JP2001285996A - Ultrasonic probe - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波診断装置な
どに用いる超音波探触子に関する。The present invention relates to an ultrasonic probe used for an ultrasonic diagnostic apparatus and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】超音波探触子は、生体を対象とした超音
波診断装置などに用いられている。従来の超音波探触子
としては、特開平８−１２２３１０号公報に記載された
ものが知られている。図８に、従来の超音波探触子の概
略断面図を示す。図８において、圧電素子１２は、超音
波を送受信するための素子であり、その両面には、電極
１２ａ，ｂが設けられている。音響整合層１４は、被検
体（生体）に超音波を効率よく送受信するためのもので
あり、圧電素子１２の一方の電極１２ａ上に設けられて
いる。音響整合層の圧電素子１２と反対側の面上には、
超音波を収束させる音響レンズ１５が設けられている。
圧電素子１２の他方の電極１２ｂ面には、信号用電気端
子１６が設けられている。この信号用電気端子１６は、
絶縁体１８と導体１７とからなり、導体１７は、圧電素
子１２の電極１２ｂに接する。信号用電気端子１６は、
ポリイミドなどの絶縁体１８をベース部とし、その上に
３ミクロン程度の銅を蒸着し、パターニングして導体１
７としたものである。更に、背面負荷材１３は、圧電素
子１２にダンピング効果を与えるものであり、信号用電
気端子１６の絶縁体１８の側に設けられている。そし
て、信号用電気端子１６は、圧電素子１２と背面負荷材
１３の積層部分から横方向に延出して、背面負荷材１３
の側面に折り曲げられている。2. Description of the Related Art An ultrasonic probe is used for an ultrasonic diagnostic apparatus for a living body. As a conventional ultrasonic probe, one described in JP-A-8-122310 is known. FIG. 8 shows a schematic sectional view of a conventional ultrasonic probe. In FIG. 8, a piezoelectric element 12 is an element for transmitting and receiving ultrasonic waves, and electrodes 12a and 12b are provided on both surfaces thereof. The acoustic matching layer 14 is for efficiently transmitting and receiving ultrasonic waves to and from a subject (living body), and is provided on one electrode 12 a of the piezoelectric element 12. On the surface of the acoustic matching layer opposite to the piezoelectric element 12,
An acoustic lens 15 for converging the ultrasonic waves is provided.
On the other electrode 12 b surface of the piezoelectric element 12, a signal electric terminal 16 is provided. This signal electrical terminal 16
It comprises an insulator 18 and a conductor 17, and the conductor 17 contacts the electrode 12 b of the piezoelectric element 12. The signal electrical terminal 16 is
Conductor 1 is formed by depositing copper of about 3 μm on an insulator 18 such as polyimide as a base and patterning the copper.
7 is set. Further, the back load member 13 gives a damping effect to the piezoelectric element 12 and is provided on the insulator 18 side of the signal electric terminal 16. The signal electrical terminals 16 extend laterally from the laminated portion of the piezoelectric element 12 and the back load member 13, and
The side is bent.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の超音波探触子では、一般に圧電素子と背面負荷材と
の間にある信号用電気端子の絶縁体の厚みが厚く、背面
負荷材のダンピング効果に悪影響を与え、超音波探触子
の音響特性、特に周波数特性を低化させるという問題が
ある。本発明は、このような問題を解決するためなされ
たもので、超音波探触子の音響特性、特に周波数特性の
低下をなくした超音波探触子を提供するものである。However, in the conventional ultrasonic probe, the thickness of the insulator of the signal electric terminal between the piezoelectric element and the back load material is generally large, and the back load material is not damped. There is a problem that the effect is adversely affected and the acoustic characteristics, particularly the frequency characteristics, of the ultrasonic probe are reduced. The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic probe in which acoustic characteristics, particularly frequency characteristics, of the ultrasonic probe are not reduced.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明の超音波探触子
は、両面に電極を有する圧電素子と、前記圧電素子の一
方の電極の側に設けた背面負荷材と、前記圧電素子と前
記背面負荷材との間の信号用電気端子とを備え、前記信
号用電気端子は、前記背面負荷材に面する絶縁体と、前
記圧電素子の一方の電極面に面し、前記圧電素子に電気
的に接続される導体とからなり、前記信号用電気端子の
前記絶縁体は、前記圧電素子の超音波放射面に面する部
分の厚みが、１／２５波長以下である構成を有してい
る。この構成により、超音波探触子の送受信感度を良好
にし且つ、良好な分解能を得ることが出来、周波数特性
を良好にすることができる。従って、超音波診断装置の
画像の高分解能化、高感度化ができる。また、外部から
の機械的な衝撃により圧電素子が割れたとしても、電気
的な接続は維持されるため、故障することが少なく品質
が安定した超音波探触子を得ることが出来る。An ultrasonic probe according to the present invention comprises a piezoelectric element having electrodes on both surfaces, a back load member provided on one electrode side of the piezoelectric element, the piezoelectric element and the piezoelectric element. A signal electric terminal between the back load member and the signal electric terminal; an insulator facing the back load member; and an electrode facing one electrode surface of the piezoelectric element, and an electric terminal connected to the piezoelectric element. And the insulator of the signal electrical terminal has a configuration in which the thickness of the portion of the piezoelectric element facing the ultrasonic wave emitting surface is 1/25 wavelength or less. . With this configuration, the transmission / reception sensitivity of the ultrasonic probe can be improved, a good resolution can be obtained, and the frequency characteristics can be improved. Therefore, it is possible to increase the resolution and sensitivity of the image of the ultrasonic diagnostic apparatus. Further, even if the piezoelectric element is broken by a mechanical shock from the outside, the electrical connection is maintained, so that it is possible to obtain an ultrasonic probe with less failure and stable quality.
【０００５】また、発明の超音波探触子は、その絶縁体
材料が、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リサルフォン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリ
スチレン、ポリフェニレンサルファイドから選択される
材料を用いた超音波探触子である構成を有している。ま
た、本発明の超音波探触子は、その絶縁体の音響インピ
ーダンスが、圧電素子と背面負荷材の音響インピーダン
スよりも小さいことを特徴とする超音波探触子である構
成を有している。The ultrasonic probe of the present invention is an ultrasonic probe using an insulating material selected from a material selected from polyimide, polyethylene terephthalate, polysulfone, polycarbonate, polyester, polystyrene, and polyphenylene sulfide. It has a configuration. Further, the ultrasonic probe of the present invention has a configuration which is an ultrasonic probe characterized in that the acoustic impedance of the insulator is smaller than the acoustic impedance of the piezoelectric element and the back load material. .
【０００６】本発明の別の態様では、超音波探触子は、
両面に電極を有する圧電素子と、前記圧電素子の一方の
電極の側に設けた背面負荷材と、前記圧電素子と前記背
面負荷材との間の第１信号用電気端子とを備え、前記第
１信号用電気端子は、前記背面負荷材に面する絶縁体
と、前記圧電素子の一方の電極面に面し、前記圧電素子
に電気的に接続される導体とからなり、前記第１信号用
電気端子の前記絶縁体は、前記圧電素子の超音波放射面
に面する部分の厚みが、１／２５波長以下であり、前記
背面負荷材の横方向外側に、絶縁体と導体からなる第２
信号用電気端子を設け、前記第１信号用電気端子の導体
と前記第２信号用電気端子の導体とを電気的に接続した
構成を有している。この構成により、超音波探触子の送
受信感度を良好にし且つ、良好な分解能を得ることが出
来、良好な周波数特性を得ることが出来る。従って、超
音波診断装置で高分解能、高感度の画像を得ることがで
きる。また、外部からの機械的な衝撃により圧電素子が
割れたとしても、電気的な接続は維持されるため、故障
することが少なく品質が安定した超音波探触子を得るこ
とが出来る。また、製造が容易である。[0006] In another aspect of the present invention, an ultrasonic probe comprises:
A piezoelectric element having electrodes on both sides, a back load member provided on one electrode side of the piezoelectric element, and a first signal electrical terminal between the piezoelectric element and the back load member; The 1 signal electrical terminal includes an insulator facing the back load material, and a conductor facing one electrode surface of the piezoelectric element and electrically connected to the piezoelectric element, The insulator of the electric terminal has a thickness of a portion facing the ultrasonic wave emitting surface of the piezoelectric element of 1/25 wavelength or less, and a second side including an insulator and a conductor is provided laterally outside the back load material.
A signal electric terminal is provided, and the conductor of the first signal electric terminal is electrically connected to the conductor of the second signal electric terminal. With this configuration, the transmission / reception sensitivity of the ultrasonic probe can be improved, good resolution can be obtained, and good frequency characteristics can be obtained. Therefore, a high-resolution and high-sensitivity image can be obtained by the ultrasonic diagnostic apparatus. Further, even if the piezoelectric element is broken by a mechanical shock from the outside, the electrical connection is maintained, so that it is possible to obtain an ultrasonic probe with less failure and stable quality. Also, it is easy to manufacture.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の第
１の実施の形態による超音波探触子の概略断面図であ
る。圧電素子１は、ＰＺＴ系等の圧電セラミックス、単
結晶、及びＰＶＤＦ等の高分子等で形成され、超音波を
送受するものである。圧電素子１の両面には、電極１
ａ，１ｂが設けられている。この電極１ａ，１ｂは、
金、銀等の金属をスパッタ、蒸着、焼き付けなどの方法
で形成したものである。圧電素子１の一方の電極１ａ上
に音響整合層３が設けられる。これは、圧電素子１と被
検体（生体、図示せず）との音響的な整合を取るための
ものであり、１層若しくは複数層の主として樹脂又はグ
ラファイトから形成されている。音響整合層３の上に音
響レンズ４が設けられる。これは、超音波の収束、発
散、偏向を行うものであり、主としてシリコーンゴムを
用いる。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view of an ultrasonic probe according to the first embodiment of the present invention. The piezoelectric element 1 is made of piezoelectric ceramics such as PZT, single crystal, and polymer such as PVDF, and transmits and receives ultrasonic waves. On both surfaces of the piezoelectric element 1, electrodes 1
a and 1b are provided. These electrodes 1a, 1b
A metal such as gold or silver is formed by a method such as sputtering, vapor deposition or baking. An acoustic matching layer 3 is provided on one electrode 1 a of the piezoelectric element 1. This is for achieving acoustic matching between the piezoelectric element 1 and a subject (living body, not shown), and is made of one or more layers of mainly resin or graphite. An acoustic lens 4 is provided on the acoustic matching layer 3. This performs convergence, divergence, and deflection of ultrasonic waves, and mainly uses silicone rubber.
【０００８】圧電素子１の他方の電極１ｂ上に、信号用
電気端子５が設けられる。信号用電気端子５は、圧電素
子１の電極１ｂに接する導体６と、電極１ｂから遠い側
の絶縁体７とからなる。導体６は、スパッタ、蒸着、焼
き付け等の方法で、金属等の導体を絶縁体７上に積層し
て形成されたものである。導体６は、圧電素子１と電気
的に接続される。信号用電気端子５の絶縁体７上に背面
負荷材２が設けられる。背面負荷材２は、エポキシ樹脂
又は、フェライトなどを混入したゴムなどが用いられ、
圧電素子１にダンピング効果を持たせ、且つ圧電素子１
を機械的に支持するものであり、絶縁体７と接着され
る。そして、信号用電気端子５は、圧電素子１と背面負
荷材２の積層部分から横方向に延出して、背面負荷材２
の側面に折り曲げられている。A signal electric terminal 5 is provided on the other electrode 1 b of the piezoelectric element 1. The signal electric terminal 5 includes a conductor 6 that is in contact with the electrode 1b of the piezoelectric element 1 and an insulator 7 that is farther from the electrode 1b. The conductor 6 is formed by laminating a conductor such as a metal on the insulator 7 by a method such as sputtering, vapor deposition, or baking. The conductor 6 is electrically connected to the piezoelectric element 1. The back load member 2 is provided on the insulator 7 of the signal electric terminal 5. The back load material 2 is made of epoxy resin or rubber mixed with ferrite or the like.
The piezoelectric element 1 has a damping effect and the piezoelectric element 1
Is mechanically supported, and is bonded to the insulator 7. The signal electric terminal 5 extends laterally from the laminated portion of the piezoelectric element 1 and the back load member 2 and
The side is bent.
【０００９】圧電素子１と信号用電気端子５の導体６と
は、電気的に接続させるために、導電性接着剤で接着す
る方法やエポキシ樹脂などで極めて薄く接着するいわゆ
るオーミックコンタクトと言われる方法等により接合さ
れる。圧電素子１に対する背面負荷材２のダンピング効
果に悪影響を与えないようにするため、信号用電気端子
５の厚さを十分に薄くする必要がある。導体６は、従来
のものでも、例えば３．５ＭＨｚの周波数に設定した超
音波探触子の場合、導体６の厚みは、１／４００波長以
下のものが使われていて、超音波探触子の音響特性にあ
まり悪影響を与えない。しかし、信号用電気端子５の絶
縁体７の厚さが厚いと音響特性に悪影響を及ぼす。従っ
て、絶縁体７の厚みを、音響特性に悪影響を及ぼさない
厚さに制限する必要がある。The piezoelectric element 1 and the conductor 6 of the signal electric terminal 5 are electrically connected to each other by a method of bonding with a conductive adhesive or a method of so-called ohmic contact, which is bonded very thinly with an epoxy resin or the like. And so on. In order not to adversely affect the damping effect of the back load member 2 on the piezoelectric element 1, it is necessary to make the thickness of the signal electric terminal 5 sufficiently thin. Even if the conductor 6 is a conventional one, for example, in the case of an ultrasonic probe set to a frequency of 3.5 MHz, the thickness of the conductor 6 is 1/400 wavelength or less, and the ultrasonic probe is used. Does not adversely affect the acoustic characteristics of the However, if the thickness of the insulator 7 of the signal electric terminal 5 is large, the acoustic characteristics are adversely affected. Therefore, it is necessary to limit the thickness of the insulator 7 to a thickness that does not adversely affect the acoustic characteristics.
【００１０】第１の実施の形態の実施例１として、圧電
素子１はＰＺＴ系の圧電セラミックスとし、背面負荷材
２は音響インピーダンスが７ＭＲａｙｌのフェライトを
混入したゴムとし、絶縁体７はポリイミド（音速：約２
２５０ｍ／ｓ、音響インピーダンス：約３ ＭＲａｙ
ｌ）として、図１の構造の超音波探触子を作成した。図
２は、実施例１で、超音波を３．５ＭＨｚの周波数に設
定した場合について、絶縁体７の厚みを変化させたとき
の音響特性の計算結果である。横軸は、絶縁体７の厚み
を超音波の波長で割った数値を示す。第１縦軸は-６ｄ
Ｂのレベルの比帯域（比帯域＝帯域幅÷中心周波数）で
あり、この数値が大きいほど、超音波探触子の分解能は
高い。第２縦軸は感度を示し、この数値が大きいほど超
音波探触子の感度が高い。絶縁体７の厚みが０のときと
比較して比帯域が５％低下するレベルを点線で示す。図
２から、絶縁体７の厚みが厚くなるほど、感度は向上す
るが、比帯域は低下していくことが分かる。In Example 1 of the first embodiment, the piezoelectric element 1 is made of PZT-based piezoelectric ceramics, the back load material 2 is made of rubber mixed with ferrite having an acoustic impedance of 7 MRayl, and the insulator 7 is made of polyimide (sound speed). : About 2
250 m / s, acoustic impedance: about 3 MRay
As 1), an ultrasonic probe having the structure shown in FIG. 1 was prepared. FIG. 2 is a calculation result of the acoustic characteristics when the thickness of the insulator 7 is changed in the case where the ultrasonic wave is set to the frequency of 3.5 MHz in the first embodiment. The horizontal axis indicates a value obtained by dividing the thickness of the insulator 7 by the wavelength of the ultrasonic wave. The first vertical axis is -6d
This is a fractional band of the level B (fractional band = bandwidth ÷ center frequency). The larger this value is, the higher the resolution of the ultrasonic probe is. The second vertical axis indicates the sensitivity, and the greater the value, the higher the sensitivity of the ultrasonic probe. The level at which the fractional band is reduced by 5% as compared with the case where the thickness of the insulator 7 is 0 is indicated by a dotted line. From FIG. 2, it can be seen that as the thickness of the insulator 7 increases, the sensitivity increases, but the fractional band decreases.
【００１１】超音波探触子の特性の低化は少ないことが
望ましいが、実際には製作上で特性のばらつきが出るの
が実状である。分解能の低下は、超音波画像で見たとき
に差違が分からない程度の低化であれば問題無いレベル
といえる。この問題ないレベルは、周波数特性の比帯域
では、約−７．５％程度の低下であるが、これは超音波
探触子全体の値であり、各材料のばらつきや、各接着層
のばらつきなどが含まれている。絶縁体７の厚みの寄与
による比帯域の低下は、さらに小さくする必要がある。
絶縁体７の厚さは、絶縁体７の厚みが０の場合と比較し
て比帯域の低下が−５％以下になる厚みに制限すること
が望ましい。図２から、絶縁体７の厚みが０の場合と比
較して、比帯域の低下を-５％以下とするには、絶縁体
７の厚みを、超音波の波長の１／２５波長以下にする必
要があることがわかる。Although it is desirable that the reduction in the characteristics of the ultrasonic probe is small, it is actually the case that the characteristics vary in actual production. The reduction in resolution can be said to be a problem-free level as long as the difference is not seen when viewed in an ultrasonic image. The level at which there is no problem is a decrease of about -7.5% in the specific band of the frequency characteristic, but this is a value of the entire ultrasonic probe, and the variation of each material and the variation of each adhesive layer are considered. And so on. It is necessary to further reduce the decrease in the fractional band due to the contribution of the thickness of the insulator 7.
It is desirable that the thickness of the insulator 7 be limited to a thickness at which the ratio band decreases by -5% or less as compared with the case where the thickness of the insulator 7 is 0. From FIG. 2, the thickness of the insulator 7 is set to be equal to or less than 1/25 of the wavelength of the ultrasonic wave in order to reduce the ratio band to −5% or less as compared with the case where the thickness of the insulator 7 is 0. You need to do that.
【００１２】図３は、実施例１の絶縁体７を用いた超音
波探触子の中心周波数をを３．５ＭＨｚに設定したとき
の周波数特性グラフの計算結果である。図３は、駆動周
波数に対する正規化送受信感度を表している。絶縁体７
の厚みが、０のものと、１／２５波長以下（１／２５波
長）のものと、１／２５波長より厚い（１／１０波長）
のものの３通りを示している。図３より、絶縁体７の厚
みが０の場合の比帯域は、約６２ ％であり、１／２５
波長以下（１／２５波長）の厚みの場合の比帯域は、約
６１ ％であり、１／２５波長より厚い場合（１／１０
波長）の比帯域は、約５３％である。図３から、絶縁体
７に、１／２５波長より厚いものを用いると、超音波探
触子の比帯域が、低下することが分かる。このように、
絶縁体７の厚みを、１／２５波長以下にすることで、超
音波探触子の送受信感度を向上させ且つ、良好な周波数
特性にすることができる。FIG. 3 is a calculation result of a frequency characteristic graph when the center frequency of the ultrasonic probe using the insulator 7 of the first embodiment is set to 3.5 MHz. FIG. 3 shows the normalized transmission / reception sensitivity with respect to the driving frequency. Insulator 7
Thickness is 0, 1/25 wavelength or less (1/25 wavelength), and thicker than 1/25 wavelength (1/10 wavelength)
3 are shown. From FIG. 3, the fractional band when the thickness of the insulator 7 is 0 is about 62%,
When the thickness is less than the wavelength (1/25 wavelength), the fractional band is about 61%, and when the thickness is greater than 1/25 wavelength (1/10 wavelength).
Wavelength) is about 53%. From FIG. 3, it is understood that when the insulator 7 having a thickness larger than 1/25 wavelength is used, the specific band of the ultrasonic probe is reduced. in this way,
By setting the thickness of the insulator 7 to be equal to or less than 1/25 wavelength, the transmission / reception sensitivity of the ultrasonic probe can be improved and excellent frequency characteristics can be obtained.
【００１３】実施例１では、絶縁体７の材料としてポリ
イミドを用いたが、これ以外に、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリエス
テル、ポリスチレン、ポリフェニレンサルファイドなど
の材料を用いることができる。実施例２として、絶縁体
７にポリエチレンテレフタレートを用い、図１の構造の
超音波探触子を作成した。圧電素子１、背面負荷材２
は、実施例１と同様である。図４は、実施例２の超音波
探触子について、３．５ＭＨｚの周波数に設定したとき
の、絶縁体７の厚みを変化させた場合の音響特性の計算
結果である。実施例３として、絶縁体７にポリサルフォ
ンを用い、図１の構造の超音波探触子を作成した。図５
は、実施例３の超音波探触子について、３．５ＭＨｚの
周波数に設定したときの、絶縁体７の厚みを変化させた
場合の音響特性の計算結果である。図４及び図５とも
に、絶縁体７の厚みが厚くなるほど、感度は向上する
が、比帯域は低下している。図４及び図５ともに、比帯
域の低下の程度を、絶縁体７の厚みがほぼ０の場合と比
較して、５％以内にすることとすると、絶縁体７の厚み
は、１／２５波長以下にする必要があることがわかる。In the first embodiment, polyimide is used as the material of the insulator 7, but other materials such as polyethylene terephthalate, polysulfone, polycarbonate, polyester, polystyrene, and polyphenylene sulfide can be used. As Example 2, an ultrasonic probe having the structure shown in FIG. 1 was prepared using polyethylene terephthalate as the insulator 7. Piezoelectric element 1, back load material 2
Is the same as in the first embodiment. FIG. 4 is a calculation result of acoustic characteristics when the thickness of the insulator 7 is changed when the frequency of the ultrasonic probe of the second embodiment is set to 3.5 MHz. As Example 3, an ultrasonic probe having the structure shown in FIG. 1 was prepared using polysulfone for the insulator 7. FIG.
9 shows the calculation results of the acoustic characteristics of the ultrasonic probe of Example 3 when the thickness of the insulator 7 is changed when the frequency is set to 3.5 MHz. 4 and 5, the sensitivity increases as the thickness of the insulator 7 increases, but the specific band decreases. 4 and 5, if the degree of reduction of the fractional band is set to within 5% as compared with the case where the thickness of the insulator 7 is almost 0, the thickness of the insulator 7 becomes 1/25 wavelength. It turns out that it is necessary to do the following.
【００１４】このように、絶縁体７にポリエチレンテレ
フタレートやポリサルフォンなどの材料を用いても、絶
縁体７にポリイミドを用いた場合と同様に、１／２５波
長以下の厚みの絶縁体を用いることで、超音波探触子の
送受信感度を向上させ、且つ良好な分解能を得ることが
出来、良好な周波数特性にすることができる。また、ポ
リイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリサルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリスチレン、
ポリフェニレンサルファイドなどの材料の音響インピー
ダンスは、２〜４ ＭＲａｙｌである。一般に、圧電素
子１は音響インピーダンスが３０ ＭＲａｙｌ 前後の材
料を、背面負荷材２は音響インピーダンスが５〜１０
ＭＲａｙｌ の材料を使用することから、絶縁体７の厚
みを１／２５波長以下とし、且つ絶縁体７は、音響イン
ピーダンスが、圧電素子１と背面負荷材２との音響イン
ピーダンスよりも小さい材料を用いるのが好適である。As described above, even if a material such as polyethylene terephthalate or polysulfone is used for the insulator 7, as in the case where polyimide is used for the insulator 7, it is possible to use an insulator having a thickness of 1/25 wavelength or less. In addition, the transmission / reception sensitivity of the ultrasonic probe can be improved, a good resolution can be obtained, and good frequency characteristics can be obtained. In addition, polyimide, polyethylene terephthalate, polysulfone, polycarbonate, polyester, polystyrene,
The acoustic impedance of materials such as polyphenylene sulfide is between 2 and 4 MRayl. Generally, the piezoelectric element 1 is made of a material having an acoustic impedance of about 30 MRayl, and the back load material 2 is made of a material having an acoustic impedance of 5 to 10 Mrayls.
Since the material of MRayl is used, the thickness of the insulator 7 is set to 1/25 wavelength or less, and the insulator 7 is made of a material whose acoustic impedance is smaller than the acoustic impedance of the piezoelectric element 1 and the back load material 2. Is preferred.
【００１５】図６は、図１に示す本発明の第１の実施の
形態の超音波探触子について、圧電素子１と、背面負荷
材２と、信号用電気端子５との部分の拡大図である。図
６において、信号用電気端子５の絶縁体７は、圧電素子
１の超音波放射面に面する部分（Ａ部分）の厚みを超音
波の波長の１／２５波長以下とする必要がある。しか
し、圧電素子１と背面負荷材２の積層部分から横方向に
延出した部分は、超音波探触子の音響特性には影響しな
いので、絶縁体の厚みを規制する必要はない。FIG. 6 is an enlarged view of a portion of a piezoelectric element 1, a back load member 2, and a signal electric terminal 5 in the ultrasonic probe according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. It is. In FIG. 6, the insulator 7 of the signal electrical terminal 5 needs to have a thickness (portion A) facing the ultrasonic wave emitting surface of the piezoelectric element 1 not more than 1/25 wavelength of the wavelength of the ultrasonic wave. However, since the portion extending in the lateral direction from the laminated portion of the piezoelectric element 1 and the back load member 2 does not affect the acoustic characteristics of the ultrasonic probe, it is not necessary to regulate the thickness of the insulator.
【００１６】また、電子走査型超音波探触子の場合、超
音波探触子は、走査方向に複数個のエレメントを構成す
るために、圧電素子１と、信号用電気端子５と、背面負
荷材２の一部は、切削などの方法で分割される。このた
め、導体６のＡ部分には、パターニングを施す必要はな
い。さらに、信号用電気端子５は、圧電素子１の超音波
放射面のなるべく広い範囲に取り付けるようにすると、
外部からの機械的な衝撃により圧電素子１が割れた場合
も、電気的な接続は損なわれないので、故障することが
少なく、電気信号を良好に送受信することができる。以
上のように第１の実施の形態の構成による超音波探触子
は、超音波探触子の周波数特性を低下させることなく、
且つ高感度な音響特性を実現できる。さらに機械的な衝
撃などにより圧電素子が割れたとしても電気的な断線が
ない構造であるため品質の高い超音波探触子を得ること
ができる。In the case of an electronic scanning ultrasonic probe, the ultrasonic probe comprises a piezoelectric element 1, an electric signal terminal 5, a back load, and a plurality of elements in a scanning direction. A part of the material 2 is divided by a method such as cutting. Therefore, it is not necessary to pattern the portion A of the conductor 6. Further, if the signal electric terminals 5 are attached to the ultrasonic radiation surface of the piezoelectric element 1 as wide as possible,
Even when the piezoelectric element 1 is broken by an external mechanical shock, the electrical connection is not impaired, so that the piezoelectric element 1 is less likely to break down and can transmit and receive electric signals satisfactorily. As described above, the ultrasonic probe according to the configuration of the first embodiment does not reduce the frequency characteristics of the ultrasonic probe,
In addition, highly sensitive acoustic characteristics can be realized. Further, even if the piezoelectric element is broken by a mechanical shock or the like, the structure has no electrical disconnection, so that a high-quality ultrasonic probe can be obtained.
【００１７】図７は、本発明の第２の実施の形態による
超音波探触子の拡大断面図であり、第１の実施の形態の
図６に対応する図である。第２の実施の形態では、信号
用電気端子を、圧電素子１と背面負荷材２に挟まれる第
１信号用電気端子８と、圧電素子１と背面負荷材２の積
層部分の外側の第２信号用電気端子１１とに分割してあ
る。第２の実施の形態において、圧電素子１、背面負荷
材２は、第１の実施の形態と同様である。圧電素子１の
電極１ｂ上に、第１信号用電気端子８が設けられる。第
１信号用電気端子８は、圧電素子１の電極１ｂに接する
導体９と、絶縁体１０とからなる。導体９は、スパッ
タ、蒸着、焼き付け等の方法で、金属等の導体を絶縁体
１０上に積層して形成されたものである。導体９は、圧
電素子１と電気的に接続される。絶縁体１０は、背面負
荷材２と接着される。第２信号用電気端子１１が、圧電
素子１と背面負荷材２の積層部分の側方に設けられる。
第２信号用電気端子１１は、絶縁体上に、パターニング
された導体を、スパッタ、蒸着、焼き付けなどの方法で
積層したものである。FIG. 7 is an enlarged sectional view of an ultrasonic probe according to a second embodiment of the present invention, and corresponds to FIG. 6 of the first embodiment. In the second embodiment, the signal electric terminals are connected to the first signal electric terminal 8 sandwiched between the piezoelectric element 1 and the back load member 2 and the second signal electric terminal 8 outside the laminated portion of the piezoelectric element 1 and the back load member 2. It is divided into signal electric terminals 11. In the second embodiment, the piezoelectric element 1 and the back load member 2 are the same as in the first embodiment. A first signal electric terminal 8 is provided on the electrode 1 b of the piezoelectric element 1. The first signal electric terminal 8 includes a conductor 9 in contact with the electrode 1 b of the piezoelectric element 1 and an insulator 10. The conductor 9 is formed by laminating a conductor such as a metal on the insulator 10 by a method such as sputtering, vapor deposition, or baking. The conductor 9 is electrically connected to the piezoelectric element 1. The insulator 10 is bonded to the back load member 2. The second signal electrical terminal 11 is provided on the side of the laminated portion of the piezoelectric element 1 and the back load member 2.
The second signal electrical terminal 11 is formed by laminating a patterned conductor on an insulator by a method such as sputtering, vapor deposition, or baking.
【００１８】圧電素子１と第１信号用電気端子８の導体
９とは、電気的に接続させるために、導電性接着剤で接
着する方法やエポキシ樹脂などで極めて薄く接着するい
わゆるオーミックコンタクトと言われる方法等により接
合される。第１信号用電気端子８の導体９と、第２信号
用電気端子１１の導体とは、超音波放射面（Ａ部分）以
外の部分で、電気的に接続させるために、導電性接着剤
で接着する方法やエポキシ樹脂などで極めて薄く接着す
るいわゆるオーミックコンタクトと言われる方法等によ
り接合される。The piezoelectric element 1 and the conductor 9 of the first signal electrical terminal 8 are referred to as a so-called ohmic contact in which a method of bonding with a conductive adhesive or an extremely thin bonding with an epoxy resin or the like is used for electrical connection. It is joined by a known method. The conductor 9 of the first signal electric terminal 8 and the conductor of the second signal electric terminal 11 are electrically connected to each other at a portion other than the ultrasonic wave emitting surface (portion A) with a conductive adhesive. The bonding is performed by a bonding method or a method called an ohmic contact in which bonding is extremely thin with an epoxy resin or the like.
【００１９】本発明の第２の実施の形態では、第１の実
施の形態と同様に、第１信号用電気端子８の絶縁体１０
の厚みを１／２５波長以下にすることで、超音波探触子
の送受信感度を向上させ且つ、良好な周波数特性にする
ことができる。また、絶縁体１０は、圧電素子１の超音
波放射面（Ａ部分）以外では、超音波探触子の音響特性
には影響しないので、絶縁体の厚みを規制する必要はな
い。また、第２の実施の形態においても、絶縁体１０の
材料としては、本発明の第１の実施例と同様に、ポリイ
ミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリサルフォン、
ポリカーボネート、ポリエステル、ポリスチレン、ポリ
フェニレンサルファイド等の材料を用いるのが好適であ
る。ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリサ
ルフォン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリスチ
レン、ポリフェニレンサルファイドなどの材料の音響イ
ンピーダンスは、２〜４ ＭＲａｙｌであり、一般的に
圧電素子１の材料の音響インピーダンスは、３０ ＭＲ
ａｙｌ前後のものを、背面負荷材２の材料の音響インピ
ーダンスは、５〜１０ ＭＲａｙｌ のものを使用するこ
とから、絶縁体１０の厚みが１／２５波長以下であり、
且つ絶縁体１０の音響インピーダンスが、圧電素子１と
背面負荷材２との音響インピーダンスよりも小さい、絶
縁体１０を用いるのが好適である。In the second embodiment of the present invention, similarly to the first embodiment, the insulator 10 of the first signal electrical terminal 8 is used.
By setting the thickness to 1/25 wavelength or less, the transmission / reception sensitivity of the ultrasonic probe can be improved and excellent frequency characteristics can be obtained. In addition, since the insulator 10 does not affect the acoustic characteristics of the ultrasonic probe except for the ultrasonic radiation surface (part A) of the piezoelectric element 1, it is not necessary to regulate the thickness of the insulator. Also, in the second embodiment, the material of the insulator 10 is polyimide, polyethylene terephthalate, polysulfone, as in the first embodiment of the present invention.
It is preferable to use materials such as polycarbonate, polyester, polystyrene, and polyphenylene sulfide. The acoustic impedance of materials such as polyimide, polyethylene terephthalate, polysulfone, polycarbonate, polyester, polystyrene, and polyphenylene sulfide is 2 to 4 MRayl, and the acoustic impedance of the material of the piezoelectric element 1 is generally 30 MR.
Since the acoustic impedance of the material of the back load material 2 is about 5 to 10 MRayl, the thickness of the insulator 10 is 1/25 wavelength or less,
Moreover, it is preferable to use the insulator 10 in which the acoustic impedance of the insulator 10 is smaller than the acoustic impedance of the piezoelectric element 1 and the back load material 2.
【００２０】また、第２の実施の形態においても、電子
走査型超音波探触子の場合、超音波探触子は、走査方向
に複数個のエレメントを構成するために、圧電素子１
と、第１信号用電気端子８と、背面負荷材２の一部は、
切削などの方法で分割されるので、Ａ部分では、導体６
にパターニングを施す必要はない。さらに、信号用電気
端子８は、圧電素子１の超音波放射面のなるべく広い範
囲に取り付けることで、外部からの機械的な衝撃により
圧電素子１が割れたとしても、電気的な接続は維持され
るため、故障することが少なく電気信号を良好に送受信
することができる。Also in the second embodiment, in the case of an electronic scanning ultrasonic probe, the ultrasonic probe comprises a plurality of elements in the scanning direction.
And the first signal electrical terminal 8 and a part of the rear load material 2
Since it is divided by a method such as cutting, the conductor A
Need not be patterned. Further, by attaching the signal electrical terminals 8 to the ultrasonic radiation surface of the piezoelectric element 1 as wide as possible, the electrical connection is maintained even if the piezoelectric element 1 is broken by external mechanical shock. Therefore, it is possible to transmit and receive an electric signal satisfactorily with less failure.
【００２１】以上のように、第２の実施の形態の超音波
探触子も、第１の実施の形態の超音波探触子と同様に、
超音波探触子の周波数特性を低下させることなく、且つ
高感度な音響特性を実現できる。さらに機械的な衝撃な
どにより圧電素子が割れたとしても電気的な断線がない
構造であるため品質の高い超音波探触子を得ることがで
きる。さらに、第２の実施の形態による超音波探触子
は、信号用電気端子を厚みを厳密に制御する必要のある
薄い第１信号用電気端子と、厚みの制限が必要ない第２
信号用電気端子とに分割してあるので、厚みの異なる第
１信号用電気端子と第２信号用電気端子とは別々に製造
することができる。従って、厚みの要求が異なる部分を
有し、折り曲げる必要のある第１の実施の形態の超音波
探触子と比較して、製造が容易であるという利点があ
る。As described above, the ultrasonic probe according to the second embodiment is similar to the ultrasonic probe according to the first embodiment.
Highly sensitive acoustic characteristics can be realized without lowering the frequency characteristics of the ultrasonic probe. Further, even if the piezoelectric element is broken by a mechanical shock or the like, the structure has no electrical disconnection, so that a high-quality ultrasonic probe can be obtained. Further, the ultrasonic probe according to the second embodiment has a thin first signal electric terminal for which the thickness of the signal electric terminal needs to be strictly controlled, and a second signal electric terminal for which the thickness is not limited.
Since it is divided into the signal electric terminals, the first signal electric terminals and the second signal electric terminals having different thicknesses can be manufactured separately. Therefore, there is an advantage that the manufacturing is easier as compared with the ultrasonic probe according to the first embodiment, which has a portion requiring a different thickness and needs to be bent.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波探
触子は、両面に電極を有する圧電素子と、前記圧電素子
の一方の電極の側に設けた背面負荷材と、前記圧電素子
と前記背面負荷材との間の信号用電気端子とを備え、前
記信号用電気端子は、前記背面負荷材に面する絶縁体
と、前記圧電素子の一方の電極面に面し、前記圧電素子
に電気的に接続される導体とからなり、前記信号用電気
端子の前記絶縁体は、前記圧電素子の超音波放射面に面
する部分の厚みが、１／２５波長以下である。これによ
り、超音波探触子の送受信感度を良好にし且つ、良好な
分解能を得ることが出来、良好な周波数特性を得ること
が出来る。従って、超音波診断装置で高分解能、高感度
の画像を得ることができる。また、外部からの機械的な
衝撃により圧電素子が割れたとしても、電気的な接続は
維持されているため、故障することが少なく品質が安定
した超音波探触子を得ることが出来る。As described above, the ultrasonic probe according to the present invention comprises a piezoelectric element having electrodes on both sides, a back load member provided on one of the electrodes of the piezoelectric element, and a piezoelectric element. And a signal electric terminal between the rear load member and the signal electric terminal, wherein the signal electric terminal faces an insulator facing the rear load member, and faces one electrode surface of the piezoelectric element. And a thickness of a portion of the insulator of the signal electrical terminal facing the ultrasonic wave emitting surface of the piezoelectric element is equal to or less than 1/25 wavelength. This makes it possible to improve the transmission / reception sensitivity of the ultrasonic probe, obtain good resolution, and obtain good frequency characteristics. Therefore, a high-resolution and high-sensitivity image can be obtained by the ultrasonic diagnostic apparatus. Further, even if the piezoelectric element is broken by a mechanical shock from the outside, since the electrical connection is maintained, it is possible to obtain an ultrasonic probe with little failure and stable quality.
【図１】本発明の第１の実施の形態による超音波探触子
の概略断面図FIG. 1 is a schematic sectional view of an ultrasonic probe according to a first embodiment of the present invention.
【図２】絶縁体のポリイミドの厚みを変化させた場合の
音響特性の計算結果を示す図FIG. 2 is a diagram showing calculation results of acoustic characteristics when the thickness of polyimide of an insulator is changed.
【図３】絶縁体のポリイミドの厚みを変化させた場合の
周波数特性図FIG. 3 is a diagram showing frequency characteristics when the thickness of polyimide of an insulator is changed.
【図４】絶縁体のポリエチレンテレフタレートの厚みを
変化させた場合の音響特性の計算結果を示す図FIG. 4 is a diagram showing calculation results of acoustic characteristics when the thickness of polyethylene terephthalate as an insulator is changed.
【図５】絶縁体のポリサルフォンの厚みを変化させた場
合の音響特性の計算結果を示す図FIG. 5 is a diagram showing calculation results of acoustic characteristics when the thickness of polysulfone as an insulator is changed.
【図６】本発明の第１の実施の形態による超音波探触子
の圧電素子と、背面負荷材と、信号用電気端子の部分の
拡大断面図FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a piezoelectric element, a back load member, and a signal electric terminal of the ultrasonic probe according to the first embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第２の実施の形態による超音波探触子
の拡大断面図FIG. 7 is an enlarged sectional view of an ultrasonic probe according to a second embodiment of the present invention.
【図８】従来の超音波探触子の概略断面図FIG. 8 is a schematic sectional view of a conventional ultrasonic probe.
１，１２ 圧電素子 １ａ，１ｂ，１２ａ，１２ｂ 電極 ２，１３ 背面負荷材 ３，１４ 音響整合層 ４，１５ 音響レンズ ５，１６ 信号用電気端子 ６，９，１７ 導体 ７，１０，１８ 絶縁体 ８ 第１信号用電気端子 １１ 第２信号用電気端子 1,12 Piezoelectric element 1a, 1b, 12a, 12b Electrode 2,13 Back load material 3,14 Acoustic matching layer 4,15 Acoustic lens 5,16 Signal electric terminal 6,9,17 Conductor 7,10,18 Insulator 8 1st signal electric terminal 11 2nd signal electric terminal
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 孝悦 神奈川県横浜市港北区綱島東４丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G047 EA07 GB21 4C301 EE20 GB18 GB20 GB37 5D019 AA09 AA20 AA21 BB12 BB25 EE02 FF04 GG01 GG03 GG06 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Takayoshi Saito 4-3-1 Tsunashima Higashi, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture F-term in Matsushita Communication Industrial Co., Ltd. 2G047 EA07 GB21 4C301 EE20 GB18 GB20 GB37 5D019 AA09 AA20 AA21 BB12 BB25 EE02 FF04 GG01 GG03 GG06
Claims (6)
とを備え、前記信号用電気端子は、前記背面負荷材に面
する絶縁体と、前記圧電素子の一方の電極面に面し、前
記圧電素子に電気的に接続される導体とからなり、前記
信号用電気端子の前記絶縁体は、前記圧電素子の超音波
放射面に面する部分の厚みが、１／２５波長以下である
ことを特徴とする超音波探触子。1. A piezoelectric element having electrodes on both surfaces, a back load member provided on one electrode side of the piezoelectric element, and a signal electric terminal between the piezoelectric element and the back load member. The signal electrical terminal includes an insulator facing the back load material, and a conductor facing one electrode surface of the piezoelectric element and electrically connected to the piezoelectric element; An ultrasonic probe, wherein the insulator of the terminal has a thickness of a portion facing the ultrasonic radiation surface of the piezoelectric element of 1/25 wavelength or less.
リイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリサルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリスチレン、
ポリフェニレンサルファイドから選択される材料である
ことを特徴とする請求項１記載の超音波探触子。2. The method according to claim 1, wherein the insulator of the signal electrical terminal is made of polyimide, polyethylene terephthalate, polysulfone, polycarbonate, polyester, polystyrene,
The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the ultrasonic probe is a material selected from polyphenylene sulfide.
インピーダンスが、前記圧電素子と前記背面負荷材の音
響インピーダンスよりも小さいことを特徴とする請求項
１記載の超音波探触子。3. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein an acoustic impedance of said insulator of said signal electric terminal is smaller than acoustic impedances of said piezoelectric element and said back load member.
端子とを備え、前記第１信号用電気端子は、前記背面負
荷材に面する絶縁体と、前記圧電素子の一方の電極面に
面し、前記圧電素子に電気的に接続される導体とからな
り、前記第１信号用電気端子の前記絶縁体は、前記圧電
素子の超音波放射面に面する部分の厚みが、１／２５波
長以下であり、 前記背面負荷材の横方向外側に、絶縁体と導体からなる
第２信号用電気端子を設け、前記第１信号用電気端子の
導体と前記第２信号用電気端子の導体とを電気的に接続
したことを特徴とする超音波探触子。4. A piezoelectric element having electrodes on both sides, a back load member provided on one electrode side of the piezoelectric element, and a first signal electrical terminal between the piezoelectric element and the back load member. The first signal electric terminal comprises an insulator facing the back load material, and a conductor facing one electrode surface of the piezoelectric element and electrically connected to the piezoelectric element, The insulator of the first signal electric terminal has a thickness of a portion facing the ultrasonic emission surface of the piezoelectric element of 1/25 wavelength or less, and an insulator on a laterally outer side of the back load member. An ultrasonic probe comprising: a second signal electric terminal formed of a conductor; and electrically connecting the conductor of the first signal electric terminal and the conductor of the second signal electric terminal.
が、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリサ
ルフォン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリスチ
レン、ポリフェニレンサルファイドから選択される材料
であることを特徴とする請求項４記載の超音波探触子。5. The device according to claim 4, wherein the insulator of the first signal electric terminal is a material selected from polyimide, polyethylene terephthalate, polysulfone, polycarbonate, polyester, polystyrene, and polyphenylene sulfide. Ultrasonic probe.
音響インピーダンスが、前記圧電素子と前記背面負荷材
の音響インピーダンスよりも小さいことを特徴とする請
求項４記載の超音波探触子。6. The ultrasonic probe according to claim 4, wherein an acoustic impedance of the insulator of the first signal electric terminal is smaller than acoustic impedances of the piezoelectric element and the back load member. .
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007158468A (en) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Toshiba Corp | Ultrasonic probe and ultrasonic image apparatus |
| JP2007195584A (en) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic device |
| JP2013501405A (en) * | 2009-07-29 | 2013-01-10 | イマコー・インコーポレーテッド | Ultrasonic imaging transducer acoustic stack with integrated electrical connections |
| CN113614180A (en) * | 2019-03-27 | 2021-11-05 | 昭和电工材料株式会社 | Resin composition, film and cured product |
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2000
- 2000-03-30 JP JP2000093313A patent/JP3495970B2/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007158468A (en) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Toshiba Corp | Ultrasonic probe and ultrasonic image apparatus |
| JP2007195584A (en) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic device |
| JP2013501405A (en) * | 2009-07-29 | 2013-01-10 | イマコー・インコーポレーテッド | Ultrasonic imaging transducer acoustic stack with integrated electrical connections |
| CN113614180A (en) * | 2019-03-27 | 2021-11-05 | 昭和电工材料株式会社 | Resin composition, film and cured product |
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