JP2001319374A - Optical recording medium - Google Patents

Optical recording medium

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JP2001319374A
JP2001319374A JP2001059854A JP2001059854A JP2001319374A JP 2001319374 A JP2001319374 A JP 2001319374A JP 2001059854 A JP2001059854 A JP 2001059854A JP 2001059854 A JP2001059854 A JP 2001059854A JP 2001319374 A JP2001319374 A JP 2001319374A
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JP
Japan
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optical recording
layer
recording medium
lubricating
optical
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JP2001059854A
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Japanese (ja)
Inventor
Kensho Oshima
憲昭 大島
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Tosoh Corp
Original Assignee
Tosoh Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical recording medium which adopts a surface optical recording system, hardly causes head crash and does not impair the optical characteristics of an optical head. SOLUTION: At least an optical recording layer and a lubricative underlayer are formed on a substrate with a spiral guide groove or concentric guide grooves which take part in recording and reproduction, a layer comprising a perfluoro-polyether derivative and having 0.3 to <2.0 nm thickness is formed as a lubricative layer on the lubricative underlayer and the aggregated state of the perfluoro-polyether derivative obtained by analyzing the distribution of fragment ion peaks using TOF-SIMS is adjusted to <=10 μm.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は書き換えが可能な光
記録媒体、特に、浮上性光学ヘッドを使用しレーザービ
ームによって情報の記録、再生および消去を行う表面光
記録方式の光磁気記録媒体、あるいは相変化記録媒体に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rewritable optical recording medium, and more particularly, to a surface optical recording type magneto-optical recording medium in which information is recorded, reproduced and erased by a laser beam using a floating optical head. The present invention relates to a change recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】光記録媒体は大容量・高密度記録が可能
な可搬型記録媒体であり、近年のマルチメディア化に伴
うコンピュータの大容量保存ファイルとして動画等を記
録する書き換え型メディアとして需要が急増しつつあ
る。
2. Description of the Related Art An optical recording medium is a portable recording medium capable of large-capacity and high-density recording, and is demanded as a rewritable medium for recording a moving image or the like as a large-capacity storage file of a computer with the recent increase in multimedia. It is increasing rapidly.

【0003】従来の書き換え型光記録媒体は一般にプラ
スチック等の円盤状の基板に記録層を含む多層膜を形成
し、プラスチック基板側からレーザーを照射して記録、
再生、消去を行っていた。
[0003] Conventional rewritable optical recording media generally form a multilayer film including a recording layer on a disc-shaped substrate such as plastic, and irradiate a laser from the plastic substrate side to record.
Playing and erasing were performed.

【0004】これに対して、光学ヘッドを記録膜に近づ
けて記録再生する、いわゆる、表面光記録方式が高密度
化の手段として注目されている。
On the other hand, a so-called surface optical recording system, in which an optical head is brought close to a recording film for recording / reproducing, has attracted attention as a means for increasing the density.

【0005】表面光記録方式では光学ヘッドを記録面側
の記録媒体に近づける必要があるため、浮上式のスライ
ダーヘッドを利用することが提案されている。
In the surface optical recording method, it is necessary to bring the optical head close to the recording medium on the recording surface side, and it has been proposed to use a floating type slider head.

【0006】同様にスライダーヘッドを使用しているハ
ードディスクでは、スライダーヘッドの浮上性確保およ
び媒体の保護を目的として媒体表面に潤滑層を設けてい
る場合が多い。
Similarly, in a hard disk using a slider head, a lubricating layer is often provided on the surface of the medium for the purpose of securing the floating property of the slider head and protecting the medium.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】表面光記録方式では上
述のように光学ヘッドを媒体に近づける必要があり、こ
の場合、浮上式のスライダーヘッドが媒体に衝突する、
いわゆる、ヘッドクラッシュが起きやすいという問題が
ある。
In the surface optical recording system, it is necessary to bring the optical head close to the medium as described above. In this case, a floating slider head collides with the medium.
There is a problem that a head crash easily occurs.

【0008】また、表面光記録方式ではハードディスク
とは異なり、浮上式のスライダーヘッドに光学ヘッドを
設置して使用し、レーザービームの照射を伴って記録、
再生、消去を行うため、光学ヘッド表面に液状潤滑剤が
多量に付着した場合には光学系の特性が悪化してしま
い、安定した記録、再生、消去特性が得られないという
問題を有している。本発明の目的は、ヘッドクラッシュ
が起きにくく、さらに光学ヘッドの光学的特性等を損な
うことのない表面光記録型媒体を提供することである。
In the surface optical recording system, unlike a hard disk, an optical head is installed on a floating slider head and used for recording and irradiation with a laser beam.
In order to perform reproduction and erasure, if a large amount of liquid lubricant adheres to the surface of the optical head, the characteristics of the optical system deteriorate, and there is a problem that stable recording, reproduction and erasure characteristics cannot be obtained. I have. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a surface optical recording medium in which head crash hardly occurs and the optical characteristics of the optical head are not impaired.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者は上述のような
現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。
Means for Solving the Problems In view of the above-mentioned situation, the present inventors have made intensive studies and as a result have completed the present invention.

【0010】すなわち、本発明は記録および再生に関与
する螺旋状あるいは同心円状の案内溝を少なくとも有す
る基板上に光記録層及び潤滑下地層を形成し、潤滑下地
層の表面に潤滑層として、パーフルオロポリエーテル誘
導体からなる層を膜厚0.3nm以上2.0nm未満で
形成することにより、潤滑剤の分散性を二次イオン質量
分析装置(TOF−SIMS)を使用して、潤滑剤のフ
ラグメントイオンピークで分析して得られる潤滑剤の凝
集状態を10μm以下としたことを特徴とする光記録媒
体に関する。
That is, according to the present invention, an optical recording layer and a lubricating underlayer are formed on a substrate having at least a spiral or concentric guide groove involved in recording and reproduction. By forming a layer made of a fluoropolyether derivative with a film thickness of 0.3 nm or more and less than 2.0 nm, the dispersibility of the lubricant can be measured using a secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS). The present invention relates to an optical recording medium characterized in that the aggregation state of a lubricant obtained by analyzing an ion peak is 10 μm or less.

【0011】本発明の光記録媒体の光記録層はTbFe
Co、DyFeCo、GdTbFeCo、NdDyFe
Co等の光磁気記録膜、あるいはGeSbTe、AgI
nSbTe等の相変化記録膜など偏光面、反射率、光の
位相などの変化で記録が可能な膜で構成される。
The optical recording layer of the optical recording medium of the present invention is made of TbFe
Co, DyFeCo, GdTbFeCo, NdDyFe
Magneto-optical recording film of Co or GeSbTe, AgI
It is composed of a film such as a phase change recording film such as nSbTe, which can be recorded by changing the polarization plane, the reflectance, the phase of light, and the like.

【0012】本発明の光記録媒体の基板表面は少なくと
も記録および再生に関与する螺旋状あるいは同心円状に
配された案内溝構造を有している。
The substrate surface of the optical recording medium of the present invention has at least a spiral or concentrically arranged guide groove structure related to recording and reproduction.

【0013】本発明における溝構造を有することによ
り、潤滑下地層の表面に形成した潤滑層がディスク表面
に均一に分散され、かつ過剰の潤滑剤は溝の下部に蓄積
し、溝の上部は潤滑に必要な最小限の潤滑剤層で被覆さ
れる。
By having the groove structure in the present invention, the lubricating layer formed on the surface of the lubricating underlayer is uniformly dispersed on the disk surface, excess lubricant accumulates in the lower part of the groove, and the upper part of the groove is lubricated. With the minimum required lubricant layer.

【0014】このため、光学ヘッドを設置した浮上式ス
ライダーヘッドにより記録、再生を繰り返しても光学ヘ
ッドに潤滑剤の付着による光学異常が発生せず、安定し
た記録、再生、消去特性が得られる。
Therefore, even if recording and reproduction are repeated by the floating slider head provided with the optical head, no optical abnormality occurs due to adhesion of the lubricant to the optical head, and stable recording, reproduction and erasing characteristics can be obtained.

【0015】一般に、浮上式スライダーヘッドを用いて
光学ヘッドを浮上させる場合、光記録媒体の表面に塗布
したパーフルオロポリエーテル誘導体等の潤滑剤の塗布
量が多すぎると、浮上式スライダーヘッドの表面に潤滑
剤の付着が発生し、浮上式スライダーヘッドを汚すと共
に、スティクションと呼ばれる浮上式スライダーヘッド
の記録媒体へのはりつき現象が生じ、浮上式スライダー
ヘッドの安定的浮上が妨げられる。一方、スティクショ
ンを生じさせない量のパーフルオロポリエーテル誘導体
等の潤滑剤を記録媒体に塗布した場合には、潤滑剤と記
録媒体の表面の表面エネルギーの差から、潤滑剤は記録
媒体表面に均一に広がらず、潤滑剤の凝集が生じ、潤滑
剤が媒体表面に存在しない部分と凝集した部分に分離し
てしまう。
In general, when an optical head is levitated by using a floating slider head, if the amount of a lubricant such as a perfluoropolyether derivative applied to the surface of an optical recording medium is too large, the surface of the floating slider head may be reduced. The floating slider head is contaminated, and the floating slider head is contaminated, and a phenomenon of sticking of the floating slider head to the recording medium called stiction occurs, which hinders the stable floating of the floating slider head. On the other hand, when a lubricant such as a perfluoropolyether derivative that does not cause stiction is applied to the recording medium, the lubricant is uniformly applied to the surface of the recording medium due to the difference in surface energy between the lubricant and the surface of the recording medium. The lubricant does not spread, and the lubricant is aggregated, and the lubricant is separated into a portion where the lubricant does not exist on the medium surface and a portion where the lubricant is aggregated.

【0016】このような潤滑剤の凝集状態は二次イオン
質量分析装置(TOF−SIMS)による潤滑剤のフラ
グメントイオンピークの分布測定により実測できるが、
本発明は、その凝集状態は潤滑剤が直径10μm以下で
あること、すなわち、凝集して島状になっている潤滑剤
の直径が10μm以下であること(潤滑剤の凝集状態が
直径10μm以下であること)を特徴とするものであ
る。なお、潤滑剤の直径とは、TOF−SIMSを使用
したフラグメントイオンピークの分布分析により得られ
た光記録媒体表面の潤滑剤の分布測定結果において、潤
滑剤が島状に凝集している領域に外接する円の直径を意
味する。
Such a state of aggregation of the lubricant can be actually measured by measuring the distribution of fragment ion peaks of the lubricant using a secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS).
According to the present invention, the agglomerated state is that the lubricant has a diameter of 10 μm or less, that is, the diameter of the lubricant which is agglomerated into an island is 10 μm or less (when the agglomerated state of the lubricant is 10 μm or less There is). In addition, the diameter of the lubricant refers to a region where the lubricant is agglomerated in an island shape in the lubricant distribution measurement result on the surface of the optical recording medium obtained by the fragment ion peak distribution analysis using TOF-SIMS. It means the diameter of the circumscribed circle.

【0017】潤滑剤の凝集状態が直径10μmを超える
と浮上式光学ヘッドによる記録、再生の繰り返しで光学
ヘッドの表面に潤滑剤の付着が発生し光学ヘッドの表面
が汚れ、記録再生不良を生じる。
If the agglomerated state of the lubricant exceeds 10 μm, the adhesion of the lubricant to the surface of the optical head due to the repetition of recording and reproduction by the floating optical head causes the surface of the optical head to be stained, resulting in defective recording and reproduction.

【0018】本発明における案内溝のトラックピッチに
ついては、何ら制限はないが、データの記録再生に関与
するため、1.6μm以下が好ましい。
The track pitch of the guide groove in the present invention is not particularly limited, but is preferably 1.6 μm or less because it is involved in data recording and reproduction.

【0019】本発明における溝深さは、潤滑下地層成膜
後で20nm以上150nm以下が好ましい。
The groove depth in the present invention is preferably 20 nm or more and 150 nm or less after the formation of the lubricating underlayer.

【0020】溝深さが20nm未満では、光学ヘッドに
よる溝のトラッキングが困難になるとともに、溝の下部
での潤滑剤蓄積が十分ではなく、溝上部に潤滑剤が過剰
に存在することにより潤滑剤の凝集が10μmを超え、
浮上式光学ヘッドによる記録、再生の繰り返しで光学ヘ
ッドの表面に潤滑剤の付着が発生し、記録再生不良を生
じる。
When the groove depth is less than 20 nm, tracking of the groove by the optical head becomes difficult, and the lubricant is not sufficiently accumulated at the lower portion of the groove, and the lubricant is excessively present at the upper portion of the groove. Exceeds 10 μm,
Repetition of recording and reproduction by the floating optical head causes adhesion of a lubricant to the surface of the optical head, resulting in defective recording and reproduction.

【0021】また、溝深さが150nmを超えると、潤
滑剤の凝集状態は10μm以下であるが、溝上部の潤滑
剤層の被覆が十分でなく、浮上式光学ヘッドが光記録媒
体表面と接触した際の衝撃が大きくなりやすくなる。
When the groove depth exceeds 150 nm, the aggregation state of the lubricant is 10 μm or less, but the lubricant layer on the groove is not sufficiently covered, and the floating optical head comes into contact with the surface of the optical recording medium. The impact when doing so tends to increase.

【0022】本発明の光記録媒体の潤滑層は、パーフル
オロポリエーテル誘導体で構成される。パーフルオロポ
リエーテルの主鎖構造は直鎖構造でも側鎖構造でも構わ
ないが、潤滑特性から特に直鎖構造が望ましい。誘導体
構造としては主鎖の両端、または片端にエステル基、水
酸基、イソシアネート基、カルボニル基、ピペロニル基
等の官能基が導入されているものが好ましい。
The lubricating layer of the optical recording medium of the present invention is composed of a perfluoropolyether derivative. The main chain structure of the perfluoropolyether may be a linear structure or a side chain structure, but a linear structure is particularly desirable from the viewpoint of lubricating properties. As the derivative structure, those having a functional group such as an ester group, a hydroxyl group, an isocyanate group, a carbonyl group, or a piperonyl group introduced at both ends or one end of the main chain are preferable.

【0023】このような潤滑層を形成する材料として
は、例えば、アウジモント社製、商品名「フォンブリン
ZDEAL」、「フォンブリンZDOL−2000」、
および「フォンブリンAM2001」、ダイキン社製、
商品名「デムナムSP」および「デムナムSY−3」等
を例示することができる。
Examples of a material for forming such a lubricating layer include “Fomblin ZDEAL” and “Fomblin ZDOL-2000” (trade names, manufactured by Ausimont).
And "Fomblin AM2001", manufactured by Daikin,
The product names “Demnum SP” and “Demnum SY-3” can be exemplified.

【0024】本発明の潤滑層の膜厚は0.3nm以上
2.0nm未満であるが、更に好ましくは、0.5nm
以上1.8nm以下である。0.3nm未満では膜厚が
薄すぎ、十分な潤滑特性が得られず、スライダーヘッド
により潤滑下地層に傷が入りやすくなる。2.0nm以
上であると潤滑特性に問題はないが、潤滑下地層に吸着
していないフリーの潤滑剤分子の割合が増加し、凝集状
態が直径10μmを超え、浮上式光学ヘッドによる記
録、再生の繰り返しで光学ヘッドの表面に潤滑剤の付着
が発生し光学ヘッドの表面が汚れ、記録再生不良を生じ
る。
The thickness of the lubricating layer of the present invention is at least 0.3 nm and less than 2.0 nm, more preferably at least 0.5 nm.
It is 1.8 nm or less. If it is less than 0.3 nm, the film thickness is too thin, and sufficient lubricating properties cannot be obtained, and the lubricating underlayer is easily damaged by the slider head. When the thickness is 2.0 nm or more, there is no problem in lubricating properties, but the ratio of free lubricant molecules not adsorbed to the lubricating underlayer increases, the aggregation state exceeds 10 μm in diameter, and recording and reproduction by a floating optical head are performed. By the repetition of the above, the adhesion of the lubricant to the surface of the optical head occurs, the surface of the optical head becomes dirty, and recording / reproduction failure occurs.

【0025】本発明の潤滑下地層としてはダイヤモンド
状カーボン、SiO2または紫外線硬化型樹脂を例示す
ることができる。ダイヤモンド状カーボン層およびSi
2層はスパッタ法、イオンビームスパッタ法、プラズ
マCVD法等により成膜することができ、紫外線硬化型
樹脂はスピンコート法などにより塗布後紫外線照射によ
り硬化させ皮膜とする。
The lubricating underlayer of the present invention can be exemplified by diamond-like carbon, SiO 2 or UV-curable resin. Diamond-like carbon layer and Si
The O 2 layer can be formed by a sputtering method, an ion beam sputtering method, a plasma CVD method, or the like. The ultraviolet curable resin is applied by a spin coating method or the like and then cured by irradiation with ultraviolet light to form a film.

【0026】図1に本発明の光記録媒体の一実施態様の
部分断面図を示す。基板11上に反射層12、光磁気記
録膜からなる記録層13、誘電体層14、潤滑下地層1
5、潤滑層16が積層されている。
FIG. 1 is a partial sectional view of one embodiment of the optical recording medium of the present invention. On a substrate 11, a reflective layer 12, a recording layer 13 composed of a magneto-optical recording film, a dielectric layer 14, a lubricating underlayer 1
5. The lubrication layer 16 is laminated.

【0027】基板11としては機械特性など媒体基板と
しての特性を満たすものであれば特に限定されず、ガラ
ス、ポリカーボネート、アモルファスポリオレフィン、
エンジニアリングプラスチック等を用いることができ
る。この基板11上に反射層12をAl、Al合金、A
u、Ag、Au合金、Ag合金などの金属材料を使用
し、スパッタ法または真空蒸着法等で形成する。この反
射層12上に記録層13をTbFeCo、DyFeC
o、GdTbFeCo、NdDyFeCo等の光磁気記
録膜材料を使用し、スパッタ法または真空蒸着法等で形
成する。この記録層13上に誘電体層14をAlN、S
iN、Ta25、ZnS−SiO2等の材料を使用し、
スパッタ法または真空蒸着法等で形成する。この誘電体
層14の上に潤滑下地層15を形成し、さらにこの潤滑
下地層15の上に潤滑層16をディップ引き上げ法等で
形成する。
The substrate 11 is not particularly limited as long as it satisfies the characteristics of a medium substrate such as mechanical characteristics, and may be glass, polycarbonate, amorphous polyolefin, or the like.
Engineering plastics and the like can be used. A reflective layer 12 is formed on this substrate 11 by Al, Al alloy, A
A metal material such as u, Ag, an Au alloy, or an Ag alloy is used, and is formed by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like. On the reflective layer 12, a recording layer 13 is formed of TbFeCo, DyFeC.
o, using a magneto-optical recording film material such as GdTbFeCo, NdDyFeCo, etc., and formed by a sputtering method or a vacuum evaporation method. On this recording layer 13, a dielectric layer 14 is formed of AlN, S
Using materials such as iN, Ta 2 O 5 , ZnS—SiO 2 ,
It is formed by a sputtering method or a vacuum evaporation method. A lubricating underlayer 15 is formed on the dielectric layer 14, and a lubricating layer 16 is formed on the lubricating underlayer 15 by a dip pulling method or the like.

【0028】[0028]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to only these Examples.

【0029】実施例1および比較例1 図1に示すような構造の近接場光磁気記録媒体を製造し
た。即ち、トラックピッチ0.45μm深さ85nmの
螺旋状案内溝の付いたポリカーボネート製の直径130
mmのディスク状の基板11上にDCスパッタ法でAl
0.97Cr0.03からなる膜厚50nmの反射層12、その
上にDCスパッタ法でTb20(Fe90Co1080からな
る膜厚20nmの光磁気記録層13、その上に反応性R
Fスパッタ法でSiNからなる膜厚30nmの誘電体層
14、更にその上に反応性RFスパッタ法でダイヤモン
ド状カーボンからなる膜厚20nmの潤滑下地層15を
形成した。
Example 1 and Comparative Example 1 A near-field magneto-optical recording medium having a structure as shown in FIG. 1 was manufactured. That is, a polycarbonate diameter 130 with a spiral guide groove having a track pitch of 0.45 μm and a depth of 85 nm.
mm on a disk-shaped substrate 11 with a DC sputtering method.
A reflective layer 12 made of 0.97 Cr 0.03 and having a thickness of 50 nm, a magneto-optical recording layer 13 made of Tb 20 (Fe 90 Co 10 ) 80 having a thickness of 20 nm formed by DC sputtering and a reactive layer R formed thereon.
A 30 nm-thick dielectric layer 14 of SiN was formed by F sputtering, and a 20 nm-thick lubricating underlayer 15 of diamond-like carbon was formed thereon by reactive RF sputtering.

【0030】潤滑下地層形成後溝の深さを原子間力顕微
鏡(AFM)により測定すると94nmであった。
The depth of the groove after formation of the lubricating underlayer was 94 nm as measured by an atomic force microscope (AFM).

【0031】その後、この媒体を、パーフルオロポリエ
ーテル系溶媒(アウジモント社製、商品名「ガルデンS
V−70」)に溶解した、重量平均分子量が2400で
ある、分子端両端に水酸基を有するパーフルオロポリエ
ーテル(アウジモント社製、商品名「フォンブリンZD
OL−2000」)の溶液に浸漬した後、媒体を引き上
げることにより潤滑層16を形成し、光磁気記録媒体を
製造した。
Thereafter, this medium was used as a perfluoropolyether solvent (trade name: Galden S, manufactured by Ausimont Co., Ltd.).
V-70 "), a perfluoropolyether having a weight-average molecular weight of 2400 and having hydroxyl groups at both molecular ends (trade name" Fomblin ZD ", manufactured by Audimont Co., Ltd.)
OL-2000 "), the medium was pulled up to form a lubricating layer 16, thereby producing a magneto-optical recording medium.

【0032】この際、溶液濃度を変化させることによ
り、実施例として潤滑層の膜厚を0.5、1.0、1.
5nmと変化させた。比較例として潤滑層の膜厚を0.
2、2.5nmとした光磁気記録媒体を作成した。な
お、潤滑層の膜厚はX線光電子分光分析装置(ESC
A)により測定した。
At this time, the thickness of the lubricating layer is changed to 0.5, 1.0, 1.
It was changed to 5 nm. As a comparative example, the thickness of the lubricating layer was set to 0.
A magneto-optical recording medium having a thickness of 2, 2.5 nm was prepared. The thickness of the lubricating layer is determined by an X-ray photoelectron spectrometer (ESC).
Measured according to A).

【0033】おのおのの媒体表面を、TOF−SIMS
を使用し−CF2CH2OHフラグメントイオン(81a
mu)について表面分析を行い、潤滑剤の凝集状態を測
定したところ直径0.3μmであった。
Each of the medium surfaces is formed by TOF-SIMS.
Using the -CF 2 CH 2 OH fragment ions (81a
mu) was subjected to surface analysis, and the aggregation state of the lubricant was measured to be 0.3 μm.

【0034】以上のようにして得られた光磁気記録媒体
をグライドテスターにセットして、線速度7.5m/s
で回転させながら、ピエゾ素子のついたグライドヘッド
(グライドライト社製:70%スライダー、0.01
2”×6.0gr)を半径30〜60mmの範囲でシー
クさせ、グライド特性について評価した。このグライド
ヘッドの浮上量は線速7.5m/sにおいて0.05μ
mである。グライドヘッドをシークさせた際にピエゾ素
子に誘起される電圧をオシロスコープにより観察し、電
圧値が800mVを越える場合をヘッドと媒体の接触と
判断し、その回数を記録した。
The magneto-optical recording medium obtained as described above was set on a glide tester, and the linear velocity was 7.5 m / s.
Glide head with a piezo element (made by Glidelight: 70% slider, 0.01
2 "x 6.0 gr) was sought in a radius of 30 to 60 mm and evaluated for glide characteristics. The flying height of this glide head was 0.05 µm at a linear velocity of 7.5 m / s.
m. The voltage induced in the piezo element when the glide head was sought was observed with an oscilloscope, and when the voltage value exceeded 800 mV, it was determined that the head was in contact with the medium, and the number of times was recorded.

【0035】測定をそれぞれ10枚ずつ行った結果、実
施例の潤滑層膜厚が0.5、1.0、1.5および比較
例の潤滑層膜厚2.5nmの光磁気記録媒体は、接触回
数はいずれも2回以内で、接触回数0の媒体の割合は6
0%以上と良好であった。比較例の潤滑層膜厚が0.2
nmの光磁気記録媒体では接触回数が平均5回程度であ
った。
As a result of measuring ten sheets each, the magneto-optical recording medium having the lubricating layer thickness of 0.5, 1.0, 1.5 of the example and the lubricating layer thickness of 2.5 nm of the comparative example was as follows. The number of times of contact was 2 or less, and the ratio of the medium with 0 times of contact was 6
It was as good as 0% or more. The lubricating layer thickness of the comparative example is 0.2
On the magneto-optical recording medium of nm, the number of contacts was about 5 times on average.

【0036】次に、潤滑層膜厚1.0、1.5、2.5
nmの光磁気記録媒体をレーザー波長が680nmで実
効的なNAが1.2の近接場記録用ヘッドの光学系の記
録再生評価機にセットして、記録再生特性について評価
した。媒体を7.0m/sの線速度で回転させ、出力を
対物レンズの手前で6.0mWになるよう調整したレー
ザーを照射しながら、周波数7.0MHzで±150
Oeの大きさに変調した磁界をSILヘッドのコイルか
ら加えることで媒体に記録を行い、次に出力を対物レン
ズの手前で1.0mWになるよう調整したレーザーを照
射しながら再生した。
Next, the lubricating layer thickness is 1.0, 1.5, 2.5
The magneto-optical recording medium of nm was set in a recording / reproduction evaluator of an optical system of a near-field recording head having a laser wavelength of 680 nm and an effective NA of 1.2, and the recording / reproduction characteristics were evaluated. The medium was rotated at a linear velocity of 7.0 m / s, and irradiated with a laser whose output was adjusted to 6.0 mW in front of the objective lens.
Recording was performed on the medium by applying a magnetic field modulated to the magnitude of Oe from the coil of the SIL head, and then reproduction was performed while irradiating a laser whose output was adjusted to 1.0 mW before the objective lens.

【0037】CNRは潤滑層膜厚1.0、1.5、2.
5nmのいずれの媒体とも48dBであったが、同一ト
ラックにて同様の記録再生を10回繰り返した場合、実
施例の潤滑層膜厚1.0nmおよび1.5nmの媒体は
CNRの変化は認められなかったが、比較例の潤滑層
2.5nmの媒体はCNRが35dBに低下した。原因
について確認したところ、SILヘッドのレンズ表面に
黒く変色したよごれが付着していたためであった。
The CNR is 1.0, 1.5, 2.
The medium was 48 dB for all 5 nm media, but when the same recording and reproduction were repeated 10 times on the same track, the CNR of the media having the lubricating layer thickness of 1.0 nm and 1.5 nm of the example was not changed. However, the medium having a lubricating layer of 2.5 nm in the comparative example had a CNR reduced to 35 dB. When the cause was confirmed, it was because dirt stained black had adhered to the lens surface of the SIL head.

【0038】実施例2および比較例2 トラックピッチ0.35μm深さ120nmの螺旋状案
内溝の付いたポリカーボネート製の基板を使用した以外
は実施例1と同様の方法で光磁気記録媒体を製造した。
Example 2 and Comparative Example 2 A magneto-optical recording medium was produced in the same manner as in Example 1, except that a polycarbonate substrate having a spiral pitch of 0.35 μm and a depth of 120 nm was used. .

【0039】この際、潤滑下地層形成後の溝深さを測定
すると142nmであった。
At this time, the groove depth after the formation of the lubricating underlayer was 142 nm.

【0040】さらにこの際、潤滑層塗布の際に、溶液濃
度を変化させることにより、実施例として潤滑層の膜厚
を1.0、1.5nmと変化させた。さらに比較例とし
て潤滑層の膜厚2.5nmの光磁気記録媒体を作成し
た。
At this time, the thickness of the lubricating layer was changed to 1.0 and 1.5 nm by changing the solution concentration when applying the lubricating layer. Further, as a comparative example, a magneto-optical recording medium having a lubricating layer thickness of 2.5 nm was prepared.

【0041】また、潤滑剤の凝集状態はTOF−SIM
Sで直径0.25μmであった。
The aggregation state of the lubricant is determined by TOF-SIM.
S had a diameter of 0.25 μm.

【0042】以上のようにして得られた光磁気記録媒体
を、実施例1と同様の方法でグライド特性について評価
した。
The magneto-optical recording medium obtained as described above was evaluated for glide characteristics in the same manner as in Example 1.

【0043】測定を10枚ずつ行った結果、接触回数は
いずれも3回以内で、接触回数0の媒体の割合は50%
と良好であった。
As a result of measuring 10 sheets at a time, the number of times of contact was 3 times or less, and the ratio of the medium having 0 times of contact was 50%.
And was good.

【0044】次にこの媒体を、実施例1と同様の方法で
記録再生特性について評価した。
Next, this medium was evaluated for recording and reproduction characteristics in the same manner as in Example 1.

【0045】CNRはいずれも44dBであったが、同
一トラックにて同様の記録再生を10回繰り返した場
合、実施例の潤滑層膜厚1.0nmおよび1.5nmの
媒体はCNRの変化は認められなかったが、比較例の潤
滑層2.5nmの媒体はCNRが30dBに低下した。
原因について確認したところ、光学ヘッドのレンズ表面
によごれが付着していたためであった。
Although the CNR was 44 dB in all cases, when the same recording / reproduction was repeated 10 times on the same track, the medium having the lubricating layer film thickness of 1.0 nm and 1.5 nm of the example showed no change in CNR. However, the medium having a lubricating layer of 2.5 nm in the comparative example had a CNR reduced to 30 dB.
When the cause was confirmed, it was because dirt had adhered to the lens surface of the optical head.

【0046】実施例3 トラックピッチ0.45μm深さ150nmの螺旋状案
内溝の付いたポリカーボネート製の基板を使用した以外
は実施例1と同様の方法で光磁気記録媒体を製造した。
Example 3 A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that a polycarbonate substrate provided with a spiral guide groove having a track pitch of 0.45 μm and a depth of 150 nm was used.

【0047】この際、潤滑下地層形成後の溝深さを測定
すると164nmであった。
At this time, when the groove depth after the formation of the lubricating underlayer was measured, it was 164 nm.

【0048】さらにこの際、溶液濃度を変化させること
により、潤滑層の膜厚を0.5、1.0、1.5nmと
変化させた。
At this time, the thickness of the lubricating layer was changed to 0.5, 1.0, and 1.5 nm by changing the solution concentration.

【0049】このようにして作成した光磁気記録媒体の
潤滑剤の凝集状態はTOF−SIMSで直径0.2μm
であった。
The aggregation state of the lubricant of the magneto-optical recording medium thus prepared was determined by TOF-SIMS to have a diameter of 0.2 μm.
Met.

【0050】以上のようにして得られた光磁気記録媒体
を、実施例1と同様の方法でグライド特性について評価
した。
The magneto-optical recording medium obtained as described above was evaluated for glide characteristics in the same manner as in Example 1.

【0051】測定を10枚づつ行なった結果、接触回数
は実施例1および2と比較して若干増加し、いずれも5
回以内で、接触回数0の媒体の割合は15%であった。
As a result of measuring 10 sheets at a time, the number of times of contact was slightly increased as compared with Examples 1 and 2;
Within the number of times, the ratio of the medium having 0 contact times was 15%.

【0052】比較例3 案内溝のないポリカーボネート製の基板を使用した以外
は実施例1と同様の方法で光磁気記録媒体を製造した。
Comparative Example 3 A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a polycarbonate substrate having no guide groove was used.

【0053】この際、溶液濃度を変化させることによ
り、潤滑層の膜厚を0.5、1.0、1.5、2.5n
mと変化させた。
At this time, the thickness of the lubricating layer is adjusted to 0.5, 1.0, 1.5, 2.5 n by changing the solution concentration.
m.

【0054】この、案内溝のない媒体の潤滑剤の分散状
態をTOF−SIMSで同様に測定すると分散状態は潤
滑剤の膜厚により変化し、0.5nm膜厚では15μ
m、1.0nm膜厚では18μm1.5nmでは25μ
m、2.5nmでは37μmであった。
When the dispersion state of the lubricant in the medium having no guide groove is similarly measured by TOF-SIMS, the dispersion state changes depending on the lubricant film thickness.
m, 18 μm for 1.0 nm film thickness, 25 μ for 1.5 nm film thickness
m and 37 μm at 2.5 nm.

【0055】以上のようにして得られた光磁気記録媒体
について記録再生回数10回に相当する時間、光学ヘッ
ドを浮上させたのち、光学ヘッドの表面状態を観察した
ところ、全てのディスクにおいて光学ヘッドのレンズ表
面によごれが付着していた。
With respect to the magneto-optical recording medium obtained as described above, after the optical head was floated for a time equivalent to 10 times of recording and reproduction, the surface condition of the optical head was observed. The lens surface was dirty.

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明によりヘッドクラッシュが起きに
くく、レーザービーム等の照射によっても光学ヘッドの
光学的特性を損なうことのない表面光記録方式の光記録
媒体が得られる。
According to the present invention, it is possible to obtain an optical recording medium of a surface optical recording system in which head crash hardly occurs and the optical characteristics of the optical head are not impaired even by irradiation with a laser beam or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の光記録媒体の一例の部分断面を示す
図である。
FIG. 1 is a diagram showing a partial cross section of an example of an optical recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11:基板 12:反射層 13:光記録層 14:誘電体層 15:潤滑下地層 16:潤滑層 11: substrate 12: reflective layer 13: optical recording layer 14: dielectric layer 15: lubricating underlayer 16: lubricating layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録および再生に関与する螺旋状あるい
は同心円状の案内溝を少なくとも有する基板上に光記録
層及び潤滑下地層を形成し、潤滑下地層の表面に潤滑層
として、パーフルオロポリエーテル誘導体からなる層を
膜厚0.3nm以上2.0nm未満で形成して、TOF
−SIMSを使用したフラグメントイオンピークの分布
分析により得られる前記パーフルオロポリエーテル誘導
体の凝集状態を直径10μm以下としたことを特徴とす
る光記録媒体。
An optical recording layer and a lubricating underlayer are formed on a substrate having at least a spiral or concentric guide groove involved in recording and reproduction, and a perfluoropolyether is formed on the surface of the lubricating underlayer as a lubricating layer. Forming a layer made of a derivative with a thickness of 0.3 nm or more and less than 2.0 nm,
-An optical recording medium, wherein the aggregation state of the perfluoropolyether derivative obtained by distribution analysis of fragment ion peaks using SIMS is 10 µm or less in diameter.
【請求項2】 記録および再生に関与する螺旋状あるい
は同心円状の案内溝の深さが潤滑下地層形成後に20n
m以上150nm以下であることを特徴とする請求項1
に記載の光記録媒体。
2. A spiral or concentric guide groove involved in recording and reproduction has a depth of 20 n after the formation of the lubricating underlayer.
2. The structure according to claim 1, wherein the thickness is not less than m and not more than 150 nm.
An optical recording medium according to claim 1.
【請求項3】 潤滑下地層がダイヤモンド状カーボン層
またはSiO2層であることを特徴とする請求項1又は
2に記載の光記録媒体。
3. The optical recording medium according to claim 1, wherein the lubricating underlayer is a diamond-like carbon layer or a SiO 2 layer.
【請求項4】 潤滑下地層が紫外線硬化型樹脂組成物か
らなる層であることを特徴とする請求項1又は2に記載
の光記録媒体。
4. The optical recording medium according to claim 1, wherein the lubricating underlayer is a layer made of an ultraviolet curable resin composition.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016205327A (en) * 2015-04-28 2016-12-08 日立オートモティブシステムズ株式会社 Fuel injection valve

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