JP2001206543A - Automatic sheet processing line - Google Patents

Automatic sheet processing line

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JP2001206543A
JP2001206543A JP2000021022A JP2000021022A JP2001206543A JP 2001206543 A JP2001206543 A JP 2001206543A JP 2000021022 A JP2000021022 A JP 2000021022A JP 2000021022 A JP2000021022 A JP 2000021022A JP 2001206543 A JP2001206543 A JP 2001206543A
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JP
Japan
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workpiece
processing
unit
buffer unit
line
Prior art date
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Application number
JP2000021022A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsunori Nakatani
光徳 中谷
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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  • General Factory Administration (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an automatic sheet processing line capable of continuing normal processing without stopping a processing unit inconvenient to stop driving in a state when a work is in the middle of processing even when driving of a specific process out of a pleural number of the processes is temporarily stopped and released. SOLUTION: A buffer unit provided on the line downstream side of each pf processing units an capable of storing and holding a work from a work processing unit is provided on a continues automatic sheet processing line furnished with a plural number if serial work processing units including a processing unit inconvenient to stop driving in the middle of processing the work, and the work from the work processing unit is stored and held by the buffer unit without stopping driving of the work processing unit at the time of stopping driving of a certain specific processing unit by controlling this buffer unit by a controller.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は自動枚葉処理ライ
ンに関し、特に電気回路基板、太陽電池、液晶パネル等
の板状電気部品への印刷による電極形成工程を行うのに
特に適した自動枚葉処理ラインに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic single-wafer processing line, and particularly to an automatic single-wafer processing line particularly suitable for performing an electrode forming step by printing on a plate-like electric component such as an electric circuit board, a solar cell, or a liquid crystal panel. It relates to the processing line.

【0002】回路基板、太陽電池、液晶パネル等の板状
電気部品にスクリーン印刷により複数の電極を形成する
ことは広く行われており、印刷インキの印刷と乾燥や焼
成を一括して行なう自動処理ラインが量産に適用されて
いる。被加工物(以後ワークと呼ぶことがある)の供給
と収納にはカセットが使用され、通常は一電極一ライン
の構成であって、複数の電極を形成する場合には処理ラ
インを複数個直列に配置している。
2. Description of the Related Art Forming a plurality of electrodes on a plate-like electric component such as a circuit board, a solar cell, or a liquid crystal panel by screen printing is widely performed. The line has been applied to mass production. A cassette is used for supplying and storing a workpiece (hereinafter sometimes referred to as a work), and usually has a configuration of one electrode and one line. When forming a plurality of electrodes, a plurality of processing lines are connected in series. Has been placed.

【0003】[0003]

【従来の技術】以下、図3及び図4のブロック図と概略
図には従来の一電極形成の印刷および乾燥ラインの一例
を概略的に示してある。これらの図において、1はロー
ダー、2、5は搬送ユニット、3は印刷機、4は乾燥
炉、6はアンローダー、11は印刷前被加工物、12は
印刷直後被加工物、13は乾燥後被加工物、21、22
は被加工物搬送フォーク、23、24は搬送用吸着機
構、25、26は搬送機構ガイドレール、31は印刷マ
スク、32は印刷用ゴム、33はペーストインク、34
はインクコート用治具、41はランプヒーター、42、
43はチャンバー、44はベルト、45、46はベルト
駆動用ローラー、47は乾燥用ガス供給口、48は排気
ガス排気口、73はローダー側カセット、74はアンロ
ーダー側カセット、101はコントローラー、102は
信号ケーブルである。
2. Description of the Related Art Hereinafter, an example of a conventional printing and drying line for forming one electrode is schematically shown in block diagrams and schematic diagrams of FIGS. In these figures, 1 is a loader, 2 and 5 are transport units, 3 is a printing machine, 4 is a drying furnace, 6 is an unloader, 11 is a workpiece before printing, 12 is a workpiece immediately after printing, and 13 is a drying machine. Post work, 21, 22
Is a work transfer fork, 23 and 24 are transfer suction mechanisms, 25 and 26 are transfer mechanism guide rails, 31 is a print mask, 32 is printing rubber, 33 is paste ink, 34
Is a jig for ink coating, 41 is a lamp heater, 42,
43 is a chamber, 44 is a belt, 45 and 46 are belt driving rollers, 47 is a drying gas supply port, 48 is an exhaust gas exhaust port, 73 is a loader side cassette, 74 is an unloader side cassette, 101 is a controller, 102 Is a signal cable.

【0004】図3では、被加工物に印刷、乾燥を施す一
連の工程をブロック図で表しており、各ユニット、つま
り、ローダー1、搬送ユニット2、5、印刷機3、乾燥
炉4、アンローダー6はコントローラー101と信号ケ
ーブル102で接続されて制御されている。
FIG. 3 is a block diagram showing a series of steps for printing and drying a workpiece. Each unit, that is, a loader 1, transport units 2 and 5, a printing machine 3, a drying furnace 4, and an The loader 6 is connected and controlled by a controller 101 and a signal cable 102.

【0005】図4は図3のブロック図を装置の外観図で
示したものである。まず、ローダー1のカセット73に
収納した印刷前被加工物11を搬送ユニット2の被加工
物搬送フォーク21で取り出し、順次一定タクトで印刷
機3へ送り出す。印刷機3では、印刷マスク31上にペ
ーストインク33がインクコート用治具34で全面を覆
うように引き延ばされ、印刷用ゴム32で印刷される。
印刷された被加工物12は乾燥炉4へ送り出される。こ
の際、被加工物12は搬送用吸着機構23で取り出さ
れ、搬送用吸着機構23は被加工物12と共にガイドレ
ール25上を移動して、印刷直後被加工物12を搬送す
るベルト44上に乗せられ、乾燥炉4へ投入される。
FIG. 4 shows the block diagram of FIG. 3 in an external view of the apparatus. First, the workpiece 11 before printing stored in the cassette 73 of the loader 1 is taken out by the workpiece transport fork 21 of the transport unit 2 and sequentially sent out to the printing machine 3 at a constant tact. In the printing machine 3, the paste ink 33 is stretched on the print mask 31 so as to cover the entire surface with the ink coating jig 34, and is printed with the printing rubber 32.
The printed workpiece 12 is sent to the drying furnace 4. At this time, the workpiece 12 is taken out by the transport suction mechanism 23, and the transport suction mechanism 23 moves on the guide rail 25 together with the workpiece 12 and moves onto the belt 44 that transports the workpiece 12 immediately after printing. It is put on the drying furnace 4.

【0006】乾燥炉4は断熱および防護のためのチャン
バー42、43内のランプヒーター41で数百℃に熱せ
られており、印刷直後被加工物12を搬送するようにベ
ルト44がベルト駆動ローラー45、46によって移動
されている。また、印刷ぺ一ストインクが変質しないよ
うなガスをガス供給口47から導入し、ペーストインキ
33中の蒸気成分とともに、排気ガス排気口48から排
出するようにしてある。このように、印刷直後被加工物
12は、一定のタクト時間でチャンバー44内部で所定
の温度、ガス雰囲気で乾燥される。
The drying furnace 4 is heated to several hundred degrees Celsius by a lamp heater 41 in chambers 42 and 43 for heat insulation and protection. A belt 44 is driven by a belt driving roller 45 so as to convey the workpiece 12 immediately after printing. , 46. Further, a gas that does not alter the quality of the printing paste ink is introduced from the gas supply port 47, and is discharged from the exhaust gas exhaust port 48 together with the vapor component in the paste ink 33. As described above, the workpiece 12 immediately after printing is dried in the chamber 44 at a predetermined temperature and a predetermined gas atmosphere for a fixed tact time.

【0007】ベルト44によって運び出された乾燥後被
加工物13は搬送用吸着機構24で取り出され、搬送用
吸着機構24がガイドレール26上を移動して乾燥後被
加工物13が搬送ユニット5へ投入される。乾燥後被加
工物13は被加工物搬送フォーク22により、アンロー
ダー6のカセット74に収納される。
[0007] The dried workpiece 13 carried out by the belt 44 is taken out by the transport suction mechanism 24, and the transport suction mechanism 24 moves on the guide rail 26, and the dried workpiece 13 is transferred to the transport unit 5. It is thrown. After drying, the workpiece 13 is stored in the cassette 74 of the unloader 6 by the workpiece transport fork 22.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上のような一電極形
成工程の自動ラインについて説明したが、被加工物には
複数の電極形成が必要であることが多いため、このよう
なラインを複数直列に設置しなければならないことがし
ばしばある。このような場合には、ローダー部、アンロ
ーダー部、カセットの数を形成すべき電極の数に応じて
増やさなければならず、またカセット置き場もかなりの
スペースのものを設けなければならない。また、複数の
ライン間のカセット搬送に人手も必要となり、生産性向
上にも限界があった。
The automatic line in the one-electrode forming process as described above has been described. However, since it is often necessary to form a plurality of electrodes on a workpiece, a plurality of such lines are connected in series. Often have to be installed at In such a case, the number of loader sections, unloader sections, and cassettes must be increased in accordance with the number of electrodes to be formed, and the cassette storage space must be provided with a considerable space. In addition, manual operation of the cassette between a plurality of lines is required, and there is a limit in improving productivity.

【0009】また、乾燥炉、焼成炉では熱処理温度だけ
でなく、処理時間も非常に重要であり、炉内で被加工物
を一時停止すると不良品になる可能性が高い。このた
め、他のユニットが一時停止になっても炉内の被加工物
は通常処理が可能であれはそのまま処理して炉外で回収
することが望ましい。しかし、ただ単に従来の一電極形
成工程の自動ラインを複数直結した場合、炉以外のユニ
ットが一時停止になると全ユニットには被加工物が滞留
したままとなり、炉内被加工物を炉出口で回収できな
い。
In the drying furnace and the baking furnace, not only the heat treatment temperature but also the processing time are very important, and if the workpiece is temporarily stopped in the furnace, there is a high possibility that the product becomes defective. For this reason, even if the other units are temporarily stopped, it is desirable that the workpiece in the furnace be processed as it is and collected outside the furnace if normal processing is possible. However, when multiple conventional automatic lines for forming one electrode are directly connected, if units other than the furnace are temporarily stopped, the work remains in all units, and the work in the furnace is kept at the furnace outlet. Cannot be recovered.

【0010】さらに、印刷済被加工物を炉出口で回収で
きたとしても、処理再開時に後続被加工物に重ならない
ように戻す機構が必要である上に、各被加工物を個別に
認識して品質管理を行うラインでは回収した被加工物を
戻すルールが重要である。
Further, even if the printed workpiece can be collected at the furnace outlet, a mechanism is required to return the workpiece so that it does not overlap the subsequent workpiece when the processing is resumed, and each workpiece is individually recognized. In a line where quality control is carried out, it is important to return collected workpieces.

【0011】多数の被加工物が処理されている長いライ
ンでは、一時停止時問が長引いてしまった場合、全ての
被加工物を回収する機構が大きくなり、現実的なサイズ
に収まらない。
In the case of a long line where a large number of workpieces are processed, if the time of the temporary stop is prolonged, the mechanism for collecting all the workpieces becomes large, and the size cannot be reduced to a practical size.

【0012】従来の自動枚葉処理ラインに於いては、一
電極形成工程の自動ラインを複数設置して被加工物に複
数の電極を形成しており、上述の如くローダー部、アン
ローダー部、カセットを工程数に応じて望ましくない程
に増やさなければならなず、またライン間のカセット搬
送に人手が掛かっていて、カセット置き場が必要であっ
た。また、タクトも途中のカセット搬送が律速しており
生産性をあまり向上させることができなかった。
In a conventional automatic single-wafer processing line, a plurality of automatic lines for one electrode forming step are provided to form a plurality of electrodes on a workpiece, and as described above, a loader section, an unloader section, The number of cassettes had to be increased undesirably according to the number of processes, and the transfer of the cassettes between lines was labor-intensive, requiring a cassette storage space. In addition, the transfer of the cassette during the tact was rate-determining, and the productivity could not be improved much.

【0013】また、熱処理炉を設置した複数の自動ライ
ンを直結した場合にラインを一時停止させる際に、炉内
の被加工物に所定の処理を終えた後に炉出口で回収する
ことが課題である。
Another problem is that when a plurality of automatic lines in which a heat treatment furnace is installed are directly connected, when the lines are temporarily stopped, the workpieces in the furnace are recovered at a furnace outlet after predetermined processing is completed. is there.

【0014】さらに、回収した被加工物は処理再開時
に、連続処理されている後続の被加工物の列に重ならな
いように一定のルールで戻して処理することが課題であ
る。多数の被加工物が処理されている長いラインでは、
一時停止時間か長引いてしまった場合でも、回収機構が
現実的に設置できるサイズに収める必要がある。
It is another object of the present invention to return the processed workpiece to a predetermined rule at the time of resuming the processing so that the recovered workpiece does not overlap with a row of the subsequent processed workpiece. On long lines where many workpieces are processed,
Even if the suspension time is prolonged, it is necessary to keep the collection mechanism in a size that can be practically installed.

【0015】従って、この発明の課題は従来の自動枚葉
処理ラインの上述の如き問題点を解決した自動枚葉処理
ラインを提供することであり、電極形成ラインを複数直
列に設置した自動枚葉処理ラインに於いても、各工程を
不必要に繰り返すことなく、カセット置き場を省略で
き、ライン間のカセット搬送が不必要であり、炉等の特
定の工程ユニットが一時停止になっても、被加工物が滞
留したままとならず、運転されている工程ユニットの出
口で現実的な大きさの回収機構により被加工物を回収で
き、生産性を向上させることができるような、板状電気
部品に複数の電極を印刷形成するのに特に適した自動枚
葉処理ラインを提供することである。また、ラインを一
時停止する際に炉内の被加工物は所定の処理を終えて炉
出口で回収することができ、回収した被加工物が処理再
開時に、連続処理されている後続の被加工物の列に重な
らないように一定のルールで戻して処理することが課題
である。多数の被加工物が処理されている長いラインで
は、一時停止時間が長引いてしまった場合でも、回収機
構が現実的に設置できるサイズに収めた自動枚葉処理ラ
インを提供することである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an automatic single-wafer processing line which solves the above-mentioned problems of the conventional automatic single-wafer processing line. Even in the processing line, cassette storage can be omitted without unnecessary repetition of each process, cassette transfer between lines is unnecessary, and even if a specific process unit such as a furnace is temporarily stopped, A plate-shaped electric component that allows the workpiece to be recovered by a recovery mechanism of a realistic size at the exit of the operating process unit without increasing the work stagnation, thereby improving productivity. It is an object of the present invention to provide an automatic single-wafer processing line particularly suitable for printing and forming a plurality of electrodes. In addition, when the line is temporarily stopped, the workpiece in the furnace can be recovered at the furnace outlet after completing a predetermined process, and when the recovered workpiece is restarted, the subsequent workpiece is continuously processed. The problem is to return to a certain rule and process it so that it does not overlap the row of objects. An object of the present invention is to provide an automatic single-wafer processing line in which a collection mechanism can be set to a size that can be practically installed even in a long line where a large number of workpieces are processed, even if the suspension time is prolonged.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、この発明によれば、被加工物に印刷電極形成
のように同じような一連の工程を処理する自動ラインの
複数ラインを一つのラインとし、元のライン間にバッフ
ァーユニットが設けられている。また、一旦バッファー
ユニットに収納された被加工物を後続の連続して処理ざ
れている被加工物をセンサーで検出して重ならないよう
に戻すようにしてある。さらに、バッファーユニットが
被加工物で一杯になった場合はバッファーユニットを取
り替えることが可能なカセット式構造としてある。
According to the present invention, a plurality of automatic lines for processing a similar series of steps, such as forming a printed electrode, on a workpiece are provided. One line is provided, and a buffer unit is provided between the original lines. In addition, a workpiece that has been once processed in a buffer unit and is subsequently processed continuously is detected by a sensor and returned so as not to overlap. Further, when the buffer unit becomes full of the workpiece, the cassette unit is configured so that the buffer unit can be replaced.

【0017】即ち、この発明によれば、被加工物が処理
中の状態で運転停止をすることが不都合な処理ユニット
を含み、互いに直列接続された複数の被加工物処理ユニ
ットを備えた連続した自動枚葉処理ラインにおいて、各
々の処理ユニットのライン下流側に設けられ、被加工物
処理ユニットから排出される被加工物を受け入れてそこ
に保持し得るバッファーユニットと、或る特定の処理ユ
ニットが運転停止されたときに、被加工物処理ユニット
を運転停止させずに、被加工物処理ユニットから排出さ
れる被加工物をバッファーユニットに収納保持させるコ
ントローラーとを備えたことを特徴とする自動枚葉処理
ラインが得られる。
That is, according to the present invention, there is provided a continuous processing unit including a plurality of workpiece processing units connected in series, including a processing unit which is inconvenient to stop the operation while the workpiece is being processed. In the automatic single-wafer processing line, a buffer unit provided downstream of each processing unit and capable of receiving and holding a workpiece discharged from the workpiece processing unit and a specific processing unit include: An automatic sheet processing apparatus, comprising: a controller for storing and holding a workpiece discharged from the workpiece processing unit in a buffer unit without stopping the workpiece processing unit when the operation is stopped. A leaf processing line is obtained.

【0018】また、コントローラーは、ライン下流側の
処理ユニットで被加工物受け入れ一時停止状態になった
場合に、バッファーユニットヘ被加工物を収納すると同
時に上流側の処理ユニットも運転停止させ、かつ一時停
止解除になった場合に、バッファーユニット内の被加工
物の処理を再開すると同時に上流側の処理ユニットの運
転を再開させるものにできる。
When the processing unit in the processing unit on the downstream side of the line is temporarily stopped, the controller stores the work in the buffer unit and simultaneously stops the operation of the processing unit on the upstream side. When the stop is released, the processing of the workpiece in the buffer unit is restarted, and at the same time, the operation of the upstream processing unit can be restarted.

【0019】また、コントローラーは、一時停止時にお
いてバッファーユニットヘ収納された被加工物を、処理
再開時に後方搬送ラインの被加工物が無い間隙部に挿入
するように払い出させるものにできる。
[0019] Further, the controller can cause the workpiece accommodated in the buffer unit to be dispensed so as to be inserted into the gap in the rear conveying line where there is no workpiece when the processing is resumed when the processing is temporarily stopped.

【0020】また、コントローラーは、被加工物のバッ
ファーユニットへの収納順に処理を再開させるものにで
きる。
Further, the controller can restart the processing in the order in which the workpieces are stored in the buffer unit.

【0021】また、コントローラーは、被加工物の上記
バッファーユニットへの収納順とは逆の順に処理を再開
させるものにできる。
Further, the controller can restart the processing in the reverse order of the order in which the workpieces are stored in the buffer unit.

【0022】また、バッファーユニットは、交換可能な
カセット式バッファーユニットにできる。
The buffer unit may be a replaceable cassette type buffer unit.

【0023】また、カセット式バッファー部を取り外し
可能なものにできる。
Further, the cassette type buffer section can be made detachable.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】実施の形態1.図1に本発明の一
実施形態の3つの電極形成が可能な自動枚葉処理ライン
のブロック図を示している。また、図2は図1の最初の
印刷機から次の印刷機までの自動ラインの概略図を示し
ている。これらの図において、1はローダー、2、5、
8、82、84、87、89は搬送ユニット、3、9、
85は印刷機、4、81は乾燥炉、6はアンローダー、
7、83、88はバッファーユニット、11は印刷前被
加工物、12は印刷直後被加工物、13は乾燥後被加工
物、14はバッファーユニット収納被加工物、22は被
加工物搬送フォーク、23、24は搬送用吸着機構、2
5、26は搬送機構ガイドレール、41はランプヒータ
ー、42、43はチャンバー、44はベルト、45、4
6はベルト駆動用ローラー、47は乾燥用ガス供給口、
48は排気ガス排気口、71は被加工物収納ガイド、7
2は被加工物検知センサー、86は乾燥兼焼成炉、10
1はコントローラー、102は信号ケーブルである。図
1に示す印刷機9、85、乾燥炉81、86、搬送ユニ
ット82、87は、それぞれ図3の印刷機3、乾燥炉4
および搬送ユニット5に対応するものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a block diagram of an automatic single-wafer processing line capable of forming three electrodes according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of an automatic line from the first printing press to the next printing press in FIG. In these figures, 1 is a loader, 2, 5,
8, 82, 84, 87, 89 are transport units, 3, 9,
85 is a printing machine, 4 and 81 are drying furnaces, 6 is an unloader,
7, 83 and 88 are buffer units, 11 is a workpiece before printing, 12 is a workpiece immediately after printing, 13 is a workpiece after drying, 14 is a workpiece to be stored in a buffer unit, 22 is a workpiece transport fork, 23 and 24 are suction mechanisms for conveyance, 2
5 and 26 are guide rails for a transfer mechanism, 41 is a lamp heater, 42 and 43 are chambers, 44 is a belt, 45 and 4
6 is a belt driving roller, 47 is a drying gas supply port,
48 is an exhaust gas outlet, 71 is a workpiece storage guide, 7
2 is a workpiece detection sensor, 86 is a drying and firing furnace, 10
1 is a controller, 102 is a signal cable. The printing machines 9 and 85, the drying furnaces 81 and 86, and the transport units 82 and 87 shown in FIG.
And the transport unit 5.

【0025】図1において、搬送ユニット、印刷機、乾
燥炉等の各ユニットは信号ケーブル102によってコン
トローラー101と接続されており、制御されている。
In FIG. 1, units such as a transport unit, a printing machine, and a drying oven are connected to a controller 101 by a signal cable 102 and are controlled.

【0026】図2において、図4の従来例同様に、印刷
前被加工物はローダー1から図示してない適当な公知の
移送装置により図3に示すのと同様の印刷機3に供給さ
れる。印刷機3により印刷された印刷直後被加工物12
は搬送用吸着機構23により吸着されて搬送機構ガイド
レール25に沿って搬送されて乾燥炉4の搬送用のベル
ト44上に乗せられる。ベルト44により乾燥炉内に導
入された印刷直後被加工物12は乾燥炉4で乾燥され
る。乾燥後被加工物13はガイドレール26に沿って移
動する搬送用吸着機構24により搬送ユニット5の被加
工物搬送フォーク22上に乗せられ、被加工物搬送フォ
ーク22を利用してバッファーユニット7の被加工物収
納ガイド71上に乗せられてバッファーユニット収納被
加工物14としてバッファーユニット7内に貯蔵され、
第1段の印刷工程が完了する。
In FIG. 2, as in the conventional example of FIG. 4, the workpiece before printing is supplied from a loader 1 to a printing machine 3 similar to that shown in FIG. . Workpiece 12 immediately after printing printed by printing machine 3
Is transported along the transport mechanism guide rails 25 and placed on the transport belt 44 of the drying furnace 4. The workpiece 12 immediately after printing introduced into the drying furnace by the belt 44 is dried in the drying furnace 4. After drying, the workpiece 13 is placed on the workpiece transport fork 22 of the transport unit 5 by the transport suction mechanism 24 that moves along the guide rail 26, and the buffer unit 7 is moved using the workpiece transport fork 22. It is placed on the workpiece storage guide 71 and stored in the buffer unit 7 as the buffer unit storage workpiece 14,
The first printing step is completed.

【0027】この際、各処理工程にトラブル等が全くな
い場合には、バッファーユニット7から乾燥後被加工物
13(バッファーユニット収納被加工物14)が搬送ユ
ニット8へ供給される。その後被加工物は、図1に示す
被加工物の処理方向の矢印に従って、第1段印刷工程と
同様に、搬送ユニット8により印刷機9へ搬送されて第
2の電極印刷を行い、乾燥炉81で乾燥され、搬送ユニ
ット82で一旦バッファーユニット83に貯蔵されて第
2段印刷工程を完了する。被加工物は更に第3の電極印
刷を行うために、搬送ユニット84によりバッファーユ
ニット83から印刷機85へ搬送されて第3の電極印刷
を行い、乾燥/焼成炉86で乾燥/焼成され、搬送ユニ
ット87で一旦バッファーユニット88に貯蔵されて第
3段印刷工程を完了し、最後に搬送ユニット89によっ
てアンローダー6に収納される。このように、被加工物
は連続してこの被加工物処理方向に沿って必要な回数の
処理を繰り返し受けることができる。
At this time, if there is no trouble in each processing step, the dried workpiece 13 (buffer unit storage workpiece 14) is supplied from the buffer unit 7 to the transport unit 8. Thereafter, the workpiece is transported to the printing press 9 by the transport unit 8 according to the arrow in the processing direction of the workpiece shown in FIG. It is dried at 81 and temporarily stored in the buffer unit 83 by the transport unit 82 to complete the second printing step. The workpiece is further transported from the buffer unit 83 to the printing machine 85 by the transport unit 84 to perform the third electrode printing, and then dried / fired in the drying / firing furnace 86 to transport the third electrode. The print data is temporarily stored in the buffer unit 88 by the unit 87 to complete the third printing step, and is finally stored in the unloader 6 by the transport unit 89. In this manner, the workpiece can be continuously and repeatedly subjected to the necessary number of processes along the workpiece processing direction.

【0028】ところで図1に於いて、印刷機85のメン
テナンスやトラブルのために、例えば印刷機85を一時
停止にした場合、印刷機85よりもラインの上流側の各
種処理ユニットも同様に一時停止すべきである。何故な
ら停止した印刷機85により被加工物の流れが堰き止め
られてしまうからである。しかしながら、上流側の乾燥
炉4および81の被加工物については、所定の熱工程が
完了せずに、不充分なあるいは過剰な処理をしてしまう
と製品として不適格となり、廃却扱いせざるを得ない。
従って、通常は熱処理を所定の条件で終了させなければ
ならない。
In FIG. 1, for example, when the printing press 85 is temporarily stopped due to maintenance or trouble of the printing press 85, various processing units upstream of the line from the printing press 85 are also temporarily stopped. Should. This is because the flow of the workpiece is blocked by the stopped printing machine 85. However, the workpieces of the upstream drying furnaces 4 and 81 are not suitable as products if they are not sufficiently or excessively processed without completing a predetermined heating step, and must be discarded. Not get.
Therefore, usually, the heat treatment must be completed under predetermined conditions.

【0029】この発明によれば、運転停止をすると不都
合な処理ユニットである各乾燥炉4、81、86の直後
に被加工物の流れを吸収できるバッファーユニット7、
83、88を配置してあるので、停止した処理ユニット
の上流側の流れを停止する必要がない。即ち、上述のよ
うに印刷機85を停止させた場合には、ローダー1、搬
送ユニット2、8、84、印刷機3、9、85は一時停
止させるが、停止させると不都合な乾燥炉4および81
は運転を続けて乾燥させつつ搬送ベルト44により処理
の終了した被加工物を搬出させ、炉から出る被加工物を
乾燥後被加工物13としてから搬送用吸着機構24で次
々と搬送ユニット5あるいは82へ送り、被加工物搬送
フォーク22によりバッファーユニット7あるいは83
ヘ乾燥後被加工物13を搬入して貯蔵することができ
る。このときバッファーユニット7はカセット式構造を
しているため、被加工物収納ガイド71に被加工物14
が戴置されると上昇して、次々と被加工物14をカセッ
トヘ収納/回収することができる。また、印刷機85以
降の乾燥/焼成炉86、搬送ユニット87、89、バッ
ファーユニット88、アンローダー6は処理を続けてい
ても問題はない。
According to the present invention, the buffer unit 7, which can absorb the flow of the workpiece immediately after each of the drying furnaces 4, 81, 86, which is an inconvenient processing unit when the operation is stopped,
Since the 83 and 88 are arranged, there is no need to stop the flow upstream of the stopped processing unit. That is, when the printing machine 85 is stopped as described above, the loader 1, the transport units 2, 8, and 84, and the printing machines 3, 9, and 85 are temporarily stopped. 81
Transports the processed workpieces by the transport belt 44 while drying the workpieces continuously, and after drying the workpieces from the furnace as the workpieces 13 after drying, the transport unit 5 or the transport unit 5 successively by the transport suction mechanism 24. 82, and the buffer unit 7 or 83
After drying, the workpiece 13 can be carried in and stored. At this time, since the buffer unit 7 has a cassette structure, the workpiece storage guide 71
The workpiece 14 can be successively stored / recovered in a cassette one after another. Further, there is no problem even if the drying / baking furnace 86, the transport units 87 and 89, the buffer unit 88, and the unloader 6 after the printing machine 85 continue the processing.

【0030】次に、停止していた印刷機85の処理を再
開する場合、後続の被加工物の問隙に被加工物を送り出
すか、もしくは、強制的に後続を一時停止状態を続けた
まま優先的にバッファーユニット7に収納された被加工
物14を払い出した後に、後続被加工物の処理再開をす
る。バッファーユニット7から後続被加工物の間隙に被
加工物14を払い出すには、バッファーユニット7の前
に設置した被加工物検知センサー72を利用して被加工
物が存在しないことを検知し、被加工物が互いに重なら
ないタイミングで被加工物収納ガイド71を下降させて
被加工物14を払い出すと、被加工物が重ならずに問題
なく処理を行える。
Next, when the processing of the printing press 85 which has been stopped is restarted, the workpiece is sent out to the gap between the subsequent workpieces, or the subsequent one is forcibly suspended. After preferentially paying out the workpiece 14 stored in the buffer unit 7, the processing of the subsequent workpiece is restarted. In order to pay out the workpiece 14 from the buffer unit 7 to the gap between the subsequent workpieces, the absence of the workpiece is detected by using the workpiece detection sensor 72 installed in front of the buffer unit 7, When the workpiece storage guide 71 is lowered at the timing when the workpieces do not overlap each other and the workpiece 14 is paid out, the processing can be performed without any problem without the workpieces overlapping.

【0031】また、印刷機85の処理を再開する場合、
被加工物毎に品質管理をする必要があるときは、先入れ
先出しルールでは、バッファーユニット7の収納ガイド
71を一旦、最下端まで下降させてから、下側の被加工
物14から順次払い出し、最後の被加工物の払い出しが
終了すれば、後続のユニットを順に一時停止解除するよ
うにコントローラー101で制御すればよい。
When the processing of the printing press 85 is restarted,
When it is necessary to perform quality control for each workpiece, the first-in first-out rule is that the storage guide 71 of the buffer unit 7 is once lowered to the lowermost end, and then sequentially paid out from the lower workpiece 14, and the final When the payout of the workpiece is completed, the controller 101 may be controlled so that the subsequent units are temporarily released from suspension.

【0032】先入れ先出しルールでは、この例のように
ラインが長くなってくると頻繁に一時停止が発生しやす
くなり、生産性が落ちてくる。これに対処するため、一
斉に各ユニットの一時停止を解除し、これ以外の一時停
止などで発生する被加工物間の問隙をセンサー72で倹
知してバッファーユニット7の被加工物14を1枚ずつ
払い出すと、処理能力が向上する。この際、コントロー
ラー101がライン上の被加工物全ての順番を逐次追い
かけて処理終了後に順番が変わったことを認識するよう
にすれば被加工物毎の品質管理が可能になる。また、先
入れ先出し以外に先入れ後出しでもよい。
In the first-in first-out rule, as the line becomes longer as in this example, frequent pauses are likely to occur, and the productivity is reduced. In order to cope with this, the suspension of each unit is simultaneously released, and the gap between the workpieces caused by other pauses is reduced by the sensor 72 to remove the workpiece 14 of the buffer unit 7. Paying out one by one increases the processing capacity. At this time, if the controller 101 sequentially follows the order of all the workpieces on the line and recognizes that the order has changed after the processing is completed, quality control for each workpiece can be performed. In addition, first-in first-out may be used instead of first-in first-out.

【0033】さらに、一時停止時間が長い場合には、乾
燥炉4、81の中にある被加工物を全て回収する必要が
あるが、バッファーユニット7の被加工物収納ガイド7
1を十分な数だけ確保できない場合がある。この場合、
収納ガイド71が被加工物14で満杯になると、同じ形
状の収納ガイドを準備しておき、交換することで解決で
きる。
Further, when the suspension time is long, it is necessary to collect all the workpieces in the drying furnaces 4 and 81.
In some cases, a sufficient number of 1s cannot be secured. in this case,
When the storage guide 71 is full of the workpiece 14, the problem can be solved by preparing storage guides having the same shape and replacing them.

【0034】上記の実施例では印刷機85を一時停止さ
せた場合を示したが、図中のどのユニットを一時停止に
しても同じである。
In the above-described embodiment, the case where the printing press 85 is temporarily stopped has been described, but the same applies regardless of which unit in the drawing is temporarily stopped.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、被加工
物が処理中の状態で運転停止をすることが不都合な処理
ユニットを含み、互いに直列接続された複数の被加工物
処理ユニットを備えた連続した自動枚葉処理ラインは、
各々の処理ユニットのライン下流側に設けられ、被加工
物処理ユニットから排出される被加工物を受け入れてそ
こに保持し得るバッファーユニットと、或る特定の処理
ユニットが運転停止されたときに、被加工物処理ユニッ
トを運転停止させずに、被加工物処理ユニットから排出
される被加工物をバッファーユニットに収納保持させる
コントローラーとを備えたことを特徴とするものであ
る。従って、複数の処理を連続して処理している最中に
特定の処理工程を一時停止およびその解除をしても被加
工物が処理中の状態で運転停止をすることが不都合な処
理ユニットを停止させることなく、正常な処理を継続す
ることが出来る。
As described above, according to the present invention, a plurality of workpiece processing units connected in series with each other are included, including a processing unit in which it is inconvenient to stop the operation while the workpiece is being processed. Equipped with a continuous automatic single-wafer processing line,
A buffer unit provided downstream of the line of each processing unit and capable of receiving and holding the workpiece discharged from the workpiece processing unit, and a certain processing unit when the operation is stopped, A controller for storing and holding the workpiece discharged from the workpiece processing unit in the buffer unit without stopping the operation of the workpiece processing unit. Therefore, a processing unit in which it is inconvenient to stop the operation while the workpiece is being processed even if a specific processing step is temporarily stopped and canceled while a plurality of processings are being processed continuously. Normal processing can be continued without stopping.

【0036】また、コントローラーは、ライン下流側の
処理ユニットで被加工物受け入れ一時停止状態になった
場合に、バッファーユニットヘ被加工物を収納すると同
時に上流側の処理ユニットも運転停止させ、かつ一時停
止解除になった場合に、バッファーユニット内の被加工
物の処理を再開すると同時に上流側の処理ユニットの運
転を再開させるものにできる。また、コントローラー
は、一時停止時においてバッファーユニットヘ収納され
た被加工物を、処理再開時に後方搬送ラインの被加工物
が無い間隙部に挿入するように払い出させるものにでき
る。従って、複数の処理を連続して処理している最中に
一時停止およびその解除をしても、自動的に待避被加工
物に対しても正常な処理をし正常にラインに戻すことが
可能である。
When the processing unit on the downstream side of the line is in a state of receiving the work temporarily, the controller stores the work in the buffer unit and simultaneously stops the operation of the upstream processing unit. When the stop is released, the processing of the workpiece in the buffer unit is restarted, and at the same time, the operation of the upstream processing unit can be restarted. Further, the controller can cause the workpiece stored in the buffer unit at the time of the temporary stop to be paid out so as to be inserted into the gap portion of the rear transport line where the workpiece is not present at the time of resuming the processing. Therefore, even if pause and release are performed while a plurality of processes are being processed continuously, it is possible to automatically perform normal processing on the evacuated workpiece and return to the normal line. It is.

【0037】また、コントローラーは、被加工物のバッ
ファーユニットへの収納順に処理を再開させるものに
し、あるいは被加工物のバッファーユニットへの収納順
とは逆の順に処理を再開させるものにできる。従って、
複数の処理を連続して処理している最中に一時停止およ
びその解除をしても、待避被加工物の個別の品質管理が
出来る。
The controller may restart the processing in the order in which the workpieces are stored in the buffer unit, or may restart the processing in the order reverse to the order in which the workpieces are stored in the buffer unit. Therefore,
Even when a plurality of processes are paused and canceled during continuous processing, individual quality control of the evacuated workpiece can be performed.

【0038】また、バッファーユニットは、交換可能な
カセット式バッファーユニットである。従って、複数の
処理を連続して処理している最中に一時停止およびその
解除をしても、カセットを交換することにより多数の被
加工物を容易に待避させることが出来る。
The buffer unit is a replaceable cassette type buffer unit. Therefore, even if the processing is temporarily stopped and canceled while a plurality of processings are being continuously performed, a large number of workpieces can be easily evacuated by replacing the cassette.

【0039】また、カセット式バッファー部を取り外し
可能なものにできる。従って、複数の処理を連続して処
理している最中に一時停止およびその解除をしても、バ
ッファー部が被加工物で満たされた場合にも、バッファ
ー部を取り外して交換することにより、全ての被加工物
を容易に待避させることが出来る。
Further, the cassette type buffer section can be made detachable. Therefore, even if the buffer is paused and released during the continuous processing of a plurality of processes, even if the buffer is filled with the workpiece, by removing and replacing the buffer, All workpieces can be easily retracted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明による3つの電極形成を一貫して行え
る自動印刷/乾燥/焼成工程を持つ自動枚葉処理ライン
を説明するフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart illustrating an automatic sheet processing line having an automatic printing / drying / firing step capable of forming three electrodes consistently according to the present invention.

【図2】 図1に示す自動枚葉処理ラインの自動印刷/
乾燥処理ユニットを示す概略図である。
FIG. 2 shows an automatic printing / automatic printing of the automatic sheet processing line shown in FIG.
It is the schematic which shows a drying processing unit.

【図3】 従来の1つの電極形成を行える自動印刷/乾
燥工程を持つ自動枚葉処理ラインを示すフローチャート
である。
FIG. 3 is a flowchart showing a conventional automatic sheet-fed processing line having an automatic printing / drying step capable of forming one electrode.

【図4】 図3に示す自動枚葉処理ラインの自動印刷/
乾燥処理ユニットを示す図である。
FIG. 4 shows an automatic printing / automatic printing of the automatic sheet-fed processing line shown in FIG.
It is a figure showing a drying processing unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ローダー、2、5、8、82、84、87、89
搬送ユニット、3、9、85 印刷機、4、81 乾燥
炉、6 アンローダー、7、83、88 バッファーユ
ニット、12 印刷直後被加工物、13 乾燥後鰍被加
工物、14 バッファーユニット収納被加工物、22
被加工物搬送フオーク、23、24 搬送用吸着機構、
25、26 搬送機構ガイドレール、31 印刷マス
ク、32印刷用ゴム、33 ペーストインク、34 イ
ンクコート用治具、41 ランプヒーター、42、43
チャンバー、44 ベルト、45、46 ベルト駆動
用ローラー、47 乾燥用ガス供拾口、48 排気ガス
排気口、71 ウーク収納ガイド、72 被加工物検知
センザー、73 ローダー側カセット、74 アンロー
ダー側カセット、86 印刷兼焼成炉、101 コント
ローラー、102信号ケーブル。
1 Loader, 2, 5, 8, 82, 84, 87, 89
Transport unit, 3, 9, 85 Printing machine, 4, 81 Drying furnace, 6 unloader, 7, 83, 88 Buffer unit, 12 Workpiece immediately after printing, 13 Workpiece after drying, 14 Buffer unit storage work Thing, 22
Workpiece transfer fork, 23, 24 transfer suction mechanism,
25, 26 transport mechanism guide rail, 31 printing mask, 32 printing rubber, 33 paste ink, 34 ink coating jig, 41 lamp heater, 42, 43
Chamber, 44 belt, 45, 46 Belt driving roller, 47 Drying gas supply port, 48 Exhaust gas exhaust port, 71 Work storage guide, 72 Workpiece detection sensor, 73 Loader side cassette, 74 Unloader side cassette, 86 printing and firing furnace, 101 controller, 102 signal cable.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // H01L 31/04 H01L 31/04 M ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) // H01L 31/04 H01L 31/04 M

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被加工物が処理中の状態で運転停止をす
ることが不都合な処理ユニットを含み、互いに直列接続
された複数の被加工物処理ユニットを備えた連続した自
動枚葉処理ラインにおいて、 各々の上記処理ユニットのライン下流側に設けられ、上
記被加工物処理ユニットから排出される上記被加工物を
受け入れてそこに保持し得るバッファーユニットと、 或る特定の処理ユニットが運転停止されたときに、上記
被加工物処理ユニットを運転停止させずに、上記被加工
物処理ユニットから排出される上記被加工物を上記バッ
ファーユニットに収納保持させるコントローラーとを備
えたことを特徴とする自動枚葉処理ライン。
1. A continuous automatic single-wafer processing line including a plurality of workpiece processing units connected in series with each other, including a processing unit in which it is inconvenient to stop the operation while the workpiece is being processed. A buffer unit that is provided downstream of each of the processing units and that can receive and hold the workpiece discharged from the workpiece processing unit, and a specific processing unit is stopped A controller for storing and holding the workpiece discharged from the workpiece processing unit in the buffer unit without stopping the workpiece processing unit when the operation is stopped. Single wafer processing line.
【請求項2】 上記コントローラーは、ライン下流側の
上記処理ユニットで被加工物受け入れ一時停止状態にな
った場合に、上記バッファーユニットヘ被加工物を収納
すると同時に上流側の処理ユニットも運転停止させ、か
つ一時停止解除になった場合に、上記バッファーユニッ
ト内の被加工物の処理を再開すると同時に上記上流側の
処理ユニットの運転を再開させることを特徴とする請求
項1記載の自動枚葉処理ライン。
2. The controller according to claim 1, wherein when the processing unit in the processing unit on the downstream side of the line is in a pause state, the controller stores the workpiece in the buffer unit and simultaneously stops the operation of the upstream processing unit. 2. The automatic single-wafer processing according to claim 1, wherein when the suspension is released, the processing of the workpiece in the buffer unit is resumed and the operation of the upstream processing unit is resumed at the same time. line.
【請求項3】 上記コントローラーは、一時停止時にお
いてバッファーユニットヘ収納された被加工物を、処理
再開時に後方搬送ラインの被加工物が無い間隙部に挿入
するように払い出させることを特徴とする請求項1記載
の自動枚葉処理ライン。
3. The controller according to claim 1, wherein the controller dispenses the workpiece stored in the buffer unit during a temporary stop so as to insert the workpiece into a gap in the rear transport line where the workpiece is absent when the processing is resumed. The automatic single-wafer processing line according to claim 1.
【請求項4】 上記コントローラーは、上記被加工物の
上記バッファーユニットへの収納順に処理を再開させる
ことを特徴とする請求項1記載の自動枚葉処理ライン。
4. The automatic single-wafer processing line according to claim 1, wherein the controller restarts the processing in the order in which the workpieces are stored in the buffer unit.
【請求項5】 上記コントローラーは、上記被加工物の
上記バッファーユニットへの収納順とは逆の順に処理を
再開させることを特徴とする請求項1記載の自動枚葉処
理ライン。
5. The automatic single-wafer processing line according to claim 1, wherein the controller restarts the processing in the reverse order of the order in which the workpieces are stored in the buffer unit.
【請求項6】 上記バッファーユニットは、交換可能な
カセット式バッファーユニットであることを特徴とする
請求項1記載の自動枚葉処理ライン。
6. The automatic single-wafer processing line according to claim 1, wherein the buffer unit is a replaceable cassette type buffer unit.
【請求項7】 カセット式バッファー部を取り外し可能
なことを特徴とする請求項6記載の自動枚葉処理ライ
ン。
7. The automatic single-wafer processing line according to claim 6, wherein the cassette type buffer unit is removable.
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