JP2001223075A - Organic electroluminescence device and manufacturing method of the same - Google Patents

Organic electroluminescence device and manufacturing method of the same

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JP2001223075A
JP2001223075A JP2000033302A JP2000033302A JP2001223075A JP 2001223075 A JP2001223075 A JP 2001223075A JP 2000033302 A JP2000033302 A JP 2000033302A JP 2000033302 A JP2000033302 A JP 2000033302A JP 2001223075 A JP2001223075 A JP 2001223075A
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dye
organic
layer
electrode
light emitting
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JP2000033302A
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Migaku Tada
琢 多田
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Victor Company of Japan Ltd
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Victor Company of Japan Ltd
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL device and manufacturing method of the same by which respective organic EL elements with their own luminous color can be formed with microscopic pattern and high luminance, suitable for color display, can be obtained. SOLUTION: The organic EL device comprises the first electrode 31R, a pigment translation and diffusion part 33R where the first organic pigment 42R is introduced by translation and diffusion, and the second electrode. The first organic pigment 42R is contained in the first pigment layer 40R and the first organic pigment 42R in the first pigment layer 40R can be translated and diffused to a polymeric luminous layer 32 by heating with a laser beam 50 selectively. Assuming that the first organic pigment 42R is an organic pigment for red, organic pigments for green and blue can also be translated and diffused to the polymeric luminous layer 32 by the heating with the laser beam 50.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、有機エレクトロル
ミネッセンスデバイス(以下、単に有機ELデバイスと
いう。)及びその製造方法に関し、特にカラーディスプ
レイパネルの構築に最適な有機ELデバイス及びその製
造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence device (hereinafter, simply referred to as an organic EL device) and a method of manufacturing the same, and more particularly to an organic EL device most suitable for constructing a color display panel and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、ワードプロセッサやパーソナルコ
ンピュータのディスプレイパネル、携帯電話器やPHS
のディスプレイパネル、車載オーディオのディスプレイ
パネル等として有機ELデバイスが注目されており、特
に低電圧で駆動して高輝度の発光を生じる高性能の有機
ELデバイスの研究開発が行われている。図29及び図
30は特開平7−220871号公報に開示された有機
ELデバイスの断面構造図である。
2. Description of the Related Art Recently, word processors, display panels of personal computers, portable telephones and PHSs have been developed.
2. Description of the Related Art Organic EL devices have been attracting attention as display panels, display panels for in-vehicle audio, and the like. In particular, research and development of high-performance organic EL devices that emit light with high luminance when driven at a low voltage have been conducted. FIGS. 29 and 30 are sectional structural views of the organic EL device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-220871.

【0003】図29に示す有機ELデバイスは、ガラス
基板100と、ガラス基板100の表面上のITO(イ
ンジウム−錫酸化物)透明電極101と、ITO透明電
極101の表面上の有機層102と、有機層102の表
面上の金属電極103とを備えている。ITO透明電極
101は陽極(アノード電極)として使用され、金属電
極103は陰極(カソード電極)として使用されてい
る。金属電極103にはリチウムやマグネシウムのよう
な仕事関数の小さい金属又はその合金で形成されてい
る。有機層102は、高分子材料、低分子材料、金属錯
体等で形成されており、溶液からの塗布や真空蒸着等に
より形成されている。図29に示す有機ELデバイスの
有機層102は単一層であり、ITO透明電極101と
金属電極103との間に電圧を印加することにより有機
層102から発せられる光はITO透明電極101、ガ
ラス基板100のそれぞれを通して出射させることがで
きる。
The organic EL device shown in FIG. 29 comprises a glass substrate 100, an ITO (indium-tin oxide) transparent electrode 101 on the surface of the glass substrate 100, an organic layer 102 on the surface of the ITO transparent electrode 101, And a metal electrode 103 on the surface of the organic layer 102. The ITO transparent electrode 101 is used as an anode (anode electrode), and the metal electrode 103 is used as a cathode (cathode electrode). The metal electrode 103 is formed of a metal having a small work function, such as lithium or magnesium, or an alloy thereof. The organic layer 102 is formed of a polymer material, a low-molecular material, a metal complex, or the like, and is formed by application from a solution, vacuum deposition, or the like. The organic layer 102 of the organic EL device shown in FIG. 29 is a single layer, and light emitted from the organic layer 102 when a voltage is applied between the ITO transparent electrode 101 and the metal electrode 103 emits light from the ITO transparent electrode 101 and the glass substrate. 100 can be emitted.

【0004】一方、図30に示す有機ELデバイスにお
いては、ガラス基板100の表面上のITO透明電極1
01と金属電極103との間の有機層102が正孔輸送
層102Hと電子輸送層102Eとで構成されている。
ITO透明電極101と金属電極103との間に所定の
電圧を印加することにより、ITO透明電極101から
正孔輸送層102Hには正孔が注入され、金属電極10
3から電子輸送層102Eには電子が注入される。正孔
輸送層102Hに注入された正孔は正孔輸送層102H
中を移動し、この正孔は電子輸送層102Eに再度注入
される。電子輸送層102Eは発光層を兼ねており、金
属電極103から電子輸送層102Eに注入された電子
は、この電子輸送層102Eを移動し、正孔輸送層10
2Hには注入されない。電子輸送層102Eすなわち発
光層に注入された正孔は発光層中を殆ど移動することが
ないので、この正孔と発光層を移動してきた電子とは発
光層の正孔輸送層102Hとの界面近傍において結合
し、発光が生じる。この有機層102の内部で発せられ
る光は、図29に示す有機ELデバイスと同様に、IT
O透明電極101、ガラス基板100のそれぞれを通し
て出射させることができる。
On the other hand, in the organic EL device shown in FIG.
The organic layer 102 between the first electrode 01 and the metal electrode 103 is composed of a hole transport layer 102H and an electron transport layer 102E.
By applying a predetermined voltage between the ITO transparent electrode 101 and the metal electrode 103, holes are injected from the ITO transparent electrode 101 into the hole transport layer 102H, and the metal electrode 10
From 3, electrons are injected into the electron transport layer 102 </ b> E. The holes injected into the hole transport layer 102H are
The electrons move inside, and the holes are injected again into the electron transport layer 102E. The electron transporting layer 102E also serves as a light emitting layer, and electrons injected from the metal electrode 103 into the electron transporting layer 102E move through the electron transporting layer 102E to form the hole transporting layer 10E.
Not injected into 2H. Since holes injected into the electron transport layer 102E, that is, the holes injected into the light-emitting layer hardly move in the light-emitting layer, the holes and the electrons that have moved through the light-emitting layer form an interface between the hole-transport layer 102H and the light-emitting layer. Coupling occurs in the vicinity, and light emission occurs. The light emitted inside the organic layer 102 is generated by the IT like the organic EL device shown in FIG.
Light can be emitted through each of the O transparent electrode 101 and the glass substrate 100.

【0005】この種の有機ELデバイスから出射される
光の色は、発光層の発光色によって決まり、モノカラー
(単色)である。
[0005] The color of light emitted from this type of organic EL device is determined by the color of light emitted from the light emitting layer, and is monochromatic (monochromatic).

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
有機ELデバイス並びにその製造方法においては、以下
の点について配慮がなされていなかった。
However, in the above-mentioned organic EL device and its manufacturing method, the following points have not been considered.

【0007】有機ELデバイスの外部にフルカラーディ
スプレイとして光を取り出すには、赤色、緑色、青色の
各色を発光させる3種類の微細な有機EL素子を1つの
画素(ピクセル)として形成する必要がある。有機EL
素子は、耐水性並びに耐溶剤性を備えていないので、フ
ォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によるパター
ンニングを行うことができず、通常、真空蒸着法や塗布
法を利用して製造されている。ところが、例えば真空蒸
着法においては、蒸着マスクとガラス基板との間を非接
触でかつ隙間ができないように配置する必要がある。ま
た、蒸着マスク自体の機械的強度を確保する上で、蒸着
マスクには適度な厚さが必要になる。このため、有機E
L素子に対応する微細な開口パターンを蒸着マスクに形
成することが難しい。さらに、ガラス基板と蒸着マスク
との間のアライメントを高精度で行う必要がある。従っ
て、真空蒸着法において、有機EL素子の微細化は極め
て困難であった。
In order to extract light as a full-color display outside the organic EL device, it is necessary to form three types of fine organic EL elements that emit red, green, and blue light as one pixel. Organic EL
Since the element does not have water resistance and solvent resistance, it cannot be patterned by photolithography and etching, and is usually manufactured using a vacuum evaporation method or a coating method. However, for example, in a vacuum vapor deposition method, it is necessary to arrange the vapor deposition mask and the glass substrate in a non-contact manner and without any gap. Further, in order to secure the mechanical strength of the evaporation mask itself, the evaporation mask needs to have an appropriate thickness. Therefore, organic E
It is difficult to form a fine opening pattern corresponding to the L element on the evaporation mask. Further, it is necessary to perform the alignment between the glass substrate and the deposition mask with high accuracy. Therefore, miniaturization of the organic EL element has been extremely difficult in the vacuum deposition method.

【0008】さらに、真空蒸着法においては、各色の発
光を行う有機EL素子を形成する毎に、ガラス基板と蒸
着マスクとのアライメントを行う必要がある。また、蒸
着マスクを各色毎に取り替える際に、真空容器の内部の
減圧や大気解放を行う必要がある。このため、有機EL
デバイスの生産性は極めて劣るものであった。
Further, in the vacuum vapor deposition method, it is necessary to align the glass substrate and the vapor deposition mask every time an organic EL element which emits light of each color is formed. Further, when replacing the vapor deposition mask for each color, it is necessary to decompress the inside of the vacuum vessel and release it to the atmosphere. Therefore, organic EL
The productivity of the device was very poor.

【0009】一方、塗布法においては、各色の有機EL
素子を製造する上で、各色の有機EL素子を形成する有
機材料が互いに混じり合わないように、素子間にバンク
(畔、堤防等の機能を有する部材)を予め形成しておく
必要がある。さらに、各色の有機材料をバンク内に注入
する毎に長時間の低温ベーキングの必要がある。このた
め、有機ELデバイスの生産性は極めて劣るものであっ
た。
On the other hand, in the coating method, the organic EL of each color is used.
In manufacturing the elements, it is necessary to previously form a bank (a member having a function such as a bank or a bank) between the elements so that the organic materials forming the organic EL elements of each color do not mix with each other. Further, each time the organic material of each color is injected into the bank, long-time low-temperature baking is required. Therefore, the productivity of the organic EL device has been extremely poor.

【0010】このような技術的課題を解決するために、
可視光領域をなるべく広くカバーして白色光を発するよ
うに、少なくとも1種もしくは数種の色素を高分子中に
分散させて白色発光層を形成し、この白色発光層とカラ
ーフィルタとを組合せて任意の発光色を取り出すように
した有機ELデバイスが提案されている。このような有
機ELデバイスにおいては、発光層自体に微細なパター
ンは必要なく、カラーフィルタの赤色、緑色、青色の各
色フィルタを微細なパターンで形成することにより、微
細な画素の配列を構築することができるなどの特徴があ
る。
In order to solve such a technical problem,
A white light-emitting layer is formed by dispersing at least one kind or several kinds of dyes in a polymer so as to emit white light while covering the visible light region as widely as possible, and combining this white light-emitting layer and a color filter. 2. Description of the Related Art An organic EL device designed to extract an arbitrary emission color has been proposed. In such an organic EL device, a fine pattern is not required for the light emitting layer itself, and a red, green, and blue color filter of a color filter is formed in a fine pattern to form a fine pixel array. There are features such as can be.

【0011】しかしながら、有機ELデバイスの発光層
は単色発光において高効率を得ることができるが、広範
囲のスペクトルの発光において高効率を得ることは極め
て難しく、発光層から出射される光の大半がカラーフィ
ルタで吸収されてしまうために、実用的な輝度において
各発光色を得ることができなかった。従って、現在のと
ころ、有機ELデバイスを利用した実用的なカラーディ
スプレイパネルを製作することが難しかった。
However, the light emitting layer of the organic EL device can obtain high efficiency in monochromatic light emission, but it is extremely difficult to obtain high efficiency in light emission of a wide spectrum, and most of the light emitted from the light emitting layer is colored. Each light emission color could not be obtained at practical luminance because the light was absorbed by the filter. Therefore, it has been difficult at present to produce a practical color display panel using an organic EL device.

【0012】さらに、この種の有機ELデバイスにおい
ては、別途カラーフィルタを必要とするために、カラー
ディスプレイパネルの製造コスト並びに製品コストを増
大させてしまうという不具合があった。
Further, in this type of organic EL device, a color filter is separately required, which causes a problem that the manufacturing cost and the product cost of the color display panel are increased.

【0013】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものである。従って、本発明の目的は、各発光色の有
機EL素子を微細なパターンで形成することができ、か
つ各発光色の有機EL素子においてカラー表示に好適な
高輝度を得ることができる有機ELデバイス並びにその
製造方法を提供することである。
The present invention has been made to solve the above problems. Therefore, an object of the present invention is to provide an organic EL device capable of forming an organic EL element of each emission color in a fine pattern and obtaining a high luminance suitable for color display in the organic EL element of each emission color. And a method for producing the same.

【0014】さらに、本発明の目的は、製品コストを減
少することができる有機ELデバイス並びにその製造方
法を提供することである。
It is a further object of the present invention to provide an organic EL device capable of reducing product cost and a method for manufacturing the same.

【0015】さらに、本発明の目的は、各発光色の有機
EL素子を微細なパターンで形成することができ、かつ
微細なパターンの有機EL素子を簡易に製造することが
できる有機ELデバイスの製造方法を提供することであ
る。
Further, an object of the present invention is to manufacture an organic EL device capable of forming an organic EL element of each emission color in a fine pattern and easily manufacturing an organic EL element of a fine pattern. Is to provide a way.

【0016】さらに、本発明の目的は、製造上の歩留ま
りを向上することができる有機ELデバイスの製造方法
を提供することである。
It is a further object of the present invention to provide a method of manufacturing an organic EL device which can improve the yield in manufacturing.

【0017】さらに、本発明の目的は、生産コストを減
少することができる有機ELデバイスの製造方法を提供
することである。
It is a further object of the present invention to provide a method for manufacturing an organic EL device which can reduce the production cost.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第1の特徴は、基板上に第1の電極を形成
する工程と、第1の電極上に高分子発光層を形成する工
程と、高分子発光層上に有機色素を含む色素層を形成す
る工程と、第1の電極に対応した領域において、色素層
の有機色素を高分子発光層に移行拡散させて色素移行拡
散部を形成する工程と、色素層を除去する工程と、色素
移行拡散部上に第2の電極を形成する工程とを備えた有
機ELデバイスの製造方法としたことである。
In order to solve the above-mentioned problems, a first feature of the present invention is a step of forming a first electrode on a substrate and a step of forming a polymer light-emitting layer on the first electrode. Forming, forming a dye layer containing an organic dye on the polymer light emitting layer, and transferring and diffusing the organic dye of the dye layer to the polymer light emitting layer in a region corresponding to the first electrode. A method for manufacturing an organic EL device includes a step of forming a diffusion section, a step of removing a dye layer, and a step of forming a second electrode on the dye transfer diffusion section.

【0019】本発明の第1の特徴に係る有機ELデバイ
スの製造方法においては、色素層から高分子発光層に微
細なパターンで有機色素を移行拡散させた色素移行拡散
部を形成することができる。例えば、色素移行拡散部に
は、数μm〜数十μm程度の微細なパターンにおいて、
有機色素を移行拡散させることができる。さらに、色素
移行拡散部間においては有機色素相互の混色が生じない
ので、従来のような有機EL素子間のバンクを必要とせ
ず、色素移行拡散部間(例えば有機EL素子間)の離間
距離を縮小することができる。従って、数種類の色の有
機色素を使用することにより、各発光色の有機EL素子
を微細なパターンで容易に形成することができるので、
微細な画素を有する有機ELデバイスを製造することが
できる。さらに、色素移行拡散部は高分子発光層に、直
接、有機色素を移行拡散させることで形成することがで
きるので、色素移行拡散部の表面状態には変化がなく、
光学特性が維持され、カラー表示に好適な高輝度の有機
ELデバイスを製造することができる。さらに、高分子
発光層に、直接、有機色素を移行拡散させて色素移行拡
散部を形成することにより、従来のようなカラーフィル
タを必要としないことから、部品点数を削減することが
でき、有機ELデバイスの製造コストを減少することが
できる。そして、有機ELデバイスの製造コストを減少
することができる結果、有機ELデバイスの製品コスト
を減少することができる。
In the method for manufacturing an organic EL device according to the first aspect of the present invention, it is possible to form a dye transfer diffusion portion in which an organic dye is transferred and diffused in a fine pattern from the dye layer to the polymer light emitting layer. . For example, in a fine pattern of about several μm to several tens μm,
Organic dyes can be transferred and diffused. Further, since color mixing between the organic dyes does not occur between the dye transfer / diffusion portions, a bank between the organic EL devices as in the related art is not required, and the separation distance between the dye transfer / diffusion portions (for example, between the organic EL devices) is reduced. Can be reduced. Therefore, by using organic dyes of several colors, organic EL elements of each emission color can be easily formed in a fine pattern.
An organic EL device having fine pixels can be manufactured. Further, since the dye transfer diffusion portion can be formed by directly transferring and diffusing an organic dye to the polymer light emitting layer, the surface state of the dye transfer diffusion portion does not change,
It is possible to manufacture an organic EL device having high luminance, which maintains optical characteristics and is suitable for color display. Furthermore, by directly transferring and diffusing an organic dye to the polymer light emitting layer to form a dye transfer / diffusion portion, a conventional color filter is not required, so that the number of parts can be reduced, and The manufacturing cost of the EL device can be reduced. As a result, the manufacturing cost of the organic EL device can be reduced, so that the product cost of the organic EL device can be reduced.

【0020】さらに、本発明の第1の特徴に係る有機E
Lデバイスの製造方法においては、高分子発光層及び色
素層を形成する製造プロセスと、色素層の有機色素を高
分子発光層に移行拡散させる製造プロセスとのそれぞれ
を別々の独立した製造プロセスによって形成することが
できる。高分子発光層の製造プロセスにおいては膜厚の
均一性、膜のピンホールフリー性、無瑕疵性等を独立に
管理し、色素層の製造プロセスにおいては膜厚の均一
性、有機色素の濃度、無瑕疵性等を独立に管理し、さら
に有機色素を移行拡散させる製造プロセスにおいては移
行拡散条件(例えば温度や時間等)、アライメント精度
等を独立に管理することができるので、それぞれの製造
プロセスの最適化を図ることができ、完成度の高い品質
の良好な高分子発光層、色素層並びに色素移行拡散部を
形成することができる。有機ELデバイスは、このよう
な別々の独立した製造プロセスによって形成された高分
子発光層上に色素層を形成し、この色素層に含まれる有
機色素を第1の電極の領域に対応させて高分子発光層に
移行拡散させるだけで微細なパターンで所定の発光色を
有する色素移行拡散部(有機EL素子)を簡易に製造す
ることができる。
Furthermore, the organic E according to the first feature of the present invention
In the manufacturing method of the L device, the manufacturing process of forming the polymer light emitting layer and the dye layer and the manufacturing process of transferring and diffusing the organic dye of the dye layer into the polymer light emitting layer are formed by separate independent manufacturing processes. can do. In the manufacturing process of the polymer light emitting layer, the uniformity of film thickness, pinhole-free property of the film, no defect, etc. are independently controlled, and in the manufacturing process of the dye layer, the uniformity of film thickness, the concentration of organic dye, In a manufacturing process in which defect-freeness and the like are independently managed and an organic dye is migrated and diffused, migration diffusion conditions (for example, temperature and time), alignment accuracy, and the like can be independently managed. Optimization can be achieved, and a high-quality polymer light-emitting layer, a dye layer, and a dye transfer / diffusion portion with high quality can be formed. The organic EL device forms a dye layer on the polymer light emitting layer formed by such separate and independent manufacturing processes, and the organic dye contained in the dye layer corresponds to the region of the first electrode. A dye transfer diffusion portion (organic EL device) having a predetermined emission color in a fine pattern can be easily manufactured only by transferring and diffusing it to the molecular light emitting layer.

【0021】本発明の第2の特徴は、本発明の第1の特
徴に係る有機ELデバイスの製造方法の色素移行拡散部
を形成する工程を、第1の電極に対応する領域におい
て、色素層を少なくとも加熱することにより、色素層の
有機色素を高分子発光層に移行拡散させて色素移行拡散
部を形成する工程としたことである。
According to a second feature of the present invention, the step of forming the dye transfer diffusion portion in the method for manufacturing an organic EL device according to the first feature of the present invention is performed by: Is heated at least to transfer and diffuse the organic dye in the dye layer into the polymer light emitting layer to form a dye transfer diffusion portion.

【0022】本発明の第2の特徴に係る有機ELデバイ
スの製造方法においては、少なくとも色素層、好ましく
は色素層及び高分子発光層の加熱された部分にほぼ対応
する領域(第1の電極に対応する領域)にのみ選択的に
色素層から高分子発光層に有機色素を移行拡散させて色
素移行拡散部を形成することができる。すなわち、加熱
する領域を微細なパターンに設定することにより、微細
なパターンの所定の発光色を有する有機EL素子を形成
することができる。さらに、加熱するだけで第1の電極
に対応した領域において高分子発光層に有機色素を移行
拡散させることができるので、従来のような真空蒸着法
や塗布法を使用する必要がなく、またフォトリソグラフ
ィ技術やエッチング技術を使用する必要がないので、製
造プロセスの工程数をより一層削減することができる有
機ELデバイスの製造方法を実現することができる。さ
らに、色素層から高分子発光層に有機色素を移行拡散さ
せる工程は乾式により所定のガス雰囲気中例えば不活性
ガス雰囲気中において行うことができるので、所定の発
光色を有する有機EL素子を簡易に製造することができ
る有機ELデバイスの製造方法を実現することができ
る。
In the method for manufacturing an organic EL device according to the second aspect of the present invention, at least a region substantially corresponding to a heated portion of the dye layer, preferably the dye layer and the polymer light emitting layer (the first electrode is formed by The organic dye can be selectively transferred and diffused from the dye layer to the polymer light emitting layer only in the corresponding region) to form a dye transfer diffusion portion. That is, by setting the region to be heated in a fine pattern, an organic EL element having a predetermined pattern and a predetermined emission color can be formed. Further, since the organic dye can be transferred and diffused into the polymer light emitting layer in the region corresponding to the first electrode only by heating, it is not necessary to use a vacuum deposition method or a coating method as in the related art. Since it is not necessary to use a lithography technique or an etching technique, a method of manufacturing an organic EL device that can further reduce the number of steps in a manufacturing process can be realized. Further, the step of transferring and diffusing the organic dye from the dye layer to the polymer light emitting layer can be performed in a predetermined gas atmosphere, for example, in an inert gas atmosphere by a dry method. A method for manufacturing an organic EL device that can be manufactured can be realized.

【0023】本発明の第3の特徴は、本発明の第2の特
徴に係る有機ELデバイスの製造方法の色素層の加熱を
レーザ光で行ったことである。
A third feature of the present invention is that the dye layer is heated with a laser beam in the method for manufacturing an organic EL device according to the second feature of the present invention.

【0024】本発明の第3の特徴に係る有機ELデバイ
スの製造方法においては、照射エネルギ分布を均一化す
ることができ、色素移行拡散部とその周囲との間の境界
を比較的明瞭にすることができるので、微細なパターン
の有機EL素子を形成することができる。
In the method for manufacturing an organic EL device according to the third aspect of the present invention, the irradiation energy distribution can be made uniform, and the boundary between the dye transfer diffusion portion and the periphery thereof can be made relatively clear. Therefore, an organic EL element having a fine pattern can be formed.

【0025】本発明の第4の特徴は、本発明の第3の特
徴に係る有機ELデバイスの製造方法において、色素層
上にレーザ光の透過、不透過に閾値を有するマスク層を
形成する工程をさらに備え、色素移行拡散部を形成する
工程を、第1の電極に対応する領域において、マスク層
を透過させたレーザ光で色素層を加熱することにより、
色素層の有機色素を高分子発光層に移行拡散させて色素
移行拡散部を形成する工程としたことである。ここで、
「マスク層」とは、照射エネルギが閾値以上の場合には
レーザ光を透過することができ、閾値以下の場合はレー
ザ光を透過させないマスク層という意味で使用される。
この「マスク層」には、例えばサーモクロミック層、フ
ォトクロミック層等を実用的に使用することができる。
A fourth feature of the present invention is that, in the method for manufacturing an organic EL device according to the third feature of the present invention, a step of forming a mask layer having a threshold value on laser light transmission and non-transmission on the dye layer. Further comprising the step of forming a dye transfer diffusion portion, by heating the dye layer with a laser beam transmitted through the mask layer in a region corresponding to the first electrode,
That is, the organic dye of the dye layer is transferred and diffused into the polymer light emitting layer to form a dye transfer diffusion portion. here,
The “mask layer” is used to mean a mask layer that can transmit a laser beam when the irradiation energy is equal to or higher than a threshold, and does not transmit a laser beam when the irradiation energy is equal to or lower than the threshold.
As the “mask layer”, for example, a thermochromic layer, a photochromic layer, or the like can be practically used.

【0026】本発明の第4の特徴に係る有機ELデバイ
スの製造方法においては、照射エネルギが閾値に満たな
いレーザ光、特に色素移行拡散部(例えば有機EL素
子)の周囲の領域の不必要なレーザ光を取り除き、色素
移行拡散部とその周囲との間の境界をより一層明瞭にす
ることができるので、微細なパターンの有機EL素子を
形成することができる。さらに、レーザ光を色素層に照
射したことで発生する昇華、突沸等による、色素移行拡
散部以外の領域の汚染を防止することができる。
In the method of manufacturing an organic EL device according to the fourth aspect of the present invention, laser light whose irradiation energy is less than a threshold value, in particular, unnecessary regions in a region around a dye transfer diffusion portion (for example, an organic EL device). Since the laser beam is removed and the boundary between the dye transfer diffusion portion and its surroundings can be made clearer, an organic EL element having a fine pattern can be formed. Further, it is possible to prevent contamination of a region other than the dye transfer / diffusion portion due to sublimation, bumping, and the like generated by irradiating the dye layer with the laser light.

【0027】本発明の第5の特徴は、本発明の第2の特
徴に係る有機ELデバイスの製造方法の色素層の加熱
を、加圧を伴うサーマルヘッドで行ったことである。こ
こで、「サーマルヘッド」には第1の電極に対応する発
熱体を備えることが好ましい。
A fifth feature of the present invention is that the heating of the dye layer in the method for manufacturing an organic EL device according to the second feature of the present invention is performed by a thermal head accompanied by pressurization. Here, it is preferable that the “thermal head” includes a heating element corresponding to the first electrode.

【0028】本発明の第5の特徴に係る有機ELデバイ
スの製造方法においては、本発明の第2の特徴に係る有
機ELデバイスの製造方法で得られる効果と同様の効果
をサーマルヘッドの使用により簡易に実現することがで
きる。すなわち、サーマルヘッドの発熱体のサイズに対
応して微細なパターンの有機EL素子を簡易に形成する
ことができる。
In the method for manufacturing an organic EL device according to the fifth aspect of the present invention, the same effect as that obtained by the method for manufacturing an organic EL device according to the second aspect of the present invention is obtained by using a thermal head. It can be easily realized. That is, an organic EL element having a fine pattern corresponding to the size of the heating element of the thermal head can be easily formed.

【0029】本発明の第6の特徴は、本発明の第5の特
徴に係る有機ELデバイスの製造方法の色素層上に、色
素層の有機色素の拡散を防ぐフィルムを形成する工程を
さらに備え、色素移行拡散部を形成する工程を、第1の
電極に対応する領域において、色素層をフィルムを介在
させてサーマルヘッドにより加圧及び加熱することによ
り、色素層の有機色素を高分子発光層に移行拡散させて
色素移行拡散部を形成する工程としたことである。ここ
で、「フィルム」とは、サーマルヘッドで色素層を加熱
した際に、色素層の有機色素がサーマルヘッド側に拡散
されるよりも前に高分子発光層側に移行拡散させること
ができるフィルムという意味で使用される。例えば、こ
の「フィルム」には、高分子発光層のガラス転移温度よ
りも高いガラス転移温度を有する樹脂フィルムを実用的
に使用することができる。
A sixth feature of the present invention is that the method for manufacturing an organic EL device according to the fifth feature of the present invention further comprises a step of forming a film on the dye layer to prevent diffusion of the organic dye in the dye layer. The step of forming a dye transfer / diffusion portion is performed by pressing and heating a dye layer with a thermal head with a film interposed in a region corresponding to the first electrode, so that the organic dye of the dye layer is To form a dye transfer / diffusion section by transfer / diffusion. Here, the `` film '' is a film which, when the dye layer is heated by the thermal head, can be transferred and diffused to the polymer light emitting layer side before the organic dye of the dye layer is diffused to the thermal head side. Used in the sense. For example, a resin film having a glass transition temperature higher than the glass transition temperature of the polymer light emitting layer can be practically used for the “film”.

【0030】本発明の第6の特徴に係る有機ELデバイ
スの製造方法においては、色素層からの有機色素の拡散
等をフィルムで防止することができるので、サーマルヘ
ッドの汚れや劣化を防止して、メンテナンス作業労力を
減少することができる。
In the method for manufacturing an organic EL device according to the sixth aspect of the present invention, the diffusion and the like of the organic dye from the dye layer can be prevented by the film. In addition, maintenance work can be reduced.

【0031】本発明の第7の特徴は、基板上に互いに隣
接した複数の第1の電極を形成する工程と、複数の第1
の電極上に高分子発光層を形成する工程と、高分子発光
層上に第1の有機色素を含む第1の色素層を形成し、第
1の領域の第1の電極に対応した領域において第1の色
素層の第1の有機色素を高分子発光層に移行拡散させて
第1の色素移行拡散部を形成する工程と、第1の色素層
を除去する工程と、高分子発光層上に第2の有機色素を
含む第2の色素層を形成し、第2の領域の第1の電極に
対応した領域において第2の色素層の第2の有機色素を
高分子発光層に移行拡散させて第2の色素移行拡散部を
形成する工程と、第2の色素層を除去する工程と、高分
子発光層上に第3の有機色素を含む第3の色素層を形成
し、第3の領域の第1の電極に対応した領域において第
3の色素層の第3の有機色素を高分子発光層に移行拡散
させて第3の色素移行拡散部を形成する工程と、第3の
色素層を除去する工程と、第1、第2及び第3の色素移
行拡散部上に各色に共通な第2の電極を形成する工程と
を備えた有機EL素子の製造方法としたことである。
A seventh feature of the present invention is that a step of forming a plurality of first electrodes adjacent to each other on a substrate;
Forming a polymer light-emitting layer on the electrode, and forming a first dye layer containing a first organic dye on the polymer light-emitting layer, and forming a first dye layer in a region corresponding to the first electrode in the first region. Forming a first dye transfer diffusion portion by transferring and diffusing the first organic dye of the first dye layer into the polymer light emitting layer; removing the first dye layer; Forming a second dye layer containing a second organic dye, and transferring and diffusing the second organic dye of the second dye layer to the polymer light emitting layer in a region corresponding to the first electrode in the second region. Forming a second dye transfer diffusion section, removing the second dye layer, forming a third dye layer containing a third organic dye on the polymer light emitting layer, The third organic dye in the third dye layer is transferred to and diffused in the polymer light-emitting layer in the region corresponding to the first electrode in the region of the third dye. Forming a row diffusion, removing the third dye layer, and forming a second electrode common to each color on the first, second and third dye transfer diffusions. And a method of manufacturing an organic EL device.

【0032】ここで、「第1の有機色素、第2の有機色
素及び第3の有機色素」とは、光三原色のそれぞれの基
本色を有する有機色素を意味する表現として使用され
る。光三原色は赤、緑、青であり、例えば「第1の有機
色素」は赤色の有機色素、「第2の有機色素」は緑色の
有機色素、「第3の有機色素」は青色の有機色素であ
る。従って、例えば「第1の有機層」は赤色の有機色素
を含む色素層、「第2の有機層」は緑色の有機色素を含
む色素層、「第3の有機層」は青色の有機色素を含む色
素層である。また、例えば「第1の領域」は赤色を発光
する色素移行拡散部(有機EL素子)の配置領域、「第
2の領域」は緑色を発光する色素移行拡散部の配置領
域、「第3の領域」は青色を発光する色素移行拡散部の
配置領域である。
Here, the terms "first organic dye, second organic dye and third organic dye" are used as expressions meaning organic dyes having the three primary colors of light. The three primary colors are red, green, and blue. For example, the “first organic dye” is a red organic dye, the “second organic dye” is a green organic dye, and the “third organic dye” is a blue organic dye. It is. Therefore, for example, the “first organic layer” is a dye layer containing a red organic dye, the “second organic layer” is a dye layer containing a green organic dye, and the “third organic layer” is a blue organic dye. It is a dye layer containing. Further, for example, a “first region” is a region where a dye transfer diffusion unit (organic EL element) that emits red light is disposed, a “second region” is a region where a dye transfer diffusion unit that emits green light is disposed, and the “third region” is a third region. The “region” is a region where the dye transfer diffusion portion that emits blue light is arranged.

【0033】本発明の第7の特徴に係る有機ELデバイ
スの製造方法においては、本発明の第1の特徴に係る有
機ELデバイスの製造方法で得られる効果に加えて、互
いに異なる色の複数の色素移行拡散部を備えることがで
きるので、複数の発光色の有機EL素子を形成すること
ができ、カラーディスプレイパネルの構築に最適な有機
ELデバイスを製造することができる。
In the method for manufacturing an organic EL device according to the seventh aspect of the present invention, in addition to the effects obtained by the method for manufacturing an organic EL device according to the first aspect of the present invention, a plurality of colors having different colors are provided. Since the dye transfer / diffusion portion can be provided, organic EL elements of a plurality of emission colors can be formed, and an organic EL device most suitable for constructing a color display panel can be manufactured.

【0034】本発明の第8の特徴は、本発明の第1の特
徴乃至第7の特徴に係るいずれかの有機ELデバイスの
製造方法を用いて、基板上の第1の電極と、第1の電極
上の高分子発光層と、第1の電極上において、高分子発
光層に有機色素を移行拡散させた色素移行拡散部と、色
素移行拡散部上の第2の電極とを形成した有機ELデバ
イスとしたことである。
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an organic EL device according to any one of the first to seventh aspects of the present invention, wherein the first electrode on the substrate and the first An organic light-emitting layer formed on the first electrode, a dye transfer diffusion portion formed by transferring and diffusing an organic dye to the polymer light-emitting layer, and a second electrode formed on the dye transfer diffusion portion on the first electrode. This is an EL device.

【0035】本発明の第8の特徴に係る有機ELデバイ
スにおいては、本発明の第1の特徴に係る有機ELデバ
イスの製造方法と同様に、微細なパターンで有機色素を
導入した色素移行拡散部(例えば有機EL素子)を備え
ることができ、さらに色素移行拡散部間には従来のよう
なバンクを必要としないので、色素移行拡散部間の離間
距離を縮小することができる。従って、微細な画素を有
する有機ELデバイスを実現することができる。さら
に、カラー表示に好適な高輝度の有機ELデバイスを実
現することができる。さらに、従来のようなカラーフィ
ルタを必要としないことから、部品点数を削減すること
ができ、簡易な構造の有機ELデバイスを実現すること
ができる。さらに、部品点数を削減することができるこ
とから、製品コストの安価な有機ELデバイスを提供す
ることができる。
In the organic EL device according to the eighth aspect of the present invention, similarly to the method for manufacturing an organic EL device according to the first aspect of the present invention, a dye transfer / diffusion section in which an organic dye is introduced in a fine pattern. (For example, an organic EL element), and a conventional bank is not required between the dye transfer / diffusion portions, so that the separation distance between the dye transfer / diffusion portions can be reduced. Therefore, an organic EL device having fine pixels can be realized. Furthermore, a high-luminance organic EL device suitable for color display can be realized. Further, since a conventional color filter is not required, the number of components can be reduced, and an organic EL device having a simple structure can be realized. Furthermore, since the number of parts can be reduced, an organic EL device with low product cost can be provided.

【0036】[0036]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0037】(第1の実施の形態)本発明の第1の実施
の形態は、色素層の有機色素をレーザ光の照射による加
熱で高分子発光層に移行拡散させた有機ELデバイス及
びその製造方法を説明するものである。
(First Embodiment) A first embodiment of the present invention relates to an organic EL device in which an organic dye in a dye layer is transferred and diffused into a polymer light emitting layer by heating by irradiation with a laser beam, and its manufacture. The method is explained.

【0038】デバイス構造:図1は本発明の第1の実施
の形態に係る有機ELデバイスの断面構造図である。図
1に示すように、本発明の第1の実施の形態に係る有機
ELデバイス1は、基板2上に互いに隣接配置された複
数の第1の電極31R、31G、31Bと、第1の電極
31R、31G、31B上にそれぞれ形成され、第1の
電極31R、31G、31Bにそれぞれ対応した領域に
おいて互いに異なる色の有機色素が外部から選択的に供
給されて移行拡散により導入された複数の色素移行拡散
部33R、33G、33Bと、色素移行拡散部33R、
33G、33B上の共通の第2の電極34とを備えて構
築されている。本発明の第1の実施の形態に係る有機E
Lデバイス1において、色素移行拡散部33Rは赤色の
発光を行う有機EL素子30Rとして形成され、色素移
行拡散部33Gは緑色の発光を行う有機EL素子30G
として形成され、さらに色素移行拡散部33Bは青色の
発光を行う有機EL素子30Bとして形成されている。
これらの赤色、緑色、青色の各発光を行う合計3個の有
機EL素子30R、30G及び30Bは1つのカラー表
示を行う画素(ピクセル)3を構成するようになってい
る。この有機ELデバイス1は例えばカラーディスプレ
イパネルを構築するようになっている。
Device Structure: FIG. 1 is a sectional structural view of an organic EL device according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, an organic EL device 1 according to a first embodiment of the present invention includes a plurality of first electrodes 31R, 31G, and 31B arranged adjacent to each other on a substrate 2; A plurality of dyes formed on the bases 31R, 31G, 31B, respectively, and organic dyes of different colors are selectively supplied from the outside in regions corresponding to the first electrodes 31R, 31G, 31B and introduced by migration diffusion. Migration diffusion parts 33R, 33G, 33B, and dye migration diffusion parts 33R,
And a common second electrode 34 on 33G and 33B. Organic E according to the first embodiment of the present invention
In the L device 1, the dye transfer diffusion unit 33R is formed as an organic EL element 30R that emits red light, and the dye transfer diffusion unit 33G is an organic EL element 30G that emits green light.
The dye transfer / diffusion portion 33B is formed as an organic EL element 30B that emits blue light.
A total of three organic EL elements 30R, 30G, and 30B that emit red, green, and blue light, respectively, constitute a pixel 3 that performs one color display. The organic EL device 1 is configured to construct, for example, a color display panel.

【0039】基板2は複数の画素3をマトリックス状又
は千鳥状に配列するカラーディスプレイパネルの基台と
して形成されている。この基板2には、画素3の有機E
L素子30R、30G、30Bのそれぞれからの各色の
出射光を取り出すために、例えば石英ガラス基板等の透
明ガラス基板を実用的に使用することができる。基板2
は本発明に係る「基板」の一具体例に対応するものであ
る。
The substrate 2 is formed as a base of a color display panel in which a plurality of pixels 3 are arranged in a matrix or in a staggered manner. The substrate 2 includes the organic E of the pixel 3.
In order to extract emitted light of each color from each of the L elements 30R, 30G, and 30B, a transparent glass substrate such as a quartz glass substrate can be practically used. Substrate 2
Corresponds to a specific example of the “substrate” according to the present invention.

【0040】第1の電極31Rは赤色の発光を行う有機
EL素子30Rの陽極(アノード電極)として形成さ
れ、同様に、第1の電極31Gは緑色の発光を行う有機
EL素子30Gの陽極として形成され、第1の電極31
Bは青色の発光を行う有機EL素子30Bの陽極として
形成されている。一方、第2の電極34はこの有機EL
素子30R、30G、30Bのそれぞれに共通な陰極
(カソード電極)として形成されている。
The first electrode 31R is formed as an anode (anode electrode) of the organic EL element 30R that emits red light, and similarly, the first electrode 31G is formed as an anode of the organic EL element 30G that emits green light. And the first electrode 31
B is formed as an anode of the organic EL element 30B that emits blue light. On the other hand, the second electrode 34 is formed of the organic EL.
Each of the elements 30R, 30G, and 30B is formed as a common cathode (cathode electrode).

【0041】第1の電極31R、31G、31Bのそれ
ぞれには、例えば透明電極としての酸化インジウム錫合
金(ITO)薄膜を実用的に使用することができる。こ
のITO薄膜は例えば80nm〜120nmの膜厚で形
成され、第1の電極31R、31G、31Bのそれぞれ
の幅寸法(平面パターンの最小寸法)は例えば10μm
程度に設定されている。従って、赤色、緑色及び青色の
3色1単位の画素3のサイズは例えば30μm程度に設
定することができる。後述する製造方法で説明するが、
本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデバイス1は
レーザ光を利用して形成されているので、このレーザ光
のスポット径に相当する微細なサイズ、例えば1μm程
度の微細なサイズまで、画素3のサイズを微細化するこ
とができる。なお、第1の電極31R、31G、31B
はいずれも本発明に係る「第1の電極」の一具体例に対
応するものである。
For each of the first electrodes 31R, 31G, 31B, for example, an indium tin oxide (ITO) thin film as a transparent electrode can be practically used. This ITO thin film is formed with a thickness of, for example, 80 nm to 120 nm, and each of the first electrodes 31R, 31G, 31B has a width dimension (minimum dimension of a plane pattern) of, for example, 10 μm.
Set to about. Therefore, the size of the pixel 3 of one unit of three colors of red, green and blue can be set to, for example, about 30 μm. As explained in the manufacturing method described later,
Since the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention is formed using laser light, the organic EL device 1 has a fine size corresponding to the spot diameter of the laser light, for example, a fine size of about 1 μm. The size of the pixel 3 can be reduced. The first electrodes 31R, 31G, 31B
All correspond to a specific example of the “first electrode” according to the present invention.

【0042】上記第1の電極31R上、31G上、31
B上のそれぞれには、上記色素移行拡散部33R、33
G、33Bに対してベースとなり、かつ、透明又はほぼ
透明な高分子発光層32が膜付けされている。この高分
子発光層32には、例えば50nm〜100nm程度の
膜厚のほぼ透明なポリビニルカルバゾール(PVCz)
薄膜を実用的に使用することができる。PVCz薄膜
は、紫外光領域から可視光領域までブロードな発光を示
すので、各色のドーパントへのエネルギ移動が生じやす
く、有機ELデバイス1には好適なホスト材料である。
また、高分子発光層32には、他にポリフェニレンビニ
レン(PPV)誘導体薄膜、ポリフルオレン誘導体薄
膜、ポリチオフェン誘導体薄膜等を実用的に使用するこ
とができる。これらの高分子発光層32の高分子材料
は、単体の発光層として使用する場合に限らず、電子輸
送性のオキサジアソール化合物等を混合して電子輸送層
として、また正孔輸送性のカルバゾール等を混合して正
孔輸送層として形成することができる。
On the first electrodes 31R, 31G, 31
B, the dye transfer diffusion sections 33R, 33
A transparent or almost transparent polymer light emitting layer 32 is formed as a base for G and 33B. The polymer light emitting layer 32 has a substantially transparent polyvinyl carbazole (PVCz) having a thickness of, for example, about 50 nm to 100 nm.
Thin films can be used practically. Since the PVCz thin film emits light broadly from the ultraviolet light region to the visible light region, energy is easily transferred to the dopant of each color, and is a suitable host material for the organic EL device 1.
Further, as the polymer light emitting layer 32, a polyphenylenevinylene (PPV) derivative thin film, a polyfluorene derivative thin film, a polythiophene derivative thin film, or the like can be practically used. The polymer material of the polymer light-emitting layer 32 is not limited to the case where it is used as a single light-emitting layer. And the like can be mixed to form a hole transport layer.

【0043】赤色の発光を行う有機EL素子30Rの色
素移行拡散部33Rは、高分子発光層32中の第1の電
極31Rに対応する領域において(実質的に第1の電極
31Rと同一パターンであることが好ましい。)、外部
から供給される赤色の有機色素を移行拡散により選択的
に導入して形成されたものである。赤色の有機色素に
は、例えばナイルレッド、DCM1等のピラン誘導体、
スクアリリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、クロリン
誘導体、ユーロリジン誘導体等の蛍光性色素材料を実用
的に使用することができる。
The dye transfer / diffusion portion 33R of the organic EL element 30R that emits red light is provided in a region corresponding to the first electrode 31R in the polymer light emitting layer 32 (substantially in the same pattern as the first electrode 31R). It is preferably formed by selectively introducing a red organic dye supplied from the outside by transfer diffusion. Examples of the red organic dye include pyran derivatives such as Nile Red and DCM1;
Fluorescent dye materials such as squarylium derivatives, porphyrin derivatives, chlorin derivatives, eurolysine derivatives and the like can be used practically.

【0044】緑色の発光を行う有機EL素子30Gの色
素移行拡散部33Gは、高分子発光層32中の第1の電
極31Gに対応する領域において(同様に、実質的に第
1の電極31Gと同一パターンであることが好まし
い。)、外部から供給される緑色の有機色素を移行拡散
により選択的に導入して形成されたものである。緑色の
有機色素には、例えばクマリン6等のクマリン誘導体、
キナクリドン誘導体等の蛍光性色素材料を実用的に使用
することができる。
The dye transfer / diffusion portion 33G of the organic EL element 30G that emits green light is located in a region corresponding to the first electrode 31G in the polymer light emitting layer 32 (similarly, the first electrode 31G and the It is preferably the same pattern.), Which is formed by selectively introducing a green organic dye supplied from the outside by transfer diffusion. Green organic dyes include, for example, coumarin derivatives such as coumarin 6;
A fluorescent dye material such as a quinacridone derivative can be used practically.

【0045】青色の発光を行う有機EL素子30Bの色
素移行拡散部33Bは、高分子発光層32中の第1の電
極31Bに対応する領域において(同様に、実質的に第
1の電極31Bと同一パターンであることが好まし
い。)、外部から供給される青色の有機色素を移行拡散
により選択的に導入して形成されたものである。青色の
有機色素には、例えばクマリン47等のクマリン誘導
体、テトラフェニルブタジエン、ペリレン等の蛍光性色
素材料を実用的に使用することができる。
The dye transfer / diffusion portion 33B of the organic EL element 30B that emits blue light is located in a region corresponding to the first electrode 31B in the polymer light emitting layer 32 (similarly, the first electrode 31B It is preferably the same pattern.), And is formed by selectively introducing a blue organic dye supplied from the outside by transfer diffusion. As the blue organic dye, for example, a coumarin derivative such as coumarin 47 or a fluorescent dye material such as tetraphenylbutadiene or perylene can be practically used.

【0046】なお、上記色素移行拡散部33R、33
G、33Bはいずれも本発明に係る「色素移行拡散部」
の一具体例に対応するものである。また、赤色、緑色、
青色のそれぞれの有機色素は本発明に係る「有機色
素」、若しくは「第1の有機色素」、「第2の有機色
素」、「第3の有機色素」のそれぞれの一具体例に対応
するものである。
The dye transfer / diffusion portions 33R, 33
G and 33B are both “dye transfer diffusion part” according to the present invention.
This corresponds to one specific example. Also, red, green,
Each of the blue organic dyes corresponds to a specific example of each of the “organic dye”, “first organic dye”, “second organic dye”, and “third organic dye” according to the present invention. It is.

【0047】第2の電極34には、例えば金属電極とし
てアルミニウム薄膜、又は適当な添加物を含むアルミニ
ウム合金薄膜を実用的に使用することができる。このア
ルミニウム薄膜又はアルミニウム合金薄膜は、例えば8
0nm〜120nmの膜厚で形成されている。図1に示
す第2の電極34は、左右方向に配列された複数の有機
EL素子30R、30G、30Bのそれぞれに共通の電
極(配線)として形成されている。なお、第2の電極3
4は本発明に係る「第2の電極」の一具体例に対応する
ものである。
As the second electrode 34, for example, an aluminum thin film or an aluminum alloy thin film containing an appropriate additive can be practically used as a metal electrode. This aluminum thin film or aluminum alloy thin film is, for example, 8
It is formed with a thickness of 0 nm to 120 nm. The second electrode 34 shown in FIG. 1 is formed as a common electrode (wiring) for each of the plurality of organic EL elements 30R, 30G, and 30B arranged in the left-right direction. Note that the second electrode 3
Reference numeral 4 corresponds to a specific example of the “second electrode” according to the present invention.

【0048】製造プロセス:次に、上記本発明の第1の
実施の形態に係る有機ELデバイスの製造方法を説明す
る。図2乃至図10は本発明の第1の実施の形態に係る
有機ELデバイス1の工程断面図である。
Manufacturing Process: Next, a method of manufacturing the organic EL device according to the first embodiment of the present invention will be described. 2 to 10 are process cross-sectional views of the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention.

【0049】(1)まず、図2に示すように、有機EL
デバイス1の基台となり、透明ガラス基板からなる基板
2を準備する。
(1) First, as shown in FIG.
A substrate 2 serving as a base of the device 1 and made of a transparent glass substrate is prepared.

【0050】(2)図3に示すように、基板2の表面上
に複数の第1の電極31R、31G及び31Bを形成す
る。ここで、第1の電極31Rは赤色の有機EL素子3
0Rを形成する基板2上の第1の領域Rに形成され、同
様に第1の電極31Gは緑色の有機EL素子30Gを形
成する基板2上の第2の領域Gに形成され、第1の電極
31Bは青色の有機EL素子30Bを形成する基板2上
の第3の領域Bに形成されている。1組の第1の電極3
1R、31G及び31Bは1つの画素3の形成領域に対
応する部分に形成されており、マトリックス状(又は千
鳥状)に配列される複数の画素3の形成領域毎に1組の
第1の電極31R、31G及び31Bが形成されるよう
になっている。第1の電極31R、31G及び31Bは
いずれも同一導電層でかつ同一の導電性材料で形成され
ている。例えば、ITO薄膜をスパッタリング法で成膜
し、フォトリソグラフィ技術で形成されたマスクを利用
してITO薄膜をエッチングでパターンニングすること
により、第1の電極31R、31G及び31Bを形成す
ることができる。
(2) As shown in FIG. 3, a plurality of first electrodes 31R, 31G and 31B are formed on the surface of the substrate 2. Here, the first electrode 31R is a red organic EL element 3
Similarly, the first electrode 31G is formed in the second region G on the substrate 2 forming the green organic EL element 30G, and the first electrode 31G is formed in the first region R on the substrate 2 forming the OR. The electrode 31B is formed in a third region B on the substrate 2 on which the blue organic EL element 30B is formed. One set of first electrodes 3
1R, 31G and 31B are formed in portions corresponding to the formation region of one pixel 3, and one set of first electrodes is formed for each formation region of a plurality of pixels 3 arranged in a matrix (or staggered). 31R, 31G and 31B are formed. The first electrodes 31R, 31G, and 31B are all formed of the same conductive layer and the same conductive material. For example, the first electrodes 31R, 31G, and 31B can be formed by forming an ITO thin film by a sputtering method and patterning the ITO thin film by etching using a mask formed by a photolithography technique. .

【0051】なお、第1の領域Rは本発明に係る「第1
の領域」の、第2の領域Gは本発明に係る「第2の領
域」の、第3の領域Bは本発明に係る「第3の領域」の
1具体例に対応するものである。
The first region R corresponds to the “first region R” according to the present invention.
The second region G corresponds to one specific example of the "second region" according to the present invention, and the third region B corresponds to one specific example of the "third region" according to the present invention.

【0052】(3)図4に示すように、第1の電極31
R、31G及び31Bの表面上を含む基板2の全面上に
高分子発光層32を形成する。本発明の第1の実施の形
態において、高分子発光層32は前述のように透明又は
ほぼ透明なPVCz薄膜で形成されている。PVCz薄
膜は例えば塗布(スピンコート)法により基板2上に均
一な膜厚で塗布され、塗布後にPVCz薄膜を乾燥させ
る。また、PVCz薄膜は、塗布法に代えて、ディップ
法、キャスト法、ラングミュアーブロジェト(LB)法
等の湿式塗布法、真空蒸着法のいずれかの成膜法により
成膜させることができる。これらの成膜法のいずれの場
合においても基板2の全面に高分子発光層32が形成さ
れるので、これらの成膜法のいずれを使用しても微細加
工の妨げにはならない。湿式塗布法で用いられる溶媒に
は、例えばクロロホルム、ジクロロメタン等を実用的に
使用することができる。
(3) As shown in FIG. 4, the first electrode 31
The polymer light emitting layer 32 is formed on the entire surface of the substrate 2 including the surfaces of R, 31G, and 31B. In the first embodiment of the present invention, the polymer light emitting layer 32 is formed of a transparent or almost transparent PVCz thin film as described above. The PVCz thin film is applied on the substrate 2 with a uniform thickness by, for example, a coating (spin coating) method, and after the coating, the PVCz thin film is dried. In addition, the PVCz thin film can be formed by any one of a dipping method, a casting method, a wet coating method such as a Langmuir project (LB) method, and a vacuum deposition method instead of the coating method. In any of these film forming methods, since the polymer light emitting layer 32 is formed on the entire surface of the substrate 2, any of these film forming methods does not hinder the fine processing. As a solvent used in the wet coating method, for example, chloroform, dichloromethane and the like can be practically used.

【0053】(4)次に、高分子発光層32上の全面に
赤色の第1の有機色素42Rが含まれた第1の色素層4
0Rを形成する(図5(A)参照)。第1の色素層40
Rに含まれている有機色素には前述のようにニールレッ
ド等を実用的に使用することができる。第1の色素層4
0Rは、第1の有機色素42Rを直接溶解した溶液を用
い、高分子発光層32と同様に塗布法、ディップ法、キ
ャスト法、ラングミュアーブロジェト法等の湿式塗布法
により成膜させることができる。第1の色素層40Rの
膜厚は例えば10nm〜100nm程で形成することが
できる。このような成膜法により成膜される第1の色素
層40Rは斑のない均一な膜厚で形成することができ
る。湿式塗布法で用いられる溶媒には、第1の有機色素
42Rが可溶であり、高分子発光層32が不溶で表面形
状を侵さないものを使用することができる。この種の溶
媒には、例えばエタノール、プロパノール、メタノー
ル、ヘキサン、アセトン等を実用的に使用することがで
きる。
(4) Next, the first dye layer 4 including the red first organic dye 42R on the entire surface of the polymer light emitting layer 32
OR is formed (see FIG. 5A). First dye layer 40
As described above, Neil Red or the like can be practically used as the organic dye contained in R. First dye layer 4
0R can be formed by using a solution in which the first organic dye 42R is directly dissolved, and forming a film by a wet coating method such as a coating method, a dip method, a casting method, and a Langmuir-Blodget method similarly to the polymer light emitting layer 32. it can. The thickness of the first dye layer 40R can be formed, for example, in a range of about 10 nm to 100 nm. The first dye layer 40R formed by such a film forming method can be formed with a uniform thickness without unevenness. As the solvent used in the wet coating method, a solvent in which the first organic dye 42R is soluble and the polymer light emitting layer 32 is insoluble and does not affect the surface shape can be used. For this type of solvent, for example, ethanol, propanol, methanol, hexane, acetone and the like can be practically used.

【0054】なお、第1の色素層40Rは真空蒸着法に
より成膜させることができ、さらにインクジェット印刷
法、グラビア印刷法等の印刷法を用いて形成することが
できる。
The first dye layer 40R can be formed by a vacuum evaporation method, and can be formed by a printing method such as an ink jet printing method and a gravure printing method.

【0055】(5)図5(A)に示すように、第1の色
素層40R上の全面に第1のマスク層41Rを形成す
る。第1のマスク層41Rは、照射エネルギが閾値以上
の場合にはレーザ光を透過することができ、閾値以下の
場合にはレーザ光50を透過させない機能を備えてい
る。つまり、第1のマスク層41Rは、レーザ光50の
照射中心部の照射エネルギが高い部分のみレーザ光50
を透過させることができ、レーザ光50の照射中心部か
ら外れた領域の照射エネルギが低い部分のレーザ光50
をカットするようになっており、照射領域の境界をシャ
ープにすることができる。さらに、第1のマスク層41
Rは、レーザ光50の照射による昇華、突沸等に起因す
る照射位置(移行拡散領域)以外の領域の汚染を防止す
る保護マスクとしての機能を備えている。
(5) As shown in FIG. 5A, a first mask layer 41R is formed on the entire surface of the first dye layer 40R. The first mask layer 41R has a function of transmitting a laser beam when the irradiation energy is equal to or higher than a threshold, and not transmitting the laser beam 50 when the irradiation energy is equal to or lower than the threshold. That is, the first mask layer 41 </ b> R is such that only the portion where the irradiation energy is high at the irradiation center portion of the laser beam 50 is
Can be transmitted, and the laser beam 50 in a portion where the irradiation energy is low in a region deviated from the irradiation center of the laser beam 50
Is cut, and the boundary of the irradiation area can be sharpened. Further, the first mask layer 41
R has a function as a protective mask for preventing contamination of an area other than an irradiation position (transition diffusion area) due to sublimation, bumping, or the like due to irradiation of the laser beam 50.

【0056】このような機能を備える第1のマスク層4
1Rには、ロイコ色素と定着剤とからなるサーモクロミ
ック層、フルギド類、ジアリールエテン類、カルコン
類、ナフトチオインジゴ類からなるフォトクロミック層
等を実用的に使用することができる。このサーモクロミ
ック層、フォトクロミック層等には乾式法、湿式法のい
ずれの成膜方法で成膜したものを使用することができ
る。第1のマスク層41Rは例えば100nm〜500
nm程度の膜厚で形成されている。ここで、第1のマス
ク層41Rは本発明に係る「マスク層」の一具体例に対
応するものである。
First mask layer 4 having such a function
For 1R, a thermochromic layer composed of a leuco dye and a fixing agent, a photochromic layer composed of fulgides, diarylethenes, chalcones, and naphthothioindigos can be practically used. As the thermochromic layer, the photochromic layer, and the like, those formed by any of a dry method and a wet method can be used. The first mask layer 41R is, for example, 100 nm to 500 nm.
It is formed with a thickness of about nm. Here, the first mask layer 41R corresponds to a specific example of “mask layer” according to the present invention.

【0057】なお、本発明の第1の実施の形態に係る有
機ELデバイスの製造方法においては、図5(B)に示
すように、第1のマスク層41Rは第1の色素層40R
上にフィルム45を介在させて形成することができる。
このフィルム45は、第1の色素層40Rの有機色素を
高分子発光層32へ容易に移行拡散させることができ、
かつ第1のマスク層41Rへの有機色素の拡散を防止す
ることができる。具体的には、フィルム45のガラス転
移温度が第1の色素層40Rや高分子発光層32のガラ
ス転移温度よりも高い値に設定されることが好ましい。
例えば高分子発光層32を前述のようにPVCz薄膜に
より形成した場合、PVCz薄膜のガラス転移温度は1
73℃であるので、フィルム45のガラス転移温度は1
73℃よりも高い温度に設定されている。このようなガ
ラス転移温度を有するフィルム45には例えばポリイミ
ド等の樹脂フィルムを実用的に使用することができ、そ
の膜厚は例えば2μm〜20μm程度の膜厚で形成され
ることが好ましい。
In the method for manufacturing an organic EL device according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 5B, the first mask layer 41R is made up of the first dye layer 40R.
It can be formed with a film 45 interposed therebetween.
This film 45 can easily transfer and diffuse the organic dye of the first dye layer 40R to the polymer light emitting layer 32,
In addition, diffusion of the organic dye into the first mask layer 41R can be prevented. Specifically, the glass transition temperature of the film 45 is preferably set to a value higher than the glass transition temperatures of the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32.
For example, when the polymer light emitting layer 32 is formed of a PVCz thin film as described above, the glass transition temperature of the PVCz thin film is 1
Since the temperature is 73 ° C., the glass transition temperature of the film 45 is 1
The temperature is set to be higher than 73 ° C. As the film 45 having such a glass transition temperature, for example, a resin film such as polyimide can be practically used, and it is preferable that the film is formed to have a thickness of, for example, about 2 μm to 20 μm.

【0058】(6)図6に示すように、第1の領域Rの
第1の電極31Rに対応をする領域、つまり赤色の発光
を行う有機EL素子30Rの形成領域において、第1の
マスク層41Rを通して第1の色素層40Rに選択的に
レーザ光50を照射する。このレーザ光50の照射によ
り、第1の色素層40Rの第1の有機色素42Rを高分
子発光層32中に移行拡散させることができ、第1の有
機色素42Rを移行拡散させた高分子発光層32で色素
移行拡散部33Rを形成することができる。
(6) As shown in FIG. 6, in the region corresponding to the first electrode 31R in the first region R, that is, in the formation region of the organic EL element 30R that emits red light, the first mask layer The first dye layer 40R is selectively irradiated with laser light 50 through 41R. By the irradiation of the laser beam 50, the first organic dye 42R of the first dye layer 40R can be transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32. The layer 32 can form the dye transfer diffusion portion 33R.

【0059】ここで、移行拡散とは、第1の色素層40
Rを加熱することによって、好ましくは第1の色素層4
0R並びに高分子発光層32を加熱することによって、
第1の有機色素42Rの液化若しくは昇華等、分子運動
が活発になり、併せて第1の色素層40R並びに高分子
発光層32もガラス転移温度点又はその近傍まで昇温さ
せて分子間の結合を緩め、第1の色素層40Rと高分子
発光層32との間の分子的接触境界面を通して第1の色
素層40Rの第1の有機色素42Rが高分子発光層32
中に溶け込む(ドーピングされる)という意味で使用さ
れる。すなわち、移行拡散は、第1の色素層40R並び
に高分子発光層32の加熱された領域とほぼ同一の領域
において、第1の色素層40Rの第1の有機色素42R
を高分子発光層32中に溶け込ますことができる。本発
明の第1の実施の形態において、高分子発光層32には
PVCz薄膜が使用されており、このPVCz薄膜のガ
ラス転移温度Tgは前述したように173℃であるの
で、高分子発光層32は170℃〜185℃程度にレー
ザ光50により加熱される。さらに、レーザ光50の照
射領域の面積、すなわちスポット径は光学系により約1
μm程度まで容易に調節することができるので、色素移
行拡散部33Rは微細なパターンで形成することができ
る。さらに、第1の色素層40R上には第1のマスク層
41Rを形成しているので、輪郭の境界が明確な色素移
行拡散部33Rを形成することができる。
Here, the transfer diffusion means the first dye layer 40
By heating R, preferably the first dye layer 4
By heating the OR and the polymer light emitting layer 32,
Molecular movement such as liquefaction or sublimation of the first organic dye 42R becomes active, and at the same time, the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32 are also heated to or near the glass transition temperature point to bond between molecules. And the first organic dye 42R of the first dye layer 40R passes through the molecular contact interface between the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32.
It is used to mean that it is dissolved (doped). That is, the transition diffusion is performed in the first dye layer 40R and the first organic dye 42R of the first dye layer 40R in substantially the same region as the heated region of the polymer light emitting layer 32.
Can be dissolved in the polymer light emitting layer 32. In the first embodiment of the present invention, a PVCz thin film is used for the polymer light emitting layer 32, and the glass transition temperature Tg of the PVCz thin film is 173 ° C. as described above. Is heated by the laser beam 50 to about 170 ° C. to 185 ° C. Further, the area of the irradiation area of the laser beam 50, that is, the spot diameter is about 1 by the optical system.
Since it can be easily adjusted to about μm, the dye transfer / diffusion portion 33R can be formed in a fine pattern. Further, since the first mask layer 41R is formed on the first dye layer 40R, it is possible to form the dye transfer diffusion portion 33R having a clear outline boundary.

【0060】図11は本発明の第1の実施の形態に用い
られる有機色素転写装置の概略構成図である。図11に
示すように、上記移行拡散は有機色素転写装置6により
実施することができる。この有機色素転写装置6は、基
板2を載置し保持するキャリッジ60と、このキャリッ
ジ60をX方向及びY方向に移動させるキャリッジ駆動
部61と、レーザ光発振部62と、レーザ光駆動源63
と、パルス制御回路部64と、ポリゴンミラー65と、
ポリゴンミラー回転制御部66と、光学系67とを少な
くとも備えて構成されている。
FIG. 11 is a schematic configuration diagram of an organic dye transfer device used in the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 11, the transfer diffusion can be performed by the organic dye transfer device 6. The organic dye transfer device 6 includes a carriage 60 for mounting and holding the substrate 2, a carriage driving unit 61 for moving the carriage 60 in the X and Y directions, a laser light oscillation unit 62, and a laser light driving source 63.
A pulse control circuit unit 64, a polygon mirror 65,
It is configured to include at least a polygon mirror rotation control unit 66 and an optical system 67.

【0061】有機色素転写装置6において、キャリッジ
60は、キャリッジ駆動部61により、少なくとも紙面
に対して垂直なX方向に画素3の配列ピッチと同等の高
精度で基板2を段階的に移動させることができる。例え
ば、画素3の配列ピッチを30μmとした場合には、キ
ャリッジ60を30μm毎に移動させることができる。
レーザ光発振部62は移行拡散に必要なレーザ光50を
レーザ光駆動源63からの電力供給により発振させるよ
うになっている。パルス制御回路部64はレーザ光駆動
源63からレーザ光発振部62への電力供給を制御して
おり、レーザ光発振部62は複数の第1の電極に対応す
る領域に順次間欠的にレーザ光50を照射するようにな
っている。レーザ光発振部62には、例えば半導体レー
ザ、気体レーザ、固体レーザ、液体レーザ等、必要なレ
ーザ出力、必要な吸収波長域等の諸条件に応じて適宜選
択することができる。ポリゴンミラー65は、ポリゴン
ミラー回転制御部66により回転動作を制御されてお
り、レーザ光発振部62から発振されたレーザ光50を
基板2上においてY方向に走査させることができる。本
発明の第1の実施の形態において光学系67には結像レ
ンズが使用されており、ポリゴンミラー65で反射され
たレーザ光50は第1の電極31Rのサイズに対応した
スポット径に収束されるようになっている。
In the organic dye transfer device 6, the carriage 60 moves the substrate 2 stepwise by the carriage driving unit 61 at least in the X direction perpendicular to the paper surface with the same high precision as the arrangement pitch of the pixels 3. Can be. For example, when the arrangement pitch of the pixels 3 is 30 μm, the carriage 60 can be moved every 30 μm.
The laser light oscillating section 62 oscillates the laser light 50 necessary for the transition diffusion by supplying power from the laser light driving source 63. The pulse control circuit section 64 controls power supply from the laser light drive source 63 to the laser light oscillating section 62, and the laser light oscillating section 62 sequentially and intermittently transmits laser light to regions corresponding to the plurality of first electrodes. 50 is irradiated. The laser light oscillating unit 62 can be appropriately selected according to various conditions such as a required laser output and a required absorption wavelength range such as a semiconductor laser, a gas laser, a solid laser, and a liquid laser. The rotation of the polygon mirror 65 is controlled by a polygon mirror rotation control unit 66, so that the laser beam 50 oscillated from the laser beam oscillation unit 62 can be scanned on the substrate 2 in the Y direction. In the first embodiment of the present invention, an imaging lens is used for the optical system 67, and the laser beam 50 reflected by the polygon mirror 65 is converged to a spot diameter corresponding to the size of the first electrode 31R. It has become so.

【0062】図12はレーザ光照射時間、有機色素濃度
及び照射パワーの関係を示す図である。図12に示すよ
うに、赤色の第1の有機色素42Rの第1の色素層40
Rから高分子発光層32への移行拡散濃度は、レーザ光
照射時間が長くなると増加の傾向を示し、照射パワーが
増加すると増加する傾向を示している。レーザ光50の
照射開始直後は第1の色素層40Rにおいて充分な温度
上昇を得られないので、有機色素濃度は低い値を示して
いる。レーザ光照射時間の増加に伴い、有機色素濃度は
上昇する傾向を示している。本発明の第1の実施の形態
に係る有機色素転写装置6においては、レーザ光50を
一定時間照射した後の有機色素濃度がレーザー光照射時
間の変化で左右されない飽和領域になるように設定され
たレーザ光照射時間を使用して、移行拡散が実施されて
いる。なお、図12に示す傾向は、後述する緑色の第2
の有機色素42G、青色の第3の有機色素42Bのそれ
ぞれについても同様である。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship among laser light irradiation time, organic dye concentration, and irradiation power. As shown in FIG. 12, the first dye layer 40 of the red first organic dye 42R is formed.
The transition diffusion concentration from R to the polymer light-emitting layer 32 tends to increase as the laser light irradiation time increases, and increases as the irradiation power increases. Immediately after the start of the irradiation of the laser beam 50, a sufficient temperature rise cannot be obtained in the first dye layer 40R, so that the organic dye concentration shows a low value. The organic dye concentration tends to increase as the laser light irradiation time increases. In the organic dye transfer device 6 according to the first embodiment of the present invention, the organic dye concentration after irradiating the laser light 50 for a certain period of time is set so as to be in a saturated region which is not influenced by the change of the laser light irradiation time. Transition diffusion is performed using the laser beam irradiation time. In addition, the tendency shown in FIG.
The same applies to each of the organic dye 42G and the blue third organic dye 42B.

【0063】図11に示す有機色素転写装置6の有機色
素転写動作は以下の通り行われる。まず、キャリッジ6
0上に高分子発光層32、第1の有機色素42Rが含ま
れた第1の有機層40R及び第1のマスク層41Rが既
に形成された基板2を載置し保持し、基板2の有機色素
転写開始位置にキャリッジ60をキャリッジ駆動部61
により移動させる。パルス制御回路部64によりレーザ
光駆動源63はレーザ光発振部62を間欠的に励起さ
せ、このレーザ光発振部62からレーザ光50をパルス
発振させることができる。レーザ光50はポリゴンミラ
ー65で反射され、この反射されたレーザ光50は、光
学系67を通過し、基板2上の第1のマスク層41Rを
透過し、少なくとも第1の色素層40R及び高分子発光
層32に照射される(図6参照。)。このレーザ光50
は第1の領域Rの第1の電極31Rに対応した領域にの
み選択的に照射される。そして、レーザ光50の照射に
より発生した熱により、第1の色素層40Rの第1の有
機色素42Rが高分子発光層32に移行拡散され、この
第1の有機色素42Rが移行拡散された赤色に発光する
色素移行拡散部33Rを形成することができる。レーザ
光50は、第1のマスク層41Rをμsオーダで透過
し、第1の色素層40Rの膜厚が数μmの場合には数m
sオーダで高分子発光層32まで熱が伝達され、ほぼ瞬
時に第1の色素層40R及び高分子発光層32が加熱さ
れるので、1回の移行拡散を瞬時に行うことができる。
ポリゴンミラー回転制御部66によりポリゴンミラー6
5を回転させているので、レーザ光50はY方向に走査
され、Y方向に配列される複数の第1の電極33Rのそ
れぞれに対応した領域において同様に複数の色素移行拡
散部33Rを順次形成することができる。レーザ光50
のY方向の一列の走査が終了した後にはキャリッジ駆動
部61によりキャリッジ60をX方向に画素3のピッチ
分移動させ、この後に同様にレーザ光50をY方向に走
査して複数の色素移行拡散部33Rを順次形成する。こ
のようにして基板2上のすべての第1の領域Rにおいて
色素移行拡散部33Rを形成することができる。
The organic dye transfer operation of the organic dye transfer device 6 shown in FIG. 11 is performed as follows. First, the carriage 6
The substrate 2 on which the polymer light emitting layer 32, the first organic layer 40R containing the first organic dye 42R and the first mask layer 41R are already formed is placed and held on the substrate 2, and the organic Move the carriage 60 to the dye transfer start position
To move. By the pulse control circuit section 64, the laser light drive source 63 can intermittently excite the laser light oscillation section 62, and the laser light oscillation section 62 can oscillate the laser light 50 in pulses. The laser beam 50 is reflected by the polygon mirror 65, and the reflected laser beam 50 passes through the optical system 67, passes through the first mask layer 41R on the substrate 2, and has at least the first dye layer 40R and the high dye layer 40R. The molecular light emitting layer 32 is irradiated (see FIG. 6). This laser beam 50
Is selectively applied only to a region of the first region R corresponding to the first electrode 31R. The first organic dye 42R of the first dye layer 40R is transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32 by the heat generated by the irradiation of the laser beam 50, and the first organic dye 42R is transferred and diffused in red. The dye transfer diffusion portion 33 </ b> R that emits light at the same time can be formed. The laser beam 50 transmits through the first mask layer 41R on the order of μs, and several m when the thickness of the first dye layer 40R is several μm.
Since heat is transmitted to the polymer light emitting layer 32 in the order of s, and the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32 are heated almost instantaneously, one transition diffusion can be performed instantaneously.
The polygon mirror 6 is controlled by the polygon mirror rotation controller 66.
5, the laser beam 50 is scanned in the Y direction, and a plurality of dye transfer / diffusion portions 33R are sequentially formed in a region corresponding to each of the plurality of first electrodes 33R arranged in the Y direction. can do. Laser light 50
After the scanning of one row in the Y direction is completed, the carriage 60 is moved by the pitch of the pixel 3 in the X direction by the carriage driving unit 61, and thereafter the laser beam 50 is similarly scanned in the Y direction to perform a plurality of dye transfer diffusion. The portions 33R are sequentially formed. In this way, the dye transfer diffusion portions 33R can be formed in all the first regions R on the substrate 2.

【0064】(7)赤色の発光を行う色素移行拡散部3
3Rがすべて形成された後、第1のマスク層41R、第
1の色素層40Rのそれぞれを順次除去する。特に第1
の色素層40Rはその除去に際して高分子発光層32を
溶解しない溶剤により除去される。
(7) Dye transfer / diffusion section 3 that emits red light
After all the 3Rs are formed, the first mask layer 41R and the first dye layer 40R are sequentially removed. Especially the first
The dye layer 40R is removed by a solvent that does not dissolve the polymer light emitting layer 32 during the removal.

【0065】(8)次に、高分子発光層32上の全面に
緑色の第2の有機色素42Gが含まれた第2の色素層4
0Gを形成する(図7参照)。第2の色素層40Gには
例えば第1の色素層40Rと同様の樹脂フィルムを実用
的に使用することができ、第2の色素層40Gの膜厚は
第1の色素層40Rの膜厚と同様に設定されている。第
2の色素層40Gに含まれている第2の有機色素42G
にはクマリン6等のクマリン誘導体等を実用的に使用す
ることができ、第2の色素層40Gは第1の色素層40
Rと同様に塗布法等の湿式塗布法により成膜させること
ができる。
(8) Next, the second dye layer 4 containing the green second organic dye 42G on the entire surface of the polymer light emitting layer 32
0G is formed (see FIG. 7). For example, the same resin film as that of the first dye layer 40R can be practically used for the second dye layer 40G. It is set similarly. Second organic dye 42G contained in second dye layer 40G
A coumarin derivative such as coumarin 6 can be used practically, and the second dye layer 40G is used as the first dye layer 40G.
Like R, the film can be formed by a wet coating method such as a coating method.

【0066】(9)図7に示すように、第2の色素層4
0G上の全面に第2のマスク層41Gを形成する。第2
のマスク層41Gは、第1のマスク層41Rと同様に、
照射エネルギが閾値以上の場合にはレーザ光を透過する
ことができ、閾値以下の場合にはレーザ光を透過させな
い機能を備えている。さらに、第2のマスク層41G
は、レーザ光の照射による昇華、突沸等に起因する照射
位置以外の領域の汚染を防止する保護マスクとしての機
能を備えている。
(9) As shown in FIG. 7, the second dye layer 4
A second mask layer 41G is formed on the entire surface on 0G. Second
The first mask layer 41G is similar to the first mask layer 41R.
When the irradiation energy is equal to or higher than the threshold, the laser beam can be transmitted. When the irradiation energy is equal to or lower than the threshold, the laser beam is not transmitted. Further, the second mask layer 41G
Has a function as a protective mask for preventing contamination of an area other than the irradiation position due to sublimation, bumping, or the like due to laser light irradiation.

【0067】(10)図8に示すように、第2の領域G
の第1の電極31Gに対応する領域、つまり緑色の発光
を行う有機EL素子30Gの形成領域において、第2の
マスク層41Gを通して第2の色素層40Gに選択的に
レーザ光50を照射する。このレーザ光50の照射によ
り、第2の色素層40Gの第2の有機色素42Gを高分
子発光層32中に移行拡散させることができ、第2の有
機色素42Gを移行拡散させた色素移行拡散部33Gを
形成することができる。レーザ光50の照射は、前述の
図11に示す有機色素転写装置6を使用し、色素移行拡
散部33Rの形成手順と同一の形成手順で行われる。
(10) As shown in FIG. 8, the second region G
In a region corresponding to the first electrode 31G, that is, in a region where the organic EL element 30G that emits green light is formed, the second dye layer 40G is selectively irradiated with the laser beam 50 through the second mask layer 41G. By the irradiation of the laser beam 50, the second organic dye 42G of the second dye layer 40G can be transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32, and the dye transfer diffusion obtained by transferring and diffusing the second organic dye 42G. The portion 33G can be formed. Irradiation with the laser beam 50 is performed using the organic dye transfer device 6 shown in FIG.

【0068】(11)緑色の発光を行う色素移行拡散部
33Gがすべて形成された後、第2のマスク層41G、
第2の色素層40Gのそれぞれを順次除去する。
(11) After all of the dye transfer diffusion portions 33G that emit green light are formed, the second mask layer 41G,
Each of the second dye layers 40G is sequentially removed.

【0069】(12)次に、高分子発光層32上の全面
に青色の第3の有機色素42Bが含まれた第3の色素層
40Bを形成する(図9参照)。第3の色素層40Bに
は例えば第1の色素層40R及び第2の色素層40Gと
同様の樹脂フィルムを実用的に使用することができ、第
3の色素層40Bの膜厚は第1の色素層40及び第2の
色素層40Gの膜厚と同様に設定されている。第3の色
素層40Bに含まれている第3の有機色素42Bには前
述のようにクマリン47等のクマリン誘導体等を実用的
に使用することができ、第3の色素層40Bは第1の色
素層40R及び第2の色素層40Gと同様に塗布法等の
湿式塗布法により成膜させることができる。
(12) Next, a third dye layer 40B containing the blue third organic dye 42B is formed on the entire surface of the polymer light emitting layer 32 (see FIG. 9). For the third dye layer 40B, for example, a resin film similar to the first dye layer 40R and the second dye layer 40G can be practically used, and the thickness of the third dye layer 40B is the first dye layer. The thickness is set in the same manner as the thickness of the dye layer 40 and the second dye layer 40G. As described above, a coumarin derivative such as coumarin 47 can be practically used as the third organic dye 42B included in the third dye layer 40B, and the third dye layer 40B is formed of the first organic dye 42B. Like the dye layer 40R and the second dye layer 40G, the film can be formed by a wet coating method such as a coating method.

【0070】(13)図9に示すように、第3の色素層
40B上の全面に第3のマスク層41Bを形成する。第
3のマスク層41Bは、第1のマスク層41R及び第2
のマスク層41Gと同様に、照射エネルギが閾値以上の
場合にはレーザ光を透過することができ、閾値以下の場
合にはレーザ光を透過させない機能を備えている。さら
に、第3のマスク層41Bは、レーザ光の照射による昇
華、突沸等に起因する照射位置以外の領域の汚染を防止
する保護マスクとしての機能を備えている。
(13) As shown in FIG. 9, a third mask layer 41B is formed on the entire surface of the third dye layer 40B. The third mask layer 41B includes the first mask layer 41R and the second mask layer 41B.
As in the case of the mask layer 41G, when the irradiation energy is equal to or larger than the threshold, the laser beam can be transmitted, and when the irradiation energy is equal to or smaller than the threshold, the laser beam is not transmitted. Further, the third mask layer 41B has a function as a protective mask for preventing contamination of a region other than the irradiation position due to sublimation, bumping, or the like due to irradiation with laser light.

【0071】(14)図10に示すように、第3の領域
Bの第1の電極31Bに対応する領域、つまり青色の発
光を行う有機EL素子30Bの形成領域において、第3
のマスク層41Bを通して第3の色素層40Bに選択的
にレーザ光50を照射する。このレーザ光50の照射に
より、第3の色素層40Bの第3の有機色素42Bを高
分子発光層32中に移行拡散させることができ、第3の
有機色素42Bを移行拡散させた色素移行拡散部33B
を形成することができる。レーザ光50の照射は、前述
の図11に示す有機色素転写装置6を使用し、色素移行
拡散部33R、33Gの形成手順と同一の形成手順で行
われる。
(14) As shown in FIG. 10, in the region corresponding to the first electrode 31B in the third region B, that is, in the formation region of the organic EL element 30B that emits blue light,
The third dye layer 40B is selectively irradiated with the laser beam 50 through the mask layer 41B. By the irradiation of the laser light 50, the third organic dye 42B of the third dye layer 40B can be transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32, and the dye transfer diffusion obtained by transferring and diffusing the third organic dye 42B Part 33B
Can be formed. Irradiation with the laser beam 50 is performed using the organic dye transfer device 6 shown in FIG. 11 described above and in the same procedure as the procedure for forming the dye transfer diffusion portions 33R and 33G.

【0072】(15)青色の発光を行う色素移行拡散部
33Bがすべて形成された後、第3のマスク層41B、
第3の色素層40Bのそれぞれを順次除去する。
(15) After all the dye transfer / diffusion portions 33B for emitting blue light are formed, the third mask layer 41B,
Each of the third dye layers 40B is sequentially removed.

【0073】図13は有機ELデバイス1の製造プロセ
ス途中の(移行拡散プロセス終了後の)平面図である。
図13に示すように、基板2上の高分子発光層32の第
1の領域Rにおいては、赤色の色素移行拡散部33R
が、Y方向(レーザ光50の走査方向)に画素3の短手
側の配列ピッチで配列され、X方向(キャリッジ60の
移動方向)に画素3の長手側の配列ピッチで配列されて
いる。同様に、基板2上の高分子発光層32の第2の領
域Gにおいては、緑色の色素移行拡散部33Gが、Y方
向に画素3の短手側の配列ピッチで配列され、X方向に
画素3の長手側の配列ピッチで配列されている。基板2
上の高分子発光層32の第3の領域Bにおいては、青色
の色素移行拡散部33Bが、Y方向に画素3の短手側の
配列ピッチで配列され、X方向に画素3の長手側の配列
ピッチで配列されている。
FIG. 13 is a plan view during the manufacturing process of the organic EL device 1 (after the completion of the migration diffusion process).
As shown in FIG. 13, in the first region R of the polymer light emitting layer 32 on the substrate 2, the red dye transfer diffusion portion 33 </ b> R
Are arranged at an arrangement pitch on the short side of the pixels 3 in the Y direction (scanning direction of the laser beam 50), and are arranged at an arrangement pitch on the long sides of the pixels 3 in the X direction (moving direction of the carriage 60). Similarly, in the second region G of the polymer light emitting layer 32 on the substrate 2, the green dye transfer / diffusion portions 33 </ b> G are arranged at the shorter pitch of the pixels 3 in the Y direction, and are arranged in the X direction. 3 at an arrangement pitch on the longitudinal side. Substrate 2
In the third region B of the upper polymer light-emitting layer 32, the blue dye transfer / diffusion portions 33B are arranged at the arrangement pitch on the short side of the pixel 3 in the Y direction and on the long side of the pixel 3 in the X direction. They are arranged at an arrangement pitch.

【0074】なお、本発明の第1の実施の形態において
は、前述のように赤色の色素移行拡散部33R、緑色の
色素移行拡散部33G、青色の色素移行拡散部33Bの
順番で形成されているが、本発明は必ずしもこの順番に
は限定されない。
In the first embodiment of the present invention, as described above, the red dye transfer diffusion portion 33R, the green dye transfer diffusion portion 33G, and the blue dye transfer diffusion portion 33B are formed in this order. However, the present invention is not necessarily limited to this order.

【0075】(16)そして、前述の図1に示すよう
に、色素移行拡散部33R、33G、33Bのそれぞれ
の表面上に第2の電極34を形成する。第2の電極34
は、例えばスパッタリング法によりアルミニウム薄膜又
はアルミニウム合金薄膜を成膜し、必要な形状にパター
ンニングすることにより形成されている。また、第2の
電極34は例えば蒸着法で形成してもよい。この第2の
電極34を形成することにより、又必要に応じて第2の
電極34上に保護膜を形成することにより、本発明の第
1の実施の形態に係る有機ELデバイス1を完成させる
ことができる。
(16) Then, as shown in FIG. 1 described above, a second electrode 34 is formed on each surface of the dye transfer / diffusion portions 33R, 33G and 33B. Second electrode 34
Is formed, for example, by forming an aluminum thin film or an aluminum alloy thin film by a sputtering method and patterning it into a required shape. Further, the second electrode 34 may be formed by, for example, an evaporation method. The organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention is completed by forming the second electrode 34 and, if necessary, forming a protective film on the second electrode 34. be able to.

【0076】なお、上記本発明の第1の実施の形態にお
いては、図13に示すように色素移行拡散部33R、3
3G及び33Bを有する画素3をX方向及びY方向に規
則的に配列した場合を説明しているが、本発明は、X方
向の画素3の配列に対してY方向次段の画素3のX方向
の配列ピッチを3分の1(1つの色素移行拡散部に相当
する)又は3分の2(2つの色素移行拡散部に相当す
る)ずらして画素3の配列パターンを千鳥状としてもよ
い。このような千鳥状の画素3の配列パターンは、例え
ばレーザ光50の照射開始位置を変えずに、キャリッジ
駆動部61によりキャリッジ60をY方向に3分の1又
は3分の2の画素ピッチ分ずらすことにより、簡易に製
作することができる。
In the first embodiment of the present invention, as shown in FIG.
Although the case where the pixels 3 having 3G and 33B are regularly arranged in the X direction and the Y direction has been described, the present invention relates to the arrangement of the pixels 3 in the Y direction next to the arrangement of the pixels 3 in the X direction. The arrangement pattern of the pixels 3 may be staggered by shifting the arrangement pitch in the direction by one-third (corresponding to one dye transfer diffusion part) or two-thirds (corresponding to two dye transfer diffusion parts). The arrangement pattern of such staggered pixels 3 is such that the carriage driving unit 61 moves the carriage 60 in the Y direction by one third or two thirds of the pixel pitch without changing the irradiation start position of the laser beam 50. By shifting, it can be easily manufactured.

【0077】以上説明したように、本発明の第1の実施
の形態に係る有機ELデバイス1の製造方法において
は、第1の色素層40Rから高分子発光層32に微細な
パターンで第1の有機色素42Rを移行拡散させた色素
移行拡散部33Rを形成することができる。同様に、第
2の色素層40Gから高分子発光層32に微細なパター
ンで第2の有機色素42Gを移行拡散させた色素移行拡
散部33Gを形成することができ、第3の色素層40B
から高分子発光層32に微細なパターンで第3の有機色
素42Bを移行拡散させた色素移行拡散部33Bを形成
することができる。さらに、色素移行拡散部33R、3
3G、33Bのそれぞれの間においては有機色素相互の
混色が生じないので、従来のような有機EL素子間のバ
ンクを必要とせず、色素移行拡散部33R、33G、3
3Bのそれぞれの間、すなわち有機EL素子30R、3
0G、30Bのそれぞれの間の離間距離を縮小すること
ができる。従って、数種類の色の第1の有機色素42
R、第2の有機色素42G及び第3の有機色素42Bを
使用することにより、各発光色の有機EL素子30R、
30G、30Bのそれぞれを微細なパターンで容易に形
成することができるので、微細な画素3を有する有機E
Lデバイス1を製造することができる。
As described above, in the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, the first dye layer 40R is applied to the polymer light emitting layer 32 in a fine pattern. The dye transfer / diffusion portion 33R obtained by transferring and diffusing the organic dye 42R can be formed. Similarly, a dye transfer diffusion portion 33G in which the second organic dye 42G is transferred and diffused in a fine pattern from the second dye layer 40G to the polymer light emitting layer 32 can be formed, and the third dye layer 40B
Thus, a dye transfer diffusion portion 33B in which the third organic dye 42B is transferred and diffused in a fine pattern in the polymer light emitting layer 32 can be formed. Further, the dye transfer diffusion sections 33R, 3R
Since there is no color mixing between the organic dyes between 3G and 33B, there is no need for a bank between the organic EL elements as in the prior art, and the dye transfer / diffusion units 33R, 33G, 3G
3B, that is, between the organic EL elements 30R and 3R.
The separation distance between each of 0G and 30B can be reduced. Therefore, the first organic dye 42 of several colors is used.
By using R, the second organic dye 42G and the third organic dye 42B, the organic EL element 30R of each emission color can be used.
Since each of 30G and 30B can be easily formed in a fine pattern, the organic E having the fine pixels 3 can be easily formed.
The L device 1 can be manufactured.

【0078】さらに、色素移行拡散部33R、33G、
33Bのそれぞれは高分子発光層32に、直接、第1の
有機色素42R、第2の有機色素42G、第3の有機色
素42Bのそれぞれを移行拡散させることで形成するこ
とができるので、色素移行拡散部33R、33G、33
Bのそれぞれの表面状態には変化がなく、光学特性が維
持され、カラー表示に好適な高輝度の有機ELデバイス
1を製造することができる。さらに、高分子発光層32
に、直接、第1の有機色素42R、第2の有機色素42
G、第3の有機色素42Bのそれぞれを移行拡散させて
色素移行拡散部33R、33G、33Bのそれぞれを形
成することにより、従来のようなカラーフィルタを必要
としないことから、部品点数を削減することができ、有
機ELデバイス1の製造コストを減少することができ
る。そして、有機ELデバイス1の製造コストを減少す
ることができる結果、有機ELデバイス1の製品コスト
を減少することができる。
Further, the dye transfer diffusion sections 33R, 33G,
33B can be formed by directly transferring and diffusing each of the first organic dye 42R, the second organic dye 42G, and the third organic dye 42B to the polymer light emitting layer 32. Diffusion units 33R, 33G, 33
There is no change in the surface state of each of B, the optical characteristics are maintained, and a high-brightness organic EL device 1 suitable for color display can be manufactured. Further, the polymer light emitting layer 32
First, the first organic dye 42R and the second organic dye 42R
G and the respective third organic dyes 42B are transferred and diffused to form the dye transfer diffusion portions 33R, 33G, and 33B, respectively, thereby eliminating the need for a conventional color filter, thereby reducing the number of components. The manufacturing cost of the organic EL device 1 can be reduced. As a result, the manufacturing cost of the organic EL device 1 can be reduced, so that the product cost of the organic EL device 1 can be reduced.

【0079】さらに、本発明の第1の実施の形態に係る
有機ELデバイス1の製造方法においては、高分子発光
層32、第1の色素層40R、第2の色素層40G、第
3の色素層40Bを形成する製造プロセスと、第1の色
素層40Rの第1の有機色素42R、第2の色素層40
Gの第2の有機色素42G、第3の色素層40Bの第3
の有機色素42Bのそれぞれを高分子発光層32に移行
拡散させる製造プロセスとを別々の独立した製造プロセ
スによって形成することができる。高分子発光層32の
製造プロセスにおいては膜厚の均一性、膜のピンホール
フリー性、無瑕疵性等を独立に管理し、第1の色素層4
0R、第2の色素層40G、第3の色素層40Bを形成
する製造プロセスにおいては膜厚の均一性、有機色素の
濃度、無瑕疵性等を独立に管理し、さらに移行拡散させ
る製造プロセスにおいては移行拡散条件(例えば温度や
時間等)、アライメント精度等を独立に管理することが
できるので、それぞれの製造プロセスの最適化を図るこ
とができ、完成度の高い品質の良好な高分子発光層3
2、第1の色素層40R、第2の色素層40G、第3の
色素層40B並びに色素移行拡散部33R、33G、3
3Bのそれぞれを形成することができる。有機ELデバ
イス1は、このような別々の独立した製造プロセスによ
って形成された高分子発光層32上に第1の色素層40
Rを形成し、この第1の色素層40Rに含まれる第1の
有機色素42Rを第1の電極31Rの領域に対応させて
高分子発光層32に移行拡散させるだけで微細なパター
ンで所定の赤色の発光色を有する色素移行拡散部33R
(有機EL素子30R)を簡易に製造することができ
る。同様に、高分子発光層32上に第2の色素層40G
を形成し、この第2の色素層40Gに含まれる第2の有
機色素42Gを第1の電極31Gの領域に対応させて高
分子発光層32に移行拡散させるだけで微細なパターン
で所定の緑色の発光色を有する色素移行拡散部33G
(有機EL素子30G)を簡易に製造することができ
る。さらに同様に、高分子発光層32上に第3の色素層
40Bを形成し、この第3の色素層40Bに含まれる第
3の有機色素42Bを第1の電極31Bの領域に対応さ
せて高分子発光層32に移行拡散させるだけで微細なパ
ターンで所定の青色の発光色を有する色素移行拡散部3
3B(有機EL素子30B)を簡易に製造することがで
きる。
Further, in the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, the polymer light emitting layer 32, the first dye layer 40R, the second dye layer 40G, and the third dye The manufacturing process for forming the layer 40B, the first organic dye 42R of the first dye layer 40R, and the second dye layer 40
G of the second organic dye 42G and third of the third dye layer 40B.
And the manufacturing process of transferring and diffusing each of the organic dyes 42 </ b> B into the polymer light emitting layer 32 can be formed by separate independent manufacturing processes. In the manufacturing process of the polymer light emitting layer 32, the uniformity of the film thickness, the pinhole-free property of the film, the defect-free property and the like are independently managed, and the first dye layer 4 is formed.
In the manufacturing process for forming the 0R, the second dye layer 40G, and the third dye layer 40B, the uniformity of the film thickness, the concentration of the organic dye, the defect-freeness, and the like are independently controlled, and the manufacturing process in which migration and diffusion are further performed. Can independently control the transfer diffusion conditions (eg, temperature and time), alignment accuracy, etc., so that each manufacturing process can be optimized, and a high-quality and high-quality polymer light emitting layer can be achieved. 3
2, the first dye layer 40R, the second dye layer 40G, the third dye layer 40B, and the dye transfer diffusion portions 33R, 33G, 3
3B can be formed. The organic EL device 1 includes a first dye layer 40 on the polymer light emitting layer 32 formed by such separate independent manufacturing processes.
R is formed, and the first organic dye 42R included in the first dye layer 40R is transferred and diffused into the polymer light-emitting layer 32 in correspondence with the region of the first electrode 31R. Dye transfer diffusion portion 33R having red emission color
(Organic EL element 30R) can be easily manufactured. Similarly, a second dye layer 40G is formed on the polymer light emitting layer 32.
Is formed, and the second organic dye 42G included in the second dye layer 40G is transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32 in correspondence with the region of the first electrode 31G, and a predetermined green color is formed in a fine pattern. Transfer diffusion part 33G having a luminescent color of
(Organic EL element 30G) can be easily manufactured. Similarly, a third dye layer 40B is formed on the polymer light emitting layer 32, and the third organic dye 42B included in the third dye layer 40B is made to correspond to the region of the first electrode 31B. The dye transfer diffusion section 3 having a predetermined blue light emission color in a fine pattern only by being transferred and diffused into the molecular light emitting layer 32
3B (organic EL element 30B) can be easily manufactured.

【0080】さらに、本発明の第1の実施の形態に係る
有機ELデバイス1の製造方法においては、少なくとも
第1の色素層40R、第2の色素層40G、第3の色素
層40B、好ましくは第1の色素層40R、第2の色素
層40G、第3の色素層40B及び高分子発光層32の
加熱された部分にほぼ対応する領域(第1の電極31
R、31G、31Bのそれぞれに対応する領域)にのみ
選択的に第1の色素層40Rから第1の有機色素42R
を、第2の色素層40Gから第2の有機色素42Gを、
第3の色素層40Bから第3の有機色素42Bをそれぞ
れ高分子発光層32に移行拡散させて色素移行拡散部3
3R、33G、33Bのそれぞれを形成することができ
る。すなわち、加熱する領域を微細なパターンに設定す
ることにより、微細なパターンの赤色の発光色を有する
有機EL素子30R、緑色の発光色を有する有機EL素
子30G、青色の発光色を有する有機EL素子30Bを
それぞれ形成することができる。
Further, in the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, at least the first dye layer 40R, the second dye layer 40G, and the third dye layer 40B, preferably The first dye layer 40R, the second dye layer 40G, the third dye layer 40B, and the region substantially corresponding to the heated portion of the polymer light emitting layer 32 (the first electrode 31
R, 31G, and 31B) selectively from the first dye layer 40R to the first organic dye 42R.
From the second dye layer 40G to the second organic dye 42G,
The third organic dye 42B is transferred from the third dye layer 40B to the polymer light emitting layer 32 and diffused into the dye transfer diffusion section 3
Each of 3R, 33G, and 33B can be formed. That is, by setting the region to be heated to a fine pattern, the organic EL element 30R having a fine pattern of red emission color, the organic EL element 30G having a green emission color, and the organic EL element having a blue emission color 30B can be formed.

【0081】さらに、加熱するだけで第1の電極31
R、31G、31Bのそれぞれに対応した領域において
高分子発光層32に第1の有機色素42R、第2の有機
色素42G、第3の有機色素42Bのそれぞれを移行拡
散させることができるので、従来のような真空蒸着法や
塗布法を使用する必要がなく、またフォトリソグラフィ
技術やエッチング技術を使用する必要がないので、製造
プロセスの工程数をより一層削減することができる有機
ELデバイス1の製造方法を実現することができる。さ
らに、第1の色素層40Rの第1の有機色素42R、第
2の色素層40Gの第2の有機色素42G、第3の色素
層40Bの第3の有機色素42Bのそれぞれを高分子発
光層32に移行拡散させる工程は乾式により所定のガス
雰囲気中例えば不活性ガス雰囲気中において行うことが
できるので、赤色の発光色を有する有機EL素子30
R、緑色の発光色を有する有機EL素子30G、青色の
発光色を有する有機EL素子30Bをそれぞれ簡易に製
造することができる有機ELデバイス1の製造方法を実
現することができる。
Further, the first electrode 31 is heated only by heating.
The first organic dye 42R, the second organic dye 42G, and the third organic dye 42B can be transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32 in the regions corresponding to R, 31G, and 31B, respectively. It is not necessary to use a vacuum deposition method or a coating method as described above, and it is not necessary to use a photolithography technique or an etching technique, so that the manufacturing of the organic EL device 1 can further reduce the number of manufacturing processes. The method can be realized. Further, each of the first organic dye 42R of the first dye layer 40R, the second organic dye 42G of the second dye layer 40G, and the third organic dye 42B of the third dye layer 40B is a polymer light emitting layer. Since the step of shifting to 32 can be performed in a predetermined gas atmosphere by a dry method, for example, in an inert gas atmosphere, the organic EL element 30 having a red emission color can be used.
It is possible to realize a method of manufacturing the organic EL device 1 that can easily manufacture each of the organic EL element 30G having the R and green emission colors and the organic EL element 30B having the blue emission color.

【0082】さらに、本発明の第1の実施の形態に係る
有機ELデバイス1の製造方法においては、第1の色素
層40R、第2の色素層40G、第3の色素層40Bの
それぞれの加熱をレーザ光50で行うことで、照射エネ
ルギ分布を均一化することができ、色素移行拡散部33
R、33G、33Bのそれぞれとそれらの周囲との間の
境界を比較的明瞭にすることができるので、微細なパタ
ーンの有機EL素子30R、30G、30Bのそれぞれ
を形成することができる。
Further, in the method for manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, the heating of each of the first dye layer 40R, the second dye layer 40G, and the third dye layer 40B is performed. Is performed with the laser beam 50, the irradiation energy distribution can be made uniform, and the dye transfer diffusion section 33
Since the boundary between each of R, 33G, and 33B and the periphery thereof can be made relatively clear, each of the organic EL elements 30R, 30G, and 30B having a fine pattern can be formed.

【0083】さらに、有機色素転写装置6においては、
ポリゴンミラー65によりY方向に広範囲に渡ってレー
ザ光50を走査させることができるので、大画面のカラ
ーディスプレスパネルの構築に最適な有機ELデバイス
1を製造することができる。
Further, in the organic dye transfer device 6,
Since the laser beam 50 can be scanned over a wide range in the Y direction by the polygon mirror 65, the organic EL device 1 optimal for constructing a large-screen color display panel can be manufactured.

【0084】本発明の第1の実施の形態に係る有機EL
デバイス1の製造方法において、レーザ光50の透過、
不透過に閾値を有する第1のマスク層41R、第2のマ
スク層41G、第3のマスク層41Bのそれぞれを形成
する工程をさらに備えたことで、照射エネルギが閾値に
満たないレーザ光50、特に色素移行拡散部33R、3
3G、33Bのそれぞれの周囲の領域に広がる不必要な
レーザ光50を取り除き、色素移行拡散部33R、33
G、33Bのそれぞれとその周囲との間の境界をより一
層明瞭にすることができるので、微細なパターンの有機
EL素子30R、30G、30Bのそれぞれを形成する
ことができる。さらに、レーザ光50を第1の色素層4
0R、第2の色素層40G、第3の色素層40Bのそれ
ぞれに照射したことで、発生する昇華、突沸等による、
色素移行拡散部33R、33G、33Bのそれぞれ以外
の領域の汚染を防止することができる。
The organic EL according to the first embodiment of the present invention
In the method of manufacturing the device 1, transmission of the laser beam 50,
By further providing a step of forming each of the first mask layer 41R, the second mask layer 41G, and the third mask layer 41B having a threshold value for opacity, the laser beam 50 whose irradiation energy does not reach the threshold value is provided. In particular, the dye transfer diffusion sections 33R, 3
Unnecessary laser light 50 that spreads in the surrounding area of each of 3G and 33B is removed, and dye transfer diffusion sections 33R and 33R are removed.
Since the boundary between each of G and 33B and the periphery thereof can be made clearer, each of the organic EL elements 30R, 30G and 30B having a fine pattern can be formed. Further, the laser light 50 is applied to the first dye layer 4.
By irradiating each of 0R, the second dye layer 40G, and the third dye layer 40B, sublimation, bumping, etc. occur.
It is possible to prevent contamination of areas other than the dye transfer diffusion sections 33R, 33G, and 33B.

【0085】さらに、本発明の第1の実施の形態に係る
有機ELデバイス1の製造方法においては、互いに異な
る色の複数の色素移行拡散部33R、33G及び33B
を備えることができるので、複数の発光色の有機EL素
子30R、30G及び30Bを形成することができ、カ
ラーディスプレイパネルの構築に最適な有機ELデバイ
ス1を製造することができる。
Further, in the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, a plurality of dye transfer diffusion portions 33R, 33G and 33B of different colors are used.
, The organic EL elements 30R, 30G, and 30B of a plurality of emission colors can be formed, and the organic EL device 1 optimal for constructing a color display panel can be manufactured.

【0086】そして、本発明の第1の実施の形態に係る
有機ELデバイス1においては、本発明の第1の実施の
形態に係る有機ELデバイス1の製造方法で得られる効
果と同様に、微細な画素3を有する有機ELデバイス1
を実現することができる。さらに、カラー表示に好適な
高輝度の有機ELデバイス1を実現することができる。
さらに、簡易な構造の有機ELデバイス1を実現するこ
とができる。さらに、製品コストの安価な有機ELデバ
イス1を提供することができる。
In the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, similar to the effect obtained by the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, finer EL device 1 having a simple pixel 3
Can be realized. Further, it is possible to realize a high-brightness organic EL device 1 suitable for color display.
Further, the organic EL device 1 having a simple structure can be realized. Further, the organic EL device 1 having a low product cost can be provided.

【0087】第1の変形例:本発明の第1の実施の形態
の第1の変形例から第5の変形例までは、発光効率に優
れた他の断面構造を有する有機ELデバイスの例を説明
するものである。
First Modification: From the first modification to the fifth modification of the first embodiment of the present invention, examples of an organic EL device having another sectional structure excellent in luminous efficiency are described. It is for explanation.

【0088】図14は本発明の第1の実施の形態の第1
の変形例に係る有機ELデバイスの断面構造図である。
図14に示すように、第1の変形例に係る有機ELデバ
イス1は、第1の電極31R上、31G上及び31B上
を含む基板2の全面上と高分子発光層32との間に正孔
注入層35を備えている。すなわち、赤色の発光色の有
機EL素子30Rは、第1の電極31Rと、第1の電極
31R上の正孔注入層35と、正孔注入層35上の赤色
の第1の有機色素42Rが移行拡散された色素移行拡散
部33Rと、色素移行拡散部33R上の第2の電極34
とを備えて構成されている。同様に、緑色の発光色の有
機EL素子30Gは、第1の電極31Gと、第1の電極
31G上の正孔注入層35と、正孔注入層35上の緑色
の第2の有機色素42Gが移行拡散された色素移行拡散
部33Gと、色素移行拡散部33G上の第2の電極34
とを備えて構成されている。青色の発光色の有機EL素
子30Bは、第1の電極31Bと、第1の電極31B上
の正孔注入層35と、正孔注入層35上の青色の第3の
有機色素42Bが移行拡散された色素移行拡散部33B
と、色素移行拡散部33B上の第2の電極34とを備え
ている。
FIG. 14 shows a first embodiment of the first embodiment of the present invention.
It is sectional drawing of the organic EL device which concerns on the modification of FIG.
As shown in FIG. 14, the organic EL device 1 according to the first modification has a positive electrode between the entire surface of the substrate 2 including the first electrodes 31R, 31G, and 31B and the polymer light emitting layer 32. The hole injection layer 35 is provided. That is, the organic EL element 30R for emitting red light includes the first electrode 31R, the hole injection layer 35 on the first electrode 31R, and the red first organic dye 42R on the hole injection layer 35. The dye transfer diffusion part 33R that has been transferred and diffused, and the second electrode 34 on the dye transfer diffusion part 33R.
It is comprised including. Similarly, the organic EL element 30G for emitting green light includes a first electrode 31G, a hole injection layer 35 on the first electrode 31G, and a green second organic dye 42G on the hole injection layer 35. And the second electrode 34 on the dye transfer diffusion portion 33G.
It is comprised including. In the organic EL element 30B emitting blue light, the first electrode 31B, the hole injection layer 35 on the first electrode 31B, and the blue third organic dye 42B on the hole injection layer 35 migrate and diffuse. Dye transfer diffusion part 33B
And a second electrode 34 on the dye transfer diffusion section 33B.

【0089】このように構成される本発明の第1の実施
の形態の第1の変形例に係る有機ELデバイス1におい
ては、本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデバイ
ス1で得られる効果に加えて、正孔注入層35を備えた
ことにより発光効率をより一層向上することができる。
In the organic EL device 1 according to the first modification of the first embodiment of the present invention thus configured, the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention is obtained. In addition to the effects obtained, the provision of the hole injection layer 35 can further improve the light emission efficiency.

【0090】なお、第1の変形例に係る有機ELデバイ
ス1においては、正孔注入層35に加えて正孔輸送層を
さらに備えてもよい。
The organic EL device 1 according to the first modification may further include a hole transport layer in addition to the hole injection layer 35.

【0091】第2の変形例:図15は本発明の第1の実
施の形態の第2の変形例に係る有機ELデバイスの断面
構造図である。図15に示すように、第2の変形例に係
る有機ELデバイス1は、高分子発光層32上の全面と
第2の電極34との間に、高分子発光層32から第2の
電極34に向かって、電子輸送層36、電子注入層37
のそれぞれを順次備えたものである。すなわち、赤色の
発光色の有機EL素子30Rは、第1の電極31Rと、
第1の電極31R上の赤色の第1の有機色素42Rが移
行拡散された色素移行拡散部33Rと、色素移行拡散部
33R上の電子輸送層36と、電子輸送層36上の電子
注入層37と、電子注入層37上の第2の電極34とを
備えて構成されている。同様に、緑色の発光色の有機E
L素子30Gは、第1の電極31Gと、第1の電極31
G上の緑色の第2の有機色素42Gが移行拡散された色
素移行拡散部33Gと、色素移行拡散部33G上の電子
輸送層36と、電子輸送層36上の電子注入層37と、
電子注入層37上の第2の電極34とを備えて構成され
ている。青色の発光色の有機EL素子30Bは、第1の
電極31Bと、第1の電極31B上の青色の第3の有機
色素42Bが移行拡散された色素移行拡散部33Bと、
色素移行拡散部33B上の電子輸送層36と、電子輸送
層36上の電子注入層37と、電子注入層37上の第2
の電極34とを備えている。
Second Modification: FIG. 15 is a sectional structural view of an organic EL device according to a second modification of the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 15, the organic EL device 1 according to the second modified example has a structure in which the second electrode 34 extends from the polymer light emitting layer 32 between the entire surface on the polymer light emitting layer 32 and the second electrode 34. Toward the electron transport layer 36 and the electron injection layer 37
Are sequentially provided. That is, the organic EL element 30R for emitting red light is provided with the first electrode 31R,
A dye transfer / diffusion portion 33R where the red first organic dye 42R on the first electrode 31R is transferred / diffused, an electron transport layer 36 on the dye transfer / diffusion portion 33R, and an electron injection layer 37 on the electron transport layer 36. And a second electrode 34 on the electron injection layer 37. Similarly, organic E of green emission color
The L element 30G includes a first electrode 31G and a first electrode 31.
A dye transfer diffusion portion 33G in which the green second organic dye 42G on G is transferred and diffused; an electron transport layer 36 on the dye transfer diffusion portion 33G; an electron injection layer 37 on the electron transport layer 36;
And a second electrode 34 on the electron injection layer 37. The organic EL element 30B for emitting blue light includes a first electrode 31B, a dye transfer diffusion portion 33B in which the blue third organic dye 42B on the first electrode 31B is transferred and diffused,
The electron transport layer 36 on the dye transfer diffusion part 33B, the electron injection layer 37 on the electron transport layer 36, and the second
Electrodes 34.

【0092】このように構成される本発明の第1の実施
の形態の第2の変形例に係る有機ELデバイス1におい
ては、本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデバイ
ス1で得られる効果に加えて、電子輸送層36及び電子
注入層37を備えたことにより発光効率をより一層向上
することができる。
In the organic EL device 1 according to the second modification of the first embodiment of the present invention thus configured, the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention is obtained. In addition to the effects obtained, the provision of the electron transport layer 36 and the electron injection layer 37 can further improve the luminous efficiency.

【0093】第3の変形例:本発明の第1の実施の形態
の第3の変形例に係る有機ELデバイス1は、前述の図
14に示す第1の変形例に係る有機ELデバイス1の正
孔注入層35(及び正孔輸送層)と、図15に示す第2
の変形例に係る有機ELデバイス1の電子輸送層36及
び電子注入層37とを備えたものである。このように構
成される本発明の第1の実施の形態の第3の変形例に係
る有機ELデバイス1においては、より一層発光効率を
向上することができる。
Third Modification: The organic EL device 1 according to the third modification of the first embodiment of the present invention is different from the organic EL device 1 according to the first modification shown in FIG. The hole injection layer 35 (and the hole transport layer) and the second layer shown in FIG.
The organic EL device 1 according to the modification example includes the electron transport layer 36 and the electron injection layer 37. In the organic EL device 1 according to the third modification of the first embodiment of the present invention configured as described above, the luminous efficiency can be further improved.

【0094】第4の変形例:本発明の第1の実施の形態
の第4の変形例に係る有機ELデバイス1は、発光効率
又はスペクトル変換効率を向上することができるよう
に、上記図14に示す有機ELデバイス1の高分子発光
層32及びそれ以外の正孔注入層35(及び正孔輸送
層)、又は図15に示す有機ELデバイス1の電子注入
層36若しくは電子輸送層37に、高分子発光層32に
移行拡散させる手法と同様に、有機色素をレーザ光50
により移行拡散させたものである。
Fourth Modification: An organic EL device 1 according to a fourth modification of the first embodiment of the present invention is designed to improve the luminous efficiency or the spectral conversion efficiency as shown in FIG. 15 and the hole injection layer 35 (and the hole transport layer) other than the polymer light emitting layer 32 of the organic EL device 1 or the electron injection layer 36 or the electron transport layer 37 of the organic EL device 1 shown in FIG. Similarly to the method of transferring and diffusing the organic dye to the polymer light emitting layer 32, the organic dye is
Are transferred and diffused.

【0095】第5の変形例:本発明の第1の実施の形態
の第5の変形例に係る有機ELデバイス1は、高分子発
光層32やそれ以外の層、例えば第1の変形例に係る正
孔注入層35、第2の変形例に係る電子注入層36、電
子輸送層37に、電子又は正孔等のキャリア輸送性の低
分子材料をドーピングしたものである。この低分子材料
のドーピングは、有機色素の移行拡散と同時に又は別工
程で行うことができる。このように高分子発光層32等
に低分子材料をドーピングすることにより、キャリア輸
送効率、発光効率等に優れた有機ELデバイス1を実現
することができる。さらに、有機EL層の厚さ(有機E
L素子31R、30、G30Bのそれぞれの高さ)を特
に増加させることなく、キャリア輸送分子濃度を増加さ
せることができるので、発光効率に優れた有機ELデバ
イス1を実現することができる。
Fifth Modification: The organic EL device 1 according to a fifth modification of the first embodiment of the present invention is different from the polymer light emitting layer 32 and other layers, for example, the first modification. The hole injection layer 35, the electron injection layer 36, and the electron transport layer 37 according to the second modified example are obtained by doping a low-molecular material having a carrier transport property such as electrons or holes. The doping of the low-molecular material can be performed simultaneously with the transfer diffusion of the organic dye or in a separate step. By doping the polymer light emitting layer 32 and the like with a low molecular material as described above, the organic EL device 1 having excellent carrier transport efficiency, light emission efficiency, and the like can be realized. Further, the thickness of the organic EL layer (organic E
Since the carrier transport molecule concentration can be increased without particularly increasing the height of each of the L elements 31R, 30, and G30B), the organic EL device 1 having excellent luminous efficiency can be realized.

【0096】第6の変形例:本発明の第1の実施の形態
の第6の変形例並びにこの後に説明する第7の変形例
は、有機EL素子の発光制御を行う回路を備えた有機E
Lデバイスを説明するものである。図16は本発明の第
1の実施の形態の第6の変形例に係る有機ELデバイス
の断面構造図、図17は図16に示す有機ELデバイス
の1画素の発光制御を行う回路の回路図である。
Sixth Modification: A sixth modification of the first embodiment of the present invention and a seventh modification which will be described later are directed to an organic EL device provided with a circuit for controlling light emission of an organic EL element.
5 illustrates the L device. FIG. 16 is a sectional structural view of an organic EL device according to a sixth modification of the first embodiment of the present invention, and FIG. 17 is a circuit diagram of a circuit for controlling light emission of one pixel of the organic EL device shown in FIG. It is.

【0097】本発明の第1の実施の形態の第6の変形例
に係る有機ELデバイス1においては、図17に示すよ
うに、画素3の有機EL素子30R、30G、30Bの
それぞれの発光制御が発光制御回路80により行われて
いる。発光制御回路80は、互いに直交して延在するセ
レクト線SLとデータ線DLとの交差部に配設されてお
り、画素選択用の薄膜トランジスタTr1と容量素子C
との直列回路で構成されている。
In the organic EL device 1 according to the sixth modification of the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. Is performed by the light emission control circuit 80. The light emission control circuit 80 is disposed at the intersection of a select line SL and a data line DL extending orthogonally to each other, and includes a thin film transistor Tr1 for pixel selection and a capacitor C
And a series circuit.

【0098】図17及び図16に示すように、発光制御
回路80の薄膜トランジスタTr1は、チャネル領域7
0と、セレクト線SLに接続される第1の主電極71
と、容量素子Cの一方の電極73に接続される第2の主
電極72と、チャネル領域70上の絶縁体74と、絶縁
体74上の制御電極75とを備えて構成されている。チ
ャネル領域70、第1の主電極71、第2の主電極72
は例えば同一層のシリコン多結晶薄膜、シリコン非晶質
薄膜等のゲート材料で形成されている。制御電極75
は、チャネル領域70等とは別の上層において、シリコ
ン多結晶薄膜、シリコン非晶質薄膜、高融点金属シリサ
イド薄膜、高融点金属薄膜等のゲート材料で形成されて
いる。セレクト線SLには、上記ゲート材又はアルミニ
ウム薄膜、アルミニウム合金薄膜等の金属材料を実用的
に使用することができる。
As shown in FIGS. 17 and 16, the thin film transistor Tr1 of the light emission control circuit 80 is
0 and the first main electrode 71 connected to the select line SL
, A second main electrode 72 connected to one electrode 73 of the capacitor C, an insulator 74 on the channel region 70, and a control electrode 75 on the insulator 74. Channel region 70, first main electrode 71, second main electrode 72
Are formed of a gate material such as a silicon polycrystalline thin film and a silicon amorphous thin film in the same layer. Control electrode 75
Is formed of a gate material such as a silicon polycrystalline thin film, a silicon amorphous thin film, a refractory metal silicide thin film, or a refractory metal thin film in an upper layer different from the channel region 70 and the like. For the select line SL, the gate material or a metal material such as an aluminum thin film or an aluminum alloy thin film can be practically used.

【0099】容量素子Cは、一方の電極73と、電極7
3上の誘電体膜76と、誘電体膜76上の他方の電極7
7とを備えて構成されている。電極77は、有機EL素
子30Rの第1の電極31R、有機EL素子30Gの第
2の電極31G又は有機EL素子30Bの第1の電極3
1Bに電気的に接続されるようになっている。電極73
はチャネル領域70等と同一層に同一のゲート材料で形
成されている。誘電体膜76には例えばシリコン酸化膜
を実用的に使用することができる。電極77は例えばセ
レクト線SLと同一層に同一のゲート材料又は金属材料
で形成されている。
The capacitance element C includes one electrode 73 and the electrode 7
3 and the other electrode 7 on the dielectric film 76
7 are provided. The electrode 77 is a first electrode 31R of the organic EL element 30R, a second electrode 31G of the organic EL element 30G, or a first electrode 3 of the organic EL element 30B.
1B. Electrode 73
Are formed of the same gate material in the same layer as the channel region 70 and the like. As the dielectric film 76, for example, a silicon oxide film can be practically used. The electrode 77 is formed of, for example, the same gate material or metal material in the same layer as the select line SL.

【0100】発光制御回路80は基板2上に形成され、
この発光制御回路80上には絶縁膜79を介在させて有
機EL素子30R、30G、30Bのそれぞれが配列さ
れている。絶縁膜79には例えばシリコン酸化膜を実用
的に使用することができる。本発明の第1の実施の形態
の第6の変形例に係る有機ELデバイス1には、基板2
に透明なガラス基板を採用しているので、図16に矢印
で示すように、光出射方向は基板2側(図中、下側)に
なる。
The light emission control circuit 80 is formed on the substrate 2,
Each of the organic EL elements 30R, 30G, and 30B is arranged on the light emission control circuit 80 with an insulating film 79 interposed therebetween. As the insulating film 79, for example, a silicon oxide film can be practically used. An organic EL device 1 according to a sixth modification of the first embodiment of the present invention has a substrate 2
Since a transparent glass substrate is employed, the light emission direction is on the substrate 2 side (the lower side in the figure) as shown by the arrow in FIG.

【0101】なお、本発明の第1の実施の形態の第6の
変形例に係る有機ELデバイス1においては、図18に
示す回路構成の発光制御回路81を採用することができ
る。すなわち、発光制御回路81は、画素選択用の第1
の薄膜トランジスタTr1と容量素子Cとの直列回路
と、電源線PLと有機EL素子30R、30G又は30
Bとの間に挿入され第1の薄膜トランジスタTr1で制
御される第2の薄膜トランジスタTr2とを備えて構成
されている。第2の薄膜トランジスタTr2の具体的な
デバイス構造は図16に示す薄膜トランジスタTr1と
実質的に同一の構造である。
In the organic EL device 1 according to the sixth modification of the first embodiment of the present invention, a light emission control circuit 81 having a circuit configuration shown in FIG. 18 can be employed. That is, the light emission control circuit 81 performs the first pixel selection.
Series circuit of the thin film transistor Tr1 and the capacitor C, the power line PL and the organic EL element 30R, 30G or 30
B and a second thin film transistor Tr2 controlled by the first thin film transistor Tr1. The specific device structure of the second thin film transistor Tr2 is substantially the same as the thin film transistor Tr1 shown in FIG.

【0102】第7の変形例:図19は本発明の第1の実
施の形態の第7の変形例に係る有機ELデバイスの断面
構造図である。本発明の第1の実施の形態の第7の変形
例に係る有機ELデバイス1は、図19に示すように、
本発明の第1の実施の形態の第6の変形例に係る有機E
Lデバイス1において、基板2に不透明な例えばシリコ
ン単結晶基板を使用し、有機EL素子30R、30G、
30Bのそれぞれの第1の電極31R、31G、31B
にアルミニウム薄膜等の陰極としての電極材料を使用
し、第2の電極34に酸化インジウム錫合金薄膜等の陽
極としての電極材料を使用して構成されている。
Seventh Modification: FIG. 19 is a sectional structural view of an organic EL device according to a seventh modification of the first embodiment of the present invention. An organic EL device 1 according to a seventh modification of the first embodiment of the present invention includes, as shown in FIG.
Organic E according to a sixth modification of the first embodiment of the present invention
In the L device 1, an opaque, for example, silicon single crystal substrate is used as the substrate 2, and the organic EL elements 30R, 30G,
30B each of the first electrodes 31R, 31G, 31B
An electrode material such as an aluminum thin film is used as a cathode, and the second electrode 34 is formed using an electrode material such as an indium tin oxide thin film as an anode.

【0103】本発明の第1の実施の形態の第7の変形例
に係る有機ELデバイス1においては、同図19に矢印
で示すように、光出射方向は第2の電極34側(図中、
上側)に設定することができるので、基板2の材料とし
て透明なガラス基板に限らず、シリコン単結晶基板やそ
れ以外の配線基板材料を使用することが可能になる。基
板2には、シリコン単結晶基板の他に、絶縁性基板等を
使用することができる。
In the organic EL device 1 according to the seventh modification of the first embodiment of the present invention, as shown by an arrow in FIG. 19, the light emission direction is on the second electrode 34 side (in the figure). ,
(Upper side), the material of the substrate 2 is not limited to a transparent glass substrate, and a silicon single crystal substrate and other wiring substrate materials can be used. As the substrate 2, an insulating substrate or the like can be used in addition to the silicon single crystal substrate.

【0104】第8の変形例:本発明の第1の実施の形態
の第8の変形例に係る有機ELデバイス1の製造方法に
おいては、第1の色素層40R、第2の色素層40G、
第3の色素層40Bのそれぞれが、熱可塑性プラスチッ
クをバインダーとした有機色素ペーストを、乾式グラビ
ア印刷法で高分子発光層32上に印刷することにより形
成することができる。このようなグラビア印刷法により
形成される第1の色素層40R、第2の色素層40G、
第3の色素層40Bのそれぞれは、製作コストの面で安
価であり、有機ELデバイス1の生産性に優れている。
バインダーとしての熱可塑性プラスチックには、ポリス
チレン、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)等を実用
的に使用することができる。第1の色素層40R、第2
の色素層40G、第3の色素層40Bのそれぞれは例え
ば1μm〜3μm程度の膜厚で形成することができ、厚
さ斑のない高品質な第1の色素層40R、第2の色素層
40G、第3の色素層40Bを形成することができる。
Eighth Modification: In the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the eighth modification of the first embodiment of the present invention, the first dye layer 40R, the second dye layer 40G,
Each of the third dye layers 40B can be formed by printing an organic dye paste using a thermoplastic plastic as a binder on the polymer light emitting layer 32 by a dry gravure printing method. A first dye layer 40R, a second dye layer 40G formed by such a gravure printing method,
Each of the third dye layers 40B is inexpensive in terms of manufacturing cost, and is excellent in productivity of the organic EL device 1.
Polystyrene, polymethyl methacrylate (PMMA), or the like can be practically used as the thermoplastic plastic as a binder. First dye layer 40R, second dye layer
Each of the third dye layer 40G and the third dye layer 40B can be formed to a thickness of, for example, about 1 μm to 3 μm, and has high quality of the first dye layer 40R and the second dye layer 40G without thickness unevenness. The third dye layer 40B can be formed.

【0105】第9の変形例:本発明の第1の実施の形態
の第9の変形例に係る有機ELデバイス1の製造方法に
おいては、第1の色素層40R、第2の色素層40G、
第3の色素層40Bのそれぞれが、有機色素を溶解した
溶液を、グラビアコート、ダイコート等の湿式写真製版
法で高分子発光層32に印刷することにより形成するこ
とができる。上記第8の変形例と同様に、このような写
真製版法により形成される第1の色素層40R、第2の
色素層40G、第3の色素層40Bのそれぞれは、製作
コストの面で安価であり、有機ELデバイス1の生産性
に優れている。
Ninth Modification: In the method of manufacturing an organic EL device 1 according to a ninth modification of the first embodiment of the present invention, the first dye layer 40R, the second dye layer 40G,
Each of the third dye layers 40B can be formed by printing a solution in which an organic dye is dissolved on the polymer light emitting layer 32 by a wet photoengraving method such as gravure coating or die coating. As in the eighth modification, each of the first dye layer 40R, the second dye layer 40G, and the third dye layer 40B formed by such a photoengraving method is inexpensive in terms of manufacturing cost. Therefore, the productivity of the organic EL device 1 is excellent.

【0106】(第2の実施の形態)本発明の第2の実施
の形態は、本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデ
バイス1及びその製造方法の色素層の有機色素をサーマ
ルヘッドにより高分子発光層に移行拡散させ、色素移行
拡散部を形成した例を説明するものである。なお、本発
明の第2の実施の形態に係る有機ELデバイスの断面構
造は、図1に示す本発明の第1の実施の形態に係る有機
ELデバイス1の断面構造と実質的に同一構造で形成さ
れるので、ここでの説明は省略する。また、本発明の第
2の実施の形態に係る有機ELデバイスの各部の機能や
材料について、特に説明を加えない場合には、本発明の
第1の実施の形態に係る有機ELデバイス1の各部の機
能や材料と同一のものが使用されている。
(Second Embodiment) In a second embodiment of the present invention, an organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention and an organic dye of the dye layer in the method for manufacturing the same are transferred to a thermal head. This explains an example in which the dye is transferred and diffused into the polymer light emitting layer to form a dye transfer / diffusion portion. The cross-sectional structure of the organic EL device according to the second embodiment of the present invention is substantially the same as the cross-sectional structure of the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. Since it is formed, the description here is omitted. In addition, unless otherwise specified, the functions and materials of each part of the organic EL device according to the second embodiment of the present invention will be described. The same functions and materials are used.

【0107】製造プロセス:図20乃至図25は本発明
の第2の実施の形態に係る有機ELデバイスの製造工程
図である。
Manufacturing Process: FIGS. 20 to 25 are manufacturing process diagrams of the organic EL device according to the second embodiment of the present invention.

【0108】(1)まず、前述の図2に示すように、有
機ELデバイス1の基台となる基板2を準備し、前述の
図3に示すように、基板2の表面上に複数の第1の電極
31R、31G及び31Bを形成する。本発明の第1の
実施の形態に係る有機ELデバイス1の製造プロセスと
同様に、第1の電極31Rは赤色の有機EL素子30R
を形成する基板2上の第1の領域Rに形成され、第1の
電極31Gは緑色の有機EL素子30Gを形成する基板
2上の第2の領域Gに形成され、第1の電極31Bは青
色の有機EL素子30Bを形成する基板2上の第3の領
域Bに形成される。すなわち、1組の第1の電極31
R、31G及び31Bは1つの画素3の形成領域に対応
する部分に形成されている。
(1) First, as shown in FIG. 2 described above, a substrate 2 serving as a base of the organic EL device 1 is prepared, and as shown in FIG. One electrode 31R, 31G and 31B is formed. As in the manufacturing process of the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, the first electrode 31R is a red organic EL element 30R.
Is formed in a first region R on the substrate 2 on which the first organic EL element 30G is formed. The first electrode 31G is formed in a second region G on the substrate 2 on which the green organic EL element 30G is formed. It is formed in a third region B on the substrate 2 on which the blue organic EL element 30B is formed. That is, a set of first electrodes 31
R, 31G, and 31B are formed in portions corresponding to the formation region of one pixel 3.

【0109】(2)前述の図4に示すように、第1の電
極31R、31G及び31Bの表面上を含む基板2の全
面上に高分子発光層32を形成する。
(2) As shown in FIG. 4, the polymer light emitting layer 32 is formed on the entire surface of the substrate 2 including the surfaces of the first electrodes 31R, 31G and 31B.

【0110】(3)本発明の第1の実施の形態に係る有
機ELデバイス1の製造方法と同様に、図20に示すよ
うに、高分子発光層32上の全面に赤色の第1の有機色
素42Rが含まれた第1の色素層40Rを形成する。
(3) As in the method for manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. The first dye layer 40R containing the dye 42R is formed.

【0111】(4)次に、第1の色素層40R上にフィ
ルム45を配置する(図21参照。)。フィルム45
は、サーマルヘッド92で第1の色素層40Rを加熱し
た際に、第1の色素層40Rの第1の有機色素42Rが
サーマルヘッド92側に拡散されるよりも前に高分子発
光層32側に移行拡散させることができるようになって
いる。すなわち、フィルム45は、第1の色素層40R
からの第1の有機色素42の拡散等を防止することがで
き、サーマルヘッド92の汚れや劣化を防止することが
できるようになっている。フィルム45には、高分子発
光層32のガラス転移温度よりも高いガラス転移温度を
有し、移行拡散の加熱では第1の有機色素42Rが拡散
しない、例えば樹脂フィルムを使用することが好まし
い。具体的には、フィルム45には、例えば2μm〜2
0μm程度の薄い膜厚で長尺(テープ)状のポリエチレ
ンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナ
フタレートフィルム、ポリイミドフィルム等を実用的に
使用することができる。
(4) Next, a film 45 is disposed on the first dye layer 40R (see FIG. 21). Film 45
Means that when the first dye layer 40R is heated by the thermal head 92, the first organic dye 42R of the first dye layer 40R is diffused toward the polymer light emitting layer 32 before the first organic dye 42R is diffused toward the thermal head 92. It can be transferred and diffused. That is, the film 45 includes the first pigment layer 40R.
Thus, the first organic dye 42 can be prevented from diffusing, and the thermal head 92 can be prevented from being stained or deteriorated. For the film 45, it is preferable to use, for example, a resin film that has a glass transition temperature higher than the glass transition temperature of the polymer light emitting layer 32 and does not allow the first organic dye 42R to diffuse by heating during transition diffusion. Specifically, the film 45 has, for example, 2 μm to 2 μm.
A long (tape) -like polyethylene terephthalate (PET) film, polyethylene naphthalate film, polyimide film or the like having a thin film thickness of about 0 μm can be practically used.

【0112】引き続き、図21に示すように、第1の領
域Rの第1の電極31Rに対応した領域において、サー
マルヘッド92の発熱体94Rによりフィルム45を介
在させて少なくとも第1の色素層40Rを加圧及び加熱
し、第1の色素層40Rの第1の有機色素42Rを高分
子発光層32に移行拡散し、第1の有機色素42Rが移
行拡散された色素移行拡散部33Rを形成する。第1の
色素層40R、高分子発光層32のぞれぞれにPVCz
薄膜が使用される場合、PVCz薄膜のガラス転移点T
gは173℃であるので、発熱体94Rにより第1の色
素層40R、高分子発光層32のぞれぞれは180℃〜
185℃程度に加熱される。
Subsequently, as shown in FIG. 21, in a region of the first region R corresponding to the first electrode 31R, at least the first dye layer 40R is interposed by the heating element 94R of the thermal head 92 with the film 45 interposed therebetween. Is pressed and heated to transfer and diffuse the first organic dye 42R of the first dye layer 40R to the polymer light emitting layer 32, thereby forming a dye transfer diffusion portion 33R in which the first organic dye 42R is transferred and diffused. . PVCz is applied to each of the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32.
If a thin film is used, the glass transition point T of the PVCz thin film
Since g is 173 ° C., each of the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32 is 180 ° C. or less due to the heating element 94R.
Heated to about 185 ° C.

【0113】図26は本発明の第2の実施の形態に用い
られる有機色素転写装置の概略構成図である。
FIG. 26 is a schematic configuration diagram of an organic dye transfer device used in the second embodiment of the present invention.

【0114】図26に示すように、上記移行拡散は有機
色素転写装置9により実施することができる。この有機
色素転写装置9は、基板2を載置し保持するキャリッジ
90と、このキャリッジ90をX方向に移動させるキャ
リッジ駆動部91と、フィルム45を供給する供給側ロ
ール46A及びフィルム45を巻き取る巻取側ロール4
6Bと、巻取側ロール46Bを回転させるロール駆動部
96と、移行拡散を行う発熱体94(94R、94G及
び94B)を有するサーマルヘッド92と、発熱体94
の加熱温度を制御する発熱体制御部95と、サーマルヘ
ッド92をZ方向(上下方向)に昇降させるヘッド駆動
部93とを備えて構成されている。図27に示すよう
に、サーマルヘッド92において、発熱体94は、第1
の色素層40Rを加圧及び加熱する発熱体94R、第2
の色素層40Gを加圧及び加熱する発熱体94G、第3
の色素層40Bを加圧及び加熱する発熱体94Bのそれ
ぞれを1組としてY方向に複数配列されている。実際に
は、サーマルヘッド92のこれらの発熱体94R、94
G、94Bはいずれも同様な抵抗体で形成されており、
第1の色素層40Rを加圧及び加熱する時に発熱体94
Rにのみ通電され、第2の色素層40Gを加圧及び加熱
する時に発熱体94Gにのみ通電され、第3の色素層4
0Bを加圧及び加熱する時に発熱体94Bにのみ通電さ
れるようになっている。発熱体94Rは基板2上のY方
向(紙面に対して垂直な方向)に配列された複数の第1
の電極31Rに個々に対応するようになっている。同様
に、発熱体94Gは基板2上のY方向に配列された複数
の第1の電極31Gに個々に対応し、発熱体94Bは基
板2上のY方向に配列された複数の第1の電極31Bに
個々に対応するようになっている。発熱体94R、94
G、94Bは、いずれも発熱体制御部95からの電流供
給により(通電することにより)各色毎に加熱され、加
熱温度は通電時間及び通電電流量により調節することが
できる。
As shown in FIG. 26, the transfer diffusion can be performed by the organic dye transfer device 9. The organic dye transfer device 9 takes up a carriage 90 for mounting and holding the substrate 2, a carriage driving unit 91 for moving the carriage 90 in the X direction, and a supply roll 46A for supplying the film 45 and the film 45. Take-up roll 4
6B, a roll driving unit 96 for rotating the take-up roll 46B, a thermal head 92 having heating elements 94 (94R, 94G and 94B) for performing transition diffusion, and a heating element 94.
And a head driving unit 93 that moves the thermal head 92 up and down in the Z direction (vertical direction). As shown in FIG. 27, in the thermal head 92, the heating element 94
Heating element 94R that pressurizes and heats the dye layer 40R,
Heating element 94G for pressing and heating the dye layer 40G of
A plurality of heating elements 94B for pressing and heating the dye layer 40B are arranged as a set in the Y direction. Actually, these heating elements 94R, 94R of the thermal head 92 are used.
G and 94B are both formed of similar resistors.
When the first dye layer 40R is pressed and heated, the heating element 94 is used.
R is applied only to the heating element 94G when the second dye layer 40G is pressed and heated.
When pressurizing and heating OB, only the heating element 94B is energized. The plurality of first heating elements 94R are arranged on the substrate 2 in the Y direction (direction perpendicular to the paper surface).
Corresponding to each of the electrodes 31R. Similarly, the heating element 94G individually corresponds to the plurality of first electrodes 31G arranged on the substrate 2 in the Y direction, and the heating element 94B corresponds to the plurality of first electrodes 31 arranged on the substrate 2 in the Y direction. 31B individually. Heating element 94R, 94
Both G and 94B are heated for each color by supplying current from the heating element control unit 95 (by supplying electricity), and the heating temperature can be adjusted by the supply time and supply current amount.

【0115】図28は発熱体94の加熱時間(通電時
間)と加熱電流(通電電流量)と移行拡散濃度(ドーピ
ング濃度)との関係を示す図である。サーマルヘッド9
2の発熱体94の加熱時間が増加することにより、赤色
の第1の有機色素42Rの第1の色素層40Rから高分
子発光層32への移行拡散濃度は増加する傾向にある。
さらに、発熱体94の加熱電流i1→i2→i3と順次
増加することにより、赤色の第1の有機色素42Rの第
1の色素層40Rから高分子発光層32への移行拡散濃
度は増加する傾向にある。このような図28に示す傾向
を利用して加熱時間並びに加熱電流を制御する、すなわ
ちサーマルヘッド92の発熱体94の通電時間並びに通
電電流量を制御することにより、高分子発光層32の移
行拡散濃度を簡易にかつ正確に制御することができる。
また、発熱体94の通電開始の初期段階においては、発
熱体94の温度が低いので、通電時間若しくは通電電流
量又はその双方は若干多めに調節される。通電開始から
一定の時間経過した中期又は後期段階においては、発熱
体94の温度が高くなっているので、通電時間若しくは
通電電流量又はその双方は若干少なめに調節される。こ
のような調節は発熱体制御部95に含まれるマイクロプ
ロセッサにより自動的に行われる。なお、図28に示す
加熱時間と加熱電流と移行拡散濃度との関係は、後述す
る緑色の第2の有機色素42G、青色の第3の有機色素
42Bのそれぞれについても同様である。
FIG. 28 is a diagram showing the relationship between the heating time (heating time) of the heating element 94, the heating current (current flowing amount), and the transition diffusion concentration (doping concentration). Thermal head 9
As the heating time of the second heating element 94 increases, the transfer diffusion density of the red first organic dye 42R from the first dye layer 40R to the polymer light emitting layer 32 tends to increase.
Further, by sequentially increasing the heating current i1 → i2 → i3 of the heating element 94, the transfer diffusion density of the red first organic dye 42R from the first dye layer 40R to the polymer light emitting layer 32 tends to increase. It is in. By controlling the heating time and the heating current using the tendency shown in FIG. 28, that is, by controlling the conduction time and the conduction current amount of the heating element 94 of the thermal head 92, the transfer diffusion of the polymer light emitting layer 32 is controlled. The concentration can be easily and accurately controlled.
In the initial stage of the start of energization of the heating element 94, since the temperature of the heating element 94 is low, the energizing time and / or the amount of energizing current are adjusted slightly larger. In a middle or late stage after a certain time has elapsed from the start of energization, the temperature of the heating element 94 is high, so that the energization time and / or the amount of energization current are adjusted slightly lower. Such adjustment is automatically performed by a microprocessor included in the heating element control unit 95. Note that the relationship between the heating time, the heating current, and the transfer diffusion concentration shown in FIG. 28 is the same for each of the green second organic dye 42G and the blue third organic dye 42B described later.

【0116】図26及び図27において、上記有機色素
転写装置9の有機色素転写動作は以下の通り行われる。
まず、キャリッジ90上に高分子発光層32及び第1の
色素層40Rが既に形成された基板2を載置し保持し、
サーマルヘッド92の発熱体94の発熱体94Rが基板
2の有機色素転写開始位置に対向するようにキャリッジ
90をキャリッジ駆動部91により移動させる。基板2
の第1の色素層40Rとサーマルヘッド92の発熱体9
4Rとの間には供給側ロール46Aから供給され巻取側
ロール46Bで巻き取られるフィルム45が配置され
る。ヘッド駆動部93によりサーマルヘッド92を降下
させ、このサーマルヘッド92の発熱体94Rをフィル
ム45を介在させて基板2に押し当てるとともに、発熱
体制御部95により発熱体94Rの通電を開始する。発
熱体94Rは、フィルム45を介在させて、第1の色素
層40R及び高分子発光層32を加圧するとともに加熱
し、図21に示すように第1の色素層40Rの第1の有
機色素42Rを高分子発光層32に移行拡散させて赤色
の第1の有機色素42Rを含む色素移行拡散部33Rを
形成することができる。
In FIGS. 26 and 27, the organic dye transfer operation of the organic dye transfer device 9 is performed as follows.
First, the substrate 2 on which the polymer light emitting layer 32 and the first dye layer 40R are already formed is placed and held on the carriage 90,
The carriage 90 is moved by the carriage drive unit 91 so that the heating element 94R of the heating element 94 of the thermal head 92 faces the organic dye transfer start position on the substrate 2. Substrate 2
Of the first dye layer 40R and the heating element 9 of the thermal head 92
A film 45 supplied from the supply roll 46A and taken up by the take-up roll 46B is arranged between the film 45 and the feed roll 4B. The thermal head 92 is lowered by the head driving unit 93, the heating element 94R of the thermal head 92 is pressed against the substrate 2 with the film 45 interposed, and the heating element control unit 95 starts energization of the heating element 94R. The heating element 94R presses and heats the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32 with the film 45 interposed therebetween, and as shown in FIG. 21, the first organic dye 42R of the first dye layer 40R. Is transferred to and diffused into the polymer light emitting layer 32 to form the dye transfer / diffusion portion 33R including the red first organic dye 42R.

【0117】フィルム45の厚さが数μm程度で形成さ
れている場合には、数msの極めて短時間において、第
1の有機色素42Rを高分子発光層32に移行拡散させ
ることができる。しかも、発熱体94Rにより加圧及び
加熱された第1の色素層40R及び高分子発光層32の
領域において選択的に第1の有機色素42Rを移行拡散
させることができる。発熱体94R自体は、半導体製造
技術におけるフォトリソグラフィ技術及びエッチング技
術を利用して製造することができるので、数μm〜数十
μmの微細加工で形成することができる。具体的には、
第1の電極31Rと同等の例えば40μm程度の幅寸法
で発熱体94Rを形成することができる。従って、赤色
の色素移行拡散部33Rに後述する緑色の色素移行拡散
部33G及び青色の色素移行拡散部33Bを加え、合計
3色の色素移行拡散部33R、33G及び33Bで1つ
の画素3を形成しても、1つの画素3の寸法を120μ
m〜150μm程度の微細な寸法で形成することができ
る。
When the thickness of the film 45 is about several μm, the first organic dye 42R can be transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32 in a very short time of several ms. In addition, the first organic dye 42R can be selectively transferred and diffused in the region of the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32 which are pressurized and heated by the heating element 94R. The heating element 94R itself can be manufactured using photolithography technology and etching technology in semiconductor manufacturing technology, and thus can be formed by fine processing of several μm to several tens μm. In particular,
The heating element 94R can be formed with a width dimension of, for example, about 40 μm, which is equivalent to that of the first electrode 31R. Therefore, a green dye transfer diffusion part 33G and a blue dye transfer diffusion part 33B, which will be described later, are added to the red dye transfer diffusion part 33R, and one pixel 3 is formed by a total of three color dye transfer diffusion parts 33R, 33G and 33B. However, the size of one pixel 3 is 120 μm.
It can be formed with a fine size of about m to 150 μm.

【0118】そして、図27に示すように、Y方向の一
列において、移行拡散が終了し、赤色の第1の有機色素
42Rを含む色素移行拡散部33Rが形成された後に
は、発熱体94Rへの通電を停止し、サーマルヘッド9
2を押圧したままキャリッジ90をキャリッジ駆動部9
1によりX方向に画素ピッチ分(第1の電極31Rのピ
ッチ分)移動させ、次段の有機色素転写位置の第1の色
素層40R及び高分子発光層32上にサーマルヘッド9
2を配置する。この後、上記と同様に繰り返し移行拡散
が実施され、X方向において基板2上に赤色の第1の有
機色素42Rを含む色素移行拡散部33Rを形成するこ
とができる。
Then, as shown in FIG. 27, in one row in the Y direction, the transfer diffusion is completed, and after the dye transfer diffusion portion 33R including the red first organic dye 42R is formed, the transfer to the heating element 94R is performed. Of the thermal head 9
The carriage 90 is moved while the carriage 2 is pressed.
1 moves in the X direction by the pixel pitch (the pitch of the first electrode 31R), and moves the thermal head 9 onto the first dye layer 40R and the polymer light emitting layer 32 at the next organic dye transfer position.
2 is arranged. Thereafter, transfer diffusion is repeatedly performed in the same manner as described above, and a dye transfer diffusion portion 33R including the first organic dye 42R of red color can be formed on the substrate 2 in the X direction.

【0119】(5)赤色の発光を行う色素移行拡散部3
3Rがすべて形成された後、有機色素転写装置9から基
板2を取り外し、基板2上の第1の色素層40Rを除去
する。特に第1の色素層40Rは、その除去に際して高
分子発光層32を溶解しない溶剤、例えばエタノール等
により、高分子発光層32に対して選択的に除去され
る。
(5) Dye transfer diffusion section 3 for emitting red light
After all of the 3Rs are formed, the substrate 2 is removed from the organic dye transfer device 9, and the first dye layer 40R on the substrate 2 is removed. In particular, the first dye layer 40R is selectively removed with respect to the polymer light-emitting layer 32 by using a solvent that does not dissolve the polymer light-emitting layer 32, such as ethanol, when removing the first dye layer 40R.

【0120】(6)次に、本発明の第1の実施の形態に
係る有機ELデバイス1の製造方法と同様に、図22に
示すように、高分子発光層32上の全面に緑色の第2の
有機色素42Gが含まれた第2の色素層40Gを形成す
る。
(6) Next, similarly to the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. A second dye layer 40G containing the second organic dye 42G is formed.

【0121】(7)そして、第2の色素層40Gが形成
された基板2を有機色素転写装置9に取り付け、第2の
色素層40G上にフィルム45を配置する(図23参
照)。引き続き、図23に示すように、第2の領域Gの
第1の電極31Gに対応した領域において、サーマルヘ
ッド92の発熱体94Gによりフィルム45を介在させ
て少なくとも第2の色素層40Gを加圧及び加熱し、第
2の色素層40Gの第2の有機色素42Gを高分子発光
層32に移行拡散し、第2の有機色素42Gが移行拡散
された色素移行拡散部33Gを形成することができる。
(7) Then, the substrate 2 on which the second dye layer 40G is formed is attached to the organic dye transfer device 9, and the film 45 is disposed on the second dye layer 40G (see FIG. 23). Subsequently, as shown in FIG. 23, in a region corresponding to the first electrode 31G in the second region G, at least the second dye layer 40G is pressed by the heating element 94G of the thermal head 92 with the film 45 interposed therebetween. Then, the second organic dye 42G of the second dye layer 40G is transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32 to form the dye transfer diffusion portion 33G in which the second organic dye 42G is transferred and diffused. .

【0122】(8)緑色の発光を行う色素移行拡散部3
3Gがすべて形成された後、有機色素転写装置9から基
板2を取り外し、基板2上の第2の色素層40Gを除去
する。特に第2の色素層40Gは、その除去に際して高
分子発光層32を溶解しない溶剤により、高分子発光層
32に対して選択的に除去される。
(8) Dye transfer diffusion section 3 for emitting green light
After all of the 3G are formed, the substrate 2 is removed from the organic dye transfer device 9, and the second dye layer 40G on the substrate 2 is removed. In particular, the second dye layer 40G is selectively removed with respect to the polymer light emitting layer 32 by a solvent that does not dissolve the polymer light emitting layer 32 at the time of removal.

【0123】(9)次に、本発明の第1の実施の形態に
係る有機ELデバイス1の製造方法と同様に、図24に
示すように、高分子発光層32上の全面に青色の第3の
有機色素42Bが含まれた第3の色素層40Bを形成す
る。
(9) Next, similarly to the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. A third dye layer 40B containing the third organic dye 42B is formed.

【0124】(10)そして、第3の色素層40Bが形
成された基板2を有機色素転写装置9に取り付け、第3
の色素層40B上にフィルム45を配置する(図25参
照)。引き続き、図25に示すように、第3の領域Bの
第1の電極31Bに対応した領域において、サーマルヘ
ッド92の発熱体94Bによりフィルム45を介在させ
て少なくとも第3の色素層40Bを加圧及び加熱し、第
3の色素層40Bの第3の有機色素42Bを高分子発光
層32に移行拡散し、第3の有機色素42Bが移行拡散
された色素移行拡散部33Bを形成することができる。
(10) Then, the substrate 2 on which the third dye layer 40B is formed is attached to the organic dye transfer device 9, and the third dye layer
The film 45 is disposed on the dye layer 40B (see FIG. 25). Subsequently, as shown in FIG. 25, in a region corresponding to the first electrode 31B in the third region B, at least the third dye layer 40B is pressed by the heating element 94B of the thermal head 92 with the film 45 interposed therebetween. Then, the third organic dye 42B of the third dye layer 40B is transferred and diffused into the polymer light emitting layer 32 to form a dye transfer diffusion portion 33B in which the third organic dye 42B is transferred and diffused. .

【0125】(11)青色の発光を行う色素移行拡散部
33Bがすべて形成された後、有機色素転写装置9から
基板2を取り外し、基板2上の第3の色素層40Bを除
去する。特に第3の色素層40Bは、その除去に際して
高分子発光層32を溶解しない溶剤により、高分子発光
層32に対して選択的に除去される。
(11) After all the dye transfer / diffusion portions 33B that emit blue light are formed, the substrate 2 is removed from the organic dye transfer device 9, and the third dye layer 40B on the substrate 2 is removed. In particular, the third dye layer 40B is selectively removed with respect to the polymer light emitting layer 32 by a solvent that does not dissolve the polymer light emitting layer 32 at the time of removal.

【0126】(12)そして、前述の図1に示す本発明
の第1の実施の形態に係る有機ELデバイス1と同様
に、色素移行拡散部33R、33G、33Bのそれぞれ
の表面上に第2の電極34を形成する。この第2の電極
34を形成することにより、又必要に応じて第2の電極
34上に保護膜を形成することにより、本発明の第2の
実施の形態に係る有機ELデバイス1を完成させること
ができる。
(12) As in the case of the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the second surface of the dye transfer diffusion portions 33R, 33G, 33B Is formed. By forming the second electrode 34 and, if necessary, forming a protective film on the second electrode 34, the organic EL device 1 according to the second embodiment of the present invention is completed. be able to.

【0127】なお、上記本発明の第2の実施の形態にお
いては、図27に示すように色素移行拡散部33R、3
3G及び33Bを有する画素3をX方向及びY方向に規
則的に配列した場合を説明しているが、本発明は、前述
の第1の実施の形態に係る有機ELデバイス1において
説明したように画素3の配列パターンを千鳥状としても
よい。
In the second embodiment of the present invention, as shown in FIG.
Although the case where the pixels 3 having 3G and 33B are regularly arranged in the X direction and the Y direction is described, the present invention is, as described in the organic EL device 1 according to the first embodiment described above. The arrangement pattern of the pixels 3 may be staggered.

【0128】以上説明したように、本発明の第2の実施
の形態に係る有機ELデバイス1の製造方法において
は、本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデバイス
1の製造方法で得られる効果の他に、第1の色素層40
R、第2の色素層40G、第3の色素層40Bのそれぞ
れの加熱を、加圧を伴うサーマルヘッド92で行ったこ
とで、サーマルヘッド92の発熱体94(94R、94
G又は94B)のサイズに対応して微細なパターンの有
機EL素子30R、30G、30Bのそれぞれをを簡易
に形成することができる。
As described above, the method for manufacturing the organic EL device 1 according to the second embodiment of the present invention is obtained by the method for manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention. In addition to the effect obtained, the first dye layer 40
R, the second dye layer 40G, and the third dye layer 40B are each heated by the thermal head 92 with pressurization, so that the heating elements 94 (94R, 94R) of the thermal head 92 are heated.
G or 94B), and each of the organic EL elements 30R, 30G, and 30B having a fine pattern can be easily formed.

【0129】さらに、本発明の第2の実施の形態に係る
有機ELデバイス1の製造方法においては、第1の色素
層40Rの第1の有機色素42R、第2の色素層40G
の第2の有機色素42G、第3の色素層40Bの第3の
有機色素42Bの拡散を防ぐフィルム45を形成する工
程を備えたので、サーマルヘッド92の汚れや劣化を防
止して、メンテナンス作業労力を減少することができ
る。
Further, in the method for manufacturing the organic EL device 1 according to the second embodiment of the present invention, the first organic dye 42R and the second dye layer 40G of the first dye layer 40R are provided.
Forming a film 45 for preventing the diffusion of the third organic dye 42B of the second organic dye 42G and the third organic dye 42B of the third dye layer 40B. Effort can be reduced.

【0130】なお、本発明の第2の実施の形態に係る有
機ELデバイス1においては、前述の本発明の第1の実
施の形態の第1の変形例乃至第9の変形例のようにする
ことができる。
In the organic EL device 1 according to the second embodiment of the present invention, the first to ninth modified examples of the first embodiment of the present invention are used. be able to.

【0131】(その他の実施の形態)本発明は上記複数
の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をな
す論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解
すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実
施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
(Other Embodiments) Although the present invention has been described with reference to the above embodiments, it should not be understood that the description and drawings constituting a part of this disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, examples, and operation techniques will be apparent to those skilled in the art.

【0132】例えば、上記第1の実施の形態に係る有機
ELデバイス1の製造方法においては、第1のマスク層
41R、第2のマスク層41G、第3のマスク層41B
のそれぞれを形成する工程に代えて、上記第2の実施の
形態に係る有機ELデバイス1の製造方法で使用するフ
ィルム層45のように、マスク層を供給側ロールで供給
し巻取側ロールで巻き取るようにしてもよい。
For example, in the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the first embodiment, the first mask layer 41R, the second mask layer 41G, and the third mask layer 41B
Instead of forming each of the above, like the film layer 45 used in the method of manufacturing the organic EL device 1 according to the second embodiment, the mask layer is supplied by the supply-side roll and is supplied by the winding-side roll. You may make it wind up.

【0133】さらに、本発明は、上記第1の実施の形態
の第1の変形例乃至第9の変形例の少なくとも2以上を
組み合わせた有機ELデバイス1又はその製造方法とし
てもよい。
Further, the present invention may be an organic EL device 1 combining at least two of the first to ninth modifications of the first embodiment or a method of manufacturing the same.

【0134】このように、本発明はここでは記載してい
ない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。従っ
て、本発明の技術的範囲は上記の妥当な特許請求の範囲
に係る発明特定事項によってのみ定められるものであ
る。
As described above, the present invention naturally includes various embodiments and the like not described herein. Therefore, the technical scope of the present invention is defined only by the invention specifying matters according to the appropriate claims.

【0135】[0135]

【発明の効果】本発明は、有機色素を含む色素層を形成
し、この色素層の有機色素を高分子発光層に移行拡散さ
せた色素移行拡散部を備えたので、各発光色の有機EL
素子を微細なパターンで形成することができ、かつ各発
光色の有機EL素子においてカラー表示に好適な高輝度
を得ることができる有機ELデバイス並びにその製造方
法を提供することができる。
According to the present invention, a dye layer containing an organic dye is formed, and a dye transfer / diffusion portion for transferring and diffusing the organic dye of the dye layer to the polymer light emitting layer is provided.
It is possible to provide an organic EL device capable of forming an element in a fine pattern and obtaining high luminance suitable for color display in an organic EL element of each emission color, and a method for manufacturing the same.

【0136】さらに、本発明は、カラーフィルタや有機
EL素子間を分離するバンクを必要としないので、部品
点数を削減し、製品コストを減少することができる有機
ELデバイスを提供することができる。
Further, since the present invention does not require a color filter or a bank for separating organic EL elements, it is possible to provide an organic EL device capable of reducing the number of parts and the product cost.

【0137】さらに、本発明は、移行拡散をレーザ光で
行うことにより、各発光色の有機EL素子を微細なパタ
ーンで形成することができ、かつ微細なパターンの有機
EL素子を簡易に製造することができる有機ELデバイ
スの製造方法を提供することができる。
Further, according to the present invention, by performing transition diffusion with laser light, organic EL elements of each emission color can be formed in a fine pattern, and an organic EL element having a fine pattern can be easily manufactured. And a method of manufacturing an organic EL device that can be provided.

【0138】さらに、本発明は、移行拡散をサーマルヘ
ッドで行うことにより、各発光色の有機EL素子を微細
なパターンで形成することができ、かつ微細なパターン
の有機EL素子を簡易に製造することができる有機EL
デバイスの製造方法を提供することができる。
Further, according to the present invention, by performing transfer diffusion with a thermal head, organic EL elements of each emission color can be formed in a fine pattern, and an organic EL element having a fine pattern can be easily manufactured. Organic EL that can be used
A method for manufacturing a device can be provided.

【0139】さらに、本発明は、製造上の歩留まりを向
上することができる有機ELデバイスの製造方法を提供
することができる。
Further, the present invention can provide a method of manufacturing an organic EL device capable of improving a manufacturing yield.

【0140】さらに、本発明は、生産コストを減少する
ことができる有機ELデバイスの製造方法を提供するこ
とができる。
Further, the present invention can provide a method for manufacturing an organic EL device capable of reducing the production cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデバ
イスの断面構造図である。
FIG. 1 is a sectional structural view of an organic EL device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデバ
イスの工程断面図である。
FIG. 2 is a process sectional view of the organic EL device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】図2に続く有機ELデバイスの工程断面図であ
る。
FIG. 3 is a process sectional view of the organic EL device following FIG. 2;

【図4】図3に続く有機ELデバイスの工程断面図であ
る。
FIG. 4 is a process sectional view of the organic EL device following FIG. 3;

【図5】(A)は図4に続く有機ELデバイスの工程断
面図、(B)は図4に続く有機ELデバイスの他の例を
説明する工程断面図である。
5A is a process sectional view of the organic EL device following FIG. 4, and FIG. 5B is a process sectional view of another example of the organic EL device following FIG.

【図6】図5に続く有機ELデバイスの工程断面図であ
る。
FIG. 6 is a process sectional view of the organic EL device following FIG. 5;

【図7】図6に続く有機ELデバイスの工程断面図であ
る。
FIG. 7 is a process sectional view of the organic EL device following FIG. 6;

【図8】図7に続く有機ELデバイスの工程断面図であ
る。
FIG. 8 is a process sectional view of the organic EL device following FIG. 7;

【図9】図8に続く有機ELデバイスの工程断面図であ
る。
FIG. 9 is a process sectional view of the organic EL device, following FIG. 8;

【図10】図9に続く有機ELデバイスの工程断面図で
ある。
FIG. 10 is a process sectional view of the organic EL device following FIG. 9;

【図11】本発明の第1の実施の形態に係る有機色素転
写装置の概略構成図である。
FIG. 11 is a schematic configuration diagram of an organic dye transfer device according to the first embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第1の実施の形態に係るレーザ光照
射時間、有機色素濃度及び照射パワーの関係を示す図で
ある。
FIG. 12 is a diagram illustrating a relationship among laser light irradiation time, organic dye concentration, and irradiation power according to the first embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第1の実施の形態に係る有機ELデ
バイスの製造プロセス途中の平面図である。
FIG. 13 is a plan view of the organic EL device during a manufacturing process according to the first embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第1の実施の形態の第1の変形例に
係る有機ELデバイスの断面構造図である。
FIG. 14 is a sectional structural view of an organic EL device according to a first modification of the first embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第1の実施の形態の第2の変形例に
係る有機ELデバイスの断面構造図である。
FIG. 15 is a sectional structural view of an organic EL device according to a second modification of the first embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第1の実施の形態の第6の変形例に
係る有機ELデバイスの断面構造図である。
FIG. 16 is a sectional structural view of an organic EL device according to a sixth modification of the first embodiment of the present invention.

【図17】本発明の第1の実施の形態の第6の変形例に
係る有機ELデバイスの発光制御を行う回路の回路図で
ある。
FIG. 17 is a circuit diagram of a circuit that performs light emission control of an organic EL device according to a sixth modification of the first embodiment of the present invention.

【図18】本発明の第1の実施の形態の第6の変形例に
係る有機ELデバイスの発光制御を行う他の回路の回路
図である。
FIG. 18 is a circuit diagram of another circuit that performs light emission control of the organic EL device according to the sixth modification of the first embodiment of the present invention.

【図19】本発明の第1の実施の形態の第7の変形例に
係る有機ELデバイスの発光制御を行う回路の回路図で
ある。
FIG. 19 is a circuit diagram of a circuit that performs light emission control of an organic EL device according to a seventh modification of the first embodiment of the present invention.

【図20】本発明の第2の実施の形態に係る有機ELデ
バイスの工程断面図である。
FIG. 20 is a process sectional view of the organic EL device according to the second embodiment of the present invention.

【図21】図20に続く有機ELデバイスの工程断面図
である。
FIG. 21 is a process sectional view of the organic EL device, following FIG. 20;

【図22】図21に続く有機ELデバイスの工程断面図
である。
FIG. 22 is a process sectional view of the organic EL device, following FIG. 21;

【図23】図22に続く有機ELデバイスの工程断面図
である。
FIG. 23 is a process sectional view of the organic EL device, following FIG. 22;

【図24】図23に続く有機ELデバイスの工程断面図
である。
FIG. 24 is a process sectional view of the organic EL device, following FIG. 23;

【図25】図24に続く有機ELデバイスの工程断面図
である。
FIG. 25 is a process sectional view of the organic EL device, following FIG. 24;

【図26】本発明の第2の実施の形態に係る有機色素転
写装置の概略構成図である。
FIG. 26 is a schematic configuration diagram of an organic dye transfer device according to a second embodiment of the present invention.

【図27】図26に示す有機色素転写装置の要部の上面
概略構成図である。
FIG. 27 is a schematic top view of a main part of the organic dye transfer device shown in FIG. 26;

【図28】本発明の第2の実施の形態に係るサーマルヘ
ッドの発熱体の加熱時間と加熱電流と移行拡散濃度との
関係を示す図である。
FIG. 28 is a diagram showing a relationship among a heating time, a heating current, and a transfer diffusion concentration of a heating element of a thermal head according to a second embodiment of the present invention.

【図29】従来技術に係る有機ELデバイスの断面構造
図である。
FIG. 29 is a sectional structural view of an organic EL device according to the related art.

【図30】従来技術に係る有機ELデバイスの断面構造
図である。
FIG. 30 is a sectional structural view of an organic EL device according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 有機ELデバイス 2 基板 3 画素 30R、30G、30B 有機EL素子 31R、31G、31B 第1の電極 32 高分子発光層 33R、33G、33B 色素移行拡散部 34 第2の電極 35 正孔注入層 36 電子注入層 37 電子輸送層 40R、40G、40B 色素層 41R、41G、41B マスク層 42R、42G、42B 有機色素 45 フィルム 46A,46B ロール 50 レーザ光 6,9 有機色素転写装置 60,90 キャリッジ 61,91 キャリッジ駆動部 62 レーザ光発振部 63 レーザ光駆動源 64 パルス制御回路部 65 ポリゴンミラー 66 ポリゴンミラー回転制御部 92 サーマルヘッド 63 ヘッド駆動部 64、64R、64G、64B 発熱体 65 発熱体制御部 66 ロール駆動 80,81 発光制御回路 Tr1,Tr2 薄膜トランジスタ C 容量素子 DL データ線 SL セレクト線 PL 電源線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL device 2 Substrate 3 Pixel 30R, 30G, 30B Organic EL element 31R, 31G, 31B 1st electrode 32 Polymer light emitting layer 33R, 33G, 33B Dye transfer diffusion part 34 2nd electrode 35 Hole injection layer 36 Electron injection layer 37 Electron transport layer 40R, 40G, 40B Dye layer 41R, 41G, 41B Mask layer 42R, 42G, 42B Organic dye 45 Film 46A, 46B Roll 50 Laser light 6,9 Organic dye transfer device 60,90 Carriage 61, 91 Carriage drive unit 62 Laser light oscillation unit 63 Laser light drive source 64 Pulse control circuit unit 65 Polygon mirror 66 Polygon mirror rotation control unit 92 Thermal head 63 Head drive unit 64, 64R, 64G, 64B Heating element 65 Heating element control unit 66 Roll drive 80, 81 Light emission control circuit Tr1, Tr2 Thin film transistor C Capacitance element DL Data line SL Select line PL Power supply line

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3K007 AB02 AB04 AB18 BA06 CA00 CA01 CB01 DA00 DB03 EB00 FA00 FA01 5C094 AA08 AA10 AA42 AA43 AA44 AA60 BA02 BA27 CA19 DA09 EA05 EB02  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3K007 AB02 AB04 AB18 BA06 CA00 CA01 CB01 DA00 DB03 EB00 FA00 FA01 5C094 AA08 AA10 AA42 AA43 AA44 AA60 BA02 BA27 CA19 DA09 EA05 EB02

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に第1の電極を形成する工程と、 前記第1の電極上に高分子発光層を形成する工程と、 前記高分子発光層上に有機色素を含む色素層を形成する
工程と、 前記第1の電極に対応した領域において、前記色素層の
有機色素を高分子発光層に移行拡散させて色素移行拡散
部を形成する工程と、 前記色素層を除去する工程と、 前記色素移行拡散部上に第2の電極を形成する工程とを
備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス
デバイスの製造方法。
A step of forming a first electrode on the substrate; a step of forming a polymer light emitting layer on the first electrode; and forming a dye layer containing an organic dye on the polymer light emitting layer. And, in a region corresponding to the first electrode, a step of forming a dye transfer diffusion portion by transferring and diffusing the organic dye of the dye layer to a polymer light emitting layer; and removing the dye layer; Forming a second electrode on the dye transfer diffusion section.
【請求項2】 前記色素移行拡散部を形成する工程は、
前記第1の電極に対応する領域において、前記色素層を
少なくとも加熱することにより、前記色素層の有機色素
を高分子発光層に移行拡散させて色素移行拡散部を形成
する工程であることを特徴とする請求項1に記載の有機
エレクトロルミネッセンスデバイスの製造方法。
2. The step of forming the dye transfer diffusion section,
In a region corresponding to the first electrode, at least the dye layer is heated to transfer and diffuse the organic dye of the dye layer to the polymer light emitting layer to form a dye transfer diffusion portion. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 1.
【請求項3】 前記色素層の加熱は、レーザ光で行われ
ることを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロル
ミネッセンスデバイスの製造方法。
3. The method according to claim 2, wherein the heating of the dye layer is performed by a laser beam.
【請求項4】 前記色素層上に、前記レーザ光の透過、
不透過に閾値を有するマスク層を形成する工程をさらに
備え、 前記色素移行拡散部を形成する工程は、前記第1の電極
に対応する領域において、前記マスク層を透過させたレ
ーザ光で前記色素層を加熱することにより、前記色素層
の有機色素を高分子発光層に移行拡散させて色素移行拡
散部を形成する工程であることを特徴とする請求項3に
記載の有機エレクトロルミネッセンスデバイスの製造方
法。
4. Transmitting the laser light on the dye layer,
Forming a mask layer having a threshold value for opacity, wherein the step of forming the dye-migration-diffusion portion comprises, in a region corresponding to the first electrode, a laser beam transmitted through the mask layer; 4. The organic electroluminescent device according to claim 3, wherein the step of heating the layer causes the organic dye of the dye layer to migrate and diffuse into the polymer light emitting layer to form a dye migration diffusion part. Method.
【請求項5】 前記色素層の加熱は、加圧を伴うサーマ
ルヘッドで行われることを特徴とする請求項2に記載の
有機エレクトロルミネッセンスデバイスの製造方法。
5. The method according to claim 2, wherein the heating of the dye layer is performed by a thermal head accompanied by pressurization.
【請求項6】 前記色素層上に、前記色素層の有機色素
の移行拡散を防ぐフィルムを形成する工程をさらに備
え、 前記色素移行拡散部を形成する工程は、前記第1の電極
に対応する領域において、前記色素層を前記フィルムを
介在させて前記サーマルヘッドにより加圧及び加熱する
ことにより、前記色素層の有機色素を高分子発光層に拡
散させて色素移行拡散部を形成する工程であることを特
徴とする請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセン
スデバイスの製造方法。
6. The method according to claim 1, further comprising: forming a film on the dye layer to prevent migration and diffusion of the organic dye in the dye layer, wherein the step of forming the dye transfer diffusion portion corresponds to the first electrode. A step of forming a dye transfer diffusion part by diffusing an organic dye of the dye layer into a polymer light emitting layer by pressing and heating the dye layer with the thermal head through the film in the region. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 5, wherein
【請求項7】 基板上に互いに隣接した複数の第1の電
極を形成する工程と、 前記複数の第1の電極上に高分子発光層を形成する工程
と、 前記高分子発光層上に第1の有機色素を含む第1の色素
層を形成し、第1の領域の前記第1の電極に対応した領
域において前記第1の色素層の第1の有機色素を高分子
発光層に移行拡散させて第1の色素移行拡散部を形成す
る工程と、 前記第1の色素層を除去する工程と、 前記高分子発光層上に第2の有機色素を含む第2の色素
層を形成し、第2の領域の前記第1の電極に対応した領
域において前記第2の色素層の第2の有機色素を高分子
発光層に移行拡散させて第2の色素移行拡散部を形成す
る工程と、 前記第2の色素層を除去する工程と、 前記高分子発光層上に第3の有機色素を含む第3の色素
層を形成し、第3の領域の前記第1の電極に対応した領
域において前記第3の色素層の第3の有機色素を高分子
発光層に移行拡散させて第3の色素移行拡散部を形成す
る工程と、 前記第3の色素層を除去する工程と、 前記第1、第2及び第3の色素移行拡散部上に各色に共
通な第2の電極を形成する工程とを備えたことを特徴と
する有機エレクトロルミネッセンスデバイスの製造方
法。
7. A step of forming a plurality of first electrodes adjacent to each other on a substrate; a step of forming a polymer light emitting layer on the plurality of first electrodes; and a step of forming a polymer light emitting layer on the polymer light emitting layer. Forming a first dye layer containing one organic dye, and transferring and diffusing the first organic dye of the first dye layer to the polymer light emitting layer in a region of the first region corresponding to the first electrode; Forming a first dye transfer diffusion portion by removing the first dye layer; forming a second dye layer containing a second organic dye on the polymer light emitting layer; Forming a second dye transfer diffusion portion by transferring and diffusing the second organic dye of the second dye layer into the polymer light emitting layer in a region corresponding to the first electrode in a second region; Removing the second dye layer; and a third dye layer containing a third organic dye on the polymer light emitting layer Is formed, and the third organic dye of the third dye layer is transferred and diffused into the polymer light emitting layer in a third region corresponding to the first electrode, thereby forming a third dye transfer / diffusion portion. Removing the third dye layer; and forming a second electrode common to each color on the first, second, and third dye transfer diffusion sections. A method for producing an organic electroluminescent device, characterized by:
【請求項8】 前記請求項1乃至請求項7のいずれかに
記載の有機エレクトロルミネッセンスデバイスの製造方
法を用いて、 基板上の第1の電極と、 前記第1の電極上の高分子発光層と、 前記第1の電極上において、前記高分子発光層に有機色
素を移行拡散させた色素移行拡散部と、 前記色素移行拡散部上の第2の電極とを形成したことを
特徴とする有機エレクトロルミネッセンスデバイス。
8. A first electrode on a substrate, and a polymer light emitting layer on the first electrode, using the method of manufacturing an organic electroluminescence device according to claim 1. An organic dye, wherein a dye transfer / diffusion portion in which an organic dye is transferred / diffused in the polymer light emitting layer and a second electrode on the dye transfer / diffusion portion are formed on the first electrode. Electroluminescence device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004235138A (en) * 2003-01-09 2004-08-19 Hitachi Ltd Method for manufacturing organic el panel, and organic el panel
KR101469031B1 (en) * 2008-04-16 2014-12-05 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting devicce

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