JP2001274544A - Board cooling apparatus and soldering apparatus - Google Patents

Board cooling apparatus and soldering apparatus

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JP2001274544A
JP2001274544A JP2000087349A JP2000087349A JP2001274544A JP 2001274544 A JP2001274544 A JP 2001274544A JP 2000087349 A JP2000087349 A JP 2000087349A JP 2000087349 A JP2000087349 A JP 2000087349A JP 2001274544 A JP2001274544 A JP 2001274544A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a board cooling apparatus and a soldering apparatus which can reduce a printed board manufacturing cost. SOLUTION: Inactive gas G is collected from an inactive atmosphere chamber 2 of which inside is fulfilled with the inactive gas G for preventing soldering oxidation by an atmosphere circulating means 34. The collected inactive gas G is pressurized and transferred to a cooling means 25 by the atmosphere circulating means 34. After the supplied inactive gas G is cooled by the cooling means 25, the inactive gas G after cooling is pressurized and transferred to a printed board P which is transferred in the inactive atmosphere chamber 2. The printed board P can be cooled by spraying the inactive gas G after cooling. The inactive gas G can be economized and the total usage of the inactive gas G can be reduced. A printed board P manufacturing cost can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ろう付け時酸化防
止用の不活性雰囲気内で基板を冷却する基板冷却装置お
よびろう付け装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cooling apparatus and a brazing apparatus for cooling a substrate in an inert atmosphere for preventing oxidation during brazing.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種のろう付け装置は、ろう付
け時酸化防止用の不活性雰囲気が内部に満たされた不活
性雰囲気チャンバ内に搬送された基板に、この不活性雰
囲気チャンバ内の不活性雰囲気とは別のほぼ常温の不活
性ガスを供給して吹き付けて、この基板を冷却してい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, a brazing apparatus of this type has a substrate transferred into an inert atmosphere chamber filled with an inert atmosphere for preventing oxidation at the time of brazing. This substrate is cooled by supplying and blowing an inert gas at a substantially normal temperature different from the inert atmosphere.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ろ
う付け装置では、不活性雰囲気チャンバ内に満たされた
不活性ガスとは別に供給される不活性ガスを吹き付け
て、不活性雰囲気チャンバ内に搬送される基板を冷却し
ているため、この不活性雰囲気チャンバには、順次、新
規に取り込まれる不活性ガスが外部から供給されてい
る。
However, in the above-mentioned brazing apparatus, an inert gas supplied separately from the inert gas filled in the inert atmosphere chamber is blown and conveyed into the inert atmosphere chamber. Since the substrate is cooled, an inert gas newly taken into the inert atmosphere chamber is sequentially supplied from the outside.

【0004】この結果、不活性雰囲気チャンバ内の不活
性ガスが、順次、外部へと排気されていることとなり、
不活性雰囲気形成のための不活性ガスに加え、基板を冷
却するために必要な不活性ガスの量が追加されるので膨
大となり、基板を製造する際に必要な製造コストが多大
となる。このため、この基板を製造するためには、多量
の不活性ガスが必要であるので、製造コストの削減が容
易ではないという問題を有している。
[0004] As a result, the inert gas in the inert atmosphere chamber is sequentially exhausted to the outside.
In addition to the inert gas for forming the inert atmosphere, the amount of the inert gas required for cooling the substrate is added, which is enormous, and the manufacturing cost required for manufacturing the substrate is large. For this reason, in order to manufacture this substrate, a large amount of inert gas is required, so that there is a problem that it is not easy to reduce the manufacturing cost.

【0005】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、製造コストが削減できる基板冷却装置およびろう
付け装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a substrate cooling device and a brazing device that can reduce manufacturing costs.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の基板冷却
装置は、ろう付け時酸化防止用の不活性雰囲気を回収し
て循環させ、はんだ付けを終え冷却工程に到達した基板
へと前記不活性雰囲気を圧送する雰囲気循環手段と、こ
の雰囲気循環手段により圧送されて供給される前記不活
性雰囲気を冷却する冷却手段とを具備しているものであ
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate cooling apparatus for recovering and circulating an inert atmosphere for preventing oxidation at the time of brazing, and transferring the inert atmosphere to a substrate which has reached a cooling step after soldering. Atmosphere circulating means for pumping an active atmosphere, and cooling means for cooling the inert atmosphere supplied and supplied by the atmosphere circulating means.

【0007】そして、この構成では、雰囲気循環手段が
回収したろう付け時酸化防止用の不活性雰囲気を冷却手
段で冷却した後に、この冷却後の不活性雰囲気を雰囲気
循環手段ではんだ付けを終え冷却工程に到達した基板へ
と圧送し、この基板を強制冷却することにより、ろう付
け強度を確保する。この結果、不活性雰囲気を雰囲気循
環手段および冷却手段により循環して冷却することとな
るので、不活性雰囲気を無駄なく有効に利用可能とな
る。よって、基板を製造するために必要な不活性雰囲気
の量が節約されるため、製造コストが削減される。
In this configuration, the inert atmosphere for preventing oxidation at the time of brazing collected by the atmosphere circulating means is cooled by the cooling means, and the cooled inert atmosphere is cooled by the atmosphere circulating means after the soldering. The substrate is pressure-fed to the substrate that has reached the process, and the substrate is forcibly cooled to ensure brazing strength. As a result, the inert atmosphere is circulated and cooled by the atmosphere circulating means and the cooling means, so that the inert atmosphere can be effectively used without waste. Thus, the amount of the inert atmosphere required for manufacturing the substrate is saved, and the manufacturing cost is reduced.

【0008】請求項2記載のろう付け装置は、ろう付け
時酸化防止用の不活性雰囲気で内部が満たされ、この内
部に基板が配設される不活性雰囲気チャンバと、この不
活性雰囲気チャンバから前記不活性雰囲気を回収して循
環させ、はんだ付けを終え冷却工程に到達した前記基板
へと前記不活性雰囲気を圧送する雰囲気循環手段と、こ
の雰囲気循環手段により圧送されて供給される前記不活
性雰囲気を冷却する冷却手段とを具備しているものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a brazing apparatus comprising: an inert atmosphere chamber in which the inside is filled with an inert atmosphere for preventing oxidation at the time of brazing; An atmosphere circulating means for recovering and circulating the inert atmosphere, forcing the inert atmosphere to the substrate after soldering and reaching a cooling step, and the inert gas supplied and supplied by the atmosphere circulating means Cooling means for cooling the atmosphere.

【0009】そして、この構成では、ろう付け時酸化防
止用の不活性雰囲気で内部が満たされた不活性雰囲気チ
ャンバ内に配設された基板は、はんだ付けを終え冷却工
程に到達した際に、この不活性雰囲気チャンバから雰囲
気循環手段により回収され冷却手段により冷却され、さ
らにこの雰囲気循環手段で循環されて圧送される不活性
雰囲気で冷却される。この結果、不活性雰囲気チャンバ
内に満たされた不活性雰囲気を雰囲気循環手段および冷
却手段で循環させるとともに、冷却して圧送し、基板を
強制冷却することにより、ろう付け強度を確保してい
る。このため、不活性雰囲気を節約して基板が冷却可能
となるので、不活性雰囲気を無駄なく有効に利用可能と
なり、製造コストが削減される。
In this configuration, the substrate disposed in the inert atmosphere chamber whose inside is filled with an inert atmosphere for preventing oxidation during brazing is used when the soldering is completed and the cooling process is reached. The gas is recovered from the inert atmosphere chamber by the atmosphere circulation means, cooled by the cooling means, and further cooled by the inert atmosphere circulated by the atmosphere circulation means and pumped. As a result, the inert atmosphere filled in the inert atmosphere chamber is circulated by the atmosphere circulating means and the cooling means, cooled and pressure-fed, and the substrate is forcibly cooled, thereby securing the brazing strength. Therefore, the substrate can be cooled while saving the inert atmosphere, so that the inert atmosphere can be effectively used without waste, and the manufacturing cost is reduced.

【0010】また、不活性雰囲気チャンバ内でろう付け
時の酸化防止に用いられた不活性雰囲気が、循環されて
基板の冷却に再利用されるとともに、従来の冷却ファン
による冷却と異なり、不活性雰囲気チャンバ内の不活性
雰囲気に外部空気を巻き込むおそれがなく、不活性雰囲
気チャンバ内の酸素濃度の上昇が防止される。
Further, the inert atmosphere used for preventing oxidation during brazing in the inert atmosphere chamber is circulated and reused for cooling the substrate, and unlike the conventional cooling fan, the inert atmosphere is inert. There is no risk of entraining external air into the inert atmosphere in the atmosphere chamber, and an increase in the oxygen concentration in the inert atmosphere chamber is prevented.

【0011】請求項3記載のろう付け装置は、請求項2
記載のろう付け装置において、冷却手段は、雰囲気循環
手段により圧送されて供給される不活性雰囲気を冷却す
るとともに、この不活性雰囲気中の不純物を除去する熱
交換フィルタを備えているものである。
[0011] The brazing apparatus according to the third aspect is the second aspect.
In the brazing apparatus described above, the cooling means is provided with a heat exchange filter for cooling the inert atmosphere supplied by being supplied by the atmosphere circulating means and removing impurities in the inert atmosphere.

【0012】そして、この構成では、不活性雰囲気チャ
ンバから雰囲気循環手段により回収されて圧送されて供
給される不活性雰囲気を冷却手段である熱交換フィルタ
で冷却するとともに不純物を除去した後に、この不活性
雰囲気を基板へと圧送して、この不活性雰囲気で不活性
雰囲気チャンバ内に配設された基板を冷却している。こ
の結果、冷却作用と同時に、不活性雰囲気チャンバ内の
不活性雰囲気中に含まれる不純物が除去されるので、フ
ィルタリングにより再生された不活性雰囲気で基板が冷
却可能となる。このため、不活性雰囲気チャンバ内の不
活性雰囲気が冷却雰囲気により汚染されることもない。
In this structure, the inert atmosphere recovered from the inert atmosphere chamber by the atmosphere circulating means and fed and supplied by pressure is cooled by a heat exchange filter as a cooling means and impurities are removed. The active atmosphere is pressure-fed to the substrate, and the substrate disposed in the inert atmosphere chamber is cooled by the inert atmosphere. As a result, the impurities contained in the inert atmosphere in the inert atmosphere chamber are removed at the same time as the cooling operation, so that the substrate can be cooled in the inert atmosphere regenerated by filtering. Therefore, the inert atmosphere in the inert atmosphere chamber is not contaminated by the cooling atmosphere.

【0013】請求項4記載のろう付け装置は、請求項2
または3記載の基板冷却装置において、不活性雰囲気チ
ャンバ内に搬送される基板の搬送方向に対して傾斜して
配設され、この基板にろう材を付着させる噴流ノズルを
具備し、冷却手段は、一側辺が前記噴流ノズルと略平行
で、他側辺が前記基板の搬送方向に対して略直角な略扁
平扇状に形成され、前記不活性雰囲気チャンバ内に搬送
される基板の搬送面に沿って配設された冷却ジャケット
を備え、この冷却ジャケットは、この冷却ジャケットの
基端に開口され不活性雰囲気を内部に供給するガス供給
口と、前記冷却ジャケットの先端に開口されこの冷却ジ
ャケットに供給されて冷却した前記不活性雰囲気を吹き
付けて前記基板を冷却させる複数のガス吹付け口とを有
しているものである。
[0013] The brazing apparatus according to the fourth aspect is the second aspect.
Or the substrate cooling apparatus according to 3, wherein the cooling means includes a jet nozzle which is disposed obliquely to a transport direction of the substrate transported into the inert atmosphere chamber, and adheres a brazing material to the substrate. One side is substantially parallel to the jet nozzle, and the other side is formed in a substantially flat fan shape substantially perpendicular to the direction of transport of the substrate, and along the transport surface of the substrate transported into the inert atmosphere chamber. A cooling jacket disposed at a base end of the cooling jacket and supplying a gas to the interior of the cooling jacket. And a plurality of gas blowing ports for blowing the cooled and cooled inert atmosphere to cool the substrate.

【0014】そして、この構成では、不活性雰囲気チャ
ンバ内に搬送された基板は、噴流ノズルによりろう材が
付着された後、この基板の搬送面に沿って配設され、冷
却ジャケットの複数のガス吹付け口から噴出される不活
性雰囲気で冷却される。このとき、一側辺が噴流ノズル
と略平行で、他側辺が基板の搬送方向に対して略直角な
略平板扇状に冷却ジャケットを形成したため、噴流ノズ
ルが基板の搬送方向に対して傾斜している場合であって
も、不活性雰囲気チャンバ内の基板がより均一に冷却可
能となるとともに、限られた三角スペースを有効に利用
して冷却ジャケットが設置される。この結果、噴流ノズ
ルを基板の搬送方向に対して傾斜したことにより生じ
る、例えば、基板にろう材を付着した際のはんだ切れが
良く、基板にろう材によるブリッジができにくいなどの
効果を損なうことなく、均一な急冷が可能となる。
In this configuration, the substrate transported into the inert atmosphere chamber is disposed along the transport surface of the substrate after the brazing material is attached by the jet nozzle, and the plurality of gases in the cooling jacket are provided. Cooled in an inert atmosphere spouted from the spray outlet. At this time, since the cooling jacket was formed in a substantially flat fan shape with one side substantially parallel to the jet nozzle and the other side substantially perpendicular to the substrate transport direction, the jet nozzle was inclined with respect to the substrate transport direction. Even in such a case, the substrate in the inert atmosphere chamber can be cooled more uniformly, and the cooling jacket is provided by effectively using the limited triangular space. As a result, the jet nozzle is inclined with respect to the direction in which the substrate is conveyed. For example, the solder breakage when the brazing material is adhered to the substrate is good, and the effects such as difficulty in bridging the substrate with the brazing material are impaired. And rapid quenching can be performed uniformly.

【0015】請求項5記載のろう付け装置は、請求項4
記載のろう付け装置において、冷却ジャケットは、この
冷却ジャケット内に設けられ、この冷却ジャケットの基
端側から供給される不活性雰囲気を略均等にこの冷却ジ
ャケットの先端側に向けて供給させる整流板を有してい
るものである。
According to a fifth aspect of the invention, there is provided a brazing apparatus.
In the brazing apparatus described above, the cooling jacket is provided in the cooling jacket, and a rectifying plate that supplies the inert atmosphere supplied from the base end side of the cooling jacket substantially uniformly toward the distal end side of the cooling jacket. It has.

【0016】そして、この構成では、冷却ジャケットの
基端側から供給される不活性雰囲気を略均等にこの冷却
ジャケットの先端側に向けて供給させる整流板を冷却ジ
ャケット内に設けたことにより、不活性雰囲気チャンバ
内の基板に対して、冷却ジャケットで冷却した不活性雰
囲気が雰囲気循環手段でより均一に圧送可能となる。こ
の結果、不活性雰囲気チャンバ内の基板に対する冷却ジ
ャケットによる冷却がより均一になる。特に、略扇状に
形成された冷却ジャケットの先端に開口した複数のガス
吹付け口に対し、整流板により不活性雰囲気流量が均等
に分配供給される。
In this configuration, a rectifying plate for supplying the inert atmosphere supplied from the base end side of the cooling jacket substantially uniformly toward the distal end side of the cooling jacket is provided in the cooling jacket. The inert atmosphere cooled by the cooling jacket can be more uniformly pumped to the substrate in the active atmosphere chamber by the atmosphere circulation means. As a result, the cooling of the substrate in the inert atmosphere chamber by the cooling jacket becomes more uniform. In particular, the flow rate of the inert atmosphere is uniformly distributed and supplied to the plurality of gas blowing ports opened at the tip of the cooling jacket formed in a substantially fan shape by the current plate.

【0017】請求項6記載のろう付け装置は、請求項4
または5記載のろう付け装置において、冷却ジャケット
は、扁平中空略扇状のジャケット本体と、このジャケッ
ト本体内の空間を上下に仕切る冷却板と、この冷却板に
より仕切られた前記ジャケット本体内の一側空間に形成
され、内部に冷媒を通過させる冷媒室と、この冷媒室内
に設けられ、この冷媒室の基端から供給された冷媒をこ
の冷媒室の先端に向けて通過させた後に、前記ジャケッ
ト本体の一側辺に沿って通過させ、この冷媒室の基端に
向けて通過させて排出させる仕切板と、前記冷却板によ
り仕切られた前記ジャケット本体内の他側空間に形成さ
れ、不活性雰囲気チャンバ内に搬送される基板の搬送面
に沿って配設され、前記冷媒室内を通過する冷媒により
内部を通過する不活性雰囲気が前記冷却板を介して冷却
される不活性雰囲気室とを有しているものである。
The brazing device according to the sixth aspect is the fourth aspect.
6. The brazing apparatus according to claim 5, wherein the cooling jacket is a flat hollow, substantially fan-shaped jacket main body, a cooling plate partitioning a space in the jacket main body up and down, and one side in the jacket main body partitioned by the cooling plate. A refrigerant chamber formed in a space and allowing a refrigerant to pass therethrough; provided in the refrigerant chamber, after passing a refrigerant supplied from a base end of the refrigerant chamber toward a tip of the refrigerant chamber, the jacket body A partition plate that is passed along one side of the jacket, and that is passed toward the base end of the refrigerant chamber and discharged, and an inert atmosphere formed in the other space in the jacket body that is partitioned by the cooling plate. An inert atmosphere disposed along a transfer surface of the substrate transferred into the chamber, wherein an inert atmosphere passing through the inside by the refrigerant passing through the refrigerant chamber is cooled through the cooling plate; Those having a chamber.

【0018】そして、この構成では、ジャケット本体内
の空間を冷却板により上下に仕切った一側空間に形成し
た冷媒室内に設けた仕切板により、この冷媒室の基端か
ら供給された冷媒は、この冷媒室の先端に向けて通過し
た後に、ジャケット本体の一側辺に沿って通過し、さら
にこの冷媒室の基端に向けて通過した後に排出される。
このため、冷媒室内の隅々を冷媒が巡回して通過するの
で、冷却板により仕切られたジャケット本体内の他側空
間に形成され、不活性雰囲気チャンバ内に搬送される基
板の搬送面に沿って配設された不活性雰囲気室内を通過
する不活性ガスが冷却板を介して冷媒室内を通過する冷
媒にてより効率良く冷却される。特に、冷却板を介し冷
媒で効率良く強制冷却された不活性雰囲気は、高温に加
熱された鉛フリーろう材をも急冷することが可能であ
り、所定のろう付け強度が確保される。さらに、冷媒室
の基端から冷媒が供給および排出されるため、ジャケッ
ト本体に対する冷媒の配管が容易になる。
In this configuration, the refrigerant supplied from the base end of the refrigerant chamber is provided by a partition plate provided in a refrigerant chamber formed in one side space in which a space in the jacket body is vertically divided by a cooling plate. After passing toward the distal end of the refrigerant chamber, it passes along one side of the jacket main body, and is further discharged after passing toward the base end of the refrigerant chamber.
For this reason, since the refrigerant circulates and passes through every corner in the refrigerant chamber, it is formed in the other side space in the jacket main body partitioned by the cooling plate, and along the transfer surface of the substrate transferred into the inert atmosphere chamber. The inert gas passing through the inert atmosphere chamber disposed in this way is more efficiently cooled by the refrigerant passing through the refrigerant chamber via the cooling plate. In particular, the inert atmosphere efficiently cooled by the cooling medium through the cooling plate can rapidly cool the lead-free brazing material heated to a high temperature, and a predetermined brazing strength is secured. Furthermore, since the refrigerant is supplied and discharged from the base end of the refrigerant chamber, the piping of the refrigerant to the jacket body becomes easy.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明のろう付け装置の第
1の実施の形態の構成を図1を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The construction of a first embodiment of the brazing apparatus according to the present invention will be described below with reference to FIG.

【0020】図1において、1aはろう付け装置で、この
ろう付け装置1aは、不活性雰囲気チャンバ2を有し、こ
の不活性雰囲気チャンバ2内を貫通して配設された搬送
手段としての基板搬送コンベヤ3で基板としてのプリン
ト基板Pを搬送し、このプリント基板Pの被ろう付け面
を加熱した後に、このプリント基板P上に搭載した各電
子素子などの電極部に対して噴流したろう材としてのは
んだSを接触させ、さらにこのプリント基板Pを冷却す
る噴流式のはんだ付け装置である。
In FIG. 1, reference numeral 1a denotes a brazing apparatus. The brazing apparatus 1a has an inert atmosphere chamber 2, and a substrate as a transfer means disposed through the inert atmosphere chamber 2. After the printed circuit board P is conveyed by the conveyor 3 and the surface to be brazed of the printed circuit board P is heated, the brazing material jetted onto the electrodes of the electronic elements and the like mounted on the printed circuit board P Is a jet-flow type soldering device for bringing the solder S into contact with the printed circuit board P and further cooling the printed board P.

【0021】そして、不活性雰囲気チャンバ2は、略水
平に配設されており、ろう付け、すなわちはんだ付け時
における酸化防止用である不活性雰囲気としての窒素ガ
ス(N)などの不活性ガスGが内部に充填、すなわち満
たされている。また、この不活性雰囲気チャンバ2内に
は、この不活性雰囲気チャンバ2内にプリント基板Pを
搬入するとともに、この不活性雰囲気チャンバ2内から
搬出する基板搬送コンベヤ3が配設されており、この基
板搬送コンベヤ3は、図1に示す左右方向に搬送方向を
有している。
The inert atmosphere chamber 2 is arranged substantially horizontally, and is an inert gas such as nitrogen gas (N 2 ) as an inert atmosphere for preventing oxidation during brazing, ie, soldering. G is filled, that is, filled. Further, in the inert atmosphere chamber 2, a substrate transport conveyor 3 for carrying the printed circuit board P into the inert atmosphere chamber 2 and unloading the printed board P from the inert atmosphere chamber 2 is provided. The substrate transport conveyor 3 has a transport direction in the left-right direction shown in FIG.

【0022】また、不活性雰囲気チャンバ2の搬入側に
は、プリント基板Pを搬入した後に、このプリント基板
Pの裏面を加熱するための基板予加熱空間部11が形成さ
れており、この基板予加熱空間部11の下方には、基板搬
送コンベヤ3により搬送されるプリント基板Pの裏面を
予加熱する加熱手段としてのプリヒータ12が配設されて
いる。このプリヒータ12は、蛇行させた状態で、基板予
加熱空間部11の下方に配設されたシーズヒータである。
On the loading side of the inert atmosphere chamber 2, a substrate preheating space 11 for heating the back surface of the printed circuit board P after loading the printed circuit board P is formed. Below the heating space 11, a preheater 12 as a heating means for preheating the back surface of the printed circuit board P conveyed by the substrate conveying conveyor 3 is provided. The preheater 12 is a sheathed heater disposed below the substrate preheating space 11 in a meandering state.

【0023】さらに、不活性雰囲気チャンバ2の搬出側
には、プリント基板Pおよび基板搭載部品とともに、こ
れらにはんだ付けされたはんだSを冷却した後に、この
プリント基板Pをこの不活性雰囲気チャンバ2内から外
部へと搬出する基板冷却空間部13が形成されている。
Further, after the printed board P and the board mounted components and the solder S soldered thereto are cooled, the printed board P is placed in the inert atmosphere chamber 2 on the carry-out side of the inert atmosphere chamber 2. A substrate cooling space 13 is formed to be carried out from the outside to the outside.

【0024】そして、不活性雰囲気チャンバ2の基板予
加熱空間部11と、基板冷却空間部13との間には、基板搬
送コンベヤ3により搬送されるプリント基板Pをはんだ
付けするための基板はんだ付け空間部14が形成されてい
る。この基板はんだ付け空間部14の下方には、溶融はん
だSを内部に貯溜する槽体としてのはんだ槽15が配設さ
れており、このはんだ槽15内には、噴流ノズルとしての
1次噴流ノズル16および2次噴流ノズル17が配設されて
いる。
Then, between the substrate preheating space 11 and the substrate cooling space 13 in the inert atmosphere chamber 2, a substrate soldering for soldering the printed circuit board P carried by the substrate carrying conveyor 3 is performed. A space 14 is formed. Below the board soldering space 14, a solder bath 15 as a bath body for storing the molten solder S therein is provided. In the solder bath 15, a primary jet nozzle as a jet nozzle is provided. 16 and a secondary jet nozzle 17 are provided.

【0025】さらに、不活性雰囲気チャンバ2の下部に
は、ノズル挿入口18が開口されており、このノズル挿入
口18の開口縁19は、はんだ槽15内に貯溜した溶融はんだ
S内に挿入されている。これにより、不活性雰囲気チャ
ンバ2の下部は、はんだ槽15と気密に接続されている。
Further, a nozzle insertion port 18 is opened in the lower part of the inert atmosphere chamber 2, and an opening edge 19 of the nozzle insertion port 18 is inserted into the molten solder S stored in the solder bath 15. ing. As a result, the lower part of the inert atmosphere chamber 2 is airtightly connected to the solder bath 15.

【0026】また、1次噴流ノズル16および2次噴流ノ
ズル17は、それぞれ電磁誘導ポンプ20a,20bに接続され
ており、これら1次噴流ノズル16および2次噴流ノズル
17それぞれのノズル先端からは、はんだ槽15内に貯溜し
た溶融はんだSが噴流されており、これら1次噴流ノズ
ル16および2次噴流ノズル17は、基板搬送コンベヤ3に
て搬送されるプリント基板Pの裏面に溶融はんだSを付
着させる、すなわちはんだ付けする。
The primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17 are connected to electromagnetic induction pumps 20a and 20b, respectively.
The molten solder S stored in the solder bath 15 is jetted from the tip of each of the nozzles 17, and the primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17 are connected to the printed circuit board P conveyed by the board conveying conveyor 3. Molten solder S is adhered to the back surface of the substrate, that is, soldered.

【0027】さらに、不活性雰囲気チャンバ2の基板は
んだ付け空間部14の上方は、上方に向けて突出した突出
空間部21が形成されており、この突出空間部21の上方に
は、不活性雰囲気チャンバ2内に窒素ガスなどの不活性
ガスGを供給するための不活性ガス供給管21aが設けら
れている。また、突出空間部21の搬出側に位置する一側
には、この不活性雰囲気チャンバ2内の不活性ガスGを
回収するための不活性ガス回収口22が穿設されている。
Further, a projecting space 21 projecting upward is formed above the substrate soldering space 14 of the inert atmosphere chamber 2, and an inert atmosphere is formed above the projecting space 21. An inert gas supply pipe 21a for supplying an inert gas G such as a nitrogen gas into the chamber 2 is provided. An inert gas recovery port 22 for recovering the inert gas G in the inert atmosphere chamber 2 is provided on one side of the protruding space portion 21 located on the carry-out side.

【0028】そして、この不活性ガス回収口22には、不
活性雰囲気チャンバ2内から不活性ガスGを回収して冷
却した後に、この冷却後の不活性ガスGを不活性雰囲気
チャンバ2の基板冷却空間部13に搬送されたはんだ付け
後のプリント基板Pへと圧送し、このプリント基板Pを
急冷することによりはんだ付け強度を確保するための基
板冷却装置24が接続されている。この基板冷却装置24
は、供給される不活性ガスGを冷却するための冷却手段
25を備えており、この冷却手段25は、不活性雰囲気チャ
ンバ2の不活性ガス回収口22に接続されている。
The inert gas recovery port 22 collects and cools the inert gas G from the inert atmosphere chamber 2 and then cools the inert gas G into the substrate of the inert atmosphere chamber 2. A board cooling device 24 is connected to the printed board P after soldering, which is conveyed to the cooling space 13 and which is cooled rapidly to secure soldering strength by rapidly cooling the printed board P. This substrate cooling device 24
Is a cooling means for cooling the supplied inert gas G
The cooling means 25 is connected to the inert gas recovery port 22 of the inert atmosphere chamber 2.

【0029】また、この冷却手段25は、不活性雰囲気チ
ャンバ2から圧送されて供給される不活性ガスGを冷却
するとともに、この不活ガスG中にミスト状に漂うフラ
ックスヒュームなどの不純物Iを、この不活性ガスG中
から除去する熱交換フィルタ26を備えている。
The cooling means 25 cools the inert gas G supplied by pressure from the inert atmosphere chamber 2 and supplies impurities I such as flux fume floating in a mist form into the inert gas G. And a heat exchange filter 26 for removing the inert gas from the inert gas G.

【0030】この熱交換フィルタ26は、空冷式であり、
断面略矩形筒状の冷却室27を備えており、この冷却室27
の一側面の上方には、不活性雰囲気チャンバ2の不活性
ガス回収口22に接続される吸込口28が穿設されている。
さらに、この冷却室27の一側面の下方には、この冷却室
27内を通過する不活性ガスGを排気するための排出口29
が穿設されている。
This heat exchange filter 26 is of an air-cooled type,
A cooling chamber 27 having a substantially rectangular cross section is provided.
Above one side surface, a suction port 28 connected to the inert gas recovery port 22 of the inert atmosphere chamber 2 is formed.
Further, below one side surface of the cooling chamber 27, the cooling chamber
An outlet 29 for exhausting the inert gas G passing through the inside 27
Are drilled.

【0031】また、この冷却室27の他側面は、熱伝導性
に優れた素材で形成された冷却面27aとして形成されて
おり、この冷却面27aを介した冷却室27の他側面には、
ファン30による送風により冷却室27内を通過する不活性
ガスGを冷却するための通風室31が連設されている。こ
の通風室31は、冷却室27の他側面に沿って形成されてい
るとともに、この通風室31の上部および下部には、通風
開口31a,31bがそれぞれ開口されている。
The other side surface of the cooling chamber 27 is formed as a cooling surface 27a made of a material having excellent heat conductivity, and the other side surface of the cooling chamber 27 via the cooling surface 27a is
A ventilation chamber 31 for cooling the inert gas G passing through the inside of the cooling chamber 27 by blowing air from the fan 30 is provided continuously. The ventilation chamber 31 is formed along the other side surface of the cooling chamber 27, and ventilation openings 31a and 31b are opened in the upper and lower portions of the ventilation chamber 31, respectively.

【0032】また、下部の通風開口31bの下方には、フ
ァン30が上方に向けて配設されており、このファン30に
よる送風により通風室31内には順次、冷却媒体としての
空気Aが供給、すなわち通風される。この結果、冷却室
27内を通過する不活性ガスGは、通風室31に送風された
空気Aにより、冷却室27の冷却面27aを介して冷却され
る。
A fan 30 is disposed below the lower ventilation opening 31b so as to face upward, and air blows by the fan 30 to supply air A as a cooling medium into the ventilation chamber 31 sequentially. That is, it is ventilated. As a result, the cooling chamber
The inert gas G passing through the inside 27 is cooled by the air A blown into the ventilation chamber 31 via the cooling surface 27 a of the cooling chamber 27.

【0033】さらに、冷却室27の内部上方には、この冷
却室27内を閉塞する状態で、エアフィルタ32が配設され
ている。このエアフィルタ32は、吸込口28から回収した
不活性ガスGが通過することにより、この不活性ガスG
中に漂う不純物Iを回収除去、すなわち濾過する。
Further, an air filter 32 is disposed above the inside of the cooling chamber 27 so as to close the inside of the cooling chamber 27. The inert gas G collected from the suction port 28 passes through the air filter 32 so that the inert gas G
The impurities I floating therein are recovered and removed, that is, filtered.

【0034】また、エアフィルタ32の下方である冷却室
27内には、この冷却室27の一側面および他側面から互い
違いに内方に向けて突出した複数の略扁平板状の邪魔板
33a,33b,33c,33dが形成されている。これら邪魔板33
a,33cは、冷却室27内の一側面より突設されており、こ
の一側面に対して略垂直に突出した後に下方に向けて屈
曲して突出している。また、邪魔板33b,33dは、冷却室
27内の他側面より突設されており、この他側面に対して
略垂直に突出した後に、上方に向けて屈曲して突出し、
さらに、この他側面に向けて略垂直に屈曲して突出して
いる。
The cooling chamber below the air filter 32
Inside the cooling chamber 27, a plurality of substantially flat plate-like baffles protruding inward alternately from one side and the other side of the cooling chamber 27 are provided.
33a, 33b, 33c, 33d are formed. These baffles 33
The projections a and 33c protrude from one side surface in the cooling chamber 27, project substantially perpendicularly to the one side surface, and then bend downward to project. In addition, the baffle plates 33b and 33d
It protrudes from the other side in 27, and after projecting almost perpendicularly to this other side, it bends upward and projects,
Furthermore, it is bent and projected substantially vertically toward the other side surface.

【0035】このため、邪魔板33a,33b,33c,33dは、
冷却室27の吸込口28から圧送されて供給された不活性ガ
スGがこの冷却室27内を通過する際に、この不活性ガス
Gが衝突して、この不活性ガスG中に漂う不純物I、特
にフラックスヒュームが液化して、これら邪魔板33a,3
3b,33c,33d上に付着することにより、この不活性ガス
Gから不純物Iを回収除去、すなわち濾過する。
For this reason, the baffle plates 33a, 33b, 33c, 33d
When the inert gas G supplied by pressure from the suction port 28 of the cooling chamber 27 passes through the inside of the cooling chamber 27, the inert gas G collides with the inert gas G and floats in the inert gas G. In particular, the flux fume is liquefied and these baffles 33a, 3
The impurities I are collected and removed from the inert gas G by being attached to the surfaces 3b, 33c, and 33d, that is, the impurities I are filtered.

【0036】そして、熱交換フィルタ26の冷却室27の排
出口29には、この冷却室27内から排出される不活性ガス
Gを、はんだ付けを終え冷却工程に到達したプリント基
板Pへと圧送する雰囲気循環手段34の一部を構成する圧
送手段としてのブロワ34aの吸気口35が接続されてい
る。このブロワ34aには、排気口36が形成されており、
この排気口36には、冷却手段25である冷却ジャケットと
しての水冷ジャケット41が接続されている。さらに、こ
のブロワ34aは、冷却手段25としての熱交換フィルタ26
および水冷ジャケット41により冷却した不活性ガスGを
不活性雰囲気チャンバ2内のプリント基板Pへと圧送し
て、このプリント基板Pを冷却する。すなわち、このブ
ロワ34aは、回収した不活性ガスGを不活性雰囲気チャ
ンバ2内から搬出されようとするプリント基板Pへと圧
送し、この不活性ガスGの一部を循環させる。
Then, the inert gas G discharged from the cooling chamber 27 is fed to the printed board P, which has completed the soldering and has reached the cooling step, through the outlet 29 of the cooling chamber 27 of the heat exchange filter 26. The suction port 35 of the blower 34a as a pressure feeding means constituting a part of the atmosphere circulation means 34 is connected. An exhaust port 36 is formed in the blower 34a.
A water cooling jacket 41 serving as a cooling jacket, which is the cooling means 25, is connected to the exhaust port 36. Further, the blower 34a is provided with a heat exchange filter 26 as a cooling means 25.
The inert gas G cooled by the water-cooling jacket 41 is sent under pressure to the printed board P in the inert atmosphere chamber 2 to cool the printed board P. That is, the blower 34a sends the recovered inert gas G under pressure to the printed circuit board P to be carried out of the inert atmosphere chamber 2 and circulates a part of the inert gas G.

【0037】次いで、水冷ジャケット41は、水冷式であ
り、不活性雰囲気チャンバ2の基板冷却空間部13の下方
に取り付けられている。また、この水冷ジャケット41
は、不活性雰囲気チャンバ2内から回収して熱交換フィ
ルタ26で冷却して濾過した不活性ガスGをさらに冷却し
た後に、この不活性ガスGをプリント基板Pの裏面へと
ブロワ34aによる圧送力により吹き付けて、このプリン
ト基板Pを強制冷却する。
Next, the water-cooling jacket 41 is of a water-cooling type, and is attached below the substrate cooling space 13 of the inert atmosphere chamber 2. Also, this water cooling jacket 41
After the inert gas G collected from the inert atmosphere chamber 2 and cooled by the heat exchange filter 26 and filtered is further cooled, the inert gas G is sent to the back surface of the printed circuit board P by the blower 34a. To forcibly cool the printed circuit board P.

【0038】さらに、この水冷ジャケット41は、略扁平
中空なジャケット本体41aを備えており、このジャケッ
ト本体41a内には、このジャケット本体41a内の空間を上
下に仕切る冷却板42が取り付けられている。この冷却板
42は、熱伝導率に優れた金属材料などで形成されてい
る。また、この冷却板42により仕切られたジャケット本
体41a内の一側空間である下方に位置する空間部には、
冷媒としての液体である水Wを内部に通過させる冷媒室
44が形成されている。
Further, the water-cooled jacket 41 has a substantially flat hollow jacket body 41a, and a cooling plate 42 for vertically partitioning the space inside the jacket body 41a is mounted in the jacket body 41a. . This cooling plate
Reference numeral 42 is formed of a metal material having excellent thermal conductivity. Further, in a space located below, which is one side space in the jacket main body 41a partitioned by the cooling plate 42,
A refrigerant chamber through which water W, which is a liquid as a refrigerant, passes
44 are formed.

【0039】また、冷却板42により仕切られたジャケッ
ト本体41a内の他側空間である上方に位置する空間部に
は、内部に不活性ガスGを通過させる不活性雰囲気室と
してのガス室43が形成されている。このガス室43は、不
活性雰囲気チャンバ2内に搬送されるプリント基板Pの
搬送面に沿って配設されている。また、このガス室43内
を通過する不活性ガスGは、冷媒室44を通過する水Wと
の温度差により、冷却板42を介して水Wにより冷却され
る。
A gas chamber 43 as an inert atmosphere chamber through which an inert gas G passes is provided in an upper space which is another space in the jacket main body 41a partitioned by the cooling plate 42. Is formed. The gas chamber 43 is provided along the transfer surface of the printed circuit board P transferred into the inert atmosphere chamber 2. The inert gas G passing through the gas chamber 43 is cooled by the water W via the cooling plate 42 due to a temperature difference from the water W passing through the refrigerant chamber 44.

【0040】そして、このガス室43の一側面には、熱交
換フィルタ26を通過した後の不活性ガスGをガス室43内
に供給するためのガス供給口45が穿設されている。この
ガス供給口45は、ブロワ34aの排気口36に接続されてお
り、このブロワ34aの圧送力により、熱交換フィルタ26
により冷却された後の不活性ガスGが圧送されて供給さ
れる。
A gas supply port 45 for supplying the inert gas G after passing through the heat exchange filter 26 into the gas chamber 43 is formed in one side surface of the gas chamber 43. This gas supply port 45 is connected to the exhaust port 36 of the blower 34a, and the heat exchange filter 26
The inert gas G cooled by the pressure is fed and supplied.

【0041】また、ガス室43の上面には、このガス室43
内を通過する際に冷却された不活性ガスGを噴出し、こ
の不活性ガスGをプリント基板Pの裏面に吹き付けて、
このプリント基板Pを冷却する小径なガス吹付け口46が
複数穿設されている。
The gas chamber 43 is provided on the upper surface of the gas chamber 43.
When passing through the inside, the cooled inert gas G is ejected, and the inert gas G is sprayed on the back surface of the printed circuit board P,
A plurality of small-diameter gas blowing ports 46 for cooling the printed circuit board P are provided.

【0042】さらに、ガス室43のガス供給口45が位置す
る側面である冷媒室44の一側面には、この冷媒室44内に
水Wを供給するための冷媒供給口としての水供給口47が
穿設されている。また、冷媒室44の下面で水供給口47の
反対側には、冷媒室44内に供給された水Wを排出するた
めの冷媒排出口としての水排出口48が穿設されている。
この結果、水Wが水供給口47から供給された後に冷媒室
44内を通過して水排出口48から排出されることにより、
水Wとの温度差で冷却板42を介してガス室43を通過する
不活性ガスGを冷却する。
Further, a water supply port 47 as a refrigerant supply port for supplying water W into the refrigerant chamber 44 is provided on one side of the refrigerant chamber 44 which is a side surface on which the gas supply port 45 of the gas chamber 43 is located. Are drilled. Further, a water discharge port 48 as a refrigerant discharge port for discharging the water W supplied into the refrigerant chamber 44 is formed on the lower surface of the refrigerant chamber 44 on the side opposite to the water supply port 47.
As a result, after the water W is supplied from the water supply port 47, the refrigerant chamber
By passing through 44 and being discharged from the water discharge port 48,
The inert gas G passing through the gas chamber 43 via the cooling plate 42 is cooled by the temperature difference from the water W.

【0043】ここで、冷却手段25は、熱交換フィルタ26
と、水冷ジャケット41とを備えており、また、雰囲気循
環手段34には、不活性雰囲気チャンバ2と、熱交換フィ
ルタ26の冷却室27と、ブロワ34aと、水冷ジャケット41
のガス室43とが含まれている。そして、不活性ガスG
は、これら不活性雰囲気チャンバ2、熱交換フィルタ26
の冷却室27、ブロワ34aおよび水冷ジャケット41のガス
室43内を循環する。
Here, the cooling means 25 includes a heat exchange filter 26
And a water cooling jacket 41. The atmosphere circulating means 34 includes an inert atmosphere chamber 2, a cooling chamber 27 of a heat exchange filter 26, a blower 34a, and a water cooling jacket 41.
Gas chamber 43 is included. And the inert gas G
These inert atmosphere chamber 2, heat exchange filter 26
In the gas chamber 43 of the cooling chamber 27, the blower 34a, and the water cooling jacket 41.

【0044】次に、上記第1の実施の形態の作用を説明
する。
Next, the operation of the first embodiment will be described.

【0045】基板搬送コンベヤ3の搬送始端にプリント
基板Pを載置すると、この基板搬送コンベヤ3によりプ
リント基板Pが不活性雰囲気チャンバ2内に搬送され
る。
When the printed circuit board P is placed on the transfer start end of the board transfer conveyor 3, the printed board P is transferred into the inert atmosphere chamber 2 by the board transfer conveyor 3.

【0046】この後、この基板搬送コンベヤ3が、この
プリント基板Pを不活性雰囲気チャンバ2の基板予加熱
空間部11内へと搬送すると、この基板予加熱空間部11に
配設したプリヒータ12が、このプリント基板Pを予加熱
する。
Thereafter, when the substrate transport conveyor 3 transports the printed circuit board P into the substrate preheating space 11 of the inert atmosphere chamber 2, the preheater 12 disposed in the substrate preheating space 11 is activated. Then, the printed circuit board P is preheated.

【0047】次いで、このプリント基板Pが基板はんだ
付け空間部14のはんだ槽15の上部へと搬送されると、1
次噴流ノズル16および2次噴流ノズル17から噴流される
乱流波(1次波)および整形波(2次波)の各溶融はんだS
でこのプリント基板Pをはんだ付けする。
Next, when the printed board P is transported to the upper part of the solder bath 15 of the board soldering space 14, the
Each molten solder S of turbulent wave (primary wave) and shaped wave (secondary wave) jetted from the secondary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17
Then, the printed circuit board P is soldered.

【0048】さらに、このプリント基板Pが水冷ジャケ
ット41上へと搬送されると、この水冷ジャケット41のガ
ス吹付け口46から圧送されて噴出される冷却された不活
性ガスGが、このプリント基板Pの裏面に吹き付けられ
てプリント基板Pおよび基板搭載部品とともに、高温の
はんだ継手部が冷却される。
Further, when the printed circuit board P is conveyed onto the water-cooled jacket 41, the cooled inert gas G which is pressure-fed and blown out from the gas blowing port 46 of the water-cooled jacket 41 is discharged. The high temperature solder joint portion is cooled together with the printed circuit board P and the board mounted components by being sprayed on the back surface of P.

【0049】これにより、水冷ジャケット41のガス吹出
し口46から圧送される不活性ガスGは、プリント基板P
を冷却するとともに、不活性雰囲気チャンバ2の基板冷
却空間部13に循環され、この基板冷却空間部13を不活性
ガスGで満たすから、不活性雰囲気チャンバ2の基板搬
出口より基板はんだ付け空間部14内への外気の侵入を防
止できる。
As a result, the inert gas G fed from the gas outlet 46 of the water cooling jacket 41 is
Is cooled and circulated through the substrate cooling space 13 of the inert atmosphere chamber 2 to fill the substrate cooling space 13 with the inert gas G. It is possible to prevent the outside air from entering the interior.

【0050】一方、常に新鮮な不活性ガスGが不活性ガ
ス供給管21aより基板はんだ付け空間部14へと供給され
るが、はんだ付け雰囲気として用いられた後は、この不
活性ガスGが不活性ガス回収口22から回収される。する
と、この不活性ガスGは、吸込口28から熱交換フィルタ
26の冷却室27内へと圧送されて、エアフィルタ32を通過
した後に、邪魔板33aと邪魔板33bとの間を通過し、この
後、邪魔板33bと邪魔板33cとの間を通過し、さらに、邪
魔板33cと邪魔板33dとの間を通過して、排出口29からブ
ロワ34aの吸気口35へと送られる。
On the other hand, fresh inert gas G is always supplied from the inert gas supply pipe 21a to the substrate soldering space 14, but after being used as the soldering atmosphere, the inert gas G becomes inert. It is collected from the active gas collection port 22. Then, the inert gas G is supplied from the suction port 28 to the heat exchange filter.
After being fed into the cooling chamber 27 of 26 and passing through the air filter 32, it passes between the baffle plates 33a and 33b, and then passes between the baffle plates 33b and 33c. Further, the air passes between the baffle plates 33c and 33d, and is sent from the discharge port 29 to the suction port 35 of the blower 34a.

【0051】このとき、プリント基板Pをはんだ付けす
る際に生じるフラックスヒュームなどの不純物Iがこの
不活性ガスG中に漂うため、この不活性ガスGは、エア
フィルタ32を通過する際に、この不活性ガスG中に漂う
不純物Iが濾過されるとともに、各邪魔板33a,33b,33
c,33d間を通過する際に、これら邪魔板33a,33b,33
c,33dそれぞれに衝突して、この不活性ガスG中に漂う
不純物I、特にミスト状のフラックスヒュームが液化し
て付着しこの不純物Iが濾過される。また、不活性ガス
Gは、冷却室27内を通過する際に、通風室31内に送風さ
れた空気Aとにより冷却面27aを介して熱交換されて冷
却される。
At this time, impurities I such as flux fume generated when the printed circuit board P is soldered float in the inert gas G, so that when the inert gas G passes through the air filter 32, The impurities I floating in the inert gas G are filtered, and the baffles 33a, 33b, 33
When passing between c and 33d, these baffles 33a, 33b, 33
Impurities I, especially mist-like flux fumes, floating in the inert gas G colliding with each of c and 33d are liquefied and adhered, and the impurities I are filtered. Further, when passing through the cooling chamber 27, the inert gas G is exchanged with the air A blown into the ventilation chamber 31 through the cooling surface 27a to be cooled.

【0052】次いで、この不活性ガスGは、ブロワ34a
の排気口36から圧送された後、水冷ジャケット41のガス
供給口45へと圧送されてガス室43内へと供給される。
Next, the inert gas G is supplied to the blower 34a
After being pressure-fed from the exhaust port 36, the gas is fed to the gas supply port 45 of the water-cooling jacket 41 and supplied into the gas chamber 43.

【0053】そして、この不活性ガスGは、ガス室43内
を通過する際に冷媒室44内を通過する水Wとにより冷却
板42を介して熱交換されて冷却される。
Then, when the inert gas G passes through the gas chamber 43, the heat is exchanged with the water W passing through the refrigerant chamber 44 via the cooling plate 42 to be cooled.

【0054】この後、この不活性ガスGは、ガス室43を
通過した後、ガス吹付け口46からプリント基板Pへと圧
送されてこのプリント基板Pを冷却し、不活性雰囲気チ
ャンバ2の基板冷却空間部13へと送られる。
Thereafter, the inert gas G passes through the gas chamber 43, and is then sent under pressure from the gas blowing port 46 to the printed circuit board P to cool the printed circuit board P. It is sent to the cooling space 13.

【0055】この結果、この不活性ガスGは、ブロワ34
aによる圧送により、不活性雰囲気チャンバ2、熱交換
フィルタ26および水冷ジャケット41内を循環する。
As a result, the inert gas G is supplied to the blower 34
By the pumping by a, it circulates in the inert atmosphere chamber 2, the heat exchange filter 26 and the water cooling jacket 41.

【0056】上述したように、上記第1の実施の形態に
よれば、不活性雰囲気チャンバ2内から不活性ガスGを
回収し、この回収した不活性ガスGを熱交換フィルタ26
および水冷ジャケット41で冷却した後に、この不活性ガ
スGをブロワ34aでプリント基板Pに圧送して、このプ
リント基板Pを強制冷却するので、はんだ付け強度を確
保できる。
As described above, according to the first embodiment, the inert gas G is recovered from the inert atmosphere chamber 2, and the recovered inert gas G is used as the heat exchange filter 26.
After cooling with the water cooling jacket 41, the inert gas G is pressure-fed to the printed circuit board P by the blower 34a to forcibly cool the printed circuit board P, so that the soldering strength can be secured.

【0057】この結果、不活性雰囲気チャンバ2内の不
活性ガスGを有効利用して冷却することにより、未使用
の新鮮な不活性ガスで冷却する場合に比べると、不活性
ガスGを無駄なく有効に利用できる。よって、不活性ガ
スGの総使用量を節約できるため、このプリント基板P
を製造する際における製造コストを削減できる。
As a result, by effectively utilizing the inert gas G in the inert atmosphere chamber 2 for cooling, the inert gas G can be efficiently used as compared with the case of cooling with unused fresh inert gas. Can be used effectively. Therefore, since the total amount of the inert gas G used can be saved, the printed circuit board P
Manufacturing cost can be reduced.

【0058】また、不活性雰囲気チャンバ2から回収し
た不活性ガスGは、熱交換フィルタ26の冷却室27を通過
する際に冷却されるとともに、この不活性ガスG中に漂
う不純物Iが回収除去される。このため、不活性雰囲気
チャンバ2内ではんだSを噴流させる際等に生じる不純
物Iが熱交換フィルタ26で回収除去できるので、不活性
雰囲気チャンバ2内に汚れた不活性ガスGを戻すことを
防止しつつ、プリント基板Pを冷却できる。
The inert gas G recovered from the inert atmosphere chamber 2 is cooled when passing through the cooling chamber 27 of the heat exchange filter 26, and the impurities I floating in the inert gas G are recovered and removed. Is done. For this reason, the impurities I generated when the solder S is jetted in the inert atmosphere chamber 2 can be collected and removed by the heat exchange filter 26, thereby preventing returning of the contaminated inert gas G into the inert atmosphere chamber 2. While cooling, the printed circuit board P can be cooled.

【0059】この結果、冷却作用と同時に、不活性雰囲
気チャンバ2内の不活性ガスG中に含まれる不純物Iを
除去できるので、フィルタリングにより再生した不活性
ガスGでプリント基板Pを冷却できる。このため、不活
性雰囲気チャンバ2内の不活性ガスGが冷却後の不活性
ガスGで汚染されることもない。
As a result, since the impurities I contained in the inert gas G in the inert atmosphere chamber 2 can be removed simultaneously with the cooling operation, the printed circuit board P can be cooled by the inert gas G regenerated by filtering. Therefore, the inert gas G in the inert atmosphere chamber 2 is not contaminated by the cooled inert gas G.

【0060】よって、不活性雰囲気チャンバ2内ではん
だ付け時の酸化防止に用いられた不活性ガスGを、循環
させてプリント基板Pの冷却に再利用できるので、従来
の冷却ファンのように外気を不活性雰囲気チャンバ2内
に巻き込むことがなく、不活性雰囲気チャンバ2内の酸
素濃度の上昇を防止できるとともに、プリント基板Pを
冷却するために必要な不活性ガスGの総使用量をより節
約でき、プリント基板Pを製造する際における製造コス
トをより削減できる。
Accordingly, the inert gas G used for preventing oxidation during soldering in the inert atmosphere chamber 2 can be circulated and reused for cooling the printed circuit board P, so that the outside air can be cooled as in the conventional cooling fan. Can be prevented from being caught in the inert atmosphere chamber 2, the increase in the oxygen concentration in the inert atmosphere chamber 2 can be prevented, and the total amount of the inert gas G required for cooling the printed circuit board P can be further reduced. It is possible to further reduce the manufacturing cost when manufacturing the printed circuit board P.

【0061】さらに、不活性雰囲気チャンバ2内から回
収した不活性ガスGを、熱交換フィルタ26で冷却した後
に、さらに、水冷ジャケット41で冷却しているため、不
活性ガスGをより効率良く冷却できる。よって、不活性
雰囲気チャンバ2の基板冷却空間部13内に搬送されるは
んだ付け後のプリント基板Pをより効率良く冷却でき
る。
Further, since the inert gas G recovered from the inert atmosphere chamber 2 is cooled by the heat exchange filter 26 and further cooled by the water cooling jacket 41, the inert gas G is cooled more efficiently. it can. Therefore, the printed circuit board P after soldering, which is conveyed into the board cooling space 13 of the inert atmosphere chamber 2, can be cooled more efficiently.

【0062】また、不活性ガスGが熱交換フィルタ26の
各邪魔板33a,33b,33c,33dに衝突することにより、こ
の不活性ガスG中に漂うミスト状の不純物Iが液化して
回収除去された際には、この不純物I、特にフラックス
ヒューム等は、各邪魔板33a,33b,33c,33dおよび冷却
室27内の側壁等を伝わって、この冷却室27の底に貯溜す
る。このため、不活性雰囲気チャンバ2内の不活性ガス
G中から不純物I、特にフラックスヒューム等を容易に
回収できる。
When the inert gas G collides with each of the baffles 33a, 33b, 33c and 33d of the heat exchange filter 26, the mist-like impurities I floating in the inert gas G are liquefied and collected and removed. When this is done, this impurity I, especially flux fume, etc., travels along the baffles 33a, 33b, 33c, 33d and the side walls in the cooling chamber 27 and is stored at the bottom of the cooling chamber 27. Therefore, impurities I, particularly flux fume, etc., can be easily recovered from the inert gas G in the inert atmosphere chamber 2.

【0063】なお、上記第1の実施の形態では、不活性
雰囲気チャンバ2内から回収した不活性ガスGを熱交換
フィルタ26で冷却した後に、水冷ジャケット41でさらに
冷却する構成について説明したが、このような構成に限
定されることはなく、不活性雰囲気チャンバ2内から回
収した不活性ガスGを冷却した後に、この不活性ガスG
を圧送して活性雰囲気チャンバ2内へと循環させ、この
不活性ガスGでこの不活性雰囲気チャンバ2内のプリン
ト基板Pを冷却する構成であればよい。
In the first embodiment, the configuration has been described in which the inert gas G recovered from the inert atmosphere chamber 2 is cooled by the heat exchange filter 26 and then further cooled by the water cooling jacket 41. The configuration is not limited to such a configuration. After cooling the inert gas G recovered from the inert atmosphere chamber 2, the inert gas G is cooled.
Is circulated into the active atmosphere chamber 2 by pumping, and the inert gas G cools the printed circuit board P in the inert atmosphere chamber 2.

【0064】次に、本発明の第2の実施の形態の構成を
図2および図3を参照して説明する。
Next, the configuration of the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0065】この図2および図3に示すろう付け装置1b
は、基本的には図1に示すろう付け装置1aと同一である
が、1次噴流ノズル16および2次噴流ノズル17がプリン
ト基板Pの搬送方向に対して傾斜している。
The brazing device 1b shown in FIGS. 2 and 3
Is basically the same as the brazing apparatus 1a shown in FIG. 1, but the primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17 are inclined with respect to the transport direction of the printed circuit board P.

【0066】そして、1次噴流ノズル16および2次噴流
ノズル17それぞれの先端には、細孔状の噴流口51,52が
それぞれ形成されている。これら噴流口51,52は、図2
に示すように、不活性雰囲気チャンバ2内に貫通して配
設した基板搬送コンベヤ3によるプリント基板Pの搬送
方向に対向して約45度、それぞれの長手方向が傾斜し
て配設されている。
At the tip of each of the primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17, fine jet ports 51 and 52 are formed, respectively. These jets 51 and 52 are shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the longitudinal direction of each of the printed circuit boards P is inclined at an angle of about 45 degrees in the direction in which the printed circuit board P is conveyed by the substrate conveyer 3 penetrating into the inert atmosphere chamber 2. .

【0067】また、水冷ジャケット41は、一側辺が1次
噴流ノズル16および2次噴流ノズル17の長手方向それぞ
れと略平行で、他側辺が基板搬送コンベヤ3によるプリ
ント基板Pの搬送方向に対して直角な略扁平中空扇状の
ジャケット本体41aを備えており、このジャケット本体4
1aは、不活性雰囲気チャンバ2内の基板搬送コンベヤ3
によるプリント基板Pの搬送面に沿って、かつこの基板
搬送コンベヤ3の下方に配設されている。
The water cooling jacket 41 has one side substantially parallel to the longitudinal direction of each of the primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17, and has the other side in the direction in which the printed board P is transported by the substrate transport conveyor 3. A jacket body 41a having a substantially flat hollow fan shape at right angles to the jacket body 41a is provided.
1a is a substrate transport conveyor 3 in the inert atmosphere chamber 2.
Along the transfer surface of the printed circuit board P and below the board transfer conveyor 3.

【0068】さらに、ジャケット本体41aの基端には、
基板搬送コンベヤ3の搬送面の一側より略垂直に突出す
る接続基部54が形成されており、この接続基部54には、
ブロワ34aの排気口36に接続された図示しないホース
と、ジャケット本体41a内に水Wを供給および排出させ
る図示しないホースとしての供給管および排出管とが接
続されている。
Further, at the base end of the jacket body 41a,
A connection base 54 projecting substantially vertically from one side of the transfer surface of the substrate transfer conveyor 3 is formed.
A hose (not shown) connected to the exhaust port 36 of the blower 34a is connected to a supply pipe and a discharge pipe (not shown) for supplying and discharging the water W into and from the jacket body 41a.

【0069】また、ジャケット本体41a内には、図3
(a)、(b)および(c)に示すように、内部に不活性ガス
Gを通過させるガス室43と、内部に水Wを通過させる冷
媒室44とが形成されており、これらガス室43および冷媒
室44とは、ジャケット本体41aと同形の略扁平扇状に形
成さている。
In the jacket body 41a, FIG.
As shown in (a), (b) and (c), a gas chamber 43 through which an inert gas G passes and a refrigerant chamber 44 through which water W passes are formed. The refrigerant chamber 43 and the refrigerant chamber 44 are formed in a substantially flat fan shape having the same shape as the jacket main body 41a.

【0070】そして、冷媒室44の下面の基端、すなわち
接続基部54の下面側には、この冷媒室44の基端に位置す
る面に沿って水供給口47および水排出口48が並設されて
いる。これら水供給口47および水排出口48には、供給管
および排出管が接続されている。また、冷媒室44内に
は、この冷媒室44の基端から直線的に扇形の一方の先端
近傍まで進んだ後に、屈曲して他方の先端近傍まで進む
略ヘの字状の仕切板61が設けられている。
A water supply port 47 and a water discharge port 48 are juxtaposed at the base end of the lower surface of the refrigerant chamber 44, that is, on the lower surface side of the connection base 54 along the surface located at the base end of the refrigerant chamber 44. Have been. A supply pipe and a discharge pipe are connected to the water supply port 47 and the water discharge port 48. Further, in the refrigerant chamber 44, a substantially F-shaped partition plate 61 that linearly advances from the base end of the refrigerant chamber 44 to near the one end of the fan shape and then bends and advances to the vicinity of the other end is provided. Is provided.

【0071】この仕切板61は、冷媒室44内の上下面それ
ぞれに接続されており、水供給口47から供給された水W
を、この冷媒室44の一方の先端に向けて通過させた後、
この冷媒室44の先端に位置する側面、すなわち水冷ジャ
ケット41の一側辺に沿って冷媒室44の他方の先端に向け
て通過させ、さらにこの冷媒室44の基端に向けて通過さ
せる。
The partition plates 61 are connected to the upper and lower surfaces of the refrigerant chamber 44, respectively.
After passing through toward one end of the refrigerant chamber 44,
The refrigerant passes through the side surface located at the distal end of the refrigerant chamber 44, that is, along one side of the water-cooling jacket 41, toward the other distal end of the refrigerant chamber 44, and further passes toward the base end of the refrigerant chamber 44.

【0072】また、ガス室43の上面の基端、すなわち接
続基部54の上面側には、このガス室43内に不活性ガスG
を供給するガス供給口45が穿設されており、このガス供
給口45には、ブロワ34aの排気口36に接続されたホース
が接続されている。さらに、このガス室43の上面の先端
側には、複数、例えば16個のガス吹付け口46が穿設さ
れている。これらガス吹付け口46は、1次噴流ノズル16
の噴流口51および2次噴流ノズル17の噴流口52それぞれ
の長手方向に沿って、すなわちガス室43の先端側に位置
する一側辺に沿って複数列、例えば2列に並設されてい
る。
At the base end of the upper surface of the gas chamber 43, that is, on the upper surface side of the connection base 54, the inert gas G
A gas supply port 45 for supplying air is provided, and a hose connected to the exhaust port 36 of the blower 34a is connected to the gas supply port 45. Further, a plurality of, for example, 16 gas blowing ports 46 are formed at the tip end of the upper surface of the gas chamber 43. These gas blowing ports 46 are connected to the primary jet nozzle 16.
A plurality of rows, for example, two rows, are arranged along the longitudinal direction of each of the jet ports 51 and the jet ports 52 of the secondary jet nozzle 17, that is, along one side located at the tip side of the gas chamber 43. .

【0073】さらに、ガス室43内には、このガス室43内
の基端から先端、すなわち1次噴流ノズル16の噴流口51
および2次噴流ノズル17の噴流口52の長手方向に沿った
このガス室43の一側辺に向かうに連れて徐々に互いに拡
開する複数の、例えば3枚の整流板62a,62b,62cが設
けられている。これら整流板62a,62b,62cは、ガス室4
3のガス供給口45へと供給された不活性ガスGを、この
ガス室43の先端側に向けて略均等に分配して通過させた
後、各ガス吹付け口46から略均等に上方に向けて噴出さ
せる。
Further, in the gas chamber 43, the jet port 51 of the primary jet nozzle 16
And a plurality of, for example, three rectifying plates 62a, 62b, 62c gradually expanding toward one side of the gas chamber 43 along the longitudinal direction of the jet port 52 of the secondary jet nozzle 17. Is provided. These rectifying plates 62a, 62b, 62c are provided in the gas chamber 4
After the inert gas G supplied to the third gas supply port 45 is substantially uniformly distributed and passed toward the front end side of the gas chamber 43, the inert gas G is substantially uniformly upward from each gas blowing port 46. Spout toward.

【0074】次に、上記第2の実施の形態の作用を説明
する。
Next, the operation of the second embodiment will be described.

【0075】この図2および図3に示すろう付け装置1b
は、基本的には図1に示すろう付け装置1aの作用と同様
である。
The brazing device 1b shown in FIGS. 2 and 3
Is basically the same as the operation of the brazing device 1a shown in FIG.

【0076】ブロワ34aを始動すると、不活性ガス供給
管21aから供給された不活性雰囲気チャンバ2内の不活
性ガスGが不活性ガス回収口22から回収されて、熱交換
フィルタ26へと圧送される。
When the blower 34a is started, the inert gas G in the inert atmosphere chamber 2 supplied from the inert gas supply pipe 21a is recovered from the inert gas recovery port 22 and sent to the heat exchange filter 26 by pressure. You.

【0077】そして、この不活性ガスGは、熱交換フィ
ルタ26により冷却されるとともに、この不活性ガスG中
に漂う不純物Iが回収された後、ブロワ34aへと吸気さ
れ、この後、水冷ジャケット41のガス供給口45へと圧送
される。
Then, the inert gas G is cooled by the heat exchange filter 26, and after the impurities I floating in the inert gas G are recovered, the air is sucked into the blower 34a, and thereafter, the water cooling jacket is formed. It is pumped to 41 gas supply ports 45.

【0078】ここで、このガス供給口45からガス室43内
へと圧送された不活性ガスGは、このガス室43内の整流
板62a,62b,62cにより、このガス室43の基端から先端
に向けて略均等に分配供給される。
Here, the inert gas G pressure-fed from the gas supply port 45 into the gas chamber 43 is supplied from the base end of the gas chamber 43 by the flow straightening plates 62a, 62b, 62c in the gas chamber 43. It is distributed and supplied almost evenly toward the tip.

【0079】このとき、この不活性ガスGは、冷媒室44
の水供給口47から供給されてこの冷媒室44内を仕切板61
に沿って通過する水Wとの温度差により熱交換されて、
冷却板42を介して冷却される。また、この水Wは、冷媒
室44内を通過した後、水排出口48から外部へと排出され
る。
At this time, the inert gas G is supplied to the refrigerant chamber 44
Is supplied from the water supply port 47, and the inside of the refrigerant chamber 44 is partitioned by the partition plate 61.
Is exchanged by the temperature difference with the water W passing along the
The cooling is performed via the cooling plate 42. After passing through the refrigerant chamber 44, the water W is discharged to the outside through the water discharge port 48.

【0080】さらに、ガス室43内で冷却された不活性ガ
スGは、各ガス吹付け口46から不活性雰囲気チャンバ2
内へと圧送されて、このガス室43の上方に基板搬送コン
ベヤ3により搬送されたはんだ付け後のプリント基板P
へと圧送されて、このプリント基板Pを冷却する。
Further, the inert gas G cooled in the gas chamber 43 is supplied from each gas blowing port 46 to the inert atmosphere chamber 2.
The printed circuit board P after soldering which is pressure-fed into the inside and is conveyed by the board conveyance conveyor 3 above the gas chamber 43.
To cool the printed circuit board P.

【0081】この結果、不活性ガスGは、不活性雰囲気
チャンバ2、熱交換フィルタ26、ブロワ34aおよび水冷
ジャケット41内を循環する。
As a result, the inert gas G circulates in the inert atmosphere chamber 2, the heat exchange filter 26, the blower 34a and the water cooling jacket 41.

【0082】上述したように、上記第2の実施の形態に
よれば、不活性雰囲気チャンバ2内から回収した不活性
ガスGを冷却した後に、この不活性ガスGをプリント基
板Pへと圧送して、このプリント基板Pを冷却するた
め、図1に示すろう付け装置1aと同様の効果を奏するこ
とができる。
As described above, according to the second embodiment, after the inert gas G recovered from the inert atmosphere chamber 2 is cooled, the inert gas G is pumped to the printed circuit board P. Thus, since the printed circuit board P is cooled, the same effect as that of the brazing device 1a shown in FIG. 1 can be obtained.

【0083】さらに、それぞれの長手方向が互いに略平
行で、基板搬送コンベヤ3の搬送方向に対して約45度
傾斜して配設された1次噴流ノズル16および2次噴流ノ
ズル17それぞれの長手方向と一側辺が略平行で、プリン
ト基板Pの搬送方向に対して他側辺が直角な略扁平扇状
に、水冷ジャケット41を設けたため、1次噴流ノズル16
および2次ノズル17それぞれがプリント基板Pの搬送方
向に対して傾斜している場合であっても、不活性雰囲気
チャンバ2内に搬送されるはんだ付け後のプリント基板
Pをより均一に冷却できるとともに、限られた三角スペ
ースを有効に利用して水冷ジャケット41を設置できる。
Further, the longitudinal direction of each of the primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17 arranged substantially in parallel with each other and inclined at about 45 degrees with respect to the transport direction of the substrate transport conveyor 3. Since the water cooling jacket 41 is provided in a substantially flat fan shape whose one side is substantially parallel and the other side is perpendicular to the conveyance direction of the printed circuit board P, the primary jet nozzle 16
Even if each of the secondary nozzles 17 and the secondary nozzles 17 are inclined with respect to the direction of transport of the printed circuit board P, the printed circuit board P after soldering transferred into the inert atmosphere chamber 2 can be cooled more uniformly. The water cooling jacket 41 can be installed by effectively using the limited triangular space.

【0084】よって、この冷却ジャケット41を用いるこ
とにより、1次噴流ノズル16および2次噴流ノズル17を
互いにプリント基板Pの搬送方向に対して傾斜して配設
できるので、これら1次噴流ノズル16および2次噴流ノ
ズル17それぞれをプリント基板Pの搬送方向に対して傾
斜したことにより生じる、例えば、プリント基板Pに1
次噴流ノズル16および2次噴流ノズル17ではんだSを付
着させた際におけるはんだ切れを向上でき、また、プリ
ント基板Pに対するはんだSによるブリッジの形成を防
止できるなどといった効果を損なうことなく、プリント
基板Pを均一に急冷できる。
Therefore, by using the cooling jacket 41, the primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17 can be arranged at an angle to each other with respect to the transport direction of the printed circuit board P. And the secondary jet nozzles 17 are inclined with respect to the transport direction of the printed circuit board P.
It is possible to improve the solder breakage when the solder S is adhered by the next jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17 and to prevent the formation of bridges by the solder S on the printed board P without impairing the effect. P can be quenched uniformly.

【0085】また、水冷ジャケット41のガス室43内に、
このガス室43の一側辺に向かうに連れて徐々に互いに拡
開する整流板62a,62b,62cを設けたことにより、ガス
供給口45から供給された不活性ガスGを、このガス室43
の基端から先端に向けて略均等に通過させることができ
る。このため、ガス室43内で不活性ガスGをより均一に
効率良く冷却できるとともに、ガス吹付け口46から不活
性ガスGをより均一にプリント基板へと圧送できるの
で、はんだ付け後のプリント基板Pをより均一かつ効率
良く冷却できる。特に、略扁平中空扇状に形成した水冷
ジャケット41の先端に開口した複数のガス吹付け口46に
対し、整流板62a,62b,62cにより不活性ガスGの流量
を均等に分配供給できる。
In the gas chamber 43 of the water cooling jacket 41,
By providing rectifying plates 62a, 62b, and 62c that gradually expand toward one side of the gas chamber 43, the inert gas G supplied from the gas supply port 45 is supplied to the gas chamber 43.
Can be passed substantially evenly from the base end to the front end. For this reason, the inert gas G can be more uniformly and efficiently cooled in the gas chamber 43, and the inert gas G can be more uniformly pumped to the printed board from the gas blowing port 46. P can be cooled more uniformly and efficiently. In particular, the flow rate of the inert gas G can be evenly distributed and supplied to the plurality of gas blowing ports 46 opened at the distal end of the water cooling jacket 41 formed in a substantially flat hollow fan shape by the flow straightening plates 62a, 62b, 62c.

【0086】さらに、複数のガス吹付け口46をガス室43
の先端側に位置した一側辺に沿って2列に並設したこと
により、これらガス吹付け口46は、1次噴流ノズル16の
噴流口51および2次噴流ノズル17の噴流口52それぞれの
長手方向に沿って並設される。この結果、これらガス吹
付け口46から冷却後の不活性ガスGを圧送させてプリン
ト基板Pを冷却することにより、基板搬送コンベヤ3に
より搬送されるはんだ付け後のプリント基板Pをより均
一かつ効率良く冷却できる。
Further, a plurality of gas blowing ports 46 are connected to the gas chamber 43.
Are arranged in two rows along one side located at the tip side of the nozzles, so that these gas blowing ports 46 are provided at the respective jet ports 51 of the primary jet nozzle 16 and the jet ports 52 of the secondary jet nozzle 17. They are juxtaposed along the longitudinal direction. As a result, the cooled inert gas G is sent from the gas blowing ports 46 to cool the printed circuit board P, thereby making the soldered printed circuit board P transported by the substrate transport conveyor 3 more uniform and efficient. Can cool well.

【0087】そして、水冷ジャケット41の冷媒室44の接
続基部54の下面側に、この接続基部54の基端に沿って水
供給口47および水排出口48を並設したため、これら水供
給口47と水排出口48とが近接する。この結果、これら水
供給口47および水排出口48に対する供給管および排出管
の配管作業を容易にできるとともに、配管スペースを削
減できる。
The water supply port 47 and the water discharge port 48 are provided side by side along the base end of the connection base 54 on the lower surface side of the connection base 54 of the refrigerant chamber 44 of the water cooling jacket 41. And the water outlet 48 are close to each other. As a result, the piping work of the supply pipe and the discharge pipe to the water supply port 47 and the water discharge port 48 can be facilitated, and the piping space can be reduced.

【0088】また、水冷ジャケット41の冷媒室44内に仕
切板61を設けたことにより、水供給口47から冷媒室44内
へと供給された水Wが、この冷媒室44の一方の先端に向
けて通過した後に、この冷媒室44の先端に位置する一側
辺に沿ってこの冷媒室44の他方の先端に向けて通過し、
さらに、この冷媒室44の基端に向けて通過する。この結
果、冷媒室44内の隅々を水Wが巡回するとともに、ガス
室43のガス吹付け口46と対向する冷媒室44の一側辺に沿
って水Wが通過するので、ガス室43内を通過する不活性
ガスGをより効率良く冷却できる。
Further, by providing the partition plate 61 in the refrigerant chamber 44 of the water-cooled jacket 41, the water W supplied from the water supply port 47 into the refrigerant chamber 44 is supplied to one end of the refrigerant chamber 44. After passing toward the other end of the refrigerant chamber 44 along one side located at the end of the refrigerant chamber 44,
Further, the refrigerant passes toward the base end of the refrigerant chamber 44. As a result, the water W circulates through every corner in the refrigerant chamber 44, and the water W passes along one side of the refrigerant chamber 44 facing the gas blowing port 46 of the gas chamber 43. The inert gas G passing through the inside can be cooled more efficiently.

【0089】特に、冷却板42を介し水Wで効率良く強制
冷却した不活性ガスGは、高温に加熱された鉛フリーは
んだであっても急冷できるので、所定のはんだ付け強度
を確保できる。
In particular, the inert gas G efficiently forcibly cooled with the water W via the cooling plate 42 can be rapidly cooled even with a lead-free solder heated to a high temperature, so that a predetermined soldering strength can be secured.

【0090】さらに、水冷ジャケット41の接続基部54が
基板搬送コンベヤ3の搬送面の一側面から突出してお
り、この接続基部54に水供給口47、水排出口48およびガ
ス供給口45を設けたため、水Wを供給および排出するた
めの供給管および排出管と、不活性ガスGを圧送させる
ためのホースなどとの接続作業を容易にできる。この結
果、各ホースを束ねる等できるので、配管が整理でき、
さらには、メンテナンスを容易にできる。
Further, the connection base 54 of the water cooling jacket 41 protrudes from one side surface of the transfer surface of the substrate transfer conveyor 3, and the connection base 54 is provided with the water supply port 47, the water discharge port 48, and the gas supply port 45. The connection work between the supply pipe and the discharge pipe for supplying and discharging the water W and the hose for pumping the inert gas G can be easily performed. As a result, the hoses can be bundled, etc.
Further, maintenance can be facilitated.

【0091】なお、上記各実施の形態では、1次噴流ノ
ズル16および2次噴流ノズル17から噴流される溶融はん
だSを、基板搬送コンベヤ3にて搬送されるプリント基
板Pに付着させて、このプリント基板Pをはんだ付けし
た後、このはんだ付け後のプリント基板Pを冷却する噴
流式のはんだ付け装置について説明したが、このような
構成に限定されることはなく、加熱したプリント基板P
を冷却できる構成であればどのような構成であってもよ
い。
In each of the above-described embodiments, the molten solder S jetted from the primary jet nozzle 16 and the secondary jet nozzle 17 is attached to the printed board P conveyed by the board conveyor 3, and After the printed circuit board P is soldered, the jet type soldering apparatus for cooling the printed circuit board P after the soldering has been described. However, the present invention is not limited to such a configuration.
Any configuration may be used as long as it can cool the device.

【0092】このため、例えば、不活性ガスGが内部に
満たされた不活性雰囲気チャンバ2内に、基板搬送コン
ベヤ3を配設し、この不活性雰囲気チャンバ2内である
基板搬送コンベヤ3の搬送始端側に、この基板搬送コン
ベヤ3により搬送されるプリント基板Pを加熱する加熱
手段を設け、また、この不活性雰囲気チャンバ2内であ
る基板搬送コンベヤ3の搬送終端側に、不活性雰囲気チ
ャンバ2から不活性ガスGを回収して循環させ、この基
板搬送コンベヤ3により搬送される加熱後のプリント基
板Pへと圧送する雰囲気循環手段34を設け、さらに、こ
の雰囲気循環手段34により圧送されて供給される不活性
ガスGを冷却する冷却手段25を設けたリフロー装置など
であってもよい。
For this purpose, for example, the substrate transport conveyor 3 is disposed in the inert atmosphere chamber 2 filled with the inert gas G, and the substrate transport conveyor 3 in the inert atmosphere chamber 2 is transported. A heating means for heating the printed circuit board P conveyed by the substrate transfer conveyor 3 is provided on the start end side, and an inert atmosphere chamber 2 is provided on the transfer end side of the substrate transfer conveyor 3 in the inert atmosphere chamber 2. An inert gas G is recovered and circulated from the substrate, and an atmosphere circulating means 34 is provided for pressure-feeding the heated gas to the printed circuit board P conveyed by the substrate conveying conveyor 3. A reflow device provided with a cooling means 25 for cooling the inert gas G to be used may be used.

【0093】[0093]

【発明の効果】請求項1記載の基板冷却装置によれば、
ろう付け時酸化防止用の不活性雰囲気を不活性循環手段
および冷却手段により回収して冷却した後に、はんだ付
けを終え冷却工程に到達した基板へと圧送してこの基板
を強制冷却することによりろう付け強度を確保するの
で、不活性雰囲気を循環させて冷却するため、不活性雰
囲気を無駄なく有効に利用でき、基板を製造するために
必要な不活性雰囲気の総使用量を節約でき、製造コスト
を削減できる。
According to the substrate cooling apparatus of the first aspect,
An inert atmosphere for preventing oxidation at the time of brazing is recovered by an inert circulation means and a cooling means, cooled, and then forcedly cooled by forcibly cooling the substrate by sending it to a substrate which has completed soldering and has reached a cooling step. Since the mounting strength is secured, the inert atmosphere is circulated and cooled, so that the inert atmosphere can be effectively used without waste, and the total amount of the inert atmosphere required for manufacturing the substrate can be saved, and the manufacturing cost can be reduced. Can be reduced.

【0094】請求項2記載のろう付け装置によれば、ろ
う付け時酸化防止用の不活性雰囲気を不活性雰囲気チャ
ンバから雰囲気循環手段および冷却手段で回収した後に
冷却し、はんだ付けを終え冷却工程に到達した基板へと
圧送してこの基板を強制冷却することにより、ろう付け
強度を確保し、また、不活性雰囲気チャンバ内の不活性
雰囲気を循環させつつ冷却してこの不活性雰囲気で基板
を冷却するので、不活性雰囲気を無駄なく節約できるか
ら、製造コストを削減でき、さらに、不活性雰囲気チャ
ンバ内で不活性雰囲気が、循環されて基板の冷却に再利
用できるとともに、従来の冷却ファンによる冷却と異な
り、不活性雰囲気チャンバ内の不活性雰囲気に外部空気
を巻き込むおそれがなくなるので、不活性雰囲気チャン
バ内の酸素濃度の上昇を防止できる。
According to the brazing apparatus of the second aspect, the inert atmosphere for preventing oxidation at the time of brazing is recovered from the inert atmosphere chamber by the atmosphere circulating means and the cooling means, and then cooled to complete the soldering and the cooling step. By forcibly cooling the substrate by pumping it to the substrate that has arrived, the brazing strength is secured, and the substrate is cooled in this inert atmosphere while being cooled while circulating the inert atmosphere in the inert atmosphere chamber. Cooling allows the inert atmosphere to be saved without wasting, thereby reducing manufacturing costs.Furthermore, the inert atmosphere is circulated in the inert atmosphere chamber and can be reused for cooling the substrate. Unlike cooling, there is no danger of entraining external air into the inert atmosphere in the inert atmosphere chamber. The temperature can be prevented.

【0095】請求項3記載のろう付け装置によれば、請
求項2記載のろう付け装置の効果に加え、不活性雰囲気
チャンバ内に配設された基板は、雰囲気循環手段および
熱交換フィルタにより不活性雰囲気チャンバから回収さ
れた後に冷却され、かつ不純物が除去された不活性雰囲
気の圧送により冷却されるため、冷却作用と同時に、不
活性雰囲気チャンバ内の不活性雰囲気中に含まれる不純
物を除去できるので、フィルタリングにより再生した不
活性雰囲気で基板を冷却でき、不活性雰囲気チャンバ内
の不活性雰囲気を冷却雰囲気が汚染することもない。
According to the brazing apparatus of the third aspect, in addition to the effect of the brazing apparatus of the second aspect, the substrate disposed in the inert atmosphere chamber is protected by the atmosphere circulating means and the heat exchange filter. Since it is cooled after being recovered from the active atmosphere chamber and is cooled by pumping the inert atmosphere from which impurities have been removed, impurities contained in the inert atmosphere in the inert atmosphere chamber can be removed simultaneously with the cooling action. Therefore, the substrate can be cooled in the inert atmosphere regenerated by filtering, and the inert atmosphere in the inert atmosphere chamber does not contaminate the cooling atmosphere.

【0096】請求項4記載のろう付け装置によれば、請
求項2または3記載のろう付け装置の効果に加え、不活
性雰囲気チャンバ内に配設された基板は、噴流ノズルに
よりろう材が付着された後、略平板扇状の冷却ジャケッ
トの複数のガス吹付け口から吹き付けられる不活性雰囲
気で冷却されるため、噴流ノズルが基板の搬送方向に対
して傾斜している場合であっても、不活性雰囲気チャン
バ内の基板をより均一に冷却できるとともに、限られた
三角スペースを有効に利用して冷却ジャケットを設置で
きるので、噴流ノズルを基板の搬送方向に対して傾斜し
たことにより生じる、例えば、基板にろう材を付着した
際のはんだ切れが良く、基板にろう材によるブリッジが
できにくいなどの効果を損なうことなく、基板を均一に
急冷できる。
According to the brazing apparatus according to the fourth aspect, in addition to the effect of the brazing apparatus according to the second or third aspect, the brazing material adheres to the substrate disposed in the inert atmosphere chamber by the jet nozzle. After being cooled, the cooling jacket is cooled in an inert atmosphere blown from a plurality of gas blowing ports of a substantially flat fan-shaped cooling jacket. Since the substrate in the active atmosphere chamber can be cooled more uniformly, and the cooling jacket can be installed by effectively using the limited triangular space, it is caused by tilting the jet nozzle with respect to the transport direction of the substrate, for example, The substrate can be rapidly quenched uniformly without impairing the effect that the solder is easily removed when the brazing material is adhered to the substrate and that the bridging material is not easily bridged on the substrate.

【0097】請求項5記載のろう付け装置によれば、請
求項4記載のろう付け装置の効果に加え、不活性雰囲気
を略均等に先端側に向けて供給する整流板を冷却ジャケ
ット内に設けたため、不活性雰囲気チャンバ内の基板に
対してより均一に冷却ジャケットで冷却した不活性雰囲
気を雰囲気循環手段で圧送できるから、この基板に対す
る冷却ジャケットによる冷却をより均一にでき、さらに
は、この整流板により略扇状の冷却ジャケットの各ガス
吹付け口に対する不活性雰囲気の流量を均等に分配供給
できる。
According to the brazing apparatus of the fifth aspect, in addition to the effect of the brazing apparatus of the fourth aspect, a rectifying plate for supplying an inert atmosphere substantially uniformly toward the tip end is provided in the cooling jacket. Therefore, the inert atmosphere cooled by the cooling jacket can be more uniformly pumped to the substrate in the inert atmosphere chamber by the atmosphere circulating means, so that the cooling of the substrate by the cooling jacket can be more uniform, and furthermore, this rectification can be achieved. The plate makes it possible to evenly distribute and supply the flow rate of the inert atmosphere to each gas blowing port of the substantially fan-shaped cooling jacket.

【0098】請求項6記載のろう付け装置によれば、請
求項4または5記載のろう付け装置の効果に加え、冷却
ジャケットの冷媒室内に供給された冷媒は、この冷媒室
内の仕切板により、この冷媒室の先端に向けて通過した
後にジャケット本体の一側辺に沿って通過し、さらに冷
媒室の基端に向けて通過するため、冷媒室内の隅々を冷
媒が巡回して通過するので、冷却板を介して不活性雰囲
気室内を通過する不活性雰囲気をより効率良く冷却で
き、さらに、冷却板を介し冷媒で効率良く強制冷却した
不活性雰囲気で、高温に加熱した鉛フリーろう材をも急
冷できるので、所定のろう付け強度を確保でき、また、
冷媒室の基端から冷媒を供給および排出可能であるた
め、冷却ジャケットに対する冷媒の配管を容易にでき
る。
According to the brazing device of the sixth aspect, in addition to the effect of the brazing device of the fourth or fifth aspect, the refrigerant supplied into the refrigerant chamber of the cooling jacket is separated by the partition plate in the refrigerant chamber. After passing toward the tip of the refrigerant chamber, it passes along one side of the jacket main body, and further passes toward the base end of the refrigerant chamber, so that the refrigerant circulates and passes through every corner in the refrigerant chamber. The inert atmosphere that passes through the inert atmosphere chamber through the cooling plate can be more efficiently cooled, and the lead-free brazing material heated to a high temperature in the inert atmosphere efficiently forcibly cooled with the cooling medium through the cooling plate can be used. Can be quenched, ensuring the required brazing strength.
Since the refrigerant can be supplied and discharged from the base end of the refrigerant chamber, piping of the refrigerant to the cooling jacket can be easily performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のろう付け装置の第1の実施の形態を示
す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a brazing device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施の形態を示す上面図であ
る。
FIG. 2 is a top view showing a second embodiment of the present invention.

【図3】同上ろう付け装置の冷却手段である冷却ジャケ
ットを示す説明図である。 (a)冷却ジャケットの上面図 (b)同上冷却ジャケットの側面図 (c)同上冷却ジャケットの底面図
FIG. 3 is an explanatory view showing a cooling jacket which is a cooling means of the brazing apparatus. (A) Top view of the cooling jacket (b) Side view of the cooling jacket (c) Bottom view of the cooling jacket

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a,1b ろう付け装置 2 不活性雰囲気チャンバ 16 噴流ノズルとしての1次噴流ノズル 17 噴流ノズルとしての2次噴流ノズル 24 基板冷却装置 25 冷却手段 26 熱交換フィルタ 34 雰囲気循環手段 41 冷却ジャケットとしての水冷ジャケット 41a ジャケット本体 42 冷却板 43 不活性雰囲気室としてのガス室 44 冷媒室 45 ガス供給口 46 ガス吹付け口 61 仕切板 62a,62b,62c 整流板 G 不活性雰囲気としての不活性ガス I 不純物 P 基板としてのプリント基板 S ろう材としてのはんだ W 冷媒としての水 1a, 1b Brazing device 2 Inert atmosphere chamber 16 Primary jet nozzle as jet nozzle 17 Secondary jet nozzle as jet nozzle 24 Substrate cooling device 25 Cooling means 26 Heat exchange filter 34 Atmospheric circulation means 41 Water cooling as cooling jacket Jacket 41a Jacket body 42 Cooling plate 43 Gas chamber as inert atmosphere chamber 44 Refrigerant chamber 45 Gas supply port 46 Gas blowing port 61 Partition plate 62a, 62b, 62c Rectifying plate G Inert gas as inert atmosphere I Impurity P Printed circuit board as substrate S Solder as brazing material W Water as coolant

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B23K 101:42 B23K 101:42 (72)発明者 谷地 正光 埼玉県狭山市大字上広瀬591番地11 株式 会社タムラエフエーシステム内 Fターム(参考) 4E080 AA01 AB06 DA04 EA02 5E319 AC01 CC24 CD60 GG05 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) // B23K 101: 42 B23K 101: 42 (72) Inventor Masamitsu Yachi 591, Kamihirose, Daiji, Sayama-shi, Saitama F-term in the Tamura FA System Co., Ltd. (reference) 4E080 AA01 AB06 DA04 EA02 5E319 AC01 CC24 CD60 GG05

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ろう付け時酸化防止用の不活性雰囲気を
回収して循環させ、はんだ付けを終え冷却工程に到達し
た基板へと前記不活性雰囲気を圧送する雰囲気循環手段
と、 この雰囲気循環手段により圧送されて供給される前記不
活性雰囲気を冷却する冷却手段とを具備していることを
特徴とした基板冷却装置。
1. An atmosphere circulating means for collecting and circulating an inert atmosphere for preventing oxidation during brazing, and for pumping the inert atmosphere to a substrate which has reached a cooling step after soldering, and an atmosphere circulating means. And a cooling means for cooling the inert atmosphere supplied by pressure feeding.
【請求項2】 ろう付け時酸化防止用の不活性雰囲気で
内部が満たされ、この内部に基板が配設される不活性雰
囲気チャンバと、 この不活性雰囲気チャンバから前記不活性雰囲気を回収
して循環させ、はんだ付けを終え冷却工程に到達した前
記基板へと前記不活性雰囲気を圧送する雰囲気循環手段
と、 この雰囲気循環手段により圧送されて供給される前記不
活性雰囲気を冷却する冷却手段とを具備していることを
特徴としたろう付け装置
2. An inert atmosphere chamber in which the inside is filled with an inert atmosphere for preventing oxidation at the time of brazing, and a substrate is disposed therein, and the inert atmosphere is recovered from the inert atmosphere chamber. Circulating, an atmosphere circulating means for pressure-feeding the inert atmosphere to the substrate which has reached the cooling step after soldering, and a cooling means for cooling the inert atmosphere fed and supplied by the atmosphere circulating means. Brazing apparatus characterized by having
【請求項3】 冷却手段は、雰囲気循環手段により圧送
されて供給される不活性雰囲気を冷却するとともに、こ
の不活性雰囲気中の不純物を除去する熱交換フィルタを
備えていることを特徴とした請求項2記載のろう付け装
置。
3. The cooling means includes a heat exchange filter for cooling an inert atmosphere fed and supplied by the atmosphere circulating means and removing impurities in the inert atmosphere. Item 3. A brazing device according to Item 2.
【請求項4】 不活性雰囲気チャンバ内に搬送される基
板の搬送方向に対して傾斜して配設され、この基板にろ
う材を付着させる噴流ノズルを具備し、 冷却手段は、一側辺が前記噴流ノズルと略平行で、他側
辺が前記基板の搬送方向に対して略直角な略扁平扇状に
形成され、前記不活性雰囲気チャンバ内に搬送される基
板の搬送面に沿って配設された冷却ジャケットを備え、 この冷却ジャケットは、この冷却ジャケットの基端に開
口され不活性雰囲気を内部に供給するガス供給口と、前
記冷却ジャケットの先端に開口されこの冷却ジャケット
に供給されて冷却した前記不活性雰囲気を吹き付けて前
記基板を冷却させる複数のガス吹付け口とを有している
ことを特徴とした請求項2または3記載のろう付け装
置。
4. A cooling device, comprising: a jet nozzle which is disposed obliquely to a transfer direction of a substrate transferred into an inert atmosphere chamber, and which has a jet nozzle for attaching a brazing material to the substrate. Substantially parallel to the jet nozzle, the other side is formed in a substantially flat fan shape substantially perpendicular to the transport direction of the substrate, and is disposed along a transport surface of the substrate transported into the inert atmosphere chamber. The cooling jacket has a gas supply port opened at the base end of the cooling jacket to supply an inert atmosphere to the inside, and a cooling jacket opened at the tip of the cooling jacket and cooled by being supplied to the cooling jacket. 4. A brazing apparatus according to claim 2, further comprising a plurality of gas blowing ports for blowing said inert atmosphere to cool said substrate.
【請求項5】 冷却ジャケットは、この冷却ジャケット
内に設けられ、この冷却ジャケットの基端側から供給さ
れる不活性雰囲気を略均等にこの冷却ジャケットの先端
側に向けて供給させる整流板を有していることを特徴と
した請求項4記載のろう付け装置。
5. A cooling jacket provided in the cooling jacket and having a rectifying plate for supplying an inert atmosphere supplied from a base end side of the cooling jacket substantially uniformly toward a tip end side of the cooling jacket. The brazing device according to claim 4, wherein the brazing is performed.
【請求項6】 冷却ジャケットは、 扁平中空略扇状のジャケット本体と、 このジャケット本体内の空間を上下に仕切る冷却板と、 この冷却板により仕切られた前記ジャケット本体内の一
側空間に形成され、内部に冷媒を通過させる冷媒室と、 この冷媒室内に設けられ、この冷媒室の基端から供給さ
れた冷媒をこの冷媒室の先端に向けて通過させた後に、
前記ジャケット本体の一側辺に沿って通過させ、この冷
媒室の基端に向けて通過させて排出させる仕切板と、 前記冷却板により仕切られた前記ジャケット本体内の他
側空間に形成され、不活性雰囲気チャンバ内に搬送され
る基板の搬送面に沿って配設され、前記冷媒室内を通過
する冷媒により内部を通過する不活性雰囲気が前記冷却
板を介して冷却される不活性雰囲気室とを有しているこ
とを特徴とした請求項4または5記載のろう付け装置。
6. A cooling jacket is formed in a flat hollow, substantially fan-shaped jacket main body, a cooling plate partitioning a space in the jacket main body up and down, and a space in the jacket main body partitioned by the cooling plate. A refrigerant chamber through which the refrigerant passes, provided in the refrigerant chamber, and after allowing the refrigerant supplied from the base end of the refrigerant chamber to pass toward the tip of the refrigerant chamber,
A partition plate that passes along one side of the jacket main body, passes through and discharges toward the base end of the refrigerant chamber, and is formed in another space in the jacket main body partitioned by the cooling plate, An inert atmosphere chamber disposed along a transfer surface of the substrate transferred into the inert atmosphere chamber, wherein an inert atmosphere passing therethrough by the refrigerant passing through the refrigerant chamber is cooled through the cooling plate; The brazing device according to claim 4, further comprising:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103157875A (en) * 2013-03-20 2013-06-19 上海交通大学 Vacuum brazing furnace using metal quartz integral radiant heater

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