JP2001281507A - Optical waveguide type optical modulator with emitted light monitor - Google Patents
Optical waveguide type optical modulator with emitted light monitorInfo
- Publication number
- JP2001281507A JP2001281507A JP2000101316A JP2000101316A JP2001281507A JP 2001281507 A JP2001281507 A JP 2001281507A JP 2000101316 A JP2000101316 A JP 2000101316A JP 2000101316 A JP2000101316 A JP 2000101316A JP 2001281507 A JP2001281507 A JP 2001281507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- capillary
- light
- output
- monitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、出力光モニタ付光
導波路型変調器に関するものである。更に詳しく述べる
ならば、本発明はモニタ用出力光として光導波路から放
射される放射モード光を適宜の方向において利用し、変
調器そのものの実質的構造を変更することなく、簡単な
モニタ手段により、出力光をモニタし光変調器の動作点
をフィードバック制御し得る出力光モニタ付光導波路型
変調器に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide modulator with an output light monitor. More specifically, the present invention utilizes radiation mode light emitted from an optical waveguide as an output light for monitoring in an appropriate direction, without changing the substantial structure of the modulator itself, and by simple monitoring means. The present invention relates to an optical waveguide type modulator with an output light monitor capable of monitoring output light and performing feedback control of an operating point of the optical modulator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光導波路素子の出力光をモニタする方法
として、光導波路素子内に方向性結合器（カプラ）など
を配置して、光信号出力用導波路とは別に、モニタ光出
力用導波路を設ける方式が一般的に行なわれている。こ
の方式においては、光導波路素子内に、モニタ光分岐用
の光回路を新らたに設ける必要があり、またモニタ出力
用光ファイバを、光出力信号用光ファイバとは別に光導
波路素子に接続する必要がある。2. Description of the Related Art As a method of monitoring output light from an optical waveguide device, a directional coupler (coupler) or the like is disposed in the optical waveguide device, and a monitor light output guide is provided separately from the optical signal output waveguide. A method of providing a wave path is generally performed. In this method, it is necessary to newly provide a monitor light branching optical circuit in the optical waveguide element, and connect the monitor output optical fiber to the optical waveguide element separately from the optical output signal optical fiber. There is a need to.
【０００３】また、別のモニタ方式として、特開平１１
−１９４２３７号に開示されている様に、光導波路上の
クラッド部に傾斜穴をつけるか、あるいは光導波路素子
上に回折レンズなどを配置し、光導波路中の信号出力光
の一部分を、このレンズ等により素子基板の外に取り出
す方式が知られている。この方式においては、光導波路
型光導波路素子上に、モニタ光取り出し用レンズ等を、
新らたに取りつけることが必要であり、また、モニタ光
は、光導波路素子の上方に取り出されるため、モニタ光
の受光部材は、光導波路型素子を、その収容ケース内に
実装した後に、この素子に取りつけなければならず、こ
の取り付けには、かなりの手間を要する。[0003] Another monitoring method is disclosed in
As disclosed in JP-A-194237, an inclined hole is formed in a clad portion on an optical waveguide, or a diffractive lens or the like is arranged on an optical waveguide element, and a part of signal output light in the optical waveguide is made to pass through this lens. For example, there is known a method of taking out of an element substrate outside. In this method, a monitor light extraction lens and the like are provided on an optical waveguide type optical waveguide element.
It is necessary to attach the optical waveguide device to a new one, and the monitor light is extracted above the optical waveguide device. It has to be mounted on the element, and this mounting requires a lot of trouble.
【０００４】さらに、特開平５−３４６５０号には、光
導波路素子の素子端を斜めに形成し、導波路から出力す
る光の一部分を斜め方向に反射させ、この反射光をモニ
タ光として受光する方式が開示されている。この方式に
おいては、素子端面の傾斜形状は、素子からの主出力光
に悪影響を与えない範囲内において選定する必要があ
り、このためこの方式の実用性については問題がある。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-34650 discloses that an element end of an optical waveguide element is formed obliquely, a part of light output from the waveguide is reflected obliquely, and the reflected light is received as monitor light. A scheme is disclosed. In this method, it is necessary to select the inclined shape of the element end face within a range that does not adversely affect the main output light from the element. Therefore, there is a problem in the practicality of this method.
【０００５】特開平５−５３０８６号には、光導波路素
子上に直接受光素子を設置し、光導波路中の信号出力光
の一部を直接受光し、モニタするデバイスが記載されて
いる。このデバイスにおいて、受光素子の取付手段を、
光導波路素子上に取り付けることが必要であり、かつ、
この取付手段の実装及びそれに受光素子を接続する作業
及び調整作業は、光導波路素子を、それを収容するケー
スに実装した後に行われるから、この受光素子の取り付
け、調整作業は、かなり難かしく、光導波路素子にダメ
ージを与える可能性が高くなる。Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-53086 describes a device in which a light receiving element is provided directly on an optical waveguide element, and a part of signal output light in the optical waveguide is directly received and monitored. In this device, the mounting means of the light receiving element is
Must be mounted on the optical waveguide element, and
The mounting of this mounting means and the work of connecting the light receiving element thereto and the adjustment work are performed after mounting the optical waveguide element in a case accommodating it, so the mounting and adjustment work of this light receiving element is quite difficult, The possibility of damaging the optical waveguide element is increased.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、モニタ用出
力光として、光導波路から放射される放射モード光を、
適宜の方向において利用し、変調器そのものの実質的構
造を変更することなく、簡単な構造と、優れた加工性及
び光ファイバ操作性を有するキャピラリーを利用したモ
ニタ手段により、出力光の強度をモニタできる出力光モ
ニタ付光導波路型変調器を提供しようとするものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, radiation mode light radiated from an optical waveguide is output as monitor output light.
The intensity of the output light is monitored by a monitor using a simple structure and a capillary having excellent workability and optical fiber operability without changing the substantial structure of the modulator itself by using in an appropriate direction. It is an object of the present invention to provide an optical waveguide modulator with an output light monitor that can be used.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の出力光モニタ付
光導波路型光変調器は、誘電体基板、この基板の表面部
分に形成され、二以上の分岐光導波路部と、これらの分
岐光導波路部の合一点から伸び出ている光導波路出力部
とを有する光導波路、及び前記光導波路出力部の出力端
部分を補強する光導波路出力端部分補強部材を有する光
導波路素子と、前記光導波路出力部の出力端に接続され
ている一端面を有する光ファイバと、前記光導波路出力
部の出力端と前記光ファイバ端面との接続部を補強する
光ファイバ補強部材と、前記分岐光導波路部の合一点か
ら放射され、かつ前記光導波路出力部の両側を通って伝
播される放射モード光の一部を、前記誘電体基板及び前
記光ファイバ補強部材を介して受光する光電変換素子
と、を有し、前記光ファイバ補強部材が、前記光ファイ
バ接続端部分を収容する中空部を有し、かつ、前記放射
モード光を伝播するキャピラリーであって、このキャピ
ラリーの一端面は、前記誘電体基板及び、前記光導波路
出力端部補強部材の端面に接合されており、前記キャピ
ラリーの先端面を形成する他端面の約半部のみに、前記
放射モード光の一部を前記光電変換素子に向って反射
し、これを受光させるモニタ光用反射面が形成されてお
り、他の約半部は、前記放射モード光を、前記光電変換
素子に受光せしめることがない非モニタ面をなしている
ことを特徴とするものである。本発明の出力光モニタ付
光導波路型光変調器において、前記キャピラリーの前記
反射面が、このキャピラリーの前記中空部の長手方向軸
に対して傾斜していて、前記反射面において反射された
放射モード光を前記光電変換素子に受光させることが好
ましい。本発明の出力光モニタ付光導波路型光変調器に
おいて、前記キャピラリーが中空円筒形をなしているこ
とが好ましい。本発明の出力光モニタ付光導波路型光変
調器において、前記キャピラリーの先端面の、前記反射
面をなす約半部と、他の約半部との境界線が、前記反射
面を形成する約半部、及び前記他の半部のそれぞれを通
る前記放射モード光の伝播路の中間にあり、かつこの境
界線が、前記キャピラリーの先端面において、前記キャ
ピラリーの中空部の中心軸と交差し、かつ前記境界線と
同一方向に伸びる中心線と、前記中心線に平行であっ
て、かつ、前記キャピラリーの中空部の外周線の、前記
反射面を形成する約半部側部分に接する接線との間に位
置していることが好ましい。本発明の出力光モニタ付光
導波路型光変調器において、前記キャピラリーの非モニ
タ面が、前記キャピラリーの先端面の前記反射面を残し
て、他の約半部を内側に切り込み除去することにより形
成されていてもよい。本発明の出力光モニタ付光導波路
型光変調器において、前記キャピラリーの非モニタ面
が、前記放射モード光を反射することがない非反射面で
あってもよい。本発明の出力光モニタ付光導波路型光変
調器において、前記キャピラリーの非モニタ面に対し
て、この非モニタ面において反射した反射モード光を遮
断する手段が、この非モニタ面と、前記光電変換素子の
受光面との間に配置されていてもよい。本発明の出力光
モニタ付光導波路型光変調器において、前記キャピラリ
ーの非モニタ面に対して、前記キャピラリー中に、前記
放射モード光を、前記非モニタ面の上流において遮断す
る手段が設けられていてもよい。An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the present invention is formed on a dielectric substrate, a surface portion of the substrate, and has at least two branched optical waveguide portions and these branched optical waveguides. An optical waveguide having an optical waveguide output portion extending from a joint point of a waveguide portion, an optical waveguide element having an optical waveguide output end portion reinforcing member for reinforcing an output end portion of the optical waveguide output portion, and the optical waveguide An optical fiber having one end face connected to the output end of the output section, an optical fiber reinforcing member for reinforcing a connection section between the output end of the optical waveguide output section and the end face of the optical fiber, and the branch optical waveguide section. A photoelectric conversion element that receives a part of the radiation mode light radiated from the coalescing point and propagated through both sides of the optical waveguide output portion via the dielectric substrate and the optical fiber reinforcing member. And the light A fiber reinforcing member having a hollow portion for accommodating the optical fiber connection end portion, and a capillary for propagating the radiation mode light, wherein one end surface of the capillary is the dielectric substrate and the optical waveguide; It is joined to the end face of the output end reinforcing member, and only about half of the other end face forming the tip end face of the capillary reflects a part of the radiation mode light toward the photoelectric conversion element. A reflection surface for monitor light for receiving light is formed, and the other approximately half portion forms a non-monitor surface that does not allow the photoelectric conversion element to receive the radiation mode light. is there. In the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the present invention, the reflection surface of the capillary is inclined with respect to a longitudinal axis of the hollow portion of the capillary, and a radiation mode reflected on the reflection surface. Preferably, light is received by the photoelectric conversion element. In the optical waveguide type optical modulator with output light monitor according to the present invention, it is preferable that the capillary has a hollow cylindrical shape. In the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the present invention, the boundary between the approximately half portion of the tip end surface of the capillary forming the reflection surface and the other approximately half portion forms the reflection surface. Half, and in the middle of the propagation path of the radiation mode light passing through each of the other halves, and this boundary line intersects the central axis of the hollow portion of the capillary at the tip end surface of the capillary, And a center line extending in the same direction as the boundary line, and a tangent line parallel to the center line and in contact with the outer peripheral line of the hollow portion of the capillary, which is in contact with the approximately half-side portion forming the reflection surface. It is preferably located between them. In the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor of the present invention, the non-monitor surface of the capillary is formed by cutting the other approximately half part inward while leaving the reflection surface at the tip end surface of the capillary. It may be. In the optical waveguide type optical modulator with output light monitor of the present invention, the non-monitor surface of the capillary may be a non-reflection surface that does not reflect the radiation mode light. In the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to the present invention, the means for blocking the reflection mode light reflected on the non-monitor surface with respect to the non-monitor surface of the capillary comprises: It may be arranged between the light receiving surface of the element and the light receiving surface. In the optical waveguide type optical modulator with an output light monitor of the present invention, means for blocking the radiation mode light upstream of the non-monitor surface is provided in the capillary with respect to the non-monitor surface of the capillary. You may.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】マッハツェンダ型導波路などを使
用しＯＮ／ＯＦＦ信号出力を得る光変調器において、Ｏ
ＦＦモード状態、すなわち光信号が出力されていない状
態において発生する放射モード光は、基板内において、
光信号出力が導波される出力光導波路に対して、斜め外
側方向に放射される。この放射モード光は約０．７度の
放射角をなして導波路出力部から遠ざかりながら通常基
板内を伝播し、最終的には基板端面より外部に放射され
る。また、放射モード光の光量は出力光導波路内を通る
光信号出力の光量と相補の関係にあるので、放射モード
光を検知することにより光信号出力のモニタが可能であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An optical modulator for obtaining an ON / OFF signal output using a Mach-Zehnder type waveguide, etc.
Radiation mode light generated in the FF mode state, that is, in a state where no optical signal is output,
The optical signal output is emitted obliquely outward with respect to the output optical waveguide through which the optical signal output is guided. This radiation mode light normally propagates through the substrate at an emission angle of about 0.7 degrees while moving away from the waveguide output portion, and is finally radiated outside from the end face of the substrate. Also, since the light quantity of the radiation mode light is complementary to the light quantity of the optical signal output passing through the output optical waveguide, the optical signal output can be monitored by detecting the radiation mode light.
【０００９】光変調器の基板端面には、光導波路からの
光信号出力を受け取り変調器の外部に導光するための光
ファイバが取り付けられるが、この光ファイバの外径は
１２５μｍと非常に細いため、基板端面に単純に接着し
ただけでは接着強度が不足する。このため、「ファイバ
補強部材」を使用して光ファイバを被覆しこの補強部材
の１端面を、基板端面に接着することにより光ファイバ
と光導波路との接続部を補強保護し、その接着強度を向
上させることができる。一般に、この光ファイバ補強部
材には、通常シリコン材料あるいはセラミックス材料が
使用されている。ここで、ファイバ補強部材を、その材
質として信号光／放射モード光が透過するものを用い、
さらに、基板端面より放射される前記放射モード光を受
光し得る大きさに形成すれば、放射モード光をこのファ
イバ補強部材内に導光することができる。An optical fiber for receiving an optical signal output from the optical waveguide and guiding the light to the outside of the modulator is attached to the end face of the substrate of the optical modulator. The outer diameter of the optical fiber is as extremely small as 125 μm. Therefore, simply bonding to the end face of the substrate results in insufficient bonding strength. For this reason, the optical fiber is covered using a “fiber reinforcing member”, and one end face of the reinforcing member is bonded to the end face of the substrate, thereby reinforcing and protecting the connection between the optical fiber and the optical waveguide, and reducing the bonding strength. Can be improved. Generally, a silicon material or a ceramic material is used for the optical fiber reinforcing member. Here, the fiber reinforcing member is made of a material through which signal light / radiation mode light is transmitted,
Furthermore, if the radiation mode light is formed to have a size capable of receiving the radiation mode light emitted from the end face of the substrate, the radiation mode light can be guided into the fiber reinforcing member.
【００１０】前記光ファイバ補強部材の反対側端面（光
ファイバ補強部材の、光導波路素子の出力端面に接着さ
れている接合端面に対し反対側の面）を、前記接合端面
に対して傾斜するように形成すると、この傾斜端面にお
いて、補強部材中を伝播してきた放射モード光が反射さ
れ、補強部材の外（出力光ファイバが取り出される方向
とは異なる上、右、下、左のいずれかの方向）に放射さ
れる。この放射された光を、光導波路素子ケース内に、
光導波路素子とは別個に配置された受光素子、例えばフ
ォトダイオード（ＰＤ）を配置して検知して放射モード
光の光量を測定し、その値から、光導波路から出力され
ている光量をモニタすることができる。The opposite end face of the optical fiber reinforcing member (the face of the optical fiber reinforcing member opposite to the joining end face bonded to the output end face of the optical waveguide element) is inclined with respect to the joining end face. In this case, the radiation mode light propagating through the reinforcing member is reflected on the inclined end face, and is reflected outside the reinforcing member (in a direction different from the direction in which the output optical fiber is taken out; ). The emitted light is placed in the optical waveguide element case.
A light receiving element, for example, a photodiode (PD) arranged separately from the optical waveguide element is arranged and detected to measure the amount of radiation mode light, and from that value, monitor the amount of light output from the optical waveguide. be able to.
【００１１】上記補強部材の傾斜端面の傾斜角度、及び
方向を設定することにより、放射モード光の反射放射方
向を設定し、この放射光を受光できる位置に受光素子を
配置し、取り付け、配線することができる。従って、受
光素子の配置位置を、光導波路素子の機能及び各部材の
配置位置に影響しないように選定することが、前記補強
部材の傾斜端面の設定により可能になる。By setting the inclination angle and direction of the inclined end surface of the reinforcing member, the reflected radiation direction of the radiation mode light is set, and a light receiving element is arranged, mounted, and wired at a position where the radiation light can be received. be able to. Therefore, it is possible to select the arrangement position of the light receiving element so as not to affect the function of the optical waveguide element and the arrangement position of each member by setting the inclined end surface of the reinforcing member.
【００１２】図１（ａ）及び（ｂ）により放射モード光
を説明する。図１（ａ）において、誘電体基体１上に光
導波路１ａが形成されていて、この光導波路１ａは、光
入力源に連続された入力部（図示されていない）、この
入力部から分岐した分岐部２，３、これら分岐部２，３
の分岐部の出力側部分４，５、この出力側部分４，５
が、収斂して、分岐部２，３，４，５を通る光が干渉合
波する合一点６、及び、この合一点６から伸び出ている
出力部７を有している。分岐部２，３の近傍に配置され
た電極（図示されていない）にＲＦ信号を加えると、分
岐部２，３を通る光波の光位相が、異なる変化をして、
これらの光波を合一点６において合波すると、互いに干
渉して、光強度が、ＲＦ信号に応じて変化し、所謂光信
号となって、導波路出力部７から出力される。光信号と
相補の関係にある光が、放射モード光８，９として、合
一点６から基板１内に放射され出力部７の両側の斜め外
側向きの伝播路８，９を通って伝播される。放射モード
光８，９は、光導波路１ａの出力部７から出力される単
一モード光に対して高次モード光であり、放射モード光
８及び９は、互いに位相が１８０度異っている。The radiation mode light will be described with reference to FIGS. 1 (a) and 1 (b). In FIG. 1A, an optical waveguide 1a is formed on a dielectric substrate 1, and the optical waveguide 1a is branched from the input section (not shown) connected to an optical input source. Branches 2 and 3, these branches 2 and 3
Output portions 4 and 5 of the branch portion of
However, it has a converging point 6 at which light that converges and passes through the branching sections 2, 3, 4, and 5 interferes and multiplexes, and an output section 7 extending from the converging point 6. When an RF signal is applied to an electrode (not shown) arranged near the branches 2 and 3, the optical phases of the light waves passing through the branches 2 and 3 change differently,
When these light waves are multiplexed at the junction 6, they interfere with each other, the light intensity changes according to the RF signal, and is output as a so-called optical signal from the waveguide output unit 7. Light complementary to the optical signal is emitted as radiation mode lights 8 and 9 from the junction 6 into the substrate 1 and propagates through obliquely outward propagation paths 8 and 9 on both sides of the output unit 7. . The radiation mode lights 8 and 9 are higher-order mode lights than the single mode light output from the output unit 7 of the optical waveguide 1a, and the radiation mode lights 8 and 9 are 180 degrees out of phase with each other. .
【００１３】図１（ｂ）には、図１（ａ）の光導波路素
子の右側端面を示す説明図であって、光導波路の出力部
７を通る信号光１１と、放射モード光伝播路８ａ，９ａ
を通る放射モード光８，９とは、約０．７度の角度をな
している。FIG. 1B is an explanatory view showing the right end face of the optical waveguide device of FIG. 1A, which includes a signal light 11 passing through an output portion 7 of the optical waveguide and a radiation mode light propagation path 8a. , 9a
Form an angle of about 0.7 degrees with the radiation mode lights 8 and 9 passing therethrough.
【００１４】図２には、上記放射モード光を、モニタ用
に用いる従来装置の一例の一部分の平面（一部断面）説
明図が示されている。図２において、基板１の出力側端
面には基板１と同一の光学的特性を有する材料からな
り、前記端面を補強する光導波路出力端部分補強部材１
２が、貼合されている。基板１と、補強部材１２とは同
一光学軸を有している。FIG. 2 is a plan view (partial cross section) of a part of an example of a conventional apparatus using the radiation mode light for monitoring. In FIG. 2, an output-side end face reinforcing member 1 made of a material having the same optical characteristics as the substrate 1 is provided on an output side end face of the substrate 1 to reinforce the end face.
2 is pasted. The substrate 1 and the reinforcing member 12 have the same optical axis.
【００１５】基板１の出力側端面１０に、キャピラリー
１３の一端面１６が、接着固定されている。図２におい
て、基板端面１０とキャピラリー端面１６とは離間して
画かれているが、両者は、接着剤により、強固に接着固
定されている。キャピラリー１３の長手方向中心軸に沿
って中空部１４が形成されていて、この中空部１４中に
光ファイバ１５が収容され、接着剤により固定される。
光導波路出力部７の出力端は、キャピラリー１３の中空
部１４に露出していて、この出力端に、光ファイバ１５
の先端面が接合固定される。中空部１４の直径は、光フ
ァイバ１５を収容可能でありかつ、光ファイバのハズレ
を防止し得るようにするために、光ファイバ１５の直径
とほゞ同程度で、やゝ大きい程度に設定される。One end face 16 of the capillary 13 is bonded and fixed to the output end face 10 of the substrate 1. In FIG. 2, the substrate end face 10 and the capillary end face 16 are separated from each other, but both are firmly bonded and fixed by an adhesive. A hollow portion 14 is formed along the central axis in the longitudinal direction of the capillary 13, and an optical fiber 15 is accommodated in the hollow portion 14 and fixed by an adhesive.
The output end of the optical waveguide output part 7 is exposed to the hollow part 14 of the capillary 13 and an optical fiber 15
Are fixedly joined. The diameter of the hollow portion 14 is set to be approximately the same as or slightly larger than the diameter of the optical fiber 15 so that the optical fiber 15 can be accommodated and the loss of the optical fiber can be prevented. You.
【００１６】キャピラリー１３の他の端面（先端面）１
７は、キャピラリー１３の中空部１４の長手方向軸に傾
斜して形成される。キャピラリー１３の内部１８を伝播
した放射モード光８，９は、先端面１７で反射され、そ
の反射された放射モード光２３，２４は、光電変換素子
２０の受光面により受光される。光電変換素子は、受光
した放射モード光に基いて、モニタ信号を出力する。Another end face (tip face) 1 of the capillary 13
7 is formed to be inclined with respect to the longitudinal axis of the hollow portion 14 of the capillary 13. The radiation mode lights 8 and 9 propagating in the interior 18 of the capillary 13 are reflected by the tip end face 17, and the reflected radiation mode lights 23 and 24 are received by the light receiving surface of the photoelectric conversion element 20. The photoelectric conversion element outputs a monitor signal based on the received radiation mode light.
【００１７】図３には、図２の装置において、反射面１
７から反射され、光電変換素子２０によりモニタされ、
出力した光の波形を例示したものであって、曲線２１
は、出力光ファイバ１５から出力された光信号の波形を
示し、曲線２２は、反射された放射モード光２３を光電
変換素子２０によりモニタした光の波形である。両光波
２１及び２２は、互いに異るが、相補の関係にある。FIG. 3 shows a reflection surface 1 in the apparatus shown in FIG.
7, reflected by the photoelectric conversion element 20,
This is an example of the waveform of the output light.
Shows the waveform of the optical signal output from the output optical fiber 15, and the curve 22 shows the waveform of the light obtained by monitoring the reflected radiation mode light 23 with the photoelectric conversion element 20. The two light waves 21 and 22 are different from each other, but have a complementary relationship.
【００１８】図２に示された従来装置において、キャピ
ラリー１３の反射面１７の、光電変換素子２０に近い上
半部１７ａから反射された放射モード光２３と、光電変
換素子２０から遠い下半部１７ｂから反射された放射モ
ード光２４とは、それぞれ、図４に示されているように
光電変換素子２０の受光面の入射矩形面域２５及び２６
に入射する。この矩形面域２５及び２６は、面域２７に
おいて互いに重なっていて、この面域において入射した
放射モード光は、互いに干渉し、このため、光電変換素
子２０のモニタ光出力が、環境温度その他の外乱により
変動する（搖らぐ）という問題を生ずる。In the conventional apparatus shown in FIG. 2, the radiation mode light 23 reflected from the upper half 17a of the reflecting surface 17 of the capillary 13 near the photoelectric conversion element 20 and the lower half far from the photoelectric conversion element 20. The radiation mode light 24 reflected from the light-receiving surface 17b is incident rectangular surface areas 25 and 26 on the light-receiving surface of the photoelectric conversion element 20 as shown in FIG.
Incident on. The rectangular plane areas 25 and 26 overlap with each other in the plane area 27, and the radiation mode light incident in this plane area interferes with each other, and therefore, the monitor light output of the photoelectric conversion element 20 changes the environmental temperature and other factors. The problem of fluctuation (fluctuation) due to disturbance occurs.
【００１９】本発明は、上記問題点を解決し、光電変換
素子からのモニタ光出力を、安定させるものである。本
発明の出力光モニタ付光導波路型光変調器においては、
キャピラリー１３の内部１８を伝播する放射モード光の
部分を、キャピラリー１３の先端面の約半部においての
み、これを光電変換素子に向って反射し、受光させるよ
うに、前部半部にモニタ光用反射面が形成されていて、
反射面の約半部には、放射モード光を、光電変換素子に
受光させない非モニタ面をなしている。The present invention solves the above problems and stabilizes the monitor light output from the photoelectric conversion element. In the optical waveguide type optical modulator with output light monitor of the present invention,
The monitor light is transmitted to the front half of the capillary 13 so that the portion of the radiation mode light propagating in the interior 18 of the capillary 13 is reflected toward the photoelectric conversion element only at about a half of the tip end surface of the capillary 13 and received. Reflective surface is formed,
A non-monitor surface that does not allow the photoelectric conversion element to receive the radiation mode light is formed in about half of the reflection surface.
【００２０】本発明の出力光モニタ付光導波路型変調器
の一例が図５に示されている。図５において、基板１の
出力端及びそれに接合された補強部材１２の出力端部の
端面は、光導波路出力部７の長手中心軸に直角をなす平
面に対し、傾斜して、例えば５度の傾斜角をもって形成
されている。キャピラリー１３の長手中心軸の方向も、
光導波路出力部７の長手方向に対して傾斜する方向に伸
びており、従って、光導波路出力部７の出力端面と、光
ファイバの接続端面（図示されていない）とは、互いに
傾斜して接続されている。例えば、補強部材１２の端面
と、キャピラリー１３の中空部１４の長手方向中心軸１
４ａに直角をなす平面とは、７度の傾斜角をなしてい
る。FIG. 5 shows an example of an optical waveguide modulator with an output light monitor according to the present invention. In FIG. 5, the output end of the substrate 1 and the end face of the output end of the reinforcing member 12 joined thereto are inclined with respect to a plane perpendicular to the longitudinal center axis of the optical waveguide output part 7, for example, at 5 degrees. It is formed with an inclination angle. The direction of the longitudinal central axis of the capillary 13 is also
The output end face of the optical waveguide output section 7 extends in a direction inclined with respect to the longitudinal direction of the optical waveguide output section 7, and therefore, the output end face of the optical waveguide output section 7 and the connection end face (not shown) of the optical fiber are connected to be inclined with each other. Have been. For example, the longitudinal center axis 1 of the end face of the reinforcing member 12 and the hollow portion 14 of the capillary 13
The plane perpendicular to 4a forms an inclination angle of 7 degrees.
【００２１】図５において、キャピラリー１３の先端面
の上半部１７ａ（光電変換素子２０に近い約半部）に反
射面が形成され、この上半部反射面１７ａにおいて反射
された放射モード光２３のみが光電変換素子２０により
受光される。キャピラリー先端部分の下半部は、図５に
示されているように、先端面から深さＷまで切り込ま
れ、キャピラリーの周面から深さＦの部分２８が、除去
される。この除去部分２８の除去によりキャピラリー１
３の下半部に形成された端面２９においては、放射モー
ド光は、矢印２９ａの方向に反射されるから、光電変換
素子２０により受光されることはない。このため、図５
の光変調器においては、放射モード光の一部がキャピラ
リー先端面の下半部から反射されて、光電変換素子に受
光されることはなく、その結果、図４に示されている面
域２７のような干渉領域を生ずることがなく、光電変換
素子から出力されるモニタ光が安定化される。In FIG. 5, a reflection surface is formed in the upper half portion 17a (approximately half portion near the photoelectric conversion element 20) of the tip end surface of the capillary 13, and the radiation mode light 23 reflected on the upper half reflection surface 17a is formed. Only the light is received by the photoelectric conversion element 20. The lower half of the capillary tip is cut to a depth W from the tip, as shown in FIG. 5, and a portion 28 at a depth F from the peripheral surface of the capillary is removed. By removing the removal portion 28, the capillary 1 is removed.
In the end face 29 formed in the lower half of 3, since the radiation mode light is reflected in the direction of the arrow 29 a, it is not received by the photoelectric conversion element 20. For this reason, FIG.
In the optical modulator described above, a part of the radiation mode light is reflected from the lower half of the capillary tip surface and is not received by the photoelectric conversion element. As a result, the surface area 27 shown in FIG. Thus, the monitor light output from the photoelectric conversion element is stabilized without causing the interference region as described above.
【００２２】キャピラリー１３の反射面１７ａと、中空
部１４の長手方向中心軸１４ａとのなす角度は、反射光
が、光電変換素子２０に受光されるように適宜に設定で
きるが、一般に、４０〜４６度の角度に設定されること
が好ましい。キャピラリー１３の長さは、光ファイバの
保持が確実になるように、２〜４mmの範囲に設定される
ことが好ましく、キャピラリー１３の直径は、放射モー
ド光の所望光量を、光電変換素子に受光させるための所
要の反射面を形成できるように適宜に設定し得るが一般
に、０．２５〜２．５mm程度であることが好ましい。キ
ャピラリー１３の反射面１７ａから反射された放射モー
ド光は、光電変換素子の受光面に、ほゞ直角をなす入射
光で入射することが好ましい。キャピラリーの周面は円
柱状周面をなしていることが好ましく、このようにする
と、キャピラリーの周面は円柱レンズ効果を示し、有限
の焦点距離を有する。この焦点距離近傍に光電変換素子
の受光面を配置することが好ましく、これにより、Ｓ／
Ｎが良好になる。The angle formed between the reflecting surface 17a of the capillary 13 and the central axis 14a in the longitudinal direction of the hollow portion 14 can be appropriately set so that the reflected light is received by the photoelectric conversion element 20. Preferably, the angle is set to 46 degrees. The length of the capillary 13 is preferably set in a range of 2 to 4 mm so that the holding of the optical fiber is ensured. The diameter of the capillary 13 is such that a desired amount of radiation mode light is received by the photoelectric conversion element. Although it can be appropriately set so as to form a required reflection surface for the formation, it is generally preferable to be about 0.25 to 2.5 mm. It is preferable that the radiation mode light reflected from the reflection surface 17a of the capillary 13 is incident on the light receiving surface of the photoelectric conversion element as incident light that forms a substantially right angle. Preferably, the peripheral surface of the capillary has a cylindrical peripheral surface, in which case the peripheral surface of the capillary exhibits a cylindrical lens effect and has a finite focal length. It is preferable to arrange the light receiving surface of the photoelectric conversion element in the vicinity of the focal length.
N becomes good.
【００２３】図５に示されているように、キャピラリー
１３の先端面部の下半部２８を除去することにより、下
記の効果が得られる。 （１）キャピラリー１３の中空部１４は光ファイバ１５
を通すためできるだけ大きな直径を有することが望まし
いが、放射モード光の放射角が約０．７°と小さいた
め、放射モード光をキャピラリーの肉質部１８を伝搬さ
せるには、中空部の孔径は小さい程好ましい。このた
め、光ファイバ外径よりも１um程度大きな孔径とする
が、この場合、図２のように、キャピラリー先端面全面
が斜面のままでは、中空部に光ファイバを導入するのが
非常に困難である。また、通常、光ファイバ導入部には
テーパ付き部分を設けて光ファイバを導入し易くする
が、このようなテーパ付導入部も、上記と同じ理由によ
り採用できない。しかし、図５の様な構造とすれば、除
去部分２８に対向する中空部は、穴ファイバ導入用溝と
して機能し、光ファイバを案内し、光ファイバの中空部
導入を容易にする。 （２）また、光ファイバは、通常、アライメント後に補
強のためキャピラリーに接着固定されるが、この接着剤
が反射面１７ａに回り込み反射性能を変動させるという
問題を生ずるが、上記除去部分２８は、接着剤に対しト
ラップ機能を示し、反射面１７ａへの回り込みを防止す
ることができる。As shown in FIG. 5, the following effects can be obtained by removing the lower half 28 of the distal end face of the capillary 13. (1) The hollow portion 14 of the capillary 13 is an optical fiber 15
It is desirable to have a diameter as large as possible to pass through, but since the radiation angle of the radiation mode light is as small as about 0.7 °, the hole diameter of the hollow portion is small in order to propagate the radiation mode light through the fleshy portion 18 of the capillary. It is more preferable. For this reason, the hole diameter is set to be about 1 μm larger than the optical fiber outer diameter. In this case, as shown in FIG. 2, it is very difficult to introduce the optical fiber into the hollow portion if the entire front end surface of the capillary remains inclined. is there. Usually, the optical fiber introduction section is provided with a tapered portion to facilitate introduction of the optical fiber, but such a tapered introduction section cannot be adopted for the same reason as described above. However, with the structure as shown in FIG. 5, the hollow portion facing the removed portion 28 functions as a hole fiber introduction groove, guides the optical fiber, and facilitates the introduction of the optical fiber hollow portion. (2) In addition, the optical fiber is usually fixed to the capillary for reinforcement after alignment. However, the adhesive wraps around the reflection surface 17a to cause a problem that the reflection performance is fluctuated. The adhesive has a trapping function, and can prevent the adhesive from wrapping around the reflection surface 17a.
【００２４】キャピラリーの除去部分２８に、上記の効
果を発揮させるためには、前記キャピラリーの先端面
の、前記反射面をなす約半部と、他の約半部との境界線
が、前記反射面を形成する約半部、及び前記他の半部の
それぞれを通る前記放射モード光の伝播路の中間にあ
り、かつこの境界線が、前記キャピラリーの先端面にお
いて、前記キャピラリーの中空部の中心軸と交差し、か
つ前記境界線と同一方向に伸びる中心線と、前記中心線
に平行であって、かつ、前記キャピラリーの中空部の外
周線の、前記反射面を形成する約半部側部分に接する接
線との間に位置しているようにすればよい。すなわち図
５において、キャピラリーの中空部の長手方向中心線に
直角をなす断面でみたとき、図６に示されているよう
に、反射面１７ａを形成する約半部と除去部分２８との
境界線４０は、放射モード光の伝播路８ａ，９ａの中間
にあり、かつ中空部１４の中心軸１４ａと交差する中心
線４０ａと、中空部１４の外周に接する接線４０ｂとの
間にあることが好ましい。換言すれば、図５において、
キャピラリーの外周から切り込み深さＦと、キャピラリ
ーの半径Ｒと、中空部の半径ｒとの関係は、Ｒ≦Ｆ≦Ｒ
＋ｒであることが好ましい。In order for the capillary removal portion 28 to exhibit the above-mentioned effect, the boundary between the approximately half portion of the tip end surface of the capillary forming the reflection surface and the other approximately half portion is formed by the reflection line. About half of the surface, and the propagation path of the radiation mode light passing through each of the other halves, and the boundary line is located at the tip end surface of the capillary at the center of the hollow portion of the capillary. A center line that intersects an axis and extends in the same direction as the boundary line, and a half-side portion of an outer peripheral line of the hollow portion of the capillary that is parallel to the center line and that forms the reflection surface; May be located between the tangent and the tangent. That is, in FIG. 5, when viewed in a cross section perpendicular to the longitudinal center line of the hollow portion of the capillary, as shown in FIG. 6, the boundary between the approximately half portion forming the reflecting surface 17a and the removed portion 28, as shown in FIG. It is preferable that the reference numeral 40 is located between the propagation paths 8a and 9a of the radiation mode light and between a center line 40a intersecting the center axis 14a of the hollow portion 14 and a tangent line 40b contacting the outer periphery of the hollow portion 14. . In other words, in FIG.
The relationship between the cutting depth F from the outer periphery of the capillary, the radius R of the capillary, and the radius r of the hollow portion is as follows: R ≦ F ≦ R
+ R is preferable.
【００２５】キャピラリー１３と、その中空部１４と
は、前述のように同心であることが望ましいが、放射モ
ード光に対し、所望の反射ができる範囲内で、若干偏心
していてもよい。また、除去部分２８の、キャピラリー
先端面からの切り込み深さＷは、適宜に設定することが
できるが、一般に作業性及びキャピラリーの強度とが両
立するように０．２〜１mmにすることが好ましい。さら
に、基板１に取りつけられる補強部材１２及び基板１の
端面１０における放射モード光の反射の影響を除くため
に、この端面１０の、光導波路出力部７に直角をなす平
面との間に、前述のように５°程度の傾斜角を持たせる
ことが好ましく、また、この端面１０と、キャピラリー
中空部１４の長手方向に直角をなす平面との間に、約７
度程度の傾斜角をもたせることが好ましい。It is desirable that the capillary 13 and the hollow portion 14 are concentric as described above. However, the capillary 13 and the hollow portion 14 may be slightly eccentric as long as the desired reflection of the radiation mode light can be obtained. Further, the cut depth W of the removed portion 28 from the tip end of the capillary can be appropriately set, but is generally preferably set to 0.2 to 1 mm so as to achieve both workability and strength of the capillary. . Further, in order to eliminate the influence of the reflection of the radiation mode light on the reinforcing member 12 attached to the substrate 1 and the end face 10 of the substrate 1, the end face 10 is disposed between the end face 10 and a plane perpendicular to the optical waveguide output section 7. It is preferable to have an inclination angle of about 5 ° as shown in FIG. 2. Further, between this end face 10 and a plane perpendicular to the longitudinal direction of the capillary hollow portion 14, about 7 ° is provided.
It is preferable to have a tilt angle of the order of degrees.
【００２６】キャピラリーの放射モード光反射面は、そ
の反射率を高めるために、金属膜（例えば金、クロム又
はアルミニウム膜）又は誘電体多層膜（例えばＴｉＯ2
膜とＳｉＯ2 膜との交互多層膜）を蒸着することが好ま
しい。また光電変換素子としては、ホトダイオード（Ｐ
Ｄ）を、用いることが好ましく、放射モード光を受光し
て、これを電気信号に変換して出力する。The radiation mode light reflecting surface of the capillary may be formed of a metal film (for example, gold, chromium or aluminum film) or a dielectric multilayer film (for example, TiO 2 ) in order to increase the reflectance.
(Alternate multilayer film of a film and a SiO 2 film) is preferably deposited. As the photoelectric conversion element, a photodiode (P
D) is preferably used, which receives radiation mode light, converts it into an electric signal, and outputs it.
【００２７】[0027]
【実施例】本発明の光変調器の一例を図７に示す。図７
において、ケース（框体）３０内に、ＬｉＮｂＯ3 など
の強誘電体からなる基板１を固定し、その表面部分に、
光導波路１ａを形成し、この光導波路１ａは、光導波路
入力部３２、それから分岐した分岐部２，３、その分岐
部出力部４，５、合一部６、及び出力部７を有し、分岐
部３，４上に電極３３，３４が配置されている。基板１
の入力端部には入力端部補強部材１２ａが配置され、そ
の入力端面に、入力側キャピラリー３１が接合され（図
７においては、両者は離間して画かれている）キャピラ
リー３１の中空部（図示されていない）を通して入力側
光ファイバ１５ａが導入され、その先端面が、光導波路
入力部３２の入力端面に接続されている。FIG. 7 shows an example of an optical modulator according to the present invention. FIG.
In the above, a substrate 1 made of a ferroelectric material such as LiNbO 3 is fixed in a case (frame body) 30, and on the surface thereof,
An optical waveguide 1a is formed. The optical waveguide 1a has an optical waveguide input section 32, branch sections 2 and 3 branched from the optical waveguide input section 32, branch output sections 4, 5, a combined portion 6, and an output section 7. The electrodes 33 and 34 are arranged on the branches 3 and 4. Substrate 1
The input end reinforcement member 12a is disposed at the input end of the input side, and the input side capillary 31 is joined to the input end face thereof (in FIG. 7, they are separated from each other). The input side optical fiber 15a is introduced through a not shown), and the distal end face is connected to the input end face of the optical waveguide input section 32.
【００２８】光導波路１ａの出力端部は、図５と同様に
して、出力側キャピラリー１３、出力側光ファイバ１５
が接続されている。光が、補強部材３１により補強され
た入力側光ファイバ１５ａから、光導波路入力部３２に
入力し、この光を分岐部２及び３に分配し、電極３３，
３４に、電気信号３５を、例えばケース３０の側面に配
置されたコネクタ３６を介して分岐部２、及び３に印加
すると、分岐部２及び３を伝播する光波の光位相が、印
加信号３５に応じて変化し、この光波が、合一部６にお
いて合波し、互に干渉して信号光を発生する。この干渉
後の信号光は、キャピラリー１３により補強された光フ
ァイバ１５を通ってケース３０の外に出力される。The output end of the optical waveguide 1a is connected to the output capillary 13 and the output optical fiber 15 in the same manner as in FIG.
Is connected. Light enters the optical waveguide input section 32 from the input side optical fiber 15a reinforced by the reinforcing member 31 and distributes the light to the branch sections 2 and 3, and the electrodes 33,
When an electric signal 35 is applied to the branches 2 and 3 via the connector 36 disposed on the side surface of the case 30, for example, the optical phase of the light wave propagating through the branches 2 and 3 is applied to the applied signal 35. The light waves change in accordance with each other, and the light waves are multiplexed at the multiplex part 6 and interfere with each other to generate signal light. The signal light after the interference is output to the outside of the case 30 through the optical fiber 15 reinforced by the capillary 13.
【００２９】合一部６で、基板１内に放射された２つの
放射モード光８，９のうち、放射モード光８は、キャピ
ラリー１３の内部１８を通りキャピラリー１３の先端面
の上半部に形成された反射面１７ａにおいて反射され、
キャピラリー１３の円柱状周面において集光されなが
ら、光導波路１ａの出力部７にほゞ直角をなす方向（ケ
ース３０の側面にほゞ直角をなす方向）に放射される。
この放射光束２３は、それに対し、それをほゞ直角に、
かつ、受光面からの反射光が、反射面に戻らない角度に
受光し得るように配置された（ケース３０の側面に固定
された）光電変換素子（ＰＤ）２０の受光面に受光され
る。受光された放射モード光による信号は、光電変換素
子２０において電気信号に変換され、この電気信号３８
は、光出力モニタ信号としてコネクタ３７を介して、ケ
ース３０の外に出力される。The radiation mode light 8 of the two radiation mode lights 8 and 9 radiated into the substrate 1 at the joint portion 6 passes through the inside 18 of the capillary 13 and reaches the upper half of the tip end surface of the capillary 13. Reflected on the formed reflection surface 17a,
While being condensed on the cylindrical peripheral surface of the capillary 13, the light is emitted in a direction substantially perpendicular to the output portion 7 of the optical waveguide 1a (a direction substantially perpendicular to the side surface of the case 30).
This emitted light flux 23, on the other hand,
Further, the light reflected from the light receiving surface is received by the light receiving surface of the photoelectric conversion element (PD) 20 (fixed to the side surface of the case 30) arranged so as to be able to receive the light at an angle that does not return to the reflection surface. The signal based on the received radiation mode light is converted into an electric signal in the photoelectric conversion element 20, and the electric signal 38
Is output from the case 30 via the connector 37 as an optical output monitor signal.
【００３０】合一部から放射された放射モード光９は、
キャピラリー１３の内部を伝播して、その先端面下半部
に形成された除去部分２８の端面２９に到達し、この端
面２９において光電変換素子２０には到達しない方向２
９ａに反射される。上記のモニタ機能は、例えばマッハ
ツェンダ型光導波路を有し、分岐部をＹ型合波する構成
の光素子において、得ることができる。The radiation mode light 9 emitted from the joint is
The direction 2 in which the light propagates through the inside of the capillary 13 and reaches the end face 29 of the removed portion 28 formed in the lower half of the tip end face, and does not reach the photoelectric conversion element 20 at this end face 29
9a. The above-mentioned monitoring function can be obtained, for example, in an optical element having a Mach-Zehnder type optical waveguide and having a configuration in which a branch portion is Y-type multiplexed.
【００３１】本発明の光変調器において、出力側キャピ
ラリーを伝播した放射モード光を光電変換素子に受光さ
せることのない出力側キャピラリー先端面の非モニタ半
部の構成は、前記図５，６，７に記載されたものに限定
されるものではなく、この非モニタ半部を、放射モード
光に対し、非反射表面により形成してもよく、或は、こ
の非モニタ半部より反射された放射モード光を、キャピ
ラリー周面と、光電変換素子との間に配置された遮光手
段により遮光してもよく、或は、キャピラリー内部に、
非モニタ半部に指向する放射モード光を遮断する手段、
例えば、遮光凹部の形成、又は遮光板の挿入などを施し
てもよい。In the optical modulator according to the present invention, the structure of the non-monitor half of the distal end face of the output side capillary which does not allow the photoelectric conversion element to receive the radiation mode light propagated through the output side capillary is shown in FIGS. 7, the non-monitor half may be formed by a non-reflective surface for radiation mode light, or the radiation reflected from the non-monitor half The mode light may be shielded by a light shielding means arranged between the capillary peripheral surface and the photoelectric conversion element, or, inside the capillary,
Means for blocking radiation mode light directed to the non-monitor half;
For example, a light-shielding concave portion may be formed, or a light-shielding plate may be inserted.
【００３２】図５，６、及び７においては、基板の端面
における放射モード光の反射を少なくするために、基板
端面を、基板表面の光導波路出力部７の方向に対して直
角をなす平面から基板表面内において（水平方向に）約
５度傾斜させる場合について説明したが、基板の端面
を、基板表面に対して、傾斜させた場合には、キャピラ
リーを図８に示すように形成することが、その加工を容
易にするために有効である。In FIGS. 5, 6 and 7, in order to reduce the reflection of the radiation mode light on the end face of the substrate, the end face of the substrate is taken from a plane perpendicular to the direction of the optical waveguide output section 7 on the surface of the substrate. Although the case where the substrate is inclined about 5 degrees (in the horizontal direction) within the substrate surface has been described, when the end surface of the substrate is inclined with respect to the substrate surface, the capillary may be formed as shown in FIG. Is effective for facilitating the processing.
【００３３】図８において、基板及びその補強部材１２
が、ケース３０内の底面上に支持具３９により支持配置
され、その出力側端面を、基板表面に対して直角をなす
平面から、垂直方向に傾斜して形成し、この基板出力側
端面に、キャピラリー１３の一端面を接合し、このと
き、キャピラリー１３の中空部（図示されていない）の
長手方向上心線を、基板表面に対し、４２〜４８度傾斜
させる。キャピラリー１３の先端面１７を、この先端面
と、中空部の長手方向中心線を含む垂直平面と平行な平
面との交差線により、２分し（この場合は、この交差線
の左右に２分する）この２分された一方の半部を、反射
面として用い、この反射面から反射された放射モード光
を、キャピラリーの円柱状周面により集光して、光電変
換素子（例えば、ケース３０の底面に配置）の受光面に
受光させる。キャピラリー１３の他の半部は、非モニタ
面とする。反射面と、非モニタ面との境界線は、図６と
同様に設定することが好ましく、非モニタ面は、前述と
同様にして形成すればよい。In FIG. 8, the substrate and its reinforcing member 12
Is supported and arranged on the bottom surface in the case 30 by the support 39, and its output side end face is formed to be inclined in the vertical direction from a plane perpendicular to the substrate surface. One end surface of the capillary 13 is joined, and at this time, the upper center line in the longitudinal direction of the hollow portion (not shown) of the capillary 13 is inclined by 42 to 48 degrees with respect to the substrate surface. The tip end face 17 of the capillary 13 is divided into two parts by an intersection line between the tip end face and a plane parallel to a vertical plane including the longitudinal center line of the hollow portion (in this case, two minutes on the left and right sides of the intersection line). One half of the two halves is used as a reflecting surface, and the radiation mode light reflected from the reflecting surface is condensed by the cylindrical peripheral surface of the capillary, and the photoelectric conversion element (for example, the case 30) is used. (Located on the bottom surface of the light receiving surface). The other half of the capillary 13 is a non-monitor surface. The boundary between the reflecting surface and the non-monitor surface is preferably set in the same manner as in FIG. 6, and the non-monitor surface may be formed in the same manner as described above.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明の出力光モニタ付光導波路型変調
器は、下記の効果を有するものである。 １）構造が簡単である。すなわち、光強度変調器素子の
形状並びに構造、素子の実装方法および技術とも、モニ
タ出力がないものと同一であり、新たな技術を必要とし
ない。 ２）モニタ出力光は空間伝搬であり、導光用ファイバな
どを必要としない。従って、ケース内への光導波路素子
組込時に、モニタ光出力用導波路へのファイバ接続、光
導波路素子上への受光素子の取付と配線等の特殊作業が
不要である。また、受光素子並びにその配線などを予め
ケース内に組み込んでおくことが可能であり、更に上記
作業を行うためにケース内に特別な設計を行うことが不
要である。 ３）モニタ光を任意な方向に放射させることが可能であ
る。従って、受光素子の位置を自由に選ぶことができる
のでケース内の空いている部分に受光素子を置くことが
可能であり、ケース内に受光素子を置くための特別な設
計を行うことが不要となる。 ４）放射モード光を使用する。非強度変調器としては通
常捨てている光である放射モード光をモニタとして使用
するため、光導波路素子にモニタ光出力用分岐部等の特
別な設計部分を設ける必要がないばかりか、変調器で問
題となる光の透過ロス増大をまねくことが無い。従っ
て、従来型の光強度変調素子がそのまま使用可能であ
り、モニタ用光導波路分岐部やモニタ光取り出し用レン
ズの配置が不要である。 ５）モニタ出力の、環境気候による外乱変動が少なく、
又はなく、正確なモニタが可能である。本発明の出力光
モニタ付光導波路型変調器は、放射モード光をモニタ用
光として利用するため、簡単な構造及び配置によりモニ
タ光検知手段を設けることができ、しかも、外乱による
変動が少なく、又はないという利点を有し、有利に実用
できる。The optical waveguide modulator with output light monitor according to the present invention has the following effects. 1) The structure is simple. That is, the shape and structure of the light intensity modulator element, the method of mounting the element, and the technology are the same as those having no monitor output, and do not require a new technology. 2) The monitor output light is transmitted in space and does not require a light guiding fiber or the like. Therefore, when assembling the optical waveguide element into the case, it is not necessary to perform a special operation such as connecting the fiber to the monitor light output waveguide, mounting the light receiving element on the optical waveguide element, and wiring. In addition, the light receiving element and its wiring can be incorporated in the case in advance, and it is not necessary to perform a special design in the case to perform the above operation. 3) The monitor light can be emitted in any direction. Therefore, since the position of the light receiving element can be freely selected, it is possible to place the light receiving element in a vacant part in the case, and it is not necessary to perform a special design for placing the light receiving element in the case. Become. 4) Use radiation mode light. As a non-intensity modulator, radiation mode light, which is normally discarded light, is used as a monitor, so it is not necessary to provide a special design part such as a monitor light output branch in the optical waveguide element. There is no increase in the transmission loss of light, which is a problem. Therefore, the conventional light intensity modulating element can be used as it is, and it is not necessary to dispose a monitor optical waveguide branch portion and a monitor light extracting lens. 5) The monitor output has less disturbance fluctuation due to environmental climate,
Or without, accurate monitoring is possible. Since the optical waveguide type modulator with output light monitor of the present invention uses radiation mode light as monitoring light, monitor light detection means can be provided with a simple structure and arrangement, and furthermore, fluctuation due to disturbance is small, With or without the advantage, it can be used advantageously.
【図１】図１（ａ）は、分岐部及び合一部を有する光導
波路素子における放射モード光の発生を示す平面説明
図。図１（ｂ）は、図１（ａ）の光導波路素子における
放射モード光の発生を示す側面説明図。FIG. 1A is an explanatory plan view showing generation of radiation mode light in an optical waveguide element having a branch portion and a joining part. FIG. 1B is an explanatory side view showing generation of radiation mode light in the optical waveguide device of FIG. 1A.
【図２】従来の出力光モニタ付光導波路型光変調器の要
部を示す平面説明図。FIG. 2 is an explanatory plan view showing a main part of a conventional optical waveguide type optical modulator with an output light monitor.
【図３】図２の光変調器から出力される信号光とモニタ
光の波形を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing waveforms of signal light and monitor light output from the optical modulator of FIG. 2;
【図４】図２の光変調器において、反射された放射モー
ド光の光電変換素子における入射面域を示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an incident surface area of a reflected radiation mode light in a photoelectric conversion element in the optical modulator of FIG. 2;
【図５】本発明の光変調器の要部の構成を示す平面説明
図。FIG. 5 is an explanatory plan view showing a configuration of a main part of the optical modulator according to the present invention.
【図６】図５の光変調器のキャピラリー先端面における
放射モード光反射面の形状例を示す説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of a shape of a radiation mode light reflecting surface on a tip end surface of a capillary of the optical modulator of FIG. 5;
【図７】本発明の光変調器の構成の一例を示す平面説明
図。FIG. 7 is an explanatory plan view showing an example of the configuration of the optical modulator according to the present invention.
【図８】本発明の光変調器の他の例の要部を示す正面説
明図。FIG. 8 is an explanatory front view showing a main part of another example of the optical modulator according to the present invention.
１…誘電体基板 １ａ…光導波路 ２，３…分岐部 ４，５…分岐部の出力部分 ６…合一点 ７…出力部 ８，９…放射モード光 ８ａ，９ａ…放射モード光８，９の伝播路 １０…補強部材の端面 １１…信号光 １２…補強部材 １２ａ…入力側補強部材 １３…キャピラリー １４…中空部 １４ａ…中空部中心線 １５…出力光ファイバ １５ａ…入力光ファイバ １６…キャピラリーの接続端面 １７…反射面 １７ａ…反射面上半部 １７ｂ…反射面下半部 １８…キャピラリー内部 ２０…光電変換素子 ２１…信号光の波形 ２２…放射モード光の波形 ２３，２４…反射された放射モード光 ２５…反射面の上半部からの放射モード光の入射面域 ２６…反射面の下半部からの放射モード光の入射面域 ２７…入射面域２５，２６の重なり部 ２８…除去部分 Ｗ…キャピラリー先端面からの深さ Ｆ…キャピラリー周面からの深さ ２９…キャピラリー下半部の端面 ２９ａ…端面２９において反射された放射モード光の方
向 ３０…ケース ３１…入力側キャピラリー ３２…入力部 ３３，３４…電極 ３５…印加信号 ３６，３７…コネクタ ３８…電気信号 ３９…支持具 ４０…境界線 ４０ａ…境界線範囲の最小端 ４０ｂ…境界線範囲の最大端 Ｒ…キャピラリーの半径 ｒ…中空部の半径DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Dielectric substrate 1a ... Optical waveguide 2, 3 ... Branch part 4, 5 ... Output part of a branch part 6 ... Coupling point 7 ... Output part 8, 9 ... Radiation mode light 8a, 9a ... Radiation mode light 8, 9 Propagation path 10: End face of reinforcement member 11: Signal light 12: Reinforcement member 12a: Input side reinforcement member 13: Capillary 14: Hollow portion 14a: Hollow portion center line 15: Output optical fiber 15a: Input optical fiber 16: Connection of capillary End face 17: Reflecting surface 17a: Upper half of reflecting surface 17b: Lower half of reflecting surface 18: Inside of capillary 20: Photoelectric conversion element 21: Waveform of signal light 22: Waveform of radiation mode light 23, 24: Reflected radiation mode Light 25: Incident surface area of radiation mode light from the upper half of the reflecting surface 26: Incident surface area of radiation mode light from the lower half of the reflecting surface 27: Overlap of the incident surface regions 25, 26 28: Removal part W Depth from the tip of the capillary F: Depth from the peripheral surface of the capillary 29: End surface of the lower half of the capillary 29a: Direction of radiation mode light reflected on the end surface 29 30: Case 31: Input side capillary 32: Input unit 33 , 34 ... electrode 35 ... applied signal 36, 37 ... connector 38 ... electric signal 39 ... support 40 ... boundary 40a ... minimum end of boundary line range 40b ... maximum end of boundary line range R ... radius of capillary r ... hollow part Radius of
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H037 BA02 BA11 BA21 CA00 CA37 DA06 DA15 2H079 AA02 AA12 BA01 DA03 EA05 EB04 HA11 KA19 KA20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F-term (reference) 2H037 BA02 BA11 BA21 CA00 CA37 DA06 DA15 2H079 AA02 AA12 BA01 DA03 EA05 EB04 HA11 KA19 KA20
Claims (8)
され、二以上の分岐光導波路部と、これらの分岐光導波
路部の合一点から伸び出ている光導波路出力部とを有す
る光導波路、及び前記光導波路出力部の出力端部分を補
強する光導波路出力端部分補強部材を有する光導波路素
子と、 前記光導波路出力部の出力端に接続されている一端面を
有する光ファイバと、 前記光導波路出力部の出力端と前記光ファイバ端面との
接続部を補強する光ファイバ補強部材と、 前記分岐光導波路部の合一点から放射され、かつ前記光
導波路出力部の両側を通って伝播される放射モード光の
一部を、前記誘電体基板及び前記光ファイバ補強部材を
介して受光する光電変換素子と、を有し、 前記光ファイバ補強部材が、前記光ファイバ接続端部分
を収容する中空部を有し、かつ、前記放射モード光を伝
播するキャピラリーであって、 このキャピラリーの一端面は、前記誘電体基板及び、前
記光導波路出力端部補強部材の端面に接合されており、 前記キャピラリーの先端面を形成する他端面の約半部の
みに、前記放射モード光の一部を前記光電変換素子に向
って反射し、これを受光させるモニタ光用反射面が形成
されており、他の約半部は、前記放射モード光を、前記
光電変換素子に受光せしめることがない非モニタ面をな
していることを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光
変調器。1. An optical waveguide formed on a surface portion of a dielectric substrate and having at least two branch optical waveguide portions and an optical waveguide output portion extending from a union point of the branch optical waveguide portions. An optical waveguide element having an optical waveguide output end portion reinforcing member for reinforcing an output end portion of the optical waveguide output portion; an optical fiber having one end face connected to an output end of the optical waveguide output portion; An optical fiber reinforcing member that reinforces a connection between the output end of the optical waveguide output portion and the end face of the optical fiber; radiated from a union point of the branch optical waveguide portion, and propagated through both sides of the optical waveguide output portion. And a photoelectric conversion element that receives a part of the radiation mode light through the dielectric substrate and the optical fiber reinforcing member, wherein the optical fiber reinforcing member accommodates the optical fiber connection end portion. A capillary that has a portion and propagates the radiation mode light, wherein one end face of the capillary is joined to the dielectric substrate and an end face of the optical waveguide output end reinforcing member, and the capillary A reflection surface for monitor light that reflects a part of the radiation mode light toward the photoelectric conversion element and receives the light is formed only in about half of the other end surface forming the front end surface of the other end surface. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor, wherein about a half portion forms a non-monitor surface in which the radiation mode light is not received by the photoelectric conversion element.
キャピラリーの前記中空部の長手方向軸に対して傾斜し
ていて、前記反射面において反射された放射モード光を
前記光電変換素子に受光させる、請求項１に記載の出力
光モニタ付光導波路型光変調器。2. The method according to claim 1, wherein the reflecting surface of the capillary is inclined with respect to a longitudinal axis of the hollow portion of the capillary, and the photoelectric conversion element receives radiation mode light reflected on the reflecting surface. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to claim 1.
いる、請求項２に記載の出力光モニタ付光導波路型光変
調器。3. The optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to claim 2, wherein said capillary has a hollow cylindrical shape.
面をなす約半部と、他の約半部との境界線が、前記反射
面を形成する約半部、及び前記他の半部のそれぞれを通
る前記放射モード光の伝播路の中間にあり、かつこの境
界線が、前記キャピラリーの先端面において、前記キャ
ピラリーの中空部の中心軸と交差し、かつ前記境界線と
同一方向に伸びる中心線と、前記中心線に平行であっ
て、かつ、前記キャピラリーの中空部の外周線の、前記
反射面を形成する約半部側部分に接する接線との間に位
置している、請求項１に記載の出力光モニタ付光導波路
型光変調器。4. A boundary line between an approximately half portion of the tip end surface of the capillary that forms the reflection surface and another approximately half portion forms a boundary between the approximately half portion that forms the reflection surface and the other half portion. A center located in the middle of the propagation path of the radiation mode light passing therethrough, and whose boundary line intersects the center axis of the hollow portion of the capillary at the tip end surface of the capillary and extends in the same direction as the boundary line. 2. A line which is located between a line and a tangent line parallel to the center line and tangent to a portion of the outer periphery of the hollow portion of the capillary that is approximately half of the side forming the reflection surface. 4. An optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to item 1.
キャピラリーの先端面の前記反射面を残して、他の約半
部を内側に切り込み除去することにより形成されてい
る、請求項１に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調
器。5. The non-monitoring surface of the capillary according to claim 1, wherein the non-monitoring surface is formed by cutting and removing about half of the other side inward, leaving the reflective surface at the tip surface of the capillary. Optical waveguide type optical modulator with output light monitor.
放射モード光を反射することがない非反射面である、請
求項１に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器。6. The optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to claim 1, wherein the non-monitor surface of the capillary is a non-reflection surface that does not reflect the radiation mode light.
て、この非モニタ面において反射した反射モード光を遮
断する手段が、この非モニタ面と、前記光電変換素子の
受光面との間に配置されている、請求項１に記載の出力
光モニタ付光導波路型光変調器。7. A means for blocking reflection mode light reflected on the non-monitor surface of the capillary from the non-monitor surface is disposed between the non-monitor surface and the light receiving surface of the photoelectric conversion element. 2. The optical waveguide type optical modulator with an output light monitor according to claim 1, wherein:
て、前記キャピラリー中に、前記放射モード光を、前記
非モニタ面の上流において遮断する手段が設けられてい
る、請求項１に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調
器。8. The output light according to claim 1, wherein a means for blocking the radiation mode light upstream of the non-monitor surface is provided in the capillary with respect to the non-monitor surface of the capillary. Optical waveguide type optical modulator with monitor.
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101316A JP3587757B2 (en) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor |
| CA002594852A CA2594852C (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| EP01912411A EP1186936B1 (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| PCT/JP2001/002073 WO2001069308A1 (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| US09/980,606 US7200289B2 (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| DE60132056T DE60132056T2 (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | OPTICAL WAVE MODULATOR WITH OUTDOOR LIGHT MONITOR |
| CA002374168A CA2374168C (en) | 2000-03-15 | 2001-03-15 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| US11/352,060 US7532778B2 (en) | 2000-03-15 | 2006-02-09 | Optical waveguide modulator equipped with an output light monitor |
| US11/633,777 US7359581B2 (en) | 2000-03-15 | 2006-12-04 | Optical waveguide modulator with output light monitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101316A JP3587757B2 (en) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001281507A true JP2001281507A (en) | 2001-10-10 |
| JP3587757B2 JP3587757B2 (en) | 2004-11-10 |
Family
ID=18615389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000101316A Expired - Fee Related JP3587757B2 (en) | 2000-03-15 | 2000-03-31 | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3587757B2 (en) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004125854A (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical waveguide element and its manufacturing method |
| WO2004092792A1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-10-28 | Fujitsu Limited | Optical waveguide device |
| JP2004347716A (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Waveguide type optical device and method for monitoring output light |
| JP2005070301A (en) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical monitoring system |
| WO2005124438A1 (en) * | 2004-06-15 | 2005-12-29 | Anritsu Corporation | Optical modulator with monitor photodetector |
| JP2006286810A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device |
| JP2007094099A (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor |
| JP2008145799A (en) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor |
| US7444039B2 (en) | 2005-03-25 | 2008-10-28 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical modulator |
| JP2010237483A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Anritsu Corp | Optical modulator module |
| JP2010237592A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Structure for splicing optical element with optical fiber |
| WO2012115133A1 (en) | 2011-02-23 | 2012-08-30 | 住友大阪セメント株式会社 | Light modulator |
| JP2013080009A (en) * | 2011-09-30 | 2013-05-02 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Light modulator |
| JP2014048516A (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical modulator |
| JP2015197616A (en) * | 2014-04-02 | 2015-11-09 | 日本電信電話株式会社 | Optical module |
| US9329340B2 (en) | 2009-03-31 | 2016-05-03 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical modulator |
| CN107229136A (en) * | 2016-03-25 | 2017-10-03 | 住友大阪水泥股份有限公司 | Optical Modulator |
-
2000
- 2000-03-31 JP JP2000101316A patent/JP3587757B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004125854A (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical waveguide element and its manufacturing method |
| WO2004092792A1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-10-28 | Fujitsu Limited | Optical waveguide device |
| US7787717B2 (en) | 2003-04-16 | 2010-08-31 | Fujitsu Limited | Optical waveguide device |
| US7386198B2 (en) | 2003-04-16 | 2008-06-10 | Fujitsu Limited | Optical waveguide device |
| JP2004347716A (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Waveguide type optical device and method for monitoring output light |
| JP2005070301A (en) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical monitoring system |
| WO2005124438A1 (en) * | 2004-06-15 | 2005-12-29 | Anritsu Corporation | Optical modulator with monitor photodetector |
| US7474812B2 (en) | 2004-06-15 | 2009-01-06 | Anritsu Corporation | Monitor photodetector equipped optical modulator |
| US7444039B2 (en) | 2005-03-25 | 2008-10-28 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical modulator |
| JP2006286810A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device |
| JP4632841B2 (en) * | 2005-03-31 | 2011-02-16 | 富士通株式会社 | Semiconductor device |
| JP2007094099A (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor |
| JP2008145799A (en) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor |
| JP2010237483A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Anritsu Corp | Optical modulator module |
| JP2010237592A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Structure for splicing optical element with optical fiber |
| US9329340B2 (en) | 2009-03-31 | 2016-05-03 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical modulator |
| US8923673B2 (en) | 2011-02-23 | 2014-12-30 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical modulator |
| WO2012115133A1 (en) | 2011-02-23 | 2012-08-30 | 住友大阪セメント株式会社 | Light modulator |
| JP2013080009A (en) * | 2011-09-30 | 2013-05-02 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Light modulator |
| JP2014048516A (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical modulator |
| JP2015197616A (en) * | 2014-04-02 | 2015-11-09 | 日本電信電話株式会社 | Optical module |
| CN107229136A (en) * | 2016-03-25 | 2017-10-03 | 住友大阪水泥股份有限公司 | Optical Modulator |
| CN107229136B (en) * | 2016-03-25 | 2021-11-19 | 住友大阪水泥股份有限公司 | Optical modulator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3587757B2 (en) | 2004-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3587757B2 (en) | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor | |
| WO2001069308A1 (en) | Optical waveguide modulator with output light monitor | |
| US5259044A (en) | Mach-Zehnder optical modulator with monitoring function of output light | |
| JP5133571B2 (en) | Waveguide type optical modulator with radiation mode optical monitor | |
| JP2631902B2 (en) | Optical integrated circuit | |
| JP2000249875A (en) | Optical communication module | |
| EP0395451A2 (en) | Wavelength converting device | |
| JP2001215371A (en) | Optical waveguide type element with monitor | |
| JP2015138145A (en) | Optical modulator | |
| CN210775927U (en) | Optical module | |
| JP3690983B2 (en) | Optical waveguide device with output light monitor | |
| JP4623894B2 (en) | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor | |
| JP3696024B2 (en) | Optical waveguide modulator with output light monitor | |
| JPH07174946A (en) | Photodetecting module | |
| JP5211476B2 (en) | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor | |
| JP2004294708A (en) | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor | |
| JP2000056168A (en) | Optical transmitter | |
| JP5114836B2 (en) | Optical waveguide type optical modulator with output light monitor | |
| JPH05273260A (en) | Voltage sensor | |
| JP2005202429A (en) | Optical waveguide type element with output light monitor | |
| JPH01227108A (en) | Optical branching circuit | |
| JP3012999B2 (en) | Optical component connection structure | |
| JP2002243989A (en) | Optical semiconductor module | |
| JPS58116784A (en) | Semiconductor laser module | |
| JP2000304964A (en) | Optical coupling device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040713 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040810 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3587757 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080820 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120820 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140820 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |