JP2001311424A - Manufacturing method of liquid bearing components, motor provided with fluid bearing components, and disk drive using the same - Google Patents

Manufacturing method of liquid bearing components, motor provided with fluid bearing components, and disk drive using the same

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JP2001311424A
JP2001311424A JP2000132036A JP2000132036A JP2001311424A JP 2001311424 A JP2001311424 A JP 2001311424A JP 2000132036 A JP2000132036 A JP 2000132036A JP 2000132036 A JP2000132036 A JP 2000132036A JP 2001311424 A JP2001311424 A JP 2001311424A
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JP2000132036A
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Inventor
Keiji Matsumoto
Kyoko Yokoyama
啓司 松本
恭子 横山
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Nippon Densan Corp
日本電産株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method that enables manufacturing a fluid bearing components in which no excessive wear results after long period of operation and offering an excellent productivity.
SOLUTION: After forming a metal layer composed of metallic material having a hardness higher than that of copper over the surface of base material of which chief constituent is the copper, dynamic pressure grooves are built on the metal layer by an electrochemical machining. In view of the hardness of the metal layer and the electrochemical machinability, a metal layer had better be a nickel as a main constituent. A metal layer also had better be formed by a plating, because of an uniform metal layer obtained. In order to improve further the abrasion resistance property by increasing the hardness of the metal layer, it is better that an annealing treatment is applied after the metal layer is formed by an electroless nickel plating. The layer thickness of the metal layer is preferable to be in the range of 5-30 μm, due to a tradeoff between the depth of dynamic pressure grooves and the uniformity of the layer thickness of the formed metal layer.
COPYRIGHT: (C)2001,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は流体軸受部品の製造方法に関し、より詳細には長期間の使用によっても摩耗することのない流体軸受部品を製造でき、しかも優れた生産性を示す製造方法に関するものである。 The present invention relates to relates to a method of manufacturing a fluid bearing parts, can also produce a fluid bearing part that will not wear by more detailed long-term use, moreover it relates to a manufacturing method exhibiting excellent productivity it is intended.

【0002】 [0002]

【従来の技術】銅を主成分とする材料は優れた加工性を有し、また価格も安いことから、流体軸受部品の材料として従来から広く用いられてきた。 It has BACKGROUND ART Copper The main component is a material excellent workability, and since price cheap, have been widely used as a material for the fluid bearing components. しかし銅を主成分とする材料が有するこの優れた加工性が奏する反対効果として、使用により摩耗しやすいという問題があった。 But as opposed effect this excellent workability material has mainly containing copper achieved, there is a problem that tends to wear through use. そこで、当該材料からなる流体軸受部品の表面に硬質材料のメッキを施して用いることが従来から提案・検討されている。 Therefore, the use of plated hard material to the fluid bearing part of the surface made of the material have been proposed and studied conventionally.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流体軸受部品の表面に切削加工により動圧溝を形成した後に硬質材料のメッキ処理を行うと、切削により生じた微細なバリ、むしれ又は切り粉が溝周辺に残留しているため、 [SUMMARY OF THE INVENTION However, when the plating of the hard material after forming the dynamic pressure grooves by cutting the surface of the fluid bearing component, fine burrs caused by cutting, pluck or swarf since the remaining circumferential groove,
これらを核としてメッキが施され、メッキ表面に微細な突起物が生じることになる。 These is plated as a nucleus, so that fine projections occur on the plating surface. この突起物は正常な回転に異常を来すと共に、メッキ層から剥離すると異物となって軸本体やスリーブを傷つけて、モータの作動に支障を来すことがあった。 Together with the projections is cause abnormalities in the normal rotation, damage the shaft body and the sleeve is when peeled from the plating layer as foreign, it was sometimes hinder the operation of the motor.

【0004】微細なバリ、むしれ又は切り粉を除去するには、動圧溝の切削加工後に溝部分を洗浄することが考えられるが、洗浄ではこれらを完全に除去することはできない。 [0004] fine burrs, to remove the plucking or cutting chips, it is conceivable to clean the groove portion after cutting of the dynamic pressure grooves, it is impossible to completely eliminate them in the wash. また別の方法として表面を研磨することも考えられるが、深さ数十μm程度の溝部分を研磨することは技術的に困難である。 Further it is conceivable to polish the surface Alternatively, but polishing the groove parts of a few tens of μm order depth is technically difficult. 加えて、どちらの方法にしても生産工程において新たな工程が必要となり、製造工程が複雑化して生産性が低下する。 In addition, Either way requires a new step in the production process, the manufacturing process is reduced productivity complicated. また動圧溝の加工を電解加工で行うと、バリ、むしれ及び切り粉は生じないものの、イオン化傾向が小さい銅を主成分とする材料には用いることができない。 Also when for machining of the dynamic pressure grooves by electrolytic machining, burrs, although not occur pluck and chips can not be used in material mainly composed of copper ionization tendency is small.

【0005】本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、所要の動圧溝を正確に形成すると共に、長期間の使用によっても摩耗しない流体軸受部品を製造でき、しかも優れた生産性を示す製造方法を提供することをその目的とするものである。 [0005] The present invention has been made in view of such conventional problems, thereby accurately forming a desired dynamic pressure grooves, it can produce a fluid bearing part which is not worn even by long-term use, yet excellent it is an object thereof to provide a manufacturing method shown productivity was. また本発明の他の目的は、前記製造方法で製造された流体軸受部品を用いたモータ及びディスク装置を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a motor and a disk drive using a fluid bearing part manufactured by the manufacturing method.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明の流体軸受部品の製造方法では、銅を主成分とする基材の表面に、銅より硬度が高い金属材料からなる金属層を形成した後、電解加工により該金属層に動圧溝を形成する構成とした。 To achieve the above object, according to an aspect of, the fluid bearing parts of the manufacturing method of the present invention, the surface of the base material mainly composed of copper, the metal layer hardness of copper having a higher metal material after forming the and configured to form dynamic pressure grooves on the metal layer by electrolytic processing.

【0007】ここで金属層の硬度および電解加工性などの観点から、金属層はニッケルを主体とするものであるのがよい。 [0007] From the viewpoint of hardness and electrochemical machining of wherein the metal layer, the metal layer may be from essentially provided by a nickel. また均一な金属層が得られる点から、金属層をメッキにより形成することが推奨される。 Also from the viewpoint of uniform metal layer is obtained, it is recommended to form a plated metal layer. さらに前記金属層の硬度をより高くして耐摩耗性をさらに向上させる観点から、金属層を無電解ニッケルメッキにより形成した後にアニール処理を行うことが望ましい。 Further from the viewpoint of further improving the wear resistance higher to the hardness of the metal layer, it is preferable to perform annealing treatment after forming the electroless nickel plating a metal layer. そして動圧溝の深さと形成する金属層の層厚の均一性との兼ね合いから、金属層の層厚は5〜30μmの範囲であることが望ましい。 Then the balance between the layer thickness uniformity of metal layer depth and formation of the dynamic pressure grooves, it is desirable that the thickness of the metal layer is in the range of 5 to 30 [mu] m.

【0008】また本発明のモータでは、スリーブ部材と、該スリーブ部材に対して相対的に回転自在である軸部材と、該スリーブ部材と該軸部材との間に充填された潤滑流体とを有する流体動圧軸受を備えたモータであって、スリーブ部材および軸部材の少なくとも一方は、前記の製造方法により製造された流体軸受部品である構成とした。 [0008] In the motor of the present invention includes a sleeve member, and the shaft member is freely rotated relative to the sleeve member, and a lubricating fluid filled between the sleeve member and the shaft member a motor having a fluid dynamic bearing, at least one of the sleeve member and the shaft member, and a structure wherein a fluid bearing component produced by the method of.

【0009】さらに本発明のディスク装置では、情報を記録できる円盤状記録媒体が装着されるディスク装置において、ハウジングと、該ハウジングの内部に固定されたスピンドルモータと、前記記録媒体の所要位置に情報の書き込み及び/又は読み出しのための情報アクセス手段とを備えたディスク装置であって、前記スピンドルモータとして上記記載のモータを用いる構成とした。 [0009] In the disk apparatus of the present invention may further, in the disk device disc-shaped recording medium capable of recording information is mounted, a housing, a spindle motor fixed to the inside of the housing, the information on the required position of said recording medium a writing and / or disk device and an information access means for reading, and the configuration using the motor described above as the spindle motor.

【0010】 [0010]

【発明の実施の形態】本発明者等は、長期間の使用によっても摩耗しない流体軸受部品を製造でき、しかも優れた生産性を示す製造方法を提供することができないか鋭意検討を重ねた結果、基材表面に高い硬度の金属層を形成し、その後に電解加工により動圧溝を形成すればよいことを見出し本発明をなすに至った。 The present inventors have PREFERRED EMBODIMENTS can produce fluid bearing part which is not worn even by long-term use, yet results manufacturing method of extensive study or can not provide a showing excellent productivity , a metal layer of high hardness on the surface of the substrate, leading to the completion of the present invention found that it is sufficient to form a dynamic pressure grooves by subsequent electrolytic processing.

【0011】すなわち本発明の製造方法の大きな特徴の一つは、銅を主体とする基材の表面に、銅より硬度が高い金属材料からなる金属層を形成した後、動圧溝を形成する点にある。 One of the great features of the method for manufacturing [0011] The present invention, on the surface of a substrate mainly composed of copper, after forming a metal layer hardness of copper having a higher metal material to form a dynamic pressure grooves there is a point. 従来は、まず基材に動圧溝を形成し、その後にメッキ処理を行っていたので、動圧溝を形成したときに生じた微細なバリ、むしれ又は切り粉にまでメッキがなされて、こららを核とする微細な突起物がメッキ層に生じていたが、本発明の製造方法では金属層を形成した後に動圧溝を形成するので従来のような不具合は生じない。 Conventionally, a dynamic pressure groove is formed first on the substrate, since then has been subjected to plating treatment, fine burrs occurring when forming the dynamic pressure grooves, been plated up to pluck or chips, Although fine projections to nucleus Korara has occurred in the plating layer, a problem does not occur as in the conventional so forming a dynamic pressure grooves after forming the metal layer in the manufacturing method of the present invention. また基材表面に硬度の高い金属材料からなる金属層を形成しているので、長期間の使用によっても摩耗することがない。 Since forming a metal layer made of a metal material having high hardness on a substrate surface, never worn by long-term use.

【0012】ここで銅を主成分とする基材としては、銅を50wt%以上含有する基材を基本的に意味し、具体的には純Cuの他、Cu−Zn(黄銅)、Cu−Ni、 [0012] As the base material mainly composed of copper wherein the copper basically means a base material containing more than 50 wt%, and other specifically pure Cu, Cu-Zn (brass), Cu- Ni,
Cu−Sn(青銅)、Cu−Si、Cu−Al、Cu− Cu-Sn (bronze), Cu-Si, Cu-Al, Cu-
Be、Cu−Zn−Mn、Cu−Zn−Si、Cu−Z Be, Cu-Zn-Mn, Cu-Zn-Si, Cu-Z
n−Ni、Cu−Sn−P、Cu−Sn−Zn、Cu− n-Ni, Cu-Sn-P, Cu-Sn-Zn, Cu-
Zn−Sn−Fe、Cu−Zn−Sn−Mnなどを挙げることができるが、もちろんこれらに限定されるものではない。 Zn-Sn-Fe, and the like can be mentioned Cu-Zn-Sn-Mn, but the present invention is of course not limited thereto.

【0013】また銅より硬度が高い金属材料としては、 [0013] Also as hardness is higher than the copper metal material,
銅より硬度が高く、且つ電解加工できるものであれば特に限定はなく、例えばNi、Fe、Cr、Co、Mo、 High hardness of copper is not particularly limited as long as it and can electrolytic processing, for example Ni, Fe, Cr, Co, Mo,
Ti、Wなどの金属元素およびこれらを主成分とする合金などが挙げられる。 Ti, an alloy of a metal element and the main component of these, such as W can be mentioned. この中でも、電解加工性および金属硬度の観点からNiを主体とする金属材料が好適に使用できる。 Among these, a metal material mainly composed of Ni in terms of electrochemical machining and metallic hardness can be preferably used. Niを主体とする金属材料としては、純Ni Examples of the metal material mainly composed of Ni, pure Ni
の他、Fe、Al、Ti、Nb、Co、Cr、Mo、 Other, Fe, Al, Ti, Nb, Co, Cr, Mo,
W、V、Ta、Si、C、B、Zr、Pからなる群から選ばれる1又は2以上の元素とNiとの合金が挙げられる。 W, V, Ta, Si, C, B, Zr, include alloy of one or more elements and Ni are selected from the group consisting of P.

【0014】基材の表面に金属層を形成する方法としては、電気メッキ、無電解メッキ、溶融メッキなどのメッキ法;真空蒸着、スパッタリングなどの物理蒸着(PV [0014] As a method for forming a metal layer on the surface of the substrate, electroplating, electroless plating, plating methods such as hot dipping; vacuum deposition, physical vapor deposition such as sputtering (PV
D)法;熱化学蒸着(CVD)、プラズマCVD、光C D) Method; thermal chemical vapor deposition (CVD), plasma CVD, optical C
VDなどのCVD法などを用いることができる。 A CVD method such as VD can be used. これらの方法について以下に簡単に説明する。 Briefly described below for these methods.

【0015】電気メッキ法は、金属層を構成する金属イオンを含む水溶液中に基材を浸漬し、これをカソードとする。 [0015] electroplating process, the substrate was immersed in an aqueous solution containing metal ions forming the metal layer, to do this the cathode. 他方、適当な可溶性または不溶性のアノードを設ける。 On the other hand, it provided the anode of suitable soluble or insoluble. カソードとアノードとの間に直流電流を通じ、基材表面に目的の金属層を電解析出させる方法である。 Through a direct current between the cathode and the anode, a method for electrolytic deposition of metal layers of interest on the substrate surface. 金属層の層厚や形態などは、電解時間や電流密度、電解温度、電流波形、電流密度分布、撹拌条件などの電解条件;金属イオン濃度・割合や添加剤の種類・濃度、水溶液中の不純物量などの水溶液の組成などにより制御することができる。 Such as layer thickness and form of the metal layer, the electrolysis time and the current density, the electrolysis temperature, current waveform, the current density distribution, electrolysis conditions such as stirring conditions; type and density of the metal ion concentration, percentage and additives, impurities in the aqueous solution it can be controlled by such a composition of the aqueous solution such as the amount. なお電気メッキを行う前に、基材の表面粗さを整える研磨、表面の清浄化する酸洗い、脱脂を行うことが推奨され、さらには電気メッキを行った後に、 Note that before performing the electroplating, polishing prepare the surface roughness of the base material, pickling cleaning of surfaces, it is recommended to perform degreasing, after further performing the electroplating,
水洗、乾燥の他水素脆性を除去する熱処理を行うことが推奨される。 Washing, it is recommended to perform the heat treatment for removing the other hydrogen embrittlement of drying.

【0016】無電解メッキ法は、メッキしようとする金属のイオンと還元剤が存在する溶液中に被メッキ素材を浸漬し、還元剤が酸化されることによって電子が放出され、溶液中の金属イオンをこの電子が還元して被メッキ素材上に金属を析出させる方法である。 [0016] Electroless plating method, dipping the object to be plated material in a solution ionic reducing agent of the metal to be plated is present, electrons are released by the reducing agent is oxidized, the metal in the solution ionic the electrons are reduced is a method of depositing a metal on the plated material. 詳細については後述する。 It will be described in detail later.

【0017】溶融メッキ法は、低融点の溶融金属中に基材を浸漬し、基材表面に密着性の高い金属層を形成させる方法である。 The melt plating method, by immersing the substrate in molten metal with a low melting point, a method for forming a high metal layer adhesion to the substrate surface. 形成したメッキ層は、溶融金属浴中で基材と溶融金属との固/液相間の反応によって形成された合金層と、浴から基材と共に引き上げられて付着凝固した浴組成の金属層とから構成されている。 The formed plating layer, an alloy layer formed by the reaction between a solid / liquid phase with a substrate in the molten metal bath and molten metal, and the metal layer of the deposited solidified bath composition lifted with substrate from the bath It is constructed from.

【0018】真空蒸着法は、真空中で金属材料を加熱し、発生した蒸気を基材上に凝集・付着させて金属層を形成する方法である。 [0018] Vacuum deposition is a method of heating the metal material in a vacuum, generated by steam coagulation and deposited allowed on a substrate to form a metal layer. 蒸着材料の加熱方法には抵抗加熱、加熱ルツボ、電子ビーム、高周波、レーザなどがある。 Resistance heating the heating method of the vapor deposition material, the heating crucible, the electron beam, high frequency, laser and the like. この方法でFe−NiやAl−Cuなどの合金層を形成すると、蒸着材料と形成した金属層とで組成が異なることがあるが、このような場合には、瞬時に蒸発させるフラッシュ蒸着法や、蒸着材料を別々にする二元蒸着法を用いればよい。 When forming an alloy layer such as the method in Fe-Ni or Al-Cu, although the composition in the vapor deposition material and formed metal layer may be different, in such a case, Ya flash evaporation method for evaporating instantaneously it may be used a dual vapor deposition method to separate the vapor deposition material.

【0019】スパッタリング法は、高いエネルギーを持った粒子を固体に衝突させて、固体表面の原子、分子などを固体表面からたたき出し、固体近くに置かれた基材に飛散した原子、分子などを体積させて層を形成する方法である。 The sputtering method, by colliding with with high energy particles to a solid, atoms of the solid surface, Tatakidashi molecule and from a solid surface, atoms scattered on the substrate placed near the solid, the volume and molecular by a method of forming a layer. スパッタリング法には、直流2極スパッタリングやマグネトロンスパッタリング、対向ターゲット式スパッタリング、イオンビームスパッタリング、ECR The sputtering method, DC bipolar sputtering or magnetron sputtering, facing target sputtering, ion beam sputtering, ECR
スパッタリングなどの種類があるが、本発明の金属層の形成にはいずれの方法を用いてもよい。 There are types such as sputtering, the formation of the metal layer of the present invention may be by any method.

【0020】熱CVD法は、原料ガスを高温に加熱して熱的に活性化して化学反応を促進させ、基材上に金属層を形成させる方法である。 The thermal CVD method, a raw material gas is heated to a high temperature and thermally activated to promote chemical reactions, a method for forming a metal layer on a substrate. またプラズマCVDは、反応ガスをプラズマ励起することで活性なイオンやラジカルを生成し基板上に金属層を作成する方法である。 The plasma CVD is a method of making a metal layer on the reaction gas to produce an active ions and radicals by plasma excitation on the substrate. 高い温度を必要とする熱CVDと比較して、この方法では適用可能な基材の適用範囲が広い。 Compared to thermal CVD requiring high temperatures, wide application range of applicable substrates by this method. 光CVD法は、光子のエネルギーをCVD反応場に照射することにより、反応化学種を励起または活性化して金属層を形成する方法である。 Optical CVD method, by irradiating the energy of the photon in CVD reaction field, a reactive chemical species excited or activated the method of forming a metal layer.

【0021】前記説明した金属層の形成方法の中でも、 [0021] Among the method for forming a metal layer above description,
Niを主体とする金属材料からなる金属層を基材表面に形成する場合には、均一なメッキが可能な無電解メッキ法を用いることが推奨される。 A metal layer made of a metal material mainly composed of Ni in the case of forming the substrate surface, it is recommended to use an electroless plating method capable of uniform plating. このとき還元剤として次亜リン酸ナトリウム又は水素化ホウ素を用いるのが望ましい。 In this case to use a hypophosphite or sodium borohydride is preferred as the reducing agent.

【0022】次亜リン酸ナトリウムを還元剤として用いた場合、ニッケルの塩化物または硫酸塩が金属塩として用いられ、複雑な反応を経て自己触媒的にNiが析出する。 [0022] When using sodium hypophosphite as a reducing agent, the chloride or sulfate of nickel is used as the metal salt, Ni is deposited autocatalytically through complicated reactions. 析出物の中にはリンが含まれ、Ni−Pの合金が生成する。 Some precipitates include phosphate, alloy Ni-P is generated. このようなリンの共析により高い硬度のメッキ層(Hv500程度)が得られる。 Plating layer of high hardness by eutectoid such phosphorus (about Hv 500) is obtained. 後述するようなアニール処理をすれば硬度をさらに高くすることができ、最高Hv800程度にまで高めることができる。 It can be further increased hardness when the annealing treatment as described below, can be increased to about the maximum Hv 800. なお、流体軸受部品の硬度としては、Hv400以上であることが望ましく、より望ましい硬度はHv600以上である。 As the hardness of the fluid bearing component desirably is Hv400 or more, and more desirably hardness is Hv600 or more.

【0023】一方、水素化ホウ素を還元剤として用いた場合、具体的にはアミンボラン又は水素化ホウ素ナトリウムを用いた場合には、どちらもNi−B合金が析出する。 On the other hand, when using a borohydride as a reducing agent, when specifically using amine boranes or sodium borohydride, both Ni-B alloy is deposited. 還元剤としてアミンボランを用いると、ニッケルの純度が高くなり、高い硬度の金属層が得られる(Hv8 The use of amine borane as the reducing agent, the purity of nickel is high, the metal layer of high hardness is obtained (HV8
00程度)。 About 00). 還元剤として水素化ホウ素ナトリウムを用いると、アミンボランを用いたものよりボラン含有率の高い合金が得られる。 When sodium borohydride is used as reducing agent, the alloy high borane content than those using the amine borane is obtained. この合金はアニール処理により硬度を高くすることができる。 The alloy can increase the hardness by annealing. またこの合金は融点が高く、高温時においても高硬度を維持するので、流体軸受部品の基材表面に形成する金属層として好適である。 Also the alloy has a high melting point, since maintaining a high hardness at high temperatures, is suitable as a metal layer formed on the substrate surface of the fluid bearing component.

【0024】基材の表面に形成する金属層の層厚としては、5〜30μmの範囲が好ましい。 [0024] The layer thickness of the metal layer formed on the surface of the base material, the range of 5~30μm is preferred. 金属層の層厚が5 The layer thickness of the metal layer 5
μm未満の場合、十分な深さの動圧溝を形成することができないおそれがあり、他方30μmより大きい場合、 If it is less than [mu] m, it may not be able to form the dynamic pressure grooves of sufficient depth, if the other 30μm greater,
金属層の層厚が不均一となるおそれがあるからである。 The layer thickness of the metal layer there is a fear that a nonuniform.
金属層の層厚のより好ましい下限値は10μmであり、 Preferred lower limit than the layer thickness of the metal layer is 10 [mu] m,
より好ましい上限値は20μmである。 More preferable upper limit value is 20 [mu] m.

【0025】基材表面に形成した金属層の硬度をより高くするためには、金属層の形成後アニール処理するのがよい。 [0025] In order to further increase the hardness of the metal layer formed on the surface of the substrate is preferably formed after annealing of the metal layer. アニール処理の具体的条件は、金属層の組成や層厚などから適宜決定すればよい。 Specific conditions of the annealing treatment may be suitably determined from the composition and thickness of the metal layer. 好ましくは200〜4 Preferably 200-4
00℃で0.5〜4hの範囲である。 It is in the range of 0.5~4h at 00 ℃. なおアニール処理は動圧溝の形成前でもよいし、形成後でもよい。 Note to annealing treatment may be prior to formation of the dynamic pressure grooves, or after formation.

【0026】本発明に係る製造方法のもう一つの大きな特徴は、電解加工により前記金属層に動圧溝を形成する点にある。 [0026] Another major feature of the manufacturing method according to the present invention is to form a dynamic pressure grooves on the metal layer by electrolytic processing. 動圧溝を形成する方法として従来専ら用いられていた切削加工では、微細なバリ、むしれ又は切り粉が不可避的に発生し、前記のような問題が生じていたが、電解加工では溝部分の金属材料を電解溶出させて除去するので、これらに起因する従来の問題は完全に解決される。 The exclusively used is optionally the cutting conventionally as a method of forming a dynamic pressure grooves, fine burrs, pluck or swarf inevitably occur, but problems such as the has occurred, the groove portion in the electrolytic processing since the metallic material is an electrolytic dissolution of removing conventional problems resulting from these are completely solved.

【0027】本発明で用いる電解加工とは、電気化学的溶解作用を材料の所要部分に集中・制限することによって所要の形状・寸法・表面状態を得る加工法をいう。 [0027] The electrolytic processing used in the present invention refers to a processing method for obtaining the required shape, dimensions, surface condition by concentrating-limiting electrochemical dissolving action to a required portion of the material. 電解加工の一般的な構成を図1に示す。 The general structure of electrochemical machining shown in FIG. 図1は、スピンドルモータの支持部材として用いる中空円筒状の被加工材16に、ラジアル状の動圧溝を形成する電解加工装置の全体構成を示した図である。 1, the hollow cylindrical workpiece 16 for use as a support member of a spindle motor, a diagram showing the overall structure of the electrolytic processing apparatus for forming a radial-shaped dynamic pressure grooves. 中空円筒状の被加工材16 Hollow cylindrical workpiece 16
は加工室42内に固定され、露出電極44aが被加工材16の内周面と微小間隙を隔てて対向するように円柱状の工具電極44が加工装置ハウジング40に取り付けられている。 Is fixed to the machining chamber 42, exposed electrode 44a is cylindrical tool electrode 44 is attached to the processing unit housing 40 so as to face each other with the inner peripheral surface with a small gap between the workpiece 16. ここで露出電極44aは、被加工材に形成させたいラジアル状の動圧溝の形状(図1ではヘリングボーン形状)と相似形状をしていて、ラジアル状の動圧溝より若干小さい幅に形成されている。 Here exposed electrode 44a is not a similar shape to the shape of the radial-shaped dynamic pressure grooves desired to be formed on the workpiece (herringbone pattern in FIG. 1), formed slightly smaller width than the radial shape of the dynamic pressure grooves It is.

【0028】被加工材16には、加工用電源54の正電源端子から延出した正極端子60が接続され、そしてその途中には、被加工材16と工具電極44との間に流れる電流を検出する電流検出手段58が設けられている。 [0028] the workpiece 16, the positive electrode terminal 60 extending from the positive supply terminal of the machining power supply 54 is connected, and to its middle, the current flowing between the workpiece 16 and the tool electrode 44 current detecting means 58 for detecting is provided.
他方、工具電極44には、加工用電源54の負電源端子から延出した負極端子62が接続され、そしてその途中には、加工用電源54からの直流電圧(パルス電圧)のオン・オフを行うスイッチ手段46が設けられている。 On the other hand, the tool electrode 44 is a negative electrode terminal 62 is connected extending from the negative supply terminal of the machining power supply 54, and the midway, the on-off of the DC voltage from the machining power supply 54 (voltage pulse) switching means 46 for are provided.

【0029】一方、電解液タンク50には電解液が貯留されており、電解液タンク50と加工室42の供給口とは循環ポンプ48を介して供給管で接続され、加工室4 On the other hand, the electrolytic solution tank 50 and the electrolytic solution is stored, and the electrolytic solution tank 50 and the supply port of the processing chamber 42 are connected with supply pipe via a circulating pump 48, the processing chamber 4
2の排出口と電解液タンク50とは排出管で接続されている。 It is connected by the discharge pipe 2 of the discharge port and the electrolyte solution tank 50. 電解加工時には、循環ポンプ48が作動されて、 During electrochemical machining, the circulation pump 48 is actuated,
電解液タンク50から加工室42に電解液52が供給される。 Electrolyte solution 52 is supplied to the processing chamber 42 from the electrolyte tank 50. 加工室42に供給された電解液52は、加工室4 Electrolyte 52 supplied to the processing chamber 42, the processing chamber 4
2の上部から被加工材16と工具電極44との間隙を流れて、加工室42の下部に至る。 2 of the upper flows the gap between the workpiece 16 and the tool electrode 44, leading to the lower part of the processing chamber 42. そして電解液52は、 And electrolyte 52,
加工室42の下部から排出管を通って電解液タンク50 Through the discharge pipe from the bottom of the processing chamber 42 electrolyte solution tank 50
に回収され、また循環ポンプ48により加工室42へ供給されるという流れを繰り返す。 Recovered, also repeated flow that is supplied to the processing chamber 42 by the circulation pump 48. ここで、被加工材16 Here, the workpiece 16
と工具電極44との間隙を通過するとき、電解生成物が電解液中に混入する。 And when passing through the gap between the tool electrode 44, electrolyte product is mixed in the electrolyte. 電解加工では、電流密度が極めて大きく、加工間隙が極めて小さいので、電解生成物の発生や電解液の加熱は加工に大きな影響を及ぼし、これらの影響をすみやかに除去しなければ加工が進行しなくなるおそれがある。 The electrolytic processing, the current density is very high, since the machining gap is extremely small, the heating of the generator and the electrolytic solution of the electrolysis products may have a significant impact on processing, the processing can not proceed unless promptly remove these effects I fear there is. したがって、電解液の流速は高速にする必要があり、加工条件によって異なるものの、一般には6〜60m/secの範囲が望ましい。 Therefore, the flow velocity of the electrolytic solution must be fast, although different depending on the processing conditions, generally in the range of 6~60m / sec is desirable. また電解生成物が沈殿性のものである場合には、遠心分離や沈降、濾過およびこれらの組み合わせによって電解液タンク50 In the case electrolysis products are of precipitating is centrifuged and sedimentation, electrolytic solution tank 50 by filtration and combinations thereof
中の電解液から電解生成物を分離・除去し、電解液を清浄にしてから循環使用するのがよい。 The electrolysis product was separated and removed from the electrolyte solution in, it is preferable to recycling after the electrolyte clean.

【0030】このような構成の装置において、前記スイッチ手段46を所定時間(加工時間)オンにすると、被加工材16と工具電極44の間に直流電圧(パルス電圧)が印加され、被加工材16と工具電極44の間に加工用電源54から電流が流れる。 [0030] In the apparatus having such a configuration, when the switching means 46 for a predetermined time (processing time) to turn on, a DC voltage (pulse voltage) is applied between the workpiece 16 and the tool electrode 44, workpiece 16 and current flows from the machining power source 54 between the tool electrode 44. そして例えばNaCl And, for example NaCl
液を電荷液とし、被加工材の表面がNiとした場合には、主として次の電極反応が起こる。 Liquid was a charge fluid, when the surface of the workpiece has a Ni mainly following electrode reactions occur.

【0031】被加工材表面:Ni→Ni 2+ +2e -工具電極表面:2Na + +2H 2 O+2e - →2NaOH The surface of the workpiece: Ni → Ni 2+ + 2e - tool electrode surface: 2Na + + 2H 2 O + 2e - → 2NaOH
+H 2 + H 2

【0032】このような反応によって、工具電極44の露出電極に対向する被加工材16の表面材料は、電解液52中に溶出し、露出電極に対応する形状の動圧溝が被加工材16表面に形成される。 [0032] Such a reaction, the surface material of the workpiece 16 which faces the exposed electrode of the tool electrode 44, the electrolyte solution was eluted in 52, dynamic pressure grooves having a shape corresponding to the exposed electrode workpiece 16 It is formed on the surface.

【0033】加工時に、被加工材16と工具電極44との間に流れる電流は、電流検出手段58により検出され、検出値は通電制御回路56に送られ、ここで検出値に基づきスイッチ手段46のオン・オフが制御される。 [0033] During processing, the current flowing between the workpiece 16 and the tool electrode 44 is detected by the current detection means 58, detected value is sent to the current control circuit 56, the switching means 46 wherein based on the detection value of on-off is controlled.
この結果、電解液52の中に溶出した電解生成物量や加工位置における電解液の流速、その他種々の加工条件の変化によっても影響を受けず、常に安定した品質の溝加工が行える。 As a result, the flow velocity of the electrolytic solution in the eluted electrolyte amount of product and processing positions within the electrolyte 52, not affected by changes in various other processing conditions, can be performed always stably grooving quality.

【0034】電解加工の加工条件としては、被加工材の組成や形状および形成する溝の深さや幅、形状といったものから適宜決定すればよい。 [0034] As the processing conditions for the electrolytic processing may be suitably determined from the depth and width of grooves composition, shape and form of the workpiece, such as shape ones. 加工条件の一例を示すと、加工電圧10V、加工電流10A、加工時間(スイッチ手段46をオンとする時間)3秒、被加工材16の加工面と工具電極44の電極面との間隙0.1mmに設定すると、深さ10μmの所望形状の動圧溝を形成できる。 As an example of the processing conditions, machining voltage 10V, machining current 10A, processing time (the time to turn on the switching means 46) for 3 seconds, the gap 0 of the machining surface and the electrode surface of the tool electrode 44 of the workpiece 16. If set to 1 mm, to form a dynamic pressure grooves of a desired shape of the depth 10 [mu] m.

【0035】次に請求項6のモータについて説明する。 [0035] Next will be described motor according to claim 6.
請求項6のモータは、流体動圧軸受を備えたモータであって、該流体動圧軸受の部品であるスリーブ部材および軸受部材の少なくとも一方が、前記説明した製造方法で製造されたものであることが大きな特徴である。 Motor according to claim 6, a motor having a fluid dynamic bearing, at least one of the sleeve member and the bearing member is a fluid dynamic pressure bearing components are those manufactured by the manufacturing method described above described it is a significant feature. このような構成により本発明のモータでは、高速で安定した回転を長期間持続することができる。 The motor of the present invention by such construction, it is possible to long-lasting stable rotation at high speed.

【0036】以下、図に基づいて本発明のモータについて詳述する。 [0036] described in detail below motor of the present invention based on FIG. 図2は、本発明のモータの一実施形態であって、記録ディスク駆動用の流体軸受モータの概略断面図である。 Figure 2 is an embodiment of the motor of the present invention, is a schematic sectional view of a fluid dynamic bearing motor for driving the recording disk. モータ1は、ブラケット2と、このブラケット2の中央開口部に一方の端部が外嵌固定されるシャフト4、このシャフト4に対して相対的に回転自在に保持されたロータ6とを備える。 Motor 1 includes a bracket 2, a shaft 4 having one end portion to the central opening of the bracket 2 is externally secured, and a rotor 6 which is relatively rotatably supported with respect to the shaft 4. ブラケット2にはステータ12が固定され、ロータ6にはステータ12に対向した位置にロータマグネット10が設けられ、ステータ12 The bracket 2 stator 12 is fixed, the rotor 6 rotor magnet 10 is provided at a position opposed to the stator 12, the stator 12
とロータマグネット10との間で回転駆動力が発生する。 Rotational driving force is generated between the rotor magnet 10 and.

【0037】シャフト4の上部及び下部には半径方向外方に突出する円盤状の上部スラストプレート4aと下部スラストプレート4bがあり、これらのスラストプレート間のシャフト外側面には、気体介在部22が形成されている。 [0037] The upper and lower shaft 4 has a disk-shaped upper thrust plate 4a and the lower thrust plate 4b which projects radially outward, the shaft outer side surface between these thrust plates, gas-interposing section 22 It is formed.

【0038】一方ロータ6は、その外周部に記録ディスクDが載置されるロータハブ6aと、ロータ6の内周側に位置し、潤滑油8が保持される微小間隙を介してシャフト4に支持されるスリーブ6bとを備えている。 Meanwhile rotor 6 includes a rotor hub 6a for recording the disc D is placed on the outer periphery thereof, located on the inner peripheral side of the rotor 6, supported by the shaft 4 through a minute gap the lubricant 8 is retained and a sleeve 6b to be. さらにスリーブ6bには、上部および下部スラストプレートの外側に蓋をする形で、上部カウンタプレート7aおよび下部カウンタプレート7bが設けられている。 More sleeve 6b, in the form of a lid on the outside of the upper and lower thrust plates, an upper counter plate 7a and a lower counter plate 7b is provided.

【0039】ここで、シャフト4及び上・下部スラストプレート4a,4bが本発明における軸部材、スリーブ6bが本発明のスリーブ部材に相当する。 [0039] Here, the shaft 4 and the upper and lower thrust plates 4a, 4b are axial member in the present invention, the sleeve 6b is equivalent to the sleeve member of the present invention. これら軸部材およびスリーブ部材の双方又はどちらか一方が、銅を主成分とする基材表面にニッケルを主体とするメッキ層を形成したものである。 One or both either of these shaft member and the sleeve member is made by forming a plating layer composed mainly of nickel on the substrate surface containing copper as a main component. そして後述するように、スリーブ6bの内周部貫通孔6cの上部・下部内面にはヘリングボーン状の動圧溝24、上部スラストプレート4aの下面および下部スラストプレート4bの上面にはスパイラル状の動圧溝14が、電解加工によりがそれぞれ形成されている。 Then, as described later, the dynamic inner peripheral portion through hole 6c dynamic pressure grooves 24 in the upper and lower inner surfaces of the herringbone, on the lower surface and the upper surface of the lower thrust plate 4b of the upper thrust plate 4a of spiral sleeve 6b It grooves 14, by electrolytic machining There are formed respectively.

【0040】シャフト4の中央部に設けられた気体介在部22の上部に隣接するシャフト4の外周部から、上部スラストプレートの下面、外周面および上面外周部に至る部分には、対向するスリーブ6bの内周部貫通孔6c [0040] from the outer periphery of the shaft 4 adjacent the top of the gas-interposing portion 22 provided in the center portion of the shaft 4, the lower surface of the upper thrust plate, on the outer peripheral surface and the portion extending to the upper surface outer peripheral portion, opposite to the sleeve 6b the inner peripheral portion through hole 6c of
の上部から上部カウンタプレート7aの下面に至る部分との間に、微小間隙が形成され、潤滑油8が保持されている。 Between from the upper and lower surface leading portion of the upper counter plate 7a, a small gap is formed, the lubricant 8 is held. そして上部スラストプレート4aの下面および下部スラストプレート4bの上面には、ロータ6の回転にともない潤滑油8中に動圧を発生するスパイラル状の動圧溝14が形成されている。 And on the upper surface of the lower surface and the lower thrust plate 4b of the upper thrust plate 4a, a spiral dynamic pressure grooves 14 for generating a dynamic pressure in the lubricating oil 8 with the rotation of the rotor 6 is formed. 動圧溝14は、モータ回転時にロータ部を軸線方向に保持する支持力を発生すると同時に、潤滑油8を矢印Aの方向に押し戻す作用を奏する。 Dynamic pressure grooves 14 and, at the same time to generate a supporting force for holding the rotor part in the axial direction when the motor rotates, performing an operation pushing back the lubricating oil 8 in the direction of arrow A. さらにスリーブ6bの内周部貫通孔6cの上部・下部内面の潤滑油保持部には、ヘリングボーン状の動圧溝24が形成されている。 More lubricant holding portion of the upper and lower inner surface of the inner peripheral portion through hole 6c of the sleeve 6b, herringbone dynamic pressure grooves 24 are formed. 動圧溝24は、モータ回転時にロータ部を半径方向に保持する支持力を発生すると同時に、潤滑油8を矢印Bの方向に押し上げる作用を奏する。 Dynamic pressure groove 24, at the same time to generate a supporting force for holding the rotor portion in the radial direction during the motor rotation, performing an operation to push the lubricant 8 in the direction of arrow B.

【0041】これら動圧溝により生じる微小間隙内の潤滑油8の動圧圧力分布は、上部スラストプレートの下面内周部Pで最も高くなる。 The dynamic pressure pressure distribution of the lubricant 8 in the small gap caused by these dynamic pressure grooves are highest at the lower surface inner peripheral portion P of the upper thrust plate. この結果、潤滑油8内に溶け込んでいた空気が気泡化すると、その気泡は前記内周部Pの外側に拡散排除され、下方の気体介在部22空隙部または上方の上部カウンタプレート7a下面空隙部に至る。 As a result, the air that was dissolved in the in the lubricating oil 8 is aerated, the bubbles are diffused eliminated outside of the inner peripheral portion P, the gas intervening portion 22 gap portion of the lower or upper top counterplate 7a lower surface void portion leading to. そしてこれらの空隙部は、直接または外気連通孔2 And these void portions directly or ambient air communicating hole 2
0により大気に解放されているので、ここから気泡は外気に解放され、気泡の膨張に起因する潤滑油漏れは防止される。 Since 0 is released to the atmosphere, the air bubbles from which is released to the outside air, the lubricating oil leakage due to the expansion of the bubbles is prevented.

【0042】更に前記潤滑油保持部の端部であるカウンタプレート7aの下面と上部スラストプレート4a上面との間には、シャフト方向に向かう程その間隙が徐々に広がるテーパシール部が形成され、テーパシール部の端部には発油剤が塗布されている。 [0042] Further between the lower and the upper thrust plate 4a upper surface of the end portion at which the counter plate 7a of the lubricant holding portion is tapered seal portion extending the gap gradually increases toward the shaft direction is formed, tapered the end of the sealing portion originating oil is applied. 同様に、前記潤滑油保持部の他端部であるシャフト4中央部の気体介在部22 Similarly, gas inclusions of the shaft 4 central portion which is the other end portion of the lubricating oil holding portion 22
の上部にも、シャフト4の外周面とスリーブ6bの内周面との間で、潤滑油保持部から軸方向下方に離れる程その間隙が徐々に広がるテーパシール部が形成され、テーパシール部の端部には発油剤が塗布されている。 Of even top, between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the sleeve 6b of the shaft 4, increasing distance axially downwardly from the lubricating oil holding portion thereof tapered seal portion gap gradually widened is formed, the tapered seal portion outgoing oil is applied to the end. これらの両端に形成されたテーパシール部により、潤滑油内部に生じる動圧力、大気圧、テーパシール部の表面張力がバランスした位置に潤滑油は保持される。 The tapered seal portion formed on these ends, the dynamic pressure generated inside the lubricating oil, atmospheric pressure, lubricating oil to a position where the surface tension of the tapered seal portion are balanced is maintained. テーパシール部に塗布された発油剤は、潤滑油がシャフトやスリーブの金属表面を伝って拡散する、いわゆるオイルマイグレーションを防止する作用も有する。 Calling oil applied to the tapered seal portion, the lubricant is spread along the metal surface of the shaft and the sleeve also has function of preventing the so-called oil migration. これらの潤滑油保持構造により、潤滑油漏れがなくかつ負荷支持力の高い流体軸受構造を実現している。 These lubricating oil retaining structure, lubricating oil leakage is to achieve high fluid bearing structure with no and load bearing capacity.

【0043】同様の微小間隙、動圧溝、潤滑油保持部の構造が、シャフト4の中央部に設けられた気体介在部2 [0043] Similar small gap, dynamic pressure grooves, the structure of the lubricating oil holding portion, the gas intervening portion 2 provided in the center portion of the shaft 4
2の下部から下部スラストプレート4bおよび下部カウンタプレート7bに、上下逆配置で形成されており、この下部動圧軸受部によりロータ部は一層安定に支持される。 From the bottom of the 2 to the lower thrust plate 4b and a lower counter plate 7b, which is formed in inverted arrangement, the rotor portion by the lower dynamic pressure bearing portion is supported more stably.

【0044】またこのような構造の流体軸受モータは、 [0044] The fluid dynamic bearing motor having such a structure,
毎分2万回転前後の高速回転においても、回転遠心力による潤滑油8の外周方向への発散が、上部および下部カウンタプレート7a、7bにより効果的に防止され、一層高速で安定した回転を実現することができる。 Even at high rotation per minute 20,000 rotating back and forth, the divergence in the outer circumferential direction of the lubricating oil 8 by centrifugal force, the upper and lower counter plate 7a, effectively prevented by 7b, realize rotation stabilized at higher speed can do.

【0045】次に請求項7のディスク装置について説明する。 [0045] Next will be described disk drive according to claim 7. このディスク装置は、スピンドルモータの回転部に装着された記録媒体に対して、情報の書き込み及び/ The disc apparatus, the recording medium mounted on the rotation of the spindle motor, the writing of information and /
又は読み出しを情報アクセス手段により行う装置であって、当該スピンドルモータとして請求項6のモータを用いることを特徴とすものである。 Or a device for reading the information access means is intended to comprises using the motor according to claim 6 as the spindle motor.

【0046】図3に、本発明のディスク装置の一実施態様である概略説明図を示す。 [0046] FIG. 3 shows a schematic illustration of an embodiment of a disk apparatus of the present invention. ハウジング71の内部には、各種情報をデジタル形式で高密度に記憶するディスク板(記録媒体)73を回転自在に支持したスピンドルモータ72と、ディスク板73に対して情報の読み書きを行う情報アクセス手段77が配置されている。 Inside the housing 71, the disk plate of high density storing various information in digital form (recording medium) 73 and a spindle motor 72 which rotatably supports the information access means for reading and writing information to the disk plate 73 77 is disposed. この情報アクセス手段77は、ディスク板73上の情報を読み書きするヘッド76と、ヘッド76を支えるアーム75 The information access unit 77 includes a head 76 for reading and writing information on the disk plate 73, the arm 75 supporting the head 76
と、ヘッド76およびアーム75をディスク板73上の所要の位置に移動させるアクチュエータ部74から少なくとも構成されている。 When it is at least composed of an actuator unit 74 for moving the head 76 and arm 75 to the desired position on the disk plate 73. そしてスピンドルモータ72として請求項6のモータが用いられている。 The motor according to claim 6 is used as a spindle motor 72.

【0047】なお、ディスク板に記憶できる情報密度は近年飛躍的に向上し、ディスク板の設置環境として塵・ [0047] Incidentally, the information density that can be stored in the disk plate is remarkably improved in recent years, the dust-as the installation environment of the disk plate
埃などの極度に少ないクリーンな環境が必須となっている。 Extremely small clean environment, such as dust is essential. したがって、ハウジング71の内部を外気から遮断した高度にクリーンな空間とするためは、その内部構成部品である情報アクセス手段77及びスピンドルモータ72として、その内部で使用されている潤滑油のミスト等が外部に漏れない機構のものを使用するのが望ましい。 Therefore, in order to highly clean space blocked the interior of the housing 71 from the outside air, as the information access unit 77 and the spindle motor 72 is its internal components, mist of the lubricating oil used therein it is desirable to use a leak does mechanism to the outside.

【0048】 [0048]

【発明の効果】請求項1の製造方法では、銅を主成分とする基材の表面に、銅より硬度が高い金属材料からなる金属層を形成した後、電解加工により該金属層に動圧溝を形成する構成としたので、バリ、むしれ及び切り粉に起因する金属層の突起物を除去する必要がなく、また長期間の使用によっても摩耗しない流体軸受部品を製造でき、さらに生産性が向上する。 The method according to claim 1, according to the present invention, the surface of the base material mainly composed of copper, after forming a metal layer hardness of copper having a higher metal material, the dynamic pressure to the metal layer by electrolytic machining since a configuration of forming grooves, burrs, pluck and chips it is not necessary to remove the protrusions of the metal layer due, also can produce a fluid bearing part which is not worn even by long-term use, further productivity There is improved. また金属層をニッケルを主体とするものとすれば、金属層としての硬度と電解加工性とのバランスに優れたものが得られる。 Further, if the metal layer mainly formed of nickel, has excellent balance between hardness and electrolytic processing of the metal layer is obtained. さらに金属層をメッキにより形成することにより、均一な金属層が得られる。 By further formed by plating a metal layer, uniform metal layer is obtained. そしてまた金属層を無電解ニッケルメッキにより形成した後にアニール処理を行うことにより、金属層の硬度をより高くして耐摩耗性をさらに向上させることができる。 And also by performing the annealing after forming the electroless nickel plating a metal layer, it is possible to further improve the wear resistance higher hardness of the metal layer. また金属層の層厚を5〜30μmの範囲とすることにより、形成する動圧溝の深さと形成する金属層の層厚の均一性とのバランスを保つことができる。 Also it is possible to keep the balance between the layers by a range of 5~30μm thicknesses, the layer thickness of the metal layer depth and the formation of the dynamic pressure grooves that form the uniformity of the metal layer.

【0049】請求項6のモータでは、流体動圧軸受と備え、該流体動圧軸受のスリーブ部材および軸部材の少なくとも一方は、本発明の製造方法で製造されたものを使用するので、長期間にわたって高速で安定した回転を実現できる。 [0049] In the motor according to claim 6 is provided with a fluid dynamic bearing, at least one of the fluid dynamic bearing sleeve member and the shaft member, since to use those produced by the production method of the present invention, a long period of time It can realize stable rotation at high speed over.

【0050】請求項7のディスク装置では、ハウジングの内部に固定され、記録媒体を回転部に装着したスピンドルモータを備え、このスピンドルモータとして本発明のモータを用いるので、装置の長寿命化を図ることができる。 [0050] In the disk apparatus according to claim 7 is fixed to the inside of the housing, comprising a spindle motor equipped with a recording medium to the rotating portion, since use of the motor of the present invention as the spindle motor, prolong the life of the device be able to.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 請求項1の製造方法で用いる電解加工の一実施態様を示す概略構成図である。 1 is a schematic configuration diagram showing one embodiment of the electrolytic processing used in the production method of claim 1.

【図2】 請求項6のモータの概略構成図である。 2 is a schematic configuration diagram of a motor according to claim 6.

【図3】 請求項7のディスク装置の概略構成図である。 Figure 3 is a schematic diagram of a disk drive according to claim 7.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 モータ 4 シャフト 6b スリーブ(スリーブ部材) 8 潤滑油(潤滑流体) 14、24 動圧溝 16 被加工材 44 工具電極 44a 露出電極 71 ハウジング 72 スピンドルモータ 73 ディスク板(記録媒体) 77 情報アクセス手段 1 motor 4 shaft 6b sleeve (sleeve member) 8 lubricant (lubricating fluid) 14, 24 dynamic pressure grooves 16 the workpiece 44 tool electrode 44a exposed electrode 71 housing 72 spindle motor 73, a disk plate (recording medium) 77 information access means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3J011 AA20 BA02 BA06 CA02 CA05 DA02 JA02 KA02 KA03 MA02 QA03 RA03 SB03 SB15 5H607 BB01 BB17 CC01 CC05 DD05 DD16 FF01 GG01 GG02 GG12 GG15 KK10 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of continued F-term (reference) 3J011 AA20 BA02 BA06 CA02 CA05 DA02 JA02 KA02 KA03 MA02 QA03 RA03 SB03 SB15 5H607 BB01 BB17 CC01 CC05 DD05 DD16 FF01 GG01 GG02 GG12 GG15 KK10

Claims (7)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 銅を主成分とする基材の表面に、銅より硬度が高い金属材料からなる金属層を形成した後、電解加工により該金属層に動圧溝を形成することを特徴とする流体軸受部品の製造方法。 To 1. A surface of the substrate containing copper as a main component, after forming a metal layer hardness of copper having a higher metal material, and characterized by forming a dynamic pressure grooves on the metal layer by electrolytic machining method for producing a fluid bearing component to.
  2. 【請求項2】 前記金属層がニッケルを主体とするものである請求項1記載の流体軸受部品の製造方法。 2. A method for producing a fluid bearing parts of the metal layer according to claim 1, wherein it is mainly formed of nickel.
  3. 【請求項3】 前記金属層をメッキにより形成する請求項1又は2記載の流体軸受部品の製造方法。 3. A process according to claim 1 or 2 method for producing a fluid bearing component according formed by plating the metal layer.
  4. 【請求項4】 前記金属層を無電解ニッケルメッキにより形成した後アニール処理を行う請求項3記載の流体軸受部品の製造方法。 4. The process for producing a fluid bearing component according to claim 3, wherein the annealing is performed after forming by electroless nickel plating the metal layer.
  5. 【請求項5】 前記金属層の層厚が5〜30μmの範囲である請求項1〜4のいずれかに記載の流体軸受部品の製造方法。 5. The method for producing a fluid bearing component according to any one layer thickness of the metal layer of claim 1 in the range of 5 to 30 [mu] m.
  6. 【請求項6】 スリーブ部材と、該スリーブ部材に対して相対的に回転自在である軸部材と、該スリーブ部材と該軸部材との間に充填された潤滑流体とを有する流体動圧軸受を備えたモータであって、 前記スリーブ部材および前記軸部材の少なくとも一方は、請求項1〜5のいずれかに記載の製造方法により製造された流体軸受部品であることを特徴とするモータ。 6. A sleeve member, and the shaft member is freely rotated relative to the sleeve member, a fluid dynamic bearing having a filled lubricating fluid between the sleeve member and the shaft member a motor comprising, at least one of said sleeve member and said shaft member, a motor which is a fluid bearing part manufactured by the method according to any one of claims 1 to 5.
  7. 【請求項7】 情報を記録できる円盤状記録媒体が装着されるディスク装置において、ハウジングと、該ハウジングの内部に固定されたスピンドルモータと、前記記録媒体の所要位置に情報の書き込み及び/又は読み出しのための情報アクセス手段とを備えたディスク装置であって、 前記スピンドルモータとして請求項6記載のモータを用いることを特徴とするディスク装置。 7. A disk drive platter that can record information is mounted, housing, a spindle motor fixed to the inside of the housing, the writing and / or reading information on a required position of said recording medium information a disk device including an access unit, a disk device, which comprises using a motor according to claim 6, wherein as said spindle motor for.
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Cited By (2)

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