JP2001274486A - Cross flow fan for discharge stimulation gas laser device - Google Patents
Cross flow fan for discharge stimulation gas laser deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、放電励起ガスレー
ザ装置において電極間にガスを循環させるためのクロス
フローファンの構造に関し、特に、高速回転、高圧力
（高ヘッド）、低流量の条件で用いるクロスフローファ
ンの構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cross-flow fan structure for circulating gas between electrodes in a discharge-excited gas laser device, and more particularly to a cross-flow fan under high-speed rotation, high pressure (high head), and low flow rate conditions. It relates to the structure of a cross flow fan.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体集積回路の微細化、高集積化につ
れ、投影露光装置においては解像力の向上が要請されて
いる。このため、露光用光源から放出される露光光の短
波長化が進められており、この半導体リソグラフィー用
光源としては、従来の水銀ランプ光の波長より短波長の
光を放出するエキシマレーザ装置やフッ素レーザ装置の
採用が始まっている。図７はエキシマレーザ装置のレー
ザチェンバ内部を示す模式図であり、同図の（ｂ）は同
図（ａ）をＡ方向から見た図である。エキシマレーザ装
置のレーザチェンバ１の内部にはレーザ光軸方向に延
び、所定間隔だけ離間して対向した一対の主放電電極
２，２’が設けられており、レーザチェンバ内に、例え
ば、フッ素（Ｆ2 ) やアルゴン（Ａｒ）等のレーザガス
が数百ｋｐａで封入されている。上記主放電用電極間
２，２’に立上りの早い高電圧パルスを印加して放電を
発生させることにより、レーザ煤質であるレーザガスが
励起される。2. Description of the Related Art With miniaturization and high integration of semiconductor integrated circuits, there is a demand for an improvement in resolution of a projection exposure apparatus. For this reason, the wavelength of exposure light emitted from an exposure light source is being shortened. As a light source for semiconductor lithography, an excimer laser device that emits light having a wavelength shorter than the wavelength of conventional mercury lamp light or fluorine is used. The adoption of laser devices has begun. FIG. 7 is a schematic diagram showing the inside of the laser chamber of the excimer laser device, and FIG. 7B is a diagram of FIG. 7A viewed from the direction A. Inside the laser chamber 1 of the excimer laser device, there is provided a pair of main discharge electrodes 2 and 2 ′ extending in the laser optical axis direction and facing each other with a predetermined space therebetween. A laser gas such as F 2 ) or argon (Ar) is sealed at several hundred kpa. By applying a fast rising high voltage pulse between the main discharge electrodes 2 and 2 ′ to generate a discharge, a laser gas as laser soot is excited.
【０００３】レーザチェンバ１の前後には、出力鏡（図
示せず）と、露光装置の投影光学系における色収差の問
題を回避するためにレーザ光のスペクトル幅を狭帯域化
し、中心波長の波長安定化を実現するための狭帯域化光
学系（図示せず）とが各々配置され、出力鏡と狭帯域化
光学系はレーザ共振器を構成する。レーザガスが励起さ
れ、レーザチェンバ１の側板Ａ，Ｂに設けられた窓部
（図示せず）から放出される光は、上記レーザ共振器に
より増幅され、レーザ光としてレーザ共振器の出力鏡よ
り取出される。露光用光源として使用されるエキシマレ
ーザ装置は、スループットの増大のために、放電の数ｋ
Ｈｚでの高繰返し動作が要請され始めている。しかしな
がら、主放電発生後、主放電空間には熱的撹乱や音響学
的撹乱（衝撃波等）が発生し、この状態が維持されたま
までは、次の主放電が不安定となって、主電極間でアー
ク放電が発生し、レーザ出力が不安定となる。このよう
な不具合を避けるには、次の放電が発生する前に、主放
電空間のガスを交換する必要がある。このため、図７
（ａ）（ｂ）に示すようにレーザチェンバ内にクロスフ
ローファン３と制風板４を設け、レーザチェンバ１内の
レーザガスを図７（ｂ）の矢印に示す経路で高速循環さ
せ主放電電極２，２’間のガスを交換する。主放電電極
２，２’間を通ったガスは、冷却フィンチューブ５によ
り冷却される。Before and after the laser chamber 1, an output mirror (not shown) and a spectral width of a laser beam are narrowed to avoid a problem of chromatic aberration in a projection optical system of an exposure apparatus, and a wavelength of a center wavelength is stabilized. And a narrowing optical system (not shown) for realizing the optical system, and the output mirror and the narrowing optical system constitute a laser resonator. The laser gas is excited, and the light emitted from the windows (not shown) provided in the side plates A and B of the laser chamber 1 is amplified by the laser resonator and extracted as laser light from the output mirror of the laser resonator. Is done. An excimer laser device used as an exposure light source requires several k discharges to increase throughput.
High repetition rate operation at Hz is beginning to be demanded. However, after the occurrence of the main discharge, thermal disturbance or acoustic disturbance (shock wave, etc.) occurs in the main discharge space, and if this state is maintained, the next main discharge becomes unstable, and the main electrode becomes unstable. Arc discharge occurs between them, and the laser output becomes unstable. In order to avoid such a problem, it is necessary to exchange the gas in the main discharge space before the next discharge occurs. Therefore, FIG.
(A) As shown in FIG. 7 (b), a cross flow fan 3 and a baffle plate 4 are provided in the laser chamber, and the laser gas in the laser chamber 1 is circulated at a high speed along a path shown by an arrow in FIG. Exchange gas between 2, 2 '. The gas passing between the main discharge electrodes 2 and 2 ′ is cooled by the cooling fin tube 5.
【０００４】クロスフローファン３は、円形の側板の間
に複数のブレードを円周方向に配した、中空の円筒形状
のファンである。両端の側板に設けた突起部の中心軸線
を中心に回転させて送風する。クロスフローファンの詳
しい特性については例えば、生井武文、井上雅弘著、コ
ロナ社発行「ターボ送風機と圧縮機」（昭和６３年８月
２５日初版発行）Ｐ２９７〜３０４を参照されたい。ク
ロスフローファンは、例えば特開平９−１０５３９８号
公報に示されるように一般的には空調設備の送風用ファ
ンとして用いられている。エキシマレーザ装置におい
て、細長い電極間にガスを循環させるため、クロスフロ
ーファンを用いることは、例えば特開平１１−１１７８
９１号公報の段落０００２等に記載されている。[0004] The cross flow fan 3 is a hollow cylindrical fan having a plurality of blades arranged in a circumferential direction between circular side plates. The air is blown while being rotated about the central axis of the projections provided on the side plates at both ends. For details of the characteristics of the cross flow fan, see, for example, Takefumi Ikui and Masahiro Inoue, “Turbo Blowers and Compressors”, published by Corona (published first edition on August 25, 1988), pages 297-304. A cross flow fan is generally used as a blower fan of an air conditioner, as shown in, for example, JP-A-9-105398. In an excimer laser device, the use of a cross flow fan to circulate gas between elongated electrodes is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-1178.
No. 91, paragraph 0002 and the like.
【０００５】ところで、従来においては、クロスフロー
ファンの内部には何もない構造が望ましいとされていた
（例えば、上記特開平１１−１１７８９１公報の段落０
００３記載参照）。それは以下の理由による。図８にケ
ーシングに収められたクロスフローファン（以下ファン
と略記する場合がある）の断面図を示す。クロスフロー
ファン３のケーシングはガイドウォール６としきり板７
とで構成される。図８において、ファン３が時計回りに
回転するとファン３近傍に渦が発生し、この渦により渦
流とガイドウォール６としきり板７に沿った貫流とが形
成される。上記渦流が増加すれば、貫流の風量が増加す
るが、ファン３内部が中空構造でないと、上記渦流の形
成に悪影響があり、風量や効率（効率＝全圧動力（ヘッ
ド）／軸動力）が低下するとされていた。したがって、
通常、クロスフローファンの内部には回転軸は設けられ
ない。なお、ファン内部に回転軸を設ける場合、前記し
た参考資料「ターボ送風機と圧縮機」のＰ３０３にも記
載されるように、回転軸の直径ｄ、ファン外径Ｄとする
と、ｄ／Ｄ≦０．０７であれば問題ないとされていた。Conventionally, it has been considered that a structure having nothing inside the cross flow fan is desirable (for example, paragraph 0 of JP-A-11-117891).
003). It is for the following reasons. FIG. 8 shows a cross-sectional view of a cross flow fan (hereinafter sometimes abbreviated as a fan) housed in a casing. The casing of the cross flow fan 3 is a guide wall 6 and a partition plate 7
It is composed of 8, when the fan 3 rotates clockwise, a vortex is generated in the vicinity of the fan 3, and the vortex forms a vortex and a flow along the guide wall 6 and the partition plate 7. If the eddy current increases, the amount of air flowing through increases. However, if the inside of the fan 3 is not hollow, the formation of the eddy current is adversely affected, and the air volume and efficiency (efficiency = total pressure power (head) / shaft power) are reduced. It was supposed to fall. Therefore,
Normally, no rotation shaft is provided inside the cross flow fan. When the rotating shaft is provided inside the fan, as described in the reference document “Turbo Blower and Compressor” on page 303, assuming that the rotating shaft has a diameter d and a fan outer diameter D, d / D ≦ 0. 0.07 was no problem.
【０００６】エキシマレーザやフッ素レーザはパルスレ
ーザであり、一般的にその繰返し周波数は１ｋＨｚ前後
である。近年、エキシマレーザ装置またはフッ素レーザ
装置は、半導体露光用装置であるステッパの光源として
用いられるようになってきた。エキシマレーザまたはフ
ッ素レーザのパルス発光を連続発光に近づけてスループ
ットを上げられるように、また、露光量の安定化を図る
ために、繰返し周波数を（２ｋＨｚ〜３ｋＨｚ以上に）
上げることが要望されている。上記繰返し周波数を上げ
ることは、電極における放電と放電との間隔を短くする
ことである。放電後、電極間では、分子のイオン化、分
子の励起状態、温度の不均一による密度の不均一が生じ
る。これらが残った状態のまま次の放電に移ると、アー
ク放電が生じやすく、均一なグロー放電にならないので
出力が不安定となる。An excimer laser or a fluorine laser is a pulse laser, and its repetition frequency is generally about 1 kHz. In recent years, an excimer laser device or a fluorine laser device has been used as a light source of a stepper which is a semiconductor exposure device. The repetition frequency is set to 2 kHz to 3 kHz or more so that the pulse emission of an excimer laser or a fluorine laser can be made closer to continuous emission to increase the throughput and to stabilize the exposure amount.
It is requested to raise. Increasing the repetition frequency is to shorten the interval between discharges at the electrodes. After the discharge, unevenness in density occurs between the electrodes due to ionization of molecules, excited states of molecules, and unevenness of temperature. If the next discharge is performed while these remain, an arc discharge is likely to occur, and the output becomes unstable because uniform glow discharge does not occur.
【０００７】したがって、放電が終了した放電部（電極
と電極との間）のガスを、新しいガスにすばやく交換す
る必要があり、ガスの風速をより早くする必要がある。
したがって、エキシマレーザ装置やフッ素レーザ装置に
用いられるガス循環用のクロスフローファンは、高速で
回転させる必要が出てきた。例えば、従来の繰返し周波
数が１ｋＨｚである露光用エキシマレーザ装置において
は、レーザチャンバの内部構造（電極間距離、図示しな
い予備電離手段の位置等）にもよるが、一般に電極間に
流さなければならないガスの流速は約１０ｍ／ｓであ
り、その流速を得るためのファンの回転速度は約１００
０ｒｐｍであった。繰返し周波数が２ｋＨｚ〜３ｋＨｚ
であるエキシマレーザ装置やフッ素レーザ装置において
は、電極間に流さなければならないガスの流速は約２０
〜３０ｍ／ｓであり、その流速を得るためのファンの回
転速度は約２０００〜３０００ｒｐｍが必要となる。さ
らに繰返し周波数が４ｋＨｚの場合、形成される流路に
もよるが、ファンの回転速度は約４０００ｒｐｍが必要
となる。Therefore, it is necessary to quickly exchange the gas in the discharge section (between the electrodes) after the discharge with a new gas, and it is necessary to further increase the gas velocity.
Therefore, a cross-flow fan for gas circulation used in an excimer laser device or a fluorine laser device needs to be rotated at a high speed. For example, in a conventional excimer laser apparatus for exposure having a repetition frequency of 1 kHz, it is generally necessary to flow between the electrodes although it depends on the internal structure of the laser chamber (distance between electrodes, position of preliminary ionization means not shown). The flow velocity of the gas is about 10 m / s, and the rotation speed of the fan for obtaining the flow velocity is about 100 m / s.
It was 0 rpm. Repetition frequency is 2kHz-3kHz
In an excimer laser device or a fluorine laser device, the flow velocity of the gas flowing between the electrodes is about 20.
-30 m / s, and the rotation speed of the fan for obtaining the flow velocity needs to be about 2000-3000 rpm. Further, when the repetition frequency is 4 kHz, the rotation speed of the fan needs to be about 4000 rpm, depending on the flow path to be formed.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】クロスフローファン
を、上記のように高速回転させる場合、次のような問題
が生ずる。回転軸に軸ずれがあると、軸受部に負荷がか
かり磨耗が激しくなる。したがって、軸受部が振動し、
その振動がレーザチェンバに伝わりレーザ装置が振動す
る。そのため光軸のずれや発振する光の中心波長の変動
が生じる。また、レーザ装置の振動が連結される露光装
置にも伝わる不具合が生じる。上記回転軸の軸ずれの原
因には、「ファン製造時の軸ずれ」「高速回転時の剛性
不足による軸ずれ」の２つがある。When the cross flow fan is rotated at a high speed as described above, the following problems occur. If the rotating shaft is misaligned, a load is applied to the bearing portion, and the wear becomes severe. Therefore, the bearing vibrates,
The vibration is transmitted to the laser chamber and the laser device vibrates. Therefore, the optical axis shifts and the center wavelength of the oscillating light fluctuates. Further, there is a problem that the vibration of the laser device is transmitted to the exposure device to which the laser device is connected. There are two causes of the axis deviation of the rotating shaft: "axis deviation during fan production" and "axis deviation due to insufficient rigidity at high speed rotation".
【０００９】（１）「ファン製造時の軸ずれ」 図９に、クロスフローファン回転軸の軸ずれの例を示
す。ファンは長手方向断面図として示している。図９
（ａ）に示すように、ファン３の回転軸３ａは、ファン
３両側の側板３ｂに突起状の軸として設けられる。両側
板どうしは、送風用のブレード３ｃと、ブレードを支え
る円板３ｄとにより位置決めされる。このような構造に
おいては、ファン製造時、両側板の突起状回転軸の回転
中心を正確に一致させることは困難であり、図９（ａ）
または図９（ｂ）のような、回転軸の微小な軸ずれが発
生する。(1) "Axis misalignment at the time of manufacturing the fan" FIG. 9 shows an example of axis misalignment of the cross flow fan rotating shaft. The fan is shown as a longitudinal section. FIG.
As shown in (a), the rotating shaft 3a of the fan 3 is provided on the side plates 3b on both sides of the fan 3 as projecting shafts. The two side plates are positioned by a blade 3c for blowing air and a disk 3d supporting the blade. In such a structure, when manufacturing the fan, it is difficult to accurately match the rotation centers of the protruding rotary shafts on both side plates, and FIG.
Alternatively, as shown in FIG. 9B, a slight axis deviation of the rotation axis occurs.
【００１０】（２）「高速回転時の剛性不足による軸ず
れ」 ファン３の回転時、回転軸には、次の３つの力が作用す
る。 ファンの自重によるたわみ ファンの一部の重さが他と異なることによる遠心力の
不均一性 風を押し出す時にファンに生じる反力。 クロスフローファンは、上記のように側板３ｂ、ブレー
ド３ｃ、中空円板３ｄによってのみ構成されており機械
的強度に限界がある。特にレーザチャンバ内には、ネオ
ン（Ｎｅ）が９０％以上を占めるレーザガスが、約４０
０ｋＰａ（４気圧）封入されている。したがって、風を
押し出す時にファンに生じる反力は、大気圧の空気と比
較して大きく、ファンの構造にとってさらに過酷な条件
になる。(2) "Axis misalignment due to insufficient rigidity during high-speed rotation" When the fan 3 rotates, the following three forces act on the rotating shaft. Deflection due to fan's own weight Unevenness of centrifugal force due to the fact that the weight of a part of the fan is different from that of the other The reaction force generated by the fan when extruding wind. As described above, the cross flow fan is constituted only by the side plate 3b, the blade 3c, and the hollow disk 3d, and has a limit in mechanical strength. Particularly, in the laser chamber, a laser gas containing 90% or more of neon (Ne) contains about 40%.
0 kPa (4 atm) is sealed. Therefore, the reaction force generated in the fan when extruding the wind is large as compared with the air at the atmospheric pressure, which is a severer condition for the structure of the fan.
【００１１】本発明者らが従来のクロスフローファンを
用いて種々実験を行ったところ、クロスフローファンの
回転速度が高速（例えば４０００ｒｐｍ以上）になる
と、ファンの機械的強度が上記の力に負けて、ファンの
全体的な構造が変形し、回転軸の軸ずれが大きくなり、
ファンの振動が大きくなることを見出した。ファンの振
動が大きくなると、前記したように、その振動がレーザ
チェンバに伝わりレーザ装置が振動し、光軸のずれや発
振する光の中心波長の変動が生じる。また、レーザ装置
の振動が連結される露光装置にも伝わる不具合が生じ
る。The present inventors have conducted various experiments using a conventional crossflow fan. As a result, when the rotation speed of the crossflow fan becomes high (for example, 4000 rpm or more), the mechanical strength of the fan loses the above-mentioned force. As a result, the overall structure of the fan is deformed and the axis deviation of the rotating shaft increases,
I found that the vibration of the fan increased. As described above, when the vibration of the fan increases, the vibration is transmitted to the laser chamber and the laser device vibrates, causing a shift in the optical axis and a change in the center wavelength of the oscillating light. Further, there is a problem that the vibration of the laser device is transmitted to the exposure device to which the laser device is connected.
【００１２】一方、エキシマレーザ装置もしくはフッ素
レーザ装置においては、前記図７に示したように狭い電
極２，２’間に高い圧力をかけて風を流す構造であり、
クロスフローファンの使用条件は、全圧動力が高く（高
ヘッド）かつ低流量である。これは、空調機等のおける
使用条件とは反対（空調機においては一般に低ヘッド、
高流量であることが要求される）である。すなわち、空
調機等と、エキシマレーザ装置もしくはフッ素レーザ装
置ではクロスフローファンの使用条件が全く異なり、従
来から空調機等で用いられていたクロスフローファンを
エキシマレーザ装置のガス循環用にそのまま転用して
も、効率的なガス循環を行うことができるとは限らな
い。On the other hand, an excimer laser device or a fluorine laser device has a structure in which a high pressure is applied between the narrow electrodes 2 and 2 'to flow air as shown in FIG.
The operating conditions of the cross flow fan are high total pressure power (high head) and low flow rate. This is the opposite of the operating conditions in air conditioners and the like (air conditioners generally have low head,
High flow rates are required). In other words, the conditions for using a cross flow fan are completely different between an air conditioner and the like and an excimer laser device or a fluorine laser device, and a cross flow fan conventionally used for an air conditioner or the like is directly used for gas circulation of the excimer laser device. However, efficient gas circulation cannot always be achieved.
【００１３】本発明は上記した事情を考慮してなされた
ものであって、製造時、回転軸の位置合せを行なう必要
がなく、また、高速回転が可能であり、高速回転させて
も機械的強度が強く変形しない、エキシマレーザ装置に
用いるに好適なクロスフローファンを提供することを目
的とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and does not require alignment of a rotating shaft at the time of manufacturing, and is capable of high-speed rotation. It is an object of the present invention to provide a crossflow fan which is not strongly deformed and is suitable for use in an excimer laser device.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明者らが種々実験を
行って検討したところ、高ヘッドかつ低流量の条件下で
使用する場合には、クロスフローファンの内部にｄ／Ｄ
≧０．０７（ｄ：回転軸の直径、Ｄ：ファン外径）とな
る直径ｄの回転軸を設けても、流速に悪影響を及ぼさな
いことを見いだした。また、レーザパルスの繰り返し周
波数が高いエキシマレーザ装置もしくはフッ素レーザ装
置に用いる高速回転（例えば４０００ｒｐｍ）するクロ
スフローファンの場合は、軸強度の関係から回転軸の直
径ｄがｄ／Ｄ≧０．１３以上であることが望ましいこと
がわかった。以上に基づき本発明においては、次のよう
にして上記課題を解決する。 （１）放電励起ガスレーザ装置用クロスフローファンに
おいて、クロスフローファンの中心部を貫通している回
転軸を設ける。 （２）上記（１）において上記回転軸の内部に中空部が
設ける。 （３）上記（１）（２）において、クロスフローファン
の外径をＤ、上記回転軸の外径をｄとしたとき、ｄ／Ｄ
≧０．１３とする。The inventors of the present invention have conducted various experiments and studied. When the present invention is used under conditions of high head and low flow rate, d / D is installed inside the cross flow fan.
It has been found that even if a rotating shaft having a diameter d that satisfies ≧ 0.07 (d: diameter of rotating shaft, D: fan outer diameter) does not adversely affect the flow velocity. Further, in the case of a cross-flow fan that rotates at a high speed (for example, 4000 rpm) used for an excimer laser device or a fluorine laser device having a high laser pulse repetition frequency, the diameter d of the rotating shaft is d / D ≧ 0.13 due to shaft strength. It has been found that the above is desirable. Based on the above, the present invention solves the above problem as follows. (1) In a cross flow fan for a discharge excitation gas laser device, a rotating shaft penetrating the center of the cross flow fan is provided. (2) In the above (1), a hollow portion is provided inside the rotary shaft. (3) In the above (1) and (2), when the outer diameter of the cross flow fan is D and the outer diameter of the rotating shaft is d, d / D
≧ 0.13.
【００１５】上記（１）のようにクロスフローファンに
内部を貫通する回転軸を設ければ、回転軸の位置合わせ
が容易となり、また機械的強度が強くなるので高速回転
が可能となる。また、上記（２）のように回転軸の内部
に中空部を設ければ、回転軸を軽量化することができる
ので軸の自重によるたわみを小さくすることができる。
したがって、中実軸と中空軸とを同じ軸径で比較した場
合、中空軸の方が固有振動数が大きくなり一層高速化が
可能となる。さらに、上記のような回転軸を設ければ、
回転軸の軸ずれが少ないので軸受として磁気軸受の使用
も可能となり、さらに一層の高速化が可能となる。ま
た、上記（３）のようにｄ／Ｄ≧０．１３とすることに
より、クロスフローファンの固有振動数を高くすること
ができ、最大回転数を４０００ｒｐｍまで上げても共振
することがない。If a rotary shaft penetrating the inside of the cross flow fan is provided as in the above (1), the positioning of the rotary shaft is facilitated and the mechanical strength is increased, so that high-speed rotation is possible. Further, if the hollow portion is provided inside the rotary shaft as in the above (2), the weight of the rotary shaft can be reduced, so that the deflection due to its own weight can be reduced.
Therefore, when the solid shaft and the hollow shaft are compared with the same shaft diameter, the natural frequency of the hollow shaft is larger, and the speed can be further increased. Furthermore, if the above-mentioned rotation axis is provided,
Since the axis deviation of the rotating shaft is small, it is possible to use a magnetic bearing as a bearing, and it is possible to further increase the speed. By setting d / D ≧ 0.13 as in (3) above, the natural frequency of the crossflow fan can be increased, and resonance does not occur even if the maximum rotation speed is increased to 4000 rpm.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】図１に本発明の実施例のエキシマ
レーザ装置ガス循環用のクロスフローファンの構成を示
す。同図はクロスフローファン３の長手方向の断面図を
示している。同図に示すように本実施例のクロスフロー
ファンにおいては回転軸３ａがファン３を貫通してい
る。回転軸３ａは高精度で芯出し加工された円柱であ
り、該回転軸３ａにブレード３ｃを支持する側板３ｂと
円板３ｄとが、支持板３ｅによって固定されている。図
１に示す回転軸３ａがファン３を貫通するエキシマレー
ザ装置のガス循環用のクロスフローファンを製作し、同
様の大きさで内部が空洞の従来型のファンと性能比較を
行った。製作したクロスフローファンの、ファン外径Ｄ
と回転軸の直径ｄは、表１に示す２種類である。FIG. 1 shows the configuration of a cross-flow fan for gas circulation of an excimer laser device according to an embodiment of the present invention. The figure shows a cross-sectional view of the cross flow fan 3 in the longitudinal direction. As shown in the figure, in the cross flow fan of the present embodiment, the rotating shaft 3a passes through the fan 3. The rotating shaft 3a is a cylinder centered with high precision, and a side plate 3b supporting the blade 3c and a disk 3d are fixed to the rotating shaft 3a by a support plate 3e. A cross-flow fan for gas circulation of an excimer laser device in which the rotating shaft 3a shown in FIG. 1 penetrates through the fan 3 was manufactured, and its performance was compared with that of a conventional fan having a similar size and a hollow inside. Outer diameter D of the manufactured cross flow fan
And the diameter d of the rotating shaft are two types shown in Table 1.
【００１７】[0017]
【表１】 [Table 1]
【００１８】図２に、本実施例に示した貫通する回転軸
を持つ、Ｄ＝１２０ｍｍ、ｄ＝２３ｍｍ（ｄ／Ｄ＝０．
１９）のファンを用いた場合の、回転速度（ｒｐｍ）に
対するガス流速（ｍ／ｓ）を示す。同図は、前記図７に
示したエキシマレーザ装置のチェンバ内に軸方向の長さ
が６００ｍｍのクロスフローファンを設置して、チェン
バ内のガス流速を測定した結果を示しており、４０００
ｒｐｍにおいて、ガス流速は従来型のファンの場合と変
わりなかった。また、図３に、ファンを取りつけたレー
ザチェンバの振動の大きさを示す。同図において、横軸
はファンの回転速度（ｒｐｍ）、縦軸はチェンバ上下方
向の振動加速度（ｍ／ｓ2 ）を示す。同図において、
は従来の貫通する回転軸を持たないファン、は本実施
例に示した貫通する回転軸を持つファンの特性を示す。
ファンとしては、上記したＤ＝１２０ｍｍ、ｄ＝２３ｍ
ｍ、軸方向の長さが６００ｍｍのものを用いた。また、
従来例は、回転軸はファン内部を貫通していないがそれ
以外は本実施例と同様の形状のものを使用した。図３か
ら明らかなように、本実施例の場合、従来例に比べ、振
動加速度を約１／２に減少させることができた。FIG. 2 shows a case in which D = 120 mm and d = 23 mm (d / D = 0.
19 shows the gas flow rate (m / s) with respect to the rotation speed (rpm) when the fan of 19) is used. This figure shows the result of measuring the gas flow velocity in the chamber by installing a cross-flow fan having a length of 600 mm in the axial direction in the chamber of the excimer laser device shown in FIG.
At rpm, the gas flow rate was not different from that of a conventional fan. FIG. 3 shows the magnitude of vibration of the laser chamber to which the fan is attached. In the figure, the horizontal axis represents the rotational speed of the fan (rpm), and the vertical axis represents the vibration acceleration (m / s 2 ) in the vertical direction of the chamber. In the figure,
Indicates the characteristics of the conventional fan having no penetrating rotary shaft, and the characteristic of the fan having the penetrating rotary shaft shown in this embodiment.
As a fan, the above D = 120 mm, d = 23 m
m and those having a length of 600 mm in the axial direction were used. Also,
In the conventional example, the rotating shaft does not penetrate through the inside of the fan, but the other shape is the same as that of the present embodiment. As is clear from FIG. 3, in the case of the present embodiment, the vibration acceleration could be reduced to about 比 べ compared to the conventional example.
【００１９】前記したように従来においては、クロスフ
ローファンファン内部に回転軸を設ける場合、回転軸の
直径ｄ、ファン外径Ｄとすると、ｄ／Ｄ≦０．０７であ
れば問題ない、即ち、ｄ／Ｄ≧０．０７であると悪影響
があると考えられていたが、上記実験により、レーザチ
ェンバ内のように高ヘッド、低流量の条件下において
は、ｄ／Ｄ＝０．１９の径の中心軸を設けても、ガス流
速は従来型のファンの場合と変わりないことが明らかと
なった。As described above, conventionally, when a rotating shaft is provided inside a cross flow fan fan, if the rotating shaft has a diameter d and a fan outer diameter D, there is no problem if d / D ≦ 0.07. , D / D ≧ 0.07 was considered to have an adverse effect. However, according to the above experiment, under the condition of a high head and a low flow rate as in a laser chamber, d / D = 0.19. It became clear that the gas flow rate was the same as that of the conventional fan even if the center axis of the diameter was provided.
【００２０】ところで、クロスフローファンの回転速度
がファンの固有振動数と一致すると、ファンは共振によ
り大きく振動する。したがって、ファンの最大回転速度
に対して、固有振動数をできるだけ大きくする必要があ
る。一般に、ファンの回転速度は固有振動数に相当する
速度の７０％以下であることが望ましいとされている。
回転速度４０００ｒｐｍに相当する振動数は約６７Ｈｚ
である。したがって、ファンの回転速度を、固有振動数
に相当する速度の７０％以下とすると、例えば、ファン
の最大回転速度が４０００ｒｐｍの場合、ファンの固有
振動数は９５Ｈｚ以上が望ましい。When the rotation speed of the cross flow fan matches the natural frequency of the fan, the fan vibrates greatly due to resonance. Therefore, it is necessary to increase the natural frequency as much as possible with respect to the maximum rotation speed of the fan. Generally, it is considered that the rotation speed of the fan is desirably 70% or less of the speed corresponding to the natural frequency.
The frequency corresponding to a rotation speed of 4000 rpm is about 67 Hz
It is. Therefore, when the rotation speed of the fan is set to 70% or less of the speed corresponding to the natural frequency, for example, when the maximum rotation speed of the fan is 4000 rpm, the natural frequency of the fan is desirably 95 Hz or more.
【００２１】そこで、クロスフローファンの軸長をエキ
シマレーザの電極長と同じとした場合について、固有振
動数９５Ｈｚ以上となる回転軸の径ｄを試算した。例え
ば、エキシマレーザの電極長を６００ｍｍ、上記回転軸
ｄの材質をステンレス（ＳＵＳ）とした場合、固有振動
数９５Ｈｚ以上を確保するには以下のようになった。こ
こでｄは前記したように回転軸の直径、Ｄはファンの外
径である。 ・ファン径１２０ｍｍの場合…ｄ／Ｄ≧０．１６ ・ファン径１５０ｍｍの場合…ｄ／Ｄ≧０．１３ すなわち、ｄ／Ｄが０．１３以上であれば、ファン径が
１５０ｍｍであっても固有振動数９５Ｈｚ以上を確保す
ることができる。Then, when the axial length of the cross flow fan was set to be the same as the electrode length of the excimer laser, the diameter d of the rotating shaft at which the natural frequency was 95 Hz or more was estimated. For example, in the case where the electrode length of the excimer laser is 600 mm and the material of the rotating shaft d is stainless steel (SUS), the following method is required to secure a natural frequency of 95 Hz or more. Here, d is the diameter of the rotating shaft as described above, and D is the outer diameter of the fan.・ When the fan diameter is 120 mm: d / D ≧ 0.16 ・ When the fan diameter is 150 mm: d / D ≧ 0.13 That is, if d / D is 0.13 or more, even if the fan diameter is 150 mm, A natural frequency of 95 Hz or more can be secured.
【００２２】回転軸がファン内部を貫通するクロスフロ
ーファンを用いても、従来のものと比べ風量や効率の低
下が生じなかった理由については不明である。しかし、
次のようなことが考えられる。エキシマレーザ装置にお
いては、狭い電極間に高い圧力をかけて風を流すように
なっている。即ち、前記したようにクロスフローファン
の使用条件は、全圧動力が高く（高ヘッド）低流量であ
る。空調機に用いるときの条件は、これとは反対で、低
ヘッド高流量である。クロスフローファンを高ヘッド低
流量の条件で用いた場合、低ヘッド高流量の条件で用い
た場合に比べて、図８に示した風の流れを生み出す渦流
の大きさが小さく、またその位置も、図中下方向にあ
り、ファン内部に回転軸があっても、渦流の形成に与え
る影響が小さいと考えられる。It is not clear why the use of a cross-flow fan whose rotating shaft penetrates through the inside of the fan did not cause a reduction in air volume or efficiency as compared with the conventional one. But,
The following can be considered. In an excimer laser device, a high pressure is applied between narrow electrodes to flow air. That is, as described above, the use condition of the cross flow fan is that the total pressure power is high (high head) and the flow rate is low. The condition for use in an air conditioner is the opposite, that is, low head and high flow rate. When the cross-flow fan is used under the conditions of high head and low flow, the size of the vortex that generates the wind flow shown in FIG. It is considered that the influence on the formation of the eddy current is small even if the fan has a rotating shaft inside the fan.
【００２３】本実施例においては、上記のようにクロス
フローファン内部を貫通する回転軸を設けたので、ファ
ンの組み立て時の回転軸の軸ずれは生じない。また、回
転軸自体の軸ずれの大きさは、軸の両端の同軸度と軸の
真直度とに依存する。この同軸度と真直度とは、通常の
加工技術の精度を高くすることにより確保することがで
き、したがって軸ずれを防ぐことができた。また、回転
軸にブレードを支持する側板、または中空円板を固定す
ることができるので、ファンの機械的強度を、十分に高
くすることができた。In this embodiment, since the rotating shaft penetrating through the inside of the cross flow fan is provided as described above, there is no deviation of the rotating shaft at the time of assembling the fan. Further, the magnitude of the axis deviation of the rotating shaft itself depends on the coaxiality of both ends of the shaft and the straightness of the shaft. The coaxiality and the straightness can be ensured by increasing the precision of the ordinary processing technology, and therefore, the axis deviation can be prevented. In addition, since the side plate supporting the blade or the hollow disk can be fixed to the rotating shaft, the mechanical strength of the fan can be sufficiently increased.
【００２４】以上の実施例では、クロスフローファン内
部を貫通する回転軸として中実の軸を用いる場合につい
て説明したが、「回転軸の内部を中空とすること」「回
転軸の軸受けに、磁気軸受を使用すること」により、フ
ァンの回転速度をさらに高速化することができる。以
下、（１）回転軸の内部を中空とする場合、（２）回転
軸の軸受けに、磁気軸受を使用する場合についての実施
例について説明する。In the above embodiment, a case has been described in which a solid shaft is used as a rotating shaft that penetrates through the inside of the crossflow fan. By using a bearing, "the rotational speed of the fan can be further increased. Hereinafter, embodiments of (1) a case where the inside of the rotating shaft is hollow and (2) a case where a magnetic bearing is used for a bearing of the rotating shaft will be described.
【００２５】（１）回転軸の内部を中空とする 前記したように、最大回転速度４０００ｒｐｍの場合、
ファンの固有振動数は９５Ｈｚ以上が望ましい。ファン
の固有振動数は回転軸の（自重による）たわみ量に依存
し、固有振動数を大きくするためには、ファン回転軸の
たわみ量を小さくする必要がある。たわみ量を小さくす
るためには、回転軸をたわまない頑丈なものとすること
が必要である。しかし、「頑丈なものとすること」は回
転軸が「太く」「重く」なることである。回転軸が「太
く」なると、送風時発生する渦流に与える影響が大きく
なることが心配される。また、「重く」なると、軸受け
の負担が大きくなり、ベアリングの磨耗が激しくなる。
また軸受けも大型化し、装置全体が大型化する。そこ
で、本実施例では、回転軸を中空構造にして軽量化し
た。軽量化することにより、自重によるたわみを減らす
ことができる。(1) Making the inside of the rotation shaft hollow As described above, when the maximum rotation speed is 4000 rpm,
The natural frequency of the fan is desirably 95 Hz or more. The natural frequency of the fan depends on the amount of deflection of the rotating shaft (due to its own weight). To increase the natural frequency, it is necessary to reduce the amount of deflection of the fan rotating shaft. In order to reduce the amount of deflection, it is necessary to make the rotating shaft rigid so as not to bend. However, "to be robust" means that the rotating shaft is "fat" and "heavy". When the rotation axis becomes "thick", there is a concern that the influence on the vortex generated at the time of the blowing will increase. Further, when the weight becomes "heavy", the load on the bearing increases, and the wear of the bearing increases.
Also, the size of the bearing is increased, and the size of the entire device is increased. Therefore, in the present embodiment, the rotating shaft has a hollow structure to reduce the weight. By reducing the weight, deflection due to its own weight can be reduced.
【００２６】図４に、中空回転軸３０の断面図を示す。
円筒状の部材３１の両端に、軸となる部材３２，３２’
を溶接する。そして、例えば円筒状の部材３１を旋盤に
固定し、部材３２から、芯を合せつつ、軸両端の同図Ａ
の部分を削り出す。なお、上記軽量化のための中空軸
は、図５に示すように軸を部分的にくりぬいたようなも
のであってもよい。ただし、中空構造、くりぬき構造の
軸の機械的強度は、中実構造の軸に比べて弱くなるの
で、軸に加わる負荷の関係から、適切な構造を設計す
る。FIG. 4 is a sectional view of the hollow rotary shaft 30.
Shaft members 32, 32 'are provided at both ends of the cylindrical member 31.
To weld. Then, for example, a cylindrical member 31 is fixed to a lathe, and the member 32 is aligned with the core while the both ends of the shaft are
Cut out the part. The hollow shaft for reducing the weight may be one in which the shaft is partially hollowed out as shown in FIG. However, since the mechanical strength of the hollow structure and the hollow structure shaft is weaker than that of the solid structure shaft, an appropriate structure is designed in consideration of the load applied to the shaft.
【００２７】（２）回転軸の軸受けに、磁気軸受を使用
する 磁気軸受は、磁力の反発を利用して回転軸を中空に浮か
せて回転させるものであり、磁気軸受を、エキシマレー
ザ装置のファンの軸受けに適用することは、例えば特開
平１０−１７３２５９号公報、特開平１１−８７８１０
公報に記載されている。磁気軸受は、従来のボールを使
用したベアリングに比べ摩擦抵抗がなく高速回転が可能
である。機械的磨耗がないので、転がりベアリングに比
べて寿命が長い。しかし、回転軸を機械的に押さえるこ
とができないため、わずかな軸ずれにより、ファンの回
転バランスが崩れて振動する。したがって、ファンの回
転軸受けに磁気軸受を用いる場合は、回転軸の軸ずれを
なくす必要がある。本発明の実施例の図１、図４に示し
た回転軸が内部を貫通するクロスフローファンを用いれ
ば、製造時において回転軸の軸ずれをなくすことがで
き、高速回転時においても軸ずれを防ぐことができる。
したがって、磁気軸受を用いてもファンの回転バランス
が崩れて振動するといった問題の発生を減少させること
が可能となる。(2) Use of a magnetic bearing for the bearing of the rotating shaft The magnetic bearing uses a repulsion of magnetic force to rotate the rotating shaft in a hollow state and rotates the magnetic bearing. For example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 10-173259 and 11-87810
It is described in the gazette. Magnetic bearings can rotate at high speed without frictional resistance as compared with conventional ball bearings. Longer life than rolling bearings due to no mechanical wear. However, since the rotating shaft cannot be mechanically pressed, a slight axial displacement causes the rotational balance of the fan to be lost and causes vibration. Therefore, when a magnetic bearing is used for the rotary bearing of the fan, it is necessary to eliminate the axial deviation of the rotary shaft. By using the cross flow fan shown in FIGS. 1 and 4 in which the rotating shaft penetrates the inside of the embodiment of the present invention, it is possible to eliminate the axial displacement of the rotating shaft at the time of manufacturing, and to reduce the axial displacement even at the time of high-speed rotation. Can be prevented.
Therefore, even if a magnetic bearing is used, it is possible to reduce the occurrence of the problem that the rotational balance of the fan is lost and vibrates.
【００２８】図６に、エキシマレーザ装置のチャンバ
に、中空の回転軸が中央部を貫通するクロスフローファ
ンを適用し、軸受けに磁気軸受けを使用した場合の概略
構成断面図を示す。同図において、１はレーザチェンバ
であり、レーザチェンバ１内には、クロスフローファン
３が設けられており、クロスフローファン３の内部を中
空の回転軸３０が貫通している。回転軸３０は磁気軸受
８により両端が支持されており、磁気軸受部分はシール
部９によりシールされている。磁気軸受８は、磁石８ａ
と磁石８ｂの反発力を利用して、回転軸３０を空中に浮
かせている。なお、同図においては、前記した放電電
極、冷却フィンチューブ等は省略されている。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a case where a cross-flow fan having a hollow rotary shaft penetrating the center is applied to a chamber of an excimer laser device and a magnetic bearing is used as a bearing. In the figure, reference numeral 1 denotes a laser chamber, in which a cross flow fan 3 is provided, and a hollow rotary shaft 30 passes through the inside of the cross flow fan 3. Both ends of the rotating shaft 30 are supported by a magnetic bearing 8, and the magnetic bearing portion is sealed by a seal portion 9. The magnetic bearing 8 includes a magnet 8a
Using the repulsive force of the magnet 8b and the magnet 8b, the rotating shaft 30 is floated in the air. Note that, in the figure, the above-described discharge electrode, cooling fin tube, and the like are omitted.
【００２９】図６に示した実施例によれば、クロスフロ
ーファン３の内部を回転軸３０が貫通しているので回転
軸の軸ずれがなく、磁気軸受を用いても、ファンの回転
バランスが崩れて振動するといった問題の発生を回避す
ることができる。また、回転軸３０を中空としたので軽
量化することができ、軸受けの負担を小さくすることが
できる。また、自重によるたわみを減らして固有振動数
を高くすることができ、回転数を高速化することが可能
となる。以上、本発明のクロスフローファンをエキシマ
レーザ装置に使用する例が示されてきた。しかしなが
ら、本発明はこれに限るものではない。本発明のクロス
フローファンは、エキシマレーザ装置以外の放電励起ガ
スレーザ装置、例えば、フッ素レーザ装置にも適用可能
であることは、自明である。According to the embodiment shown in FIG. 6, since the rotating shaft 30 penetrates through the inside of the cross flow fan 3, there is no axial displacement of the rotating shaft, and even if a magnetic bearing is used, the rotation balance of the fan can be maintained. It is possible to avoid the problem of collapse and vibration. Further, since the rotary shaft 30 is hollow, the weight can be reduced, and the load on the bearing can be reduced. In addition, it is possible to increase the natural frequency by reducing the deflection due to its own weight, and it is possible to increase the rotation speed. As described above, an example in which the crossflow fan of the present invention is used for an excimer laser device has been described. However, the present invention is not limited to this. It is obvious that the crossflow fan of the present invention can be applied to a discharge excitation gas laser device other than the excimer laser device, for example, a fluorine laser device.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
以下の効果を得ることができる。 （１）エキシマレーザ装置もしくはフッ素レーザ装置に
使用されるクロスフローファンにおいて、クロスフロー
ファン内部を貫通するように回転軸を設けたので、回転
軸の軸ずれなく、容易にファンの組み立てを行なうこと
ができる。また、エキシマレーザ装置におけるクロスフ
ローファンの使用条件は、高ヘッド、低流量であるの
で、上記回転軸を設けても、流速等に悪影響を与えるこ
ともない。 （２）上記回転軸を設けたので、機械的強度が高く、高
速回転を行なってもファンが変形することがない。ま
た、軸ずれなく組み立てが可能であり、高速回転時の軸
ずれも生じない。したがって、軸受けへの負担が少な
く、軸受部の振動も少なくなり、光軸のずれや中心波長
の振動が生じることがない。 （３）回転軸を中空とすることにより、軽量化が図れる
ので、軸のたわみが少なくなる。したがって、ファンの
固有振動数が大きくなり、ファンの高速回転が可能にな
る。 （４）ファン製造時、及びファン回転時に軸ずれが生じ
ない。したがって、回転軸の軸受けとして磁気軸受けを
採用することができ、さらなる高速回転が可能となる。As described above, in the present invention,
The following effects can be obtained. (1) In a cross-flow fan used for an excimer laser device or a fluorine laser device, a rotating shaft is provided so as to penetrate the inside of the cross-flow fan, so that the fan can be easily assembled without a deviation of the rotating shaft. Can be. Further, since the use conditions of the cross flow fan in the excimer laser device are a high head and a low flow rate, the provision of the rotating shaft does not adversely affect the flow velocity or the like. (2) Since the rotating shaft is provided, the mechanical strength is high, and the fan is not deformed even at high speed rotation. In addition, assembly can be performed without any axis deviation, and no axis deviation occurs during high-speed rotation. Therefore, the load on the bearing is small, the vibration of the bearing portion is also reduced, and the displacement of the optical axis and the vibration of the center wavelength do not occur. (3) By making the rotating shaft hollow, the weight can be reduced, so that the bending of the shaft is reduced. Therefore, the natural frequency of the fan increases, and the fan can rotate at high speed. (4) No axial misalignment occurs during fan manufacture and fan rotation. Therefore, a magnetic bearing can be adopted as the bearing of the rotating shaft, and further high-speed rotation is possible.
【図１】本発明の実施例のクロスフローファンの構成を
示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a cross flow fan according to an embodiment of the present invention.
【図２】本実施例のクロスフローファンの回転速度に対
するガス流速の測定結果を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a measurement result of a gas flow rate with respect to a rotation speed of a cross flow fan of the present embodiment.
【図３】クロスフローファンの回転速度に対するレーザ
チェンバの上下方向の振動加速度の測定結果を示す図で
ある。FIG. 3 is a diagram showing a measurement result of vertical vibration acceleration of a laser chamber with respect to a rotation speed of a cross flow fan.
【図４】本発明の実施例のクロスフローファンに設けら
れる中空回転軸の断面図を示す図である。FIG. 4 is a sectional view of a hollow rotary shaft provided in the cross flow fan according to the embodiment of the present invention.
【図５】中空回転軸の他の例を示す図である。FIG. 5 is a view showing another example of the hollow rotary shaft.
【図６】中空回転軸と磁気軸受を使用したエキシマレー
ザ装置のチャンバの概略構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a schematic configuration of a chamber of an excimer laser device using a hollow rotating shaft and a magnetic bearing.
【図７】エキシマレーザ装置のレーザチェンバ内部を示
す模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing the inside of a laser chamber of the excimer laser device.
【図８】ケーシングに収められたクロスフローファンの
断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a cross flow fan housed in a casing.
【図９】クロスフローファン回転軸の軸ずれの例を示す
図である。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of an axis deviation of a cross flow fan rotation axis.
１ レーザチェンバ ２，２’ 放電電極 ３ クロスフローファン ３ａ 回転軸 ３ｂ 側板 ３ｃ ブレード ３ｄ 中空円板 ３ｅ 支持板 ８ 磁気軸受 ３０ 中空回転軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser chamber 2, 2 'Discharge electrode 3 Cross flow fan 3a Rotating shaft 3b Side plate 3c Blade 3d Hollow disk 3e Support plate 8 Magnetic bearing 30 Hollow rotating shaft
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本 篤志 神奈川県横浜市青葉区元石川町6409 ウシ オ電機株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Atsushi Honshi Ushio Electric Co., Ltd. 6409 Motoishikawacho, Aoba-ku, Aoba-ku, Yokohama-shi, Kanagawa
Claims (3)
ザガスをレーザチェンバ内で循環させ、レーザチェンバ
内に離間して設置された電極間のレーザガスを循環させ
るためのクロスフローファンであって、 上記クロスフローファンの回転軸が、該ファンの中心部
を貫通していることを特徴とする放電励起ガスレーザ装
置用クロスフローファン。1. A cross flow fan for circulating a laser gas in a laser chamber and circulating the laser gas between electrodes separately installed in the laser chamber in the discharge excitation gas laser device, wherein the cross flow fan A cross-flow fan for a discharge-excited gas laser device, characterized in that the rotating shaft of (1) penetrates the center of the fan.
いることを特徴とする請求項１の放電励起ガスレーザ装
置用クロスフローファン。2. A cross flow fan for a discharge excitation gas laser device according to claim 1, wherein a hollow portion is provided inside said rotary shaft.
転軸の外径をｄとしたとき、ｄ／Ｄ≧０．１３であるこ
とを特徴とする請求項１または請求項２の放電励起ガス
レーザ装置用クロスフローファン。3. The discharge excitation according to claim 1, wherein d / D ≧ 0.13, where D is the outer diameter of the cross flow fan and d is the outer diameter of the rotating shaft. Cross flow fan for gas laser device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001006082A JP2001274486A (en) | 2000-01-18 | 2001-01-15 | Cross flow fan for discharge stimulation gas laser device |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000008968 | 2000-01-18 | ||
| JP2000-8968 | 2000-01-18 | ||
| JP2001006082A JP2001274486A (en) | 2000-01-18 | 2001-01-15 | Cross flow fan for discharge stimulation gas laser device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001274486A true JP2001274486A (en) | 2001-10-05 |
Family
ID=26583697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001006082A Pending JP2001274486A (en) | 2000-01-18 | 2001-01-15 | Cross flow fan for discharge stimulation gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001274486A (en) |
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- 2001-01-15 JP JP2001006082A patent/JP2001274486A/en active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060110 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060509 |