JP2001280345A - Ball bearing - Google Patents

Ball bearing

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JP2001280345A
JP2001280345A JP2000093532A JP2000093532A JP2001280345A JP 2001280345 A JP2001280345 A JP 2001280345A JP 2000093532 A JP2000093532 A JP 2000093532A JP 2000093532 A JP2000093532 A JP 2000093532A JP 2001280345 A JP2001280345 A JP 2001280345A
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ball
ball bearing
less
ceramic
quality
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Japanese (ja)
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Kazuhisa Kitamura
和久 北村
Shinji Matsue
慎二 松榮
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Koyo Seiko Co Ltd
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a high level of the quality of a ball as much as possible and improve the rotating performance in a ball bearing having a ceramic ball. SOLUTION: The quality of the ceramic ball 13 is determined that the diameter irregularity is 0.016 μm or less, the sphericity is 0.06 μm or less, the surface roughness by center line average roughness Ra is 0.08 μm or less, and the size variation per unit container of a diameter of a lot is 0.10 μm or less. As the quality of the balls 13 to be incorporated into the ball bearing 10 can be unified at a high level, and the individual difference is remarkably reduced, the non- synchronous rotary run-out (NRRO) and the vibration can be remarkably reduced in comparison with a conventional ball bearing.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックス製玉
を有する玉軸受に関する。
The present invention relates to a ball bearing having a ceramic ball.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、セラミックス製玉を用いた玉
軸受が存在するが、近年、例えばハードディスクドライ
ブ装置のスピンドル軸、ビデオテープレコーダ(VT
R)のシリンダヘッドモータ軸、あるいはポリゴンスキ
ャナのモータ軸などの支持部に用いる玉軸受について、
きわめて高い回転性能が要求されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, ball bearings using ceramic balls have been known. In recent years, for example, a spindle shaft of a hard disk drive, a video tape recorder (VT),
R) Ball bearings used for supporting parts such as cylinder head motor shaft or polygon scanner motor shaft
Extremely high rotation performance is required.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記玉軸受に用いるセ
ラミックス製の玉については、日本工業規格などで規定
されたものはなく、通常鋼球に関して規定されたものに
準じて運用している。
The ceramic balls used in the above-mentioned ball bearings are not specified by Japanese Industrial Standards or the like, and are generally operated in accordance with those specified for steel balls.

【0004】しかし、日本工業規格の玉軸受用鋼球(J
IS B 1501)に規定されている最上級のG3等
級を満足するセラミックス製の玉を用いても、現状にお
いて、非同期回転振れ(Non Repeatable Runout:NR
RO)が悪いなど、十分な回転性能を満足することがで
きない。というのは、前述した現在の日本工業規格にお
ける玉の規定は、あくまでも素材を鋼材とする場合を前
提として定められている関係より、セラミックス製の玉
に適用するには不十分であると言える。
However, steel balls for ball bearings (J
Even if a ceramic ball that satisfies the highest grade of G3 specified in IS B 1501) is used, at the present time, a non-synchronous rotational runout (NR) is not possible.
RO) is poor, and sufficient rotational performance cannot be satisfied. This is because the provisions of the ball in the current Japanese Industrial Standards described above are not sufficient to be applied to ceramic balls because of the relationship stipulated on the assumption that the material is steel.

【0005】このような事情に鑑み、本発明は、セラミ
ックス製玉を有する玉軸受において、玉の品質を可及的
に高いレベルとし、回転性能の一層の向上を図ることを
目的としている。
In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a ball bearing having a ceramic ball with a ball quality as high as possible and to further improve the rotational performance.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明第1の玉軸受は、
セラミックス製の玉を用いたもので、前記玉の品質につ
いて、直径不同が0.06μm以下、真球度が0.06
μm以下、表面粗さが中心線平均粗さRaで0.008
μm以下、ロットの直径の相互差が0.10μm以下に
それぞれ設定されている、ことを特徴としている。
The first ball bearing according to the present invention comprises:
A ball made of ceramics having a diameter of 0.06 μm or less and a sphericity of 0.06 μm.
μm or less, surface roughness is 0.008 as center line average roughness Ra
μm or less, and the difference between the lot diameters is set to 0.10 μm or less.

【0007】本発明第2の玉軸受は、上記第1の構成に
おいて、前記玉が、等方加圧焼結処理(HIP)を施し
た窒化けい素系セラミックスからなる、ことを特徴とし
ている。
A second ball bearing according to the present invention is characterized in that, in the above-mentioned first structure, the ball is made of a silicon nitride ceramic which has been subjected to isotropic pressure sintering (HIP).

【0008】本発明第3の玉軸受は、上記第1の構成に
おいて、前記玉が、等方加圧焼結処理(HIP)を施し
たジルコニア系セラミックスからなる、ことを特徴とし
ている。
[0008] A third ball bearing of the present invention is characterized in that, in the above-mentioned first configuration, the ball is made of a zirconia-based ceramic subjected to isotropic pressure sintering (HIP).

【0009】要するに、本発明では、セラミックス製の
玉の品質について、JIS B 1501のG3等級よ
りもさらに緻密に規定することにより、玉軸受に組み込
むすべての玉の品質を高いレベルで均一化している。
In short, in the present invention, the quality of all balls incorporated in a ball bearing is made uniform at a high level by specifying the quality of ceramic balls more precisely than the G3 grade of JIS B 1501. .

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の詳細を図面に示す実施形
態に基づいて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.

【0011】図1ないし図4は本発明の一実施形態を示
している。図1は、玉軸受の上半分を示す縦断面図、図
2は、図1の玉軸受の使用対象となるHDD装置の縦断
面図、図3は、NRRO試験装置の概略構成図、図4
は、振動測定の形態を示す説明図である。
FIG. 1 to FIG. 4 show an embodiment of the present invention. 1 is a longitudinal sectional view showing an upper half of a ball bearing, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of an HDD device to which the ball bearing of FIG. 1 is used, FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an NRRO test apparatus, and FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a form of vibration measurement.

【0012】まず、図2に示すHDD装置について簡単
に説明する。図中、1はスピンドル軸、2はスピンドル
軸1の軸方向中間に固定されるステータ、3はスピンド
ル軸1に一対の玉軸受10,10を介して回転自在に支
持されるロータハブ、4はロータハブ3の内周に固定さ
れるロータ、5はロータハブ3の外周に配設される磁気
ディスクや光ディスクなどの情報記録媒体である。
First, the HDD device shown in FIG. 2 will be briefly described. In the drawing, reference numeral 1 denotes a spindle shaft, 2 denotes a stator fixed at an intermediate position in the axial direction of the spindle shaft 1, 3 denotes a rotor hub rotatably supported on the spindle shaft 1 via a pair of ball bearings 10, 10, and 4 denotes a rotor hub. Reference numeral 5 denotes a rotor fixed to the inner circumference of the rotor 3, and an information recording medium 5 such as a magnetic disk or an optical disk disposed on the outer circumference of the rotor hub 3.

【0013】次に、上記玉軸受10について図1に基づ
いて説明する。図示例では、玉軸受10として深溝玉軸
受を示している。この玉軸受10は、内輪11、外輪1
2、複数の玉13ならびに保持器14を備えており、シ
ール15,15により潤滑剤を封入する構成になってい
る。
Next, the ball bearing 10 will be described with reference to FIG. In the illustrated example, a deep groove ball bearing is shown as the ball bearing 10. The ball bearing 10 includes an inner ring 11, an outer ring 1
2, a plurality of balls 13 and a retainer 14 are provided, and the lubricant is sealed by the seals 15, 15.

【0014】内・外輪11,12は、必要に応じて、軸
受鋼、ステンレス鋼などの金属材で形成される。玉13
は、窒化けい素系セラミックスあるいはジルコニア系セ
ラミックスで形成される。
The inner and outer rings 11, 12 are formed of a metal material such as bearing steel or stainless steel as required. Ball 13
Is formed of silicon nitride ceramics or zirconia ceramics.

【0015】ここでは、セラミックス製の玉13の品質
について、直径不同を0.06μm以下、真球度を0.
06μm以下、表面粗さを中心線平均粗さRaで0.0
08μm以下、ロットの直径の相互差を0.10μm以
下にそれぞれ設定することに特徴がある。
Here, as for the quality of the ceramic ball 13, the diameter difference is 0.06 μm or less, and the sphericity is 0.1 mm.
06 μm or less, the surface roughness is 0.0
It is characterized in that the difference between the diameters is set to 08 μm or less and the difference between lot diameters is set to 0.10 μm or less.

【0016】次に、上記セラミックス製玉13の製造方
法について説明する。まず、窒化けい素粉末あるいはジ
ルコニア粉末や、それらに適した焼結助剤を例えば平均
粒径1.0μm以下に粉砕して混合し、それらに溶剤を
加えて混練することにより平均粒径60〜130μmに
造粒する。この造粒粉を用いて金型プレスにより外形を
整える。この成形体を脱脂してから、常圧焼結して、さ
らに等方加圧焼結処理(HIP)を行う。
Next, a method of manufacturing the ceramic ball 13 will be described. First, silicon nitride powder or zirconia powder, or a sintering aid suitable for them, for example, is crushed to an average particle size of 1.0 μm or less and mixed, and a solvent is added thereto and kneaded to obtain an average particle size of 60 to Granulate to 130 μm. The outer shape is adjusted by a die press using the granulated powder. After degreased, the compact is sintered under normal pressure and further subjected to isotropic pressure sintering (HIP).

【0017】前述の等方加圧焼結処理では、窒化けい素
の場合、窒素ガス雰囲気で約1700℃とし、1000
〜2000気圧未満の圧力で行う。この後、焼結体を機
械加工で球体に仕上げる。機械加工では、通常、4〜6
工程で順次研磨研石の粒度が細かいものを用い、最終的
には、0.1〜0.2μmの粒度を有するダイヤモンド
パウダーを用いて仕上げられる。その結果、玉13の精
度はサブミクロンになり、鏡面に仕上がる。
In the above-described isotropic pressure sintering, in the case of silicon nitride, the temperature is set to about 1700 ° C. in a nitrogen gas atmosphere,
Performed at pressures below 20002000 atmospheres. Thereafter, the sintered body is finished into a sphere by machining. In machining, usually 4-6
In the process, the abrasive stone is sequentially used with a fine particle size, and is finally finished using a diamond powder having a particle size of 0.1 to 0.2 μm. As a result, the accuracy of the ball 13 becomes submicron, and the ball 13 is finished to a mirror surface.

【0018】そして、上述したような形態で製作される
セラミックス製玉13を用いた玉軸受10について、非
同期回転振れ(NRRO)や振動を調べたので、説明す
る。
As for the ball bearing 10 using the ceramic ball 13 manufactured in the above-described embodiment, the non-rotational run-out (NRRO) and the vibration were examined, and will be described.

【0019】ここでは、試料として、ジルコニア系セラ
ミックスで製作した本発明品の2種類と、従来品の1種
類との3つを用意した。試験に用いる玉軸受は呼び番号
695である。
Here, three types of samples, two types of the present invention made of zirconia-based ceramics and one type of conventional product, were prepared. The ball bearing used for the test has a nominal number of 695.

【0020】第1発明品は、セラミックス製玉13の品
質として、直径不同を0.06μm、真球度を0.06
μm、表面粗さを中心線平均粗さRaで0.008μ
m、ロットの直径の相互差を0.10μmにそれぞれ設
定したものである。
The quality of the ceramic balls 13 of the first invention is 0.06 μm in diameter and 0.06 μm in sphericity.
μm, surface roughness is 0.008μ in center line average roughness Ra
m, and the difference between the lot diameters is set to 0.10 μm.

【0021】第2発明品は、セラミックス製玉13の品
質として、直径不同を0.04μm、真球度を0.04
μm、表面粗さを中心線平均粗さRaで0.004μ
m、ロットの直径の相互差を0.06μmにそれぞれ設
定したものである。
The quality of the ceramic balls 13 of the second invention is 0.04 μm in diameter and 0.04 μm in sphericity.
μm, surface roughness is 0.004μ in center line average roughness Ra
m, and the difference between the lot diameters is set to 0.06 μm.

【0022】従来品は、セラミックス製玉13の品質を
JIS B 1501におけるG3等級に相当するも
の、つまり、直径不同を0.08μm、真球度を0.0
8μm、表面粗さを中心線平均粗さRaで0.012μ
m、ロットの直径の相互差を0.13μmにそれぞれ設
定したものである。
In the conventional product, the quality of the ceramic ball 13 is equivalent to the grade G3 in JIS B1501, that is, the diameter difference is 0.08 μm and the sphericity is 0.0
8 μm, surface roughness 0.012 μm as center line average roughness Ra
m, the difference between the diameters of the lots is set to 0.13 μm.

【0023】NRRO試験装置は、図3に示すものを用
いる。図例のNRRO試験装置において、20は試料軸
受、21はスピンドル軸、22はサーボモータ、23は
ゴムカップリング、24はフレーム、25は防振ゴム、
26はエアベアリング、27は非接触変位センサ、28
は信号処理装置である。
The NRRO test apparatus shown in FIG. 3 is used. In the illustrated NRRO test apparatus, reference numeral 20 denotes a sample bearing, 21 denotes a spindle shaft, 22 denotes a servomotor, 23 denotes a rubber coupling, 24 denotes a frame, 25 denotes an anti-vibration rubber,
26 is an air bearing, 27 is a non-contact displacement sensor, 28
Is a signal processing device.

【0024】この装置では、スピンドル軸21の径方向
の振れを測定して、この各回転ごとの振れを重ねた状態
での重ね幅を非同期回転振れ(NRRO)量としてい
る。
In this apparatus, the radial run-out of the spindle shaft 21 is measured, and the overlap width in a state where the run-out for each rotation is overlapped is defined as the asynchronous rotational run-out (NRRO) amount.

【0025】この非同期回転振れ(NRRO)測定の結
果としては、従来品を「1」とすると、第2発明品が
「0.4」となり、第1発明品が「0.5」となり、本
発明品はいずれも従来品の約1/2にと大幅に減少し
た。
As a result of the asynchronous rotational runout (NRRO) measurement, assuming that the conventional product is “1”, the second invention product is “0.4” and the first invention product is “0.5”. All of the invention products were greatly reduced to about 1/2 of the conventional products.

【0026】また、玉軸受10の振動測定については、
図4に示すように、振動ピックアップ31を水平姿勢の
スピンドル軸32に取り付けた玉軸受10の外輪12に
対して接触させることにより径方向での変位物理量を測
定している。
Further, regarding the vibration measurement of the ball bearing 10,
As shown in FIG. 4, the displacement physical quantity in the radial direction is measured by bringing the vibration pickup 31 into contact with the outer ring 12 of the ball bearing 10 mounted on the spindle shaft 32 in a horizontal posture.

【0027】この振動測定の結果としては、従来品を
「1」とすると、第2発明品が「0.4」となり、第1
発明品は「0.5」となり、本発明品はいずれも従来品
の約1/2にと大幅に減少した。
As a result of the vibration measurement, if the conventional product is “1”, the second invention product is “0.4”, and the first invention product is “0.4”.
The value of the invention product was "0.5", and the value of each of the invention products was greatly reduced to about 1/2 of the conventional product.

【0028】以上説明したように、セラミックス製玉1
3の品質について、JIS B 1501のG3等級よ
りもさらに緻密に規定することにより、玉軸受10に組
み込む全玉13の品質を高いレベルで均一化して、個体
差を激減させているから、非同期回転振れ(NRRO)
や振動を従来品に比べて格段に小さくできるようにな
り、特に高精度な回転性能が要求されるような装置に好
適なものにできる。
As described above, the ceramic ball 1
The quality of all the balls 13 incorporated in the ball bearing 10 is made uniform at a high level and the individual difference is drastically reduced by defining the quality of the ball 3 more precisely than the G3 grade of JIS B 1501. Runout (NRRO)
And vibration can be made much smaller than conventional products, and it can be particularly suitable for a device that requires high-precision rotation performance.

【0029】ところで、セラミックス製の玉13につい
て、ジルコニア系セラミックスや窒化けい素系セラミッ
クスのいずれの場合でも、必ず上述した等方加圧焼結処
理(HIP)を施すのが耐荷重性を高めるうえで好まし
い。というのは、常圧焼結処理のみとした場合だと、玉
13の耐荷重性が劣るからである。このことは、次のよ
うな耐久性試験により裏付けられている。
By the way, regardless of the zirconia-based ceramic or the silicon nitride-based ceramic, the above-mentioned isotropic pressure sintering (HIP) is always applied to the ceramic ball 13 in order to improve the load resistance. Is preferred. This is because the load resistance of the ball 13 is inferior when only normal pressure sintering is performed. This is supported by the following durability test.

【0030】耐久性試験装置は、図5に示すものを用い
た。図例の耐久性試験装置は、回転軸41と受け部材4
2との間に、溝付きのスラストレース43と、試料平板
44とを配置し、スラストレース43と試料平板44と
の間に、複数個(3個)の鋼球45を介在させている。
なお、鋼球45は、直径を3/8”とし、各鋼球45の
PCDを38.5mmとしている。そして、回転軸41
を回転させながら、受け部材42を回転軸41側に加圧
する。
The durability test apparatus shown in FIG. 5 was used. The durability test apparatus shown in the figure comprises a rotating shaft 41 and a receiving member 4.
2, a grooved thrust trace 43 and a sample flat plate 44 are arranged, and a plurality of (three) steel balls 45 are interposed between the thrust trace 43 and the sample flat plate 44.
The steel balls 45 have a diameter of / ″, and the PCD of each steel ball 45 is 38.5 mm.
, The receiving member 42 is pressed against the rotating shaft 41.

【0031】この耐久性試験では、本発明品(上記第1
発明品)と、比較品とを調べた。本発明品は、試料平板
44についてジルコニア系セラミックスを等方加圧焼結
処理して形成したものとし、一方の比較品は、ジルコニ
ア系セラミックスを等方加圧焼結処理せずに常圧焼結処
理のみして形成し、他の条件は本発明品と同一にしたも
のとしている。
In this durability test, the product of the present invention (the first
Invention product) and a comparison product. The product of the present invention was formed by isostatic pressing sintering of zirconia ceramics on a sample plate 44, while the comparative product was sintered under normal pressure without isostatic pressing of zirconia ceramics. It is formed by only the binding process, and other conditions are the same as those of the product of the present invention.

【0032】条件としては、スピンドル油を用いた潤滑
とし、回転軸41の回転数を1200rpmとし、荷重
を段階的に増加させるようにしている。なお、荷重の増
加は、荷重の繰り返し数1.08×107回毎に行うも
のとする。
As conditions, lubrication using spindle oil is used, the rotation speed of the rotating shaft 41 is set to 1200 rpm, and the load is increased stepwise. The load is increased every 1.08 × 10 7 repetitions of the load.

【0033】結果としては、図6に示すように、比較品
の場合、玉1個当たりの荷重500N、面圧3.9GP
aで損傷が発生したが、本発明品は、玉1個当たりの荷
重1310N、面圧5.3GPaで損傷が発生した。
As a result, as shown in FIG. 6, in the case of the comparative product, the load per ball is 500 N and the surface pressure is 3.9 GP.
Although damage occurred at a, the product of the present invention suffered damage at a load of 1310 N per ball and a surface pressure of 5.3 GPa.

【0034】参考までに、窒化けい素系セラミックスを
等方加圧焼結処理して形成したものの場合だと、玉1個
当たりの荷重1310N、面圧5.9GPaまで増大し
ても損傷が発生せずに、正常動作を継続している。
For reference, in the case of silicon nitride ceramics formed by isotropic pressure sintering, damage occurs even when the load per ball is increased to 1310 N and the surface pressure is increased to 5.9 GPa. Without, continue normal operation.

【0035】ちなみに、炭化けい素系セラミックスの場
合には、玉1個当たりの荷重261N、面圧3.6GP
aで損傷が発生し、さらにアルミナ系セラミックスの場
合には、玉1個当たりの荷重65.3N、面圧2.2G
Paで損傷が発生したので、玉13を炭化けい素系セラ
ミックスとアルミナ系セラミックスとするには、使用対
象として低荷重条件となるものに限られると言える。
Incidentally, in the case of silicon carbide ceramics, the load per ball is 261 N and the surface pressure is 3.6 GP.
In the case of alumina ceramics, the load per ball is 65.3N and the contact pressure is 2.2G.
Since damage occurred at Pa, it can be said that the use of the balls 13 with silicon carbide-based ceramics and alumina-based ceramics is limited to those under low load conditions.

【0036】このような試験結果に基づき、セラミック
ス製の玉13を製造するにあっては、ジルコニア系セラ
ミックスや窒化けい素系セラミックスのいずれにおいて
も等方加圧焼結処理(HIP)を施して製造するのが耐
荷重性を高めるうえで好ましい。但し、玉13をジルコ
ニア系セラミックスとする場合、その線膨張係数が鋼材
のそれと近似しているので、内・外輪11,12を鋼材
などの異種材料で形成する場合に、軸受温度の変化幅が
大きくなるような状況において軸受内部の隙間変動を抑
制できるようになる点で有利である。
In producing the ceramic balls 13 based on the above test results, isotropic pressure sintering (HIP) is applied to both zirconia-based ceramics and silicon nitride-based ceramics. Manufacturing is preferable in terms of increasing load resistance. However, when the ball 13 is made of zirconia-based ceramic, its linear expansion coefficient is close to that of steel, so that when the inner and outer rings 11 and 12 are formed of different materials such as steel, the range of variation of the bearing temperature is limited. This is advantageous in that the gap variation inside the bearing can be suppressed in a situation where the size becomes large.

【0037】[0037]

【発明の効果】請求項1ないし3の発明では、セラミッ
クス製玉の品質について、JIS B1501のG3等
級よりもさらに緻密に規定することにより、玉軸受に組
み込む玉の品質を高いレベルで均一化して、個体差を激
減させているから、非同期回転振れ(NRRO)や振動
を従来品に比べて格段に小さくできるようになり、特に
高精度な回転性能が要求されるような装置に好適なもの
にできる。
According to the first to third aspects of the present invention, the quality of a ball to be incorporated in a ball bearing is made uniform at a high level by specifying the quality of a ceramic ball more precisely than the G3 grade of JIS B1501. Since the individual difference has been drastically reduced, the asynchronous rotational runout (NRRO) and vibration can be significantly reduced as compared with conventional products, making it particularly suitable for devices requiring high-precision rotational performance. it can.

【0038】また、請求項2や3の発明では、セラミッ
クス製玉の耐荷重性を高めることができるから、玉軸受
の耐久性向上に大きく貢献できるようになる。
According to the second and third aspects of the present invention, since the load resistance of the ceramic ball can be increased, it can greatly contribute to the improvement of the durability of the ball bearing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態にかかる玉軸受の上半分を
示す縦断面図
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an upper half of a ball bearing according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の玉軸受の使用対象となるHDD装置の縦
断面図
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of an HDD device to which the ball bearing of FIG. 1 is used;

【図3】NRRO試験装置の概略構成図FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an NRRO test apparatus.

【図4】振動測定の形態を示す説明図の縦断側面図FIG. 4 is a longitudinal side view of an explanatory view showing a form of vibration measurement.

【図5】耐久性試験装置の概略構成図FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a durability test apparatus.

【図6】耐久性試験の結果を示す図表FIG. 6 is a table showing the results of a durability test.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 玉軸受 11 内輪 12 外輪 13 玉 14 保持器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Ball bearing 11 Inner ring 12 Outer ring 13 Ball 14 Cage

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3J101 AA02 AA32 AA42 AA54 AA62 BA02 BA10 DA20 EA41 EA42 EA44 FA01 FA31 GA24 GA53 5H605 AA05 BB05 BB14 BB19 CC04 DD09 EB04 EB10 GG21  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page F term (reference) 3J101 AA02 AA32 AA42 AA54 AA62 BA02 BA10 DA20 EA41 EA42 EA44 FA01 FA31 GA24 GA53 5H605 AA05 BB05 BB14 BB19 CC04 DD09 EB04 EB10 GG21

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】セラミックス製の玉を用いた玉軸受であっ
て、 前記玉の品質について、直径不同が0.06μm以下、
真球度が0.06μm以下、表面粗さが中心線平均粗さ
Raで0.008μm以下、ロットの直径の相互差が
0.10μm以下にそれぞれ設定されている、ことを特
徴とする玉軸受。
1. A ball bearing using a ceramic ball, wherein the ball has a diameter difference of 0.06 μm or less,
A ball bearing having a sphericity of 0.06 μm or less, a surface roughness of 0.008 μm or less in center line average roughness Ra, and a difference between lot diameters of 0.10 μm or less. .
【請求項2】請求項1の玉軸受において、 前記玉が、等方加圧焼結処理(HIP)を施した窒化け
い素系セラミックスからなる、ことを特徴とする玉軸
受。
2. The ball bearing according to claim 1, wherein said ball is made of silicon nitride ceramics subjected to isotropic pressure sintering (HIP).
【請求項3】請求項1の玉軸受において、 前記玉が、等方加圧焼結処理(HIP)を施したジルコ
ニア系セラミックスからなる、ことを特徴とする玉軸
受。
3. The ball bearing according to claim 1, wherein the ball is made of a zirconia-based ceramic subjected to isotropic pressure sintering (HIP).
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