JP2001227456A - 液体の定量吐出方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液体の高速かつ高精度な定量吐出にかかるこ
れら問題を解消し、液体を高速に高精度に吐出する吐出
方法およびその装置の提供。 【解決手段】 プランジャロッドの後退動作により貯留
容器から液体をシリンダに吸引し、前記プランジャロッ
ドの進出動作により前記液体をシリンダからノズルに排
出する液体の定量吐出方法であって、一回の吐出を、プ
ランジャロッドの一回の吸入動作および一回の排出動作
で行うことを特徴とする方法。吐出する液体を所望量に
計量するポンプ部と、吸引および排出の液体流路を切り
替えるバルブ部と、バルブ部の位置によりポンプ部と連
通可能な、液体を貯留する貯留部と、液体を吐出する吐
出口をそなえる吐出部と、による構成において、ポンプ
部とバルブ部を連接して配設したことを特徴とする液体
の定量吐出装置

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業の属する技術分野】本発明は、あらゆる粘度の液
体、たとえば、水、アルコールといった低粘性物質か
ら、接着剤、ペースト状もしくはクリーム状の工業用材
料といった高粘調流体にいたるまでの、液体を高速に高
精度に吐出する方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液体を定量に吐出する装置におい
ては、（１）調圧された圧縮空気を貯留容器内の液体に
所望時間だけ適用して、ノズル先端の吐出口から所望量
の液体を吐出する、Ａｉｒ式吐出装置、（２）貯留容器
内の液体に液密に配設したプランジャを移動させて前記
液体を加圧し、ノズル先端の吐出口から所望量の液体を
吐出する、プランジャ式吐出装置、（３）貯留容器とノ
ズルとの間にシリンダを設け、このシリンダ内に設けら
れた複数の貫通孔は一の貫通孔に一のプランジャが進退
するよう施されており、プランジャの退行移動により貯
留容器から液体がシリンダ内に吸入され、プランジャの
進行移動により液体がシリンダからノズルへ排出される
機構において、前記複数のプランジャが順に液体に作用
して液体を加圧することにより、ノズル先端の吐出口か
ら所望量の液体を吐出する、多連プランジャポンプ式吐
出装置、など種々のものが開発されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの技術
では、現在求められているような高速なタクトタイム
で、高精度にかつ定量性を維持して吐出することは不可
能であった。例えば、半導体製造におけるダイボンディ
ング工程などにおいては、サイズの高機能を有する大き
なデバイスの出現と、生産性を向上させるためのさらな
る高タクト化の要求から、短時間に多量を吐出すること
が求められており、一方で高品質な製品が要求されるこ
とから高精度な吐出および精細な塗布が求められてい
る。このような要求を満たすために、前記従来技術には
いずれにも問題があった。

【０００４】たとえば、（１）Ａｉｒ式吐出装置は、液
体を吐出する圧力源に空気圧を利用するが、空気圧は圧
縮性に富んでいるため、短い時間に大きく圧力を変化さ
せることが非常に難しく、従って高速なタクトで吐出す
ることは不向きであった。また、短時間に多量の液体を
吐出する場合および特に吐出する液体が高粘度液剤であ
る場合のように、液体に高い圧力を適用する必要がある
場合においても、急激な貯留容器内の圧力変化が必要で
あるため、吐出時間を短くするには限界があり、また高
速なタクトで吐出することができない問題があった。

【０００５】（２）のプランジャ式吐出装置は、貯留容
器内の液体水頭付近に液密に配設されたプランジャが、
貯留されている液体すべてを加圧して吐出する方式であ
る。ここで、加圧される液体量は貯留容器内の残液量に
依存されるから、液剤を加圧して所望圧力とするときの
所望圧力到達時間は残液量が少量である場合は速く、残
液量が多量である場合は遅くなる。このように、吐出時
の圧力変化が貯留容器内の残液量によって異なるから、
これに起因して吐出量のばらつきが生じる問題がある。
予め貯留する液体量を少量とすると、短い周期で貯留容
器を交換する作業が必要となり作業効率が悪くなる問題
が生じる。

【０００６】（３）多連プランジャポンプ式吐出装置に
おいては、複数のプランジャが順に連続して液体を加圧
動作する方式であるから、一のプランジャから他の一の
プランジャに制御が移行する場合、液体は同時に２本の
プランジャにより加圧されるために、与える力が均一と
ならず、よって吐出される液体には脈動が発生し流速が
均一とならないという問題がある。このため、この装置
でワーク上に液体を線形状に塗布描画すると、線の幅お
よび線高にムラ、歪みが発生し均一な塗布形状を形成さ
せることができないから、高精細なパターン形状を描画
する場合には、塗布形成させることが実質的に不可能で
ある。

【０００７】本発明の目的は、液体の高速かつ高精度な
定量吐出にかかるこれら問題を解消し、液体を高速に高
精度に吐出する吐出方法およびその装置を提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、プランジャロ
ッドの後退動作により貯留容器から液体をシリンダに吸
引し、前記プランジャロッドの進出動作により前記液体
をシリンダからノズルに排出する液体の定量吐出方法で
あって、一回の吐出を、プランジャロッドの一回の吸入
動作および一回の排出動作で行うことを特徴とする方法
を要旨としている。

【０００９】一回に吐出する量だけシリンダ内に液体を
吸引しており、その場合、本発明は、プランジャロッド
の後退動作により貯留容器から一回に吐出する量だけシ
リンダ内に液体を吸引し、前記プランジャロッドの進出
動作により前記液体をシリンダからノズルに排出する液
体の定量吐出方法であって、一回の吐出を、プランジャ
ロッドの一回の吸入動作および一回の排出動作で行うこ
とを特徴とする方法を要旨としている。

【００１０】プランジャロッドの液体吸入開始位置と液
体排出終了位置を等しくしており、その場合、本発明
は、プランジャロッドの後退動作により貯留容器から液
体をシリンダに吸引し、好ましくは一回に吐出する量だ
けシリンダ内に液体を吸引し、前記プランジャロッドの
進出動作により前記液体をシリンダからノズルに排出す
る液体の定量吐出方法であって、一回の吐出を、プラン
ジャロッドの一回の吸入動作および一回の排出動作で行
うこと、ならびに、プランジャロッドの液体吸入開始位
置と液体排出終了位置を等しくすることを特徴とする方
法を要旨としている。

【００１１】プランジャロッドの液体排出終了時にシリ
ンダ内液体残量をほぼ無にしており、その場合、本発明
は、プランジャロッドの後退動作により貯留容器から液
体をシリンダに吸引し、好ましくは一回に吐出する量だ
けシリンダ内に液体を吸引し、前記プランジャロッドの
進出動作により前記液体をシリンダからノズルに排出
し、その際、プランジャロッドの液体排出終了時にシリ
ンダ内液体残量をほぼ無にする液体の定量吐出方法であ
って、一回の吐出を、プランジャロッドの一回の吸入動
作および一回の排出動作で行うこと、好ましくはさらに
プランジャロッドの液体吸入開始位置と液体排出終了位
置を等しくすることを特徴とする方法を要旨としてい
る。

【００１２】吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開始
位置を同一の位置に、かつ、吐出毎のプランジャロッド
の液体吸入終了位置を同一の位置にしており、その場
合、本発明は、プランジャロッドの後退動作により貯留
容器から液体をシリンダに吸引し、好ましくは一回に吐
出する量だけシリンダ内に液体を吸引し、前記プランジ
ャロッドの進出動作により前記液体をシリンダからノズ
ルに排出する、好ましくはその際、プランジャロッドの
液体排出終了時にシリンダ内液体残量をほぼ無にする液
体の定量吐出方法であって、一回の吐出を、プランジャ
ロッドの一回の吸入動作および一回の排出動作で行うこ
と、ならびに、吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開
始位置を同一の位置に、かつ、吐出毎のプランジャロッ
ドの液体吸入終了位置を同一の位置にすることを特徴と
する、好ましくはさらにプランジャロッドの液体吸入開
始位置と液体排出終了位置を等しくすること、ならび
に、吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開始位置を同
一の位置にすることを特徴とする方法を要旨としてい
る。

【００１３】吐出毎のプランジャロッドの液体吐出開始
位置を同一の位置に、かつ、吐出毎のプランジャロッド
の液体吐出終了位置を同一の位置にしており、その場
合、本発明は、プランジャロッドの後退動作により貯留
容器から液体をシリンダに吸引し、好ましくは一回に吐
出する量だけシリンダ内に液体を吸引し、前記プランジ
ャロッドの進出動作により前記液体をシリンダからノズ
ルに排出する、好ましくはその際、プランジャロッドの
液体排出終了時にシリンダ内液体残量をほぼ無にする液
体の定量吐出方法であって、一回の吐出を、プランジャ
ロッドの一回の吸入動作および一回の排出動作で行うこ
と、ならびに、吐出毎のプランジャロッドの液体吐出開
始位置を同一の位置に、かつ、吐出毎のプランジャロッ
ドの液体吐出終了位置を同一の位置にすること、好まし
くはさらに、吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開始
位置を同一の位置に、かつ、吐出毎のプランジャロッド
の液体吸入終了位置を同一の位置にすること、プランジ
ャロッドの液体吸入開始位置と液体排出終了位置を等し
くすること、ならびに、吐出毎のプランジャロッドの液
体吸入開始位置を同一の位置にすることを特徴とする方
法を要旨としている。

【００１４】また、本発明は、吐出する液体を所望量に
計量するポンプ部と、吸引および排出の液体流路を切り
替えるバルブ部と、バルブ部の位置によりポンプ部と連
通可能な、液体を貯留する貯留部と、液体を吐出する吐
出口をそなえる吐出部と、による構成において、ポンプ
部とバルブ部を連接して配設したことを特徴とする液体
の定量吐出装置を要旨としている。

【００１５】上記のバルブ部をボールバルブとしてお
り、その場合、本発明は、吐出する液体を所望量に計量
するポンプ部と、吸引および排出の液体流路を切り替え
るバルブ部と、バルブ部の位置によりポンプ部と連通可
能な、液体を貯留する貯留部と、液体を吐出する吐出口
をそなえる吐出部と、による構成において、バルブ部を
ボールバルブとしたこと、ならびに、ポンプ部とバルブ
部を連接して配設したことを特徴とする液体の定量吐出
装置を要旨としている。

【００１６】プランジャロッドを備えたシリンダが装着
されたシリンダブロックで上記のポンプ部を構成してお
り、その場合、本発明は、吐出する液体を所望量に計量
するポンプ部と、吸引および排出の液体流路を切り替え
るバルブ部と、バルブ部の位置によりポンプ部と連通可
能な、液体を貯留する貯留部と、液体を吐出する吐出口
をそなえる吐出部と、による構成において、プランジャ
ロッドを備えたシリンダが装着されたシリンダブロック
で上記のポンプ部を構成したこと、ならびに、ポンプ部
とバルブ部を連接して配設したことを特徴とする液体の
定量吐出装置を要旨としている。

【００１７】上記のバルブ部を、貯留容器に連通する第
一孔および吐出部に連通する第二孔とを有するバルブブ
ロックを具える切換弁としており、その場合、本発明
は、吐出する液体を所望量に計量するポンプ部と、吸引
および排出の液体流路を切り替えるバルブ部と、バルブ
部の位置によりポンプ部と連通可能な、液体を貯留する
貯留部と、液体を吐出する吐出口をそなえる吐出部と、
による構成において、プランジャロッドを備えたシリン
ダが装着されたシリンダブロックで上記のポンプ部を構
成したこと、上記のバルブ部を、貯留容器に連通する第
一孔および吐出部に連通する第二孔とを有するバルブブ
ロックを具える切換弁としたこと、ならびに、ポンプ部
とバルブ部を連接して配設したことを特徴とする液体の
定量吐出装置を要旨としている。

【００１８】上記の切換弁を、スライド型、一方向回転
型、または往復動回転型の切換弁としており、その場
合、本発明は、吐出する液体を所望量に計量するポンプ
部と、吸引および排出の液体流路を切り替えるバルブ部
と、バルブ部の位置によりポンプ部と連通可能な、液体
を貯留する貯留部と、液体を吐出する吐出口をそなえる
吐出部と、による構成において、プランジャロッドを備
えたシリンダが装着されたシリンダブロックで上記のポ
ンプ部を構成したこと、上記のバルブ部を、貯留容器に
連通する第一孔および吐出部に連通する第二孔とを有す
るバルブブロックを具えるスライド型、一方向回転型、
または往復動回転型の切換弁としたこと、ならびに、ポ
ンプ部とバルブ部を連接して配設したことを特徴とする
液体の定量吐出装置を要旨としている。

【００１９】シリンダブロックとバルブブロックとを密
着かつ滑合するように配設することによりポンプ部とバ
ルブ部を連接して配設しており、その場合、本発明は、
吐出する液体を所望量に計量するポンプ部と、吸引およ
び排出の液体流路を切り替えるバルブ部と、バルブ部の
位置によりポンプ部と連通可能な、液体を貯留する貯留
部と、液体を吐出する吐出口をそなえる吐出部と、によ
る構成において、プランジャロッドを備えたシリンダが
装着されたシリンダブロックで上記のポンプ部を構成し
たこと、上記のバルブ部を、貯留容器に連通する第一孔
および吐出部に連通する第二孔とを有するバルブブロッ
クを具えるスライド型、一方向回転型、または往復動回
転型の切換弁としたこと、ならびに、シリンダブロック
とバルブブロックとを密着かつ滑合するように配設する
ことによりポンプ部とバルブ部を連接して配設したこと
を特徴とする液体の定量吐出装置を要旨としている。

【００２０】

【発明の実施の形態】プランジャロッドの後退動作によ
り貯留容器から液体をシリンダに吸引し、前記プランジ
ャロッドの進出動作により前記液体をシリンダからノズ
ルに排出する液体の定量吐出方法において、一回の吐出
をプランジャロッドの一回の吸入動作および一回の排出
動作で行うことを特徴とする。液体は同時に複数本のプ
ランジャにより加圧させることが無いから、液体に適用
する加圧力が一定となり、よって吐出される液体に脈動
が発生せず、流速が均一となる。このため、ワーク上に
液体を線形状に塗布描画しても、線の幅および線高にム
ラ、歪みが発生せず、均一な塗布形状を形成させること
ができ、高精細がパターン形状を塗布形成させることが
できる。さらに、一回の吐出を一回のプランジャロッド
の移動で行うので、吐出される液体に脈動が無く、一定
した流速で液体を吐出させることが可能であることか
ら、所望する描画形状を均一かつ高精細に塗布形成させ
ることができる。

【００２１】また、吐出とは、液体を加圧して誘起され
た液体と大気圧との圧力差によってノズルから液体が流
出することであるから、圧力差を効果的に誘起するため
には、加圧される液体の体積は少量であるほど好まし
く、より急峻に液体圧力を上昇させることができ、短時
間に多量の液体を吐出する場合および特に吐出する液体
が高粘度液剤である場合に効果的である。したがって、
複数回の吐出量に相当する液体量を加圧することより
も、一回の吐出量をシリンダ内に液体を吸引して加圧す
ることが好ましい。より好ましくは、プランジャロッド
の液体排出終了後のシリンダ内には液体残量が無いこと
である。一回に吐出する量の液体をシリンダに吸入し、
シリンダ内の前記液体をプランジャロッドの移動により
圧力を適用させて吐出することから、加圧する液体量を
最小限にすることが可能であり、よって液体に起因する
影響を効果的に排除ならしめ、さらには液体を加圧して
から液体がノズルより吐出されるまでの時間を大幅に短
縮することが可能であり、高速な吐出を可能とする。

【００２２】ここで、プランジャロッドの液体吸入開始
位置と液体排出終了位置を吐出毎で等しくすることが好
ましい。吐出毎の加圧する液体量を常に一定ならしめる
ことは、加圧される液体量が貯留容器内の残液量に依存
されることが無く、吐出時のプランジャロッドが液体を
加圧するときの液体圧力が上昇するプロセスを吐出毎に
等しくすることができるから、貯留容器内の残液量に依
存する吐出量のばらつきが無い。より好ましくは、さら
に吐出毎のプランジャロッドの液体吐出開始位置を同一
の位置に、かつ吐出毎のプランジャロッドの液体吐出終
了位置を同一の位置にする。吐出毎の吐出開始および吐
出終了におけるプランジャロッドの位置が常に一定であ
ることから、液体圧縮量が容器に貯留された液体量に依
存されず常に一定となり、安定した高精度な吐出が行う
ことができる。さらに好ましくは、さらに吐出毎のプラ
ンジャロッドの液体吸入開始位置を同一の位置に、かつ
吐出毎のプランジャロッドの液体吸入終了位置を同一の
位置にする。

【００２３】具体的な装置構成は、液体を吐出するノズ
ルと、液体を貯留する貯留容器と、内部に空間を有する
シリンダと、前記シリンダに内接して進退するプランジ
ャロッドと、プランジャロッドを駆動する駆動手段と、
シリンダと貯留容器またはノズルとを連通する切換弁
と、を具える液体定量吐出装置である。この装置では、
駆動手段に連結されたプランジャロッドが内壁に接して
進退移動し、プランジャロッドが吐出量に等しい量だけ
退行移動して貯留容器よりシリンダに液体を吸入し、プ
ランジャロッドが吐出量に等しい量だけ進行移動してシ
リンダからノズルへ液体を排出することにより吐出を行
う。このとき切換弁は、プランジャロッドが後退移動し
てシリンダに液体を吸入するときはシリンダと貯留容器
を連通し、プランジャロッドが進出移動してシリンダか
ら液体を排出するときはシリンダとノズルを連通するよ
う作動する。

【００２４】貯留容器と切換弁とを液送管を介して連通
することにより、液剤貯留部と吐出機構部とを分離する
ことができるため、取る扱いやすい場所に貯留容器を配
置することが可能であり、たとえば、貯留容器内の液体
の残量が少なくなった場合に、液体貯留容器に液体を補
充する、または予め液体が充填されている貯留容器ごと
交換する作業を容易に行うことが可能となる。さらに
は、容器内に貯留する液体量は使用する液体のポットラ
イフや一日の作業量から考察して、計画的に適切な量を
貯留しておくことができるため、一日の作業における液
体の補充作業を不用とすることも、適宜補充することも
可能である。

【００２５】さらに、ノズルと切換弁とを液送管を介し
て連通することにより、吐出機構部と吐出口を分離する
ことができるため、吐出機構部は固定部に設置し、ノズ
ルを可動部、たとえばロボットに搭載して作業すること
が可能となるため、可動部を極めて軽量に構成すること
ができる。これにより塗布作業、たとえばワーク表面上
に所望するパターン形状に塗布する描画作業を極めて高
速に行うことが可能となる。

【００２６】貯留容器内の液体が高粘性流体である場
合、またはシリンダ内に速やかに液体を吸引させる場合
などには、貯留容器の液体をシリンダに液送するために
プランジャロッドの後退移動による吸引力を補助するた
めに貯留容器内の液体を加圧する加圧装置を具えること
が好ましい。

【００２７】また、ピストン内部に滑りこむプランジャ
ロッド径はシリンダ内径とはほぼ等しいことが好まし
い。より好ましくは、プランジャロッドがシリンダに内
接する。また、プランジャロッド径のシリンダに内接す
る外郭断面形状を円形状とすることもできる。

【００２８】切換弁はボールバルブとすることができ
る。好ましくは、切換弁を、貯留容器とを連通する第一
孔およびノズルとを連通する第二孔とを有しスライドし
て連通する部位を切換えるバルブブロックを具えるスラ
イド弁とする。前記第一孔と第二孔は隣接するほど、切
換時のロスタイムを短縮することができ高速なタクトタ
イムで吐出することができる。

【００２９】駆動手段および／または切換弁が、制御部
の信号に基づいて動作することができる。好ましくは、
吐出時においてはプランジャロッドがノズルに連通する
よう切換弁を制御し、さらに駆動手段を制御して液体を
加圧し、また吸引時においてはプランジャロッドが貯留
容器と連通するよう切換弁を制御し、さらに駆動手段を
制御して液体を吸引する。

【００３０】プランジャロッドの本数は複数とすること
ができる。このとき、複数回の吐出においては、毎回異
なったプランジャロッドで行うことができるから、プラ
ンジャロッドのいずれか一の吐出動作にあたって、他の
プランジャロッドが吸引または停止動作することによ
り、次の吐出時には、液体を吸引したプランジャロッド
が液体を速やかに吐出することができるから、効果的に
液体の吸引にかかる時間を不用ならしめ、より高速なタ
クトタイムができる。

【００３１】さらには、駆動手段をプランジャロッドの
数と等しくすることが可能である。また、プランジャロ
ッドを独立して制御を可能とすることができる。このと
き、一のプランジャロッドが液体を吐出するときのプラ
ンジャロッドの吐出作動速度と、他のプランジャロッド
が液体をシリンダ内に吸引するときの吸引作動速度と、
を異なる速度に容易に調整可能であるから、複数のプラ
ンジャロッドのうち一のプランジャロッドが吐出に携わ
るときには吐出に好適な、吸引に携わるときには吸引に
好適な速度とすることが可能であり好ましい。

【００３２】さらに、本発明の、液体吐出装置は、液体
を吐出するノズルと、液体を貯留する貯留容器と、プラ
ンジャポンプと、プランジャポンプを駆動する駆動手段
と、シリンダと貯留容器またはノズルとを連通する切替
弁とを具え、プランジャポンプを構成するシリンダブロ
ックと切替弁を構成するバルブブロックとを密着かつ滑
合するように配設したことを特徴とする。ポンプ部とバ
ルブ部を連接して配設し、かつ、プランジャロッドがバ
ルブに接合する面で吸入開始および吐出完了することが
できるから、余剰量の液体を圧縮させることなく、必要
最低限の液体を加圧することが可能となり、液体を高い
応答性で制御することができ、従って、高速なタクトで
吐出することができ、また、プランジャロッド先端位置
が吐出毎に常に一定であるから、高精度に吐出すること
ができる。

【００３３】したがって、ポンプ部の構成部品であるプ
ランジャロッドの進退移動、およびそれに伴うバルブ部
の構成部品であるバルブブロックの移動で液体の排出お
よび吸引を切替え、詳しくはポンプ部の構成部品である
バルブブロックの位置がポンプ部と液体貯留部が連通す
る位置にあるときに、プランジャロッドが吐出量に相当
する位置まで退行移動して貯留容器から液体をシリンダ
内に移動させ、プランジャロッドを前記退行移動を開始
した位置まで退出移動させてノズル先端から液体を吐出
させるべく構成し、このとき、退行開始時および吐出完
了時のプランジャロッドの先端位置を、バルブブロック
とシリンダブロックの接合する面とする。

【００３４】ここで、液体はわずかではあるが圧縮性が
あり、加圧すると体積を減少させる。つまり、液体を加
圧するには、液体を圧縮させる必要があり、加圧する液
体量が多ければ多いほど急峻な圧力上昇を起こすことが
難しくなる。例えば、当該装置においては加圧すべき液
体量が多ければ多いほどピストンロッドの移動速度を上
げなければ圧力上昇プロセスが等しくならない。つま
り、圧縮すべき液体量が少なければ僅かなピストンロッ
ドの進退移動量で圧量上昇が可能である。したがって、
前記退行開始時および吐出完了時のプランジャロッドの
先端位置を、バルブブロックとシリンダブロックの接合
する面とする位置からプランジャロッドが退行するか
ら、余剰の液体をピストン内に貯留することがなく、必
要最低量の液体を加圧することが可能となる。

【００３５】また、必要最低量の液体量に圧力を作用さ
せるから、プランジャロッドの動作に応じてノズル先端
から液体が吐出され、たとえば吐出完了後プランジャロ
ッドが停止しているにもかかわらずノズル吐出口よりだ
らだらと液体が吐出され続けるようなことがなく、圧縮
した液体の膨張に起因する吐出完了の遅れ、ひいては液
ダレを排除することができ、高応答性で液体を制御する
ことが可能となる。また、このように常にピストンロッ
ド先端の液体吸引開始位置、および液体吐出完了位置を
一定の位置とすることで、加圧される液体も、ピストン
ロッド先端からノズル先端までの液体量が一定の量にな
るから、圧力バッファの圧縮量が常に一定した量とな
り、従って、吐出毎の液体量が安定し、精度良い吐出が
可能となる。

【００３６】さらに、一回の吐出は一つのピストンロッ
ドの一回の進出移動で行われるから、ノズル先端より吐
出される液体には脈動が無い。また、ピストン無いに吸
入された液体はすべてピストン内から排出されるから、
ピストンロッド付近に対流する液体がなく、長時間対流
した液体がピストン内で変性してしまうことがない。例
えば接着剤では固化してしまいピストンロッドとピスト
ンが固定されてしまう、といったことがない。

【００３７】

【作用】ポンプ部の構成部品であるプランジャロッドの
進退移動、およびそれに伴うバルブ部の構成部品である
バルブブロックの移動で液体の排出および吸引を切替
え、詳しくはバルブブロックの位置がポンプ部と液体貯
留部が連通する位置にあるときに、プランジャロッドが
吐出量に相当する位置まで退行移動して貯留容器から液
体をシリンダ内に吐出する量だけ吸引し、その後バルブ
ブロックをポンプ部とノズル部とが連通する位置に移動
させ、プランジャロッドを前記退行移動を開始した位置
まで進出移動させてノズル先端から液体を吐出させる。
このとき、退行開始時および吐出完了時のプランジャロ
ッドの先端位置を、バルブブロックとシリンダブロック
の接合する面とする。ここで、液体にはわずかではある
が圧縮性があり、加圧すると体積を減少させる。つま
り、液体を加圧するには液体を収縮させる必要があり、
加圧する液体量が多ければ多いほど急峻な圧力上昇を起
こすことが難しくなる。例えば、当該装置においては加
圧すべき液体量が多ければ多いほどピストンロッドの移
動速度を上げなければ圧力上昇プロセスが等しくならな
い。つまり、圧縮すべき液体量が少なければ僅かなピス
トンロッドの進出移動量で圧力上昇が可能である。した
がって、前記退行開始時および吐出完了時のプランジャ
ロッドの先端位置を、バルブブロックとシリンダブロッ
クの接合する面とする位置からプランジャロッドが退行
するから、余剰の液体をピストン内に貯留することがな
く、必要最低量の液体を加圧することが可能となる。ま
た、必要最低限の液体量に圧力を作用させるから、プラ
ンジャロッドの動作に応じてノズル先端から液体が吐出
され、たとえば吐出完了後プランジャロッドが停止して
いるにもかかわらずノズル吐出口よりだらだらと液体が
吐出され続けるようなことがなく、圧縮した液体の膨張
に起因する吐出完了の遅れ、ひいては液ダレを排除する
ことができ、高応答性で液体を制御することが可能とな
る。また、このように常にピストンロッド先端の液体吸
引開始位置、および液体吐出完了位置を一定の位置とす
ることで、加圧される液体も、ピストンロッド先端から
ノズル先端までの液体量が一定の量になるから、圧力バ
ッファの圧縮量が常に一定した量となり、従って、吐出
毎の液体量が安定し、精度良い吐出が可能となる。さら
に、一回の吐出は一のピストンロッドの一回の進出移動
で行われるから、ノズル先端より吐出される液体には脈
動が無い。また、ピストン内に吸入された液体はすべて
ピストン内から排出されるから、ピストンロッド付近に
滞留する液体がなく、長時間滞留した液体がピストン内
で変性してしまうようなことがない。例えば接着剤では
固化してしまいピストンロッドとピストンが固定されて
しまう、といったことがない。

【００３８】このように、ポンプ部とバルブ部を連接し
て配設し、かつプランジャロッドがバルブに接合する面
で吸入開始しおよび吐出完了することができるから、余
剰量の液体を圧縮させること無く、つまり必要最低限の
液体を加圧することが可能となり、液体を高い応答性で
制御することができ、従って、高速なタクトで吐出する
ことができる。また、プランジャロッド先端位置が吐出
毎に常に一定であるから、高精度に吐出することができ
る。

【００３９】

【実施例】本願発明の詳細を実施例で説明する。本願発
明はこれら実施例によって何ら限定されるものではな
い。

【００４０】実施例１ 図１とともに説明する。ボールバルブ７は、貯留容器
６、ノズル９およびシリンダ５と接続されている。ボー
ルバルブ７内の弁体８の回転動作により、シリンダ５が
ノズル９とまたは貯留容器６と連通するよう制御され
る。ボールバルブ７はＡｉｒ駆動であり、エア制御手段
１０から供給されるＡｉｒにより行われる。貯留容器６
へは適宜液体を補充することができる。この容器の液量
は吐出量に影響を与えることは無い。プランジャロッド
４はプランジャロッド取付板３に接続されており、モー
タ１の回転駆動がプランジャロッド取付板３の進退運動
に変換されて、プランジャロッド４がシリンダ５に内接
して進退動作する。エア制御手段１０とモータ１は制御
部１１によって制御されており、制御部１１からの信号
に基づいて動作する。

【００４１】吐出作業は、以下の（１）〜（２）の順番
に行われる。 （１）貯留容器６とシリンダ５とを連通するようボール
バルブ７の弁体８の位置を制御する。 （２）シリンダ５内に所望する液体量が吸入されるよう
モータ１を制御してプランジャロッド４を後退移動させ
る。（吸入開始）このとき、吸入を開始するときのプラ
ンジャロッド４の位置は、シリンダ５のボールバルブ７
の弁体８に近いほど好ましい。 （３）プランジャロッド４を後退移動させて所望する液
体量がシリンダ５内に吸入されると（充填完了）、シリ
ンダ５とノズル９とが連通するようボールバルブ７の弁
体位置を変位する。 （４）吸入した液体量をシリンダ５から排出するようモ
ータ１を制御してプランジャロッド４を前進移動させ
る。プランジャロッド４が進出移動するとシリンダ５内
の液体が加圧され、ノズル９先端の吐出口から液体が吐
出される。ボールバルブ７は貯留容器６と連通していな
いから、シリンダ５内の液体が加圧されても貯留容器６
へ液体が逆流することは無い。このとき、プランジャロ
ッド４は液体をシリンダ５内に吸引したときの吸引開始
位置まで前進移動させる。（吸引開始位置と排出終了位
置を同位置とする）これで、所望量の液体がノズル９先
端から吐出される。（吐出終了） （５）次の吐出は、再び上記１と同様にボールバルブ７
の弁体位置を貯留容器６とシリンダ５が連通する位置に
変位して上記１〜４までの作業を繰り返す。プランジャ
ロッド４は排出終了位置から次の吐出の吸引を開始す
る。

【００４２】このように、吐出毎に、同じ位置からプラ
ンジャロッド４が吸引を開始し、さらに同じ量がシリン
ダ５内に吸入され、同じ位置からシリンダ５内の液体が
加圧され、同じ位置で吐出が終了するといった一連の動
作を繰り返すことで、ノズル９先端からプランジャロッ
ド４先端までに満たされている液体量を常に一定とする
ことができるから、安定した一定の吐出量を得ることが
でき、さらに、吐出する液体量と同量をシリンダ５内に
充填することは、吐出に必要な最小量の液を充填するこ
とにほかならないから、液体の充填および吐出にかかる
外乱因子等による吐出量を不安定とする作用をも最小限
に抑えることができ、安定した吐出量を得ることができ
る。

【００４３】実施例２ 図２（ａ）、（ｂ）とともに説明する〔図２（ａ）は貯
留容器６とエア制御手段１０と制御部１１とこれらをつ
なぐ線を省略している〕。シリンダブロック３１には、
シリンダＡ２９とシリンダＢ３０とが立設され、シリン
ダＡ２９およびＢ３０の内径と同径でかつ連続する貫通
孔が穿たれており、該孔はプランジャ室を形成する。プ
ランジャ室には、プランジャロッドＡ２７とプランジャ
ロッドＢ２８が進退自在に嵌装されており、各プランジ
ャロッドの行程は、最前進位置におけるプランジャロッ
ドの前端面がシリンダブロック３１の一側面と面一にな
るように設定されている。シリンダブロック３１の前記
貫通孔の開口を有する一側面には、バルブブロック３４
が密着かつ滑合するように配設されており、バルブブロ
ック３４は押部材３５によりシリンダブロック３１に圧
接されており、両ブロック間の液体の漏洩を防止してい
る。

【００４４】バルブブロック３４は、図示のように流路
が形成されていて、シリンダブロック３１とでスライド
弁を構成し、貯留容器６とノズル９との間の流路の開閉
して、ノズル９に供給する液体の制御をする。また、バ
ルブブロック３４のシリンダブロック３１に圧接する面
の流路が開口していない部分は、シリンダヘッドとして
機能する。すなわち、スライド弁はバルブブロック３４
およびシリンダブロック３５により構成されており、シ
リンダＡ２９と貯留容器が連結するにあたってシリンダ
Ｂ３０とノズル９が連通するように、またシリンダＡ２
９とノズル９が連通するにあたってはシリンダＢ３０と
貯留容器６が連通するように、エア制御手段１０からの
信号に基づいてシリンダブロック３１に対してバルブブ
ロック３４がスライドして切替作動する。また、バルブ
ブロック３４は、前記押部材と前記シリンダブロック３
１との間で圧接しているから、バルブブロック３４の摺
動を円滑ならしめるため、バルブブロック３４の、押部
材３５との接触面およびシリンダブロック３１との接触
面は摩擦係数が低くすることが好ましく、具体的には、
接触する面積を小さくすることで行うことができる。

【００４５】モータＡ２０は、ボールネジＡ２３とギア
Ａ２１を介して接続されている。プランジャロッドＡ２
７はモータＡ２０の回転動作によりシリンダＡ２９に内
接して進退動作するよう、プランジャロッド取付板Ａ２
５に付けられている。プランジャロッドＢ２８はボール
ネジＢ２４の回転によりシリンダＢ３０に内接して進退
動作するよう、プランジャロッド取付板Ｂ２６に取りつ
けられており、プランジャロッドＡ２７が進出移動する
ときにはプランジャロッドＢ２８が退行移動するよう
に、プランジャロッドＡ２７が退行移動するときにはプ
ランジャロッドＢ２８が進出移動するように、ボールネ
ジＢ２４に連結したギアＢ２２はギアＡ２１と連結して
いる。

【００４６】エアシリンダＡ３６先端の押部材３５は、
シリンダブロックをエア制御手段１０から供給されるエ
ア圧力により加圧固定しているから、バルブブロック３
４は、シリンダブロック３１および押部材３５に密接し
て、相対的にスライド動作することができ、不要な液体
の漏出を防止することができる。エア制御手段１０から
常に一定のエア加圧力が供給されると、エアシリンダＡ
先端の押部材３５は常に所望の力でバルブブロック３４
とシリンダブロック３１を当接させることができる。加
圧力としてバネ等を使用すると、材料等の変質および変
形等により、バルブブロックを抑えつける力が変位する
ため好ましくない。さらに、エアシリンダを使用するこ
とは、万が一バルブブロック３４とシリンダブロック３
１の接触面が磨耗してバルブブロック３４の幅が小さく
なっても、一定の加圧力に調圧されたエア圧力がエアシ
リンダに供給されていることから、磨耗前と同じ大きさ
の力でバルブブロック３４をシリンダブロック３１に当
接可能であり、バルブブロック３４とシリンダブロック
３１との接触面に間隙が発生せず、不要な液体の漏出を
防止することができる。

【００４７】エアシリンダＡ３６にはストッパーを取り
付けて、バルブブロック３４にシリンダブロック３１と
離れる方向の力がかかった場合に、エアシリンダＡ３６
が引っ込むのを防ぎ、バルブブロック３４とシリンダブ
ロック３１とが離れないようにすることもできる。バル
ブブロック３４は、シリンダブロック３１との接触面と
平行にスライド動作し、シリンダＡ２９がノズル９と連
通するときシリンダＢ３０が貯留容器６と連通するよう
に、またシリンダＢ３０がノズル９と連通するときシリ
ンダＡ２９が貯留容器６と連通するように、位置制御さ
れる。このスライド動作は、エアシリンダＢ３７をエア
制御手段１０が制御することにより行うことができる。

【００４８】エアシリンダＢ３７の両端に接続された２
本のバルブブロック支持アーム３３の、アーム間の距離
幅と同じ幅に形成されているバルブブロック３４を前記
２本の支持アーム３３の間に挟み込んで、バルブブロッ
ク３４をスライド動作させる。

【００４９】前記バルブブロック３４は、接着固定され
たものではなく、エアシリンダＢ３７のバルブブロック
支持アーム３３と、エアシリンダＡ３６の押部材３５
と、に加圧固定されているに過ぎないから、エアシリン
ダＡ３６に圧力供給を断ち押し部材３５がバルブブロッ
ク３４の加圧を低下させると、簡単にバルブブロック３
４を取り外すことができ、バルブブロック３４が磨耗し
たときの交換を容易とする。

【００５０】モータＢ３８はボールネジＣ３９と連結し
ており、モータＢ３８の回転動作によりベースブロック
４９とサブブロック５０との相対距離をボールネジＣ３
９の軸方向に変えることができる。

【００５１】ベースブロック４９には、モータＡ２０、
ボールネジＡ２３、ボールネジＢ２４、プランジャロッ
ドＡ２７、プランジャロッドＢ２８、プランジャロッド
取付板Ａ２５、プランジャロッド取付板Ｂ２６が固定さ
れており、サブブロック５０にはシリンダＡ２９、シリ
ンダＢ３０、シリンダブロック３１、ノズル９およびバ
ルブブロック３４が固定されているから、ベースブロッ
ク４９とサブブロック５０との相対距離をボールネジＣ
３９の回転方向に移動できることは、プランジャロッド
Ａ２７およびプランジャロッドＢ２８の相対距離を一定
としたまま、プランジャロッドＡ２７およびプランジャ
ロッドＢ２８とバルブブロック３４との相対距離を調節
できるから、微量吐出を行うようなプランジャロッドが
僅かにしか変位しない場合には、プランジャロッド位置
をバルブブロック３４に近づけることが可能となり、不
要な液体をシリンダ内に残留することを効果的に除去す
ることができる。

【００５２】プランジャロッドの進退移動する最大スト
ローク量の中央が、プランジャロッドＡ２７先端および
プランジャロッドＢ２８先端が揃う位置であるとしたと
き、最大ストロークを必要としない量を吐出する場合、
例えば微量を吐出する場合には、プランジャロッドの最
大ストローク量と比べて僅かな量しか進退動作をしな
い。このとき吐出終了時のプランジャロッド先端位置か
らバルブブロック３４までの液体はバッファとして働く
ため、高速タクトで吐出を行う場合には特にバッファと
なる液体は排除されることが好ましい。

【００５３】貯留容器６へは適宜液体を補充することが
できる。また、液体が貯留された別の貯留容器６に交換
することも可能である。エアシリンダＡ３６およびエア
シリンダＢ３７はエア制御手段１０に接続されていて、
必要に応じてエアを供給することができる。また、エア
制御手段１０とモータＡ２０とモータＢ３８とは、制御
部１１に接続されており、制御部１１の信号に基づいて
動作する。

【００５４】吐出作業は、 （１）プランジャロッドＡ２７およびプランジャロッド
Ｂ２８の先端がシリンダブロックから等距離にある位置
（揃う位置）に調節する。この位置を基礎位置とする。 （２）プランジャロッドＡ２７を所望吐出量の半分の体
積量だけモータＡ１を駆動して進出移動させる。このと
きモータＡ１の回転は、プランジャロッドＢ２８が所望
吐出量の半分の体積量だけ後退移動するように、ギアＡ
２１を介してギアＢ２２に伝わる。 （３）このときのプランジャロッドＡ２７の基準位置か
らの進出量は、前記所望とする量を吐出する場合におい
ては最大であるから、前記プランジャロッドＡ２７の先
端位置をバルブブロック３４に近づけるようにモータＢ
３８を駆動して、シリンダＡ２９内の液体残量が最小と
なるよう、好ましくはゼロとなるようにベースブロック
４９とサブブロック５０の相対距離を調節する。モータ
Ｂの駆動により、プランジャロッドＡ２７およびプラン
ジャロッドＢ２８は一体的に並進移動するから、前記プ
ランジャロッドＡ２７および前記プランジャロッドＢ２
８の相対距離は変わらない。

【００５５】（４）ここで、貯留容器とシリンダＡ２９
とを連通するように、すなわちノズル９とシリンダＢ３
０が連通するようにバルブブロック３４の位置を調節す
る。 （５）次に、シリンダＢ３０を所望吐出体積量だけモー
タＡ２０を駆動して進出移動させる。このときモータＡ
２０の回転は、プランジャロッドＡ２７が所望吐出体積
量だけ後退移動するから、貯留容器６の液体がシリンダ
内に吸引される。 （６）さらに、貯留容器６とシリンダＢ３０とを連通す
るように、すなわちノズル９とシリンダＡ２９が連通す
るようにバルブブロック３４の位置を調節する。 （７）シリンダＡ２９を所望吐出体積量だけモータＡ２
０を駆動して進出移動させる。シリンダＡ２９には所望
量の液体が充填されていたから、前記モータＡ２０の駆
動によりノズル９先端の吐出口から液体が吐出される。
また、貯留容器６とシリンダＢ３０が連通しており、こ
のときモータＡ２０の回転によりプランジャロッドＢ２
８は所望吐出体積量だけ後退移動するから、貯留容器６
の液体がシリンダＢ３０内に吸引される。 （８）以下４〜７の動作で液体が吐出される。

【００５６】このように、一のプランジャの進出により
吐出が行われると同時に、他の一のプランジャが液体を
シリンダ内に吸引されるから、高速なタクトで吐出作業
を行うことができる。

【００５７】実施例３ 実施例３は、２つのプランジャロッド２７，２８それぞ
れにモータ６０，６１が接続され、さらに貯留容器６か
らシリンダ２９，３０に液体が速やかに充填できるよ
う、貯留容器６内の液体に空圧を適用した例である。
〔図３（ａ）と（ｂ）はともに実施例３を表す装置図で
あり、同じ装置を、角度を変えて記してある。図３
（ａ）には、貯留容器６とエア制御手段１０とノズル９
が描かれてなく、また、図３（ｂ）には、制御部１１が
記されていないが、本来は、図３（ａ）、図３（ｂ）と
もに、貯留容器６、エア制御手段１０、ノズル９、制御
部１１が取り付けられてある。また、エア制御手段１０
も制御部１１につながれていて、制御部１１によって制
御される。これらの図では角度によって、わかりにくく
ならないようにするために、省略した。〕 主な特徴は以下の通りである。

【００５８】（１）２つボールネジ２３，２４のそれぞ
れに、モータ６０，６１を接続しているので、２本のプ
ランジャロッド２７，２８をそれぞれ独立して動かすこ
とができる。これにより、吐出と吸入の速度を変化させ
ることができるので、吸入に時間がかかるような液体に
おいて、吐出速度を変化させずに、充填速度を遅くする
ことが可能であり、液体に不適な吸引力を作用させるこ
とがなく、キャビテーションなどが発生するのを抑える
ことができる。

【００５９】（２）独立している２つのモータ６０，６
１を同じ方向に回転させることによって、プランジャロ
ッドＡ２７とプランジャロッドＢ２８との相対距離を一
定にしたまま、プランジャロッドＡ２７およびプランジ
ャロッドＢ２８とバルブブロック３４との相対距離を調
整できるから、本実施例３においては、実施例２のよう
な、ベースブロックとサブブロックにわけてこれをモー
タによってスライドさせることを不用とする。

【００６０】（３）貯留容器６からシリンダ２９，３０
に液体が速やかに吸入できるよう、貯留容器６内部の空
気をエア制御手段１０によって加圧することができるこ
とから、シリンダへの液体の供給を高速とすることが可
能となり、より高速なタクトタイムで吐出作業を行うこ
とができる。高粘度液体を吐出する場合に効果が大き
い。貯留容器６とシリンダブロック３１とが液送チュー
ブ６４でつながれている。また、バルブブロック３４と
ノズル９とが液送チューブ４０でつながれている。この
ため、貯留容器６と、ポンプ本体とノズル９とを離れた
位置に置くことができる。ポンプ本体が手の届かない場
所に設置しなければならない場合においても、貯留容器
６を手元に設置することができるので、液体がなくなっ
たりして貯留容器６を交換するときに便利である。

【００６１】実施例４ この実施例は、実施例３の装置をＸＹＺロボット（塗布
ロボット）７２に使用する実施例である。ポンプ本体７
０のバルブブロック３４から液送チューブ６４を介して
接続されているノズル９をＸＹＺロボット７２に搭載し
ている。ポンプ本体７０のシリンダブロック３１から
は、液送チューブ６４を介して貯留容器６に接続されて
いる。貯留容器６は、エアチューブ６３を介してエア制
御機能を有する制御部７１に接続される。この制御部７
１は、ポンプ本体の各モータに接続されていてこのモー
タを制御することができる。従来のように貯留容器ごと
ＸＹＺロボットに搭載していたのに比べ、ＸＹＺロボッ
トのヘッドを軽くすることができるので、ノズルとワー
クテーブルとの相対移動を高速にかつ円滑に行うことが
できるので、安定した塗布を行うことができる。

【００６２】この図からわかるとおり、ノズル９、ポン
プ本体７０、制御部７１および貯留容器６が異なる場所
に配置することができるから、制御部７１および貯留容
器６など頻繁に取り扱うものは作業のしやすい場所に配
置することができる。

【００６３】

【発明の効果】このように、ポンプ部とバルブ部を連接
して配設し、かつプランジャロッドがバルブに接合する
面で吸入開始しおよび吐出完了することができるから、
余剰量の液体を圧縮させること無く、つまり必要最低限
の液体を加圧することが可能となり、液体を高い応答性
で制御することができ、従って、高速なタクトで吐出す
ることができる。また、プランジャロッド先端位置が吐
出毎に常に一定であるから、高精度に吐出することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の概略図である。

【図２】実施例２の概略図である。

【図３】実施例３の概略図である。

【図４】実施例４の概略図である。

【符号の説明】

１ モータ ２ ボールネジ ３ プランジャロッド取付板 ４ プランジャロッド ５ シリンダ ６ 貯留容器 ７ ボールバルブ ８ 弁体 ９ ノズル １０ エア制御手段 １１ 制御部 １２ エアチューブＡ １３ エアチューブＢ ２０ モータＡ ２１ ギアＡ ２２ ギアＢ ２３ ボールネジＡ ２４ ボールネジＢ ２５ プランジャロッド取付板Ａ ２６ プランジャロッド取付板Ｂ ２７ プランジャロッドＡ ２８ プランジャロッドＢ ２９ シリンダＡ ３０ シリンダＢ ３１ シリンダブロック ３２ 貯留容器取付口 ３３ 支持アーム ３４ バルブブロック ３５ 押部材 ３６ エアシリンダＡ ３７ エアシリンダＢ ３８ モータＢ ３９ ボールネジＣ ４０ 液送チューブＡ ４１ エアシリンダＢエアチューブ取付口１ ４２ エアシリンダＢエアチューブ取付口２ ４３ エアチューブＣ ４４ エアチューブＤ ４５ エアシリンダＡエアチューブ取付口１ ４６ エアシリンダＢエアチューブ取付口２ ４７ エアチューブＥ ４８ エアチューブＦ ４９ ベースブロック ５０ サブブロック ６０ モータＣ ６１ モータＤ ６２ モータＥ ６３ エアチューブＧ ６４ 液送チューブＢ ７０ ポンプ本体（実施例３のもの） ７１ 制御手段（エア制御手段を含む） ７２ 塗布ロボット（ＸＹＺロボット） ７３ 貯留容器保持台

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プランジャロッドの後退動作により貯留
   容器から液体をシリンダに吸引し、前記プランジャロッ
   ドの進出動作により前記液体をシリンダからノズルに排
   出する液体の定量吐出方法であって、一回の吐出を、プ
   ランジャロッドの一回の吸入動作および一回の排出動作
   で行うことを特徴とする方法。
2. 【請求項２】 一回に吐出する量だけシリンダ内に液体
   を吸引する請求項１の液体の定量吐出方法。
3. 【請求項３】 プランジャロッドの液体吸入開始位置と
   液体排出終了位置を等しくする請求項１または２の液体
   の定量吐出方法。
4. 【請求項４】 プランジャロッドの液体排出終了時にシ
   リンダ内液体残量をほぼ無にする請求項１、２または３
   の液体の定量吐出方法。
5. 【請求項５】 吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開
   始位置を同一の位置に、かつ、吐出毎のプランジャロッ
   ドの液体吸入終了位置を同一の位置にする請求項１〜４
   のいずれかの液体の定量吐出方法。
6. 【請求項６】 吐出毎のプランジャロッドの液体吐出開
   始位置を同一の位置に、かつ、吐出毎のプランジャロッ
   ドの液体吐出終了位置を同一の位置にする請求項１〜５
   のいずれかの液体の定量吐出方法。
7. 【請求項７】 吐出する液体を所望量に計量するポンプ
   部と、吸引および排出の液体流路を切り替えるバルブ部
   と、バルブ部の位置によりポンプ部と連通可能な、液体
   を貯留する貯留部と、液体を吐出する吐出口をそなえる
   吐出部と、による構成において、ポンプ部とバルブ部を
   連接して配設したことを特徴とする液体の定量吐出装
   置。
8. 【請求項８】 上記のバルブ部をボールバルブとした請
   求項７の液体の定量吐出装置。
9. 【請求項９】 プランジャロッドを備えたシリンダが装
   着されたシリンダブロックで上記のポンプ部を構成する
   請求項７の液体の定量吐出装置。
10. 【請求項１０】 上記のバルブ部を、貯留容器に連通す
    る第一孔および吐出部に連通する第二孔とを有するバル
    ブブロックを具える切換弁とした請求項８の液体の定量
    吐出装置。
11. 【請求項１１】 上記の切換弁を、スライド型、一方向
    回転型、または往復動回転型の切換弁とした請求項１０
    の液体の定量吐出装置。
12. 【請求項１２】 シリンダブロックとバルブブロックと
    を密着かつ滑合するように配設することによりポンプ部
    とバルブ部を連接して配設した請求項１０または１１の
    流体の定量吐出装置。
13. 【請求項１３】 貯留容器とバルブ部とを液送管を介し
    て連通すべく構成した請求項７ないし１２のいずれかの
    流体の定量吐出装置。
14. 【請求項１４】 吐出部とバルブ部とを液送管を介して
    連通すべく構成した請求項７ないし１３のいずれかの流
    体の定量吐出装置。
15. 【請求項１５】 貯留容器の液体を加圧する加圧手段を
    具えた請求項７〜１４のいずれかの流体の定量吐出装
    置。
16. 【請求項１６】 圧力を作用させて密着させるスライド
    バルブを有することを特徴とする請求項７〜１５のいず
    れかの液体の定量吐出装置。
17. 【請求項１７】 プランジャロッドを複数としたことを
    特徴とする請求項９〜１６のいずれかの液体の定量吐出
    装置。