JP2001257416A - DRIVING METHOD AND DEVICE OF GaN BASED SEMICONDUCTOR LASER - Google Patents

DRIVING METHOD AND DEVICE OF GaN BASED SEMICONDUCTOR LASER

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JP2001257416A
JP2001257416A JP2000064668A JP2000064668A JP2001257416A JP 2001257416 A JP2001257416 A JP 2001257416A JP 2000064668 A JP2000064668 A JP 2000064668A JP 2000064668 A JP2000064668 A JP 2000064668A JP 2001257416 A JP2001257416 A JP 2001257416A
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Toshiro Hayakawa
利郎 早川
Kazuo Hakamata
和男 袴田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce EL light generated by a bias current while an original pulse current for driving is not applied when a GaN based semiconductor laser is driven by the pulse current. SOLUTION: When the GaN based semiconductor laser 20 is driven by the pulse current Ep, a pulse bias current Eb which continues from at least a time before the rise time of the pulse current Ep until the fall time is applied to the semiconductor laser 20, synchronously with the pulse current Ep.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、短波長領域にて発
光するGaN系半導体レーザの駆動方法に関し、さらに詳
しくは、バイアス電流の印加方式が改良されたGaN系半
導体レーザの駆動方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for driving a GaN-based semiconductor laser emitting light in a short wavelength region, and more particularly to a method for driving a GaN-based semiconductor laser having an improved bias current application method. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、GaN系の発光デバイスの進歩は著
しく、InGaNを活性層とする400〜410nm程度の発振波長
域の半導体レーザが市販されるようになってきた。
2. Description of the Related Art In recent years, GaN-based light emitting devices have made remarkable progress, and semiconductor lasers having an oscillation wavelength range of about 400 to 410 nm using InGaN as an active layer have come to be marketed.

【0003】他方、画像記録、光ディスク、蛍光内視鏡
による癌検診等の様々な応用においては、パルス電流印
加によりレーザ光をパルス変調して利用する。この際、
通常は半導体レーザにDCバイアス電流を印加して、パル
ス電流を印加してからレーザ光が発光するまでの発振遅
延時間や、レーザ発光の立ち上がり時間を短くすること
が行なわれる。
[0003] On the other hand, in various applications such as image recording, optical disk, and cancer screening using a fluorescent endoscope, laser light is pulse-modulated by application of a pulse current and used. On this occasion,
Usually, a DC bias current is applied to a semiconductor laser, and an oscillation delay time from application of a pulse current to emission of laser light and a rise time of laser emission are shortened.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらGaN系の
半導体レーザにおいては、GaAs系等の半導体レーザと異
なり、基板となるサファイアやバッファ層等で用いられ
るGaN層が発光波長に対して透明であるため、画像形成
応用に不要な迷光が強く、特に低光出力時に不要部分か
らのEL光(自然発光光)が迷光となって高品位の画像形
成に支障を及ぼす欠点がある。
However, in GaN-based semiconductor lasers, unlike GaAs-based semiconductor lasers, the GaN layers used for the sapphire and buffer layers serving as substrates are transparent to the emission wavelength. However, there is a disadvantage that stray light unnecessary for image forming applications is strong, and EL light (natural light emission) from an unnecessary portion becomes stray light particularly at a low light output, which hinders high-quality image formation.

【0005】またGaN系の半導体レーザにおいては、一
般的なGaAs系半導体レーザ等と比べると、発振閾値未満
における発光強度が大きい。そのため、DCバイアス電流
が発振閾値未満であっても、本来の駆動用パルス電流を
印加していない期間に、このバイアス電流によって比較
的強く発光してしまう。
[0005] Further, in a GaN-based semiconductor laser, the emission intensity is lower than the oscillation threshold as compared with a general GaAs-based semiconductor laser or the like. Therefore, even when the DC bias current is less than the oscillation threshold, the bias current emits light relatively strongly during the period in which the original driving pulse current is not applied.

【0006】さらに本発明者らは、下記のGaN系半導体
レーザ特有の問題を見出した。図1は、検討した発振波
長405nmの半導体レーザの、DC駆動時の電流対光出力
特性を示すものである。ここに示すようにDC駆動での閾
値電流は約50mAであるが、後述のパルス電流印加時
は、デューティ比10%程度の場合で閾値電流は10%程度
低下し、約45mAとなった。
The present inventors have further found the following problems unique to GaN-based semiconductor lasers. FIG. 1 shows the current vs. optical output characteristics of the studied semiconductor laser having an oscillation wavelength of 405 nm during DC driving. As shown here, the threshold current in DC driving is about 50 mA, but when a pulse current described later is applied, the threshold current drops by about 10% when the duty ratio is about 10%, to about 45 mA.

【0007】そして図2には、このGaN系半導体レーザ
を比較的低周波のパルス電流により変調駆動した際の、
印加電流波形と光出力波形のDCバイアス依存性を示す。
なお同図において印加電流については波形のみを示し、
光出力の値は相対値で示してある。このときの駆動条件
は、a:DCバイアスなし、b:DCバイアス10mA、c:DC
バイアス40mAであり、パルス尖頭値は60mAである。
図示の通り無バイアスの場合は、80μs(マイクロ・
秒)程度以上の極めて大きな発振遅れがある。この発振
遅れはDCバイアス印加により低減し、バイアス電流の値
を大きくするほど発振遅延時間は短くなるが、閾値電流
までバイアス電流を高めないと遅延時間をゼロにするこ
とはできなかった。
FIG. 2 shows that the GaN-based semiconductor laser is modulated and driven by a relatively low-frequency pulse current.
The DC current dependence of the applied current waveform and the optical output waveform is shown.
In the same figure, only the waveform of the applied current is shown,
Light output values are shown as relative values. The driving conditions at this time are: a: no DC bias, b: DC bias 10 mA, c: DC
The bias is 40 mA and the pulse peak value is 60 mA.
As shown in the figure, 80 μs (micro
There is an extremely large oscillation delay of about 2 seconds or more. This oscillation delay was reduced by applying a DC bias, and the oscillation delay time became shorter as the value of the bias current was increased, but the delay time could not be reduced to zero unless the bias current was increased up to the threshold current.

【0008】一方、高速変調時には正常な応答を示し
た。すなわち、立ち上がり2ns(ナノ・秒)以下、8
ns幅の高速パルスにて変調駆動した場合には、参考文
献:S.Nakamura and G. Fasol: The Blue Laser Diode,
Springer-Verlag, Berlin, 1997, p.252 に記載され
ているように、遅延時間が閾値電流とバイアス電流、キ
ャリア寿命とで決定される特性を示し(参考文献:R. N
agarajan and J. E. Bowers: Semiconductor Lasers I,
Fundamentals, Academic Press, San Diego, 1999, p.
267)、nsオーダーの高速変調が可能であることを確
認した。
On the other hand, a normal response was exhibited during high-speed modulation. That is, the rise is 2 ns (nanosecond) or less, 8
References: S. Nakamura and G. Fasol: The Blue Laser Diode,
As described in Springer-Verlag, Berlin, 1997, p.252, the delay time shows a characteristic determined by the threshold current, the bias current, and the carrier lifetime (reference: R. N.
agarajan and JE Bowers: Semiconductor Lasers I,
Fundamentals, Academic Press, San Diego, 1999, p.
267), it was confirmed that high-speed modulation on the order of ns was possible.

【0009】したがって、例えば後述の内視鏡における
蛍光による癌検診応用において、ビデオ信号に合わせ
て、励起光源としてのGaN系半導体レーザをパルス駆動
する際には、かなりの値のバイアス電流の印加が必要と
なる。すると、閾値電流において0.5〜1mW程度あるE
L光が、パルス励起光を照射していない時にも背景光と
して作用し、それが試料観察等の妨害となる。
Accordingly, for example, in a cancer screening application using fluorescence in an endoscope, which will be described later, when a GaN-based semiconductor laser as an excitation light source is pulse-driven in accordance with a video signal, a bias current having a considerable value is applied. Required. Then, the threshold current is about 0.5 to 1 mW.
Even when the L light is not irradiated with the pulse excitation light, it acts as background light, which hinders sample observation and the like.

【0010】他方、パルス変調光により感光材料を露光
して画像形成する場合は、DCバイアスを加えている際の
EL光によって感光材料が露光されるため、最小露光量が
大きくなる。最大露光量はレーザ出力の最大値によって
上限があるから、最小露光量が大きくなるとコントラス
トが低下して問題となる。
On the other hand, when an image is formed by exposing a photosensitive material with pulse-modulated light, a DC bias is applied.
Since the photosensitive material is exposed by the EL light, the minimum exposure amount increases. Since the maximum exposure amount has an upper limit depending on the maximum value of the laser output, when the minimum exposure amount is large, the contrast is reduced, which causes a problem.

【0011】その他の様々な応用においても、パルス光
を発生していないときにバイアス電流によってGaN系半
導体レーザが発生するEL光は、不要な光として問題を生
じることが多い。
In various other applications, EL light generated by a GaN-based semiconductor laser by a bias current when pulse light is not generated often causes a problem as unnecessary light.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述したGaN
系半導体レーザ特有の事情に鑑みてなされたものであ
り、GaN系半導体レーザをパルス電流により駆動する際
に、パルス応答性を良好に保ち、その一方で、本来の駆
動用パルス電流が加えられていない期間にバイアス電流
によって生じるEL光を低減することができるGaN系半導
体レーザの駆動方法および装置を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to the GaN described above.
It is made in view of the circumstances peculiar to semiconductor lasers. When driving a GaN semiconductor laser with a pulse current, the pulse response is kept good, while the original drive pulse current is applied. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for driving a GaN-based semiconductor laser, which can reduce EL light generated by a bias current during a period when there is no current.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明によるGaN系半導
体レーザの駆動方法は、GaN系半導体レーザをパルス電
流により駆動する際に、少なくとも該パルス電流の立ち
上がり時点よりも前の時点から立ち下がり時点まで続く
パルス状のバイアス電流を、このパルス電流と同期させ
て該半導体レーザに印加することを特徴とするものであ
る。
A method of driving a GaN-based semiconductor laser according to the present invention is characterized in that, when a GaN-based semiconductor laser is driven by a pulse current, at least a time from a time before a rising time of the pulse current to a time of a falling time. A pulse-like bias current which continues until the pulse is applied to the semiconductor laser in synchronization with the pulse current.

【0014】なお上記パルス状のバイアス電流は、矩形
波、三角波あるいは正弦波であることが望ましい。
Preferably, the pulsed bias current is a rectangular wave, a triangular wave or a sine wave.

【0015】また本発明のGaN系半導体レーザの駆動方
法は、GaN系半導体レーザを駆動するパルス電流が、パ
ルス強度変調、パルス幅変調およびパルス位相変調等の
変調を受ける場合に好適に用いられるものである。
The method of driving a GaN-based semiconductor laser according to the present invention is preferably used when the pulse current for driving the GaN-based semiconductor laser is subjected to modulation such as pulse intensity modulation, pulse width modulation, and pulse phase modulation. It is.

【0016】一方本発明によるGaN系半導体レーザの駆
動装置は、上述した本発明の駆動方法によりGaN系半導
体レーザを駆動する構成を備えたことを特徴とするもの
である。
On the other hand, a driving apparatus for a GaN-based semiconductor laser according to the present invention is characterized in that it has a configuration for driving a GaN-based semiconductor laser by the driving method of the present invention described above.

【0017】[0017]

【発明の効果】本発明によるGaN系半導体レーザの駆動
方法では、GaN系半導体レーザに印加するバイアス電流
をパルス状のものとしたことにより、従来方法のように
DCバイアス電流を印加する場合と比べるとバイアス電流
のデューティ比が低下する。それにより、本来の駆動用
パルス電流が加えられていない期間にバイアス電流によ
って生じるEL光を低減することができる。
According to the method of driving a GaN-based semiconductor laser according to the present invention, the bias current applied to the GaN-based semiconductor laser is pulse-shaped, so that the method is different from the conventional method.
The duty ratio of the bias current is lower than when a DC bias current is applied. This makes it possible to reduce EL light generated by the bias current during a period in which the original driving pulse current is not applied.

【0018】そこで、前述の蛍光内視鏡等においてGaN
系半導体レーザからのパルス光照射により蛍光分析を行
なう場合に本発明によるGaN系半導体レーザの駆動方法
を適用すれば、パルス励起光を照射していないときの背
景光を低減して、試料観察の信頼性を高めることができ
る。
Therefore, GaN is used in the above-mentioned fluorescent endoscope and the like.
When the method of driving a GaN-based semiconductor laser according to the present invention is applied to the case where fluorescence analysis is performed by irradiating pulsed light from a system-based semiconductor laser, background light when pulsed excitation light is not irradiated can be reduced, and sample observation can be performed Reliability can be improved.

【0019】他方、パルス変調光により感光材料を露光
して画像形成する場合に本発明によるGaN系半導体レー
ザの駆動方法を適用すれば、最小露光量を低く保って、
露光量のダイナミックレンジを高く確保できるようにな
る。
On the other hand, when the method of driving a GaN-based semiconductor laser according to the present invention is applied to the case where an image is formed by exposing a photosensitive material with pulse-modulated light, the minimum exposure amount can be kept low.
A high dynamic range of the exposure can be secured.

【0020】また本発明によるGaN系半導体レーザの駆
動方法において、上記パルス状のバイアス電流は、少な
くとも本来の駆動用パルス電流の立ち上がり時点よりも
前の時点から立ち下がり時点まで続くように半導体レー
ザに印加しているから、駆動用パルス電流の立ち上がり
時点では既にバイアスがかけられている状態となる。そ
こで、駆動用パルス電流の立ち上がり時間や発振遅延時
間を短くして、パルス応答性を良好に保つことができ
る。
In the method of driving a GaN-based semiconductor laser according to the present invention, the pulse-like bias current is supplied to the semiconductor laser such that the pulse-like bias current lasts at least from the time before the rise of the original driving pulse current to the time of the fall. Since the voltage is applied, a bias is already applied at the time when the driving pulse current rises. Therefore, the rise time and the oscillation delay time of the driving pulse current can be shortened, and the pulse response can be kept good.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図3は、本発明の第1の実
施形態の方法により駆動されるGaN系半導体レーザを備
えた蛍光診断機能付き内視鏡の構成を概略的に示すもの
である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 3 schematically shows the configuration of an endoscope with a fluorescence diagnostic function provided with a GaN-based semiconductor laser driven by the method according to the first embodiment of the present invention.

【0022】図示の通りこの内視鏡は、生体10の内部、
例えば腹腔等に挿入される内視鏡先端部11と、この内視
鏡先端部11に先端部が収められた、例えば石英ガラスフ
ァィバからなるライトガイド12と、このライトガイド12
の先端に取り付けられた照明レンズ13と、内視鏡先端部
11に固定された対物レンズ14と、この対物レンズ14の後
方(図中の右方)位置において内視鏡先端部11の内部に
配されたミラー15と、このミラー15の近傍位置において
内視鏡先端部11の内部に配された画像観察用CCD撮像
素子16とを有している。
As shown in the figure, the endoscope includes an inside of a living body 10,
For example, an endoscope end portion 11 inserted into an abdominal cavity or the like, a light guide 12 made of, for example, quartz glass fiber with the end portion housed in the endoscope end portion 11, and a light guide 12
The illumination lens 13 attached to the tip of the
An objective lens 14 fixed to the objective lens 11, a mirror 15 disposed inside the endoscope distal end portion 11 at a position behind (to the right in the figure) the objective lens 14, and an endoscope at an approximate position near the mirror 15 It has a CCD image pickup device 16 for image observation arranged inside the mirror tip 11.

【0023】上記ライトガイド12は、励起光用ライトガ
イド12aと白色光用ライトガイド12bとがバンドルされ
てなるものである。そして励起光用ライトガイド12aに
は、励起光源20から発せられて集光レンズ21により集光
された励起光L1が入射されるようになっている。また
白色光用ライトガイド12bには、白色光源22から発せら
れて集光レンズ23により集光された白色照明光L2が入
射されるようになっている。
The light guide 12 is formed by bundling a light guide 12a for excitation light and a light guide 12b for white light. The excitation light L1 emitted from the excitation light source 20 and collected by the condenser lens 21 is incident on the excitation light light guide 12a. Further, the white illumination light L2 emitted from the white light source 22 and condensed by the condenser lens 23 is incident on the white light light guide 12b.

【0024】上記励起光源20はGaN系半導体レーザから
なるものであり、この励起光源20の駆動に本発明の方法
が適用される。なお本例における励起光源20は、より詳
しくは、多重量子井戸構造を有するInGaN半導体レーザ
である。
The excitation light source 20 is composed of a GaN-based semiconductor laser, and the method of the present invention is applied to drive the excitation light source 20. The pump light source 20 in this example is, more specifically, an InGaN semiconductor laser having a multiple quantum well structure.

【0025】この励起光源20は、半導体レーザ駆動回路
24が発するパルス電流Epを受けて、パルス状に励起光
L1を発する。またこの励起光源20には、バイアス印加
回路25が発するバルス状のバイアス電流Ebが印加され
る。半導体レーザ駆動回路24およびバイアス印加回路25
の動作は、コントローラ26によって制御される。上記パ
ルス電流Epおよびバイアス電流Ebについては、後に
詳しく説明する。なお白色光源22も、コントローラ26に
よって作動制御される駆動回路(図示せず)からバルス
状の駆動電流を受けて駆動する。
The excitation light source 20 is a semiconductor laser driving circuit.
Receiving the pulse current Ep generated by 24, it emits the excitation light L1 in a pulsed manner. Further, a pulsed bias current Eb generated by a bias applying circuit 25 is applied to the excitation light source 20. Semiconductor laser drive circuit 24 and bias application circuit 25
Is controlled by the controller 26. The pulse current Ep and the bias current Eb will be described later in detail. The white light source 22 is also driven by receiving a pulse-shaped drive current from a drive circuit (not shown) whose operation is controlled by the controller 26.

【0026】一方画像観察用CCD撮像素子16は読取回
路27に接続され、この読取回路27が出力する画像信号S
pは、例えばCRT表示装置等の表示手段28に入力され
るようになっている。
On the other hand, the CCD image pickup device 16 for image observation is connected to a reading circuit 27, and the image signal S
p is input to a display means 28 such as a CRT display device.

【0027】以下、上記構成の内視鏡を用いた像観察に
ついて、まず通常画像の観察から説明する。通常画像の
観察に際しては白色光源22が駆動され、そこから例えば
(1/60)s周期でパルス状に白色照明光L2が発せら
れる。この白色照明光L2は白色光用ライトガイド12b
を伝搬して、生体10の内部の観察部位30に照射される。
観察部位30で反射した白色照明光L2は対物レンズ14で
集光され、ミラー15で反射してCCD撮像素子16に導か
れる。それにより、この白色照明光L2による観察部位
30の画像(通常画像)がCCD撮像素子16によって撮像
される。
Hereinafter, the image observation using the endoscope having the above-described configuration will be described first, from the observation of a normal image. When observing a normal image, the white light source 22 is driven, and white illumination light L2 is emitted therefrom in, for example, a (1/60) s cycle in a pulsed manner. This white illumination light L2 is a light guide 12b for white light.
To irradiate the observation site 30 inside the living body 10.
The white illumination light L2 reflected at the observation site 30 is collected by the objective lens 14, reflected by the mirror 15, and guided to the CCD image pickup device 16. Thereby, the observation site by the white illumination light L2
Thirty images (normal images) are captured by the CCD image sensor 16.

【0028】CCD撮像素子16の出力信号Sは読取回路
27に入力され、そこで例えば増幅、画像処理等の処理を
受ける。この読取回路27が出力する画像信号Spは表示
手段28に入力され、該表示手段28において観察部位30の
通常画像が表示される。
The output signal S of the CCD 16 is read by a reading circuit.
27, where it undergoes processing such as amplification and image processing. The image signal Sp output from the reading circuit 27 is input to the display unit 28, and the display unit 28 displays a normal image of the observation region 30.

【0029】次に、蛍光画像の観察について説明する。
蛍光画像の観察に際しては励起光源20が駆動され、そこ
からパルス状に励起光L1が発せられる。この励起光L
1は波長が400〜410nm程度のものであり、励起光用ラ
イトガイド12aを伝搬して生体10の内部の観察部位30に
照射される。観察部位30には予め、例えば腫瘍親和性の
ある光感受性物質が投与されている。この光感受性物質
は、上記波長領域にある励起光L1により励起されて蛍
光L3を発する。
Next, observation of a fluorescent image will be described.
When observing the fluorescent image, the excitation light source 20 is driven, and the excitation light L1 is emitted in a pulse form therefrom. This excitation light L
Numeral 1 has a wavelength of about 400 to 410 nm, and propagates through the excitation light guide 12a to irradiate an observation site 30 inside the living body 10. For example, a photosensitizer having tumor affinity is previously administered to the observation site 30. The photosensitizer is excited by the excitation light L1 in the above-mentioned wavelength region and emits fluorescence L3.

【0030】この蛍光L3は対物レンズ14で集光され、
ミラー15で反射してCCD撮像素子16に導かれる。それ
により、この励起光L1による観察部位30の画像(蛍光
画像)がCCD撮像素子16によって撮像される。そして
通常画像観察の場合と同様に、このCCD撮像素子16の
出力信号Sに基づいて、表示手段28において観察部位30
の蛍光画像が表示される。なお本実施形態では表示手段
28において、この蛍光画像と前述した通常画像とが、画
面の半分ずつに同時表示される。
This fluorescent light L3 is collected by the objective lens 14,
The light is reflected by the mirror 15 and guided to the CCD image pickup device 16. As a result, an image (fluorescence image) of the observation site 30 by the excitation light L1 is captured by the CCD imaging device 16. Then, as in the case of normal image observation, based on the output signal S of the CCD image pickup device 16, an observation region 30 is displayed on the display means 28.
Are displayed. In this embodiment, the display means
At 28, the fluorescent image and the above-described normal image are simultaneously displayed on each half of the screen.

【0031】次に図4を参照して、励起光源20および白
色光源22の駆動電流波形と、CCD撮像素子16の信号転
送タイミング等について詳しく説明する。同図の(1)、
(2)、(3)および(4)はそれぞれ、白色光源22の駆動電流
波形、励起光源20の駆動電流波形、CCD撮像素子16の
通常画像に関する信号転送タイミング、および同素子16
の蛍光画像に関する信号転送タイミングを示している。
Next, referring to FIG. 4, the drive current waveforms of the excitation light source 20 and the white light source 22 and the signal transfer timing of the CCD 16 will be described in detail. (1) in the figure,
(2), (3) and (4) respectively show the drive current waveform of the white light source 22, the drive current waveform of the excitation light source 20, the signal transfer timing for the normal image of the CCD image pickup device 16, and the same.
5 shows the signal transfer timing for the fluorescent image.

【0032】なお図5には、従来なされていたDCバイア
ス電流を印加する場合について、同様に(1)、(2)、(3)
および(4)にそれぞれ、白色光源22の駆動電流波形、励
起光源20の駆動電流波形、CCD撮像素子16の通常画像
に関する信号転送タイミング、および同素子16の蛍光画
像に関する信号転送タイミングを示す。
FIG. 5 shows a case where a conventional DC bias current is applied, in the same manner as in (1), (2) and (3).
And (4) respectively show the drive current waveform of the white light source 22, the drive current waveform of the excitation light source 20, the signal transfer timing of the CCD image sensor 16 for the normal image, and the signal transfer timing of the CCD image sensor 16 for the fluorescent image.

【0033】図4に示す通り本実施形態では通常画像お
よび蛍光画像が各々、例えば撮像周波数をビデオレート
の60Hzとして、つまり(1/60)s周期で撮像され
る。そして、この(1/60)sの間に、通常画像の撮像
および蛍光画像の撮像が1回ずつなされる。なおCCD
撮像素子16の出力信号は1フィールド遅れて転送される
ため、白色照明光L2の照射と通常画像に関する信号転
送とは1フィールド分ずれている。これは、励起光L1
の照射と蛍光画像に関する信号転送とに関しても同様で
ある。
As shown in FIG. 4, in the present embodiment, each of the normal image and the fluorescent image is imaged at an imaging frequency of 60 Hz of the video rate, that is, at a period of (1/60) s. Then, during this (1/60) s, the imaging of the normal image and the imaging of the fluorescence image are performed once. In addition, CCD
Since the output signal of the image sensor 16 is transferred with a delay of one field, the irradiation of the white illumination light L2 and the signal transfer for the normal image are shifted by one field. This is the excitation light L1
The same applies to the illumination and the signal transfer for the fluorescent image.

【0034】本実施形態では、励起光源20の駆動電流波
形は図4の(2)に示す通りとなっている。すなわち、本
来励起光源20を駆動するためのパルス電流Epと、図中
に斜線を付して示すパルス状のバイアス電流Ebとが重
畳されて、InGaN半導体レーザからなる励起光源20に印
加される。なお本例のバイアス電流Ebは、パルス電流
Epの立ち上がり時点よりも前の時点(例えば0.01〜1
s程度前)から立ち下がり時点まで続くパルス状とさ
れ、パルス電流Epと同期させて励起光源20に印加され
る。
In this embodiment, the drive current waveform of the excitation light source 20 is as shown in FIG. That is, the pulse current Ep for originally driving the excitation light source 20 and the pulsed bias current Eb indicated by hatching in the figure are superimposed and applied to the excitation light source 20 made of an InGaN semiconductor laser. Note that the bias current Eb in this example is a point in time before the rising point of the pulse current Ep (for example, 0.01 to 1).
The pulse is applied to the excitation light source 20 in synchronism with the pulse current Ep from the pulse shape (approximately s before) to the falling point.

【0035】従来なされていたDCバイアス電流の印加を
採用する場合、励起光源20の駆動電流波形は図5の(2)
に示す通りとなる。そのようになっていると、白色照明
光L2が観察部位30に照射される期間においても、励起
光源20にバイアス電流が印加され続け、波長400〜410n
m程度の励起光L1が観察部位30に照射されてしまう。
先に述べたGaN系の半導体レーザ特有の事情により、た
とえバイアス電流が発振閾値未満であってこの励起光L
1がEL光(自然発光光)であったとしても、それはかな
り高強度の背景光となるので、通常画像の色再現性を劣
化させる等の不具合を招いてしまう。
When the application of the DC bias current, which has been conventionally performed, is adopted, the driving current waveform of the excitation light source 20 is shown in FIG.
It is as shown in. In such a case, the bias current is continuously applied to the excitation light source 20 even during the period in which the white illumination light L2 is irradiated on the observation site 30, and the wavelength of 400 to 410 n
The observation light 30 is irradiated with the excitation light L1 of about m.
Due to the above-described circumstances peculiar to the GaN-based semiconductor laser, even if the bias current is less than the oscillation threshold and the pump light L
Even if 1 is EL light (natural light emission), it becomes background light of considerably high intensity, which causes problems such as deterioration of color reproducibility of a normal image.

【0036】それに対して本実施形態では、バイアス電
流Ebを上述の通りパルス状としているので、本来の駆
動用パルス電流Epが加えられていない期間にバイアス
電流Ebによって生じるEL光を低減することができる。
そこで、励起光L1を照射していないときの背景光を低
減して、通常画像の色再現性を劣化させる等の問題を防
止し、試料観察の信頼性を高めることができる。
On the other hand, in the present embodiment, since the bias current Eb is pulsed as described above, it is possible to reduce the EL light generated by the bias current Eb during the period when the original driving pulse current Ep is not applied. it can.
Therefore, it is possible to reduce the background light when the excitation light L1 is not irradiated, prevent problems such as deterioration of color reproducibility of a normal image, and improve reliability of sample observation.

【0037】また上記パルス状のバイアス電流Ebは、
駆動用パルス電流Epの立ち上がり時点よりも前の時点
から立ち下がり時点まで続く波形とされているから、駆
動用パルス電流Epの立ち上がり時点では既にバイアス
がかけられている状態となる。それにより、駆動用パル
ス電流Epの立ち上がり時間あるいは発振遅延時間を短
くして、パルス応答性を良好に保つことができる。
The pulsed bias current Eb is:
Since the waveform has a waveform that continues from the time before the rising time of the driving pulse current Ep to the falling time, a bias is already applied at the time of the rising of the driving pulse current Ep. As a result, the rising time or the oscillation delay time of the driving pulse current Ep can be shortened, and the pulse responsiveness can be kept good.

【0038】なお本実施形態におけるバイアス電流Eb
は、駆動用パルス電流Epの立ち下がり時点まで続く波
形とされているが、この立ち下がり時点よりも多少後の
時点まで続く波形とされても構わない。
The bias current Eb in this embodiment is
Is a waveform that lasts until the falling point of the driving pulse current Ep, but it may be a waveform that continues to a point slightly later than this falling point.

【0039】次に、図6および図7を参照して本発明の
第2の実施形態について説明する。なおこの図6におい
て、図3中の要素と同等の要素には同番号を付してあ
り、それらについては特に必要の無い限り説明を省略す
る。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 6, the same elements as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted unless otherwise necessary.

【0040】図6は、本発明の第2の実施形態の方法に
より駆動されるGaN系半導体レーザを備えた蛍光診断機
能付き内視鏡の構成を概略的に示すものである。この内
視鏡は図3のものと比較すると、通常画像を撮像するた
めの構成とは別に、蛍光画像を撮像するための構成が独
立して設けられている点が異なる。
FIG. 6 schematically shows the configuration of an endoscope with a fluorescence diagnostic function provided with a GaN-based semiconductor laser driven by the method according to the second embodiment of the present invention. This endoscope differs from the endoscope shown in FIG. 3 in that a configuration for capturing a fluorescent image is provided independently of a configuration for capturing a normal image.

【0041】すなわち内視鏡先端部11には、蛍光画像イ
メージファイバ40の先端部が収められ、蛍光画像用対物
レンズ41で集光された蛍光L3による画像(蛍光画像)
がこのイメージファイバ40を介して伝達される。そして
この蛍光画像は、励起光カットフィルタ45を介して結像
レンズ42によりの上に結像され、該CCD撮像素子43に
よって撮像される。このCCD撮像素子43の出力信号S
2は読取回路44に入力され、読取回路44が出力する画像
信号Sqは表示手段28に入力されて蛍光画像の表示に供
される。
That is, the distal end portion 11 of the endoscope accommodates the distal end portion of the fluorescent image fiber 40, and the image (fluorescent image) by the fluorescent light L3 collected by the fluorescent image objective lens 41.
Is transmitted through the image fiber 40. The fluorescent image is formed on the imaging lens 42 via the excitation light cut filter 45, and is captured by the CCD image sensor 43. The output signal S of the CCD image sensor 43
2 is input to the reading circuit 44, and the image signal Sq output from the reading circuit 44 is input to the display means 28 to be used for displaying a fluorescent image.

【0042】この第2の実施形態においては、微弱な蛍
光L3による蛍光画像を、励起光カットフィルタ45と高
感度CCD撮像素子43との作用により高感度で撮像する
ことができる。なおこの場合、別のCCD撮像素子16は
通常画像の撮像専用に用いられる。
In the second embodiment, a fluorescent image by the weak fluorescent light L3 can be captured with high sensitivity by the action of the excitation light cut filter 45 and the high-sensitivity CCD image sensor 43. In this case, another CCD imaging device 16 is used exclusively for capturing a normal image.

【0043】図7の(1)および(2)はそれぞれ、本実施形
態における励起光源駆動電流と、蛍光画像用高感度CC
D撮像素子43の画像信号転送のタイムチャートである。
この例では、蛍光L3が発生してから画像信号を転送す
るまでの時間を短くするため、ビデオ信号のブランク時
間にパルス状の励起光L1を照射して、直ぐ次のフィー
ルドで画像信号を転送している。このような時間短縮に
より、バックグラウンドとしてのダークノイズが低減で
きるので、蛍光画像のS/Nを高めることが可能であ
る。
FIGS. 7A and 7B respectively show the excitation light source driving current and the high sensitivity CC for the fluorescence image in this embodiment.
6 is a time chart of image signal transfer of a D imaging element 43.
In this example, in order to shorten the time from the generation of the fluorescent light L3 to the transfer of the image signal, a pulse-like excitation light L1 is irradiated during the blank time of the video signal, and the image signal is transferred immediately in the next field. are doing. Such a reduction in time can reduce dark noise as a background, so that the S / N of the fluorescent image can be increased.

【0044】励起光源20には、数ms程度のパルス幅の
駆動用パルス電流Epを印加して励起光L1を発生させ
るが、この駆動用パルス電流Epの立ち上がり時点より
20μs〜0.1ms程度前からパルス状バイアス電流Eb
を印加する。このように比較的短いパルス幅のバイアス
電流Ebを用いた場合においても、発振遅延をなくして
急峻なパルス励起を行なうことが可能となった。
A driving pulse current Ep having a pulse width of about several milliseconds is applied to the excitation light source 20 to generate the excitation light L1, and from the rising point of the driving pulse current Ep.
A pulse-like bias current Eb from about 20 μs to 0.1 ms before
Is applied. Thus, even when the bias current Eb having a relatively short pulse width is used, it is possible to perform steep pulse excitation without oscillation delay.

【0045】なおここでは、蛍光画像のみ取得するモー
ドで短パルスのバイアス電流Ebを用いた例を示してい
るが、適宜白色光照明により通常画像を取得するモード
に切り替えるモード、あるいは交互に蛍光画像と通常画
像とを取得する動作モードを採用しても構わない。
Here, an example in which a short-pulse bias current Eb is used in a mode in which only a fluorescent image is obtained is shown. And an operation mode for acquiring a normal image.

【0046】次に、図8を参照して本発明の第3の実施
形態について説明する。図8は、この第3の実施形態に
適用された励起光駆動電流の波形を示すタイムチャート
である。本例ではGaN系半導体レーザが、パルス強度変
調された駆動電流を受けて駆動する。これは、画像露光
等の応用において、GaN系半導体レーザが発するパルス
光の強度を変調して露光量を制御する場合等に適用され
る方式である。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a time chart showing the waveform of the excitation light drive current applied to the third embodiment. In this example, the GaN-based semiconductor laser is driven by receiving a drive current modulated by pulse intensity. This is a method applied to the case of controlling the exposure amount by modulating the intensity of pulse light emitted from a GaN-based semiconductor laser in applications such as image exposure.

【0047】例えば周波数10MHz、デューティ10%の
パルス電流変調では、パルス幅が10nsとなる。これに
対して、駆動用パルス電流Epの立ち上がり時点より15
ns程度手前からパルス状バイアス電流Ebを印加する
ことにより、良好なパルス応答を実現すると同時に、バ
イアス電流での発光による最小露光量の増大を防止し
て、露光量のダイナミックレンジを大きくすることが可
能になる。
For example, in pulse current modulation with a frequency of 10 MHz and a duty of 10%, the pulse width is 10 ns. On the other hand, from the rising point of the driving pulse current Ep, 15
By applying the pulsed bias current Eb about ns before, a good pulse response can be realized, and at the same time, the minimum exposure amount due to light emission by the bias current can be prevented from increasing and the dynamic range of the exposure amount can be increased. Will be possible.

【0048】次に、図9を参照して本発明の第4の実施
形態について説明する。図9は、この第4の実施形態に
適用された励起光駆動電流の波形を示すタイムチャート
である。本例ではGaN系半導体レーザが、パルス幅変調
された駆動電流を受けて駆動する。これは、画像露光等
の応用において、GaN系半導体レーザが発するパルス光
の幅を変調して露光量を制御する場合等に適用される方
式である。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a time chart showing the waveform of the excitation light drive current applied to the fourth embodiment. In this example, the GaN-based semiconductor laser is driven by receiving a drive current whose pulse width is modulated. This is a method applied to a case where the exposure amount is controlled by modulating the width of a pulse light emitted from a GaN-based semiconductor laser in applications such as image exposure.

【0049】例えば1MHz変調時、パルス幅の変調レ
ンジを1%から90%とすると、パルス幅は10nsから90
0nsとなる。これに対して、駆動用パルス電流Epの
立ち上がり時点より10ns程度手前からパルス状バイア
ス電流Ebを印加することにより、良好なパルス応答を
実現すると同時に、バイアス電流での発光による最小露
光量の増大を防止して、露光量のダイナミックレンジを
大きくすることが可能になる。
For example, when the modulation range of the pulse width is 1% to 90% at the time of 1 MHz modulation, the pulse width is 10 ns to 90%.
0 ns. On the other hand, by applying the pulsed bias current Eb about 10 ns before the rising point of the driving pulse current Ep, a good pulse response is realized, and at the same time, the minimum exposure amount due to light emission by the bias current is increased. By doing so, the dynamic range of the exposure amount can be increased.

【0050】次に、図10を参照して本発明の第5の実
施形態について説明する。図10は、この第5の実施形
態に適用された励起光駆動電流の波形を示すタイムチャ
ートである。本例では、三角波状のパルス状バイアス電
流Ebが採用されている。
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a time chart showing the waveform of the excitation light drive current applied to the fifth embodiment. In this example, a triangular pulsed bias current Eb is employed.

【0051】次に、図11を参照して本発明の第6の実
施形態について説明する。図11は、この第6の実施形
態に適用された励起光駆動電流の波形を示すタイムチャ
ートである。本例では、正弦波状のパルス状バイアス電
流Ebが採用されている。
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a time chart showing the waveform of the excitation light drive current applied to the sixth embodiment. In this example, a sinusoidal pulsed bias current Eb is employed.

【0052】以上の2つの実施形態で示される通り、本
発明では矩形波以外の波形のパルス状バイアス電流を適
用することも可能である。そのようにする場合は、バイ
アス電流印加用に矩形波発生回路よりも簡便な回路を採
用して、コストダウンを実現できる。
As shown in the above two embodiments, in the present invention, a pulsed bias current having a waveform other than a rectangular wave can be applied. In such a case, a circuit simpler than the rectangular wave generating circuit for applying the bias current can be employed to reduce the cost.

【0053】また本発明は、前述したパルス強度変調や
パルス幅変調を行なう場合に限らず、パルス位置(位
相)を変えて変調する等、その他のパルス変調方式を採
用する場合にも同様に適用可能である。さらに本発明
は、例えばパルス強度変調とパルス幅変調とを組み合わ
せて、より高階調の画像露光を行なう場合等にも同様に
適用可能である。
The present invention is not limited to the case where the pulse intensity modulation and the pulse width modulation are performed, but is similarly applied to the case where other pulse modulation methods such as modulation by changing the pulse position (phase) are employed. It is possible. Further, the present invention can be similarly applied to, for example, a case where a higher gradation image exposure is performed by combining pulse intensity modulation and pulse width modulation.

【0054】さらに本発明によるGaN系半導体レーザの
駆動方法は、蛍光内視鏡において励起光源として用いら
れるGaN系半導体レーザに限らず、光記録や光情報伝送
などの種々のシステムで使用されるGaN系半導体レーザ
に対しても同様に適用することができる。
The method of driving a GaN-based semiconductor laser according to the present invention is not limited to a GaN-based semiconductor laser used as an excitation light source in a fluorescent endoscope, but may be used in various systems such as optical recording and optical information transmission. The same can be applied to a system semiconductor laser.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】GaN系半導体レーザの駆動電流対光出力特性の
一例を示すグラフ
FIG. 1 is a graph showing an example of a driving current versus optical output characteristic of a GaN-based semiconductor laser.

【図2】GaN系半導体レーザのパルス駆動電流に対する
光出力応答の、DCバイアス依存性を示す説明図
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a DC bias dependence of an optical output response to a pulse drive current of a GaN-based semiconductor laser.

【図3】本発明の第1の実施形態の方法が適用された蛍
光診断機能付き内視鏡の先端部の模式図
FIG. 3 is a schematic view of a distal end portion of an endoscope with a fluorescence diagnostic function to which the method according to the first embodiment of the present invention is applied.

【図4】上記第1の実施形態における半導体レーザ駆動
電流波形と、それに関連する駆動信号の関係を示すタイ
ムチャート
FIG. 4 is a time chart showing a relationship between a semiconductor laser drive current waveform and a drive signal related thereto according to the first embodiment.

【図5】従来装置における半導体レーザ駆動電流波形
と、それに関連する駆動信号の関係を示すタイムチャー
FIG. 5 is a time chart showing a relationship between a semiconductor laser drive current waveform and a related drive signal in a conventional device.

【図6】本発明の第2の実施形態の方法が適用された蛍
光診断機能付き内視鏡の先端部の模式図
FIG. 6 is a schematic diagram of a distal end portion of an endoscope with a fluorescence diagnostic function to which the method according to the second embodiment of the present invention is applied.

【図7】上記第2の実施形態における励起光源の駆動電
流波形と、撮像素子からの蛍光画像信号の転送との関係
を示すタイムチャート
FIG. 7 is a time chart showing a relationship between a drive current waveform of an excitation light source and transfer of a fluorescent image signal from an image sensor in the second embodiment.

【図8】本発明の第3の実施形態における半導体レーザ
駆動電流波形を示すタイムチャート
FIG. 8 is a time chart showing a semiconductor laser driving current waveform according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第4の実施形態における半導体レーザ
駆動電流波形を示すタイムチャート
FIG. 9 is a time chart showing a semiconductor laser driving current waveform according to a fourth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第5の実施形態における半導体レー
ザ駆動電流波形を示すタイムチャート
FIG. 10 is a time chart showing a semiconductor laser driving current waveform according to a fifth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第6の実施形態における半導体レー
ザ駆動電流波形を示すタイムチャート
FIG. 11 is a time chart showing a semiconductor laser driving current waveform according to a sixth embodiment of the present invention.

【符号の説明】 11 内視鏡先端部 12 ライトガイド 13 照明レンズ 14 対物レンズ 15 ミラー 16 画像観察用CCD撮像素子 20 励起光源 21、23 集光レンズ 22 白色光源 24 半導体レーザ駆動回路 25 バイアス印加回路 26 コントローラ 27 読取回路 28 表示手段 30 観察部位 40 蛍光画像イメージファイバ 41 蛍光画像用対物レンズ 42 結像レンズ 43 蛍光画像用高感度CCD撮像素子 44 読取回路 45 励起光カットフィルタ L1 励起光 L2 白色照明光 L3 蛍光[Description of Signs] 11 Endoscope tip 12 Light guide 13 Illumination lens 14 Objective lens 15 Mirror 16 CCD image sensor for image observation 20 Excitation light source 21, 23 Condensing lens 22 White light source 24 Semiconductor laser drive circuit 25 Bias application circuit 26 Controller 27 Readout circuit 28 Display means 30 Observation site 40 Fluorescent image image fiber 41 Fluorescent image objective lens 42 Imaging lens 43 High-sensitivity CCD image sensor for fluorescent image 44 Reading circuit 45 Excitation light cut filter L1 Excitation light L2 White illumination light L3 fluorescence

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 GaN系半導体レーザをパルス電流により
駆動する際に、少なくとも該パルス電流の立ち上がり時
点よりも前の時点から立ち下がり時点まで続くパルス状
のバイアス電流を、このパルス電流と同期させて該半導
体レーザに印加することを特徴とするGaN系半導体レー
ザの駆動方法。
When a GaN-based semiconductor laser is driven by a pulse current, a pulse-like bias current that lasts at least from a point in time prior to a rising point of the pulse current to a point in time of falling is synchronized with the pulse current. A method for driving a GaN-based semiconductor laser, wherein the method is applied to the semiconductor laser.
【請求項2】 前記パルス状のバイアス電流が、矩形
波、三角波あるいは正弦波であることを特徴とする請求
項1記載のGaN系半導体レーザの駆動方法。
2. The method of driving a GaN-based semiconductor laser according to claim 1, wherein the pulsed bias current is a rectangular wave, a triangular wave, or a sine wave.
【請求項3】 前記GaN系半導体レーザを駆動するパル
ス電流を、パルス強度変調、パルス幅変調およびパルス
位相変調のうちの少なくとも1つ方式で変調することを
特徴とする請求項1または2記載のGaN系半導体レーザ
の駆動方法。
3. The method according to claim 1, wherein the pulse current for driving the GaN-based semiconductor laser is modulated by at least one of pulse intensity modulation, pulse width modulation and pulse phase modulation. A method for driving a GaN-based semiconductor laser.
【請求項4】 請求項1から3いずれか1項記載の方法
によりGaN系半導体レーザを駆動する構成を有するGaN系
半導体レーザの駆動装置。
4. A driving device for a GaN-based semiconductor laser having a configuration for driving a GaN-based semiconductor laser by the method according to claim 1.
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