JP2001215140A - Laminar flow flowmeter - Google Patents

Laminar flow flowmeter

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JP2001215140A
JP2001215140A JP2000025367A JP2000025367A JP2001215140A JP 2001215140 A JP2001215140 A JP 2001215140A JP 2000025367 A JP2000025367 A JP 2000025367A JP 2000025367 A JP2000025367 A JP 2000025367A JP 2001215140 A JP2001215140 A JP 2001215140A
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flow meter
calibration
flow
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminar flow flowmeter controllable in measurement range by plugging in some thin pipes constituting a honeycomb pipe in a flowmeter consisting of the honeycomb pipe and a differential pressure sensor. SOLUTION: The honeycomb pipe 2 producing laminar flow in the laminar flow flowmeter consists of a multitude of thin pipes. To some thin pipes, plugs 3a for disturbing flow of measuring fluid are attached. By these plugs, the fluid flow in the thin pipes is disturbed and these plugs control the flow rate in the honeycomb pipe 2 controlled to control the measurement range.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、層流流量計、より
詳細には、層流を生成する手段として多数の細管からな
るハニカムパイプを用い、このハニカムパイプを構成す
る細管のいくつかに詰め物をすることにより該ハニカム
パイプを流れる流量を調整して測定レンジを変更するよ
うにした層流流量計、及びその校正に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminar flow meter, and more particularly, to a method for generating a laminar flow, which uses a honeycomb pipe composed of a large number of thin tubes, and fills some of the thin tubes constituting the honeycomb pipe with packing. The present invention relates to a laminar flow meter that changes the measurement range by adjusting the flow rate flowing through the honeycomb pipe by performing the above-described steps, and its calibration.

【0002】[0002]

【従来の技術】Re(レイノルズ)数が2320以下の
層流域で使用される差圧式流量計は、層流流量計と呼ば
れる。この層流流量計としては、従来より、軸平行の多
数の細管からなる直線状のハニカムパイプと、該ハニカ
ムパイプを流れる流体の差圧に比例した差圧信号を出力
する差圧センサとを有するものが知られている。
2. Description of the Related Art A differential pressure type flow meter used in a laminar flow region having a Re (Reynolds) number of 2320 or less is called a laminar flow meter. Conventionally, this laminar flow meter has a linear honeycomb pipe composed of a number of thin tubes parallel to the axis, and a differential pressure sensor that outputs a differential pressure signal proportional to the differential pressure of the fluid flowing through the honeycomb pipe. Things are known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の層流流量計は、製造工程において測定レンジを変更
する場合、測定レンジごとにハニカムパイプが必要とな
り、結果的にハニカムパイプの外形が変わってしまっ
た。本発明は、ハニカムパイプを構成する細管のいくつ
かに詰め物をすることで、ハニカムパイプの外形を変え
ずに所望の測定レンジの層流流量計を提供すること、及
び、その場合の校正手段を有する層流流量計を提供する
ことを目的とする。
However, in the conventional laminar flow meter described above, when the measurement range is changed in the manufacturing process, a honeycomb pipe is required for each measurement range, and as a result, the outer shape of the honeycomb pipe changes. Oops. The present invention provides a laminar flow meter with a desired measurement range without changing the outer shape of the honeycomb pipe by filling some of the thin tubes constituting the honeycomb pipe, and the calibration means in that case. It is an object of the present invention to provide a laminar flow meter having the same.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、多数
の細管からなる層流生成用のハニカムパイプと、該ハニ
カムパイプの上流側の圧力と下流側の圧力との圧力差を
検出する差圧センサと、前記細管を被測定流体が流れる
のを阻止する詰め物とを有し、該詰め物にて前記細管の
所望数の流体の流れを阻止することにより測定レンジを
変更するようにしたことを特徴としたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a honeycomb pipe formed of a large number of thin tubes for laminar flow, and a pressure difference between an upstream pressure and a downstream pressure of the honeycomb pipe is detected. A differential pressure sensor, and a filling for blocking the flow of the fluid to be measured through the thin tube, wherein the filling changes a measurement range by blocking a flow of a desired number of fluids in the thin tube. It is characterized by.

【0005】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、前記ハニカムパイプはコ字型の形状であることを特
徴としたものである。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the honeycomb pipe has a U-shape.

【0006】請求項3の発明は、請求項1又は2の発明
において、前記ハニカムパイプの上流側に連結された上
流側継手と下流側に連結された下流側継手と、上流側圧
力導入パイプが前記上流側継手に連結し下流側圧力導入
パイプが前記下流側継手に連結された前記差圧センサと
が一体的に形成され、該一体的に形成された部材が層流
流量計本体に形成された受け部材に着脱自在に嵌合され
ていることを特徴としたものである。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the upstream joint connected to the upstream side of the honeycomb pipe, the downstream joint connected to the downstream side, and the upstream pressure introduction pipe are provided. The differential pressure sensor connected to the upstream joint and the downstream pressure introduction pipe connected to the downstream joint is integrally formed, and the integrally formed member is formed in the laminar flow meter body. The receiving member is detachably fitted to the receiving member.

【0007】請求項4の発明は、請求項1ないし3のい
ずれか1の発明において、前記ハニカムパイプを流れる
流体の流量を調節する流量調節弁を有し、該流量調節弁
に連動して該層流流量計の電源電池の入切の制御を行
い、前記流量調節弁を開いたときに前記電源電池を入の
状態に、閉じたときに前記電源電池を切の状態にするこ
とを特徴としたものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects of the present invention, there is provided a flow control valve for controlling a flow rate of the fluid flowing through the honeycomb pipe. The power supply battery of the laminar flow meter is turned on and off, and the power supply battery is turned on when the flow rate control valve is opened, and the power supply battery is turned off when the flow control valve is closed. It was done.

【0008】請求項5の発明は、層流を生成する層流生
成パイプと、該層流生成パイプの両端間の圧力差を検出
する差圧センサとを有する層流流量計において、前記層
流流量計に流す校正流量に応じて、各校正流量と該各校
正流量に対する前記差圧センサの出力値をメモリ内に読
み込む手段と、各校正流量とセンサ出力を格納する出力
メモリテーブルとを有し、被測定流量測定時、前記メモ
リテーブルにおける各メモリ値に基づいて被測定流量を
演算校正して出力するようにしたことを特徴としたもの
で、これにより差圧センサ出力を0〜5Vとか1〜5V
に調整する必要がなくなる。なお、各校正流量が正確に
設定出来ない場合は、テーブルの校正流量の変更も可能
である。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a laminar flow meter having a laminar flow generating pipe for generating a laminar flow, and a differential pressure sensor for detecting a pressure difference between both ends of the laminar flow generating pipe. In accordance with the calibration flow rate flowing through the flow meter, there are means for reading each calibration flow rate and the output value of the differential pressure sensor for each calibration flow rate into a memory, and an output memory table for storing each calibration flow rate and sensor output. When measuring the measured flow rate, the measured flow rate is calculated and calibrated based on each memory value in the memory table and output, whereby the differential pressure sensor output is 0 to 5V or 1 to 5. ~ 5V
There is no need to make adjustments. If each calibration flow cannot be set accurately, the calibration flow of the table can be changed.

【0009】請求項6の発明は、請求項5の発明におい
て、前記メモリテーブルの校正表に基づいて、各校正流
量間の直線性の補正を行い、前記差圧センサの出力に応
じて補間して実流量を求める演算を行うことを特徴とし
たものである。
According to a sixth aspect of the present invention, in the fifth aspect of the invention, the linearity between the respective calibration flow rates is corrected based on the calibration table of the memory table, and interpolation is performed according to the output of the differential pressure sensor. The calculation is performed to obtain the actual flow rate.

【0010】請求項7の発明は、請求項5または6の発
明において、流量0時の前記差圧センサの出力値をメモ
リ内に読み込む0点校正手段と、該0点校正手段による
校正結果に基づいて、前記メモリテーブルの各メモリ値
を調整するテーブル調整手段とを有し、流量を0にし
て、前記0点校正手段により0点校正を行い、前記メモ
リテーブルの各メモリ値の調整を行うことを特徴とした
ものである。
The invention of claim 7 is the invention according to claim 5 or 6, wherein the zero point calibration means for reading the output value of the differential pressure sensor at a flow rate of 0 into a memory and the calibration result by the zero point calibration means. A table adjusting means for adjusting each memory value of the memory table based on the flow rate, setting the flow rate to 0, performing zero-point calibration by the zero-point calibrating means, and adjusting each memory value of the memory table. It is characterized by the following.

【0011】請求項8の発明は、請求項1乃至7のいず
れかの発明において、前記差圧センサが電池駆動式の場
合に、該差圧センサを間欠的に駆動するようにしたこと
を特徴としたものである。
According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the first to seventh aspects of the invention, when the differential pressure sensor is a battery-driven type, the differential pressure sensor is intermittently driven. It is what it was.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1は、本発明による層流流量計
の実施の形態の一例を説明するための図であり、図中、
1は層流流量計本体、2はハニカムパイプ、3は該ハニ
カムパイプを構成する多数の細管、3aは該細管3を塞
ぐ詰め物、6a,6b,6c,6d,6e,6f,6
g,6hは層流流量計本体1のケース4に設けられた抜
け止め、4は層流流量計本体1のケース、5は差圧セン
サ、7a,7b,7c,7dはOリング、8aは流量調
節バルブ、8bは電源スイッチ付流量調節バルブ用ツマ
ミ、9a,9bは継手である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a view for explaining an example of an embodiment of a laminar flow meter according to the present invention.
1 is a laminar flow meter main body, 2 is a honeycomb pipe, 3 is a large number of thin tubes constituting the honeycomb pipe, 3a is a padding for closing the thin tube 3, 6a, 6b, 6c, 6d, 6e, 6f, 6
g, 6h are retaining members provided in the case 4 of the laminar flow meter main body 1, 4 is a case of the laminar flow meter main body 1, 5 is a differential pressure sensor, 7a, 7b, 7c, 7d are O-rings, 8a is A flow control valve, 8b is a knob for a flow control valve with a power switch, and 9a, 9b are joints.

【0013】図2は、図1の層流流量計の側面図を示す
図で、図中、10は表示器、11はPCボード、12は
電源電池、13a,13bはプロセスコネクタである。
図2に示すように、層流流量計のケース4の壁面には、
被測定流体の流入口となるプロセスコネクタ13aが、
取り付けられ、該壁面にはハニカムパイプ2の上流側の
圧力と下流側の圧力との圧力差を検出する層流流量計の
電源である電源電池12が取り付けられ、該壁面と直角
をなす別の壁面には、被測定流体の流出口となるプロセ
スコネクタ13bが、取り付けられている。また、プロ
セスコネクタ13aには、差圧センサ5に接続される継
手9aが接続され、プロセスコネクタ13bには、該差
圧センサ5に接続される継手9bが接続されている。
FIG. 2 is a side view of the laminar flow meter of FIG. 1. In FIG. 2, reference numeral 10 denotes a display, 11 denotes a PC board, 12 denotes a power supply battery, and 13a and 13b denote process connectors.
As shown in FIG. 2, on the wall surface of the case 4 of the laminar flow meter,
The process connector 13a serving as an inlet of the fluid to be measured is
A power supply battery 12, which is a power supply of a laminar flow meter for detecting a pressure difference between the pressure on the upstream side and the pressure on the downstream side of the honeycomb pipe 2, is attached to the wall surface. A process connector 13b serving as an outlet for the fluid to be measured is attached to the wall surface. A joint 9a connected to the differential pressure sensor 5 is connected to the process connector 13a, and a joint 9b connected to the differential pressure sensor 5 is connected to the process connector 13b.

【0014】継手9aと9bには、図1に示すように、
多数の細管からなり、コ字型の形状を有し、被測定流体
を層流にして流すことにより差圧を発生させるためのハ
ニカムパイプ2が接続されている。なお、このハニカム
パイプ2の形状はコ字型でなくともよい。また、該ハニ
カムパイプ2を構成する細管3を被測定流体が流れるの
を阻止するための詰め物3aが取り付けられ、該詰め物
にて前記細管の所望数の流体の流れを阻止することによ
り測定レンジを変更することができる。なお、図1にお
いては、2箇の詰め物を示しているが、本発明は、これ
に限定されるものではなく、測定レンジに応じて必要な
数を取り付ければよい。また、詰め物は、細管を被測定
流体が流れるのを阻止することができる部材であれば、
任意の部材でよい。
The joints 9a and 9b have, as shown in FIG.
The honeycomb pipe 2 is formed of a number of thin tubes, has a U-shape, and is connected to a honeycomb pipe 2 for generating a differential pressure by flowing a fluid to be measured in a laminar flow. The shape of the honeycomb pipe 2 does not have to be a U-shape. In addition, a filling 3a for preventing a fluid to be measured from flowing through the thin tube 3 constituting the honeycomb pipe 2 is attached, and a flow of a desired number of fluids in the thin tube is prevented by the filling so that the measurement range is reduced. Can be changed. Although FIG. 1 shows two paddings, the present invention is not limited to this, and a necessary number may be attached according to the measurement range. In addition, if the filling is a member that can prevent the measured fluid from flowing through the thin tube,
Any member may be used.

【0015】ハニカムパイプ2の上流側と圧力センサ5
の上流側は継手9aに、それぞれのOリング7a,7c
にて液密に一体的に取り付けられ、該ハニカムパイプ2
の下流側と圧力センサ5の下流側は継手9bにて、それ
ぞれのOリング7b,7dにて液密に一体的に取り付け
られ、これらが一体の部材として構成され、この一体構
成体が以下に説明するように、層流流量計本体1のケー
ス4に着脱自在に装着されるようになっている。
The upstream side of the honeycomb pipe 2 and the pressure sensor 5
The upstream side of the O-rings 7a, 7c
The honeycomb pipe 2
The downstream side of the pressure sensor 5 and the downstream side of the pressure sensor 5 are integrally attached in a liquid-tight manner by joints 9b by respective O-rings 7b and 7d, and these are configured as an integral member. As will be described, the laminar flow meter body 1 is detachably attached to the case 4.

【0016】層流流量計本体1のケース4上には、該ハ
ニカムパイプ2が着脱自在にはめ込まれ、該ハニカムパ
イプ2の抜けを防止するための抜け止め6c,6dが取
り付けられ、上流側継手9aの周囲には、該継手9aが
はめ込まれ、該継手9aの抜けを防止するための抜け止
め6a,6bが取り付けられ、下流側継手9bの周囲に
は、該継手9bがはめ込まれ、該継手9bの抜けを防止
するための抜け止め6e,6f,6g,6hが取り付け
られている。なお、図1においては、抜け止めとして6
a,6b,6c,6d,6e,6f,6g,6hの8箇
を図示しているが、これに限定されるものではなく、ハ
ニカムパイプ2、継手9a,9bを固定するために必要
な数を取り付ければよい。
The honeycomb pipe 2 is detachably fitted on the case 4 of the laminar flow meter main body 1, and detaching stoppers 6c and 6d for preventing the honeycomb pipe 2 from coming off are attached. The joint 9a is fitted around the periphery of the joint 9a, and retaining members 6a and 6b for preventing the joint 9a from coming off are attached. The joint 9b is fitted around the downstream-side joint 9b. The stoppers 6e, 6f, 6g, and 6h for preventing the 9b from coming off are attached. Note that in FIG.
Although eight of a, 6b, 6c, 6d, 6e, 6f, 6g, and 6h are illustrated, the number is not limited thereto, and the number required to fix the honeycomb pipe 2 and the joints 9a and 9b is provided. You only have to attach.

【0017】また、抜け止めは射出成形でケース4と一
体として作るようにしてもよい。上述のような構造にす
ることで、差圧センサ5の両端に継手9a,9bを接続
し、さらに該継手9a,9bにハニカムパイプ2を接続
して一体化したものを、抜け止め6a,6b,6c,6
d,6e,6f,6g,6hにはめ込むだけで簡単に組
み立てることができる。
The retainer may be made integral with the case 4 by injection molding. With the structure as described above, the joints 9a and 9b are connected to both ends of the differential pressure sensor 5, and the honeycomb pipe 2 is further connected to the joints 9a and 9b to form an integrated body. , 6c, 6
d, 6e, 6f, 6g, and 6h can be easily assembled simply by fitting them.

【0018】また、継手9aの内部には、ハニカムパイ
プ2をシールするためのパッキンであるOリング7a
と、差圧センサ5をシールするためのパッキンであるO
リング7cとが組み込まれ、同様に、継手9bの内部に
は、ハニカムパイプ2をシールするためのパッキンであ
るOリング7bと差圧センサ5をシールするためのパッ
キンであるOリング7dとが組み込まれている。このた
め、差圧センサ5及びハニカムパイプ2は簡単に交換が
できる。
An O-ring 7a as a packing for sealing the honeycomb pipe 2 is provided inside the joint 9a.
O which is a packing for sealing the differential pressure sensor 5
Similarly, an O-ring 7b serving as a seal for sealing the honeycomb pipe 2 and an O-ring 7d serving as a seal for sealing the differential pressure sensor 5 are incorporated in the joint 9b. Have been. For this reason, the differential pressure sensor 5 and the honeycomb pipe 2 can be easily replaced.

【0019】また、ケース4の側面には、被測定流体の
流量を調節する流量調節弁8aの運動に連動して図2に
示す電源電池12の入切の制御を行うための電源スイッ
チ付流量調節バルブ用のツマミ8bが取り付けられてお
り、流量調節弁8aが閉じられている時(つまり、流量
を測定していない時)は、電源電池12を切り離して、
電源電池12の消耗を少なくするようにしている。
On the side of the case 4, a flow rate with a power switch for controlling the turning on and off of the power supply battery 12 shown in FIG. 2 in conjunction with the movement of the flow rate control valve 8a for adjusting the flow rate of the fluid to be measured. When the control valve knob 8b is attached and the flow control valve 8a is closed (that is, when the flow rate is not measured), the power supply battery 12 is disconnected.
The consumption of the power supply battery 12 is reduced.

【0020】次に、本発明の層流流量計の適用例につい
て説明する。層流流量計において、流量は、流体の粘性
率が一定であれば、粘性率の逆数と差圧とに比例した量
として求められるので、流量演算が簡単になる。圧力が
数気圧から数ミリメートル水銀柱までの気体は、圧力変
化による粘性率影響が小さいので、層流流量計を用いた
流量測定に適している。従って、本発明の層流流量計
は、特に酸素等の気体用の流量計として適用される。但
し、気体に限定されるものではなく、本発明の層流流量
計は差圧式流量計の一種なので、液体、蒸気等の流量測
定にも適用可能である。
Next, an application example of the laminar flow meter according to the present invention will be described. In a laminar flow meter, if the viscosity of the fluid is constant, the flow rate can be obtained as an amount proportional to the reciprocal of the viscosity and the differential pressure, so that the flow calculation is simplified. Gases having a pressure from a few atmospheres to a few millimeters of mercury are suitable for flow measurement using a laminar flow meter, since the effect of viscosity on pressure change is small. Therefore, the laminar flow meter of the present invention is applied particularly as a flow meter for gases such as oxygen. However, the present invention is not limited to gas, and the laminar flow meter of the present invention is a type of differential pressure type flow meter, and therefore can be applied to flow measurement of liquid, vapor, and the like.

【0021】図3は、上述のごとき層流流量計に適用し
て好適な校正手段を説明するための要部構成図で、CP
Uを使用して、実流校正,リニアライズ補正,及び、0
点校正を可能とし、校正の簡略化、精度の向上、及び、
コストダウンを可能としたものである。
FIG. 3 is a main part configuration diagram for explaining a calibration means suitable for application to the above-described laminar flow meter.
Using U, actual flow calibration, linearization correction, and 0
Enables point calibration, simplifies calibration, improves accuracy, and
This enables cost reduction.

【0022】層流流量計において、差圧センサの出力−
流量の関係は個体差があり、通常は電気回路にて0点お
よびフルスケールの調整を個々に行っている。また、直
線性が悪い場合はリニアライザの調整等もあり校正等に
時間を要する。また、差圧センサはアナログ出力であ
り、外部の雰囲気、流体の変化、経時変化等により0点
シフトを少なからず起こす場合があるが、本発明はこれ
らの不具合を解消したものである。
Output of differential pressure sensor in laminar flow meter
There is an individual difference in the relationship between the flow rates. Normally, the adjustment of the zero point and the full scale is individually performed by an electric circuit. Further, when the linearity is poor, adjustment of the linearizer and the like require time for calibration and the like. Further, the differential pressure sensor is an analog output, and the zero point shift may be caused by the external atmosphere, a change in the fluid, a change with time, or the like, but the present invention has solved these problems.

【0023】図3は、本発明による校正手段を具備した
層流流量計の実施形態を説明するためのブロック図で、
図中、21はCPU、22はCPU21のメモリに記憶
されたセンサ出力テーブル、23は表示器、24は差圧
センサ、25は増幅回路、26は電源制御部、27は流
量表示と積算表示との表示モードの切替を行うモード切
替SW、28は校正モード(Cal)と測定モード(R
un)との切替を行うCal(校正)/Run(測定)
切替SW、29は校正するために流す流体の流量値を変
更する校正流量変更部(校正流量値が正確に設定出来な
い場合にテーブルの校正流量値を変更する時の為にあ
る)、30はセンサ出力読み込みボタン、31は0点校
正用のボタンである0点Cal用ボタンで、センサ出力
読み込みボタン30を押すことにより、その時の差圧セ
ンサ4の出力がセンサ出力テーブル22に読み込まれ、
0点Cal用ボタン31を押すことにより0点校正を行
う。
FIG. 3 is a block diagram for explaining an embodiment of a laminar flow meter provided with a calibration means according to the present invention.
In the figure, 21 is a CPU, 22 is a sensor output table stored in a memory of the CPU 21, 23 is a display, 24 is a differential pressure sensor, 25 is an amplifier circuit, 26 is a power control unit, 27 is a flow rate display and an integrated display. The mode switching switch 28 for switching the display mode of the calibration mode (Cal) and the measurement mode (R)
(Calibration) / Run (measurement)
A changeover switch 29 changes a flow rate value of a fluid flowing for calibration (for changing a flow rate value in a table when the flow rate value cannot be accurately set). A sensor output reading button 31 is a button for zero point Cal, which is a button for zero point calibration. When the sensor output reading button 30 is pressed, the output of the differential pressure sensor 4 at that time is read into the sensor output table 22,
The zero-point calibration is performed by pressing the zero-point Cal button 31.

【0024】図3において、まず、Cal(校正)/R
un(測定)切替SW28をCal側(校正モード)に
し、センサ出力テーブル22を順次、表示器23に表示
させながら校正を行う。例えば、流量0の時、センサ出
力読み込みボタン30を押すことにより、差圧センサ2
4の出力がセンサ出力テーブル22のV0に読み込まれ
保存される。次に、流量計に流れる流量を正確に流量F
1にした後、次いで、センサ出力読み込みボタン30を
押すことにより、センサ出力V1がセンサ出力テーブル
22に読み込まれる。以下、同様に、順次V2,V3,V
4(最大流量)まで読み込む。
In FIG. 3, first, Cal (calibration) / R
The un (measurement) switch SW 28 is set to the Cal side (calibration mode), and calibration is performed while the sensor output table 22 is sequentially displayed on the display 23. For example, when the flow rate is 0, pressing the sensor output reading button 30 causes the differential pressure sensor 2
4 is read and stored in V 0 of the sensor output table 22. Next, the flow rate flowing through the flow meter
After the 1, and then by pressing the sensor output read button 30, the sensor output V 1 is loaded into the sensor output table 22. Hereinafter, similarly, V 2 , V 3 , V
Read up to 4 (maximum flow).

【0025】図4は、その時のセンサ出力テーブル22
の一例を示した図で、前述のように、各流量F0,F1
2,F3,F4に対応した差圧センサの出力電圧V0,V
1,V2,V3,V4が記憶される。なお、図4では、測定
ポイント数は5点であるが、これは任意のポイント数で
あり、これに限定されるものではない。また、正確な実
流量を流せない場合は、その時の流量値にF0〜F4を書
き換えることも可能とする。校正流量変更部29は、こ
のためのもので、校正流量値が正確に設定出来ない場合
にテーブルの校正流量値を変更する時の為にある。次
に、Cal(校正)/Run(測定)切替SW28をR
un側(測定モード)にすることにより、CPUは差圧
センサ24のセンサ出力を読み込んで、モード切替SW
27により流量表示、積算表示等を必要に応じて切り替
えて行うとともにアナログ出力、パルス出力、アラーム
出力を出力する。
FIG. 4 shows the sensor output table 22 at that time.
Is a diagram showing an example of each of the flow rates F 0 , F 1 ,
Output voltages V 0 , V of differential pressure sensors corresponding to F 2 , F 3 , F 4
1 , V 2 , V 3 and V 4 are stored. In FIG. 4, the number of measurement points is five, but this is an arbitrary number of points and is not limited to this. Further, when an accurate actual flow rate cannot be supplied, F 0 to F 4 can be rewritten to the flow rate value at that time. The calibration flow rate changing unit 29 is for this purpose, and is for changing the calibration flow rate value in the table when the calibration flow rate value cannot be set accurately. Next, the Cal (calibration) / Run (measurement) switch SW 28 is set to R
By setting to the un side (measurement mode), the CPU reads the sensor output of the differential pressure
The flow rate display, the integration display, and the like are switched as required by 27 and an analog output, a pulse output, and an alarm output are output.

【0026】上述のように、本発明においては、複数の
正確に流量が定められた所定流量点においてのみ実測
し、その実測値を被測定流量測定時の前記所定流量とす
るものであるため、所定流量点以外の点の流量について
は不明であるが、本発明においては、各所定流量間(各
校正流量間)の流量については、直線補間して測定す
る。
As described above, in the present invention, actual measurement is performed only at a plurality of predetermined flow points where the flow rate is accurately determined, and the measured value is used as the predetermined flow rate at the time of measuring the flow rate to be measured. Although the flow rate at points other than the predetermined flow rate point is unknown, in the present invention, the flow rate between each predetermined flow rate (between each calibration flow rate) is measured by linear interpolation.

【0027】図5は、その一例を説明するための図で、
図中の黒丸は、前述のようにして実流校正を行った時の
実測値で、図中の点線は、これら実測値間を直線で補間
したもので、このように、CPU1を用いてソフト的に
リニアライズして精度向上をはかることができる。
FIG. 5 is a diagram for explaining an example.
The black circles in the figure are the actual measured values when the actual flow calibration was performed as described above, and the dotted lines in the figure are those obtained by interpolating the actual measured values with a straight line. It is possible to linearly increase the accuracy to improve the accuracy.

【0028】次に、0点校正について説明する。本発明
において、0点校正は、流量0の時に0点Cal用ボタ
ン31を押すことにより、その時のV0を読み込み、そ
のV0がセンサ出力テーブル22のV0とずれている場合
は、そのずれと同じだけ自動的にV1〜V4もシフトさせ
ることにより0点調整を行うことができる。
Next, the zero-point calibration will be described. In the present invention, zero point calibration by pressing the 0-point Cal button 31 when the flow rate 0, reads the V 0 which time, if the V 0 is shifted to V 0 of the sensor output table 22, the can be performed as many automatic V 1 ~V 4 also 0 point adjustment by shifting the shift.

【0029】本発明は、上述のごとく、いくつかの正確
な流量(校正流量)に対する出力値を記憶し、これら出
力値間を補間することによって、全測定レンジに亘って
流量測定を行うものであるが、層流流量計が電池駆動式
である場合、通常、差圧センサは使用電流が大きいた
め、電池駆動式では、長時間使用することができず、そ
のため、図3に示したように、電源制御部26を設け、
該電源制御部26をCPU21によって制御し、例え
ば、数+ミリSecのパルスレートで、数10μSec
の間電源をONとして、計測を行うようにして、電源電
池を間欠的に駆動して電池の消耗を少なくするようにす
る。
According to the present invention, as described above, the output values for several accurate flow rates (calibration flow rates) are stored, and the flow rate is measured over the entire measurement range by interpolating between these output values. However, when the laminar flow meter is a battery-driven type, the differential pressure sensor usually uses a large current, so that the battery-driven type cannot be used for a long time. Therefore, as shown in FIG. , A power supply control unit 26,
The power supply control unit 26 is controlled by the CPU 21 and, for example, at a pulse rate of several + milliSec, several tens of μsec.
During this time, the power supply is turned on to perform measurement, and the power supply battery is driven intermittently to reduce battery consumption.

【0030】[0030]

【発明の効果】請求項1に対応する効果:ハニカムパイ
プの外形を変えずに、測定レンジを調整できる。したが
って、測定レンジごとにハニカムパイプを準備する必要
がなくなり、測定レンジによらずに層流流量計本体の詰
め物以外は一種類ですむので、構造の簡素化がはかれ、
製造工程におけるコストダウンができる。
According to the present invention, the measurement range can be adjusted without changing the outer shape of the honeycomb pipe. Therefore, it is not necessary to prepare a honeycomb pipe for each measurement range, and only one type is required except for the filling of the laminar flow meter body regardless of the measurement range, so that the structure is simplified,
The cost in the manufacturing process can be reduced.

【0031】請求項2に対応する効果:従来の技術で
は、所要直管長の制約のため、直線型のハニカムパイプ
では、該ハニカムパイプの上流側の圧力取出位置と下流
側の圧力取出位置との間の距離を短くすることが難しい
という問題点があったが、ハニカムパイプをコ字型の形
状にしたことにより、前記ハニカムパイプの上流側の圧
力取出位置と下流側の圧力取出位置との間の距離を短く
することができ、結果的に、より小型の層流流量計を製
造できる。
According to the prior art, in the conventional technique, due to the restriction of the required straight pipe length, in the case of a straight honeycomb pipe, the pressure extraction position on the upstream side and the pressure extraction position on the downstream side of the honeycomb pipe are different. There was a problem that it was difficult to shorten the distance between the honeycomb pipe, but by making the honeycomb pipe U-shaped, between the upstream pressure extraction position and the downstream pressure extraction position of the honeycomb pipe. Can be shortened, and as a result, a smaller laminar flow meter can be manufactured.

【0032】請求項3に対応する効果:構造の簡素化が
はかれ、組立が容易になると共に、差圧センサやハニカ
ムパイプが抜けることを防止できる。
According to the third aspect of the present invention, the structure is simplified, the assembling is facilitated, and the differential pressure sensor and the honeycomb pipe can be prevented from coming off.

【0033】請求項4に対応する効果:従来の技術で
は、流体が流れているのに層流流量計の電源電池の電源
が切れていたり、逆に流体が流れていないのに該電源が
入っていて、電池の寿命を短くしてしまうという問題点
があったが、本発明ではこの問題点を解消することがで
きる。また、流体を流す弁の開閉と、層流流量計電源電
池の電源の入切とを連動させて一つの流量調節弁で行え
るようにしたので、操作が簡単になる。
According to the prior art, in the conventional technology, the power supply of the power supply battery of the laminar flow meter is turned off while the fluid is flowing, or the power is turned on even though the fluid is not flowing. Therefore, there is a problem that the life of the battery is shortened, but the present invention can solve this problem. In addition, since the opening and closing of the valve for flowing the fluid and the turning on and off of the power supply of the laminar flow meter power supply battery can be performed by one flow control valve, the operation is simplified.

【0034】請求項5に対応する効果:層流流量計にC
PUを使用した実流校正機能を設けたことにより、簡単
な間欠測定を行えばよいので、差圧センサのセンサ出力
のフルスケール調整が不要となり、校正等が簡単及び短
時間で行うことができる。また、校正等の作業の簡略・
短時間化により、製品のコストダウンが図れる。また、
ユーザー側としても、校正が簡単に行えるので、製造者
に校正を依頼する費用が不必要になるという効果があ
る。
An effect corresponding to claim 5 is that the laminar flow meter has C
The provision of the actual flow calibration function using PU enables simple intermittent measurement to be performed, eliminating the need for full-scale adjustment of the sensor output of the differential pressure sensor, making calibration and the like simple and in a short time. . In addition, simplification of work such as calibration
By reducing the time, the cost of the product can be reduced. Also,
Since the user can easily perform the calibration, there is an effect that the expense of requesting the manufacturer to perform the calibration is unnecessary.

【0035】請求項6に対応する効果:層流流量計にC
PUを使用した直線性の補正及び補間演算機能を設けた
ことにより、CPUとメモリ内に記憶させた校正表を用
いて簡単に直線性の補正が行えるので、リニアライズ調
整が簡単になるとともに精度の向上が図れる。
An effect corresponding to claim 6 is that the laminar flow meter has C
By providing linearity correction and interpolation calculation functions using PU, linearity can be easily corrected using the CPU and the calibration table stored in the memory. Can be improved.

【0036】請求項7に対応する効果:層流流量計にC
PUを使用した0点校正機能を設けたことにより、0点
調整がワンタッチで行え、現地で簡単に調整可能であ
る。
The effect corresponding to claim 7 is that the laminar flow meter has C
By providing a zero-point calibration function using a PU, zero-point adjustment can be performed with one touch, and can be easily adjusted on site.

【0037】請求項8に対応する効果:層流流量計の差
圧センサが電池駆動式の場合において、該差圧センサを
CPUを用いて間欠的に駆動するようにしたので、電池
の消耗を少なくし、耐用時間を長くすることができる。
According to the eighth aspect of the present invention, when the differential pressure sensor of the laminar flow meter is a battery-driven type, the differential pressure sensor is intermittently driven by using the CPU, so that the battery is consumed. It can be reduced and the service life can be extended.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明による層流流量計の実施形態の一例を
説明するための図である。
FIG. 1 is a diagram for explaining an example of an embodiment of a laminar flow meter according to the present invention.

【図2】 図1の層流流量計の側面図を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a side view of the laminar flow meter of FIG. 1;

【図3】 本発明による校正手段を有する層流流量計の
一実施形態を説明するためのブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram illustrating an embodiment of a laminar flow meter having a calibration unit according to the present invention.

【図4】 実流校正を行った時のセンサ出力テーブルの
一例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a sensor output table when performing actual flow calibration.

【図5】 図4に示した校正結果を用いた各所定流量間
の直線性の補正後の流量−出力特性を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing flow rate-output characteristics after correction of linearity between respective predetermined flow rates using the calibration result shown in FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…層流流量計本体、2…ハニカムパイプ、3…細管、
3a…詰め物、4…ケース、5,24…差圧センサ、6
a,6b,6c,6d,6e,6f,6g,6h…抜け
止め、7a,7b,7c,7d…Oリング、8a…流量
調節バルブ、8b…電源スイッチ付流量調節バルブ用ツ
マミ、9a,9b…継手、10,23…表示器、11…
PCボード、12…電源電池、13a,13b…プロセ
スコネクタ、21…CPU、22…センサ出力テーブ
ル、25…増幅回路、26…電源制御部、27…モード
切替SW、28…Cal/Run切替SW、29…校正
流量変更部、30…センサ出力読み込みボタン、31…
0点Cal用ボタン。
1: laminar flow meter main body, 2: honeycomb pipe, 3: thin tube,
3a: padding, 4: case, 5, 24 ... differential pressure sensor, 6
a, 6b, 6c, 6d, 6e, 6f, 6g, 6h: retaining, 7a, 7b, 7c, 7d: O-ring, 8a: flow control valve, 8b: knob for flow control valve with power switch, 9a, 9b ... Joints, 10, 23 ... Indicators, 11 ...
PC board, 12: Power battery, 13a, 13b: Process connector, 21: CPU, 22: Sensor output table, 25: Amplifier circuit, 26: Power control unit, 27: Mode switching SW, 28: Cal / Run switching SW, 29: Calibration flow rate change unit, 30: Sensor output read button, 31 ...
Button for 0 point Cal.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多数の細管からなる層流生成用のハニカ
ムパイプと、該ハニカムパイプの上流側の圧力と下流側
の圧力との圧力差を検出する差圧センサと、前記細管を
被測定流体が流れるのを阻止する詰め物とを有し、該詰
め物にて前記細管の所望数の流体の流れを阻止すること
により測定レンジを変更するようにしたことを特徴とす
る層流流量計。
1. A honeycomb pipe for generating a laminar flow comprising a large number of thin tubes, a differential pressure sensor for detecting a pressure difference between an upstream pressure and a downstream pressure of the honeycomb pipe, and a fluid to be measured A laminar flow meter having a filling that prevents the flow of a desired number of fluids in the capillaries with the filling.
【請求項2】 前記ハニカムパイプはコ字型の形状であ
ることを特徴とする請求項1記載の層流流量計。
2. The laminar flow meter according to claim 1, wherein the honeycomb pipe has a U-shape.
【請求項3】 前記ハニカムパイプの上流側に連結され
た上流側継手と下流側に連結された下流側継手と、上流
側圧力導入パイプが前記上流側継手に連結し下流側圧力
導入パイプが前記下流側継手に連結された前記差圧セン
サとが一体的に形成され、該一体的に形成された部材が
層流流量計本体に形成された受け部材に着脱自在に嵌合
されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の層
流流量計。
3. An upstream joint connected to the upstream side of the honeycomb pipe and a downstream joint connected to the downstream side, and an upstream pressure introduction pipe is connected to the upstream joint, and the downstream pressure introduction pipe is connected to the upstream joint. The differential pressure sensor connected to the downstream joint is integrally formed, and the integrally formed member is detachably fitted to a receiving member formed on the laminar flow meter main body. The laminar flow meter according to claim 1 or 2, wherein:
【請求項4】 請求項1ないし3のいずれか1記載の層
流流量計において、前記ハニカムパイプを流れる流体の
流量を調節する流量調節弁を有し、該流量調節弁に連動
して該層流流量計の電源電池の入切の制御を行い、前記
流量調節弁を開いたときに前記電源電池を入の状態に、
閉じたときに前記電源電池を切の状態にすることを特徴
とする層流流量計。
4. The laminar flow meter according to claim 1, further comprising a flow control valve for controlling a flow rate of a fluid flowing through the honeycomb pipe, wherein the flow control valve is linked to the flow control valve. Control the turning on and off of the power battery of the flow flow meter, and turn on the power battery when the flow control valve is opened,
A laminar flow meter, wherein the power battery is turned off when closed.
【請求項5】 層流を生成する層流生成パイプと、該層
流生成パイプの両端間の圧力差を検出する差圧センサと
を有する層流流量計において、前記層流流量計に流す校
正流量に応じて、各校正流量と該各校正流量に対する前
記差圧センサの出力値とが格納されるセンサ出力メモリ
テーブルとを有し、被測定流量測定時、前記メモリテー
ブルにおける各メモリ値に基づいて被測定流量を演算校
正して出力するようにしたことを特徴とする層流流量
計。
5. A laminar flow meter having a laminar flow generating pipe for generating a laminar flow, and a differential pressure sensor for detecting a pressure difference between both ends of the laminar flow generating pipe. A sensor output memory table in which each calibration flow rate and the output value of the differential pressure sensor for each calibration flow rate are stored in accordance with the flow rate, and based on each memory value in the memory table when measuring the measured flow rate A laminar flow meter characterized in that the measured flow rate is calculated and calibrated and output.
【請求項6】 前記メモリテーブルの校正表に基づい
て、各校正流量間の直線性の補正を行い、前記差圧セン
サの出力に応じて補間して実流量を求める演算を行うこ
とを特徴とする請求項5記載の層流流量計。
6. The method according to claim 1, wherein linearity correction between calibration flow rates is performed based on a calibration table in the memory table, and an operation is performed to obtain an actual flow rate by interpolation according to an output of the differential pressure sensor. The laminar flow meter according to claim 5, wherein
【請求項7】 流量0時の前記差圧センサの出力値をメ
モリ内に読み込む0点校正手段と、該0点校正手段によ
る校正結果に基づいて、前記メモリテーブルの各メモリ
値を調整するテーブル調整手段とを有し、流量を0にし
て、前記0点校正手段により0点校正を行い、前記メモ
リテーブルの各メモリ値の調整を行うことを特徴とする
請求項5または6記載の層流流量計。
7. A zero point calibration means for reading the output value of the differential pressure sensor at a flow rate of 0 into a memory, and a table for adjusting each memory value of the memory table based on a calibration result by the zero point calibration means. 7. The laminar flow according to claim 5, further comprising adjusting means, setting the flow rate to 0, performing zero-point calibration by the zero-point calibration means, and adjusting each memory value of the memory table. 8. Flowmeter.
【請求項8】 前記センサを間欠的に駆動するようにし
たことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の
層流流量計。
8. The laminar flow meter according to claim 1, wherein the sensor is driven intermittently.
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