JP2001232475A - Electrode for plasma torch - Google Patents
Electrode for plasma torchInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電極が破壊に至る
ことを予知し得るプラズマトーチ用の電極に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode for a plasma torch capable of predicting that the electrode will be broken.
【0002】[0002]
【従来の技術】プラズマトーチから鋼板に向けてプラズ
マアークを噴射して母材を溶融させると共に、溶融した
母材を排除しつつ該プラズマトーチを連続的に移動させ
ることで、鋼板を切断する所謂プラズマ切断が実用化さ
れている。このようなプラズマ切断では、ガス切断に比
較して切断速度を大きく出来るため、単位時間当たりの
切断長さを増大することが可能となり、人件費の削減に
有利である。2. Description of the Related Art A so-called cutting of a steel sheet by injecting a plasma arc from a plasma torch toward a steel sheet to melt the base material and continuously moving the plasma torch while excluding the molten base material. Plasma cutting has been put to practical use. In such a plasma cutting, the cutting speed can be increased as compared with the gas cutting, so that the cutting length per unit time can be increased, which is advantageous in reducing labor costs.
【0003】上記プラズマ切断を実施する際に、プラズ
マトーチからプラズマアークを噴射するには、プラズマ
トーチに取り付けた電極の周囲に酸素ガスを供給すると
共に該電極とノズルとの間で放電させてパイロットアー
クを形成し、且つ酸素ガスの供給を継続することでパイ
ロットアークをノズルから鋼板に向けて吹き出し、更
に、パイロットアークが鋼板と接触したとき該鋼板と電
極との間で放電させることでメインアーク(プラズマア
ーク)を形成すると同時に、電極とノズルとの放電を停
止させてパイロットアークを停止させている。In performing the above-mentioned plasma cutting, in order to inject a plasma arc from a plasma torch, an oxygen gas is supplied around an electrode attached to the plasma torch, and a discharge is caused between the electrode and a nozzle. By forming an arc and continuing the supply of oxygen gas, a pilot arc is blown out from the nozzle toward the steel sheet, and further, when the pilot arc comes into contact with the steel sheet, a discharge is caused between the steel sheet and the electrode to form a main arc. At the same time as (plasma arc) formation, the discharge between the electrode and the nozzle is stopped to stop the pilot arc.
【0004】上記の如く、切断に用いるプラズマトーチ
の電極は高純度酸素ガスによる酸化性雰囲気に曝され、
且つプラズマアークの高温が作用するため、使用条件は
非常に過酷であり、タングステンや銅等の金属によって
形成した電極では瞬時に溶けてしまい使用に耐えない。
このため、最近では、銅又は銅合金からなる電極材ホル
ダーに電極材としてハフニウムやジルコニウムを埋め込
むと共に電極材と電極材ホルダーとの間にアルミニウ
ム,金,金合金,銀,銀合金等の中から選択された金属
を介在させて構成したものが用いられている。As described above, the electrodes of the plasma torch used for cutting are exposed to an oxidizing atmosphere of high-purity oxygen gas.
In addition, since the high temperature of the plasma arc acts, the conditions of use are very severe, and electrodes formed of metals such as tungsten and copper are instantaneously melted and cannot be used.
For this reason, recently, hafnium or zirconium is embedded as an electrode material in an electrode material holder made of copper or a copper alloy, and aluminum, gold, a gold alloy, silver, silver alloy, or the like is provided between the electrode material and the electrode material holder. A structure in which a selected metal is interposed is used.
【0005】上記プラズマトーチ用の電極であっても全
く消耗しないものではなく、プラズマアークを形成する
都度電極材の表面が溶融して酸化し、これにより、電極
材の微小な消耗が進行して該電極材の電極の先端面から
の深さが深くなる。電極材の消耗が進行して限界に到達
したとき、電極材ホルダーが溶損してプラズマアークが
一挙に停止し、現在進行中の切断作業が中断し、このと
き、切断面にノッチが形成されて製品に支障を来すこと
がある。[0005] Even if the electrode for the plasma torch is not consumed at all, the surface of the electrode material is melted and oxidized each time a plasma arc is formed, thereby causing minute consumption of the electrode material. The depth of the electrode material from the tip surface of the electrode is increased. When the consumption of the electrode material progresses and reaches the limit, the electrode material holder is melted down and the plasma arc stops at once, and the cutting work currently in progress is interrupted, and at this time, a notch is formed on the cut surface. The product may be hindered.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記の如く、切断の実
行中に電極が破壊した場合、製品を損ねたり、作業が中
断する等の問題が生じる。このため、電極が破壊する以
前に破壊を予知し得るように構成することが好ましい。As described above, when the electrode is broken during the cutting, problems such as damage to the product and interruption of the work arise. For this reason, it is preferable to configure so that destruction can be predicted before the electrode is destroyed.
【0007】本発明の目的は、破壊を予知することが出
来るプラズマトーチ用の電極を提供することにある。An object of the present invention is to provide an electrode for a plasma torch capable of predicting breakdown.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明に係るプラズマトーチ用の電極は、プラズマト
ーチの取付部に着脱可能に取り付けられ先端面の周囲に
供給されたガスをプラズマ化させるプラズマトーチ用の
電極であって、電極材ホルダーの中心に電極材を埋設す
ると共に該電極材の深さ方向の所定位置に不連続部を形
成したものである。In order to solve the above-mentioned problems, an electrode for a plasma torch according to the present invention is detachably attached to a mounting portion of a plasma torch, and converts a gas supplied around a tip surface into a plasma. An electrode for a plasma torch to be formed, wherein an electrode material is buried in a center of an electrode material holder and a discontinuous portion is formed at a predetermined position in a depth direction of the electrode material.
【0009】上記プラズマトーチ用の電極(以下、単に
「電極」という)に於いて、電極材に形成した不連続部
は、電極材の消耗が該不連続部に到達したときにプラズ
マアークの挙動を変化させるものであることが好まし
い。このように構成した電極では、使用時間の増加に伴
って電極材の消耗が進行し、この消耗が深さ方向所定位
置に形成された不連続部に到達したとき、プラズマアー
クの形成を維持した状態で不連続部の性質に応じて該プ
ラズマアークの挙動が変化する。In the above-mentioned electrode for a plasma torch (hereinafter simply referred to as an "electrode"), the discontinuous portion formed in the electrode material causes the behavior of the plasma arc when the consumption of the electrode material reaches the discontinuous portion. Is preferably changed. In the electrode configured as described above, the consumption of the electrode material progressed with an increase in the use time, and when the consumption reached a discontinuous portion formed at a predetermined position in the depth direction, the formation of the plasma arc was maintained. In this state, the behavior of the plasma arc changes according to the nature of the discontinuous portion.
【0010】このため、プラズマアークの挙動の変化を
検知することによって、電極の消耗が不連続部に到達し
たことを認識することが出来る。従って、不連続部の位
置を電極が破壊する位置よりも先端側に設定すること
で、前記挙動の変化を検知したとき、現在正常に機能し
ている電極が近い将来破壊に至ることを認識することが
可能となる。即ち、適度なタイミングで電極の交換を行
なうことが出来、製品を損なうことなく、且つ突然稼働
が中断することなく、良好な管理状態で作業を進行する
ことが出来る。ここで、プラズマアークの挙動の変化と
は、電極材の不連続部に於いて発生するプラズマアーク
を形成するために電極に印加する電圧の変化や、プラズ
マアークを形成している間の音の変化、或いはプラズマ
アークの光の変化等である。Therefore, by detecting the change in the behavior of the plasma arc, it is possible to recognize that the electrode has reached the discontinuous portion. Therefore, by setting the position of the discontinuous portion on the tip side from the position where the electrode breaks, when the change in the behavior is detected, it is recognized that the currently normally functioning electrode will be broken in the near future. It becomes possible. That is, the electrodes can be replaced at an appropriate timing, and the operation can be performed in a good management state without damaging the product and without abrupt interruption of operation. Here, the change in the behavior of the plasma arc refers to the change in the voltage applied to the electrode to form the plasma arc that occurs at the discontinuous portion of the electrode material, or the sound during the formation of the plasma arc. Changes, or changes in the plasma arc light.
【0011】上記電極に於いて、不連続部が、電極材の
断面積の変化、又は電極材の材質の変化によって形成さ
れたものであることが好ましい。電極をこのように構成
することによって、電圧の急激な変化によって電極の破
壊を予知することが可能であり、或いは電圧の変化に加
えて電極材の変化に伴う音やプラズマアークの光の変化
によって電極の破壊を予知することが出来る。In the above electrode, it is preferable that the discontinuous portion is formed by a change in the cross-sectional area of the electrode material or a change in the material of the electrode material. By configuring the electrode in this way, it is possible to predict the destruction of the electrode by a sudden change in the voltage, or by changing the sound of the electrode material or the light of the plasma arc in addition to the voltage change. Destruction of the electrode can be predicted.
【0012】また上記電極に於いて、電極材に形成する
不連続部の位置を変えることによってプラズマアークの
挙動が変化するまでのタイミングを変化させることが好
ましい。電極をこのように構成した場合には、新しい電
極を使用したとき、消耗が不連続部に到達までのタイミ
ング(プラズマアークを形成し得る時間やプラズマアー
クを形成する回数等)を調整することが可能となり、大
型の部材を切断する際に長時間の連続切断を実施するよ
うな場合と、小形の部材を切断する際に短時間の切断を
実施するような場合と、に応じた使い分けを行なうこと
が出来る。このため、電極材の残り部分を最小限として
合理的に使用することが出来る。In the above electrode, it is preferable to change the timing until the behavior of the plasma arc changes by changing the position of the discontinuous portion formed in the electrode material. When the electrode is configured in this manner, when a new electrode is used, the timing until the wear reaches the discontinuous portion (the time during which a plasma arc can be formed, the number of times the plasma arc is formed, etc.) can be adjusted. It is possible to use differently according to the case where long-time continuous cutting is performed when cutting large members and the case where short-time cutting is performed when cutting small members. I can do it. For this reason, the remaining portion of the electrode material can be used rationally with a minimum.
【0013】また上記電極に於いて、電極材が電極材ホ
ルダーに対しロー付けにより接合したものであることが
好ましい。電極をこのように構成することによって、電
極材に於ける不連続部分にも溶融したローが流れ込ん
で、導電性や熱伝導性を損なうことがなく、電極材に不
連続部分が存在するにも関わらず、電極を正常な状態で
切断性能を発揮させることが出来る。In the above-mentioned electrode, it is preferable that the electrode material is joined to the electrode material holder by brazing. By configuring the electrode in this manner, the molten solder flows into the discontinuous portion of the electrode material without losing the conductivity or thermal conductivity, and even if the discontinuous portion exists in the electrode material. Regardless, the cutting performance can be exhibited in a normal state of the electrode.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、上記電極の好ましい実施形
態について図を用いて説明する。図1は第1実施例に係
る電極の構成を説明する断面図である。図2は電極の消
耗が成長する過程を説明する図である。図3はプラズマ
トーチの先端部分の構成を説明する図である。図4は第
2実施例に係る電極の構成を説明する断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the above-mentioned electrode will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view illustrating the configuration of the electrode according to the first embodiment. FIG. 2 is a view for explaining the process of growing electrode wear. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of the tip portion of the plasma torch. FIG. 4 is a sectional view illustrating the configuration of the electrode according to the second embodiment.
【0015】各実施例に係る電極A,Bは、プラズマア
ークを形成する時間の増加、即ち、使用時間の増加に伴
って消耗が成長して不連続部に到達したとき、切断性能
を維持している間に、定常的な作業の進行とは異なる状
態(プラズマアークの挙動の変化)を強制的に現出さ
せ、この状態を検知することで、電極の破壊を予知し得
るように構成したものである。The electrodes A and B according to the respective embodiments maintain the cutting performance when the time for forming the plasma arc is increased, that is, when the wear reaches the discontinuous part with the increase in the use time, the electrodes A and B maintain the cutting performance. During the operation, a state different from the steady progress of the work (change in the behavior of the plasma arc) is forcibly made to appear, and by detecting this state, it is possible to predict the destruction of the electrode. Things.
【0016】上記した定常的な作業の進行とは異なる状
態とは、例えばプラズマアークを形成している電極A,
Bに印加している電圧の変化、プラズマアークが噴射す
る際に発生する音の質の変化、プラズマアークの火炎の
色の変化等の予め想定したセンサーによって検知し得る
ものである。The state different from the above-mentioned steady progress of the work is, for example, the electrodes A,
A change in the voltage applied to B, a change in the quality of the sound generated when the plasma arc is ejected, a change in the color of the flame of the plasma arc, and the like can be detected by a sensor assumed in advance.
【0017】従って、センサーによって定常状態とは異
なる状態に至ったことを検知したとき、切断作業が通常
の状態で進行しているにも関わらず、近い将来電極が破
壊すると認識し、適当なタイミングでプラズマトーチの
稼働を停止させて電極を交換することで、製品に対して
与える虞のある損傷や作業の突然の停止を防止して良好
な作業を進行させることが可能である。Therefore, when the sensor detects that a state different from the steady state has been reached, it recognizes that the electrode will be destroyed in the near future, even though the cutting operation is proceeding in a normal state, and an appropriate timing By stopping the operation of the plasma torch and exchanging the electrodes, it is possible to prevent damage that may be caused to the product and abrupt stoppage of the operation, thereby making it possible to perform a favorable operation.
【0018】本実施例に係る電極A,Bの構成を説明す
るのに先立って、これらの電極A,Bを取り付けて図示
しない鋼板等の被切断材を切断するプラズマトーチの例
について図2により簡単に説明する。図に示すプラズマ
トーチは、プラズマアークの周囲に沿わせて二次気流及
び三次気流を噴射し、且つ前記二次気流及び三次気流を
所望の方向に旋回させ、或いは非旋回(軸流)させるこ
とで、安定したプラズマアークを形成すると共に切断面
の品質を向上させるように構成されたものである。Prior to describing the configuration of the electrodes A and B according to the present embodiment, an example of a plasma torch for attaching these electrodes A and B and cutting a material to be cut such as a steel plate (not shown) with reference to FIG. A brief description will be given. The plasma torch shown in the drawing injects a secondary airflow and a tertiary airflow along the periphery of a plasma arc, and makes the secondary airflow and the tertiary airflow swirl in a desired direction or non-swirl (axial flow). Thus, a stable plasma arc is formed and the quality of the cut surface is improved.
【0019】しかし、このプラズマトーチは本実施例に
係る電極A,Bを取り付けることが可能なプラズマトー
チの一例であって、この構成にのみ限定するものではな
いことは当然である。即ち、本発明に係る電極は、図3
に示す三次気流まで噴射し得るように構成されたプラズ
マトーチ以外の例えば二次気流まで噴射し得るように構
成されたプラズマトーチであっても、好ましい状態で使
用することが可能である。However, this plasma torch is an example of a plasma torch to which the electrodes A and B according to the present embodiment can be attached, and is not limited to this configuration. That is, the electrode according to the present invention has the structure shown in FIG.
Other than the plasma torch configured to be able to inject to the tertiary airflow shown in the above, for example, even a plasma torch configured to be able to inject to the secondary airflow can be used in a preferable state.
【0020】図に於いて、電極A,B(代表して電極
A)は導電性を持った電極台11に着脱可能に装着されて
いる。また電極台11の内部には冷却水を供給する冷却管
12が設けられており、該冷却管12から供給された冷却水
が電極Aの突起4及び裏面1bと接触して冷却し、その
後、冷却管12と電極台11の間に形成された通路13を通っ
てノズル部材を冷却する通路13に導かれ、その後、プラ
ズマSの外部に排出される。In the figure, electrodes A and B (representatively, electrode A) are detachably mounted on a conductive electrode base 11. A cooling pipe for supplying cooling water is provided inside the electrode base 11.
The cooling water supplied from the cooling pipe 12 contacts the projection 4 and the back surface 1b of the electrode A to cool the cooling water, and then a passage 13 formed between the cooling pipe 12 and the electrode base 11 is provided. Through the passage 13 for cooling the nozzle member, and then discharged outside the plasma S.
【0021】電極Aの外周には絶縁性を有し且つ本体14
に着脱可能に構成されたセンタリングストーン15が配置
されており、該センタリングストーン15と連続して第1
ノズル部材16,第2ノズル部材17が設けられている。更
に、第2ノズル部材17の外周に第3ノズル部材18が設け
られ、キャップ19によって本体14に取り付けられてい
る。The outer periphery of the electrode A has an insulating property and a main body 14.
A detachable centering stone 15 is arranged, and the first centering stone 15 is connected to the first
A nozzle member 16 and a second nozzle member 17 are provided. Further, a third nozzle member 18 is provided on the outer periphery of the second nozzle member 17, and is attached to the main body 14 by a cap 19.
【0022】上記の如く構成されたプラズマトーチで
は、電極Aと第1ノズル部材16とによってプラズマ室20
が形成され、第1ノズル部材16と第2ノズル部材17とに
よって二次気流室21が形成され、第2ノズル部材17と第
3ノズル部材18とによって三次気流室22が形成され、夫
々の室20〜22に酸素ガスを含む予め設定されたガスが供
給されて各ノズル部材16〜18の孔から噴射される。In the plasma torch constructed as described above, the plasma chamber 20 is formed by the electrode A and the first nozzle member 16.
Are formed, a second airflow chamber 21 is formed by the first nozzle member 16 and the second nozzle member 17, and a tertiary airflow chamber 22 is formed by the second nozzle member 17 and the third nozzle member 18. A preset gas containing oxygen gas is supplied to 20 to 22 and injected from the holes of the nozzle members 16 to 18.
【0023】従って、プラズマ室20に酸素ガスを供給す
ると共に電極Aと第1ノズル部材16との間で放電させる
ことで、供給された酸素ガスによってパイロットアーク
を形成することが可能である。このパイロットアーク
は、第2ノズル部材17,第3ノズル部材18の孔を通過し
て外部に吹き出されて図示しない被切断材と接触する。
このとき、電極Aと被切断材との間に電圧を印加して放
電させると両者の間にプラズマアークが形成され、同時
に電極Aと第1ノズル部材16との間の通電を停止させる
ことでパイロットアークを停止させ、これにより、電極
Aと被切断材との間に形成されたプラズマアークを維持
する。Accordingly, by supplying oxygen gas to the plasma chamber 20 and discharging between the electrode A and the first nozzle member 16, it is possible to form a pilot arc by the supplied oxygen gas. This pilot arc passes through the holes of the second nozzle member 17 and the third nozzle member 18 and is blown out to the outside to come into contact with a workpiece (not shown).
At this time, when a voltage is applied between the electrode A and the material to be cut to cause a discharge, a plasma arc is formed between the two, and at the same time, the energization between the electrode A and the first nozzle member 16 is stopped. The pilot arc is stopped, thereby maintaining the plasma arc formed between the electrode A and the workpiece.
【0024】プラズマアークの形成に伴って、二次気流
室21,22に酸素ガス或いは他のガスを供給して夫々第2
ノズル部材17,第3ノズル部材18の孔から噴射させるこ
とで、プラズマアークに沿わせて二次気流,三次気流を
噴射することが可能である。そして、被切断材に向けて
プラズマアーク,二次気流,三次気流を噴射しつつ、プ
ラズマトーチを予め設定された方向に移動させると、こ
の移動過程で、プラズマアークが被切断材を酸化させる
と共に溶融させ、同時に酸化物,溶融物を被切断材から
排除して連続的な溝を形成して該被切断材を切断するこ
とが可能である。With the formation of the plasma arc, an oxygen gas or another gas is supplied to the secondary airflow chambers 21 and 22 so that the secondary airflow chambers 21 and 22 are respectively supplied with the second gas.
By jetting from the holes of the nozzle member 17 and the third nozzle member 18, it is possible to jet the secondary airflow and the tertiary airflow along the plasma arc. When the plasma torch is moved in a predetermined direction while injecting the plasma arc, the secondary airflow, and the tertiary airflow toward the material to be cut, the plasma arc oxidizes the material to be cut in this moving process. It is possible to cut the material to be cut by melting and simultaneously removing the oxide and the melt from the material to be cut to form a continuous groove.
【0025】次ぎに、図1,図2により第1実施例に係
る電極Aについて説明する。図に於いて、電極Aは銅又
は銅合金からなる電極材ホルダー1にハフニウムからな
る棒状の電極材2を埋設して構成されたものであり、電
極材ホルダー1と電極材2との間には金,金合金,銀,
銀合金の中から選択された金属からなる金属層3を介在
させて構成されている。Next, the electrode A according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. In the figure, an electrode A is configured by embedding a rod-shaped electrode material 2 made of hafnium in an electrode material holder 1 made of copper or a copper alloy, and between the electrode material holder 1 and the electrode material 2. Is gold, gold alloy, silver,
It is configured with a metal layer 3 made of a metal selected from silver alloys interposed.
【0026】電極Aの先端面である電極材ホルダー1の
先端面1aはプラズマアークを形成する際に周囲に酸素
ガスからなるプラズマガスと接触する面であり、該先端
面1aの反対側の裏面1bには突起4が形成され、該突
起4及び裏面1bに冷却水が接触して電極Aを冷却し得
るように構成されている。前記突起4は冷却水との接触
面積を増大させる機能を有しており、電極Aの冷却効率
を向上させることが可能である。また電極材ホルダー1
の先端面1aとは反対側の部位にはネジ1cが形成され
ており、該ネジ1cを電極台11に形成したネジ部に締結
することで、電極Aをプラズマトーチに装着し得るよう
に構成されている。The tip surface 1a of the electrode material holder 1, which is the tip surface of the electrode A, is a surface that comes into contact with the plasma gas composed of oxygen gas when forming a plasma arc, and the back surface opposite to the tip surface 1a. A projection 4 is formed on the projection 1b, and the cooling water is brought into contact with the projection 4 and the back surface 1b so that the electrode A can be cooled. The protrusions 4 have a function of increasing the contact area with the cooling water, and can improve the cooling efficiency of the electrode A. Electrode material holder 1
A screw 1c is formed at a portion opposite to the distal end surface 1a of the electrode, and the screw 1c is fastened to a screw portion formed on the electrode base 11, so that the electrode A can be mounted on the plasma torch. Have been.
【0027】電極材2はプラズマアークの起点となるも
のであり、極めて高い導電性と熱伝導性を有し、且つ酸
化物の蒸発温度が高く、更に、高温下で極めて安定した
性質を持った材料が選択されている。このような材料と
しては、ハフニウムやジルコニウムがあり、該電極材2
の太さは、電極Aの仕様、即ち、切断可能厚さや切断に
際して通電する電流の値に応じて異なる。例えば通電電
流が200A(アンペア)では1.6mm、400Aでは2.4
mmに設定されている。The electrode material 2 is a starting point of a plasma arc, has extremely high electrical conductivity and thermal conductivity, has a high oxide evaporation temperature, and has extremely stable properties at high temperatures. Material is selected. Examples of such materials include hafnium and zirconium.
Is different depending on the specification of the electrode A, that is, the thickness that can be cut or the value of the current that flows when cutting. For example, 1.6 mm at 200 A (ampere) and 2.4 at 400 A
is set to mm.
【0028】電極材2の電極材ホルダー1の先端面1a
から所定深さ位置には不連続部5が形成されている。こ
の不連続部5は、電極材2を異種の材質を連ね、異なる
材質の接合部位によって形成している。即ち、電極Aに
於ける電極材2は、電極材ホルダー1の先端面1a側に
例えばハフニウムからなる電極材2aを配置し、この電
極材2aに対し裏面1b側に接続させて例えばジルコニ
ウム或いはタングステン等の金属からなる電極材2bを
配置して構成されている。End surface 1a of electrode material holder 1 of electrode material 2
And a discontinuous portion 5 is formed at a predetermined depth position. In the discontinuous portion 5, the electrode material 2 is formed by joining different kinds of materials and joining portions of different materials. That is, as for the electrode material 2 in the electrode A, an electrode material 2a made of, for example, hafnium is disposed on the tip end surface 1a side of the electrode material holder 1, and the electrode material 2a is connected to the back surface 1b side, for example, zirconium or tungsten. And the like.
【0029】電極材2aの長さは、電極材2に於ける不
連続部5の位置と一致する寸法を有しており、本実施例
では、電極材2aの長さは電極材ホルダー1の先端面1
aから1.5mmに設定されている。The length of the electrode material 2a has a dimension corresponding to the position of the discontinuous portion 5 in the electrode material 2. In this embodiment, the length of the electrode material 2a is Tip surface 1
It is set to 1.5 mm from a.
【0030】金属層3は電極材2(2a,2b)を電極
材ホルダー1に一体化させる機能を有するものであり、
展性や延性に富んだ金属、或いは溶融したときに高い流
動性を発揮し得る金属を用いることが必要であり、且つ
高い導電性と熱伝導性を有することが好ましい。このよ
うな金属として、金,銀,及びこれらの合金があり、本
実施例では金属層3を構成する金属として、金,金合
金,銀,銀合金の中から選択された銀合金を用いてい
る。The metal layer 3 has a function of integrating the electrode material 2 (2a, 2b) with the electrode material holder 1.
It is necessary to use a metal that is rich in malleability and ductility, or a metal that can exhibit high fluidity when melted, and preferably has high electrical conductivity and thermal conductivity. Examples of such metals include gold, silver, and alloys thereof. In the present embodiment, as the metal constituting the metal layer 3, a silver alloy selected from gold, gold alloy, silver, and silver alloy is used. I have.
【0031】電極材ホルダー1と電極材2との間に金属
層3を形成する方法は、電極Aを如何なる方法で製造す
るかと密接に関わるものである。この製造方法として、
予め電極材ホルダー1に電極材2を嵌合させると共に金
属層3を形成し得る穴を形成しておき、該穴に選択され
た金属(銀)の薄板を巻き付けた電極材2を打ち込みし
て一体化させる方法、銀製のパイプ或いは銀製のカップ
状の部材に嵌合させた電極材2を打ち込みして一体化さ
せる方法がある。The method of forming the metal layer 3 between the electrode material holder 1 and the electrode material 2 is closely related to the method of manufacturing the electrode A. As this manufacturing method,
The electrode material 2 is fitted in the electrode material holder 1 and a hole for forming the metal layer 3 is formed in advance, and the electrode material 2 wound with a thin metal (silver) plate is driven into the hole. There is a method of integrating, and a method of driving and integrating the electrode material 2 fitted into a silver pipe or a silver cup-shaped member.
【0032】これらの方法では電極Aを構成する各部材
1〜3に熱を加えることがなく、比較的容易に電極Aを
製造することが可能である。しかし、電極材2として用
いるハフニウムの寸法や、銀製の薄板やパイプ或いはカ
ップ等の寸法が夫々予め設定された公差範囲にあった場
合でも、打ち込む際の力を変動させたり、一体化した後
の保持力が変動したりすることがある。According to these methods, it is possible to manufacture the electrode A relatively easily without applying heat to the members 1 to 3 constituting the electrode A. However, even when the dimensions of the hafnium used as the electrode material 2 and the dimensions of the silver thin plate, the pipe, the cup, and the like are within the tolerance ranges set in advance, respectively, the force at the time of the driving is changed or after the integration. The holding power may fluctuate.
【0033】このため、金属層3を形成する際には、上
記各金属の中から選択された金属をローとして用いたロ
ー付け法を採用することが好ましい。即ち、予め電極材
ホルダー1に形成された穴に電極材2を嵌合して銀ロー
付けすることで、ハフニウムの太さが公差範囲で変動し
て電極材ホルダー1に形成された穴との隙間が変動した
場合であっても、この変動に関わらず電極Aを電極材ホ
ルダー1に一体化させて電極Aを製造することが可能で
ある。従って、安定した品質を保持した電極Aを製造す
ることが可能となる。For this reason, when forming the metal layer 3, it is preferable to employ a brazing method using a metal selected from the above metals as a braze. That is, by fitting the electrode material 2 into the hole formed in the electrode material holder 1 in advance and soldering with silver, the thickness of hafnium fluctuates within the tolerance range, and the thickness of the hole formed in the electrode material holder 1 is changed. Even if the gap fluctuates, the electrode A can be manufactured by integrating the electrode A with the electrode material holder 1 regardless of the fluctuation. Therefore, it is possible to manufacture the electrode A having stable quality.
【0034】本実施例に於いて、電極Aを構成する電極
材2a,2bは電極材ホルダー1に対しロー付けにより
接合されている。このように、異なる材質を有する複数
種の電極材2a,2bをロー付けにより接合すること
で、両電極材2a,2bに於ける僅かな外径の違いが生
じた場合であっても、このときに電極材ホルダー1との
間に発生する空隙を埋めることが可能であり、良好な接
合を実現することが可能である。また両電極材2a,2
bが対向する部位に空隙が形成された場合も同様に、こ
の空隙にローが流れ込んで良好な接合を実現することが
可能である。In this embodiment, the electrode members 2a and 2b constituting the electrode A are joined to the electrode member holder 1 by brazing. In this way, even if a slight difference in outer diameter between the two electrode materials 2a and 2b occurs by joining the plurality of types of electrode materials 2a and 2b having different materials by brazing, this method can be used. It is possible to fill a gap that sometimes occurs between the electrode material holder 1 and achieve good bonding. In addition, both electrode materials 2a, 2
Similarly, when a gap is formed in a portion where b faces, similarly, it is possible to realize good bonding by allowing the row to flow into this gap.
【0035】次ぎに、上記の如く構成された電極Aの消
耗について説明する。図2(a)に示す初期の状態でプ
ラズマトーチに取り付けてプラズマアークを形成する
と、プラズマアークが形成されている間、電極材2を構
成する電極材2aの表面は溶融し、電極材2aの材料が
酸化すると同時に蒸発する。Next, the consumption of the electrode A configured as described above will be described. When a plasma arc is formed by attaching to the plasma torch in the initial state shown in FIG. 2A, the surface of the electrode material 2a constituting the electrode material 2 melts while the plasma arc is formed, and the surface of the electrode material 2a is melted. The material evaporates as it oxidizes.
【0036】特に、プラズマアークを停止する際に、電
極材2aの蒸発が促進されることがある。何れにして
も、プラズマアークの形成時間、及び形成回数の増加に
伴って電極材2aは表面から消耗し、同図(b)に示す
ように、表面に曲面状の窪み(クレーター)2cが形成
される。In particular, when stopping the plasma arc, evaporation of the electrode material 2a may be promoted. In any case, the electrode material 2a is consumed from the surface as the plasma arc formation time and the number of times of formation increase, and a curved concave (crater) 2c is formed on the surface as shown in FIG. Is done.
【0037】同図(c)に示すように、窪み2cが成長
して電極材2aとの接合部である不連続部5に到達した
とき、電極材2dから電極材2eへの材質の変化に伴っ
て電極Aに印加する電圧が変化する。変化した電圧は初
期の値に復帰することはなく、変化後の値を維持する。As shown in FIG. 3C, when the recess 2c grows and reaches the discontinuous portion 5 which is a joint with the electrode material 2a, the material changes from the electrode material 2d to the electrode material 2e. Accordingly, the voltage applied to the electrode A changes. The changed voltage does not return to the initial value, but maintains the changed value.
【0038】このように、電極材2に不連続部5を形成
することによって、電極材2の消耗が不連続部5に到達
したことを電圧の変化として認識することが可能であ
る。このため、前記電圧の変化を検出して信号(電極破
壊予知信号)を発生させることで、この電極破壊予知信
号によって、電極Aが予め設定された時間で破壊すると
して認識することが可能である。このように、電極破壊
予知信号によって認識し得るのは、電極Aが破壊したと
いうことではなく、その後予め設定された時間で破壊に
至るということである。As described above, by forming the discontinuous portion 5 in the electrode material 2, it is possible to recognize that the consumption of the electrode material 2 reaches the discontinuous portion 5 as a voltage change. Therefore, by detecting the change in the voltage and generating a signal (electrode breakdown prediction signal), it is possible to recognize that the electrode A is destroyed in a preset time by the electrode breakdown prediction signal. . As described above, what can be recognized by the electrode breakdown prediction signal is not that the electrode A has been destroyed, but that the electrode A will be destroyed in a preset time thereafter.
【0039】従って、予め電極材2に於ける不連続部5
の位置を変化させることで、電極材2が不連続部5まで
消耗した後、電極Aが破壊に至るまでの時間を数分〜十
数分の範囲に設定することが可能であり、電極破壊予知
信号が発生したとき、ただちに作業を停止させることな
く、作業のきりの良いところを見つけて停止させて電極
Aを交換することで、切断中の製品に対して損傷を与え
ることなく、且つ突然の作業停止による稼働率を低下さ
せることなく、切断作業を進行させることが可能であ
る。Therefore, the discontinuous portion 5 of the electrode material 2 is
Is changed, the time until the electrode A is broken after the electrode material 2 is consumed to the discontinuous portion 5 can be set in a range of several minutes to several tens of minutes. When a predictive signal is generated, without stopping the work immediately, by finding a good place to stop the work and stopping and replacing the electrode A, the product being cut is not damaged and suddenly. The cutting operation can be advanced without lowering the operation rate due to the stoppage of the operation.
【0040】このため、例えば一度に長い切断線を連続
して切断するような場合と、短い切断線を断続して切断
するような場合とに応じて適用することが可能であり、
電極Aの消耗と切断作業時間とを対応させて合理的な作
業を進行することが可能である。For this reason, the present invention can be applied to, for example, a case where a long cutting line is continuously cut at a time and a case where a short cutting line is intermittently cut at a time.
It is possible to proceed with a rational operation by associating the consumption of the electrode A with the cutting operation time.
【0041】またプラズマアークを形成している間、プ
ラズマトーチからは音が発生し、且つプラズマアークに
は色がついている。これらの音や色は電極材2として用
いる金属毎に固有のものであり、本実施例のように、電
極材2を異なる材質を持った複数種の電極材2a,2b
によって構成した場合、電極材2aが消耗して電極材2
bからプラズマアークが形成されたとき、発生する音や
色に変化が生じる。このため、プラズマトーチの近傍に
マイクロフォンを設けておき、常にプラズマアークの音
を監視することで、電極材2の消耗が一定の値にまで進
行しているか否かを認識することが可能である。同様に
プラズマトーチの近傍にプラズマアークの状態(輝度,
光の波長)を検出するセンサーを設けておき、常にプラ
ズマアークの色を監視することで、電極材2の消耗が一
定の値にまで進行しているか否かを認識することが可能
である。そしてプラズマトーチから発生している音の変
化或いはプラズマアークの色の変化を検知したとき、信
号(電極破壊予知信号)を発生することで、電極の破壊
を予知することが可能である。During the formation of the plasma arc, a sound is generated from the plasma torch, and the plasma arc is colored. These sounds and colors are peculiar to each metal used as the electrode material 2, and as in the present embodiment, the electrode material 2 is made of a plurality of types of electrode materials 2a and 2b having different materials.
In this case, the electrode material 2a is consumed and the electrode material 2a is consumed.
When a plasma arc is formed from b, the generated sound and color change. For this reason, it is possible to recognize whether or not the consumption of the electrode material 2 has progressed to a certain value by providing a microphone near the plasma torch and constantly monitoring the sound of the plasma arc. . Similarly, the state of the plasma arc (brightness,
By providing a sensor for detecting the light wavelength) and constantly monitoring the color of the plasma arc, it is possible to recognize whether or not the consumption of the electrode material 2 has progressed to a certain value. When a change in the sound generated from the plasma torch or a change in the color of the plasma arc is detected, a signal (electrode destruction prediction signal) is generated, whereby the destruction of the electrode can be predicted.
【0042】次に、図4により第2実施例に係る電極B
について説明する。尚、図に於いて前述の第1実施例と
同一の部分及び同一の機能を有する部分には同一の符号
を付して説明を省略している。Next, referring to FIG. 4, the electrode B according to the second embodiment
Will be described. In the drawing, the same portions and portions having the same functions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
【0043】図に於いて、電極Bは電極材ホルダー1の
中心にハフニウムからなる電極材2が埋設されており、
電極材ホルダー1と電極材2は金属層3を介して一体化
されている。電極材2に於ける電極材ホルダー1の先端
面1aから所定深さ位置には、該電極材2の外周に形成
された切欠2dによって不連続部5が形成されている。
この切欠2dの形成位置は、電極材2が消耗して電極A
が破壊に至る以前の位置であり、未だ初期の切断性能を
維持し得る位置である。In the figure, the electrode B has an electrode material 2 made of hafnium embedded at the center of an electrode material holder 1.
The electrode material holder 1 and the electrode material 2 are integrated via a metal layer 3. A discontinuous portion 5 is formed at a predetermined depth position in the electrode material 2 from the tip end surface 1a of the electrode material holder 1 by a notch 2d formed on the outer periphery of the electrode material 2.
The position where the notch 2d is formed depends on whether the electrode material 2 is consumed and the electrode A
Is a position before breaking, and is a position where the initial cutting performance can still be maintained.
【0044】電極材2に於ける切欠2dの位置は、電極
Aの仕様に対応して異なる。しかし、電極材2が切欠2
dまで消耗した後比較的短時間(数分〜十数分)で破壊
に至ることが前提となるものであって、仕様に応じた電
極毎に実験の結果等を考慮して設定されている。本実施
例では、電極材ホルダー1の先端面1aから深さ1.5mm
の位置に切欠2dを形成している。また、電極材2の長
さは切欠2dの位置に比較して充分に長い値を有してお
り、電極材2が切欠2dを越えて消耗したとき、電極材
2は初期の太さに復帰する。The position of the notch 2 d in the electrode material 2 differs depending on the specification of the electrode A. However, the electrode material 2 is notch 2
It is premised that destruction will occur in a relatively short time (several minutes to several tens of minutes) after exhaustion to d, and is set in consideration of the results of experiments and the like for each electrode according to specifications. . In this embodiment, a depth of 1.5 mm from the front end surface 1a of the electrode material holder 1 is set.
A notch 2d is formed at the position of. In addition, the length of the electrode material 2 has a value sufficiently longer than the position of the notch 2d, and when the electrode material 2 is consumed beyond the notch 2d, the electrode material 2 returns to the initial thickness. I do.
【0045】上記の如く構成された電極Bでは、消耗が
成長して切欠2dに到達したとき、切欠2dの寸法に応
じて電極材2の断面積が小さくなるため、電気抵抗が増
加しプラズマアークを維持するために印加する電圧が増
加する。従って、電圧の増加を検出して信号を発生する
ことで、電極材2の消耗が切欠2dに達したことを認識
することが可能である。In the electrode B configured as described above, when the wear grows and reaches the notch 2d, the sectional area of the electrode material 2 decreases according to the size of the notch 2d, so that the electric resistance increases and the plasma arc increases. The voltage applied to maintain the voltage increases. Therefore, by detecting a voltage increase and generating a signal, it is possible to recognize that the consumption of the electrode material 2 has reached the notch 2d.
【0046】そして、電極材2の消耗が更に成長して切
欠2dの部分を越えたとき、電極材2の断面積は初期の
値に復帰し、これにより、プラズマアークを形成するた
めの電圧が略正常な値に減少する。このように、電極材
2に不連続部としての切欠2dを形成することによっ
て、電極材2の消耗が切欠2dに到達したことを電圧の
変化として認識することが可能である。このため、前記
電圧の変化を検出して信号(電極破壊予知信号)を発生
させることで、この電極破壊予知信号によって、電極B
が予め設定された時間で破壊するとして認識することが
可能である。When the consumption of the electrode material 2 further grows and exceeds the notch 2d, the cross-sectional area of the electrode material 2 returns to the initial value, whereby the voltage for forming the plasma arc is reduced. It decreases to a nearly normal value. Thus, by forming the notch 2d as a discontinuous portion in the electrode material 2, it is possible to recognize that the consumption of the electrode material 2 reaches the notch 2d as a change in voltage. Therefore, by detecting a change in the voltage and generating a signal (electrode breakdown prediction signal), the electrode B
Can be recognized as being destroyed in a preset time.
【0047】尚、電極材2の外周に形成した切欠2d
は、該電極材2の全周にわたってリング状に形成したも
のであって良く、また外周に切り込んで形成した円弧状
の溝であって良い。更に、切欠2dの深さは、該切欠2
dの形成部位に於ける電極材2の断面積の変化により、
明確に電圧の差を認識し得る値であることが必要であ
る。The notch 2d formed on the outer periphery of the electrode material 2
May be formed in a ring shape over the entire circumference of the electrode material 2, or may be an arc-shaped groove cut into the outer circumference. Further, the depth of the notch 2d is
Due to the change in the cross-sectional area of the electrode material 2 at the portion where d is formed,
It must be a value that can clearly recognize the voltage difference.
【0048】尚、上記各実施例に於いて、電極材2に形
成した不連続部5として、第1実施例に示すような異な
る材質を持った複数の電極材2a,2bの接合部による
場合と、第2実施例に示すような切欠2dによる場合と
について説明したが、これらの構造にのみ限定するもの
ではなく、異なる電極材を用いると共に両者の接合部に
於ける断面積を変化させるような構造や、電極材2とし
て同種の金属を異なる部材とし、これらの部材間に更に
異なる材質の金属を挟み込ん構成する構造、更に、同種
の金属で且つ異なる太さで形成した部材を用いて構成す
る構造等がある。In each of the above embodiments, the discontinuous portion 5 formed in the electrode material 2 is formed by a joint of a plurality of electrode materials 2a and 2b having different materials as shown in the first embodiment. And the case of the notch 2d as shown in the second embodiment has been described. However, the present invention is not limited to these structures, but uses different electrode materials and changes the cross-sectional area at the joint between the two. And a structure in which the same kind of metal is used as a different member as the electrode material 2 and a metal of a different material is sandwiched between these members, and further, a member formed using the same kind of metal and formed with different thicknesses And so on.
【0049】何れにしても、本発明では不連続部5の形
状や構造を限定するものではなく、電極材2が消耗して
不連続部5に到達したとき、電極A,Bに印加する電圧
の変化、プラズマトーチから発生する音の変化、プラズ
マアークの色の変化等の変化を起こさせるような不連続
部5を設けることを主旨とするものである。In any case, the present invention does not limit the shape and structure of the discontinuous portion 5, and the voltage applied to the electrodes A and B when the electrode material 2 is exhausted and reaches the discontinuous portion 5. The purpose of the present invention is to provide a discontinuous portion 5 that causes changes such as changes in the sound generated from the plasma torch, changes in the color of the plasma arc, and the like.
【0050】[0050]
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明に係る
電極では、電極材ホルダーに埋設した電極材の深さ方向
に不連続部を形成することによって、電極材の消耗が進
行して不連続部に到達したとき、不連続部の構成に対応
した信号を発生することが出来る。このため、不連続部
の位置を所定位置、即ち、電極が初期の能力を維持して
いるものの短時間で破壊に至る位置とすることで、前記
信号によって電極の破壊を予知することが出来る。従っ
て、作業中に発生する電極の破壊に伴うプラズマアーク
の停止に起因する製品の損傷や、突然の作業停止による
稼働率の低下等を防ぐことが出来る。As described above in detail, in the electrode according to the present invention, the discontinuity is formed in the depth direction of the electrode material buried in the electrode material holder, so that the electrode material is consumed and the electrode material is consumed. When reaching the continuous portion, a signal corresponding to the configuration of the discontinuous portion can be generated. For this reason, by setting the position of the discontinuous portion to a predetermined position, that is, a position where the electrode maintains the initial performance but leads to the destruction in a short time, the destruction of the electrode can be predicted by the signal. Therefore, it is possible to prevent the product from being damaged due to the stoppage of the plasma arc due to the destruction of the electrode generated during the work, and the operation rate from being lowered due to the sudden stop of the work.
【0051】電極に形成した不連続部を、電極材の断面
積の変化、或いは電極材の材質の変化とすることで、電
極材の消耗が不連続部に到達したとき、電極に印加する
電圧の変化として、プラズマトーチから発生する音の変
化として、プラズマアークの色の変化として捉えること
が可能であり、容易に且つ確実に電極の破壊を予知する
ことが出来る。By setting the discontinuous portion formed on the electrode to a change in the cross-sectional area of the electrode material or a change in the material of the electrode material, the voltage applied to the electrode when the exhaustion of the electrode material reaches the discontinuous portion. The change in the sound generated from the plasma torch can be regarded as a change in the color of the plasma arc, and the destruction of the electrode can be easily and reliably predicted.
【図1】第1実施例に係る電極の構成を説明する断面図
である。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an electrode according to a first embodiment.
【図2】電極に於ける電極材の消耗の成長と不連続部と
の関係を説明する図である。FIG. 2 is a view for explaining the relationship between the growth of the consumption of electrode material in the electrode and the discontinuous portion.
【図3】プラズマトーチの先端部分の構成を説明する図
である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a tip portion of a plasma torch.
【図4】第2実施例に係る電極の構成を説明する断面図
である。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an electrode according to a second embodiment.
A,B 電極 1 電極材ホルダー 1a 先端面 1b 裏面 2 電極材 2a,2b 電極材 2c 窪み(クレーター) 2d 切欠 3 金属層 4 突起 5 不連続部 11 電極台 12 冷却管 13 通路 14 本体 15 センタリングストーン 16 第1ノズル部材 17 第2ノズル部材 18 第3ノズル部材 19 キャップ 20 プラズマ室 21 二次気流室 22 三次気流室 A, B Electrode 1 Electrode material holder 1a Tip surface 1b Back surface 2 Electrode material 2a, 2b Electrode material 2c Depression (crater) 2d Notch 3 Metal layer 4 Projection 5 Discontinuous portion 11 Electrode stand 12 Cooling pipe 13 Passage 14 Main body 15 Centering stone 16 First nozzle member 17 Second nozzle member 18 Third nozzle member 19 Cap 20 Plasma chamber 21 Secondary airflow chamber 22 Tertiary airflow chamber
Claims (5)
り付けられ先端面の周囲に供給されたガスをプラズマ化
させるプラズマトーチ用の電極であって、電極材ホルダ
ーの中心に電極材を埋設すると共に該電極材の深さ方向
の所定位置に不連続部を形成したことを特徴とするプラ
ズマトーチ用の電極。1. An electrode for a plasma torch which is detachably attached to an attachment portion of a plasma torch and converts a gas supplied around a tip surface into a plasma, wherein an electrode material is embedded in a center of an electrode material holder. An electrode for a plasma torch, wherein a discontinuous portion is formed at a predetermined position in a depth direction of the electrode material.
材の消耗が該不連続部に到達したときにプラズマアーク
の挙動を変化させるものであることを特徴とする請求項
1に記載したプラズマトーチ用の電極。2. The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein the discontinuous portion formed in the electrode material changes the behavior of the plasma arc when the consumption of the electrode material reaches the discontinuous portion. Electrode for the plasma torch.
化、又は電極材の材質の変化によって形成されたもので
あることを特徴とする請求項1又は2に記載したプラズ
マトーチ用の電極。3. The plasma torch according to claim 1, wherein the discontinuous portion is formed by a change in a sectional area of an electrode material or a change in a material of the electrode material. electrode.
変えることによってプラズマアークの挙動が変化するま
でのタイミングを調整することを特徴とする請求項1乃
至3の何れかに記載したプラズマトーチ用の電極。4. The plasma according to claim 1, wherein the timing until the behavior of the plasma arc changes is adjusted by changing the position of the discontinuous portion formed in the electrode material. Electrode for torch.
付けにより接合したものであることを特徴とする請求項
1乃至4の何れかに記載したプラズマトーチ用の電極。5. The electrode for a plasma torch according to claim 1, wherein said electrode material is joined to an electrode material holder by brazing.
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