JP2001199542A - Carrying system and method between clean rooms - Google Patents
Carrying system and method between clean roomsInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム相
互間で気送管を用いて気送搬送物を上昇受信器で受信す
るクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法に
係り、特にクリーンルーム内の空気を乱すことなく、安
定で安全に気送搬送物を搬送するように改良された搬送
システム及びその搬送方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer system between clean rooms and a transfer method for receiving a pneumatic conveyed product by an ascending receiver by using a pneumatic tube between the clean rooms and a transfer method thereof. The present invention relates to an improved transport system and a transport method for transporting a pneumatic transport object stably and safely without disturbance.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のクリーンルーム相互間で気送管を
用いて、容器、試薬ビンなどの気送搬送物を送受する構
成は、病院とか半導体工場などで使用されるが、これは
例えば図１４に示すような上昇受信器を用いた方式が知
られている。2. Description of the Related Art A conventional configuration for transmitting and receiving a pneumatic conveyance such as a container and a reagent bottle using a pneumatic tube between clean rooms is used in hospitals and semiconductor factories. A system using an ascending receiver as shown in FIG.
【０００３】このような場所で、高度なクリーン度を要
求するクリーンルームは、このクリーンルーム内の空気
の流れを整流して層流状態にすることが多く、この層流
状態では、例えば０．５ｍ／ｓ程度の低風速で室内を空
気が移動している。In such a place, a clean room requiring a high degree of cleanliness often rectifies the flow of air in the clean room into a laminar flow state. Air moves in the room at a low wind speed of about s.
【０００４】図１４はこのようなクリーンルームの例で
あり、送信側クリーンルーム１０は高清浄度のクリーン
ルームであり、この送信側クリーンルーム１０よりは清
浄度の低い低清浄度のクリーンルーム１１を立体的にも
平面的にも送信側クリーンルーム１０を囲むように配設
して、送信側クリーンルーム１０を高清浄度に保持して
いる。FIG. 14 shows an example of such a clean room. A clean room 10 on the transmission side is a clean room with a high degree of cleanliness. The transmission side clean room 10 is disposed so as to surround the transmission side clean room 10 even in a plane, and the transmission side clean room 10 is maintained with high cleanliness.
【０００５】クリーンルーム１１の一方の壁にはフイル
タ１１ａ、１１ｂ，１１ｃが配設され、これらのフイル
タ１１ａ〜１１ｃには外部から空気Ａを取り入れながら
空調機１２から配管１３を介して清浄な空気が取り込ま
れる。Filters 11a, 11b, and 11c are provided on one wall of the clean room 11, and clean air is supplied to the filters 11a to 11c from the air conditioner 12 through a pipe 13 while taking in air A from the outside. It is captured.
【０００６】このクリーンルーム１１を通過した空気は
配管１４を介して空調機１２にリターンされるが、空調
機１２はこれを取り入れて再び配管１３に送出する動作
を繰り返して空気を循環して清浄にしている。The air that has passed through the clean room 11 is returned to the air conditioner 12 via the pipe 14. The air conditioner 12 repeats the operation of taking in the air and sending it out again to the pipe 13, thereby circulating the air and purifying the air. ing.
【０００７】送信側クリーンルーム１０は、送信側クリ
ーンルーム１０を通過した空気を配管１５を介して空調
機１６に取り込み、これを清浄にした後、フイルタ１７
ａ、１７ｂ，１７ｃを介して送信側クリーンルーム１０
に送出する動作を繰り返して空気を循環し、クリーンル
ーム１１より高清浄度にしている。The transmitting-side clean room 10 takes air that has passed through the transmitting-side clean room 10 into an air conditioner 16 via a pipe 15 and cleans the air.
a, the clean room 10 on the transmission side via 17b, 17c
The air is circulated by repeating the operation of sending the air to the clean room 11 so that the cleanliness is higher than that of the clean room 11.
【０００８】送信側クリーンルーム１０の内部には、気
送管１８がクリーンルーム１１を経由して導入され、そ
の端部には搬送物投入口１９が設けられているが、この
搬送物投入口１９は気送管１８に固定されたフランジ１
９ａと、一端がピン１９ｂで支持されて回動してフラン
ジ１９ａを覆う回動蓋１９ｃなどで構成されている。[0008] A pneumatic pipe 18 is introduced into the inside of the clean room 10 on the transmission side via the clean room 11, and a conveyed material inlet 19 is provided at an end thereof. Flange 1 fixed to pneumatic tube 18
9a and a rotating lid 19c that is supported at one end by a pin 19b and that rotates to cover the flange 19a.
【０００９】気送管１８の受信側クリーンルーム２０側
では、気送管１８が垂直に立ち上がる垂直部１８ａを介
して上昇受信器２１に連結されており、この上昇受信器
２１を経由してから気送管１８がＵ字状に屈曲して立ち
下がり遠方に配設された排風機２２に接続されている。On the receiving-side clean room 20 side of the pneumatic tube 18, the pneumatic tube 18 is connected to an ascending receiver 21 via a vertically rising vertical portion 18 a. The sending pipe 18 is bent in a U-shape and falls and is connected to an exhaust fan 22 disposed far away.
【００１０】排風機２２は、インバータ２３に印加され
る制御信号Ｓ１により、ケーブル２４を介してその空気
の吸引風量が制御されているが、吸引された排気は排気
管２５から大気中に放出される。The exhaust fan 22 controls the amount of air to be sucked through a cable 24 by a control signal S1 applied to an inverter 23. The sucked exhaust gas is discharged to the atmosphere from an exhaust pipe 25. You.
【００１１】受信側クリーンルーム２０は、その一方の
壁にはフイルタ２６ａ、２６ｂ，２６ｃが配設され、こ
れらのフイルタ２６ａ〜２６ｃには外部から空気Ｂを取
り入れながら空調機２７から配管２８を介して清浄な空
気を流し、内部が層流状態になるように取り込まれる。The receiving-side clean room 20 has filters 26a, 26b, and 26c disposed on one wall thereof, and the filters 26a to 26c take in air B from the outside and supply air from the air conditioner 27 through a pipe 28. Clean air is allowed to flow in, and the air is taken in so that the inside becomes laminar.
【００１２】受信側クリーンルーム２０を通過した空気
は、配管２９を介して空調機２７にリターンされるが、
空調機２７はこれを取り入れて再び配管２８に送出する
動作を繰り返して空気を循環している。The air that has passed through the receiving-side clean room 20 is returned to the air conditioner 27 via a pipe 29.
The air conditioner 27 repeats the operation of taking in the air and sending it out again to the pipe 28 to circulate the air.
【００１３】受信側クリーンルーム２０内に配設される
上昇受信器２１は、図１５（Ａ）に示す受信時の状態で
は、大きく分けて、本体部２１Ａ、この本体部２１Ａ内
を往復動する可動体２１Ｂ、この可動体２１Ｂを往復動
させる駆動源、例えばエアシリンダ２１Ｃ、及び収納箱
２１Ｄなどから構成されている。In the state at the time of reception shown in FIG. 15A, the ascending receiver 21 provided in the receiving-side clean room 20 is roughly divided into a main body 21A and a movable body reciprocating in the main body 21A. It comprises a body 21B, a drive source for reciprocating the movable body 21B, for example, an air cylinder 21C, a storage box 21D, and the like.
【００１４】本体部２１Ａは、例えば矩形状をなし、こ
の本体部２１Ａの横方向に中心軸Ａ−Ｂを中心として筒
部２１Ｅが形成されており、その右方の下端部には本体
部２１Ａの中心軸Ａ−Ｂに対して直角方向に筒部２１Ｅ
を貫通して気送管１８が配設されている。The main body 21A has, for example, a rectangular shape, and has a cylindrical portion 21E formed about the center axis AB in the lateral direction of the main body 21A. Cylindrical portion 21E in a direction perpendicular to the central axis AB of
A pneumatic tube 18 is provided to pass through.
【００１５】また、本体部２１Ａの排出側の気送管１８
の出口部分は、空気吸引口２１Ｆとして、気送搬送物３
０の底面と密着させて排出側の気送管１８内に生じる真
空圧で吸引できる形状になっている。Further, the air supply pipe 18 on the discharge side of the main body 21A is provided.
The outlet portion of the pneumatic conveyance product 3 serves as an air suction port 21F.
The shape is such that it can be sucked by the vacuum pressure generated in the discharge-side pneumatic tube 18 in close contact with the bottom surface of the zero.
【００１６】図１５（Ａ）に示す受信時の状態では、こ
の筒部２１Ｅの右端側を埋めるように円柱状の可動体２
１Ｂが配設され、可動体２１Ｂには気送搬送物３０が格
納できる格納孔２１Ｇが気送管１８と同一方向から穿設
されており、空気吸引口２１Ｆと格納孔２１Ｇと気送管
１８とは一直線上にある。In the state at the time of reception shown in FIG. 15A, the columnar movable body 2 is filled so as to fill the right end side of the cylindrical portion 21E.
1B, the movable body 21B is provided with a storage hole 21G in which the pneumatic conveyance object 30 can be stored from the same direction as the pneumatic tube 18. The air suction port 21F, the storage hole 21G, and the pneumatic tube 18 are provided. Is on a straight line.
【００１７】さらに、本体部２１Ａの開放端側には中央
部に貫通孔２１Ｈを有する閉塞板２１Ｉが配設されてお
り、この閉塞板２１Ｉの外部に配設されたエアシリンダ
２１Ｃと可動体２１Ｂとを連結する連結軸２１Ｊが貫通
孔２１Ｈを貫通して左右に往復動を行う。Further, a closing plate 21I having a through hole 21H at the center is provided on the open end side of the main body 21A, and an air cylinder 21C and a movable body 21B provided outside the closing plate 21I are provided. A connecting shaft 21J for connecting to the right and left reciprocates through the through hole 21H.
【００１８】本体部２１Ａの筒部２１Ｅの開放端側にあ
る底部には、図１５（Ｂ）の排出時の状態に示すよう
に、可動体２１Ｂがエアシリンダ２１Ｃ側に退行したと
きに、格納孔２１Ｇと対向する位置に排出口２１Ｋが穿
設され、この下に収納箱２１Ｄが配設されている。When the movable body 21B retreats to the air cylinder 21C side, as shown in the state at the time of discharge in FIG. A discharge port 21K is formed at a position facing the hole 21G, and a storage box 21D is provided below the discharge port 21K.
【００１９】以上の構成により、送信側クリーンルーム
１０から受信側クリーンルーム２０に気送管１８を介し
て気送搬送物３０を搬送する場合には、回動蓋１９ｃを
ピン１９ｂを支点として回動してフランジ１９ａから横
にずらして気送管１８の搬送物投入口１９を開口して、
気送搬送物３０を投入し、排風機２２を動作させて、搬
送物投入口１９から送信側クリーンルーム１０内の空気
を吸引して気送搬送物３０を搬送する。With the above arrangement, when the pneumatic conveyance object 30 is conveyed from the transmission-side clean room 10 to the reception-side clean room 20 via the pneumatic tube 18, the pivot lid 19c pivots with the pin 19b as a fulcrum. To open the conveyed material input port 19 of the pneumatic tube 18 while being shifted sideways from the flange 19a.
The pneumatic conveyance object 30 is charged, the air blower 22 is operated, and the air in the transmission-side clean room 10 is sucked from the conveyance object inlet 19 to convey the pneumatic conveyance object 30.
【００２０】気送搬送物３０は、排風機２２による吸引
により上昇受信器２１に搬送され、上昇受信器２１内の
可動体２１Ｂがシリンダ２１Ｃにより右端に押圧された
状態で、上昇受信器２１の格納孔２１Ｇに格納される。The pneumatic conveyance object 30 is conveyed to the ascending receiver 21 by suction by the exhaust fan 22, and the movable body 21B in the ascending receiver 21 is pressed to the right end by the cylinder 21C. It is stored in the storage hole 21G.
【００２１】上昇受信器２１の格納孔２１Ｇに気送搬送
物３０が格納された状態では、排風機２２が本体部２１
Ａの空気吸引口２１Ｆを吸引しているので、気送搬送物
３０は落下することなく、格納孔２１Ｇの中に保持され
ている。In a state where the pneumatic conveyance object 30 is stored in the storage hole 21 G of the ascending receiver 21, the blower 22 is connected to the main body 21.
Since the air suction port 21F of A is sucked, the pneumatic conveyance object 30 is held in the storage hole 21G without falling.
【００２２】気送搬送物３０が保持された状態で、可動
体２１Ｂの格納孔２１Ｇが排出口２１Ｋの位置まで左動
すると、気送搬送物３０は排出口２１Ｋを通じて収納箱
２１Ｄ上に落下し、回収される。When the storage hole 21G of the movable body 21B moves leftward to the position of the discharge port 21K in a state where the pneumatic conveyance product 30 is held, the pneumatic conveyance product 30 falls onto the storage box 21D through the discharge port 21K. , Will be collected.
【００２３】[0023]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような上昇受信方式によるクリーンルーム間の搬送シス
テム及びその搬送方法にはいくつかの問題点が存在す
る。However, the transfer system between clean rooms and the transfer method using the above-described ascending reception system have some problems.
【００２４】第１に、気送搬送物３０の気送の際には送
信側クリーンルーム１０内に配設されている搬送物投入
口１９は気送が終了するまで、開口状態が維持され、気
送のための空気も送信側クリーンルーム１０内から吸引
しており、このときの搬送物投入口１９の近傍の風速は
７〜８ｍ／ｓにも及ぶので、送信側クリーンルーム１０
内が層流状態にある空気の流れを乱すこととなる。First, when the pneumatic conveyance object 30 is pneumatically conveyed, the conveyed material input port 19 provided in the transmission-side clean room 10 is kept open until the pneumatic conveyance is completed. The air for sending is also sucked from the inside of the clean room 10 on the transmission side. At this time, the wind speed near the load 19 is 7 to 8 m / s.
This disturbs the flow of air that is in a laminar flow state.
【００２５】第２に、気送時には図１５（Ａ）の状態に
あるが、可動体２１Ｂと本体部２１Ａとの間には可動体
２１Ｂが往復動をしなければならないので、隙間が存在
し、このため排出口２１Ｋから図１５（Ａ）に示すよう
にｑなる空気を吸い込み、このときの漏れ風量が２ｍ／
ｓ〜１０ｍ／ｓにも及ぶ。このため、このままクリーン
ルーム中で使用すると、気送の間、受信側クリーンルー
ム２０内の空気を吸い込み、空気流を乱し、受信側クリ
ーンルームの清浄度の管理が困難になるという問題があ
る。さらに、この従来の上昇受信器では、受信位置から
気送搬送物３０の排出位置への移動の際に、その気密性
が一段と低下することにより、この困難性がさらに増す
ことになる。Second, although the state shown in FIG. 15A is at the time of pneumatic feeding, there is a gap between the movable body 21B and the main body 21A because the movable body 21B has to reciprocate. Therefore, as shown in FIG. 15 (A), air q is sucked from the outlet 21K, and the amount of air leaking at this time is 2 m /
s to 10 m / s. Therefore, when used in a clean room as it is, there is a problem that the air in the receiving-side clean room 20 is sucked in during the pneumatic feeding, the air flow is disturbed, and it becomes difficult to control the cleanliness of the receiving-side clean room. Further, in the conventional ascending receiver, when moving from the receiving position to the discharging position of the pneumatic conveyance object 30, the airtightness is further reduced, so that this difficulty is further increased.
【００２６】第３に、可動体２１Ｂが図１６（Ａ）に示
す受信時の状態から図１６（Ｂ）に示すように僅かにδ
だけ左に移動したときは、気送搬送物３０の底面（上
側）と本体部２１Ａの空気吸引口２１Ｆとの密着が破壊
される。このときにも上昇受信器２１の外部からの空気
ｑ´を、図１６（Ｂ）に示すように、吸い込み、さらに
気送搬送物３０の空気吸引口２１Ｆへの密着力もなくな
って、気送搬送物３０の頭部（下側）の一部が気送管１
８に落ち込み、可動体２１Ｂの移動の支障にもなる。Third, the movable body 21B is slightly shifted from the state at the time of reception shown in FIG.
When it moves only to the left, the close contact between the bottom surface (upper side) of the pneumatic conveyance object 30 and the air suction port 21F of the main body 21A is broken. At this time, as shown in FIG. 16 (B), the air q ′ from the outside of the ascending receiver 21 is sucked in, and further, there is no adhesion force to the air suction port 21F of the pneumatic conveyance object 30, and the pneumatic conveyance is performed. Part of the head (lower side) of the object 30 is the pneumatic tube 1
8, which hinders the movement of the movable body 21B.
【００２７】第４に、上昇受信器２１で気送搬送物３０
を受信し、収納箱２１Ｄの中に収納する際には、気送搬
送物３０が収納箱２１Ｄの中に次々と落下して乱雑に並
んで収納されるので、気送搬送物３０の搬送順番を一目
で識別することは不可能である。特に、気送搬送物とし
て試薬ビンを想定した場合には、その試薬取出口である
キャップ部が他の試薬ビン或いは収納箱２１Ｄと接触し
て汚染する危険性がある。Fourth, the pneumatic transport object 30 is lifted by the ascending receiver 21.
Is received and stored in the storage box 21D, the pneumatic transport objects 30 are successively dropped into the storage box 21D and stored in a random order. Cannot be identified at a glance. In particular, when a reagent bottle is assumed as a pneumatic conveyance product, there is a risk that the cap portion, which is the reagent outlet, comes into contact with another reagent bottle or the storage box 21D and becomes contaminated.
【００２８】第５に、気送搬送物３０として試薬ビンな
どを気送する場合には、例えばある日の気送搬送物３０
の気送順番を知る必要があるが、このような場合に収納
箱２１Ｄに無秩序に収納される上昇受信器２１では医療
事故発生の要因を作る危険性がある。さらに、気送順番
に気送搬送物３０を収納する機構を、受信器動作の駆動
源とは別個の駆動源を用いて達成しようとすると、収納
機構と受信器を含めた全体の所要スペースが大きくな
り、スペースが限定されているクリーンルームには適さ
ないものとなる。Fifth, when a reagent bottle or the like is pneumatically transported as the pneumatic transport product 30, for example, the pneumatic transport product 30
It is necessary to know the order of pneumatic transport, but in such a case, there is a danger that the ascending receiver 21 randomly stored in the storage box 21D may cause a medical accident. Furthermore, if an attempt is made to achieve a mechanism for storing the pneumatic conveyance objects 30 in the pneumatic order using a drive source separate from the drive source for the receiver operation, the entire required space including the storage mechanism and the receiver is reduced. This makes them unsuitable for clean rooms where space is limited.
【００２９】[0029]
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するためのクリーンルーム間の搬送システムの第１
の構成として、送信側クリーンルームから受信側クリー
ンルームに気送管が延長され該気送管の中に気送搬送物
を投入して前記受信側クリーンルームで該気送搬送物を
受信するクリーンルーム間の搬送システムであって、前
記受信側クリーンルーム内に配設され気密を保持して前
記気送搬送物を受信する上昇受信器と、該上昇受信器の
後の前記気送管に配設され前記気送搬送物の送信開始の
際に前記気送管の内部の空気を低風量で吸引する排風手
段とを具備するようにしたものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a first transfer system between clean rooms for solving the above problems.
As a configuration, the pneumatic pipe is extended from the clean room on the transmission side to the clean room on the reception side, and the pneumatic conveyance is put into the pneumatic pipe and the conveyance between the clean rooms receiving the pneumatic conveyance in the clean room on the reception side is performed. An ascending receiver disposed in the receiving-side clean room to maintain the airtightness and receive the pneumatic conveyance, and the ascending receiver disposed in the pneumatic pipe after the ascending receiver. The apparatus is provided with an exhaust means for sucking the air inside the air supply pipe at a low air volume at the time of starting the transmission of the conveyed object.
【００３０】また、本発明は、以上の課題を解決するた
めのクリーンルーム間の搬送システムの第２の構成とし
て、送信側クリーンルームから受信側クリーンルームに
気送管が延長され該気送管の中に気送搬送物を投入して
前記受信側クリーンルームで該気送搬送物を受信するク
リーンルーム間の搬送システムであって、 本体部の中
を移動する可動体と前記本体部との気密を保持して前記
気送搬送物を前記可動体に格納する上昇受信器を具備す
るようにしたものである。Further, according to the present invention, as a second configuration of a transport system between clean rooms for solving the above-mentioned problems, a pneumatic pipe is extended from a clean room on a transmitting side to a clean room on a receiving side, and is provided in the pneumatic pipe. A transfer system between clean rooms for receiving pneumatic conveyance in the receiving-side clean room by inputting pneumatic conveyance and maintaining airtightness between the movable body moving in the main body and the main body. It is provided with a rising receiver which stores the pneumatic conveyed goods in the movable body.
【００３１】さらに、本発明は、以上の課題を解決する
ためのクリーンルーム間の搬送システムの第３の構成と
して、送信側クリーンルームから受信側クリーンルーム
に気送管が延長され該気送管の中に気送搬送物を投入し
て前記受信側クリーンルームで該気送搬送物を受信する
クリーンルーム間の搬送システムであって、前記受信側
クリーンルームに設けられた上昇受信器による前記気送
搬送物の受信と排出動作に連動して個別に前記気送搬送
物を収納するカセッテを具備するようにしたものであ
る。Further, according to the present invention, as a third configuration of a transfer system between clean rooms for solving the above-mentioned problems, a pneumatic pipe is extended from a clean room on the transmitting side to a clean room on the receiving side, and is provided in the pneumatic pipe. A transfer system between clean rooms for receiving the pneumatic conveyance in the receiving-side clean room by inputting the pneumatic conveyance, and receiving the pneumatic conveyance by an ascending receiver provided in the reception-side clean room. A cassette is provided for individually accommodating the pneumatic conveyance in conjunction with the discharging operation.
【００３２】また、本発明は、以上の課題を解決するた
めのクリーンルーム間の搬送方法の構成として、送信側
クリーンルームから気送搬送物を送出するときは気送管
の内部の空気を排風手段により低風量で吸引してから、
搬送物投入口を開口して前記気送搬送物を前記気送管に
投入し、この後、前記搬送物投入口を閉塞して前記送信
側クリーンルームの外部に配設された前記気送管の空気
取入口から前記排風手段により高風量で前記気送管を介
して空気を吸引して前記気送搬送物を受信側クリーンル
ームに搬送し、前記気送搬送物を上昇受信器で受信した
後、一定時間の経過後に前記吸引を停止して前記気送搬
送物を取り出すようにしたものである。Further, according to the present invention, as a configuration of a transfer method between clean rooms for solving the above-mentioned problems, when air is transported from a clean room on a transmission side, air inside a pneumatic pipe is exhausted. Suction at low air volume,
Opening the conveyed material input port and charging the pneumatic conveyed material into the pneumatic tube, and thereafter closing the conveyed material input port and disposing the pneumatic tube provided outside the transmission side clean room. After sucking air from the air inlet through the air pipe at a high air flow rate by the air discharging means to convey the pneumatic conveyance to a receiving-side clean room, and receiving the pneumatic conveyance by an ascending receiver After a lapse of a predetermined time, the suction is stopped to take out the pneumatic conveyance.
【００３３】以上の本発明に係るクリーンルーム間の搬
送システムの第１の構成によれば、搬送物投入口に搬送
物を投入する際の開口に当たっては、低風速で吸引する
ので、送信側クリーンルームの内部の空気の流れ自体を
大きく乱すことがなく、全体としてクリーンルーム内の
清浄度を良好に維持することができる。According to the first structure of the transfer system between clean rooms according to the present invention, since the suction at a low wind speed is applied to the opening when the load is loaded into the load, the clean room on the transmission side is not used. The flow of the internal air itself is not significantly disturbed, and the cleanliness in the clean room can be maintained as a whole as a whole.
【００３４】さらに、気送搬送物を上昇受信器で受信す
る際に、気密を保持して受信する構成としたので、受信
側クリーンルームの内部の空気の流れ自体を大きく乱す
ことがなく、受信側クリーンルームの内部の空気の清浄
度を良好に維持することができる。Further, when air-lifted conveyed goods are received by the ascending receiver, the air-tightness of the air is maintained while the air-received goods are received by the ascending receiver. Good cleanliness of the air inside the clean room can be maintained.
【００３５】また、本発明に係るクリーンルーム間の搬
送システムの第２の構成においても気送搬送物を上昇受
信器で受信する際に、気密を保持して受信する構成とし
たので、受信側クリーンルームの内部の空気の流れ自体
を大きく乱すことがなく、このため受信側クリーンルー
ム内の空気の清浄度を良好に維持することができる。Further, in the second configuration of the transport system between clean rooms according to the present invention, when the pneumatic transport product is received by the ascending receiver, the air-tight transport is received while maintaining the airtightness. Therefore, the air flow in the receiving side is not significantly disturbed, so that the cleanliness of the air in the receiving-side clean room can be maintained satisfactorily.
【００３６】さらに、本発明に係るクリーンルーム間の
搬送システムの第３の構成によれば、受信側クリーンル
ームに設けられた上昇受信器による気送搬送物の受信と
排出動作に連動して個別に気送搬送物を収納するカセッ
テを具備するようにしたので、収納機構と受信器を含め
た全体の所要スペースが小さくなり、スペースが限定さ
れているクリーンルームに好適な搬送システムを実現す
ることができる。Further, according to the third configuration of the transport system between clean rooms according to the present invention, individual transports are performed in conjunction with the receiving and discharging operations of the pneumatic transport by the ascending receiver provided in the receiving-side clean room. Since the cassette for storing the transported articles is provided, the entire required space including the storage mechanism and the receiver is reduced, and a transport system suitable for a clean room where space is limited can be realized.
【００３７】さらに、本発明に係るクリーンルーム間の
搬送方法によれば、空気取入口から空気が取り入れられ
るので、低風量運転時において、気送管内の真空圧の上
昇が抑えられ、搬送物投入口を開口する際には、開口し
た瞬間に流れ込む空気流の量を制限することができ、ク
リーンルーム内の空気流に乱れが生じるのを防ぐことが
できる。Further, according to the transfer method between clean rooms according to the present invention, since air is taken in from the air inlet, the rise of the vacuum pressure in the air supply pipe is suppressed at the time of low air volume operation, and the conveyed material inlet When opening the air conditioner, the amount of air flow flowing at the moment of opening can be limited, and the air flow in the clean room can be prevented from being disturbed.
【００３８】[0038]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーンルー
ム間の搬送システム及びその搬送方法の実施の形態につ
いて図を用いて説明する。図１は本発明の実施の１形態
を略示的に示した全体構成図である。なお、理解を容易
にするため従来のクリーンルーム間の搬送システムと同
一部分には同一の符号を付して説明する。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a transfer system between clean rooms according to the present invention; FIG. 1 is an overall configuration diagram schematically showing one embodiment of the present invention. To facilitate understanding, the same parts as those in the conventional transfer system between clean rooms are denoted by the same reference numerals and described.
【００３９】送信側クリーンルーム１０は高清浄度のク
リーンルームであり、この送信側クリーンルーム１０よ
りは清浄度の低い低清浄度のクリーンルーム１１を立体
的にも平面的にも送信側クリーンルーム１０を囲むよう
に配設して、送信側クリーンルーム１０を高清浄度に保
持している。The transmission-side clean room 10 is a high-cleanliness clean room. The low-cleanliness clean room 11 having a lower degree of cleanliness than the transmission-side clean room 10 surrounds the transmission-side clean room 10 three-dimensionally and two-dimensionally. The transmission side clean room 10 is maintained at a high degree of cleanliness.
【００４０】クリーンルーム１１の一方の壁にはフイル
タ１１ａ、１１ｂ，１１ｃが配設され、これらのフイル
タ１１ａ〜１１ｃには外部から空気Ａを取り入れながら
空調機１２から配管１３を介して清浄な空気が取り込ま
れる。Filters 11a, 11b, and 11c are provided on one wall of the clean room 11, and clean air is supplied to the filters 11a to 11c from the air conditioner 12 through the pipe 13 while taking in air A from the outside. It is captured.
【００４１】このクリーンルーム１１を通過した空気は
配管１４を介して空調機１２にリターンされるが、空調
機１２はこれを取り入れて洗浄して再び配管１３に送出
する動作を繰り返して空気を清浄にして循環している。The air that has passed through the clean room 11 is returned to the air conditioner 12 via the pipe 14. The air conditioner 12 cleans the air by repeating the operation of taking in the air, washing it, and sending it to the pipe 13 again. Circulating.
【００４２】送信側クリーンルーム１０は、ここを通過
した空気を配管１５を介して空調機１６に取り込み、こ
れを清浄にした後、フイルタ１７ａ、１７ｂ，１７ｃを
介して送信側クリーンルーム１０に再び送出する動作を
繰り返して空気を循環し、送信側クリーンルーム１０の
内部が層流状態になるようにしながら、クリーンルーム
１１より高清浄度にしている。The transmission-side clean room 10 takes in the air passing therethrough into the air conditioner 16 via the pipe 15, cleans the air, and sends it out again to the transmission-side clean room 10 via the filters 17a, 17b, 17c. The operation is repeated to circulate air so that the inside of the clean room 10 on the transmission side is in a laminar flow state, while the cleanliness is higher than that of the clean room 11.
【００４３】このような高清浄度の送信側クリーンルー
ム１０、低清浄度のクリーンルーム１１或いは受信側ク
リーンルーム２０は、ルーム、つまり部屋という形をと
る大きいものからボックスと呼ばれる中程度のもの、或
いはセルとして呼ばれる小さいもの、さらには部屋の一
部に設けられているもの、クリーンベンチと称するもの
まで各種のものが存在するが、クリーンルームという概
念には、これらのものがすべて含まれる。The high-cleanliness clean room 10 on the transmission side, the clean room 11 with low cleanliness or the clean room 20 on the receiving side may be a room, that is, a large room in the form of a room to a medium room called a box, or a cell. There are various kinds of small things called so-called, those provided in a part of the room, and what is called a clean bench. The concept of a clean room includes all these things.
【００４４】高清浄度の送信側クリーンルーム１０の内
部には、気送管３１が低清浄度のクリーンルーム１１を
経由して外部に導出されているが、送信側クリーンルー
ム１０側の端部には搬送物投入口３２が設けられてい
る。A pneumatic tube 31 is led out of the high-cleanliness clean room 10 via the low-cleanliness clean room 11, but is conveyed to the end of the high-cleanliness clean room 10. An object inlet 32 is provided.
【００４５】この搬送物投入口３２は、気送管３１に固
定されたフランジ３１ａと、フランジ３１ａを覆う例え
ば扇形状の回動蓋３３などで構成されており、図２に示
すように、回動蓋３３はその端部に設けられたピン３１
ｂを支点として回動してフランジ３１ａに接続されてい
る気送管３１を開口させるが、閉止のときはフランジ３
１ａと回動蓋３３との間は気密が保持されて閉じられ、
搬送物投入口３２は完全密閉される。The conveyed material input port 32 is composed of a flange 31a fixed to the pneumatic tube 31 and, for example, a fan-shaped rotary lid 33 covering the flange 31a. As shown in FIG. The moving lid 33 has a pin 31 provided at its end.
The air supply pipe 31 connected to the flange 31a is opened by rotating about the b as a fulcrum.
1a and the rotating lid 33 are closed while maintaining airtightness,
The transported material inlet 32 is completely sealed.
【００４６】そして、回動蓋３３の回動は、回動蓋３３
の他の端部近傍に設けられた操作点３３ａに回動可能な
ように接続された空気シリンダ３４のピストン３４ａの
往復運動により行われる。The rotation of the rotating cover 33 is
This is performed by reciprocating motion of a piston 34a of an air cylinder 34 rotatably connected to an operation point 33a provided near the other end.
【００４７】この回動蓋３３には、図２に示すように、
例えばマイクロスイッチ３５ａが点線で示す回動蓋３３
の開口端で接するように配設されており、このマイクロ
スイッチ３５ａにより気送管３１が開口したことを検知
し、またマイクロスイッチ３５ｂは実線で示す回動蓋３
３の閉止端で接するように配設されており、このマイク
ロスイッチ３５ｂにより気送管３１が閉止したことを検
知する。As shown in FIG. 2, the rotating lid 33 has
For example, the rotating lid 33 in which the microswitch 35a is indicated by a dotted line
The micro switch 35a detects that the air supply pipe 31 is opened, and the micro switch 35b is connected to the rotating lid 3 indicated by a solid line.
The micro switch 35b detects that the air supply pipe 31 is closed.
【００４８】この回動蓋３３は、常時は気送管３１のフ
ランジ３１ａとで、送信側クリーンルーム１０と気送管
３１との気密を保持しているが、気送搬送物３０を搬送
する際にのみ空気シリンダ３４のピストン３４ａにより
開口される。The rotating lid 33 always keeps the airtightness between the clean room 10 on the transmission side and the air supply pipe 31 by the flange 31 a of the air supply pipe 31. Is opened only by the piston 34a of the air cylinder 34.
【００４９】搬送物投入口３２のフランジ３１ａの下方
に位置する気送管３１には、図１に示すように、気送搬
送物３０の投入を検知するためのフオトセンサ３６が配
設され、さらにクリーンルーム１１の内部に配設されて
いる気送管３１には、クリーンルーム１１内の空気を気
送搬送物３０を搬送するに足る高風量で取り込む空気取
入口３７が設けられている。As shown in FIG. 1, a photo sensor 36 for detecting the introduction of the pneumatic conveyance object 30 is disposed in the pneumatic tube 31 located below the flange 31a of the conveyance object insertion port 32. The pneumatic pipe 31 provided inside the clean room 11 is provided with an air intake 37 for taking in the air in the clean room 11 with a high air flow sufficient to convey the pneumatic conveyance object 30.
【００５０】送信側クリーンルーム１０の中に配設され
た搬送物投入口３２に一端が接続された気送管３１の他
端は、受信側クリーンルーム２０の中に配設された上昇
受信器３８の一端に下側から垂直部３１ｃを通って接続
されている。The other end of the air supply pipe 31, one end of which is connected to the conveyed material inlet 32 provided in the transmission-side clean room 10, is connected to the ascending receiver 38 provided in the reception-side clean room 20. One end is connected from below through the vertical portion 31c.
【００５１】その他端は、上側から立上部３１ｄを介し
て導出されてＬ字状に屈曲された屈曲部３１ｅを通り、
さらに下方に垂下する垂下部３１ｆを通って排風機２２
の吸入側に接続され、その排出側は排気管２５に接続さ
れて、ここから排気が大気中に放出される。The other end passes through a bent portion 31e which is led out from the upper side through a rising portion 31d and bent in an L-shape.
The air blower 22 passes through the drooping portion 31f which further droops downward.
Is connected to the suction side, and the discharge side is connected to the exhaust pipe 25, from which exhaust gas is discharged to the atmosphere.
【００５２】既述のように、気送管３１には空気取入口
３７が設けられているが、この空気取入口３７により、
排風機２２が低速運転のときの気送管３１の内部の真空
圧の上昇を抑え、搬送物投入口３２が開口した瞬間の空
気流の量を制限することができ、送信側クリーンルーム
１０の空気流の乱れを防ぎながら気送管３１内からの発
塵を防止することができる。As described above, the air supply pipe 31 is provided with the air intake 37.
When the air blower 22 is operated at a low speed, the rise in vacuum pressure inside the air supply pipe 31 can be suppressed, and the amount of airflow at the moment when the load 32 is opened can be restricted. It is possible to prevent dust from being generated from inside the air supply pipe 31 while preventing turbulence in the flow.
【００５３】一般に、排風機２２の風量・風圧特性曲線
は、図３に示すように、横軸に真空圧Ｐ、縦軸に風量Ｑ
をとると、回転数が同一であれば真空圧Ｐが増加するに
従って風量Ｑが低下する特性を持っている。Generally, as shown in FIG. 3, the air volume / air pressure characteristic curve of the blower 22 has a vacuum pressure P on the horizontal axis and an air volume Q on the vertical axis.
, If the number of rotations is the same, the air volume Q decreases as the vacuum pressure P increases.
【００５４】もし、空気取入口３７を設けなければ、排
風機２２が図３に示す低回転数である回転数ｎ3で回転
していたとしても、排風機２２の起動後も一定時間内に
気送管３１内は大気圧から真空圧Ｐ3、真空圧Ｐ1とたど
って真空圧Ｐ0まで真空度（Ｐ0（ａｂｓ）＜Ｐ1（ａｂ
ｓ）＜Ｐ3（ａｂｓ））が高まり、搬送物投入口３２を
開口したときには、その真空度に対応する大風量が送信
側クリーンルーム１０から気送管３１の内部に吸引され
ることとなる。If the air intake 37 is not provided, even if the exhaust fan 22 is rotating at the low rotation speed n 3 shown in FIG. The degree of vacuum (P 0 (abs) <P 1 (ab) in the pneumatic pipe 31 is traced from the atmospheric pressure to the vacuum pressure P 3 and the vacuum pressure P 1 to the vacuum pressure P 0.
s) <P 3 (abs)) is increased, and when the transported material inlet 32 is opened, a large air volume corresponding to the degree of vacuum is sucked from the clean room 10 on the transmission side into the air supply pipe 31.
【００５５】しかし、空気取入口３７を設けると、この
空気取入口３７から風量Ｑ3の空気が取り込まれるの
で、回転数ｎ3で回転していたとしても、回転数ｎ3に対
応する真空圧である真空圧Ｐ3となり、これ以上の真空
圧になることはない。[0055] However, when providing the inlet 37 air intake, the air flow rate Q 3 from the air inlet 37 is taken, even if it is rotated at a rotational speed n 3, vacuum pressure corresponding to the rotational speed n 3 next vacuum pressure P 3 is, does not become any more vacuum pressure.
【００５６】なお、空気取入口３７から取り入れる風量
Ｑを、Ｑ3＜Ｑ2＜Ｑ1と増加させてやれば、回転数ｎを
ｎ3＜ｎ2＜ｎ1と増やしても、真空圧Ｐは真空圧Ｐ1で一
定となり、気送管３１内の真空圧は一定値以上にはなら
ない。If the air volume Q taken in from the air inlet 37 is increased to Q 3 <Q 2 <Q 1 , even if the rotation speed n is increased to n 3 <n 2 <n 1 , the vacuum pressure P becomes constant in vacuum pressure P 1, the vacuum pressure of the pneumatic tubes 31 is not a predetermined value or more.
【００５７】排風機２２はインバータ３９に印加される
制御信号Ｓ１、Ｓ２によりケーブル２４を介して回転数
を制御する電圧ないし周波数が制御され、これにより吸
引風量が制御される。The voltage or frequency for controlling the rotation speed of the blower 22 via the cable 24 is controlled by the control signals S1 and S2 applied to the inverter 39, thereby controlling the amount of suction air.
【００５８】そして、インバータ３９は、高速運転を指
示する制御信号Ｓ１が入力されれば、排風機２２を高速
回転させて気送管３１の中の空気を気送搬送物３０を搬
送するに必要な強さで吸引する。When the control signal S1 for instructing the high-speed operation is input, the inverter 39 rotates the exhaust fan 22 at a high speed to transfer the air in the air supply pipe 31 to the air conveyance object 30. Aspirate with strong strength.
【００５９】また、低速運転を指示する制御信号Ｓ２が
入力されれば、排風機２２を低速回転させて気送管３１
の中の空気を低風量で吸引するが、この場合は気送搬送
物３０を搬送するに当たり搬送物投入口３２を開口した
際に送信側クリーンルーム内に気送管３１の中から発塵
するのを防止するに足る程度の低風量とする。When the control signal S2 for instructing low-speed operation is input, the air blower 22 is rotated at a low speed and the air supply pipe 31 is rotated.
In this case, air is sucked in at a low air flow rate. In this case, when the transported object loading port 32 is opened in transporting the transported transported product 30, dust is generated from the air transport pipe 31 into the transmission side clean room. Air flow is low enough to prevent
【００６０】搬送物投入口３２側では、図１に示すよう
に、フオトセンサ３６から気送搬送物３０の投入を検知
するための投入検知信号ＳＩが、また上昇受信器３８側
では、真空圧を検知する圧力スイッチ４０から気送搬送
物３０が到達したか否かを検知する到達検知信号ＳＯが
それぞれ出力されている。As shown in FIG. 1, an input detection signal SI for detecting the input of the pneumatic conveyed object 30 from the photo sensor 36 is provided on the side of the conveyed object input port 32, and a vacuum pressure is detected on the ascending receiver 38 side. An arrival detection signal SO for detecting whether or not the pneumatic conveyance object 30 has arrived is output from the pressure switch 40 for detection.
【００６１】また、回動蓋３３の開口端に設けられたマ
イクロスイッチ３５ａからは、図２に示すように、気送
管３１が開口したことを検知する接点信号ＭＯが、回動
蓋３３の閉止端に設けられたマイクロスイッチ３５ｂか
らは気送管３１が閉止したことを検知する接点信号ＭＳ
がそれぞれ出力されている。As shown in FIG. 2, a contact signal MO for detecting that the pneumatic tube 31 is opened is output from the microswitch 35a provided at the opening end of the rotating lid 33. A contact signal MS for detecting that the air supply pipe 31 is closed is provided from a microswitch 35b provided at the closed end.
Are output respectively.
【００６２】そして、これらの投入検知信号ＳＩ、到達
検知信号ＳＯ、接点信号ＭＯ、および接点信号ＭＳはす
べてコントローラ４１に入力され、一方、コントローラ
４１からは、回動蓋３３を回動させるための空気シリン
ダ３４の操作信号ＲＳと、上昇受信器３８で受信した気
送搬送物３０を取り出すための駆動装置４２を駆動する
操作信号ＡＳとを出力する。The closing detection signal SI, the arrival detection signal SO, the contact signal MO, and the contact signal MS are all input to the controller 41. On the other hand, from the controller 41, the turning cover 33 is turned. An operation signal RS for operating the air cylinder 34 and an operation signal AS for driving a driving device 42 for removing the pneumatic conveyance object 30 received by the ascending receiver 38 are output.
【００６３】このコントローラ４１には、送信側クリー
ンルーム１０から受信側クリーンルーム２０に気送搬送
物３０を気送するために必要なシーケンスプログラムが
内蔵されており、後述するように、インターフエイスの
一部として機能する気送要求端ＴＭからの気送要求によ
り、搭載されているマイクロコンピュータによりこれら
のプログラムが実行され、一連の気送運転が行われる。The controller 41 has a built-in sequence program necessary for pneumatically transporting the pneumatic conveyance object 30 from the transmission-side clean room 10 to the reception-side clean room 20, and as will be described later, a part of the interface. These programs are executed by an on-board microcomputer in response to a pneumatic request from the pneumatic request end TM functioning as a unit, and a series of pneumatic operations are performed.
【００６４】次に、上昇受信器３８の構成について具体
的に説明する。上昇受信器３８は気送搬送物３０を気送
管３１の中から気密を保持しながら回収すると共に回収
の順序を保持しながら所定位置に収納する機能を有する
が、これについては図４〜図１２を用いて以下に説明す
る。Next, the configuration of the ascending receiver 38 will be specifically described. The ascending receiver 38 has a function of collecting the pneumatic conveyance object 30 from the pneumatic tube 31 while maintaining the airtightness, and storing the pneumatic conveyance object 30 in a predetermined position while maintaining the collection order. 12 will be described below.
【００６５】回転軸５０は、図４に示すように、ベアリ
ング５１Ａを有する上側のベアリングホルダ５１とベア
リング５２Ａを有する下側のベアリングホルダ５２によ
り回動可能なように支持されている。As shown in FIG. 4, the rotating shaft 50 is rotatably supported by an upper bearing holder 51 having a bearing 51A and a lower bearing holder 52 having a bearing 52A.
【００６６】回転軸５０の上部の一端には、操作ハンド
ル５３が、ベアリングホルダ５１の上部近傍には時計方
向に回転する円盤状の位置決定プレート５４の中心部が
それぞれ固定され、ベアリングホルダ５２の下方の回転
軸５０の他端には、カセッテ５５が着脱自在に取り外し
が可能なように螺合されている。An operation handle 53 is fixed to one end of the upper part of the rotating shaft 50, and a center of a disk-shaped position determining plate 54 that rotates clockwise near the upper part of the bearing holder 51. At the other end of the lower rotating shaft 50, a cassette 55 is screwed so as to be detachably detachable.
【００６７】カセッテ５５は、図６に示すように、中心
にネジが切られた軸部５５Ａを有する円盤状の底板５５
Ｂの外縁に、円筒状の支持筒５５Ｃが固定されており，
この支持筒５５Ｃの上下部分にはドーナツ状の受板５５
Ｄと５５Ｅとが、８個のネジ５５Ｈｎとネジ５５Ｉｎ
（ｎ＝１〜８）とでそれぞれ固定された構造を有してい
る。As shown in FIG. 6, the cassette 55 has a disk-shaped bottom plate 55 having a shaft portion 55A threaded at the center.
A cylindrical support cylinder 55C is fixed to the outer edge of B.
Donut-shaped receiving plates 55 are provided on upper and lower portions of the support cylinder 55C.
D and 55E are the eight screws 55Hn and the screw 55In
(N = 1 to 8).
【００６８】この受板５５Ｄの周面には等間隔に複数の
大径の収納孔５５Ｆｎ（ｎ＝１〜１０）が、受板５５Ｅ
の周面には等間隔に各収納孔５５Ｆｎに対応する位置に
小径の収納孔５５Ｇｎ（ｎ＝１〜１０）がそれぞれ穿設
され、これらの収納孔５５Ｆｎと収納孔５５Ｇｎには、
気送搬送物としての試薬ビン５６が挿入される。A plurality of large-diameter storage holes 55Fn (n = 1 to 10) are equidistantly formed on the peripheral surface of the receiving plate 55D.
Small diameter storage holes 55Gn (n = 1 to 10) are drilled at positions corresponding to the respective storage holes 55Fn at equal intervals on the peripheral surface of the storage hole 55Fn and the storage holes 55Gn.
A reagent bin 56 is inserted as a pneumatic conveyance.
【００６９】試薬ビン５６は、図７に示すように、取出
口５６Ａが狭まった筒体５６Ｂを有するビン状に形成さ
れており、この取出口５６Ａを先端で覆うように例えば
ゴム製のキャップ５６Ｃがはめこまれ、その上から中央
部に孔のあいた金具５６Ｄで固定され、これらによりゴ
ム製のキャップ５６Ｃの一部が露出した試薬取出口５６
Ｅを構成をしている。As shown in FIG. 7, the reagent bottle 56 is formed in a bottle shape having a cylindrical body 56B having a narrow outlet 56A. A rubber cap 56C is formed so as to cover the outlet 56A with its tip. And a reagent outlet 56 from which a part of a rubber cap 56C is exposed.
E is configured.
【００７０】この試薬ビン５６は、図６に示すように、
カセッテ５５の収納孔５５Ｆnには試薬ビン５６の筒体
５６Ｂが、収納孔５５Ｇnには試薬取出口５６Ｅが来る
ように、つまり試薬ビン５６が逆さまになるように挿入
される。As shown in FIG. 6, the reagent bottle 56
Cylindrical body 56B of the receiving hole to 55F n reagent bottle 56 of the cassette 55, the accommodation hole 55G n to come reagent outlet 56E, i.e. reagent bottle 56 is inserted so that the upside-down.
【００７１】なお、図４に示すように、点線で示してあ
るカセッテ５７は、交換用の収納ホルダであり、操作ハ
ンドル５３を操作することにより回転軸５０に対してカ
セッテ５５と着脱自在に、あるいは上下動も自由であ
り、交換することができる。なお、カセッテ５５は通常
の固着手段により回転軸５０に固着することも可能であ
る。As shown in FIG. 4, a cassette 57 indicated by a dotted line is a storage holder for replacement. By operating the operation handle 53, the cassette 57 can be detachably attached to the rotary shaft 50 with respect to the rotary shaft 50. Alternatively, it is free to move up and down and can be replaced. Note that the cassette 55 can be fixed to the rotating shaft 50 by ordinary fixing means.
【００７２】カセッテ５５の上部に位置する上側のベア
リングホルダ５１と下側のベアリングホルダ５２とは、
所定の間隔を置いて矩形状の本体部５８の左端の上部端
と下部端の近傍にそれぞれ配設されている。The upper bearing holder 51 and the lower bearing holder 52 located above the cassette 55 are
The rectangular main body 58 is provided at a predetermined interval in the vicinity of the upper end and the lower end of the left end of the rectangular main body 58.
【００７３】本体部５８は、矩形状のブロックとして構
成され、図５に示すように、そのブロックの中心軸Ｐ−
Ｑが回転軸５０の中心軸に対して一方向（図５において
紙面の上方）にずらされて、回転軸５０の軸方向とは直
角方向に配設されている。The main body 58 is formed as a rectangular block, and as shown in FIG.
Q is displaced in one direction (above the paper surface in FIG. 5) with respect to the center axis of the rotating shaft 50, and is disposed in a direction perpendicular to the axial direction of the rotating shaft 50.
【００７４】そして、本体部５８には、中心軸Ｐ−Ｑを
中心として、図４に示すように、比較的大きな内径を有
する孔部５９と、これより小径の孔部６０とが形成され
ており、孔部５９が孔部６０に移行する部分は、孔部６
０の方向に内径が狭まるように傾斜した円形状の円錐面
５８Ａが形成され、これらの孔部５９、孔部６０および
円錐面５８Ａで可動体６４が移動できる移動空間６２を
構成している。As shown in FIG. 4, a hole 59 having a relatively large inner diameter and a hole 60 having a smaller diameter are formed in the main body 58 around the central axis PQ. The portion where the hole 59 is shifted to the hole 60 is the hole 6
A circular conical surface 58A that is inclined so that the inner diameter is reduced in the direction of 0 is formed, and the hole 59, the hole 60, and the conical surface 58A constitute a moving space 62 in which the movable body 64 can move.
【００７５】この移動空間６２の中には、可動体６４が
その軸方向に摺動可能なように挿入され、この可動体６
４はこの移動空間６２の内面とほぼ同じ形状をしている
が、その軸方向の長さは孔部５９の左端から円錐面５８
Ａを若干越える程度の長さとなっている。A movable body 64 is inserted into the moving space 62 so as to be slidable in the axial direction.
4 has substantially the same shape as the inner surface of the moving space 62, but its axial length is from the left end of the hole 59 to the conical surface 58.
The length is slightly over A.
【００７６】そして、可動体６４は、本体部５８に形成
された円錐面５８Ａと当接する位置に円錐面６４Ａが形
成され、これらの円錐面５８Ａと円錐面６４Ａでシール
部６１を構成し、径方向には気送管３１の垂直部３１ｃ
とほぼ同一の径を持つ格納孔６３が穿設されている。The movable body 64 has a conical surface 64A formed at a position where it contacts the conical surface 58A formed on the main body portion 58. The conical surface 58A and the conical surface 64A constitute a seal portion 61, and have a diameter. In the direction, the vertical part 31c of the pneumatic tube 31
A storage hole 63 having a diameter substantially the same as that of the storage hole 63 is formed.
【００７７】さらに、本体部５８の底部には、可動体６
４の左動端において格納孔６３に対応する位置に外部に
開放する排出口６５が穿設され、本体部５８の左端の開
放端側には中央に貫通孔６６が形成された閉塞部材６７
が配設されている。Further, the movable body 6 is provided at the bottom of the main body 58.
A closing member 67 having a discharge port 65 that opens to the outside at a position corresponding to the storage hole 63 at the left-hand end of the main body 4, and a through-hole 66 formed in the center at the open end side of the left end of the main body 58.
Are arranged.
【００７８】本体部５８の孔部６０には、図４，図５に
示すように、この孔部６０の中心軸に対して直角方向で
ある下方から気送管３１の垂直部３１ｃが移動空間６２
と連通するように挿入固定されているが、この垂直部３
１ｃは可動体６４の右動端において格納孔６３と対向す
る位置に配設される。As shown in FIGS. 4 and 5, a vertical portion 31c of the air supply pipe 31 is provided in the hole 60 of the main body 58 from below, which is a direction perpendicular to the center axis of the hole 60. 62
The vertical part 3
Reference numeral 1c is disposed at a position facing the storage hole 63 at the right end of the movable body 64.
【００７９】さらに、この移動空間６２は、気送管３１
の短い立上部３１ｄを介して直角に屈曲する屈曲部３１
ｅと連通され、ついで立ち下がる垂下部３１ｆに連絡さ
れて、全体としてＵ字状にコンパクトにまとめられた構
成とされている。Further, this moving space 62 is
Bent portion 31 bent at a right angle through short rising portion 31d
e, and then to a falling part 31f which falls, so that the whole is compactly arranged in a U-shape.
【００８０】そして、排気を排出する排出側の立上部３
１ｄにおける移動空間６２に臨む入口部分は、空気吸引
口３１ｇとして気送搬送物３０を受信した際に気送搬送
物３０が当接してシールできる形状になっている。The rising portion 3 on the discharge side for discharging exhaust gas
The entrance portion facing the moving space 62 in 1d has a shape that allows the pneumatic conveyance object 30 to abut and seal when the pneumatic conveyance object 30 is received as the air suction port 31g.
【００８１】この空気吸引口３１ｇのサイズｄは、図８
（Ａ）に示す気送搬送物３０を受信した状態から、図８
（Ｂ）に示すように可動体６４が移動し始め、気送管３
１の垂直部３１ｃの中に気送搬送物３０が落下しない位
置、つまり図８においてε＜０になる位置まで移動して
も、気送搬送物３０を空気吸引口３１ｇの底面に密着さ
せ保持できるサイズに選定する。The size d of the air suction port 31g is shown in FIG.
FIG. 8 shows a state in which the pneumatic conveyance object 30 shown in FIG.
The movable body 64 starts to move as shown in FIG.
Even if the pneumatic conveyance object 30 moves to a position where the pneumatic conveyance object 30 does not fall into the vertical portion 31c, that is, a position where ε <0 in FIG. 8, the pneumatic conveyance object 30 is held in close contact with the bottom surface of the air suction port 31g. Select a size that can be used.
【００８２】このように空気吸引口３１ｇのサイズｄを
選定することにより、可動体６４の移動の際にも気密性
を維持できると共に、気送搬送物３０を落下させること
なく確実に排出させることが可能となり、上昇受信器３
８における動作不良の最大の原因である可動体６４と本
体部５８とのかみ込みが防止でき、上昇受信器３８の信
頼性の向上を図ることができる。By selecting the size d of the air suction port 31g in this manner, airtightness can be maintained even when the movable body 64 moves, and the pneumatic conveyance object 30 can be reliably discharged without dropping. Becomes possible and the rising receiver 3
8 can prevent the movable body 64 and the main body 58 from becoming a major cause of the malfunction, and the reliability of the ascending receiver 38 can be improved.
【００８３】さらに、気送空気流は図８（Ｂ）の位置ま
では維持せしめ、気送搬送物３０が図８（Ｂ）の位置に
なった瞬間に、つまり受信して可動体６４の移動を開始
してから一定時間経過後に、排風器２２を停止して気送
空気流を止めることにより、上昇受信器３８外から上昇
受信器３８内への空気の吸い込みを確実に抑えることが
できる。Further, the pneumatic air flow is maintained up to the position shown in FIG. 8B, and the moment the pneumatic conveyance object 30 reaches the position shown in FIG. After a certain period of time has elapsed since the start of the operation, the air blower 22 is stopped to stop the pneumatic air flow, so that the suction of air from outside the ascending receiver 38 into the ascending receiver 38 can be reliably suppressed. .
【００８４】可動体６４の左端中央部は、図４に示すよ
うに、連結軸６８と螺合されており、この連結軸６８は
貫通孔６６を貫通して、閉塞部材６７に固定されたエア
シリンダ６９に連結されている。As shown in FIG. 4, the center of the left end of the movable body 64 is screwed with a connecting shaft 68. The connecting shaft 68 passes through the through hole 66 and is fixed to the closing member 67. It is connected to a cylinder 69.
【００８５】上昇受信器３８のエアシリンダ６９は、図
５に示すように、空気圧導入孔６９Ａと６９Ｂとが設け
られており、図１に示す駆動装置４２からこれらの空気
圧導入孔６９Ａと６９Ｂに空気圧を導入・排出すること
により連結軸６８を往復動させて可動体６４を左右に移
動させることができる。As shown in FIG. 5, the air cylinder 69 of the ascending receiver 38 is provided with air pressure introducing holes 69A and 69B, and the driving device 42 shown in FIG. By introducing and discharging air pressure, the connecting shaft 68 can be reciprocated to move the movable body 64 left and right.
【００８６】また、エアシリンダ６９には、図４に示す
ように、リミッタ６９Ｃと６９Ｄが例えばリードスイッ
チなどを用いて構成されており、連結軸６８に連結され
た可動体６４が右端にあるか左端にあるかの位置確認の
ための信号を送出する。As shown in FIG. 4, limiters 69C and 69D are formed in the air cylinder 69 using, for example, a reed switch, and the movable body 64 connected to the connecting shaft 68 is located at the right end. A signal for confirming the position at the left end is transmitted.
【００８７】ブッシャ７０は、フレーム状をなし、その
下端部にはエアシリンダ６９の連結軸６８と一体となっ
て往復動をする軸６９Ａが固定されており、ブッシャ７
０の上端部には２本のスライドロッド７１の一端が各々
固定されている。The busher 70 has a frame shape, and at the lower end thereof, a shaft 69A which reciprocates integrally with the connecting shaft 68 of the air cylinder 69 is fixed.
One end of each of two slide rods 71 is fixed to the upper end of the zero.
【００８８】スライドロッド７１は、エアシリンダ６９
に固定されたフレーム状のスライドガイド７２のガイド
孔７２Ａをガイドとして挿入されて延長されてあり、ス
ライドロッド７１とエアシリンダ６９の軸６９Ａとは、
図５に示すように、本体部５８のブロックの中心軸Ｐ−
Ｑの軸上に来るように配設されている。The slide rod 71 is connected to the air cylinder 69
The slide rod 71 and the shaft 69A of the air cylinder 69 are inserted and extended using the guide hole 72A of the frame-shaped slide guide 72 fixed to
As shown in FIG. 5, the central axis P-
It is arranged to be on the axis of Q.
【００８９】スライドロッド７１の他端には、レバーフ
オルダ７３がネジ７３Ａにより固定され、レバーフオル
ダ７３の下端部にはスライドロッド７１の軸方向に揺動
可能なようにピン７３Ｂを中心として回動する揺動片７
４が取り付けられている。A lever holder 73 is fixed to the other end of the slide rod 71 by a screw 73A, and a lower end of the lever holder 73 is pivoted about a pin 73B so as to be swingable in the axial direction of the slide rod 71. Rocking piece 7
4 is attached.
【００９０】この揺動片７４は、ピン７３Ｂを中心とし
て反時計方向の回転に対しては障害なく回転できるよう
に反時計方向から見てその先端部が斜めにカットされた
カット部７４Ａを有している。The swinging piece 74 has a cut portion 74A whose tip is obliquely cut as viewed from the counterclockwise direction so that the swinging piece 74 can be rotated without any obstacle to the counterclockwise rotation about the pin 73B. are doing.
【００９１】エンドプレート７５は、レバーフオルダ７
３を固定するネジ７３Ａの上からレバーフオルダ７３の
端面に、揺動片７４に達する長さに配設され、揺動片７
４がピン７３Ｂを中心として時計方向には回転できない
ように規制している。The end plate 75 is connected to the lever folder 7.
3 is disposed on the end face of the lever folder 73 from above the screw 73A for fixing the swing piece 74 to reach the swing piece 74.
4 restricts from rotating clockwise about the pin 73B.
【００９２】回転軸５０に固定された位置決定プレート
５４の外周には、図５に示すように、時計方向の回転に
対しては緩やかに反時計方向には急峻に立ち上がる１０
個の歯形５４Ａ〜５４Ｊが等間隔で形成されており、こ
れらの歯形５４Ａ〜５４Ｊの内側であって各歯形の間に
は所定長さの円柱状の１０個のピン７６Ａ〜７６Ｊが同
一中心円上に等間隔に植設されている。As shown in FIG. 5, on the outer periphery of the position determining plate 54 fixed to the rotating shaft 50, the clock rises gently in the clockwise direction and rises sharply in the counterclockwise direction.
The tooth shapes 54A to 54J are formed at equal intervals, and ten cylindrical pins 76A to 76J of a predetermined length are provided inside the tooth shapes 54A to 54J and between the tooth shapes. It is planted at equal intervals above.
【００９３】これらの歯形５４Ａ〜５４Ｊには、本体部
５８のブロックの中心軸Ｐ−Ｑに対して斜め４５度の方
向で回転軸５０の中心軸を向いて固定されたストッパ７
７のスライダ７７Ａに保持されたローラ７７Ｅが係合さ
れている。The tooth forms 54A to 54J have stoppers 7 fixed to the central axis of the rotary shaft 50 at an angle of 45 degrees with respect to the central axis PQ of the block of the main body 58.
The roller 77E held by the slider 77A of No. 7 is engaged.
【００９４】このストッパ７７は、図９に示すように、
ストッパケース７７Ｂの中にスプリング７７Ｃによって
外方に押圧されてスライドするスライダ７７Ａが挿入さ
れ、このスライダ７７Ａの先端部にはピン７７Ｄによっ
て回転自由に支持されたローラ７７Ｅが配設され、スト
ッパケース７７Ｂはネジ７７Ｆとネジ７７Ｇとで本体部
５８に固定される。This stopper 77 is, as shown in FIG.
A slider 77A which is slid outwardly pressed by a spring 77C is inserted into the stopper case 77B, and a roller 77E rotatably supported by a pin 77D is disposed at the tip of the slider 77A. Is fixed to the main body 58 with the screws 77F and 77G.
【００９５】次に、以上のように構成された上昇受信器
３８の動作について図１０〜図１２を用いて説明する。Next, the operation of the ascending receiver 38 configured as described above will be described with reference to FIGS.
【００９６】気送搬送物３０を上昇受信器３８で受信し
た状態では、図１０（Ａ）に示すように、可動体６４は
格納孔６３が気送管３１Ｃの垂直部３１ｃの真上にある
位置で停止しており、例えばカセッテ５５の大径孔５５
Ｆ2が排出口６５の真下に位置しているものとする。When the pneumatic conveyance object 30 is received by the ascending receiver 38, as shown in FIG. 10A, the movable body 64 has the storage hole 63 right above the vertical portion 31c of the pneumatic tube 31C. At the position, for example, the large-diameter hole 55 of the cassette 55.
It is assumed that F 2 is located immediately below the outlet 65.
【００９７】この状態では、位置決定プレート５４は、
図１０（Ｂ）に示すように、例えば揺動片７４がピン７
６Ａとピン７６Ｊとの間に介在し、またストッパ７７の
スライダ７７Ａは、図５に示すように、スプリング７７
Ｃで歯形５４Ａを押圧して位置決定プレート５４が回転
しないように拘束している。In this state, the position determining plate 54
As shown in FIG. 10B, for example, the swinging piece 74 is
6A and a pin 76J, and a slider 77A of a stopper 77 is provided with a spring 77A as shown in FIG.
C presses the tooth profile 54A to restrain the position determination plate 54 from rotating.
【００９８】次に、気送搬送物３０を排出するために移
行するときには、図１１に示すように、シリンダ６９の
操作により可動体６４と一体のプッシャ７０を介して矢
印ａの方向に移動するが、ピン７３Ｂに対して反時計方
向の回転には回転自由に支持された揺動片７４は位置決
定プレート５４を回転させることなく、位置決定プレー
ト５４に等間隔に植設されたピン７６Ｊを乗り越える。Next, when shifting to discharge the pneumatic conveyance object 30, as shown in FIG. 11, the cylinder 69 is moved in the direction of arrow a via the pusher 70 integrated with the movable body 64 by operating the cylinder 69. However, the pivoting piece 74, which is rotatably supported in the counterclockwise rotation with respect to the pin 73B, does not rotate the position determining plate 54, and the pins 76J implanted at equal intervals on the position determining plate 54 are used. get over.
【００９９】このため、カセッテ５５は、回転すること
なく、可動体６４の格納孔６３が排出口６５及びカセッ
テ５５に等間隔に設けられた収納孔５５Ｆ2の真上に来
た状態で格納孔６３に収納されている気送搬送物３０と
しての試薬ビン５６はカセッテ５５に図６に示すように
収納される。[0099] Therefore, the cassette 55, without rotating, storing hole in a state where storing hole 63 of the movable member 64 comes just above the accommodating hole 55F 2 provided at equal intervals in the outlet 65 and the cassette 55 The reagent bin 56 as the pneumatic conveyance object 30 stored in the 63 is stored in the cassette 55 as shown in FIG.
【０１００】このとき、カセッテ５５の受板５５Ｅには
収納孔５５Ｇ2等が設けられており、試薬取出口５６Ｅ
が受板５５Ｅに接触することがないので、試薬取出口５
６Ｅが汚染されることがなく、このため試薬取出口５６
Ｅに注射針をさして試薬を安全に抜き取ることができ
る。[0100] In this case, the receiving plate 55E of the cassette 55 and the like accommodating hole 55G 2 are provided, the reagent outlet 56E
Does not come into contact with the receiving plate 55E.
6E is not contaminated, so that the reagent outlet 56
The reagent can be safely removed by inserting a syringe needle into E.
【０１０１】逆に、気送搬送物３０を受信すために右に
移行するときは、図１２に示すように、シリンダ６９を
操作して矢印ｂの方向に右動させると揺動片７４がピン
７６Ａと係合し、揺動片７４がエンドプレート７５によ
り時計方向の回転が拘束されるので、位置決定プレート
５４を時計方向に１歩進させ、カセッテ５５の収納孔５
５Ｆ1が排出口６５の真下に来る。Conversely, when shifting to the right to receive the pneumatically conveyed object 30, as shown in FIG. 12, when the cylinder 69 is moved rightward in the direction of arrow b, the rocking piece 74 is moved. The rotation of the rocking piece 74 is restricted by the end plate 75 in the clockwise direction by engaging with the pin 76A.
5F 1 comes directly below the discharge port 65.
【０１０２】この際、位置決定プレート５４の外周には
等間隔にストッパ７７と係合する歯形５４Ｊ等が設けら
れているので、位置決定プレート５４が時計方向に回転
するときはスライダ７７Ａが一定の押圧力を歯形５４Ｊ
などに与えつつスプリング７７Ｃが圧縮される方向に退
行する。At this time, since the tooth profile 54J and the like engaging with the stopper 77 are provided at equal intervals on the outer periphery of the position determining plate 54, when the position determining plate 54 rotates clockwise, the slider 77A is fixed. Pressing force is tooth profile 54J
While retreating in the direction in which the spring 77C is compressed.
【０１０３】このため、スライダ７７Ａは、位置決定プ
レート５４が時計方向に回転歩進をするときの慣性力を
吸収して位置決定プレート５４の安定した歩進を保証す
る機能を持つ。For this reason, the slider 77A has a function of absorbing the inertial force when the position determining plate 54 makes a stepwise rotation in a clockwise direction and guaranteeing a stable stepping of the position determining plate 54.
【０１０４】以上のようにして、気送搬送物３０を受信
するときは、可動体６４を左動させて位置決定プレート
５４を回転させずに気送搬送物３０を排出口６５を介し
てカセッテ５５の所定位置に収納させる。As described above, when the pneumatic transport object 30 is received, the movable body 64 is moved to the left so that the position determining plate 54 is not rotated, and the pneumatic transport object 30 is inserted into the cassette through the discharge port 65. 55 at a predetermined position.
【０１０５】気送搬送物３０をカセッテ５５の所定位置
に収納させてから、受信状態に移行するときは可動体６
４を右動させて気送管３１の垂直部３１ｃに位置させる
と同時に位置決定プレート５４とカセッテ５５とをそれ
ぞれ１歩進させて次の受信に備える準備がなされる。After the pneumatic conveyance object 30 is stored at a predetermined position of the cassette 55 and the state is shifted to the reception state, the movable body 6
4 is moved to the right to be positioned at the vertical portion 31c of the pneumatic tube 31, and at the same time, the position determination plate 54 and the cassette 55 are each advanced by one step to prepare for the next reception.
【０１０６】このようにして、カセッテ５５には気送搬
送物３０を受信した順序で整然と気送搬送物３０が収納
されるので、一目で気送搬送物３０の受信の順序を識別
することができるメリットがあり、所定数の収納が完了
したらカセッテ５５ごと回転軸５０から取り外してカセ
ッテ５７等と交換する。In this manner, since the pneumatic transport products 30 are stored in the cassette 55 in the order in which the pneumatic transport products 30 are received, the receiving order of the pneumatic transport products 30 can be identified at a glance. When a predetermined number of storages are completed, the cassette 55 is removed from the rotary shaft 50 and replaced with the cassette 57 or the like.
【０１０７】以上のように、上昇受信器３８は、気送搬
送物を搬送順番に収納するに際して、駆動源としてエア
シリンダ６９だけを用いて可動体６４の移動とカセッテ
５５とを共に移動させるので、別の駆動源を用いる必要
がなく、このため機構が簡単となり、可能な限り小形化
が求められるクリーンベンチ等に置かれる上昇受信器と
して好適な構成となる。As described above, the ascending receiver 38 moves the movable body 64 and the cassette 55 together by using only the air cylinder 69 as a driving source when storing the pneumatic conveyance products in the conveyance order. Therefore, it is not necessary to use another drive source, so that the mechanism is simplified, and the configuration is suitable as an ascending receiver placed on a clean bench or the like where miniaturization is required as much as possible.
【０１０８】次に、以上のように構成された本発明に係
るクリーンルーム間の搬送システムにおいて気送搬送物
３０を気送により搬送する搬送方法について、図１３に
示すフローチャート図を用いて説明する。Next, a transport method for transporting the pneumatic transport object 30 by pneumatic transport in the transport system between clean rooms according to the present invention configured as described above will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
【０１０９】まず、ステップＳＴ１においてコントロー
ラ４１のインターフエイスである気送要求端ＴＭに気送
要求を出し、これによりステップＳＴ２ではコントロー
ラ４１がインバータ３９に排風機２２が低速運転するこ
とを指示する制御信号Ｓ２を出力して、排風機２２の低
風量運転を開始させる。First, in step ST1, a pneumatic request is issued to the pneumatic request end TM which is an interface of the controller 41, whereby the controller 41 instructs the inverter 39 to instruct the inverter 39 to operate the exhaust fan 22 at low speed in step ST2. The signal S2 is output to start the low air volume operation of the exhaust fan 22.
【０１１０】この後、コントローラ４１は、ステップＳ
Ｔ３において、搬送物投入口３２が完全に開口したか否
かを図２に示すマイクロスイッチ３５ａから出力される
接点信号ＭＯを監視することにより検知する。After that, the controller 41 proceeds to step S
At T3, it is detected whether or not the load 32 has been completely opened by monitoring the contact signal MO output from the microswitch 35a shown in FIG.
【０１１１】コントローラ４１が、開口したとの接点信
号ＭＯを検知したときは、ステップＳＴ４において、気
送搬送物３０が搬送物投入口３２から投入されるが、コ
ントローラ４１はステップＳＴ５において確実に投入さ
れたか否かをフオトセンサ３６から出力される投入検知
信号ＳＩを監視して検知する。When the controller 41 detects the contact signal MO indicating that it has been opened, in step ST4, the pneumatic conveyed object 30 is inserted through the conveyed object input port 32, but the controller 41 is surely input in step ST5. Whether or not the input has been performed is detected by monitoring the closing detection signal SI output from the photo sensor 36.
【０１１２】この後、コントローラ４１は、ステップＳ
Ｔ６において、搬送物投入口３２が完全に閉止されたか
否かを、図２に示すマイクロスイッチ３５ｂから出力さ
れる接点信号ＭＳにより検知する。After that, the controller 41 proceeds to step S
At T6, it is detected based on the contact signal MS output from the microswitch 35b shown in FIG. 2 whether or not the load 32 has been completely closed.
【０１１３】搬送物投入口３２が完全に閉止されたこと
を確認したら、ステップＳＴ７において、コントローラ
４１は、高風量運転を開始すべくインバータ３９に排風
機２２が高速運転することを指示する制御信号Ｓ１を出
力して、排風機２２の高風量運転を開始させる。After confirming that the conveyed material inlet 32 is completely closed, in step ST7, the controller 41 instructs the inverter 39 to instruct the inverter 39 to operate the exhaust fan 22 at high speed in order to start high air volume operation. S1 is output to start the high air volume operation of the exhaust fan 22.
【０１１４】これにより、搬送物投入口３２に投入され
た気送搬送物３０は、送信側クリーンルーム１０から気
送管３１の中を空気取入口３７から空気を取り込んで気
送により搬送される。ステップＳＴ８においては、高風
量運転開始から所定時間が経過したか否かの判断がコン
トローラ４１によりなされるが、この所定時間とは、気
送搬送物３０が上昇受信器３８の近傍に到着するまでの
時間である。As a result, the pneumatic conveyed object 30 introduced into the conveyed object input port 32 takes in air from the clean side of the transmitting side through the air supply pipe 31 from the air inlet 37 and is conveyed by pneumatic conveyance. In step ST8, the controller 41 determines whether or not a predetermined time has elapsed since the start of the high air volume operation. This predetermined time is determined until the pneumatic transport object 30 arrives near the rising receiver 38. It's time.
【０１１５】気送搬送物３０がこの上昇受信器３８に到
着したか否かは、ステップＳＴ９において、気送搬送物
３０が図８（Ａ）の状態になって垂下部３１ｆの真空圧
が上昇したときの真空圧を検知する圧力スイッチ４０の
到達検知信号ＳＯとして検出され、この到達検知信号Ｓ
Ｏは、コントローラ４１により検知される。It is determined in step ST9 whether the pneumatic transport object 30 has arrived at the ascending receiver 38, the pneumatic transport object 30 enters the state shown in FIG. 8A and the vacuum pressure in the hanging portion 31f increases. Is detected as the arrival detection signal SO of the pressure switch 40 for detecting the vacuum pressure at the time of the
O is detected by the controller 41.
【０１１６】気送搬送物３０の到着が到達検知信号ＳＯ
により確認されると、ステップＳＴ１０において、コン
トローラ４１は気送搬送物３０を取り出すための駆動装
置４２を駆動する操作信号ＡＳを出力してシリンダ６９
を駆動して可動体６４の退行の操作を開始させる。The arrival of the pneumatic conveyance object 30 indicates the arrival detection signal SO
In step ST10, the controller 41 outputs an operation signal AS for driving the driving device 42 for removing the pneumatic conveyance object 30, and outputs the operation signal AS to the cylinder 69.
To start the retreat operation of the movable body 64.
【０１１７】この後、ステップＳＴ１１において、コン
トローラ４１は可動体６４の退行操作を開始してから、
図８（Ｂ）に至る位置になる瞬間までの一定時間が経過
したか否かの判断を行うが、退行操作の開始は、例えば
図４に示すエアシリンダ６９に付属して可動体６４の右
端を検知するリミッタ６９Ｄから出力される開始信号に
より認識できる。After that, in step ST11, the controller 41 starts the retreat operation of the movable body 64,
It is determined whether or not a predetermined time has elapsed until the moment when the position reaches the position shown in FIG. 8B. The start of the retreat operation is performed by, for example, the right end of the movable body 64 attached to the air cylinder 69 shown in FIG. Can be recognized by the start signal output from the limiter 69D that detects the
【０１１８】一定時間が経過したら、ステップＳＴ１２
において、コントローラ４１は排風器２２を停止して気
送空気流を止めて、上昇受信器３８の外から上昇受信器
３８の中への空気の吸い込みを確実に抑える。After a lapse of a predetermined time, step ST12 is performed.
In, the controller 41 stops the exhaust fan 22 to stop the air supply airflow, and reliably suppresses the suction of air from outside the ascending receiver 38 into the ascending receiver 38.
【０１１９】この後、可動体６４を左端まで退行させ
て、ステップＳＴ１３において、排出口６５を介してカ
セッテ５５の所定位置に気送搬送物３０が収納され、こ
れにより一連のシーケンス制御を終了する。Thereafter, the movable body 64 is moved backward to the left end, and in step ST13, the pneumatic conveyance object 30 is stored at a predetermined position of the cassette 55 through the discharge port 65, thereby ending a series of sequence control. .
【０１２０】なお、以上の説明では、コントローラ４１
によりあらかじめプログラムされたシーケンスに従って
気送搬送物３０をクリーンルーム間に亘って気送により
搬送する場合について説明したが、これらの手順は手動
により実行することができることは言うまでもない。In the above description, the controller 41
Has described the case in which the pneumatic transport object 30 is transported by pneumatic transport between clean rooms according to a sequence programmed in advance, however, it goes without saying that these procedures can be executed manually.
【０１２１】また、今までの説明では、カセッテ５５の
歩進に関しては、位置決定プレート５４を用いて可動体
６４と連動させたが、これに限られず、例えば往復動に
対して１方向にのみ歩進するラチェットと組み合わせた
ギヤ機構などと可動体６４の動きとを連動させて実現す
ることもできる。In the description so far, the movement of the cassette 55 is linked with the movable body 64 using the position determination plate 54, but is not limited to this. The movement of the movable body 64 and the gear mechanism combined with the stepping ratchet can also be realized.
【０１２２】さらに、今までの説明では、上昇受信器３
８は下方から気送搬送物３０を上昇させて搬送する構成
として説明したが、排出口６５を垂直方向に配設して気
送搬送物３０が落下するように構成すれば、気送管３１
の導入の方向は必ずしも上昇方向に限ることはない。Further, in the description so far, the rising receiver 3
8 has been described as a configuration in which the pneumatic conveyance object 30 is lifted and conveyed from below, but if the discharge port 65 is arranged in the vertical direction so that the pneumatic conveyance object 30 falls, the pneumatic tube 31
The direction of introduction is not necessarily limited to the upward direction.
【０１２３】[0123]
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係るク
リーンルーム間の第１の搬送システムによれば、搬送物
投入口に搬送物を投入する際の開口に当たっては、低風
速で吸引するので、送信側クリーンルームの内部の空気
の流れ自体を大きく乱すことがなく、気送管からクリー
ンルームへの発塵を防止するすることができ、全体とし
てクリーンルーム内の清浄度を良好に維持することがで
きる。さらに、気送搬送物を上昇受信器で受信する際
に、気密を保持して受信する構成としたので、受信側ク
リーンルームの内部の空気の流れ自体を大きく乱すこと
がなく、受信側クリーンルームの内部の空気の清浄度を
良好に維持することができる。As described above, according to the first transfer system between clean rooms according to the present invention, suction is carried out at a low wind speed at the opening for loading a load into the load slot. Therefore, it is possible to prevent dust from flowing from the air pipe to the clean room without greatly disturbing the flow of air in the clean room on the transmission side, and to maintain the cleanliness in the clean room as a whole as a whole. . Furthermore, when receiving the pneumatic conveyed goods with the ascending receiver, the air-tightness is maintained while receiving, so that the air flow itself in the receiving-side clean room is not significantly disturbed, and the inside of the receiving-side clean room is not affected. Air cleanliness can be favorably maintained.
【０１２４】さらに、本発明に係るクリーンルーム間の
第２の搬送システムによれば、気送搬送物を上昇受信器
で受信する際に、気密を保持して受信する構成としたの
で、受信側クリーンルームの内部の空気の流れ自体を大
きく乱すことがなく、このため受信側クリーンルーム内
の空気の清浄度を良好に維持することができる。Further, according to the second transport system between clean rooms according to the present invention, when the pneumatic transported product is received by the ascending receiver, it is received while maintaining the airtightness. Therefore, the air flow in the receiving side is not significantly disturbed, so that the cleanliness of the air in the receiving-side clean room can be maintained satisfactorily.
【０１２５】さらに、本発明に係るクリーンルーム間の
搬送システムの第３の構成によれば、受信側クリーンル
ームに設けられた上昇受信器による気送搬送物の受信と
排出動作とカセッテの歩進動作を機械的に関連づけるこ
とにより、別の駆動源を上昇受信器に付加することな
く、受信器全体の小形化が達成できると共に、気送搬送
物の受信から収納までの一連の動作の信頼性の向上を図
ることができる。また、気送搬送物を気送順に収納する
ことにより、気送搬送物に係わる時間データ、性能デー
タの管理等が容易になると共に、例えば試薬ビンの気送
等の場合には、医療事故の発生が防止できる。さらに、
カセッテは着脱可能であるので、カセッテ自体の消毒等
も可能になり、この面からの医療事故の防止もできる。Further, according to the third configuration of the transport system between clean rooms according to the present invention, the operation of receiving and discharging the pneumatic transported material and the stepping operation of the cassette by the ascending receiver provided in the receiving-side clean room. By mechanically associating, it is possible to achieve the miniaturization of the entire receiver without adding another driving source to the ascending receiver, and to improve the reliability of a series of operations from reception to storage of the pneumatic conveyance. Can be achieved. In addition, by storing pneumatic transport products in the order of pneumatic transport, it becomes easy to manage time data and performance data related to the pneumatic transport products, and for example, in the case of pneumatic transport of reagent bottles, medical accidents may occur. Occurrence can be prevented. further,
Since the cassette is removable, the cassette itself can be disinfected, and a medical accident from this aspect can be prevented.
【０１２６】また、本発明に係るクリーンルーム間の搬
送方法によれば、空気取入口から空気が取り入れられる
ので、低風量運転時において、気送管内の真空圧の上昇
が抑えられ、搬送物投入口を開口する際には、開口した
瞬間に流れ込む空気流の量を制限することができ、クリ
ーンルーム内の空気流に乱れが生じるのを防ぐことがで
きる。Further, according to the transfer method between clean rooms according to the present invention, since air is taken in from the air intake, the rise of the vacuum pressure in the air supply pipe during the low air volume operation is suppressed, and the conveyed material inlet When opening the air conditioner, the amount of air flow flowing at the moment of opening can be limited, and the air flow in the clean room can be prevented from being disturbed.
【図１】本発明に係る搬送システムの実施の形態を示す
全体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an embodiment of a transport system according to the present invention.
【図２】図１に示す実施の形態における搬送物投入口の
構成を示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a configuration of a conveyed material inlet in the embodiment shown in FIG. 1;
【図３】図１に示す実施の形態における排風機の風量・
風圧特性を示す特性図である。FIG. 3 is a graph showing the air flow rate of the exhaust fan in the embodiment shown in FIG.
FIG. 4 is a characteristic diagram illustrating wind pressure characteristics.
【図４】図１に示す実施の形態における上昇受信部の具
体的な構成を示す部分側面図である。FIG. 4 is a partial side view showing a specific configuration of an ascending receiver in the embodiment shown in FIG. 1;
【図５】図１に示す実施の形態における上昇受信部の具
体的な構成を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a specific configuration of an ascending receiver in the embodiment shown in FIG. 1;
【図６】図４に示す実施の形態における上昇受信部のカ
セッテの構成を示す部分断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a configuration of a cassette of the ascending receiver in the embodiment shown in FIG.
【図７】図６に示す実施の形態における上昇受信部のカ
セッテに収納される試薬ビンの構成を示す断面図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a configuration of a reagent bottle stored in a cassette of the ascending receiver in the embodiment shown in FIG.
【図８】図４に示す実施の形態における上昇受信部の空
気吸引口の詳細を説明する拡大図であり、（Ａ）図は受
信時の状態を示す拡大図、（Ｂ）図は移動初期の状態を
示す拡大図である。8 is an enlarged view for explaining details of an air suction port of the ascending receiver in the embodiment shown in FIG. 4, wherein FIG. 8A is an enlarged view showing a state at the time of reception, and FIG. It is an enlarged view which shows the state.
【図９】図４に示す実施の形態におけるストッパの構成
を示し、（Ａ）図は上面図、（Ｂ）図は断面図である。9A and 9B show a configuration of a stopper in the embodiment shown in FIG. 4, wherein FIG. 9A is a top view and FIG. 9B is a cross-sectional view.
【図１０】図４に示す実施の形態における上昇受信器が
受信状態にあるときの動作を説明する動作説明図であ
り、（Ａ）図は上面図、（Ｂ）図は側面図である。10 is an operation explanatory diagram for explaining an operation when the ascending receiver in the embodiment shown in FIG. 4 is in a reception state, wherein FIG. 10A is a top view and FIG. 10B is a side view.
【図１１】図４に示す実施の形態における上昇受信器が
受信から排出への移行状態にあるときの動作を説明する
動作説明図であり、（Ａ）図は上面図、（Ｂ）図は側面
図である。11 is an operation explanatory diagram for explaining an operation when the ascending receiver in the embodiment shown in FIG. 4 is in a state of transition from reception to ejection, wherein FIG. 11A is a top view, and FIG. It is a side view.
【図１２】図４に示す実施の形態における上昇受信器が
排出から受信への移行状態にあるときの動作を説明する
動作説明図であり、（Ａ）図は上面図、（Ｂ）図は側面
図である。12A and 12B are explanatory diagrams illustrating an operation when the ascending receiver in the embodiment illustrated in FIG. 4 is in a state of transition from ejection to reception, in which FIG. 12A is a top view and FIG. It is a side view.
【図１３】図１に示す実施の形態における搬送方法を説
明するフローチャート図である。FIG. 13 is a flowchart illustrating a transport method in the embodiment shown in FIG.
【図１４】従来の搬送システムの構成を示す構成図であ
る。FIG. 14 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional transport system.
【図１５】図１４に示す搬送システムにおける上昇受信
器の構成を示す断面図であり、（Ａ）図は受信時の状態
を示す断面図、（Ｂ）図は排出時の状態を示す断面図で
ある。15A and 15B are cross-sectional views illustrating a configuration of an ascending receiver in the transport system illustrated in FIG. 14, in which FIG. 15A is a cross-sectional view illustrating a state at the time of reception, and FIG. It is.
【図１６】図１５に示す上昇受信器の問題点を説明する
説明図であり、（Ａ）図は受信時の状態を示す説明図、
（Ｂ）図は移動の初期状態を示す説明図である。16 is an explanatory diagram for explaining a problem of the ascending receiver shown in FIG. 15; FIG. 16A is an explanatory diagram showing a state at the time of reception;
(B) is an explanatory view showing an initial state of movement.
１０；送信側クリーンルーム、１１；クリーンルーム、
１２；空調機、１３；配管、１４；配管、１５；配管、
１６：空調機、１８；気送管、１９；搬送物投入口、２
０；受信側クリーンルーム、２１；上昇受信器、２１
Ａ；本体部、２１Ｂ；可動体、２１Ｃ；エアシリンダ、
２１Ｄ；収納箱、２１Ｅ；筒部、２１Ｆ；空気吸引口、
２１Ｇ；格納孔、２１Ｈ；貫通孔、２１Ｉ；閉塞板、２
１Ｊ；連結軸、２１Ｋ；排出口、２２：排風機、２３；
インバータ、２５；排気管、２７；空調機、２８；配
管、２９；配管、３０；気送搬送物、３１；気送管、３
１ａ；フランジ、３１ｃ；垂直部、３１ｄ；立上部、３
１ｅ；屈曲部、３１ｆ；垂下部、３１ｇ；空気吸引口、
３２；搬送物投入口、３３；回動蓋、３４；空気シリン
ダ、３５ａ；マイクロスイッチ、３５ｂ；マイクロスイ
ッチ、３６；フオトセンサ、３７；空気取入口、３８；
上昇受信器、３９；インバータ、４０；圧力スイッチ、
４１；コントローラ、４２；駆動装置、５０；回転軸、
５１；ベアリングホルダ、５２；ベアリングホルダ、５
３；操作ハンドル、５４；位置決定プレート、５４Ａ〜
５４Ｊ；歯形、５５；カセッテ、５５Ａ；軸部、５５
Ｂ；底板、５５Ｃ；支持筒、５５Ｄ；受板、５５Ｆｎ；
収納孔、５５Ｇｎ；収納孔、５６；試薬ビン、５６Ａ；
取出口、５６Ｅ；試薬取出口、５７；カセッテ、５８；
本体部、５８Ａ；円錐面、５９；孔部、６０；孔部、６
１；シール部、６３；格納孔、６４；可動体、６５；排
出口、６６；貫通孔、６７；閉塞部材、６８；連結軸、
６９；エアシリンダ、７０；プッシャ、７１；スライド
ロッド、７２；スライドガイド、７３；レバーフオル
ダ、７４；揺動片、７５；エンドプレート、７６Ａ〜７
６Ｊ；ピン、７７；ストッパ、７７Ａ；スライダ、７７
Ｃ；スプリング、７７Ｅ；ローラ、Ｓ１；制御信号、Ｓ
２；制御信号、ＳＩ；投入検知信号、ＳＯ；到達検知信
号、ＭＯ；接点信号、ＭＳ；接点信号、ＲＳ；操作信
号、ＡＳ；操作信号、ＴＭ；気送要求端。10: Clean room on the transmission side, 11: Clean room,
12; air conditioner, 13; pipe, 14; pipe, 15; pipe,
16: air conditioner, 18; pneumatic tube, 19;
0: receiving-side clean room, 21: ascending receiver, 21
A: body part, 21B: movable body, 21C: air cylinder,
21D: storage box, 21E: cylinder, 21F: air suction port,
21G; storage hole, 21H; through hole, 21I; closing plate, 2
1J; connecting shaft, 21K; outlet, 22: exhaust fan, 23;
Inverter, 25; exhaust pipe, 27; air conditioner, 28; piping, 29; piping, 30;
1a; flange, 31c; vertical part, 31d;
1e; bent portion, 31f; hanging portion, 31g; air suction port,
32; conveyed object inlet, 33; rotating lid, 34; air cylinder, 35a; micro switch, 35b; micro switch, 36; photo sensor, 37;
Ascending receiver, 39; inverter, 40; pressure switch,
41; a controller; 42; a driving device; 50;
51; bearing holder, 52; bearing holder, 5
3; operation handle, 54; position determination plate, 54A-
54J; Tooth profile, 55; Cassette, 55A; Shaft, 55
B: bottom plate, 55C; support cylinder, 55D; receiving plate, 55Fn;
Storage hole, 55Gn; Storage hole, 56; Reagent bottle, 56A;
Outlet 56E; reagent outlet 57; cassette 58;
Body, 58A; conical surface, 59; hole, 60; hole, 6
1; seal portion; 63; storage hole; 64; movable body; 65; discharge port; 66; through hole; 67; closing member;
69; air cylinder, 70; pusher, 71; slide rod, 72; slide guide, 73; lever folder, 74; swinging piece, 75; end plate, 76A to 7
6J; pin, 77; stopper, 77A; slider, 77
C: spring, 77E: roller, S1: control signal, S
2; control signal, SI; closing detection signal, SO; arrival detection signal, MO; contact signal, MS; contact signal, RS; operation signal, AS; operation signal, TM;
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 和年 千葉県千葉市稲毛区穴川４丁目９番１号 科学技術庁放射線医学総合研究所内 (72)発明者 吉田 兵吾 北海道室蘭市茶津町４番地 株式会社日本 製鋼所内 (72)発明者 伊藤 信夫 山形県村山市大字稲下1403−１ 株式会社 エツキ内 (72)発明者 佐藤 雅郎 東京都文京区湯島１丁目12番３号 株式会 社日本シューター内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kazunori Suzuki 4-9-1 Anaigawa, Inage-ku, Chiba-shi, Chiba Prefectural Science and Technology Agency Inside the National Institute of Radiological Sciences Japan Steel Works, Ltd. (72) Inventor Nobuo Ito 1403-1 Inashita, Murayama, Yamagata Prefecture Etsuki Corporation (72) Inventor Masao Sato 1-12-3 Yushima, Bunshima-ku, Tokyo Japan Shoter Corporation
Claims (14)
ンルームに気送管が延長され該気送管の中に気送搬送物
を投入して前記受信側クリーンルームで該気送搬送物を
受信するクリーンルーム間の搬送システムであって、 前記受信側クリーンルーム内に配設され気密を保持して
前記気送搬送物を受信する上昇受信器と、 該上昇受信器の後の前記気送管に配設され前記気送搬送
物の送信開始の際に前記気送管の内部の空気を低風量で
吸引する排風手段とを具備することを特徴とするクリー
ンルーム間の搬送システム。A pneumatic pipe is extended from a clean room on a transmitting side to a clean room on a receiving side, and a pneumatic carrier is inserted into the pneumatic tube to receive the pneumatic carrier in the clean room on the receiving side. A transport system, comprising: an ascending receiver disposed in the receiving-side clean room for receiving the pneumatically conveyed product while maintaining airtightness; and an ascending receiver disposed in the pneumatic tube after the ascending receiver. A transfer system between clean rooms, comprising: an exhaust unit that sucks in the air inside the pneumatic tube at a low air volume when starting the transmission of the transported object.
され前記気送管に設けられた空気取入口を具備する請求
項１に記載のクリーンルーム間の搬送システム。2. The transfer system between clean rooms according to claim 1, further comprising an air inlet provided outside the transmission-side clean room and provided in the air pipe.
ルームより清浄度の低いクリーンルームに配設された請
求項２に記載のクリーンルーム間の搬送システム。3. The transfer system between clean rooms according to claim 2, wherein the air inlet is disposed in a clean room having a lower degree of cleanliness than the transmitting side clean room.
体との間に設けられたシール部により行う請求項１に記
載のクリーンルーム間の搬送システム。4. The transport system between clean rooms according to claim 1, wherein the hermeticity is performed by a seal portion provided between the main body portion and a movable body that moves in the main body portion and stores the pneumatic conveyed material.
ンルームに気送管が延長され該気送管の中に気送搬送物
を投入して前記受信側クリーンルームで該気送搬送物を
受信するクリーンルーム間の搬送システムであって、 本体部の中を移動する可動体と前記本体部との気密を保
持して前記気送搬送物を前記可動体に格納する上昇受信
器を具備することを特徴とするクリーンルーム間の搬送
システム。5. A clean room in which a pneumatic pipe is extended from a clean room on the transmitting side to a clean room on the receiving side, a pneumatic carrier is put into the pneumatic tube, and the pneumatic carrier is received in the clean room on the receiving side. A transport system, comprising: a movable body that moves in a main body, and an ascending receiver that stores the pneumatic transport article in the movable body while maintaining airtightness between the main body and the movable body. Transport system between.
の間に設けられたシール部により行う請求項５に記載の
クリーンルーム間の搬送システム。6. The transport system between clean rooms according to claim 5, wherein the hermeticity is performed by a seal provided between the main body and the movable body.
するときに前記本体部の内部と前記可動体とが当接する
ように互いに円錐面を形成してシールを行う請求項６に
記載のクリーンルーム間の搬送システム。7. The seal according to claim 6, wherein the seal portion seals by forming conical surfaces with each other so that the inside of the main body portion and the movable body come into contact with each other when the pneumatic conveyance object is received. Transfer system between clean rooms.
イズは、前記気送搬送物が移動されて前記気送管の中に
落下しない位置まで吸着可能な大きさに選定された請求
項５に記載のクリーンルーム間の搬送システム。8. The size of the air suction port formed in the main body is selected to be a size that can be sucked up to a position where the pneumatic conveyance object is moved and does not fall into the pneumatic tube. 5. The transfer system between clean rooms according to 5.
きる可動体と連動して歩進するカセッテを有し、前記気
送搬送物を受信する毎に前記カセッテに前記気送搬送物
を順次に位置を変えて収納する請求項５に記載のクリー
ンルーム間の搬送システム。9. The ascending receiver has a cassette that moves in step with a movable body capable of storing the pneumatic transport object, and the cassette is moved to the cassette each time the pneumatic transport product is received. 6. The transfer system between clean rooms according to claim 5, wherein the position is sequentially changed and stored.
１往復動に対して１歩進する位置決定プレートを介して
行われる請求項９に記載のクリーンルーム間の搬送シス
テム。10. The transport system between clean rooms according to claim 9, wherein the cassette is stepped by a position determining plate that moves one step with respect to one reciprocation of the movable body.
ーンルームに気送管が延長され該気送管の中に気送搬送
物を投入して前記受信側クリーンルームで該気送搬送物
を受信するクリーンルーム間の搬送システムであって、
前記受信側クリーンルームに設けられた上昇受信器によ
る前記気送搬送物の受信と排出動作に連動して個別に前
記気送搬送物を収納するカセッテを具備することを特徴
とするクリーンルーム間の搬送システム。11. A clean room in which a pneumatic pipe is extended from a clean room on the transmitting side to a clean room on the receiving side, a pneumatic carrier is put in the pneumatic tube, and the pneumatic carrier is received in the clean room on the receiving side. A transport system,
A transport system between clean rooms, comprising a cassette for individually storing the pneumatic conveyance in conjunction with the receiving and discharging operations of the pneumatic conveyance by an ascending receiver provided in the reception-side clean room. .
を送出するときは気送管の内部の空気を排風手段により
低風量で吸引してから、搬送物投入口を開口して前記気
送搬送物を前記気送管に投入し、この後、前記搬送物投
入口を閉塞して前記送信側クリーンルームの外部に配設
された前記気送管の空気取入口から前記排風手段により
高風量で前記気送管を介して空気を吸引して前記気送搬
送物を受信側クリーンルームに搬送し、前記気送搬送物
を上昇受信器で受信した後、一定時間の経過後に前記吸
引を停止して前記気送搬送物を取り出すことを特徴とす
るクリーンルーム間の搬送方法。12. When sending a pneumatic conveyed product from the clean room on the transmission side, the air inside the pneumatic pipe is sucked at a low air flow rate by an exhaust means, and then the conveyed material inlet is opened to open the pneumatic conveyed product. An object is put into the pneumatic pipe, and thereafter, the conveyed article input port is closed, and a high air flow rate is provided by the exhaust means from the air inlet of the pneumatic pipe arranged outside the transmission-side clean room. The air is conveyed to the receiving-side clean room by suctioning air through the pneumatic pipe, and after receiving the pneumatic conveyed article with the ascending receiver, the suction is stopped after a certain period of time. A method for transporting between clean rooms, wherein the transported articles are taken out.
ンルームより清浄度の低いクリーンルーム内の気送管に
設けられた請求項１２に記載のクリーンルーム間の搬送
方法。13. The transfer method between clean rooms according to claim 12, wherein the air intake is provided in a pneumatic pipe in a clean room having a lower cleanness than the clean room on the transmission side.
信後に前記気送搬送物が可動体により前記気送管の中に
落下しなくなる位置まで移動する時間とする請求項１２
に記載のクリーンルーム間の搬送方法。14. The fixed time period is a time period in which after the pneumatic transport object is received, the pneumatic transport object moves to a position at which the movable body does not drop into the pneumatic tube by a movable body.
The transfer method between clean rooms described in the above.
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|---|---|---|---|
| JP2000009156A JP3446824B2 (en) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | Transfer system between clean rooms and transfer method thereof |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102358485A (en) * | 2011-06-21 | 2012-02-22 | 山东大学 | Sample pneumatic transmission device |
-
2000
- 2000-01-18 JP JP2000009156A patent/JP3446824B2/en not_active Expired - Lifetime
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| CN102358485A (en) * | 2011-06-21 | 2012-02-22 | 山东大学 | Sample pneumatic transmission device |
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