JP2001241948A - 静電容量型傾斜角度センサ - Google Patents
静電容量型傾斜角度センサInfo
- Publication number
- JP2001241948A JP2001241948A JP2000055862A JP2000055862A JP2001241948A JP 2001241948 A JP2001241948 A JP 2001241948A JP 2000055862 A JP2000055862 A JP 2000055862A JP 2000055862 A JP2000055862 A JP 2000055862A JP 2001241948 A JP2001241948 A JP 2001241948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- capacitance
- electrode
- operational amplifier
- angle sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】外部からの電磁ノイズにも強く、温度ドリフト
等の影響を受けにくい静電容量型傾斜角度センサの提供 【解決手段】静電容量型傾斜角度センサ１００は、水平
である端面上に、保護リング１１０、絶縁体１２０、ガ
ード・リング１３０を設け、ガード・リング１３０内に
センサ電極１５０がある。センサ電極１５０は、円を４
分割した形状をした電極で、互いにｘ軸、ｙ軸に対して
対称であるように配置されている電極１５１，１５２，
１５３，１５４から構成されている。保護リング１１
０、ガード・リング１３０、センサの４つの同じ形の電
極（子センサ）１５１〜１５４は、それぞれ絶縁体１２
０，１４０で絶縁されている。この４つの電極とターゲ
ット面１６０との間の静電容量を量ることにより、ター
ゲット面１６０に対するセンサの傾斜を測定する。
等の影響を受けにくい静電容量型傾斜角度センサの提供 【解決手段】静電容量型傾斜角度センサ１００は、水平
である端面上に、保護リング１１０、絶縁体１２０、ガ
ード・リング１３０を設け、ガード・リング１３０内に
センサ電極１５０がある。センサ電極１５０は、円を４
分割した形状をした電極で、互いにｘ軸、ｙ軸に対して
対称であるように配置されている電極１５１，１５２，
１５３，１５４から構成されている。保護リング１１
０、ガード・リング１３０、センサの４つの同じ形の電
極（子センサ）１５１〜１５４は、それぞれ絶縁体１２
０，１４０で絶縁されている。この４つの電極とターゲ
ット面１６０との間の静電容量を量ることにより、ター
ゲット面１６０に対するセンサの傾斜を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、傾斜を計測するこ
とができる傾斜角度センサに関し、特に静電容量型の傾
斜角度センサに関する。
とができる傾斜角度センサに関し、特に静電容量型の傾
斜角度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】形状測定や精密移動体の姿勢にとって角
度センサの利用が大変有効であることが、最近の我が国
の研究で知られるようになってきた。そこで、インプロ
セス計測への利用や、非鏡面対象への利用が可能な光学
式以外の原理による角度センサの開発が切望されてい
る。しかし、光を使わない角度センサとしては、用途の
限られた水準器以外には、内外とも研究も開発も行なわ
れていないのが現状である。
度センサの利用が大変有効であることが、最近の我が国
の研究で知られるようになってきた。そこで、インプロ
セス計測への利用や、非鏡面対象への利用が可能な光学
式以外の原理による角度センサの開発が切望されてい
る。しかし、光を使わない角度センサとしては、用途の
限られた水準器以外には、内外とも研究も開発も行なわ
れていないのが現状である。
【０００３】従来、光を使えない状況での角度の検出に
は、例えば、静電容量型変位センサを複数個一体化して
差動変位を求める方法が使われる。しかしこの方法で
は、1つの変位センサの検出電極の大きさに比べて、一
体化した複数のセンサの全開口面積が広くなり、局部的
な傾斜角を正確に求めることができない。また、各変位
センサのドリフト特性や非線形特性の不一致のため、角
度出力の安定性や精度が著しく悪くなるという難点があ
る。静電容量型センサの外部からの電磁ノイズによる影
響を受けやすい。また、静電容量型センサは、温度ドリ
フトの大きいことも弱点である。
は、例えば、静電容量型変位センサを複数個一体化して
差動変位を求める方法が使われる。しかしこの方法で
は、1つの変位センサの検出電極の大きさに比べて、一
体化した複数のセンサの全開口面積が広くなり、局部的
な傾斜角を正確に求めることができない。また、各変位
センサのドリフト特性や非線形特性の不一致のため、角
度出力の安定性や精度が著しく悪くなるという難点があ
る。静電容量型センサの外部からの電磁ノイズによる影
響を受けやすい。また、静電容量型センサは、温度ドリ
フトの大きいことも弱点である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、外部
からの電磁ノイズにも強く、温度ドリフト等の影響を受
けにくい静電容量型角度センサを提供することである。
からの電磁ノイズにも強く、温度ドリフト等の影響を受
けにくい静電容量型角度センサを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、水平である端面上にセンサ電極を設け、
センサ電極とターゲット面との静電容量を計測して傾斜
角度を得る静電容量型傾斜角度センサにおいて、互いに
対称であるように配置されている４つの同じ形のセンサ
電極と、前記４つのセンサ電極の周囲に設けたガード電
極とを備え、前記電極は互いに絶縁されており、前記４
つのセンサ電極の容量変化の差から２次元の角度出力を
得ることを特徴とする。ガード電極を設け、その内側に
センサ電極を設置しているため、外部からの電磁ノイズ
を防ぐことができる。また、４つの電極を一体化したこ
とにより、環境の温度変化に対する機械的な特性や電気
的な特性が一致するので、温度ドリフト等を低減するこ
とができる。
に、本発明は、水平である端面上にセンサ電極を設け、
センサ電極とターゲット面との静電容量を計測して傾斜
角度を得る静電容量型傾斜角度センサにおいて、互いに
対称であるように配置されている４つの同じ形のセンサ
電極と、前記４つのセンサ電極の周囲に設けたガード電
極とを備え、前記電極は互いに絶縁されており、前記４
つのセンサ電極の容量変化の差から２次元の角度出力を
得ることを特徴とする。ガード電極を設け、その内側に
センサ電極を設置しているため、外部からの電磁ノイズ
を防ぐことができる。また、４つの電極を一体化したこ
とにより、環境の温度変化に対する機械的な特性や電気
的な特性が一致するので、温度ドリフト等を低減するこ
とができる。
【０００６】前記センサ電極は、円を４分割した形と
し、前記ガード電極はリング状とすることもできる。ま
た、２次元の角度出力θx，θyは、以下の式により求め
ることができる。
し、前記ガード電極はリング状とすることもできる。ま
た、２次元の角度出力θx，θyは、以下の式により求め
ることができる。
【数２】 ただし、Ｖiは、１つのセンサ電極の静電容量変化に比
例する電圧出力で、ｘ軸とｙ軸に対する傾斜による電圧
変化であり、Ｓx，Ｓyはそれぞれｘ軸とｙ軸の傾斜変位
に対する平均感度である。
例する電圧出力で、ｘ軸とｙ軸に対する傾斜による電圧
変化であり、Ｓx，Ｓyはそれぞれｘ軸とｙ軸の傾斜変位
に対する平均感度である。
【０００７】前記センサ電極の静電容量変化に比例する
電圧出力は、交流電源と、リファレンス・コンデンサ
と、オペアンプとを有する回路で出力することができ、
この回路は、前記リファレンス・コンデンサは前記交流
電源と前記オペアンプの入力端と直列に接続され、前記
オペアンプの他の入力端は前記交流電源と接続され、前
記センサ電極の１つは、前記リファレンス・コンデンサ
と接続されている前記オペアンプの入力端に接続され、
前記ターゲット面は、前記オペアンプの出力端に接続さ
れている。さらに、前記ガード電極が出力端に接続さ
れ、前記ターゲット面が入力端の一方に接続され、他の
入力端には前記交流電源が接続されているオペアンプを
設けることにより、ケーブルの容量などの寄生容量の影
響を除去する。
電圧出力は、交流電源と、リファレンス・コンデンサ
と、オペアンプとを有する回路で出力することができ、
この回路は、前記リファレンス・コンデンサは前記交流
電源と前記オペアンプの入力端と直列に接続され、前記
オペアンプの他の入力端は前記交流電源と接続され、前
記センサ電極の１つは、前記リファレンス・コンデンサ
と接続されている前記オペアンプの入力端に接続され、
前記ターゲット面は、前記オペアンプの出力端に接続さ
れている。さらに、前記ガード電極が出力端に接続さ
れ、前記ターゲット面が入力端の一方に接続され、他の
入力端には前記交流電源が接続されているオペアンプを
設けることにより、ケーブルの容量などの寄生容量の影
響を除去する。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態を、図面を参照
して詳細に説明する。本発明の角度センサは４つの検出
電極を一体化して、それぞれ電極における容量変化の差
から２次元の角度出力を得るものである。この角度セン
サは原理的には、変位センサの電極を４つ一体化したも
のである。図１により、本発明の実施形態の構成例を詳
しく説明する。実施形態の静電容量型傾斜角度センサ１
００は、水平である端面上に、保護リング１１０、絶縁
体１２０、ガード・リング１３０を設け、ガード・リン
グ１３０内にセンサ電極１５０がある。センサ電極１５
０は、円を４分割した形状をした電極で、互いにｘ軸、
ｙ軸に対して対称であるように配置されている電極１５
１，１５２，１５３，１５４から構成されている。保護
リング１１０、ガード・リング１３０、センサの４つの
同じ形の電極（子センサ）１５１〜１５４は、それぞれ
絶縁体１２０，１４０で絶縁されている。この４つの電
極とターゲット面１６０との間の静電容量を量ることに
より、ターゲット面１６０に対するセンサの傾斜を測定
する。このセンサ１００は、ガード・リング１３０を設
け、その内側にセンサ電極１５０を設置しているため、
外部からの電磁ノイズを防ぐことができる。また、4つ
の電極を一体化したことにより、環境の温度変化に対す
る機械的な特性や電気的な特性が一致するので、温度ド
リフト等を低減することが可能である。これにより、角
度センサの出力の安定性や精度がよくなる。
して詳細に説明する。本発明の角度センサは４つの検出
電極を一体化して、それぞれ電極における容量変化の差
から２次元の角度出力を得るものである。この角度セン
サは原理的には、変位センサの電極を４つ一体化したも
のである。図１により、本発明の実施形態の構成例を詳
しく説明する。実施形態の静電容量型傾斜角度センサ１
００は、水平である端面上に、保護リング１１０、絶縁
体１２０、ガード・リング１３０を設け、ガード・リン
グ１３０内にセンサ電極１５０がある。センサ電極１５
０は、円を４分割した形状をした電極で、互いにｘ軸、
ｙ軸に対して対称であるように配置されている電極１５
１，１５２，１５３，１５４から構成されている。保護
リング１１０、ガード・リング１３０、センサの４つの
同じ形の電極（子センサ）１５１〜１５４は、それぞれ
絶縁体１２０，１４０で絶縁されている。この４つの電
極とターゲット面１６０との間の静電容量を量ることに
より、ターゲット面１６０に対するセンサの傾斜を測定
する。このセンサ１００は、ガード・リング１３０を設
け、その内側にセンサ電極１５０を設置しているため、
外部からの電磁ノイズを防ぐことができる。また、4つ
の電極を一体化したことにより、環境の温度変化に対す
る機械的な特性や電気的な特性が一致するので、温度ド
リフト等を低減することが可能である。これにより、角
度センサの出力の安定性や精度がよくなる。
【０００９】センサ１００の具体的な大きさは、例え
ば、本センサ１００の外径は１５ｍｍ、センサ全電極面
の直径は７ｍｍである。この場合、１つの子センサの端
面積は半経１．５ｍｍの変位センサの端面積に相当す
る。センサ自体の熱膨張を極力抑えるために、例えばイ
ンバー材により製作する。本センサ１００の外径は１５
ｍｍであるので、その端面とターゲット面１６０間の測
定可能な距離ｄ0を２０μｍとすると、その検出できる
最大傾斜角度は約５００ｓ（ａｒｃ）である。
ば、本センサ１００の外径は１５ｍｍ、センサ全電極面
の直径は７ｍｍである。この場合、１つの子センサの端
面積は半経１．５ｍｍの変位センサの端面積に相当す
る。センサ自体の熱膨張を極力抑えるために、例えばイ
ンバー材により製作する。本センサ１００の外径は１５
ｍｍであるので、その端面とターゲット面１６０間の測
定可能な距離ｄ0を２０μｍとすると、その検出できる
最大傾斜角度は約５００ｓ（ａｒｃ）である。
【００１０】４つの各電極からのセンサの出力は次式で
与えられる。
与えられる。
【数３】 ただし、θxとθyはそれぞれｘ軸とｙ軸に対する傾斜
角、Ｄxはｚ軸方向の変位である。Ｖi［Ｖi＝Ｖθi＋Ｖ
z（ｉ＝１，２，３，４）］は、ターゲットの姿勢変化
による１つの子センサの静電容量変化を、それに比例す
る電圧出力により取り出したもので、ｘ軸とｙ軸に対す
る傾斜による電圧変化Ｖθiとｚ軸方向の変位による電
圧変化Ｖzとの和である。Ｓx，ＳyとＳzはそれぞれｘ軸
とｙ軸の傾斜、およびｚ軸の変位に対する平均感度であ
る。
角、Ｄxはｚ軸方向の変位である。Ｖi［Ｖi＝Ｖθi＋Ｖ
z（ｉ＝１，２，３，４）］は、ターゲットの姿勢変化
による１つの子センサの静電容量変化を、それに比例す
る電圧出力により取り出したもので、ｘ軸とｙ軸に対す
る傾斜による電圧変化Ｖθiとｚ軸方向の変位による電
圧変化Ｖzとの和である。Ｓx，ＳyとＳzはそれぞれｘ軸
とｙ軸の傾斜、およびｚ軸の変位に対する平均感度であ
る。
【００１１】図２は図１に示したセンサに使う、オペア
ンプ演算法を用いた静電容量の変化を電圧として取り出
すためのインタフェース回路２００である。図２の構成
の回路が４つあり、センサ１００の各電極ごとに接続さ
れる。図２に示す様に、センサ電極１５０の各４つの電
極とターゲット面１６０とで構成されるコンデンサＣ i
に、オペアンプ２２０の入力端の１つと出力端が接続さ
れる。リファレンス・コンデンサ２１０は、交流電源２
４０とオペアンプ２２０との間に、直列に接続されてい
る。オペアンプ２２０（増幅率：−Ｋ0）の演算によっ
て、センサのそれぞれの出力電圧Ｖiは、その端面とタ
ーゲット面１６０間の距離の変化に比例する。その出力
は式（２）のようになる。
ンプ演算法を用いた静電容量の変化を電圧として取り出
すためのインタフェース回路２００である。図２の構成
の回路が４つあり、センサ１００の各電極ごとに接続さ
れる。図２に示す様に、センサ電極１５０の各４つの電
極とターゲット面１６０とで構成されるコンデンサＣ i
に、オペアンプ２２０の入力端の１つと出力端が接続さ
れる。リファレンス・コンデンサ２１０は、交流電源２
４０とオペアンプ２２０との間に、直列に接続されてい
る。オペアンプ２２０（増幅率：−Ｋ0）の演算によっ
て、センサのそれぞれの出力電圧Ｖiは、その端面とタ
ーゲット面１６０間の距離の変化に比例する。その出力
は式（２）のようになる。
【数４】 ただし、Ｖsは交流入力電圧、Ｓoは子センサの端面積、
εは空気誘電率、Ｃsi（ｉ＝１，２，３，４）はリファ
レンス・コンデンサ２１０の容量、Ｃi，ｄi，Ｖ i（ｉ
＝１，２，３，４）はそれぞれ、４つの子センサとター
ゲット面との容量、その端面とターゲット面との間の距
離、出力電庄である。
εは空気誘電率、Ｃsi（ｉ＝１，２，３，４）はリファ
レンス・コンデンサ２１０の容量、Ｃi，ｄi，Ｖ i（ｉ
＝１，２，３，４）はそれぞれ、４つの子センサとター
ゲット面との容量、その端面とターゲット面との間の距
離、出力電庄である。
【００１２】このように、ｚ軸方向の変位による４つの
子センサの電圧変化量が同じにすることが、例えばリフ
ァレンス・コンデンサ２１０等を調整することにより可
能なので、式（１）の計算により、傾斜角度を検出する
際のセンサの出力には、ｚ軸方向の変位による影響を受
けないように構成することが可能である。また、傾斜に
よる端面とターゲット間の距離の変化は、片方が増加し
た時、他方は同量に減少するので、ｚ軸方向の変位を検
出する際のセンサの出力電圧には、ターゲット面の傾斜
角度による影響も受けない。
子センサの電圧変化量が同じにすることが、例えばリフ
ァレンス・コンデンサ２１０等を調整することにより可
能なので、式（１）の計算により、傾斜角度を検出する
際のセンサの出力には、ｚ軸方向の変位による影響を受
けないように構成することが可能である。また、傾斜に
よる端面とターゲット間の距離の変化は、片方が増加し
た時、他方は同量に減少するので、ｚ軸方向の変位を検
出する際のセンサの出力電圧には、ターゲット面の傾斜
角度による影響も受けない。
【００１３】図２に示すオペアンプ２３０（増幅率：Ｋ
g）は、ケーブルの容量などの寄生容量の影響を除去す
るために追加されるものである。オペアンプ２３０の出
力は、センサ電極に接続された線のガードやガード・リ
ングに接続されている。また、入力の１つは、ターゲッ
ト面１６０と接続され、他の入力は交流電源２４０と接
続されている。図２の回路において、以下の式（３）お
よび（４）が成立している。
g）は、ケーブルの容量などの寄生容量の影響を除去す
るために追加されるものである。オペアンプ２３０の出
力は、センサ電極に接続された線のガードやガード・リ
ングに接続されている。また、入力の１つは、ターゲッ
ト面１６０と接続され、他の入力は交流電源２４０と接
続されている。図２の回路において、以下の式（３）お
よび（４）が成立している。
【数５】 図２中のセンサ電極の電圧Ｖｃとオペアンプ２３０の出
力電圧Ｖｇが等しいとすると、寄生容量の影響が除去さ
れる。すると、式（３）と（４）によって
力電圧Ｖｇが等しいとすると、寄生容量の影響が除去さ
れる。すると、式（３）と（４）によって
【数６】 が得られる。従って、オペアンプ２３０の増幅率Ｋgを
これにより求まる増幅率とする。ただし、オペアンプ２
２０の増幅率Ｋ0が十分大きいとすれば、オペアンプ２
３０の増幅率Ｋgは１に近似できるので、オペアンプ２
３０を省略できる。
これにより求まる増幅率とする。ただし、オペアンプ２
２０の増幅率Ｋ0が十分大きいとすれば、オペアンプ２
３０の増幅率Ｋgは１に近似できるので、オペアンプ２
３０を省略できる。
【００１４】図３および図４は、図１および図２に示し
た構成の静電容量型角度センサの出力特性および温度ド
リフトの特性を示したグラフである。ターゲット面１６
０との間隔が２００μｍ程度で計測している。図３のセ
ンサの出力特性のグラフから分かるように、本センサの
角度と出力電圧との間には、水平分（ｘ方向）および垂
直分（ｙ方向）とも、よいリニアリティ（線形特性）を
有している。また、図４のドリフトを示すグラフにおい
て、温度はセンサの周囲温度を示している。図４から、
ドリフトは角度にして０．５秒以下の範囲であり、十分
無視できる程度である。
た構成の静電容量型角度センサの出力特性および温度ド
リフトの特性を示したグラフである。ターゲット面１６
０との間隔が２００μｍ程度で計測している。図３のセ
ンサの出力特性のグラフから分かるように、本センサの
角度と出力電圧との間には、水平分（ｘ方向）および垂
直分（ｙ方向）とも、よいリニアリティ（線形特性）を
有している。また、図４のドリフトを示すグラフにおい
て、温度はセンサの周囲温度を示している。図４から、
ドリフトは角度にして０．５秒以下の範囲であり、十分
無視できる程度である。
【００１５】本センサでは、容量変化の検出を複数の子
センサによる差動型にしているため、単独の変位センサ
よりも高い安定性と分解能での容量変化の検出ができ
る。これにより、現状の容量型変位センサの能力から推
定されるよりも、高い能力の角度センサの実現が可能に
なった。この発明のセンサは光を使えない状況のため
に、角度センサの利用が難しかったインプロセス計測、
非鏡面の多くの加工面形状の非接触高精度測定などに利
用可能であり、その工業的、工学的意義は極めて高い。
センサによる差動型にしているため、単独の変位センサ
よりも高い安定性と分解能での容量変化の検出ができ
る。これにより、現状の容量型変位センサの能力から推
定されるよりも、高い能力の角度センサの実現が可能に
なった。この発明のセンサは光を使えない状況のため
に、角度センサの利用が難しかったインプロセス計測、
非鏡面の多くの加工面形状の非接触高精度測定などに利
用可能であり、その工業的、工学的意義は極めて高い。
【００１６】
【発明の効果】本発明の構成により、外部からの電磁ノ
イズにも強く、温度ドリフト等の影響を受けにくい静電
容量型傾斜角度センサを得ることができる。
イズにも強く、温度ドリフト等の影響を受けにくい静電
容量型傾斜角度センサを得ることができる。
【図１】静電容量型傾斜角度センサの構成例を示す図で
ある。
ある。
【図２】出力電圧を得るための回路構成例を示す図であ
る。
る。
【図３】センサ出力特性を示すグラフである。
【図４】ドリフト特性を示すグラフである。
１００ センサ １１０ 保護リング １２０，１４０ 絶縁体 １３０ ガード・リング １５０ センサ電極 １５１，１５２，１５３，１５４ センサ電極（子セン
サ） １６０ ターゲット面 ２００ インタフェース回路 ２１０ リファレンス・コンデンサ ２２０ オペアンプ ２３０ オペアンプ ２４０ 交流電源
サ） １６０ ターゲット面 ２００ インタフェース回路 ２１０ リファレンス・コンデンサ ２２０ オペアンプ ２３０ オペアンプ ２４０ 交流電源
Claims (5)
- 【請求項１】 水平である端面上にセンサ電極を設け、
センサ電極とターゲット面との静電容量を計測して傾斜
角度を得る静電容量型傾斜角度センサにおいて、 互いに対称であるように配置されている４つの同じ形の
センサ電極と、 前記４つのセンサ電極の周囲に設けたガード電極とを備
え、前記電極は互いに絶縁されており、前記４つのセン
サ電極の容量変化の差から２次元の角度出力を得ること
を特徴とする静電容量型傾斜角度センサ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の静電容量型傾斜角度セ
ンサにおいて、 前記センサ電極は、円を４分割した形であり、前記ガー
ド電極はリング状であることを特徴とする静電容量型傾
斜角度センサ。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の静電容量型傾斜
角度センサにおいて、２次元の角度出力θx，θyは、以
下の式により求めることを特徴とする静電容量型傾斜角
度センサ。 【数１】 ただし、Ｖiは、１つのセンサ電極の静電容量変化に比
例する電圧出力で、ｘ軸とｙ軸に対する傾斜による電圧
変化であり、Ｓx，Ｓyはそれぞれｘ軸とｙ軸の傾斜変位
に対する平均感度である。 - 【請求項４】 請求項３記載の静電容量型傾斜角度セン
サにおいて、 前記センサ電極の静電容量変化に比例する電圧出力は、
交流電源と、リファレンス・コンデンサと、オペアンプ
とを有する回路で出力され、 前記回路は、前記リファレンス・コンデンサは前記交流
電源と前記オペアンプの入力端と直列に接続され、前記
オペアンプの他の入力端は前記交流電源と接続され、前
記センサ電極の１つは、前記リファレンス・コンデンサ
と接続されている前記オペアンプの入力端に接続され、
前記ターゲット面は、前記オペアンプの出力端に接続さ
れていることを特徴とする静電容量型傾斜角度センサ。 - 【請求項５】 請求項４記載の静電容量型傾斜角度セン
サにおいて、さらに、前記ガード電極が出力端に接続さ
れ、前記ターゲット面が入力端の一方に接続され、他の
入力端には前記交流電源が接続されているオペアンプを
有していることを特徴とする静電容量型傾斜角度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000055862A JP2001241948A (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | 静電容量型傾斜角度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000055862A JP2001241948A (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | 静電容量型傾斜角度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001241948A true JP2001241948A (ja) | 2001-09-07 |
Family
ID=18576912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000055862A Pending JP2001241948A (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | 静電容量型傾斜角度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001241948A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103712600A (zh) * | 2012-10-08 | 2014-04-09 | 硕英股份有限公司 | 液体电容式倾斜微传感器 |
| CN103712601A (zh) * | 2012-10-08 | 2014-04-09 | 硕英股份有限公司 | 液体多层电容倾斜微传感器 |
| CN104019798A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-09-03 | 哈尔滨工业大学 | 同心共面三等分环-圆嵌套极板倾角测量方法与装置 |
| CN104019797A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-09-03 | 哈尔滨工业大学 | 成对四等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置 |
| CN104034308A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-09-10 | 哈尔滨工业大学 | 同心共面二等分环-二等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置 |
-
2000
- 2000-03-01 JP JP2000055862A patent/JP2001241948A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103712600A (zh) * | 2012-10-08 | 2014-04-09 | 硕英股份有限公司 | 液体电容式倾斜微传感器 |
| CN103712601A (zh) * | 2012-10-08 | 2014-04-09 | 硕英股份有限公司 | 液体多层电容倾斜微传感器 |
| CN103712600B (zh) * | 2012-10-08 | 2016-05-25 | 硕英股份有限公司 | 液体电容式倾斜微传感器 |
| CN103712601B (zh) * | 2012-10-08 | 2016-06-01 | 硕英股份有限公司 | 液体多层电容倾斜微传感器 |
| CN104019798A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-09-03 | 哈尔滨工业大学 | 同心共面三等分环-圆嵌套极板倾角测量方法与装置 |
| CN104019797A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-09-03 | 哈尔滨工业大学 | 成对四等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置 |
| CN104034308A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-09-10 | 哈尔滨工业大学 | 同心共面二等分环-二等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置 |
| CN104019797B (zh) * | 2014-04-28 | 2016-06-29 | 哈尔滨工业大学 | 成对四等分环-圆嵌套极板相向交错放置式倾角测量方法与装置 |
| CN104034308B (zh) * | 2014-04-28 | 2016-07-06 | 哈尔滨工业大学 | 同心共面二等分环-二等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Cui et al. | Linearity indices and linearity improvement of 2-D tetralateral position-sensitive detector | |
| US20110219876A1 (en) | Motion detection using capacitor having different work function materials | |
| CN110780088B (zh) | 多桥路隧道磁阻双轴加速度计 | |
| US6679118B1 (en) | Accelerometer and spherical sensor type measuring instrument | |
| WO2014163076A1 (ja) | 静電容量型センサ、及び非線形出力の補正方法 | |
| CN110133322A (zh) | 基于电光效应的单片集成光学加速度计 | |
| US20090150029A1 (en) | Capacitive integrated mems multi-sensor | |
| Li et al. | An accurate low-cost capacitive absolute angular-position sensor with a full-circle range | |
| Momen et al. | A 3-axis MEMS capacitive accelerometer free of cross axis sensitivity | |
| JP2001241948A (ja) | 静電容量型傾斜角度センサ | |
| Etxebarria et al. | Very high sensitivity displacement sensor based on resonant cavities | |
| CN105629982B (zh) | 基于光学位移传感的空间小磁体悬浮控制装置 | |
| CN113092817B (zh) | 检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法 | |
| Schott et al. | A new two-axis magnetic position sensor | |
| US3842509A (en) | Strain gauge ambiguity sensor for segmented mirror active optical system | |
| Li et al. | Open–loop operating mode of micromachined capacitive accelerometer | |
| Tavakoli et al. | Designing a new high performance 3-axis MEMS capacitive accelerometer | |
| JP2005017216A (ja) | ３軸加速度センサ | |
| Giacci et al. | Capacitive vs piezoresistive MEMS gyroscopes: a theoretical and experimental noise comparison | |
| US20050035289A1 (en) | Differential in-plane tunneling current sensor | |
| Zhao et al. | Note: Differential amplified high-resolution tilt angle measurement system | |
| Li et al. | A novel low-cost noncontact resistive potentiometric sensor for the measurement of low speeds | |
| US20110005314A1 (en) | Ion discharge gyroscope | |
| CN106500732A (zh) | 一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构 | |
| Tanwar et al. | Sensitivity enhancement of an electro-optic sensor for displacement measurement |