、カウンタ65が計数するAND
回路60,64から出力される信号のレベル変化の回数
が設定された所定回数に達すると(つまり、1行目のワ
ード線上の物理的に隣り合ったメモリセルの書き込み内
容が所定回数分交互に読み出されて、1行目のワード線
における全てのメモリセルに対する書き込み内容が検査
されると)、カウンタ65は所定回数の計数を終えた旨
を伝える信号をカウンタ67に出力する。カウンタ67
はカウンタ65からの信号を受けると、1行目のワード
線の試験完了を計数して、Xデコーダ12に次のワード
線(2行目)に対応するデコード信号を出力させる。こ
れにより、2行目のワード線上のメモリセルに対して同
様の書き込み内容の読み出し動作が行われる(メモリセ
ル選択ステップ、メモリセル試験ステップ)。
Thereafter, the AND counted by the counter 65
When the number of level changes of the signals output from the circuits 60 and 64 reaches the set predetermined number (that is, the write contents of the physically adjacent memory cells on the word line of the first row are alternately performed by the predetermined number of times). When the reading is performed and the contents written to all the memory cells in the word line of the first row are inspected), the counter 65 outputs to the counter 67 a signal indicating that the predetermined number of times has been counted. Counter 67
Receives the signal from the counter 65, counts the completion of the test on the word line in the first row, and causes the X decoder 12 to output a decode signal corresponding to the next word line (second row). As a result, the same read operation of the written contents is performed on the memory cells on the word lines in the second row (memory cell selection step, memory cell test step).

【0058】上述したように、不図示のCPUはSRA
Mテストレジスタ69に1値のデータを書き込むだけ
で、自動的にメモリセルアレイ11を構成する全てのメ
モリセルに対して上記書き込み内容の検査が行われるた
め、予め上記試験時間として期待される所定の時間を経
過すると、不図示のCPUがSRAMテストレジスタ6
9に0値のデータを書き込むようにして上記試験を停止
させる。このあと、メモリセルアレイ11を構成する全
てのメモリセルを読み出し、全てのメモリセルの書き込
み内容が0値であることを確認してテストを終了する。
As described above, the CPU (not shown) uses the SRA
By simply writing one-value data to the M test register 69, the written contents are automatically inspected for all the memory cells constituting the memory cell array 11, so that a predetermined value expected in advance as the test time is obtained. After a lapse of time, the CPU (not shown) sets the SRAM test register 6
The above test is stopped by writing 0-value data to 9. Thereafter, all the memory cells constituting the memory cell array 11 are read, and it is confirmed that the write contents of all the memory cells are 0 values, and the test is terminated.

【0059】以上のように、この実施の形態4によれ
ば、メモリセルアレイ11を構成する複数のビット線か
ら所定の複数のビット線を選択状態とし、所定の複数の
ビット線に対応する複数のメモリセルを読み出し可能な
状態に設定するYデコーダ13、セレクタ14、ORゲ
ート16b、AND回路60,64などからなるメモリ
セル選択手段と、このメモリセル選択手段によって読み
出し可能な状態にされた複数のメモリセルの書き込み内
容を所定回数繰り返し読み出して、メモリセルの書き込
み内容の安定性を試験するセンスアンプ15などからな
るメモリセル試験手段と、CPUから受信した開始信号
をトリガとして、マイクロコンピュータのXin信号に
同期させながら、CPUを介さずに、メモリセル選択手
段、及びメモリセル試験手段を動作させる2分周器62
やカウンタ65,67などからなる自動試験手段とを備
えるので、CPUを介さずにメモリセルの書き込み内容
の安定性試験を行うことができることから、上記試験の
実行中にCPUを他の処理に使用することができ、マイ
コンを効率よく利用することができる。例えば、上記試
験の実行中にCPUを他の試験に使用すれば、マイコン
全体の試験時間を大幅に短縮することが可能となる。
As described above, according to the fourth embodiment, a predetermined plurality of bit lines are selected from a plurality of bit lines constituting memory cell array 11, and a plurality of bit lines corresponding to the predetermined plurality of bit lines are selected. A memory cell selecting means including a Y decoder 13, a selector 14, an OR gate 16b, AND circuits 60 and 64 for setting a memory cell to a readable state, and a plurality of readable states by the memory cell selecting means. A memory cell test means such as a sense amplifier 15 for repeatedly reading out the written contents of the memory cells a predetermined number of times to test the stability of the written contents of the memory cells, and an Xin signal of the microcomputer triggered by a start signal received from the CPU. Memory cell selecting means and memory cell 2 divider to operate the test means 62
And automatic test means including counters 65 and 67, etc., so that the stability test of the written contents of the memory cell can be performed without the intervention of the CPU. Therefore, the CPU can be used for other processing during the execution of the test. And the microcomputer can be used efficiently. For example, if the CPU is used for another test while the above test is being executed, the test time of the entire microcomputer can be significantly reduced.

【0060】実施の形態5.この実施の形態5は上記実
施の形態4の構成にメモリセルアレイを構成する複数の
ワード線及び複数のビット線を同時に選択することがで
きるようにしたものである。
Embodiment 5 FIG. The fifth embodiment is different from the fourth embodiment in that a plurality of word lines and a plurality of bit lines constituting a memory cell array can be simultaneously selected.

【0061】図7はこの発明の実施の形態5による半導
体記憶回路装置の構成を概略的に示す図である。図にお
いて、67aはORゲート71に複数のワード線を同時
に選択状態にする制御信号を出力するカウンタ(自動試
験手段)、68bはSRAMテストレジスタ69に格納
されたデータに対応する信号及びカウンタ67からの切
り替え信号に基づいて、接地電位側又はアドレス側に切
り替えるセレクタ(自動試験手段)であって、アドレス
側に切り替えられると、通常動作モードで不図示のCP
UがXデコーダ12を制御可能な状態となり、接地電位
側に切り替えられると、Xデコーダ12の入力アドレス
線を伝搬するORゲート71への出力信号が全て0値に
対応するLレベルとなる。71はXデコーダ12とメモ
リセルアレイ11との間にワード線毎に対応して設けら
れ、カウンタ67aからの制御信号に基づいて、所定の
メモリセルを有する複数のワード線を選択状態にするO
Rゲート(メモリセル選択手段、自動試験手段)であ
る。なお、図1及び図6と同一構成要素には同一符号を
付して重複する説明を省略する。
FIG. 7 schematically shows a structure of a semiconductor memory circuit device according to a fifth embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 67a denotes a counter (automatic test means) for outputting a control signal for simultaneously selecting a plurality of word lines to an OR gate 71, and 68b denotes a signal corresponding to data stored in an SRAM test register 69 and a counter 67. Is a selector (automatic test means) for switching to the ground potential side or the address side based on the switching signal of the switch.
When U is in a state where the X decoder 12 can be controlled and is switched to the ground potential side, all the output signals to the OR gate 71 propagating through the input address line of the X decoder 12 become L level corresponding to 0 value. Reference numeral 71 is provided between the X decoder 12 and the memory cell array 11 for each word line, and sets a plurality of word lines having predetermined memory cells to a selected state based on a control signal from the counter 67a.
R gate (memory cell selection means, automatic test means). The same components as those in FIGS. 1 and 6 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0062】次に動作について説明する。本願発明は半
導体記憶回路装置を構成するメモリセルに書き込まれた
内容の安定性に対する試験の効率化を図るものであるの
で、半導体記憶回路装置のデータ記憶動作については説
明を省略する。先ず、不図示のCPUはSRAMテスト
レジスタ69に0値のデータを格納する。これにより、
SRAMテストレジスタ69から0値のデータに対応す
るLレベルの信号が信号線61aを介してAND回路6
0,64、セレクタ66,68bに出力される。AND
回路60,64はLレベルの信号を入力すると、ORゲ
ート16bに入力する制御信号は、どちらも0値に対応
するLレベルとなる。このとき、不図示のCPUがメモ
リセルアレイ11を構成する全てのメモリセルに、例え
ば値0のデータを書き込む(データ書き込みステッ
プ)。この動作は上記実施の形態4と同様であるので、
具体的な説明を省略する。
Next, the operation will be described. Since the present invention aims at improving the efficiency of the test for the stability of the contents written in the memory cells constituting the semiconductor memory circuit device, the description of the data storage operation of the semiconductor memory circuit device is omitted. First, a CPU (not shown) stores 0-value data in the SRAM test register 69. This allows
From the SRAM test register 69, an L-level signal corresponding to 0-value data is sent to the AND circuit 6 via the signal line 61a.
0, 64 and output to the selectors 66, 68b. AND
When the circuits 60 and 64 receive an L-level signal, both of the control signals input to the OR gate 16b have an L level corresponding to a 0 value. At this time, the CPU (not shown) writes, for example, data having a value of 0 to all the memory cells constituting the memory cell array 11 (data writing step). Since this operation is the same as that of the fourth embodiment,
Specific description is omitted.

【0063】次に、不図示のCPUはSRAMテストレ
ジスタ69に1値のデータを格納する。これにより、S
RAMテストレジスタ69から1値のデータに対応する
Hレベルの信号が信号線61aを介してAND回路6
0,64、セレクタ66,68bに出力される。セレク
タ66は信号線61aを介してHレベルの信号を受ける
と、SRAM読み出し信号側から信号線66a側に切り
替わり、センスアンプ15がSRAM読み出し信号を受
信可能な状態からXin信号を受信可能な状態となる。
また、セレクタ68bは信号線61aを介してHレベル
の信号を受けると、アドレス側から接地電位側に切り替
わり、Xデコーダ12の入力アドレス線を伝搬するOR
ゲート71への出力信号が全て0値に対応するLレベル
となる。
Next, the CPU (not shown) stores one-value data in the SRAM test register 69. Thereby, S
An H-level signal corresponding to one-value data is output from the RAM test register 69 to the AND circuit 6 via the signal line 61a.
0, 64 and output to the selectors 66, 68b. When the selector 66 receives the H level signal via the signal line 61a, the selector 66 switches from the SRAM read signal side to the signal line 66a side, and the sense amplifier 15 switches from the state capable of receiving the SRAM read signal to the state capable of receiving the Xin signal. Become.
Further, when the selector 68b receives an H level signal via the signal line 61a, the selector 68b switches from the address side to the ground potential side, and an OR signal propagating through the input address line of the X decoder 12.
The output signals to the gate 71 are all at the L level corresponding to the 0 value.

【0064】AND回路60,64はHレベルの信号を
入力すると、上記実施の形態4に示したように動作クロ
ック信号であるXin信号に同期して、ORゲート16
bに入力する制御信号が交互にHレベル、Lレベルとな
る。このとき、Xin信号に同期して交互にHレベル、
LレベルとなるAND回路60,64からの出力信号が
ORゲート16bに入力されるので、ORゲート16b
からの出力信号もXin信号に同期して交互にHレベ
ル、Lレベルとなる。
When an H-level signal is input to AND circuits 60 and 64, as described in the fourth embodiment, the OR gates 16 and 64 are synchronized with the Xin signal as the operation clock signal.
The control signal input to b alternately becomes H level and L level. At this time, the H level is alternately synchronized with the Xin signal,
Since the output signals from the AND circuits 60 and 64 at L level are input to the OR gate 16b, the OR gate 16b
The output signal from the inverter also alternately goes to H level and L level in synchronization with the Xin signal.

【0065】これにより、例えばYデコーダ13からO
Rゲート16bに出力する信号をLレベルとし、AND
回路60,64からの出力信号がそれぞれLレベル、H
レベルであるとき、ORゲート16bからの出力信号が
Hレベルになる図7中のメモリセルアレイ11を構成す
る奇数列目のビット線が選択状態となり、AND回路6
0,64からの出力信号がそれぞれHレベル、Lレベル
であるとき、ORゲート16bからの出力信号がHレベ
ルになる図7中の偶数列目のビット線が選択状態とな
る。
As a result, for example, O
The signal output to the R gate 16b is set to L level, and AND
The output signals from the circuits 60 and 64 are L level and H level respectively.
When the level is at the level, the output signal from the OR gate 16b goes to the H level, and the bit lines in the odd columns forming the memory cell array 11 in FIG.
When the output signals from 0 and 64 are at H level and L level, respectively, the bit lines in the even columns in FIG. 7 in which the output signal from OR gate 16b is at H level are in a selected state.

【0066】このとき、カウンタ67aの内容を、例え
ば図7中のメモリセルアレイ11を構成する奇数行目の
ワード線に対応するORゲート71内のOR回路にHレ
ベルの信号を出力し、奇数行目のワード線の試験が完了
した旨の信号をカウンタ65から受けると、偶数行目の
ワード線に対応するORゲート71内のOR回路にHレ
ベルの信号を出力するように設定しておけば、メモリセ
ルアレイ11を構成する複数のワード線及び複数のビッ
ト線に対応するメモリセルをXin信号に同期して同時
に読み出すことが可能になるので、これらから書き込み
内容に係る信号を出力させ、これをセンスアンプ15で
増幅して不図示の検出器により書き込み内容を検査する
(メモリセル選択ステップ、メモリセル試験ステッ
プ)。
At this time, an H-level signal is output to the OR circuit in the OR gate 71 corresponding to the word line of the odd-numbered row constituting the memory cell array 11 in FIG. When a signal indicating that the test of the word line of the second row is completed is received from the counter 65, a high-level signal is output to the OR circuit in the OR gate 71 corresponding to the word line of the even-numbered row. Since the memory cells corresponding to the plurality of word lines and the plurality of bit lines constituting the memory cell array 11 can be simultaneously read out in synchronization with the Xin signal, a signal relating to the written content is output from these, and this is output. The data is amplified by the sense amplifier 15 and the written contents are inspected by a detector (not shown) (memory cell selection step, memory cell test step).

【0067】このようにして、メモリセルアレイ11を
構成する全てのメモリセルに対して、上記書き込み内容
の検査が完了すると、最後にメモリセルアレイ11を構
成する全てのメモリセルを読み出し、全てのメモリセル
の書き込み内容が0値であることを確認してテストを終
了する。
When the inspection of the written contents is completed for all the memory cells constituting the memory cell array 11 in this manner, finally, all the memory cells constituting the memory cell array 11 are read, and all the memory cells constituting the memory cell array 11 are read. The test is terminated after confirming that the written content of is zero.

【0068】以上のように、この実施の形態5によれ
ば、メモリセルアレイ11を構成する複数のワード線及
びビット線から所定の複数のワード線及びビット線を選
択状態とし、所定の複数のワード線及びビット線に対応
する複数のメモリセルを読み出し可能な状態に設定する
Xデコーダ12、Yデコーダ13、セレクタ14、OR
ゲート16b、及びORゲート71などからなるメモリ
セル選択手段と、このメモリセル選択手段によって読み
出し可能な状態にされた複数のメモリセルの書き込み内
容を所定回数繰り返し読み出して、メモリセルの書き込
み内容の安定性を試験するセンスアンプ15などからな
るメモリセル試験手段と、CPUから受信した開始信号
をトリガとして、マイクロコンピュータのXin信号に
同期させながら、CPUを介さずに、メモリセル選択手
段、及びメモリセル試験手段を動作させるカウンタ67
aなどからなる自動試験手段とを備えるので、上記実施
の形態4と同様の効果が得られるとともに、複数のワー
ド線及び複数のビット線上で複数のメモリセルが同時に
選択されることから、上記実施の形態4と比較して大幅
にメモリセルの書き込み内容の安定性試験に要する時間
を短縮することができる。
As described above, according to the fifth embodiment, a predetermined plurality of word lines and bit lines are selected from a plurality of word lines and bit lines constituting memory cell array 11, and a plurality of predetermined word lines and bit lines are selected. X decoder 12, Y decoder 13, selector 14, OR for setting a plurality of memory cells corresponding to a line and a bit line to a readable state
A memory cell selecting means including a gate 16b, an OR gate 71, etc .; and repeatedly writing a predetermined number of times the write contents of the plurality of memory cells which can be read by the memory cell select means, thereby stabilizing the write contents of the memory cells. A memory cell testing means including a sense amplifier 15 for testing the performance, a memory cell selecting means, and a memory cell selecting means, not through a CPU, synchronized with an Xin signal of a microcomputer using a start signal received from the CPU as a trigger. Counter 67 for operating test means
a and the like, the same effects as in the fourth embodiment can be obtained, and a plurality of memory cells are simultaneously selected on a plurality of word lines and a plurality of bit lines. The time required for the stability test of the written contents of the memory cell can be significantly reduced as compared with the fourth embodiment.

【0069】実施の形態6.この実施の形態6はメモリ
セル選択手段が装置の消費電力の許容値を越えないよう
に同時に選択状態にするワード線及び/若しくはビット
線の数を制限するものである。
Embodiment 6 FIG. In the sixth embodiment, the number of word lines and / or bit lines to be simultaneously selected by the memory cell selecting means so as not to exceed the allowable value of the power consumption of the device is limited.

【0070】図8はこの発明の実施の形態6による半導
体記憶回路装置の構成を概略的に示す図である。図にお
いて、31bはXデコーダ12とメモリセルアレイ11
との間にワード線毎に対応して設けられ、信号線81〜
84からの制御信号に基づいて、所定のメモリセルを有
する複数のワード線を選択状態にするORゲート(メモ
リセル選択手段)、81〜84は外部からテスト用モー
ド端子を用いて制御信号が入力される信号線(メモリセ
ル選択手段)であり、各信号線81〜84がORゲート
31b内の2つのOR回路に接続している。なお、図3
と同一構成要素には同一符号を付して重複する説明を省
略する。
FIG. 8 schematically shows a structure of a semiconductor memory circuit device according to a sixth embodiment of the present invention. In the figure, 31b denotes the X decoder 12 and the memory cell array 11
Are provided corresponding to each word line, and signal lines 81 to 81 are provided.
OR gates (memory cell selection means) for selecting a plurality of word lines having predetermined memory cells based on a control signal from 84, and control signals are inputted to 81 to 84 from outside using test mode terminals. The signal lines 81 to 84 are connected to two OR circuits in the OR gate 31b. Note that FIG.
The same components as those described above are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0071】次に動作について説明する。上記実施の形
態3では信号線32a,33aによってワード線を1つ
おき、つまり、図4の例では奇数行目のワード線を同時
に選択状態とした。しかしながら、これによってメモリ
セルアレイ11を構成するメモリセルの半分が同時に読
み出し可能な状態になり、これらに対して書き込み内容
の試験を行うと、SRAM内で許容される消費電力を超
えてしまう可能性がある。
Next, the operation will be described. In the third embodiment, one other word line is provided by the signal lines 32a and 33a. That is, in the example of FIG. 4, the word lines in the odd-numbered rows are simultaneously selected. However, this causes half of the memory cells constituting the memory cell array 11 to be in a state where data can be read at the same time, and if the test of the written contents is performed on them, the power consumption may exceed the allowable power consumption in the SRAM. is there.

【0072】そこで、この実施の形態6では、同時に選
択状態にするワード線の数を制限するために、例えば各
信号線81〜84をORゲート31b内の2つのOR回
路に接続して、これらの各々にHレベルの制御信号が入
力されると2ワード線が選択状態になるように構成し
た。具体的な動作としては、1ワード線上のメモリセル
に対する書き込み内容試験毎に信号線81〜84にHレ
ベルの制御信号を順次出力して同時に2つのワード線を
選択状態にする。
Therefore, in the sixth embodiment, in order to limit the number of word lines to be simultaneously selected, for example, each signal line 81 to 84 is connected to two OR circuits in the OR gate 31b. Are configured such that when an H-level control signal is input to each of them, two word lines are selected. As a specific operation, H level control signals are sequentially output to the signal lines 81 to 84 every time a write content test is performed on a memory cell on one word line, and two word lines are simultaneously selected.

【0073】図9はこの発明の実施の形態6による半導
体記憶回路装置の他の構成を概略的に示す図である。図
において、67bは信号線91〜94を介してORゲー
ト71aに複数のワード線を同時に選択状態にする制御
信号を出力するカウンタ(メモリセル選択手段、自動試
験手段)、91〜94はカウンタ67bから制御信号が
入力される信号線(メモリセル選択手段)であり、各信
号線91〜94がORゲート71a内の2つのOR回路
に接続している。71aはXデコーダ12とメモリセル
アレイ11との間にワード線毎に対応して設けられ、信
号線91〜94からの制御信号に基づいて所定のメモリ
セルを有する複数のワード線を選択状態にするORゲー
ト(メモリセル選択手段、自動試験手段)である。な
お、図1及び図7と同一構成要素には同一符号を付して
重複する説明を省略する。
FIG. 9 is a diagram schematically showing another configuration of the semiconductor memory circuit device according to the sixth embodiment of the present invention. In the figure, 67b is a counter (memory cell selecting means, automatic test means) for outputting a control signal for simultaneously selecting a plurality of word lines to the OR gate 71a via signal lines 91 to 94, and 91 to 94 are counters 67b , And a signal line (memory cell selecting means) to which a control signal is input. Each of the signal lines 91 to 94 is connected to two OR circuits in the OR gate 71a. Reference numeral 71a is provided between the X decoder 12 and the memory cell array 11 for each word line, and selects a plurality of word lines having predetermined memory cells based on control signals from the signal lines 91 to 94. An OR gate (memory cell selecting means, automatic test means). The same components as those in FIGS. 1 and 7 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0074】次に動作について説明する。図9は上述し
た同時に選択状態にするワード線の数を制限する構成を
上記実施の形態5の構成に適用したものである。ここで
は、詳細な動作については上記実施の形態5と同様であ
るので省略し、ワード線の選択動作について説明する。
1ワード線上の全てのメモリセルに対して書き込み内容
試験を完了すると、各々がORゲート71a内の2つの
OR回路に接続する信号線91〜94にカウンタ67b
がHレベルの制御信号を順次出力して同時に2つのワー
ド線を選択状態にする。
Next, the operation will be described. FIG. 9 shows an example in which the above-described configuration for limiting the number of word lines to be simultaneously selected is applied to the configuration of the fifth embodiment. Here, the detailed operation is the same as that of the fifth embodiment, and thus the description thereof will be omitted, and the operation of selecting a word line will be described.
When the writing content test is completed for all the memory cells on one word line, the counter 67b is connected to the signal lines 91 to 94 each connected to two OR circuits in the OR gate 71a.
Sequentially output H-level control signals to simultaneously select two word lines.

【0075】以上のように、この実施の形態6によれ
ば、ORゲート71aや信号線91〜94などからなる
メモリセル選択手段が、装置の消費電力の許容値を越え
ないように、同時に選択状態にするワード線の数を制限
するので、メモリセルに対する書き込み内容試験を行う
際に消費される電力を軽減することができることから、
マイコンに与える負荷を低減することができる。
As described above, according to the sixth embodiment, the memory cell selecting means including the OR gate 71a and the signal lines 91 to 94 are simultaneously selected so as not to exceed the allowable value of the power consumption of the device. Since the number of word lines to be set is limited, the power consumed when performing a write test on a memory cell can be reduced.
The load on the microcomputer can be reduced.

【0076】なお、上記実施の形態では、同時に選択状
態にするワード線の数を制限する例について示したが、
同時に選択状態にするビット線の数を制限するようにし
てもよい。
In the above embodiment, an example in which the number of word lines to be simultaneously selected is limited has been described.
At the same time, the number of bit lines to be selected may be limited.

【0077】また、上記実施の形態では、同時に選択状
態にするワード線の数を2つとした例について示した
が、装置の消費電力の許容値を越えなければ他の数でも
よい。
In the above-described embodiment, an example has been described in which the number of word lines to be simultaneously selected is two. However, another number may be used as long as the power consumption of the device does not exceed the allowable value.

【0078】実施の形態7.この実施の形態7は自動試
験手段がメモリセルアレイにおける全てのメモリセルが
試験されると、試験が完了した旨を伝える割込信号をC
PUに送信するものである。
Embodiment 7 FIG. In the seventh embodiment, when all the memory cells in the memory cell array are tested, the automatic test means outputs an interrupt signal indicating that the test is completed to C.
This is transmitted to the PU.

【0079】図10はこの発明の実施の形態7による半
導体記憶回路装置の構成を概略的に示す図である。図に
おいて、67cはカウンタ65から全てのメモリセルに
ついて所定回数の計数を終えた旨(つまり、全てのメモ
リセルに対する書き込み内容試験が完了した)を伝える
信号を受けると、不図示のCPUに試験が完了した旨を
伝える割込信号を出力するカウンタ(メモリセル選択手
段、自動試験手段)、100はカウンタ67cからの割
込信号を不図示のCPUまで伝送する信号線である。な
お、図1及び図6と同一構成要素には同一符号を付して
重複する説明を省略する。
FIG. 10 schematically shows a structure of a semiconductor memory circuit device according to a seventh embodiment of the present invention. In the figure, when receiving a signal from the counter 65 that notifies the counter 65 that counting of all memory cells has been completed a predetermined number of times (that is, the writing content test for all memory cells is completed), the CPU (not shown) executes the test. A counter (memory cell selection means, automatic test means) for outputting an interrupt signal for notifying the completion is shown. Reference numeral 100 denotes a signal line for transmitting an interrupt signal from the counter 67c to a CPU (not shown). The same components as those in FIGS. 1 and 6 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0080】次に動作について説明する。上記実施の形
態4では不図示のCPUを介さずに自動的にメモリセル
に対する書き込み内容試験を行うことができ、不図示の
CPUが上記試験の実行中に他の処理を行うことができ
る構成を示した。この構成では、不図示のCPUが他の
処理を実行する際、上記書き込み内容試験が完了する時
間を考慮しながら他の処理を実行する時間を調整しなけ
ればならない。例えば、上記試験の実行中に不図示のC
PUが処理時間の短い他の試験を実行したとすると、こ
の試験の完了後、上記書き込み内容試験が完了する時間
まで、さらに他の処理を実行させるなどしてCPUタイ
ムの調整をする必要がある。そこで、この実施の形態7
では、カウンタ65から全てのメモリセルについて所定
回数の計数を終えた旨(つまり、全てのメモリセルに対
する書き込み内容試験が完了した)を伝える信号を受け
ると、信号線100を介してカウンタ67cが不図示の
CPUに試験が完了した旨を伝える割込信号を出力す
る。これにより、不図示のCPUは上記書き込み内容試
験の実行中にその完了時間を考慮せずに他の処理を行っ
ても、上記割込信号によって上記書き込み内容試験が完
了したことを知ることができる。
Next, the operation will be described. In the fourth embodiment, it is possible to automatically perform a write content test on a memory cell without the intervention of a CPU (not shown), and to provide a configuration in which the CPU (not shown) can perform other processing during execution of the test. Indicated. In this configuration, when the CPU (not shown) executes another process, the time for executing the other process must be adjusted in consideration of the time for completing the write content test. For example, during execution of the above test, C (not shown)
Assuming that the PU executes another test having a short processing time, it is necessary to adjust the CPU time by executing another process after the completion of this test until the completion of the write content test. . Therefore, this embodiment 7
When the counter 65c receives a signal from the counter 65 indicating that the count of all memory cells has been completed a predetermined number of times (that is, the writing content test for all memory cells has been completed), the counter 67c is disabled via the signal line 100. An interrupt signal for notifying that the test is completed is output to the illustrated CPU. Thus, the CPU (not shown) can know that the write content test has been completed by the interrupt signal even if the CPU (not shown) performs other processing during the execution of the write content test without considering the completion time. .

【0081】以上のように、この実施の形態7によれ
ば、カウンタ67cがメモリセルアレイ11における全
てのメモリセルが試験されると、試験が完了した旨を伝
える割込信号をCPUに送信するので、CPUがメモリ
セルに対する書き込み内容試験が完了する時間を考慮せ
ずに他の処理を実行することができることから、CPU
を効率的に使用することができる。
As described above, according to the seventh embodiment, when all the memory cells in memory cell array 11 are tested, counter 67c transmits an interrupt signal indicating that the test is completed to CPU. Since the CPU can perform other processing without considering the time required for completing the write content test on the memory cell,
Can be used efficiently.

【0082】なお、上記実施の形態7を上記実施の形態
4〜6の構成に適用してもよい。
Note that the seventh embodiment may be applied to the configurations of the fourth to sixth embodiments.

【0083】[0083]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、メモ
リセルアレイを構成する複数のワード線及び/若しくは
ビット線から所定の複数のワード線及び/若しくはビッ
ト線を選択状態とし、所定の複数のワード線及び/若し
くはビット線に対応する複数のメモリセルを読み出し可
能な状態に設定し、読み出し可能な状態にされた複数の
メモリセルの書き込み内容を所定回数繰り返し読み出し
て、メモリセルの書き込み内容の安定性を試験するの
で、大幅にメモリセルの書き込み内容の安定性試験に要
する時間を短縮することができる効果がある。
As described above, according to the present invention, a predetermined plurality of word lines and / or bit lines are selected from a plurality of word lines and / or bit lines constituting a memory cell array, and a predetermined plurality of word lines and / or bit lines are selected. A plurality of memory cells corresponding to the word lines and / or bit lines are set in a readable state, and the written contents of the plurality of readable memory cells are repeatedly read a predetermined number of times, and the written contents of the memory cells are read. Is tested, the time required for the stability test of the written contents of the memory cell can be greatly reduced.

【0084】この発明に係る半導体記憶回路装置は、メ
モリセルアレイを構成する複数のワード線及び/若しく
はビット線から所定の複数のワード線及び/若しくはビ
ット線を選択状態とし、所定の複数のワード線及び/若
しくはビット線に対応する複数のメモリセルを読み出し
可能な状態に設定し、読み出し可能な状態にされた複数
のメモリセルの書き込み内容を所定回数繰り返し読み出
して、メモリセルの書き込み内容の安定性を試験する動
作を、CPUから受信した開始信号をトリガとして、マ
イクロコンピュータの動作クロック信号に同期させなが
ら、CPUを介さずに自動的に行うので、上記段落00
83と同様の効果を奏するとともに、CPUを介さずに
メモリセルの書き込み内容の安定性試験を行うことがで
きることから、上記試験の実行中にCPUを他の処理に
使用することができ、マイコンを効率よく利用すること
ができる効果がある。
In the semiconductor memory circuit device according to the present invention, a predetermined plurality of word lines and / or bit lines are selected from a plurality of word lines and / or bit lines constituting a memory cell array, and a predetermined plurality of word lines and / or bit lines are selected. And / or setting a plurality of memory cells corresponding to the bit lines to a readable state, and repeatedly reading the written contents of the plurality of memory cells in the readable state a predetermined number of times, thereby stabilizing the written contents of the memory cells. Is automatically performed without the intervention of the CPU while synchronizing with the operation clock signal of the microcomputer using the start signal received from the CPU as a trigger.
In addition to providing the same effect as the test 83, the stability test of the written contents of the memory cells can be performed without the intervention of the CPU. Therefore, the CPU can be used for other processing during the execution of the test, and the microcomputer can be used. There is an effect that can be used efficiently.

【0085】この発明に係る半導体記憶回路装置は、メ
モリセルアレイにおける全てのメモリセルが試験される
と、試験が完了した旨を伝える割込信号をCPUに送信
するので、CPUがメモリセルに対する書き込み内容試
験が完了する時間を考慮せずに他の処理を実行すること
ができることから、CPUを効率的に使用することがで
きる効果がある。
In the semiconductor memory circuit device according to the present invention, when all the memory cells in the memory cell array have been tested, an interrupt signal indicating that the test has been completed is transmitted to the CPU. Since other processing can be executed without considering the time when the test is completed, there is an effect that the CPU can be used efficiently.

【0086】この発明に係る半導体記憶回路装置は、装
置の消費電力の許容値を越えないように、同時に選択状
態にするワード線及び/若しくはビット線の数を制限す
るので、メモリセルに対する書き込み内容試験を行う際
に消費される電力を軽減することができることから、マ
イコンに与える負荷を低減することができる効果があ
る。
In the semiconductor memory circuit device according to the present invention, the number of word lines and / or bit lines to be simultaneously selected is limited so as not to exceed the allowable value of power consumption of the device. Since the power consumed in performing the test can be reduced, there is an effect that the load applied to the microcomputer can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1による半導体記憶回
路装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a first embodiment of the present invention;

【図2】 実施の形態1による半導体記憶回路装置のメ
モリセルの書き込み内容の安定性試験の動作を示すタイ
ミング図である。
FIG. 2 is a timing chart illustrating an operation of a stability test of a written content of a memory cell of the semiconductor memory circuit device according to the first embodiment;

【図3】 この発明の実施の形態2による半導体記憶回
路装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a second embodiment of the present invention;

【図4】 この発明の実施の形態3による半導体記憶回
路装置の構成を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a third embodiment of the present invention;

【図5】 実施の形態3による半導体記憶回路装置のメ
モリセルの書き込み内容の安定性試験の動作を示すタイ
ミング図である。
FIG. 5 is a timing chart showing an operation of a stability test of a written content of a memory cell of a semiconductor memory circuit device according to a third embodiment;

【図6】 この発明の実施の形態4による半導体記憶回
路装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 6 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a fourth embodiment of the present invention;

【図7】 この発明の実施の形態5による半導体記憶回
路装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 7 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a fifth embodiment of the present invention;

【図8】 この発明の実施の形態6による半導体記憶回
路装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 8 schematically shows a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図9】 この発明の実施の形態6による半導体記憶回
路装置の他の構成を概略的に示す図である。
FIG. 9 schematically shows another configuration of a semiconductor memory circuit device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図10】 この発明の実施の形態7による半導体記憶
回路装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 10 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor memory circuit device according to a seventh embodiment of the present invention;

【図11】 従来のSRAMの構成を概略的に示す図で
ある。
FIG. 11 is a diagram schematically showing a configuration of a conventional SRAM.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1〜56 メモリセル、11 メモリセルアレイ、12
Xデコーダ(メモリセル選択手段)、13 Yデコー
ダ(メモリセル選択手段)、14 セレクタ(メモリセ
ル選択手段)、15 センスアンプ(メモリセル試験手
段)、16 ORゲート(メモリセル選択手段)、16
a ORゲート(メモリセル選択手段)、16b OR
ゲート(メモリセル選択手段)、17,18 信号線
(メモリセル選択手段)、17a,18a 信号線(メ
モリセル選択手段)、31 ORゲート(メモリセル選
択手段)、31a ORゲート(メモリセル選択手
段)、31b ORゲート(メモリセル選択手段)、3
2,33 信号線(メモリセル選択手段)、32a,3
3a 信号線(メモリセル選択手段)、60 AND回
路(メモリセル選択手段、自動試験手段)、61a 信
号線(自動試験手段)、62 2分周器(自動試験手
段)、63 インバータ(自動試験手段)、64 AN
D回路(メモリセル選択手段、自動試験手段)、65
カウンタ(自動試験手段)、66 セレクタ(自動試験
手段)、66a 信号線(自動試験手段)、67 カウ
ンタ(自動試験手段)、67a カウンタ(自動試験手
段)、67bカウンタ(メモリセル選択手段、自動試験
手段)、67c カウンタ(メモリセル選択手段、自動
試験手段)、68 セレクタ(自動試験手段)、68a
信号線(自動試験手段)、68b セレクタ(自動試
験手段)、69 SRAMテストレジスタ(自動試験手
段)、71 ORゲート(メモリセル選択手段、自動試
験手段)、71a ORゲート(メモリセル選択手段、
自動試験手段)、81〜84 信号線(メモリセル選択
手段)、91〜94 信号線(メモリセル選択手段)、
100 信号線。
1 to 56 memory cells, 11 memory cell arrays, 12
X decoder (memory cell selecting means), 13 Y decoder (memory cell selecting means), 14 selector (memory cell selecting means), 15 sense amplifier (memory cell testing means), 16 OR gate (memory cell selecting means), 16
a OR gate (memory cell selecting means), 16b OR
Gate (memory cell selecting means), 17, 18 signal line (memory cell selecting means), 17a, 18a signal line (memory cell selecting means), 31 OR gate (memory cell selecting means), 31a OR gate (memory cell selecting means) ), 31b OR gate (memory cell selecting means), 3
2, 33 signal lines (memory cell selecting means), 32a, 3
3a signal line (memory cell selecting means), 60 AND circuit (memory cell selecting means, automatic test means), 61a signal line (automatic test means), 622 frequency divider (automatic test means), 63 inverter (automatic test means) ), 64 AN
D circuit (memory cell selection means, automatic test means), 65
Counter (automatic test means), 66 selector (automatic test means), 66a signal line (automatic test means), 67 counter (automatic test means), 67a counter (automatic test means), 67b counter (memory cell selecting means, automatic test) Means), 67c counter (memory cell selecting means, automatic test means), 68 selector (automatic test means), 68a
Signal line (automatic test means), 68b selector (automatic test means), 69 SRAM test register (automatic test means), 71 OR gate (memory cell selecting means, automatic test means), 71a OR gate (memory cell selecting means,
Automatic test means), 81 to 84 signal lines (memory cell selecting means), 91 to 94 signal lines (memory cell selecting means),
100 signal lines.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11C 11/413 G01R 31/28 B 5L106 H01L 21/66 G11C 11/34 341D Fターム(参考) 2G032 AA07 AE07 AG07 AK11 AL11 4M106 AB07 AC01 CA26 DJ11 5B015 KB44 KB92 MM07 RR00 5B018 GA03 HA01 JA30 MA01 NA03 PA10 5B062 AA08 CC01 DD10 JJ05 5L106 AA02 DD04 EE02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11C 11/413 G01R 31/28 B 5L106 H01L 21/66 G11C 11/34 341D F-term (Reference) 2G032 AA07 AE07 AG07 AK11 AL11 4M106 AB07 AC01 CA26 DJ11 5B015 KB44 KB92 MM07 RR00 5B018 GA03 HA01 JA30 MA01 NA03 PA10 5B062 AA08 CC01 DD10 JJ05 5L106 AA02 DD04 EE02

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のワード線と複数のビット線とをマ
トリクス状に直交させて配置し、その各交点上に格子状
に設けた複数のメモリセルからなるメモリセルアレイを
有する半導体記憶回路装置において、 上記メモリセルアレイを構成する上記複数のワード線及
び/若しくはビット線から所定の複数のワード線及び/
若しくはビット線を選択状態とし、上記所定の複数のワ
ード線及び/若しくはビット線に対応する複数のメモリ
セルを読み出し可能な状態に設定するメモリセル選択手
段と、 このメモリセル選択手段によって読み出し可能な状態に
された上記複数のメモリセルの書き込み内容を所定回数
繰り返し読み出して、書き込み内容の安定性を試験する
メモリセル試験手段とを備えたことを特徴とする半導体
記憶回路装置。
1. A semiconductor memory circuit device comprising: a plurality of word lines and a plurality of bit lines arranged orthogonally in a matrix, and a memory cell array including a plurality of memory cells provided in a grid at respective intersections. A predetermined plurality of word lines and / or bit lines from the plurality of word lines and / or bit lines forming the memory cell array;
Alternatively, a memory cell selecting means for setting a bit line to a selected state and setting a plurality of memory cells corresponding to the predetermined plurality of word lines and / or bit lines to a readable state, and readable by the memory cell selecting means A semiconductor memory circuit device comprising: memory cell testing means for repeatedly reading the written contents of the plurality of memory cells in the state a predetermined number of times and testing the stability of the written contents.
【請求項2】 マイクロコンピュータに内蔵され、複数
のワード線と複数のビット線とをマトリクス状に直交さ
せて配置し、その各交点上に格子状に設けた複数のメモ
リセルからなるメモリセルアレイを有し、上記マイクロ
コンピュータのCPUの演算処理に適宜利用される半導
体記憶回路装置において、 上記メモリセルアレイを構成する上記複数のワード線及
び/若しくはビット線から所定の複数のワード線及び/
若しくはビット線を選択状態とし、上記所定の複数のワ
ード線及び/若しくはビット線に対応する複数のメモリ
セルを読み出し可能な状態に設定するメモリセル選択手
段と、 このメモリセル選択手段によって読み出し可能な状態に
された上記複数のメモリセルの書き込み内容を所定回数
繰り返し読み出して、書き込み内容の安定性を試験する
メモリセル試験手段と、 上記CPUから受信した開始信号をトリガとして、上記
マイクロコンピュータの動作クロック信号に同期させな
がら、上記CPUを介さずに、上記メモリセル選択手
段、及び上記メモリセル試験手段を動作させる自動試験
手段とを備えたことを特徴とする半導体記憶回路装置。
A plurality of word lines and a plurality of bit lines are arranged in a matrix so as to be orthogonal to each other in a microcomputer, and a memory cell array including a plurality of memory cells provided in a grid on each intersection is provided. A semiconductor memory circuit device which is appropriately used for arithmetic processing of a CPU of the microcomputer, wherein the plurality of word lines and / or bit lines constituting the memory cell array are replaced with a predetermined plurality of word lines and / or bit lines.
Alternatively, a memory cell selecting means for setting a bit line to a selected state and setting a plurality of memory cells corresponding to the predetermined plurality of word lines and / or bit lines to a readable state, and readable by the memory cell selecting means Memory cell test means for repeatedly reading the written contents of the plurality of memory cells in the state a predetermined number of times to test the stability of the written contents; and an operation clock of the microcomputer triggered by a start signal received from the CPU. A semiconductor memory circuit device comprising: a memory cell selecting unit; and an automatic test unit that operates the memory cell test unit without intervening the CPU while synchronizing with a signal.
【請求項3】 自動試験手段は、メモリセルアレイにお
ける全てのメモリセルが試験されると、試験が完了した
旨を伝える割込信号をCPUに送信することを特徴とす
る請求項2記載の半導体記憶回路装置。
3. The semiconductor memory according to claim 2, wherein the automatic test means sends an interrupt signal to the CPU when all the memory cells in the memory cell array have been tested, to notify the completion of the test. Circuit device.
【請求項4】 メモリセル選択手段は、装置の消費電力
の許容値を越えないように、同時に選択状態にするワー
ド線及び/若しくはビット線の数を制限することを特徴
とする請求項1又は請求項2記載の半導体記憶回路装
置。
4. The memory cell selector according to claim 1, wherein the number of word lines and / or bit lines to be simultaneously selected is limited so as not to exceed an allowable value of power consumption of the device. The semiconductor memory circuit device according to claim 2.
【請求項5】 複数のワード線と複数のビット線とをマ
トリクス状に直交させて配置し、その各交点上に格子状
に設けた複数のメモリセルからなるメモリセルアレイを
有する半導体記憶回路装置の試験方法において、 上記メモリセルアレイを構成する全てのメモリセルに同
一内容のデータを書き込むデータ書き込みステップと、 上記メモリセルアレイを構成する上記複数のワード線及
び/若しくはビット線から所定の複数のワード線及び/
若しくはビット線を選択状態とし、上記所定の複数のワ
ード線及び/若しくはビット線に対応する複数のメモリ
セルを読み出し可能な状態に設定するメモリセル選択ス
テップと、 このメモリセル選択ステップで読み出し可能な状態にさ
れた上記複数のメモリセルの書き込み内容を所定回数繰
り返し読み出して、書き込み内容の安定性を試験するメ
モリセル試験ステップとを備え、 上記メモリセル選択ステップから上記メモリセル試験ス
テップまでの操作が、上記メモリセルアレイを構成する
全てのメモリセルに対して行われるまで繰り返すことを
特徴とする半導体記憶回路装置の試験方法。
5. A semiconductor memory circuit device having a memory cell array in which a plurality of word lines and a plurality of bit lines are arranged orthogonally in a matrix, and a plurality of memory cells are provided in a grid at respective intersections. In the test method, a data writing step of writing data of the same content to all the memory cells constituting the memory cell array; and a plurality of word lines and / or bit lines from the plurality of word lines and / or bit lines constituting the memory cell array. /
Alternatively, a memory cell selecting step of setting a bit line to a selected state and setting a plurality of memory cells corresponding to the predetermined plurality of word lines and / or bit lines to a readable state; A memory cell test step of repeatedly reading the written contents of the plurality of memory cells in the state a predetermined number of times to test the stability of the written contents, wherein the operation from the memory cell selecting step to the memory cell testing step is performed. A test method for a semiconductor memory circuit device, which is repeated until the process is repeated for all the memory cells constituting the memory cell array.
【請求項6】 マイクロコンピュータに内蔵され、複数
のワード線と複数のビット線とをマトリクス状に直交さ
せて配置し、その各交点上に格子状に設けた複数のメモ
リセルからなるメモリセルアレイを有し、上記マイクロ
コンピュータのCPUの演算処理に適宜利用される半導
体記憶回路装置の試験方法において、 上記CPUが上記メモリセルアレイを構成する全てのメ
モリセルに同一内容のデータを書き込むデータ書き込み
ステップと、 上記メモリセルアレイを構成する上記複数のワード線及
び/若しくはビット線から所定の複数のワード線及び/
若しくはビット線を選択状態とし、上記所定の複数のワ
ード線及び/若しくはビット線に対応する複数のメモリ
セルを読み出し可能な状態に設定するメモリセル選択手
段と、 このメモリセル選択ステップで読み出し可能な状態にさ
れた上記複数のメモリセルの書き込み内容を所定回数繰
り返し読み出して、書き込み内容の安定性を試験するメ
モリセル試験ステップとを備え、 上記CPUから受信した開始信号をトリガとして、上記
マイクロコンピュータの動作クロック信号に同期させな
がら、上記CPUを介さずに、上記メモリセル選択ステ
ップから上記メモリセル試験ステップまでの操作が、上
記メモリセルアレイを構成する全てのメモリセルに対し
て行われるまで繰り返すことを特徴とする半導体記憶回
路装置の試験方法。
6. A memory cell array built in a microcomputer, comprising a plurality of word lines and a plurality of bit lines arranged orthogonally in a matrix, and a plurality of memory cells provided in a grid at respective intersections. A method for testing a semiconductor storage circuit device, which is appropriately used for arithmetic processing of a CPU of the microcomputer, comprising: a data writing step in which the CPU writes data of the same content to all memory cells constituting the memory cell array; From the plurality of word lines and / or bit lines constituting the memory cell array, a predetermined plurality of word lines and / or
Alternatively, a memory cell selecting means for setting a bit line to a selected state and setting a plurality of memory cells corresponding to the predetermined plurality of word lines and / or bit lines to a readable state; A memory cell test step of repeatedly reading out the written contents of the plurality of memory cells in the state a predetermined number of times, and testing the stability of the written contents, wherein the start signal received from the CPU is used as a trigger to trigger the microcomputer. The operation from the memory cell selection step to the memory cell test step is repeated in synchronization with the operation clock signal without intervention of the CPU until the operation from the memory cell selection step to the memory cell test step is performed on all the memory cells constituting the memory cell array. A method for testing a semiconductor storage circuit device.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5851570B1 (en) * 2014-08-29 2016-02-03 株式会社日立製作所 Semiconductor device
JP2016051491A (en) * 2014-08-29 2016-04-11 株式会社日立製作所 Semiconductor device
US9666252B2 (en) 2014-08-29 2017-05-30 Hitachi, Ltd. Semiconductor device for calculating an interaction model

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