JP2001210455A - Ceramic heater and its manufacturing method - Google Patents

Ceramic heater and its manufacturing method

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JP2001210455A
JP2001210455A JP2000018077A JP2000018077A JP2001210455A JP 2001210455 A JP2001210455 A JP 2001210455A JP 2000018077 A JP2000018077 A JP 2000018077A JP 2000018077 A JP2000018077 A JP 2000018077A JP 2001210455 A JP2001210455 A JP 2001210455A
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ceramic heater
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heater
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秀明 下水流
Masaki Terasono
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent occurring of cracks on the surface of a ceramic heater on a way of raising the temperature and becomes impossible to use it, when the ceramic heater is intended to be raised to 1000 deg.C from room temperature in 5 seconds. SOLUTION: In the ceramic heater comprising a heating resister and a lead extraction part connected to the ceramic heater both of which is built in the ceramic body, the ceramic body surface side of the portion where the above- mentioned heating resister is built in, is worn in the covering layer which consists of other ceramics.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半田ごて、石油フ
ァンヒーターの気化器用ヒーター、温水加熱ヒーター、
自動車酸素センサ加熱用ヒーター等の一般家庭用、電子
部品用、産業機器用等の各種加熱用ヒータに利用される
セラミックヒータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a soldering iron, a vaporizer heater for an oil fan heater, a hot water heater,
The present invention relates to a ceramic heater used for various types of heaters for general household use, such as heaters for automobile oxygen sensors, electronic heaters, and industrial equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、インターネットや携帯電話、パソ
コン一体型テレビ等、デジタル家電と呼ばれる商品が、
これからの成長産業として期待されるようになってき
た。パソコンは、その利用者が、会社や法人から個人に
移行するにつれ、生産量が爆発的に増加している。これ
に伴い、このような商品の各種回路を結線するために使
用される半田ごての需要が増えてきつつある。また、市
場から見ても、日本国内から、韓国、東南アジア、特
に、台湾にその市場が移行しているのが最近の特徴であ
る。このような状況下で、パソコンの生産効率の向上の
観点から、半田付け後の温度回復の速い急速昇温可能な
半田ごてが市場で要求されるようになってきた。
2. Description of the Related Art Recently, products called digital home appliances, such as the Internet, mobile phones, and personal computer-integrated televisions,
It is expected to be a growth industry in the future. The production volume of personal computers has exploded as users shift from companies and corporations to individuals. Along with this, the demand for soldering irons used for connecting various circuits of such products is increasing. In terms of the market, a recent characteristic is that the market has shifted from Japan to Korea, Southeast Asia, and especially Taiwan. Under these circumstances, from the viewpoint of improving the production efficiency of personal computers, a soldering iron capable of rapidly increasing the temperature after soldering and capable of rapidly increasing the temperature has been required in the market.

【0003】このような中で、火傷防止のためのスライ
ド式カバー付き半田ごてが特開平7−314130号公
報に提案されているが、セラミックヒーターの立ち上が
り特性に関しては、全く検討されていなかった。また、
特開平9−148053号公報には、小型で高性能な半
田ごてが提案されており、2層の発熱抵抗体を直列、並
列に接続することにより、発熱特性を改善できることが
示されているものの、上記急速昇温の要求に対し満足で
きるものではなかった。
Under these circumstances, a soldering iron with a sliding cover for preventing burns has been proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-314130, but no consideration has been given to the rising characteristics of ceramic heaters. . Also,
Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-148053 proposes a small and high-performance soldering iron, and shows that the heating characteristics can be improved by connecting two layers of heating resistors in series and in parallel. However, it was not satisfactory with respect to the above-mentioned requirement for rapid temperature rise.

【0004】ここで、まず、従来の半田ごて用のセラミ
ックヒーターについて、説明する。図3に示すように、
従来の半田ごて10は、こて先11の内部に円柱状のセ
ラミックヒータ1を挿入し、た構成になっており、この
セラミックヒーター1に通電することによりこて先11
を加熱し、半田を溶かすようになっていた。また、加熱
効率を良くするため、こて先11は、セラミックヒータ
ー1と密着するように形成されていた。
[0004] First, a conventional ceramic heater for a soldering iron will be described. As shown in FIG.
A conventional soldering iron 10 has a configuration in which a cylindrical ceramic heater 1 is inserted into a tip 11, and when the ceramic heater 1 is energized, the tip 11 is turned on.
Was heated to melt the solder. Further, in order to improve the heating efficiency, the tip 11 is formed so as to be in close contact with the ceramic heater 1.

【0005】前記円柱状のセラミックヒーター1を製造
する場合は、図4に示すようにセラミックスの芯材2と
セラミックシート3を用意し、セラミックシート3の一
方の面にW、Mo、Re等の高融点金属のペーストを印
刷して発熱抵抗体4とリード引出部5を形成した後、こ
れらを形成した面が内側になるようにセラミックシート
3を上記セラミックス製の芯材2の周囲に巻き付け、全
体を焼成一体化することによりセラミックヒーター1を
得ることができた。
In order to manufacture the cylindrical ceramic heater 1, as shown in FIG. 4, a ceramic core material 2 and a ceramic sheet 3 are prepared, and one surface of the ceramic sheet 3 is made of W, Mo, Re or the like. After forming the heating resistor 4 and the lead lead-out portion 5 by printing a paste of a high melting point metal, the ceramic sheet 3 is wound around the ceramic core material 2 so that the surface on which the heating resistor 4 and the lead lead-out portion 5 are formed is inside, The ceramic heater 1 was obtained by firing and integrating the whole.

【0006】図4(a)に、上記のセラミックヒーター
1に内蔵された発熱抵抗体4のパターンを示すように、
発熱抵抗体4のパターン幅は均一に形成されていた。ま
た、セラミックシート3上には、発熱抵抗体4に直接リ
ード引出部5が接続され、該リード引出部5の末端に
は、発熱抵抗体4と同様な金属材料からなるスルーホー
ル7が形成され、裏側の電極パッド8と該リード引出部
5を接続していた。スルーホール7には、必要に応じて
導体ペーストが注入されていた。
FIG. 4A shows a pattern of the heating resistor 4 built in the ceramic heater 1 as shown in FIG.
The pattern width of the heating resistor 4 was uniform. On the ceramic sheet 3, the lead-out portion 5 is directly connected to the heating resistor 4, and a through hole 7 made of the same metal material as the heating resistor 4 is formed at the end of the lead-out portion 5. The electrode pad 8 on the back side and the lead extraction portion 5 were connected. The conductor paste was injected into the through holes 7 as needed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】従来、半田ごては、主
に熱容量の大きなものが使用され、一度加熱したら、そ
れを継続してはんだ付け作業に使用するということが行
われてきた。しかし、大熱容量の半田ごては、使用する
際にこて先が加熱されるまでかなりの時間を要すること
が欠点であった。これに対し、最近では、冷始動時の立
ち上がり特性が要求されるようになってきた。
Heretofore, a soldering iron having a large heat capacity has been mainly used, and once heated, it has been used continuously for soldering. However, a disadvantage of the soldering iron having a large heat capacity is that it takes a considerable amount of time until the tip is heated when used. On the other hand, recently, a rising characteristic at the time of cold start has been required.

【0008】上述のような半田ごての昇温特性を改善す
るためには、その熱源であるセラミックヒーターの昇温
特性を改善する必要がある。これに対応するために、現
在要求されているレベルは、セラミックヒーターの最高
発熱部の温度が室温から700℃まで3秒以下で昇温す
るタイプのセラミックヒーターが要求されている。
In order to improve the temperature rising characteristics of the soldering iron as described above, it is necessary to improve the temperature rising characteristics of the ceramic heater as its heat source. In order to cope with this, a ceramic heater of a type in which the temperature of the highest heat generating portion of the ceramic heater rises from room temperature to 700 ° C. in 3 seconds or less is required at present.

【0009】しかしながら、このような急速昇温を達成
しようとすると、セラミックヒーター1の最高発熱部の
表面にクラックが発生し、使用中に発熱抵抗体4が断線
してしまうという問題があった。これは、発熱抵抗体4
を急加熱した際にその一部分が急加熱され膨張するが、
発熱抵抗体4を備えたセラミックシート3の表面は、こ
て先11により冷却されているので膨張できず、前記セ
ラミックシート3の表面に引っ張り応力が発生するから
である。
However, when trying to achieve such a rapid temperature rise, a crack is generated on the surface of the highest heat generating portion of the ceramic heater 1, and there is a problem that the heat generating resistor 4 is disconnected during use. This is the heating resistor 4
When heated rapidly, a part of it is rapidly heated and expands,
This is because the surface of the ceramic sheet 3 provided with the heating resistor 4 cannot be expanded because it is cooled by the tip 11, and a tensile stress is generated on the surface of the ceramic sheet 3.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題について鋭意検
討した結果、本発明者は、発熱抵抗体と該発熱抵抗体に
接続したリード引出部とをセラミック体に内蔵してなる
セラミックヒーターにおいて、前記発熱抵抗体を内蔵し
た部分のセラミック体表面を他のセラミックスからなる
被覆層で覆うことにより、前記課題を解決できることを
見出した。
As a result of intensive studies on the above-mentioned problems, the present inventor has found that a ceramic heater in which a heating resistor and a lead lead portion connected to the heating resistor are built in a ceramic body, It has been found that the above problem can be solved by covering the surface of the ceramic body in a portion containing the heating resistor with a coating layer made of another ceramic.

【0011】また、上記被覆層の熱膨張率とセラミック
体の熱膨張率の差は、3×10-6deg-1以下であり、
且つ上記被覆層の熱伝導率が4〜42W/m・Kである
ことが好ましい。
The difference between the coefficient of thermal expansion of the coating layer and the coefficient of thermal expansion of the ceramic body is 3 × 10 −6 deg −1 or less,
In addition, the thermal conductivity of the coating layer is preferably 4 to 42 W / m · K.

【0012】そして、前記被覆層は発熱抵抗体部分より
大きな面積を覆う様に設けられており、前記被覆層の厚
みが10〜500μmとすることが好ましい。
The covering layer is provided so as to cover an area larger than the heating resistor portion, and the thickness of the covering layer is preferably 10 to 500 μm.

【0013】また、本発明のセラミックヒーターは、前
記発熱抵抗体と該発熱抵抗体に接続したリード引出部と
をセラミック体の内部に内蔵してなるセラミックヒータ
ーにおいて、発熱抵抗体の外周のセラミック体表面に被
覆層を溶射、スクリーン印刷、CVD、PVD、ディッ
ピングし焼成のいずれかの方法で設けることにより得る
ことができる。
The ceramic heater according to the present invention is a ceramic heater in which the heating resistor and a lead lead portion connected to the heating resistor are built in a ceramic body. It can be obtained by providing a coating layer on the surface by any of spraying, screen printing, CVD, PVD, dipping and firing.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0015】まず、半田ごての構造を図3を用いて説明
する。こて先11の内部には、円柱状のセラミックヒー
ター1が挿入されており、このセラミックヒーター1に
通電することによりこて先11が加熱され、半田を溶か
すようになっている。
First, the structure of the soldering iron will be described with reference to FIG. A cylindrical ceramic heater 1 is inserted into the inside of the tip 11, and when the ceramic heater 1 is energized, the tip 11 is heated to melt the solder.

【0016】また、図1および図2に、本発明品のセラ
ミックヒーターの一例を示す。セラミックヒーター1
は、発熱抵抗体4およびリード引出部5を表面に形成し
たセラミックシート3を、発熱抵抗体4およびリード引
出部5がセラミックシート3とセラミックの芯材2の間
に挟みこまれるように、芯材2の周囲に周回密着し、焼
成一体化することによって、セラミック体に発熱抵抗体
4とリード引出部5を内臓した構造となっている。セラ
ミックシート3は、一般的に芯材2と同じ材質が用いら
れる。また、リード引出部5は、スルーホール7を介し
て電極パッド8に接続され、さらにその表面にNiメッ
キが施された後、不図示のロウ材によりリード9が接合
されてセラミックヒータとする。
FIGS. 1 and 2 show an example of the ceramic heater of the present invention. Ceramic heater 1
The ceramic sheet 3 having the heating resistor 4 and the lead lead-out portion 5 formed on the surface thereof is arranged such that the heating resistor 4 and the lead lead-out portion 5 are sandwiched between the ceramic sheet 3 and the ceramic core material 2. The heat generating resistor 4 and the lead extraction portion 5 are built in the ceramic body by being closely adhered to the periphery of the material 2 and integrated by firing. The same material as the core material 2 is generally used for the ceramic sheet 3. The lead lead-out portion 5 is connected to the electrode pad 8 through the through-hole 7, and after Ni plating is applied to the surface thereof, the lead 9 is joined with a brazing material (not shown) to form a ceramic heater.

【0017】更に、本発明は、図1に示すように、発熱
抵抗体4を備えたセラミックシート3の外表面をさらに
他のセラミックスからなる被覆層6で覆う構造としたこ
とを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that, as shown in FIG. 1, the outer surface of the ceramic sheet 3 having the heating resistor 4 is further covered with a coating layer 6 made of another ceramic.

【0018】この被覆層6の主たる作用は、断熱であ
り、セラミックヒーター1の外周部を被覆層6で覆うこ
とにより、被覆層6とセラミックシート3間の界面によ
る断熱効果が得られる結果、セラミックヒーター1表面
の冷却による熱衝撃を緩和すると共に、外周部を保持し
クラックの発生を緩和することができる。このように、
被覆層6とセラミックシート3間の界面を形成すること
が、耐熱衝撃性を緩和するのに非常に有効であること
を、本発明者等は見出した。
The main function of the coating layer 6 is heat insulation. By covering the outer peripheral portion of the ceramic heater 1 with the coating layer 6, a heat insulating effect due to the interface between the coating layer 6 and the ceramic sheet 3 is obtained. The thermal shock due to the cooling of the surface of the heater 1 can be reduced, and the occurrence of cracks can be reduced by holding the outer peripheral portion. in this way,
The present inventors have found that forming an interface between the coating layer 6 and the ceramic sheet 3 is very effective in reducing thermal shock resistance.

【0019】即ち、セラミックヒーター1を急加熱した
場合のクラックの発生原因は、発熱抵抗体4が急昇温し
た場合に、前記発熱抵抗体4を備えた部分のセラミック
シート3の外表面がこて先11により冷却されているた
め昇温できず、前記セラミックシート3に引っ張り応力
がかかるためである。これに対し、本発明のように、前
記セラミックシート3の上をさらに被覆層6で覆うこと
により、こて先11による冷却の影響を緩和し、発熱抵
抗体4が急昇温した場合に、前記セラミックシート3が
加熱されやすいようにすることで、セラミックシート3
に発生する熱応力を緩和し、クラックの発生を防止する
ことができる。
That is, the cause of the cracks when the ceramic heater 1 is rapidly heated is that the outer surface of the ceramic sheet 3 where the heating resistor 4 is provided when the heating resistor 4 rises rapidly. This is because the temperature cannot be increased because the ceramic sheet 3 is cooled by the tip 11, and a tensile stress is applied to the ceramic sheet 3. On the other hand, as in the present invention, by further covering the ceramic sheet 3 with the coating layer 6, the influence of the cooling by the tip 11 is reduced, and when the temperature of the heating resistor 4 rises rapidly, By making the ceramic sheet 3 easy to be heated, the ceramic sheet 3
Can reduce the thermal stress generated at the time, and can prevent the occurrence of cracks.

【0020】ここで重要なのは、セラミックシート3の
表面に被覆層6を形成して、両者の間に界面を形成する
点にある。そのためには、被覆層6としては、セラミッ
クシート3の表面と異なる材質である方が好ましい。
What is important here is that the coating layer 6 is formed on the surface of the ceramic sheet 3 to form an interface between them. For that purpose, the coating layer 6 is preferably made of a material different from the surface of the ceramic sheet 3.

【0021】発熱抵抗体4を加熱することにより発熱抵
抗体4から周囲に熱が拡散するが、セラミックシート3
と被覆層6との間には界面が形成されていることから、
この界面における熱伝導が若干遅れる。この遅れによ
り、セラミックシート3の表面が有効に加熱されるた
め、発熱抵抗体4の膨張によるセラミックシート3への
引っ張り応力を緩和し、セラミックシート3へのクラッ
クの発生を防止することができるものと推定している。
When the heating resistor 4 is heated, heat is diffused from the heating resistor 4 to the surroundings.
Since an interface is formed between the coating layer 6 and
The heat conduction at this interface is slightly delayed. Due to this delay, the surface of the ceramic sheet 3 is effectively heated, so that the tensile stress on the ceramic sheet 3 due to the expansion of the heating resistor 4 can be reduced, and the occurrence of cracks in the ceramic sheet 3 can be prevented. It is estimated.

【0022】ここで、被覆層6の作用が断熱であるとし
たが、これはセラミックヒーター1を急昇温させる初期
の数秒間の作用を意味しており、半田ごてのこて先を加
熱する数十秒の時間に影響するレベルのものではない。
即ち、このセラミックヒーター1を加熱した際の数秒間
の断熱により、セラミックヒーター1表面のセラミック
シート3にクラックが発生することを防止できるととも
に、数十秒間にわたる半田ごてのこて先の加熱は急速に
行うことができるのである。
Here, the action of the coating layer 6 is assumed to be heat insulation, which means the action for a few seconds in the initial stage of rapidly increasing the temperature of the ceramic heater 1 and heating the soldering iron tip. It is not a level that affects the time of tens of seconds.
That is, the heat insulation of the ceramic heater 1 for several seconds can prevent cracks from being generated in the ceramic sheet 3 on the surface of the ceramic heater 1 and heat the soldering iron tip for several tens of seconds. It can be done quickly.

【0023】本発明のセラミックヒーター1において、
セラミックの芯材2およびセラミックシート3は、一般
に同材質からなり、アルミナ、窒化珪素、ムライト等の
セラミックを用いる。また発熱抵抗体4の材料は、タン
グステン、モリブデン、レニウム、白金、ロジウム等の
高融点金属等を単独、または混合して用いる。発熱抵抗
体4の厚みは、5〜50μmとする。
In the ceramic heater 1 of the present invention,
The ceramic core material 2 and the ceramic sheet 3 are generally made of the same material, and use ceramics such as alumina, silicon nitride, and mullite. As a material of the heating resistor 4, a high melting point metal such as tungsten, molybdenum, rhenium, platinum, rhodium or the like is used alone or in combination. The thickness of the heating resistor 4 is 5 to 50 μm.

【0024】被覆層6は、発熱抵抗体4を備えた部分を
覆うようにセラミックシート3の外表面に被覆される。
被覆層6の材質は、芯材2およびセラミックシート3か
らなるセラミック体の材質によって異なり、該セラミッ
ク体との熱膨張率の差が3×10-6deg-1以下のもの
が良い。
The coating layer 6 is coated on the outer surface of the ceramic sheet 3 so as to cover the portion provided with the heating resistor 4.
The material of the coating layer 6 differs depending on the material of the ceramic body composed of the core material 2 and the ceramic sheet 3, and it is preferable that the difference in the coefficient of thermal expansion from the ceramic body be 3 × 10 −6 deg −1 or less.

【0025】例えば、セラミックシート3がアルミナ
(Al23)の場合は、被覆層6としてMgAl24
Al23、3Al23・2SiO2等を用いる。セラミ
ックシート3がSi34の場合は、被覆層6としてSi
C、Si34を用いるとよい。また、セラミックシート
3が3Al23・2SiO2の場合は、被覆層6として
Al23、MgAl24を用いるとよい。これは、前記
セラミックシートと被覆層6の熱膨張率の差が3×10
-6deg-1より大きく異なると、前記セラミック体との
間に発生する応力が大きくなり、これがクラックの発生
の原因となる場合があるためである。
For example, when the ceramic sheet 3 is made of alumina (Al 2 O 3 ), MgAl 2 O 4 ,
Al 2 O 3 , 3Al 2 O 3 .2SiO 2 or the like is used. When the ceramic sheet 3 is made of Si 3 N 4 , Si is used as the coating layer 6.
C and Si 3 N 4 are preferably used. When the ceramic sheet 3 is 3Al 2 O 3 .2SiO 2 , it is preferable to use Al 2 O 3 or MgAl 2 O 4 as the coating layer 6. This is because the difference in the coefficient of thermal expansion between the ceramic sheet and the coating layer 6 is 3 × 10
If the difference is more than -6 deg -1, the stress generated between the ceramic body and the ceramic body increases, which may cause cracks.

【0026】また、被覆層6の熱伝導率は、4〜42W
/m・Kとすることが好ましい。これは、熱伝導率が小
さすぎると半田ごて等の被加熱物を加熱しにくくなり、
被加熱物の昇温速度が遅くなるからである。また、被覆
層6の熱伝導率が大きすぎると、セラミックシート3に
クラックがはいる原因となるからである。
The thermal conductivity of the coating layer 6 is 4 to 42 W
/ M · K. This is because if the thermal conductivity is too small, it will be difficult to heat the object to be heated such as a soldering iron,
This is because the heating rate of the object to be heated becomes slow. Also, if the thermal conductivity of the coating layer 6 is too large, it may cause cracks in the ceramic sheet 3.

【0027】更に被覆層6は、少なくとも発熱抵抗体4
を備えた部分のセラミックヒーター1の外表面を覆う様
にし、被覆層6の厚みは10〜500μmの範囲とする
ことが好ましい。
Further, the coating layer 6 includes at least the heating resistor 4.
It is preferable to cover the outer surface of the portion of the ceramic heater 1 provided with the above, and to set the thickness of the coating layer 6 in the range of 10 to 500 μm.

【0028】これは、発熱抵抗体4の一部分の上に被覆
層6が無いとその部分のセラミックシート3にクラック
が発生する原因となるためである。また、被覆層6の厚
みが10μmより小さいとセラミックシート3のクラッ
ク防止効果が無くなり、被覆層6の厚みが500μmよ
り大きいと、熱伝達が悪くなり、半田ごての被加熱物の
加熱が悪くなって所望の昇温速度が得られない。なお、
被覆層6の厚みについて、さらに好ましくは10〜30
0μmが良い。
This is because the absence of the coating layer 6 on a part of the heating resistor 4 causes cracks in the ceramic sheet 3 in that part. If the thickness of the coating layer 6 is smaller than 10 μm, the effect of preventing cracks in the ceramic sheet 3 will be lost, and if the thickness of the coating layer 6 is larger than 500 μm, heat transfer will be poor, and heating of the object to be heated by the soldering iron will be poor. As a result, a desired heating rate cannot be obtained. In addition,
The thickness of the coating layer 6 is more preferably 10 to 30.
0 μm is good.

【0029】尚、本発明のセラミックヒーター1は、電
極パッド8に接合されたリード9によって電力が供給さ
れる。一般的に、リード9の材料としてはNi線、Fe
−Ni−Co合金線等が使用され、電極パッド8の金属
材料としては、タングステンが使用され、リード9は、
ロウ付けによって電極パッド8に接合される。
The ceramic heater 1 according to the present invention is supplied with electric power by the leads 9 joined to the electrode pads 8. Generally, the material of the lead 9 is Ni wire, Fe
-Ni-Co alloy wire or the like is used, and tungsten is used as a metal material of the electrode pad 8;
It is joined to the electrode pad 8 by brazing.

【0030】また、図3に本発明のセラミックヒーター
1が半田ごて10に装着された状態を示す断面図を示し
た。こて先11に密着するように挿入されたセラミック
ヒーター1に通電すると、こて先11が加熱され、半田
に触れると半田を溶かすことができるようになる。こて
先11は、半田付け作業するものの熱容量に応じて、大
きさが選択され、また、セラミックヒーター1の発熱量
についても、こて先11の熱容量に応じて選択されるよ
うになっている。
FIG. 3 is a sectional view showing a state where the ceramic heater 1 of the present invention is mounted on the soldering iron 10. When the ceramic heater 1 inserted so as to be in close contact with the tip 11 is energized, the tip 11 is heated, so that the solder can be melted by touching the solder. The size of the soldering tip 11 is selected according to the heat capacity of the soldering work, and the calorific value of the ceramic heater 1 is also selected according to the heat capacity of the soldering tip 11. .

【0031】次に、本発明のセラミックヒーター1の製
造方法に関してアルミナからなるセラミックヒーター1
を例にして説明する。
Next, a method of manufacturing the ceramic heater 1 according to the present invention will be described.
Will be described as an example.

【0032】まず、アルミナ製の芯材2を用意する。ア
ルミナ原料を用意し、CaO、MgO、SiO2等の焼
結助剤、成型用バインダー等を混合した成型用原料を用
意する。この原料を用い、押し出し成形、プレス成形等
の成形方法で所望の形状のアルミナ製の芯材2を成型す
る。
First, a core material 2 made of alumina is prepared. A raw material for alumina is prepared, and a raw material for molding is prepared by mixing a sintering aid such as CaO, MgO, SiO 2 , a binder for molding, and the like. Using this raw material, an alumina core material 2 having a desired shape is molded by a molding method such as extrusion molding or press molding.

【0033】次に、上記と同様の原料を用い、ナイフブ
レード等の成形法でシート状のアルミナ製のセラミック
シート3を用意する。これに、発熱抵抗体4およびリー
ド引出部5をスクリーン印刷等の手段を用いて印刷す
る。このセラミックシート3を先程用意したアルミナ製
の芯材2に巻き付け一体として脱脂した後、所定の条件
で焼成し、セラミックヒーター1を得る。
Next, using the same raw materials as above, a sheet-like ceramic sheet 3 made of alumina is prepared by a molding method such as a knife blade. Then, the heating resistor 4 and the lead lead-out portion 5 are printed by means such as screen printing. The ceramic sheet 3 is wound around the alumina core material 2 prepared previously and degreased integrally, and then fired under predetermined conditions to obtain the ceramic heater 1.

【0034】このセラミックヒーター1の外表面に溶
射、PVD、CVD、スクリーン印刷、ディッピング等
のいずれかの手法を用いて、例えばMgAl24,Al
23からなる被覆層6を所望の形状で形成する。
The outer surface of the ceramic heater 1 is made of, for example, MgAl 2 O 4 , Al by using any method such as thermal spraying, PVD, CVD, screen printing, and dipping.
A coating layer 6 made of 2 O 3 is formed in a desired shape.

【0035】PVD法による被覆層6形成の一例を示す
と、アルミナのターゲットに電子ビームを照射し、これ
により飛散したアルミナを前記セラミックヒーター1の
表面に固着させることにより、被覆層6を形成する。
As an example of the formation of the coating layer 6 by the PVD method, an electron beam is irradiated on an alumina target, and the scattered alumina is fixed on the surface of the ceramic heater 1 to form the coating layer 6. .

【0036】CVD法による被覆層6形成の一例を示す
と、N2をキャリアガスとしたAlCl3ガスをセラミッ
クヒーター1の表面に流すと同時に、他方からO2を含
有するガスを流し、加熱したセラミックヒーター1の表
面で、AlCl3とO2を化学反応させることによりAl
23を生成させて被覆層6を形成させる。
As an example of the formation of the coating layer 6 by the CVD method, an AlCl 3 gas using N 2 as a carrier gas is caused to flow on the surface of the ceramic heater 1, and at the same time, a gas containing O 2 is caused to flow from the other side and heated. On the surface of the ceramic heater 1, AlCl 3 and O 2 are chemically reacted to form Al.
The coating layer 6 is formed by generating 2 O 3 .

【0037】また、スクリーン印刷を用いる手法では、
アルミナの焼成温度より低い温度で焼結する材料を曲面
印刷法によりセラミックヒーター1の表面に印刷して被
覆層6を形成し、所定の温度で焼結させて固着させる方
法がある。
In the method using screen printing,
There is a method in which a material that sinters at a temperature lower than the firing temperature of alumina is printed on the surface of the ceramic heater 1 by a curved surface printing method to form the coating layer 6 and then sintered and fixed at a predetermined temperature.

【0038】さらに、ディッピング法を用いる場合は、
アルミナの焼成温度より低い温度で焼結する材料の分散
溶液中にセラミックヒーター1を挿入した後、前記分散
液中から取り出すことによりセラミックヒーター1の表
面に被覆層6を形成し、所定の温度で焼結させて固着さ
せる方法がある。
Further, when the dipping method is used,
After the ceramic heater 1 is inserted into a dispersion solution of a material that sinters at a temperature lower than the firing temperature of alumina, the coating layer 6 is formed on the surface of the ceramic heater 1 by removing the ceramic heater 1 from the dispersion solution. There is a method of fixing by sintering.

【0039】[0039]

【実施例】次に、本発明の実施例を示す。Next, examples of the present invention will be described.

【0040】実施例 1 図1に示すような発熱抵抗体4の外周のセラミック体表
面を被覆層6で覆う本発明品のセラミックヒーター1
と、図3に示す従来のセラミックヒーター(被覆材無と
表示)1を用意して、昇温テストを行った。セラミック
ヒーター1の材質としては、アルミナを用いた。昇温条
件としては、被覆なしのサンプルにおいて、セラミック
ヒーター1の最高温度部が3秒間で700℃まで昇温す
る条件の電力を印加して評価した。それぞれ、5本づつ
5サイクル評価し、双眼検査にてクラックの有無を確認
した。
Example 1 A ceramic heater 1 according to the present invention, in which the outer surface of a ceramic body of a heating resistor 4 as shown in FIG.
And a conventional ceramic heater (shown as no coating material) 1 shown in FIG. Alumina was used as the material of the ceramic heater 1. The temperature was increased by applying electric power under the condition that the maximum temperature of the ceramic heater 1 was raised to 700 ° C. in 3 seconds in the sample without coating. Each sample was evaluated for 5 cycles for 5 cycles, and the presence or absence of cracks was confirmed by binocular inspection.

【0041】また、本発明実施例においては、被覆層6
として、溶射により、スピネル(MgO・SiO2)お
よびムライト(2Al23・2SiO2)の被覆層6を
各々のサンプルに形成した。被覆層6を形成したサンプ
ルのクラックは、被覆層6および被覆層6を除去したセ
ラミックヒーター1の表面を両方とも観察した。結果を
表1に示した。
In the embodiment of the present invention, the coating layer 6
A coating layer 6 of spinel (MgO.SiO 2 ) and mullite (2Al 2 O 3 .2SiO 2 ) was formed on each sample by thermal spraying. As for the cracks of the sample on which the coating layer 6 was formed, both the coating layer 6 and the surface of the ceramic heater 1 from which the coating layer 6 was removed were observed. The results are shown in Table 1.

【0042】[0042]

【表1】 [Table 1]

【0043】表1から判るように、被覆層6を形成しな
いNo.1は、全てのサンプルの表面にクラックが認め
られた。これに対し、スピネルおよびムライトの被覆層
6を形成したNo.2、3は、全てのサンプルにクラッ
クが発生しなかった。
As can be seen from Table 1, no. In No. 1, cracks were observed on the surfaces of all the samples. On the other hand, No. 1 in which the coating layer 6 of spinel and mullite was formed. In Nos. 2 and 3, cracks did not occur in all samples.

【0044】実施例 2 実施例1と同様にして、評価用のサンプルを作製した。
本発明実施例としては、被覆層6の材質(コート材)と
して、ガラス、ムライト、スピネル、アルミナ、多孔質
MgO、MgOの6種を用意し、溶射により形成した。
多孔質MgOは、溶射条件を変更することにより多孔質
とした。被覆層6の厚みは200μmとし、被覆層6は
発熱抵抗体4部分より大きな面積を覆うように設けた。
評価方法として、昇温テストと耐久テストを実施した。
Example 2 A sample for evaluation was prepared in the same manner as in Example 1.
In the examples of the present invention, six types of glass, mullite, spinel, alumina, porous MgO, and MgO were prepared as the material (coating material) of the coating layer 6 and formed by thermal spraying.
The porous MgO was made porous by changing the thermal spraying conditions. The thickness of the coating layer 6 was 200 μm, and the coating layer 6 was provided so as to cover an area larger than the heating resistor 4.
As an evaluation method, a temperature rise test and a durability test were performed.

【0045】昇温テストは、実施例1と同様な条件と
し、テスト後のクラックの発生の有無を調べ優位性を判
断した。また、耐久テストは、被覆なしのセラミックヒ
ーター1の表面温度が1100℃に保持される電力を2
分間印加し、強制空冷するサイクルを5000サイクル
繰り返した後の被覆層6の外観を、被覆層6を研磨等の
手法で除去した後、赤色の色素の入った液に浸けたのち
洗浄し、さらに乾燥した時に表面に滲みだしてくる液を
観察するレッドチェックにより双眼検査し、クラックの
有無を調べた。
The temperature rise test was performed under the same conditions as in Example 1, and the presence or absence of cracks after the test was examined to determine the superiority. In the durability test, the electric power at which the surface temperature of the uncoated ceramic heater 1 was maintained at 1100 ° C. was 2 hours.
After applying 5000 minutes of a cycle of forced air cooling, the coating layer 6 was washed, after the coating layer 6 was removed by a technique such as polishing, and then immersed in a liquid containing a red dye. A binocular inspection was performed by a red check to observe a liquid that oozes out on the surface when dried, and the presence or absence of cracks was examined.

【0046】また、このセラミックヒーター1をそれぞ
れこて先11に挿入した場合の、こて先11が300℃
まで加熱されるまでの時間を、それぞれ同じ電圧を印加
して調査した。比較用に、被覆6を形成しないサンプル
も同時に評価した。なお、各被覆層6の熱膨張率は、室
温から400℃までのものを用いて評価した。結果を表
2に示した。
When each of the ceramic heaters 1 is inserted into the iron tip 11, the temperature of the
The time until heating was performed by applying the same voltage. For comparison, a sample without coating 6 was also evaluated. In addition, the coefficient of thermal expansion of each coating layer 6 was evaluated by using one from room temperature to 400 ° C. The results are shown in Table 2.

【0047】[0047]

【表2】 [Table 2]

【0048】表2に示すように、セラミックヒーター1
と被覆層6の熱膨張差が4.5×10-6deg-1である
No.8、9および被覆層6を形成しないNo.10に
は、耐久テスト後、被覆層6にクラックが発生した。ま
た、熱伝導率が3W/m・Kと小さいNo.4にはクラ
ックが発生した。これに対し、No.5〜7には耐久テ
スト後もクラックが発生しなかった。つまり、被覆層6
の熱膨張率とセラミック体の熱膨張率の差が3×10-6
deg-1以下であり、且つ上記被覆層6の熱伝導率が4
〜42W/m・Kであるようにすると、耐熱性の優れた
セラミックヒーター1が得られることが判る。
As shown in Table 2, the ceramic heater 1
And the coating layer 6 having a thermal expansion difference of 4.5 × 10 −6 deg −1 . Nos. 8 and 9 and Nos. In No. 10, cracks occurred in the coating layer 6 after the durability test. In addition, the thermal conductivity was as small as 3 W / m · K. 4 had cracks. On the other hand, no. No cracks occurred in 5 to 7 even after the durability test. That is, the coating layer 6
The difference between the coefficient of thermal expansion of the ceramic body and that of the ceramic body is 3 × 10 -6
deg -1 or less, and the thermal conductivity of the coating layer 6 is 4
It can be seen that a ceramic heater 1 with excellent heat resistance can be obtained by setting it to be ~ 42 W / mK.

【0049】また、こて先11の昇温時間については、
被覆層6を形成した本発明実施例と被覆層6のない比較
例(No.10)について、ほぼ同等の時間となり、有
意差は見いだせなかった。
Regarding the heating time of the tip 11,
In the example of the present invention in which the coating layer 6 was formed and the comparative example (No. 10) without the coating layer 6, the time was almost the same, and no significant difference was found.

【0050】実施例 3 次に、実施例1と同様の試料を用い、セラミックヒータ
ー1の発熱抵抗体4を設置した部分の面積に対する被覆
層6を生成した部分の面積の比率を変えて、セラミック
ヒーター1および被覆層6に対するクラックの有無を調
査した。被覆層6としてセラミックヒーター1との熱膨
張差が3×10-6deg 1であり熱伝導率が17W/
m・Kであるスピネルを用いて被覆層6の厚みを200
μmとし、被覆層6の被覆面積(コート面積)を表3の
ように変えてテストした。
Example 3 Next, using the same sample as in Example 1, the ratio of the area of the portion where the coating layer 6 was generated to the area of the portion where the heating resistor 4 of the ceramic heater 1 was installed was changed. The presence or absence of cracks in the heater 1 and the coating layer 6 was examined. Thermal expansion difference 3 × 10 -6 and the ceramic heater 1 as a covering layer 6 deg - 1 a and the thermal conductivity of 17W /
The thickness of the coating layer 6 is set to 200 using a spinel of m · K.
The test was performed by changing the coating area (coating area) of the coating layer 6 as shown in Table 3.

【0051】テストは、被覆層6なしでのセラミックヒ
ーターの表面温度が900℃になるまでの昇温時間が3
秒となる電圧を印加して、1000℃まで昇温させたあ
と室温まで冷却するサイクルを1000サイクル繰り返
した後、クラックの発生の有無を調査した。結果は、表
3に示した。
In the test, the heating time until the surface temperature of the ceramic heater without the coating layer 6 reaches 900 ° C. is 3 hours.
After repeating a cycle of applying a voltage of 10 seconds, raising the temperature to 1000 ° C., and then cooling to room temperature, the occurrence of cracks was examined. The results are shown in Table 3.

【0052】[0052]

【表3】 [Table 3]

【0053】表3に示すように、被覆層6の設置面積が
発熱抵抗体4の設置面積の2/3以下であるNo.11
〜13にはクラックが発生したが、被覆材6の塗布面積
を発熱抵抗体4の面積と同じもしくはそれより多くした
No.14〜19にクラックは発生しなかった。
As shown in Table 3, the installation area of the coating layer 6 was 2/3 or less of the installation area of the heating resistor 4. 11
Although cracks occurred in Nos. To 13, the coating area of the coating material 6 was equal to or larger than the area of the heating resistor 4. No cracks occurred in 14-19.

【0054】実施例 4 次に、実施例1と同様の試料を用い、被覆層6の厚みの
影響を調査した。被覆層6としては、実施例3と同じス
ピネルを用い、発熱抵抗体4より大きな面積を覆うよう
にして、厚みを0〜700μmまで変えて、被覆層6の
厚みの影響を調査した。評価は、各セラミックヒーター
1をこて先11に挿入密着させ、セラミックヒーター1
に被覆層6なしでのセラミックヒーター1の表面温度が
900℃になるまでの昇温時間が3秒の時と同じエネル
ギーを与えて、こて先11の昇温時間を測定し、さら
に、このサイクルを500サイクル繰り返した後の、セ
ラミックヒーター1のクラックの発生の有無を調査し
た。結果は、表4に示した。
Example 4 Next, using the same sample as in Example 1, the influence of the thickness of the coating layer 6 was investigated. The influence of the thickness of the coating layer 6 was investigated by using the same spinel as the coating layer 6 and changing the thickness from 0 to 700 μm so as to cover an area larger than the heating resistor 4. For evaluation, each ceramic heater 1 was inserted and brought into close contact with the tip 11,
The same energy as when the surface temperature of the ceramic heater 1 without the coating layer 6 reaches 900 ° C. until the surface temperature reaches 900 ° C. is given, and the temperature rise time of the tip 11 is measured. After repeating 500 cycles, the ceramic heater 1 was examined for the occurrence of cracks. The results are shown in Table 4.

【0055】[0055]

【表4】 [Table 4]

【0056】表4に示すように、被覆層6の厚みが5μ
mであるNo.21にはクラックが発生した。また、被
覆層6の厚みが700μmであるNo.27は、昇温が
遅くが大きくなるので、本発明の範囲外となることがわ
かった。これに対し、被覆層6の厚みを10〜500μ
mとしたNo.21〜26は、クラックの発生もなく、
こて先の昇温時間も良好な値を示した。
As shown in Table 4, the thickness of the coating layer 6 was 5 μm.
m. 21 was cracked. Further, in the case of No. 3 in which the thickness of the coating layer 6 was 700 μm. No. 27 was found to be outside the scope of the present invention because the temperature rise was slow and large. On the other hand, the thickness of the coating layer 6 is set to 10 to 500 μm.
m. 21 to 26 have no cracks,
The temperature rise time of the tip also showed a good value.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上のように本実施例のセラミックヒー
ターは、発熱抵抗体を備えたセラミック体の外表面を被
覆層で覆うことで、これまで以上の急昇温にも絶えら
れ、安定な加熱特性を維持できる耐久性にも優れてお
り、急昇温を必要とする加熱用ヒーターとして好適に適
用でき、きわめて有用なものである。特に半田ごてに使
われるセラミックヒーターとしては最適である。
As described above, the ceramic heater according to the present embodiment has a stable temperature because the outer surface of the ceramic body having the heating resistor is covered with the coating layer, so that the temperature can be prevented from rising more rapidly than before. It has excellent durability to maintain heating characteristics, and can be suitably applied as a heater for heating that requires a rapid temperature rise, and is extremely useful. Particularly, it is most suitable as a ceramic heater used for a soldering iron.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のセラミックヒーターを示す図であり、
(a)は斜視図、(b)は、一部切り欠き図である。
FIG. 1 is a view showing a ceramic heater of the present invention;
(A) is a perspective view, (b) is a partially cutaway view.

【図2】本発明のセラミックヒーターを示す構造展開図
である。
FIG. 2 is a structural development view showing a ceramic heater of the present invention.

【図3】本発明のセラミックヒーターを内蔵した半田ご
ての先端部の断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a tip of a soldering iron incorporating a ceramic heater of the present invention.

【図4】従来のセラミックヒーターを示す図であり、
(a)は構造展開図、(b)は斜視図である。
FIG. 4 is a view showing a conventional ceramic heater;
(A) is a structural development view, (b) is a perspective view.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:セラミックヒーター 2:芯材 3:セラミックシート 4:発熱抵抗体 5:リード引出部 6:被覆層 7:スルーホール 8:電極パッド 9:リード 10:半田ごて 11:こて先 1: Ceramic heater 2: Core material 3: Ceramic sheet 4: Heating resistor 5: Lead extraction part 6: Coating layer 7: Through hole 8: Electrode pad 9: Lead 10: Soldering iron 11: Iron tip

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】発熱抵抗体と該発熱抵抗体に接続したリー
ド引出部とをセラミック体に内蔵してなるセラミックヒ
ーターにおいて、前記発熱抵抗体を内蔵した部分のセラ
ミック体表面を他のセラミックスからなる被覆層で覆っ
たことを特徴とするセラミックヒーター。
1. A ceramic heater in which a heating resistor and a lead lead portion connected to the heating resistor are built in a ceramic body, wherein the surface of the ceramic body in which the heating resistor is built is made of another ceramic. A ceramic heater covered with a coating layer.
【請求項2】前記被覆層の熱膨張率とセラミック体の熱
膨張率の差が3×10-6deg-1以下であり、且つ上記
被覆層の熱伝導率が4〜42W/m・Kであることを特
徴とする請求項1記載のセラミックヒーター。
2. The difference between the coefficient of thermal expansion of the coating layer and the coefficient of thermal expansion of the ceramic body is 3 × 10 −6 deg −1 or less, and the thermal conductivity of the coating layer is 4 to 42 W / m · K. The ceramic heater according to claim 1, wherein
【請求項3】前記被覆層が発熱抵抗体部分より大きな面
積を覆う様に設けられていることを特徴とする請求項1
記載のセラミックヒーター。
3. The apparatus according to claim 1, wherein said coating layer is provided so as to cover an area larger than a heating resistor portion.
The ceramic heater as described.
【請求項4】前記被覆層の厚みが10〜500μmであ
ることを特徴とする請求項1記載のセラミックヒータ
ー。
4. The ceramic heater according to claim 1, wherein said coating layer has a thickness of 10 to 500 μm.
【請求項5】発熱抵抗体と該発熱抵抗体に接続したリー
ド引出部とをセラミック体に内蔵してなるセラミックヒ
ーターにおいて、前記発熱抵抗体を内蔵した部分のセラ
ミック体表面に他のセラミックスからなる被覆層を溶
射、スクリーン印刷、CVD、PVD、ディッピングの
いずれかの方法で設けることを特徴とするセラミックヒ
ーターの製造方法。
5. A ceramic heater in which a heating resistor and a lead-out portion connected to the heating resistor are built in a ceramic body, wherein a portion of the ceramic body in which the heating resistor is built is made of another ceramic. A method for producing a ceramic heater, wherein the coating layer is provided by any one of thermal spraying, screen printing, CVD, PVD, and dipping.
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