JP2001302736A - Polymer insulation material and its manufacturing method, and electronics-related substrate and electronic member - Google Patents

Polymer insulation material and its manufacturing method, and electronics-related substrate and electronic member

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JP2001302736A
JP2001302736A JP2001038515A JP2001038515A JP2001302736A JP 2001302736 A JP2001302736 A JP 2001302736A JP 2001038515 A JP2001038515 A JP 2001038515A JP 2001038515 A JP2001038515 A JP 2001038515A JP 2001302736 A JP2001302736 A JP 2001302736A
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polymer
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Toshiaki Takaoka
利明 高岡
Masami Okuo
雅巳 奥尾
Mieko Tamura
美枝子 田村
Yukihiro Kato
行浩 加藤
Shiro Mio
史朗 実生
Naoyuki Amaya
直之 天谷
Hiroaki Hasegawa
浩昭 長谷川
Toshiaki Yamada
俊昭 山田
Shigeru Asami
茂 浅見
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a polymer insulation material excellent in electric characteristics such as a dielectric constant, a dissipation factor, insulation properties, and the like, solvent resistance, heat resistance and thermal shock resistance, to provide a method for manufacturing the polymer insulation material, an electronics-related substrate and an electronic member. SOLUTION: The polymer insulation material is obtained by thermal cure of a monomer composition comprising a fumaric acid diester, a crosslinkable monomer bearing at least two carbon-carbon double bonds in one molecule and a thermally decomposable polymerization initiator. Preferably, the fumaric acid diester is the main component of the monomer composition. Desirably, the content of the thermally decomposable polymerization initiator is 0.1-10 wt.% based on the monomer composition. The electronics-related substrate such as a print wiring board, or the like, and an electronic member such as a build up material, an undercoat material, or the like, are obtained by forming a substituent material containing the polymer insulation material into a desired shape and subsequently heating it to cure.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、架橋型のフマル酸
ジエステル系重合体よりなる高分子絶縁材料及びその製
造方法並びに電子関連基板及び電子部材に関するもので
ある。さらに詳しくは、誘電特性や耐熱性に優れた高分
子絶縁材料及びその製造方法並びにその高分子絶縁材料
から形成されるプリント配線基板等の電子関連基板及び
積層体、接着剤、アンダーフィル材、異方導電膜、ソル
ダーレジスト、半導体用層間絶縁膜、モールド材等の電
子部材及びビルドアップ基板等のビルドアップ材に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polymer insulating material comprising a crosslinked fumaric acid diester polymer, a method for producing the same, and an electronic substrate and an electronic member. More specifically, a polymer insulating material having excellent dielectric properties and heat resistance, a method for producing the same, and electronic-related substrates and laminates such as a printed wiring board formed from the polymer insulating material, an adhesive, an underfill material, The present invention relates to an electronic member such as a conductive film, a solder resist, an interlayer insulating film for a semiconductor, a mold material, and a build-up material such as a build-up substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近の携帯情報通信機器の急増をきっか
けに、情報通信量の増大に伴う情報処理機器の高性能化
への要求が高まっている。すなわち、小型の携帯機器を
用いて大量のデジタル又はアナログ情報を短時間に処理
するために、情報処理機器を構成する各電子部品の高周
波数化への対応が進められている。しかしながら、従来
の絶縁材料では電気信号の伝送速度と伝送損失に限界が
あり、その結果機器の寸法とその情報処理能力に限界が
あった。
2. Description of the Related Art Recently, with the rapid increase of portable information communication devices, there has been an increasing demand for higher performance of information processing devices accompanying an increase in the amount of information communication. That is, in order to process a large amount of digital or analog information in a short time by using a small portable device, a response to a higher frequency of each electronic component constituting the information processing device is being promoted. However, the conventional insulating materials have limitations on the transmission speed and transmission loss of electric signals, and as a result, the dimensions of devices and their information processing capabilities have been limited.

【0003】そこで、伝送速度を高めるために低誘電率
材料が提案され、伝送損失を低下させるために低誘電損
失の材料が提案されている。本発明者らはこれらの要求
を満たすために、特開平9−208627号公報におい
て、特定構造のフマル酸ジエステル重合体からなる低誘
電性高分子材料を提案した。この低誘電性高分子材料
は、導体及びガラス織布との密着性ないし接着性が良好
で、かつ薄膜形成能を兼ね備え、しかも高周波領域にお
いて電気特性に優れ(誘電率及び誘電正接が低く)、さ
らには加工性に優れたものである。
[0003] Therefore, a material having a low dielectric constant has been proposed to increase the transmission speed, and a material having a low dielectric loss has been proposed to reduce the transmission loss. In order to satisfy these requirements, the present inventors have proposed a low dielectric polymer material comprising a fumaric acid diester polymer having a specific structure in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-208627. This low dielectric polymer material has good adhesion or adhesion to a conductor and a glass woven cloth, has a thin film forming ability, and has excellent electric characteristics in a high frequency range (low dielectric constant and dielectric loss tangent). Furthermore, it is excellent in workability.

【0004】また、高密度実装化の要求に伴い、配線基
板と有機絶縁樹脂層を交互に積層することにより多層プ
リント基板を形成するビルドアップ工法が広く採用され
ている。このビルドアップ工法においては、有機絶縁樹
脂層上に無電解めっきを密着性よく形成することが重要
になる。しかし、有機絶縁樹脂層上に無電解めっきを密
着性よく行うことは大変困難である。さらに、有機絶縁
樹脂自体が従来の比較的粗面化の容易なエポキシ樹脂か
らより高耐熱性で溶剤耐性の高い粗面化の困難な樹脂へ
と移行しつつあり、通常の過マンガン酸溶液処理等によ
る粗面化が困難になってきている。
With the demand for high-density mounting, a build-up method of forming a multilayer printed board by alternately laminating a wiring board and an organic insulating resin layer has been widely adopted. In this build-up method, it is important to form electroless plating with good adhesion on the organic insulating resin layer. However, it is very difficult to perform electroless plating with good adhesion on the organic insulating resin layer. Furthermore, the organic insulating resin itself is shifting from the conventional relatively easy-to-roughen epoxy resin to a more heat-resistant, solvent-resistant, and difficult-to-roughen resin. It is becoming difficult to roughen the surface.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平9−
208627号公報に開示された電気特性の良い低誘電
性高分子材料は、架橋構造を有していないために、ワニ
スとしての加工性に優れるものの耐熱性に問題がある。
例えば、電気絶縁用材料として用いた場合、各種有機溶
剤やコーティング材に接触した部分が膨潤するおそれが
あるという問題があった。
SUMMARY OF THE INVENTION However, Japanese Patent Application Laid-Open No.
The low-dielectric polymer material having good electric properties disclosed in Japanese Patent No. 208627 does not have a cross-linked structure, and thus has excellent workability as a varnish, but has a problem in heat resistance.
For example, when used as a material for electrical insulation, there has been a problem that portions that come into contact with various organic solvents and coating materials may swell.

【0006】さらに、前記低誘電性高分子材料は、加工
する際に一旦有機溶剤に溶解した後にこれを所望の形状
に成形して使用するが、このときに有機溶剤が必要とな
るため以下のような問題を生じることがあった。例え
ば、プリント配線基板等の積層体や基板用の接着剤とし
て用いた場合、積層時や接着時に用いた有機溶剤が残存
しやすいため、半田リフロー時に積層体や基板が膨れる
という問題や、耐溶剤性が低いという問題があった。
Further, the low dielectric polymer material is dissolved in an organic solvent at the time of processing, and then molded into a desired shape and used. However, at this time, the following organic solvent is required. Such a problem may occur. For example, when used as an adhesive for a laminate or a substrate such as a printed wiring board, the organic solvent used at the time of lamination or bonding is apt to remain, so that the laminate or the substrate swells at the time of solder reflow, or the solvent resistance. There was a problem that the property is low.

【0007】また、電子部品と基板との間に用いられる
アンダーフィル材、異方性導電膜又は半導体用層間絶縁
膜として用いた場合、半田リフロー時に線膨張係数が大
きく変化して絶縁不良や導通不良が生じるという問題が
あった。さらに、厚い物を形成するためには塗布と乾燥
の回数を増やさなければならず、その結果内部応力が残
存しやすいため強度や耐熱衝撃性が低下し、しかも塗布
回数が増えることによる表面平滑性や均一性に限界があ
った。
Further, when used as an underfill material, an anisotropic conductive film, or an interlayer insulating film for semiconductors used between an electronic component and a substrate, the coefficient of linear expansion changes significantly during solder reflow, resulting in poor insulation and poor conduction. There was a problem that defects occurred. Furthermore, in order to form a thick object, the number of times of application and drying must be increased. As a result, the internal stress tends to remain, resulting in a decrease in strength and thermal shock resistance. And uniformity were limited.

【0008】加えて、架橋性単量体を含まないフマル酸
ジエステルからなる単量体組成物を重合開始剤により重
合しても単量体が残存する可能性が高い。例えば、半導
体用封止材料として用いた場合、単量体が残存する可能
性が高く、これが電子素子や回路基板の絶縁性等の特性
に影響する原因の一つとして考えられている。
In addition, even if a monomer composition comprising a fumaric acid diester containing no crosslinking monomer is polymerized with a polymerization initiator, there is a high possibility that the monomer remains. For example, when used as an encapsulating material for semiconductors, there is a high possibility that monomers will remain, and this is considered as one of the factors that affect the properties such as insulating properties of electronic elements and circuit boards.

【0009】さらにまた、回路基板のソルダーレジスト
材として用いた場合にも同様に単量体が残存する可能性
が高く、これが電子素子や回路基板の絶縁性等の特性に
影響する原因の一つとして考えられている。
Further, when used as a solder resist material for a circuit board, there is a high possibility that the monomer remains in the same manner, and this is one of the factors that affect the properties such as the insulating properties of electronic elements and circuit boards. Is considered as.

【0010】本発明は以上のような従来技術に存在する
問題点に鑑みてなされたものである。その目的とすると
ころは、誘電率、誘電正接、絶縁性等の電気特性、耐溶
剤性、耐熱性及び耐熱衝撃性に優れた高分子絶縁材料及
びその製造方法並びに電子関連基板及び電子部材を提供
することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems existing in the prior art. The object is to provide a polymer insulating material excellent in electric properties such as dielectric constant, dielectric loss tangent, and insulating property, solvent resistance, heat resistance and thermal shock resistance, a method of manufacturing the same, and an electronic-related substrate and an electronic member. Is to do.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このような目的は下記に
示す本発明により達成される。すなわち、第1の発明の
高分子絶縁材料は、フマル酸ジエステル、炭素間二重結
合を一分子内に二個以上有する単量体及び熱分解型重合
開始剤を含有する単量体組成物を加熱硬化して得られる
ものである。
This and other objects are achieved by the present invention described below. That is, the polymer insulating material of the first invention is a monomer composition containing a fumaric acid diester, a monomer having two or more carbon-carbon double bonds in one molecule, and a thermal decomposition type polymerization initiator. It is obtained by heat curing.

【0012】第2の発明の高分子絶縁材料は、第1の発
明において、前記フマル酸ジエステルは単量体組成物中
の主成分であるものである。第3の発明の高分子絶縁材
料は、第1又は第2の発明において、前記単量体組成物
に対する熱分解型重合開始剤の含有量が0.1〜10重
量%であるものである。
A polymer insulating material according to a second aspect of the present invention is the polymer insulating material according to the first aspect, wherein the fumaric acid diester is a main component in the monomer composition. A polymer insulating material according to a third aspect is the polymer insulating material according to the first or second aspect, wherein the content of the thermal decomposition type polymerization initiator with respect to the monomer composition is 0.1 to 10% by weight.

【0013】第4の発明の高分子絶縁材料の製造方法
は、フマル酸ジエステル、炭素間二重結合を一分子内に
二個以上有する単量体及び熱分解型重合開始剤を混合し
て単量体組成物を調製し、これを所望の形状に成形した
後加熱硬化させることを特徴とするものである。
A method for producing a polymer insulating material according to a fourth aspect of the present invention is a method for producing a polymer insulating material, comprising mixing a fumaric acid diester, a monomer having two or more carbon-carbon double bonds in one molecule, and a pyrolytic polymerization initiator. It is characterized in that a monomer composition is prepared, molded into a desired shape, and then cured by heating.

【0014】第5の発明の電子関連基板は、第1から第
3のいずれかの発明の高分子絶縁材料を含む構成材料よ
り形成されるものである。第6の発明の電子部材は、第
1から第3のいずれかの発明の高分子絶縁材料を含む構
成材料より形成されるものである。
An electronic-related substrate according to a fifth aspect of the present invention is formed of a constituent material including the polymer insulating material according to any one of the first to third aspects. An electronic member according to a sixth aspect is formed of a constituent material including the polymer insulating material according to any one of the first to third aspects.

【0015】第7の発明のビルドアップ材は、第1から
第3のいずれかの発明の高分子絶縁材料及びフィラーを
含む構成材料より形成されるものである。
A build-up material according to a seventh aspect of the present invention is formed from the constituent material containing the polymer insulating material and the filler according to any one of the first to third aspects.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。本発明の高分子絶縁材料は、フマル
酸ジエステル、炭素二重結合を一分子内に二個以上有す
る単量体(以下、架橋性単量体と略記する)及び熱分解
型重合開始剤(以下、開始剤と略記する)を必須成分と
して含有する単量体組成物(以下、単量体組成物と略記
する)を加熱することにより硬化して得られるものであ
る。
Embodiments of the present invention will be described below in detail. The polymer insulating material of the present invention includes a fumaric acid diester, a monomer having two or more carbon double bonds in one molecule (hereinafter, abbreviated as a crosslinkable monomer), and a thermal decomposition type polymerization initiator (hereinafter, referred to as a crosslinkable monomer). , An initiator) is obtained by heating and curing a monomer composition containing as an essential component (hereinafter, abbreviated as a monomer composition).

【0017】単量体組成物中におけるフマル酸ジエステ
ルの含有量は、通常20〜95重量%の範囲であり、さ
らには主成分であることが好ましく、特に50〜90重
量%の範囲が好ましい。フマル酸ジエステルの含有量が
20重量%未満になると、高分子絶縁材料の誘電率及び
誘電正接の上昇並びに耐熱性の低下が生じ、95重量%
より多くなると高分子絶縁材料の耐溶剤性が低下する。
The content of the fumaric acid diester in the monomer composition is usually in the range of 20 to 95% by weight, preferably the main component, more preferably 50 to 90% by weight. When the content of the fumaric acid diester is less than 20% by weight, the dielectric constant and the dielectric loss tangent of the polymer insulating material increase, and the heat resistance decreases.
If the amount is larger, the solvent resistance of the polymer insulating material decreases.

【0018】フマル酸ジエステルはその分子内に二つの
エステル基を有しており、下記一般式(1)によって表
される。
The fumaric acid diester has two ester groups in the molecule and is represented by the following general formula (1).

【0019】[0019]

【化1】 一般式(1)におけるR1及びR2はエステル残基であ
り、低誘電性、耐熱性等の要求される性質に応じて種々
選択することが可能である。具体的には、R1はアルキ
ル基又はシクロアルキル基であり、R2はアルキル基、
シクロアルキル基又はアリール基であることが好まし
い。なお、R1、R2は同一であっても異なるエステル基
であってもよい。
Embedded image R 1 and R 2 in the general formula (1) are ester residues, and can be variously selected according to required properties such as low dielectric property and heat resistance. Specifically, R 1 is an alkyl group or a cycloalkyl group, R 2 is an alkyl group,
It is preferably a cycloalkyl group or an aryl group. R 1 and R 2 may be the same or different ester groups.

【0020】R1又はR2におけるアルキル基としては、
総炭素数2〜12のものが好ましく、直鎖状であっても
分岐を有するものであってもよく、さらには置換基を有
していてもよい。置換基を有する場合の置換基として
は、ハロゲン原子(F、Cl)、アルコキシ基(メトキ
シ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等)、ア
リール基(フェニル基等)などが挙げられる。
As the alkyl group for R 1 or R 2 ,
Those having a total carbon number of 2 to 12 are preferable, and may be linear or branched, and may further have a substituent. Examples of the substituent having a substituent include a halogen atom (F, Cl), an alkoxy group (such as a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, and a butoxy group), and an aryl group (such as a phenyl group).

【0021】アルキル基の具体例としては、エチル基、
n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec
−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基(n−ア
ミル基)、sec−アミル基、イソペンチル基、ネオペ
ンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、4
−メチル−2−ペンチル基、ヘプチル基、オクチル基、
ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基トリフ
ルオロエチル基、ヘキサフルオロイソプロピル基、パー
フルオロイソプピル基、パーフルオロブチルエチル基、
パーフルオロオクチルエチル基、2−クロロエチル基、
1−ブトキシ−2−プロピル基、メトキシエチル基、ベ
ンジル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkyl group include an ethyl group,
n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec
-Butyl group, tert-butyl group, pentyl group (n-amyl group), sec-amyl group, isopentyl group, neopentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, 4
-Methyl-2-pentyl group, heptyl group, octyl group,
Nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group trifluoroethyl group, hexafluoroisopropyl group, perfluoroisopropyl group, perfluorobutylethyl group,
Perfluorooctylethyl group, 2-chloroethyl group,
Examples thereof include a 1-butoxy-2-propyl group, a methoxyethyl group, and a benzyl group.

【0022】R1又はR2におけるシクロアルキル基とし
ては、総炭素数3〜14のものが好ましく、単環であっ
ても橋かけ環を有するものであってもよい。シクロアル
キル基の具体例としては、シクロペンチル基、シクロヘ
キシル基、アダマンチル基、ジメチルアダマンチル基な
どが挙げられる。
The cycloalkyl group as R 1 or R 2 is preferably a cycloalkyl group having 3 to 14 carbon atoms, and may be a single ring or a group having a bridged ring. Specific examples of the cycloalkyl group include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, an adamantyl group, and a dimethyladamantyl group.

【0023】R2におけるアリール基としては、総炭素
数6〜18のものが好ましく、重合性の点で単環が好ま
しいが多環(縮合環ないし環集合)であってもよく、置
換基を有していてもよい。この場合の置換基は、アルキ
ル基、シクロアルキル基のところで例示したものと同様
のものが挙げられる。アリール基の具体例としては、フ
ェニル基等が挙げられる。
The aryl group represented by R 2 is preferably an aryl group having 6 to 18 carbon atoms in total, and is preferably a single ring from the viewpoint of polymerizability, but may be a polycyclic (condensed ring or ring assembly). You may have. In this case, the substituents are the same as those exemplified for the alkyl group and the cycloalkyl group. Specific examples of the aryl group include a phenyl group.

【0024】フマル酸ジエステルの好適例として、具体
的にはジエチルフマレート、ジ−n−プロピルフマレー
ト、ジ−n−ヘキシルフマレート、イソプロピル−n−
ヘキシルフマレート、ジイソプロピルフマレート、ジ−
n−ブチルフマレート、ジ−sec−ブチルフマレー
ト、ジ−tert−ブチルフマレート、ジ−sec−ア
ミルフマレート、n−ブチル−イソプロピルフマレー
ト、イソプロピル−sec−ブチルフマレート、ter
t−ブチル−4−メチル−2−ペンチルフマレート、イ
ソプロピル−tert−ブチルフマレート、イソプロピ
ル−sec−アミルフマレート、ジ−4−メチルー2ー
ペンチルフマレート、ジ−イソアミルフマレート、ジ−
4−メチル−2−ヘキシルフマレート、tert−ブチ
ル−イソアミルフマレート等のジアルキルフマレート
類;ジシクロペンチルフマレート、ジシクロヘキシルフ
マレート、ジシクロヘブチルフマレート、シクロペンチ
ルーシクロヘキシルフマレート、ビス(ジメチルアダマ
ンチル)フマレート、ビス(アダマンチル)フマレート
等のジシクロアルキルフマレート類;イソプロピル−シ
クロヘキシルフマレート、イソプロピル−ジメチルアダ
マンチルフマレート、イソプロピル−アダマンチルフマ
レート、tert−ブチル−シクロヘキシルフマレート
等のアルキル、シクロアルキルフマレート類;イソプロ
ピル−フェニルフマレート等のアルキルアリールフマレ
ート類;tert−ブチルベンジルフマレート、イソプ
ロピル−ベンジルフマレート等のアルキルアラルキルフ
マレート類;ジトリフルオロエチルフマレート、ジヘキ
サフルオロイソプロピルフマレート、ビスパーフルオロ
イソプロピルフマレート、ビスパーフルオロブチルエチ
ルフマレート等のビス−フルオロアルキルフマレート
類;イソプロピル−パーフルオロオクチルエチルフマレ
ート、イソプロピル−ヘキサフルオロイソプロピルフマ
レート等のアルキルフルオロアルキルフマレート類;1
−ブトキシ−2−プロピル−tert−ブチルフマレー
ト、メトキシエチルイソプロピルフマレート、2−クロ
ロエチル−イソプロピルフマレート等のその他の置換ア
ルキルアルキルフマレート類などが挙げられる。
Preferred examples of the fumaric acid diester include diethyl fumarate, di-n-propyl fumarate, di-n-hexyl fumarate and isopropyl-n-fumarate.
Hexyl fumarate, diisopropyl fumarate, di-
n-butyl fumarate, di-sec-butyl fumarate, di-tert-butyl fumarate, di-sec-amyl fumarate, n-butyl-isopropyl fumarate, isopropyl-sec-butyl fumarate, ter
t-butyl-4-methyl-2-pentyl fumarate, isopropyl-tert-butyl fumarate, isopropyl-sec-amyl fumarate, di-4-methyl-2-pentyl fumarate, di-isoamyl fumarate, di-
Dialkyl fumarate such as 4-methyl-2-hexyl fumarate, tert-butyl-isoamyl fumarate; dicyclopentyl fumarate, dicyclohexyl fumarate, dicyclohebutyl fumarate, cyclopentyl-cyclohexyl fumarate, bis (dimethyladamantyl) ) Dicycloalkyl fumarate such as fumarate and bis (adamantyl) fumarate; alkyl such as isopropyl-cyclohexyl fumarate, isopropyl-dimethyl adamantyl fumarate, isopropyl-adamantyl fumarate, tert-butyl-cyclohexyl fumarate Alkylaryl fumarate such as isopropyl-phenyl fumarate; tert-butylbenzyl fumarate, isopropyl-benzyl fumarate Alkyl aralkyl fumarate such as difluoroethyl fumarate, dihexafluoroisopropyl fumarate, bisperfluoroisopropyl fumarate, bisperfluorobutyl ethyl fumarate, etc .; isopropyl-perfluoro Alkylfluoroalkyl fumarate such as octylethyl fumarate and isopropyl-hexafluoroisopropyl fumarate; 1
And other substituted alkylalkyl fumarate such as -butoxy-2-propyl-tert-butyl fumarate, methoxyethyl isopropyl fumarate and 2-chloroethyl-isopropyl fumarate.

【0025】これらの中では重合性の点からジイソプロ
ピルフマレート、ジシクロヘキシルフマレート、ジ−s
ec−ブチルフマレート、ジ−tert−ブチルフマレ
ート、イソプロピル−シクロヘキシルフマレート、te
rt−アミル−イソプロピルフマレート、n−ヘキシル
−イソプロピルフマレートなどが特に好ましい。
Among them, diisopropyl fumarate, dicyclohexyl fumarate, di-s
ec-butyl fumarate, di-tert-butyl fumarate, isopropyl-cyclohexyl fumarate, te
Particularly preferred are rt-amyl-isopropyl fumarate, n-hexyl-isopropyl fumarate and the like.

【0026】本発明の高分子絶縁材料を得るに際し、上
記のフマル酸ジエステルは1種のみを用いてもよく、2
種以上を併用してもよい。また、これらのフマル酸ジエ
ステル類は、通常のエステル化技術及び異性化技術を組
み合わせることにより合成することができる。
In obtaining the polymer insulating material of the present invention, only one type of the above fumaric acid diester may be used.
More than one species may be used in combination. Further, these fumaric acid diesters can be synthesized by combining ordinary esterification techniques and isomerization techniques.

【0027】次に、架橋性単量体は、フマル酸ジエステ
ルと共重合させることによって、高分子絶縁材料の耐溶
剤性と機械的強度の向上を付与するものである。単量体
組成物中に占める架橋性単量体の含有量は、好ましくは
5〜80重量%、さらに好ましくは10〜60重量%で
ある。この含有量が5重量%未満の場合には、高分子絶
縁材料の耐溶剤性が低下し、80重量%より多くなると
誘電率と誘電正接が上昇する傾向にある。
Next, the crosslinkable monomer imparts an improvement in the solvent resistance and mechanical strength of the polymer insulating material by copolymerizing with the fumaric acid diester. The content of the crosslinkable monomer in the monomer composition is preferably 5 to 80% by weight, and more preferably 10 to 60% by weight. When the content is less than 5% by weight, the solvent resistance of the polymer insulating material decreases, and when it exceeds 80% by weight, the dielectric constant and the dielectric loss tangent tend to increase.

【0028】本発明に用いられる架橋性単量体は炭素間
二重結合を一分子内に二個以上有する単量体、すなわち
ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、マレイ
ミド基、ビニルエーテル基、ビニルエステル基、アリル
エーテル基、アリルエステル基等を有する架橋性の単量
体である。これらの官能基のうちビニル基、マレイミド
基又はアリルエステル基が共重合性に優れていることか
ら好ましい。
The crosslinkable monomer used in the present invention is a monomer having two or more carbon-carbon double bonds in one molecule, that is, a vinyl group, an acryloyl group, a methacryloyl group, a maleimide group, a vinyl ether group, a vinyl ester. Is a crosslinkable monomer having a group, an allyl ether group, an allyl ester group and the like. Among these functional groups, a vinyl group, a maleimide group or an allyl ester group is preferable because of its excellent copolymerizability.

【0029】具体的にはブタジエン、イソプレン等の多
官能オレフィン、ジエチレングリコールジアクリレー
ト、1,3−ブタンジオールジアクリレート、ビスフェ
ノールA型のジアクリレート、ウレタンジアクリレー
ト、エポキシジアクリレート、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリ
レート、フェノールノボラック型エポキシアクリレート
等の多官能アクリレート、ジエチレングリコールジメタ
クリレート、1,3―ブタンジオールジメタクリレー
ト、ビスフェノールA型のジメタクリレート、ウレタン
ジメタクリレート、エポキシジメタクリレート、トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリ
トールテトラメタクリレート、フェノールノボラック型
エポキシメタクリレート等の多官能メタクリレート、ジ
ビニルベンゼン、ビスフェノールA型のビニルベンジル
エーテル等の多官能ビニル単量体と、1,3−フェニレ
ンビスマレイミド、4,4’−ジフェニルメタンビスマ
レイミド等の多官能マレイミド、1,4ーシクロヘキサ
ンジメタノールジビニルエーテル、2,2−ジメチルヘ
キサンジオールジビニルエーテル、ジエチレングリコー
ルジビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニ
ルエーテル等の多官能ビニルエーテル、アジピン酸ジビ
ニル、1,4−シクロヘキサンジカルボン酸ジビニル、
フタル酸ジビニル、イソフタル酸ジビニル等の多官能ビ
ニルエステル、シクロヘキサンジメタノールジアリルエ
ーテル、2,2−ジメチルヘキサンジオールジアリルエ
ーテル、ジエチレングリコールジアリルエーテル、トリ
メチロールプロパントリアリルエーテル、ビスフェノー
ルA型のジアリルエーテル、トリアリルイソシアヌレー
ト、トリアリルシアヌレート、ジアリルフタレート、ジ
アリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、フタ
ル酸ポリエステルのジアリルエステル等の多官能アリル
単量体が挙げられる。これらの架橋性単量体は1種のみ
を用いても2種以上を併用してもよい.次に、本発明に
用いられる開始剤としては、有機過酸化物又はアゾ化合
物の1種又は2種以上が用いられる。これらの開始剤は
金属を含まないため、得られた高分子絶縁材料の電気的
性能に影響を及ぼさない。このような開始剤として、例
えば、過酸化ベンゾイル、ジイソプロピルパーオキシジ
カーボネート、tert−ブチルパーオキシ−2−エチ
ルヘキサノエート、tert−ブチルパーオキシイソブ
チレート、ジクミルパーオキサイド、tert−ブチル
ヒドロパーオキシド、tert−ブチルパーオキシピバ
レート、過酸化ラウロイル、1,1−ビス(tert−
ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘ
キサン、tert−ブチルパーオキシイソプロピルカー
ボネート、tert−ブチルパーオキシベンゾエート、
ジ−tert−ブチルパーオキシイソフタレート、2,
5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルパーオキ
シ)ヘキシン−3等の有機過酸化物、2,2’−アゾビ
スイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2−メチ
ルブチロニトリル)、アゾビス(2,4−ジメチルバレ
ロニトリル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサン−
1−カルボニトリル)、2,2’−アゾビス(イソ酪
酸)ジメチル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチル
パレロニトリル)等のアゾ系化合物が挙げられる。
Specifically, polyfunctional olefins such as butadiene and isoprene, diethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, bisphenol A type diacrylate, urethane diacrylate, epoxy diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, Multifunctional acrylates such as pentaerythritol tetraacrylate, phenol novolak type epoxy acrylate, diethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, bisphenol A type dimethacrylate, urethane dimethacrylate, epoxy dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, Pentaerythritol tetramethacrylate, phenol novolak type epoxy methacrylate, etc. Polyfunctional vinyl monomers such as polyfunctional methacrylate, divinylbenzene and bisphenol A type vinylbenzyl ether; polyfunctional maleimides such as 1,3-phenylenebismaleimide and 4,4′-diphenylmethanebismaleimide; Polyfunctional vinyl ethers such as cyclohexane dimethanol divinyl ether, 2,2-dimethylhexanediol divinyl ether, diethylene glycol divinyl ether, trimethylolpropane trivinyl ether, divinyl adipate, divinyl 1,4-cyclohexanedicarboxylate,
Polyfunctional vinyl esters such as divinyl phthalate and divinyl isophthalate, cyclohexane dimethanol diallyl ether, 2,2-dimethylhexanediol diallyl ether, diethylene glycol diallyl ether, trimethylolpropane triallyl ether, bisphenol A diallyl ether, triallyl Examples include polyfunctional allyl monomers such as isocyanurate, triallyl cyanurate, diallyl phthalate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, and diallyl ester of phthalic polyester. These crosslinkable monomers may be used alone or in combination of two or more. Next, as the initiator used in the present invention, one or more of an organic peroxide and an azo compound are used. Since these initiators do not contain metals, they do not affect the electrical performance of the resulting polymeric insulating material. Such initiators include, for example, benzoyl peroxide, diisopropylperoxydicarbonate, tert-butylperoxy-2-ethylhexanoate, tert-butylperoxyisobutyrate, dicumyl peroxide, tert-butylhydrogen. Peroxide, tert-butyl peroxypivalate, lauroyl peroxide, 1,1-bis (tert-
Butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, tert-butylperoxyisopropyl carbonate, tert-butylperoxybenzoate,
Di-tert-butylperoxyisophthalate, 2,
Organic peroxides such as 5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexyne-3, 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2-methylbutyro) Nitrile), azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 1,1′-azobis (cyclohexane-
Azo compounds such as 1-carbonitrile), 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl, and 2,2′-azobis (2,4-dimethylpareronitrile).

【0030】これらの開始剤のうち、過酸化ベンゾイ
ル、ジクミルパーオキサイド、1,1−ビス(tert
−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロ
ヘキサン、 tert−ブチルパーオキシベンゾエー
ト、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチル
パーオキシ)ヘキシン−3又は2,2’−アゾビスイソ
ブチロニトリルが重合開始能が高いことから好ましい。
Of these initiators, benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, 1,1-bis (tert
-Butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, tert-butylperoxybenzoate, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexyne-3 or 2,2′-azo Bisisobutyronitrile is preferred because of its high polymerization initiating ability.

【0031】また、開始剤の使用量は、単量体組成物に
対して通常0.1〜10重量%、好ましくは1〜10重
量%、さらに好ましくは1〜7重量%である。この使用
量が0.1重量%未満の場合には重合開始機能が十分に
発揮されず、10重量%を越えると重合後の高分子絶縁
材料中に開始剤が残存して高分子絶縁材料の物性が低下
する場合がある。
The amount of the initiator used is usually 0.1 to 10% by weight, preferably 1 to 10% by weight, more preferably 1 to 7% by weight, based on the monomer composition. If the amount is less than 0.1% by weight, the polymerization initiation function is not sufficiently exhibited, and if it exceeds 10% by weight, the initiator remains in the polymerized insulating material after polymerization, and Physical properties may decrease.

【0032】本発明においては、フマル酸ジエステル、
架橋性単量体及び開始剤に加えて、その他のビニル系単
量体ないしはその他の重合体を単量体組成物中に加える
ことができる。これらの添加物は単量体組成物の粘度、
成形した高分子絶縁材料の機械的強度、平滑性及び塗膜
と基材との密着性を調整する目的で加えることができ
る。
In the present invention, fumaric acid diester,
In addition to the crosslinking monomer and the initiator, other vinyl monomers or other polymers can be added to the monomer composition. These additives are the viscosity of the monomer composition,
It can be added for the purpose of adjusting the mechanical strength and smoothness of the molded polymer insulating material and the adhesion between the coating film and the substrate.

【0033】前記その他のビニル系単量体の具体例とし
ては、酢酸ビニル、ピバル酸ビニル、p−tert−ブ
チル安息香酸ビニル、安息香酸ビニル等のビニルエステ
ル類;スチレン、o−,m−,p−クロロメチルスチレ
ン、α−メチルスチレン、o−,m−,p−メチルスチ
レン、p−クロロスチレン、α−ビニルナフタレン等の
芳香族ビニル類、;tert−ブチルビニルエーテル、
イソブチルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエー
テル等のビニルエーテル類;メチルビニルケトン、イソ
ブチルビニルケトン等のアルキルビニルケトン類;イソ
ブチレン、1−ブテン等のオレフィン類;メチル(メ
タ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチ
ル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)
アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート等の(メ
タ)アクリル酸又はそのエステル類;アクリロニトリル
等のビニルシアン類;無水マレイン酸、マレイン酸、イ
タコン酸、無水イタコン酸、イタコン酸ジメチル、イタ
コン酸ジエチル、イタコン酸ジブチル、イタコン酸ジシ
クロヘキシル等の不飽和二塩基酸又はそのエステル類
等、公知のラジカル重合性単量体等を好ましく挙げるこ
とができる。
Specific examples of the other vinyl monomers include vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl pivalate, p-tert-butyl vinyl benzoate and vinyl benzoate; styrene, o-, m-, and vinyl esters. aromatic vinyls such as p-chloromethylstyrene, α-methylstyrene, o-, m-, p-methylstyrene, p-chlorostyrene and α-vinylnaphthalene; tert-butyl vinyl ether;
Vinyl ethers such as isobutyl vinyl ether and cyclohexyl vinyl ether; alkyl vinyl ketones such as methyl vinyl ketone and isobutyl vinyl ketone; olefins such as isobutylene and 1-butene; methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate and butyl (meth) Acrylate, 2-ethylhexyl (meth)
(Meth) acrylic acid such as acrylate and phenyl (meth) acrylate or esters thereof; vinyl cyanes such as acrylonitrile; maleic anhydride, maleic acid, itaconic acid, itaconic anhydride, dimethyl itaconate, diethyl itaconate, and itaconic acid Known radically polymerizable monomers such as unsaturated dibasic acids such as dibutyl and dicyclohexyl itaconate and esters thereof can be preferably exemplified.

【0034】また、前記その他の重合体としては、その
他のビニル単量体の単独重合物又は共重合物や、フェノ
ール樹脂、エポキシ樹脂、ジアリルフタレート樹脂、不
飽和ポリエステル、シアネートエステル樹脂等の熱硬化
性樹脂の前駆体や、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リイソブチレン、ポリブテン等のポリオレフィン、ポリ
イミド樹脂前駆体、ブチラール樹脂、ポリフェニレンオ
キシド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエステル、ポ
リカーボネート、スチレン−ブタジエンブロック共重合
体、スチレン−イソプレンブロック共重合体、水添スチ
レン−ブタジエンブロック共重合体、水添スチレン−イ
ソプレンブロック共重合体等の熱可塑性エラストマー等
の熱可塑性樹脂を挙げることができる。その他の添加物
を添加する際には、その他の重合体を溶解させる有機溶
剤を用いて単量体組成物に添加してもよい。このような
その他のビニル系単量体ないしその他の重合体は、1種
のみを用いても2種以上を併用してもよい。
Examples of the other polymer include homopolymers or copolymers of other vinyl monomers, and thermosetting resins such as phenol resins, epoxy resins, diallyl phthalate resins, unsaturated polyesters, and cyanate ester resins. Polyolefins such as polyethylene resin, polypropylene, polyisobutylene, polybutene, polyimide resin precursor, butyral resin, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, polyester, polycarbonate, styrene-butadiene block copolymer, and styrene-isoprene block copolymer. Examples include thermoplastic resins such as thermoplastic elastomers such as polymers, hydrogenated styrene-butadiene block copolymers, and hydrogenated styrene-isoprene block copolymers. When adding other additives, they may be added to the monomer composition using an organic solvent that dissolves other polymers. Such other vinyl monomers or other polymers may be used alone or in combination of two or more.

【0035】その他のビニル系単量体又はその他の重合
体の添加量は、単量体組成物に対し30重量%以下が好
ましく、10重量%以下がさらに好ましい。この添加量
が30重量%より多くなると、ビニル系単量体を用いた
場合に誘電率と誘電正接の上昇とさらに耐熱性の低下を
招き、重合体を用いた場合には粘度の上昇による塗布
性、塗膜の基材との密着性、フィルムの機械的強度の低
下を招くので好ましくない。
The amount of the other vinyl monomer or other polymer is preferably at most 30% by weight, more preferably at most 10% by weight, based on the monomer composition. When the addition amount is more than 30% by weight, the dielectric constant and the dielectric loss tangent increase when a vinyl monomer is used, and further, the heat resistance decreases, and when a polymer is used, the viscosity increases. It is not preferable because it causes a decrease in the properties, adhesion of the coating film to the substrate, and mechanical strength of the film.

【0036】また、塗布性を改良するために、必要に応
じ混合物に対して硬化に影響のない程度にシリコーンオ
イル等のレベリング剤を添加したり、有機溶媒に溶解分
散又は水に乳化分散させたものを使用してもよい。
Further, in order to improve the coating property, a leveling agent such as silicone oil is added to the mixture as necessary so as not to affect the curing, or the mixture is dissolved and dispersed in an organic solvent or emulsified and dispersed in water. A thing may be used.

【0037】さらに、電気絶縁性に影響ない程度に添加
剤として染料、顔料、チクソトロピー賦与剤、可塑剤、
界面活性剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、難燃剤、カッ
プリング剤などを単量体組成物に含ませてもよい。
Further, dyes, pigments, thixotropic agents, plasticizers,
Surfactants, ultraviolet absorbers, antioxidants, flame retardants, coupling agents and the like may be included in the monomer composition.

【0038】また、線膨張係数、耐熱性、導体との密着
性や加工性を調整するために充填材を添加してもよく、
充填材としてはシリカ、硫酸バリウム、炭酸カルシウム
等の無機化合物や、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポ
リイミドなどの熱硬化性樹脂粉末、ポリオレフィン系樹
脂、ポリスチレン系樹脂、ナイロン、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリカーボネート、スチレン−ブタジエン
ブロック共重合体、水添スチレン−ブタジエンブロック
共重合体、水添スチレン−イソプレンブロック共重合体
などの熱可塑性樹脂粉末を用いることができる。
A filler may be added to adjust the coefficient of linear expansion, heat resistance, adhesion to a conductor and workability,
Examples of the filler include inorganic compounds such as silica, barium sulfate, and calcium carbonate, thermosetting resin powders such as phenol resin, melamine resin, and polyimide, polyolefin resin, polystyrene resin, nylon, polyethylene terephthalate, polycarbonate, and styrene-butadiene. Thermoplastic resin powders such as block copolymers, hydrogenated styrene-butadiene block copolymers, and hydrogenated styrene-isoprene block copolymers can be used.

【0039】以下、本発明における単量体組成物から形
成される高分子絶縁材料の製造方法とその用途、さらに
その用途の詳細について説明する. <高分子絶縁材料の製造方法>本発明において、前記の
高分子絶縁材料を製造するには、通常の加熱硬化法を用
いることができる。具体的には、フマル酸ジエステル、
架橋性単量体及び開始剤を含む単量体組成物に、必要に
応じてその他の添加剤、充填材等を添加しこれらをポッ
ト等で混合する。これを10分〜20時間、30〜25
0℃で加熱重合反応させることによって、所望の形状の
高分子絶縁材料を得ることができる。加熱温度が30℃
未満又は加熱時間が10分未満の場合、重合反応が十分
に進行しないことがあり、加熱温度が250℃を越える
場合又は加熱時間が20時間を越える場合、重合体が分
解したり、重合効率が低下したりすることがある。この
場合、予め一定形状のプリプレグを成形した後、そのプ
リプレグを積層し、所望とする成形型により加熱、加圧
して高分子絶縁材料を得ることができる。
Hereinafter, a method for producing a polymer insulating material formed from the monomer composition of the present invention, its use, and details of the use will be described. <Production Method of Polymer Insulating Material> In the present invention, in order to produce the above-mentioned polymer insulating material, a usual heat curing method can be used. Specifically, fumaric acid diester,
If necessary, other additives, fillers and the like are added to the monomer composition containing the crosslinkable monomer and the initiator, and these are mixed in a pot or the like. Take this for 10 minutes to 20 hours, 30 to 25
By performing a heat polymerization reaction at 0 ° C., a polymer insulating material having a desired shape can be obtained. Heating temperature is 30 ℃
If the heating time is less than 10 minutes, the polymerization reaction may not proceed sufficiently.If the heating temperature exceeds 250 ° C. or the heating time exceeds 20 hours, the polymer may be decomposed, Or lower. In this case, after a prepreg having a predetermined shape is formed in advance, the prepregs are laminated, and heated and pressed by a desired mold to obtain a polymer insulating material.

【0040】フマル酸ジエステルとして固体のものを用
いるときには一旦架橋性単量体に溶解した後、開始剤と
混合して単量体組成物を作製した後、上記と同様の条件
で硬化させればよい。また、有機溶剤を用いてフマル酸
ジエステルを溶解させてから単量体組成物を作製しても
良いが、その場合は所望の形状にした後有機溶剤を除去
させ、上記と同様の条件で硬化させればよい。このよう
に有機溶剤を用いた場合でも重合反応を開始する前に有
機溶剤を除去してしまうため、重合反応時の有機溶剤や
反応後の残存有機溶剤による影響をなくすことが可能で
ある。
When a solid fumaric acid diester is used, it is first dissolved in a crosslinkable monomer, mixed with an initiator to prepare a monomer composition, and then cured under the same conditions as described above. Good. Alternatively, the monomer composition may be prepared after dissolving the fumaric acid diester using an organic solvent.In such a case, the organic solvent is removed after forming the desired shape and cured under the same conditions as above. It should be done. As described above, even when an organic solvent is used, the organic solvent is removed before the polymerization reaction is started, so that it is possible to eliminate the influence of the organic solvent during the polymerization reaction and the residual organic solvent after the reaction.

【0041】又は、ハンドリングをよくするために単量
体組成物を10分〜5時間、50〜200℃の範囲にて
一旦予備硬化させ、所望の形状に形成した後上記条件に
て再度硬化させてもよい。なお、ここで予備硬化とは、
重合反応をある程度進めて形状保持できる状態まで硬化
することをいい、前記プリプレグが含まれる。
Alternatively, in order to improve the handling, the monomer composition is once pre-cured for 10 minutes to 5 hours at a temperature of 50 to 200 ° C., formed into a desired shape, and then cured again under the above conditions. You may. Here, the pre-curing means
It refers to curing to a state where the polymerization reaction can be advanced to some extent to maintain the shape, and includes the prepreg.

【0042】加熱硬化条件は、反応の状態に応じて変化
させてもよい。また、プレス等により加圧しながら硬化
してもよい。反応が進むにつれて硬度が増していくた
め、プレス圧や、反応温度、反応時間を変えながら硬化
させることによって、より均一な硬化物を得ることがで
きる。
The heating and curing conditions may be changed according to the state of the reaction. Further, it may be cured while applying pressure by a press or the like. Since the hardness increases as the reaction proceeds, a more uniform cured product can be obtained by curing while changing the pressing pressure, the reaction temperature, and the reaction time.

【0043】従来の方法では、一旦高分子材料を製造し
て有機溶剤等に溶解させた後、所望の形状に成形し有機
溶剤を蒸散させる工程によって成形体を得ていた。これ
に対し、本発明によれば反応前の単量体組成物を用い
て、通常有機溶剤無しに直接所望の形状に成形するた
め、従来のような残存有機溶剤に起因する問題が生じな
い <高分子絶縁材料の用途>本発明の高分子絶縁材料は、
絶縁フィルムとして、或いはガラス織布等に含浸させた
フィルムとしたり、さらにはバルク状の成形体や積層体
など種々の形態で用いることができる。
In the conventional method, a polymer was once produced, dissolved in an organic solvent or the like, then formed into a desired shape, and a molded product was obtained by a process of evaporating the organic solvent. On the other hand, according to the present invention, the monomer composition before the reaction is directly molded into a desired shape without using an organic solvent, so that there is no problem caused by the residual organic solvent as in the prior art. Applications of polymer insulating material> The polymer insulating material of the present invention is
It can be used as an insulating film, a film impregnated in a glass woven fabric or the like, or in various forms such as a bulk molded body or a laminated body.

【0044】そしてその用途は、例えば高周波用の共振
器、フィルタ、コンデンサ、インダクタ、アンテナ等の
電子部品、前記電子部品のハウジング、ケーシング、コ
ーティング、半導体等の電子部材用層間絶縁膜や封止材
などの電子部材である。また、電子部品搭載用のオンボ
ード基板、基板用の銅張積層体、回路内蔵基板、アンテ
ナ基板や、CPU用オンボード基板等の電子関連基板
(以下、単に基板と略称する)である。
Applications include, for example, electronic components such as high-frequency resonators, filters, capacitors, inductors, and antennas; interlayer insulating films and sealing materials for electronic components such as housings, casings, coatings, and semiconductors of the electronic components. And other electronic members. Further, it is an electronic-related substrate (hereinafter simply referred to as a substrate) such as an on-board substrate for mounting electronic components, a copper-clad laminate for a substrate, a circuit-containing substrate, an antenna substrate, and an on-board substrate for a CPU.

【0045】さらに、基板を構成する材料として、例え
ばビルドアップ材、ソルダーレジスト材、アンダーコー
ト材、バックコート材、トップコート材、層間接着剤、
IC基板表面に形成されるパシベーション材、ハイブリ
ッドIC基板の防湿材等に用いることができる。また、
コーティング材のマトリックス、異方導電膜材料、導体
形成印刷材料とすることもできる。加えて、電子部材の
アンダーフィル材(膨張を吸収するダンパー)やモール
ド材として用いることができる。
Further, as a material constituting the substrate, for example, a build-up material, a solder resist material, an undercoat material, a back coat material, a top coat material, an interlayer adhesive,
It can be used as a passivation material formed on the surface of an IC substrate, a moisture-proof material for a hybrid IC substrate, and the like. Also,
A matrix of a coating material, an anisotropic conductive film material, and a conductor forming printing material can also be used. In addition, it can be used as an underfill material (a damper for absorbing expansion) or a mold material of an electronic member.

【0046】<それぞれの用途の詳細> (絶縁フィルム、積層体、基板)本発明の単量体組成物
を樹脂フィルム、ガラス板、シリコーンゴム板、金属板
等の基材上に塗布し、熱硬化させることによって絶縁フ
ィルム又は絶縁板を形成することができる。塗布法とし
てはスピンコート法、ディップコート法、カーテンコー
ト法、ロールコート法、スクリーン印刷コート法等を適
用することができる。
<Details of each application> (Insulating film, laminate, substrate) The monomer composition of the present invention is coated on a substrate such as a resin film, a glass plate, a silicone rubber plate, a metal plate, and heated. By curing, an insulating film or an insulating plate can be formed. As a coating method, a spin coating method, a dip coating method, a curtain coating method, a roll coating method, a screen printing coating method, or the like can be applied.

【0047】また、単量体組成物を無機繊維、無機充填
材、有機繊維や不織布に含浸させた後に熱硬化し、繊維
と複合したフィルム又は板材を得ることもできる。無機
繊維としてはEガラス、Cガラス、Aガラス、Sガラ
ス、Dガラス、Qガラス等の各種ガラス繊維、無機充填
材としては溶融シリカ、炭酸カルシウム等、有機繊維と
してはアラミド繊維、カーボン繊維、ポリエステル繊維
等、さらには不織布としてはアラミド、芳香族ポリエス
テル等からなるものを用いることができる。
Further, a film or plate composited with the fibers can be obtained by impregnating the monomer composition with an inorganic fiber, an inorganic filler, an organic fiber or a non-woven fabric and then thermosetting. Various glass fibers such as E glass, C glass, A glass, S glass, D glass, and Q glass as inorganic fibers, fused silica and calcium carbonate as inorganic fillers, and aramid fibers, carbon fibers, and polyester as organic fibers. Fibers and the like and nonwoven fabrics made of aramid, aromatic polyester and the like can be used.

【0048】積層体は、上記フィルム又は板材を所望の
厚みとなるよう積層する。具体的には、硬化させた上記
フィルム又は板材と本発明の単量体組成物を層間接着剤
として用いて交互に積層した後、或いは予備硬化した上
記フィルム又は板材(プリプレグ)を積層した後、プレ
スやロール等を用いて熱圧着することにより得られる。
The laminate is formed by laminating the above-mentioned film or plate material to a desired thickness. Specifically, after alternately laminating the cured film or plate material and the monomer composition of the present invention as an interlayer adhesive, or after laminating the precured film or plate material (prepreg), It can be obtained by thermocompression bonding using a press or a roll.

【0049】基板は前記積層体の表面に金属導体層を形
成することによって得ることができる。金属導体層に用
いられる金属は導電性を有する金属であれば特に制限さ
れないが、銅、ニッケル、銀、金等の導体が好ましい。
その形成方法としては導体箔接着法、無電解メッキ法、
電解メッキ法、真空蒸着法、導電性ペースト塗布法等が
用いられ、金属導体層の厚みは1〜100μmが好まし
い。
The substrate can be obtained by forming a metal conductor layer on the surface of the laminate. The metal used for the metal conductor layer is not particularly limited as long as it is a metal having conductivity, but a conductor such as copper, nickel, silver, and gold is preferable.
As a forming method, a conductive foil bonding method, an electroless plating method,
An electrolytic plating method, a vacuum evaporation method, a conductive paste coating method, or the like is used, and the thickness of the metal conductor layer is preferably 1 to 100 μm.

【0050】また、単層のプリント配線板を作製する場
合、作業性及び製造コストの点で金属導体層として導体
箔が好ましい。フィルム及び導体箔の積層方法は前記基
板の作製方法と同様の手法を用いることができ、具体的
には硬化フィルムと層間接着剤の交互積層体の片面又は
両面に層間接着剤を用いて導体箔を張り合わせるか、プ
リプレグの積層体の片面又は両面に導体箔を張り合わせ
るかして作製することができる。
When a single-layer printed wiring board is manufactured, a conductor foil is preferable as the metal conductor layer in terms of workability and production cost. The method for laminating the film and the conductive foil can be the same method as the method for producing the substrate. Specifically, the conductive foil is formed by using an interlayer adhesive on one or both sides of an alternate laminate of a cured film and an interlayer adhesive. Or a conductor foil is laminated on one or both sides of the prepreg laminate.

【0051】さらに、多層のプリント配線板は、回路形
成、スルーホール形成及びメッキ形成した単層のプリン
ト配線板を積層することによって作製することができ
る。金属導体層を回路に形成するときには、金属導体層
を表面に有するフィルム又は基板を所定の形状にエッチ
ングしてパターン化するか、或いは金属導体層を表面に
有するプリプレグフィルムをエッチングしてパターン化
を行ってから積層、熱硬化する。また、積層体上にシル
クスリーン印刷機等のパターン印刷機を用いて、エッチ
ングレジストを回路パターンに従って印刷した後、メッ
キを形成させ、エッチングレジストを剥がして回路パタ
ーンを形成する方法も可能である。
Further, a multilayer printed wiring board can be manufactured by laminating a single-layer printed wiring board formed with a circuit, a through hole, and a plating. When a metal conductor layer is formed in a circuit, a film or substrate having the metal conductor layer on the surface is etched and patterned into a predetermined shape, or a prepreg film having the metal conductor layer on the surface is etched and patterned. After performing the lamination and thermosetting. Alternatively, a method of printing an etching resist according to a circuit pattern on a laminate using a pattern printing machine such as a silk screen printing machine, followed by plating, and peeling off the etching resist to form a circuit pattern is also possible.

【0052】(ビルドアップ材)ビルドアップ材とは、
表面に回路パターンを有する回路基板(単層プリント配
線板又は多層プリント配線板)の少なくとも一方の面上
に絶縁層と導体層の組み合わせからなる層が一層以上あ
り、かつ導体層間が接続されているプリント配線板に用
いられる絶縁層(絶縁材料)のことである。基板の上下
部に樹脂のみの絶縁層を設ける際に、従来の材料では導
体である銅箔を接着させる方法として、ある程度の有機
溶剤を残した状態で銅箔を張り合わせてから有機溶剤を
除去する。しかしこの方法によれば、有機溶剤を除去す
るのが困難であり、耐熱性の低下等の問題が生じる可能
性がある。一方、本発明の材料は塗布後有機溶剤を除去
しても粘着性が得られるため、銅箔を張り合わせること
が容易である。また、銅箔に予めこの材料を塗布してお
けば基材に張り合わせるだけで済む利点がある。
(Build-up material)
A circuit board (single-layer printed wiring board or multilayer printed wiring board) having a circuit pattern on its surface has at least one layer composed of a combination of an insulating layer and a conductive layer on at least one surface, and the conductive layers are connected. An insulating layer (insulating material) used for a printed wiring board. When providing an insulating layer of resin only on the upper and lower parts of the substrate, as a method of bonding a copper foil which is a conductor with a conventional material, the organic solvent is removed after bonding the copper foil while leaving a certain amount of the organic solvent . However, according to this method, it is difficult to remove the organic solvent, and problems such as a decrease in heat resistance may occur. On the other hand, the material of the present invention can obtain tackiness even if the organic solvent is removed after the application, so that it is easy to bond the copper foil. Further, if this material is applied to a copper foil in advance, there is an advantage that it is only necessary to bond the material to the base material.

【0053】さらに、ビルドアップ材の上にメッキによ
り導体層を形成させる場合には、絶縁層と導体層(メッ
キ層)との密着性向上のため絶縁層の表面を粗面化した
後、無電解メッキを施す方法が一般的であるが、本発明
のビルドアップ材はフィラーを含有するため、化学的エ
ッチングが容易である。フィラーとしては、ポリスチレ
ン、シリカゲル、炭酸カルシウムなどが用いられる。な
お、ビルドアップ材にはフィラーは含まれていなくても
よく、またエッチングは物理的な方法であってもよい。
Further, when a conductive layer is formed on the build-up material by plating, the surface of the insulating layer is roughened to improve the adhesion between the insulating layer and the conductive layer (plated layer). Although a method of performing electrolytic plating is generally used, since the build-up material of the present invention contains a filler, chemical etching is easy. As the filler, polystyrene, silica gel, calcium carbonate, or the like is used. Note that the build-up material does not need to include a filler, and the etching may be a physical method.

【0054】(アンダーコート材)アンダーコート材と
は、基板を作製するため基材に金属導体層、例えば銅箔
を張り合わせた際に生じる段差(十数μm程度)を吸収
し、平滑性を出すための液状又はフィルム状の絶縁材料
のことである。段差をなくすことを前提としているため
に低収縮性材料が好ましい。ところが、従来の材料では
有機溶剤の揮発量を考慮する必要があるために膜厚等の
コントロールが困難である。これに対し、本発明の材料
は有機溶剤を用いない無有機溶剤化が可能であることか
ら、硬化反応に伴う収縮のみを考慮すれば良く、さらに
従来の材料に比べて作業性の点からも好ましい。
(Undercoat material) The undercoat material absorbs a step (about ten and several μm) generated when a metal conductor layer, for example, a copper foil is adhered to a base material to produce a substrate, and provides smoothness. Liquid or film-like insulating material. A low-shrinkage material is preferable because it is assumed that the step is eliminated. However, in conventional materials, it is difficult to control the film thickness and the like because it is necessary to consider the volatilization amount of the organic solvent. On the other hand, since the material of the present invention can be made organic solvent-free without using an organic solvent, it is only necessary to consider only shrinkage accompanying the curing reaction. preferable.

【0055】(層間接着剤)層間接着剤とは基材同士又
は基板と導体箔とを張り合わせるのに用いられる接着剤
のことであり、完全硬化させて基板同士又は基板と金属
導体フィルムとを強固に張り合わせる目的に使用され
る。基板は本発明の絶縁材料より形成されたものに限ら
ず、他の誘電性樹脂であってもセラミックであってもよ
い。
(Interlayer adhesive) The interlayer adhesive is an adhesive used for bonding the base material or the substrate and the conductor foil, and is completely cured to bond the substrates or the substrate and the metal conductor film. Used for the purpose of firmly bonding. The substrate is not limited to the one formed of the insulating material of the present invention, and may be another dielectric resin or ceramic.

【0056】(アンダーフィル材)アンダーフィル材と
は、基板上に搭載した各種部品とその基板間の隙間に挿
入することによって、部品の密着性等の安定性を確保す
るモールド材のことである。密着性の点から無有機溶剤
であることが好ましく、例えば前記単量体組成物を強制
的又は毛管現象を利用して流し込む方法、或いは前記単
量体組成物のプリプレグを用いて熱圧着して硬化させる
方法がある。
(Underfill material) The underfill material is a molding material that ensures stability such as adhesion of components by being inserted into gaps between various components mounted on the substrate and the substrate. . It is preferably an organic solvent-free from the viewpoint of adhesion, for example, a method in which the monomer composition is forcibly or poured by utilizing a capillary phenomenon, or thermocompression bonding using a prepreg of the monomer composition. There is a method of curing.

【0057】(異方導電膜)異方導電膜とは、導電性粉
末又は導電物質でメッキされた無機微粒子、高分子微粒
子を絶縁材料中に分散させた状態で予備硬化させたプリ
プレグを、基板上に搭載した各種部品とその基板間の隙
間に挿入することによって、部品と基板間の導通と密着
性等の安定性を確保するモールド材のことである。導電
性粉末又は導電物質としては、銅、ニッケル、アルミニ
ウム、銀、金、カーボンブラック等が用いられる。その
際、本発明の高分子絶縁材料を用いることによって目的
の異方導電膜とすることができ、成形後の導電部以外に
は優れた絶縁性を持たせることができる。
(Anisotropic Conductive Film) An anisotropic conductive film refers to a prepreg obtained by pre-curing in a state where inorganic fine particles and polymer fine particles plated with a conductive powder or a conductive substance are dispersed in an insulating material. This is a molding material that ensures stability such as conduction and adhesion between components and a substrate by being inserted into gaps between various components mounted on the substrate and the substrate. As the conductive powder or conductive material, copper, nickel, aluminum, silver, gold, carbon black, or the like is used. At that time, the intended anisotropic conductive film can be obtained by using the polymer insulating material of the present invention, and excellent insulating properties can be imparted to portions other than the conductive portion after molding.

【0058】(半導体用層間絶縁膜)半導体用層間絶縁
膜とは、集積回路素子、液晶表示素子、固体撮像素子等
の電子部品において層状に配置された配線の間を絶縁す
るための膜であって、本発明の単量体組成物の硬化皮膜
形成後、銅、アルミニウム等の導体を真空蒸着法等によ
って設けることができる。本発明の半導体用層間絶縁膜
は絶縁性と耐熱性に優れている。
(Interlayer Insulating Film for Semiconductor) The interlayer insulating film for semiconductor is a film for insulating between wirings arranged in layers in electronic components such as an integrated circuit device, a liquid crystal display device, and a solid-state imaging device. After forming the cured film of the monomer composition of the present invention, a conductor such as copper or aluminum can be provided by a vacuum evaporation method or the like. The semiconductor interlayer insulating film of the present invention is excellent in insulation and heat resistance.

【0059】(半導体用封止材)半導体封止材とは前記
電子部品を化学的、物理的環境から保護するために用い
られる絶縁材料であり、本発明の単量体組成物に前記シ
リカ等の充填剤、エポキシ樹脂前駆体等を含ませたもの
を使用することが好ましく、成形方法としてトランスフ
ァーモールド方式等を用いることができる。
(Semiconductor encapsulant) A semiconductor encapsulant is an insulating material used to protect the electronic component from a chemical and physical environment. It is preferable to use one containing a filler, an epoxy resin precursor or the like, and a transfer molding method or the like can be used as a molding method.

【0060】また、単量体組成物又はそのプリプレグを
モールディング法、押し出し法等により所望の形状に成
形し、熱硬化させることによってバルク体を得ることが
できる。このバルク体には熱硬化後優れた耐環境性を持
たせることができる。
Further, a bulk body can be obtained by molding the monomer composition or its prepreg into a desired shape by a molding method, an extrusion method or the like, and by thermosetting. This bulk body can have excellent environmental resistance after thermosetting.

【0061】(ソルダーレジスト材)ソルダーレジスト
とは、回路基板表面において半田付けの際に半田が不必
要な部分に付着するのを防止する保護膜及び回路が空気
に直接曝されて酸化や腐食を受けるのを防止する保護膜
として機能する永久レジストである。このソルダーレジ
ストの調製に際し、本発明の単量体組成物に前記シリカ
等の充填剤、エポキシ樹脂前駆体等を含ませたものを使
用することができる。塗布方法としては、スクリーン印
刷法等の方法を用いることができ、熱硬化後優れた耐環
境性を持たせることができる。
(Solder resist material) A solder resist is a protective film for preventing solder from adhering to unnecessary parts on a circuit board surface during soldering, and a circuit is directly exposed to air to prevent oxidation and corrosion. It is a permanent resist that functions as a protective film to prevent it from receiving. In the preparation of the solder resist, it is possible to use the monomer composition of the present invention containing the filler such as silica and the epoxy resin precursor. As an application method, a method such as a screen printing method can be used, and excellent environmental resistance can be imparted after thermosetting.

【0062】以上の実施形態によれば、次のような効果
を発揮することができる。 ・ 本発明の高分子絶縁材料は、主としてフマル酸ジエ
ステルの性質に基づき、特に周波数帯域が500MHz
以上、殊に500MHz〜10GHzの高周波数帯域に
おいて、誘電率(ε)が2以上、特に2.2〜3.2を
示し、かつ誘電損失正接(tanδ)が0.05以下、
通常0.002〜0.05という優れた電気特性を有し
ている。
According to the above embodiment, the following effects can be exhibited. The polymer insulating material of the present invention is mainly based on the properties of fumaric diester, and particularly has a frequency band of 500 MHz.
As described above, especially in a high frequency band of 500 MHz to 10 GHz, the dielectric constant (ε) is 2 or more, particularly 2.2 to 3.2, and the dielectric loss tangent (tan δ) is 0.05 or less,
Usually, it has excellent electric characteristics of 0.002 to 0.05.

【0063】・ この高分子絶縁材料は、その成形加工
時に、重合体を一旦有機溶剤に溶かしてから加工すると
いう工程を有さずに、原料である単量体組成物をそのま
ま所定形状に形成して硬化させることが可能であるの
で、成形性ないし加工性に優れた材料である。
This polymer insulating material is obtained by forming a monomer composition, which is a raw material, into a predetermined shape without forming a process of once dissolving a polymer in an organic solvent at the time of molding. It is a material that is excellent in moldability or workability because it can be hardened by curing.

【0064】・ また、この高分子絶縁材料は炭素間二
重結合を一分子内に二個以上有する架橋性単量体により
架橋構造を有しているため、誘電特性と耐熱性に優れて
いる。さらにまた、硬化後に単量体が残存しにくいた
め、絶縁性、耐溶剤性、寸法安定性及び耐久性に優れ、
また強度、耐熱衝撃性及び密着性に優れている。
Also, since this polymer insulating material has a crosslinked structure by a crosslinkable monomer having two or more carbon-carbon double bonds in one molecule, it has excellent dielectric properties and heat resistance. . Furthermore, since the monomer hardly remains after curing, it is excellent in insulation, solvent resistance, dimensional stability and durability,
Also, it has excellent strength, thermal shock resistance and adhesion.

【0065】・ 加えて、熱分解型重合開始剤として有
機過酸化物又はアゾ化合物を用いることにより、電気絶
縁フィルム及びそれを積層した基板等として使用した場
合、電気的性能に有害な金属系化合物が重合体中に含ま
れることがないため、非常に電気特性が優れている。
In addition, by using an organic peroxide or an azo compound as a thermal decomposition type polymerization initiator, when used as an electric insulating film and a substrate on which the same is laminated, a metal compound harmful to electric performance. Is not contained in the polymer, so that the electric properties are very excellent.

【0066】・ 高分子絶縁材料はフマル酸ジエステル
と、架橋性単量体と、開始剤とを含む単量体組成物を加
熱硬化することにより得られるため、高分子絶縁材料を
容易に製造することができる。
Since the polymer insulating material is obtained by heating and curing a monomer composition containing fumaric diester, a crosslinkable monomer, and an initiator, the polymer insulating material can be easily produced. be able to.

【0067】・ 以上のように、高分子絶縁材料は、絶
縁フィルム、積層体、電子関連基板、さらにはビルドア
ップ材、アンダーコート材、層間接着剤、アンダーフィ
ル材、異方導電膜、半導体用層間絶縁膜、半導体用封止
材、ソルダーレジスト材等の電子部材に適しているため
工業的に有用である。
As described above, polymer insulating materials include insulating films, laminates, electronic-related substrates, build-up materials, undercoat materials, interlayer adhesives, underfill materials, anisotropic conductive films, and semiconductor materials. It is industrially useful because it is suitable for electronic members such as interlayer insulating films, sealing materials for semiconductors, and solder resist materials.

【0068】[0068]

【実施例】以下、実施例により前記実施形態をさらに具
体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定され
るものではない。なお、実施例及び比較例に示すフマル
酸ジエステル、架橋性単量体、その他のビニル系単量
体、その他の重合体、開始剤の略号と化合物名称を下記
に示す。下記の化合物中のφはフェニル基を表す。
EXAMPLES Hereinafter, the above embodiments will be described more specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The abbreviations and compound names of fumaric acid diesters, crosslinkable monomers, other vinyl monomers, other polymers, and initiators shown in Examples and Comparative Examples are shown below. Φ in the following compounds represents a phenyl group.

【0069】<フマル酸ジエステル> DiPF:ジイソプロピルフマレート DcHF:ジシクロヘキシルフマレート DcPF:ジシクロペンチルフマレート DsBF:ジsec−ブチルフマレート iPcHF:イソプロピルシクロヘキシルフマレート <架橋性単量体> DVB:ジビニルベンゼン DVAd:アジピン酸ジビニル CHDVE:1,4−シクロヘキサンジメタノールジビ
ニルエーテル HDVE:n−ヘキサンジオールジビニルエーテル MHDVE:2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオ
ールジビニルエーテル BDA:1,4−ブタンジオールジアクリレート BPDA:CH2=CHCOOCH2CH2OφC(CH3)2φOCH2CH2OCOCH=
CH2 TMPTM:トリメチロールプロパントリメタクリレー
ト PhBMI:4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミ
ド TMPTE:トリメチロールプロパントリアリルエーテ
ル DATP:ジアリルテレフタレート PDAP:CH2=CHCH2OCOφCOO[CH(CH3)CH2OCOφCOO]mCH
2CH=CH2(m=0〜5の混合物) <その他のビニル系単量体> St:スチレン VtBB:tert−ブチルビニルベンゾエート VAc:酢酸ビニル CHVE:シクロヘキシルビニルエーテル TAVE:tert−アミルビニルエーテル 2EHVE:2−エチルヘキシルビニルエーテル <その他の重合体> PDcHF:DcHF重合体 PCHIP:DcHF,DiPF共重合体 SIS#5125:クラレ株式会社製スチレン−イソプ
レンブロック共重合体(商品名:ハイブラー5125) SIS#2002:クラレ株式会社製スチレン−イソプ
レンブロック共重合体(商品名:セプトン2002) <開始剤> BPO:ベンゾイルペルオキシド AIBN:アゾビスイソブチロニトリル PH3M:1,1−ビス(tert−ブチルペルオキシ)
3,3,5−トリメチルシクロヘキサン DCP:ジクミルペルオキシド TBPZ:tert−ブチルペルオキシベンゾエート PHY25:2,5−ジメチル−2,5−ビス(tert−
ブチルペルオキシ)ヘキシン−3 <有機溶剤> Tol:トルエン t-BuBz:tert-ブチルベンゼン 高分子絶縁材料の評価 (実施例1)DcHF 9.0g、HDVE 1.0g
及びBPO 0.3gを配合して単量体組成物を得た。
次に、これをシリコーンゴム製のスペーサーで仕切った
二枚のガラス板の間に注入して、70℃、10時間硬化
し、長さ12cm、幅10cm、厚さ0.8mmのシー
トを得た。
<Fumaric acid diester> DiPF: diisopropyl fumarate DcHF: dicyclohexyl fumarate DcPF: dicyclopentyl fumarate DsBF: disec-butyl fumarate iPcHF: isopropylcyclohexyl fumarate <Crosslinkable monomer> DVB: divinylbenzene DVAd : Divinyl adipate CHDVE: 1,4-cyclohexane dimethanol divinyl ether HDVE: n-hexanediol divinyl ether MHDVE: 2,5-dimethyl-2,5-hexanediol divinyl ether BDA: 1,4-butanediol diacrylate BPDA : CH 2 = CHCOOCH 2 CH 2 OφC (CH 3 ) 2 φOCH 2 CH 2 OCOCH =
CH 2 TMPTM: trimethylolpropane trimethacrylate PhBMI: 4,4′-diphenylmethanebismaleimide TMPTE: trimethylolpropane triallyl ether DATP: diallyl terephthalate PDAP: CH 2 = CHCH 2 OCOφCOO [CH (CH 3 ) CH 2 OCOφCOO] m CH
2 CH = CH 2 (mixture of m = 0 to 5) <Other vinyl monomers> St: styrene VtBB: tert-butylvinylbenzoate VAc: vinyl acetate CHVE: cyclohexyl vinyl ether TAVE: tert-amyl vinyl ether 2EHVE: 2 -Ethylhexyl vinyl ether <Other polymers> PDcHF: DcHF polymer PCHIP: DcHF, DiPF copolymer SIS # 5125: Styrene-isoprene block copolymer manufactured by Kuraray Co., Ltd. (trade name: Hibler 5125) SIS # 2002: Kuraray stock Company-made styrene-isoprene block copolymer (trade name: Septon 2002) <Initiator> BPO: benzoyl peroxide AIBN: azobisisobutyronitrile PH3M: 1,1-bis (tert-butylperoxy)
3,3,5-trimethylcyclohexane DCP: dicumyl peroxide TBPZ: tert-butylperoxybenzoate PHY25: 2,5-dimethyl-2,5-bis (tert-
Butylperoxy) hexyne-3 <Organic solvent> Tol: toluene t-BuBz: tert-butylbenzene Evaluation of polymer insulating material (Example 1) 9.0 g of DcHF, 1.0 g of HDVE
And 0.3 g of BPO were blended to obtain a monomer composition.
Next, this was poured between two glass plates separated by a silicone rubber spacer and cured at 70 ° C. for 10 hours to obtain a sheet having a length of 12 cm, a width of 10 cm and a thickness of 0.8 mm.

【0070】一方、スピンコーター(MIKASA製M
IKASA SPINCOATER1H−D3)を用い
てシリコンウェハー(協同インターナショナル製)上に
上記単量体組成物を塗布し、窒素置換したガラスセル内
にて上記と同様の条件にて硬化させ、厚さ100μmの
フィルムを得た。
On the other hand, a spin coater (Mikasa M
The above-mentioned monomer composition is applied on a silicon wafer (manufactured by Kyodo International) using IKASA SPINCOATER1H-D3) and cured in a nitrogen-substituted glass cell under the same conditions as above, and a film having a thickness of 100 μm is formed. I got

【0071】<絶縁抵抗の評価>JISK6911に従
い、前記シートを切断して40mm×20mm×0.8
mmの短冊を作成した。直径5mmの穴2個をそれぞれ
の中心間距離が15mmとなるようにあけ、その穴にテ
ーパピンを押し込み一対の電極とした。直流500Vを
測定電圧として用いて1分間の充電後絶縁抵抗を測定し
た。
<Evaluation of Insulation Resistance> According to JIS K6911, the sheet was cut and cut into 40 mm × 20 mm × 0.8.
mm strips were created. Two holes each having a diameter of 5 mm were formed so that the center-to-center distance became 15 mm, and a taper pin was pushed into the holes to form a pair of electrodes. The insulation resistance was measured after charging for 1 minute using 500 V DC as the measurement voltage.

【0072】<誘電特性の評価>前記シートを切断して
10cm×1.0mm×0.8mmのスティックを作製
した。これを空洞共振器摂動法複素誘電率評価装置(関
東電子製)を用いて、測定周波数が2GHzの時の比誘
電率及び誘電正接を測定した。
<Evaluation of Dielectric Properties> The sheet was cut to prepare a stick of 10 cm × 1.0 mm × 0.8 mm. The relative permittivity and the dielectric loss tangent at a measurement frequency of 2 GHz were measured using a complex resonator permittivity evaluation device (manufactured by Kanto Electronics Co., Ltd.).

【0073】<半田耐熱性の評価>前記フィルムを切断
して50mm×3mm×100μmの短冊を作成した。
これを260℃の半田浴(TAIYOELECTRIC
IND.CO.,LTD社製POT−200C)に12
0秒間浸漬し、外観を評価した。色、形状の変化がなけ
れば○とし、それ以外は×とした。
<Evaluation of Solder Heat Resistance> The above film was cut to prepare a strip of 50 mm × 3 mm × 100 μm.
This was placed in a 260 ° C solder bath (TAIYOELECTRIC
IND. CO. , LTD POT-200C)
It was immersed for 0 seconds, and the appearance was evaluated. If there was no change in color or shape, it was evaluated as ○, and otherwise, it was evaluated as ×.

【0074】<吸水性の評価>前記フィルムを切断して
50mm×50mm×100μmのフィルムを作製し、
JISC6481に従い吸水率(%)を測定した。
<Evaluation of Water Absorption> A film of 50 mm × 50 mm × 100 μm was prepared by cutting the film.
The water absorption (%) was measured according to JISC6481.

【0075】<耐溶剤性の評価>前記フィルムを切断し
て25mm×25mm×100μmのフィルムを作製
し、JISC6481に従いトルエン及び塩化メチレン
に浸漬しその外観を評価した。膨潤、荒れ等の形状の変
化がなければ○とし、それ以外は×とした。配合を表1
にまとめ、評価結果を表2にまとめた。
<Evaluation of Solvent Resistance> The above film was cut into a 25 mm × 25 mm × 100 μm film, immersed in toluene and methylene chloride in accordance with JIS C6481, and its appearance was evaluated. If there was no change in shape such as swelling and roughness, it was evaluated as ○, and otherwise, it was evaluated as ×. Table 1
Table 2 summarizes the evaluation results.

【0076】(実施例2〜20)フマル酸ジエステル、
架橋性単量体、開始剤、他のビニル系単量体の種類及び
配合量を変えた以外は実施例1と同様に試料を作製し、
各特性を評価した。配合を表1及び評価結果を表2にま
とめた。
(Examples 2 to 20) Fumaric acid diester,
A sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the type and the amount of the crosslinking monomer, initiator, and other vinyl monomers were changed,
Each property was evaluated. The formulations are summarized in Table 1 and the evaluation results are summarized in Table 2.

【0077】(比較例1〜4)撹拌機付き20リットル
のステンレス鋼製反応容器に、ポリビニルアルコール
(KH−17、日本合成化学(株)社製)100重量部を
溶解させたイオン交換水10,000重量部を入れ、さ
らにBPO60重量部を溶解させたDcHF2,000
重量部を入れ、70℃で10時間懸濁重合させた。得ら
れたPDcHFを10,000重量部のメタノールに浸
漬し、室温で2日間撹拌した。濾過の後70℃のオーブ
ン中で2日間乾燥させた。このときの収量は1850重
量部であった。
(Comparative Examples 1-4) 100 parts by weight of polyvinyl alcohol (KH-17, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd.) was dissolved in a 20-liter stainless steel reaction vessel equipped with a stirrer. 2,000 parts by weight, and DcHF 2,000 in which 60 parts by weight of BPO were further dissolved.
Parts by weight were added and suspension polymerization was performed at 70 ° C. for 10 hours. The obtained PDcHF was immersed in 10,000 parts by weight of methanol and stirred at room temperature for 2 days. After filtration, it was dried in an oven at 70 ° C. for 2 days. The yield at this time was 1850 parts by weight.

【0078】このPDcHF10重量部をベンゼン10
0mlに溶解させ、底が平滑な直径12cm程度のフラ
ットシャーレ状に注ぎ、ベンゼンを蒸発させて透明で均
一な直径12cm、厚さ0.8mmのシートを作製し
た。
10 parts by weight of this PDcHF was added to benzene 10
It was dissolved in 0 ml, poured into a flat petri dish having a smooth bottom with a diameter of about 12 cm, and benzene was evaporated to produce a transparent and uniform sheet having a diameter of 12 cm and a thickness of 0.8 mm.

【0079】一方、PDcHF1重量部をトルエン10
mlに溶解させ、底が平滑な直径12cm程度のフラッ
トシャーレ上に注ぎ、トルエンを蒸発させて透明で均一
な直径12cm、厚さ100μmのフィルムを作製し
た。また、原料のフマル酸ジエステルを変えて同様に重
合体を作製し、以下同様にシート及びフィルムを作製し
た。これらを実施例1と同様に評価し、配合を表1及び
評価結果を表2にまとめた。
On the other hand, 1 part by weight of PDcHF was
The mixture was poured into a flat petri dish having a smooth bottom and about 12 cm in diameter, and toluene was evaporated to produce a transparent and uniform film having a diameter of 12 cm and a thickness of 100 μm. Further, a polymer was prepared in the same manner as above except that the raw material fumaric acid diester was changed, and sheets and films were prepared in the same manner. These were evaluated in the same manner as in Example 1, and the formulations were summarized in Table 1 and the evaluation results were summarized in Table 2.

【0080】[0080]

【表1】 [Table 1]

【0081】[0081]

【表2】 表2に示したように、実施例1〜20の高分子絶縁材料
は絶縁抵抗、誘電特性(比誘電率、誘電正接)、半田耐
熱性、吸水率及び耐溶剤性のいずれも良好である。これ
に対し、架橋性単量体を含んでいない比較例1〜4では
耐溶剤性が悪く、しかも半田耐熱性と吸水率が低下する
場合がある。
[Table 2] As shown in Table 2, the polymer insulating materials of Examples 1 to 20 have good insulation resistance, dielectric properties (relative permittivity, dielectric loss tangent), solder heat resistance, water absorption, and solvent resistance. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 4 containing no crosslinkable monomer, the solvent resistance is poor, and the solder heat resistance and the water absorption may decrease.

【0082】<積層体の評価> (実施例21)DcHF 900重量部、PDAP(昭
和電工(株)社製、商品名BA901)100重量部、B
PO 20重量部、DCP 10重量部を配合して単量
体組成物を得、これをガラス織布(20cm角、厚さ6
0±2μm、旭シュエーベル社製Eガラス)12枚に含
浸させた。このシートを12枚重ねさらにその上下両側
に厚さ18μmの銅箔(福田導体箔粉工業(株)社製)を
重ね、90℃、1時間、4.9×10-3MPa(0.0
5kg/cm2)の条件でプレス成形した後、さらに1
50℃、5時間、19.6×10-3MPa(0.2kg
/cm2)の条件、次いで170℃、2時間、49×1
-3MPa(0.5kg/cm2)の条件でプレス成形
した。その結果、厚さ0.8mmの積層体を得た。
<Evaluation of Laminated Body> (Example 21) 900 parts by weight of DcHF, 100 parts by weight of PDAP (trade name BA901, manufactured by Showa Denko KK), B
20 parts by weight of PO and 10 parts by weight of DCP were blended to obtain a monomer composition, which was woven on a glass woven fabric (20 cm square, thickness 6 cm).
0 ± 2 μm, 12 sheets of E glass (Asahi Schwebel). Overlapping the sheets of 12 ply further thickness 18μm on the upper and lower sides a copper foil (manufactured by Fukuda conductor Foil & Powder Industry Co. Ltd.), 90 ° C., 1 hour, 4.9 × 10 -3 MPa (0.0
After press molding under the condition of 5 kg / cm 2 ),
50 ° C., 5 hours, 19.6 × 10 −3 MPa (0.2 kg
/ Cm 2 ), then 170 ° C., 2 hours, 49 × 1
Press molding was performed under the conditions of 0 −3 MPa (0.5 kg / cm 2 ). As a result, a laminate having a thickness of 0.8 mm was obtained.

【0083】<絶縁抵抗の評価>両面の銅箔をエッチン
グによって除き、JISC6481に従い40mm×2
0mmのシートにカットし、直径5mmの穴2個を15
mmの間隔にあけテーパピンを押し込み電極とした。直
流500Vを測定電圧として用いて1分間の充電後絶縁
抵抗を測定した。
<Evaluation of Insulation Resistance> The copper foil on both sides was removed by etching, and 40 mm × 2 in accordance with JIS C6481.
Cut into 0mm sheet and insert 2 holes of 5mm diameter into 15mm
A tapered pin was provided at an interval of mm to serve as a pushing electrode. The insulation resistance was measured after charging for 1 minute using 500 V DC as the measurement voltage.

【0084】<誘電特性の評価>両面の銅箔をエッチン
グによって除き、10cm×1.0mmのスティックに
カットし、これについて空洞共振器摂動法複素誘電率評
価装置を用い、測定周波数が2GHzのときの比誘電率
及び誘電正接を測定した。
<Evaluation of Dielectric Characteristics> The copper foil on both sides was removed by etching, and cut into sticks of 10 cm × 1.0 mm. Using a complex permittivity evaluator using a cavity resonator perturbation method, when the measurement frequency was 2 GHz. Was measured for relative permittivity and dielectric loss tangent.

【0085】<半田耐熱性の評価>50mm×3mmの
シートにカットし、これを260℃の半田浴に120秒
間浸漬し、外観を評価した。色、形状の変化がなければ
○とし、それ以外を×とした。
<Evaluation of Solder Heat Resistance> A sheet of 50 mm × 3 mm was cut, immersed in a solder bath at 260 ° C. for 120 seconds, and the appearance was evaluated. If there was no change in color or shape, it was evaluated as ○, and the others were evaluated as ×.

【0086】<吸水性の評価>両面の銅箔をエッチング
によって除き、JISC6481に準拠して50mm×
50mmのシートにカットして吸水率(%)を測定し
た。
<Evaluation of Water Absorption> The copper foil on both sides was removed by etching, and 50 mm × according to JIS C6481.
The sheet was cut into a 50 mm sheet, and the water absorption (%) was measured.

【0087】<耐溶剤性の評価>両面の銅箔をエッチン
グによって除き、JISC6481に準拠して25mm
×25mmのシートにカットし、トルエン及び塩化メチ
レンに浸漬してその外観を評価した。膨潤、荒れ等の形
状の変化がなければ○とし、それ以外を×とした。
<Evaluation of Solvent Resistance> The copper foil on both sides was removed by etching, and 25 mm in accordance with JIS C6481.
The sheet was cut into a × 25 mm sheet, immersed in toluene and methylene chloride, and its appearance was evaluated. If there was no change in shape such as swelling or roughness, it was evaluated as ○, and the others were evaluated as ×.

【0088】以上の配合を表3、評価結果を表4にまと
めた。 (実施例22〜25)フマル酸ジエステル、架橋性単量
体、開始剤、他のビニル系単量体の種類及び配合量を変
えた以外は実施例21と同様に試料を作製し、各特性を
評価した。それらの配合を表3、評価結果を表4にまと
めた。
The above formulations are summarized in Table 3 and the evaluation results are summarized in Table 4. (Examples 22 to 25) Samples were prepared in the same manner as in Example 21 except that the types and amounts of the fumaric acid diester, the crosslinkable monomer, the initiator, and other vinyl monomers were changed, and the respective properties were changed. Was evaluated. Table 3 shows the blends, and Table 4 shows the evaluation results.

【0089】(比較例5)DcHF1000重量部、B
PO20重量部及びDCP10重量部を配合し、実施例
21と同様に試料を作製し、各特性を評価した。その結
果を表4にまとめた。
(Comparative Example 5) 1000 parts by weight of DcHF, B
20 parts by weight of PO and 10 parts by weight of DCP were blended to prepare a sample in the same manner as in Example 21, and each characteristic was evaluated. Table 4 summarizes the results.

【0090】(比較例6)比較例2で調製した重合体P
CHIP150重量部をトルエン850重量部に溶解
し、加圧濾過によってワニスを調整した。このワニスを
ガラス織布(20cm角、厚さ60±2μm、旭シュエ
ーベル社製Eガラス)12枚に含浸させた。
(Comparative Example 6) Polymer P prepared in Comparative Example 2
150 parts by weight of CHIP was dissolved in 850 parts by weight of toluene, and a varnish was prepared by filtration under pressure. This varnish was impregnated into 12 glass woven cloths (20 cm square, 60 ± 2 μm thick, E glass manufactured by Asahi Schwebel).

【0091】各シートを40℃の乾燥機中にてトルエン
残存量が10〜30重量%になるまで乾燥し、シート1
2枚を重ね、さらにその両側に厚さ18μmの銅箔を重
ね、150℃、2時間、0.294MPa(3kg/c
2)の条件でプレス成形した。その結果、厚さ0.8
mmの積層体を得た。この積層体を用いて実施例21と
同様に試料を作製し、各特性を評価した。その配合を表
3、評価結果を表4にまとめた。
Each sheet was dried in a dryer at 40 ° C. until the residual amount of toluene became 10 to 30% by weight.
Two sheets were superposed, and a copper foil having a thickness of 18 μm was further superposed on both sides thereof.
m 2 ). As a result, the thickness 0.8
mm was obtained. Using this laminated body, a sample was prepared in the same manner as in Example 21, and each characteristic was evaluated. The composition is summarized in Table 3 and the evaluation results are summarized in Table 4.

【0092】[0092]

【表3】 [Table 3]

【0093】[0093]

【表4】 表4に示したように、実施例21〜25の積層板は絶縁
抵抗、誘電特性(比誘電率、誘電正接)、半田耐熱性、
吸水率及び耐溶剤性のいずれも良好である。これに対
し、架橋性単量体を含んでいない比較例5では半田耐熱
性及び耐溶剤性が悪く、また有機溶剤を含む比較例6で
は耐溶剤性に劣る。
[Table 4] As shown in Table 4, the laminates of Examples 21 to 25 had insulation resistance, dielectric properties (relative permittivity, dielectric loss tangent), solder heat resistance,
Both water absorption and solvent resistance are good. On the other hand, Comparative Example 5 containing no crosslinking monomer has poor solder heat resistance and solvent resistance, and Comparative Example 6 containing an organic solvent has poor solvent resistance.

【0094】<ビルドアップ材の評価> (実施例26)DcHF 60重量部、DiPF 25
重量部、PDAP 15重量部、TBPZ 2重量部及
びシリカゲル(平均粒径10μm)10重量部を配合し
て単量体組成物を得た後、前処理を施した両面銅張りの
ガラスエポキシ基板(住友ベークライト製のFR−4)
上にバーコーターを用いて単量体組成物を塗布した。そ
して、窒素雰囲気下で80℃から130℃まで15時間
かけて昇温して硬化し、有機樹脂絶縁層を形成した。
<Evaluation of Build-up Material> (Example 26) DcHF 60 parts by weight, DiPF 25
Parts by weight, 15 parts by weight of PDAP, 2 parts by weight of TBPZ, and 10 parts by weight of silica gel (average particle size: 10 μm) to obtain a monomer composition, and then a pre-treated double-sided copper-clad glass epoxy substrate ( Sumitomo Bakelite FR-4)
The monomer composition was applied thereon using a bar coater. Then, the temperature was raised from 80 ° C. to 130 ° C. in a nitrogen atmosphere over 15 hours to cure, thereby forming an organic resin insulating layer.

【0095】次いで、90℃に保たれた8規定のKOH
水溶液に60分間浸漬することにより、有機樹脂絶縁層
の表面にあるシリカゲルを除去して表面に微細な凹凸を
形成した後、表面をSEMにより観察した。このとき、
表面に凹凸がみられたものを○、みられなかったものを
×とした。その結果を表5にまとめた。
Next, 8N KOH kept at 90 ° C.
After immersion in an aqueous solution for 60 minutes, the silica gel on the surface of the organic resin insulating layer was removed to form fine irregularities on the surface, and the surface was observed by SEM. At this time,
A sample having irregularities on the surface was evaluated as ○, and a sample without irregularities was evaluated as ×. Table 5 summarizes the results.

【0096】(実施例27)シリカゲルに代えて炭酸カ
ルシウムを使用した以外は実施例26と同様に配合、塗
布、硬化し、有機樹脂絶縁層を形成した。そして、室温
下に10%硫酸に10分間浸漬することにより、有機樹
脂絶縁層の表面にある炭酸カルシウムを除去して絶縁層
の表面に微細な凹凸を形成した後、表面をSEMにより
観察した。その結果を表5にまとめた。
Example 27 An organic resin insulating layer was formed in the same manner as in Example 26 except that calcium carbonate was used instead of silica gel. Then, calcium carbonate on the surface of the organic resin insulating layer was removed by immersion in 10% sulfuric acid at room temperature for 10 minutes to form fine irregularities on the surface of the insulating layer, and the surface was observed by SEM. Table 5 summarizes the results.

【0097】(実施例28)DcHF 50重量部、D
iPF 35重量部、PDAP 15重量部、TBPZ
2重量部、ポリスチレン(エー・アンド・エム・スチ
レン(株)製 ダイヤレックスHF77)10重量部を
配合して単量体組成物を得、これを実施例26と同様に
塗布、硬化し、絶縁層を形成した。そして、75℃に保
たれたクロム酸混合液(クロム酸 200g/L、濃硫
酸 550g/L)に10分間、90℃に保たれた8規
定のKOH水溶液に60分間、再び75℃のクロム酸混
合液に10分間浸漬することにより、絶縁層の表面にあ
るポリスチレンを除去して絶縁層の表面に微細な凹凸を
形成した後、表面をSEMにより観察した。その結果を
表5にまとめた。
(Example 28) 50 parts by weight of DcHF, D
35 parts by weight of iPF, 15 parts by weight of PDAP, TBPZ
2 parts by weight and 10 parts by weight of polystyrene (A & M Styrene Co., Ltd., Dialex HF77) were blended to obtain a monomer composition, which was applied and cured in the same manner as in Example 26 to obtain an insulating material. A layer was formed. Then, a chromic acid mixed solution (chromic acid 200 g / L, concentrated sulfuric acid 550 g / L) kept at 75 ° C. was added for 10 minutes, and an 8N aqueous KOH solution kept at 90 ° C. for 60 minutes, and again at 75 ° C. After immersion in the mixed solution for 10 minutes to remove polystyrene on the surface of the insulating layer and form fine irregularities on the surface of the insulating layer, the surface was observed by SEM. Table 5 summarizes the results.

【0098】(実施例29)実施例28の組成にさらに
シリカゲル(粒径3μm)を添加した以外は実施例26
と同様に配合、塗布、硬化し、絶縁層を形成した。そし
て、実施例28と同様にクロム酸混合液および8規定の
KOH水溶液に浸漬することにより、絶縁層の表面にあ
るフィラーを除去して絶縁層の表面に微細な凹凸を形成
した後、表面をSEMにより観察した。その結果を表5
にまとめた。
Example 29 Example 26 was repeated except that silica gel (particle size: 3 μm) was further added to the composition of Example 28.
In the same manner as in the above, the mixture was applied, coated and cured to form an insulating layer. Then, by immersing in a chromic acid mixed solution and an 8N KOH aqueous solution in the same manner as in Example 28, the filler on the surface of the insulating layer was removed to form fine irregularities on the surface of the insulating layer. Observed by SEM. Table 5 shows the results.
Summarized in

【0099】[0099]

【表5】 表5に示したように、実施例26〜29の絶縁層は表面
に凹凸が形成されており、メッキの密着性が向上する。
[Table 5] As shown in Table 5, the insulating layers of Examples 26 to 29 have irregularities on the surface, and the adhesion of plating is improved.

【0100】さらに、実施例29の絶縁層上にメルテッ
クス社のメッキプロセスに従って厚さ50μmの銅メッ
キを施し、JIS C 6481に基づいて剥離試験を
行った。その結果を表6にまとめた。
Further, a copper plating having a thickness of 50 μm was applied to the insulating layer of Example 29 according to a plating process of Meltex Co., Ltd., and a peeling test was performed based on JIS C6481. Table 6 summarizes the results.

【0101】[0101]

【表6】 表6に示したように、実施例29ではメッキの剥離強度
は良好であり、絶縁層と銅メッキ層との密着性が良好で
あることを示している。
[Table 6] As shown in Table 6, in Example 29, the peel strength of the plating was good, indicating that the adhesion between the insulating layer and the copper plating layer was good.

【0102】<接着剤の評価> (実施例30)DcHF 70重量部、PDAP 10
重量部、St 10重量部、SIS#5125 10重
量部、PH3M 2重量部を配合して単量体組成物を
得、これを表面銅箔をエッチングによって除いたガラス
エポキシ基板(FR−4住友ベークライト社製)上にバ
ーコーターを用いて塗布した。さらに、厚さ18μmの
銅箔をゴムローラーで気泡を取り除きながら圧着し、1
20℃、10時間、0.294MPa(3kg/c
2)の条件でプレス成形した。その結果、厚さ0.8
mmの積層体を得た。
<Evaluation of Adhesive> (Example 30) 70 parts by weight of DcHF, PDAP 10
Parts by weight, 10 parts by weight of St, 10 parts by weight of SIS # 5125, and 2 parts by weight of PH3M to obtain a monomer composition, from which a surface copper foil was removed by etching to obtain a glass epoxy substrate (FR-4 Sumitomo Bakelite). Co., Ltd.) using a bar coater. Furthermore, a copper foil having a thickness of 18 μm was pressed with a rubber roller while removing air bubbles, and
20 ° C, 10 hours, 0.294 MPa (3 kg / c
m 2 ). As a result, the thickness 0.8
mm was obtained.

【0103】そして、実施例1と同様に、エッチングに
よって導体を除去した後、絶縁抵抗、半田耐熱性、吸水
性及び耐溶剤性を評価した。さらに、JISC5012
に従い、セロハンテープによる基盤目試験により銅箔の
密着性を評価した。このとき、基板表面から銅箔が剥離
しなかったものを○、剥離したものを×とした。その結
果を表7にまとめた。
After removing the conductor by etching in the same manner as in Example 1, the insulation resistance, solder heat resistance, water absorption and solvent resistance were evaluated. Furthermore, JISC5012
The adhesiveness of the copper foil was evaluated by a base test using a cellophane tape. At this time, the case where the copper foil did not peel off from the substrate surface was evaluated as ○, and the case where the copper foil was peeled was evaluated as ×. Table 7 summarizes the results.

【0104】(実施例31)DiPF 70重量部、Ph
BMI 10重量部、St 10重量部、SIS#20
02 10重量部、PH3M 2重量部を配合して単量
体組成物を得た。これを表面銅箔をエッチングによって
除いたガラスエポキシ基板(FR−4住友ベークライト
社製)上にバーコーターを用いて塗布し、さらに厚さ1
8μmの銅箔をゴムローラーで気泡を取り除きながら圧
着し、120℃、10時間、0.294MPa(3kg
/cm2)の条件でプレス成形した。その結果、厚さ
0.8mmの積層体を得た。
(Example 31) 70 parts by weight of DiPF, Ph
BMI 10 parts by weight, St 10 parts by weight, SIS # 20
02 10 parts by weight and PH3M 2 parts by weight were blended to obtain a monomer composition. This was applied on a glass epoxy substrate (FR-4 manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) from which the surface copper foil was removed by etching, using a bar coater, and further having a thickness of 1 mm.
An 8 μm copper foil was pressed with a rubber roller while removing air bubbles, and was heated at 120 ° C. for 10 hours at 0.294 MPa (3 kg).
/ Cm 2 ). As a result, a laminate having a thickness of 0.8 mm was obtained.

【0105】実施例1と同様に、エッチングによって導
体を除去した後、絶縁抵抗、半田耐熱性、吸水性及び耐
溶剤性を評価した。さらに、JISC5012に従い、
セロハンテープによる基盤目試験により銅箔の密着性を
評価した。このとき、基板表面から銅箔が剥離しなかっ
たものを○、剥離したものを×とした。その結果を表7
にまとめた。
After the conductor was removed by etching in the same manner as in Example 1, insulation resistance, solder heat resistance, water absorption and solvent resistance were evaluated. Furthermore, according to JISC5012,
The adhesion of the copper foil was evaluated by a basement test using cellophane tape. At this time, the case where the copper foil did not peel off from the substrate surface was evaluated as ○, and the case where the copper foil peeled was evaluated as ×. Table 7 shows the results.
Summarized in

【0106】(比較例7)DcHF 90重量部、SI
S#5125 10重量部、PH3M 2重量部を配合
して単量体組成物を得た。これを表面銅箔をエッチング
によって除いたガラスエポキシ基板上にバーコーターを
用いて塗布し、さらに厚さ18μmの銅箔をゴムローラ
ーで気泡を取り除きながら圧着し、120℃、10時
間、0.294MPa(3kg/cm2)の条件でプレ
ス成形した。その結果、厚さ0.8mmの積層体を得
た。これを実施例26と同様に評価し、その結果を表7
にまとめた。
Comparative Example 7 90 parts by weight of DcHF, SI
A monomer composition was obtained by blending 10 parts by weight of S # 5125 and 2 parts by weight of PH3M. This was applied on a glass epoxy substrate from which the surface copper foil was removed by etching using a bar coater, and further, a copper foil having a thickness of 18 μm was pressure-bonded with a rubber roller while removing air bubbles, at 120 ° C. for 10 hours at 0.294 MPa. (3 kg / cm 2 ). As a result, a laminate having a thickness of 0.8 mm was obtained. This was evaluated in the same manner as in Example 26.
Summarized in

【0107】[0107]

【表7】 表7に示したように、実施例30及び31の接着剤は絶
縁抵抗、半田耐熱性、吸水率、耐溶剤性及び密着性のい
ずれも良好であり、耐久性に優れている。これに対し、
架橋性単量体を含んでいない比較例7では耐溶剤性及び
密着性に劣る。
[Table 7] As shown in Table 7, the adhesives of Examples 30 and 31 have good insulation resistance, solder heat resistance, water absorption, solvent resistance and adhesion, and are excellent in durability. In contrast,
Comparative Example 7, which does not contain a crosslinkable monomer, is inferior in solvent resistance and adhesion.

【0108】<アンダーフィル材の評価> (実施例32)DcHF 30重量部、PDAP 5重
量部、SIS#5125 5重量部、溶融シリカ 60
重量部、PH3M 2重量部、TBPZ 1重量部を配
合して単量体組成物を得た。そして、電極パッドを有す
るガラスエポキシ樹脂上に半田ボールを介してフリップ
チップを置き、リフロー炉を通過させ、電気的に接続し
た基板を用意し、このガラスエポキシ樹脂とフリップチ
ップとの間にできた隙間に上記単量体組成物を流し込
み、170℃で1時間加熱硬化した。
<Evaluation of Underfill Material> (Example 32) 30 parts by weight of DcHF, 5 parts by weight of PDAP, 5 parts by weight of SIS # 5125, 60 parts of fused silica
By weight, 2 parts by weight of PH3M and 1 part by weight of TBPZ were blended to obtain a monomer composition. Then, a flip chip was placed on a glass epoxy resin having electrode pads via a solder ball, passed through a reflow furnace, and an electrically connected substrate was prepared, and a substrate was formed between the glass epoxy resin and the flip chip. The monomer composition was poured into the gap, and heated and cured at 170 ° C. for 1 hour.

【0109】<熱衝撃性試験>前記フリップチップを実
装した基盤を−55℃で30分、続いて室温で5分、そ
の後150℃で30分さらに室温で5分の温度サイクル
を500回繰り返すことによって、半導体チップ−基板
間の密着性及びクラックの有無を調べた。その結果、半
導体チップ−基板間の密着性及びクラックは認められ
ず、また外観も異常が認められなかった。
<Thermal shock test> A temperature cycle of the substrate on which the flip chip was mounted at -55 ° C for 30 minutes, then at room temperature for 5 minutes, then at 150 ° C for 30 minutes, and then at room temperature for 5 minutes was repeated 500 times. Then, the adhesion between the semiconductor chip and the substrate and the presence or absence of cracks were examined. As a result, no adhesiveness and cracks between the semiconductor chip and the substrate were observed, and no abnormal appearance was observed.

【0110】(実施例33)DiPF 30重量部、C
HDVE 5重量部、SIS#5125 5重量部、溶
融シリカ 60重量部、PH3M 2重量部及びTBP
Z 1重量部を配合して単量体組成物を得た。一方、電
極パッドを有するガラスエポキシ樹脂上に半田ボールを
介してフリップチップを置き、リフロー炉を通過させ、
電気的に接続した基板を用意した。このガラスエポキシ
樹脂とフリップチップとの間にできた隙間に上記単量体
組成物を流し込み、170℃で1時間加熱硬化した。そ
して、実施例32と同様に熱衝撃性試験を行った。その
結果、半導体チップ−基板間の密着性及びクラックは認
められず、また外観も異常が認められなかった。
(Example 33) 30 parts by weight of DiPF, C
HDVE 5 parts by weight, SIS # 5125 5 parts by weight, fused silica 60 parts by weight, PH3M 2 parts by weight and TBP
Z was mixed with 1 part by weight to obtain a monomer composition. On the other hand, a flip chip is placed on a glass epoxy resin having an electrode pad via a solder ball and passed through a reflow furnace,
An electrically connected substrate was prepared. The monomer composition was poured into a gap formed between the glass epoxy resin and the flip chip, and was cured by heating at 170 ° C. for 1 hour. Then, a thermal shock test was performed in the same manner as in Example 32. As a result, no adhesiveness and cracks between the semiconductor chip and the substrate were observed, and no abnormal appearance was observed.

【0111】(比較例8)DiPF 35重量部、SI
S#5125 5重量部、溶融シリカ 60重量部、及
び開始剤としてPH3M 2重量部、TBPZ 1重量
部を配合して単量体組成物を得た。これを実施例32と
同様に評価した。その結果、半導体チップ−基板間にク
ラックが認められた。
(Comparative Example 8) 35 parts by weight of DiPF, SI
A monomer composition was obtained by mixing 5 parts by weight of S # 5125, 60 parts by weight of fused silica, 2 parts by weight of PH3M, and 1 part by weight of TBPZ as an initiator. This was evaluated in the same manner as in Example 32. As a result, cracks were observed between the semiconductor chip and the substrate.

【0112】(比較例9)PDcHF35重量部、SI
S#5125 5重量部、溶融シリカ60重量部、To
l200重量部及びt−BuBz10重量部を配合し、
スピンコーターを用いてシリコンウェハー上に塗布し6
0℃、1分間窒素ガス中で乾燥させてトルエンだけを除
去させた。この操作を繰り返して厚さ25μmで残存す
るt−BuBzが20%のフィルムを調製した。次に、
このフィルムをフリップチップ接続用の電極パッドを有
するガラスエポキシ樹脂上に置き、その上に半導体チッ
プを置いて真空下で250℃、1時間加熱圧着した。こ
の試料を用いて実施例32と同様に評価した。その結
果、半導体チップ−基板間にクラックが認められた。
(Comparative Example 9) 35 parts by weight of PDcHF, SI
S # 5125 5 parts by weight, fused silica 60 parts by weight, To
1200 parts by weight and 10 parts by weight of t-BuBz are blended,
Apply onto a silicon wafer using a spin coater 6
Drying was performed in nitrogen gas at 0 ° C. for 1 minute to remove only toluene. This operation was repeated to prepare a film having a thickness of 25 μm and remaining t-BuBz of 20%. next,
This film was placed on a glass epoxy resin having an electrode pad for flip chip connection, a semiconductor chip was placed thereon, and heated and pressed at 250 ° C. for 1 hour under vacuum. This sample was evaluated in the same manner as in Example 32. As a result, cracks were observed between the semiconductor chip and the substrate.

【0113】<異方導電膜の評価> (実施例34)DcHF 65重量部、PDAP 20
重量部、SIS#5125 10重量部、導電性粉末と
してカーボンブラック(平均粒径0.1μm)5重量
部、粘度調整剤としてTol 100重量部、及びPH
3M 2重量部、TBPZ 1重量部を配合して単量体
組成物を得た。そして、接続テスト用基板として、1.6m
m厚ガラスエポキシ材ベースで35μm銅箔の基板を使
用し、線間・線幅各125μmピッチのラインパターン
を形成した。この基板上に上記単量体組成物をスクリー
ン印刷により塗布し、60℃、3分間窒素ガス中で乾燥
させた。
<Evaluation of Anisotropic Conductive Film> (Example 34) 65 parts by weight of DcHF, PDAP 20
Parts by weight, 10 parts by weight of SIS # 5125, 5 parts by weight of carbon black (average particle size: 0.1 μm) as a conductive powder, 100 parts by weight of Tol as a viscosity modifier, and PH
A monomer composition was obtained by mixing 2 parts by weight of 3M and 1 part by weight of TBPZ. And as a connection test board, 1.6m
A line pattern having a pitch of 125 μm between lines and a line width of 125 μm was formed using a substrate of 35 μm copper foil based on an m-thick glass epoxy material. The monomer composition was applied on the substrate by screen printing, and dried in a nitrogen gas at 60 ° C. for 3 minutes.

【0114】次に、窒素置換したガラスセル内にて10
0℃1時間硬化させ、厚さ20μmのタックフリーのフ
ィルムを得た。このフィルム上に上記と同じ接続テスト
用基板を、両基板上の対応する電極間の位置整合を行っ
て張り合わせ、0.98MPa(10kg/cm2)、
180℃、1分間加熱圧着した。
Next, 10 minutes in a glass cell purged with nitrogen.
The composition was cured at 0 ° C. for 1 hour to obtain a tack-free film having a thickness of 20 μm. On the film, the same connection test substrate as described above was bonded by performing positional alignment between the corresponding electrodes on both substrates, and was bonded at 0.98 MPa (10 kg / cm 2 ).
It was heated and pressed at 180 ° C. for 1 minute.

【0115】<接触抵抗の評価>接触面積0.15×3.0mm
で測定した。 <熱衝撃性試験>前記半導体チップを実装した基盤を−
55℃、30分、続いて室温、5分、さらに150℃、
30分、次いで室温、5分の温度サイクルを500回繰
り返すことによって、半導体チップ−基盤間の密着性及
びクラックの有無を調べた。その際、外観に異常が認め
られないものを○、チップの脱落、層間でクラックが発
生したものを×とした。
<Evaluation of contact resistance> Contact area 0.15 × 3.0 mm
Was measured. <Thermal shock test>
55 ° C., 30 minutes, then room temperature, 5 minutes, further 150 ° C.,
By repeating a temperature cycle for 30 minutes and then at room temperature for 5 minutes 500 times, the adhesion between the semiconductor chip and the substrate and the presence or absence of cracks were examined. At that time, those in which no abnormality was observed in appearance were evaluated as ○, and those in which chips fell off or cracks occurred between layers were evaluated as ×.

【0116】<PCT(プレッシャークッカーテスト)
>前記半導体チップを実装した基板を湿度100%、温
度105℃、2atmの条件で30分間放置し、半導体
チップ−基板間の密着性及びクラックの有無を調べた。
その際、外観に異常が認められないものを○、チップの
脱落、層間でクラックが発生したものを×とした。その
結果を表8にまとめた。
<PCT (pressure cooker test)
> The substrate on which the semiconductor chip was mounted was left for 30 minutes under conditions of 100% humidity, 105 ° C. and 2 atm, and the adhesion between the semiconductor chip and the substrate and the presence or absence of cracks were examined.
At that time, those in which no abnormality was observed in appearance were evaluated as ○, and those in which chips fell off or cracks occurred between layers were evaluated as ×. Table 8 summarizes the results.

【0117】(実施例35)DiPF 65重量部、C
HDVE 20重量部、SIS#5125 10重量
部、カーボンブラック 5重量部、Tol 100重量
部、及びPH3M 2重量部、TBPZ 1重量部を配
合して単量体組成物を得た。以下、実施例34と同様に
調製、評価し、その結果を表8にまとめた。
(Example 35) 65 parts by weight of DiPF, C
20 parts by weight of HDVE, 10 parts by weight of SIS # 5125, 5 parts by weight of carbon black, 100 parts by weight of Tol, 2 parts by weight of PH3M, and 1 part by weight of TBPZ were mixed to obtain a monomer composition. Hereinafter, preparation and evaluation were performed in the same manner as in Example 34, and the results are summarized in Table 8.

【0118】(比較例10)DcHF 75重量部、S
IS#5125 10重量部、カーボンブラック5重量
部、Tol 100重量部、及びPH3M 2重量部、
TBPZ 1重量部を配合して単量体組成物を得た。こ
れを実施例30と同様に調製、評価し、その結果を表8
にまとめた。
(Comparative Example 10) 75 parts by weight of DcHF, S
IS # 5125 10 parts by weight, carbon black 5 parts by weight, Tol 100 parts by weight, PH3M 2 parts by weight,
One part by weight of TBPZ was blended to obtain a monomer composition. This was prepared and evaluated in the same manner as in Example 30, and the results were shown in Table 8.
Summarized in

【0119】(比較例11)PCHIP 20重量部、
SIS#5125 2重量部、カーボンブラック1重量
部、Tol 70重量部、t−BuBz 10重量部を
配合し単量体組成物を得た。これを実施例30と同様に
調製、評価し、その結果を表8にまとめた。
(Comparative Example 11) 20 parts by weight of PCHIP,
A monomer composition was obtained by blending 2 parts by weight of SIS # 5125, 1 part by weight of carbon black, 70 parts by weight of Tol, and 10 parts by weight of t-BuBz. This was prepared and evaluated in the same manner as in Example 30, and the results are summarized in Table 8.

【0120】[0120]

【表8】 表8に示したように、実施例34及び35の異方導電膜
は接触抵抗、熱衝撃性及びPCTのいずれも良好であ
り、耐久性に優れるものである。これに対し、架橋性単
量体を含んでおらず、有機溶剤を含む比較例10及び1
1では接触抵抗が低く、熱衝撃性及びPCTに劣る。
[Table 8] As shown in Table 8, the anisotropic conductive films of Examples 34 and 35 have good contact resistance, thermal shock resistance, and PCT, and are excellent in durability. In contrast, Comparative Examples 10 and 1 which did not contain a crosslinkable monomer and contained an organic solvent
In the case of 1, the contact resistance is low, and the thermal shock resistance and the PCT are inferior.

【0121】<半導体用層間絶縁膜の評価> (実施例36)DcHF 8.5重量部、HDVE
1.5重量部、Tol 200重量部及びBPO 0.
2重量部を配合して単量体組成物を得、スピンコーター
を用いてシリコンウェハー上に上記単量体組成物を塗布
し、60℃、30秒間乾燥させたところ膜厚は200n
mであった。この操作を10回繰り返し、2μmの膜を
作製した。マイクロカッターを用いてカットし、断面を
電子顕微鏡で観察したところ、厚み変化は3%以下であ
り、平滑性に問題がなかった。窒素置換したガラスセル
内で75℃、24時間加熱した。次に、真空蒸着装置
(真空機工社製、VPC−260)を用いてアルミニウ
ムを蒸着させ、上部及び下部に電極を形成した。
<Evaluation of Interlayer Insulating Film for Semiconductor> (Example 36) 8.5 parts by weight of DcHF, HDVE
1.5 parts by weight, 200 parts by weight of Tol and 0.
The monomer composition was obtained by mixing 2 parts by weight, and the monomer composition was applied on a silicon wafer using a spin coater and dried at 60 ° C. for 30 seconds.
m. This operation was repeated 10 times to produce a 2 μm film. When cut using a microcutter and the cross section was observed with an electron microscope, the change in thickness was 3% or less, and there was no problem in smoothness. Heated at 75 ° C. for 24 hours in a glass cell purged with nitrogen. Next, aluminum was deposited using a vacuum deposition apparatus (VPC-260, manufactured by Vacuum Kiko Co., Ltd.) to form electrodes on the upper and lower parts.

【0122】<比誘電率の測定>誘電体測定電極HP1
6451B及びプレシジョンLCRメータHP4285
A(日本ヒューレットパッカード社製)を用い、周波数
1MHzにおける上記フィルムの比誘電率を測定した。
<Measurement of relative permittivity> Dielectric measurement electrode HP1
6451B and Precision LCR Meter HP4285
A (manufactured by Hewlett-Packard Japan) was used to measure the relative dielectric constant of the film at a frequency of 1 MHz.

【0123】<耐熱性の評価>上記フィルムをシリコン
ウェハー上から剥がして熱重量分析を行った。そして、
350℃において熱分解による重量減少が認められなか
った場合を○、他のものを×とした。
<Evaluation of Heat Resistance> The film was peeled off from the silicon wafer and subjected to thermogravimetric analysis. And
At 350 ° C., no loss in weight due to thermal decomposition was observed, and 、 was given for the others.

【0124】<密着性の評価>実施例34に記載のPC
T条件下にて試験した後、JISC−5012に従い、
セロハンテープによる基盤目試験によって密着性を評価
した。そして、ウェハー上から剥離しなかったものを
○、剥離したものを×とした。その結果を表9にまとめ
た。
<Evaluation of Adhesion> PC described in Example 34
After testing under T conditions, according to JISC-5012,
Adhesion was evaluated by a basement test using cellophane tape. Then, those that did not peel off from the wafer were rated as ○, and those that peeled off were rated X. Table 9 summarizes the results.

【0125】(実施例37)DiPF 8.5重量部、
CHDVE 1.5重量部、Tol 200重量部、B
PO 0.2重量部を配合して単量体組成物を得た。そ
して、実施例36と同様に調製評価し、その結果を表9
にまとめた。
(Example 37) 8.5 parts by weight of DiPF
CHDVE 1.5 parts by weight, Tol 200 parts by weight, B
A monomer composition was obtained by mixing 0.2 parts by weight of PO. The preparation was evaluated in the same manner as in Example 36.
Summarized in

【0126】(比較例12)DcHF 10重量部、T
ol 200重量部及びBPO 0.2重量部を配合し
て単量体組成物を得た。そして、実施例36と同様に調
製評価し、その結果を表9にまとめた。
(Comparative Example 12) 10 parts by weight of DcHF, T
ol 200 parts by weight and BPO 0.2 parts by weight were blended to obtain a monomer composition. Then, the preparation was evaluated in the same manner as in Example 36, and the results are summarized in Table 9.

【0127】(比較例13)PDcHF 10重量部、
Tol 200重量部からなるワニスを配合し、スピン
コーターを用いてシリコンウェハー上に塗布し、200
℃、30秒間乾燥させたところ膜厚は200nmであっ
た。この操作を10回繰り返して2μmの膜を作製し
た。ところが、マイクロカッターを用いてカットし、断
面を電子顕微鏡で観察したところ厚み変化は10%で、
波打っていることが観察された。次に、真空蒸着装置を
用いてアルミニウムを蒸着させ、上部及び下部に電極を
形成した。これを用いて実施例36と同様に評価し、そ
の結果を表9にまとめた。
(Comparative Example 13) PDcHF 10 parts by weight,
A varnish consisting of 200 parts by weight of Tol was blended and applied on a silicon wafer using a spin coater.
The film was dried at 30 ° C. for 30 seconds and found to have a thickness of 200 nm. This operation was repeated 10 times to produce a 2 μm film. However, when it was cut using a micro cutter and the cross section was observed with an electron microscope, the change in thickness was 10%.
Rippling was observed. Next, aluminum was deposited using a vacuum deposition apparatus, and electrodes were formed on the upper and lower portions. Using this, evaluation was performed in the same manner as in Example 36, and the results are summarized in Table 9.

【0128】[0128]

【表9】 表9に示したように、実施例36及び37の半導体用層
間絶縁膜は比誘電率、耐熱性及び密着性のいずれも良好
であり、耐久性に優れている。これに対し、架橋性単量
体を含んでおらず、有機溶剤を含む比較例12及び13
では耐熱性及び密着性に劣る。
[Table 9] As shown in Table 9, the interlayer insulating films for semiconductors of Examples 36 and 37 have good relative dielectric constant, heat resistance and adhesion, and are excellent in durability. On the other hand, Comparative Examples 12 and 13 which did not contain a crosslinkable monomer and contained an organic solvent
Is inferior in heat resistance and adhesion.

【0129】<半導体用封止材の評価> (実施例38)DcHF 60重量部、DATP 30
重量部、SIS#5125 10重量部、溶融シリカ
(平均粒径5μm)150重量部及びDCP 2重量部
を配合し、3本ロールを用い80℃で分散混合及び真空
脱泡した。
<Evaluation of sealing material for semiconductor> (Example 38) 60 parts by weight of DcHF, DATP 30
Parts by weight, 10 parts by weight of SIS # 5125, 150 parts by weight of fused silica (average particle size: 5 μm) and 2 parts by weight of DCP were mixed, dispersed and mixed at 80 ° C. using three rolls, and vacuum defoamed.

【0130】次に、この組成物を用いてピングリッドア
レーをトランスファーモールド方式によって封止した。
硬化条件は150℃までを30分で昇温し、さらに15
0℃で2時間硬化することによってパッケージを成形し
た。
Next, using this composition, a pin grid array was sealed by a transfer molding method.
The curing condition was to raise the temperature to 150 ° C. in 30 minutes, and
The package was molded by curing at 0 ° C. for 2 hours.

【0131】<耐熱性の評価>上記パッケージを粉砕
し、樹脂部分の熱重量分析を行った。その結果、350
℃において熱分解による重量減少は認められなかった。
<Evaluation of Heat Resistance> The package was pulverized, and a thermogravimetric analysis of the resin portion was performed. As a result, 350
At ℃, no weight loss due to thermal decomposition was observed.

【0132】<PCT>実施例34に記載のPCT条件
下にて試験した後、光学顕微鏡(倍率:30倍)で観察
した。その結果、剥離、クラック等の外観の劣化は認め
られなかった。
<PCT> After the test under the PCT conditions described in Example 34, observation was made with an optical microscope (magnification: 30 times). As a result, appearance deterioration such as peeling and cracking was not observed.

【0133】(実施例39)DiPF 70重量部、T
MPTE 25重量部、SIS#5125 5重量部、
溶融シリカ(平均粒径5μm)150重量部及びDCP
2重量部を配合し、3本ロールを用いて80℃で分散
混合及び真空脱泡した。以下、実施例38と同様に調製
して評価した。その結果、熱分解による重量減少や外観
の劣化は認められなかった。
Example 39 70 parts by weight of DiPF, T
MPTE 25 parts by weight, SIS # 5125 5 parts by weight,
150 parts by weight of fused silica (average particle size 5 μm) and DCP
2 parts by weight were blended, and dispersed and mixed at 80 ° C. using a three-roll mill, followed by vacuum defoaming. Hereinafter, it was prepared and evaluated in the same manner as in Example 38. As a result, no weight loss or deterioration in appearance due to thermal decomposition was observed.

【0134】(比較例14)DcHF、SIS、溶融シ
リカ(平均粒径5μm)、DCPを配合し、3本ロール
を用い80℃で分散混合及び真空脱泡した。以下、実施
例38と同様にパッケージを成形し、同様の物性を評価
した。その結果、熱分解による重量減少が認められた。
また、PCTによってパッケージのクラックが認められ
た。
(Comparative Example 14) DcHF, SIS, fused silica (average particle size: 5 µm) and DCP were blended, dispersed and mixed at 80 ° C using three rolls, and vacuum defoamed. Thereafter, a package was molded in the same manner as in Example 38, and the same physical properties were evaluated. As a result, weight loss due to thermal decomposition was observed.
Further, cracks of the package were recognized by PCT.

【0135】<ソルダーレジスト材の評価> (実施例40)DcHF 60重量部、DVAd 30
重量部、SIS#2002 10重量部、溶融シリカ
(平均粒径5μm)20重量部、Tol 100重量部
及びDCP 2重量部を配合し、スクリーン印刷機(マ
イクロテック社製:MT-150RTV)を用いて、4
0μmのライン&スペースが描かれたシルクスクリーン
(NBC社製:V60)にて、ガラスエポキシ樹脂表面
にスクリーン印刷を行った。
<Evaluation of Solder Resist Material> (Example 40) 60 parts by weight of DcHF, DVAd 30
Parts by weight, 10 parts by weight of SIS # 2002, 20 parts by weight of fused silica (average particle size: 5 μm), 100 parts by weight of Tol and 2 parts by weight of DCP, and using a screen printing machine (MT-150RTV, manufactured by Microtech). And 4
Screen printing was performed on the surface of the glass epoxy resin using a silk screen (V60 manufactured by NBC) on which a line & space of 0 μm was drawn.

【0136】次に、窒素置換されたオーブン中150℃
で2時間の硬化を行った。得られたソルダーレジストを
顕微鏡にて観察したところ、50μmの膜厚と40μm
のライン&スペースが忠実に再現されていた。
Next, in an oven purged with nitrogen at 150 ° C.
For 2 hours. Observation of the obtained solder resist with a microscope revealed that the thickness was 50 μm and the thickness was 40 μm.
Line and space were faithfully reproduced.

【0137】<耐溶剤性の評価>JISC6481に準
拠して25mm×25mmのシートにカットし、Tol
及び塩化メチレンに浸漬し、その外観を評価した。その
結果、膨潤、荒れ等の形状の変化は認められなかった。
<Evaluation of Solvent Resistance> A sheet of 25 mm × 25 mm was cut in accordance with JIS C6481.
And immersed in methylene chloride to evaluate its appearance. As a result, no change in shape such as swelling and roughness was observed.

【0138】<密着性の評価>実施例34に記載のPC
T条件下にて試験した後、JISC−5012に従い、
セロハンテープによる碁盤目試験によって密着性を評価
した。その結果、皮膜は基板上から剥離しなかった。
<Evaluation of Adhesion> PC described in Example 34
After testing under T conditions, according to JISC-5012,
The adhesion was evaluated by a grid test using cellophane tape. As a result, the film did not peel off from the substrate.

【0139】(比較例15)DcHF 90重量部、S
IS#2002 10重量部、溶融シリカ(平均粒径5
μm)20重量部、Tol 100重量部及びDCP
2重量部を配合し、以下実施例40と同様にガラスエポ
キシ樹脂表面にレジスト膜を形成した。その結果、厚
み、ライン&スペースは実施例40と同様に忠実に再現
された。以下、耐溶剤性と密着性を評価した結果、To
l、塩化メチレン共に被膜の膨潤が認められ、さらに密
着性試験では剥離が認められた。
(Comparative Example 15) 90 parts by weight of DcHF, S
IS # 2002 10 parts by weight, fused silica (average particle size 5
μm) 20 parts by weight, Tol 100 parts by weight and DCP
2 parts by weight were blended, and a resist film was formed on the surface of the glass epoxy resin in the same manner as in Example 40. As a result, the thickness, line and space were faithfully reproduced as in Example 40. Hereinafter, as a result of evaluating solvent resistance and adhesion, To
Both 1 and methylene chloride showed swelling of the coating, and peeling was observed in the adhesion test.

【0140】なお、前記実施形態より把握される技術的
思想について以下に記載する。 ・ 前記熱分解型重合開始剤は有機過酸化物又はアゾ化
合物である請求項1から請求項3のいずれかに記載の高
分子絶縁材料。このように構成した場合、熱分解型重合
開始剤が金属を含まないため、得られる高分子絶縁材料
の電気特性を良好に維持することができる。
The technical ideas grasped from the above embodiment will be described below. The polymer insulating material according to any one of claims 1 to 3, wherein the thermal decomposition type polymerization initiator is an organic peroxide or an azo compound. In such a configuration, the thermal decomposition-type polymerization initiator does not contain a metal, and thus the electrical characteristics of the obtained polymer insulating material can be favorably maintained.

【0141】・ 前記単量体組成物は、さらに重合体又
は前記単量体以外のその他のビニル系単量体を含有する
ものである請求項1から請求項3のいずれかに記載の高
分子絶縁材料。このように構成した場合、高分子絶縁材
料の機械的強度、平滑性、塗膜と基材との密着性などの
特性を調整することができる。
The polymer according to any one of claims 1 to 3, wherein the monomer composition further contains a polymer or another vinyl monomer other than the monomer. Insulating material. With such a configuration, characteristics such as mechanical strength and smoothness of the polymer insulating material and adhesion between the coating film and the base material can be adjusted.

【0142】・ 前記加熱硬化は、有機溶剤の実質的な
非存在下で行われる請求項4に記載の高分子絶縁材料の
製造方法。この製造方法によれば、成形性ないし加工性
を向上させることができる。
The method for producing a polymer insulating material according to claim 4, wherein the heat curing is performed in the substantial absence of an organic solvent. According to this manufacturing method, moldability or workability can be improved.

【0143】・ その上にメッキによる導体層を形成す
るため、表面を粗面化した請求項7に記載のビルドアッ
プ材。このように構成した場合、ビルドアップ材と導体
層との密着性を向上させることができる。
The build-up material according to claim 7, wherein the surface is roughened to form a conductive layer thereon by plating. With this configuration, the adhesion between the build-up material and the conductor layer can be improved.

【0144】[0144]

【発明の効果】本発明によれば、次のような効果を発揮
することができる。第1の発明の高分子絶縁材料によれ
ば、誘電率、誘電正接、絶縁性等の電気特性、耐溶剤
性、耐熱性及び耐熱衝撃性に優れている。
According to the present invention, the following effects can be obtained. The polymer insulating material according to the first aspect of the invention is excellent in electrical properties such as dielectric constant, dielectric loss tangent, and insulating property, solvent resistance, heat resistance, and thermal shock resistance.

【0145】第2の発明の高分子絶縁材料によれば、第
1の発明の効果に加えて、電気特性を向上させることが
できる。第3の発明の高分子絶縁材料によれば、第1又
は第2の発明の効果に加えて、高分子絶縁材料を効率良
く得ることができる。
According to the polymer insulating material of the second invention, in addition to the effects of the first invention, the electric characteristics can be improved. According to the polymer insulating material of the third invention, in addition to the effects of the first or second invention, a polymer insulating material can be efficiently obtained.

【0146】第4の発明の高分子絶縁材料の製造方法に
よれば、高分子絶縁材料を効率良く製造することができ
る。第5の発明の電子関連基板によれば、第1から第3
のいずれかの発明の高分子絶縁材料の効果をプリント配
線基板、ビルドアップ基板などに発揮させることができ
る。
According to the method for producing a polymer insulating material of the fourth invention, a polymer insulating material can be produced efficiently. According to the electronic-related substrate of the fifth invention, the first to third substrates are provided.
The effect of the polymer insulating material of any one of the inventions can be exerted on a printed wiring board, a build-up board, or the like.

【0147】第6の発明の電子部材によれば、第1から
第3のいずれかの発明の高分子絶縁材料の効果を絶縁フ
ィルム、積層体、アンダーコート材などに発揮させるこ
とができる。
According to the electronic member of the sixth aspect, the effect of the polymer insulating material of any one of the first to third aspects can be exerted on an insulating film, a laminate, an undercoat material, and the like.

【0148】第7の発明のビルドアップ材によれば、第
1から第3のいずれかの発明の高分子絶縁材料の効果に
加えて、ビルドアップ材表面を粗面化した後、その上に
メッキにより導体層を形成した場合、ビルドアップ材と
導体層との密着性を向上させることができる。
According to the build-up material of the seventh invention, in addition to the effect of the polymer insulating material of any one of the first to third inventions, after the surface of the build-up material is roughened, When the conductor layer is formed by plating, the adhesion between the build-up material and the conductor layer can be improved.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 23/31 H05K 3/46 T H05K 1/03 610 (C08F 222/10 3/46 236:00) //(C08F 222/10 H01L 23/30 R 236:00) (72)発明者 田村 美枝子 愛知県半田市雁宿町3丁目201番地3 (72)発明者 加藤 行浩 愛知県知多郡武豊町字西門8番地 (72)発明者 実生 史朗 愛知県知多郡武豊町字西門8番地 (72)発明者 天谷 直之 埼玉県戸田市下前2丁目1番地5 (72)発明者 長谷川 浩昭 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ 株式会社内 (72)発明者 山田 俊昭 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ 株式会社内 (72)発明者 浅見 茂 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ 株式会社内──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 23/31 H05K 3/46 T H05K 1/03 610 (C08F 222/10 3/46 236: 00) / / (C08F 222/10 H01L 23/30 R 23:00) (72) Inventor Mieko Tamura 3-201, Karijuku-cho, Handa-city, Aichi Prefecture (72) Inventor Yukihiro Kato 8 Nishimon, Taketoyocho, Chita-gun, Aichi Prefecture Address (72) Inventor Shiro Shiro 8th west gate, Taketoyo-cho, Chita-gun, Aichi Prefecture (72) Inventor Naoyuki 2-1-1, Shimozen, Toda City, Saitama Prefecture (72) Inventor Hiroaki Hasegawa Nihonbashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo No. 13-1 TDK Corporation (72) Inventor Toshiaki Yamada 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK Corporation (72) Inventor Shigeru Asami Central Tokyo Nihonbashi chome 13th No. 1 tee Dikei within Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フマル酸ジエステル、炭素間二重結合を
一分子内に二個以上有する単量体及び熱分解型重合開始
剤を含有する単量体組成物を加熱硬化して得られる高分
子絶縁材料。
1. A polymer obtained by heat-curing a monomer composition containing a fumaric acid diester, a monomer having two or more carbon-carbon double bonds in one molecule, and a thermal decomposition-type polymerization initiator. Insulating material.
【請求項2】 前記フマル酸ジエステルは単量体組成物
中の主成分である請求項1に記載の高分子絶縁材料。
2. The polymer insulating material according to claim 1, wherein the fumaric acid diester is a main component in the monomer composition.
【請求項3】 前記単量体組成物に対する熱分解型重合
開始剤の含有量が0.1〜10重量%である請求項1又
は請求項2に記載の高分子絶縁材料。
3. The polymer insulating material according to claim 1, wherein the content of the thermal decomposition type polymerization initiator based on the monomer composition is 0.1 to 10% by weight.
【請求項4】 フマル酸ジエステル、炭素間二重結合を
一分子内に二個以上有する単量体及び熱分解型重合開始
剤を混合して単量体組成物を調製し、これを所望の形状
に成形した後加熱硬化させることを特徴とする高分子絶
縁材料の製造方法。
4. A monomer composition is prepared by mixing fumaric acid diester, a monomer having two or more carbon-carbon double bonds in one molecule, and a thermal decomposition-type polymerization initiator. A method for producing a polymer insulating material, comprising forming into a shape and then heating and curing.
【請求項5】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
の高分子絶縁材料を含む構成材料より形成される電子関
連基板。
5. An electron-related substrate formed from a constituent material containing the polymer insulating material according to claim 1.
【請求項6】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
の高分子絶縁材料を含む構成材料より形成される電子部
材。
6. An electronic member formed of a constituent material containing the polymer insulating material according to claim 1.
【請求項7】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
の高分子絶縁材料及びフィラーを含む構成材料より形成
されるビルドアップ材。
7. A build-up material formed from the constituent material containing the polymer insulating material according to claim 1 and a filler.
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