JP2001255529A - Reflection type liquid crystal display device - Google Patents
Reflection type liquid crystal display deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、反射型液晶表示装
置に関する。The present invention relates to a reflection type liquid crystal display device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】携帯電話、ＰＨＳ、ＰＤＡ（携帯情報端
末）等の情報通信機器の急速な普及に伴い、時・場所を
選ばず、誰でも気軽にアクセス・発信できるインフラが
整いつつある。これらはモバイル用途が前提であるた
め、軽量、薄型、低消費電力の表示素子が求められてお
り、現在、液晶表示素子がその中心となっている。液晶
表示素子は、数ボルトの実効電圧で液晶分子を駆動させ
ることにより光の透過強度を変化させて表示を行うが、
液晶は非発光物質であるので他に何らかの光源が必要と
なる。光源には、液晶駆動用電力に比べ非常に大きな電
力を供給する必要があるが、液晶表示素子の下側に反射
板を備えて周囲光を利用して表示させる反射型液晶表示
装置とすることにより、極めて消費電力が低く液晶本来
の特徴を活かした表示素子が実現できる。反射型液晶表
示装置は携帯情報端末のディスプレイの一つとして不可
欠なものとなりつつある。2. Description of the Related Art With the rapid spread of information communication devices such as mobile phones, PHSs, and PDAs (Personal Digital Assistants), an infrastructure that allows anyone to easily access and transmit anytime and anywhere is being prepared. Since these are premised on mobile applications, lightweight, thin, and low power consumption display elements are required, and currently, liquid crystal display elements are mainly used. The liquid crystal display element performs display by changing the light transmission intensity by driving liquid crystal molecules with an effective voltage of several volts.
Since the liquid crystal is a non-light emitting substance, some other light source is required. It is necessary to supply an extremely large amount of power to the light source compared to the power for driving the liquid crystal. However, a reflective liquid crystal display device that has a reflector below the liquid crystal display element and displays using ambient light Accordingly, a display element with extremely low power consumption and utilizing the inherent characteristics of liquid crystal can be realized. The reflection type liquid crystal display device is becoming indispensable as one of the displays of the portable information terminal.
【０００３】また、情報量の増加に伴い携帯情報端末の
ディスプレイとしてカラー表示の重要度が増しており、
反射型液晶表示装置においてもカラーフィルタや複屈折
効果によりカラー表示を行う構成がいくつか提案されて
いる。[0003] Also, with the increase in the amount of information, the importance of color display as a display of a portable information terminal has been increasing.
Some configurations for performing color display using a color filter and a birefringence effect have also been proposed for a reflective liquid crystal display device.
【０００４】しかしながら、反射型液晶ディスプレイは
周囲光を利用して表示をおこなうことから、照明環境に
よって表示が暗くなる可能性があるという課題を有す
る。その対策として反射面の形状を凹凸にすることによ
り反射型液晶表示装置の正面方向に反射光を集光させる
構成が提案されている。However, since the reflection type liquid crystal display performs display using ambient light, there is a problem that the display may be dark depending on an illumination environment. As a countermeasure, a configuration has been proposed in which the shape of the reflection surface is made uneven so that the reflected light is collected in the front direction of the reflection type liquid crystal display device.
【０００５】図１３は従来構成の反射型液晶表示装置の
構造を示すものであり、５０は偏光板、５１は複屈折フ
ィルム、５２は液晶セル、５３はガラス基板、５４は透
明電極、５５は液晶層、５６は凹凸層、５７は金属反射
電極、５８は突起、５９は下側ガラス基板である。上記
構成の液晶セルの上側ガラス基板５３と透明電極５４の
間にカラ−フィルタ（図示せず）と平坦化層（図示せ
ず）とが形成された構成とすれば、カラー表示の反射型
液晶表示装置とすることができる。FIG. 13 shows the structure of a conventional reflection type liquid crystal display device. Reference numeral 50 denotes a polarizing plate, 51 denotes a birefringent film, 52 denotes a liquid crystal cell, 53 denotes a glass substrate, 54 denotes a transparent electrode, and 55 denotes a transparent electrode. A liquid crystal layer, 56 is an uneven layer, 57 is a metal reflective electrode, 58 is a protrusion, and 59 is a lower glass substrate. If a color filter (not shown) and a flattening layer (not shown) are formed between the upper glass substrate 53 and the transparent electrode 54 of the liquid crystal cell having the above configuration, the reflective liquid crystal for color display can be obtained. It can be a display device.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属反
射電極の形状を凹凸にすることにより反射率を高くして
明るさを確保した反射型液晶表示装置において、液晶と
の界面である金属反射電極表面が凹凸となっているため
に、液晶層の厚さが場所により異なる。液晶表示装置に
おいて、液晶層のリタデーションを変えることにより白
黒表示を制御している。ここで、液晶層のリタデーショ
ンは、液晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚ｄLCの積ΔｎLC・
ｄLCで表されることから、液晶層の厚さが場所により異
なると、反射率、彩度等の光学特性を大きく損ねてしま
うという課題に結びつく。特に、リタデーションの変化
に対する光学特性へ大きく影響する反射型ＳＴＮ液晶表
示装置においては大きな課題となっていた。However, in a reflection type liquid crystal display device in which the reflectivity is increased by making the shape of the metal reflection electrode uneven so as to ensure brightness, the surface of the metal reflection electrode which is the interface with the liquid crystal. Is uneven, the thickness of the liquid crystal layer varies depending on the location. In a liquid crystal display device, monochrome display is controlled by changing the retardation of a liquid crystal layer. Here, the retardation of the liquid crystal layer is a product Δn LC · of the birefringence Δn LC of the liquid crystal and the liquid crystal layer thickness d LC.
Since it is expressed by dLC , if the thickness of the liquid crystal layer varies depending on the location, it leads to a problem that optical characteristics such as reflectance and chroma are significantly impaired. In particular, there has been a great problem in a reflective STN liquid crystal display device, which greatly affects optical characteristics with respect to a change in retardation.
【０００７】また、反射型液晶表示装置において、より
明るい表示を得るためには、金属反射電極が明るい、つ
まり金属反射電極単体の拡散反射性を強めることが必要
になる。金属反射電極単体の拡散反射輝度Ｂdrは、標準
白色板の反射輝度Ｂd0に近ければ近いほど、拡散反射率
Ｒdrが高く、明るいということであり、拡散反射性が強
くなるに従ってＲdrが増加する。当然のことながら、鏡
面をもつ金属反射電極のＲdrはほぼゼロとなる。Further, in the reflection type liquid crystal display device, in order to obtain a brighter display, it is necessary to make the metal reflective electrode bright, that is, to enhance the diffuse reflectivity of the metal reflective electrode alone. The diffuse reflection luminance Bdr of the metal reflective electrode alone is closer to the reflection luminance Bd0 of the standard white plate, the higher the diffuse reflectance Rdr is, and the brighter it is. The Rdr increases as the diffuse reflectivity increases. As a matter of course, Rdr of the metal reflective electrode having a mirror surface is almost zero.
【０００８】そこで、種々の反射板についてＲdrを測定
するとともに、目視にて拡散反射性を確認した。測定に
はミノルタ分光測色計ＣＭ−５０８ｄを用いた。その結
果、Ｒdrが大きくなるにつれて散乱性が良好で、紙に近
い見栄えが得られる。反射型液晶表示装置としての拡散
反射率を上げる有力な手段が、凹凸形状の金属反射電極
単体の拡散反射率Ｒdrを上げることである。Therefore, Rdr was measured for various reflectors, and the diffuse reflectivity was visually confirmed. A Minolta spectrophotometer CM-508d was used for the measurement. As a result, as Rdr increases, the scattering properties become better and an appearance close to that of paper is obtained. An effective means for increasing the diffuse reflectance as a reflection type liquid crystal display device is to increase the diffuse reflectance Rdr of a single metal reflective electrode having an uneven shape.
【０００９】しかしながら、このような拡散反射性の強
い凹凸形状の金属反射電極を液晶層に接合すると、液晶
層に入射した光が、金属反射電極で反射して出射すると
き、その出射光強度が著しく低下し、反射型液晶表示装
置の拡散反射率Ｒteが低く、表示が非常に暗いという課
題があった。液晶表示装置の拡散反射率Ｒteは、Ｒdrと
同様に拡散照明下において、正反射成分を概略除去して
集光積分した液晶表示装置の反射輝度をＢte、同様にし
て求めた標準白色板の反射輝度をＢt0とするとき、 Ｒte＝Ｂte／Ｂt0×１００ で定義される。例えば、反射板単体の拡散反射率Ｒdrが
90％のとき、偏光板の透過率45%(吸収軸に平行方向0%、
吸収軸に垂直方向90%)、カラーフィルタの透過率65%と仮定した
場合、反射型液晶表示装置の拡散反射率Ｒteは、理論値
では、 0.5×(0.9)2×(0.65)2×0.90%＝15.4％ であるのに対し、実際には実測値が7.76％とＲte値が低
減し、表示が非常に暗くなっていた。[0009] However, when such a metal reflective electrode having an uneven shape having a strong diffuse reflection property is bonded to the liquid crystal layer, when the light incident on the liquid crystal layer is reflected by the metal reflective electrode and emitted, the intensity of the emitted light is reduced. There has been a problem that the display significantly decreases, the diffuse reflectance Rte of the reflection type liquid crystal display device is low, and the display is very dark. The diffuse reflectance Rte of the liquid crystal display device is the same as Rdr. When the brightness is Bt0, it is defined by Rte = Bte / Bt0 × 100. For example, the diffuse reflectance Rdr of the reflector alone is
At 90%, the transmittance of the polarizing plate is 45% (0% in the direction parallel to the absorption axis,
Assuming that the transmittance of the color filter is 65% in the direction perpendicular to the absorption axis) and the transmittance of the color filter is 65%, the diffuse reflectance Rte of the reflective liquid crystal display device is 0.5 × (0.9) 2 × (0.65) 2 × 0.90 in theoretical value. % = 15.4%, whereas the actually measured value was 7.76%, the Rte value was reduced, and the display was very dark.
【００１０】また、反射型液晶表示装置において、端子
部が凹凸形状の上に金属反射電極を形成した構成をとる
場合、電極幅が狭くなるほど、オープンや、隣接する電
極とのショートが、発生するという課題を有していた。In a reflection type liquid crystal display device, when a metal reflection electrode is formed on a terminal portion on an uneven shape, as the electrode width becomes narrower, an open or a short circuit with an adjacent electrode occurs. There was a problem that.
【００１１】さらに、金属反射電極の材料としては、配
線として抵抗が低く、かつ、反射率の高い金属であるＡ
ｌ系、Ａｇ系の材料がある。しかし、Ａｇ系材料は高価
であり、Ａｌ系材料は一般の半導体装置（すなわちＳｉ
ウエハー上に素子を形成する半導体装置）の集積回路の
材料で使用されているため、金属反射電極の材料として
はＡｌ系材料が実用的である。しかしながら、金属反射
電極としてのＡｌ系材料で、純Ａｌは、抵抗が低いとい
う点では最もすぐれているが、ストレスマイグレーショ
ンやエレクトロマイグレーションが生じるという問題点
がある。ここで、ストレスマイグレーションとは応力に
起因する薄膜のふくれ（ヒロック）および断線であって
主に加熱により発生する。エレクトロマイグレーション
とは電気泳動に起因する薄膜状配線の断線であって主に
通電（とくに高温高湿度環境下の通電）により発生す
る。上記問題点を改善するＡｌ系材料として、各種Ａｌ
合金が開発されているが、単純に合金化をするだけで
は、抵抗が高くなり、反射率も低下してしまうため、耐
ストレスマイグレーション性、耐エレクトロマイグレー
ション性および耐食性が未だ充分でないという課題を有
していた。Further, as a material of the metal reflection electrode, a metal having a low resistance as a wiring and a high reflectance is used.
There are l-based and Ag-based materials. However, Ag-based materials are expensive, and Al-based materials are commonly used in semiconductor devices (that is, Si-based materials).
Since it is used as a material for an integrated circuit of a semiconductor device for forming an element on a wafer), an Al-based material is practical as a material for a metal reflective electrode. However, pure Al, which is an Al-based material as a metal reflective electrode, is the best in terms of low resistance, but has a problem that stress migration and electromigration occur. Here, the stress migration is a swelling (hillock) and disconnection of the thin film caused by the stress, and is mainly caused by heating. Electromigration is a disconnection of a thin film wiring caused by electrophoresis, and is mainly caused by energization (especially energization in a high temperature and high humidity environment). As an Al-based material for improving the above problems, various Al
Alloys have been developed, but simply alloying increases the resistance and lowers the reflectivity.Therefore, there is a problem that the stress migration resistance, electromigration resistance, and corrosion resistance are not yet sufficient. Was.
【００１２】本発明では、配線として抵抗が低く、表示
電極部の反射率が高く、かつ、耐ストレスマイグレーシ
ョン性、耐エレクトロマイグレーション性および耐食性
として信頼性が高い、金属反射電極を実現し、白表示が
明るく、高いコントラストが得られ、良好な光学特性を
有する反射型液晶表示装置を提供することを目的とす
る。According to the present invention, a metal reflective electrode having a low resistance as a wiring, a high reflectance of a display electrode portion, and a high reliability in terms of stress migration resistance, electromigration resistance and corrosion resistance is realized. It is an object of the present invention to provide a reflective liquid crystal display device which is bright, has high contrast, and has good optical characteristics.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上述する課題を解決する
ため、本発明の反射型液晶表示装置は、第１の基板と第
２の基板との間に液晶を封入した液晶セルと、前記第１
の基板に対して前記液晶と反対側に配置された偏光フィ
ルムと、この偏光フィルムと前記液晶との間に配置され
た１枚もしくは複数枚の複屈折フィルムと、前記第２の
基板に対し液晶と同じ側の基板上に第２の基板から順次
形成された凹凸層、金属反射電極とを備え、前記液晶セ
ルを駆動する電子部品が液晶セルの接続端子に接続され
た構成からなる反射型液晶表示装置において、前記金属
反射電極の表面の最高部と最低部の高低差の上限値が
０．１μｍであり、前記液晶のツイスト角が２２０゜か
ら２７０゜であり、前記液晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚
ｄLCの積ΔｎLC・ｄLCで表される液晶層のリタデーショ
ンが７００ｎｍから１０００ｎｍであることを特徴とす
る反射型液晶表示装置である。In order to solve the above-mentioned problems, a reflection type liquid crystal display device of the present invention comprises a liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between a first substrate and a second substrate; 1
A polarizing film disposed on the side opposite to the liquid crystal with respect to the substrate, one or more birefringent films disposed between the polarizing film and the liquid crystal, and a liquid crystal with respect to the second substrate. A reflection type liquid crystal comprising a concavo-convex layer sequentially formed from a second substrate on a substrate on the same side as the above, and a metal reflection electrode, wherein an electronic component for driving the liquid crystal cell is connected to a connection terminal of the liquid crystal cell. In the display device, the upper limit of the height difference between the highest part and the lowest part of the surface of the metal reflective electrode is 0.1 μm, the twist angle of the liquid crystal is 220 ° to 270 °, and the birefringence Δn LC of the liquid crystal is And a liquid crystal layer thickness d LC , wherein the retardation of the liquid crystal layer represented by the product Δn LC · d LC is from 700 nm to 1000 nm.
【００１４】この構成とすることにより、十分に反射率
の低い無彩色の黒表示および反射率の高い無彩色な白表
示を得、コントラストの高い良好な光学特性を有する反
射型液晶表示装置を提供することができる。With this configuration, an achromatic black display with a sufficiently low reflectance and an achromatic white display with a high reflectance are obtained, and a reflection type liquid crystal display device having high contrast and good optical characteristics is provided. can do.
【００１５】また、上述する課題を解決するため、本発
明の反射型液晶表示装置は、第１の基板と第２の基板と
の間に液晶を封入した液晶セルと、前記第１の基板に対
して前記液晶と反対側に配置された偏光フィルムと、こ
の偏光フィルムと前記液晶との間に配置された１枚もし
くは複数枚の複屈折フィルムと、前記第２の基板に対し
液晶と同じ側の基板上に第２の基板から順次形成された
凹凸層、金属反射電極とを備え、前記液晶セルを駆動す
る電子部品が液晶セルの接続端子に接続された構成から
なる反射型液晶表示装置において、前記金属反射電極の
表面の最高部と最低部の高低差の上限値が０．１μｍで
あり、前記液晶のツイスト角が２２０゜から２７０゜で
あり、前記液晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚ｄLCの積Δｎ
LC・ｄLCで表される液晶層のリタデーションが７００ｎ
ｍから１０００ｎｍであり、拡散照明下において、正反
射成分を概略除去し、集光積分して測定した前記金属反
射電極の反射輝度をＢdr、同様にして求めた標準白色板
の反射輝度をＢd0とするとき、 Ｒdr＝Ｂdr／Ｂd0×１００ で定義される前記金属反射電極の拡散反射率Ｒdrが、約
５５から７０の範囲であることを特徴とする反射型液晶
表示装置である。In order to solve the above-mentioned problems, a reflection type liquid crystal display device according to the present invention comprises a liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between a first substrate and a second substrate; A polarizing film disposed on the opposite side to the liquid crystal, one or more birefringent films disposed between the polarizing film and the liquid crystal, and a second substrate on the same side as the liquid crystal. A reflection type liquid crystal display device comprising: a concavo-convex layer sequentially formed from a second substrate on a substrate; and a metal reflective electrode, wherein an electronic component for driving the liquid crystal cell is connected to a connection terminal of the liquid crystal cell. The upper limit of the height difference between the highest part and the lowest part of the surface of the metal reflective electrode is 0.1 μm, the twist angle of the liquid crystal is 220 ° to 270 °, the birefringence Δn LC of the liquid crystal and the liquid crystal layer Product Δn of thickness d LC
LC / d LC retardation of liquid crystal layer is 700n
m to 1000 nm, and under diffuse illumination, the specular reflection component was substantially removed, the reflection luminance of the metal reflective electrode measured by condensing and integrating was Bdr, and the reflection luminance of the standard white plate similarly determined was Bd0. Wherein the diffuse reflectance Rdr of the metal reflective electrode defined by Rdr = Bdr / Bd0 × 100 is in the range of about 55 to 70.
【００１６】この構成によると、反射型液晶表示装置の
拡散反射率Ｒteが高く、視認性が良好な明るい表示が可
能な反射型液晶表示装置を得ることができる。According to this structure, it is possible to obtain a reflection type liquid crystal display device having a high diffuse reflectance Rte of the reflection type liquid crystal display device and capable of displaying a bright image with good visibility.
【００１７】また、上述する課題を解決するため、本発
明の反射型液晶表示装置は、第１の基板と第２の基板と
の間に液晶を封入した液晶セルと、前記第１の基板に対
して前記液晶と反対側に配置された偏光フィルムと、こ
の偏光フィルムと前記液晶との間に配置された１枚もし
くは複数枚の複屈折フィルムと、前記第２の基板に対し
液晶と同じ側の基板上に第２の基板から順次形成された
凹凸層、金属反射電極とを備え、前記液晶セルを駆動す
る電子部品が液晶セルの接続端子に接続された構成から
なる反射型液晶表示装置において、前記金属反射電極の
表面の最高部と最低部の高低差の上限値が０．１μｍで
あり、前記液晶のツイスト角が２２０゜から２７０゜で
あり、前記液晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚ｄLCの積Δｎ
LC・ｄLCで表される液晶層のリタデーションが７００ｎ
ｍから１０００ｎｍであり、前記液晶セルと電子部品と
の接続端子部のうち、第２の基板上に形成した接続端子
部において、凹凸層が無い平坦な面であることを特徴と
する反射型液晶表示装置である。In order to solve the above-mentioned problems, a reflection type liquid crystal display device according to the present invention comprises a liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between a first substrate and a second substrate; A polarizing film disposed on the opposite side to the liquid crystal, one or more birefringent films disposed between the polarizing film and the liquid crystal, and a second substrate on the same side as the liquid crystal. A reflection type liquid crystal display device comprising: a concavo-convex layer sequentially formed from a second substrate on a substrate; and a metal reflective electrode, wherein an electronic component for driving the liquid crystal cell is connected to a connection terminal of the liquid crystal cell. The upper limit of the height difference between the highest part and the lowest part of the surface of the metal reflective electrode is 0.1 μm, the twist angle of the liquid crystal is 220 ° to 270 °, the birefringence Δn LC of the liquid crystal and the liquid crystal layer Product Δn of thickness d LC
LC / d LC retardation of liquid crystal layer is 700n
m to 1000 nm, wherein the connection terminal portion formed on the second substrate among the connection terminal portions between the liquid crystal cell and the electronic component has a flat surface without an uneven layer. A display device.
【００１８】この構成によると、接続端子部における金
属反射電極の狭ピッチ化が向上した反射型液晶表示装置
とすることができる。According to this structure, it is possible to provide a reflection type liquid crystal display device in which the pitch of the metal reflection electrode in the connection terminal portion is improved.
【００１９】また、上述する課題を解決するため、本発
明の反射型液晶表示装置は、前記金属反射電極が、Ｔ
ｉ、Ａｌ合金を順次形成した２層膜であることを特徴と
する反射型液晶表示装置である。Further, in order to solve the above-mentioned problem, in the reflection type liquid crystal display device of the present invention, the metal reflection electrode is formed of T
This is a reflection type liquid crystal display device, which is a two-layer film in which i and Al alloys are sequentially formed.
【００２０】この構成によると、金属反射電極としてＡ
ｌ合金の下層にＴｉを設けることにより、耐ストレスマ
イグレーション性、耐エレクトロマイグレーション性お
よび耐食性が向上した反射型液晶表示装置とすることが
できる。According to this configuration, the metal reflective electrode is made of A
By providing Ti in the lower layer of the 1 alloy, a reflective liquid crystal display device having improved stress migration resistance, electromigration resistance, and corrosion resistance can be obtained.
【００２１】また、Ａｌ合金が合金成分としてＺｒ、Ｔ
ｉ、Ｔａの中の少なくとも１種を含有することが好まし
く、あるいは、Ａｌ合金が、、原子数換算で、合金全体
が１００に対し、合金成分が０．１から５の割合で含有
されていることが好ましく、このような構成とすること
で、金属反射電極のＡｌ合金材料自体の耐ストレスマイ
グレーション性、耐エレクトロマイグレーション性およ
び耐食性が向上し、かつ、配線として抵抗が低く、反射
率が高い、反射型液晶表示装置とすることができる。The Al alloy contains Zr, T
It is preferable to contain at least one of i and Ta, or the Al alloy contains 0.1 to 5 alloy components in terms of the number of atoms with respect to 100 as a whole. With such a configuration, the stress migration resistance, electromigration resistance and corrosion resistance of the Al alloy material itself of the metal reflective electrode are improved, and the wiring has low resistance and high reflectance. A reflective liquid crystal display device can be obtained.
【００２２】また、第２の基板に対し液晶と同じ側の基
板上に第２の基板の凹凸層と金属反射電極との間に、Ｓ
ｉＮ膜が形成されていることが好ましい。この構成によ
ると、凹凸層の上にＳｉＮ膜を設けることにより、凹凸
層に対する水分のバリア性が向上し、金属反射電極の耐
エレクトロマイグレーション性および耐食性が向上した
反射型液晶表示装置とすることができる。Further, on the substrate on the same side as the liquid crystal with respect to the second substrate, an S is provided between the uneven layer of the second substrate and the metal reflective electrode.
Preferably, an iN film is formed. According to this configuration, by providing the SiN film on the uneven layer, the barrier property of moisture to the uneven layer is improved, and the electro-migration resistance and the corrosion resistance of the metal reflective electrode are improved. it can.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２４】（第１の実施の形態）まず、本発明の第1
の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１
は、本発明の第１の実施の形態における反射型液晶表示
装置を示す断面図である。図１において、１０は偏光フ
ィルム（偏光子）、１１ａは複屈折フィルム（１）、１
１ｂは複屈折フィルム（２）、１２は液晶セル、１３は
上側透明基板、１４は透明電極、１５は液晶層、１７は
金属反射電極、１８は凹凸層、１９は下側基板を示す。(First Embodiment) First, the first embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described with reference to the drawings. FIG.
FIG. 1 is a sectional view showing a reflective liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, 10 is a polarizing film (polarizer), 11a is a birefringent film (1), 1
1b is a birefringent film (2), 12 is a liquid crystal cell, 13 is an upper transparent substrate, 14 is a transparent electrode, 15 is a liquid crystal layer, 17 is a metal reflective electrode, 18 is an uneven layer, and 19 is a lower substrate.
【００２５】図２は、図１の下側基板１９上に凹凸層１
７、金属反射電極１７を形成した状態の断面図である。
１は酸化インジウム膜、２はＡｇ合金膜、３は酸化イン
ジウム膜を示し、3層膜からなる金属反射電極１７を構
成している。FIG. 2 shows the uneven layer 1 on the lower substrate 19 of FIG.
7 is a cross-sectional view of a state where a metal reflective electrode 17 is formed.
Reference numeral 1 denotes an indium oxide film, 2 denotes an Ag alloy film, and 3 denotes an indium oxide film, and constitutes a metal reflective electrode 17 composed of a three-layer film.
【００２６】図３は第１の実施の形態の反射型液晶表示
装置の光学構成図である。２０は基準線、２１は上側基
板上の液晶分子の配向方向、２２は下側基板上の液晶分
子の配向方向、２３は液晶セルに近い側の複屈折フィル
ム（１）の遅相軸方向、２４は偏光フィルム側の複屈折
フィルム（２）の遅相軸方向、２５は偏光フィルムの吸
収軸方向を示す。また、φLC0は下側基板１９上の液晶
分子の配向方向２２と、φLCは上側透明基板１３上の液
晶分子の配向方向２１と、φF1は複屈折フィルム（１）
１１ａの遅相軸方向２３と、φF2は複屈折フィルム
（２）１１ｂの遅相軸方向２４と、φpは偏光フィルム
１０の吸収軸方向２５と基準線２０とのなす角度を示
し、液晶のツイスト方向を正とする。また、ΩLCは液晶
のツイスト角度を示す。FIG. 3 is an optical configuration diagram of the reflection type liquid crystal display device of the first embodiment. 20 is a reference line, 21 is the orientation direction of liquid crystal molecules on the upper substrate, 22 is the orientation direction of liquid crystal molecules on the lower substrate, 23 is the slow axis direction of the birefringent film (1) near the liquid crystal cell, Reference numeral 24 denotes a slow axis direction of the birefringent film (2) on the polarizing film side, and reference numeral 25 denotes an absorption axis direction of the polarizing film. Φ LC0 is the orientation direction 22 of the liquid crystal molecules on the lower substrate 19, φ LC is the orientation direction 21 of the liquid crystal molecules on the upper transparent substrate 13, and φ F1 is the birefringent film (1).
And 11a of the slow axis direction 23, phi F2 is the slow axis direction 24 of the birefringent film (2) 11b, φ p denotes an angle between the absorption axis direction 25 and the reference line 20 of the polarizing film 10, the liquid crystal The twist direction is positive. Ω LC indicates the twist angle of the liquid crystal.
【００２７】以下に、本実施の形態における反射型液晶
表示装置の詳細構成を、その製造手順に従って説明す
る。Hereinafter, the detailed structure of the reflection type liquid crystal display device according to the present embodiment will be described in accordance with the manufacturing procedure.
【００２８】まず、上側透明基板１３および下側基板１
９としてガラス基板を用い、上側透明基板１３上に、透
明電極１４としてインジウム・錫・オキサイド（ＩＴ
Ｏ）で画素電極を形成した。また下側基板１９上の全面
に、光および熱伸縮性樹脂をスピンコートにより塗布
し、紫外線を８０から１００ｍJ／ｃｍ2照射後クリーン
オーブンにて１５０℃の熱処理を行うことにより伸縮を
起こし、凸部間平均距離１０μｍ、凹凸の最高部と最低
部の平均高低差が０．０７μｍの凹凸層１８を形成し
た。その上にスパッタリング法により連続成膜して、酸
化インジウム膜、Ａｇ合金膜、酸化インジウム膜を順次
積層し、この3層膜にて同一電極パターンを形成し、金
属反射電極１７を形成した。金属反射電極１７の表面の
凹凸の最大高低差は０．１μｍであった。First, the upper transparent substrate 13 and the lower substrate 1
9, a glass substrate is used. On the upper transparent substrate 13, indium, tin, oxide (IT
O) to form a pixel electrode. Also, light and heat-stretchable resin are applied to the entire surface of the lower substrate 19 by spin coating, irradiated with ultraviolet rays at 80 to 100 mJ / cm 2 , and then heat-treated at 150 ° C. in a clean oven to cause expansion and contraction. An uneven layer 18 having an average part-to-part distance of 10 μm and an average height difference between the highest part and the lowest part of the unevenness of 0.07 μm was formed. An indium oxide film, an Ag alloy film, and an indium oxide film were sequentially stacked thereon by sputtering, and the same electrode pattern was formed with the three-layer film, thereby forming a metal reflective electrode 17. The maximum height difference between the irregularities on the surface of the metal reflective electrode 17 was 0.1 μm.
【００２９】また、上側透明基板１３上の透明電極１４
上および下側基板１９上の金属反射電極１７上に配向膜
を形成した後、ラビングによって配向処理を行った。そ
して、上側透明基板１４上の周囲部分にはガラスファイ
バを１．０ｗｔ％混入した熱硬化性シール樹脂を印刷
し、下側基板１９上には所定の径の樹脂ビーズを２００
個／ｍｍ2の割合で散布し、上側透明基板１４と下側基
板１９を互いに貼り合わせ、１５０℃でシール樹脂を硬
化した。その後、Δｎ＝０．１４のエステル系ネマティ
ック液晶に所定の量のカイラル剤を混ぜた混合液晶を真
空注入し、紫外線硬化性樹脂で封口した後、紫外線照射
により硬化した。The transparent electrode 14 on the upper transparent substrate 13
After forming an alignment film on the metal reflective electrode 17 on the upper and lower substrates 19, an alignment process was performed by rubbing. Then, a thermosetting sealing resin containing glass fiber mixed at 1.0 wt% is printed on a peripheral portion on the upper transparent substrate 14, and a resin bead having a predetermined diameter is printed on the lower substrate 19.
Sprayed at a rate of pieces / mm 2, the upper transparent substrate 14 and lower substrate 19 bonded to each other, to cure the sealing resin at 0.99 ° C.. Thereafter, a mixed liquid crystal in which a predetermined amount of a chiral agent was mixed into an ester-based nematic liquid crystal having Δn = 0.14 was vacuum-injected, sealed with an ultraviolet curable resin, and then cured by irradiation with ultraviolet light.
【００３０】このようにして形成した液晶セル１２の上
側透明基板１３の上に複屈折フィルム（１）１１ａ、複
屈折フィルム（２）１１ｂとして、リタデーション値が
それぞれ所定のものを、遅相軸がそれぞれ所定の角度と
なるように貼り合わせた。さらにその上に偏光フィルム
１１として、ニュートラルグレーの偏光フィルム（住友
化学工業（株）製ＳＱ−１８５２ＡＰ）にアンチグレア
（ＡＧ）処理を施したものを、吸収軸の方向が所定の角
度をなすように貼り合わせた。On the upper transparent substrate 13 of the liquid crystal cell 12 thus formed, a birefringent film (1) 11a and a birefringent film (2) 11b having predetermined retardation values, respectively, Each was bonded so as to have a predetermined angle. Further, a neutral gray polarizing film (SQ-1852AP manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) that has been subjected to anti-glare (AG) treatment as a polarizing film 11 thereon is applied so that the direction of the absorption axis forms a predetermined angle. Stuck together.
【００３１】φLC0＝−３５°、 φLC＝３５°、 ΩLC＝２５０°、 φF1＝１５５°、 φF2＝９５°、 φp＝３５°、 とし、 ｜Ｒfilm（２）−Ｒfilm（１）｜≦２００ｎｍ、 を満たす場合、ΔｎLC・ｄLCを変化させて反射モードで
光学特性を測定すると、７００ｎｍから１０００ｎｍの
範囲で、画素内で均一に反射率が低く無彩色の黒表示
と、反射率が高く無彩色の白表示を得ることができるノ
ーマリーブラックモードの反射型液晶表示装置を実現で
きる。これは、白表示と黒表示が十分にできるだけの液
晶のリタデーション差があり、なおかつ、液晶の複屈折
効果による色付きを補償できる範囲であることによる。Φ LC0 = −35 °, φ LC = 35 °, Ω LC = 250 °, φ F1 = 155 °, φ F2 = 95 °, φ p = 35 °, and | R film (2) -R When the film (1) | ≦ 200 nm is satisfied, when Δn LC · d LC is changed and the optical characteristics are measured in the reflection mode, the reflectance is low and achromatic black uniformly within the pixel in the range of 700 nm to 1000 nm. It is possible to realize a normally black mode reflective liquid crystal display device which can obtain a display and an achromatic white display having a high reflectance. This is because there is a retardation difference of the liquid crystal that can sufficiently display white and black, and it is within a range in which coloring due to the birefringence effect of the liquid crystal can be compensated.
【００３２】液晶のツイスト角度については、単純マト
リクス駆動する場合、選択可能な電極の本数であるデュ
ーティー比に影響があり、ツイスト角度が大きいほどデ
ューティー比を小さくでき、選択本数を増やすことがで
き、画素数を増やすことができる。本実施の形態におい
て、液晶のツイスト角度を２２０°から２７０°の範囲
内とすることにより、デューティー比１／２００以下で
駆動しても良好な表示を得られることも確認している。With respect to the twist angle of the liquid crystal, in the case of simple matrix driving, the duty ratio, which is the number of selectable electrodes, is affected. As the twist angle increases, the duty ratio can be reduced, and the number of selected electrodes can be increased. The number of pixels can be increased. In the present embodiment, it has also been confirmed that by setting the twist angle of the liquid crystal within the range of 220 ° to 270 °, good display can be obtained even when driven at a duty ratio of 1/200 or less.
【００３３】また、金属反射電極の表面の凹凸の高低差
については、最大高低差の上限値が０．１μｍで、反射
率、無彩色性などの光学特性の均一性がよく、良好な表
示を得られることも確認している。Regarding the height difference of the irregularities on the surface of the metal reflective electrode, the upper limit of the maximum height difference is 0.1 μm, the uniformity of the optical characteristics such as reflectance and achromaticity is good, and a good display is obtained. We have confirmed that it can be obtained.
【００３４】ここで具体的に、 ΔｎLC・ｄLC＝８５０ｎｍ、 Ｒfilm（１）＝５００ｎｍ、 Ｒfilm（２）＝７００ｎｍ、 φLC0＝−３５°、 φLC＝３５°、 ΩLC＝２５０°、 φF1＝１５５°、 φF2＝９５°、 φp＝３５°、 とした場合の光学特性を測定した結果を示す。Here, specifically, Δn LC · d LC = 850 nm, R film (1) = 500 nm, R film (2) = 700 nm, φ LC0 = −35 °, φ LC = 35 °, Ω LC = 250 °, it indicates φ F1 = 155 °, φ F2 = 95 °, φ p = 35 °, and the results of the optical characteristics were measured when.
【００３５】１／２４０デューティー比での正面特性と
して測定した。結果としては、コントラスト１３．８、
Ｙ値換算での白表示の反射率が５８．５％という良好な
特性が得られた。また、黒表示から白表示まで無彩色に
変化することも確認した。また、画素内の反射率のばら
つきも±０．２％以内であることを確認している。これ
により、反射率の低い無彩色の黒表示と反射率の高い無
彩色の白表示が得られ、コントラストの高い反射型液晶
表示装置を実現できる。The front characteristics were measured at a duty ratio of 1/240. As a result, the contrast is 13.8,
As a result, good characteristics were obtained in which the reflectance of white display in terms of the Y value was 58.5%. It was also confirmed that the color changed from black display to white display to achromatic color. Further, it has been confirmed that the variation in the reflectance within the pixel is within ± 0.2%. As a result, an achromatic black display with a low reflectance and an achromatic white display with a high reflectance are obtained, and a reflective liquid crystal display device with high contrast can be realized.
【００３６】なお、ここで用いた液晶層のリタデーショ
ン値ΔｎLC・ｄLCおよび複屈折フィルムのリタデーショ
ン値Ｒfilm（ｉ）はλ＝５５０ｎｍの光に対するリタデ
ーション値である。Here, the retardation value Δn LC · d LC of the liquid crystal layer and the retardation value R film (i) of the birefringent film used here are the retardation values for light of λ = 550 nm.
【００３７】（第２の実施の形態）次に、本発明の第２
の実施の形態を図面を参照して説明する。本実施の形態
における反射型液晶表示装置の主要構成および製造手順
は、上述した第１の実施の形態における反射型液晶表示
装置の主要構成および製造手順と、金属反射電極構成お
よびカラーフィルタの有無を除いて同じである。したが
って、本実施の形態において、特に説明のないものにつ
いては、第1の実施の形態と同じとし、第1の実施の形態
と同一符号を付与している構成部材については、特に説
明のない限り、第1の実施の形態と同様の機能を持つも
のとする。また、図４の本発明の第２の実施の形態にお
ける反射型液晶表示装置の断面図、図５の第２の実施の
形態における金属反射電極を形成した基板の断面図、お
よび図２の反射型液晶表示装置の光学構成図を用いて説
明する。図４において、第1の基板上にカラーフィルタ
３０を形成している。図５において、第２の基板上にＴ
ｉ膜２１、Ａｌ合金膜２０を順次積層し、２層膜の金属
反射電極２７を形成している。(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described with reference to the drawings. The main configuration and the manufacturing procedure of the reflective liquid crystal display device in the present embodiment are based on the main configuration and the manufacturing procedure of the reflective liquid crystal display device in the first embodiment, and the configuration of the metal reflective electrode and the presence or absence of the color filter. Same except. Therefore, in the present embodiment, components that are not particularly described are assumed to be the same as those in the first embodiment, and the components having the same reference numerals as those in the first embodiment are provided unless otherwise specified. Have the same functions as those of the first embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view of a reflective liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention, FIG. 5 is a cross-sectional view of a substrate on which a metal reflective electrode is formed in the second embodiment, and FIG. Is described with reference to an optical configuration diagram of a liquid crystal display device. In FIG. 4, a color filter 30 is formed on a first substrate. In FIG. 5, T is placed on the second substrate.
The i film 21 and the Al alloy film 20 are sequentially laminated to form a two-layer metal reflective electrode 27.
【００３８】以下に、本実施の形態における反射型液晶
表示装置の詳細構成を、その製造手順に従って説明す
る。図４に示す構成について説明する。上側透明基板１
３上にカラーフィルタ３０を形成した後、アクリル系樹
脂により平坦化層３１を設けた後、透明電極１４として
インジウム・錫・オキサイド（ＩＴＯ）で画素電極を形
成する。ここでカラーフィルタ３０の形成方法として、
印刷板に形成したパターンをブランケットを介して基板
表面に転写する印刷法や、顔料を分散したカラーフィル
タ層形成用レジストを基板上に塗布し、フォトリソグラ
フィーで形成する顔料分散法を用いることにより、赤、
緑、青のストライプ配列のものを形成した。Hereinafter, the detailed structure of the reflection type liquid crystal display device according to the present embodiment will be described in accordance with the manufacturing procedure. The configuration shown in FIG. 4 will be described. Upper transparent substrate 1
After a color filter 30 is formed on 3, a flattening layer 31 is provided with an acrylic resin, and then a pixel electrode is formed of indium tin oxide (ITO) as a transparent electrode 14. Here, as a method of forming the color filter 30,
By using a printing method of transferring the pattern formed on the printing plate to the substrate surface via a blanket, or using a pigment dispersion method of applying a color filter layer forming resist in which a pigment is dispersed on the substrate and forming it by photolithography, Red,
Green and blue stripes were formed.
【００３９】また、下側基板１９上の全面に、光および
熱伸縮性樹脂をスピンコートにより塗布し、紫外線を８
０から１００ｍJ／ｃｍ2照射後クリーンオーブンにて１
５０℃の熱処理を行うことにより伸縮を起こし、凸部間
平均距離５μｍ、凹凸の最高部と最低部の平均高低差が
０．０５μｍの凹凸層１８を形成した。その上にスパッ
タリング法により連続成膜して、Ｔｉ膜２１、Ａｌ合金
膜２０を順次積層し、この２層膜にて同一電極パターン
を形成し、金属反射電極２７を形成した。金属反射電極
２７の表面の凹凸の最大高低差は０．０７μｍであっ
た。Light and heat-stretchable resin are applied on the entire surface of the lower substrate 19 by spin coating, and ultraviolet light is applied to the entire surface.
After irradiation from 0 to 100 mJ / cm 2, clean oven 1
By performing heat treatment at 50 ° C., expansion and contraction occurred, and an uneven layer 18 having an average distance between convex portions of 5 μm and an average height difference between the highest portion and the lowest portion of the unevenness of 0.05 μm was formed. A Ti film 21 and an Al alloy film 20 were sequentially laminated thereon by a sputtering method, and the same electrode pattern was formed with the two-layer film, thereby forming a metal reflective electrode 27. The maximum height difference between the irregularities on the surface of the metal reflective electrode 27 was 0.07 μm.
【００４０】以降、第１の実施の形態において説明した
製造手順と同じ製造手順によって製造された反射型液晶
表示装置において、液晶のツイスト角度が２２０°から
２７０°の範囲内とし、液晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚
ｄLCとの積ΔｎLC・ｄLCで表されるリタデーション値が
７００ｎｍから１０００ｎｍの範囲内とする。Hereinafter, in the reflection type liquid crystal display device manufactured by the same manufacturing procedure as that described in the first embodiment, the twist angle of the liquid crystal is set in the range of 220 ° to 270 °, and the birefringence of the liquid crystal is set. The retardation value represented by the product Δn LC · d LC of Δn LC and the liquid crystal layer thickness d LC is in the range of 700 nm to 1000 nm.
【００４１】このような構成とすることにより、カラー
フィルタを用いることからカラー表示が可能となる。し
たがって、画素内均一な明るさの白表示および高いコン
トラストが得られ、無彩色の白黒表示が可能である良好
な光学特性を有する反射型液晶表示装置が得られる。With such a configuration, a color display can be realized by using a color filter. Therefore, it is possible to obtain a reflective liquid crystal display device having good optical characteristics, which enables a white display and a high contrast with uniform brightness in a pixel to be obtained, and enables an achromatic monochrome display.
【００４２】上記の有効性については、以下に示すよう
な実施例で確認した。The above effectiveness was confirmed by the following examples.
【００４３】具体的に、 ΔｎLC・ｄLC＝８５０ｎｍ、 Ｒfilm（１）＝５００ｎｍ、 Ｒfilm（２）＝７００ｎｍ、 φLC0＝−３５°、 φLC＝３５°、 ΩLC＝２５０°、 φF1＝１５５° φF2＝９５°、 φp＝３５°、 とした場合の光学特性を測定した結果を示す。１／２４
０デューティー比での正面特性として測定した結果、コ
ントラスト１４．５、Ｙ値換算での白表示の反射率が１
６．５％という良好な特性が得られた。また、黒表示か
ら白表示まで無彩色に変化するので１６階調４０９６色
表示が可能であることも確認した。画素内の反射率のば
らつきも±０．１％以内であることを確認している。こ
れにより、反射率の低い無彩色の黒表示と反射率の高い
無彩色の白表示が得られ、コントラストの高い反射型カ
ラー液晶表示装置を実現できる。Specifically, Δn LC · d LC = 850 nm, R film (1) = 500 nm, R film (2) = 700 nm, φ LC0 = −35 °, φ LC = 35 °, Ω LC = 250 °, The results of measuring the optical characteristics when φ F1 = 155 ° φ F2 = 95 ° and φ p = 35 ° are shown. 1/24
As a result of measurement as front characteristics at 0 duty ratio, the contrast of 14.5 and the reflectance of white display in Y value conversion were 1
Good characteristics of 6.5% were obtained. In addition, since the color changes from a black display to a white display to an achromatic color, it was also confirmed that 4096 colors of 16 gradations can be displayed. It has been confirmed that the variation in the reflectance within the pixel is also within ± 0.1%. As a result, an achromatic black display with a low reflectance and an achromatic white display with a high reflectance are obtained, and a reflective color liquid crystal display device with high contrast can be realized.
【００４４】なお、ここで用いた液晶層のリタデーショ
ン値ΔｎLC・ｄLCおよび複屈折フィルムのリタデーショ
ン値Ｒfilm（ｉ）はλ＝５５０ｎｍの光に対するリタデ
ーション値である。The retardation value Δn LC · d LC of the liquid crystal layer and the retardation value R film (i) of the birefringent film used here are retardation values for light of λ = 550 nm.
【００４５】（第３の実施の形態）次に、本発明の第３
の実施の形態を図面を参照して説明する。本実施の形態
における反射型液晶表示装置の主要構成および製造手順
は、上述した第２の実施の形態における反射型液晶表示
装置の主要構成および製造手順と同じである。したがっ
て、本実施の形態において、特に説明のないものについ
ては、第２の実施の形態を同じとし、第２の実施の形態
と同一符号を付与している構成部材については特に説明
のない限り、第２の実施の形態と同様の機能を持つもの
とする。(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described with reference to the drawings. The main configuration and the manufacturing procedure of the reflection type liquid crystal display device according to the present embodiment are the same as the main configuration and the manufacturing procedure of the reflection type liquid crystal display device according to the second embodiment described above. Therefore, in the present embodiment, the components which are not particularly described are the same as those in the second embodiment, and the components denoted by the same reference numerals as those in the second embodiment are described unless otherwise specified. It has the same function as the second embodiment.
【００４６】以下に、本実施の形態における反射型液晶
表示装置の詳細を説明する。Hereinafter, the details of the reflection type liquid crystal display device according to the present embodiment will be described.
【００４７】第２の基板に相当する下側基板１９上の全
面に、光および熱伸縮性樹脂をスピンコートにより塗布
し、紫外線を８０から１００ｍJ／ｃｍ2照射後クリーン
オーブンにて１５０℃の熱処理を行うことにより伸縮を
起こし、凹凸層を形成し、その上にスパッタリング法に
より連続成膜して、Ｔｉ膜２０、Ａｌ合金膜２１を順次
積層し、この２層膜にて同一電極パターンを形成し、金
属反射電極２７を形成した。A light and heat-stretchable resin is applied on the entire surface of the lower substrate 19 corresponding to the second substrate by spin coating, irradiated with ultraviolet rays at 80 to 100 mJ / cm 2 and then heat-treated at 150 ° C. in a clean oven. Is performed to form an uneven layer, a continuous film is formed thereon continuously by a sputtering method, and a Ti film 20 and an Al alloy film 21 are sequentially laminated, and the same electrode pattern is formed by the two-layer film. Thus, a metal reflective electrode 27 was formed.
【００４８】本実施の形態では、拡散反射率の実験とし
て、光および熱伸縮性樹脂の材料の組成を変えて、異な
る形状の凹凸層を形成し、その上に金属反射電極を形成
し、拡散反射率Ｒdrの異なる種々の金属反射電極を作製
した。また、それぞれの拡散反射率Ｒdrの異なる種々の
金属反射電極を用いて、実施の形態２と同様に反射型液
晶表示装置として作製した。それぞれの金属反射電極の
拡散反射率Ｒdrと反射型液晶表示装置の拡散反射率Ｒte
がとの関係を測定した結果を、図６に示す。なお、測定
には、ミノルタ株式会社製の分光測色計ＣＭ−５０８ｄ
を用いた。In the present embodiment, as an experiment of diffuse reflectance, the composition of the light and heat-stretchable resin material is changed to form uneven layers of different shapes, and a metal reflective electrode is formed thereon, Various metal reflective electrodes having different reflectivities R dr were produced. A reflective liquid crystal display device was manufactured in the same manner as in Embodiment 2 using various metal reflective electrodes having different diffuse reflectances Rdr . The diffuse reflectance Rdr of each metal reflective electrode and the diffuse reflectance Rte of the reflective liquid crystal display device
FIG. 6 shows the result of measurement of the relationship with. The measurement was performed using a spectrophotometer CM-508d manufactured by Minolta Co., Ltd.
Was used.
【００４９】図６からわかるように、金属反射電極単体
の拡散反射率Ｒdrが５５％付近まで増加するに伴って、
反射型液晶表示装置の拡散反射率Ｒteも増加傾向を示し
ている。金属反射電極単体の拡散反射率Ｒdrは、５５か
ら７０％付近でピークをむかえ、７０％以上になると反
射型液晶表示装置の拡散反射率Ｒteの値が急激に減少し
た。金属反射電極単体の拡散反射率Ｒdrが５５から７０
％の範囲では、反射型液晶表示装置の拡散反射率Ｒteが
１５％以上の値が得られ、視認性が良好な明るい表示が
可能な反射型液晶表示装置を得ることができた。また、
黒表示から白表示まで無彩色に変化するので１６階調４
０９６色表示が可能であることも確認した。画素内の反
射率のばらつきも±０．１％以内であることを確認して
いる。これにより、反射率の低い無彩色の黒表示と反射
率の高い無彩色の白表示が得られ、コントラストの高い
反射型カラー液晶表示装置を実現できる。As can be seen from FIG. 6, as the diffuse reflectance Rdr of the metal reflective electrode alone increases to around 55%,
The diffuse reflectance Rte of the reflection type liquid crystal display device also shows an increasing tendency. The diffuse reflectance Rdr of the metal reflective electrode alone peaked at around 55 to 70%, and when it exceeded 70%, the value of the diffuse reflectance Rte of the reflective liquid crystal display device sharply decreased. The diffuse reflectance Rdr of the metal reflective electrode alone is 55 to 70
%, The diffuse reflectance Rte of the reflective liquid crystal display device was at least 15%, and a reflective liquid crystal display device with good visibility and capable of bright display could be obtained. Also,
16 gray levels 4 because achromatic color changes from black display to white display
It was also confirmed that 096 color display was possible. It has been confirmed that the variation in the reflectance within the pixel is also within ± 0.1%. As a result, an achromatic black display with a low reflectance and an achromatic white display with a high reflectance are obtained, and a reflective color liquid crystal display device with high contrast can be realized.
【００５０】（第４の実施の形態）次に、本発明の第４
の実施の形態を図面を参照して説明する。本実施の形態
における反射型液晶表示装置の主要構成および製造手順
は、上述した第１の実施の形態における反射型液晶表示
装置の主要構成および製造手順と同じである。したがっ
て、本実施の形態において、特に説明のないものについ
ては、第１の実施の形態を同じとし、第１の実施の形態
と同一符号を付与している構成部材については特に説明
のない限り、第１の実施の形態と同様の機能を持つもの
とする。また、図１の本発明の第１の実施の形態におけ
る反射型液晶表示装置の断面図および図７の本発明の第
４の実施の形態における反射型液晶表示装置の第２の基
板上の接続端子部の断面図を用いて説明する。図７にお
いて、４０は異方導電性接着剤、４１はＴＡＢを示す。(Fourth Embodiment) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described with reference to the drawings. The main configuration and the manufacturing procedure of the reflective liquid crystal display device according to the present embodiment are the same as the main configuration and the manufacturing procedure of the reflective liquid crystal display device according to the first embodiment described above. Therefore, in the present embodiment, the components that are not particularly described are the same as those in the first embodiment, and the components denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment are unless otherwise specified. It has the same function as the first embodiment. FIG. 1 is a cross-sectional view of the reflective liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a connection diagram on the second substrate of the reflective liquid crystal display device according to the fourth embodiment of the present invention. This will be described with reference to a cross-sectional view of the terminal portion. In FIG. 7, reference numeral 40 denotes an anisotropic conductive adhesive, and 41 denotes TAB.
【００５１】以下に、本実施の形態における反射型液晶
表示装置の詳細構成をその手順に従って説明する。The detailed configuration of the reflection type liquid crystal display device according to the present embodiment will be described below according to the procedure.
【００５２】第２の基板に相当する下側基板１９上の全
面に、光および熱伸縮性樹脂をスピンコートにより塗布
し、電子部品との接続端子部を含む表示エリア以外の領
域が遮光されたフォトマスクを用いて紫外線を８０から
１００ｍJ／ｃｍ2照射した。次に有機アルカリを用いて
一定時間現像を行い、その後クリーンオーブンにて１５
０℃の熱処理を行うことにより伸縮を起こした。このと
き表示エリアのみに凸部間平均距離９μｍ、凹凸の最高
部と最低部の平均高低差が０．０４μｍの凹凸層１８を
形成された。その上にスパッタリング法により連続成膜
して、酸化インジウム膜１、Ａｇ合金膜２、酸化インジ
ウム膜３を順次積層し、この3層膜にて同一電極パター
ンを形成し、金属反射電極１７を形成した。金属反射電
極１７の表面の凹凸の最大高低差は０．１μｍであっ
た。Light and heat-stretchable resin are applied on the entire surface of the lower substrate 19 corresponding to the second substrate by spin coating, and the area other than the display area including the connection terminal portion with the electronic component is shielded from light. Ultraviolet rays were irradiated at 80 to 100 mJ / cm 2 using a photomask. Next, development is carried out for a certain period of time using an organic alkali, and thereafter, 15 minutes in a clean oven.
Expansion and contraction was caused by heat treatment at 0 ° C. At this time, an uneven layer 18 having an average distance between the convex portions of 9 μm and an average height difference between the highest portion and the lowest portion of the unevenness of 0.04 μm was formed only in the display area. On this film, an indium oxide film 1, an Ag alloy film 2, and an indium oxide film 3 are sequentially laminated by a sputtering method, and the same electrode pattern is formed with the three-layer film to form a metal reflective electrode 17. did. The maximum height difference between the irregularities on the surface of the metal reflective electrode 17 was 0.1 μm.
【００５３】以上の処理により電子部品との接続端子部
領域を含む非表示エリア領域では凹凸層１８を無くすこ
とができる。つまり、接続端子部において下側基板１９
上に金属反射電極１７が直接形成される構造となる。こ
れにより異方導電性接着剤４０を介してＴＡＢ４１との
接続する端子部の狭ピッチ化をはかることができる。つ
まり、高精細化を実現することができる。比較として、
端子部が凹凸形状１８、金属反射電極１７の構成をとる
場合、端子部ピッチが６５μｍであるとオープン、隣の
端子とのショートが発生するのに対し、図７に示すよう
な下側基板１９、金属反射電極１７の構成の場合オープ
ン、ショート共に問題なく接続可能であることを確認し
ている。With the above processing, the uneven layer 18 can be eliminated in the non-display area including the connection terminal area with the electronic component. In other words, the lower substrate 19
The structure is such that the metal reflective electrode 17 is directly formed thereon. Thereby, the pitch of the terminal portion connected to the TAB 41 via the anisotropic conductive adhesive 40 can be narrowed. That is, high definition can be realized. As a comparison,
In the case where the terminal portion has the concavo-convex shape 18 and the metal reflective electrode 17, if the terminal portion pitch is 65 μm, the terminal portion opens and short-circuits with an adjacent terminal, whereas the lower substrate 19 as shown in FIG. In the case of the configuration of the metal reflective electrode 17, it has been confirmed that both open and short can be connected without any problem.
【００５４】（第５の実施の形態）次に、本発明の第５
の実施の形態を図面を参照して説明する。本実施の形態
における反射型液晶表示装置の主要構成および製造手順
は、上述した第２の実施の形態における反射型液晶表示
素子の主要構成および製造手順と同じである。したがっ
て、本実施の形態において、特に説明のないものについ
ては、第２の実施の形態を同じとし、第２の実施の形態
と同一符号を付与している構成部材については特に説明
のない限り、第２の実施の形態と同様の機能を持つもの
とする。また、図４の本発明の第２の実施の形態におけ
る反射型液晶表示装置の断面図および図８の本発明の第
５の実施の形態における反射型液晶表示装置の第２の基
板上の接続端子部の断面図を用いて説明する。図８にお
いて、１８は凹凸層、２７は金属反射電極、２２はアク
リル系樹脂、２３は異方性導電接着剤、２４はＴＡＢテ
ープキャリア、２５はＬＳＩチップ、２６はプリント基
板を示す。図８に示すように、液晶セルを駆動する電子
部品が液晶セルの接続端子に接続された構成としては、
電子部品を搭載したプリント基板２６と、ＬＳＩチップ
２５を搭載したＴＡＢテープキャリア２４とを使用し、
プリント基板２６とＴＡＢテープキャリアを接続し、液
晶セルの電極とＴＡＢテープキャリア２４とを異方性導
電接着剤２３を介して接続した。さらに、液晶セルを駆
動する電子部品を異方性導電接着剤２３を介して接続し
た電極部と表示部との間の電極の露出部を、アクリル系
樹脂２２として、日立化成学工業（株）製のＴＵＦＦＹ
（ＴＦ１１４１）で被覆した。(Fifth Embodiment) Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described with reference to the drawings. The main configuration and the manufacturing procedure of the reflective liquid crystal display device according to the present embodiment are the same as the main configuration and the manufacturing procedure of the reflective liquid crystal display element according to the second embodiment described above. Therefore, in the present embodiment, the components which are not particularly described are the same as those in the second embodiment, and the components denoted by the same reference numerals as those in the second embodiment are described unless otherwise specified. It has the same function as the second embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view of the reflective liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a connection diagram on the second substrate of the reflective liquid crystal display device according to the fifth embodiment of the present invention. This will be described with reference to a cross-sectional view of the terminal portion. In FIG. 8, 18 is an uneven layer, 27 is a metal reflective electrode, 22 is an acrylic resin, 23 is an anisotropic conductive adhesive, 24 is a TAB tape carrier, 25 is an LSI chip, and 26 is a printed circuit board. As shown in FIG. 8, a configuration in which electronic components for driving a liquid crystal cell are connected to connection terminals of the liquid crystal cell includes:
Using a printed circuit board 26 on which electronic components are mounted and a TAB tape carrier 24 on which an LSI chip 25 is mounted,
The printed circuit board 26 and the TAB tape carrier were connected, and the electrodes of the liquid crystal cell and the TAB tape carrier 24 were connected via the anisotropic conductive adhesive 23. Furthermore, the exposed part of the electrode between the electrode part and the display part where the electronic parts for driving the liquid crystal cell are connected via the anisotropic conductive adhesive 23 is made of an acrylic resin 22 by using Hitachi Chemical Co., Ltd. TUFFY
(TF1141).
【００５５】以下に、本実施の形態における反射型液晶
表示装置の詳細を説明する。The details of the reflective liquid crystal display device according to the present embodiment will be described below.
【００５６】本実施の形態では、反射型液晶表示装置の
金属反射電極において、合金成分としてＺｒ、Ｔｉ、Ｔ
ａの中の各１種を、原子数換算で、合金全体が１００に
対し、合金成分が０．１から５の割合を越えた含有量ま
で、のＡｌ合金について、金属反射電極としての耐スト
レスマイグレーション性、耐エレクトロマイグレーショ
ン性および耐食性、反射率、比抵抗について調べた。
（原子数換算で、合金全体が１００に対し、合金成分が
０．１から５の割合を含有するＡｌ合金について、合金
成分としてＺｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の各１種を含む場合の
重量換算は、Ｚｒは０．３ｗｔ％から１５ｗｔ％、Ｔｉ
は０．２ｗｔ％から８．５ｗｔ％、Ｔａは０．７ｗｔ％
から２６ｗｔ％である。） （実施例１）以下、本発明の実施例について説明する。
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の各１種を、原子数換算で、合金
全体が１００に対し、合金成分が０．１から５の割合を
越えた含有量までのＡｌ合金ターゲットとＴｉターゲッ
トを用いて、スパッタリング法により、ガラス基板上
に、Ｔｉ膜を５００Å、Ａｌ合金膜を２０００Å順次積
層し、この２層膜にて同一電極パターンを形成し、２層
膜の鏡面の金属反射電極とし、これを試料とした。In this embodiment, in the metal reflective electrode of the reflective liquid crystal display device, Zr, Ti, T
a for each alloy in terms of the number of atoms in terms of the total number of alloys, and 100% of the alloy component with respect to the content of 0.1 to more than 5, the stress resistance as a metal reflective electrode. The migration property, electromigration resistance and corrosion resistance, reflectance, and specific resistance were examined.
(In terms of the number of atoms, the weight of an Al alloy containing 0.1 to 5 in terms of the number of atoms with respect to 100 as a whole alloy when one of Zr, Ti, and Ta is included as the alloy component. Means that Zr is 0.3 wt% to 15 wt%, Ti
Is 0.2 wt% to 8.5 wt%, Ta is 0.7 wt%
To 26 wt%. Embodiment 1 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.
Using one of Zr, Ti, and Ta in terms of the number of atoms, an Al alloy target and a Ti target having an alloy component content of 0.1 to over 5 with respect to 100 for the entire alloy. Then, by sputtering, a Ti film and an Al alloy film are sequentially laminated on a glass substrate by 500Å and an Al alloy film by 2000Å, and the same electrode pattern is formed by the two-layer film to form a mirror reflection metal electrode of the two-layer film. Was used as a sample.
【００５７】上記試料について、２００℃で１時間空気
中で熱処理をした後、ストライプパターン表面に発生す
るヒロック数を測定し、ヒロック密度を求めた。その結
果を図９に示す。Ｚｒは０．３ｗｔ％以上、Ｔｉは０．
２ｗｔ％以上、Ｔａは０．７ｗｔ％以上、すなわち、Ｚ
ｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の各１種を、原子数換算で、合金全
体が１００に対し、合金成分の割合が０．１以上、の添
加によりヒロック密度が大幅に減少し、耐ストレスマイ
グレーション性が向上した。After heat-treating the sample at 200 ° C. for 1 hour in the air, the number of hillocks generated on the surface of the stripe pattern was measured to determine the hillock density. FIG. 9 shows the result. Zr is 0.3 wt% or more, and Ti is 0.1 wt% or more.
2 wt% or more, Ta is 0.7 wt% or more, that is, Z
The addition of each of r, Ti, and Ta in terms of the number of atoms in terms of the number of atoms in the alloy as a whole, with the proportion of the alloy component being 0.1 or more, greatly reduces the hillock density and increases the stress migration resistance. Improved.
【００５８】また、上記試料について環境加速試験は、
ＰＣＴ（Pressure Cooker Test）として、 温度１０５℃、 圧力１．２×１．０１３２５×１０5Ｐａ、 湿度１００％ＲＨ、 の環境試験を行い、膜の耐食性を評価した。ＰＣＴ６０
時間後における表面観察では、合金の含有量が０ｗｔ％
すなわち純Ａｌの金属反射電極では、表面が変色した
が、合金の含有量が重量換算で、Ｚｒは０．３ｗｔ％か
ら１５ｗｔ％、Ｔｉは０．２ｗｔ％から８．５ｗｔ％、
Ｔａは０．７ｗｔ％から２６ｗｔ％、を越えたものすな
わち、原子数換算で、合金全体が１００に対し、合金成
分が０．１から５の割合を越えたものでは、表面上の異
常は観察されなかった。この結果から、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔ
ａの中の各１種を、原子数換算で、合金全体が１００に
対し、合金成分の割合が０．１以上、添加することによ
り、耐食性が向上した。An environmental acceleration test was performed on the sample described above.
As a PCT (Pressure Cooker Test), an environmental test at a temperature of 105 ° C., a pressure of 1.2 × 1.01325 × 10 5 Pa, and a humidity of 100% RH was performed to evaluate the corrosion resistance of the film. PCT60
In the surface observation after a lapse of time, the alloy content was 0 wt%.
That is, the surface of the metal reflective electrode made of pure Al was discolored, but the content of the alloy was expressed in terms of weight as Zr: 0.3 wt% to 15 wt%, Ti: 0.2 wt% to 8.5 wt%,
In the case where Ta exceeds 0.7 wt% to 26 wt%, that is, in terms of the number of atoms, when the alloy component exceeds 0.1 to 5 with respect to 100 as a whole alloy, abnormalities on the surface are observed. Was not done. From these results, Zr, Ti, T
The corrosion resistance was improved by adding each one of a in terms of the number of atoms in terms of the number of atoms, with the proportion of the alloy component being 0.1 or more with respect to 100 as a whole alloy.
【００５９】（実施例２）Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の各１
種を、原子数換算で、合金全体が１００に対し、合金成
分が０．１から５の割合を越えた含有量までのＡｌ合金
ターゲットとＴｉターゲットを用いて、スパッタリング
法により、凹凸層を形成したガラス基板上に、Ｔｉ膜を
５００Å、Ａｌ合金膜を２０００Å順次積層し、この２
層膜にて同一電極パターンを形成し、２層膜の鏡面の金
属反射電極とし、これを試料とした。Example 2 Each of Zr, Ti and Ta
Forming a concavo-convex layer by a sputtering method using an Al alloy target and a Ti target whose contents are in the range of 0.1 to more than 5 in terms of the number of atoms in terms of the number of atoms in terms of the number of atoms in the alloy as a whole. On the glass substrate thus formed, a Ti film and an Al alloy film were sequentially laminated in a thickness of 500 ° and 2000 °.
The same electrode pattern was formed with the layer film, and the mirror reflection metal electrode of the two-layer film was used as a sample.
【００６０】上記金属反射電極を用いて、上記の図８の
反射型液晶表示装置の構成にて、温度６０℃湿度９０％
ＲＨの環境下で、反射型液晶表示装置の通電試験５００
ｈを行い、電極の耐エレクトロマイグレーション性を評
価した。合金の含有量が０ｗｔ％すなわち純Ａｌの金属
反射電極では、断線が発生したが、合金の含有量が重量
換算で、Ｚｒは０．３ｗｔ％から１５ｗｔ％、Ｔｉは
０．２ｗｔ％から８．５ｗｔ％、Ｔａは０．７ｗｔ％か
ら２６ｗｔ％、を越えたものすなわち、原子数換算で、
合金全体が１００に対し、合金成分が０．１から５の割
合を越えたものでは、断線などの異常もなく、表面上の
異常も観察されなかった。この結果から、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｔａの中の各１種を、原子数換算で、合金全体が１００
に対し、合金成分の割合が０．１以上、添加により、耐
エレクトロマイグレーション性が向上した。Using the above-described metal reflective electrode, the structure of the reflective liquid crystal display device shown in FIG.
Under a RH environment, an energization test 500 of a reflection type liquid crystal display device
h, and the electromigration resistance of the electrode was evaluated. In a metal reflective electrode having an alloy content of 0 wt%, that is, a pure Al metal, a disconnection occurred, but the alloy content was 0.3 to 15 wt% in terms of weight, and 0.2 to 8 wt% for Ti in terms of weight. 5 wt%, Ta exceeds 0.7 wt% to 26 wt%, that is, in terms of the number of atoms,
When the alloy composition exceeded 0.1 to 5 with respect to 100 as a whole alloy, there was no abnormality such as disconnection and no abnormality on the surface was observed. From these results, Zr, Ti,
Each kind of Ta is converted into 100 atoms in terms of the number of atoms.
On the other hand, the electromigration resistance was improved by adding the alloy component at a ratio of 0.1 or more.
【００６１】実施例１、実施例２の結果から、上記構成
の金属反射電極において、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の各１
種を、原子数換算で、合金全体が１００に対し、合金成
分が０．１から５の割合を越えた含有量でのＡｌ合金で
は、耐ストレスマイグレーション性、耐エレクトロマイ
グレーション性および耐食性が向上し、信頼性の高い反
射型液晶表示装置とすることができる。この効果は、Ｚ
ｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の２種以上を同時に含有しその総量
が、原子数換算で、合金全体が１００に対し、合金成分
が０．１から５の割合を越えた場合でも得られる。From the results of Example 1 and Example 2, in the metal reflective electrode having the above structure, each of Zr, Ti, and Ta was
In the case of an Al alloy having a content of 0.1 to more than 5 in terms of the number of atoms in terms of the number of atoms in the alloy as a whole, the alloy composition has improved stress migration resistance, electromigration resistance, and corrosion resistance. Thus, a highly reliable reflective liquid crystal display device can be obtained. This effect is
It can be obtained even when two or more of r, Ti, and Ta are simultaneously contained and the total amount thereof exceeds 0.1 to 5 in terms of the number of atoms, with respect to 100 of the entire alloy.
【００６２】（実施例３）実施例１の場合と同様により
形成した鏡面の金属反射電極の試料について、反射率
と、４探針法により比抵抗とを測定した。なお、反射率
の測定としては、拡散照明下において、正反射成分を含
み集光積分して測定した反射輝度をＢr、同様にして求
めた標準白色板の反射輝度をＢ0とするとき、 Ｒ＝Ｂr／Ｂd0×１００ で定義される反射率を、ミノルタ株式会社製の分光測色
計ＣＭ−５０８ｄを用いて測定した。(Example 3) The reflectance and the specific resistance of a sample of a mirror-finished metal reflective electrode formed in the same manner as in Example 1 were measured by a four-probe method. When measuring the reflectance, under diffuse illumination, the reflection luminance measured by converging and integrating the light including the regular reflection component is defined as Br, and the reflection luminance of the standard white plate obtained in the same manner is defined as B0. The reflectance defined by Br / Bd0 × 100 was measured using a spectrophotometer CM-508d manufactured by Minolta Co., Ltd.
【００６３】反射率の結果を図１０に、比抵抗の結果を
図１１に示す。Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａの含有量の増大にとも
なって、反射率が低下し、比抵抗は増大する。とくに、
Ｚｒは１５ｗｔ％以上、Ｔｉは８．５ｗｔ％以上、Ｔａ
は２６ｗｔ％以上、すなわち、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の
各１種を、原子数換算で、合金全体が１００に対し、合
金成分の割合が５の含有量を越えると、反射率の低下が
急激になり、比抵抗は急激に増大する。このため、低抵
抗でかつ抵抗バラツキの少ない配線であり、反射率が高
い表示電極部である、反射型液晶表示装置とするには、
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａの含有量を、原子数換算で、合金全体
が１００に対し、合金成分の割合が５までがよいことが
わかる。この効果は、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の２種以上
を同時に含有しその総量が、原子数換算で、合金全体が
１００に対し、合金成分の割合が５までの場合でも得ら
れる。FIG. 10 shows the result of the reflectance, and FIG. 11 shows the result of the specific resistance. As the content of Zr, Ti, and Ta increases, the reflectance decreases and the specific resistance increases. In particular,
Zr is 15 wt% or more, Ti is 8.5 wt% or more, Ta
Is not less than 26 wt%, that is, if one of Zr, Ti, and Ta is converted into the number of atoms and the alloy component ratio exceeds 5 with respect to 100 of the entire alloy, the reflectance decreases. It becomes sharp, and the specific resistance sharply increases. For this reason, in order to form a reflective liquid crystal display device which is a wiring having a low resistance and a small resistance variation and a display electrode portion having a high reflectance,
It can be seen that the content of Zr, Ti, and Ta, in terms of the number of atoms, is preferably up to 5 for the alloy component with respect to 100 for the entire alloy. This effect can be obtained even when two or more of Zr, Ti, and Ta are simultaneously contained and the total amount is 100 in terms of the number of atoms, and the ratio of the alloy component is up to 5 with respect to 100 as a whole alloy.
【００６４】以上の結果から、Ａｌ合金が合金成分とし
てＺｒ、Ｔｉ、Ｔａの中の少なくとも１種を、原子数換
算で、合金全体が１００に対し、合金成分が０．１から
５の割合で含有することが好ましく、このような構成と
することで、金属反射電極のＡｌ合金材料自体の耐スト
レスマイグレーション性、耐エレクトロマイグレーショ
ン性および耐食性が向上し、かつ、配線として抵抗が低
く、表示電極部の反射率が高い、反射型液晶表示装置と
することができた。From the above results, the Al alloy used as an alloy component was selected from at least one of Zr, Ti and Ta in terms of the number of atoms in a ratio of 0.1 to 5 with respect to 100 as a whole alloy. It is preferable that the Al electrode material itself of the metal reflective electrode has improved stress migration resistance, electromigration resistance, and corrosion resistance, and has low resistance as a wiring. , A reflective liquid crystal display device having a high reflectance was obtained.
【００６５】（第６の実施の形態）次に、本発明の第６
の実施の形態を図面を参照して説明する。本実施の形態
における反射型液晶表示装置の主要構成および製造手順
は、上述した第１の実施の形態における反射型液晶表示
素子の主要構成および製造手順と同じである。したがっ
て、本実施の形態において、特に説明のないものについ
ては、第１の実施の形態を同じとし、第１の実施の形態
と同一符号を付与している構成部材については特に説明
のない限り、第１の実施の形態と同様の機能を持つもの
とする。また、図１の本発明の第１の実施の形態におけ
る反射型液晶表示装置の断面図および図１２の本発明の
第６の実施の形態における反射型液晶表示装置の第２の
基板上の接続端子部の断面図を用いて説明する。図１２
において、１８は凹凸層、３６はＳｉＮ膜、３７は金属
反射電極、２２はアクリル系樹脂、２３は異方性導電接
着剤、２４はＴＡＢテープキャリア、２５はＬＳＩチッ
プ、２６はプリント基板を示す。図８に示すように、液
晶セルを駆動する電子部品が液晶セルの接続端子に接続
された構成としては、電子部品を搭載したプリント基板
２６と、ＬＳＩチップ２５を搭載したＴＡＢテープキャ
リア２４とを使用し、プリント基板２６とＴＡＢテープ
キャリアを接続し、液晶セルの電極とＴＡＢテープキャ
リア２４とを異方性導電接着剤２３を介して接続した。
さらに、液晶セルを駆動する電子部品を異方性導電接着
剤２３を介して接続した電極部と表示部との間の電極の
露出部を、アクリル系樹脂２２として、日立化成学工業
（株）製のＴＵＦＦＹ（ＴＦ１１４１）で被覆した。(Sixth Embodiment) Next, a sixth embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described with reference to the drawings. The main configuration and the manufacturing procedure of the reflection type liquid crystal display device in the present embodiment are the same as the main configuration and the manufacturing procedure of the reflection type liquid crystal display element in the first embodiment described above. Therefore, in the present embodiment, the components that are not particularly described are the same as those in the first embodiment, and the components denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment are unless otherwise specified. It has the same function as the first embodiment. FIG. 1 is a cross-sectional view of the reflective liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a connection diagram on the second substrate of the reflective liquid crystal display device according to the sixth embodiment of the present invention. This will be described with reference to a cross-sectional view of the terminal portion. FIG.
In the figure, 18 is an uneven layer, 36 is a SiN film, 37 is a metal reflective electrode, 22 is an acrylic resin, 23 is an anisotropic conductive adhesive, 24 is a TAB tape carrier, 25 is an LSI chip, and 26 is a printed circuit board. . As shown in FIG. 8, a configuration in which electronic components for driving a liquid crystal cell are connected to connection terminals of the liquid crystal cell includes a printed circuit board 26 on which electronic components are mounted and a TAB tape carrier 24 on which an LSI chip 25 is mounted. In use, the printed circuit board 26 and the TAB tape carrier were connected, and the electrodes of the liquid crystal cell and the TAB tape carrier 24 were connected via the anisotropic conductive adhesive 23.
Furthermore, the exposed part of the electrode between the electrode part and the display part where the electronic parts for driving the liquid crystal cell are connected via the anisotropic conductive adhesive 23 is made of an acrylic resin 22 by using Hitachi Chemical Co., Ltd. TUFFY (TF1141).
【００６６】このような液晶表示装置の透明電極におい
て、耐エレクトロマイグレーション性および耐食性につ
いて調べた。比較例として、上記実施の形態６における
第２の基板のＳｉＮ膜を形成ていない基板を用いた液晶
表示装置を作成した。The electromigration resistance and corrosion resistance of the transparent electrode of such a liquid crystal display were examined. As a comparative example, a liquid crystal display device using a substrate on which the SiN film of the second substrate was not formed in Embodiment 6 was manufactured.
【００６７】本実施例のＳｉＮ膜上に金属反射電極を形
成した上記液晶表示装置の構成と、比較例のＳｉＮ膜を
形成せずに金属反射電極を形成した液晶表示装置の構成
にて、温度６０℃湿度９０％ＲＨの環境下で、液晶表示
装置の通電試験５００ｈを行い、透明電極の耐エレクト
ロマイグレーション性を評価した。ＳｉＮ膜がない金属
反射電極の上記液晶表示装置の構成では、断線が発生し
たが、ＳｉＮ膜上に金属反射電極を形成した上記液晶表
示装置の構成では、断線などの異常もなく、表面上の異
常も観察されなかった。この結果から、ＳｉＮ膜上に形
成した金属反射電極は、耐エレクトロマイグレーション
性が向上した。The temperature of the liquid crystal display device having the metal reflective electrode formed on the SiN film of this embodiment and the liquid crystal display device having the metal reflective electrode formed without forming the SiN film of the comparative example are different from each other. In an environment of 60 ° C. and 90% RH, an electric current test of the liquid crystal display device was performed for 500 hours to evaluate the electromigration resistance of the transparent electrode. In the configuration of the liquid crystal display device having the metal reflective electrode without the SiN film, the disconnection occurred. However, in the configuration of the liquid crystal display device in which the metal reflective electrode was formed on the SiN film, there was no abnormality such as the disconnection, and the surface was not abnormal. No abnormalities were observed. From this result, the electro-migration resistance of the metal reflective electrode formed on the SiN film was improved.
【００６８】なお、上述した第１から第６の実施の形態
において、金属反射電極１７、２７としてＩＴＯ膜、Ａ
ｇ合金膜、ＩＴＯ膜からなる３層膜や、Ｔｉ、Ａｌ合金
膜からなる2層膜を用いるとして説明したが、これに限
ることなく、例えば銀やアルミニウムを構成要素として
含む他の金属反射電極などを用いてもよい。しかし、耐
エレクトロマイグレーション性のより向上という点で、
Ｔｉ、Ａｌ合金膜からなる2層膜を用いることが望まし
い。In the first to sixth embodiments described above, the metal reflective electrodes 17 and 27 are made of an ITO film,
Although a three-layer film made of a g-alloy film and an ITO film and a two-layer film made of a Ti and Al alloy film have been described, the invention is not limited to this. For example, another metal reflective electrode containing silver or aluminum as a constituent element Or the like may be used. However, in terms of improving electromigration resistance,
It is desirable to use a two-layer film made of a Ti and Al alloy film.
【００６９】また、上述した第１から第６の実施の形態
において、複屈折フィルムとしてリタデーション値が５
００ｎｍと７００ｎｍの２枚を用いたが、リタデーショ
ン値、光軸角度はこれに限定されることなく、１枚また
は複数枚からなる複屈折フィルムの構成においても同様
な効果を得ることができる。In the first to sixth embodiments, the birefringent film has a retardation value of 5
Although two films of 00 nm and 700 nm were used, the retardation value and the optical axis angle are not limited to these, and the same effect can be obtained even in the configuration of one or more birefringent films.
【００７０】また、上述した第１から第６の実施の形態
において、凹凸層が光照射および熱により伸縮する材料
からなり、それらにより凹凸層の形状を制御して形成し
たが、これに限ることなく、例えば、感光性樹脂により
フォトマスクで凹凸層を形成、あるいは、プレス成形な
どで凹凸層を形成してもよく、さらに、金属反射膜の密
着性向上としてＳｉＯ2を凹凸層の最上層に形成しても
よい。In the first to sixth embodiments described above, the uneven layer is made of a material which expands and contracts by light irradiation and heat, and is formed by controlling the shape of the uneven layer. Instead, for example, an uneven layer may be formed by a photomask using a photosensitive resin, or an uneven layer may be formed by press molding, and further, SiO 2 may be added to the uppermost layer of the uneven layer to improve the adhesion of the metal reflective film. It may be formed.
【００７１】[0071]
【発明の効果】以上説明したところから明らかなよう
に、本発明の構成をとる反射型液晶表示装置とすること
により、配線として抵抗が低く、表示電極部の反射率が
高く、かつ、耐ストレスマイグレーション性、耐エレク
トロマイグレーション性および耐食性として信頼性が高
い、金属反射電極を実現し、十分に反射率の低い無彩色
の黒表示および反射率の高い無彩色の白表示を得、コン
トラストの高い良好な画像を実現でき、また、接続端子
部における金属反射電極の狭ピッチ化が向上した反射型
液晶表示装置とすることができるという有効な効果を得
ることができる。As is apparent from the above description, the reflection type liquid crystal display device having the structure of the present invention provides a low resistance wiring, a high reflectance of the display electrode portion, and a high stress resistance. A metal reflective electrode with high reliability as migration property, electromigration resistance and corrosion resistance is realized, and achromatic black display with sufficiently low reflectance and achromatic white display with high reflectance are obtained, and high contrast is good. And a reflection type liquid crystal display device in which the pitch of the metal reflective electrode in the connection terminal portion is narrowed is improved.
【図１】本発明の実施の形態における反射型液晶表示装
置を示す断面図FIG. 1 is a sectional view showing a reflective liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１、第４、第６の実施の形態におけ
る金属反射電極を形成した基板を示す断面図FIG. 2 is a sectional view showing a substrate on which a metal reflective electrode is formed according to the first, fourth, and sixth embodiments of the present invention.
【図３】本発明の第１から第６の実施の形態における反
射型液晶表示装置の光学構成図FIG. 3 is an optical configuration diagram of a reflection type liquid crystal display device according to the first to sixth embodiments of the present invention.
【図４】本発明の第２、第３、第５の実施の形態におけ
る反射型液晶表示装置を示す断面図FIG. 4 is a sectional view showing a reflective liquid crystal display device according to second, third, and fifth embodiments of the present invention.
【図５】本発明の第２、第３、第５の実施の形態におけ
る金属反射電極を形成した基板を示す断面図FIG. 5 is a sectional view showing a substrate on which a metal reflective electrode is formed according to the second, third, and fifth embodiments of the present invention.
【図６】本発明の第３の実施の形態におけるの金属反射
電極の拡散反射率Ｒdrと反射型液晶表示装置の拡散反射
率Ｒteがとの関係をを示す図FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a diffuse reflectance R dr of a metal reflective electrode and a diffuse reflectance R te of a reflective liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第４の実施の形態における反射型液晶
表示装置の電子部品との接続端子部の断面図FIG. 7 is a sectional view of a connection terminal portion with an electronic component of a reflection type liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第５の実施の形態における反射型液晶
表示装置における反射型液晶表示装置を示す断面図FIG. 8 is a sectional view showing a reflective liquid crystal display device in a reflective liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第５の実施の形態の実施例１における
Ａｌ合金膜についてのＺｒ，Ｔｉ，Ｔａの含有量とヒロ
ック密度との関係を示す図 （ａ）Ｚｒの含有量とヒロック密度との関係を示す図 （ｂ）Ｔｉの含有量とヒロック密度との関係を示す図 （ｃ）Ｔａの含有量とヒロック密度との関係を示す図FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the contents of Zr, Ti, and Ta and the hillock density in the Al alloy film in Example 1 of the fifth embodiment of the present invention. (A) Zr content and hillock density (B) Diagram showing the relationship between Ti content and hillock density (c) Diagram showing the relationship between Ta content and hillock density
【図１０】本発明の第５の実施の形態の実施例３におけ
るＡｌ合金膜についてのＺｒ，Ｔｉ，Ｔａの含有量と反
射率との関係を示す図 （ａ）Ｚｒの含有量と反射率との関係を示す図 （ｂ）Ｔｉの含有量と反射率との関係を示す図 （ｃ）Ｔａの含有量と反射率との関係を示す図FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the content of Zr, Ti, and Ta and the reflectance of the Al alloy film in Example 3 of the fifth embodiment of the present invention. (A) Zr content and reflectance (B) A diagram showing the relationship between the Ti content and the reflectance (c) A diagram showing the relationship between the Ta content and the reflectance
【図１１】本発明の第５の実施の形態の実施例３におけ
るＡｌ合金膜についてのＺｒ，Ｔｉ，Ｔａの含有量と比
抵抗との関係を示す図 （ａ）Ｚｒの含有量と比抵抗との関係を示す図 （ｂ）Ｔｉの含有量と比抵抗との関係を示す図 （ｃ）Ｔａの含有量と比抵抗との関係を示す図FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the content of Zr, Ti, and Ta and the specific resistance of the Al alloy film in Example 3 of the fifth embodiment of the present invention. (A) Zr content and specific resistance (B) A diagram showing the relationship between the Ti content and the specific resistance (c) A diagram showing the relationship between the Ta content and the specific resistance
【図１２】本発明の第６の実施の形態における反射型液
晶表示装置における反射型液晶表示装置を示す断面図FIG. 12 is a sectional view showing a reflective liquid crystal display device in a reflective liquid crystal display device according to a sixth embodiment of the present invention.
【図１３】従来の反射型液晶表示装置の構成例を示す断
面図FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a configuration example of a conventional reflective liquid crystal display device.
１０ 偏光フィルム １１ａ 複屈折フィルム（１） １１ｂ 複屈折フィルム（２） １２ 液晶セル １３ 上側透明基板 １４ 透明電極 １５ 液晶層 １７、２７ 金属反射電極 １８ 凹凸層 １９ 下側基板 Reference Signs List 10 polarizing film 11a birefringent film (1) 11b birefringent film (2) 12 liquid crystal cell 13 upper transparent substrate 14 transparent electrode 15 liquid crystal layer 17, 27 metal reflective electrode 18 uneven layer 19 lower substrate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 晋吾 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 水野 宏 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 櫻井 芳亘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H049 BA02 BA20 BA42 BB03 BC22 2H091 FA08X FA08Z FA11X FA11Z FA14Y FA31Y FB08 FD06 FD23 GA02 GA08 GA13 HA10 KA02 LA16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shingo Fujita 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Yoshiwara Sakurai 1006 Kadoma, Kazuma, Osaka Prefecture F-term in Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (7)
封入した液晶セルと、前記第１の基板に対して前記液晶
と反対側に配置された偏光フィルムと、この偏光フィル
ムと前記液晶との間に配置された１枚もしくは複数枚の
複屈折フィルムと、前記第２の基板に対し液晶と同じ側
の基板上に第２の基板から順次形成された凹凸層、金属
反射電極とを備え、前記液晶セルを駆動する電子部品が
液晶セルの接続端子に接続された構成からなる反射型液
晶表示装置において、前記金属反射電極の表面の最高部
と最低部の高低差がの上限値が０．１μｍであり、前記
液晶のツイスト角が２２０゜から２７０゜であり、前記
液晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚ｄLCの積ΔｎLC・ｄLCで
表される液晶層のリタデーションが７００ｎｍから１０
００ｎｍであることを特徴とする反射型液晶表示装置。1. A liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between a first substrate and a second substrate; a polarizing film disposed on a side opposite to the liquid crystal with respect to the first substrate; A birefringent film or a plurality of birefringent films disposed between the liquid crystal and the liquid crystal; an uneven layer sequentially formed from the second substrate on the same substrate as the liquid crystal with respect to the second substrate; And an electrode, wherein an electronic component for driving the liquid crystal cell is connected to a connection terminal of the liquid crystal cell, wherein the height difference between the highest part and the lowest part of the surface of the metal reflective electrode is different. The upper limit is 0.1 μm, the twist angle of the liquid crystal is from 220 ° to 270 °, and the liquid crystal layer represented by the product Δn LC · d LC of the birefringence Δn LC of the liquid crystal and the liquid crystal layer thickness d LC . Retardation from 700nm to 10
A reflective liquid crystal display device having a thickness of 00 nm.
封入した液晶セルと、前記第１の基板に対して前記液晶
と反対側に配置された偏光フィルムと、この偏光フィル
ムと前記液晶との間に配置された１枚もしくは複数枚の
複屈折フィルムと、前記第２の基板に対し液晶と同じ側
の基板上に第２の基板から順次形成された凹凸層、金属
反射電極とを備え、前記液晶セルを駆動する電子部品が
液晶セルの接続端子に接続された構成からなる反射型液
晶表示装置において、前記金属反射電極の表面の最高部
と最低部の高低差の上限値が０．１μｍであり、前記液
晶のツイスト角が２２０゜から２７０゜であり、前記液
晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚ｄLCの積ΔｎLC・ｄLCで表
される液晶層のリタデーションが７００ｎｍから１００
０ｎｍであり、拡散照明下において、正反射成分を概略
除去し、集光積分して測定した前記金属反射電極の反射
輝度をＢdr、同様にして求めた標準白色板の反射輝度を
Ｂd0とするとき、 Ｒdr＝Ｂdr／Ｂd0×１００ で定義される前記金属反射電極の拡散反射率Ｒdrが、５
５から７０の範囲であることを特徴とする反射型液晶表
示装置。2. A liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between a first substrate and a second substrate; a polarizing film disposed on a side opposite to the liquid crystal with respect to the first substrate; A birefringent film or a plurality of birefringent films disposed between the liquid crystal and the liquid crystal; an uneven layer sequentially formed from the second substrate on the same substrate as the liquid crystal with respect to the second substrate; And an electronic component for driving the liquid crystal cell, wherein the electronic component for driving the liquid crystal cell is connected to a connection terminal of the liquid crystal cell, wherein the upper limit of the height difference between the highest part and the lowest part of the surface of the metal reflective electrode is provided. Value is 0.1 μm, the twist angle of the liquid crystal is 220 ° to 270 °, and the retardation of the liquid crystal layer is represented by the product Δn LC · d LC of the birefringence Δn LC of the liquid crystal and the liquid crystal layer thickness d LC. Is from 700 nm to 100
0 nm, and under diffuse illumination, the specular reflection component is substantially removed, the reflection luminance of the metal reflection electrode measured by condensing and integrating is Bdr, and the reflection luminance of the standard white plate similarly determined is Bd0. Rdr = Bdr / Bd0 × 100 The diffuse reflectance Rdr of the metal reflective electrode is 5
A reflective liquid crystal display device having a range of 5 to 70.
封入した液晶セルと、前記第１の基板に対して前記液晶
と反対側に配置された偏光フィルムと、この偏光フィル
ムと前記液晶との間に配置された１枚もしくは複数枚の
複屈折フィルムと、前記第２の基板に対し液晶と同じ側
の基板上に第２の基板から順次形成された凹凸層、金属
反射電極とを備え、前記液晶セルを駆動する電子部品が
液晶セルの接続端子に接続された構成からなる反射型液
晶表示装置において、前記金属反射電極の表面の最高部
と最低部の高低差の上限値が０．１μｍであり、前記液
晶のツイスト角が２２０゜から２７０゜であり、前記液
晶の複屈折ΔｎLCと液晶層厚ｄLCの積ΔｎLC・ｄLCで表
される液晶層のリタデーションが７００ｎｍから１００
０ｎｍであり、前記液晶セルと電子部品との接続端子部
のうち、第２の基板上に形成した接続端子部において、
凹凸層が無い平坦な面であることを特徴とする反射型液
晶表示装置。3. A liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between a first substrate and a second substrate; a polarizing film disposed on a side opposite to the liquid crystal with respect to the first substrate; A birefringent film or a plurality of birefringent films disposed between the liquid crystal and the liquid crystal; an uneven layer sequentially formed from the second substrate on the same substrate as the liquid crystal with respect to the second substrate; And an electronic component for driving the liquid crystal cell, wherein the electronic component for driving the liquid crystal cell is connected to a connection terminal of the liquid crystal cell, wherein the upper limit of the height difference between the highest part and the lowest part of the surface of the metal reflective electrode is provided. Value is 0.1 μm, the twist angle of the liquid crystal is 220 ° to 270 °, and the retardation of the liquid crystal layer is represented by the product Δn LC · d LC of the birefringence Δn LC of the liquid crystal and the liquid crystal layer thickness d LC. Is from 700 nm to 100
0 nm, among the connection terminals between the liquid crystal cell and the electronic component, in the connection terminals formed on the second substrate,
A reflective liquid crystal display device having a flat surface without an uneven layer.
順次形成した２層膜であることを特徴とする請求項１か
ら３のいずれかに記載の反射型液晶表示装置。4. The reflection type liquid crystal display device according to claim 1, wherein said metal reflection electrode is a two-layer film in which Ti and an Al alloy are sequentially formed.
ｉ、Ｔａの中の少なくとも１種を含有することを特徴と
する請求項４に記載の反射型液晶表示装置。5. The Al alloy contains Zr, T as an alloy component.
The reflective liquid crystal display device according to claim 4, wherein the reflective liquid crystal display device contains at least one of i and Ta.
体が１００に対し、合金成分が０．１から５の割合で含
有されていることを特徴とする請求項５に記載の反射型
液晶表示装置。6. The reflective type according to claim 5, wherein the Al alloy contains, in terms of the number of atoms, an alloy component in a ratio of 0.1 to 5 with respect to 100 as a whole of the alloy. Liquid crystal display.
板上に第２の基板の凹凸層と金属反射電極との間に、Ｓ
ｉＮ膜が形成されているを特徴とする請求項１から３の
いずれかに記載の反射型液晶表示装置。7. On a substrate on the same side as the liquid crystal with respect to the second substrate, an S
4. The reflection type liquid crystal display device according to claim 1, wherein an iN film is formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000070034A JP2001255529A (en) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | Reflection type liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6882394B2 (en) | 2002-05-30 | 2005-04-19 | Fujitsu-Display Technologies Corporation | Reflective liquid crystal display including a step of applying charged particles on the organic resin and film method of manufacturing |
| JP2009238759A (en) * | 2002-06-22 | 2009-10-15 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Organic electroluminescent element |
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2000
- 2000-03-14 JP JP2000070034A patent/JP2001255529A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6882394B2 (en) | 2002-05-30 | 2005-04-19 | Fujitsu-Display Technologies Corporation | Reflective liquid crystal display including a step of applying charged particles on the organic resin and film method of manufacturing |
| US7692740B2 (en) | 2002-05-30 | 2010-04-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display having a reflective electrode formed on an organic resin film |
| JP2009238759A (en) * | 2002-06-22 | 2009-10-15 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Organic electroluminescent element |
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