JP2001301171A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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JP2001301171A
JP2001301171A JP2000124349A JP2000124349A JP2001301171A JP 2001301171 A JP2001301171 A JP 2001301171A JP 2000124349 A JP2000124349 A JP 2000124349A JP 2000124349 A JP2000124349 A JP 2000124349A JP 2001301171 A JP2001301171 A JP 2001301171A
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Japan
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ink
nozzle
jet head
printing
row
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Application number
JP2000124349A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshio Arimura
敏男 有村
Kazuhiko Sato
和彦 佐藤
Hiroyuki Maruyama
博幸 丸山
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that a quantity of ink to be used increases by effects of a not used nozzle array when a printer is constituted not to use the one nozzle array for printing with the use of an ink jet head which can print by discharging ink from a plurality of nozzle holes of each of two nozzle arrays. SOLUTION: Two sheets of photomasks to be used in processing an upper substrate 1 are changed, whereby this ink jet head is formed with nozzle holes not opened and shut to ink chambers 5 of the nozzle array not used for printing.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を記録媒
体上に吐出して印刷を行うインクジェットプリンタに搭
載されるインクジェットヘッドに関するものである。特
に静電気力を用いて振動板を変形させることによりイン
ク液滴の吐出を行なう形式のインクジェットヘッドの構
造に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head mounted on an ink jet printer which performs printing by discharging ink droplets onto a recording medium. In particular, the present invention relates to a structure of an ink jet head which discharges ink droplets by deforming a diaphragm using electrostatic force.

【0002】[0002]

【従来の技術】静電気力を用いてインク液滴の吐出を行
なうインクジェットヘッドは、例えば、米国特許第45
20375号の明細書、特開平5−50601号公報に
開示されている。これらの公報に記載のインクジェット
ヘッドは、インクノズルに連通した圧力室の底面が面外
方向に弾性変位可能な振動板により形成され、この振動
板に対向して電極が配置されており、これらの振動板と
電極の間に駆動電圧パルスを印加することにより、振動
板を静電気力により変位させて、当該振動板の変位に応
じてインクノズルからインク滴を吐出させるようになっ
ている。
2. Description of the Related Art An ink jet head for discharging ink droplets by using electrostatic force is disclosed in, for example, US Pat.
No. 20,375, and JP-A-5-50601. In the ink jet heads described in these publications, the bottom surface of the pressure chamber communicating with the ink nozzle is formed by a vibrating plate capable of being elastically displaced in an out-of-plane direction, and electrodes are arranged facing the vibrating plate. By applying a drive voltage pulse between the diaphragm and the electrode, the diaphragm is displaced by electrostatic force, and ink droplets are ejected from the ink nozzles according to the displacement of the diaphragm.

【0003】情報処理装置の高性能化に伴って出力文字
及び画像の更なる高品位化要求に対して、より微細なイ
ンク滴をより安定して吐出させる技術として特開平9−
323409号、特開平10−193625号等に開示
の技術では、2列のノズル列を有し、第1のノズル列の
ノズル孔が第2のノズル列のノズル孔に対して、ノズル
孔のピッチ方向のノズル孔間に位置するように、ノズル
孔を千鳥状に配置している。この構成により、1列のノ
ズル列を有するヘッドのドット密度の2倍のドット密度
を有するインクジェットヘッドを得るものであった。ま
た、近年のカラー化要求に伴って、前記第1のノズル列
から主色インクを印刷し、第2のノズル列から副色イン
クを印刷する2色印刷用インクジェットヘッド、また、
前記第2のノズル列を領域3分割し、それぞれの領域の
ノズル孔からY(イエロー)色、M(マゼンタ)色、C
(シアン)色インクを印刷するカラー印刷用インクジェ
ットヘッドが提案されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. H9-1997 discloses a technique for more stably ejecting fine ink droplets in response to a demand for higher quality of output characters and images in accordance with high performance of information processing apparatuses.
No. 323409, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-193625, etc., have two nozzle rows, and the nozzle holes of the first nozzle row are arranged at a pitch of the nozzle holes with respect to the nozzle holes of the second nozzle row. The nozzle holes are arranged in a staggered manner so as to be located between the nozzle holes in the directions. With this configuration, an ink jet head having a dot density twice as high as that of a head having one nozzle row is obtained. In addition, in response to a recent demand for colorization, a two-color ink jet head that prints main color ink from the first nozzle row and prints sub-color ink from the second nozzle row,
The second nozzle row is divided into three regions, and Y (yellow), M (magenta), C
2. Related Art An inkjet head for color printing for printing (cyan) color ink has been proposed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述のようなインクジ
ェットヘッドは、その要求される市場、用途に応じて単
色印刷用プリンタに搭載される機種、2色印刷用プリン
タに搭載される機種、カラー印刷用プリンタに搭載され
る機種など、それぞれのヘッドが印刷の種類に応じて個
別に設計、製造されている。
The ink jet head as described above is a model to be mounted on a printer for monochromatic printing, a model to be mounted on a printer for two color printing, and a color printing, depending on the market and application required. Each head, such as a model mounted on a printer for printing, is individually designed and manufactured according to the type of printing.

【0005】しかし、市場規模がそれほど大きくない市
場に投入する機種、戦略的に市場動向をつかむことを目
的に投入する機種など、全体の販売数量が多く見込めな
いプリンタの機種によっては、2色印刷用プリンタに搭
載するヘッドと単色印刷用プリンタに搭載するヘッド、
またはカラー印刷用プリンタに搭載するヘッドと単色印
刷用プリンタに搭載するヘッドなど、記録媒体上のドッ
ト密度が同一で用途の異なる仕様のプリンタに搭載する
インクジェットヘッドを共用化したいという要望があ
る。また、単色印刷用プリンタにおいても、記録媒体上
のドット密度が異なる仕様のプリンタに対して、搭載す
るインクジェットヘッドを共用化したいという要望があ
る。例えばカラー印刷用プリンタに搭載する場合は、前
記第1、第2のノズル列にあるノズル孔から吐出するイ
ンク滴を共に印刷に使用し、単色印刷用プリンタに搭載
する場合は、第1のノズル列にあるノズル孔から吐出す
るインク滴のみを使用する用途が生じている。従って、
ある用途においては一方のノズル列側にあるノズルを印
刷に使用しない場合があり、そのような仕様においては
以下に示すような課題がある。
[0005] However, depending on the type of printer that cannot be expected to sell as much as possible, such as a model to be introduced into a market where the market size is not so large or a model to be introduced strategically to grasp market trends, two-color printing is not possible. Head mounted on a printer for printing and head mounted on a printer for monochrome printing,
Also, there is a demand to share an inkjet head mounted on a printer having the same dot density on a recording medium and different specifications, such as a head mounted on a color printing printer and a head mounted on a monochrome printing printer. There is also a demand for a single-color printing printer to share an inkjet head to be mounted with a printer having a different dot density on a recording medium. For example, when mounted on a printer for color printing, the ink droplets ejected from the nozzle holes in the first and second nozzle rows are both used for printing, and when mounted on a printer for monochrome printing, the first nozzle is used. Some applications use only ink droplets ejected from nozzle holes in a row. Therefore,
In some applications, nozzles on one nozzle row side are not used for printing, and such specifications have the following problems.

【0006】2色印刷、カラー印刷共に第1のノズル列
にあるノズル孔から印刷を行うインクの色と、第2のノ
ズル列にあるノズル孔から印刷を行うインクの色が異な
るため、ノズル列毎に、または使用するインクの種類毎
に別のインク取り入れ口を有している。ここで第2のノ
ズル列にあるノズル孔を印刷に使用しない場合、第2の
ノズル列側にインクタンクからインクを供給する経路を
遮断し、インク取り入れ口を大気に開放することが考え
られる。この場合、初期充填クリーニング動作、クリー
ニング動作など、プリンタに搭載されたポンプにてノズ
ル側からインクの吸引動作を行った場合に第2のノズル
列から空気を吸いこむため、インクの吸引動作が出来な
くなるという欠点がある。
In both two-color printing and color printing, the color of ink for printing from the nozzle holes in the first nozzle row is different from the color of ink for printing from the nozzle holes in the second nozzle row. There is a separate ink intake for each or for each type of ink used. Here, when the nozzle holes in the second nozzle row are not used for printing, it is conceivable that the path for supplying ink from the ink tank to the second nozzle row side is shut off and the ink intake port is opened to the atmosphere. In this case, when the ink suction operation is performed from the nozzle side by the pump mounted on the printer, such as the initial filling cleaning operation and the cleaning operation, the air is sucked from the second nozzle row, so that the ink suction operation can be performed. There is a disadvantage that it disappears.

【0007】また、第2のノズル列側にあるインク取り
入れ口にも、第1のノズル列に供給するインクタンクか
らインクを供給するためのインク供給経路を接続した場
合、初期充填クリーニング動作、クリーニング動作など
を行うことによって、使用しない第2のノズル列側から
もインクが吸引されるため、印刷に使用しないインクの
消費量が増加するという欠点がある。
When an ink supply path for supplying ink from an ink tank to be supplied to the first nozzle row is also connected to the ink intake port on the side of the second nozzle row, an initial filling cleaning operation, cleaning By performing an operation or the like, ink is also sucked from the unused second nozzle row side, so that there is a disadvantage that the consumption of ink not used for printing increases.

【0008】さらに、外観が同一形状であるため、両側
のノズル列を印刷に使用するプリンタに搭載するもの
と、片側のノズル列のみを印刷に使用するプリンタに搭
載するものとの区別がつかないという課題がある。
Further, since the appearance is the same, it is difficult to distinguish between a nozzle mounted on a printer using both nozzle rows for printing and a printer mounted on a printer using only one nozzle row for printing. There is a problem that.

【0009】そこで、本発明においては、これら様々な
仕様のプリンタに、最小限の変更を行うことによって個
別に搭載することができるインクジェットヘッドを提供
することを目的としている。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an ink jet head which can be individually mounted on printers of various specifications by making a minimum change.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このため本発明は、イン
ク供給路と、インク供給路に連通しているインク室と、
このインク室に連通しているインクノズルと、インク滴
を吐出するための吐出圧力を前記インク室に加えるため
の圧力発生手段とをそれぞれ複数備えたインクジェット
ヘッドにおいて、複数の前記インク室は、前記インクノ
ズルを備えて列状に配置された第1のインク室群と、前
記インクノズルがなく列状に配置された第2のインク室
群とに形成されていることを特徴とする。本発明のイン
クジェットヘッドは、上記のように印刷に使用しないノ
ズル列側のノズル孔を全て閉塞することによって、プリ
ンタに搭載されたポンプにてノズル側からインクの吸引
動作を行った場合に、印刷に使用しないノズル列の影響
がなくなり、正常な吸引動作を行うことが可能となる。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides an ink supply path, an ink chamber communicating with the ink supply path,
In an ink jet head including a plurality of ink nozzles communicating with the ink chambers and a plurality of pressure generating means for applying an ejection pressure for ejecting ink droplets to the ink chambers, a plurality of the ink chambers are A first group of ink chambers provided with ink nozzles and arranged in a row, and a second group of ink chambers arranged in a row without the ink nozzles are formed. The ink-jet head of the present invention closes all the nozzle holes on the nozzle row not used for printing as described above, so that when the ink is sucked from the nozzle side by the pump mounted on the printer, the printing is performed. In addition, the influence of the nozzle array not used for the above is eliminated, and the normal suction operation can be performed.

【0011】また、第1のノズル群の前記ノズルが形成
された第1のノズルプレートに相当する前記第2インク
室群の第2ノズルプレートは、前記第1のノズルプレー
トと識別可能な識別部を有していることが望ましい。
The second nozzle plate of the second ink chamber group, which corresponds to the first nozzle plate on which the nozzles of the first nozzle group are formed, is an identification unit that can be identified from the first nozzle plate. It is desirable to have.

【0012】上記構成により、一方のノズル列側のノズ
ル孔を印字に使用するタイプのインクジェットヘッドか
どうかの区別をつけることが可能となる。
According to the above configuration, it is possible to distinguish whether or not the ink jet head is a type in which the nozzle holes on one nozzle row are used for printing.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings to explain the present invention in further detail.

【0014】図1は本発明のインクジェットヘッドの上
面図であり、図2は図1に示すインクジェットヘッドの
A−A断面図である。
FIG. 1 is a top view of the ink jet head of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of the ink jet head shown in FIG.

【0015】本例のインクジェットヘッドは、インク滴
を基板の上面に設けたノズル孔から吐出させるフェイス
イジェクトタイプであり、静電駆動方式のものである。
インクジェットヘッドは、3枚の基板1、基板2、基板
3を順に積層した3層構造をしている。
The ink jet head of this embodiment is of a face eject type in which ink droplets are ejected from nozzle holes provided on the upper surface of the substrate, and is of an electrostatic drive type.
The inkjet head has a three-layer structure in which three substrates 1, 2, and 3 are sequentially stacked.

【0016】中間の基板2は、例えばシリコン基板であ
り、基板2の表面に一端から平行に等しい間隔で形成さ
れた複数本の、底壁が振動板(圧力発生手段)4aとし
て機能するインク室(圧力室)5aと、各々のインク室
5aにインクを供給するための共通のインクリザーバ6
aとがエッチングによって形成されている。また、基板
2の上面には共通電極7aが形成されている。
The intermediate substrate 2 is, for example, a silicon substrate, and a plurality of ink chambers formed on the surface of the substrate 2 in parallel from one end at equal intervals and having bottom walls functioning as diaphragms (pressure generating means) 4a. (Pressure chamber) 5a and a common ink reservoir 6 for supplying ink to each ink chamber 5a.
a are formed by etching. A common electrode 7a is formed on the upper surface of the substrate 2.

【0017】中間の基板2の上側に接合される上面の基
板1は、中間の基板2と同様に、例えばシリコン基板で
あり、第1のインク室群側であるインク室5aの上面部
分には各インク室5aに対応する位置にインク室5aの
個数分のノズル孔8aが形成されている。また、インク
室5aとインクリザーバ6aの中間部の上面にはオリフ
ィス9aが形成されている。
The upper substrate 1 bonded to the upper side of the intermediate substrate 2 is, for example, a silicon substrate, like the intermediate substrate 2, and has an upper surface portion of the ink chamber 5a on the first ink chamber group side. Nozzle holes 8a for the number of ink chambers 5a are formed at positions corresponding to the respective ink chambers 5a. An orifice 9a is formed on the upper surface of the intermediate portion between the ink chamber 5a and the ink reservoir 6a.

【0018】中間の基板2の下面に接合される下側の基
板3は、例えばホウ珪酸ガラスからなり、その上面には
各インク室5aに対応する位置にインク室5aの個数分
の振動室10aが形成されており、各振動室10aの底
面には個別電極11aが形成されている。また、この下
側の基板3にはインク取入れ口12aが設けられてお
り、基板2、基板3を接合したときに、インクリザーバ
6aの下側にくるように配置されている。
The lower substrate 3 joined to the lower surface of the intermediate substrate 2 is made of, for example, borosilicate glass, and the upper surface thereof has the vibration chambers 10a corresponding to the number of the ink chambers 5a at positions corresponding to the respective ink chambers 5a. Are formed, and an individual electrode 11a is formed on the bottom surface of each vibration chamber 10a. The lower substrate 3 is provided with an ink inlet 12a, and is arranged so as to be below the ink reservoir 6a when the substrates 2 and 3 are joined.

【0019】上記3枚の基板を接合し、振動室10aを
樹脂などの封止材13aを用いて外気から気密封止して
インクジェットヘッドの形状が出来上がる。
The above-mentioned three substrates are joined, and the vibration chamber 10a is hermetically sealed from the outside air using a sealing material 13a such as a resin to complete the shape of the ink jet head.

【0020】インクはインクタンクからインク供給チュ
ーブを介してインク取入れ口12aに供給され、中間の
基板2に形成されたインクリザーバ6a、オリフィス9
a、インク室5aを満たしている。
The ink is supplied from an ink tank to an ink inlet 12a via an ink supply tube, and is supplied to an ink reservoir 6a and an orifice 9 formed in the intermediate substrate 2.
a, filling the ink chamber 5a.

【0021】各個別電極11aの端部は電極端子14a
となっており、この端子部と共通電極7aに、ドライバ
ICが搭載されたFPC(フレキシブルプリントサーキ
ット)ケーブルが接続される。
The end of each individual electrode 11a is connected to an electrode terminal 14a.
An FPC (flexible print circuit) cable on which a driver IC is mounted is connected to the terminal portion and the common electrode 7a.

【0022】個別電極11aと振動板4aの間隔は1μ
m程度に保持されており、ドライバICから個別電極1
1aに電圧パルスを印加することによって、振動板4a
が静電気力によって個別電極11aの方へ撓み、次に、
電圧パルスをオフすることによって振動板4aはそのバ
ネ力によって元の位置に戻る。この復元動作によってイ
ンク室の内圧が急激に上昇してノズル8aから図2の上
方へ向けてインク滴が吐出される。さらに振動板4aが
バネ力の反動で再び個別電極11a側に撓むことによっ
て、インクがリザーバ6aからオリフィス9aを通って
インク室5aに供給される。
The distance between the individual electrode 11a and the diaphragm 4a is 1 μm.
m from the driver IC to the individual electrodes 1
By applying a voltage pulse to 1a, diaphragm 4a
Is bent toward the individual electrode 11a by the electrostatic force,
By turning off the voltage pulse, the diaphragm 4a returns to its original position by its spring force. Due to this restoration operation, the internal pressure of the ink chamber rapidly rises, and ink droplets are ejected upward from FIG. 2 from the nozzle 8a. Further, the vibration plate 4a bends toward the individual electrode 11a again by the reaction of the spring force, so that ink is supplied from the reservoir 6a to the ink chamber 5a through the orifice 9a.

【0023】上述の構造は、図の左半分側について説明
を行ったが、図の右半分側にも同様の構造が設けてあ
り、唯一異なるのは図1に示すA列側(第1のインク室
群側)のノズル孔8aに対応するノズル孔がないだけで
ある。図2において、B列側の構造は、A列側の構造を
線対称に構成されており、A列側の部位に対応し機能お
よび作用効果も同一な部位にはA列側の符号のaをB列
側のbとして付し説明は割愛する。
The above structure has been described with reference to the left half of the figure, but a similar structure is also provided on the right half of the figure, and the only difference is the column A side (first line) shown in FIG. The only difference is that there is no nozzle hole corresponding to the nozzle hole 8a on the ink chamber group side). In FIG. 2, the structure on the side of the column B is configured so as to be axisymmetric with respect to the structure on the side of the column A. Is attached as b on the column B side, and the description is omitted.

【0024】このように、本例のインクジェットヘッド
は図の右半分側のB列と示すノズル列部分にノズル孔を
形成しない構造としており、図の左右両側に設けたイン
クの吐出を行うための構造のうち、左側部分にある構造
のみを印刷に用いる仕様のプリンタに搭載するために改
良を加えたインクジェットヘッドである。インクジェッ
トヘッドがプリンタ上に搭載されると、インクをヘッド
内に充填するための初期充填クリーニングが実施され
る。また、使用中にもヘッド内の気泡、増粘インク、異
物などを排出するためのクリーニングなどが実施され
る。これらのクリーニングは通常、図1、図2に示す上
側の基板1の段差15表面に、図の上面側からキャップ
を押し当て、キャップにつながれたチューブなどを通し
てポンプで吸引を行う。
As described above, the ink jet head of this embodiment has a structure in which nozzle holes are not formed in the nozzle row portion indicated by row B on the right half side of the figure, and is used for discharging ink provided on both left and right sides of the figure. This is an inkjet head that has been improved to be mounted on a printer that uses only the structure on the left side of the structure for printing. When the ink jet head is mounted on the printer, an initial filling cleaning for filling the ink into the head is performed. Further, during use, cleaning for discharging bubbles, thickened ink, foreign matter, and the like in the head is performed. In these cleanings, a cap is normally pressed against the surface of the step 15 of the upper substrate 1 shown in FIGS. 1 and 2 from the upper side in the figure, and suction is performed by a pump through a tube or the like connected to the cap.

【0025】図のA列と示すノズル列の位置と、図のB
列のノズル列が形成されるべき位置間の距離は0.6m
m程度であるため、上記キャップをノズル列ごとに個別
に押し当てることができない。従って、A列、B列の両
方のノズル列に共通の1個のキャップを押し当て、同時
にノズル孔からインクの吸引動作を行うことになる。
The position of the nozzle row shown as row A in FIG.
The distance between the positions where the nozzle rows of the rows should be formed is 0.6 m
m, the cap cannot be pressed individually for each nozzle row. Therefore, one common cap is pressed against both the nozzle rows A and B, and the suction operation of the ink from the nozzle holes is performed at the same time.

【0026】本例に示すインクジェットヘッドはB列側
のノズル孔を開口しないことによって、インク取入れ口
12bに何も接続せずに大気に開放した状態でも、プリ
ンタ上でクリーニング動作を効率よく行うことができ
る。従って、単色印刷用プリンタとして機能することが
可能となる。また、印字に使用しないインクの消費量が
減るため、プリンタのランニングコストを低減すること
が出来る。
The ink jet head shown in this embodiment does not open the nozzle holes on the row B, so that the cleaning operation can be efficiently performed on the printer even in a state where it is opened to the atmosphere without connecting anything to the ink intake port 12b. Can be. Therefore, it is possible to function as a printer for monochrome printing. Further, since the consumption of ink not used for printing is reduced, the running cost of the printer can be reduced.

【0027】本例のインクジェットヘッドは図右側部分
の電極端子14b近傍に識別部である突起16を設けて
いる。突起16を設けることによって、印刷に使用する
側の電極端子14aと印刷に使用しない側の電極端子1
4bとの区別が、外観を見ることによって可能となる。
このことによって、電極端子14aにFPCケーブルを
接続する場合にも、接続しなければならない端子がすぐ
に判別でき、反対側の端子に接続してしまう不良も無く
すことができる。
The ink jet head of this embodiment is provided with a projection 16 as an identification portion near the electrode terminal 14b on the right side in the figure. By providing the projections 16, the electrode terminal 14a on the side used for printing and the electrode terminal 1 on the side not used for printing are provided.
4b can be distinguished by looking at the appearance.
As a result, even when the FPC cable is connected to the electrode terminal 14a, the terminal to be connected can be immediately identified, and a defect of connecting to the opposite terminal can be eliminated.

【0028】また、A列、B列の両ノズル列にあるノズ
ル孔を使用するタイプのインクジェットヘッドとの区別
も、外観を見ることによって可能となるため、別のタイ
プのプリンタに間違って搭載することも無くすことがで
きる。
In addition, since it is possible to distinguish the ink jet head from the type using the nozzle holes in both the nozzle rows A and B by looking at the external appearance, it is erroneously mounted on another type of printer. Can be eliminated.

【0029】本例のインクジェットヘッドはシリコン基
板、ガラス基板などを材料としてフォトリソグラフィー
技術、エッチング技術、接合技術などを用いて加工を行
っている。ここで、上側の基板1の加工方法について説
明を行う。
The ink-jet head of this embodiment uses a silicon substrate, a glass substrate, or the like as a material and performs processing using a photolithography technique, an etching technique, a joining technique, or the like. Here, a method of processing the upper substrate 1 will be described.

【0030】図3は材料基板上での上側の基板の配置を
示す図である。本図では、材料基板20上に4個の上側
の基板21を配置している。材料基板20の加工は、基
板の表面にフォトレジストを塗布し、フォトマスクを用
いてフォトマスク上のパターン形状をフォトレジスト上
に露光し、フォトレジストを現像した後、エッチングを
行って形状を作り上げている。材料基板20は図の表面
と裏面の両側から加工していて、ノズル孔8は図の裏面
からの露光、エッチングによって作成しており、貫通穴
25、26、27は図の表面、裏面の両側からの露光、
エッチングによって作成している。B列側のノズル孔を
形成する/しない、突起16を形成する/しないの選択
は、図の表面側からの加工で用いるフォトマスク1枚
と、裏面側からの加工で用いるフォトマスク1枚の計2
枚を変更すれば、加工工程を変更することなく、インク
ジェットヘッドを簡単に変更することが可能となる。
FIG. 3 is a diagram showing the arrangement of the upper substrate on the material substrate. In this figure, four upper substrates 21 are arranged on a material substrate 20. The processing of the material substrate 20 is performed by applying a photoresist on the surface of the substrate, exposing a pattern shape on the photomask to the photoresist using a photomask, developing the photoresist, and performing etching to form a shape. ing. The material substrate 20 is processed from both sides of the front and back sides of the drawing, the nozzle holes 8 are created by exposure and etching from the back side of the drawing, and the through holes 25, 26, and 27 are formed on both sides of the front and back sides of the drawing. Exposure from the
Created by etching. The selection of forming / not forming the nozzle holes on the B-row side and forming / not forming the protrusions 16 is performed by selecting one photomask used for processing from the front side and one photomask used for processing from the back side in the drawing. Total 2
If the number of sheets is changed, it is possible to easily change the ink jet head without changing the processing steps.

【0031】中間の基板2の加工工程、下側の基板3の
加工工程、これら3枚の基板の接合工程、および個別の
インクジェットヘッドに分割する切断工程は、B列側の
ノズル孔の有無、突起16の有無にかかわらず同一工程
で加工できる。 従って、A/B両ノズル列にノズル孔
を形成し、突起16を設けないタイプの、A列、B列両
ノズル列からの印刷を行うインクジェットヘッドの標準
加工工程において、上側の基板1の加工に用いるフォト
マスク2枚を変更することにより、加工工程を変更せず
に本例に示すインクジェットヘッドを形成することがで
きる。
The process of processing the intermediate substrate 2, the process of processing the lower substrate 3, the process of joining these three substrates, and the process of cutting into individual ink jet heads are based on the presence or absence of nozzle holes on the B row. Processing can be performed in the same process regardless of the presence or absence of the projections 16. Therefore, in the standard processing step of an ink jet head that forms a nozzle hole in both the A / B nozzle rows and does not have the projections 16 and performs printing from both the A row and the B row nozzle rows, the processing of the upper substrate 1 is performed. By changing the two photomasks used for the above, the ink jet head shown in this example can be formed without changing the processing steps.

【0032】本例では、A列側のノズル孔を印刷に使用
し、B列側のノズル孔を閉塞しているが、印刷するノズ
ル孔と閉塞するノズル孔をA列、B列反対にしても実用
可能である。
In this embodiment, the nozzle holes on the A-row side are used for printing, and the nozzle holes on the B-row side are closed. Is also practical.

【0033】また、本例では片側のノズル列にあるノズ
ル数8個の場合の図を記載しているが、32個、64
個、128個、256個など、個数が変わっても適用可
能である。
Also, in this example, the figure is shown for a case where the number of nozzles in one nozzle row is eight.
, 128, 256, etc., even if the number changes.

【0034】また、本例では、A列のノズル孔2個のノ
ズル孔のピッチ方向に対して、その間にB列のノズル孔
が形成されるべき位置が配置されるような、千鳥のノズ
ル配置の例を示したが、A列、B列のノズル孔が並列に
配置されているものにも適応可能である。
Further, in this example, the staggered nozzle arrangement is such that the positions where the nozzle holes in row B are to be formed between the two nozzle holes in row A in the pitch direction. However, the present invention can also be applied to a configuration in which the nozzle holes in the rows A and B are arranged in parallel.

【0035】本例では、インク液滴を基板上面に設けた
ノズル孔からインク液滴を吐出させるフェイスイジェク
トタイプを示したが、基板の端部に設けたノズル孔から
吐出させるエッジイジェクトタイプでも適応可能であ
る。
In this embodiment, the face eject type in which the ink droplets are ejected from the nozzle holes provided on the upper surface of the substrate has been described, but the edge eject type in which the ink droplets are ejected from the nozzle holes provided at the end of the substrate is also applicable. It is possible.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のインク
ジェットヘッドは、片列側のノズル孔が全て閉塞されて
いることによって、プリンタのクリーニング動作を正常
に行うことが可能となる。また、印刷に使用しない無駄
なインクの消費量を減らすことができるため、ランニン
グコストを低減する効果も得られる。
As described above, the ink jet head of the present invention can perform the cleaning operation of the printer normally because all the nozzle holes on one side are closed. Further, since the consumption of waste ink not used for printing can be reduced, the effect of reducing running costs can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェットヘッドの上面図であ
る。
FIG. 1 is a top view of an inkjet head according to the present invention.

【図2】図1に示すインクジェットヘッドのA−A断面
図である。
FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of the inkjet head shown in FIG.

【図3】図1に示すインクジェットヘッドの材料基板上
での上側基板の配置を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an arrangement of an upper substrate on a material substrate of the ink jet head shown in FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・上側の基板 2、21・・中間の基板 3・・下側の基板 4a、4b・・振動板 5a、5b・・インク室 6a、6b・・インクリザーバ 7a、7b・・共通電極 8、8a・・ノズル孔 9a、9b・・オリフィス 10a、10b・・振動室 11a、11b・・個別電極 12a、12b・・インク取入れ口 13a、13b・・封止材 14a、14b・・電極端子 15・・段差 16・・突起 20・・材料基板 25、26、27・・貫通孔 1. Upper substrate 2, 21. Intermediate substrate 3. Lower substrate 4a, 4b, diaphragm 5a, 5b, ink chamber 6a, 6b, ink reservoir 7a, 7b, common electrode 8. Nozzle holes 9a, 9b orifices 10a, 10b vibration chambers 11a, 11b individual electrodes 12a, 12b ink inlets 13a, 13b sealing materials 14a, 14b electrode terminals 15 ..Steps 16 Projections 20 Material substrates 25, 26, 27 Through holes

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丸山 博幸 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF99 AG11 AG12 AG54 AG99 AP01 AP13 AP31 BA04 BA15 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Hiroyuki Maruyama 3-3-5 Yamato, Suwa City, Nagano Prefecture Seiko Epson Corporation F-term (reference) 2C057 AF99 AG11 AG12 AG54 AG99 AP01 AP13 AP31 BA04 BA15

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インク供給路と、インク供給路に連通し
ているインク室と、このインク室に連通しているインク
ノズルと、インク滴を吐出するための吐出圧力を前記イ
ンク室に加えるための圧力発生手段とをそれぞれ複数備
えたインクジェットヘッドにおいて、 複数の前記インク室は、前記インクノズルを備えて列状
に配置された第1のインク室群と、前記インクノズルが
なく列状に配置された第2のインク室群とに形成されて
いることを特徴とするインクジェットヘッド。
An ink supply path, an ink chamber communicating with the ink supply path, an ink nozzle communicating with the ink chamber, and a discharge pressure for discharging ink droplets are applied to the ink chamber. A plurality of the ink chambers, wherein the plurality of ink chambers are arranged in a row with the ink nozzles, and the first ink chamber group is arranged in a row with the ink nozzles. An ink-jet head, wherein the ink-jet head is formed in a second ink chamber group.
【請求項2】 前記第1のノズル群の前記ノズルが形成
された第1のノズルプレートに相当する前記第2インク
室群の第2ノズルプレートは、前記第1のノズルプレー
トと識別可能な識別部を有していることを特徴とする請
求項1記載のインクジェットヘッド。
2. A second nozzle plate of the second ink chamber group, which corresponds to a first nozzle plate on which the nozzles of the first nozzle group are formed, and is identifiable from the first nozzle plate. The ink jet head according to claim 1, wherein the ink jet head has a portion.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007182028A (en) * 2006-01-10 2007-07-19 Brother Ind Ltd Inkjet head

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05261918A (en) * 1992-03-18 1993-10-12 Seiko Epson Corp Ink jet head
JPH0729427B2 (en) * 1985-12-20 1995-04-05 キヤノン株式会社 Liquid jet recording device
JPH07214779A (en) * 1994-02-04 1995-08-15 Ngk Insulators Ltd Piezoelectric/electrostriction membrane type actuator
JPH0920009A (en) * 1995-07-10 1997-01-21 Seikosha Co Ltd Ink jet head
JPH09323409A (en) * 1996-06-05 1997-12-16 Murata Mfg Co Ltd Piezoelectric type ink jet head

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0729427B2 (en) * 1985-12-20 1995-04-05 キヤノン株式会社 Liquid jet recording device
JPH05261918A (en) * 1992-03-18 1993-10-12 Seiko Epson Corp Ink jet head
JPH07214779A (en) * 1994-02-04 1995-08-15 Ngk Insulators Ltd Piezoelectric/electrostriction membrane type actuator
JPH0920009A (en) * 1995-07-10 1997-01-21 Seikosha Co Ltd Ink jet head
JPH09323409A (en) * 1996-06-05 1997-12-16 Murata Mfg Co Ltd Piezoelectric type ink jet head

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007182028A (en) * 2006-01-10 2007-07-19 Brother Ind Ltd Inkjet head
JP4561637B2 (en) * 2006-01-10 2010-10-13 ブラザー工業株式会社 Inkjet head

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