JP2001250236A - Optical recording disk - Google Patents

Optical recording disk

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JP2001250236A
JP2001250236A JP2000063375A JP2000063375A JP2001250236A JP 2001250236 A JP2001250236 A JP 2001250236A JP 2000063375 A JP2000063375 A JP 2000063375A JP 2000063375 A JP2000063375 A JP 2000063375A JP 2001250236 A JP2001250236 A JP 2001250236A
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Japan
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recording
optical recording
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recording disk
header
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JP2000063375A
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Japanese (ja)
Inventor
Kensho Oshima
憲昭 大島
Keiichiro Nishizawa
恵一郎 西澤
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Tosoh Corp
Original Assignee
Tosoh Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problems that a signal for detecting a header part is not obtained and timing when a beam enters the header part is not detected when a light beam enters the header part recording a format signal from a data part consisting of a land part and a groove part, in a method for detecting difference signal intensity from a photodetector divided orthogonally to the advancing direction of the beam when a signal from an optical recording disk is detected. SOLUTION: In the optical recording disk having on a substrate at least the land part and the groove part for recording/reproducing and the header part recording format information, recording information at least on the land part and performing recording/reproducing of information, the difference of a height of 3-100 nm is provided between a height of the header part and a height of the land part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は書き換えが可能な光
記録ディスクに関する。
The present invention relates to a rewritable optical recording disk.

【0002】[0002]

【従来の技術】光記録ディスクは、大容量・高密度記録
が可能な可搬型記録媒体であり、近年のマルチメディア
化に伴なうコンピュータの大容量保存ファイルとして動
画等を記録する書き換え型メディアとして需要が急増し
つつある。
2. Description of the Related Art An optical recording disk is a portable recording medium capable of large-capacity, high-density recording, and a rewritable medium for recording a moving image or the like as a large-capacity storage file of a computer accompanying the recent increase in multimedia. Demand is rapidly increasing.

【0003】従来の書き換え型光記録ディスクは、一般
に射出成形により得られたプラスチックの円盤状基板に
記録層を含む多層膜を形成し、プラスチック基板側から
レーザーを照射して記録、再生、消去を行っていた。
A conventional rewritable optical recording disk is generally formed by forming a multilayer film including a recording layer on a plastic disk-shaped substrate obtained by injection molding, and irradiating a laser from the plastic substrate side to perform recording, reproduction, and erasure. I was going.

【0004】さらに、近年、記録膜に光学ヘッドを近づ
けて記録再生する、表面記録再生方式が高記録化の手段
として注目されている。
Further, in recent years, a surface recording / reproducing method for recording / reproducing by bringing an optical head close to a recording film has attracted attention as a means for achieving higher recording.

【0005】この表面記録再生方法では、光学ヘッドを
光記録ディスクに近付ける必要があるために、従来の光
記録ディスクのように基板を通して記録膜にレーザービ
ームを照射するのではなく、基板を通さずに直接記録膜
にレーザービームを照射する方法を用いる。
In this surface recording / reproducing method, it is necessary to bring the optical head close to the optical recording disk. Therefore, instead of irradiating the recording film with the laser beam through the substrate as in the conventional optical recording disk, the recording head does not pass through the substrate. A method of directly irradiating the recording film with a laser beam.

【0006】すなわち、記録膜の構成が従来の光記録デ
ィスクでは基板/第1保護膜/記録膜/第2保護膜/反
射膜としているのが一般的であるのに対して、近接場光
記録では基板/反射膜/記録膜/保護膜という逆構成の
膜構造として膜表面側からレーザービームを照射し、記
録再生を行なう(表面記録再生)。この際、記録膜と光
学ヘッドとを近づけるために浮上式のスライダーヘッド
を利用することが提案されている。
That is, while the structure of the recording film is generally a substrate / first protective film / recording film / second protective film / reflective film in a conventional optical recording disk, near-field optical recording is performed. In this method, recording / reproducing is performed by irradiating a laser beam from the film surface side as a reverse film structure of substrate / reflective film / recording film / protective film (surface recording / reproducing). At this time, it has been proposed to use a floating slider head to bring the recording film and the optical head closer to each other.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】光記録ディスクの信号
を検出する際には、一般に分割型検出器が使用される
が、ビーム進行方向に対して垂直に分割した光検出器の
差信号強度を検出する方法では、ランド部及びグルーブ
部からなるデータ部から、フォーマット信号を記録する
ヘッダー部に光ビームが進入する際、データ部の高さと
ヘッダー部の高さが同一の場合、ヘッダー部を検出する
信号が得られず、ヘッダー部にビームが進入したタイミ
ングを検出できないという問題点を有している。
In detecting a signal from an optical recording disk, a split type detector is generally used, and the difference signal intensity of the photo detector divided perpendicularly to the beam traveling direction is used. In the detection method, when the light beam enters the header portion for recording the format signal from the data portion including the land portion and the groove portion, if the height of the data portion is the same as the height of the header portion, the header portion is detected. Therefore, there is a problem that a timing at which the beam has entered the header section cannot be detected because a signal to be transmitted cannot be obtained.

【0008】本発明は、記録再生に関与するランド部お
よびグルーブ部構造からなるデータ部とフォーマット情
報を記録するヘッダー部を有し、少なくともランド部上
に情報を記録する方式でデータの記録再生を行なう光記
録ディスクにおいて、分割型検出方式でデータ部からヘ
ッダー部へ光学ヘッドが進入した際にヘッダー部のタイ
ミングを検出可能な光記録ディスクを提供することを目
的としている。
The present invention has a data portion having a land portion and a groove portion structure involved in recording and reproduction, and a header portion for recording format information, and records and reproduces data by a method of recording information on at least the land portion. An object of the present invention is to provide an optical recording disk capable of detecting the timing of the header section when the optical head enters the header section from the data section by the split type detection method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者等は上述のよう
な現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、少なくとも記録
再生に関与するランド部およびグルーブ部と、フォーマ
ット情報を記録するヘッダー部を有し、少なくともラン
ド部上に情報を記録して、データの記録再生を行なう光
情報ディスクにおいて、ヘッダー部の高さとランド部の
高さとに高低差を設けることにより、分割型検出方式の
検出器を使用し、データ部からヘッダー部へ光学ヘッド
が進入した際に、ヘッダー部のタイミングを検出可能な
光記録ディスクが得られる事を見出し、本発明を完成す
るに至った。
Means for Solving the Problems In view of the above situation, the present inventors have made intensive studies and as a result, have found that at least a land portion and a groove portion involved in recording and reproduction, and a header portion for recording format information are included. An optical information disk for recording information on at least a land portion and recording / reproducing data by providing a height difference between a height of a header portion and a height of a land portion, thereby providing a detector of a split type detection system. And found that an optical recording disk capable of detecting the timing of the header portion when the optical head entered the header portion from the data portion was obtained, and completed the present invention.

【0010】以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0011】本発明におけるヘッダー部とランド部の高
さの差は3〜100nmが好ましい。
In the present invention, the difference between the height of the header portion and the height of the land portion is preferably 3 to 100 nm.

【0012】段差が3nm未満ではヘッダー部とランド
部の高さの差として段差信号を分割型検出器で検出可能
な信号強度が得られず、ヘッダー部に進入したタイミン
グが検出できないことがあり、一方、段差が100nm
を超えると、データ部とヘッダー部でレーザーの焦点ず
れを補正する必要が生じるとともに、表面記録再生方式
で使用する浮上型光学ヘッドの浮上安定性が悪化し、ヘ
ッドクラッシュが発生するおそれがある。
If the step is less than 3 nm, a signal intensity capable of detecting the step signal by the split type detector cannot be obtained as a difference between the height of the header and the land, and the timing of entering the header may not be detected. On the other hand, the step is 100 nm
When the value exceeds the above range, it is necessary to correct the defocus of the laser in the data portion and the header portion, and the flying stability of the flying optical head used in the surface recording / reproducing method is deteriorated, which may cause a head crash.

【0013】本発明においては、ヘッダー部の高さとラ
ンド部の高さとを異なる高さとすればよく、具体的に
は、ヘッダ部の高さをランド部の高さより高くしてもよ
く、逆に、ヘッダ部の高さをランド部の高さより低くし
てもよい。なお、本発明でいう高さとは、グルーブ部の
最下部を基準にした高さをいう。ヘッダー部にグルーブ
部がない場合、ヘッダー部から見て周方向にあるグルー
ブ部の最下部を基準とした高さをヘッダー部の高さと
し、この高さとランド部の高さとが異なればよい。
In the present invention, the height of the header portion and the height of the land portion may be different from each other. More specifically, the height of the header portion may be higher than the height of the land portion. Alternatively, the height of the header portion may be lower than the height of the land portion. The height in the present invention refers to a height based on the lowermost part of the groove. When there is no groove portion in the header portion, the height of the header portion is defined as the height based on the lowermost portion of the groove portion in the circumferential direction as viewed from the header portion, and the height may be different from the height of the land portion.

【0014】本発明におけるヘッダー部とランド部の段
差は、段差構造を有するスタンパを使用して2P法ある
いは射出成形法により作成してもよいし、段差がないデ
ィスクを射出成形により作成後、熱あるいは光照射する
ことにより、ランド部を部分的に溶融させ、ヘッダー部
との高低差を設けることができる。
In the present invention, the step between the header portion and the land portion may be formed by a 2P method or an injection molding method using a stamper having a step structure. Alternatively, the land portion is partially melted by light irradiation, and a height difference from the header portion can be provided.

【0015】本発明の基板としては、射出成形してなる
基板が好ましく、射出成形用樹脂としては、機械特性、
転写性等の光ディスク基板の特性を満たす、熱可塑性樹
脂であれば、特に限定されず使用することができる。具
体的には、例えば、ポリカーボネート、ポリメチルメタ
クリレート、アモルファスポリオレフィン等の透明プラ
スチックや、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレ
ート、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケト
ン等のいわゆるスーパーエンジニアリングプラスチック
等を例示することができる。
[0015] The substrate of the present invention is preferably a substrate formed by injection molding.
Any thermoplastic resin can be used as long as it satisfies the characteristics of the optical disc substrate such as transferability. Specific examples include transparent plastics such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, and amorphous polyolefin, and so-called super engineering plastics such as polyphenylene sulfide, polyarylate, polyether ketone, and polyether ether ketone.

【0016】本発明の光記録ディスクの記録方式は、T
bFeCo、DyFeCo、GdTbFeCo、NdD
yFeCo等の記録膜からなる光磁気記録方式、あるい
はGeSbTe、AgInSbTe等の記録膜からなる
相変化記録方式など偏光面、反射率、光の位相などの変
化で記録が可能な記録方式であればなんら限定されな
い。
The recording method of the optical recording disk of the present invention is
bFeCo, DyFeCo, GdTbFeCo, NdD
Any recording method can be used, such as a magneto-optical recording method using a recording film such as yFeCo or a phase change recording method using a recording film such as GeSbTe or AgInSbTe. Not limited.

【0017】また、本発明の光記録ディスクにおいて、
情報の記録は少なくともランド部上に行われればよく、
さらにグルーブ上に情報の記録を行ってもよい。
Also, in the optical recording disk of the present invention,
Information recording should be performed at least on the land,
Further, information may be recorded on the groove.

【0018】さらに、基板側からレーザーを照射して記
録・再生・消去を行う従来方法に加え、記録膜側からレ
ーザーを照射して記録・再生・消去を行う表面記録再生
方式あるいは近接場光記録についても問題なく使用でき
る。
In addition to the conventional method of recording / reproducing / erasing by irradiating a laser from the substrate side, a surface recording / reproducing method of recording / reproducing / erasing by irradiating a laser from the recording film side or a near-field optical recording Can be used without any problem.

【0019】表面記録再生方式あるいは近接場光記録方
式に使用する場合、浮上型光学ヘッドを使用する事か
ら、光記録ディスクの最表面には潤滑層を形成すること
が好ましい。
When used in the surface recording / reproducing system or the near-field optical recording system, a lubricating layer is preferably formed on the outermost surface of the optical recording disk because a floating optical head is used.

【0020】潤滑層はシリコーンオイル、あるいはフル
オロポリエーテル系のフッ素オイル等潤滑性を示すもの
であれば使用できるが、特にパーフルオロポリエーテル
及びパーフルオロポリエーテル誘導体が望ましい。
The lubricating layer can be used if it has lubricating properties such as silicone oil or fluoropolyether-based fluorine oil. Perfluoropolyether and perfluoropolyether derivatives are particularly preferable.

【0021】パーフルオロポリエーテル誘導体として
は、アルコール変性パーフルオロポリエーテル、エステ
ル変性パーフルオロポリエーテル、イソシアネート変性
パーフルオロポリエーテル、カルボキシル基変性パーフ
ルオロポリエーテル、ピペロニル変性パーフルオロポリ
エーテル等が挙げられる。本発明の潤滑層の膜厚は0.
3〜4.0nm以下が好ましい。
Examples of perfluoropolyether derivatives include alcohol-modified perfluoropolyether, ester-modified perfluoropolyether, isocyanate-modified perfluoropolyether, carboxyl group-modified perfluoropolyether, and piperonyl-modified perfluoropolyether. . The thickness of the lubricating layer of the present invention is 0.1.
It is preferably from 3 to 4.0 nm.

【0022】0.3nm未満では潤滑層の保護性能が低
下し、薄膜に傷がはいりやすくなったり、4.0nmを
越えると、スライダーヘッドがディスクに張り付いてク
ラッシュしやすくなるおそれがある。
If the thickness is less than 0.3 nm, the protective performance of the lubricating layer is reduced, and the thin film is liable to be scratched. If the thickness exceeds 4.0 nm, the slider head may stick to the disk and cause a crash.

【0023】本発明の光記録ディスクを近接場光記録デ
ィスクに適用する場合は、基板上に少なくとも第1保護
層、光磁気記録層、第2保護層、ダイヤモンド状カーボ
ン(DLC)層、潤滑層を積層してなることが好まし
い。
When the optical recording disk of the present invention is applied to a near-field optical recording disk, at least a first protective layer, a magneto-optical recording layer, a second protective layer, a diamond-like carbon (DLC) layer, a lubricating layer Are preferably laminated.

【0024】具体的には射出成形後、基板の上に第1保
護層としてAlN、SiN、Ta25、ZnS−SiO
2等の透明な誘電体膜をスパッタ法又は真空蒸着法等で
形成する。この第1保護層上にTbFeCo、DyFe
Co、GdTbFeCo、NdDyFeCo等の光磁気
記録膜からなる記録層をスパッタ法又は真空蒸着法等で
形成する。さらにこの記録層上に第2保護層としてAl
N、SiN、Ta25、ZnS−SiO2等をスパッタ
法又は真空蒸着法等で形成し、その上にDLC膜をスパ
ッタ法などで形成する。さらにこの上に、潤滑層をディ
ップ引き上げ法等の方法で形成することにより記録ディ
スクを作成する。
Specifically, after injection molding, AlN, SiN, Ta 2 O 5 , ZnS—SiO 2 are formed on the substrate as a first protective layer.
A transparent dielectric film such as 2 is formed by a sputtering method or a vacuum evaporation method. TbFeCo, DyFe
A recording layer made of a magneto-optical recording film of Co, GdTbFeCo, NdDyFeCo, or the like is formed by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like. Further, on this recording layer, Al is used as a second protective layer.
N, SiN, Ta 2 O to 5, ZnS-SiO 2 or the like is formed by sputtering or a vacuum evaporation method, or the like formed by a sputtering method DLC film thereon. Further, a recording disk is formed by forming a lubricating layer thereon by a method such as a dip pulling method.

【0025】第1保護層は、記録層を保護できる程度の
膜厚があれば良く、10〜100nmの膜厚が好まし
い。記録層は光が第1保護層まで透過しない程度の膜厚
が必要で30〜200nmの膜厚が好ましい。第2保護
層は記録層を保護する役割のほかに記録層への光吸収効
率を制御したり、記録前後の反射光の変化量やカー回転
角を大きくする役割も有する。このため、第2保護層の
膜厚は使用するレーザー波長などを考慮して設計し、2
0〜300nmが好ましい。基板と第1保護層の間にA
l、Al合金、Au、Agなどの熱伝導の良好な膜をヒ
ートシンクとして挿入し、記録感度を調整することも可
能である。
The first protective layer only needs to have a thickness enough to protect the recording layer, and preferably has a thickness of 10 to 100 nm. The recording layer is required to have a thickness such that light does not transmit to the first protective layer, and preferably has a thickness of 30 to 200 nm. In addition to the role of protecting the recording layer, the second protective layer also controls the light absorption efficiency of the recording layer, and also increases the amount of change in reflected light before and after recording and the Kerr rotation angle. For this reason, the thickness of the second protective layer is designed in consideration of the laser wavelength to be used.
0-300 nm is preferred. A between the substrate and the first protective layer
It is also possible to adjust the recording sensitivity by inserting a film having good thermal conductivity such as 1, Al alloy, Au, Ag, etc. as a heat sink.

【0026】[0026]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to only these Examples.

【0027】実施例1 データ部のランド部およびグルーブ部のトラックピッチ
0.45ミクロン、グルーブ深さ65nmで、ランド部
に対してヘッダー部が42nm低いスタンパを金型鏡面
に取付け、射出成形することにより、直径130mm、
基板厚さ1.2mmのポリカーボネート製基板を作製し
た。
Embodiment 1 A stamper having a track pitch of 0.45 μm in a land portion and a groove portion of a data portion, a groove depth of 65 nm and a header portion being 42 nm lower than a land portion is mounted on a mirror surface of a mold and injection-molded. By the diameter of 130mm,
A polycarbonate substrate having a substrate thickness of 1.2 mm was produced.

【0028】この基板を使用して、スパッタリング法に
よって以下の方法で基板の両面に成膜を実施した。
Using this substrate, a film was formed on both surfaces of the substrate by a sputtering method in the following manner.

【0029】まず基板上に反射層としてAl−3wt%
Cr合金膜(膜厚50nm)をDCスパッタ法により形
成した。この上にSiNからなる第1保護層をArとN
2の混合雰囲気中でSiターゲットを使用した反応性R
Fスパッタ法で形成した(膜厚5nm)。この上にTb
20(Fe90Co1080からなる光磁気記録層をTbター
ゲットとFe90Co10ターゲットのDC同時スパッタ法
により形成した(膜厚20nm)。さらにこの上にSi
Nからなる第2保護層をArとN2の混合雰囲気中でS
iターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で形成し
た(膜厚30nm)。この上に633nmにおける屈折
率が1.85のDLC層をArとCH4の混合雰囲気中
でCターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で形成
した(膜厚20nm)。
First, Al-3 wt% as a reflection layer is formed on a substrate.
A Cr alloy film (50 nm thick) was formed by DC sputtering. On this, a first protective layer made of SiN is formed by Ar and N
Reactivity R using Si target in mixed atmosphere of 2
It was formed by the F sputtering method (film thickness: 5 nm). Tb on this
A magneto-optical recording layer of 20 (Fe 90 Co 10 ) 80 was formed by DC simultaneous sputtering of a Tb target and an Fe 90 Co 10 target (film thickness: 20 nm). In addition, Si
The second protective layer made of N is formed in a mixed atmosphere of Ar and N 2 by S.
It was formed by a reactive RF sputtering method using an i target (thickness: 30 nm). A DLC layer having a refractive index of 1.85 at 633 nm was formed thereon by a reactive RF sputtering method using a C target in a mixed atmosphere of Ar and CH 4 (film thickness: 20 nm).

【0030】ついで、反対面にも一方の面と同様に反射
層、第1保護層、光磁気記録層、第2保護層およびDL
C層を形成した。
Then, on the other side, the reflection layer, the first protective layer, the magneto-optical recording layer, the second protective layer and the
C layer was formed.

【0031】DLC層を形成した後、パーフルオロポリ
エーテル系溶媒(アウジモント社製、商品名「ガルデン
SV−70」)を使用したピペロニル変性パーフルオロ
ポリエーテル(アウジモント社製、商品名「フォンブリ
ン:AM2001」)の0.01wt%溶液から記録デ
ィスクを引き上げることにより潤滑層を1.5nmに塗
布して近接場光磁気記録ディスクを完成させた。
After forming the DLC layer, piperonyl-modified perfluoropolyether (manufactured by Audimont Co., trade name: Fomblin: using a perfluoropolyether solvent (manufactured by Ausimont Co., trade name: Galden SV-70)) A lubricating layer was applied to a thickness of 1.5 nm by pulling up the recording disk from a 0.01 wt% solution of AM2001 ") to complete a near-field magneto-optical recording disk.

【0032】潤滑層の膜厚はX線光電子分光法(XP
S)を使用し、C1Sピーク強度を観察することにより
算出した。
The thickness of the lubricating layer is determined by X-ray photoelectron spectroscopy (XP
Calculated by observing the C 1 S peak intensity using S).

【0033】実施例2 データ部のランド部およびグルーブ部のトラックピッチ
0.45ミクロン、グルーブ深さ65nmで、ランド部
に対してヘッダー部が90nm低いスタンパを金型鏡面
に取付け、射出成形により直径130mm、基板厚さ
1.2mmのポリカーボネート製基板を作製し、実施例
1と同様に成膜及び潤滑剤塗布を行ない近接場光磁気記
録ディスクを作製した。
Example 2 A stamper having a track pitch of 0.45 μm in a land portion and a groove portion of a data portion, a groove depth of 65 nm, and a header portion being 90 nm lower than a land portion was attached to a mirror surface of a mold, and a diameter was formed by injection molding. A polycarbonate substrate having a thickness of 130 mm and a thickness of 1.2 mm was prepared, and a film was formed and a lubricant was applied in the same manner as in Example 1 to prepare a near-field magneto-optical recording disk.

【0034】比較例1 データ部のランド部およびグルーブ部のトラックピッチ
0.45ミクロンでデータ部とヘッダー部の高低差のな
いスタンパを金型鏡面に取り付け、射出成形により直径
130mm、厚み1.2mmのポリカーボネート製基板
を作製したのち、実施例1と同様に成膜及び潤滑剤塗布
を行ない近接場光磁気記録ディスクを作製した。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 A stamper having a track pitch of 0.45 μm between a land portion and a groove portion of a data portion and having no difference in height between a data portion and a header portion was mounted on a mirror surface of a mold, and the diameter was 130 mm and the thickness was 1.2 mm by injection molding. After the polycarbonate substrate was manufactured, film formation and lubricant application were performed in the same manner as in Example 1 to manufacture a near-field magneto-optical recording disk.

【0035】以上のようにして得られた近接場光磁気記
録ディスクをビーム進行方向に対し垂直に分割した検出
器を有する近接場光磁気記録ディスク評価装置を使用
し、データ部からヘッダー部に光学ヘッドが進入した際
のヘッダー部の信号を観察したところ、実施例1及び実
施例2の場合は、ヘッダー部に光学ヘッドが進入した時
点の信号を分割型検出器の差信号として捕らえることが
出来たが、比較例1のディスクは差信号を検出できず、
ヘッダー部のタイミングを捉えられなかった。
Using a near-field magneto-optical recording disk evaluation device having a detector obtained by dividing the near-field magneto-optical recording disk obtained as described above in a direction perpendicular to the beam traveling direction, optical data is transferred from the data section to the header section. When the signal of the header portion when the head entered was observed, in the case of the first and second embodiments, the signal at the time when the optical head entered the header portion could be captured as a difference signal of the split type detector. However, the disc of Comparative Example 1 could not detect the difference signal,
The timing of the header part could not be caught.

【0036】実施例3 データ部のランド部およびグルーブ部のトラックピッチ
0.45ミクロン、グルーブ深さ65nmで、ランド部
に対してヘッダー部が30nm高いスタンパを金型鏡面
に取付け、射出成形することにより、直径130mm、
基板厚さ1.2mmのポリカーボネート製基板を作製し
た。
Example 3 A stamper having a track pitch of 0.45 μm in a land portion and a groove portion in a data portion and a groove depth of 65 nm and a header portion being 30 nm higher than a land portion is mounted on a mirror surface of a mold and injection-molded. By the diameter of 130mm,
A polycarbonate substrate having a substrate thickness of 1.2 mm was produced.

【0037】この基板を使用して、スパッタリング法に
よって以下の方法で基板の両面に成膜を実施した。
Using this substrate, a film was formed on both surfaces of the substrate by a sputtering method in the following manner.

【0038】まず基板上に反射層としてAl−3wt%
Cr合金膜(膜厚50nm)をDCスパッタ法により形
成した。この上にSiNからなる第1保護層をArとN
2の混合雰囲気中でSiターゲットを使用した反応性R
Fスパッタ法で形成した(膜厚5nm)。この上にTb
20(Fe90Co1080からなる光磁気記録層をTbター
ゲットとFe90Co10ターゲットのDC同時スパッタ法
により形成した(膜厚20nm)。さらにこの上にSi
Nからなる第2保護層をArとN2の混合雰囲気中でS
iターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で形成し
た(膜厚30nm)。この上に633nmにおける屈折
率が1.85のDLC層をArとCH4の混合雰囲気中
でCターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で形成
した(膜厚20nm)。
First, Al-3 wt% as a reflection layer is formed on a substrate.
A Cr alloy film (50 nm thick) was formed by DC sputtering. On this, a first protective layer made of SiN is formed by Ar and N
Reactivity R using Si target in mixed atmosphere of 2
It was formed by the F sputtering method (film thickness: 5 nm). Tb on this
A magneto-optical recording layer of 20 (Fe 90 Co 10 ) 80 was formed by DC simultaneous sputtering of a Tb target and an Fe 90 Co 10 target (film thickness: 20 nm). In addition, Si
The second protective layer made of N is formed in a mixed atmosphere of Ar and N 2 by S.
It was formed by a reactive RF sputtering method using an i target (thickness: 30 nm). A DLC layer having a refractive index of 1.85 at 633 nm was formed thereon by a reactive RF sputtering method using a C target in a mixed atmosphere of Ar and CH 4 (film thickness: 20 nm).

【0039】ついで、反対面にも一方の面と同様に反射
層、第1保護層、光磁気記録層、第2保護層およびDL
C層を形成した。
Next, on the other side, the reflection layer, the first protective layer, the magneto-optical recording layer, the second protective layer, and the
C layer was formed.

【0040】DLC層を形成した後、パーフルオロポリ
エーテル系溶媒(アウジモント社製、商品名「ガルデン
SV−70」)を使用したピペロニル変性パーフルオロ
ポリエーテル(アウジモント社製、商品名「フォンブリ
ン:AM2001」)の0.01wt%溶液から記録媒
体を引き上げることにより潤滑層を1.5nmに塗布し
て近接場光磁気記録ディスクを完成させた。
After forming the DLC layer, piperonyl-modified perfluoropolyether (trade name: Fomblin: trade name, manufactured by Ausimont) using a perfluoropolyether solvent (trade name: Galden SV-70, trade name, manufactured by Ausimont) A lubricating layer was applied to a thickness of 1.5 nm by pulling up the recording medium from a 0.01 wt% solution of AM2001 ") to complete a near-field magneto-optical recording disk.

【0041】潤滑層の膜厚はX線光電子分光法(XP
S)を使用し、C1Sピーク強度を観察することにより
算出した。
The thickness of the lubricating layer is determined by X-ray photoelectron spectroscopy (XP
Calculated by observing the C 1 S peak intensity using S).

【0042】実施例4 データ部のランド部およびグルーブ部のトラックピッチ
0.45ミクロン、グルーブ深さ65nmで、ランド部
に対してヘッダー部が85nm高いスタンパを金型鏡面
に取付け、射出成形により直径130mm、基板厚さ
1.2mmのポリカーボネート製基板を作製し、実施例
3と同様に成膜及び潤滑剤塗布を行ない近接場光磁気記
録ディスクを作製した。
Example 4 A stamper having a track pitch of 0.45 μm in a land portion and a groove portion of a data portion, a groove depth of 65 nm, and a header portion 85 nm higher than a land portion was attached to a mirror surface of a mold, and a diameter was formed by injection molding. A polycarbonate substrate having a thickness of 130 mm and a substrate thickness of 1.2 mm was prepared, and a near-field magneto-optical recording disk was prepared by forming a film and applying a lubricant in the same manner as in Example 3.

【0043】実施例5 データ部のランド部およびグルーブ部のトラックピッチ
0.45ミクロンでランド部とヘッダー部に高さ差のな
いスタンパを金型鏡面に取り付け、射出成形により直径
130mm、厚み1.2mmのポリカーボネート製基板
を作製したのち、高圧水銀灯によるUV光を365nm
換算で1500mJ/cm2の積算光量だけ照射した。
Example 5 A stamper having a track pitch of 0.45 μm between the land portion and the groove portion of the data portion and having no difference in height between the land portion and the header portion was mounted on a mirror surface of a mold. After preparing a 2 mm polycarbonate substrate, UV light from a high pressure mercury lamp was 365 nm.
Irradiation was performed with an integrated light amount of 1500 mJ / cm 2 in conversion.

【0044】UV照射後ランド部とヘッダー部の高さを
AFMにより測定すると18nmヘッダー部が高い構造
となっていた。
After the UV irradiation, the height of the land portion and the header portion was measured by AFM.

【0045】この基板を使用し、実施例1と同様に成膜
及び潤滑剤塗布を行ない近接場光磁気記録ディスクを作
製した。
Using this substrate, a near-field magneto-optical recording disk was manufactured by forming a film and applying a lubricant in the same manner as in Example 1.

【0046】比較例2 実施例5の射出成形基板をUV照射せず使用し、実施例
3と同様に成膜及び潤滑剤塗布を行ない近接場光磁気記
録ディスクを作製した。
Comparative Example 2 A near-field magneto-optical recording disk was produced by using the injection-molded substrate of Example 5 without UV irradiation and performing film formation and lubricant application in the same manner as in Example 3.

【0047】以上のようにして得られた近接場光磁気記
録ディスクをビーム進行方向に対し垂直に分割した検出
器を有する近接場光磁気記録ディスク評価装置を使用
し、データ部からヘッダー部に光学ヘッドが進入した際
のヘッダー部の信号を観察したところ、実施例3、4お
よび5の場合は、ヘッダー部に光学ヘッドが進入した時
点の信号を分割型検出器の差信号として捕らえることが
出来たが、比較例2のディスクは差信号を検出できず、
ヘッダー部のタイミングを捉えられなかった。
Using a near-field magneto-optical recording disk evaluation device having a detector obtained by dividing the near-field magneto-optical recording disk obtained as described above in a direction perpendicular to the beam traveling direction, optical data is transferred from the data section to the header section. When the signals of the header portion when the head entered were observed, in the case of Examples 3, 4 and 5, the signal at the time when the optical head entered the header portion could be captured as a difference signal of the split type detector. However, the disc of Comparative Example 2 could not detect the difference signal,
The timing of the header part could not be caught.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明により、分割型検出方式でランド
部からヘッダー部へ光学ヘッドが進入した際にヘッダー
部のタイミングを検出可能な光記録ディスクを得ること
ができる。
According to the present invention, it is possible to obtain an optical recording disk capable of detecting the timing of the header portion when the optical head enters the header portion from the land portion by the split detection method.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に、少なくとも記録再生に関与す
るランド部およびグルーブ部と、フォーマット情報を記
録するヘッダー部とを有し、少なくともランド部上に情
報を記録して、情報の記録再生を行なう光記録ディスク
において、ヘッダー部の高さとランド部の高さが異なる
ことを特徴とする光記録ディスク。
An information processing apparatus comprising: a substrate having at least a land portion and a groove portion related to recording / reproducing, and a header portion for recording format information; An optical recording disk to be performed, wherein the height of a header portion and the height of a land portion are different.
【請求項2】 ヘッダ部の高さがランド部の高さより高
いことを特徴とする請求項1に記載の光記録ディスク。
2. The optical recording disk according to claim 1, wherein the height of the header portion is higher than the height of the land portion.
【請求項3】 ヘッダ部の高さがランド部の高さより低
いことを特徴とする請求項1に記載の光記録ディスク。
3. The optical recording disk according to claim 1, wherein the height of the header portion is lower than the height of the land portion.
【請求項4】 熱可塑性樹脂を射出成形してなる基板で
あることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記
載の光記録ディスク。
4. The optical recording disk according to claim 1, wherein said substrate is a substrate formed by injection molding a thermoplastic resin.
【請求項5】 ランド部上及びグルーブ部上の両方に情
報を記録することを特徴とする請求項1〜4のいずれか
1項に記載の光記録ディスク。
5. The optical recording disk according to claim 1, wherein information is recorded on both a land portion and a groove portion.
【請求項6】 ヘッダー部とランド部との高さの差が、
3〜100nmであることを特徴とする請求項1〜5の
いずれか1項に記載の光記録ディスク。
6. The difference in height between the header portion and the land portion is as follows:
The optical recording disk according to any one of claims 1 to 5, wherein the thickness is 3 to 100 nm.
【請求項7】 記録方法が表面記録再生方式であること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の光記
録ディスク。
7. The optical recording disk according to claim 1, wherein the recording method is a surface recording / reproducing method.
【請求項8】 記録方法が近接場光記録方式であること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の光記
録ディスク。
8. The optical recording disk according to claim 1, wherein a recording method is a near-field optical recording method.
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