JP2001291483A - Sample holding apparatus for charged particle beam apparatus - Google Patents
Sample holding apparatus for charged particle beam apparatusInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、集束イオンビーム
装置や電子顕微鏡などの荷電粒子線装置間で共用される
試料カートリッジと、該試料カートリッジを着脱可能に
保持する試料ホルダーとで構成される荷電粒子線装置用
試料保持装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a charged cartridge comprising a sample cartridge shared between charged ion beam devices such as a focused ion beam device and an electron microscope, and a sample holder for detachably holding the sample cartridge. The present invention relates to a sample holding device for a particle beam device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）は、ガ
リウム（Ｇａ）のイオンビームを静電レンズによって集
束させ、試料上を走査させることにより、試料から発生
した２次電子や２次イオンを検出して、試料の画像観察
を行なう、いわゆる走査イオン顕微鏡（ＳＩＭ）として
の観察機能を持ち、これを活かしながら、試料上の加工
位置を決定し、集束イオンビームを該加工位置に照射す
ることによって、試料の微細加工を行なう装置である。2. Description of the Related Art A focused ion beam apparatus (FIB) detects secondary electrons and secondary ions generated from a sample by focusing a gallium (Ga) ion beam by an electrostatic lens and scanning the sample on the sample. Then, it has an observation function as a so-called scanning ion microscope (SIM) for observing an image of the sample, and by utilizing this, determines a processing position on the sample and irradiates the processing position with a focused ion beam. , A device for performing fine processing of a sample.
【０００３】ＦＩＢで微細加工された試料は、透過型電
子顕微鏡（ＴＥＭ）や走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）など
の、より高度な観察機能を有する別の装置に移し替えら
れて、微細加工部位の観察に供せられる。[0003] A sample finely processed by the FIB is transferred to another apparatus having a more sophisticated observation function, such as a transmission electron microscope (TEM) or a scanning electron microscope (SEM), and the microfabricated portion is removed. Provided for observation.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、これまで、
ＦＩＢによる微細加工とＴＥＭによる観察、またはＦＩ
Ｂによる微細加工とＳＥＭによる観察を交互に繰り返し
ながら、ＦＩＢによる微細加工後の観察評価を行なおう
とすると、試料をセットした試料カートリッジをＦＩＢ
の試料ホルダーから取り外してＴＥＭまたはＳＥＭの試
料ホルダーに取り付ける操作と、試料をセットした試料
カートリッジをＴＥＭまたはＳＥＭの試料ホルダーから
取り外してＦＩＢの試料ホルダーに取り付ける操作と
を、交互に繰り返す必要があった。By the way, until now,
Fine processing by FIB and observation by TEM, or FI
When the observation evaluation after the fine processing by the FIB is to be performed while alternately repeating the fine processing by the B and the observation by the SEM, the sample cartridge in which the sample is set is inserted into the FIB.
It was necessary to alternately repeat the operation of removing from the sample holder and attaching to the TEM or SEM sample holder and the operation of removing the sample cartridge in which the sample was set from the TEM or SEM sample holder and attaching to the FIB sample holder. .
【０００５】しかしながら、試料カートリッジの取り外
し／取り付け操作のたびに行なわれる試料の加工部位
（あるいは観察部位）の探索作業は煩雑を極め、例えば
ＦＩＢによる加工後、ＴＥＭやＳＥＭなどの観察装置内
でＦＩＢによる加工部位を探すには、非常に多くの時間
がかかっていた。特に、ＳＥＭの場合、仮にＦＩＢによ
る加工部位が見つかっても、ＦＩＢによる加工時とＳＥ
Ｍによる観察時で、試料ステージの傾斜軸と加工面の方
向が違っている場合が多く、これを調整するのに長い時
間を要することが多かった。However, it is extremely complicated to search for a processed part (or an observed part) of a sample every time the sample cartridge is removed / attached. For example, after processing by the FIB, the FIB is processed in an observation apparatus such as a TEM or SEM. It took a lot of time to find the processing part by. In particular, in the case of SEM, even if the processing part by FIB is found, the processing time by FIB and SE
At the time of observation with M, the direction of the tilt axis of the sample stage and the direction of the processing surface were often different, and it often took a long time to adjust this.
【０００６】また、試料をセットした試料カートリッジ
をＦＩＢ、ＴＥＭ、ＳＥＭなどの試料ホルダーからいっ
たん取り外してしまうと、試料に関する情報が判らなく
なることが多い。特に、加工と観察との間に時間的な隔
たりがあると、どのような試料のどこの部分を加工した
のかが判らなくなる場合が多く、そのような場合には、
予め、試料カートリッジの保管ケースに試料の情報を詳
しく記録して、試料情報の散逸を防ぐ必要があった。Further, once a sample cartridge in which a sample is set is removed from a sample holder such as FIB, TEM, SEM, etc., information on the sample often cannot be understood. In particular, if there is a time gap between processing and observation, it is often difficult to know what part of what sample was processed, and in such a case,
It is necessary to previously record the information of the sample in detail in the storage case of the sample cartridge to prevent the sample information from being dissipated.
【０００７】本発明の目的は、上述した点に鑑み、ＦＩ
Ｂ、ＴＥＭ、ＳＥＭなどの荷電粒子線装置の間で試料カ
ートリッジをやりとりしても、容易にその試料の加工部
位あるいは観察部位を見い出すことができ、しかも、前
記荷電粒子線装置の試料ホルダーから試料カートリッジ
を取り外して保管する場合でも、試料カートリッジの保
管ケースに試料の情報を全く書き記す必要のない荷電粒
子線装置用試料保持装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an FI
Even if a sample cartridge is exchanged between charged particle beam devices such as B, TEM, and SEM, a processed part or an observed part of the sample can be easily found, and the sample can be easily removed from the sample holder of the charged particle beam device. An object of the present invention is to provide a sample holder for a charged particle beam apparatus which does not need to write information on a sample in a storage case of a sample cartridge even when the cartridge is removed and stored.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかる荷電粒子線装置用試料保持装置は、
試料を保持する保持部、試料に関するデータを記憶する
記憶手段、及び該記憶手段に記憶された記憶内容の読み
出しや書き換えを外部ＣＰＵから随時行なうための外部
接続用端子を備えた試料カートリッジと、該試料カート
リッジを着脱可能に保持しつつ、該試料カートリッジの
外部接続用端子を介して得られる前記記憶手段の記憶内
容を外部ＣＰＵに伝達すると共に、外部ＣＰＵから送ら
れてくるデータを該試料カートリッジの外部接続用端子
を介して該試料カートリッジの記憶手段に伝達する試料
ホルダーとを備えたことを特徴としている。In order to achieve this object, a sample holding apparatus for a charged particle beam apparatus according to the present invention comprises:
A sample cartridge having a holding unit for holding the sample, storage means for storing data relating to the sample, and an external connection terminal for reading and rewriting the storage content stored in the storage means from an external CPU as needed; While holding the sample cartridge detachably, the storage contents of the storage means obtained through the external connection terminal of the sample cartridge are transmitted to the external CPU, and the data sent from the external CPU is stored in the sample cartridge. A sample holder for transmitting the data to the storage means of the sample cartridge via an external connection terminal.
【０００９】また、前記記憶手段は、メモリーカードで
あることを特徴としている。Further, the storage means is a memory card.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図１は、本発明にかかる荷電粒
子線装置用試料保持装置を構成する試料カートリッジの
一実施例を示したものである。図１（ａ）がその外観を
示し、図１（ｂ）がその内部構造を示している。この図
は、試料カートリッジ１が荷電粒子線装置の試料ホルダ
ー（図示せず）から取り外された状態を示している。試
料カートリッジ１には、ＦＩＢの加工試料であり、かつ
ＴＥＭ／ＳＥＭの観察試料でもある試料２が、板バネ３
によって試料カートリッジ１の本体に押圧固定されてい
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a sample cartridge constituting a sample holding device for a charged particle beam device according to the present invention. FIG. 1A shows its appearance, and FIG. 1B shows its internal structure. This figure shows a state where the sample cartridge 1 has been removed from a sample holder (not shown) of the charged particle beam device. In the sample cartridge 1, a sample 2 which is a processed sample of the FIB and which is also an observation sample of the TEM / SEM is loaded with a leaf spring 3
The sample cartridge 1 is pressed and fixed to the main body of the sample cartridge 1.
【００１１】この試料カートリッジ１の表面には外部接
続用端子４、また内部には記憶装置５が設けられてい
て、試料カートリッジ１の内部の記憶装置５と図示しな
い外部ＣＰＵとの間を、外部接続用端子４を介して接続
することができるようになっている。記憶装置５には、
例えばメモリーカードが採用されていて、試料の名前や
作成日時や性質などを示す試料ＩＤ、試料の加工位置や
観察位置を設定するための試料ステージの座標値、試料
加工面の水平に対する角度、ＳＩＭ、ＴＥＭ、ＳＥＭな
どで観察された試料画像などの情報が随時記憶される。An external connection terminal 4 is provided on the surface of the sample cartridge 1, and a storage device 5 is provided inside the sample cartridge 1. The storage device 5 inside the sample cartridge 1 is connected to an external CPU (not shown) by an external device. The connection can be made via the connection terminal 4. In the storage device 5,
For example, a memory card is used, a sample ID indicating the name, creation date and time, and properties of the sample, coordinate values of a sample stage for setting a processing position and an observation position of the sample, an angle of the sample processing surface with respect to the horizontal, SIM , TEM, SEM, etc., information such as a sample image observed is stored as needed.
【００１２】図２は、本発明にかかる荷電粒子線装置用
試料保持装置の全体構成の一実施例を模式的に示したも
のである。図２（ａ）がＦＩＢホルダー６に固定された
試料カートリッジ１を示し、図２（ｂ）がＴＥＭホルダ
ー７に固定された試料カートリッジ１を示している。試
料カートリッジ１は、ＦＩＢホルダー６に対しては、図
示しない２枚の板バネで挟まれることによって固定され
る。一方、ＴＥＭホルダー７に対しては、試料カートリ
ッジ１に設けられた切り欠き部８にＴＥＭホルダー７側
の図示しないフックが嵌合することによって固定され
る。ＦＩＢホルダー６とＴＥＭホルダー７には、試料カ
ートリッジ１に設けられた外部接続用端子と図示しない
外部ＣＰＵとを結ぶケーブル９が埋設されていて、外部
ＣＰＵと試料カートリッジ１との間の情報のやりとりを
仲介している。ケーブル９の先端には、試料カートリッ
ジ１の外部接続端子と接触する接触子９'が取り付けら
れている。FIG. 2 schematically shows an embodiment of the entire configuration of a sample holding device for a charged particle beam device according to the present invention. FIG. 2A shows the sample cartridge 1 fixed to the FIB holder 6, and FIG. 2B shows the sample cartridge 1 fixed to the TEM holder 7. The sample cartridge 1 is fixed to the FIB holder 6 by being sandwiched between two leaf springs (not shown). On the other hand, the TEM holder 7 is fixed by fitting a hook (not shown) on the TEM holder 7 into a notch 8 provided in the sample cartridge 1. A cable 9 for connecting an external connection terminal provided on the sample cartridge 1 to an external CPU (not shown) is embedded in the FIB holder 6 and the TEM holder 7, and information is exchanged between the external CPU and the sample cartridge 1. Mediates. At the end of the cable 9, a contact 9 ′ that is in contact with the external connection terminal of the sample cartridge 1 is attached.
【００１３】尚、試料カートリッジ１の表面には３つの
孔１０が開けられているが、これは、該試料カートリッ
ジ１を製造する際に、部材の位置出しのために用いられ
る加工用の孔であり、これらの孔の一部は、加工後に、
試料カートリッジ１をピンセットで挟んで取り扱う際の
凹部として利用される。Although three holes 10 are formed in the surface of the sample cartridge 1, these holes are processing holes used for positioning members when the sample cartridge 1 is manufactured. Yes, some of these holes, after processing,
It is used as a concave portion when the sample cartridge 1 is handled by sandwiching it with tweezers.
【００１４】図３は、本発明の使用方法の一実施例を示
すものである。図中、１１はＦＩＢの制御部、１２はＴ
ＥＭの制御部、１３は読み取り専用装置１４の操作部で
ある。前述した試料カートリッジに内蔵されたメモリー
カードの情報は、試料カートリッジがＦＩＢの試料ホル
ダー６にセットされた場合でも、ＴＥＭの試料ホルダー
７にセットされた場合でも、読み取り専用装置１４の試
料ホルダーにセットされた場合でも、各試料ホルダーを
介して、ＦＩＢ、ＴＥＭ、及び読み取り専用装置１４に
よって、自由自在に読み取ったり書き込んだりすること
ができるように構成されている。FIG. 3 shows an embodiment of the method of use of the present invention. In the figure, 11 is a control unit of the FIB, and 12 is T
A control unit 13 of the EM is an operation unit of the read-only device 14. Regardless of whether the sample cartridge is set in the FIB sample holder 6 or the TEM sample holder 7, the information of the memory card built in the sample cartridge is set in the sample holder of the read-only device 14. In this case, the reading and writing can be freely performed by the FIB, the TEM, and the read-only device 14 via each sample holder.
【００１５】例えば、ＦＩＢで加工した場所のＸ、Ｙ座
標値、加工ボックスの角度、加工場所のＳＩＭ像、試料
名などに関するＩＤ情報などは、ＦＩＢの制御部１１の
グラフィック・ユーザー・インターフェイス（ＧＵＩ）
上で指示することにより、試料カートリッジに内蔵され
たメモリーカードに書き込むことができる。このとき、
試料をセットした試料カートリッジは、試料ホルダーに
着脱可能に保持された状態で、真空中に置かれている。
書き込まれる情報は、その試料カートリッジを保持して
いる試料ホルダーを介して、試料カートリッジ表面に設
けられた外部接続端子からメモリーカードに入力され
る。For example, the X and Y coordinate values of the location processed by the FIB, the angle of the processing box, the SIM image of the processing location, ID information on the sample name, and the like are stored in a graphic user interface (GUI) of the control unit 11 of the FIB. )
By instructing above, it is possible to write on the memory card built in the sample cartridge. At this time,
The sample cartridge in which the sample is set is placed in a vacuum while being detachably held by the sample holder.
The information to be written is input to a memory card from an external connection terminal provided on the surface of the sample cartridge via a sample holder holding the sample cartridge.
【００１６】次に、ＦＩＢでの微細加工が終了した後、
試料がセットされた試料カートリッジは、ＦＩＢの試料
ホルダーから取り外されて、ＴＥＭの試料ホルダーに移
し替えられる。該試料カートリッジがＴＥＭの試料ホル
ダーにセットされた時点で、ＴＥＭのＧＵＩ上には、試
料カートリッジのメモリーカードの記憶情報が自動的に
読み出されて表示される。また、試料ホルダーを載せて
いるＴＥＭの試料ステージの座標は、メモリーカードに
記憶されたＦＩＢの試料ステージの座標に予めリンクさ
せてあるので、ＦＩＢで加工した場所はＴＥＭの電子線
照射箇所として自動的に設定され、ただちにＧＵＩ上に
ＴＥＭ像を表示させることができる。また、メモリーカ
ードの中に記憶されたＳＩＭ像を読み出せば、ＴＥＭの
ＧＵＩ上で、観察中のＴＥＭ像と対比させることも可能
である。観察の結果得られた観察場所のＸ、Ｙ座標値、
観察場所のＴＥＭ像などの諸情報は、ＴＥＭの試料ホル
ダーを介して、試料カートリッジのメモリーカードに随
時書き込むことができる。観察が終了した後、ＴＥＭの
試料ホルダーから試料カートリッジを取り外せば、ＧＵ
Ｉ上の情報は自動的に消去される。Next, after the fine processing by FIB is completed,
The sample cartridge in which the sample is set is removed from the FIB sample holder and transferred to the TEM sample holder. When the sample cartridge is set in the sample holder of the TEM, the information stored in the memory card of the sample cartridge is automatically read and displayed on the GUI of the TEM. The coordinates of the TEM sample stage on which the sample holder is placed are linked in advance to the coordinates of the FIB sample stage stored in the memory card. And a TEM image can be immediately displayed on the GUI. Further, by reading out the SIM image stored in the memory card, it is possible to compare the SIM image with the TEM image being observed on the GUI of the TEM. X and Y coordinate values of the observation place obtained as a result of the observation,
Various information such as the TEM image of the observation place can be written to the memory card of the sample cartridge at any time via the sample holder of the TEM. After the observation is completed, remove the sample cartridge from the TEM sample holder,
The information on I is automatically deleted.
【００１７】また、ＦＩＢなどの加工装置、ＴＥＭなど
の観察装置の他にも、試料カートリッジのメモリーカー
ドの記憶情報を読み取ることができる専用の読み取り装
置を設け、保管中の試料カートリッジのメモリーカード
からも記憶情報を読み出すことができるようにしてお
く。In addition to a processing device such as an FIB and an observation device such as a TEM, a dedicated reading device capable of reading information stored in a memory card of a sample cartridge is provided, and a memory device of a sample cartridge being stored is provided. In this case, the stored information can be read out.
【００１８】上記試料カートリッジは、上述したＦＩ
Ｂ、ＴＥＭ、読み取り専用装置の間を、順不同で自由自
在に移し替えながら使用することができる。The sample cartridge is provided with the above-described FI
B, TEM, and read-only devices can be used while freely transferring them in any order.
【００１９】尚、図３では、観察装置の例としてＴＥＭ
を挙げたが、ＳＥＭの場合も同様であることは、言うま
でもない。FIG. 3 shows a TEM as an example of the observation device.
However, it goes without saying that the same applies to the case of the SEM.
【００２０】図４は、本発明の使用方法の一実施例を流
れ図として示したものである。先ず最初に、ＦＩＢによ
り試料の微細加工が行なわれる。加工時、または加工
後、試料ＩＤ、試料ステージの座標値、ＳＩＭ像などの
加工情報が試料カートリッジのメモリーカードに随時書
き込まれる。FIG. 4 is a flow chart illustrating one embodiment of the method of use of the present invention. First, fine processing of a sample is performed by FIB. During or after processing, processing information such as the sample ID, the coordinate value of the sample stage, and the SIM image is written to the memory card of the sample cartridge as needed.
【００２１】次に、ＳＥＭやＴＥＭにより、試料の加工
部位の観察が行なわれる。このとき、観察に先立って、
試料カートリッジのメモリーカードから、試料ＩＤ、試
料ステージの座標値、ＳＩＭ画像などの加工情報が読み
出され、ＳＥＭやＴＥＭのＧＵＩに表示されると共に、
試料ステージがメモリーカードから読み出された試料ス
テージの座標値に基づいて自動的に移動して、試料のＦ
ＩＢ加工部位への電子線照射とＳＥＭ像またはＴＥＭ像
の即座の観察とが可能になる。観察中、または観察終了
後、試料ＩＤ、試料ステージの座標値、ＳＥＭ像やＴＥ
Ｍ像などの観察情報が試料カートリッジのメモリーカー
ドに随時書き込まれる。Next, the processed portion of the sample is observed by SEM or TEM. At this time, prior to observation,
From the memory card of the sample cartridge, the processing information such as the sample ID, the coordinate value of the sample stage, and the SIM image is read and displayed on the GUI of the SEM or the TEM.
The sample stage automatically moves based on the coordinate values of the sample stage read from the memory card, and the F
It becomes possible to irradiate the IB processing portion with an electron beam and immediately observe a SEM image or a TEM image. During or after the observation, the sample ID, the coordinate value of the sample stage, the SEM image and the TE
Observation information such as an M image is written to a memory card of the sample cartridge as needed.
【００２２】加工及び観察の終了した試料カートリッジ
は、保管ケースに移されて保管される。試料保管中に、
試料の加工情報や観察情報が必要になった場合は、専用
の試料情報の読み取り装置に試料カートリッジをセット
して、メモリーカードの中に記憶されている試料ＩＤ、
試料ステージの座標値、画像などの加工情報や観察情報
を随時読み出して利用する。The sample cartridge, which has been processed and observed, is moved to a storage case and stored. During sample storage,
When processing information or observation information of the sample is needed, set the sample cartridge in the dedicated sample information reading device, sample ID stored in the memory card,
Processing information such as coordinate values of the sample stage and images and observation information are read and used as needed.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の荷電粒子線
装置用試料保持装置を用いれば、ＦＩＢ、ＴＥＭ、ＳＥ
Ｍなど複数の荷電粒子線装置の間にまたがる試料の加
工、及び観察のプロセスを円滑に進めることができるよ
うになる。特に、ＦＩＢによる試料の加工場所の座標情
報（Ｘ、Ｙ座標の値、加工面の水平に対する角度など）
を試料カートリッジ内のメモリーカードに記録してお
き、観察装置（特にＳＥＭ）内でこの情報を読み出して
条件を再現設定させることができるので、加工と観察の
スループットを飛躍的に向上させることができる。As described above, the FIB, TEM, and SE can be obtained by using the sample holder for the charged particle beam apparatus according to the present invention.
The process of processing and observation of a sample spanning a plurality of charged particle beam devices such as M can be smoothly performed. In particular, coordinate information of the processing location of the sample by the FIB (X, Y coordinate values, angles of the processing surface to the horizontal, etc.)
Can be recorded on a memory card in a sample cartridge, and this information can be read out in an observation device (especially an SEM) to reproduce and set conditions, so that the throughput of processing and observation can be dramatically improved. .
【００２４】また、試料カートリッジ内のメモリーカー
ドの情報を読み取るための専用装置を別に設けておけ
ば、加工装置や観察装置の試料ホルダーに試料カートリ
ッジをセットすることなく、試料カートリッジ内の試料
情報を随時読み出すことができるようになるため、試料
保管時の情報管理が効率的になる。Further, if a dedicated device for reading the information of the memory card in the sample cartridge is separately provided, the sample information in the sample cartridge can be stored without setting the sample cartridge in the sample holder of the processing device or the observation device. Since the data can be read out at any time, information management during sample storage becomes more efficient.
【図１】本発明にかかる試料カートリッジの一実施例で
ある。FIG. 1 is an embodiment of a sample cartridge according to the present invention.
【図２】本発明にかかる試料保持装置の一実施例であ
る。FIG. 2 is an embodiment of a sample holding device according to the present invention.
【図３】本発明の使用方法を模式的に示した図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing a method of using the present invention.
【図４】本発明の使用方法を模式的に示した図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing a method of using the present invention.
１・・・試料カートリッジ、２・・・試料、３・・・板バネ、４・
・・外部接続用端子、５・・・記憶装置、６・・・ＦＩＢホルダ
ー、７・・・ＴＥＭホルダー、８・・・切り欠き部、９・・・ケ
ーブル、１０・・・孔、１１・・・ＦＩＢ制御部、１２・・・Ｔ
ＥＭ制御部、１３・・・操作部、１４・・・読み取り専用装
置。1 ... sample cartridge, 2 ... sample, 3 ... leaf spring, 4 ...
..Terminals for external connection, 5 storage device, 6 FIB holder, 7 TEM holder, 8 notch, 9 cable, 10 hole, 11 ..FIB control unit, 12 ... T
EM control unit, 13 operation unit, 14 read-only device.
Claims (2)
タを記憶する記憶手段、及び該記憶手段に記憶された記
憶内容の読み出しや書き換えを外部ＣＰＵから随時行な
うための外部接続用端子を備えた試料カートリッジと、
該試料カートリッジを着脱可能に保持しつつ、該試料カ
ートリッジの外部接続用端子を介して得られる前記記憶
手段の記憶内容を外部ＣＰＵに伝達すると共に、外部Ｃ
ＰＵから送られてくるデータを該試料カートリッジの外
部接続用端子を介して該試料カートリッジの記憶手段に
伝達する試料ホルダーとを備えたことを特徴とする荷電
粒子線装置用試料保持装置。A storage unit for holding a sample, storage means for storing data relating to the sample, and an external connection terminal for reading and rewriting the storage content stored in the storage means from an external CPU as needed. A sample cartridge,
While holding the sample cartridge detachably, the storage contents of the storage means obtained through the external connection terminal of the sample cartridge are transmitted to an external CPU,
A sample holder for a charged particle beam device, comprising: a sample holder for transmitting data sent from a PU to a storage means of the sample cartridge via a terminal for external connection of the sample cartridge.
とを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置用試料保
持装置。2. The sample holding device for a charged particle beam apparatus according to claim 1, wherein said storage means is a memory card.
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2000
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