JP2001230073A - Organic electroluminescece display panel and its manufacturing method - Google Patents
Organic electroluminescece display panel and its manufacturing methodInfo
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- H—ELECTRICITY
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電流の注入によっ
て発光するエレクトロルミネッセンス(以下、ELとも
いう)を呈する有機化合物材料の薄膜からなる発光層
(以下、有機発光層という)を備えた有機EL素子に関
し、特に、複数の有機EL素子が所定パターンでもって
基板上に形成された有機EL表示パネル及びその製造方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic EL having a light-emitting layer (hereinafter, referred to as an organic light-emitting layer) composed of a thin film of an organic compound material exhibiting electroluminescence (hereinafter, also referred to as EL) which emits light by current injection. More particularly, the present invention relates to an organic EL display panel in which a plurality of organic EL elements are formed on a substrate in a predetermined pattern and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】有機EL素子は、透明基板上に、陽極の
透明電極と、有機EL媒体と、陰極の金属電極とが順次
積層されて構成される。例えば、有機EL媒体は、有機
発光層の単一層、あるいは有機正孔輸送層、有機発光層
及び有機電子輸送層の3層構造の媒体、または有機正孔
輸送層及び有機発光層2層構造の媒体、さらにこれらの
適切な層間に電子或いは正孔の注入層を挿入した積層体
の媒体などである。2. Description of the Related Art An organic EL device is formed by sequentially laminating an anode transparent electrode, an organic EL medium, and a cathode metal electrode on a transparent substrate. For example, the organic EL medium has a single layer of an organic light emitting layer, or a medium having a three-layer structure of an organic hole transport layer, an organic light emitting layer and an organic electron transport layer, or a medium having a two-layer structure of an organic hole transport layer and an organic light emitting layer. And a laminated medium in which an electron or hole injection layer is inserted between the appropriate layers.
【0003】有機EL表示パネルは複数の有機EL素子
が所定パターンでもって基板上に形成されて得られる。
たとえば、このマトリクス表示パネルとしては、特開平
9−102393号公報に開示されているものがある。
このフルカラーディスプレイは、交差している行と列に
おいて配置された複数の有機EL素子の発光画素からな
る画像表示配列を有している発光装置である。例えばマ
トリクス表示タイプのものは透明電極層を含む行電極
と、有機EL媒体と、行電極に交差する金属電極層を含
む列電極とが順次積層されて構成される。行電極は、各
々が帯状に形成されるとともに、所定の間隔をおいて互
いに平行となるように配列されており、列電極も同様で
ある。このように、マトリクス表示タイプの表示パネル
は、複数の行と列の電極の交差点に形成された複数の有
機EL素子の発光画素からなる画像表示配列を有してい
る。[0003] An organic EL display panel is obtained by forming a plurality of organic EL elements on a substrate in a predetermined pattern.
For example, there is a matrix display panel disclosed in JP-A-9-102393.
This full-color display is a light-emitting device having an image display array composed of light-emitting pixels of a plurality of organic EL elements arranged in intersecting rows and columns. For example, a matrix display type is configured by sequentially stacking a row electrode including a transparent electrode layer, an organic EL medium, and a column electrode including a metal electrode layer intersecting the row electrode. The row electrodes are each formed in a strip shape, and are arranged so as to be parallel to each other at a predetermined interval. The same applies to the column electrodes. As described above, the display panel of the matrix display type has an image display array including the light-emitting pixels of the plurality of organic EL elements formed at the intersections of the electrodes in the rows and columns.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】この従来の表示パネル
においては、図1に示すように、陰極の金属電極9は隔
壁7で分離形成されている。図示されるように、電極全
体の低抵抗化又は外部への引き出しのため陰極の金属電
極9上に電導線膜11をそれぞれ形成する場合がある。In this conventional display panel, as shown in FIG. 1, a metal electrode 9 as a cathode is formed separately by a partition wall 7. As shown in the figure, the conductive wire film 11 may be formed on the metal electrode 9 of the cathode in order to lower the resistance of the entire electrode or draw out the electrode to the outside.
【0005】図2に示すように、表示パネルの製造工程
において、電導線膜11のパターンが陰極の金属電極9
から陰極と略直交する方向にずれる事がある。すると隔
壁7を跨いで電導線膜11が形成されてしまう。このよ
うな状態では、1つの電導線膜11により隣接する陰極
9同士の短絡が発生じる。本発明は、このような問題を
解決すべくなされ、本発明の目的は、信頼性の高い有機
EL表示パネルを提供することにある。As shown in FIG. 2, in the manufacturing process of the display panel, the pattern of the conductive wire film 11 is changed to a cathode metal electrode 9.
May deviate in a direction substantially perpendicular to the cathode. Then, the conductive wire film 11 is formed across the partition wall 7. In such a state, one conductive wire film 11 causes a short circuit between the adjacent cathodes 9. The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a highly reliable organic EL display panel.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の有機エレクトロ
ルミネッセンス表示パネルは、複数の発光部からなる画
像表示配列領域を有している有機エレクトロルミネッセ
ンス表示パネルであって、表面上にて前記発光部に対応
する複数の第1表示電極が形成された基板と、少なくと
も前記第1表示電極の一部分を露出せしめる前記基板上
に突出する複数の電気絶縁性の隔壁と、露出した前記第
1表示電極の部分の各々上に形成された少くとも1層の
有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜と、各々が前
記隔壁間において前記有機エレクトロルミネッセンス媒
体の薄膜上に形成された複数の第2表示電極と、各々が
前記第2表示電極上に形成され前記隔壁間から前記画像
表示配列領域の外部へ伸長する複数の電導線膜と、から
なり、前記隔壁は、前記画像表示配列領域の外部へ伸長
しかつ前記隔壁の伸長方向に対して略直交する方向にお
ける前記隔壁の幅より大なる幅を有する隔壁端部を有す
ることを特徴とする。An organic electroluminescent display panel according to the present invention is an organic electroluminescent display panel having an image display array region comprising a plurality of light emitting portions, wherein the light emitting portions are arranged on the surface. A plurality of first display electrodes corresponding to the first display electrode, a plurality of electrically insulating partitions protruding above the substrate exposing at least a portion of the first display electrode, At least one layer of a thin film of the organic electroluminescent medium formed on each of the portions; a plurality of second display electrodes each formed on the thin film of the organic electroluminescent medium between the partition walls; A plurality of conductive wire films formed on the second display electrode and extending from between the partitions to the outside of the image display array region; And having a partition wall end portion having a width greater than the width of the partition wall in a direction substantially orthogonal to the extending direction of the extending outside and the partition wall of the image display sequence region.
【0007】[0007]
【作用】本発明の有機EL表示パネルによれば、電導線
膜パターンがずれて隔壁を跨いで電導線膜が形成されて
しまっても、隔壁端部は、陰極と略直交する方向におい
て隔壁は幅より大となっている幅を有するので、この隔
壁端部形状によって、1つの電導線膜において1つの陰
極上に形成された部分と隣接する陰極上に形成された部
分とは電気的に絶縁される。According to the organic EL display panel of the present invention, even if the conductive wire film pattern is displaced and the conductive wire film is formed across the partition, the partition end is formed in a direction substantially orthogonal to the cathode. Since the partition wall has a width that is larger than the width, a portion formed on one cathode and a portion formed on an adjacent cathode in one conductive wire film are electrically insulated by this partition end shape. Is done.
【0008】また、陰極下部に陰極が形成される有機E
L表示パネルにおいて、隣接する隔壁同士を隔壁端部で
結合するようにしているので、電導線膜がずれても隔壁
端部の結合部分で隣接する陰極同士の短絡を防止でき
る。[0008] Further, organic E having a cathode formed under the cathode is
In the L display panel, the adjacent partition walls are joined at the end portions of the partition walls. Therefore, even if the conductive film is displaced, a short circuit between the adjacent cathodes can be prevented at the joint portion of the end portions of the partition walls.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】以下に、本発明による実施例を図
面を参照しつつ説明する。図3に示すように、実施例の
有機EL表示パネルは、基板2上に例えばマトリクスは
位置の複数の有機EL素子OELEを備えている。複数の有
機EL素子が配列されている領域が画像表示配列領域と
なる。有機EL素子OELEの各々は基板2上に順に積層さ
れた第1表示電極、少くとも1層の有機EL媒体の薄
膜、第2表示電極からなっている。有機EL表示パネル
は電気絶縁性の隔壁7をも備えており、隔壁7が基板2
上にて隣接する有機EL素子OELEの間を通過して伸長し
て形成されかつ突出してこれらを分離する。電導線膜1
1が隔壁7の伸長方向に略平行して第2表示電極9上に
形成され、有機EL素子の外部へ伸長するようになって
いる。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 3, the organic EL display panel of the embodiment includes a plurality of organic EL elements OELE on a substrate 2, for example, in a matrix. An area where a plurality of organic EL elements are arranged is an image display array area. Each of the organic EL elements OELE includes a first display electrode, a thin film of at least one layer of an organic EL medium, and a second display electrode, which are sequentially stacked on the substrate 2. The organic EL display panel also includes an electrically insulating partition 7, and the partition 7 is
It is formed so as to extend and pass between adjacent organic EL elements OELE, and protrude to separate them. Conductive wire film 1
Numeral 1 is formed on the second display electrode 9 substantially in parallel with the direction in which the partition wall 7 extends, and extends outside the organic EL element.
【0010】隔壁の端部は、図4に示すように、電導線
膜11が隔壁7の伸長方向に対し略垂直方向に位置ずれ
を生じた場合に隣接する第2表示電極9のすくなくとも
一方を電導線膜11から断線せしめる形状、例えばT字
形状を有している。すなわち、図5に示すように、画像
表示配列領域の外部へ伸長する隔壁7の隔壁端部15
は、隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における隔
壁の幅aより大なる幅bを有している。上記実施形態の
有機EL表示パネルの製造方法を説明する。As shown in FIG. 4, when the conductive film 11 is displaced in a direction substantially perpendicular to the direction in which the partition 7 extends, at least one of the adjacent second display electrodes 9 is connected to one end of the partition. It has a shape that can be disconnected from the conductive wire film 11, for example, a T-shape. That is, as shown in FIG. 5, the partition end 15 of the partition 7 extending to the outside of the image display array region.
Has a width b that is larger than the width a of the partition in a direction substantially perpendicular to the direction in which the partition extends. A method for manufacturing the organic EL display panel of the above embodiment will be described.
【0011】(第1表示電極ライン形成)ガラス等の透
明基板2を用意し、その主面に、図6に示すように、イ
ンジウム錫酸化物(以下、ITOという)などの高仕事
関数の材料からなる複数の島状透明電極3aを画像表示
配列領域となるようにマトリクス状に形成する。次に、
図7に示すように、これら島状透明電極3aを水平方向
に電気的に接続する金属の陽極バスライン3bを蒸着な
どにより形成する。陽極バスラインの幅は島状透明電極
の幅よりも小とする。この島状透明電極及び陽極バスラ
インからなる第1表示電極ライン3は複数本で互いに平
行に形成する。このように、第1表示電極ライン3は互
いに平行な複数のストライプ状に配列されている。陽極
バスライン材質は、Al,Cu,Auなど抵抗率の低い
金属が用いられる。なお、島状透明電極3aを除き、第
1表示電極ライン3上を絶縁膜で被覆することもでき
る。(Formation of First Display Electrode Line) A transparent substrate 2 such as glass is prepared, and a material having a high work function such as indium tin oxide (hereinafter referred to as ITO) is formed on the main surface thereof as shown in FIG. Are formed in a matrix so as to form an image display array region. next,
As shown in FIG. 7, a metal anode bus line 3b for electrically connecting these island-shaped transparent electrodes 3a in the horizontal direction is formed by vapor deposition or the like. The width of the anode bus line is smaller than the width of the island-shaped transparent electrode. The plurality of first display electrode lines 3 including the island-shaped transparent electrodes and the anode bus lines are formed in parallel with each other. Thus, the first display electrode lines 3 are arranged in a plurality of stripes parallel to each other. As the material of the anode bus line, a metal having a low resistivity such as Al, Cu, or Au is used. Except for the island-shaped transparent electrode 3a, the first display electrode line 3 can be covered with an insulating film.
【0012】(隔壁形成)つぎに、図8に示すように、
第1表示電極3a、3bに対して垂直方向に伸長しかつ
各々が島状透明電極間に位置するように複数の電気絶縁
性の隔壁7を形成する。隔壁7は、画像表示配列領域1
aの外部へ伸長しかつ隔壁の伸長方向に対して略直交す
る方向における隔壁の幅aより大なる幅bを有する隔壁
端部15を有している。おのおのの隔壁端部15は、画
像表示配列領域1aすなわち後に成膜される第2表示電
極から等しい距離だけ伸長して終端するように形成す
る。ここでは、隔壁を例えばフォトレジストを用い、通
常のフォトリソグラフィ法等の手法を用いて形成する。
隔壁7は隔壁本体及びその上部に基板に平行な方向に突
出するオーバーハング部からなる断面が略T字型又は逆
テーパ(逆等脚台形)の形状を有する。このようにし
て、少なくとも第1表示電極の一部分、特に透明電極を
露出せしめかつ全体が基板上から突出する隔壁を形成す
る。(Partition formation) Next, as shown in FIG.
A plurality of electrically insulating partitions 7 are formed so as to extend in a direction perpendicular to the first display electrodes 3a, 3b and to be located between the island-shaped transparent electrodes. The partition 7 is arranged in the image display array area 1
a has a partition end 15 having a width b larger than the width a of the partition in a direction substantially perpendicular to the direction in which the partition extends. Each partition end 15 is formed so as to extend an equal distance from the image display array region 1a, that is, the second display electrode to be formed later, and to terminate. Here, the partition is formed using, for example, a photoresist and a method such as a normal photolithography method.
The partition wall 7 has a substantially T-shaped or inverted tapered (reverse trapezoidal trapezoidal) cross section composed of the partition wall main body and an overhang portion projecting upward from the partition main body in a direction parallel to the substrate. In this way, at least a portion of the first display electrode, in particular, the transparent electrode is exposed, and a partition wall is formed which entirely projects from the substrate.
【0013】隔壁7の隔壁端部15は後で形成される第
2表示電極間同士の短絡防止のために画像表示配列領域
の外に延在するように形成され、隔壁7の基板からの高
さは、後に形成される第2表示電極の陰極9の膜厚を超
える高さであればいくらでもよい。このように、電気絶
縁性の隔壁7が第1表示電極ライン3に直交するように
基板2及び第1表示電極ライン3上にわたって形成さ
れ、隔壁形成工程中、隔壁7が少なくとも第1表示電極
ライン3の一部分、特に島状透明電極を露出せしめるよ
うに、形成される。A partition end 15 of the partition 7 is formed so as to extend outside the image display array region in order to prevent a short circuit between the second display electrodes to be formed later. The height may be any height as long as it exceeds the thickness of the cathode 9 of the second display electrode formed later. As described above, the electrically insulating partition 7 is formed over the substrate 2 and the first display electrode line 3 so as to be orthogonal to the first display electrode line 3, and during the partition formation step, the partition 7 is at least connected to the first display electrode line 3. 3 is formed so as to expose a part, particularly the island-shaped transparent electrode.
【0014】(発光層形成)次に、各々の前記第1表示
電極の一部上に、有機EL媒体を堆積し、複数の少くと
も1層の有機EL媒体の薄膜を形成する工程を説明す
る。有機EL媒体の正孔輸送層を予め一様に形成してお
く。つぎに、有機発光層を成膜し、この工程で電子輸送
層も成膜できる。さらにこれらの適切な機能層間に電子
或いは正孔の注入層をも成膜できる。図9に示すよう
に、例えば有機発光層の成膜では、マスク30の貫通開
口31を、隔壁7間の露出したITO電極3に位置合わ
せして、隔壁上にマスクを載置して、1番目(例えば赤
色発光)の有機EL媒体8aを蒸着方法を用いて所定厚
さに成膜する。次に、マスクをずらして位置合わせをし
た後、同様に、隔壁上にマスクを載置して2番目(例え
ば緑色発光)、3番目(例えば青色発光)の有機EL媒
体を所定膜厚に順次成膜する。このように、1つの開口
が1つの第1表示電極上からその隣接する第1表示電極
上へ配置されるようにマスクを順次移動せしめる発光層
形成工程を順次繰り返す。このように、有機EL媒体の
薄膜は、前記有機発光層は同一の前記マスクを用いて蒸
着により形成される。有機EL媒体はそれぞれ第1表示
電極上に別個に並置されかつ電圧印加によりそれぞれ赤
R、緑G及び青Bの色の光を発光する複数の有機発光層
が形成される。(Formation of Light Emitting Layer) Next, a process of depositing an organic EL medium on a part of each of the first display electrodes to form a plurality of at least one thin film of the organic EL medium will be described. . The hole transport layer of the organic EL medium is formed uniformly in advance. Next, an organic light emitting layer is formed, and in this step, an electron transport layer can also be formed. Further, an electron or hole injection layer can be formed between these appropriate functional layers. As shown in FIG. 9, for example, when forming an organic light emitting layer, the through-opening 31 of the mask 30 is aligned with the exposed ITO electrode 3 between the partition walls 7, and the mask is placed on the partition wall. The third (for example, red emission) organic EL medium 8a is formed to a predetermined thickness by using an evaporation method. Next, after the mask is shifted and aligned, the second organic EL medium (for example, green light emission) and the third (for example, blue light emission) are sequentially placed in a predetermined thickness by placing the mask on the partition walls. Form a film. Thus, the light emitting layer forming step of sequentially moving the mask so that one opening is arranged from one first display electrode to the adjacent first display electrode is sequentially repeated. As described above, in the thin film of the organic EL medium, the organic light emitting layer is formed by vapor deposition using the same mask. Each of the organic EL media is separately arranged on the first display electrode, and a plurality of organic light emitting layers that emit red R, green G, and blue B light respectively by applying a voltage are formed.
【0015】(第2表示電極形成)有機EL媒体の薄膜
上に、図10に示すように、垂直方向に伸長する複数の
第2表示電極9の陰極を蒸着などにより形成し、前記第
1表示電極との各交差部にて発光部を画定する。隔壁7
の頂上及びオーバーハング部は、金属蒸気流れに対して
屋根及び軒となり、隔壁7の頂上及びオーバーハング部
上に堆積した金属膜50が第2表示電極9から離れてい
るので、第2表示電極ライン9間の短絡を防止できる。
また、金属蒸気の略垂直入射により、隔壁のオーバーハ
ング部7aで複数の陰極の第2表示電極ライン9が分断
され、電気的に絶縁されだけでなく、図11に示すよう
に、金属蒸気流が隔壁のオーバーハング部7aを回り込
む程度が、有機EL媒体材料粒子流の回り込む程度より
も小さいので、有機EL媒体8が第2表示電極ライン9
からはみ出し、陰極9とITO陽極3との短絡を生じさ
せない。(Formation of Second Display Electrode) As shown in FIG. 10, a plurality of cathodes of a plurality of second display electrodes 9 extending in the vertical direction are formed on a thin film of an organic EL medium by vapor deposition or the like. A light emitting portion is defined at each intersection with the electrode. Partition wall 7
The top and overhang portions of the metal film 50 serve as a roof and an eave for the metal vapor flow, and the metal film 50 deposited on the top of the partition walls 7 and the overhang portion is separated from the second display electrode 9. A short circuit between the lines 9 can be prevented.
Further, due to the substantially vertical incidence of the metal vapor, the second display electrode lines 9 of the plurality of cathodes are divided at the overhang portion 7a of the partition wall, and not only are electrically insulated, but also as shown in FIG. Of the organic EL medium material flow around the overhang portion 7a of the partition wall is smaller than that of the organic EL medium material particle flow.
It does not protrude and does not cause a short circuit between the cathode 9 and the ITO anode 3.
【0016】このように第1及び第2表示電極ラインが
交差して挾まれた有機EL媒体の部分が、発光部に対応
する。この実施例の有機EL表示パネルにおいて、基板
及び第1表示電極が透明であり、発光は基板側から放射
される。逆に、他の実施例の有機EL表示パネルにおい
て、第2表示電極を透明材料で構成して、発光を第2表
示電極側から放射させることもできる。The portion of the organic EL medium between which the first and second display electrode lines are intersected corresponds to the light emitting portion. In the organic EL display panel of this embodiment, the substrate and the first display electrode are transparent, and light is emitted from the substrate side. Conversely, in the organic EL display panel of another embodiment, the second display electrode may be made of a transparent material so that light is emitted from the second display electrode side.
【0017】(電導線膜形成)つぎに、図3に示したよ
うに、マスクを用いた真空蒸着などにより、第2表示電
極9上において、隔壁7間から画像表示配列領域1aの
外部へ伸長する電導線膜11を形成する。ここで、電導
線膜11が隔壁7の伸長方向に対し略垂直方向に位置ず
れを生じた場合においても、図4に示したように、隣接
する第2表示電極9の一方を電導線膜11から断線せし
める形状、例えばT字形状を隔壁端部が有しているの
で、第2表示電極9間の短絡が防止され、電導線膜11
のパターンの位置決め精度許容値が緩和される。(Formation of Conductive Wire Film) Next, as shown in FIG. 3, on the second display electrode 9, the conductive film is extended from the space between the partition walls 7 to the outside of the image display array region 1 a by vacuum evaporation using a mask. The conductive wire film 11 to be formed is formed. Here, even when the conductive film 11 is displaced in a direction substantially perpendicular to the direction in which the partition wall 7 extends, one of the adjacent second display electrodes 9 is connected to the conductive film 11 as shown in FIG. Since the end of the partition wall has a shape that can be disconnected from the substrate, for example, a T-shape, a short circuit between the second display electrodes 9 is prevented, and the conductive wire film 11
The allowable value of the positioning accuracy of the pattern is relaxed.
【0018】このようにして、第2表示電極上に電導線
膜を形成した後、防湿処理及び封止してフルカラーの有
機EL表示パネルが得られる。図12に示すように、有
機EL表示パネルは、基板2上にマトリクス状に配置さ
れかつ各々が赤R、緑G及び青Bの発光部からなる発光
画素1の複数からなる画像表示配列領域1aを有してい
る。第1表示電極ライン3と垂直方向の第2表示電極ラ
イン9との交差する部分の透明電極3a上で発光部が形
成される。In this way, after forming the conductive wire film on the second display electrode, moisture-proof treatment and sealing are performed to obtain a full-color organic EL display panel. As shown in FIG. 12, the organic EL display panel is arranged in a matrix on the substrate 2 and has an image display array region 1a composed of a plurality of luminescent pixels 1 each including red R, green G and blue B light emitting portions. have. A light emitting portion is formed on the transparent electrode 3a at a portion where the first display electrode line 3 intersects the second display electrode line 9 in the vertical direction.
【0019】(他の隔壁端部の実施の形態)隔壁端部1
5は図13に示すように、T字形状だけでなく、隔壁端
部15は、隔壁の幅aより大なる幅bを有するとともに
隔壁の伸張方向の中心線から両側に向かって等しい距離
の半幅b0を有している形状例えば図14〜図33に示
す略対称な形状や、図34〜図36に示すように非対称
な形状を有しているものが好ましい。略対称な形状を有
しているものが好ましい。さらに、図37及び図38に
示すように、隔壁端部15は、隔壁の伸張方向の中心線
から両側に向かって異なる距離の半幅b1及びb2(b
1>b2=0又はb1>b2>0)を有していてもよ
い。これらの実施形態によれば、電導線膜11の成膜工
程において、マスクパターンの位置ズレに一定方向性が
ある場合に、成膜された電導線膜の幅が細くならない効
果がある。(Other Embodiments of Partition Edge) Partition Edge 1
As shown in FIG. 13, 5 is not only a T-shape, but also the partition end 15 has a width b larger than the width a of the partition and has a half width equal to both sides from the center line in the direction of extension of the partition. A shape having b0, for example, a substantially symmetric shape shown in FIGS. 14 to 33 or an asymmetric shape shown in FIGS. 34 to 36 is preferable. Those having a substantially symmetrical shape are preferred. Further, as shown in FIGS. 37 and 38, the partition wall end portion 15 has half widths b1 and b2 (b) at different distances from the center line in the extension direction of the partition wall toward both sides.
1> b2 = 0 or b1>b2> 0). According to these embodiments, in the step of forming the conductive wire film 11, when the positional deviation of the mask pattern has a certain direction, there is an effect that the width of the formed conductive wire film is not reduced.
【0020】また、他の実施形態では、図39に示すよ
うに、隣接する隔壁端部15は、第2表示電極9からの
異なる距離はなれるように形成されている。すなわち、
隣接する隔壁端部15の第2表示電極9からの距離の差
Cがゼロを越えるように、それぞれ隔壁7の隔壁端部1
5を配置する。これにより、隣接する隔壁端部15の第
2表示電極9からの距離が等しい場合の隣接する隔壁端
部15の間の距離d1よりも大なる距離d2を確保でき
る。よって、電導線膜11が位置ずれなく成膜された時
に、電導線膜の幅が細くなることが緩和される。Further, in another embodiment, as shown in FIG. 39, adjacent partition end portions 15 are formed so as to be at different distances from the second display electrode 9. That is,
The partition end portions 1 of the partition walls 7 are so arranged that the difference C in the distance between the adjacent partition end portions 15 from the second display electrode 9 exceeds zero.
5 is arranged. Accordingly, a distance d2 larger than the distance d1 between the adjacent partition end portions 15 when the distance between the adjacent partition end portions 15 and the second display electrode 9 is equal can be secured. Therefore, when the conductive film 11 is formed without displacement, the width of the conductive film is reduced from being reduced.
【0021】他の実施形態によれば、隣接する隔壁端部
15の第2表示電極9からの距離が等しい場合であって
も、図40に示すように、隔壁端部15の位置に比べて
第2表示電極9からの異なる距離Cだけはなれた位置に
形成されかつ隔壁端部15が隔壁の幅より大なる幅を有
する第2幅部分15aを有しているならば、上記同様
に、電導線膜11が位置ずれなく成膜された時に、電導
線膜11の幅が細くなることが緩和される効果が得られ
る。According to another embodiment, as shown in FIG. 40, even when the distance between the adjacent partition end portions 15 and the second display electrode 9 is equal, as shown in FIG. If the partition 15 is formed at a position separated by a different distance C from the second display electrode 9 and the partition end 15 has a second width portion 15a having a width larger than the width of the partition, similar to the above, the voltage may be reduced. When the conductive film 11 is formed without displacement, the effect of reducing the width of the conductive film 11 is reduced.
【0022】図40に示す第2幅部分15aを有する隔
壁端部15の他の形状を、図41〜図47に示す。これ
らの場合でも、上記同様に、電導線膜11が位置ずれな
く成膜された時に、電導線膜11の幅が細くなることが
緩和される効果が得られる。さらなる他の実施形態によ
れば、図48に示すように、隔壁7間における第2表示
電極9に接続されるように、例えば、有機EL媒体の薄
膜8と第2表示電極9との間に形成された第2表示電極
の一部として働く陰極バスライン9aを有する以外、上
記実施形態と同様の構成の有機EL表示パネルも提供さ
れ得る。Other shapes of the partition wall end portion 15 having the second width portion 15a shown in FIG. 40 are shown in FIGS. Also in these cases, similarly to the above, when the conductive wire film 11 is formed without displacement, the effect of reducing the width of the conductive wire film 11 can be reduced. According to still another embodiment, as shown in FIG. 48, for example, between the thin film 8 of the organic EL medium and the second display electrode 9 so as to be connected to the second display electrode 9 between the partition walls 7. An organic EL display panel having the same configuration as that of the above-described embodiment can be provided, except that the organic EL display panel has the cathode bus line 9a functioning as a part of the formed second display electrode.
【0023】さらに、この実施形態では、図48に示す
ように、隣接する隔壁端部15は結合された一体化され
た隔壁端部15aとすることもできる。これによれば、
図49に示すように、電導線膜11が隔壁7の伸長方向
に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合でも、隣接す
る第2表示電極9は隣接する電導線膜11から完全に断
線せしめることができる。Further, in this embodiment, as shown in FIG. 48, the adjacent partition end portions 15 may be combined and formed into one integrated partition end portion 15a. According to this,
As shown in FIG. 49, even when the conductive wire film 11 is displaced in a direction substantially perpendicular to the direction in which the partition wall 7 extends, the adjacent second display electrode 9 is completely disconnected from the adjacent conductive wire film 11. be able to.
【0024】なお、この実施の形態の有機EL媒体8の
構造を、RGBの3組でなく、1組あるいは2組にすれ
ば、それぞれ単色表示パネル、マルチカラー表示パネル
が実現できることは明らかである。また、島状透明電極
3aと陽極バスライン3bを1つにまとめ、ストライプ
状透明電極とすることもできる。また、透明電極をスト
ライプ状に形成し、陽極バスライン3aを省略すること
もできる。It is apparent that a single-color display panel and a multi-color display panel can be realized if the structure of the organic EL medium 8 of this embodiment is not one set of RGB but one set or two sets. . Also, the island-shaped transparent electrode 3a and the anode bus line 3b can be integrated into one to form a striped transparent electrode. Alternatively, the transparent electrodes may be formed in a stripe shape, and the anode bus lines 3a may be omitted.
【図1】 有機EL表示パネルの概略一部切欠拡大部分
斜視図。FIG. 1 is a partially cut-away enlarged partial perspective view of an organic EL display panel.
【図2】 有機EL表示パネルの概略一部切欠拡大部分
斜視図。FIG. 2 is a partially cutaway enlarged partial perspective view of an organic EL display panel.
【図3】 本発明による有機EL表示パネルの概略一部
切欠拡大部分斜視図。FIG. 3 is a partially cutaway enlarged partial perspective view of an organic EL display panel according to the present invention.
【図4】 本発明による有機EL表示パネルの概略一部
切欠拡大部分斜視図。FIG. 4 is a partially cutaway enlarged partial perspective view of an organic EL display panel according to the present invention.
【図5】 本発明による有機EL表示パネルの概略一部
切欠拡大部分平面図。FIG. 5 is a partially cut-away enlarged partial plan view of an organic EL display panel according to the present invention.
【図6】 本発明による実施例の有機EL表示パネル製
造工程における基板の概略部分斜視図。FIG. 6 is a schematic partial perspective view of a substrate in a process of manufacturing an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図7】 本発明による実施例の有機EL表示パネル製
造工程における基板の概略部分斜視図。FIG. 7 is a schematic partial perspective view of a substrate in a process of manufacturing an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図8】 本発明による実施例の有機EL表示パネル製
造工程における基板の概略部分斜視図。FIG. 8 is a schematic partial perspective view of a substrate in a process of manufacturing an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図9】 本発明による実施例の有機EL表示パネル製
造工程における基板の概略部分斜視図。FIG. 9 is a schematic partial perspective view of a substrate in a process of manufacturing an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図10】 本発明による実施例の有機EL表示パネル
製造工程における基板の概略部分斜視図。FIG. 10 is a schematic partial perspective view of a substrate in an organic EL display panel manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
【図11】 本発明による実施例の有機EL表示パネル
製造工程における基板の概略部分拡大断面図。FIG. 11 is a schematic partial enlarged sectional view of a substrate in a process of manufacturing an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図12】 基板側から見た本発明による有機EL表示
パネルの概略一部切欠拡大部分平面図。FIG. 12 is a schematic partial cutaway enlarged partial plan view of the organic EL display panel according to the present invention as viewed from the substrate side.
【図13】 本発明による実施例の有機EL表示パネル
における隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 13 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end portion of the organic EL display panel according to the embodiment of the present invention.
【図14】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 14 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図15】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 15 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図16】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 16 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図17】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 17 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図18】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 18 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図19】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 19 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図20】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 20 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図21】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 21 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図22】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 22 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図23】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 23 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図24】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 24 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図25】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 25 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel of another embodiment according to the present invention.
【図26】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 26 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図27】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 27 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図28】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 28 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図29】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 29 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図30】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 30 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図31】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 31 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図32】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 32 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図33】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 33 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図34】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 34 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図35】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 35 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel of another embodiment according to the present invention.
【図36】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 36 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel of another embodiment according to the present invention.
【図37】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 37 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図38】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 38 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図39】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 39 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel of another embodiment according to the present invention.
【図40】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 40 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図41】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 41 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図42】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 42 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図43】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 43 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図44】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 44 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図45】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 45 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図46】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 46 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図47】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。FIG. 47 is a schematic partial plan view of a partition wall and an end thereof in an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図48】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。FIG. 48 is a partially cut-away enlarged partial perspective view of an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
【図49】 本発明による他の実施例の有機EL表示パ
ネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。FIG. 49 is a partially cut-away enlarged partial perspective view of an organic EL display panel according to another embodiment of the present invention.
1 発光画素 2 基板 3 第1表示電極ライン 3a 島状透明電極 3b 陽極バスライン 7 隔壁 7a オーバーハング部 8 有機EL媒体 9 第2表示電極ライン 15 隔壁端部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Emission pixel 2 Substrate 3 1st display electrode line 3a Island-shaped transparent electrode 3b Anode bus line 7 Partition 7a Overhang part 8 Organic EL medium 9 Second display electrode line 15 Partition end
Claims (12)
を有している有機エレクトロルミネッセンス表示パネル
であって、 表面上にて前記発光部に対応する複数の第1表示電極が
形成された基板と、少なくとも前記第1表示電極の一部
分を露出せしめる前記基板上に突出する複数の電気絶縁
性の隔壁と、 露出した前記第1表示電極の部分の各々上に形成された
少くとも1層の有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄
膜と、 各々が前記隔壁間において前記有機エレクトロルミネッ
センス媒体の薄膜上に形成された複数の第2表示電極
と、 各々が前記第2表示電極上に形成され前記隔壁間から前
記画像表示配列領域の外部へ伸長する複数の電導線膜
と、からなり、 前記隔壁は、前記画像表示配列領域の外部へ伸長しかつ
前記隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における前
記隔壁の幅より大なる幅を有する隔壁端部を有すること
を特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ル。1. An organic electroluminescent display panel having an image display array region including a plurality of light emitting units, wherein a substrate on a surface of which a plurality of first display electrodes corresponding to the light emitting units are formed. A plurality of electrically insulating partitions protruding above the substrate exposing at least a portion of the first display electrode; and at least one layer of organic material formed on each of the exposed portions of the first display electrode A thin film of an electroluminescent medium, a plurality of second display electrodes each formed on the thin film of the organic electroluminescent medium between the partitions, and a plurality of second display electrodes each formed on the second display electrode between the partitions and the image from between the partitions. A plurality of conductive wire films extending to the outside of the display array region, wherein the partition extends to the outside of the image display array region and faces in a direction in which the partition extends. The organic electroluminescence display panel and having a partition wall end portion having a width greater than the width of the partition wall in a direction substantially perpendicular to Te.
中心線から両側に向かって等しい距離の半幅を有してい
ることを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミ
ネッセンス表示パネル。2. The organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the end of the partition has a half width of an equal distance from both sides of a center line of the partition in a direction in which the partition extends.
中心線から両側に向かって異なる距離の半幅を有してい
ることを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミ
ネッセンス表示パネル。3. The organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the end of the partition has a half width different from the center line in the extension direction of the partition toward both sides.
電極からの異なる距離はなれて形成されていることを特
徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス
表示パネル。4. The organic electroluminescence display panel according to claim 1, wherein the adjacent partition ends are formed at different distances from the second display electrode.
る幅を有する第2幅部分を有していることを特徴とする
請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ル。5. The organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the partition end has a second width portion having a width larger than the width of the partition.
接続されるように、形成された前記第2表示電極の一部
として働くバスラインを有することを特徴とする請求項
1記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。6. The organic electroluminescent device according to claim 1, further comprising a bus line formed as a part of the second display electrode formed so as to be connected to the second display electrode between the partition walls. Luminescence display panel.
複数のストライプ状の電極でありかつ互いに直交する位
置に配列されたことを特徴とする請求項1〜6のいずれ
か1記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。7. The first display electrode and the second display electrode,
7. The organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the plurality of striped electrodes are arranged at positions orthogonal to each other.
方向に突出するオーバーハング部を有することを特徴と
する請求項1〜7のいずれか1記載の有機エレクトロル
ミネッセンス表示パネル。8. The organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the partition has an overhang portion protruding in a direction parallel to the substrate on an upper portion thereof.
あることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1記載の
有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。9. The organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the substrate and the first display electrode are transparent.
特徴とする請求項1〜8のいずれか1記載の有機エレク
トロルミネッセンス表示パネル。10. The organic electroluminescent display panel according to claim 1, wherein the second display electrode is transparent.
域を有している有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
ルの製造方法であって、 基板上において、前記発光部に対応する複数の第1表示
電極を形成する工程と、 前記基板上において、少なくとも前記第1表示電極の一
部分を露出せしめかつ突出する複数の電気絶縁性の隔壁
を形成する工程と、 露出した前記第1表示電極の部分の各々上に少くとも1
層の有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜を形成す
る工程と、 前記隔壁間において前記有機エレクトロルミネッセンス
媒体の薄膜上に複数の第2表示電極を形成する工程と、 前記第2表示電極上において、前記隔壁間から前記画像
表示配列領域の外部へ伸長する電導線膜を形成する工程
と、からなり、 前記隔壁を形成する工程において、前記画像表示配列領
域の外まで伸長しかつ前記隔壁の伸長方向に対して略直
交する方向における前記隔壁の幅より大なる幅を有する
前記隔壁の隔壁端部を形成することを特徴とする有機エ
レクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。11. A method for manufacturing an organic electroluminescent display panel having an image display array region including a plurality of light emitting units, wherein a plurality of first display electrodes corresponding to the light emitting units are formed on a substrate. Forming a plurality of electrically insulating barrier ribs on the substrate exposing at least a part of the first display electrode and projecting at least a portion of the first display electrode on the substrate. Tomo 1
Forming a layer of a thin film of the organic electroluminescence medium, forming a plurality of second display electrodes on the thin film of the organic electroluminescence medium between the partition walls, and forming the plurality of second display electrodes on the second display electrode. Forming a conductive wire film extending from the image display array region to the outside of the image display array region, wherein the step of forming the partition wall extends to outside the image display array region and in the direction in which the partition wall extends. A method of manufacturing an organic electroluminescent display panel, comprising forming a partition end of the partition having a width larger than a width of the partition in a direction substantially orthogonal to the partition.
示電極、少くとも1層の有機エレクトロルミネッセンス
媒体の薄膜、第2表示電極からなる少なくとも2つの有
機エレクトロルミネッセンス素子と、隣接する前記有機
エレクトロルミネッセンス素子間を通過して伸長して形
成されかつ前記基板上に突出してこれらを分離する電気
絶縁性の隔壁と、各々が前記隔壁の伸長方向に略平行し
て前記第2表示電極上に形成され前記有機エレクトロル
ミネッセンス素子の外部へ伸長する少なくとも2つの電
導線膜と、を備える有機エレクトロルミネッセンス装置
であって、前記隔壁は、前記電導線膜が前記隔壁の伸長
方向に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合に前記隣
接する第2表示電極を前記電導線膜から断線せしめる形
状の端部を有することを特徴とする有機エレクトロルミ
ネッセンス装置。12. At least two organic electroluminescence elements each comprising a first display electrode, at least one layer of a thin film of an organic electroluminescence medium, and a second display electrode, each of which are sequentially laminated on a substrate, An electrically insulating partition formed to extend between the electroluminescent elements and protrude above the substrate to separate them, and on the second display electrode substantially parallel to the direction in which the partition extends. An organic electroluminescence device comprising: at least two conductive wire films formed and extending to the outside of the organic electroluminescent element. It has an end having a shape that allows the adjacent second display electrode to be disconnected from the conductive wire film when a displacement occurs. An organic electroluminescence device characterized by the following.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000039178A JP4478274B2 (en) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | Organic electroluminescence display panel and manufacturing method thereof |
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