JP2001256679A - Method for forming sample for observing information recording layer of optical recording medium and sample for the observing information recording layer of optical recording medium - Google Patents

Method for forming sample for observing information recording layer of optical recording medium and sample for the observing information recording layer of optical recording medium

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JP2001256679A
JP2001256679A JP2000069971A JP2000069971A JP2001256679A JP 2001256679 A JP2001256679 A JP 2001256679A JP 2000069971 A JP2000069971 A JP 2000069971A JP 2000069971 A JP2000069971 A JP 2000069971A JP 2001256679 A JP2001256679 A JP 2001256679A
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JP
Japan
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information recording
recording layer
organic solvent
resin
optical
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Application number
JP2000069971A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Tsujita
公二 辻田
Katsunori Oshima
克則 大嶋
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Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To observe pits and a rugged recording mark which are recorded in an optical recording medium. SOLUTION: A glass substrate 41, insoluble in an organic solvent (dichloromethane) 43, is bonded to the information recording layer side of a resin substrate 11, (21), (31) with an information recording layer formed on one face, by using an adhesive (epoxy resin) 42 insoluble in the organic solvent 43, and the resin substrate is made to dissolve in the organic solvent to expose the information recording layer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク、光磁
気ディスク、光カード等の光記録媒体の情報記録層に記
録された凹凸状のピットあるいは記録マークなどを観察
するめの試料を作成する光記録媒体の情報記録層観察用
試料作成方法及び光記録媒体の情報記録層観察用試料に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording apparatus for producing a sample for observing uneven pits or recording marks recorded on an information recording layer of an optical recording medium such as an optical disk, a magneto-optical disk, an optical card and the like. The present invention relates to a method for preparing a sample for observing an information recording layer of a medium and a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、画像情報とか音声情報などを高密
度に記録するために、ディスク状またはカード状に形成
した光記録媒体がある。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been an optical recording medium formed in a disk shape or a card shape in order to record image information or audio information at a high density.

【0003】とくに、ディスク状の光記録媒体には、C
D(コンパクトディスク)などに代表される再生専用型
光ディスクと、書き換え可能なPC(相変化)型光ディ
スクと、書き換え可能なMO(光磁気)型光ディスクと
があり、これらの光ディスクに用いられる半導体レーザ
の短波長化、光ピックアップの高性能化などの技術改善
により日進月歩でより高密度化が進んでおり、このよう
な高密度化により光記録媒体に記録されている微細な凹
凸状のピットや記録マークもより小さくなっている。そ
して、より高密度により小さくピットや記録マークを記
録できる光記録媒体を開発するためには、記録されたピ
ットや記録マークの寸法形状を正確に観察することか必
要不可欠となっている。
In particular, a disk-shaped optical recording medium includes C
There are a read-only optical disk represented by D (compact disk), a rewritable PC (phase change) optical disk, and a rewritable MO (magneto-optical) optical disk, and a semiconductor laser used for these optical disks. Due to technological improvements such as shorter wavelengths and higher performance of optical pickups, higher densities are progressing rapidly, and fine irregular pits and recordings recorded on optical recording media due to such high densities are increasing. The mark is also smaller. In order to develop an optical recording medium capable of recording smaller pits and recording marks with higher density, it is essential to accurately observe the dimensions and shapes of the recorded pits and recording marks.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、光記録媒体
に記録された凹凸状のピットや記録マークが小さくなれ
ばなるほどその形状を観察することは難しくなる。
By the way, the smaller the uneven pits and recording marks recorded on the optical recording medium, the more difficult it is to observe the shape.

【0005】そこで、従来から、光記録媒体に記録され
たピットや記録マークを観察する一例の方法としては図
7に示したように、光学顕微鏡で観察する方法がある。
Therefore, as an example of a conventional method of observing pits and recording marks recorded on an optical recording medium, there is a method of observing with an optical microscope as shown in FIG.

【0006】図7に示した如く、CDなどの再生専用型
光ディスクでは樹脂透明基板1の一方の面1aに記録情
報として凹凸状のピット(図示せず)が形成され、ま
た、PC(相変化)型光ディスクでは樹脂透明基板1の
一方の面1aに記録層2が膜付けされてこの記録層2に
記録情報として記録マークが記録されており、更に、凹
凸状のピット(図示せず)又は記録層2上にアルミなど
の反射層3と保護層4とが順次膜付けされている。
As shown in FIG. 7, in a read-only optical disk such as a CD, uneven pits (not shown) are formed as recording information on one surface 1a of a resin transparent substrate 1, and a PC (phase change) is formed. In the type) optical disk, a recording layer 2 is formed on one surface 1a of the resin transparent substrate 1 and a recording mark is recorded on the recording layer 2 as recording information. On the recording layer 2, a reflective layer 3 of aluminum or the like and a protective layer 4 are sequentially formed.

【0007】そして、樹脂透明基板1の他方の面1b側
から再生専用型光ディスクの凹凸状のピット(図示せ
ず)又はPC(相変化)型光ディスクの記録マークを光
学顕微鏡で観察している。しかしながらCDなどの再生
専用型光ディスクやPC(相変化)型光ディスクなどを
樹脂透明基板1を通して、光学顕微鏡で観察すると屈折
率の高い樹脂透明基板1の厚みが0.6〜1.2mmも
あり、観察される再生専用型光ディスクの凹凸状のピッ
ト(図示せず)又は相変化型光ディスクの記録マークは
ぼやけてしまい寸法形状を正確に観察することができな
かった。
[0007] From the other surface 1b side of the resin transparent substrate 1, uneven pits (not shown) of the read-only optical disk or recording marks of the PC (phase change) optical disk are observed with an optical microscope. However, when a read-only optical disc such as a CD or a PC (phase change) optical disc is observed through an optical microscope through a resin transparent substrate 1, the resin transparent substrate 1 having a high refractive index has a thickness of 0.6 to 1.2 mm. The uneven pits (not shown) of the read-only optical disk or the recording marks of the phase-change optical disk were blurred, and the dimensions and shape could not be observed accurately.

【0008】また、従来から、光記録媒体に記録された
凹凸状のピットや記録マークを観察する他例の方法とし
ては図8に示したように、樹脂透明基板1の一方の面に
形成した記録層2側にある保護層や反射層を除去して観
察する方法もあり、この場合にはアルミなどの反射層3
を酸または塩基性溶液で除去して記録層2のマークを観
察する方法もあるが、PC(相変化)型光ディスクの場
合には記録マークが微細な凹凸ではなく、結晶−非結晶
による反射率の変化を利用しているため、結晶−非結晶
による反射率の変化(コントラスト)が小さくなり、し
かも反射層が除去されているため記録マークが強調され
ず、記録マークを鮮明に観察することができないという
問題点があった。
Another conventional method for observing uneven pits or recording marks recorded on an optical recording medium is to form the pits on one surface of a resin transparent substrate 1 as shown in FIG. There is also a method in which the protective layer and the reflective layer on the recording layer 2 side are removed and observation is performed.
There is a method of observing the marks on the recording layer 2 by removing the mark with an acid or basic solution. However, in the case of a PC (phase change) type optical disk, the recording marks are not fine irregularities but reflectivity due to crystal-amorphous state. , The change in the reflectance (contrast) due to the crystal-amorphous state is small, and the recording mark is not emphasized because the reflection layer is removed, so that the recording mark can be clearly observed. There was a problem that it was not possible.

【0009】また、上記のようなPC(相変化)型光デ
ィスクの記録マークを観察する方法としては、従来から
透化型電子顕微鏡(TEM)で観察する方法もあるが、
薄膜試料の作製に熟練を要し、且つ、透化型電子顕が高
価であるため簡便に測定を行うことができない。
As a method of observing a recording mark of a PC (phase change) type optical disk as described above, there is a method of observing with a transmission electron microscope (TEM).
Since the preparation of a thin film sample requires skill and the transmission electron microscope is expensive, it cannot be easily measured.

【0010】更に、MO(光磁気)型光ディスクに記録
された記録マークを磁気力顕微鏡で観察することが最近
行われ始めてきた。光磁気ディスクは通常、同心円ある
いは螺旋状のランド部あるいはグルーブ部に記録情報と
しての記録マークが記録されるが、磁気力顕微鏡で記録
された記録マークを観察するためには、磁気力が距離の
二乗に反比例して弱くなるため、磁気記録層に近接して
測定しなければならない。そのために従来は保護層や金
属反射層を粘着テープ等で剥離して観察する方法が採ら
れてきたが、テープ剥離の場合、どの層で剥離が起こる
かわからず、観察を行いたい記録層も一緒に剥離してし
まう場合があった。
Further, observation of recording marks recorded on an MO (magneto-optical) type optical disk with a magnetic force microscope has recently started to be performed. In a magneto-optical disk, recording marks as recording information are usually recorded on concentric or spiral lands or grooves, but in order to observe the recording marks recorded with a magnetic force microscope, the magnetic force must be reduced to a certain distance. Since it becomes weak in inverse proportion to the square, it must be measured close to the magnetic recording layer. For this reason, conventionally, a method of peeling the protective layer or the metal reflective layer with an adhesive tape or the like and observing it has been adopted, but in the case of tape peeling, it is not known which layer will be peeled off, and the recording layer to be observed may also be In some cases, they peeled off together.

【0011】そこで、光記録媒体の情報記録層に記録さ
れた凹凸状のピットあるいは記録マークを簡便でより正
確に観察できる方法が望まれている。
Therefore, there is a demand for a method that allows simple and more accurate observation of uneven pits or recording marks recorded on an information recording layer of an optical recording medium.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
てなされたものであり、第1の発明は、有機溶剤に可溶
な樹脂基板の一方の面に前記有機溶剤に不溶な情報記録
層を成膜して、この情報記録層に光学記録又光磁気記録
された凹凸状のピット又は記録マークを観察するための
試料を作成する光記録媒体の情報記録層観察用試料作成
方法において、前記樹脂基板の一方の面に成膜した前記
情報記録層側に、前記有機溶剤に不溶な接着剤を用いて
前記有機溶剤に不溶な基板を接着した後、前記樹脂基板
を前記有機溶剤で溶解して前記情報記録層側を露出させ
ることを特徴とする光記録媒体の情報記録層観察用試料
作成方法である。
Means for Solving the Problems The present invention has been made in view of the above problems, and a first invention is to record information insoluble in the organic solvent on one surface of a resin substrate soluble in the organic solvent. In the method for preparing a sample for observation of an information recording layer of an optical recording medium, a layer is formed, and a sample for observing uneven pits or recording marks optically or magneto-optically recorded on the information recording layer is prepared. After bonding the insoluble substrate to the organic solvent using an adhesive insoluble to the organic solvent on the information recording layer side formed on one surface of the resin substrate, the resin substrate is dissolved with the organic solvent. And exposing the information recording layer side to an information recording layer observation sample of an optical recording medium.

【0013】また、上記第1の発明の光記録媒体の情報
記録層観察用試料作成方法は、前記樹脂基板にポリカー
ボネート樹脂又はアクリル樹脂もしくは脂環式ポリオレ
フィン樹脂を用い、且つ、有機溶剤に塩化アルキルまた
はエーテル系もしくは芳香族系を用いたことを特徴とす
るものである。
Further, in the method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the first aspect of the present invention, the resin substrate is made of a polycarbonate resin or an acrylic resin or an alicyclic polyolefin resin, and the organic solvent is an alkyl chloride. Alternatively, an ether type or an aromatic type is used.

【0014】また、第2の発明は、有機溶剤に可溶な樹
脂基板の一方の面に前記有機溶剤に不溶な情報記録層を
成膜して、この情報記録層に光学記録又光磁気記録され
た凹凸状のピット又は記録マークを観察するために作成
した光記録媒体の情報記録層観察用試料において、前記
樹脂基板の一方の面に成膜した前記情報記録層側に、前
記有機溶剤に不溶な接着剤を用いて前記有機溶剤に不溶
な基板を接着した後、前記樹脂基板を有機溶剤で溶解し
て前記情報記録層側を露出させたことを特徴とする光記
録媒体の情報記録層観察用試料である。
According to a second aspect of the present invention, an information recording layer insoluble in the organic solvent is formed on one surface of a resin substrate soluble in an organic solvent, and optical recording or magneto-optical recording is performed on the information recording layer. In the information recording layer observation sample of the optical recording medium created for observing the formed uneven pits or recording marks, on the side of the information recording layer formed on one surface of the resin substrate, the organic solvent The information recording layer of the optical recording medium, wherein after bonding the substrate insoluble in the organic solvent using an insoluble adhesive, dissolving the resin substrate with the organic solvent and exposing the information recording layer side. This is an observation sample.

【0015】また、上記第2の発明の光記録媒体の情報
記録層観察用試料は、前記樹脂基板にポリカーボネート
樹脂又はアクリル樹脂もしくは脂環式ポリオレフィン樹
脂を用い、且つ、有機溶剤に塩化アルキルまたはエーテ
ル系もしくは芳香族系を用いたことを特徴とするもので
ある。
Further, in the sample for observing an information recording layer of the optical recording medium according to the second invention, the resin substrate is made of a polycarbonate resin, an acrylic resin or an alicyclic polyolefin resin, and an alkyl chloride or ether is used as an organic solvent. Or an aromatic system.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下に本発明に係る光記録媒体の
情報記録層観察用試料作成方法及び光記録媒体の情報記
録層観察用試料の一実施例を図1乃至図6を参照して詳
細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium and a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention will be described below with reference to FIGS. This will be described in detail.

【0017】図1は本発明に係る光記録媒体の情報記録
層観察用試料作成方法及び光記録媒体の情報記録層観察
用試料に適用される各種の光ディスクの構造を説明する
ための図であり、(a)は再生専用型光ディスクを示
し、(b)はPC(相変化)型光ディスクを示し、
(c)はMO(光磁気)型光ディスクを示した図、図2
(a)〜(c)は本発明に係る光記録媒体の情報記録層
観察用試料作成方法を説明するための前工程図、図3
(a),(b)は本発明に係る光記録媒体の情報記録層
観察用試料作成方法及び光記録媒体の情報記録層観察用
試料を説明するための図、図4は本発明に係る光記録媒
体の情報記録層観察用試料を用いて情報記録層を観察す
る状態を示した図、図5(a),(b)は実施例1と比
較例1の光学顕微鏡写真図、図6は実施例2の磁気力顕
微鏡写真図である。
FIG. 1 is a diagram for explaining a method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention and the structure of various optical disks applied to a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium. , (A) shows a read-only optical disk, (b) shows a PC (phase change) optical disk,
FIG. 2C shows an MO (magneto-optical) type optical disk, and FIG.
3 (a) to 3 (c) are front process diagrams for explaining a method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention, and FIG.
FIGS. 4A and 4B are diagrams for explaining a method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium and a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention, and FIG. FIG. 5A and FIG. 5B are diagrams showing a state of observing an information recording layer using a sample for observing an information recording layer of a recording medium, FIGS. 5A and 5B are optical micrographs of Example 1 and Comparative Example 1, and FIG. FIG. 6 is a magnetic force micrograph of Example 2.

【0018】本発明に係る光記録媒体の情報記録層観察
用試料作成方法及び光記録媒体の情報記録層観察用試料
を説明する前に、ここで適用される各種の光ディスクの
構造について図1(a)〜(c)を用いて説明する。
Before describing the method for preparing a sample for observing the information recording layer of the optical recording medium and the sample for observing the information recording layer of the optical recording medium according to the present invention, FIG. This will be described with reference to a) to (c).

【0019】まず、図1(a)に示した如く、再生専用
型光ディスク10は、透明な樹脂基板11の一方の面1
1aに記録情報として微細な凹凸状のピットが螺旋状に
刻まれており、この凹凸状のピットの上にアルミなどの
金属反射層12が成膜され、更に、金属反射層12上に
熱硬化性樹脂による保護層13が成膜されたものであ
る。
First, as shown in FIG. 1A, a read-only optical disk 10 is provided on one surface 1 of a transparent resin substrate 11.
In FIG. 1a, fine uneven pits are spirally engraved as recorded information, and a metal reflective layer 12 of aluminum or the like is formed on the uneven pits. The protective layer 13 made of a conductive resin is formed.

【0020】そして、再生専用型光ディスク10では、
透明な樹脂基板11の他方の面11bからレーザ光を照
射することで、凹凸状のピット転写された状態の金属反
射層12で反射された戻り光を再生しているので、金属
反射層12は情報記録層として成膜されたものである。
In the read-only optical disk 10,
By irradiating a laser beam from the other surface 11b of the transparent resin substrate 11, the return light reflected by the metal reflection layer 12 in a state where the pits are transferred in an uneven shape is reproduced. It was formed as an information recording layer.

【0021】次に、図1(b)に示した如く、PC(相
変化)型光ディスク20は、透明な樹脂基板21の一方
の面21aにランド部とグルーブ部とが交互に螺旋状に
刻まれており、これらのランド部とグルーブ部上に情報
記録層22としてZnS−SiO2からなる第1誘電体
層22aと、Ag,In,Te,Sbの4元合金からな
る記録層22bと、ZnS−SiO2からなる第2誘電
体層22cとが順次成膜され、この情報記録層22上に
Al,Crの2元合金からなる金属反射層23が成膜さ
れ、更に、金属反射層23上に熱硬化性樹脂による保護
層24が成膜されたものである。
Next, as shown in FIG. 1B, the PC (phase change) type optical disk 20 has a land portion and a groove portion which are alternately spirally engraved on one surface 21a of a transparent resin substrate 21. On these lands and grooves, a first dielectric layer 22a made of ZnS-SiO2, a recording layer 22b made of a quaternary alloy of Ag, In, Te, and Sb, and a ZnS A second dielectric layer 22c made of SiO 2 is sequentially formed, a metal reflection layer 23 made of a binary alloy of Al and Cr is formed on the information recording layer 22, and further a metal reflection layer 23 is formed on the metal reflection layer 23. The protective layer 24 made of a thermosetting resin is formed.

【0022】そして、PC(相変化)型光ディスク20
では、透明な樹脂基板21の他方の面21bから記録情
報に基づいて変調したレーザ光をランド部又はグルーブ
部上の情報記録層22に照射することで、情報記録層2
2がレーザ光により結晶状態と非結晶状態とを可逆的に
変化させられることによって記録情報を記録マークの形
態で記録したり、記録済みの記録マークを消去してい
る。この際、非晶質状態から結晶状態への変化、即ち消
去は情報記録層22の結晶化の温度よりは高い温度に情
報記録層22が加熱されることで行われる。さらに、結
晶状態が非晶質状態に比べて光反射度が大きいので情報
記録層22に記録された記録マークを再生することがで
きる。
The PC (phase change) type optical disk 20
Then, by irradiating the laser beam modulated based on the recording information from the other surface 21b of the transparent resin substrate 21 to the information recording layer 22 on the land portion or the groove portion, the information recording layer 2 is formed.
The recording information is recorded in the form of a recording mark or the recorded recording mark is erased by reversibly changing a crystalline state and an amorphous state by a laser beam. At this time, the change from the amorphous state to the crystalline state, that is, erasing, is performed by heating the information recording layer 22 to a temperature higher than the crystallization temperature of the information recording layer 22. Further, since the crystal state has a higher light reflectivity than the amorphous state, the recording marks recorded on the information recording layer 22 can be reproduced.

【0023】次に、図1(c)に示した如く、MO(光
磁気)型光ディスク30は、透明な樹脂基板31の一方
の面31a上にランド部とグルーブ部とが交互に螺旋状
に刻まれており、これらのランド部とグルーブ部上に情
報記録層32としてSiNからなる第1誘電体層32a
と、Tb,Fe,Coの3元合金からなる記録層32b
と、SiNからなる第2誘電体層32cとが順次成膜さ
れ、この情報記録層32上にAlからなる金属反射層3
3が成膜され、更に、金属反射層33上に熱硬化性樹脂
による保護層34が成膜されたものである。
Next, as shown in FIG. 1 (c), the MO (magneto-optical) type optical disk 30 has a land portion and a groove portion which are alternately spirally formed on one surface 31a of a transparent resin substrate 31. A first dielectric layer 32a made of SiN is formed as an information recording layer 32 on these lands and grooves.
And a recording layer 32b made of a ternary alloy of Tb, Fe and Co
And a second dielectric layer 32c made of SiN are sequentially formed, and a metal reflective layer 3 made of Al is formed on the information recording layer 32.
3 is formed, and a protective layer 34 made of a thermosetting resin is further formed on the metal reflection layer 33.

【0024】そして、MO(光磁気)型光ディスク30
では透明な樹脂基板31の他方の面31bからレーザ光
を照射し、レーザ光の照射位置に対応して記録情報に応
じて外部磁界を情報記録層32に印加して記録マークを
記録することで、再生時に記録時よりも弱いレーザ光を
照射して、このレーザ光が金属反射層33で反射された
戻り光が有する記録磁化方向に依存する反射光の偏光角
を検出することで記録マークが再生される。
The MO (magneto-optical) type optical disk 30
Then, a laser beam is irradiated from the other surface 31b of the transparent resin substrate 31, and an external magnetic field is applied to the information recording layer 32 in accordance with the recording information corresponding to the irradiation position of the laser beam to record a recording mark. By irradiating a laser beam that is weaker than at the time of recording at the time of reproduction, and detecting the polarization angle of the reflected light that depends on the recording magnetization direction of the return light reflected by the metal reflection layer 33, the recording mark is formed. Will be played.

【0025】ところで、上記した再生専用型光ディスク
10に用いられる透明な樹脂基板11と、PC(相変
化)型光ディスク20に用いられる透明な樹脂基板21
と、MO(光磁気)型光ディスク30に用いられる透明
な樹脂基板31は、生産性、コストの面から熱可塑性樹
脂を射出成形して円盤状に作られている。例えばもっと
もよく使用されている熱可塑性樹脂としてはポリカーボ
ネート、ポリメチルメタクリレートなどが挙げられる。
The transparent resin substrate 11 used for the read-only optical disk 10 and the transparent resin substrate 21 used for the PC (phase change) optical disk 20
The transparent resin substrate 31 used for the MO (magneto-optical) type optical disk 30 is formed in a disk shape by injection molding a thermoplastic resin in terms of productivity and cost. For example, the most frequently used thermoplastic resins include polycarbonate and polymethyl methacrylate.

【0026】また、熱可塑性樹脂としてはポリカーボネ
ート、ポリメチルメタクリレートだけでなく、ポリスチ
レン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリインデン、ポ
リ(4−メチル−1−ペンテン)、ポリビニルピリジ
ン、ポリビニルホルマール、ポリビニルアセタール、ポ
リビニルブチラール、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアル
コール、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビ
ニルメチルエーテル、ポリビニルエチルエーテル、ポリ
ビニルベンジルエーテル、ポリビニルメチルケトン、ポ
リ(N−ビニルカルバゾール)、ポリ(N−ビニルピロ
リドン)、ポリアクリル酸メチル、ポリアクリル酸エチ
ル、ポリアクリル酸、ポリアクリロニトリル、ポリメタ
クリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチル、ポリメタク
リル酸ブチル、ポリメタクリル酸ベンジル、ポリメタク
リル酸シクロヘキシル、ポリメタクリル酸、ポリメタク
リル酸アミド、ポリメタクリロニトリル、ポリアセトア
ルデヒド、ポリクロラール、ポリエチレンオキシド、ポ
リプロピレンオキシド、ポリエチレンテレフタレート、
ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート類(ビ
スフェノール類+炭酸)、ポリ(ジエチレングリコール
・ビスアルリカーボネート)類、6−ナイロン、6,6
−ナイロン、12−ナイロン、6,12−ナイロン、ポ
リアスパラギン酸エチル、ポリグルタミン酸エチル、ポ
リリジン、ポリプロリン、ポリ(γ−ベンジル−L−グ
ルタメート)、メチルセルロース、エチルセルロース、
ベンジルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒ
ドロキシプロピルセルロース、アセチルセルロース、セ
ルローストリアセテート、セルローストリブチレート、
ポリウレタン樹脂などの樹脂、ポリ(フェニルメチルシ
ラン)などの有機ポリシラン、有機ポリゲルマン、並び
に、これらの共重合体若しくは共重縮合体などをあげる
こともできる。
The thermoplastic resin includes not only polycarbonate and polymethyl methacrylate but also polystyrene, poly (α-methylstyrene), polyindene, poly (4-methyl-1-pentene), polyvinylpyridine, polyvinylformal, and polyvinyl acetal. , Polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl methyl ether, polyvinyl ethyl ether, polyvinyl benzyl ether, polyvinyl methyl ketone, poly (N-vinyl carbazole), poly (N-vinyl pyrrolidone) , Polymethyl acrylate, polyethyl acrylate, polyacrylic acid, polyacrylonitrile, polymethyl methacrylate, polyethyl methacrylate, polybutyl methacrylate, poly Methacrylic acid benzyl, poly cyclohexyl methacrylate, polymethacrylic acid, polymethacrylic acid amides, polymethacrylonitrile polyacrylonitrile, poly acetaldehyde, poly chloral, polyethylene oxide, polypropylene oxide, polyethylene terephthalate,
Polybutylene terephthalate, polycarbonates (bisphenols + carbonic acid), poly (diethylene glycol bisaryl carbonate) s, 6-nylon, 6,6
-Nylon, 12-nylon, 6,12-nylon, polyethyl aspartate, ethyl polyglutamate, polylysine, polyproline, poly (γ-benzyl-L-glutamate), methylcellulose, ethylcellulose,
Benzyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, acetyl cellulose, cellulose triacetate, cellulose tributyrate,
Resins such as polyurethane resins, organic polysilanes such as poly (phenylmethylsilane), organic polygermanes, and copolymers or copolycondensates thereof can also be mentioned.

【0027】上記した再生専用型光ディスク10に用い
られる透明な樹脂基板11と、PC(相変化)型光ディ
スク20に用いられる透明な樹脂基板21と、MO(光
磁気)型光ディスク30に用いられる透明な樹脂基板3
1は、上記のように熱可塑性樹脂を用いており、この種
の熱可塑性樹脂は線状高分子であり架橋していないため
有機溶剤に対して可溶である。そして、この種の有機溶
剤として、例えばジクロロメタン,クロロホルム,四塩
化炭素などの塩化アルキル溶剤、又は、ジエチルエーテ
ル,テトラヒドロフランなどのエーテル系溶剤、もしく
は、ベンゼン,トルエン,キシレンなどの芳香族系溶剤
を用いれば、樹脂基板11,21,31を容易に溶解す
ることが可能である。
The transparent resin substrate 11 used for the read-only optical disk 10, the transparent resin substrate 21 used for the PC (phase change) optical disk 20, and the transparent resin substrate 21 used for the MO (magneto-optical) optical disk 30. Resin substrate 3
No. 1 uses a thermoplastic resin as described above, and since this type of thermoplastic resin is a linear polymer and is not crosslinked, it is soluble in an organic solvent. As this kind of organic solvent, for example, an alkyl chloride solvent such as dichloromethane, chloroform or carbon tetrachloride, an ether solvent such as diethyl ether or tetrahydrofuran, or an aromatic solvent such as benzene, toluene or xylene is used. For example, the resin substrates 11, 21, 31 can be easily dissolved.

【0028】ここで、本発明に係る光記録媒体の情報記
録層観察用試料作成方法及び光記録媒体の情報記録層観
察用試料では、有機溶剤で上記した樹脂基板11,2
1,31が容易に溶解することに着目した。
Here, the method for preparing the sample for observing the information recording layer of the optical recording medium and the sample for observing the information recording layer of the optical recording medium according to the present invention are described in the following.
It was noted that 1,31 was easily dissolved.

【0029】一方、再生専用型光ディスク10の樹脂基
板11の一方の面11aに成膜した金属反射層12及び
保護層13と、PC(相変化)型光ディスク20の樹脂
基板21の一方の面21aに成膜した情報記録層22及
び金属反射層23並びに保護層24と、MO(光磁気)
型光ディスク30の樹脂基板31の一方の面31aに成
膜した情報記録層32及び金属反射層33並びに保護層
34は、いずれも上記した有機溶剤に対して不溶である
ことを確認した。
On the other hand, the metal reflection layer 12 and the protective layer 13 formed on one surface 11a of the resin substrate 11 of the read-only optical disk 10 and the one surface 21a of the resin substrate 21 of the PC (phase change) optical disk 20 Information recording layer 22, metal reflective layer 23, protective layer 24, and MO (magneto-optical)
It was confirmed that the information recording layer 32, the metal reflective layer 33, and the protective layer 34 formed on one surface 31a of the resin substrate 31 of the type optical disk 30 were all insoluble in the above-mentioned organic solvents.

【0030】そこで、図2(a)〜(c)に示した如
く、上記した有機溶剤に不溶の基板41としてガラス基
板を用意し、且つ、有機溶剤に不溶の熱硬化性接着剤4
2としてエポキシ樹脂を用意する。この際、有機溶剤に
不溶の熱硬化性接着剤には、例えばエポキシアクリレー
トやウレタンアクリレートなどの紫外線硬化樹脂やエポ
キシ樹脂やフェノール樹脂などの熱硬化性樹脂などがあ
り、これらの樹脂はいずれも架橋高分子であるため通
常、有機溶剤に不溶であることが確認されており、この
実施例ではエポキシ樹脂を用いているが、これに限定さ
れるものではない。
Therefore, as shown in FIGS. 2A to 2C, a glass substrate is prepared as the substrate 41 insoluble in the organic solvent, and the thermosetting adhesive 4 insoluble in the organic solvent is prepared.
An epoxy resin is prepared as 2. At this time, thermosetting adhesives insoluble in organic solvents include, for example, ultraviolet curable resins such as epoxy acrylate and urethane acrylate, and thermosetting resins such as epoxy resins and phenolic resins. Since it is a polymer, it is generally confirmed that it is insoluble in an organic solvent. In this example, an epoxy resin is used, but the present invention is not limited to this.

【0031】そして、図2(a)に示したように、ま
ず、有機溶剤に不溶のガラス基板41上に、有機溶剤に
不溶の熱硬化性接着剤としてエポキシ樹脂42を滴下す
る。
Then, as shown in FIG. 2A, first, an epoxy resin 42 is dropped on a glass substrate 41 insoluble in the organic solvent as a thermosetting adhesive insoluble in the organic solvent.

【0032】次に、図2(b)に示したように、上記し
た樹脂基板11又は樹脂基板21もしくは樹脂基板31
の一方の面に成膜した情報記録層側を下にして、この情
報記録層側をエポキシ樹脂42を介してガラス基板41
上に密着させる。
Next, as shown in FIG. 2B, the above-mentioned resin substrate 11 or resin substrate 21 or resin substrate 31
With the information recording layer formed on one side of the glass substrate 41 facing down, this information recording layer is
Adhere on top.

【0033】次に、図2(c)に示したように、樹脂基
板11,(21),(31)をエポキシ樹脂42を介し
てガラス基板41上に密着させた状態で、約12時間加
熱してエポキシ樹脂42を硬化させる。この図2(a)
〜(c)の工程は、有機溶剤を使用する前の前工程であ
る。
Next, as shown in FIG. 2 (c), the resin substrates 11, (21) and (31) are heated for about 12 hours in a state where the resin substrates 11, (21) and (31) are brought into close contact with the glass substrate 41 via the epoxy resin 42. Then, the epoxy resin 42 is cured. This FIG. 2 (a)
Steps (c) to (c) are previous steps before using an organic solvent.

【0034】次に、図3(a)に示したように、樹脂基
板11,(21),(31)をエポキシ樹脂42を介し
てガラス基板41上に完全に接着させたものを、有機溶
剤43(例えばジクロロメタン,クロロホルム,四塩化
炭素などの塩化アルキル溶剤、又は、ジエチルエーテ
ル,テトラヒドロフランなどのエーテル系溶剤、もしく
は、ベンゼン,トルエン,キシレンなどの芳香族系溶
剤)を満たした容器44の中に完全に漬け込む。そし
て、有機溶剤43を撹拌器45で撹拌しながら数分から
数日、有機溶剤43の満たされた容器44に漬け込むこ
とで、熱可塑性の樹脂基板11,(21),(31)は
有機溶剤43で溶解されて除去される。この際、樹脂基
板11,(21),(31)に成膜した情報記録層側
は、有機溶剤43に不溶であるので、エポキシ樹脂42
によりガラス基板41に接着されたままの状態となる。
Next, as shown in FIG. 3A, the resin substrate 11, (21), (31) completely adhered to the glass substrate 41 via the epoxy resin 42 is treated with an organic solvent. 43 (for example, an alkyl chloride solvent such as dichloromethane, chloroform and carbon tetrachloride, an ether solvent such as diethyl ether and tetrahydrofuran, or an aromatic solvent such as benzene, toluene and xylene). Soak completely. Then, the organic solvent 43 is immersed in the container 44 filled with the organic solvent 43 for several minutes to several days while being stirred by the stirrer 45, so that the thermoplastic resin substrates 11, (21), and (31) become organic solvent 43. Is dissolved and removed. At this time, the information recording layer side formed on the resin substrates 11, (21) and (31) is insoluble in the organic solvent 43, so that the epoxy resin 42
As a result, it is in a state of being adhered to the glass substrate 41.

【0035】更に、樹脂基板11,(21),(31)
が除去された状態で、新たな有機溶剤で濯ぎ洗いをし、
その後、室温あるいはオーブンで残留している有機溶剤
を除去することで、熱可塑性の樹脂基板11,(2
1),(31)を完全に除去することができる。
Further, the resin substrates 11, (21), (31)
In a state where has been removed, rinse with a new organic solvent,
Thereafter, the remaining organic solvent is removed at room temperature or in an oven, so that the thermoplastic resin substrates 11, (2
1) and (31) can be completely removed.

【0036】そして、図3(b)に示したように、樹脂
基板11,(21),(31)が除去されると、情報記
録層側をエポキシ樹脂42により接着したガラス基板4
1が光記録媒体の情報記録層観察用試料として得られ
る。
Then, as shown in FIG. 3 (b), when the resin substrates 11, (21) and (31) are removed, the information recording layer is bonded to the glass substrate 4 with an epoxy resin 42.
1 is obtained as a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium.

【0037】次に、上記のようにして得られた光記録媒
体の情報記録層観察用試料を用いて、情報記録層を光学
顕微鏡又は磁気力顕微鏡により観察する際に、再生専用
型光ディスク10の場合は、ここでの図示を諸略するも
のの、凹凸状のピットが転写された金属反射層12が最
表面となり、この金属反射層12の下の保護層13がエ
ポキシ樹脂42を介してガラス基板41に接着されてい
るので、光学顕微鏡により金属反射層12を観察すれば
凹凸状のピットの寸法形状が正確にわかる。
Next, when the information recording layer is observed with an optical microscope or a magnetic force microscope using the information recording layer observation sample of the optical recording medium obtained as described above, the read-only optical disk 10 In this case, although the illustration is omitted here, the metal reflective layer 12 to which the pits having irregularities are transferred is the outermost surface, and the protective layer 13 below the metal reflective layer 12 is Since the metal reflection layer 41 is adhered to the metal reflection layer 12, the size and shape of the uneven pits can be accurately determined by observing the metal reflection layer 12 with an optical microscope.

【0038】また、PC(相変化)型光ディスク20の
場合は、図4に示したように、情報記録層22が最表面
となり、この情報記録層22の下の金属反射層23,保
護層24がエポキシ樹脂42を介してガラス基板41に
接着されているので、光学顕微鏡により情報記録層22
を観察すれば、情報記録層22に記録された記録マーク
が金属反射層23により強調されるので、記録マークの
寸法形状が正確にわかる。
In the case of the PC (phase change) type optical disk 20, as shown in FIG. 4, the information recording layer 22 is the outermost surface, and the metal reflection layer 23 and the protection layer 24 below the information recording layer 22. Is bonded to the glass substrate 41 via the epoxy resin 42, so that the information recording layer 22 is
Is observed, the recording mark recorded on the information recording layer 22 is emphasized by the metal reflection layer 23, so that the dimensional shape of the recording mark can be accurately understood.

【0039】また、MO(光磁気)型光ディスク30の
場合も、上記した図4とほぼ同じ状態であるものの、こ
こでは磁気力顕微鏡により情報記録層32に記録された
記録マークを観察している。
Also, in the case of the MO (magneto-magnetic) type optical disk 30, although the state is almost the same as that of FIG. 4, the recording marks recorded on the information recording layer 32 are observed here by a magnetic force microscope. .

【0040】<実施例1>本発明に係る光記録媒体の情
報記録層観察用試料作成方法を用いて、PC(相変化)
型光ディスクの情報記録層に記録された記録マークを観
察した。
<Example 1> A PC (phase change) was prepared using the method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention.
The recording marks recorded on the information recording layer of the optical disk were observed.

【0041】まず、PC(相変化)型光ディスクの成膜
は次のような手順で行った。
First, film formation of a PC (phase change) type optical disk was performed in the following procedure.

【0042】ここで用いた樹脂基板は、直径120m
m、板厚0.6mmのポリカーボネイト樹脂製でトラッ
クピッチが0.74μm(グルーブピッチ1.48μ
m)であり、溝深さは35nmでグルーブ幅とランド幅
の比は、およそ40:60(%)であった。
The resin substrate used here has a diameter of 120 m.
m, made of polycarbonate resin having a plate thickness of 0.6 mm and a track pitch of 0.74 μm (groove pitch 1.48 μm)
m), the groove depth was 35 nm, and the ratio between the groove width and the land width was about 40:60 (%).

【0043】また、樹脂基板を毎分60回転で遊星回転
させながら、スパッタ法により、情報記録層となる第1
保護層,記録層,第2誘電体層と、情報記録層上の金属
反射層との順に真空成膜を行った。まず、真空チャンバ
ー内を6×10−5Paまで排気した後、1.6×10
−1PaのArガスを導入した。そして、ZnS−Si
O2を高周波マグネトロンスパッタ法により樹脂基板上
に膜厚50nmの第1誘電体層を形成した。続いて、A
g,In,Te,Sbからなる4元素単一ターゲット
(直径2インチ、厚さ3mm)を直流電源でスパッタし
て記録層を形成し、この記録層の膜厚は20nmとし
た。さらに、第1誘電体層と同様の材質の第2誘電体層
を15nm形成し、この上にAl,Crからなる2元素
単一ターゲットを直流スパッタ法にて、組成Al:97
%,Cr:3%,厚さ250nmの金属反射層を形成し
た。
Further, while the resin substrate is rotated in a planetary manner at 60 rotations per minute, the first recording layer serving as an information recording layer is formed by sputtering.
Vacuum film formation was performed in the order of the protective layer, the recording layer, the second dielectric layer, and the metal reflective layer on the information recording layer. First, after evacuating the inside of the vacuum chamber to 6 × 10 −5 Pa, 1.6 × 10
Ar gas of -1 Pa was introduced. And ZnS-Si
O2 was used to form a first dielectric layer having a thickness of 50 nm on a resin substrate by a high-frequency magnetron sputtering method. Then, A
A recording element was formed by sputtering a four-element single target (diameter: 2 inches, thickness: 3 mm) consisting of g, In, Te, and Sb with a DC power supply, and the thickness of the recording layer was 20 nm. Further, a second dielectric layer made of the same material as the first dielectric layer is formed to a thickness of 15 nm, and a two-element single target made of Al and Cr is formed thereon by DC sputtering to obtain a composition Al: 97
%, Cr: 3%, and a metal reflective layer having a thickness of 250 nm was formed.

【0044】この後、情報記録層及び金属反射層を成膜
した樹脂基板を真空容器より取り出した後、この金属反
射層上にアクリル系紫外線硬化樹脂(住友化学製XR1
1)をスピンコートし、紫外線照射により硬化させて膜
厚10μmの保護層を形成しPC(相変化)型光ディス
クを得た。
Thereafter, the resin substrate on which the information recording layer and the metal reflection layer were formed was taken out of the vacuum vessel, and an acrylic ultraviolet curable resin (XR1 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was placed on the metal reflection layer.
1) was spin-coated and cured by irradiation with ultraviolet rays to form a protective layer having a thickness of 10 μm, thereby obtaining a PC (phase change) optical disk.

【0045】こうして作製したPC(相変化)型光ディ
スクにレーザ光やフラッシュランプ等を照射して、情報
記録層を結晶化温度以上に加熱し初期化処理を行う。実
用的には、特開平7−282475号公報に記載されて
いるような初期化装置と評価機等を用い収束したレーザ
光を用いる。先ずは初期化装置のスピンドルにPC(相
変化)型光ディスクを装着した後、大出力のレーザ光を
照射して情報記録層を加熱して高反射率の状態に変化さ
せる。PC(相変化)型光ディスクに照射されるレーザ
ビームはトラック幅よりも大きなビーム径を有し、好ま
しくは半径方向に長く、PC(相変化)型光ディスクを
回転しながら複数のトラックを同時に初期化する。具体
的には初期化レーザの波長は、830nm、照射ビーム
の形状は、トラック方向が2μmで半径方向が20μm
の幅の広い形をしている。PC(相変化)型光ディスク
を線速度3m/sで回転させ、半径22.0mmから初
期化を開始した。初期化レーザは、パワー400mWで
半径外周方向に30μm/回転の速度で移動させ、半径
58.0mmで初期化を終了した。
The PC (phase change) type optical disk thus manufactured is irradiated with a laser beam, a flash lamp, or the like, and the information recording layer is heated to a temperature higher than the crystallization temperature to perform an initialization process. Practically, a converged laser beam is used using an initialization device and an evaluator as described in JP-A-7-282475. First, a PC (phase change) type optical disk is mounted on the spindle of the initialization device, and then the laser beam is irradiated with a high output laser beam to heat the information recording layer to change to a high reflectance state. The laser beam applied to the PC (phase change) optical disk has a beam diameter larger than the track width, and is preferably longer in the radial direction, and simultaneously initializes a plurality of tracks while rotating the PC (phase change) optical disk. I do. Specifically, the wavelength of the initialization laser is 830 nm, and the shape of the irradiation beam is 2 μm in the track direction and 20 μm in the radial direction.
It has a wide shape. A PC (phase change) optical disk was rotated at a linear velocity of 3 m / s, and initialization was started from a radius of 22.0 mm. The initialization laser was moved at a speed of 30 μm / rotation in the radial direction at a power of 400 mW, and the initialization was completed at a radius of 58.0 mm.

【0046】続いて、このPC(相変化)型光ディスク
に情報信号を記録した。記録には波長635nmのレー
ザ光を光源にもつ記録機を用い以下のように行った。線
速度3.5m/sで変調信号は8−16変調ランダムパ
ターンとし、クロック周期Tは、38.2ナノ秒(n
s)とした。そして、樹脂基板の他方の面側から情報記
録層の案内溝であるグルーブ部に記録を行った。記録の
条件は、ピークパワー12mW,消去パワー6.0m
W、クーリングパワー1.0mWである。この条件で情
報記録層に記録した記録マークのうち最小記録マークの
長さは約0.4μmである。
Subsequently, an information signal was recorded on the PC (phase change) type optical disk. Recording was performed as follows using a recording machine having a laser light of 635 nm wavelength as a light source. At a linear velocity of 3.5 m / s, the modulation signal is an 8-16 modulation random pattern, and the clock cycle T is 38.2 nanoseconds (n
s). Then, recording was performed from the other surface side of the resin substrate to a groove portion which is a guide groove of the information recording layer. The recording conditions were a peak power of 12 mW and an erasing power of 6.0 m.
W, cooling power 1.0 mW. The length of the minimum recording mark among the recording marks recorded on the information recording layer under this condition is about 0.4 μm.

【0047】続いて、このPC(相変化)型光ディスク
を情報記録層側からガラス基板にアクリル系紫外線硬化
樹脂(住友化学製XR11)を用いて接着させた。ガラ
ス基板上に樹脂をシリンジにより塗布し、硬化させる前
に上述の記録済みのPC(相変化)型光ディスクを密着
させガラス基板側から紫外線を照射した。出力210m
J/cm2の水銀ランプを1min照射した。
Subsequently, this PC (phase change) type optical disk was adhered to the glass substrate from the information recording layer side using an acrylic ultraviolet curing resin (XR11 manufactured by Sumitomo Chemical). Before the resin was applied to the glass substrate with a syringe and cured, the above-mentioned recorded PC (phase change) optical disk was brought into close contact with the glass substrate and irradiated with ultraviolet rays from the glass substrate side. Output 210m
A J / cm2 mercury lamp was irradiated for 1 minute.

【0048】アクリル系紫外線硬化樹脂が硬化後、ガラ
ス基板に接着したPC(相変化)型光ディスクをクロロ
フォルム溶媒中に転倒しないように設置した。そのまま
20分放置してクロロフォルム溶媒で樹脂基板を溶解し
て、この後、情報記録層側を接着したガラス基板を取り
出して、新しいクロロフォルムで表面を洗浄した。その
後60°Cに保たれているクリーンオーブンに情報記録
層側を接着したガラス基板を30分ほど保管して有機溶
媒を完全に除去した。
After the acrylic UV-curable resin was cured, the PC (phase change) optical disk adhered to the glass substrate was set in a chloroform solvent so as not to fall. The resin substrate was dissolved with a chloroform solvent by leaving it as it was for 20 minutes. Thereafter, the glass substrate to which the information recording layer was adhered was taken out, and the surface was washed with fresh chloroform. Thereafter, the glass substrate having the information recording layer side adhered to a clean oven maintained at 60 ° C. for about 30 minutes to completely remove the organic solvent.

【0049】こうして樹脂基板(ポリカーボネート基
板)を取り除いた試料(サンプル)を光学顕微鏡を用い
て情報記録層側から記録マークの状態を観察した。観察
結果は、図5(a)に示したように、情報記録層に記録
した記録マークは金属反射層で強調されるので記録マー
クが鮮明に見られ、記録マークの寸法形状を正確に確認
できる状態であった。
From the information recording layer side, the state of the recording mark of the sample (sample) from which the resin substrate (polycarbonate substrate) was removed was observed using an optical microscope. Observation results show that, as shown in FIG. 5A, the recording marks recorded on the information recording layer are emphasized by the metal reflection layer, so that the recording marks are clearly seen, and the dimensions and shape of the recording marks can be accurately confirmed. Condition.

【0050】<比較例1>実施例1と同じ条件で成膜
し、信号記録も同条件で行ったPC(相変化)型光ディ
スクを、先に従来例で図7を用いて説明したと同様に、
樹脂基板の他方の面から樹脂基板を通して情報記録層に
記録した記録マークを観察した。観察には波長680n
mのレーザ光を光源にもつレーザ顕微鏡を用いて行っ
た。その結果は、図5(b)に示したように、上記図5
(a)のように本発明の方法を用いた観察よりも記録マ
ークのエッジ部分の画像がかなり不鮮明であった。
<Comparative Example 1> A PC (phase change) type optical disk in which a film was formed under the same conditions as in Example 1 and signal recording was also performed under the same conditions was performed in the same manner as described earlier with reference to FIG. To
A recording mark recorded on the information recording layer was observed from the other surface of the resin substrate through the resin substrate. 680n wavelength for observation
The measurement was performed using a laser microscope having a laser beam of m as a light source. The result is, as shown in FIG.
As shown in (a), the image of the edge portion of the recording mark was considerably unclear as compared with the observation using the method of the present invention.

【0051】<実施例2>本発明に係る光記録媒体の情
報記録層観察用試料作成方法を用いて、市販のMO(光
磁気)型光ディスクの情報記録層に記録された記録マー
クを観察した。
Example 2 Using the method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention, recording marks recorded on the information recording layer of a commercially available MO (magneto-optical) optical disk were observed. .

【0052】まず、容量230MB、3.5インチのM
O(光磁気)型光ディスクにパーソナルコンピュータに
接続されているMOドライブで情報を書き込んだ。この
MO(光磁気)型光ディスクを実施例1と同様な方法で
樹脂基板を除去した。このMO(光磁気)型光ディスク
は樹脂基板の厚みが1.2mmであったのでクロロフォ
ルム中に放置する時間を35分とした。このMO(光磁
気)型光ディスクは磁気力顕微鏡を用いて観察した。観
察した写真を図6に示す。この場合でも情報記録層に記
録した記録マークが鮮明に見られ、記録マークの寸法形
状を正確に確認できる状態であった。
First, a medium having a capacity of 230 MB and 3.5 inches
Information was written to an O (magneto-optical) type optical disk using an MO drive connected to a personal computer. The resin substrate was removed from this MO (magneto-optical) optical disk in the same manner as in Example 1. Since the thickness of the resin substrate of this MO (magneto-optical) type optical disk was 1.2 mm, the time for leaving it in chloroform was set to 35 minutes. This MO (magneto-optical) type optical disk was observed using a magnetic force microscope. The observed photograph is shown in FIG. Even in this case, the recording marks recorded on the information recording layer were clearly seen, and the dimensions and shape of the recording marks could be confirmed accurately.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上詳述した本発明に係る光記録媒体の
情報記録層観察用試料作成方法及び光記録媒体の情報記
録層観察用試料によると、とくに、樹脂基板の一方の面
に成膜した情報記録層側に、有機溶剤に不溶な接着剤を
用いて有機溶剤に不溶な基板を接着した後、樹脂基板を
有機溶剤で溶解して情報記録層側を露出させているた
め、情報記録層に記録した凹凸状のピット又は記録マー
クを情報記録層側から観察でき、しかも情報記録層の下
に金属反射層が成膜された状態で観察できるため、情報
記録層に記録した凹凸状のピット又は記録マークが金属
反射層で強調されるので凹凸状のピット又は記録マーク
が鮮明に見られ、凹凸状のピット又は記録マークの寸法
形状を正確に確認できるという効果がある。
According to the method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium and the sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention described in detail above, a film is formed on one surface of a resin substrate. After bonding the substrate insoluble in organic solvent to the information recording layer side using an adhesive insoluble in organic solvent, the resin substrate is dissolved in organic solvent to expose the information recording layer side. The uneven pits or recording marks recorded in the layer can be observed from the information recording layer side, and can be observed in a state where the metal reflective layer is formed under the information recording layer. Since the pits or the recording marks are emphasized by the metal reflection layer, the uneven pits or the recording marks are clearly seen, and there is an effect that the size and shape of the uneven pits or the recording marks can be accurately confirmed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る光記録媒体の情報記録層観察用試
料作成方法及び光記録媒体の情報記録層観察用試料に適
用される各種の光ディスクの構造を説明するための図で
ある。
FIG. 1 is a diagram for explaining a method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium and a structure of various optical disks applied to a sample for observing an information recording layer of the optical recording medium according to the present invention.

【図2】本発明に係る光記録媒体の情報記録層観察用試
料作成方法を説明するための前工程図である。
FIG. 2 is a pre-process diagram for explaining a method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention.

【図3】本発明に係る光記録媒体の情報記録層観察用試
料作成方法及び光記録媒体の情報記録層観察用試料を説
明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining a method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium and a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium according to the present invention.

【図4】本発明に係る光記録媒体の情報記録層観察用試
料を用いて情報記録層を観察する状態を示した図であ
る。
FIG. 4 is a diagram showing a state in which the information recording layer is observed using the information recording layer observation sample of the optical recording medium according to the present invention.

【図5】実施例1と比較例1の光学顕微鏡写真図であ
る。
5 is an optical microscope photograph of Example 1 and Comparative Example 1. FIG.

【図6】実施例2の磁気力顕微鏡写真図である。FIG. 6 is a magnetic force micrograph of Example 2.

【図7】光記録媒体に記録されたピットや記録マークを
観察する従来の一例の方法を示した図である。
FIG. 7 is a diagram showing an example of a conventional method for observing pits and recording marks recorded on an optical recording medium.

【図8】光記録媒体に記録されたピットや記録マークを
観察する従来の他例の方法を示した図である。
FIG. 8 is a diagram showing another conventional method for observing pits and recording marks recorded on an optical recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…再生専用型光ディスク、11…樹脂基板、11a
…一方の面、12…金属反射層、13…保護層、20…
PC(相変化)型光ディスク、21…樹脂基板、21a
…一方の面、22…情報記録層、23…金属反射層、2
4…保護層、30…MO(光磁気)型光ディスク、31
…樹脂基板、31a…一方の面、32…情報記録層、3
3…金属反射層、34…保護層、41…ガラス基板、4
2…熱硬化性接着剤(エポキシ樹脂)、43…有機溶
剤、44…容器。
10: read-only optical disk, 11: resin substrate, 11a
... one surface, 12 ... metal reflection layer, 13 ... protection layer, 20 ...
PC (phase change) type optical disk, 21 ... resin substrate, 21a
... one surface, 22 ... information recording layer, 23 ... metal reflection layer, 2
4 Protective layer, 30 MO (magneto-optical) type optical disk, 31
... resin substrate, 31a ... one surface, 32 ... information recording layer, 3
3: Metal reflective layer, 34: protective layer, 41: glass substrate, 4
2: thermosetting adhesive (epoxy resin); 43, organic solvent; 44, container.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】有機溶剤に可溶な樹脂基板の一方の面に前
記有機溶剤に不溶な情報記録層を成膜して、この情報記
録層に光学記録又光磁気記録された凹凸状のピット又は
記録マークを観察するための試料を作成する光記録媒体
の情報記録層観察用試料作成方法において、 前記樹脂基板の一方の面に成膜した前記情報記録層側
に、前記有機溶剤に不溶な接着剤を用いて前記有機溶剤
に不溶な基板を接着した後、前記樹脂基板を前記有機溶
剤で溶解して前記情報記録層側を露出させることを特徴
とする光記録媒体の情報記録層観察用試料作成方法。
An information recording layer insoluble in an organic solvent is formed on one surface of a resin substrate soluble in an organic solvent, and the information recording layer is optically or magneto-optically recorded in an uneven pit. Or in the method for preparing an information recording layer observation sample of an optical recording medium for preparing a sample for observing a recording mark, the information recording layer formed on one surface of the resin substrate, insoluble in the organic solvent After adhering a substrate insoluble in the organic solvent using an adhesive, dissolving the resin substrate with the organic solvent to expose the information recording layer side, for observing the information recording layer of the optical recording medium. Sample preparation method.
【請求項2】前記樹脂基板にポリカーボネート樹脂又は
アクリル樹脂もしくは脂環式ポリオレフィン樹脂を用
い、且つ、有機溶剤に塩化アルキルまたはエーテル系も
しくは芳香族系を用いたことを特徴とする請求項1記載
の光記録媒体の情報記録層観察用試料作成方法。
2. The method according to claim 1, wherein said resin substrate is made of a polycarbonate resin, an acrylic resin, or an alicyclic polyolefin resin, and said organic solvent is an alkyl chloride, ether, or aromatic resin. A method for preparing a sample for observing an information recording layer of an optical recording medium.
【請求項3】有機溶剤に可溶な樹脂基板の一方の面に前
記有機溶剤に不溶な情報記録層を成膜して、この情報記
録層に光学記録又光磁気記録された凹凸状のピット又は
記録マークを観察するために作成した光記録媒体の情報
記録層観察用試料において、 前記樹脂基板の一方の面に成膜した前記情報記録層側
に、前記有機溶剤に不溶な接着剤を用いて前記有機溶剤
に不溶な基板を接着した後、前記樹脂基板を有機溶剤で
溶解して前記情報記録層側を露出させたことを特徴とす
る光記録媒体の情報記録層観察用試料。
3. An information recording layer insoluble in said organic solvent is formed on one surface of a resin substrate soluble in an organic solvent, and uneven pits optically or magneto-optically recorded in said information recording layer. Or in the information recording layer observation sample of the optical recording medium created for observing the recording mark, on the information recording layer side formed on one surface of the resin substrate, using an adhesive insoluble in the organic solvent A substrate for observing an information recording layer of an optical recording medium, wherein a substrate insoluble in the organic solvent is adhered to the resin substrate and the resin substrate is dissolved with an organic solvent to expose the information recording layer side.
【請求項4】前記樹脂基板にポリカーボネート樹脂又は
アクリル樹脂もしくは脂環式ポリオレフィン樹脂を用
い、且つ、有機溶剤に塩化アルキルまたはエーテル系も
しくは芳香族系を用いたことを特徴とする請求項3記載
の光記録媒体の情報記録層観察用試料。
4. The method according to claim 3, wherein said resin substrate is made of a polycarbonate resin, an acrylic resin or an alicyclic polyolefin resin, and said organic solvent is an alkyl chloride, an ether or an aromatic. A sample for observing the information recording layer of an optical recording medium.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2005048254A1 (en) * 2003-11-13 2005-05-26 Tdk Corporation Optical recording medium sample fabricating method, optical recording medium sample analyzing method, optical recording medium sample fabricating apparatus, and optical recording medium fabricating method

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