JP2001307458A - Information recording device - Google Patents

Information recording device

Info

Publication number
JP2001307458A
JP2001307458A JP2000122198A JP2000122198A JP2001307458A JP 2001307458 A JP2001307458 A JP 2001307458A JP 2000122198 A JP2000122198 A JP 2000122198A JP 2000122198 A JP2000122198 A JP 2000122198A JP 2001307458 A JP2001307458 A JP 2001307458A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
recording
magnetic
case
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000122198A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuzo Seo
雄三 瀬尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Chemical Corp filed Critical Mitsubishi Chemical Corp
Priority to JP2000122198A priority Critical patent/JP2001307458A/en
Publication of JP2001307458A publication Critical patent/JP2001307458A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Moving Of Heads (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low price, high-density and fast-transfer-rate information recording device which solves the problems of windage loss, vibration, noise, etc. that a fast rotation type information recording device has. SOLUTION: The information recording device has a recording medium, a driving part which drives the recording medium in the recording direction, a head equipped with a recording part and/or reproduction part, a means which moves the head relative to the recording medium, and a recording and reproduction signal processing means which inputs a recording signal to the head and outputs a reproduction signal from the head. At least the recording medium, driving part, head, and relative moving means are put in an airtight case and the density of the air in the case is held lower than the that of the atmosphere.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
などの、記録媒体とヘッドとを備える情報記録装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information recording apparatus, such as a magnetic disk drive, provided with a recording medium and a head.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置に代表される情報記録
装置はコンピュータなどの情報処理装置の外部記憶装置
として広く用いられ、近年は動画像の録画装置やセット
トップボックスのための記録装置としても使用されつつ
ある。磁気ディスク装置は、通常、磁気ディスクを1枚
或いは複数枚を串刺し状に固定するシャフトと、該シャ
フトにベアリングを介して接合された磁気ディスクを回
転させるモータと、記録及び/又は再生に用いる浮上型
磁気ヘッドと、該ヘッドが取り付けられたアームと、ヘ
ッドアームを介してヘッドを磁気記録媒体上の任意の位
置に移動させることのできるアクチュエータとからな
り、記録再生用ヘッドが磁気記録媒体上を一定の浮上量
で移動している。
2. Description of the Related Art An information recording device represented by a magnetic disk device is widely used as an external storage device of an information processing device such as a computer, and in recent years, is also used as a moving image recording device or a recording device for a set-top box. Is being done. A magnetic disk device generally includes a shaft for fixing one or more magnetic disks in a skewered manner, a motor for rotating a magnetic disk joined to the shaft via a bearing, and a floating used for recording and / or reproduction. Type magnetic head, an arm to which the head is attached, and an actuator that can move the head to an arbitrary position on the magnetic recording medium via the head arm, and the recording / reproducing head moves on the magnetic recording medium. It is moving at a constant flying height.

【0003】磁気ディスク装置に搭載される磁気記録媒
体は、一般にアルミニウム合金などからなる非磁性基板
の表面にNiP層を形成し、所要の平滑化処理、テキス
チャリング処理などを施した後、その上に、非磁性金属
下地層、磁性層、保護層、潤滑層などを順次形成して作
製されている。あるいは、ガラスなどからなる非磁性基
板の表面に非磁性金属下地層、磁性層(情報記録層)、
保護層、潤滑層などを順次形成して作製されている。磁
気記録媒体の高密度化は年々その速度を増しており、近
年においては年率60%以上の増加率で高密度化が進ん
でいる。この高密度化を実現する技術には様々なものが
あり、例えば磁気ヘッドの浮上量をより小さくしたり磁
気ヘッドとしてGMRヘッドを採用したり、また磁気デ
ィスクの記録層に用いる磁性材料の改良や、磁気ディス
クの情報記録トラックの間隔を狭くすることなどが試み
られている。
A magnetic recording medium mounted on a magnetic disk drive generally has a NiP layer formed on the surface of a non-magnetic substrate made of an aluminum alloy or the like, performs a required smoothing process, a texturing process, and the like, and then forms a NiP layer on the NiP layer. In addition, a nonmagnetic metal underlayer, a magnetic layer, a protective layer, a lubricating layer, and the like are sequentially formed. Alternatively, a nonmagnetic metal underlayer, a magnetic layer (information recording layer),
It is manufactured by sequentially forming a protective layer, a lubricating layer, and the like. The density of magnetic recording media has been increasing year by year, and in recent years, the density has been increasing at an annual rate of 60% or more. There are various techniques for realizing this high density, such as reducing the flying height of the magnetic head, employing a GMR head as the magnetic head, and improving the magnetic material used for the recording layer of the magnetic disk. Attempts have been made to reduce the distance between information recording tracks on a magnetic disk.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】磁気記録装置は、転送
速度向上のため、近年、媒体回転数の増加がなされてい
る。しかし、回転数の増加にともない、ドライブ(記録
装置)内部の気体と回転媒体との摩擦による損失が増加
して、装置の消費電力が増大するという問題がある。ま
た、高速の気流はヘッドにも作用し、適切な浮上高さを
保つためのヘッド底面積は極めて小さくなり、表面のう
ねりの影響を受けやすくなるなどの問題もある。さら
に、媒体の回転に伴う気流の乱れにより、媒体が振動す
るという問題も生じている。後者を解決するためには、
剛性の高い媒体基板を用いること、媒体厚さを高めるこ
となどの対応がとられるが、剛性の高い媒体基板は一般
に高価であり、厚い媒体を用いると所定の厚さのドライ
ブに収納できる媒体枚数が減少し、記録容量が低下する
という問題があった。本発明は、このような特殊な記録
媒体や小さいヘッドを用いることなく、高速回転型の情
報記録装置における風損、振動、騒音などの問題を解決
し、高密度かつ高転送速度の情報記録装置を安価に提供
することを目的とする。
In recent years, the number of rotations of a magnetic recording device has been increased in order to improve the transfer speed. However, as the rotation speed increases, a loss due to friction between the gas inside the drive (recording device) and the rotating medium increases, and there is a problem that power consumption of the device increases. In addition, the high-speed airflow also acts on the head, so that the head bottom area for maintaining an appropriate flying height becomes extremely small, and there is a problem that the surface is easily affected by surface undulations. Further, there is a problem that the medium vibrates due to the turbulence of the air flow accompanying the rotation of the medium. To solve the latter,
Although measures such as using a medium substrate with high rigidity and increasing the thickness of the medium are taken, a medium substrate with high rigidity is generally expensive, and if a thick medium is used, the number of media that can be stored in a drive of a predetermined thickness And the recording capacity decreases. The present invention solves problems such as windage loss, vibration, and noise in a high-speed rotation type information recording device without using such a special recording medium or a small head, and provides a high-density and high transfer speed information recording device. The purpose is to provide a low-cost.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、記録媒
体と、記録媒体を記録方向に駆動する駆動部と、記録部
及び/又は再生部を備えたヘッドと、ヘッドを記録媒体
に対して相対移動させる手段と、ヘッドへの記録信号入
力とヘッドからの再生信号出力を行うための記録再生信
号処理手段を有してなる情報記録装置であって、少なく
とも記録媒体と駆動部とヘッドと相対移動手段とが気密
ケースに収められてなり、該ケース内部の気体の密度を
大気に比べて低く保持することを特徴とする情報記録装
置に存する。これにより、記録媒体の回転や移動などの
駆動に伴う、気体との摩擦抵抗を低減し、風損、振動、
騒音等を抑えることができる。本発明は、記録媒体を回
転させてヘッドにより記録及び/又は再生を行う情報記
録装置であって、回転数が1万rpm以上である高速の
情報記録装置に適用すると、特に効果が大きく好まし
い。好ましい一形態は、ケース内部の圧力を大気圧より
低く保持する。好ましい圧力範囲は室温で0.1気圧以
上0.9気圧以下である。好ましい他の形態は、ケース
内部に大気に比べて分子量の小さいガスを満たす。特に
ヘリウムガスが比重が小さく熱伝導も高くかつ不活性で
あり好ましい。
SUMMARY OF THE INVENTION The gist of the present invention is to provide a recording medium, a driving unit for driving the recording medium in a recording direction, a head having a recording unit and / or a reproducing unit, An information recording apparatus comprising: a recording / reproducing signal processing unit for inputting a recording signal to the head and outputting a reproduction signal from the head; and at least a recording medium, a driving unit, and a head. The relative movement means is housed in an airtight case, and the density of the gas inside the case is kept lower than that of the atmosphere. As a result, the frictional resistance with the gas accompanying the driving such as rotation and movement of the recording medium is reduced, and the windage, vibration,
Noise and the like can be suppressed. The present invention is particularly advantageous when applied to a high-speed information recording apparatus in which a recording medium is rotated and recording and / or reproduction is performed by a head, and the number of rotations is 10,000 rpm or more. One preferred form maintains the pressure inside the case below atmospheric pressure. A preferred pressure range is from 0.1 atm to 0.9 atm at room temperature. In another preferred embodiment, the case is filled with a gas having a smaller molecular weight than the atmosphere. In particular, helium gas is preferable because of its low specific gravity, high thermal conductivity and inertness.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
本発明においては、磁気ディスク装置などの情報記録装
置において、少なくとも記録媒体と駆動部とヘッドと相
対移動手段とを気密ケースに収め、ケース内部の気体の
密度を大気より低くする。これにより、記録媒体の回転
や移動などの駆動に伴う、気体との摩擦抵抗を低減し、
風損、振動、騒音等を抑える。ここで大気とは、一般に
25°Cにおける海抜0メートル付近の空気を言う。ま
た、ここで気密ケースとは本発明で使用する気体を密閉
してケース内に保持するように造られたケースのことで
ある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail.
According to the present invention, in an information recording device such as a magnetic disk device, at least the recording medium, the drive unit, the head, and the relative moving means are housed in an airtight case, and the density of the gas inside the case is made lower than the atmosphere. As a result, the frictional resistance with gas due to driving such as rotation and movement of the recording medium is reduced,
Reduce windage, vibration, noise, etc. Here, the atmosphere generally refers to air near 0 meters above sea level at 25 ° C. Here, the airtight case is a case made so that the gas used in the present invention is sealed and held in the case.

【0007】運動する流体が引き起こす現象は、レイノ
ルズ数によって支配される。レイノルズ数 (Re) は流体
の密度をρ、粘度(粘性率)をμ、平均速度を U、代表
長さを d とするとき次式(1)で表される。
The phenomenon caused by a moving fluid is governed by the Reynolds number. The Reynolds number (Re) is expressed by the following equation (1), where ρ is the density of the fluid, μ is the viscosity (viscosity), U is the average velocity, and d is the representative length.

【数1】 Re = ρ U d / μ ・・・(1) すなわち、流体の密度ρが小さく、粘度μが大きけれ
ば、高速で運動してもレイノルズ数は低いことが分か
る。装置内部の気流の乱れはレイノルズ数によって支配
されるため、密度の低いガス、あるいは粘度の高いガス
を用いることによって、空気中での操作に比べて、より
高回転であっても同程度の気流の乱れに押えることが可
能である。また密度の低いガスの代わりにガス圧を小さ
くしても同様の効果が得られる。流体による摩擦抵抗
は、レイノルズ数の関数で与えられる係数に、密度と速
度の平方を乗じた値で与えられる。この係数はレイノル
ズ数の複雑な関数であるが、一般の操作領域である乱流
領域においては、レイノルズ数の増加にともなって緩や
かな減少傾向を示す。これは即ち、レイノルズ数を減少
させるために粘度を増加させると、摩擦抵抗が増加して
しまうことを意味する。このため、粘度の増加は摩擦抵
抗の減少には悪影響を与えてしまう。
Re = ρ U d / μ (1) That is, if the density ρ of the fluid is small and the viscosity μ is large, it can be seen that the Reynolds number is low even when the fluid moves at high speed. Since the turbulence of the air flow inside the device is governed by the Reynolds number, the use of low-density gas or high-viscosity gas allows the same air flow even at higher rotations compared to operation in air. It is possible to suppress the disturbance. The same effect can be obtained by reducing the gas pressure in place of the gas having a low density. The frictional resistance due to the fluid is given by the coefficient given as a function of the Reynolds number multiplied by the square of the density and velocity. This coefficient is a complicated function of the Reynolds number, but in a turbulent flow region, which is a general operation region, shows a gradual decrease tendency with an increase in the Reynolds number. This means that when the viscosity is increased to reduce the Reynolds number, the frictional resistance increases. For this reason, an increase in viscosity has an adverse effect on a decrease in frictional resistance.

【0008】一方、密度を減少させてレイノルズ数を低
下させた場合は、摩擦係数はやや増加するが、摩擦抵抗
はこの係数に密度を乗じた値となるため、密度の減少に
ともない摩擦抵抗は一般に低下する。従って、密度の低
い気体中で操作を行なうことで、摩擦抵抗を減じ、かつ
乱流による振動を抑制することができる。ケース内部の
気体の密度を低く保持する好ましい一形態としては、ケ
ース内部の圧力を大気圧(1気圧)より低くする。一般
に密閉容器は、減圧に対して強い構造は加圧に対して弱
く、加圧に対して強い構造は減圧に対して弱い。このた
め、内部の圧力は操作の過程を通して減圧状態に保たれ
るか、もしくは加圧状態に保たれることが好ましい。従
って装置の作動に伴う温度変化を考慮すると、容器内圧
力は大気圧に対して10% 以上減圧とするのが好ましい。
従って記録媒体と駆動部とヘッドと相対移動手段とを収
めた気密ケース内の圧力は好ましくは室温で0.9気圧
以下とする。より好ましくは0.8気圧以下とする。な
お、室温とは25°Cをいう。ただし、著しく低い圧力
はわずかなリークによっても容器内の圧力及びガス組成
が大きく変動するため好ましくなく、またヘッドの安定
な浮上にも支障をきたすため、好ましくは0.1気圧以
上とする。
On the other hand, when the Reynolds number is decreased by decreasing the density, the friction coefficient slightly increases, but the friction resistance is a value obtained by multiplying the coefficient by the density. Generally lower. Therefore, by performing the operation in a low-density gas, the frictional resistance can be reduced and the vibration due to the turbulence can be suppressed. As a preferable mode for keeping the density of the gas inside the case low, the pressure inside the case is made lower than the atmospheric pressure (1 atm). Generally, in a closed container, a structure that is strong against pressure reduction is weak against pressure, and a structure strong against pressure is weak against pressure reduction. For this reason, it is preferable that the internal pressure be maintained in a reduced pressure state or a pressurized state throughout the operation. Therefore, considering the temperature change accompanying the operation of the apparatus, it is preferable that the pressure in the container is reduced by 10% or more with respect to the atmospheric pressure.
Therefore, the pressure in the airtight case containing the recording medium, the drive unit, the head, and the relative moving means is preferably set to 0.9 atm or less at room temperature. More preferably, the pressure is set to 0.8 atm or less. Note that room temperature refers to 25 ° C. However, a remarkably low pressure is not preferable because even a slight leak greatly changes the pressure and gas composition in the container, and also hinders the stable floating of the head.

【0009】好ましい他の形態は、ケース内部に大気に
比べて分子量の小さいガスを満たす。ここで言う大気の
分子量とは、大気中の主成分ガスである酸素と窒素が、
酸素1に対して窒素4の割合であるとしたときの計算上
のものであり、その値は約28.8である。ガスとして
は例えば、ヘリウム、水素、ネオン、窒素などを用いる
ことができる。低分子量の気体は熱伝導率が良好という
特性も有しているため、駆動部や相対移動部からの発熱
を速やかに外部に伝えることができ好ましい。特に発熱
が多いボイスコイル型のアクチュエータによりヘッド移
動を行なう装置において有利である。ヘリウム、水素は
特に熱伝導率が高く好ましい。ガスとしての安定性を考
慮すると、不活性ガスであるヘリウムが特に好ましい。
低分子量のガスを低い圧力で封入し密度を更に低下して
もよい。一般に特殊なガスは高価であるが、ガスの使用
量の節約ともなる。ヘリウムは熱伝導率が極めて高いの
で、低い圧力で封入しても、高い熱伝導率を高く保つこ
とができる。特に伝熱の問題のない装置であれば、例え
ば常圧での密度は空気と同程度の窒素ガスを封入し、減
圧によって気体の密度を低下させることでより経済的に
実施することができる。
In another preferred embodiment, the case is filled with a gas having a smaller molecular weight than the atmosphere. The molecular weight of the atmosphere here means that oxygen and nitrogen, which are the main gas in the atmosphere,
This is a calculation based on a ratio of nitrogen 4 to oxygen 1, and the value is about 28.8. As the gas, for example, helium, hydrogen, neon, nitrogen, or the like can be used. Since a low molecular weight gas also has a property of good thermal conductivity, heat generated from a driving unit or a relative moving unit can be quickly transmitted to the outside, which is preferable. This is particularly advantageous in a device in which a head is moved by a voice coil type actuator which generates much heat. Helium and hydrogen are particularly preferred because of their high thermal conductivity. In view of the stability as a gas, helium, which is an inert gas, is particularly preferred.
A low molecular weight gas may be sealed at a low pressure to further reduce the density. Generally, special gases are expensive, but they also save gas consumption. Helium has a very high thermal conductivity, so that a high thermal conductivity can be kept high even when sealed at a low pressure. In particular, a device that does not have a problem of heat transfer can be more economically implemented by, for example, enclosing a nitrogen gas having a density at normal pressure equal to that of air and reducing the gas density by reducing the pressure.

【0010】本発明は、磁気ディスクなどの記録媒体を
回転させて記録再生する装置であって、回転数が1万r
pm以上で高速回転させる情報記録装置に適用すると、
特に効果が大きく好ましい。磁気ディスクなどの記録媒
体の回転数は、従来は3600rpm程度であったが、
近年、これらの装置はデータ転送速度の増大の要求に伴
い、記録媒体の回転数も益々高まっており、記録媒体の
回転数が1万rpm以上の情報記録装置も使用されつつ
ある。ただし、通常、記録媒体の回転数は2万rpm以
下である。情報記録装置の回転部に、現在主流となって
いるベアリングを用いるものでは、記録媒体の回転数は
数万rpmが限界と言われている。更に、高回転を達成
するために、情報記録装置の回転部にエア軸受けを使用
し、10万rpm程度を実現することも可能と言われて
いる。
The present invention relates to an apparatus for recording and reproducing data by rotating a recording medium such as a magnetic disk.
When applied to an information recording device that rotates at a high speed above pm,
Particularly, the effect is large and preferable. Conventionally, the rotation speed of a recording medium such as a magnetic disk was about 3600 rpm,
In recent years, the number of rotations of a recording medium has been increasing with the demand for an increase in data transfer speed, and information recording apparatuses having a rotation number of the recording medium of 10,000 rpm or more are being used. However, the rotation speed of the recording medium is usually 20,000 rpm or less. It is said that the rotation speed of a recording medium is limited to tens of thousands of rpm in the case where a bearing that is currently mainstream is used for a rotating portion of an information recording device. Further, in order to achieve high rotation, it is said that it is possible to realize about 100,000 rpm by using an air bearing in a rotating part of the information recording apparatus.

【0011】情報記録装置として代表的な、磁気ディス
ク装置を例に説明する。磁気ディスク装置は、通常、磁
気ディスクを1枚或いは複数枚を串刺し状に固定するシ
ャフトと、該シャフトにベアリングを介して接合された
磁気ディスクを回転させるモータと、記録及び/又は再
生に用いる磁気ヘッドと、該ヘッドが取り付けられたア
ームと、ヘッドアームを介してヘッドを磁気記録媒体上
の任意の位置に移動させることのできるアクチュエータ
とからなり、記録再生用ヘッドが磁気記録媒体上を一定
の浮上量で移動している。記録情報は、信号処理手段を
経て記録信号に変換されて磁気ヘッドにより記録され
る。また、磁気ヘッドにより読み取られた再生信号は同
信号処理手段を経て逆変換され、再生情報が得られる。
ディスク上には、情報信号が同心円状のトラックに沿っ
て、セクター単位で記録される。サーボパターンは通
常、セクター間に記録される。磁気ヘッドは該パターン
からサーボ信号を読み取り、これによりトラックの中心
に正確にトラッキングを行い、そのセクターの情報信号
を読み取る。記録時も同様にトラッキングを行う。
A magnetic disk device, which is a typical information recording device, will be described as an example. A magnetic disk device generally includes a shaft for fixing one or more magnetic disks in a skewered manner, a motor for rotating a magnetic disk joined to the shaft via bearings, and a magnetic disk used for recording and / or reproduction. A head, an arm to which the head is attached, and an actuator capable of moving the head to an arbitrary position on the magnetic recording medium via the head arm. It is moving at a flying height. The recording information is converted into a recording signal via a signal processing means and recorded by a magnetic head. Further, the reproduction signal read by the magnetic head is inversely converted through the signal processing means to obtain reproduction information.
On the disk, information signals are recorded in sector units along concentric tracks. Servo patterns are usually recorded between sectors. The magnetic head reads a servo signal from the pattern, thereby accurately performing tracking at the center of the track, and reads an information signal of the sector. Tracking is also performed during recording.

【0012】本発明においては、磁気ディスク装置は機
密性のケースに収められている。ケースの形状は、内部
の気体を入れ替えるための減圧又は陽圧に耐えられる強
度を持たせるために、図1に示されるようなすべての隔
壁が曲面で構成されてる卵型の形状とすることが好まし
い。本形状とすることで、充填ガスが節約される点でも
好ましい。ケースに気密性を保つために、図2で表され
るように、ケースの接合部分には熱可塑性樹脂シートを
挟み、超音波を作用させることによって、樹脂シートを
双方の接合面に融着することが好ましい。配線は貫通型
のコネクターを、ケースの取り付け穴部に超音波溶着す
ることにより、ケース外部に取り出すことが好ましい。
ケースにはガスを封入するための排気管をもうけること
が好ましい。
In the present invention, the magnetic disk drive is housed in a confidential case. The shape of the case may be an egg-shaped shape in which all partitions are configured with curved surfaces as shown in FIG. 1 in order to have strength enough to withstand reduced pressure or positive pressure for replacing the gas inside. preferable. This shape is also preferable in that the filling gas can be saved. In order to keep the case airtight, as shown in FIG. 2, a thermoplastic resin sheet is sandwiched between joints of the case, and the resin sheet is fused to both joint surfaces by applying ultrasonic waves. Is preferred. The wiring is preferably taken out of the case by ultrasonic welding a through-type connector to the mounting hole of the case.
Preferably, the case is provided with an exhaust pipe for sealing gas.

【0013】磁気ディスク装置の収められた機密性のケ
ースに大気より密度の小さいガスを封入する方法として
は、一旦ケース内を減圧にし、その後所定のガスを所定
の圧力に充填することによって、行う事が出来る。ま
た、ケースを一旦減圧にする際に、該ケースを加熱チャ
ンバー等にいれて、80°C程度まで加熱をすることに
よって、ケースから除去すべき酸素や水分の除去を容易
にすることもできる。更に、ケース内に封入すべきガス
の置換効率をよくするために、減圧排気と所定ガス充填
の操作を複数回繰り返すこともできる。
A method of filling a gas having a density lower than that of the atmosphere into a confidential case in which a magnetic disk device is housed is performed by first reducing the pressure in the case and then filling a predetermined gas with a predetermined pressure. I can do things. Further, when the case is once depressurized, the case is placed in a heating chamber or the like and heated to about 80 ° C., so that oxygen and moisture to be removed from the case can be easily removed. Further, in order to improve the efficiency of replacing the gas to be sealed in the case, the operation of evacuation and filling of the predetermined gas can be repeated a plurality of times.

【0014】次に、本発明の一形態である磁気ディスク
装置に好適に用いられる磁気記録媒体について説明す
る。磁気記録媒体における基板としては、Alを主成分
とした例えばAl−Mg合金等のAl合金基板や、通常
のソーダガラス、アルミノシリケート系ガラス、非結晶
ガラス類、シリコン、チタン、セラミックス、各種樹脂
からなる基板やそれらを組み合わせた基板など、非磁性
基板であれば任意のものを用いることができる。中でも
結晶化ガラス等のガラス製基板を用いると該マスク手段
と磁気記録媒体が非接触である利点が特に生かされ好ま
しい。磁気ディスクの製造工程においては、まず基板の
洗浄・乾燥が行われるのが通常であり、本発明において
も各層の密着性を確保する見地からもその形成前に洗
浄、乾燥を行うことが望ましい。
Next, a description will be given of a magnetic recording medium suitably used in the magnetic disk drive according to one embodiment of the present invention. As the substrate in the magnetic recording medium, for example, an Al alloy substrate containing Al as a main component, such as an Al-Mg alloy, a normal soda glass, an aluminosilicate glass, an amorphous glass, silicon, titanium, ceramics, various resins. Any substrate can be used as long as it is a non-magnetic substrate, such as a substrate made of such a substrate or a substrate obtained by combining them. Among them, the use of a glass substrate such as crystallized glass is preferable because the advantage that the mask means and the magnetic recording medium are not in contact is particularly utilized. In the manufacturing process of a magnetic disk, the substrate is usually washed and dried first, and in the present invention, it is preferable to perform washing and drying before formation from the viewpoint of ensuring the adhesion of each layer.

【0015】本発明の磁気記録媒体の製造に際しては、
非磁性基板表面にNiP等の非磁性金属被覆層を形成し
てもよい。非磁性金属被覆層を形成する場合に、その手
法としては、無電解めっき法、スパッタリング法、真空
蒸着法、CVD法など薄膜形成に用いられる方法を利用
することができる。導電性の材料からなる基板の場合で
あれば電解めっきを使用することが可能である。非磁性
金属被覆層の膜厚は50nm以上あればよい。ただし、
磁気ディスク媒体の生産性などを考慮すると50nm以
上500nm以下であることが好ましい。さらに好まし
くは50nm以上300nm以下である。また、非磁性
金属被覆層を成膜する領域は基板表面全域が望ましい
が、一部だけ、例えばテキスチャリングを施す領域のみ
でも実施可能である。
In manufacturing the magnetic recording medium of the present invention,
A non-magnetic metal coating layer such as NiP may be formed on the surface of the non-magnetic substrate. When the non-magnetic metal coating layer is formed, a method used for forming a thin film such as an electroless plating method, a sputtering method, a vacuum deposition method, and a CVD method can be used. In the case of a substrate made of a conductive material, it is possible to use electrolytic plating. The thickness of the nonmagnetic metal coating layer may be 50 nm or more. However,
In consideration of the productivity of the magnetic disk medium and the like, the thickness is preferably 50 nm or more and 500 nm or less. More preferably, it is 50 nm or more and 300 nm or less. The region where the non-magnetic metal coating layer is formed is desirably the entire region of the substrate surface. However, it is also possible to implement only a part, for example, only the region where the texturing is performed.

【0016】又、基板表面、又は非磁性金属被覆層が形
成された基板表面に同心状テキスチャリングを施しても
よい。本発明において同心状テキスチャリングとは、例
えば遊離砥粒とテキスチャーテープを使用した機械式テ
キスチャリングやレーザー光線などを利用したテキスチ
ャリング加工、又はこれらを併用することによって、円
周方向に研磨することによって基板円周方向に微小溝を
多数形成した状態を指称する。機械的テキスチャリング
を施すための遊離砥粒の種類としてはダイアモンド砥
粒、中でも表面がグラファイト化処理されているものが
最も好ましい。機械的テキスチャリングに用いられる砥
粒としては他にアルミナ砥粒が広く用いられているが、
特にテキスチャリング溝に沿って磁化容易軸を配向させ
るという面内配向媒体の観点から考えるとダイアモンド
砥粒が極めて良い性能を発揮する。この原因については
現在のところ明確にはなっていないが、極めて再現性の
良い結果が得られている。
Further, concentric texturing may be applied to the surface of the substrate or the surface of the substrate on which the nonmagnetic metal coating layer is formed. In the present invention, concentric texturing is, for example, mechanical texturing using loose abrasive grains and texture tape or texturing using a laser beam, or by using these together, by polishing in the circumferential direction. This refers to a state in which a large number of microgrooves are formed in the circumferential direction of the substrate. The most preferred type of loose abrasive grains for mechanical texturing is diamond abrasive grains, especially those whose surfaces are graphitized. Alumina abrasive grains are widely used as abrasive grains used for mechanical texturing,
Particularly, from the viewpoint of an in-plane orientation medium in which the easy axis is oriented along the texturing grooves, diamond abrasives exhibit extremely good performance. Although the cause is not clear at present, extremely reproducible results have been obtained.

【0017】基板の表面は、表面粗さ(Ra)がどのよ
うな値をとっても本発明の効果には基本的には影響ない
が、ヘッド浮上量ができるだけ小さいことが高密度磁気
記録の実現には有効であり、またこれら基板の特徴のひ
とつが優れた表面平滑性にあることから、基板表面のR
aは2nm以下、さらには1nm以下であることが好ま
しく、中でも0.5nm以下であることが好ましい。た
だし、ここでRaの決定は、触針式表面粗さ計を用いて
測定した場合を想定している。このとき測定用の針の先
端は半径0.2μm程度の大きさのものが使用される。
The surface of the substrate does not basically affect the effect of the present invention no matter what value the surface roughness (Ra) takes, but the fact that the head flying height is as small as possible is necessary for realizing high density magnetic recording. Is effective, and one of the features of these substrates is excellent surface smoothness.
a is preferably 2 nm or less, more preferably 1 nm or less, and particularly preferably 0.5 nm or less. However, the determination of Ra here is based on the case where measurement is performed using a stylus type surface roughness meter. At this time, the tip of the measuring needle has a radius of about 0.2 μm.

【0018】次に非磁性基板上には、非磁性基板側の磁
性薄膜層との間に下地層等を形成してもよい。下地層
は、結晶を微細化ならびにその結晶面の配向を制御する
ことを目的としていて、Crを主成分とするものがよく
用いられる。Crを主成分とする下地層の材料として
は、純Crの他、記録層との結晶マッチングなどの目的
でCrにV、Ti、Mo、Zr、Hf、Ta、W、G
e、Nb、Si、Cu、Bなどの第二、第三元素を添加
したものや、酸化Crなども含む。中でも純CrやT
i、Mo、W、V、Ta、Si、Nb、Zr及びHfを
有するものが好ましい。これら第二、第三元素の含有量
はそれぞれの元素によって最適な量が異なるが、一般に
は1原子%〜50原子%、好ましくは5原子%〜30原
子%、さらに好ましくは5原子%〜20原子%の範囲で
ある。下地層の膜厚はこの異方性を発現させ得るに十分
なものであればよく、0.1〜50nmであり、好まし
くは0.3〜30nm、さらに好ましくは0.5〜10
nmである。Crを主成分とする下地層の成膜時は基板
加熱を行っても行わなくてもよい。
Next, an underlayer or the like may be formed on the nonmagnetic substrate between the nonmagnetic substrate and the magnetic thin film layer. The underlayer is used for the purpose of miniaturizing the crystal and controlling the orientation of the crystal plane, and a layer mainly containing Cr is often used. As a material of the underlayer containing Cr as a main component, in addition to pure Cr, Cr, V, Ti, Mo, Zr, Hf, Ta, W, and G are used for the purpose of crystal matching with the recording layer.
e, Nb, Si, Cu, B and the like to which second and third elements are added, and Cr oxide are also included. Above all, pure Cr and T
Those having i, Mo, W, V, Ta, Si, Nb, Zr and Hf are preferable. The content of the second and third elements varies depending on the respective elements, but is generally 1 atomic% to 50 atomic%, preferably 5 atomic% to 30 atomic%, more preferably 5 atomic% to 20 atomic%. Atomic% range. The film thickness of the underlayer may be sufficient as long as it can express this anisotropy, and is 0.1 to 50 nm, preferably 0.3 to 30 nm, and more preferably 0.5 to 10 nm.
nm. The substrate may or may not be heated during the formation of the underlayer mainly composed of Cr.

【0019】下地層の上には、場合によって軟磁性層を
設けても良い。特に磁化遷移ノイズの少ないキーパーメ
ディア、或いは磁区がメディア面内に対して垂直方向に
ある垂直記録媒体には、効果が大きく、よく用いられ
る。軟磁性層は、透磁率が比較的高く、損失の少ない物
であれば何でもよく、任意であるが、代表的なものでN
iFeや、それに第3元素としてMo等を添加した物が
よく用いられる。最適な透磁率は、データの書き込みに
利用されるヘッドや、記録層の特性によっても大きく変
わるが、概して、最大透磁率が10〜1000000
(H/m)程度であることが好ましい。次に記録層が形
成されるが、記録層と軟磁性層の間には下地層と同一の
材料の層或いは、他の非磁性材料が挿入されていてもよ
い。記録層の成膜時は、基板加熱を行っても行わなくて
もよい。
A soft magnetic layer may optionally be provided on the underlayer. In particular, a keeper medium having less magnetization transition noise or a perpendicular recording medium having magnetic domains perpendicular to the plane of the medium has a large effect and is often used. The soft magnetic layer is not particularly limited as long as it has a relatively high magnetic permeability and a small loss, and is optional.
iFe or a material obtained by adding Mo or the like as a third element thereto is often used. The optimum magnetic permeability greatly varies depending on the characteristics of the head used for writing data and the characteristics of the recording layer, but generally, the maximum magnetic permeability is 10 to 10,000,000.
(H / m). Next, a recording layer is formed, and a layer of the same material as the underlayer or another nonmagnetic material may be inserted between the recording layer and the soft magnetic layer. When forming the recording layer, the substrate may or may not be heated.

【0020】記録層としては、Co合金磁性膜、TbF
eCoを代表とする希土類系磁性膜、CoとPdの積層
膜を代表とする遷移金属と貴金属系の積層膜等が用いら
れる。Co合金磁性層としては、通常、純CoやCoN
i、CoSm、CoCrTa、CoNiCr、CoCr
Ptなどの磁性材料として一般に用いられるCo合金磁
性材料を用いる。これらのCo合金に更にNi、Cr、
Pt、Ta、W、Bなどの元素やSiO2 等の化合物を
加えたものでも良い。例えばCoCrPtTa、CoC
rPtB、CoNiPt、CoNiCrPtB等が挙げ
られる。Co合金磁性層の膜厚は任意であるが、通常5
〜50nm、好ましくは10〜30nmである。また、
本記録層は、適当な非磁性の中間層を介して、或いは直
接2層以上積層してもよい。その時、積層される磁性材
料の組成は、同じであっても異なっていてもよい。
As the recording layer, a Co alloy magnetic film, TbF
A rare earth magnetic film represented by eCo, a transition metal / noble metal laminated film represented by a laminated film of Co and Pd, and the like are used. The Co alloy magnetic layer is usually made of pure Co or CoN.
i, CoSm, CoCrTa, CoNiCr, CoCr
A Co alloy magnetic material generally used as a magnetic material such as Pt is used. In addition to these Co alloys, Ni, Cr,
An element such as Pt, Ta, W, B or a compound such as SiO 2 may be added. For example, CoCrPtTa, CoC
rPtB, CoNiPt, CoNiCrPtB and the like. The thickness of the Co alloy magnetic layer is arbitrary, but usually 5
5050 nm, preferably 10-30 nm. Also,
The recording layer may be formed by laminating two or more layers via an appropriate non-magnetic intermediate layer or directly. At that time, the composition of the magnetic materials to be laminated may be the same or different.

【0021】希土類系磁性層としては、通常TbFeC
o、GdFeCo、DyFeCo、TbFeなどの磁性
材料として一般に用いられる希土類磁性材料を用いる。
これらの希土類合金にTb、Dy、Hoなどを添加し4
原系としてもよいし、酸化劣化防止の目的からTi、A
l、Ptが添加されていてもよい。希土類系磁性層の膜
厚は、任意であるが、通常5〜100nm程度である。
また、本記録層は、適当な非磁性の中間層を介して、或
いは直接2層以上積層してもよい。その時、積層される
磁性材料の組成は、同じであっても異なっていてもよ
い。特に希土類系磁性層は、アモルファス構造膜かつメ
ディア面内に対して垂直方向に磁化を持つため高記録密
度記録に適し、本発明記録がより簡単に適用できる。
The rare earth magnetic layer is usually made of TbFeC
o, rare earth magnetic materials generally used as magnetic materials such as GdFeCo, DyFeCo, and TbFe are used.
Tb, Dy, Ho, etc. are added to these rare earth alloys,
Ti or A for the purpose of preventing oxidation deterioration
1, Pt may be added. The thickness of the rare earth magnetic layer is arbitrary, but is usually about 5 to 100 nm.
The recording layer may be formed by laminating two or more layers via an appropriate non-magnetic intermediate layer or directly. At that time, the composition of the magnetic materials to be laminated may be the same or different. In particular, the rare earth magnetic layer is suitable for high recording density recording because the rare earth magnetic layer has an amorphous structure film and magnetization in a direction perpendicular to the media plane, and the recording of the present invention can be more easily applied.

【0022】遷移金属と貴金属系の積層膜としては、通
常Co/Pd、Co/Pt、Fe/Pt、Fe/Au、
Fe/Agなどの磁性材料として一般に用いられる積層
膜材料を用いる。これらの積層膜の遷移金属、貴金属
は、特に純粋なものでなくてもよく、それらを主とする
合金であってもよい。積層膜の膜厚は、任意であるが、
通常5〜1000nm程度である。また、積層の仕方に
ついても任意で、必ずしも2つの材料の積層でなくても
よい。
As a laminated film of a transition metal and a noble metal, usually, Co / Pd, Co / Pt, Fe / Pt, Fe / Au,
A laminated film material generally used as a magnetic material such as Fe / Ag is used. The transition metal and the noble metal of these laminated films need not be particularly pure, and may be an alloy mainly containing them. The thickness of the laminated film is arbitrary,
Usually, it is about 5 to 1000 nm. The method of lamination is also arbitrary, and it is not always necessary to laminate two materials.

【0023】一般的には記録層上には、任意の保護層を
形成し、次いで潤滑層を形成する。保護層としては、
C、水素化C、窒素化C、アモルファスC、SiC等の
炭素質層やSiO2 、Zr23 、TiNなど、通常用
いられる保護層材料を用いることができる。保護層の膜
厚は、磁性層とヘッドとの距離を小さくするため、50
nm以下が好ましく、特に30nm以下が好ましい。た
だし、充分な耐衝撃性を得るためには1nm以上が好ま
しい。また、保護層が2層以上の層から構成されていて
もよい。磁性層の直上の保護層をCrを主成分とする層
を設けると、磁性層への酸素透過を防ぐ効果が高く好ま
しい。
Generally, an arbitrary protective layer is formed on the recording layer, and then a lubricating layer is formed. As the protective layer,
Carbonaceous layers such as C, hydrogenated C, nitrogenated C, amorphous C, and SiC, and commonly used protective layer materials such as SiO 2 , Zr 2 O 3 , and TiN can be used. The thickness of the protective layer is set at 50 to reduce the distance between the magnetic layer and the head.
nm or less, particularly preferably 30 nm or less. However, in order to obtain sufficient impact resistance, the thickness is preferably 1 nm or more. Further, the protective layer may be composed of two or more layers. It is preferable to provide a protective layer immediately above the magnetic layer with a layer containing Cr as a main component, since the effect of preventing oxygen from permeating the magnetic layer is high.

【0024】本発明の実施において、気密ケースを不活
性ガスで満たす場合は、磁性層の酸化の程度が軽減され
るため保護層を薄くできる場合がある。潤滑層に用いる
潤滑剤としては、フッ素系潤滑剤、炭化水素系潤滑剤及
びこれらの混合物等が挙げられ、通常1〜4nmの厚さ
で潤滑層を形成する。
In the practice of the present invention, when the hermetic case is filled with an inert gas, the degree of oxidation of the magnetic layer is reduced, so that the protective layer may be thinned. Examples of the lubricant used for the lubricating layer include a fluorine-based lubricant, a hydrocarbon-based lubricant, a mixture thereof, and the like, and usually form the lubricating layer with a thickness of 1 to 4 nm.

【0025】本磁気記録媒体への磁化パターンの形成
は、該記録層に対して行い、通常は、保護層、又は保護
膜と潤滑層を形成した後に既術のいずれかの方法で行う
が、記録層の酸化の心配がない場合は、記録層の成膜直
後に行っても良い。磁気記録媒体の各層を形成する成膜
方法としては任意であるが、例えば直流(マグネトロ
ン)スパッタリング法、高周波(マグネトロン)スパッ
タリング法、ECRスパッタリング法、真空蒸着法など
の物理的蒸着法が挙げられる。又、成膜時の条件として
も特に制限はなく、到達真空度、基板加熱の方式と基板
温度、スパッタリングガス圧、バイアス電圧等は、成膜
装置により適宜決定すればよい。例えば、スパッタリン
グ成膜では、通常の場合、到達真空度は5×10-6To
rr以下、基板温度は室温〜400℃、スパッタリング
ガス圧は1×10-3〜20×10-3Torr、バイアス
電圧は一般的には0〜−500Vである。成膜に当たっ
ては、非磁性基板を加熱する場合、下地層形成前に行っ
ても良いし、熱吸収率が低い透明な基板を使用する場合
には、熱吸収率を高くするため、Crを主成分とする種
子層又はB2結晶構造を有する下地層を形成してから基
板を加熱し、しかる後に記録層等を形成しても良い。記
録層が、希土類系の磁性膜の場合には、腐食、酸化防止
の見地から、ディスクの最内周部及び最外周部を最初マ
スクして、記録層まで成膜、続く保護層の成膜の際にマ
スクを外し、記録層を保護膜で完全に覆う方法や、保護
層が2層の場合には、記録層と第一の保護層までをマス
クしたまま成膜、第2の保護層を成膜する際にマスクを
外し、やはり記録層を第二の保護膜で完全に覆うように
すると希土類系磁性層の腐食、酸化が防げて好適であ
る。
The formation of a magnetic pattern on the magnetic recording medium is performed on the recording layer, and is usually performed by any of the conventional methods after forming the protective layer or the protective film and the lubricating layer. If there is no concern about oxidation of the recording layer, the treatment may be performed immediately after the formation of the recording layer. The method for forming each layer of the magnetic recording medium is arbitrary, and examples thereof include physical vapor deposition methods such as direct current (magnetron) sputtering, high frequency (magnetron) sputtering, ECR sputtering, and vacuum deposition. There are no particular restrictions on the conditions at the time of film formation, and the ultimate vacuum degree, substrate heating method and substrate temperature, sputtering gas pressure, bias voltage, and the like may be appropriately determined by the film formation apparatus. For example, in sputtering film formation, the ultimate vacuum degree is usually 5 × 10 −6 To.
The substrate temperature is room temperature to 400 ° C., the sputtering gas pressure is 1 × 10 −3 to 20 × 10 −3 Torr, and the bias voltage is generally 0 to −500 V. In forming the film, when heating the non-magnetic substrate, it may be performed before forming the underlayer, or when using a transparent substrate having a low heat absorption rate, Cr is mainly used to increase the heat absorption rate. A substrate may be heated after forming a seed layer or a base layer having a B2 crystal structure as a component, and then a recording layer or the like may be formed. When the recording layer is a rare earth magnetic film, the innermost and outermost parts of the disk are first masked to form a recording layer, and then a protective layer is formed from the viewpoint of preventing corrosion and oxidation. In this case, the mask is removed and the recording layer is completely covered with the protective film. If the protective layer is composed of two layers, the film is formed while the recording layer and the first protective layer are masked. It is preferable to remove the mask when forming the film, and to completely cover the recording layer with the second protective film because corrosion and oxidation of the rare earth magnetic layer can be prevented.

【0026】[0026]

【実施例】以下に本発明を実施例を用いて説明するが、
その要旨を越えない限り本発明は実施例に限定されるも
のではない。図1は、本発明の情報記録装置の一実施例
であるハードディスクドライブの断面図である。図2は
本ドライブを構成する上下のケースの接合部の断面図で
あり、図3は本ドライブのスピンドルモータの構造を示
す断面図、図4は本ドライブのスピンドルモータシャフ
トの構造を示す断面図、図5は本ドライブの排気管の構
造を示す断面図である。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited to the embodiments unless the gist is exceeded. FIG. 1 is a sectional view of a hard disk drive which is an embodiment of the information recording apparatus of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of a joint between upper and lower cases constituting the present drive, FIG. 3 is a cross-sectional view showing a structure of a spindle motor of the present drive, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing a structure of a spindle motor shaft of the present drive. FIG. 5 is a sectional view showing the structure of the exhaust pipe of this drive.

【0027】まず図1を用いて説明する。ディスク1は
スピンドルモータ2に取り付けられ、毎分一万回転以上
の速度で回転した状態で情報の読み書きが行われる。デ
ィスク1に対するデータの読み書きは浮上ヘッド3によ
って行われる。ヘッド3はディスク1の下面のみに設け
られており、ヘッドアーム4を介して回転自在のピポッ
ト5に取り付けられている。ピポット5のヘッドアーム
4の反対側には巻き線した銅線を樹脂モールドしてなる
ボイスコイル6が設けられている。ボイスコイル6は、
ネオジウム・鉄・ボロン磁石からなるボイスコイルアク
チュエータマグネット7によって形成される磁界中にお
かれ、コイルに通電することによってヘッド3をディス
ク1の内周もしくは外周に移動させる推力を発生する。
ボイスコイルアクチュエータマグネット7はピン12に
より上下のケース16に固定された上下のヨークプレー
ト8の上に接着されている。上下のヨークプレート8は
互いに強く吸引し合うため、ステー9−1、9−2、9
−3によって間隔を保持される。ピポット5の回転機構
は後述するスピンドルモータ2と同様な構成であり、こ
れから回転力発生のための手段と空気流通のためのピン
ホール及びフィルタを取り除いた構成である。
First, a description will be given with reference to FIG. The disk 1 is mounted on a spindle motor 2 and reads and writes information while rotating at a speed of 10,000 revolutions per minute or more. Reading and writing of data on the disk 1 is performed by the flying head 3. The head 3 is provided only on the lower surface of the disk 1, and is attached to a rotatable pivot 5 via a head arm 4. On the opposite side of the head arm 4 of the pivot 5 is provided a voice coil 6 formed by resin-molding a wound copper wire. Voice coil 6
In a magnetic field formed by a voice coil actuator magnet 7 composed of a neodymium / iron / boron magnet, a thrust for moving the head 3 to the inner or outer periphery of the disk 1 is generated by energizing the coil.
The voice coil actuator magnet 7 is adhered to upper and lower yoke plates 8 fixed to upper and lower cases 16 by pins 12. Since the upper and lower yoke plates 8 strongly suck each other, the stays 9-1, 9-2, 9
The interval is maintained by -3. The rotating mechanism of the pivot 5 has a configuration similar to that of the spindle motor 2 described later, and has a configuration in which a means for generating a rotational force and a pinhole and a filter for air circulation are removed therefrom.

【0028】ヨークプレート8はピン12によって位置
決めされるほか、ピポット部のブッシュ外径によっても
位置決めされる。ヨークプレート8にはプレート(取付
板)11を介してヘッドのランプロード機構10が取り
付けられ、磁気ヘッド3は無通電時にはランプロード機
構10上に退避している。このための力は、ボイスコイ
ル6外部に設けられた小さなフェライト磁石19とボイ
スコイルモータ磁界の漏れ磁界によって作られる。ディ
スク1の回転に伴い、ドライブ内部に気流が発生する
と、上下のケース16−1、16−2にプレス加工によ
って設けられた整流部18により、気流の一部はボイス
コイル6側に誘導され、ボイスコイル6に生じる流体抵
抗によってヘッド3を内周側に動かす力を発生する。こ
の力と均一力発生マグネット19が発生する力は、ディ
スクの定格回転数において釣り合うように設定されてお
り、これらの力をうち消すためにボイスコイル6に余分
な電流を流す必要はない。なお、ボイスコイル部分に気
流を誘導するもう一つの効果は、流体によるボイスコイ
ルの冷却を効率的に行うことである。気流はボイスコイ
ル部分に集中して流れ、ボイスコイルの熱を奪ってこれ
をドライブ全体に輸送し、ケース全体から効率的に放熱
させる。
The yoke plate 8 is positioned not only by the pins 12 but also by the bush outer diameter of the pivot portion. A head ramp loading mechanism 10 is attached to the yoke plate 8 via a plate (mounting plate) 11, and the magnetic head 3 is retracted onto the ramp loading mechanism 10 when no power is supplied. The force for this is generated by a small ferrite magnet 19 provided outside the voice coil 6 and a leakage magnetic field of the voice coil motor magnetic field. When an airflow is generated inside the drive along with the rotation of the disk 1, a part of the airflow is guided to the voice coil 6 side by the rectifying unit 18 provided by pressing the upper and lower cases 16-1 and 16-2. The fluid resistance generated in the voice coil 6 generates a force for moving the head 3 to the inner peripheral side. This force and the force generated by the uniform force generating magnet 19 are set so as to be balanced at the rated rotation speed of the disk, and it is not necessary to supply an extra current to the voice coil 6 in order to cancel these forces. Another effect of inducing airflow in the voice coil portion is to efficiently cool the voice coil with a fluid. The air current flows intensively in the voice coil portion, takes the heat of the voice coil, transports it to the entire drive, and efficiently radiates heat from the entire case.

【0029】スピンドルモータ部分の詳細を図3に示
す。スピンドルモータ2は、永久磁石とロータヨークと
を有するスピンドルロータ30と、積層した珪素鋼板に
銅線を巻き線してなるスピンドルモータステータ31と
の電磁気的作用により回転力を発生する。ロータ30は
ベアリング28−1、28−2により回転自在にシャフ
ト22で軸支されてなり、磁性流体シール29−1、2
9−2によって、ベアリング28−1,28−2から発
生するオイルミストがドライブ内部へ混入するのを阻止
する。スピンドルモータ2の外周はシャフト22に対し
て同芯であってかつ平滑に研磨加工されており、この部
分に圧入された二つのディスク固定リング32−1,3
2−2によってディスク1が固定されている。ディスク
1の中央には、スピンドルモータ外径と50μm程度の
隙間を有するセンター孔が設けられており、これによっ
てディスク1の粗々の芯出しがなされた後に、下部側の
固定リング32−1とディスク内周部分に設けられたフ
レネルレンズ状のテーパー部hにより精密な芯出しがな
される。それぞれの固定リング32−1、32−2は内
周に接着剤を塗布した後に圧入され、更に、上側の固定
リング32−2のディスク側の面にも接着剤が塗付され
ており、これに対向するディスク表面部分の潤滑剤を有
機溶剤を含ませた不織布により拭いとったのち押し当て
ることで、ディスクをスピンドルモータ2に対して強固
に固定する。
FIG. 3 shows details of the spindle motor. The spindle motor 2 generates a rotational force by an electromagnetic action of a spindle rotor 30 having a permanent magnet and a rotor yoke, and a spindle motor stator 31 formed by winding a copper wire around a laminated silicon steel plate. The rotor 30 is rotatably supported by the shaft 22 by bearings 28-1 and 28-2.
9-2 prevents oil mist generated from the bearings 28-1 and 28-2 from entering the inside of the drive. The outer periphery of the spindle motor 2 is concentric with the shaft 22 and polished smoothly, and the two disk fixing rings 32-1 and 32-3 pressed into this portion.
The disk 1 is fixed by 2-2. In the center of the disc 1, a center hole having a gap of about 50 μm from the outer diameter of the spindle motor is provided, and after the disc 1 is roughly centered, the lower fixed ring 32-1 Precise centering is performed by a Fresnel lens-shaped tapered portion h provided on the inner peripheral portion of the disk. Each of the fixing rings 32-1 and 32-2 is press-fitted after applying an adhesive to the inner periphery, and further, the adhesive is also applied to the disk-side surface of the upper fixing ring 32-2. The disk is firmly fixed to the spindle motor 2 by wiping the lubricant on the surface of the disk facing the disk with a nonwoven fabric containing an organic solvent and then pressing the wiper.

【0030】モータ2の発熱により膨張した内部の気体
を逃がすため、ロータ30上部側面には微少な穴が設け
られており、これに対向するディスク固定リング32−
2にも同様な穴が設けられている。また、ディスク固定
リング32−2内部には凹部が設けられており、内部に
フィルタ33を設けて、この穴を通してオイルミストが
ドライブ内部へ混入するのを防止しつつ、気体のみを通
過させている。凹部を有するリングの成形が困難である
場合は、二つのパーツを射出成形した後組み合わせて用
いればよい。スピンドルモータのシャフト22は図4に
示すように中空とし、内部にモータ巻き線に電力を供給
するためのリード23−1〜3を挿入した後、樹脂を充
填して気密を保っている。
A small hole is provided in the upper side surface of the rotor 30 to allow the gas inside expanded by the heat generated by the motor 2 to escape.
2 has a similar hole. Further, a concave portion is provided inside the disk fixing ring 32-2, and a filter 33 is provided therein to prevent oil mist from entering the inside of the drive through this hole and allow only gas to pass. . When it is difficult to form a ring having a concave portion, two parts may be injection-molded and then used in combination. The shaft 22 of the spindle motor is hollow as shown in FIG. 4, and after inserting leads 23-1 to 23-3 for supplying electric power to the motor windings therein, the shaft 22 is filled with resin to maintain airtightness.

【0031】本実施例においては、ドライブ全体は気密
性のケース16に納められている。ケースの形状は、内
部の気体を入れ替えるための減圧又は陽圧に耐えられる
強度を持たせるために、平板状の隔壁を有する伝統的な
角形のケースよりも、図1に示されるような全ての隔壁
が曲面で構成される卵形の形状とすることが好ましい。
本形状とすることで充填ガスが節約される点でも好まし
い。ケース16は上部ケース16−1と下部ケース16
−2の、ほぼ同一形状の二つのケースからなり、それぞ
れのケースは、厚手のアルミニウム板のプレス成形によ
って形成され、いくつかのパーツをジグにより位置精度
を確保した状態での圧入及び溶接もしくは接着によって
取り付けた後、面精度の要求される部分に機械加工を施
し、最後に十分に洗浄して付着物を除去する。上下のケ
ースの接合部を図2に示す。それぞれのケースの接合部
はツバ部分を有し、接合面a−1、a−2は機械加工に
より平面を出すと共に、気密性を高めるための溝加工が
施される。
In this embodiment, the entire drive is housed in an airtight case 16. The shape of the case is larger than that of a traditional square case having a flat partition wall, as shown in FIG. 1, in order to have strength enough to withstand the reduced pressure or positive pressure for replacing the gas inside. It is preferable that the partition has an oval shape formed of a curved surface.
This shape is also preferable in that the filling gas can be saved. The case 16 comprises an upper case 16-1 and a lower case 16
-2, consisting of two cases of almost the same shape, each case is formed by press-molding a thick aluminum plate, and several parts are press-fitted and welded or glued in a state where positional accuracy is secured by a jig After mounting, the parts requiring surface accuracy are machined and finally washed thoroughly to remove deposits. FIG. 2 shows the joint between the upper and lower cases. The joint portion of each case has a brim portion, and the joining surfaces a-1 and a-2 are flattened by machining and subjected to groove processing for improving airtightness.

【0032】ケース内部にドライブを構成する部品を装
着した後、接合部a−1、a−2に樹脂シート20を挟
んで上下のケースを押しあて、超音波を作用させること
により、樹脂シート20を双方の接合面に融着して気密
を得、次いでツバ部にbのごとくカシメ加工を施すこと
により、機械的に強固な結合を得る。ディスク1は、あ
らかじめサーボパターンに相当する突起を有する基板上
に記録層、保護層などの膜を設けたものである。該突起
を有する基板はスタンパを用いた樹脂の射出成型によっ
て作られている。基板上には、まずアルミニウムを蒸着
した後、電気メッキにより厚さ20μm程度の厚さのニ
ッケルを主成分とする軟磁性層を形成し、これを固定砥
石を用いたポリッシュによりRa0.5nm以下の平面
粗さに研磨する。こうして得られた平滑基板を洗浄、乾
燥した後、マグネトロンスパッタによりTbFeCo磁
性層とカーボン保護層を形成する。必要に応じて、磁性
層の下層に磁気特性を制御するための層を設けてもよい
し、あるいは、磁性層の保護を強固に行なうため、カー
ボン保護層と磁性層の中間に、クロム等の保護層を追加
しても良い。こうして得られたディスクは、最後に潤滑
剤を塗布し、加熱あるいは紫外線照射により潤滑剤をデ
ィスク面に強固に付着させる。
After the components constituting the drive are mounted inside the case, the upper and lower cases are pressed against the joints a-1 and a-2 with the resin sheet 20 interposed therebetween, and ultrasonic waves are actuated. Is welded to both joining surfaces to obtain airtightness, and then the brim portion is caulked as indicated by b to obtain a mechanically strong connection. The disk 1 has a recording layer, a protective layer, and other films provided on a substrate having protrusions corresponding to servo patterns in advance. The substrate having the projections is made by injection molding of a resin using a stamper. Aluminum is first deposited on the substrate, and then a soft magnetic layer mainly composed of nickel having a thickness of about 20 μm is formed by electroplating, and this is polished with a fixed grindstone to Ra 0.5 nm or less. Polish to a flat roughness. After the thus obtained smooth substrate is washed and dried, a TbFeCo magnetic layer and a carbon protective layer are formed by magnetron sputtering. If necessary, a layer for controlling magnetic properties may be provided below the magnetic layer, or a layer of chromium or the like may be provided between the carbon protective layer and the magnetic layer in order to strongly protect the magnetic layer. A protective layer may be added. A lubricant is finally applied to the disk thus obtained, and the lubricant is firmly adhered to the disk surface by heating or ultraviolet irradiation.

【0033】サーボパターンは、樹脂基板上に局部的に
突起を設けることによって形成されている。この部分の
軟磁性層はポリッシュ等によって除去され、この部分の
記録特性は他に比べて劣化する。全面に短波長信号を書
き込むと、サーボパターンに対応する部分には不十分な
書き込みがなされ、弱信号部分が形成される。ヘッドの
位置制御はこの弱信号部分を検出することによりを行
う。なお、短波長信号の書込みは幅広ヘッドを用い、回
転に同期する高周波信号で書込むことで短時間で効率的
に行うことができる。さらに、検査ヘッドを用いてこの
信号を読みとることにより、媒体の欠陥検査も並行して
行われる。
The servo pattern is formed by providing a projection locally on the resin substrate. The soft magnetic layer in this portion is removed by polishing or the like, and the recording characteristics in this portion are degraded as compared with others. When a short-wavelength signal is written on the entire surface, insufficient writing is performed on a portion corresponding to the servo pattern, and a weak signal portion is formed. Head position control is performed by detecting this weak signal portion. The short-wavelength signal can be efficiently written in a short time by using a wide head and writing with a high-frequency signal synchronized with rotation. Further, by reading this signal using an inspection head, a defect inspection of the medium is also performed in parallel.

【0034】次に、本ドライブの組立方法について説明
する。まず、プレス加工により上部ケース16−2及び
下部ケース16−1を作成する。次に、スピンドルモー
タ取付け部とピポット取付け部のブッシュをあらかじめ
位置精度の確保されたジグに取り付けた状態でケースに
圧入し、溶接、接着もしくはカシメ加工により気密性と
機械的強度を保つ。ケースには更に、排気管取り付けの
ための穴を加工作成し、排気管を取り付ける。また、ヨ
ークプレート固定ピン及び回路基板取り付けと、ドライ
ブ自体をパーソナルコンピュータ等に取り付けるための
タップ穴を持つステー(図示しない)を溶接により取り
付ける。更に、コネクタ取り付け穴と上下ケース接合部
の溶着面の加工を行い、コネクタを超音波溶着によりケ
ースに取り付ける。スピンドルユニット、即ち、スピン
ドルモータとディスクはあらかじめ組み立て、この部分
のみで単独に試験を行う。ヘッドユニット、即ち、ピポ
ット、ヘッド及びボイスコイルモータも同様にあらかじ
め組み立て、この部分単独での特性チェックを行ってお
く。
Next, a method of assembling the present drive will be described. First, the upper case 16-2 and the lower case 16-1 are formed by press working. Next, the spindle motor mounting portion and the pivot mounting portion bushings are press-fitted into the case in a state where they are mounted on a jig for which positional accuracy is secured in advance, and airtightness and mechanical strength are maintained by welding, bonding, or caulking. Further, a hole for attaching an exhaust pipe is formed in the case, and the exhaust pipe is attached. A stay (not shown) having a tapped hole for attaching the yoke plate fixing pin and the circuit board and attaching the drive itself to a personal computer or the like is attached by welding. Further, the welding surfaces of the connector mounting hole and the upper and lower case joints are processed, and the connector is mounted on the case by ultrasonic welding. The spindle unit, that is, the spindle motor and the disk are assembled in advance, and only this part is tested independently. The head unit, that is, the pivot, the head, and the voice coil motor are similarly assembled in advance, and the characteristics of this part alone are checked.

【0035】次に、下部ケース16−1のピン12に、
磁石7、ステー9及びランプローディング機構を接着し
たヨークプレート8をピンに挿入し、圧入、接着、カシ
メ等の手段で固定する。次いで、ヘッドユニットのシャ
フトをブッシュに圧入し、フレキシブル基板のリード部
分をコネクタに挿入する。このとき、ヘッドはランプロ
ーディング機構の部分に退避させる。次に、スピンドル
ユニットをブッシュに圧入する。続いて、上下ケース接
合部に樹脂シートを置き、あらかじめヨークプレートと
磁石を取り付けた上部ケースを押しあて、上部ケースの
二つのブッシュにスピンドルとピポットシャフトを圧入
する。次いで、上下ケース接合部に超音波ホーンを押し
あて、超音波溶着を行う。また、上下から力を加えた状
態で、上下ケース接合部のカシメ加工を行い、両ケース
を強固に結合する。
Next, to the pins 12 of the lower case 16-1,
The yoke plate 8 to which the magnet 7, the stay 9, and the lamp loading mechanism are adhered is inserted into a pin, and is fixed by means such as press-fitting, bonding, and caulking. Next, the shaft of the head unit is pressed into the bush, and the lead portion of the flexible board is inserted into the connector. At this time, the head is retracted to the ramp loading mechanism. Next, the spindle unit is pressed into the bush. Subsequently, a resin sheet is placed on the joint of the upper and lower cases, and the upper case to which the yoke plate and the magnet are previously attached is pressed, and the spindle and the pivot shaft are pressed into the two bushes of the upper case. Next, an ultrasonic horn is pressed against the upper and lower case joints to perform ultrasonic welding. In addition, the upper and lower case joints are caulked while applying force from above and below, and the two cases are firmly joined.

【0036】次に、このドライブの内部を低圧のヘリウ
ムガスで充填するための操作を行う。使用するヘリウム
ガスとしては市販のものを使用することができる。例え
ば、太陽酸素製の6ナインヘリウムガス(含有酸素濃度
0.1ppm以下、含有水分量0.5ppm以下)、日
本酸素製の6ナインヘリウムガス(含有酸素濃度0.0
5ppm以下、露点−80℃以下)等が好適に用いられ
る。まず、ドライブ全体を加熱チャンバーに入れ、80
℃に保つと共に、排気管をガス充填装置に接続する。次
いで、ドライブ内を真空に引き、一定時間保つことによ
って酸素や内部に吸着された水分を排除する。次にヘリ
ウムガスを充填し、再度真空に引くことによって内部の
酸素ガス及び水分を完全に除去する。最後にヘリウムガ
スを充填する。以上の操作が完了したら、図5のごとく
排気管17を押しつぶし、排気路を閉止した後、排気管
をガス充填装置から取り外し、更に、排気管内に充填材
27を詰めて、長期にわたる気密性を保つ。充填材は柔
軟性及び耐環境性を備えた素材が好ましく、例えば、樹
脂、低融点金属、低融点ガラスなどを使うことができ
る。最後に回路基板を取り付け、製品検査を行うことに
よってハードディスクドライブが完成する。このように
して得られるドライブは、ドライブ内の気体の密度が低
く、高速回転下においても周囲の気体のレイノルズ数が
低いため、媒体の振動が抑制され、剛性に乏しい樹脂基
板に対しても高いスピンドルの回転数で操作が可能であ
る。
Next, an operation for filling the inside of the drive with low-pressure helium gas is performed. Commercially available helium gas can be used. For example, 6 Nine helium gas manufactured by Taiyo Oxygen (oxygen content: 0.1 ppm or less, moisture content: 0.5 ppm or less), 6 Nine Helium gas manufactured by Nippon Oxygen (oxygen content: 0.0
5 ppm or less, dew point -80 ° C. or less) is suitably used. First, put the whole drive into the heating chamber,
C. and the exhaust pipe is connected to a gas filling device. Next, the inside of the drive is evacuated and kept for a certain time to remove oxygen and moisture adsorbed inside. Next, helium gas is charged, and the inside is re-evacuated to completely remove the oxygen gas and moisture therein. Finally, helium gas is filled. After the above operation is completed, the exhaust pipe 17 is crushed as shown in FIG. 5 and the exhaust path is closed. Then, the exhaust pipe is removed from the gas filling device. keep. The filler is preferably a material having flexibility and environmental resistance. For example, a resin, a low-melting metal, a low-melting glass, or the like can be used. Finally, the circuit board is attached, and the product inspection is performed to complete the hard disk drive. The drive obtained in this way has a low gas density in the drive and a low Reynolds number of the surrounding gas even under high-speed rotation, so that the vibration of the medium is suppressed and the drive is high even for a resin substrate with poor rigidity. Operation is possible with the number of revolutions of the spindle.

【0037】また、封入するガスを不活性ガスとするこ
とで、媒体が酸素及び水分に曝されないため、磁気特性
に優れるTbFeCo磁性層を用いることが可能であ
る。樹脂基板は耐熱温度が低いため、磁性層の製膜を低
温で行う必要があり、従来一般的に用いられるCoCr
磁性層で高い抗磁力を得ることは困難であったが、Tb
FeCo磁性層は低温製膜でも高い磁気特性を得ること
ができるという特徴を兼ね備えており、今日実用化され
ているTbFeCo磁性層を持つ媒体である光磁気ディ
スクは一般に樹脂材料であるポリカーボネート基板を用
いて製造されている。また、樹脂基板は安価に高精度の
表面が得られるという利点があり、スタンパを用いて容
易にサーボパターンが形成される他、芯出しのためのフ
レネルレンズ型のテーパー部も同時に形成できるという
利点がある。本発明を実施するにあたっては、ドライブ
を気密ケースに収める必要がある。しかしながら、ハー
ドディスクドライブは元来ダストの流入を避けるために
密閉ケースに収められているため、本発明においては、
減圧或いは陽圧に耐えられるようケースの強度を上げる
のみでよい。更に、ハードディスクドライブのケース
は、機械的精度を確保するために、現在でもアルミダイ
キャストで作られており、強度の増加はそれほど大きな
コストアップにはつながらない。また、容器を密閉する
技術は、電球、真空管、缶詰、フレオン冷凍機、ガスボ
ンベなど、今日広く一般に利用されている技術であり、
既存の技術で容易かつ安価に実施することが可能であ
る。
Further, by using an inert gas as the gas to be filled, the medium is not exposed to oxygen and moisture, so that a TbFeCo magnetic layer having excellent magnetic properties can be used. Since the resin substrate has a low heat-resistant temperature, it is necessary to form the magnetic layer at a low temperature.
Although it was difficult to obtain a high coercive force with the magnetic layer, Tb
The FeCo magnetic layer also has a feature that high magnetic properties can be obtained even at a low temperature film formation, and a magneto-optical disk which is a medium having a TbFeCo magnetic layer put into practical use today generally uses a polycarbonate substrate which is a resin material. Manufactured. In addition, the resin substrate has an advantage that a high-precision surface can be obtained at a low cost, a servo pattern can be easily formed using a stamper, and a Fresnel lens type taper portion for centering can be formed at the same time. There is. In practicing the present invention, it is necessary to house the drive in an airtight case. However, since the hard disk drive is originally housed in a sealed case to avoid the inflow of dust, in the present invention,
It is only necessary to increase the strength of the case to withstand reduced pressure or positive pressure. Furthermore, the case of the hard disk drive is still made of aluminum die-casting to ensure mechanical accuracy, and an increase in strength does not lead to a significant increase in cost. In addition, the technology for sealing the container is a technology widely used today, such as a light bulb, a vacuum tube, a can, a Freon refrigerator, a gas cylinder, and the like.
It can be implemented easily and inexpensively with existing technology.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明によれば、このような特殊な記録
媒体や小さいヘッドを用いることなく、高速回転型の情
報記録装置における風損、振動、騒音などの問題を解決
し、高密度かつ高転送速度の情報記録装置を安価に提供
することができる。
According to the present invention, it is possible to solve the problems of windage, vibration, noise, etc. in a high-speed rotation type information recording apparatus without using such a special recording medium or a small head. An information recording device with a high transfer speed can be provided at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の情報記録装置の一実施例を示す断面
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an information recording apparatus according to the present invention.

【図2】 本発明の情報記録装置の一実施例のケース接
合部の断面図
FIG. 2 is a cross-sectional view of a case joining portion of an embodiment of the information recording apparatus of the present invention.

【図3】 本発明の情報記録装置の一実施例のスピンド
ルモータの構造を示す断面図
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of a spindle motor according to an embodiment of the information recording apparatus of the present invention.

【図4】 本発明の情報記録装置の一実施例のスピンド
ルモータシャフトの構造を示す断面図
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure of a spindle motor shaft according to an embodiment of the information recording apparatus of the present invention.

【図5】 本発明の情報記録装置の一実施例の排気管の
構造を示す断面図
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a structure of an exhaust pipe of an embodiment of the information recording apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスク 2 スピンドルモータ 3 ヘッド 4 ヘッドアーム 5 ピポット 6 ボイスコイル 7 ボイスコイルアクチュエータ 8 ヨークプレート 9 ステー 10 ランプロード機構 11 取付板 12 ピン 13 フレキシブル基板 14 貫通コネクタ 15 ヘッドアンプ 16 ケース 17 排気口 18 整流部 19 均一力発生マグネット 20 樹脂シート 21 ブッシュ 22 スピンドルモーターシャフト 23 モータリード 24 プラグ 25 リードピン 26 コネクタ片 27 充填材 28 ベアリング 29 磁性流体シール 30 スピンドルロータ 31 スピンドルモータステータ 32 ディスク固定リング 33 フィルタ Reference Signs List 1 disc 2 spindle motor 3 head 4 head arm 5 pivot 6 voice coil 7 voice coil actuator 8 yoke plate 9 stay 10 ramp load mechanism 11 mounting plate 12 pin 13 flexible board 14 penetrating connector 15 head amplifier 16 case 17 exhaust port 18 rectifying section 19 Uniform Force Generating Magnet 20 Resin Sheet 21 Bush 22 Spindle Motor Shaft 23 Motor Lead 24 Plug 25 Lead Pin 26 Connector Piece 27 Filler 28 Bearing 29 Magnetic Fluid Seal 30 Spindle Rotor 31 Spindle Motor Stator 32 Disk Fixing Ring 33 Filter

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録媒体と、記録媒体を記録方向に駆動
する駆動部と、記録部及び/又は再生部を備えたヘッド
と、ヘッドを記録媒体に対して相対移動させる手段と、
ヘッドへの記録信号入力とヘッドからの再生信号出力を
行うための記録再生信号処理手段を有してなる情報記録
装置であって、 少なくとも記録媒体と駆動部とヘッドと相対移動手段と
が気密ケースに収められてなり、該ケース内部の気体の
密度を大気に比べて低く保持することを特徴とする情報
記録装置。
1. A recording medium, a driving unit for driving the recording medium in a recording direction, a head having a recording unit and / or a reproducing unit, and a unit for relatively moving the head with respect to the recording medium;
What is claimed is: 1. An information recording apparatus comprising: a recording / reproducing signal processing unit for inputting a recording signal to a head and outputting a reproduction signal from the head, wherein at least a recording medium, a driving unit, a head, and a relative moving unit are hermetically sealed. An information recording apparatus, wherein the density of the gas inside the case is kept lower than that of the atmosphere.
【請求項2】 記録媒体を回転させて、ヘッドにより記
録及び/又は再生を行う情報記録装置であって、回転数
が1万rpm以上である請求項1に記載の情報記録装
置。
2. The information recording apparatus according to claim 1, wherein the recording medium is rotated to perform recording and / or reproduction by a head, and the number of rotations is 10,000 rpm or more.
【請求項3】 ケース内部の圧力を大気圧より低く保持
することを特徴とする請求項1又は2に記載の情報記録
装置。
3. The information recording apparatus according to claim 1, wherein the pressure inside the case is kept lower than the atmospheric pressure.
【請求項4】 ケース内部の圧力が室温で0.1気圧以
上0.9気圧以下であることを特徴とする請求項3に記
載の情報記録装置。
4. The information recording apparatus according to claim 3, wherein the pressure inside the case is 0.1 to 0.9 atm at room temperature.
【請求項5】 ケース内部に大気に比べて分子量の小さ
いガスが満たされていることを特徴とする請求項1乃至
4に記載の情報記録装置。
5. The information recording apparatus according to claim 1, wherein the case is filled with a gas having a smaller molecular weight than the atmosphere.
【請求項6】 ケース内部にヘリウムガスが満たされて
いることを特徴とする請求項5に記載の情報記録装置。
6. The information recording apparatus according to claim 5, wherein the case is filled with helium gas.
JP2000122198A 2000-04-24 2000-04-24 Information recording device Pending JP2001307458A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000122198A JP2001307458A (en) 2000-04-24 2000-04-24 Information recording device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000122198A JP2001307458A (en) 2000-04-24 2000-04-24 Information recording device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001307458A true JP2001307458A (en) 2001-11-02

Family

ID=18632705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000122198A Pending JP2001307458A (en) 2000-04-24 2000-04-24 Information recording device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001307458A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7218473B2 (en) * 2002-03-22 2007-05-15 Seagate Technology Llc Two-stage sealing of a data storage assembly housing to retain a low density atmosphere
US7876528B2 (en) 2007-01-12 2011-01-25 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands, B.V. Disk drive device and manufacturing method thereof
US9293169B2 (en) 2004-05-04 2016-03-22 Seagate Technology Llc Seal-type label to contain pressurized gas environment

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7218473B2 (en) * 2002-03-22 2007-05-15 Seagate Technology Llc Two-stage sealing of a data storage assembly housing to retain a low density atmosphere
US7362541B2 (en) 2002-03-22 2008-04-22 Seagate Technology Llc Two-stage sealing of a data storage assembly housing to retain a low density atmosphere
US9293169B2 (en) 2004-05-04 2016-03-22 Seagate Technology Llc Seal-type label to contain pressurized gas environment
US7876528B2 (en) 2007-01-12 2011-01-25 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands, B.V. Disk drive device and manufacturing method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6677105B2 (en) Self-lubricating layer for data storage devices
US7064933B2 (en) Structures for pole-tip actuation
US6268073B1 (en) Flash layer overcoat for magnetically-induced super resolution magneto-optical media
JP2001307458A (en) Information recording device
JP2001076330A (en) Magnetic recording medium and its production
US7402348B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium
JP2001307459A (en) Information recording device
US6324131B1 (en) Low glide magneto-optical recording medium
US6430114B1 (en) Self-lubricating layer for a data storage disk
JP2006059474A (en) Magnetic recording method, magnetic recording medium, and magnetic recording device
US20030232219A1 (en) Magnetic disk, magnetic disk manufacturing method and magnetic disk apparatus
JPH0473212B2 (en)
JP2001351229A (en) Method for manufacturing magnetic disk, the magnetic disk and magnetic recording device
JP4313508B2 (en) Magnetic recording method and magnetic recording apparatus
JP2001060313A (en) Magnetic recording medium
JP2000285544A (en) Magnetooptic recording and reproducing device
JP2004022031A (en) Magnetic disk and magnetic disk device
US9117476B1 (en) Magnetic media on a plastic substrate
JP2000348334A (en) Magnetic recording medium and magnetic disk device
JPH08147683A (en) Magnetic disk
JP2005346880A (en) Magnetic recording and reproducing apparatus
JP2000222717A (en) Magnetic recording medium, method and device for manufacturing same, and magnetic recording device
JP2004355729A (en) Magnetic recording medium and magnetic recorder device
JPH09231525A (en) Magnetic laminate and magnetic sensor and magnetic recording reproducing device using the same
JPH07262550A (en) Recording medium and recording and reproducing device using same