JP2001195792A - Magneto-optical recording medium and reproducing method thereof - Google Patents

Magneto-optical recording medium and reproducing method thereof

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JP2001195792A
JP2001195792A JP2000189879A JP2000189879A JP2001195792A JP 2001195792 A JP2001195792 A JP 2001195792A JP 2000189879 A JP2000189879 A JP 2000189879A JP 2000189879 A JP2000189879 A JP 2000189879A JP 2001195792 A JP2001195792 A JP 2001195792A
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layer
magnetic
magneto
temperature
recording medium
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JP2000189879A
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Japanese (ja)
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Motoyoshi Murakami
元良 村上
Takeshi Sakaguchi
武 坂口
Yasumori Hino
泰守 日野
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the deficiency of resolution and the generation of noise factor in the reproduction which are caused by the generation of the transfer even in a zone unnecessary for the transfer of recording magnetic domain. SOLUTION: This magneto-optical recording medium is provided with a recording layer 5, on which information is recorded in the magnetization direction vertical to the film surface, a reproducing layer 3, on which the information recorded on the recording layer 5 is transferred to be formed as the reproducing magnetic domain in the magnetization direction vertical to the film surface by the magnetic coupling and a transfer control layer 6 magnetically coupled with the recording layer 5, the magnetization direction of the recording layer 5 is opposed to the magnetization direction of the transfer control layer 6 corresponding to the recording layer 5 in the temperature range below the temperature, at which the reproducing magnetic domain is transferred on the reproducing layer 3, and the temperature of the transfer control layer 6 is equal to or above the Curie temperature in the temperature range equal to or above the transferring temperature.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気光学効果を利
用してレーザ光により情報の記録再生を行う光磁気記録
媒体及びその再生方法に関し、より具体的には、記録信
号の高密度化を可能とする光磁気記録媒体及びその再生
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium for recording and reproducing information by a laser beam utilizing a magneto-optical effect, and a reproducing method therefor. The present invention relates to a magneto-optical recording medium and a reproducing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】高密度で書き換え可能な記録再生方式で
ある光磁気記録では、レーザ光の照射により、光磁気記
録媒体の積層された磁性膜(記録膜構造)の一部を局部
的にキュリー温度或いは補償組成温度以上に加熱し、そ
の記録膜構造に含まれる磁性膜の所定部分に、外部磁界
で記録磁区を形成することにより情報信号を記録し、こ
の情報を磁気光学効果を用いて読み出す。
2. Description of the Related Art In magneto-optical recording, which is a high-density rewritable recording / reproducing method, a part of a laminated magnetic film (recording film structure) of a magneto-optical recording medium is locally cured by irradiating a laser beam. The information signal is recorded by heating to a temperature higher than the temperature or the compensating composition temperature, and forming a recording magnetic domain with an external magnetic field in a predetermined portion of the magnetic film included in the recording film structure, and reading this information using the magneto-optical effect. .

【0003】このような光磁気記録媒体への光磁気記録
方式の一つとして、半導体レーザ等により一定強度のレ
ーザ光を照射して記録磁性膜の温度を全体的に上昇させ
た上で、記録信号に応じて向きが変調された外部磁界を
用いて、所定の部分に熱磁気記録を行う磁界変調記録方
式がある。また、他の記録方式として、一定強度の外部
磁界を印加しながら、記録信号に応じて強度変調された
レーザ光を照射して所定の部分の記録磁性膜の温度を上
昇させることによって、外部磁界の方向に熱磁気記録を
行う光変調記録方式がある。
[0003] As one of the magneto-optical recording methods for such a magneto-optical recording medium, a laser beam of a constant intensity is irradiated by a semiconductor laser or the like to raise the temperature of the recording magnetic film as a whole, and then perform recording. There is a magnetic field modulation recording system in which thermomagnetic recording is performed on a predetermined portion using an external magnetic field whose direction is modulated according to a signal. Further, as another recording method, while applying an external magnetic field of a constant intensity, a laser beam intensity-modulated according to a recording signal is irradiated to raise the temperature of a predetermined portion of the recording magnetic film to thereby increase the external magnetic field. There is an optical modulation recording system that performs thermomagnetic recording in the direction of.

【0004】また、記録信号の再生時には、偏光方向が
一方向に揃ったレーザ光(再生光)を光磁気記録媒体の
上に集光すると、光磁気記録媒体による磁気光学効果に
よって、記録磁区の磁化の方向が、その反射光或いは透
過光における偏光方向の回転として検出される。これに
よって、記録された情報信号が再生される。
In reproducing a recording signal, when a laser beam (reproducing light) whose polarization direction is aligned in one direction is condensed on a magneto-optical recording medium, the magneto-optical effect of the magneto-optical recording medium causes the recording magnetic domain to be formed. The direction of the magnetization is detected as rotation of the polarization direction of the reflected light or transmitted light. Thereby, the recorded information signal is reproduced.

【0005】しかし、従来の光磁気記録媒体では、記録
磁区のサイズが再生光の光磁気記録媒体上における光ス
ポット(再生光スポット)のサイズ以下に小さくなる
と、再生対象となる記録磁区だけではなく、その前後に
位置する記録磁区までが、再生光スポット(すなわち検
出範囲)に含まれるようになる。このため、それらの記
録磁区からの干渉のために、再生信号が小さくなってS
/N比が低下する、或いは再生信号が出力されない、な
どの問題が発生する。
However, in the conventional magneto-optical recording medium, when the size of the recording magnetic domain becomes smaller than the size of the light spot (reproducing light spot) of the reproducing light on the magneto-optical recording medium, not only the recording magnetic domain to be reproduced but also the recording magnetic domain becomes small. The recording magnetic domains located before and after that are included in the reproduction light spot (that is, the detection range). For this reason, the reproduced signal becomes small due to interference from the recording magnetic domains, and S
Problems such as a decrease in the / N ratio or no output of the reproduction signal occur.

【0006】この問題を解決するために、再生光スポッ
トの一部の領域から再生信号を読み出す、磁気的超解像
を用いた光磁気記録方式が提案されている。
In order to solve this problem, a magneto-optical recording system using magnetic super-resolution has been proposed, in which a reproduction signal is read from a partial area of a reproduction light spot.

【0007】(I) 以下に、磁気的超解像方式の一方
式であるダブルマスク方式と呼ばれる磁気的超解像を用
いた光磁気記録再生方式について、簡単に説明する。
(I) A magneto-optical recording / reproducing method using a magnetic super-resolution called a double mask method, which is one of the magnetic super-resolution methods, will be briefly described below.

【0008】図12は、ダブルマスク方式による再生時
の構成を示すものであり、(a)は、従来のダブルマス
ク方式における光磁気記録媒体60のトラックの一部を
示す平面図であり、(b)は、その光磁気記録媒体60
の記録膜構造の構成(特に磁化の方向)を示す断面図で
ある。
FIG. 12 shows a structure at the time of reproduction by the double mask system. FIG. 12A is a plan view showing a part of a track of the magneto-optical recording medium 60 in the conventional double mask system. b) shows the magneto-optical recording medium 60
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration (particularly, the direction of magnetization) of the recording film structure of FIG.

【0009】図12(b)の断面図に示されるように、
光磁気記録媒体60の記録膜構造は、基板(不図示)の
上に順に積層された再生層63、再生補助層64、中間
層65、及び記録層66を含んで構成される。図12
(b)に示す矢印160は、光磁気記録媒体60のトラ
ックに沿った移動方向であり、各層63〜66の中に描
かれている矢印は、各々の場所における磁化の方向を示
す。
As shown in the sectional view of FIG.
The recording film structure of the magneto-optical recording medium 60 includes a reproducing layer 63, a reproducing auxiliary layer 64, an intermediate layer 65, and a recording layer 66 which are sequentially stacked on a substrate (not shown). FIG.
The arrow 160 shown in (b) is the moving direction along the track of the magneto-optical recording medium 60, and the arrows drawn in each of the layers 63 to 66 indicate the direction of magnetization at each location.

【0010】この従来の光磁気記録媒体60は、再生光
スポット67の領域に印加される再生磁界生成手段61
と、移動方向160において再生磁界生成手段61の前
方に位置された初期化磁界生成手段62とを、必要とす
る。なお、以下では、再生磁界生成手段61によって生
成される再生磁界、並びに初期化磁界生成手段62によ
って生成される初期化磁界に対しても、それぞれ参照番
号61及び62を使用する。
The conventional magneto-optical recording medium 60 comprises a reproducing magnetic field generating means 61 applied to a region of a reproducing light spot 67.
And the initialization magnetic field generation means 62 located in front of the reproduction magnetic field generation means 61 in the moving direction 160. In the following, reference numerals 61 and 62 are used for the reproducing magnetic field generated by the reproducing magnetic field generating means 61 and the initialization magnetic field generated by the initializing magnetic field generating means 62, respectively.

【0011】このように構成されたダブルマスク方式の
光磁気記録媒体60の再生動作について、説明する。
The reproduction operation of the double-mask type magneto-optical recording medium 60 thus configured will be described.

【0012】まず、信号(情報)は、予め記録層66に
記録磁区69として熱磁気記録されている。再生時にレ
ーザ光が照射される前には、再生層63の磁化の方向
が、初期化磁界62の方向に揃えられている。再生時に
は、図12(a)に示すように、回転中の光磁気記録媒
体60に再生レーザ光を照射して再生光スポット67を
形成し、記録膜構造の温度を上昇させる。これによっ
て、光磁気記録媒体60の上に図12(a)に示すよう
な温度分布が生じ、低温領域71、高温領域72、及び
中間温度領域70が形成される。
First, a signal (information) is thermomagnetically recorded in the recording layer 66 as a recording magnetic domain 69 in advance. Before the laser beam is applied during reproduction, the direction of magnetization of the reproduction layer 63 is aligned with the direction of the initialization magnetic field 62. During reproduction, as shown in FIG. 12A, a reproducing laser beam is irradiated to the rotating magneto-optical recording medium 60 to form a reproduction light spot 67, and the temperature of the recording film structure is raised. As a result, a temperature distribution as shown in FIG. 12A is generated on the magneto-optical recording medium 60, and a low-temperature region 71, a high-temperature region 72, and an intermediate temperature region 70 are formed.

【0013】ここで、再生層63の磁化の方向は、室温
近傍の低温領域71では、中間層65により再生層63
と記録層66との交換結合が遮断されているため、初期
化磁界62の方向に揃っている。中間温度領域70で
は、再生レーザ光の照射による温度上昇に伴って、再生
層63の保磁力が低下すること、及び中間層65が面内
磁気異方性を有する面内磁化膜から垂直磁気異方性を有
する垂直磁化膜へ遷移することにより、再生層63と記
録層66との交換結合が支配的となり、再生層63の磁
化の向きは、記録層66の磁化の向きに揃えられる。
The direction of magnetization of the reproducing layer 63 is determined by the intermediate layer 65 in the low-temperature region 71 near room temperature.
Since the exchange coupling between the magnetic field and the recording layer 66 is interrupted, they are aligned in the direction of the initialization magnetic field 62. In the intermediate temperature region 70, the coercive force of the reproducing layer 63 decreases as the temperature rises due to the irradiation of the reproducing laser beam, and the intermediate layer 65 moves from the in-plane magnetic film having in-plane magnetic anisotropy to the perpendicular magnetic field. The transition to the anisotropic perpendicular magnetization film makes the exchange coupling between the reproduction layer 63 and the recording layer 66 dominant, and the magnetization direction of the reproduction layer 63 is aligned with the magnetization direction of the recording layer 66.

【0014】更に、再生補助層64のキュリー温度Tc
以上となる高温領域72においては、再生補助層64の
磁化が消失するため、再生層63と中間層65及び記録
層66との間の交換結合が遮断されて、保磁力の小さい
再生層63の磁化は再生磁界61の向きに揃えられる。
従って、再生光スポット67の内部の低温領域71と高
温領域72との両方が記録磁区69をマスクすることに
なって、中間温度領域70に存在する記録磁区69のみ
から、反射光を通じて情報を再生信号として読み出すこ
とができる。
Further, the Curie temperature Tc of the reproduction assisting layer 64
In the high temperature region 72 described above, since the magnetization of the reproduction auxiliary layer 64 disappears, the exchange coupling between the reproduction layer 63 and the intermediate layer 65 and the recording layer 66 is interrupted, and the reproduction layer 63 having a small coercive force is cut off. The magnetization is aligned with the direction of the reproducing magnetic field 61.
Therefore, both the low-temperature region 71 and the high-temperature region 72 inside the reproduction light spot 67 mask the recording magnetic domain 69, and information is reproduced only from the recording magnetic domain 69 existing in the intermediate temperature region 70 through reflected light. It can be read as a signal.

【0015】ここで、再生磁界61の方向は初期化磁界
62とは反対方向である。そして、再生光スポット67
が通りすぎた後は、記録層66の温度が再び下がり、記
録層66と再生層63とは、中間層65により遮断され
た状態に戻る。
Here, the direction of the reproducing magnetic field 61 is opposite to the direction of the initializing magnetic field 62. Then, the reproduction light spot 67
, The temperature of the recording layer 66 decreases again, and the recording layer 66 and the reproducing layer 63 return to a state where they are cut off by the intermediate layer 65.

【0016】このような光磁気記録媒体60によれば、
記録磁区69が再生光スポット67より小さくても、前
後の記録磁区69からの干渉を生じることなく、記録情
報を高密度で再生することができる。
According to such a magneto-optical recording medium 60,
Even if the recording magnetic domain 69 is smaller than the reproducing light spot 67, it is possible to reproduce recorded information at high density without causing interference from the preceding and following recording magnetic domains 69.

【0017】しかし、上記の光磁気記録媒体60では、
再生層63の磁化方向を一方向に揃えるため初期化磁界
62或いは再生磁界61を必要とするという欠点があ
る。
However, in the above-described magneto-optical recording medium 60,
There is a disadvantage that an initialization magnetic field 62 or a reproducing magnetic field 61 is required to align the magnetization direction of the reproducing layer 63 in one direction.

【0018】そこで、上記のような欠点を解決するため
の磁気的超解像を用いた再生方法も、提案されている。
Therefore, a reproducing method using magnetic super-resolution for solving the above-mentioned disadvantage has been proposed.

【0019】以下には、初期化磁界及び再生磁界が不要
な一つの方法として、図13(a)及び(b)を参照し
ながら、特開平5−81717号公報に提案されている
方法を説明する。図13(a)は、上記公報に開示され
ている光磁気記録媒体80のトラックの一部を示す平面
図であり、(b)は、その光磁気記録媒体80の記録膜
構造の構成(特に磁化の方向)を示す断面図である。
Hereinafter, a method proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-81717 will be described with reference to FIGS. 13A and 13B as one method that does not require an initializing magnetic field and a reproducing magnetic field. I do. FIG. 13A is a plan view showing a part of a track of the magneto-optical recording medium 80 disclosed in the above publication, and FIG. 13B is a diagram showing a configuration of a recording film structure of the magneto-optical recording medium 80 (particularly, FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a direction of magnetization).

【0020】図13(b)の断面図に示すように、光磁
気記録媒体80は、基板(不図示)の上に形成された再
生層83及び記録層85を含む記録膜構造を有してお
り、再生層83と記録層85との間には、中間層84が
設けられている。図13(a)に示す矢印180は、光
磁気記録媒体80のトラックに沿った移動方向であり、
図13(b)の各層83及び85の中に描かれている矢
印は、各々の場所における磁化の方向を示す。なお、光
磁気記録媒体80では、先に説明した光磁気記録媒体6
0とは異なり、再生層83として、室温では面内磁気異
方性を有する磁性膜が用いられる。
As shown in the sectional view of FIG. 13B, the magneto-optical recording medium 80 has a recording film structure including a reproducing layer 83 and a recording layer 85 formed on a substrate (not shown). An intermediate layer 84 is provided between the reproducing layer 83 and the recording layer 85. An arrow 180 shown in FIG. 13A is a moving direction of the magneto-optical recording medium 80 along a track.
The arrows drawn in each of the layers 83 and 85 in FIG. 13B indicate the direction of magnetization at each location. In the magneto-optical recording medium 80, the magneto-optical recording medium 6 described above is used.
Unlike the recording layer 83, a magnetic film having in-plane magnetic anisotropy at room temperature is used as the reproducing layer 83.

【0021】光磁気記録媒体60と同様に、光磁気記録
媒体80の情報の再生時には、再生レーザ光を照射して
再生光スポット87を形成する。再生レーザ光が回転中
の光磁気記録媒体80に照射されると、再生層83及び
記録層85を含む記録膜構造の温度分布は、再生光スポ
ット87の円の中心に対して回転対称とはならず、再生
光スポット87の照射済みの部分と再生光スポット87
の後方の右端部分とが、高温領域90となる。また、高
温領域90の外部であって再生光スポット87に含まれ
る部分が、低温領域91となる。
Similarly to the magneto-optical recording medium 60, when reproducing information from the magneto-optical recording medium 80, a reproducing laser beam is irradiated to form a reproducing light spot 87. When the reproducing laser beam is applied to the rotating magneto-optical recording medium 80, the temperature distribution of the recording film structure including the reproducing layer 83 and the recording layer 85 is not rotationally symmetric with respect to the center of the circle of the reproducing light spot 87. However, the irradiated portion of the reproduction light spot 87 and the reproduction light spot 87
Is a high temperature region 90. A portion outside the high-temperature region 90 and included in the reproduction light spot 87 becomes a low-temperature region 91.

【0022】このように構成された光磁気記録媒体80
の再生動作について、説明する。
The magneto-optical recording medium 80 thus configured
Will be described.

【0023】記録信号は、熱磁気記録によって、記録層
85に再生光スポット87よりも小さい記録磁区89と
して予め記録されている。再生層83は、室温で面内磁
化膜であり、再生光スポット87の内部の高温領域90
の部分でのみ垂直磁化膜となる特性を有する磁性膜であ
る。再生レーザ光が照射されると、温度が上昇して、高
温領域90及び低温領域91が形成される。高温領域9
0では、再生層83が垂直磁化膜に変化し、中間層84
を介しての磁気的結合によって記録層85の磁化の向き
に揃う。光磁気記録媒体80が移動して温度が下がる
と、再生層83は再び面内磁化膜に変化する。従って、
再生光スポット87の内部の低温領域91における再生
層83(面内磁化膜)がマスクとして作用して、記録層
85の記録磁区89は、再生光スポット87の高温領域
90からのみ転写される。このために、光スポット87
よりも小さい記録マーク(記録磁区89)の信号の検出
が可能となる。
The recording signal is recorded in the recording layer 85 in advance as a recording magnetic domain 89 smaller than the reproducing light spot 87 by thermomagnetic recording. The reproducing layer 83 is an in-plane magnetized film at room temperature, and has a high temperature region 90 inside the reproducing light spot 87.
Is a magnetic film having a characteristic of being a perpendicular magnetization film only in the portion. When the reproduction laser beam is applied, the temperature rises, and a high-temperature region 90 and a low-temperature region 91 are formed. High temperature area 9
0, the reproducing layer 83 changes to a perpendicular magnetization film and the intermediate layer 84
The magnetization direction of the recording layer 85 is aligned by the magnetic coupling through the. When the temperature decreases due to the movement of the magneto-optical recording medium 80, the reproducing layer 83 changes to an in-plane magnetic film again. Therefore,
The reproducing layer 83 (in-plane magnetic film) in the low-temperature region 91 inside the reproducing light spot 87 acts as a mask, and the recording magnetic domain 89 of the recording layer 85 is transferred only from the high-temperature region 90 of the reproducing light spot 87. For this, the light spot 87
A signal of a recording mark (recording magnetic domain 89) smaller than that can be detected.

【0024】このように、光磁気記録媒体80では、初
期化磁界及び再生磁界を使用せずに、再生光スポット8
7よりも小さな記録磁区89の情報を再生することがで
きる。
As described above, in the magneto-optical recording medium 80, the reproducing light spot 8 is used without using the initialization magnetic field and the reproducing magnetic field.
The information of the recording magnetic domain 89 smaller than 7 can be reproduced.

【0025】[0025]

【発明が解決しようとする課題】上記のような再生層8
3に面内磁化膜を用いた光磁気記録媒体80において
は、初期化磁界或いは再生磁界を不要にできるという効
果はあるものの、以下のような欠点がある。
The reproducing layer 8 as described above.
The magneto-optical recording medium 80 using an in-plane magnetized film has the effect of eliminating the need for an initialization magnetic field or a reproducing magnetic field, but has the following disadvantages.

【0026】第1に、再生層83の磁化は、マスクされ
た低温領域91であっても、再生層83と記録層85と
の間の磁気的相互作用により、記録層85の磁化の方向
に引きつけられる。このために、理想的な面内磁化方向
を維持できず、磁化の垂直成分を有することになる。こ
の結果、記録磁区89の転写を必要としない領域におい
ても転写が発生して、再生時に解像度が不足したりノイ
ズ要因となったりする。
First, even in the masked low-temperature region 91, the magnetization of the reproducing layer 83 is oriented in the direction of the magnetization of the recording layer 85 due to the magnetic interaction between the reproducing layer 83 and the recording layer 85. Attracted. For this reason, an ideal in-plane magnetization direction cannot be maintained and a perpendicular component of magnetization is obtained. As a result, the transfer occurs even in a region where the transfer of the recording magnetic domain 89 is not required, and the resolution becomes insufficient or becomes a noise factor at the time of reproduction.

【0027】第2に、再生層83が面内磁化膜から垂直
磁化膜に変化する臨界温度は一定であるので、再生レー
ザ光のパワー(再生パワー)が変動すると、記録磁区8
9が転写される領域が変化して、転写磁区の波形干渉に
より再生特性が劣化する。
Second, since the critical temperature at which the reproducing layer 83 changes from an in-plane magnetic film to a perpendicular magnetic film is constant, when the power of the reproducing laser beam (reproducing power) fluctuates, the recording magnetic domain 8
The area where 9 is transferred changes, and the reproduction characteristics deteriorate due to the waveform interference of the transfer magnetic domain.

【0028】更に、ドライブ内温度等の環境温度が変化
すると再生パワーの設定を変更する必要があるが、特に
環境温度が上昇した場合には再生パワーを小さくするこ
とになるため、記録層85の信号の転写可能な臨界温度
と室温との温度差が小さくなる。その結果として、面内
磁化膜となっている再生層83によってマスクされてい
る領域(低温領域91)が小さくなるため、解像度の低
下により再生信号が劣化したり、記録層85の信号の転
写が不十分になったりするという課題がある。
Further, when the environmental temperature such as the temperature in the drive changes, the setting of the reproducing power needs to be changed. In particular, when the environmental temperature rises, the reproducing power is reduced. The temperature difference between the critical temperature at which signals can be transferred and room temperature is reduced. As a result, the area (low-temperature area 91) masked by the reproducing layer 83, which is an in-plane magnetized film, becomes smaller, so that the reproduction signal is degraded due to a decrease in resolution, and the transfer of the signal of the recording layer 85 is not performed. There is a problem that it becomes insufficient.

【0029】要するに、上記再生パワーの変動、上記環
境温度の変動に応じて、高温領域が変動してしまう。
In short, the high-temperature region fluctuates according to the fluctuation of the reproduction power and the fluctuation of the environmental temperature.

【0030】(II)他方、上述した磁気超解像方式を
用いた光磁気記録媒体において、磁性層には、主に希土
類−遷移金属合金が用いられている。
(II) On the other hand, in the magneto-optical recording medium using the above-described magnetic super-resolution method, a rare earth-transition metal alloy is mainly used for the magnetic layer.

【0031】図14は、従来の技術による磁気超解像方
式を用いた光磁気記録媒体における、再生時の遷移金属
副格子磁気モーメントの垂直成分を示している。第1磁
性層1100および第2磁性層1200中の矢印130
0および1400は、それぞれ第1磁性層1100およ
び第2磁性層1200の遷移金属元素の副格子磁気モー
メントの垂直成分を表わす。
FIG. 14 shows the perpendicular component of the transition metal sublattice magnetic moment at the time of reproduction in a magneto-optical recording medium using a magnetic super-resolution method according to the prior art. Arrow 130 in first magnetic layer 1100 and second magnetic layer 1200
0 and 1400 represent the perpendicular components of the sublattice magnetic moment of the transition metal element of the first magnetic layer 1100 and the second magnetic layer 1200, respectively.

【0032】第1磁性層1100は室温では面内磁化膜
であるが、温度が上昇するにつれて面内磁化膜から垂直
磁化膜へ遷移する。第2磁性層1200は、例えばTb
FeCoやDyFeCoなどからなる、室温で大きな垂
直磁気異方性を有する膜で、この第2磁性層1200の
磁区が膜面に対して上向きか下向きかによって記録情報
が保持されている。
The first magnetic layer 1100 is an in-plane magnetic film at room temperature, but transitions from an in-plane magnetic film to a perpendicular magnetic film as the temperature rises. The second magnetic layer 1200 is made of, for example, Tb.
This film is made of FeCo, DyFeCo, or the like and has a large perpendicular magnetic anisotropy at room temperature. The recorded information is held depending on whether the magnetic domain of the second magnetic layer 1200 is upward or downward with respect to the film surface.

【0033】このような構成の光磁気記録媒体に基板側
から光ビームを照射すると、ビームスポット1700内
では温度勾配が発生し、温度の高い領域と温度の低い領
域とが存在するようになる。このとき、ビームスポット
1700内でも温度の低い領域では、第1磁性層110
0は面内磁化膜となるために極カー効果には寄与せず、
第2磁性層1200に保持された記録情報はマスクされ
て見えなくなる。
When a light beam is irradiated from the substrate side to the magneto-optical recording medium having such a configuration, a temperature gradient occurs in the beam spot 1700, and a high-temperature region and a low-temperature region exist. At this time, even in the low temperature region in the beam spot 1700, the first magnetic layer 110
0 does not contribute to the polar Kerr effect because it becomes an in-plane magnetized film,
The recorded information held in the second magnetic layer 1200 is masked and becomes invisible.

【0034】一方、ビームスポット1700内で温度の
高い領域は、第1磁性層1100が垂直磁化膜になり、
第2磁性層1200と静磁結合を起こすため、第1磁性
層1100に第2磁性層1200に記録されている情報
が転写される。
On the other hand, in a high temperature area in the beam spot 1700, the first magnetic layer 1100 becomes a perpendicular magnetization film,
The information recorded on the second magnetic layer 1200 is transferred to the first magnetic layer 1100 to cause magnetostatic coupling with the second magnetic layer 1200.

【0035】ビームスポット1700全体としては、第
1磁性層1100によってマスクされている部分がある
ため、ビームスポット1700の大きさに比べて小さな
領域だけに第2磁性層1200の記録情報が転写される
ことになるので、磁気超解像が実現される。
Since there is a portion of the entire beam spot 1700 masked by the first magnetic layer 1100, the recording information of the second magnetic layer 1200 is transferred only to an area smaller than the size of the beam spot 1700. Therefore, magnetic super-resolution is realized.

【0036】このような磁気超解像方式を用いた光磁気
記録媒体は、狭トラック化による高密度化の要求に応え
うるものであるが、上記のような構成においては、ビー
ムスポット1700内において面内磁化膜から垂直磁化
膜へ変わっていく中間状態として、遷移領域が発生す
る。すなわち、膜全体としては、所定の温度で急峻に面
内磁化膜から垂直磁化膜へと遷移するのではなく、ある
温度範囲が遷移領域となる。
The magneto-optical recording medium using such a magnetic super-resolution method can meet the demand for high density by narrowing the track. A transition region occurs as an intermediate state in which the in-plane magnetization film changes to the perpendicular magnetization film. That is, the entire film does not suddenly transition from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film at a predetermined temperature, but has a certain temperature range as the transition region.

【0037】この遷移領域内において、第1磁性層は完
全な面内磁化膜ではなくなっているので、第2磁性層が
保持している記録情報を完全にマスクすることはできな
い。逆に、この遷移領域での第1磁性層は完全な垂直磁
化膜でもないので、第2磁性層との静磁結合力も小さ
く、大きな信号を得ることが困難である。
In the transition region, the first magnetic layer is no longer a complete in-plane magnetic film, so that the recorded information held by the second magnetic layer cannot be completely masked. Conversely, since the first magnetic layer in this transition region is not a complete perpendicular magnetization film, the magnetostatic coupling force with the second magnetic layer is small, and it is difficult to obtain a large signal.

【0038】したがって、この遷移領域での第1磁性層
は、第2磁性層の記録情報を十分にマスクすることがで
きないので、隣接トラックからのクロストークが大きく
なる。また、この遷移領域の第1磁性層は、第2磁性層
との静磁結合力も弱いので、十分に第2磁性層からの記
録情報を転写することができない。
Therefore, the first magnetic layer in the transition region cannot sufficiently mask the recording information of the second magnetic layer, so that the crosstalk from the adjacent track increases. In addition, the first magnetic layer in the transition region has a weak magnetostatic coupling force with the second magnetic layer, so that the recorded information from the second magnetic layer cannot be sufficiently transferred.

【0039】さらに、第1磁性層には一般的にコストの
高い希土類金属を材料として用いることが多いが、磁性
層が厚膜となる場合は材料費が高くなり、かつ生産性も
悪くなるために、安価な光磁気記録媒体を提供すること
が難しい。
Further, in general, a high-cost rare earth metal is often used as a material for the first magnetic layer. However, when the magnetic layer is a thick film, the material cost increases and the productivity is deteriorated. In addition, it is difficult to provide an inexpensive magneto-optical recording medium.

【0040】[0040]

【課題を解決するための手段】(I) 本発明は、上記
再生パワーの変動、上記環境温度の変動に応じて、高温
領域が変動してしまうという問題点に鑑みてなされたも
のであって、その目的は、(1)環境温度が変化した場
合にも、安定した磁気的超解像マスク特性、及び記録信
号の再生層への転写性という、2つの特性の両立した向
上が可能であるような、高解像度で且つ高性能な再生特
性を有する光磁気記録媒体を提供すること、並びに、
(2)上記のような光磁気記録媒体を使用して、高密度
記録に適した光磁気記録媒体の再生方法を提供するこ
と、である。
(I) The present invention has been made in view of the problem that the high-temperature region fluctuates in accordance with the fluctuation of the reproduction power and the fluctuation of the environmental temperature. The objectives are as follows: (1) It is possible to simultaneously improve two characteristics, that is, stable magnetic super-resolution mask characteristics and transferability of a recording signal to a reproduction layer even when the environmental temperature changes. To provide a magneto-optical recording medium having high-resolution and high-performance reproduction characteristics, and
(2) To provide a method for reproducing a magneto-optical recording medium suitable for high-density recording using the above-described magneto-optical recording medium.

【0041】本発明は、膜面に垂直な磁化方向によって
情報が記録される記録磁区を有する記録層と、前記記録
層に記録された情報が磁気的な結合により膜面に垂直な
磁化方向の再生磁区として転写形成される再生層と、前
記記録層と磁気的に結合した転写制御層とを備え、前記
再生層に前記再生磁区が転写される温度未満の温度範囲
の少なくとも一部では、前記記録層の磁化の方向と、前
記記録層に対応する前記転写制御層の磁化の方向とが反
対方向であり、前記転写される温度以上の温度範囲の少
なくとも一部では、前記転写制御層がキュリー温度以上
となる光磁気記録媒体である。
According to the present invention, there is provided a recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded by a magnetization direction perpendicular to the film surface, and information recorded in the recording layer is magnetically coupled with the magnetization direction perpendicular to the film surface. A reproducing layer transferred and formed as a reproducing magnetic domain, and a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer, wherein at least a part of a temperature range lower than a temperature at which the reproducing magnetic domain is transferred to the reproducing layer, The direction of magnetization of the recording layer and the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer are opposite to each other, and in at least a part of a temperature range equal to or higher than the transfer temperature, the transfer control layer is not cured. This is a magneto-optical recording medium whose temperature becomes higher than the temperature.

【0042】また、本発明は、膜面に垂直な磁化方向に
よって情報が記録される記録磁区を有する記録層と、前
記記録層に記録された情報が磁気的な結合により膜面に
垂直な磁化方向の再生磁区として転写形成される再生層
と、前記記録層と磁気的に結合した転写制御層とを備
え、前記再生層に前記再生磁区が転写される温度未満の
温度範囲の少なくとも一部では、前記記録層の磁化の方
向と、前記記録層に対応する前記転写制御層の磁化の方
向とが反対方向であり、前記転写される温度以上の温度
範囲の少なくとも一部では、前記記録層の磁化の方向
と、前記記録層に対応する前記転写制御層の磁化の方向
とが一致する光磁気記録媒体である。
According to the present invention, there is provided a recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded in a magnetization direction perpendicular to the film surface, and information recorded on the recording layer is magnetized perpendicularly to the film surface by magnetic coupling. And a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer, and at least a part of a temperature range lower than a temperature at which the read magnetic domain is transferred to the read layer. The direction of magnetization of the recording layer and the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer are opposite directions, and at least a part of the temperature range equal to or higher than the transferred temperature, A magneto-optical recording medium in which the direction of magnetization is the same as the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer.

【0043】あるいは、本発明は、前記転写される温度
未満の温度範囲では、前記記録層の磁化の方向と、前記
記録層に対応する前記転写制御層の磁化の方向とが反対
方向である上記光磁気記録体である。
Alternatively, in the present invention, in a temperature range lower than the transfer temperature, the direction of magnetization of the recording layer is opposite to the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer. It is a magneto-optical recording medium.

【0044】あるいは、本発明は、前記再生層の上に、
シュリンク機能を有する磁区拡大層が形成されている上
記いずれかの光磁気記録媒体である。
Alternatively, according to the present invention, there is provided a method comprising:
Any of the above magneto-optical recording media, wherein the magnetic domain enlarging layer having a shrink function is formed.

【0045】特にこの構成によれば、再生磁区(転写磁
区)のシュリンク動作、或いは、再生動作時に転写温度
近傍の領域で磁壁移動する特性を有する磁区拡大層で構
成された光磁気記録媒体であっても、再生信号の転写を
スムーズに行うことができて、記録層の記録磁区よりも
拡大された再生磁区(転写磁区)を形成して、転写再生
を行うことができる。
In particular, according to this configuration, the magneto-optical recording medium is constituted by a magnetic domain expansion layer having a characteristic of shrinking a reproducing magnetic domain (transfer magnetic domain) or moving a domain wall in a region near a transfer temperature during a reproducing operation. However, transfer of the reproduction signal can be performed smoothly, and reproduction reproduction can be performed by forming a reproduction magnetic domain (transfer magnetic domain) that is larger than the recording magnetic domain of the recording layer.

【0046】前記転写制御層のキュリー温度が、少なく
とも、前記記録層或いは前記再生層のいずれかのキュリ
ー温度よりも低くてもよい。これにより、記録層の信号
を再生層に転写するための静磁界の大きさを、急峻に増
加させることができる。
The Curie temperature of the transfer control layer may be at least lower than the Curie temperature of either the recording layer or the reproducing layer. Thereby, the magnitude of the static magnetic field for transferring the signal of the recording layer to the reproduction layer can be sharply increased.

【0047】或いは、前記転写制御層のキュリー温度
が、前記再生層の補償組成温度より低くてもよい。ま
た、前記転写制御層の補償組成温度が、前記再生層の補
償組成温度より低くてもよい。これにより、再生層に転
写した再生磁区を、安定して検出することができる。
Alternatively, the Curie temperature of the transfer control layer may be lower than the compensation composition temperature of the reproducing layer. Further, the compensation composition temperature of the transfer control layer may be lower than the compensation composition temperature of the reproduction layer. This makes it possible to stably detect the reproduction magnetic domain transferred to the reproduction layer.

【0048】或いは、前記転写制御層が、前記記録層よ
りも光入射面から遠くに設けられていてもよい。
Alternatively, the transfer control layer may be provided farther from the light incident surface than the recording layer.

【0049】或いは、前記再生層と前記記録層との間
に、非磁性材料からなる中間層が更に設けられていても
よい。
Alternatively, an intermediate layer made of a non-magnetic material may be further provided between the reproducing layer and the recording layer.

【0050】或いは、前記非磁性材料からなる中間層と
して、誘電体材料からなる層が設けられていてもよい。
これにより、記録層から再生層への静磁界によって、記
録磁区を有効に転写再生することが可能となる。
Alternatively, a layer made of a dielectric material may be provided as the intermediate layer made of the nonmagnetic material.
As a result, it is possible to effectively transfer and reproduce the recorded magnetic domains by the static magnetic field from the recording layer to the reproducing layer.

【0051】或いは、前記再生層と前記記録層との間
に、前記再生層のキュリー温度及び前記記録層のキュリ
ー温度の両方よりも低いキュリー温度を有する、磁性材
料からなる中間層が設けられていてもよい。これによ
り、記録層と再生層との間の磁気的な交換結合力を利用
して、再生層のマスク効果或いは記録磁区の転写特性
を、向上させることができる。
Alternatively, an intermediate layer made of a magnetic material having a Curie temperature lower than both the Curie temperature of the reproducing layer and the Curie temperature of the recording layer is provided between the reproducing layer and the recording layer. You may. Thereby, the mask effect of the reproducing layer or the transfer characteristic of the recording magnetic domain can be improved by utilizing the magnetic exchange coupling force between the recording layer and the reproducing layer.

【0052】或いは、前記記録層は、室温から転写温度
の間に補償組成温度を有していてもよい。
Alternatively, the recording layer may have a compensation composition temperature between room temperature and the transfer temperature.

【0053】或いは、金属からなる熱吸収層が、更に設
けられていてもよい。これにより、記録膜での温度分布
の制御が可能となり、より信号品質の高い転写再生され
た信号が得られる。
Alternatively, a heat absorbing layer made of a metal may be further provided. This makes it possible to control the temperature distribution in the recording film, and obtain a transferred and reproduced signal with higher signal quality.

【0054】また、本発明は、膜面に垂直な磁化方向に
よって情報が記録される記録磁区を有する記録層と、前
記記録層に記録された情報が膜面に垂直な磁化方向によ
って再生磁区として転写される再生層と、前記記録層と
磁気的に結合した転写制御層とを備え、前記記録された
情報の再生時に、照射される再生光の光スポット内にお
いて、前記記録層の磁化と、前記記録層に対応する前記
転写制御層の磁化とが方向はお互いに反対方向であり且
つ大きさは一致するような臨界温度となる領域が存在す
るように構成されている光磁気記録媒体である。
Also, the present invention provides a recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded by a magnetization direction perpendicular to a film surface, and information recorded in the recording layer being a reproduction magnetic domain by a magnetization direction perpendicular to the film surface. A reproducing layer to be transferred, and a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer, and when reproducing the recorded information, in a light spot of reproduced light to be irradiated, magnetization of the recording layer, The magneto-optical recording medium is configured so that there is a region where the magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer has a critical temperature in which the directions are opposite to each other and the magnitudes match. .

【0055】好ましくは、室温以上であって且つ前記臨
界温度以下の温度領域では、前記記録層の磁化と前記転
写制御層の磁化とを加算した加算磁化の大きさが、10
0emu/cc以下である。これにより、再生光スポッ
ト内で、膜面面内方向の磁気異方性を有する磁性膜とし
てマスク効果を発揮する再生層が、十分なマスク特性を
得ることができる。
Preferably, in a temperature region not lower than room temperature and not higher than the critical temperature, the magnitude of the added magnetization obtained by adding the magnetization of the recording layer and the magnetization of the transfer control layer is 10
0 emu / cc or less. Accordingly, a reproducing layer which exhibits a mask effect as a magnetic film having magnetic anisotropy in a film plane direction in a reproducing light spot can obtain sufficient mask characteristics.

【0056】また、本発明は、膜面に垂直な磁化方向に
よって情報が記録される記録磁区を有する記録層と、前
記記録層に記録された情報が膜面に垂直な磁化方向によ
って再生磁区として転写される再生層と、前記記録層と
磁気的に結合した転写制御層とを少なくとも備える光磁
気記録媒体に対する再生方法であって、前記光磁気記録
媒体に記録されている情報の再生時に、前記光磁気記録
媒体に再生光を放射して再生光スポットを形成し、前記
再生光スポット内において、前記記録層の磁化と、前記
記録層に対応する前記転写制御層の磁化とが方向はお互
いに反対方向であり且つ大きさは一致するような臨界温
度となる領域を作り、前記臨界温度よりも高い温度領域
の前記再生層に形成された転写磁区の信号を再生する光
磁気記録媒体の再生方法である。
Also, the present invention provides a recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded in a magnetization direction perpendicular to the film surface, and a recording magnetic domain in which information recorded in the recording layer is formed as a reproducing magnetic domain in a magnetization direction perpendicular to the film surface. A reproducing method for a magneto-optical recording medium comprising at least a reproducing layer to be transferred and a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer, wherein when reproducing information recorded on the magneto-optical recording medium, A reproduction light spot is formed by emitting reproduction light to the magneto-optical recording medium, and the directions of the magnetization of the recording layer and the magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer in the reproduction light spot are mutually opposite. A region having a critical temperature in the opposite direction and having the same size is formed, and a magneto-optical recording medium for reproducing a signal of a transfer magnetic domain formed in the reproducing layer in a temperature region higher than the critical temperature is reproduced. It is a method.

【0057】(II) さらに、本発明は上記隣接トラ
ックからのクロストークが大きくなるという課題に鑑み
なされたものであり、狭トラック化による高密度化を目
的とした光磁気記録媒体およびその再生方法を提供する
ものである。
(II) Further, the present invention has been made in view of the problem that the crosstalk from the adjacent track becomes large, and a magneto-optical recording medium aiming at high density by narrowing the track and a reproducing method thereof. Is provided.

【0058】上記の目的を達成するために、本発明は、
少なくとも室温で面内磁化膜となり、また前記室温より
高い所定の高温で垂直磁化膜となる第1磁性層と、垂直
磁気異方性を有した第2磁性層とを備えた光磁気記録媒
体において、前記第1磁性層は、光ビームが透過できる
程度の薄さを有し、前記第2磁性層は、前記第1磁性層
に磁気的に結合し得るように配置されており、再生のた
めの光ビームが前記第1磁性層側から入射した場合、前
記第1磁性層で反射した光ビームの偏光面の回転と、前
記第1磁性層を透過して前記第2磁性層で反射した光ビ
ームの偏光面の回転とが互いに補償して相殺することを
特徴とする光磁気記録媒体である。
To achieve the above object, the present invention provides
A magneto-optical recording medium comprising: a first magnetic layer which becomes an in-plane magnetic film at least at room temperature and becomes a perpendicular magnetic film at a predetermined high temperature higher than the room temperature; and a second magnetic layer having perpendicular magnetic anisotropy. The first magnetic layer has a thickness small enough to transmit a light beam, and the second magnetic layer is disposed so as to be magnetically coupled to the first magnetic layer. When the light beam is incident from the first magnetic layer side, the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer and the light transmitted through the first magnetic layer and reflected by the second magnetic layer This is a magneto-optical recording medium characterized in that the rotation of the polarization plane of the beam is compensated and canceled out with each other.

【0059】また、本発明は、光磁気記録媒体に、光ビ
ームを照射して、前記第2磁性層に記録された情報を、
前記第1磁性層と前記第2磁性層とを磁気的に結合させ
ることにより再生を行う光磁気記録媒体の再生方法であ
って、前記ビームスポット内の高温領域では、前記第1
磁性層を垂直磁化膜とし、前記第1磁性層と前記第2磁
性層とを磁気的に結合させることにより、前記第2磁性
層に記録された情報を前記第1磁性層に転写するステッ
プと、前記ビームスポット内の低温領域では、前記第1
磁性層で反射した光ビームの偏光面の回転と、前記第1
磁性層を透過して前記第2磁性層で反射した光ビームの
偏光面の回転とが互いに補償して相殺することにより、
前記情報の再生を行うステップとを含むことを特徴とす
る光磁気記録媒体の再生方法である。
Further, according to the present invention, a magneto-optical recording medium is irradiated with a light beam so that information recorded in the second magnetic layer is
A reproducing method for a magneto-optical recording medium for performing reproduction by magnetically coupling the first magnetic layer and the second magnetic layer, wherein the high-temperature region in the beam spot includes the first magnetic layer.
Transferring the information recorded on the second magnetic layer to the first magnetic layer by magnetically coupling the first magnetic layer and the second magnetic layer with the magnetic layer being a perpendicular magnetization film; , In a low temperature region in the beam spot, the first
Rotating the plane of polarization of the light beam reflected by the magnetic layer;
The rotation of the polarization plane of the light beam transmitted through the magnetic layer and reflected by the second magnetic layer compensates for each other and cancels each other,
Reproducing the information.

【0060】かかる本発明によれば、磁気超解像方式を
用いた光磁気記録媒体において、第1磁性層の膜厚を薄
くすることによって、面内磁化膜から垂直磁化膜への遷
移領域において、偏光面の回転角を相殺し、室温からビ
ームスポット内の高温領域に至るまでの温度において第
2磁性層の記録情報を十分にマスクし、ビームスポット
内の高温領域においては記録情報を十分に再生可能にす
る。
According to the present invention, in the magneto-optical recording medium using the magnetic super-resolution method, by reducing the thickness of the first magnetic layer, the transition region from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film can be formed. Offset the rotation angle of the polarization plane, sufficiently mask the recording information of the second magnetic layer at a temperature from room temperature to the high temperature region in the beam spot, and sufficiently record the information in the high temperature region in the beam spot. Make it reproducible.

【0061】[0061]

【発明の実施の形態】以下に具体的な実施形態によって
本発明を更に詳細に説明する。 (I) (第1の実施形態)まず、本発明の第1の実施形態につ
いて、図面を参照しながら以下に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific embodiments. (I) (First Embodiment) First, a first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0062】図1は、本発明の第1の実施形態における
光磁気記録媒体100の構成を模式的に示す断面図であ
る。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing the structure of a magneto-optical recording medium 100 according to the first embodiment of the present invention.

【0063】図1において、1は、光スポットのトラッ
キングガイドのための案内溝を備えたポリカーボネート
の光ディスク基板である。光ディスク基板1の上には、
SiNからなるエンハンスのための誘電体層2が形成さ
れ、その上には更に、GdFeCo再生層3、SiN中
間層4、TbFeCd記録層5、TbFe転写制御層6
が順次積層されて、4層構造の記録膜構造が設けられて
いる。更にその上には、SiN保護層7、及びエポキシ
アクリレートのオーバーコート層8が設けられている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a polycarbonate optical disk substrate provided with a guide groove for tracking a light spot. On the optical disc substrate 1,
A dielectric layer 2 made of SiN for enhancement is formed, and a GdFeCo reproducing layer 3, a SiN intermediate layer 4, a TbFeCd recording layer 5, and a TbFe transfer control layer 6 are further formed thereon.
Are sequentially laminated to provide a recording film structure having a four-layer structure. Further thereon, a SiN protective layer 7 and an overcoat layer 8 of epoxy acrylate are provided.

【0064】ここで、各層3〜6からなる記録膜構造
は、再生光スポットの高温領域からのみ記録情報を検出
するCAD(Centeraperturedetec
tion)と呼ばれる磁気的超解像方式(以下、CAD
方式と言う)を用いた、記録密度を大きくする記録再生
方法を実現するものであり、再生時のドメイン径0.5
μm以下の高密度記録再生の場合に読み出し信号量を大
きくするための、磁気的結合した多層膜構造を有する。
Here, the recording film structure composed of the respective layers 3 to 6 has a CAD (Centeraperturedtec) for detecting recording information only from a high-temperature region of a reproduction light spot.
magnetic super-resolution method (hereinafter referred to as CAD)
This method realizes a recording / reproducing method for increasing the recording density using a method having a domain diameter of 0.5 during reproduction.
It has a magnetically-coupled multilayer film structure to increase the amount of read signals in the case of high-density recording and reproduction of μm or less.

【0065】図1の構成を有する光磁気記録媒体100
の形成にあたっては、まず、直流マグネトロンスパッタ
リング装置により、Siターゲットをアルゴンガスと窒
素ガスとの混合雰囲気の中で反応性スパッタリングし
て、光スポットのトラッキングガイドのための案内溝で
あるプリグルーブを有するポリカーボネイト基板1の上
に、SiN膜2を80nm成膜する。更に、GdFeC
oターゲットを用いてGdFeCo膜3をアルゴンガス
中で20nm成膜したあと、SiN膜4を反応性スパッ
タリングにより15nm成膜し、更に、TbFeCo及
びTbFeそれぞれのターゲットを用いて、TbFeC
o記録層5を35nm、TbFe転写制御層6を35n
m、それぞれ積層する。更に、SiN保護層7を50n
m成膜し、続いて、エポキシアクリレートの紫外線硬化
樹脂をスピンコートにより6μm塗布したあと紫外線を
照射して硬化させてオーバーコート層8とし、本発明の
第1の実施形態の光磁気記録媒体100が得られる。
The magneto-optical recording medium 100 having the configuration shown in FIG.
In forming the first, a direct current magnetron sputtering apparatus is used to reactively sputter an Si target in a mixed atmosphere of an argon gas and a nitrogen gas to have a pre-groove which is a guide groove for tracking guide of a light spot. An 80 nm SiN film 2 is formed on a polycarbonate substrate 1. Furthermore, GdFeC
After a GdFeCo film 3 was formed in a thickness of 20 nm in an argon gas using a target, a SiN film 4 was formed in a thickness of 15 nm by reactive sputtering, and a TbFeC
o 35 nm for the recording layer 5 and 35 n for the TbFe transfer control layer 6
m, respectively. Further, the SiN protective layer 7 is
m, followed by spin-coating an ultraviolet-curable resin of epoxy acrylate by 6 μm, and then irradiating with ultraviolet light to cure it to form an overcoat layer 8, and the magneto-optical recording medium 100 according to the first embodiment of the present invention. Is obtained.

【0066】図2は、本実施形態の光磁気記録媒体10
0のCAD方式による再生時の構成を示すものであり、
(a)は、光磁気記録媒体100のトラックの一部を示
す平面図、(b)は、光磁気記録媒体100の記録膜構
造の構成(特に磁化の方向)を示す断面図である。
FIG. 2 shows a magneto-optical recording medium 10 according to this embodiment.
0 shows a configuration at the time of reproduction by the CAD method.
2A is a plan view showing a part of a track of the magneto-optical recording medium 100, and FIG. 2B is a cross-sectional view showing a configuration of a recording film structure of the magneto-optical recording medium 100 (particularly, a direction of magnetization).

【0067】CAD方式の再生原理について、簡単に説
明する。
The playback principle of the CAD system will be briefly described.

【0068】図2(b)に示すように、光磁気記録媒体
100の記録膜構造は、再生層3、中間層4、記録層
5、転写制御層6により構成されている。また、図2
(a)において、9は再生レーザ光スポット、12はマ
スク領域、10は再生領域である。なお、図2(a)に
示す矢印110は、光磁気記録媒体100のトラックに
沿った移動方向であり、図2(b)の各層3、5及び6
の中に描かれている矢印は、各々の場所における磁化の
方向を示す。
As shown in FIG. 2B, the recording film structure of the magneto-optical recording medium 100 comprises a reproducing layer 3, an intermediate layer 4, a recording layer 5, and a transfer control layer 6. FIG.
9A, reference numeral 9 denotes a reproduction laser beam spot, 12 denotes a mask area, and 10 denotes a reproduction area. The arrow 110 shown in FIG. 2A is a moving direction along the track of the magneto-optical recording medium 100, and each of the layers 3, 5, and 6 in FIG.
The arrows drawn inside indicate the direction of magnetization at each location.

【0069】また、図3(a)〜(c)に、再生レーザ
光の強度を変えて、本発明の光磁気記録媒体100で使
用しているGdFeCo再生層3の単層状態での磁気特
性であるカーヒステリシスループを測定した結果を示
す。具体的には、図3(a)、(b)、及び(c)は、
それぞれ、室温近傍の温度(再生レーザ光の強度=0.
8mW)、100℃(再生レーザ光の強度=1.4m
W)、及び170℃(再生レーザ光の強度=2.2m
W)の場合の測定結果である。
FIGS. 3A to 3C show the magnetic properties of the GdFeCo reproducing layer 3 used in the magneto-optical recording medium 100 of the present invention in a single-layer state by changing the intensity of the reproducing laser beam. 2 shows the results of measuring the car hysteresis loop. Specifically, FIGS. 3 (a), (b) and (c)
In each case, the temperature is around room temperature (the intensity of the reproduction laser beam = 0.
8 mW), 100 ° C. (reproduction laser beam intensity = 1.4 m)
W) and 170 ° C. (intensity of reproduction laser beam = 2.2 m)
It is a measurement result in the case of W).

【0070】図3(a)〜(c)に示されるように、再
生層3の膜面垂直方向の磁気異方性は、温度の上昇とと
もに大きくなる。すなわち、図3(a)〜(c)を比較
すると、図3(a)に示す室温近傍の低温では、再生層
3は膜面面内方向の磁気異方性を有する磁性膜である
が、(b)及び(c)に示されるように、再生パワーの
増加に伴う温度上昇に伴って膜面垂直方向の磁気異方性
が誘起され、特に(c)に示すように、ある温度以上で
は垂直磁化膜となる。
As shown in FIGS. 3A to 3C, the magnetic anisotropy of the reproducing layer 3 in the direction perpendicular to the film surface increases as the temperature increases. That is, comparing FIGS. 3A to 3C, at a low temperature near room temperature shown in FIG. 3A, the reproducing layer 3 is a magnetic film having magnetic anisotropy in the in-plane direction of the film. As shown in (b) and (c), the magnetic anisotropy in the direction perpendicular to the film surface is induced as the temperature rises with the increase in the reproducing power. In particular, as shown in (c), at a certain temperature or higher, It becomes a perpendicular magnetization film.

【0071】このように、温度上昇によって再生層3が
垂直磁化膜になった時には、図2(b)に示すように、
記録層5の側からの磁気的な相互作用により、記録層5
の記録磁区13が中間層4を介して、再生層3に転写さ
れて再生することができる。また、再生層3は、室温か
ら記録層5の磁区が転写される再生温度より低い温度領
域11までの範囲では、膜面面内方向の磁気異方性が大
きく面内磁化膜となるため、記録層5に垂直磁化特性と
して記録された情報は再生層3に転写されず、結果とし
てマスク作用が実現される。
As described above, when the reproducing layer 3 becomes a perpendicular magnetization film due to the temperature rise, as shown in FIG.
Due to magnetic interaction from the side of the recording layer 5, the recording layer 5
Can be transferred to the reproducing layer 3 via the intermediate layer 4 and reproduced. The reproducing layer 3 has a large in-plane magnetic anisotropy in the in-plane direction of the film in a range from room temperature to a temperature region 11 lower than the reproducing temperature at which the magnetic domain of the recording layer 5 is transferred. Information recorded as perpendicular magnetization characteristics on the recording layer 5 is not transferred to the reproducing layer 3, and as a result, a mask function is realized.

【0072】繰り返して言えば、光磁気記録媒体100
が矢印110の方向に回転して記録層5が再生レーザ光
スポット9を通過すると、次第に記録層5の温度が上昇
する。再生レーザ光スポット9の前方の周辺の低温領域
12では、再生膜3は面内磁化膜のままでマスクとして
作用するが、再生層3が垂直磁化膜となる温度以上の高
温領域10では、記録層5の磁化の方向に応じた再生磁
区13が転写形成される。そして、再生レーザ光スポッ
ト9が通りすぎた後は、また記録膜構造の温度が下が
り、記録層6の記録磁区が転写されず、再生層3は面内
磁化膜の状態に戻る。
To reiterate, the magneto-optical recording medium 100
Is rotated in the direction of arrow 110 and the recording layer 5 passes through the reproducing laser beam spot 9, the temperature of the recording layer 5 gradually increases. In a low-temperature region 12 in front of the reproducing laser beam spot 9, the reproducing film 3 functions as a mask while keeping the in-plane magnetic film, but in a high-temperature region 10 at which the reproducing layer 3 becomes a perpendicular magnetic film or higher, recording is performed. A reproduction magnetic domain 13 corresponding to the direction of magnetization of the layer 5 is transferred and formed. Then, after the reproduction laser beam spot 9 has passed, the temperature of the recording film structure decreases again, the recording magnetic domains of the recording layer 6 are not transferred, and the reproduction layer 3 returns to the state of the in-plane magnetic film.

【0073】このような再生原理を用いた本実施形態の
光磁気記録媒体100では、再生時のバイアス磁界等を
用いなくても、図2(a)及び(b)を参照して説明し
たように、再生レーザ光スポット9の前方の温度領域1
1と周辺の温度領域12とが、マスクの働きをする。そ
して、再生層3の膜面垂直方向の磁気異方性が大きくな
った温度での記録層5との磁気的な結合力の作用によ
り、記録層5の記録磁化の信号により、転写再生を行う
ことができる。
In the magneto-optical recording medium 100 of the present embodiment using such a principle of reproduction, as described with reference to FIGS. 2A and 2B without using a bias magnetic field at the time of reproduction. The temperature region 1 in front of the reproduction laser beam spot 9
1 and the surrounding temperature region 12 function as a mask. Then, transfer and reproduction are performed by the signal of the recording magnetization of the recording layer 5 by the action of the magnetic coupling force with the recording layer 5 at the temperature at which the magnetic anisotropy of the reproducing layer 3 in the direction perpendicular to the film surface increases. be able to.

【0074】つまり、記録層5に記録されている情報
は、高温領域10からのみ読み取れる。
That is, the information recorded on the recording layer 5 can be read only from the high-temperature area 10.

【0075】従って、本実施形態の構造を有する光磁気
記録媒体100では、再生光スポット9よりも小さい領
域からの信号の再生が可能であり、具体的にはドメイン
長0.4μmでの記録/再生が可能となる。また、この
再生方式では、再生層3が面内磁化膜であってマスクと
して機能する(すなわち面内マスクされる)低温領域1
1及び12と、信号の転写される高温領域10との温度
差を利用することから、通常より高い2.5mWのレー
ザパワーで再生が行われる。
Therefore, in the magneto-optical recording medium 100 having the structure of the present embodiment, it is possible to reproduce a signal from an area smaller than the reproduction light spot 9, and specifically, to record / reproduce data at a domain length of 0.4 μm. Reproduction becomes possible. Further, in this reproducing method, the reproducing layer 3 is an in-plane magnetized film and functions as a mask (that is, the low-temperature region 1 which is masked).
Since the temperature difference between 1 and 12 and the high-temperature region 10 to which a signal is transferred is used, reproduction is performed with a laser power of 2.5 mW, which is higher than usual.

【0076】第1磁性層101において、面内磁化膜か
ら垂直磁化膜へ遷移する温度領域は、第1磁性層を構成
する各元素の割合を変えることによって設定することが
可能である。一般的に希土類元素の割合を多くすると、
面内磁化膜から垂直磁化膜へ遷移する温度領域は高くな
る。反対に、面内磁化膜から垂直磁化膜へ遷移する温度
領域を低くする場合は、希土類元素の割合を少なくすれ
ばよい。
In the first magnetic layer 101, the temperature region where the transition from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film can be set by changing the ratio of each element constituting the first magnetic layer. Generally, when the ratio of rare earth elements is increased,
The temperature region where the transition from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film is increased. Conversely, when the temperature region where the in-plane magnetization film transitions to the perpendicular magnetization film is reduced, the ratio of the rare earth element may be reduced.

【0077】図17は、上記のような室温では面内磁化
膜、高温になると垂直磁化膜となるような第1磁性層1
01の垂直磁気異方性エネルギーKuおよび反磁界エネ
ルギー2πMs2と温度との関係を示す図である。一般
的に上記のような磁性層の場合、垂直磁気異方性エネル
ギーをKu、飽和磁化をMsとすると、室温のときは次
式が成り立つ。
FIG. 17 shows that the first magnetic layer 1 becomes an in-plane magnetic film at room temperature as described above and becomes a perpendicular magnetic film at high temperature.
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between perpendicular magnetic anisotropy energy Ku and demagnetizing field energy 2πMs 2 of No. 01 and temperature. In general, when the perpendicular magnetic anisotropy energy is Ku and the saturation magnetization is Ms in the case of the magnetic layer as described above, the following equation is satisfied at room temperature.

【0078】[0078]

【数1】Ku<2πMs2 ここで2πMs2は反磁界エネルギーである。Kuが2
πMs2より小さい場合、磁性層は面内磁化膜となる。
Kuと2πMs2が一致する温度をTmとすると、この
ような第1磁性層101では、Tm未満の低温領域では
面内磁化膜となる。図17に示すように、磁性層の温度
が高くなっていくと、Kuと2πMs2の大きさが近づ
き、Tmよりも高くなると次式のようになる。
Ku <2πMs 2 where 2πMs 2 is the demagnetizing field energy. Ku is 2
If it is smaller than πMs 2 , the magnetic layer becomes an in-plane magnetized film.
Assuming that the temperature at which Ku and 2πMs 2 coincide with each other is Tm, such a first magnetic layer 101 becomes an in-plane magnetized film in a low-temperature region lower than Tm. As shown in FIG. 17, as the temperature of the magnetic layer increases, the magnitude of Ku and 2πMs 2 approaches, and when it exceeds Tm, the following equation is obtained.

【0079】[0079]

【数2】Ku>2πMs2 磁性層は、この式が成り立つときに垂直磁化膜となる。## EQU2 ## The Ku> 2πMs 2 magnetic layer becomes a perpendicular magnetization film when this equation is satisfied.

【0080】また、第1磁性層101は第2磁性層10
2に記録されている情報の再生を担う層であるため、カ
ー回転角は大きいほうがよい。図18は、カー回転角と
キュリー温度の関係を示す図である。図18に示すよう
に、キュリー温度が高くなるほど、カー回転角は大きく
なる。
The first magnetic layer 101 is the second magnetic layer 10
2 is a layer that plays the role of reproducing the information recorded in 2, the larger the Kerr rotation angle is, the better. FIG. 18 is a diagram showing the relationship between the Kerr rotation angle and the Curie temperature. As shown in FIG. 18, the Kerr rotation angle increases as the Curie temperature increases.

【0081】ここで、本実施形態の光磁気記録媒体10
0における記録膜構造においては、GdFeCo再生層
3は、室温で希土類リッチな組成であり、キュリー温度
300℃、補償組成温度270℃である。また、中間層
4はSiN膜であるため、記録層5との間に、静磁界に
よる相互作用が働く。TbFeCo記録層5は、室温で
遷移金属リッチな組成であり、キュリー温度は280℃
である。また、TbFeからなる転写制御層6は、室温
で希土類リッチな組成であり、キュリー温度160℃と
し、記録層5に交換結合させた構成である。
Here, the magneto-optical recording medium 10 of the present embodiment
In the recording film structure at 0, the GdFeCo reproducing layer 3 has a rare earth-rich composition at room temperature, a Curie temperature of 300 ° C., and a compensation composition temperature of 270 ° C. Further, since the intermediate layer 4 is a SiN film, an interaction between the intermediate layer 4 and the recording layer 5 is caused by a static magnetic field. The TbFeCo recording layer 5 has a transition metal-rich composition at room temperature, and has a Curie temperature of 280 ° C.
It is. Further, the transfer control layer 6 made of TbFe has a rare-earth-rich composition at room temperature, has a Curie temperature of 160 ° C., and is exchange-coupled to the recording layer 5.

【0082】このような記録層5及び転写制御層6の磁
化の温度依存性を、図4に示す。図4において、破線は
記録層5の磁化の温度依存性を示し、点線は転写制御層
6の磁化の温度依存性を示す。更に、実線は、記録層5
と転写制御層6とを積層した状態で得られる両者の磁化
を加算した磁化の大きさ、すなわち転写のための磁界
(転写磁界)の温度依存性を示す。
FIG. 4 shows the temperature dependence of the magnetization of the recording layer 5 and the transfer control layer 6. 4, the broken line indicates the temperature dependence of the magnetization of the recording layer 5, and the dotted line indicates the temperature dependence of the magnetization of the transfer control layer 6. Further, the solid line indicates the recording layer 5
It shows the magnitude of the magnetization obtained by adding the two magnetizations obtained when the transfer control layer 6 and the transfer control layer 6 are stacked, that is, the temperature dependence of the magnetic field for transfer (transfer magnetic field).

【0083】これより、積層された記録層5及び転写制
御層6の加算された磁化の大きさである転写磁界の大き
さは、80℃あたりから急に大きくなることがわかる。
従って、静磁界を用いて記録層5の記録磁区13を再生
層3に転写させる場合には、静磁界の大きさが温度に対
して急峻に変化するために、再生信号の検出が容易にな
る。
From this, it is found that the magnitude of the transfer magnetic field, which is the magnitude of the added magnetization of the laminated recording layer 5 and transfer control layer 6, suddenly increases from around 80 ° C.
Therefore, when the recording magnetic domain 13 of the recording layer 5 is transferred to the reproducing layer 3 using the static magnetic field, the magnitude of the static magnetic field changes sharply with respect to the temperature, so that the detection of the reproduction signal is facilitated. .

【0084】実際に、本実施形態の光磁気記録媒体10
0に記録変調磁界300Oeの磁界を印加して照射レー
ザのパルス幅30%の光パルス磁界変調記録により記録
した信号の、室温25℃での再生パワーに対する再生信
号のキャリアレベルの特性を、図5に示す。この時、光
学ヘッドの対物レンズのNAは0.55、光源のレーザ
波長は680nmとした。また、回転している光磁気記
録媒体の線速度は3.5m/sであり、記録パワーは8
〜9mWとして、マーク長が0.47μmとなるように
記録磁界の変調周波数を設定して記録した。また、比較
のために、本発明の転写制御層6を用いていない従来の
磁気的超解像を用いた光磁気記録媒体の再生信号の再生
パワーに対する特性(測定条件は上記と同様)も、図5
に示してある。
Actually, the magneto-optical recording medium 10 of the present embodiment
FIG. 5 shows a carrier level characteristic of a reproduction signal with respect to reproduction power at room temperature 25 ° C. of a signal recorded by optical pulse magnetic field modulation recording with a pulse width of 30% of an irradiation laser by applying a recording modulation magnetic field of 300 Oe to 0. Shown in At this time, the NA of the objective lens of the optical head was 0.55, and the laser wavelength of the light source was 680 nm. The rotating velocity of the rotating magneto-optical recording medium is 3.5 m / s, and the recording power is 8 m / s.
Recording was performed by setting the modulation frequency of the recording magnetic field so that the mark length was 0.47 μm at 99 mW. For comparison, the characteristics (measurement conditions are the same as above) with respect to the reproduction power of the reproduction signal of the magneto-optical recording medium using the conventional magnetic super-resolution without using the transfer control layer 6 of the present invention are also shown. FIG.
It is shown in

【0085】従来の構成の光磁気記録媒体では、記録層
の磁化の大きさの、温度に対する増加は緩やかな増加で
あり、更に、再生層の面内磁化膜から垂直磁化膜への遷
移も緩やかである。このため、図5に比較例(点線)と
して示すように、1.0mWの再生パワーであっても、
キャリアレベルの最大値に対して−30dB以上の信号
が転写されており、再生パワーの増加に伴う温度上昇に
伴って、転写されるキャリアレべルは徐々に増加してい
る。この結果、従来の構成では、再生層によりマスクさ
れる領域と記録層の磁区の転写される領域との間の臨界
温度が明確ではなく、環境温度が変化すると、面内マス
クされる領域の温度範囲が狭くなったり、小さいレーザ
パワーでも記録層の記録磁区が転写されたりする。この
ため、本発明のような転写制御層を有さない従来の構成
では、磁気的な超解像動作が不安定となったり、再生信
号が劣化したりする原因となる。
In the magneto-optical recording medium having the conventional configuration, the magnitude of the magnetization of the recording layer increases gradually with respect to the temperature, and the transition from the in-plane magnetic film to the perpendicular magnetic film of the reproducing layer also moderates. It is. For this reason, as shown in FIG. 5 as a comparative example (dotted line), even if the reproducing power is 1.0 mW,
A signal of -30 dB or more has been transferred to the maximum value of the carrier level, and the carrier level to be transferred gradually increases as the temperature rises with an increase in the reproduction power. As a result, in the conventional configuration, the critical temperature between the region masked by the reproducing layer and the region to which the magnetic domain of the recording layer is transferred is not clear, and when the environmental temperature changes, the temperature of the in-plane masked region increases. The range is narrowed, or the recording magnetic domain of the recording layer is transferred even with a small laser power. For this reason, in the conventional configuration having no transfer control layer as in the present invention, the magnetic super-resolution operation becomes unstable or the reproduced signal is deteriorated.

【0086】これに対して、本実施形態の光磁気記録媒
体100の再生パワーに対するキャリアレベルの変化
は、再生パワー1.1mW程度まで、ほとんど記録層5
の記録磁区の信号が転写されず、再生パワー1.2mW
あたりから急峻にキャリアレベルが増加している。これ
は、以下の理由による。
On the other hand, the change in the carrier level with respect to the reproducing power of the magneto-optical recording medium 100 of the present embodiment is almost up to the reproducing power of about 1.1 mW.
Is not transferred, and the read power is 1.2 mW.
The carrier level sharply increases from around. This is for the following reason.

【0087】本実施形態の光磁気記録媒体100では、
図4に示したように、再生パワーが小さく記録膜構造の
温度が低い場合には、磁化の方向が異なる記録層5と転
写制御層6とが組み合わされていることから、低温での
記録層5の記録磁区は転写されない。しかし、記録層3
の記録磁区が転写される高温領域では、転写制御層6が
キュリー温度以上となるため、記録層3の側のみからの
磁化により転写再生される。特に、再生層3に信号が転
写される臨界温度付近では、転写制御層6の磁化の消失
及び記録層5の磁化の増加によって、急峻な磁化の変化
が得られるため、環境温度に左右されることなく、転写
信号の検出が可能となる。
In the magneto-optical recording medium 100 of this embodiment,
As shown in FIG. 4, when the reproducing power is small and the temperature of the recording film structure is low, the recording layer 5 and the transfer control layer 6 having different magnetization directions are combined. The recording domain No. 5 is not transferred. However, the recording layer 3
In the high temperature region where the recording magnetic domain is transferred, the transfer control layer 6 has a Curie temperature or higher, so that the transfer is reproduced by the magnetization from only the recording layer 3 side. In particular, near the critical temperature at which a signal is transferred to the reproducing layer 3, a sharp change in magnetization is obtained due to the disappearance of the magnetization of the transfer control layer 6 and the increase in the magnetization of the recording layer 5. Without this, the transfer signal can be detected.

【0088】以上のように、本実施形態の光磁気記録媒
体100を用いれば、面内磁化膜の再生層3を用いた磁
気超解像の場合にも、再生パワーに対して静磁界による
転写磁化の特性を急峻に変化させることが可能であり、
環境温度の変化に対する再生パワーマージンの大きい光
磁気記録媒体を実現できる。しかも、磁気的超解像のマ
スク領域でのクロストークによる再生信号の劣化も低減
された、優れた高密度記録再生可能な光磁気記録媒体、
及び良好な情報再生方法の提供が可能となる。
As described above, if the magneto-optical recording medium 100 of the present embodiment is used, even in the case of the magnetic super-resolution using the reproducing layer 3 of the in-plane magnetic film, the reproduction power is transferred by the static magnetic field. It is possible to change the magnetization characteristics sharply,
A magneto-optical recording medium having a large reproduction power margin with respect to a change in environmental temperature can be realized. In addition, a magneto-optical recording medium capable of excellent high-density recording and reproduction, in which deterioration of a reproduction signal due to crosstalk in a magnetic super-resolution mask area is reduced,
And a good information reproducing method can be provided.

【0089】更に、本実施形態の光磁気記録媒体100
の構成によれば、転写制御層6が記録層5とは逆方向の
磁化特性を有する構成であるため、記録層に記録する
際、記録マークの周辺部分における記録層5による浮遊
磁界の影響も、逆方向の磁化特性によって小さくするこ
とができるため、記録磁界特性も向上させることができ
る。
Further, the magneto-optical recording medium 100 of the present embodiment
According to the configuration described above, since the transfer control layer 6 has a magnetization characteristic in a direction opposite to that of the recording layer 5, when recording is performed on the recording layer, the influence of the stray magnetic field due to the recording layer 5 around the recording mark is also reduced. Since the magnetic field can be reduced by the magnetization characteristics in the opposite direction, the recording magnetic field characteristics can be improved.

【0090】(第2の実施形態)次に、本発明の第2の
実施形態について説明する。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described.

【0091】本実施形態での光磁気記録媒体は、第1の
実施形態に示した図1と同様の構成を有しており、具体
的には、プラスチック材料からなる光ディスク基板1の
上に、エンハンスのための誘電体層2を形成し、更に再
生層3、中間層4、記録層5、転写制御層6をそれぞれ
順次積層させた記録膜構造を有する。更に、その上に
は、保護層7及びオーバーコート層8が形成されてい
る。また、転写制御層6の上に、誘電体層を介してA
l、Cu等の熱伝導率の大きい熱制御吸収層を付加して
も良い。
The magneto-optical recording medium according to the present embodiment has the same configuration as that of the first embodiment shown in FIG. 1. Specifically, on the optical disk substrate 1 made of a plastic material, It has a recording film structure in which a dielectric layer 2 for enhancement is formed, and a reproducing layer 3, an intermediate layer 4, a recording layer 5, and a transfer control layer 6 are sequentially laminated respectively. Further, a protective layer 7 and an overcoat layer 8 are formed thereon. Further, on the transfer control layer 6, A
You may add a heat control absorption layer with large thermal conductivity, such as 1 and Cu.

【0092】ここで、各層3〜6からなる記録膜構造
は、第1の実施形態と同様、CAD方式を用いた記録密
度を大きくする記録再生方法を実現するものであり、再
生時のドメイン径0.5μm以下の高密度記録再生の場
合の読み出し信号量を大きくするための磁気的結合した
多層膜構造を有する。また、本実施形態では、中間層4
としてGdDyFeの磁性膜を用いた構成であり、再生
層3と中間層4との間の交換結合により低温領域では面
内マスクを形成し、中間層4がキュリー温度以上となっ
た高温の場合にのみ、記録層5の記録磁区13が転写さ
れて再生される。再生層3の特性及び再生時の動作原理
は、第1の実施形態とほぼ同様であるので、ここでは詳
細な説明は省略する。
Here, the recording film structure composed of the respective layers 3 to 6 realizes a recording / reproducing method for increasing the recording density using the CAD system, similarly to the first embodiment, and has a domain diameter at the time of reproduction. It has a magnetically coupled multilayer structure to increase the amount of read signals in the case of high-density recording and reproduction of 0.5 μm or less. In the present embodiment, the intermediate layer 4
In the case where a magnetic film of GdDyFe is used, an in-plane mask is formed in a low temperature region by exchange coupling between the reproducing layer 3 and the intermediate layer 4 and the intermediate layer 4 has a high temperature higher than the Curie temperature. Only the recorded magnetic domains 13 of the recording layer 5 are transferred and reproduced. Since the characteristics of the reproduction layer 3 and the operation principle at the time of reproduction are almost the same as those of the first embodiment, detailed description is omitted here.

【0093】図1を参照して本実施形態における光磁気
記録媒体を説明すると、光スポットのトラッキングガイ
ドのための蛇行したプリピットを備えたポリオレフィン
からなる光ディスク基板1を用いて、その上に、エンハ
ンスのための誘電体層2として、厚さ80nmのZnS
膜をRFスパッタリングにより形成している。その上の
記録膜構造は、30nmのGdFeCo再生層3、25
nmのGdDyFe中間層4、50nmのTbFeCo
Cr記録層5、35nmのDyFeCo転写制御層6
が、それぞれ順次DCスパッタリングにより形成されて
いる。更にその上には、ZnS・SiO2保護層7をR
Fスパッタリングにより厚さ10nmに成膜し、更に、
厚さ40nmのAlTi熱吸収層をDCスパッタリング
により成膜する。そして、その上には、エポキシ系の紫
外線硬化樹脂をスピンコートにより塗布し硬化させて、
オーバーコート層8を形成する。
Referring to FIG. 1, the magneto-optical recording medium according to the present embodiment will be described. An optical disk substrate 1 made of polyolefin having meandering prepits for tracking a light spot is used. 80 nm thick ZnS as a dielectric layer 2 for
The film is formed by RF sputtering. The recording film structure thereon has a GdFeCo reproducing layer 3, 25 nm of 30 nm.
GdDyFe intermediate layer 4, 50 nm TbFeCo
Cr recording layer 5, 35 nm DyFeCo transfer control layer 6
Are sequentially formed by DC sputtering. Furthermore, a ZnS.SiO 2 protective layer 7 is further
A film is formed to a thickness of 10 nm by F sputtering.
An AlTi heat absorbing layer having a thickness of 40 nm is formed by DC sputtering. And, on top of that, an epoxy-based UV curable resin is applied by spin coating and cured,
An overcoat layer 8 is formed.

【0094】ここで、本実施形態の記録膜において、G
dFeCo再生層3は、室温で希土類リッチな組成であ
り、キュリー温度310℃、補償組成温度280℃であ
る。また、GdDyFe中間層4は、膜面面内方向に磁
気異方性を有する遷移金属リッチな組成であり、キュリ
ー温度は140℃である。更に、中間層4を介して設け
られているTbFeCoCr記録層5は、室温で遷移金
属リッチな組成であり、キュリー温度270℃としてあ
る。また、DyFeCoからなる転写制御層6は、室温
で希土類リッチな組成で、キュリー温度200℃、補償
組成温度110℃であり、記録層5に交換結合させた構
成である。
Here, in the recording film of this embodiment, G
The dFeCo reproducing layer 3 has a rare-earth-rich composition at room temperature, and has a Curie temperature of 310 ° C. and a compensation composition temperature of 280 ° C. The GdDyFe intermediate layer 4 has a transition metal rich composition having magnetic anisotropy in the in-plane direction of the film, and has a Curie temperature of 140 ° C. Further, the TbFeCoCr recording layer 5 provided with the intermediate layer 4 interposed therebetween has a transition metal-rich composition at room temperature, and has a Curie temperature of 270 ° C. The transfer control layer 6 made of DyFeCo has a rare-earth-rich composition at room temperature, a Curie temperature of 200 ° C., and a compensation composition temperature of 110 ° C., and has a configuration in which it is exchange-coupled to the recording layer 5.

【0095】このような記録層5及び転写制御層6の磁
化の温度依存性を、図6に示す。図4において、破線は
記録層5の磁化の温度依存性を示し、点線は転写制御層
6の磁化の温度依存性を示す。更に、実線は、記録層5
と転写制御層6とを積層した状態で得られる両者の磁化
を加算した磁化の大きさ、すなわち転写のための磁界
(転写磁界)の温度依存性を示す。
FIG. 6 shows the temperature dependence of the magnetization of the recording layer 5 and the transfer control layer 6 as described above. 4, the broken line indicates the temperature dependence of the magnetization of the recording layer 5, and the dotted line indicates the temperature dependence of the magnetization of the transfer control layer 6. Further, the solid line indicates the recording layer 5
It shows the magnitude of the magnetization obtained by adding the two magnetizations obtained when the transfer control layer 6 and the transfer control layer 6 are stacked, that is, the temperature dependence of the magnetic field for transfer (transfer magnetic field).

【0096】図示するように、記録層の磁化と転写制御
層の磁化とは、転写制御層6の補償組成温度である11
0℃あたりまでは磁化の方向がお互いに逆であるため
に、両層の間で打ち消しあう。しかし、補償組成温度以
上では、転写制御層6も遷移金属リッチな組成となっ
て、その磁化の方向が記録層5の磁化の方向に一致する
ようになり、転写制御層6の磁化が記録層5の磁化に加
算されるため、転写磁界が急峻に大きくなる。
As shown, the magnetization of the recording layer and the magnetization of the transfer control layer are equal to the compensation composition temperature of the transfer control layer 6.
Up to around 0 ° C., the directions of magnetization are opposite to each other, so that the two layers cancel each other. However, when the temperature is equal to or higher than the compensation composition temperature, the transfer control layer 6 also has a transition metal-rich composition, and its magnetization direction matches the magnetization direction of the recording layer 5. 5, the transfer magnetic field sharply increases.

【0097】この時、中間層4がキュリー温度以上とな
るようにしておけば、磁気消滅が起こり、安定転写が可
能となる。
At this time, if the intermediate layer 4 is kept at the Curie temperature or higher, magnetic extinction occurs and stable transfer becomes possible.

【0098】また、中間層4はキュリー温度以下では面
内磁性膜であって再生層3の磁化の面内磁化成分を補助
するため、マスク特性も向上し、結果として、短いマー
ク(記録磁区)での再生信号の検出が容易になる。
The intermediate layer 4 is an in-plane magnetic film at a temperature lower than the Curie temperature and assists the in-plane magnetization component of the magnetization of the reproducing layer 3, so that the mask characteristics are also improved. As a result, short marks (recorded magnetic domains) are obtained. In this case, the detection of the reproduced signal is facilitated.

【0099】この結果、本実施形態での光磁気記録媒体
の再生パワーに対するキャリアレベルの変化も、第1の
実施形態と同様に、再生パワー1.2mWまでほとんど
記録層5の記録磁区の信号が転写されず、再生パワー
1.4mWあたりから、急峻にキャリアレベルが増加す
る。
As a result, the carrier level changes with respect to the reproducing power of the magneto-optical recording medium in this embodiment, as in the case of the first embodiment, the signal of the recording magnetic domain of the recording layer 5 is almost unchanged up to the reproducing power of 1.2 mW. No transfer is performed, and the carrier level sharply increases from around 1.4 mW of reproduction power.

【0100】また、本実施形態では、転写制御層6を用
いた構成により低温での転写磁界を小さくすることが可
能であり、記録層5の磁化と転写制御層6の磁化とが向
きは逆であるが大きさが一致するようになる温度(臨界
温度とも称する)である80℃以下の温度範囲では、積
層された記録層5及び転写制御層6の加算した磁化(転
写磁界)の大きさが、100emu/cc以下となって
いる(図6参照)。このため、この臨界温度の近傍で
は、転写磁界がほぼキャンセルされる。
Further, in the present embodiment, the transfer magnetic field at a low temperature can be reduced by the configuration using the transfer control layer 6, and the directions of the magnetization of the recording layer 5 and the transfer control layer 6 are opposite. However, in a temperature range of 80 ° C. or less, which is a temperature at which the sizes match (also referred to as a critical temperature), the magnitude of the added magnetization (transfer magnetic field) of the laminated recording layer 5 and transfer control layer 6 Is less than 100 emu / cc (see FIG. 6). Therefore, near the critical temperature, the transfer magnetic field is almost canceled.

【0101】更に、本実施の形態では、室温近傍であっ
て、積算した磁化(転写磁界)が逆向きに比較的増加し
ているけれども、そのあたりの室温の温度範囲では、再
生層の面内磁気異方性がより大きくなり、十分なマスク
特性があるので、積算磁化の逆向き特性は、問題となら
ない。
Further, in this embodiment, although the integrated magnetization (transfer magnetic field) is relatively increased near the room temperature and in the opposite direction, in the temperature range around room temperature, the in-plane of the reproducing layer Since the magnetic anisotropy becomes larger and there are sufficient mask characteristics, the reverse characteristic of the integrated magnetization does not matter.

【0102】従って、本実施形態の構成により、低温領
域では、記録層5の記録磁区は転写されないため、再生
層3の面内マスク特性が向上し、一方、記録層3の記録
磁区が転写される高温領域では、転写制御層6が補償組
成温度以上となるために記録層3の側からの磁化により
安定した転写が行われて再生される。この結果、本実施
形態の光磁気記録媒体では、ドメイン長0.4μmでの
記録/再生が可能となる。
Therefore, according to the configuration of the present embodiment, in the low temperature region, the recording magnetic domains of the recording layer 5 are not transferred, so that the in-plane mask characteristics of the reproducing layer 3 are improved, while the recording magnetic domains of the recording layer 3 are transferred. In a high temperature region, the transfer control layer 6 has a temperature equal to or higher than the compensation composition temperature, so that stable transfer is performed by magnetization from the recording layer 3 side and reproduction is performed. As a result, in the magneto-optical recording medium of the present embodiment, recording / reproduction with a domain length of 0.4 μm becomes possible.

【0103】このように、本実施形態では、磁気的超解
像を用いたCAD方式において記録層と転写制御層とを
積層した構成により、0.5μm以下の情報信号を安定
して記録再生できる、優れた光磁気記録媒体を実現でき
る。
As described above, in the present embodiment, the information signal of 0.5 μm or less can be stably recorded / reproduced by the configuration in which the recording layer and the transfer control layer are laminated in the CAD system using magnetic super-resolution. And an excellent magneto-optical recording medium can be realized.

【0104】(第3の実施形態)次に、本発明の第3の
実施形態について、図面を参照しながら説明する。
(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0105】図7は、本実施形態における光磁気記録媒
体300の構成を模式的に示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view schematically showing the configuration of the magneto-optical recording medium 300 according to the present embodiment.

【0106】図7において、光スポットのトラッキング
ガイドのための案内溝を備えたポリカーボネートの光デ
ィスク基板21の上に、SiNからなるエンハンスのた
めの誘電体層22を形成し、更にその上に、GdFeC
o磁区拡大層23、GdFeCoCr再生層24、Al
N中間層25、TbFeCo記録層26、DyTbFe
Co転写制御層27が順に積層された5層構造の記録膜
構造が設けられている。このような記録膜構造の上に
は、AlCrN熱制御層28、AlCr熱吸収層29、
エポキシ系紫外線硬化樹脂のオーバーコート層30が設
けられている。
In FIG. 7, a dielectric layer 22 for enhancement made of SiN is formed on a polycarbonate optical disk substrate 21 having a guide groove for tracking a light spot, and a GdFeC layer is further formed thereon.
o Magnetic domain expansion layer 23, GdFeCoCr reproduction layer 24, Al
N intermediate layer 25, TbFeCo recording layer 26, DyTbFe
A recording film structure having a five-layer structure in which Co transfer control layers 27 are sequentially stacked is provided. On such a recording film structure, an AlCrN heat control layer 28, an AlCr heat absorption layer 29,
An overcoat layer 30 of an epoxy-based ultraviolet curable resin is provided.

【0107】本実施形態の光磁気記録媒体300の形成
方法としては、まず、直流マグネトロンスパッタリング
装置により、Siターゲットをアルゴンガスと窒素ガス
との混合雰囲気の中で反応性スパッタリングして、光ス
ポットのトラッキングガイドのためのランド部とグルー
ブ部に記録を行うことができる構成を有するポリカーボ
ネイト基板21の上に、SiN膜22を80nm成膜す
る。更に、GdFeCoターゲットを用いたアルゴンガ
ス中でのスパッタリングにより、GdFeCo膜23を
厚さ20nmに成膜した後に、GdFeCoCrターゲ
ートを用いて、アルゴンガス中でスパッタリングを行っ
て、GdFeCoCr膜24を15nmの厚さに形成す
る。更に、Alターゲットをアルゴンガスと窒素ガスと
の混合雰囲気の中でDCスパッタリングすることによ
り、AlN膜25を25nm成膜する。その上に、Tb
FeCo及びDyTbFeCoそれぞれのターゲットを
用いて、TbFeCo記録層26を35nm、DyTb
FeCo転写制御層27を30nm、それぞれ積層す
る。更に、AlCrターゲットを用いて、アルゴンガス
と窒素ガスとの混合雰囲気の中での反応性スパッタリン
グにより、AlCrN熱制御層28を厚さ20nmに成
膜し、更に、AlCrターゲットをアルゴンガス中でD
Cスパッタリングして熱吸収層29を50nm成膜す
る。そして、その上に、エポキシ系の紫外線硬化樹脂を
スピンコートにより6μm塗布したあと紫外線を照射し
て硬化させ、オーバーコート層30を形成し、本実施形
態の光磁気記録媒体300が得られる。
As a method of forming the magneto-optical recording medium 300 of this embodiment, first, a Si target is reactively sputtered by a DC magnetron sputtering apparatus in a mixed atmosphere of argon gas and nitrogen gas to form a light spot. An 80 nm-thick SiN film 22 is formed on a polycarbonate substrate 21 having a configuration capable of performing recording on a land portion and a groove portion for tracking guide. Further, after forming a GdFeCo film 23 to a thickness of 20 nm by sputtering in an argon gas using a GdFeCo target, sputtering is performed in an argon gas using a GdFeCoCr tergate to form a GdFeCoCr film 24 having a thickness of 15 nm. Formed. Further, an AlN film 25 is formed to a thickness of 25 nm by DC sputtering of an Al target in a mixed atmosphere of an argon gas and a nitrogen gas. On top of that, Tb
Using the respective targets of FeCo and DyTbFeCo, the TbFeCo recording layer 26 is
The FeCo transfer control layer 27 is laminated to a thickness of 30 nm. Further, using an AlCr target, an AlCrN heat control layer 28 was formed to a thickness of 20 nm by reactive sputtering in a mixed atmosphere of argon gas and nitrogen gas.
The heat absorption layer 29 is formed to a thickness of 50 nm by C sputtering. Then, an ultraviolet-curable epoxy resin is applied thereon by spin coating to a thickness of 6 μm, and then cured by irradiating ultraviolet rays to form an overcoat layer 30. Thus, the magneto-optical recording medium 300 of the present embodiment is obtained.

【0108】ここで、各層23〜27からなる本実施形
態の光磁気記録媒体300の記録膜構造は、シュリンク
タイプの磁区拡大層23を用いて磁区拡大を利用した多
層膜構造により、記録密度を大きくする方法を実現でき
るものであり、再生時のドメイン径0.4μm以下の高
密度記録再生の場合の読み出し信号量を大きくするため
に磁気的に結合した多層膜構造を有する。
Here, the recording film structure of the magneto-optical recording medium 300 of the present embodiment composed of the layers 23 to 27 has a multi-layer film structure utilizing magnetic domain expansion using the shrink type magnetic domain expansion layer 23, thereby reducing the recording density. It can realize a method of increasing the size, and has a multilayer structure magnetically coupled in order to increase the amount of read signals in the case of high-density recording / reproduction with a domain diameter of 0.4 μm or less during reproduction.

【0109】図8は、本実施形態の磁区拡大方式の一方
式であるシュリンクタイプの磁区拡大層23を用いた光
磁気記録媒体300の再生時の構成図を示すものであ
り、(a)は、光磁気記録媒体300のトラックの一部
を示す平面図、(b)は、その光磁気記録媒体300の
記録膜構造の構成(特に磁化の方向)を示す断面図であ
る。なお、図8(a)に示す矢印310は、光磁気記録
媒体300のトラックに沿った移動方向であり、図8
(b)の各層23、24、26及び27の中に描かれて
いる矢印は、各々の場所における磁化の方向を示す。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration at the time of reproduction of the magneto-optical recording medium 300 using the shrink type magnetic domain enlarging layer 23 which is one type of the magnetic domain enlarging system of the present embodiment. FIG. 3B is a plan view showing a part of a track of the magneto-optical recording medium 300, and FIG. Note that an arrow 310 shown in FIG. 8A is a moving direction along a track of the magneto-optical recording medium 300.
Arrows drawn in each of the layers 23, 24, 26 and 27 in (b) indicate the direction of magnetization at each location.

【0110】図8を用いて、本実施形態の再生原理につ
いて簡単に説明する。
With reference to FIG. 8, a brief description will be given of the reproduction principle of this embodiment.

【0111】図8(b)に示すように、本実施形態の光
磁気記録媒体300における記録膜構造は、磁区拡大層
23、再生層24、中間層25、記録層26、転写制御
層27の5層構造を有している。また、図8(a)にお
いて、35は再生レーザ光スポット、31及び32はマ
スク領域(具体的には、31が低温領域で32が高温領
域である)、33は再生可能温度領域である。また、記
録磁区34は、記録層26に記録されている。ここで、
記録層26と転写制御層27とは、室温では逆方向の磁
化を有しており、再生可能温度領域33は、転写制御層
27のキュリー温度以上となっており、記録層26のキ
ュリー温度は、再生可能温度領域33の温度よりも更に
高いという関係が必要である。
As shown in FIG. 8B, the recording film structure of the magneto-optical recording medium 300 according to the present embodiment includes a magnetic domain expansion layer 23, a reproducing layer 24, an intermediate layer 25, a recording layer 26, and a transfer control layer 27. It has a five-layer structure. In FIG. 8A, reference numeral 35 denotes a reproduction laser beam spot, reference numerals 31 and 32 denote mask regions (specifically, 31 denotes a low-temperature region and 32 denotes a high-temperature region), and 33 denotes a reproducible temperature region. The recording magnetic domains 34 are recorded on the recording layer 26. here,
The recording layer 26 and the transfer control layer 27 have magnetizations in opposite directions at room temperature, the reproducible temperature region 33 is higher than the Curie temperature of the transfer control layer 27, and the Curie temperature of the recording layer 26 is , The temperature must be higher than the temperature of the reproducible temperature region 33.

【0112】本実施形態の光磁気記録媒体300におけ
る記録膜構造では、GdFeCo磁区拡大層23は、室
温で希土類リッチな組成であり、キュリー温度310
℃、補償組成温度100℃である。また、再生層24
は、室温で面内磁性膜の遷移金属リッチな組成であり、
キュリー温度190℃のGdFeCoCrから形成され
る。更に、AlNの中間層25は交換結合を遮断する層
であり、中間層25を介して積層されるTbFeCo記
録層26は、室温で希土類金属リッチな組成であり、キ
ュリー温度300℃、補償組成温度110℃である。ま
た、DyTbFeCoからなる転写制御層27は、室温
で遷移金属リッチな組成であり、キュリー温度140℃
であり、記録層26に交換結合させた構成である。
In the recording film structure of the magneto-optical recording medium 300 of the present embodiment, the GdFeCo magnetic domain expansion layer 23 has a rare-earth-rich composition at room temperature, and has a Curie temperature of 310.
° C and the compensating composition temperature is 100 ° C. Also, the reproduction layer 24
Is the transition metal rich composition of the in-plane magnetic film at room temperature,
It is formed from GdFeCoCr having a Curie temperature of 190 ° C. Further, the AlN intermediate layer 25 is a layer that blocks exchange coupling, and the TbFeCo recording layer 26 laminated via the intermediate layer 25 has a rare-earth metal-rich composition at room temperature, a Curie temperature of 300 ° C., and a compensation composition temperature. 110 ° C. The transfer control layer 27 made of DyTbFeCo has a transition metal-rich composition at room temperature, and has a Curie temperature of 140 ° C.
In this configuration, the recording layer 26 is exchange-coupled.

【0113】ここで、図10(a)〜(c)は、本実施
形態の光磁気記録媒体300における磁区拡大層23を
単層で設けた場合における、異なる温度での磁気特性
(カーヒステレシスループ及び磁化の方向)を示す図で
ある。具体的には、図10(a)は50℃、(b)は1
10℃、(c)は160℃におけるグラフである。
Here, FIGS. 10 (a) to 10 (c) show the magnetic characteristics (Kerr hysteresis loop) at different temperatures when the magnetic domain expansion layer 23 in the magneto-optical recording medium 300 of this embodiment is provided as a single layer. And directions of magnetization). Specifically, FIG. 10A shows 50 ° C., and FIG.
10 ° C., (c) is a graph at 160 ° C.

【0114】図10(a)のカーヒステリシスループを
例に取ると、磁区拡大層23に磁界Hをプラス側からマ
イナス側に印加していくと、約−180Oeの磁界で、
図中のAの磁化状態からBの磁化状態に反転する。更
に、Bの磁化状態から磁区拡大層23に磁界Hをプラス
側に向けて印加していくと、0よりもマイナス側の磁界
である約−70Oe付近で、磁区拡大層23は再びAの
磁化状態に反転する。このように、本実施形態の光磁気
記録媒体300に含まれている磁区拡大層23のカーヒ
ステレシスループは、図10(a)〜(c)に示すよう
に印加磁界がマイナスの方向にシフトしており、特に図
10(a)或いは(b)に示す温度が低い場合には、外
部磁界が無い場合に一方向に磁化の方向が揃う特性を有
しており、一方向の磁化によるシュリンク動作によりマ
スクされる。
Taking the Kerr hysteresis loop of FIG. 10A as an example, when a magnetic field H is applied to the magnetic domain expansion layer 23 from the plus side to the minus side, a magnetic field of about -180 Oe is obtained.
The magnetization state of A in FIG. Further, when the magnetic field H is applied from the magnetization state of B to the magnetic domain enlarging layer 23 toward the plus side, the magnetic domain enlarging layer 23 reappears around the magnetic field enlarging layer A at about -70 Oe, which is a magnetic field on the negative side of 0. Invert to state. As described above, the Kerr hysteresis loop of the magnetic domain enlarging layer 23 included in the magneto-optical recording medium 300 of the present embodiment causes the applied magnetic field to shift in the negative direction as shown in FIGS. In particular, when the temperature shown in FIG. 10A or 10B is low, the direction of magnetization is uniform in one direction in the absence of an external magnetic field. Is masked by

【0115】再生層24の働きは、上記第1,第2の実
施の形態と同様である。
The function of the reproducing layer 24 is the same as in the first and second embodiments.

【0116】従って、再生光スポット35内の低温領域
31では、再生層24が膜面面内方向に磁気異方性を有
するため、記録層26の記録磁区34が磁区拡大層23
に転写されず、上記の磁区拡大層23が有するシュリン
ク動作によりマスクされる。
Therefore, in the low-temperature region 31 within the reproducing light spot 35, the reproducing layer 24 has magnetic anisotropy in the in-plane direction of the film.
And is masked by the shrink operation of the magnetic domain expansion layer 23 described above.

【0117】また、再生光スポット35の高温領域32
では、再生層24がキュリー温度以上となるため、記録
層26の記録磁区34は磁区拡大層23には少ししか転
写されない。
The high-temperature area 32 of the reproduction light spot 35
In this case, since the reproducing layer 24 has a Curie temperature or higher, the recording magnetic domains 34 of the recording layer 26 are slightly transferred to the magnetic domain enlarging layer 23.

【0118】このため、再生光スポット35内の中間の
温度領域33からのみ、記録磁区34が再生層24を介
して磁区拡大層23に転写形成される。この時、再生層
24がキュリー温度以上であるため、磁区拡大層23
は、磁壁が高温領域32の方向に移動し易く、記録磁区
34よりも大きい領域344が磁区拡大層23に転写形
成される。
For this reason, the recording magnetic domain 34 is transferred to the magnetic domain enlarging layer 23 via the reproducing layer 24 only from the intermediate temperature region 33 in the reproducing light spot 35. At this time, since the reproducing layer 24 has a Curie temperature or higher, the magnetic domain expanding layer 23
In this case, the domain wall is likely to move in the direction of the high-temperature area 32, and an area 344 larger than the recording magnetic domain 34 is transferred and formed on the magnetic domain expansion layer 23.

【0119】つまり、再生層24の磁化消滅している部
分(ハッチング部分)上に形成されている、磁区拡大層
23の部分Sは、記録層26から受ける影響より、再生
層24の中間温度で垂直磁化されている部分の上に形成
されている磁区拡大層23の部分Pから受ける影響の方
が大きいので、そちらの方へ磁区が拡大する。
That is, the portion S of the magnetic domain expansion layer 23 formed on the portion of the reproduction layer 24 where the magnetization is annihilated (hatched portion) is at an intermediate temperature of the reproduction layer 24 due to the influence of the recording layer 26. Since the influence from the portion P of the magnetic domain expansion layer 23 formed on the perpendicularly magnetized portion is greater, the magnetic domain expands toward that portion.

【0120】この結果、記録磁区34の転写信号は、磁
壁移動により拡大された再生磁区344として再生され
る。また、本実施形態のシュリンクタイプの再生方式で
は上記の再生動作を満足するために、通常より高い2.
5mWのレーザパワーで再生が行われる。
As a result, the transfer signal of the recording magnetic domain 34 is reproduced as the reproducing magnetic domain 344 enlarged by the domain wall movement. In addition, in the shrink type reproduction method of the present embodiment, in order to satisfy the above-described reproduction operation, 2.
Reproduction is performed with a laser power of 5 mW.

【0121】このような本実施形態の光磁気記録媒体3
00に含まれる記録層26及び転写制御層27の磁化の
温度依存性を、図9に示す。図9において、破線は記録
層26の磁化の温度依存性を示し、点線は転写制御層2
7の磁化の温度依存性を示す。更に、実線は、記録層2
6と転写制御層27とを積層した状態で得られる両者の
磁化を加算した磁化の大きさ、すなわち転写のための磁
界(転写磁界)の温度依存性を示す。
The magneto-optical recording medium 3 of this embodiment as described above
FIG. 9 shows the temperature dependence of the magnetizations of the recording layer 26 and the transfer control layer 27 included in 00. 9, the broken line indicates the temperature dependence of the magnetization of the recording layer 26, and the dotted line indicates the transfer control layer 2.
7 shows the temperature dependence of the magnetization of No. 7. Further, the solid line indicates the recording layer 2
6 shows the magnitude of the magnetization obtained by adding the magnetizations obtained when the transfer control layer 6 and the transfer control layer 27 are stacked, that is, the temperature dependence of the magnetic field for transfer (transfer magnetic field).

【0122】本実施形態の記録膜構造では、TbFeC
o記録層26は、室温で希土類金属リッチな組成であ
り、キュリー温度300℃、補償組成温度110℃であ
る。また、DyTbFeCoからなる転写制御層27
は、室温で遷移金属リッチな組成で、キュリー温度14
0℃であり、記録層26とは交換結合させた構成であ
る。積層した記録層26と転写制御層27との加算した
磁化(転写磁界)の大きさをみると、100℃以下の温
度範囲では、記録層の磁化の向きと転写制御層の磁化の
向きとが逆向きであるために、両者の磁化がキャンセル
し合うが、100℃近傍の温度を越えると、両者の磁化
の向きが一致するために、加算された磁化(転写磁界)
が急峻に大きくなる。これより、中間層25を介した磁
気的結合を用いて磁区拡大層23に転写させる場合、再
生層24と、記録層26と転写制御層27とを積層した
状態での磁気的相互作用の大きさが温度に対して急峻に
変化して、再生光スポット35内の中間温度領域33で
の転写による再生磁区34の形成が容易になる。そし
て、磁区拡大層23では、転写による記録磁区が拡大さ
れた状態で形成される(図8における参照番号34
4)。
In the recording film structure of the present embodiment, TbFeC
The o recording layer 26 has a rare earth metal-rich composition at room temperature, and has a Curie temperature of 300 ° C and a compensation composition temperature of 110 ° C. The transfer control layer 27 made of DyTbFeCo
Has a transition metal rich composition at room temperature and a Curie temperature of 14
The temperature is 0 ° C. and the recording layer 26 is exchange-coupled. Looking at the magnitude of the added magnetization (transfer magnetic field) of the laminated recording layer 26 and transfer control layer 27, in the temperature range of 100 ° C. or less, the magnetization directions of the recording layer and the transfer control layer are different. Since the directions are opposite to each other, the magnetizations of the two cancel each other. However, when the temperature exceeds about 100 ° C., the magnetizations of the two coincide with each other.
Rapidly increases. Accordingly, when the magnetic layer is transferred to the magnetic domain enlarging layer 23 by using the magnetic coupling via the intermediate layer 25, the magnitude of the magnetic interaction in the state where the reproducing layer 24, the recording layer 26, and the transfer control layer 27 are stacked. Changes sharply with respect to the temperature, and the formation of the reproducing magnetic domain 34 by the transfer in the intermediate temperature region 33 in the reproducing light spot 35 becomes easy. Then, in the magnetic domain expansion layer 23, the recording magnetic domain by transfer is formed in an enlarged state (reference numeral 34 in FIG. 8).
4).

【0123】実際に、本実施形態の光磁気記録媒体30
0に、記録磁界300Oeの磁界を印加してパルス幅4
0%の光パルス磁界変調記録により記録したマーク長
0.27μmの信号の、再生パワーに対する再生信号の
キャリアレベルは、第1の実施形態と同様に、1.0m
W以上の再生パワーで急峻にキャリアレベルが増加す
る。しかも、本実施形態の光磁気記録媒体300では、
図11のマーク長(記録磁区のサイズ)に対する再生信
号の信号振幅の特性図に示すように、マーク長が小さく
なった場合にも信号振幅の減少は小さい。
In practice, the magneto-optical recording medium 30 of the present embodiment
0, a recording magnetic field of 300 Oe is applied and a pulse width of 4
The carrier level of the reproduction signal with respect to the reproduction power of the signal having the mark length of 0.27 μm recorded by the optical pulse magnetic field modulation recording of 0% is 1.0 m as in the first embodiment.
The carrier level sharply increases at a reproduction power of W or more. Moreover, in the magneto-optical recording medium 300 of the present embodiment,
As shown in the characteristic diagram of the signal amplitude of the reproduction signal with respect to the mark length (the size of the recording magnetic domain) in FIG. 11, the decrease in the signal amplitude is small even when the mark length is reduced.

【0124】ここで、図11は、マーク長3μmの際の
振幅量で規格化した相対的な信号振幅(相対信号)を、
マーク長に対してプロットした図である。これより、本
実施形態の構成では、マーク長0.3μm以下でも、マ
ーク長3μmの際の振幅レベルの50%以上の振幅が得
られる。従って、本実施形態によれば、短い記録磁区3
4であっても、記録磁区34が転写時に拡大された磁区
344として形成されながら、再生されていることが確
認される。なお、図11には、比較のために、従来技術
による光磁気記録媒体、及び本発明の第1の実施形態に
よる光磁気記録媒体におけるデータも、あわせて示して
いる。
Here, FIG. 11 shows the relative signal amplitude (relative signal) normalized by the amplitude when the mark length is 3 μm.
It is the figure plotted with respect to mark length. Thus, in the configuration of the present embodiment, even if the mark length is 0.3 μm or less, an amplitude of 50% or more of the amplitude level at the mark length of 3 μm can be obtained. Therefore, according to the present embodiment, the short recording domain 3
4, it is confirmed that the recording magnetic domain 34 is reproduced while being formed as the magnetic domain 344 enlarged at the time of transfer. FIG. 11 also shows, for comparison, data in the magneto-optical recording medium according to the related art and the magneto-optical recording medium according to the first embodiment of the present invention.

【0125】以上のように、本実施形態の光磁気記録媒
体300を用いれば、シュリンクタイプの磁区拡大層2
3を用いた場合にも、再生パワーに対して転写特性を急
峻に変化させることが可能であり、環境温度の変化に対
する再生パワーマージンの大きい光磁気記録媒体を実現
できる。
As described above, by using the magneto-optical recording medium 300 of this embodiment, the shrink type magnetic domain enlarging layer 2 can be used.
3, the transfer characteristics can be sharply changed with respect to the reproduction power, and a magneto-optical recording medium having a large reproduction power margin with respect to a change in environmental temperature can be realized.

【0126】しかも、転写磁区の拡大とマスク特性によ
るクロストークの低減も可能であり、マーク長0.3μ
m以下の高密度記録の場合にも優れた記録再生が可能な
光磁気記録媒体、及び良好な情報再生方法の提供が可能
となる。
Further, it is possible to reduce the crosstalk due to the enlargement of the transfer magnetic domain and the mask characteristic, and the mark length is 0.3 μm.
It is possible to provide a magneto-optical recording medium capable of excellent recording and reproduction even in the case of high-density recording of m or less, and a good information reproducing method.

【0127】本発明の各実施形態における光磁気記録媒
体の記録再生方法では、上記のように説明してきた本発
明の光磁気記録媒体に対して、通常より高い再生パワー
で再生可能な構成の光磁気記録再生装置を用いて、信号
(記録情報)の検出を行う。
In the recording / reproducing method of the magneto-optical recording medium according to each embodiment of the present invention, the optical magnetic recording medium of the present invention described above can be reproduced with a higher reproducing power than usual. A signal (recorded information) is detected using a magnetic recording / reproducing device.

【0128】このような光磁気記録媒体の記録再生装置
では、レーザ光により情報の記録、再生、消去を行う
が、信号再生時に、光磁気記録媒体に照射した再生レー
ザ光スポット内の一部の領域で、記録層の磁化の大きさ
と転写制御層の逆方向の磁化の大きさとが一致する(そ
のような温度、すなわち臨界温度になる)。このよう
な、磁化の大きさが一致する臨界温度よりも高い温度を
有する領域では、記録層の記録磁区が、面内方向から垂
直方向の磁性膜に遷移する特性を有する再生層に、転写
再生される。これより、再生光スポットよりも小さい領
域からの信号の再生が、可能となる。この結果、転写領
域の制御が容易で、且つ低温のマスク領域から高温の転
写領域への遷移が急峻なために環境温度の変化に対する
再生マージンを大きくすることが可能な、優れた光磁気
記録媒体の記録再生装置及び再生方法が実現される。
In such a recording / reproducing apparatus for a magneto-optical recording medium, recording, reproducing, and erasing of information are performed by using a laser beam. However, at the time of reproducing a signal, a part of a reproducing laser beam spot irradiated on the magneto-optical recording medium is irradiated. In the region, the magnitude of the magnetization of the recording layer matches the magnitude of the magnetization of the transfer control layer in the opposite direction (the temperature becomes such a temperature, that is, the critical temperature). In such a region having a temperature higher than the critical temperature where the magnitudes of the magnetizations match, the recording magnetic domain of the recording layer is transferred to the reproducing layer having the property of transitioning from the in-plane direction to the magnetic film in the vertical direction. Is done. Thus, it is possible to reproduce a signal from an area smaller than the reproduction light spot. As a result, an excellent magneto-optical recording medium in which the transfer area can be easily controlled, and the transition from the low-temperature mask area to the high-temperature transfer area is steep, so that a reproduction margin for a change in environmental temperature can be increased. The recording / reproducing apparatus and the reproducing method described above are realized.

【0129】また、本発明の他の局面によれば、積層さ
れた記録層の磁化と転写制御層の磁化とを加算した飽和
磁化が極大となる温度の近傍の再生温度範囲において、
記録層と中間層、再生補助層を介した再生層との磁気的
結合力が、再生層の磁壁収縮力よりも大きくなる構成と
して、記録層に記録された磁区を再生層に転写すること
により、信号(記録情報)の再生を行う。このとき、信
号再生時に照射したレーザ光により昇温した光磁気記録
媒体の光スポット内の少なくとも一部が、記録層の磁化
の方向と転写制御層の磁化の方向とが、お互いに向きが
逆であるが大きさが一致するような温度である臨界温度
に達するように、昇温過程を実施する。これによって、
再生光スポット内であって、上記のような臨界温度範囲
の近傍以外の領域の、記録層と再生層との間の磁気的結
合力による信号転写が可能な温度範囲からのみ、記録さ
れた信号が転写されて、再生信号として検出される。或
いは、再生光スポット内の一部における、記録層の磁化
の大きさと転写制御層の逆向きの磁化の大きさとが一致
する臨界温度範囲の近傍以外の領域であって、記録層と
再生層との間の磁気的結合力による信号転写が可能な温
度範囲からのみ、記録された信号が転写される際に、転
写された磁区を拡大して(すなわち拡大された転写磁区
を用いて)、信号を検出してもよい。
Further, according to another aspect of the present invention, in a reproduction temperature range near a temperature at which the saturation magnetization obtained by adding the magnetization of the stacked recording layer and the magnetization of the transfer control layer is maximized,
By transferring the magnetic domain recorded on the recording layer to the reproducing layer, the magnetic coupling force between the recording layer and the intermediate layer and the reproducing layer via the reproducing auxiliary layer is larger than the domain wall contraction force of the reproducing layer. , And reproduces signals (recorded information). At this time, at least a part of the light spot of the magneto-optical recording medium heated by the laser beam irradiated at the time of signal reproduction has the magnetization direction of the recording layer and the magnetization direction of the transfer control layer opposite to each other. However, the temperature raising process is performed so as to reach a critical temperature which is a temperature at which the sizes match. by this,
A signal recorded only from a temperature range in which a signal can be transferred by a magnetic coupling force between a recording layer and a reproduction layer in a region other than the vicinity of the critical temperature range as described above within the reproduction light spot. Is transferred and detected as a reproduction signal. Alternatively, in a part of the reproduction light spot, a region other than the vicinity of the critical temperature range where the magnitude of the magnetization of the recording layer and the magnitude of the reverse magnetization of the transfer control layer coincide with each other, When the recorded signal is transferred only from a temperature range in which the signal can be transferred by the magnetic coupling force during the transfer, the transferred magnetic domain is enlarged (that is, by using the enlarged transferred magnetic domain), and the signal is enlarged. May be detected.

【0130】(II)次に、別の本発明の各実施の形態
について、図を用いて説明する。
(II) Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0131】(実施の形態4)図15は、本発明の実施
の形態4による光磁気記録媒体の断面図である。基板1
08はポリカーボネート製の基板である。ポリカーボネ
ート製の基板は成形が容易であるために光磁気記録媒体
の基板としてよく用いられている。基板108は、ラン
ド・グルーブ構成であり、トラック幅は0.6μmであ
る。
(Embodiment 4) FIG. 15 is a sectional view of a magneto-optical recording medium according to Embodiment 4 of the present invention. Substrate 1
08 is a substrate made of polycarbonate. Polycarbonate substrates are often used as substrates for magneto-optical recording media because of their ease of molding. The substrate 108 has a land / groove configuration, and has a track width of 0.6 μm.

【0132】本実施の形態の光磁気記録媒体は、基板1
08上に順に第1誘電体層109/第1磁性層101/
第2誘電体層110/第2磁性層102/第3誘電体層
111/オーバーコート層112を製膜した構成であ
る。
The magneto-optical recording medium according to the present embodiment is
08, the first dielectric layer 109 / the first magnetic layer 101 /
In this configuration, the second dielectric layer 110 / second magnetic layer 102 / third dielectric layer 111 / overcoat layer 112 are formed.

【0133】次に、図15に示す光磁気記録媒体の作製
方法について説明する。
Next, a method of manufacturing the magneto-optical recording medium shown in FIG. 15 will be described.

【0134】基板108上への薄膜の製膜にはスパッタ
リング装置を用いた。スパッタリング装置にはTbFe
Co合金ターゲット、GdFeCo合金ターゲット、S
iターゲットがそれぞれ独立のカソードに設置されてお
り、ポリカーボネート製である基板108をスパッタリ
ング装置内の基板ホルダーに設置する。基板108を設
置後、スパッタリング装置のチャンバー内を2×10-7
Torr以下の高真空になるまでクライオポンプで真空
排気した。
For forming a thin film on the substrate 108, a sputtering apparatus was used. TbFe for sputtering equipment
Co alloy target, GdFeCo alloy target, S
The i target is installed on each independent cathode, and a substrate 108 made of polycarbonate is installed on a substrate holder in a sputtering apparatus. After installing the substrate 108, the inside of the chamber of the sputtering apparatus is set to 2 × 10 −7.
Evacuation was performed with a cryopump until a high vacuum of Torr or less was obtained.

【0135】高真空に排気後、チャンバー内にArガス
を2×10-3TorrおよびN2ガスを4×10-3To
rr導入し、投入電力を1kW印加して、基板108上
にDCスパッタリング法を用いて第1誘電体層109で
あるSiN膜の製膜を行った。本実施の形態において
は、第1誘電体層109であるSiN膜の膜厚を80n
mとした。
After evacuating to a high vacuum, Ar gas was introduced into the chamber at 2 × 10 −3 Torr and N 2 gas was introduced at 4 × 10 −3 Ton.
rr was introduced, an input power of 1 kW was applied, and a SiN film as the first dielectric layer 109 was formed on the substrate 108 by DC sputtering. In the present embodiment, the thickness of the SiN film as the first dielectric layer 109 is set to 80 n.
m.

【0136】次に、再度、チャンバー内の真空度を2×
10-7Torr以下にして、チャンバー内にArガスを
5×10-3Torr導入する。Arガス導入後、第1誘
電体層109の上に第1磁性層101であるGdFeC
o膜の製膜を行った。スパッタリング方法は第1誘電体
層109と同様にDCスパッタリング法である。
Next, the degree of vacuum in the chamber is again set to 2 ×
At 10 -7 Torr or less, Ar gas is introduced into the chamber at 5 × 10 -3 Torr. After introducing Ar gas, GdFeC, which is the first magnetic layer 101, is formed on the first dielectric layer 109.
An o film was formed. The sputtering method is a DC sputtering method as in the case of the first dielectric layer 109.

【0137】第1磁性層101の膜厚は、光ビームが透
過できるように薄くした構成であり、本実施の形態にお
いては、第1磁性層101であるGdFeCo膜の膜厚
を20nmとした。
The thickness of the first magnetic layer 101 is made thin so that a light beam can be transmitted. In the present embodiment, the thickness of the GdFeCo film as the first magnetic layer 101 is set to 20 nm.

【0138】本実施の形態において、第1磁性層101
であるGdFeCo膜の組成をGd30.6Fe61.
1Co8.3(at.%)とした。本実施の形態の第1
磁性層101は、キュリー温度が320℃、150℃前
後の温度領域において面内磁化膜から垂直磁化膜へと遷
移するような希土類リッチの組成のGdFeCo膜であ
る。
In the present embodiment, the first magnetic layer 101
The composition of the GdFeCo film is Gd30.6Fe61.
1Co8.3 (at.%). First of this embodiment
The magnetic layer 101 is a rare earth-rich composition GdFeCo film that transitions from an in-plane magnetization film to a perpendicular magnetization film in a temperature region where the Curie temperature is around 320 ° C. and around 150 ° C.

【0139】第1磁性層101を製膜後、再度、2×1
-7Torrまで真空排気して、第1磁性層101の上
に第2誘電体層110の製膜を行った。第2誘電体層1
10は第1誘電体層109と同様にSiN膜を用いてお
り、製膜条件も第1誘電体層109の場合と同様であ
り、チャンバー内にArガスを2×10-3Torrおよ
びN2ガスを4×10-3Torr導入して、投入電力を
1kW印加して製膜を行った。
After forming the first magnetic layer 101, the 2 × 1
After evacuation to 0 −7 Torr, the second dielectric layer 110 was formed on the first magnetic layer 101. Second dielectric layer 1
Reference numeral 10 uses an SiN film similarly to the first dielectric layer 109, and the film forming conditions are the same as those of the first dielectric layer 109, and Ar gas is introduced into the chamber at 2 × 10 −3 Torr and N 2 gas. Was introduced at 4 × 10 −3 Torr, and an input power of 1 kW was applied to form a film.

【0140】第2誘電体層110の膜厚は、第1磁性層
101と第2磁性層102との静磁結合力に強く影響を
及ぼす。第2誘電体層110の膜厚が薄いほうが、第1
磁性層101と第2磁性層102との距離が短くなり、
静磁結合力が強くなるため、第2誘電体層110の膜厚
を100nm以下にするのが望ましく、30nm以下に
するのがさらに望ましい。しかし、第2誘電体層110
の膜厚が非常に薄くなると、第1磁性層101と第2磁
性層102との間で交換結合力が静磁結合力より大きく
なるため、第2誘電体層110の膜厚を2nm以上にす
ることが必要である。本実施の形態においては、第2誘
電体層110の膜厚を10nmとした。なお、第2誘電
体層の厚さの上限としては、100nm以下が望まし
く、これ以上となると第1磁性層と第2磁性層の静磁結
合力が小さくなってしまう。
The thickness of the second dielectric layer 110 strongly affects the magnetostatic coupling between the first magnetic layer 101 and the second magnetic layer 102. The smaller the thickness of the second dielectric layer 110 is,
The distance between the magnetic layer 101 and the second magnetic layer 102 becomes shorter,
Since the magnetostatic coupling force is increased, the thickness of the second dielectric layer 110 is desirably 100 nm or less, and more desirably 30 nm or less. However, the second dielectric layer 110
When the film thickness of the second dielectric layer 110 is very thin, the exchange coupling force between the first magnetic layer 101 and the second magnetic layer 102 becomes larger than the magnetostatic coupling force, so that the film thickness of the second dielectric layer 110 becomes 2 nm or more. It is necessary to. In the present embodiment, the thickness of the second dielectric layer 110 is set to 10 nm. The upper limit of the thickness of the second dielectric layer is desirably 100 nm or less. If the thickness is more than 100 nm, the magnetostatic coupling force between the first magnetic layer and the second magnetic layer becomes small.

【0141】次に、再度、2×10-7Torrまで真空
排気した後、チャンバー内にArガスを5×10-3To
rr導入し、第2磁性層102であるTbFeCo膜
を、第2誘電体層110の上に50nmの膜厚で製膜を
行った。
Next, after evacuating again to 2 × 10 −7 Torr, Ar gas was introduced into the chamber at 5 × 10 −3 Torr.
rr was introduced, and a TbFeCo film as the second magnetic layer 102 was formed on the second dielectric layer 110 to a thickness of 50 nm.

【0142】本実施の形態において、TbFeCo膜の
組成は、Tb22.1Fe71.2Co6.7(at.
%)とした。本実施の形態の第2磁性層102であるT
bFeCo膜は、キュリー温度が240℃の遷移金属リ
ッチである。
In this embodiment, the composition of the TbFeCo film is Tb22.1Fe71.2Co6.7 (at.
%). T, which is the second magnetic layer 102 of the present embodiment,
The bFeCo film is transition metal rich with a Curie temperature of 240 ° C.

【0143】次に、再度、2×10-7Torrまで真空
排気を行う。真空排気後、第1誘電体層109と同様に
チャンバー内にArガスを2×10-3TorrおよびN
2ガスを4×10-3Torr導入した。導入後、第2磁
性層102の上に、第1誘電体層109および第2誘電
体層110と同様に1kWの投入電力を印加して、第3
誘電体層111であるSiN膜の製膜を行った。
Next, vacuum evacuation is performed again to 2 × 10 −7 Torr. After evacuation, Ar gas is introduced into the chamber at 2 × 10 −3 Torr and N as in the first dielectric layer 109.
Two gases were introduced at 4 × 10 −3 Torr. After the introduction, a power of 1 kW is applied to the second magnetic layer 102 similarly to the first dielectric layer 109 and the second dielectric layer 110, and the
A SiN film as the dielectric layer 111 was formed.

【0144】第3誘電体層111の膜厚は、第2磁性層
102を酸化等の腐食から保護することが必要であり、
50nm以上が望ましい。本実施の形態においては、第
3誘電体層111の膜厚を80nmとした。
The thickness of the third dielectric layer 111 needs to protect the second magnetic layer 102 from corrosion such as oxidation.
50 nm or more is desirable. In the present embodiment, the thickness of the third dielectric layer 111 is set to 80 nm.

【0145】基板108上に上記の条件で各薄膜を製膜
した光磁気記録媒体をチャンバーから取り出して、光磁
気記録媒体の膜表面側に、紫外線硬化樹脂をスピンコー
トにより塗布して、紫外線を照射することによってオー
バーコート層112を作製した。本実施の形態において
は、紫外線硬化樹脂の粘度とスピンコーターの回転数を
制御することにより、オーバーコート層112の膜厚を
10μmとした。
The magneto-optical recording medium having the respective thin films formed on the substrate 108 under the above conditions is taken out of the chamber, and an ultraviolet curable resin is applied on the film surface side of the magneto-optical recording medium by spin coating, and the ultraviolet light is irradiated. The overcoat layer 112 was produced by irradiation. In the present embodiment, the thickness of the overcoat layer 112 is set to 10 μm by controlling the viscosity of the ultraviolet curable resin and the rotation speed of the spin coater.

【0146】本実施の形態の再生層tは、第1の実施の
形態で用いた再生層と同じまたは同様の特性を有する。
The reproducing layer t of this embodiment has the same or similar characteristics as the reproducing layer used in the first embodiment.

【0147】本発明の光磁気記録媒体の第1磁性層10
1は、希土類元素の副格子磁気モーメントが優勢の組成
である希土類−遷移金属合金を用いた。第1磁性層10
1は温度によって、それぞれ図3(a)(b)(c)に
示すような磁気特性を持つ。
The first magnetic layer 10 of the magneto-optical recording medium of the present invention
For No. 1, a rare earth-transition metal alloy having a composition in which the sublattice magnetic moment of the rare earth element is dominant was used. First magnetic layer 10
1 has magnetic characteristics as shown in FIGS. 3A, 3B and 3C depending on the temperature.

【0148】図16(a)は、室温におけるカー回転角
と外部磁界の関係を示す図である。第1磁性層101
は、室温では面内磁化膜であるので、小さな垂直方向の
外部磁界では磁化が垂直方向に向きにくく、磁化を垂直
方向に向けるためには、非常に大きな外部磁界が必要で
ある。
FIG. 16A is a diagram showing the relationship between the Kerr rotation angle and the external magnetic field at room temperature. First magnetic layer 101
Is an in-plane magnetized film at room temperature, the magnetization is hardly oriented in the vertical direction with a small external magnetic field in the vertical direction, and a very large external magnetic field is required to direct the magnetization in the vertical direction.

【0149】図16(b)は、磁化が面内方向から垂直
方向へ遷移する温度におけるカー回転角と外部磁界の関
係を示す図である。この温度領域では、ある程度の外部
磁界を印加すると、膜中のすべての磁化が垂直方向に向
くが、しかし、小さな外部磁界に対しては面内磁化膜と
して作用するので、カー回転角は小さい。
FIG. 16B is a diagram showing the relationship between the Kerr rotation angle and the external magnetic field at a temperature at which the magnetization transitions from the in-plane direction to the vertical direction. In this temperature region, when a certain external magnetic field is applied, all the magnetizations in the film are oriented in the perpendicular direction, but the Kerr rotation angle is small because the film acts as an in-plane magnetic film for a small external magnetic field.

【0150】図16(c)は、高温におけるカー回転角
と外部磁界の関係を示す図である。高温になると垂直磁
化膜となり、小さな外部磁界でも飽和し、大きなカー回
転角が得られる。第1磁性層101には、図3(a)
(b)(c)に示すような、室温では面内磁化膜、高温
になるにつれて垂直磁化膜となるような膜を用いた。
FIG. 16C is a diagram showing the relationship between the Kerr rotation angle and the external magnetic field at a high temperature. At high temperatures, the film becomes a perpendicular magnetization film, saturates even with a small external magnetic field, and provides a large Kerr rotation angle. The first magnetic layer 101 has a structure shown in FIG.
(B) As shown in (c), a film which becomes an in-plane magnetic film at room temperature and becomes a perpendicular magnetic film as the temperature becomes higher is used.

【0151】上記より、第1磁性層101はキュリー温
度が高くなるような材料および組成が適している。本実
施の形態においては、第1磁性層101であるGdFe
Co膜はキュリー温度が320℃である。
As described above, the first magnetic layer 101 is suitably made of a material and a composition that increase the Curie temperature. In the present embodiment, the first magnetic layer 101 of GdFe
The Co film has a Curie temperature of 320 ° C.

【0152】図19は、本実施の形態で用いた第2磁性
層102の飽和磁化Msと温度の関係を示す図である。
静磁結合力は磁気モーメントと強い相関があり、磁気モ
ーメントが大きいほど静磁結合力は大きくなる。磁気モ
ーメントは飽和磁化と膜厚の積に比例するものであるた
め、飽和磁化は静磁結合力に大きな影響をおよぼす。本
実施の形態で用いた第2磁性層102は、Tb22.1
Fe71.2Co6.7(at.%)の組成でキュリー
温度が240℃の遷移金属リッチの組成のTbFeCo
膜である。
FIG. 19 is a diagram showing the relationship between the saturation magnetization Ms of the second magnetic layer 102 used in this embodiment and the temperature.
The magnetostatic coupling force has a strong correlation with the magnetic moment, and the larger the magnetic moment, the greater the magnetostatic coupling force. Since the magnetic moment is proportional to the product of the saturation magnetization and the film thickness, the saturation magnetization has a great effect on the magnetostatic coupling force. The second magnetic layer 102 used in this embodiment is made of Tb22.1
Transition metal-rich TbFeCo having a composition of Fe71.2Co6.7 (at.%) And a Curie temperature of 240 ° C.
It is a membrane.

【0153】第2磁性層102は、補償温度が室温付近
にあるほうが、室温における飽和磁化と転写温度におけ
る飽和磁化との差が大きくなり、温度に対して飽和磁化
の変化が急峻になる。また室温において垂直磁気異方性
が大きく、保磁力も大きいため、安定に記録情報を保持
することが可能である。本実施の形態で用いた第2磁性
層102の室温における飽和磁化はほぼ0であり、温度
が上昇するにつれて、第2磁性層102の飽和磁化は大
きくなっていき、所定の温度、つまり第1磁性層101
へ記録情報を転写するときの温度では、第2磁性層10
2に記録されている情報を第1磁性層101に信号が十
分に転写することが可能な飽和磁化の値を示すようにな
る。
In the second magnetic layer 102, when the compensation temperature is near room temperature, the difference between the saturation magnetization at room temperature and the saturation magnetization at the transfer temperature increases, and the change in saturation magnetization with temperature becomes sharper. Further, since the perpendicular magnetic anisotropy is large and the coercive force is large at room temperature, it is possible to stably hold recorded information. The saturation magnetization of the second magnetic layer 102 used in the present embodiment at room temperature is almost 0, and as the temperature rises, the saturation magnetization of the second magnetic layer 102 increases to a predetermined temperature, that is, the first magnetization. Magnetic layer 101
When the recording information is transferred to the second magnetic layer 10
2 shows a saturation magnetization value at which a signal can be sufficiently transferred from the information recorded in No. 2 to the first magnetic layer 101.

【0154】第2磁性層102の膜厚は、第1磁性層1
01に信号を転写させるために、第2磁性層102の磁
気モーメントを大きくする必要があるため、20nm以
上であることが望ましい。また、第2磁性層102の膜
厚が厚くなりすぎると温度上昇に必要となる光ビームの
パワーが大きくなり、記録感度が低下する原因となるた
め、第2磁性層102の膜厚は200nm以下であるこ
とが望ましい。本実施の形態においては、第2磁性層1
02の膜厚を50nmとした。
The thickness of the second magnetic layer 102 is the same as that of the first magnetic layer 1.
In order to transfer a signal to the first magnetic layer 01, the magnetic moment of the second magnetic layer 102 needs to be increased. Further, if the thickness of the second magnetic layer 102 is too large, the power of the light beam required for increasing the temperature increases, which causes a decrease in recording sensitivity. Therefore, the thickness of the second magnetic layer 102 is 200 nm or less. It is desirable that In the present embodiment, the second magnetic layer 1
02 was set to 50 nm.

【0155】次に、本実施の形態において作製した光磁
気記録媒体の記録再生特性を調べた。
Next, the recording / reproducing characteristics of the magneto-optical recording medium manufactured in the present embodiment were examined.

【0156】本発明の再生方法には波長650nmの半
導体レーザー、NAが0.6の対物レンズを用いた。媒
体の線速度は3.5m/sとした。
In the reproducing method of the present invention, a semiconductor laser having a wavelength of 650 nm and an objective lens having an NA of 0.6 were used. The linear velocity of the medium was 3.5 m / s.

【0157】光磁気記録媒体への信号の記録は、光パル
ス磁界変調方式を用いた。記録パワーを9mW、dut
y50%として、光ビームを光磁気記録媒体に照射し、
第2磁性層102の温度をキュリー温度以上に上げる。
光ビームと反対面に磁気ヘッドを近づけておいて、磁気
ヘッドから記録磁界350Oeで発生する磁束の向きを
変調することによって信号を記録した。
For recording signals on the magneto-optical recording medium, an optical pulse magnetic field modulation system was used. Recording power of 9 mW, dut
irradiating the magneto-optical recording medium with a light beam as y50%;
The temperature of the second magnetic layer 102 is raised to the Curie temperature or higher.
A signal was recorded by bringing the magnetic head close to the surface opposite to the light beam and modulating the direction of the magnetic flux generated from the magnetic head by the recording magnetic field of 350 Oe.

【0158】第2磁性層102に記録されている情報の
再生は、はじめに、光ビームを光磁気記録媒体に照射す
ることにより、ビームスポット107内の第1磁性層1
01の温度を上げて垂直磁化膜の領域を作るとともに、
第2磁性層102の温度を上げて、ビームスポット10
7内の第2磁性層102の磁気モーメントを大きくす
る。
The reproduction of the information recorded on the second magnetic layer 102 is performed by first irradiating a light beam to the magneto-optical recording medium to thereby reproduce the first magnetic layer 1 in the beam spot 107.
In addition to raising the temperature of 01 to create the region of the perpendicular magnetization film,
By raising the temperature of the second magnetic layer 102, the beam spot 10
7, the magnetic moment of the second magnetic layer 102 is increased.

【0159】次いで第1磁性層101と第2磁性層10
2の静磁結合により第2磁性層102の信号を第1磁性
層101へ転写する。
Next, the first magnetic layer 101 and the second magnetic layer 10
The signal of the second magnetic layer 102 is transferred to the first magnetic layer 101 by the magnetostatic coupling of No. 2.

【0160】最後に、光磁気記録媒体で反射した光ビー
ムから、磁気光学効果により信号を検出する。
Finally, a signal is detected from the light beam reflected by the magneto-optical recording medium by the magneto-optical effect.

【0161】ここで図20は本実施の形態による光磁気
記録媒体における信号量と再生パワーの関係を示す図、
図21は本実施の形態による光磁気記録媒体においてク
ロストーク量と再生パワーの関係を示す図である。信号
量は、1.88μmの信号の大きさであり、クロストー
ク量は、片側の隣接トラック106に1.88μmの信
号を記録し、再生トラック105において隣接トラック
106から漏れ込んでくる信号量と、再生トラック10
5に1.88μmの信号を再生したときの信号量との比
で表している。
FIG. 20 is a diagram showing the relationship between the signal amount and the reproduction power in the magneto-optical recording medium according to the present embodiment.
FIG. 21 is a diagram showing the relationship between the amount of crosstalk and the reproduction power in the magneto-optical recording medium according to the present embodiment. The signal amount is a signal size of 1.88 μm, and the crosstalk amount is a signal amount of 1.88 μm recorded on one adjacent track 106 and the signal amount leaking from the adjacent track 106 in the reproduction track 105. , Playback track 10
5 shows the ratio to the signal amount when a 1.88 μm signal was reproduced.

【0162】再生パワーが小さい場合、ビームスポット
107内の大部分の領域は低温領域であり、第1磁性層
101は面内磁化膜であるため、第1磁性層101で反
射した光ビームの偏光面の回転は大きくなく、第1磁性
層101を透過し、第2磁性層102で反射した光ビー
ムの偏光面の回転によってキャンセルされるために、図
20に示すようにわずかな信号しか検出することはでき
ない。
When the reproducing power is small, most of the area in the beam spot 107 is a low-temperature area, and the first magnetic layer 101 is an in-plane magnetization film. Since the rotation of the plane is not large and is canceled by the rotation of the polarization plane of the light beam transmitted through the first magnetic layer 101 and reflected by the second magnetic layer 102, only a small signal is detected as shown in FIG. It is not possible.

【0163】再生パワーを少し大きくした場合、ビーム
スポット107の中心付近の第1磁性層101は若干面
内磁化膜から垂直磁化膜へと遷移する。第1磁性層10
1が垂直磁化膜へと遷移した領域からは信号を検出する
ことができる。しかし、ビームスポット107内で第1
磁性層101が垂直磁化膜へと遷移した部分は狭い領域
であるため、信号量としては非常に小さい。ビームスポ
ット107内で中心から離れた領域では、第1磁性層1
01は面内磁化膜から垂直磁化膜へ遷移する温度領域で
あるために、第1磁性層101で反射した光ビームの偏
光面の回転と、第1磁性層101を透過し、第2磁性層
102で反射した光ビームの偏光面の回転とがキャンセ
ルする。
When the reproducing power is slightly increased, the first magnetic layer 101 near the center of the beam spot 107 transits slightly from the in-plane magnetic film to the perpendicular magnetic film. First magnetic layer 10
A signal can be detected from a region where 1 has transitioned to a perpendicular magnetization film. However, the first within the beam spot 107
Since the portion where the magnetic layer 101 transitions to the perpendicular magnetization film is a narrow region, the signal amount is very small. In an area away from the center in the beam spot 107, the first magnetic layer 1
Since 01 is a temperature region where the transition from the in-plane magnetic film to the perpendicular magnetic film occurs, the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer 101 and the transmission through the first magnetic layer 101 and the second magnetic layer The rotation of the polarization plane of the light beam reflected at 102 is canceled.

【0164】さらに再生パワーを大きくした場合は、ビ
ームスポット107中心から広い領域で高温領域とな
り、第1磁性層101は面内磁化膜から垂直磁化膜へと
遷移する。ビームスポット107内の広い領域で、第1
磁性層101は垂直磁化膜へ遷移している。
When the reproducing power is further increased, the temperature becomes high in a wide area from the center of the beam spot 107, and the first magnetic layer 101 changes from an in-plane magnetic film to a perpendicular magnetic film. In a wide area within the beam spot 107, the first
The magnetic layer 101 has transitioned to a perpendicular magnetization film.

【0165】ここでビームスポット107内の高温領域
では、第1磁性層101が垂直磁化膜となることによ
り、第1磁性層101で反射した光ビームの偏光面の回
転は、再生パワーが小さくて第1磁性層101が面内磁
化膜から垂直磁化膜へ遷移する過程の温度領域での第1
磁性層101で反射した光ビームの偏光面の回転よりも
大きくなる。ビームスポット107内の第1磁性層10
1で反射した光ビームの偏光面の回転が、第2磁性層1
02で反射した光ビームの偏光面の回転よりも大きくな
り、第1磁性層101で反射した光ビームの偏光面の回
転が支配的になるため、大きな信号を検出することがで
きる。
Here, in the high-temperature region in the beam spot 107, the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer 101 is small because the first magnetic layer 101 is a perpendicular magnetization film. The first magnetic layer 101 in the temperature range during the transition from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film
It becomes larger than the rotation of the plane of polarization of the light beam reflected by the magnetic layer 101. First magnetic layer 10 in beam spot 107
The rotation of the plane of polarization of the light beam reflected by the first magnetic layer 1
Since the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer 101 becomes larger than the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer 101, a large signal can be detected.

【0166】再生パワーを大きくするほど、ビームスポ
ット107内は高温領域が広がるため、ビームスポット
107内の広い領域において、第1磁性層101が面内
磁化膜から垂直磁化膜へと遷移し、結果として大きな信
号を得ることができる。
As the reproducing power increases, the high-temperature area in the beam spot 107 expands, so that the first magnetic layer 101 transitions from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film in a wide area within the beam spot 107. As a result, a large signal can be obtained.

【0167】また、図21の隣接トラック106から漏
れ込んでくるクロストーク量の再生パワーに対する特性
図に示すように、再生パワーが小さいとき、すなわちビ
ームスポット107内の温度が室温近くであるときは、
信号量が小さいためクロストーク量が比較的大きく、再
生パワーの増加により、さらにクロストーク量は増加す
るが、ある再生パワーの範囲(図中1.2〜2.0mW
の範囲)では、隣接トラック106からのクロストーク
が減少していることがわかる。
Further, as shown in the characteristic diagram of the amount of crosstalk leaking from the adjacent track 106 with respect to the reproducing power in FIG. 21, when the reproducing power is small, that is, when the temperature in the beam spot 107 is near room temperature, ,
Since the amount of signal is small, the amount of crosstalk is relatively large, and the amount of crosstalk further increases as the reproduction power increases. However, the range of a certain reproduction power (1.2 to 2.0 mW in FIG.
It can be seen that the crosstalk from the adjacent track 106 is reduced in the range (1).

【0168】図20および図21に示す、信号量が大き
く、クロストーク量が小さくなる再生パワーの領域で
は、ビームスポット107内の中心付近の第1磁性層1
01は、垂直磁化膜であり、ビームスポット107内の
中心から離れた領域の第1磁性層101は、面内磁化膜
から垂直磁化膜へ遷移する過程の温度領域である。
In the reproduction power region where the signal amount is large and the crosstalk amount is small as shown in FIGS. 20 and 21, the first magnetic layer 1 near the center in the beam spot 107 is formed.
Reference numeral 01 denotes a perpendicular magnetization film, and the first magnetic layer 101 in a region away from the center in the beam spot 107 is a temperature region in the process of transition from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film.

【0169】図14に示すように、ビームスポット10
7内の中心から離れた領域では、第1磁性層の遷移金属
元素の副格子磁気モーメントの垂直成分103は、中心
の領域のそれよりも小さいものとなっている。このため
に第1磁性層101で反射した光ビームと、第1磁性層
101を透過して第2磁性層102で反射した光ビーム
とは、偏光面の回転方向が逆で大きさがほぼ等しくな
る。隣接トラック106は、ビームスポット107内の
中心から離れた比較的温度が低い領域であるから、第1
磁性層101で反射した光ビームと第1磁性層101を
透過して第2磁性層102で反射した光ビームとが、偏
光面の回転方向が逆で大きさがほぼ等しくなる。そのた
めに隣接トラック106からのクロストークは大幅に減
少する。
As shown in FIG. 14, the beam spot 10
In a region away from the center in 7, the vertical component 103 of the sublattice magnetic moment of the transition metal element in the first magnetic layer is smaller than that in the center region. For this reason, the light beam reflected by the first magnetic layer 101 and the light beam transmitted through the first magnetic layer 101 and reflected by the second magnetic layer 102 are almost equal in magnitude with the rotation direction of the polarization plane reversed. Become. Since the adjacent track 106 is a relatively low temperature area away from the center in the beam spot 107, the first track
The light beam reflected by the magnetic layer 101 and the light beam transmitted through the first magnetic layer 101 and reflected by the second magnetic layer 102 are substantially equal in magnitude with opposite rotation directions of the polarization plane. Therefore, crosstalk from the adjacent track 106 is greatly reduced.

【0170】逆に、ビームスポット107の中心付近、
すなわち再生トラック105では高温領域であり、第1
磁性層101が面内磁化膜から垂直磁化膜へ遷移するた
め、大きな信号を得ることができる。
Conversely, near the center of the beam spot 107,
That is, in the reproduction track 105, it is a high temperature area,
Since the magnetic layer 101 transitions from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film, a large signal can be obtained.

【0171】このときの第2磁性層102の飽和磁化に
ついて説明する。第2磁性層102の飽和磁化と温度と
の関係を図6に示す。室温での飽和磁化は非常に小さ
く、光ビームを照射することによって室温から温度を高
くすると、ある温度まで飽和磁化は大きくなっていく。
The saturation magnetization of the second magnetic layer 102 at this time will be described. FIG. 6 shows the relationship between the saturation magnetization of the second magnetic layer 102 and the temperature. The saturation magnetization at room temperature is very small. When the temperature is raised from room temperature by irradiating a light beam, the saturation magnetization increases up to a certain temperature.

【0172】大きな信号量を得ることができる再生パワ
ーで光ビームを照射したときは、ビームスポット107
内の中心付近の飽和磁化は最大となる。ビームスポット
107内で中心から離れた領域では、中心付近よりも温
度が低いために飽和磁化はビームスポット107内の中
心付近の飽和磁化よりも小さい。
When a light beam is irradiated with a reproducing power capable of obtaining a large signal amount, the beam spot 107
The saturation magnetization near the center of the inside becomes maximum. Since the temperature is lower in the region away from the center in the beam spot 107 than in the vicinity of the center, the saturation magnetization is smaller than the saturation magnetization near the center in the beam spot 107.

【0173】また図20および図21に示すように、広
い再生パワーの範囲で大きな信号量が得られ、かつ、ク
ロストーク量が−20dB以下となっている。クロスト
ーク量は隣接トラック106からの信号量であるため、
ビームスポット107の中心から離れた領域であり、ビ
ームスポット107内では低温領域である。このときク
ロストーク量による信号量としては、ビームスポット1
07内の高温領域の信号量に対して10分の1以下にな
るために、再生信号の劣化要因にはならない。
As shown in FIGS. 20 and 21, a large signal amount is obtained in a wide reproduction power range, and the crosstalk amount is -20 dB or less. Since the crosstalk amount is a signal amount from the adjacent track 106,
This is a region away from the center of the beam spot 107, and is a low-temperature region within the beam spot 107. At this time, the signal amount due to the crosstalk amount is beam spot 1
Since the signal amount is less than one tenth of the signal amount in the high-temperature region in 07, it does not cause deterioration of the reproduced signal.

【0174】次に本実施の形態で用いた光磁気記録媒体
の再生方法について詳しく説明する。光磁気記録媒体の
基板108側から光ビームを照射する。本実施の形態で
は、光ビームの波長を650nm、対物レンズの開口数
NAを0.6とする。
Next, the reproducing method of the magneto-optical recording medium used in this embodiment will be described in detail. A light beam is irradiated from the substrate 108 side of the magneto-optical recording medium. In this embodiment, the wavelength of the light beam is 650 nm, and the numerical aperture NA of the objective lens is 0.6.

【0175】図14は、信号量が十分に得ることのでき
る再生パワーで光ビームが照射されたときの第1磁性層
101、第2磁性層102および第1磁性層の遷移金属
元素の副格子磁気モーメントの垂直成分103と第2磁
性層の遷移金属元素の副格子磁気モーメントの垂直成分
104を示す。本実施の形態では、第1磁性層101は
光が透過できるほど薄い構成にしているため、基板10
8面側から照射された光ビームの一部は第1磁性層10
1を透過して第2磁性層102に達する。
FIG. 14 shows the sub-lattices of the transition metal elements of the first magnetic layer 101, the second magnetic layer 102, and the first magnetic layer when irradiated with a light beam at a reproduction power capable of sufficiently obtaining a signal amount. The vertical component 103 of the magnetic moment and the vertical component 104 of the sublattice magnetic moment of the transition metal element of the second magnetic layer are shown. In the present embodiment, the first magnetic layer 101 is configured to be thin enough to transmit light,
A part of the light beam emitted from the eight sides is
1 and reaches the second magnetic layer 102.

【0176】図14に示すように、本実施の形態の構成
では、ビームスポット107内の中心から離れた領域で
は、第1磁性層101は面内磁化膜から垂直磁化膜へ遷
移する過程であるため、第1磁性層の遷移金属元素の副
格子磁気モーメントの垂直成分103は、中心の領域の
それと比べて小さい。光ビームは、光ピックアップの構
成にもよるが、1.0μm程度のビームスポット107
範囲から信号を検出するために、トラック幅が小さくな
ると、隣接トラック106での第1磁性層101を透過
して第2磁性層102からの信号の一部を検出すること
から、再生信号が劣化すると考えられる。
As shown in FIG. 14, in the configuration of the present embodiment, in a region away from the center in the beam spot 107, the first magnetic layer 101 is in the process of transition from an in-plane magnetic film to a perpendicular magnetic film. Therefore, the perpendicular component 103 of the sublattice magnetic moment of the transition metal element of the first magnetic layer is smaller than that of the central region. The light beam depends on the configuration of the optical pickup, but the beam spot 107 is about 1.0 μm.
When the track width is reduced in order to detect a signal from the range, a part of the signal from the second magnetic layer 102 through the first magnetic layer 101 in the adjacent track 106 is detected, and the reproduced signal is degraded. It is thought that.

【0177】しかし、本実施の形態では、第1磁性層1
01で反射した光ビームと第1磁性層101を透過して
第2磁性層102で反射した光ビームとが、偏光面の回
転方向が逆で大きさがほぼ等しくなる。隣接トラック1
06は、ビームスポット107内の中心から離れた比較
的温度が低い領域であるから、第1磁性層101で反射
した光ビームと第1磁性層101を透過して第2磁性層
102で反射した光ビームとが、偏光面の回転方向が逆
で大きさがほぼ等しくなる。そのために隣接トラック1
06からのクロストークは大幅に減少する。
However, in the present embodiment, the first magnetic layer 1
The light beam reflected at 01 and the light beam transmitted through the first magnetic layer 101 and reflected at the second magnetic layer 102 are substantially equal in magnitude with opposite rotation directions of the polarization plane. Adjacent track 1
Numeral 06 is a relatively low temperature region distant from the center of the beam spot 107, so that the light beam reflected by the first magnetic layer 101 and the light beam transmitted through the first magnetic layer 101 and reflected by the second magnetic layer 102 are reflected. The light beam and the rotation direction of the polarization plane are opposite and the magnitudes are substantially equal. Therefore, the adjacent track 1
Crosstalk from 06 is greatly reduced.

【0178】逆に、ビームスポット107の中心付近、
すなわち再生トラック105は高温領域であるため、第
1磁性層101が面内磁化膜から垂直磁化膜へ遷移す
る。
Conversely, near the center of the beam spot 107,
That is, since the reproduction track 105 is in a high temperature region, the first magnetic layer 101 changes from an in-plane magnetic film to a perpendicular magnetic film.

【0179】このために、第1磁性層101で反射した
光ビームの偏光面の回転が、第2磁性層102で反射し
た光ビームの偏光面の回転よりも大きくなり、第1磁性
層101で反射した光ビームの偏光面の回転が支配的に
なる。そして第1磁性層101および第2磁性層102
で反射した光ビームは、検出器に検出されて電気信号に
変換され、信号処理系を通って情報を再生する。
For this reason, the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer 101 becomes larger than the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the second magnetic layer 102, and The rotation of the plane of polarization of the reflected light beam becomes dominant. Then, the first magnetic layer 101 and the second magnetic layer 102
The light beam reflected by the detector is detected by a detector, converted into an electric signal, and reproduced through a signal processing system.

【0180】(実施の形態5)次に第5の実施の形態に
ついて説明する。図22は本実施の形態による光磁気記
録媒体の断面図である。本実施の形態においては、実施
の形態4の第1磁性層101に相当するGdFeCo膜
の膜厚を30nmにした光磁気記録媒体を作製した。す
なわち、基板108上に順に第1誘電体層109/第1
磁性層101/第2誘電体層110/第2磁性層102
/第3誘電体層111/放熱層113/オーバーコート
層112を製膜し、第1磁性層101であるGdFeC
o膜の膜厚を30nmとし、第3誘電体層111である
SiN膜とオーバーコート層112の間に放熱層113
を設けた構成である。基板108はトラック幅が0.6
μmのポリカーボネート製の基板である。
(Embodiment 5) Next, a fifth embodiment will be described. FIG. 22 is a sectional view of the magneto-optical recording medium according to the present embodiment. In the present embodiment, a magneto-optical recording medium in which the thickness of the GdFeCo film corresponding to the first magnetic layer 101 of the fourth embodiment is 30 nm was manufactured. That is, the first dielectric layer 109 / first
Magnetic layer 101 / second dielectric layer 110 / second magnetic layer 102
/ The third dielectric layer 111 / the heat dissipation layer 113 / the overcoat layer 112, and the first magnetic layer 101 of GdFeC
The thickness of the o film is 30 nm, and the heat dissipation layer 113 is provided between the SiN film as the third dielectric layer 111 and the overcoat layer 112.
Is provided. The substrate 108 has a track width of 0.6
This is a μm polycarbonate substrate.

【0181】放熱層113であるAlTi膜の製膜は、
本実施の形態で用いたスパッタリング装置のカソードの
一つにAlTi合金ターゲットを設置し、チャンバー内
を2×10-7Torr以下になるまで真空排気した。真
空排気後、チャンバー内にArガスを1.5×10-3
orr導入する。Arガス導入後、投入電力を600W
印加して、DCスパッタリング法を用いてAlTi膜の
製膜を行った。他の膜は、実施の形態4の光磁気記録媒
体と同様のスパッタリング装置を用いて、実施の形態4
の光磁気記録媒体と同様の製膜条件で、DCスパッタリ
ング法により製膜を行った。
The formation of the AlTi film as the heat radiation layer 113 is as follows.
An AlTi alloy target was set on one of the cathodes of the sputtering apparatus used in this embodiment, and the inside of the chamber was evacuated to 2 × 10 −7 Torr or less. After evacuation, Ar gas was introduced into the chamber at 1.5 × 10 −3 T.
orr is introduced. After introducing Ar gas, the input power is 600W
The AlTi film was formed by applying the DC sputtering method. Other films are formed by using the same sputtering apparatus as that of the magneto-optical recording medium of the fourth embodiment.
The film was formed by DC sputtering under the same film forming conditions as for the magneto-optical recording medium.

【0182】本実施の形態において、光磁気記録媒体へ
の信号の記録および再生は実施の形態4と同様の方法で
行った。図23には本実施の形態による光磁気記録媒体
において信号量と再生パワーの関係を示す図、図24は
本実施の形態による光磁気記録媒体においてクロストー
ク量と再生パワーの関係を示す図である。
In this embodiment, recording and reproduction of signals on and from the magneto-optical recording medium are performed in the same manner as in the fourth embodiment. FIG. 23 is a diagram showing the relationship between the signal amount and the reproducing power in the magneto-optical recording medium according to the present embodiment, and FIG. 24 is a diagram showing the relationship between the crosstalk amount and the reproducing power in the magneto-optical recording medium according to the present embodiment. is there.

【0183】本実施の形態においても、隣接トラック1
06では第1磁性層101で反射した光ビームと第1磁
性層101を透過して第2磁性層102で反射した光ビ
ームとが偏光面の回転方向が逆方向で打ち消すため、実
施の形態4と同様の再生パワー付近でクロストーク量を
低減する効果が得られた。
In this embodiment, the adjacent track 1
In the case of No. 06, the light beam reflected by the first magnetic layer 101 and the light beam transmitted through the first magnetic layer 101 and reflected by the second magnetic layer 102 cancel each other out in the direction of rotation of the plane of polarization. The effect of reducing the amount of crosstalk in the vicinity of the reproducing power similar to that described above was obtained.

【0184】(実施の形態6)次に第6の実施の形態に
ついて説明する。本実施の形態は、実施の形態5と同
様、図22に示すように、基板108上に順に第1誘電体
層109/第1磁性層101/第2誘電体層110/第
2磁性層102/第3誘電体層111/放熱層113/
オーバーコート層112を製膜するとともに、第1磁性
層101であるGdFeCo膜の膜厚を40nmとし、
第2誘電体層110であるSiN膜の膜厚を5nmとし
た構成である。
(Embodiment 6) Next, a sixth embodiment will be described. In the present embodiment, as in Embodiment 5, as shown in FIG. 22, a first dielectric layer 109 / first magnetic layer 101 / second dielectric layer 110 / second magnetic layer 102 are sequentially formed on a substrate 108. / Third dielectric layer 111 / heat dissipation layer 113 /
While forming the overcoat layer 112, the thickness of the GdFeCo film as the first magnetic layer 101 was set to 40 nm,
The configuration is such that the thickness of the SiN film as the second dielectric layer 110 is 5 nm.

【0185】本実施の形態は、実施の形態5と同様に第
3誘電体層111であるSiN膜とオーバーコート層1
12の間に放熱層113を35nmの膜厚で設けた。基
板108はトラック幅が0.6μmのサンプルサーボ方
式用の基板であり、材質はポリカーボネートである。製
膜方法および製膜条件は、実施の形態5の光磁気記録媒
体と同様のスパッタリング装置を用いて、実施の形態5
の光磁気記録媒体と同様の製膜条件で、DCスパッタリ
ング法により製膜を行った。
In the present embodiment, the SiN film as the third dielectric layer 111 and the overcoat layer 1 are formed in the same manner as in the fifth embodiment.
12, a heat radiation layer 113 was provided with a thickness of 35 nm. The substrate 108 is a substrate for a sample servo system having a track width of 0.6 μm, and is made of polycarbonate. The film forming method and the film forming conditions are the same as those of the fifth embodiment by using the same sputtering apparatus as the magneto-optical recording medium of the fifth embodiment.
The film was formed by DC sputtering under the same film forming conditions as for the magneto-optical recording medium.

【0186】本実施の形態において、光磁気記録媒体へ
の信号の記録および再生は実施の形態4と同様の方法で
行った。図25は本実施の形態による光磁気記録媒体に
おいて信号量と再生パワーの関係を示す図、図26は本
実施の形態による光磁気記録媒体においてクロストーク
量と再生パワーの関係を示す図である。
In the present embodiment, recording and reproduction of signals on and from the magneto-optical recording medium were performed in the same manner as in the fourth embodiment. FIG. 25 is a diagram showing the relationship between the signal amount and the reproducing power in the magneto-optical recording medium according to the present embodiment, and FIG. 26 is a diagram showing the relationship between the crosstalk amount and the reproducing power in the magneto-optical recording medium according to the present embodiment. .

【0187】本実施の形態においても、隣接トラック1
06では第1磁性層101から反射した光ビームと第1
磁性層101を透過して第2磁性層102から反射した
光ビームとが偏光面の回転方向が逆方向で打ち消すた
め、実施の形態4および実施の形態5と同様の再生パワ
ー付近でクロストーク量を低減する効果が得られた。
Also in this embodiment, the adjacent track 1
06, the light beam reflected from the first magnetic layer 101 and the first
Since the light beam transmitted through the magnetic layer 101 and reflected from the second magnetic layer 102 cancels out the rotation direction of the polarization plane in the opposite direction, the amount of crosstalk near the reproduction power similar to the fourth and fifth embodiments is obtained. Was obtained.

【0188】(実施の形態7)次に、実施の形態7につ
いて説明する。本実施の形態は、実施の形態5と同様、
図22に示すように、基板108上に順に第1誘電体層
109/第1磁性層101/第2誘電体層110/第2
磁性層102/第3誘電体層111/放熱層113/オ
ーバーコート層112を製膜した構成であり、第1磁性
層101であるGdFeCo膜の組成を変えた光磁気記
録媒体を作製した。
(Seventh Embodiment) Next, a seventh embodiment will be described. This embodiment is similar to the fifth embodiment.
As shown in FIG. 22, a first dielectric layer 109 / first magnetic layer 101 / second dielectric layer 110 / second dielectric layer
A magneto-optical recording medium having a configuration in which the magnetic layer 102 / the third dielectric layer 111 / the heat radiation layer 113 / the overcoat layer 112 was formed and in which the composition of the GdFeCo film as the first magnetic layer 101 was changed was manufactured.

【0189】本実施の形態では、第1磁性層101の組
成をGd25.0Fe66.7Co8.3(at.%)
にし、膜厚を30nmとした。また第2誘電体層110
であるSiN膜の膜厚を10nmとした。実施の形態5
と同様に第3誘電体層111であるSiN膜とオーバー
コート層112の間に放熱層113を35nmの膜厚で
設けた。基板108はトラック幅が0.8μmのポリカ
ーボネート製の基板である。製膜方法および製膜条件
は、実施の形態5の光磁気記録媒体と同様のスパッタリ
ング装置を用いて、実施の形態5の光磁気記録媒体と同
様の製膜条件で、DCスパッタリング法により製膜を行
った。
In the present embodiment, the composition of the first magnetic layer 101 is Gd25.0Fe66.7Co8.3 (at.%).
And the film thickness was 30 nm. Also, the second dielectric layer 110
The thickness of the SiN film was 10 nm. Embodiment 5
Similarly, a heat radiation layer 113 having a thickness of 35 nm was provided between the SiN film as the third dielectric layer 111 and the overcoat layer 112. The substrate 108 is a polycarbonate substrate having a track width of 0.8 μm. The film forming method and the film forming conditions are the same as those of the magneto-optical recording medium of the fifth embodiment, using the same sputtering apparatus as the magneto-optical recording medium of the fifth embodiment, and the film forming conditions by the DC sputtering method. Was done.

【0190】第1磁性層101の組成をGd25.0F
e66.7Co8.3(at.%)とした場合と、実施
の形態5の組成にした場合を比較すると、本実施の形態
では面内磁化膜から垂直磁化膜へと遷移する温度領域が
低くなった。しかし、再生パワーを低く設定することに
より磁気超解像動作が可能となり、本実施の形態の組成
においても高密度での記録再生が実現できる。
The composition of the first magnetic layer 101 was changed to Gd25.0F.
Comparing the case of e66.7Co8.3 (at.%) with the case of the composition of the fifth embodiment, in this embodiment, the temperature region where the transition from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film is lower. Was. However, by setting the reproducing power low, the magnetic super-resolution operation can be performed, and the recording and reproducing at a high density can be realized even with the composition of the present embodiment.

【0191】本実施の形態において、光磁気記録媒体へ
の信号の記録および再生は実施の形態4と同様の方法で
行った。
In the present embodiment, recording and reproduction of signals on and from the magneto-optical recording medium were performed in the same manner as in the fourth embodiment.

【0192】第1磁性層101の組成をGd25.0F
e66.7Co8.3(at.%)とした本実施の形態
においても、隣接トラック106では第1磁性層101
で反射した光ビームと第1磁性層101を透過して第2
磁性層102で反射した光ビームとが偏光面の回転方向
が逆方向で打ち消すため、広い再生パワーの範囲で、ク
ロストーク量が−20dB以下になり、特に再生パワー
が1.2mWから2.2mWの間で、クロストーク量が
−25dB以下になり、実施の形態5と同様の効果が得
られた。
The composition of the first magnetic layer 101 was changed to Gd25.0F.
Also in the present embodiment with e66.7Co8.3 (at.%), the first magnetic layer 101
The light beam reflected by the first magnetic layer 101 and the second
Since the light beam reflected by the magnetic layer 102 negates the direction of rotation of the polarization plane in the opposite direction, the amount of crosstalk becomes −20 dB or less in a wide range of reproduction power, and particularly the reproduction power is 1.2 mW to 2.2 mW. , The crosstalk amount became −25 dB or less, and the same effect as in the fifth embodiment was obtained.

【0193】(実施の形態8)本実施の形態は、実施の
形態7と同じ膜構成で、第1磁性層101の組成をGd
35.4Fe56.3Co8.3(at.%)と実施の
形態7とは反対に希土類金属の割合を多くして作製した
光磁気記録媒体である。基板108上に順に第1誘電体
層109/第1磁性層101/第2誘電体層110/第
2磁性層102/第3誘電体層111/放熱層113/
オーバーコート層112を製膜した構成である。第1磁
性層101の膜厚は30nmとした。実施の形態7と同
様に、第2誘電体層110であるSiN膜の膜厚を10
nmとした。実施の形態5および実施の形態7と同様
に、第3誘電体層111であるSiN膜とオーバーコー
ト層112の間に放熱層113を35nmの膜厚で設け
た。基板108はトラック幅が0.7μmのポリカーボ
ネート製の基板である。製膜方法および製膜条件は、実
施の形態5の光磁気記録媒体と同様のスパッタリング装
置を用いて、実施の形態5の光磁気記録媒体と同様の製
膜条件で、DCスパッタリング法により製膜を行った。
(Embodiment 8) This embodiment has the same film configuration as that of Embodiment 7 and the composition of the first magnetic layer 101 is Gd.
35.4Fe56.3Co8.3 (at.%) And a magneto-optical recording medium produced by increasing the ratio of rare earth metal, contrary to the seventh embodiment. The first dielectric layer 109 / first magnetic layer 101 / second dielectric layer 110 / second magnetic layer 102 / third dielectric layer 111 / heat radiation layer 113 /
This is a configuration in which the overcoat layer 112 is formed. The thickness of the first magnetic layer 101 was 30 nm. As in the seventh embodiment, the thickness of the SiN film as the second dielectric layer 110 is set to 10
nm. As in the fifth and seventh embodiments, a heat dissipation layer 113 having a thickness of 35 nm was provided between the SiN film as the third dielectric layer 111 and the overcoat layer 112. The substrate 108 is a polycarbonate substrate having a track width of 0.7 μm. The film forming method and the film forming conditions are the same as those of the magneto-optical recording medium of the fifth embodiment, using the same sputtering apparatus as the magneto-optical recording medium of the fifth embodiment, and the film forming conditions by the DC sputtering method. Was done.

【0194】第1磁性層101の組成をGd35.4F
e56.3Co8.3(at.%)とした場合と、実施
の形態5の組成にした場合を比較すると、本実施の形態
では面内磁化膜から垂直磁化膜へと遷移する温度領域が
高くなった。しかし、再生パワーを高く設定することに
より磁気的超解像動作が可能となり、本実施の形態の組
成においても高密度での記録再生が実現できる。この場
合、第2磁性層102のキュリー温度も高くするとさら
に効果がある。
The composition of the first magnetic layer 101 was changed to Gd35.4F
Comparing the case of e56.3Co8.3 (at.%) with the case of the composition of the fifth embodiment, in this embodiment, the temperature region where the transition from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film is increased. Was. However, by setting the reproducing power high, the magnetic super-resolution operation becomes possible, and high-density recording / reproducing can be realized even with the composition of the present embodiment. In this case, increasing the Curie temperature of the second magnetic layer 102 is more effective.

【0195】本実施の形態において、光磁気記録媒体へ
の信号の記録および再生は実施の形態4と同様の方法で
行った。
In this embodiment, recording and reproduction of signals on and from the magneto-optical recording medium are performed in the same manner as in the fourth embodiment.

【0196】第1磁性層101の組成をGd35.4F
e56.3Co8.3(at.%)とした本実施の形態
においても、隣接トラック106では第1磁性層101
で反射した光ビームと第1磁性層101を透過して第2
磁性層102で反射した光ビームとが偏光面の回転方向
が逆方向で打ち消すため、広い再生パワーの範囲で、ク
ロストーク量が−20dB以下になり、特に再生パワー
が2.0mWから3.0mWの間で、クロストーク量が
−25dB以下になり、実施の形態5と同様の効果が得
られた。
The composition of the first magnetic layer 101 was changed to Gd35.4F
Also in the present embodiment with e56.3Co8.3 (at.%), the first magnetic layer 101
The light beam reflected by the first magnetic layer 101 and the second
Since the rotation direction of the plane of polarization of the light beam reflected by the magnetic layer 102 cancels out in the opposite direction, the crosstalk amount becomes −20 dB or less in a wide range of reproduction power, and especially the reproduction power is 2.0 mW to 3.0 mW. , The crosstalk amount became −25 dB or less, and the same effect as in the fifth embodiment was obtained.

【0197】以上の各実施形態の説明では、ポリカーボ
ネート或いはポリオレフィンのディスク基板を用い、光
スポットのトラッキングガイドのためのスパイラル状或
いは環状の案内溝、或いは蛇行したピットを備えた構成
の光磁気記録媒体について述べてきたが、ディスク基板
上に、アドレス情報を有する蛇行したスパイラル状の案
内溝、或いはサンプルサーボ方式等のトラッキングガイ
ドのためのプリピットを設けた構成のディスク基板を用
いてもよい。
In the description of each of the above embodiments, a magneto-optical recording medium having a structure in which a spiral or annular guide groove for tracking a light spot or a meandering pit is used, using a polycarbonate or polyolefin disk substrate. However, a meandering spiral guide groove having address information or a pre-pit for tracking guide such as a sample servo method may be provided on the disk substrate.

【0198】なお、本発明の実施の形態では、0.6μ
m〜0.8μmのトラック幅の基板を用いたが、1μm
以下のトラック幅の基板であれば、同様の効果が得られ
る。
Note that, in the embodiment of the present invention, 0.6 μm
A substrate having a track width of m to 0.8 μm was used.
The same effect can be obtained with a substrate having the following track width.

【0199】なお、第1磁性層101の膜厚は、光ビー
ムが透過することにより、隣接トラック106では、第
1磁性層101で反射した光と、第1磁性層101を透
過して第2磁性層102で反射した光とが偏光面の回転
角が逆方向で打ち消す構成となるため、図28に示す、
第1磁性層101の膜厚と、規格化出力との関係に鑑み
て、40nm以下にすることが望ましく、30nm以下
にするとより効果が大きくなる。しかし、5nm未満で
は十分な再生信号が得られなくなるので、5nm以上が
望ましく、より望ましいのは8nm以上である。
The thickness of the first magnetic layer 101 is determined by the light reflected by the first magnetic layer 101 and the second magnetic layer transmitted by the first magnetic layer 101 in the adjacent track 106 due to the transmission of the light beam. Since the light reflected by the magnetic layer 102 cancels out the rotation angle of the polarization plane in the opposite direction, as shown in FIG.
In consideration of the relationship between the thickness of the first magnetic layer 101 and the normalized output, the thickness is desirably 40 nm or less, and when the thickness is 30 nm or less, the effect is more enhanced. However, if it is less than 5 nm, a sufficient reproduced signal cannot be obtained, so that it is preferably 5 nm or more, and more preferably 8 nm or more.

【0200】なお、本発明の実施の形態では、第1磁性
層101には、室温で面内磁化膜、高温で垂直磁化膜と
なる組成のGdFeCoを用いたが、第1磁性層101
が上記実施の形態以外の組成であっても、室温で面内磁
化膜、高温で垂直磁化膜となる特性であれば、同様の効
果が得られる。
In the embodiment of the present invention, the first magnetic layer 101 is made of GdFeCo which has a composition of an in-plane magnetization film at room temperature and a perpendicular magnetization film at high temperature.
Even if the composition is other than the above-described embodiment, the same effect can be obtained as long as it has the property of forming an in-plane magnetic film at room temperature and a perpendicular magnetic film at high temperature.

【0201】また、第1磁性層101には、GdFeC
o以外の希土類−遷移金属合金、例えばGdTbFeC
o、GdDyFeCo、DyFeCoなどでも、室温で
面内磁化膜、高温で垂直磁化膜となる特性であれば、同
様の効果が得られる。
The first magnetic layer 101 has GdFeC
rare earth-transition metal alloys other than o, such as GdTbFeC
The same effect can be obtained with o, GdDyFeCo, DyFeCo, etc. as long as the film becomes an in-plane magnetic film at room temperature and a perpendicular magnetic film at high temperature.

【0202】なお、第1磁性層101である希土類−遷
移金属合金に、CrまたはAlなどを添加したもので
も、室温で面内磁化膜、高温で垂直磁化膜となる特性で
あれば、同様の効果が得られる。
[0202] Even if Cr or Al is added to the rare earth-transition metal alloy serving as the first magnetic layer 101, the same characteristics can be obtained as an in-plane magnetization film at room temperature and a perpendicular magnetization film at high temperature. The effect is obtained.

【0203】また、本発明の実施の形態では、第2磁性
層102には、Tb22.1Fe71.2Co6.7
(at.%)の組成のTbFeCoを用いたが、室温に
おいて保磁力が大きく、垂直磁化膜であり、記録情報を
保持することが可能であれば、上記以外の組成であって
も同様の効果が得られる。
In the embodiment of the present invention, Tb22.1Fe71.2Co6.7 is formed on the second magnetic layer 102.
(TbFeCo) having a composition of (at.%) Was used. However, as long as the film has a large coercive force at room temperature, is a perpendicular magnetization film, and can retain recorded information, the same effect can be obtained even with a composition other than the above. Is obtained.

【0204】以上のように本発明の実施の形態における
構成によれば、第1磁性層の膜厚を40nm以下と小さ
くすることが可能であるため、材料コストの低減が可
能、および製膜時間の短縮ができるため、生産性を大幅
に向上させることが可能である。
As described above, according to the structure of the embodiment of the present invention, the thickness of the first magnetic layer can be reduced to 40 nm or less, so that the material cost can be reduced and the film forming time can be reduced. Can be shortened, so that the productivity can be greatly improved.

【0205】また、記録膜構造として、TbFeCo、
TbFe、GdFeCo等の複数の磁性膜を積層した構
成を有する光磁気記録媒体について述べてきたが、Tb
Co、GdCo、GdTbFe、GdTbFeCo、D
yFeCo等の希土類ー遷移金属の非晶質合金、或い
は、MnBi、PtMnSn、多結晶材料を用いた光磁
気材料、或いは、ガーネット、PtCo、PdCoなど
の白金族−遷移金属合金、Pt/Co、Pd/Coなど
の金、白金族−遷移金属周期構造合金膜などを用いても
良く、或いはそれらを含み、かつ、材料または組成の異
なる複数の磁性膜より構成された記録膜構造であればよ
い。また、上述の磁性膜には、Cr、Al、Ti、P
t、Nbなどの耐食性改善のための元素添加を行なって
も良い。
Further, as a recording film structure, TbFeCo,
Although a magneto-optical recording medium having a configuration in which a plurality of magnetic films such as TbFe and GdFeCo are laminated has been described,
Co, GdCo, GdTbFe, GdTbFeCo, D
amorphous alloy of rare earth-transition metal such as yFeCo, or magneto-optical material using MnBi, PtMnSn, polycrystalline material, or platinum group-transition metal alloy such as garnet, PtCo, PdCo, Pt / Co, Pd Gold or a platinum group-transition metal periodic structure alloy film such as / Co or the like, or a recording film structure including these and having a plurality of magnetic films of different materials or compositions may be used. In addition, Cr, Al, Ti, P
Elements for improving corrosion resistance, such as t and Nb, may be added.

【0206】また、再生層及び中間層の上に積層した記
録層、並びに転写制御層に関して、30nmから50n
mの厚さの記録層、及び30nmから35nmの厚さの
転写制御層を有する構成について述べてきたが、上記の
厚さに限定されるものではなく、本発明の特性を満たす
ように、記録層と再生層との間で十分な磁気的結合力が
得られる膜厚構成であれば良い。より好ましくは、記録
層及び転写制御層ともに、厚さが10nmから200n
mの範囲であれば、同等の効果が得られる。
Further, the recording layer laminated on the reproducing layer and the intermediate layer, and the transfer control layer, have a thickness of 30 nm to 50 n.
Although a configuration having a recording layer having a thickness of m and a transfer control layer having a thickness of 30 to 35 nm has been described, the present invention is not limited to the above thickness, and the recording is performed so as to satisfy the characteristics of the present invention. What is necessary is just a film thickness configuration that can provide a sufficient magnetic coupling force between the layer and the reproducing layer. More preferably, both the recording layer and the transfer control layer have a thickness of 10 nm to 200 n.
Within the range of m, the same effect can be obtained.

【0207】また、光投入面側から見て記録層より遠い
側に転写制御層を配置した構成について述べてきたが、
再生層への転写磁界が急峻に変化する構成であれば、光
投入面側から見て、記録層を転写制御層よりも遠い側に
配置した構成であっても良い。
[0207] Also, the configuration in which the transfer control layer is disposed farther from the recording layer when viewed from the light input surface side has been described.
If the configuration is such that the transfer magnetic field to the reproduction layer changes steeply, the configuration may be such that the recording layer is disposed farther than the transfer control layer when viewed from the light input surface side.

【0208】更に、多層膜構成の記録膜構造を用いてC
AD方式の磁気的超解像再生を利用した場合の光磁気記
録媒体とその再生方式、或いはシュリンク動作による再
生磁区の拡大再生方式について述べてきたが、それ以外
のFAD方式、RAD方式、もしくはそれ以外の磁気的
超解像方式、或いは磁壁移動タイプの磁区拡大再生方
式、或いは再生磁界交番型の再生方式など、高信号品質
化、高記録密度化を達成する記録再生方式を用いて、記
録磁区の再生転写時に転写制御層を有する構成を用いれ
ば、同等或いはそれ以上の効果が得られる。
Further, by using a recording film structure having a multilayer structure, C
The magneto-optical recording medium and its reproducing method using the magnetic super-resolution reproducing of the AD method, or the reproducing method of expanding the reproducing magnetic domain by the shrink operation have been described, but other FAD method, RAD method, or the like. Using a recording / reproducing method that achieves high signal quality and high recording density, such as a magnetic super-resolution method other than the above, a magnetic domain expansion reproducing method of a domain wall displacement type, or a reproducing magnetic field alternating type reproducing method, If a configuration having a transfer control layer at the time of reproduction transfer is used, the same or better effects can be obtained.

【0209】また、光変調のダイレクトオーバーライト
方式に静磁結合を用いた記録膜構成を有する光磁気記録
媒体についても、本願発明の構成を用いれば、転写特性
の急峻な優れた光磁気記録媒体とその記録再生方法が得
られる。
Also, with respect to a magneto-optical recording medium having a recording film configuration using magnetostatic coupling in the light modulation direct overwrite method, if the configuration of the present invention is used, an excellent magneto-optical recording medium having a steep transfer characteristic can be obtained. And its recording / reproducing method.

【0210】また、本発明の第3の実施形態では、再生
層を用いた構成について述べてきたが、さらに、記録補
助層等を付加した構成であっても良い。
In the third embodiment of the present invention, a configuration using a reproducing layer has been described. However, a configuration in which a recording auxiliary layer and the like are further added may be used.

【0211】また、中間層として非磁性の遮断層を用い
る場合には、誘電体膜或いは非磁性合金膜であればよ
い。更に、上記の非磁性合金膜の場合、更に少なくとも
Al、Cu、Ag、Auを含む非磁性合金の反射層を用
いる構成であれば、更に特性を向上させることができ
る。また、反射層と誘電体層とからなる中間層を設けて
も良い。
When a non-magnetic blocking layer is used as the intermediate layer, it may be a dielectric film or a non-magnetic alloy film. Further, in the case of the above-mentioned non-magnetic alloy film, the characteristics can be further improved if the configuration further uses a reflection layer of a non-magnetic alloy containing at least Al, Cu, Ag, and Au. Further, an intermediate layer including a reflective layer and a dielectric layer may be provided.

【0212】なお、本発明の実施の形態において、第1
誘電体層109、第2誘電体層110および第3誘電体
層111には、SiNを用いたが、AlN、SiAlN
膜等の窒化物、SiO、AlO等の酸化物、ZnS、Z
nTe等のカルコゲン系化合物などの誘電体層、あるい
は誘電体層以外の非磁性の材料を用いても同様の効果が
得られる。
In the embodiment of the present invention, the first
Although SiN was used for the dielectric layer 109, the second dielectric layer 110, and the third dielectric layer 111, AlN, SiAlN
Nitrides such as films, oxides such as SiO and AlO, ZnS, Z
The same effect can be obtained by using a dielectric layer such as a chalcogen compound such as nTe or a non-magnetic material other than the dielectric layer.

【0213】また、中間層として磁性膜を用いる場合、
記録層と再生層(或いは磁区拡大層)との間に、これら
の層よりも磁壁エネルギーの小さい中間層を設けても良
い。
In the case where a magnetic film is used as the intermediate layer,
An intermediate layer having smaller domain wall energy than these layers may be provided between the recording layer and the reproducing layer (or the magnetic domain expansion layer).

【0214】更に、転写制御層に誘電体層を介して金属
からなる熱吸収層を設けた構成について述べてきたが、
転写制御層或いは記録層に直接に、金属からなる熱吸収
層を配置した構成であってもよい。
Further, the configuration in which the heat absorption layer made of metal is provided on the transfer control layer via the dielectric layer has been described.
A configuration in which a heat absorbing layer made of a metal is disposed directly on the transfer control layer or the recording layer may be used.

【0215】また、金属からなる反射層が更に設けられ
ている構成であってもよい。
Further, a configuration in which a reflective layer made of a metal is further provided may be employed.

【0216】また、放熱層のかわりにAlTi、AlC
r、Cu、Au、Ag等の金属層、あるいはこれらを少
なくとも一種類以上含む熱伝導率の大きい膜を用いても
同様の効果が得られる。
Also, instead of the heat radiation layer, AlTi, AlC
Similar effects can be obtained by using a metal layer of r, Cu, Au, Ag, or the like, or a film having at least one of these and having high thermal conductivity.

【0217】さらに、薄膜化が可能であることから、熱
拡散、熱吸収率を改善することができ、ビームスポット
が照射された領域での磁性層の内部における温度分布の
急峻化が可能となり、磁気超解像方式において分解能が
向上する。
Further, since thinning is possible, heat diffusion and heat absorption can be improved, and the temperature distribution inside the magnetic layer in the region irradiated with the beam spot can be sharpened. The resolution is improved in the magnetic super-resolution method.

【0218】[0218]

【発明の効果】以上に述べてきたように、本発明の光磁
気記録媒体及び再生方法を用いれば、面内磁化膜を用い
た磁気的超解像を用いた場合にも、環境温度の変化に対
して再生パワーマージンが大きく転写特性に優れた光磁
気記録媒体を実現でき、、磁気的超解像のマスク領域で
のクロストークによる再生信号の劣化を低減できる、優
れた高密度記録再生可能な光磁気記録媒体及び良好な情
報再生方法の提供が可能となる。
As described above, when the magneto-optical recording medium and the reproducing method of the present invention are used, even when the magnetic super-resolution using the in-plane magnetized film is used, the change in the environmental temperature is not affected. It is possible to realize a magneto-optical recording medium with a large reproduction power margin and excellent transfer characteristics, and reduce deterioration of the reproduction signal due to crosstalk in the magnetic super-resolution mask area. It is possible to provide a simple magneto-optical recording medium and a good information reproducing method.

【0219】また、本発明によれば、第1磁性層の膜厚
を薄くすることによって、再生時にビームスポット内の
面内磁化膜から垂直磁化膜への遷移領域において、第1
磁性層で反射した光ビームと第2磁性層で反射した光ビ
ームが互いに相殺し、室温から高温領域に至るまでの温
度において第2磁性層の記録情報を十分にマスクし、ビ
ームスポット内の高温領域においては記録情報を十分に
再生可能にすることにより狭トラック化が可能であり、
記録密度の高密度化という顕著な効果が得られる。
Further, according to the present invention, by reducing the thickness of the first magnetic layer, the first magnetic layer in the transition region from the in-plane magnetization film to the perpendicular magnetization film in the beam spot at the time of reproduction is reproduced.
The light beam reflected by the magnetic layer and the light beam reflected by the second magnetic layer cancel each other out, sufficiently masking the recorded information of the second magnetic layer at a temperature ranging from room temperature to a high temperature range, and In the area, it is possible to narrow the track by making the recorded information sufficiently reproducible,
A remarkable effect of increasing the recording density can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態の光磁気記録媒体の構
成を模式的に示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a configuration of a magneto-optical recording medium according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態における光磁気記録媒
体の再生動作を説明する図であり、(a)は、トラック
の一部を示す平面図であり、(b)は、記録膜構造(特
に磁化の方向)を示す断面図である。
FIGS. 2A and 2B are diagrams for explaining a reproducing operation of the magneto-optical recording medium according to the first embodiment of the present invention, wherein FIG. 2A is a plan view showing a part of a track, and FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a structure (in particular, a direction of magnetization).

【図3】(a)〜(c)は、再生レーザ光の強度を変え
て実現された異なる温度における、本発明の第1の実施
形態の光磁気記録媒体で使用しているGdFeCo再生
層の単層状態での磁気特性であるカーヒステリシスルー
プを測定した結果を示す図である。
FIGS. 3 (a) to 3 (c) show the GdFeCo reproducing layer used in the magneto-optical recording medium of the first embodiment of the present invention at different temperatures realized by changing the intensity of the reproducing laser beam. It is a figure showing the result of having measured the Kerr hysteresis loop which is a magnetic property in a single layer state.

【図4】本発明の第1の実施形態の光磁気記録媒体にお
ける、記録層の磁化、転写制御層の磁化、及び転写磁界
の温度依存性を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing the temperature dependence of the magnetization of the recording layer, the magnetization of the transfer control layer, and the transfer magnetic field in the magneto-optical recording medium according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施形態の光磁気記録媒体にお
ける、再生信号のキャリアレベルの再生パワーに対する
依存性を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing the dependence of the carrier level of the reproduction signal on the reproduction power in the magneto-optical recording medium according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第2の実施形態の光磁気記録媒体にお
ける、記録層の磁化、転写制御層の磁化、及び転写磁界
の温度依存性を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing the temperature dependence of the magnetization of the recording layer, the magnetization of the transfer control layer, and the transfer magnetic field in the magneto-optical recording medium according to the second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3の実施形態の光磁気記録媒体の構
成を模式的に示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view schematically illustrating a configuration of a magneto-optical recording medium according to a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3の実施形態における光磁気記録媒
体の再生動作を説明する図であり、(a)は、トラック
の一部を示す平面図であり、(b)は、記録膜構造(特
に磁化の方向)を示す断面図である。
8A and 8B are diagrams for explaining a reproducing operation of a magneto-optical recording medium according to a third embodiment of the present invention, where FIG. 8A is a plan view showing a part of a track, and FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a structure (in particular, a direction of magnetization).

【図9】本発明の第3の実施形態の光磁気記録媒体にお
ける、記録層の磁化、転写制御層の磁化、及び転写磁界
の温度依存性を示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating the temperature dependence of the magnetization of the recording layer, the magnetization of the transfer control layer, and the transfer magnetic field in the magneto-optical recording medium according to the third embodiment of the present invention.

【図10】(a)〜(c)は、異なる温度における、本
発明の第3の実施形態の光磁気記録媒体で使用している
GdFeCo磁区拡大層の単層状態での磁気特性(カー
ヒステリシスループ及び磁化の方向)を示す図である。
FIGS. 10A to 10C show magnetic properties (Ker hysteresis) of GdFeCo magnetic domain expansion layers used in the magneto-optical recording medium according to the third embodiment of the present invention at different temperatures in a single-layer state. FIG. 3 is a diagram illustrating a loop and a direction of magnetization.

【図11】本発明の第3の実施形態の光磁気記録媒体に
おける、再生信号の信号振幅量のマーク長に対する依存
性を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing the dependence of the signal amplitude of a reproduction signal on the mark length in the magneto-optical recording medium according to the third embodiment of the present invention.

【図12】従来のあるダブルマスク方式の光磁気記録媒
体の再生動作を説明する図であり、(a)は、トラック
の一部を示す平面図であり、(b)は、記録膜構造(特
に磁化の方向)を示す断面図である。
12A and 12B are diagrams illustrating a reproducing operation of a conventional double-mask type magneto-optical recording medium, wherein FIG. 12A is a plan view showing a part of a track, and FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the direction of magnetization in particular.

【図13】従来の他のCAD方式の光磁気記録媒体の再
生動作を説明する図であり、(a)は、トラックの一部
を示す平面図であり、(b)は、記録膜構造(特に磁化
の方向)を示す断面図である。
13A and 13B are diagrams illustrating a reproducing operation of another conventional magneto-optical recording medium of a CAD system, in which FIG. 13A is a plan view showing a part of a track, and FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the direction of magnetization in particular.

【図14】本発明の実施の形態による光磁気記録媒体に
おける再生時の遷移金属副格子磁気モーメントの垂直成
分を示す図
FIG. 14 is a diagram showing a perpendicular component of a transition metal sublattice magnetic moment during reproduction in the magneto-optical recording medium according to the embodiment of the present invention.

【図15】本発明の実施の形態4による光磁気記録媒体
を示す断面図
FIG. 15 is a sectional view showing a magneto-optical recording medium according to a fourth embodiment of the present invention.

【図16】(a)本発明の光磁気記録媒体の第1磁性層
の室温におけるカー回転角と外部磁界の関係を示す図 (b)本発明の光磁気記録媒体の第1磁性層の面内磁化
膜から垂直磁化膜へ遷移する温度におけるカー回転角と
外部磁界の関係を示す図 (c)本発明の光磁気記録媒体の第1磁性層の高温にお
けるカー回転角と外部磁界の関係を示す図
16A is a diagram showing the relationship between the Kerr rotation angle and the external magnetic field at room temperature of the first magnetic layer of the magneto-optical recording medium of the present invention. FIG. 16B is a diagram showing the surface of the first magnetic layer of the magneto-optical recording medium of the present invention. FIG. 7C is a diagram showing the relationship between the Kerr rotation angle and the external magnetic field at the temperature at which the inner magnetization film transitions to the perpendicular magnetization film. (C) The relationship between the Kerr rotation angle and the external magnetic field at high temperature of the first magnetic layer of the magneto-optical recording medium of the present invention. Diagram shown

【図17】本発明の光磁気記録媒体の第1磁性層の垂直
磁気異方性エネルギーKuおよび反磁界エネルギー2π
Ms2と温度の関係を示す図
FIG. 17 shows perpendicular magnetic anisotropy energy Ku and demagnetizing field energy 2π of the first magnetic layer of the magneto-optical recording medium of the present invention.
Diagram showing the relationship between Ms 2 and temperature

【図18】本発明の光磁気記録媒体の第1磁性層のカー
回転角とキュリー温度の関係を示す図
FIG. 18 is a diagram showing the relationship between the Kerr rotation angle and the Curie temperature of the first magnetic layer of the magneto-optical recording medium of the present invention.

【図19】本発明の光磁気記録媒体の第2磁性層の飽和
磁化Msと温度の関係を示す図
FIG. 19 is a diagram showing the relationship between the saturation magnetization Ms of the second magnetic layer of the magneto-optical recording medium of the present invention and temperature.

【図20】本発明の実施の形態4による光磁気記録媒体
における信号量と再生パワーの関係を示す図
FIG. 20 is a diagram showing a relationship between a signal amount and a reproduction power in a magneto-optical recording medium according to a fourth embodiment of the present invention.

【図21】本発明の実施の形態4による光磁気記録媒体
におけるクロストーク量と再生パワーの関係を示す図
FIG. 21 is a diagram showing a relationship between a crosstalk amount and a reproducing power in a magneto-optical recording medium according to a fourth embodiment of the present invention.

【図22】実施の形態5〜8による光磁気記録媒体を示
す断面図
FIG. 22 is a sectional view showing a magneto-optical recording medium according to the fifth to eighth embodiments.

【図23】本発明の実施の形態5による光磁気記録媒体
における信号量と再生パワーの関係を示す図
FIG. 23 is a diagram showing a relationship between a signal amount and a reproduction power in a magneto-optical recording medium according to a fifth embodiment of the present invention.

【図24】本発明の実施の形態5による光磁気記録媒体
におけるクロストーク量と再生パワーの関係を示す図
FIG. 24 is a diagram showing a relationship between a crosstalk amount and a reproducing power in a magneto-optical recording medium according to a fifth embodiment of the present invention.

【図25】本発明の実施の形態6による光磁気記録媒体
における信号量と再生パワーの関係を示す図
FIG. 25 is a diagram showing a relationship between a signal amount and a reproduction power in a magneto-optical recording medium according to a sixth embodiment of the present invention.

【図26】本発明の実施の形態6による光磁気記録媒体
におけるクロストーク量と再生パワーの関係を示す図
FIG. 26 is a diagram showing a relationship between a crosstalk amount and a reproducing power in a magneto-optical recording medium according to a sixth embodiment of the present invention.

【図27】従来の技術による光磁気記録媒体における再
生時の遷移金属副格子磁気モーメントの垂直成分を示す
FIG. 27 is a diagram showing a perpendicular component of a transition metal sublattice magnetic moment during reproduction in a magneto-optical recording medium according to a conventional technique.

【図28】本発明の実施の形態8による光磁気記録媒体
における磁性層の膜厚と規格化出力との関係を示す図
FIG. 28 is a diagram showing the relationship between the thickness of the magnetic layer and the normalized output in the magneto-optical recording medium according to the eighth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 誘電体層 3 再生層 4 中間層 5 記録層 6 転写制御層 7 保護層 8 オーバーコート層 9 再生光スポット 10 高温領域 11、12 低温領域 13 記録磁区 21 基板 22 誘電体層 23 磁区拡大層 24 再生層 25 中間層 26 記録層 27 転写制御層 28 誘電体層 29 熱吸収層 30 オーバーコート層 31 低温領域 32 高温領域 33 中間温度領域 34 記録磁区 344 拡大された記録磁区 35 再生光スポット 101 第1磁性層 102 第2磁性層 103 第1磁性層の遷移金属元素の副格子磁気モーメ
ントの垂直成分 104 第2磁性層の遷移金属元素の副格子磁気モーメ
ントの垂直成分 105 再生トラック 106 隣接トラック 107 ビームスポット 108 基板 109 第1誘電体層 110 第2誘電体層 111 第3誘電体層 112 オーバーコート層 113 放熱層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Dielectric layer 3 Reproducing layer 4 Intermediate layer 5 Recording layer 6 Transfer control layer 7 Protective layer 8 Overcoat layer 9 Reproducing light spot 10 High temperature area 11, 12 Low temperature area 13 Recording magnetic domain 21 Substrate 22 Dielectric layer 23 Magnetic domain expansion Layer 24 Reproducing layer 25 Intermediate layer 26 Recording layer 27 Transfer control layer 28 Dielectric layer 29 Heat absorbing layer 30 Overcoat layer 31 Low temperature area 32 High temperature area 33 Intermediate temperature area 34 Recording magnetic domain 344 Expanded recording magnetic domain 35 Reproducing light spot 101 First magnetic layer 102 Second magnetic layer 103 Perpendicular component of sublattice magnetic moment of transition metal element of first magnetic layer 104 Perpendicular component of sublattice magnetic moment of transition metal element of second magnetic layer 105 Reproduced track 106 Adjacent track 107 Beam spot 108 Substrate 109 First dielectric layer 110 Second dielectric layer 111 Third dielectric layer 112 Overcoat layer 113 Heat dissipation layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 11/105 511 G11B 11/105 511C 511G 511Q 531 531V 586 586L 586M (72)発明者 日野 泰守 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5D075 CC11 EE03 FF12 FG02 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11B 11/105 511 G11B 11/105 511C 511G 511Q 531 531V 586 586L 586M (72) Inventor Yasumori Hino Kadoma Osaka Prefecture 1006 Kadoma, Ichidai-shi Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F term (reference) 5D075 CC11 EE03 FF12 FG02

Claims (27)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 膜面に垂直な磁化方向によって情報が記
録される記録磁区を有する記録層と、 前記記録層に記録された情報が磁気的な結合により膜面
に垂直な磁化方向の再生磁区として転写形成される再生
層と、 前記記録層と磁気的に結合した転写制御層とを備え、 前記再生層に前記再生磁区が転写される温度未満の温度
範囲の少なくとも一部では、前記記録層の磁化の方向
と、前記記録層に対応する前記転写制御層の磁化の方向
とが反対方向であり、 前記転写される温度以上の温度範囲の少なくとも一部で
は、前記転写制御層がキュリー温度以上となる光磁気記
録媒体。
1. A recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded by a magnetization direction perpendicular to a film surface, and a reproduction magnetic domain in a direction of magnetization perpendicular to the film surface by magnetic coupling of information recorded in the recording layer. And a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer. In at least a part of a temperature range lower than a temperature at which the reproduction magnetic domain is transferred to the reproduction layer, the recording layer is formed. And the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer is the opposite direction. In at least a part of the temperature range equal to or higher than the transfer temperature, the transfer control layer is equal to or higher than the Curie temperature. Magneto-optical recording medium.
【請求項2】 膜面に垂直な磁化方向によって情報が記
録される記録磁区を有する記録層と、 前記記録層に記録された情報が磁気的な結合により膜面
に垂直な磁化方向の再生磁区として転写形成される再生
層と、 前記記録層と磁気的に結合した転写制御層とを備え、 前記再生層に前記再生磁区が転写される温度未満の温度
範囲の少なくとも一部では、前記記録層の磁化の方向
と、前記記録層に対応する前記転写制御層の磁化の方向
とが反対方向であり、 前記転写される温度以上の温度範囲の少なくとも一部で
は、前記記録層の磁化の方向と、前記記録層に対応する
前記転写制御層の磁化の方向とが一致する光磁気記録媒
体。
2. A recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded in a magnetization direction perpendicular to a film surface, and a reproducing magnetic domain in a direction of magnetization perpendicular to the film surface by magnetic coupling of information recorded in the recording layer. And a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer. In at least a part of a temperature range lower than a temperature at which the reproduction magnetic domain is transferred to the reproduction layer, the recording layer is formed. And the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer is the opposite direction, and at least part of the temperature range equal to or higher than the transfer temperature, the direction of magnetization of the recording layer A magneto-optical recording medium in which the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer matches.
【請求項3】 前記転写される温度未満の温度範囲で
は、前記記録層の磁化の方向と、前記記録層に対応する
前記転写制御層の磁化の方向とが反対方向である請求項
1又は2記載の光磁気記録体。
3. In a temperature range lower than the transfer temperature, the direction of magnetization of the recording layer is opposite to the direction of magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer. The magneto-optical recording medium according to the above.
【請求項4】 前記再生層の上に、シュリンク機能を有
する磁区拡大層が形成されている請求項1,2,又は3
記載の光磁気記録媒体。
4. A magnetic domain expanding layer having a shrink function is formed on the reproducing layer.
A magneto-optical recording medium according to claim 1.
【請求項5】 前記転写制御層のキュリー温度が、少な
くとも、前記記録層或いは前記再生層のいずれかのキュ
リー温度よりも低い、請求項1から4の何れかに記載の
光磁気記録媒体。
5. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the Curie temperature of the transfer control layer is lower than at least one of the recording layer and the reproducing layer.
【請求項6】 前記転写制御層のキュリー温度が、前記
再生層の補償組成温度より低い、請求項1から4の何れ
かに記載の光磁気記録媒体。
6. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the Curie temperature of the transfer control layer is lower than the compensation composition temperature of the reproducing layer.
【請求項7】 前記転写制御層の補償組成温度が、前記
再生層の補償組成温度より低い、請求項1から4の何れ
かに記載の光磁気記録媒体。
7. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein a compensation composition temperature of the transfer control layer is lower than a compensation composition temperature of the reproduction layer.
【請求項8】 前記転写制御層が、前記記録層よりも光
入射面から遠くに設けられている、請求項1から4の何
れかに記載の光磁気記録媒体。
8. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the transfer control layer is provided farther from the light incident surface than the recording layer.
【請求項9】 前記再生層と前記記録層との間に、非磁
性材料からなる中間層が更に設けられている、請求項1
から4の何れかに記載の光磁気記録媒体。
9. The image forming apparatus according to claim 1, further comprising an intermediate layer made of a non-magnetic material between the reproducing layer and the recording layer.
5. The magneto-optical recording medium according to any one of items 1 to 4.
【請求項10】 前記非磁性材料からなる中間層とし
て、誘電体材料からなる層が設けられている、請求項9
に記載の光磁気記録媒体。
10. A layer made of a dielectric material is provided as the intermediate layer made of a nonmagnetic material.
3. The magneto-optical recording medium according to claim 1.
【請求項11】 前記再生層と前記記録層との間に、前
記再生層のキュリー温度及び前記記録層のキュリー温度
の両方よりも低いキュリー温度を有する、磁性材料から
なる中間層が設けられている、請求項1から4の何れか
に記載の光磁気記録媒体。
11. An intermediate layer made of a magnetic material and having a Curie temperature lower than both the Curie temperature of the reproducing layer and the Curie temperature of the recording layer is provided between the reproducing layer and the recording layer. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein
【請求項12】 前記記録層は、室温から転写温度の間
に補償組成温度を有する、請求項1から4の何れかに記
載の光磁気記録媒体。
12. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the recording layer has a compensation composition temperature between room temperature and a transfer temperature.
【請求項13】 金属からなる熱吸収層が更に設けられ
ている、請求項1から4の何れかに記載の光磁気記録媒
体。
13. The magneto-optical recording medium according to claim 1, further comprising a heat absorbing layer made of a metal.
【請求項14】 膜面に垂直な磁化方向によって情報が
記録される記録磁区を有する記録層と、 前記記録層に記録された情報が膜面に垂直な磁化方向に
よって再生磁区として転写される再生層と、 前記記録層と磁気的に結合した転写制御層とを備え、 前記記録された情報の再生時に、照射される再生光の光
スポット内において、前記記録層の磁化と、前記記録層
に対応する前記転写制御層の磁化とが方向はお互いに反
対方向であり且つ大きさは一致するような臨界温度とな
る領域が存在するように構成されている光磁気記録媒
体。
14. A recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded in a magnetization direction perpendicular to a film surface, and reproduction in which information recorded in the recording layer is transferred as a reproduction magnetic domain in a magnetization direction perpendicular to the film surface. And a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer. When reproducing the recorded information, in the light spot of the reproduction light applied, the magnetization of the recording layer and the recording layer A magneto-optical recording medium configured so that there is a region where the magnetization of the corresponding transfer control layer has a critical temperature in which the directions are opposite to each other and the magnitudes are the same.
【請求項15】 室温以上であって且つ前記臨界温度以
下の温度領域では、前記記録層の磁化と前記転写制御層
の磁化とを加算した加算磁化の大きさが、100emu
/cc以下である、請求項14に記載の光磁気記録媒
体。
15. In a temperature range from room temperature to the critical temperature, the magnitude of the added magnetization obtained by adding the magnetization of the recording layer and the magnetization of the transfer control layer is 100 emu.
The magneto-optical recording medium according to claim 14, which is not more than / cc.
【請求項16】 膜面に垂直な磁化方向によって情報が
記録される記録磁区を有する記録層と、前記記録層に記
録された情報が膜面に垂直な磁化方向によって再生磁区
として転写される再生層と、前記記録層と磁気的に結合
した転写制御層とを少なくとも備える光磁気記録媒体に
対する再生方法であって、 前記光磁気記録媒体に記録されている情報の再生時に、
前記光磁気記録媒体に再生光を放射して再生光スポット
を形成し、前記再生光スポット内において、前記記録層
の磁化と、前記記録層に対応する前記転写制御層の磁化
とが方向はお互いに反対方向であり且つ大きさは一致す
るような臨界温度となる領域を作り、 前記臨界温度よりも高い温度領域の前記再生層に形成さ
れた転写磁区の信号を再生する光磁気記録媒体の再生方
法。
16. A recording layer having a recording magnetic domain in which information is recorded in a magnetization direction perpendicular to a film surface, and reproduction in which information recorded in the recording layer is transferred as a reproduction magnetic domain in a magnetization direction perpendicular to the film surface. Layer, a reproduction method for a magneto-optical recording medium comprising at least a transfer control layer magnetically coupled to the recording layer, when reproducing information recorded on the magneto-optical recording medium,
A reproduction light is emitted to the magneto-optical recording medium to form a reproduction light spot. In the reproduction light spot, the directions of the magnetization of the recording layer and the magnetization of the transfer control layer corresponding to the recording layer are mutually opposite. A region having a critical temperature in a direction opposite to that of the critical temperature, and reproducing a signal of a transfer magnetic domain formed in the reproducing layer in a temperature region higher than the critical temperature. Method.
【請求項17】 少なくとも室温で面内磁化膜となり、
また前記室温より高い所定の高温で垂直磁化膜となる第
1磁性層と、 垂直磁気異方性を有した第2磁性層とを備えた光磁気記
録媒体において、 前記第1磁性層は、光ビームが透過できる程度の薄さを
有し、 前記第2磁性層は、前記第1磁性層に磁気的に結合し得
るように配置されており、 再生のための光ビームが前記第1磁性層側から入射した
場合、前記第1磁性層で反射した光ビームの偏光面の回
転と、前記第1磁性層を透過して前記第2磁性層で反射
した光ビームの偏光面の回転とが互いに補償して相殺す
ることを特徴とする光磁気記録媒体。
17. An in-plane magnetized film at least at room temperature,
Further, in a magneto-optical recording medium including a first magnetic layer which becomes a perpendicular magnetization film at a predetermined high temperature higher than the room temperature, and a second magnetic layer having perpendicular magnetic anisotropy, the first magnetic layer comprises The second magnetic layer is arranged so as to be magnetically coupled to the first magnetic layer, and the light beam for reproduction is transmitted through the first magnetic layer. When incident from the side, the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer and the rotation of the polarization plane of the light beam transmitted through the first magnetic layer and reflected by the second magnetic layer are mutually different. A magneto-optical recording medium characterized in that compensation and cancellation are performed.
【請求項18】 前記第2磁性層には記録のためのトラ
ックが形成されており、 前記トラックと隣接する前記第1磁性層上の所定の領域
において、前記第1磁性層で反射した光ビームの偏光面
の回転と、前記第1磁性層を透過して前記第2磁性層で
反射した光ビームの偏光面の回転とが互いに補償して相
殺することを特徴とする請求項17に記載の光磁気記録
媒体。
18. A recording track is formed on the second magnetic layer, and a light beam reflected by the first magnetic layer in a predetermined region on the first magnetic layer adjacent to the track. 18. The rotation according to claim 17, wherein the rotation of the polarization plane and the rotation of the polarization plane of the light beam transmitted through the first magnetic layer and reflected by the second magnetic layer are compensated for each other and cancel each other. Magneto-optical recording medium.
【請求項19】 前記所定の領域は、前記第1磁性層が
面内磁化膜から垂直磁化膜へ遷移する温度領域となって
いることを特徴とする請求項18に記載の光磁気記録媒
体。
19. The magneto-optical recording medium according to claim 18, wherein the predetermined area is a temperature area where the first magnetic layer transitions from an in-plane magnetic film to a perpendicular magnetic film.
【請求項20】 再生時における、前記光ビームにより
形成されるビームスポット内の、前記所定の高温より低
い低温領域において、前記第1磁性層で反射した光ビー
ムの偏光面の回転と、前記第1磁性層を透過して前記第
2磁性層で反射した光ビームの偏光面の回転とが互いに
補償して相殺する構成であることを特徴とする請求項1
7に記載の光磁気記録媒体。
20. A rotation of a polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer in a low-temperature region lower than the predetermined high temperature in a beam spot formed by the light beam during reproduction, and 2. The structure according to claim 1, wherein the rotation of the polarization plane of the light beam transmitted through the first magnetic layer and reflected by the second magnetic layer is compensated for each other and canceled.
8. The magneto-optical recording medium according to 7.
【請求項21】 前記第2磁性層の飽和磁化が最大とな
る温度以下において、前記第1磁性層で反射した光ビー
ムの偏光面の回転と、前記第1磁性層を透過して前記第
2磁性層で反射した光ビームの偏光面の回転とが互いに
補償して相殺する構成であることを特徴とする請求項1
7に記載の光磁気記録媒体。
21. At a temperature not higher than the temperature at which the saturation magnetization of the second magnetic layer is maximized, rotation of the plane of polarization of the light beam reflected by the first magnetic layer and transmission of the second magnetic layer through the first magnetic layer. 2. The structure according to claim 1, wherein the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the magnetic layer is compensated for and canceled out.
8. The magneto-optical recording medium according to 7.
【請求項22】 前記第1磁性層は、希土類−遷移金属
合金を有するとともに希土類元素の副格子磁気モーメン
ト優勢の磁性層であり、 前記第2磁性層は、希土類−遷移金属合金を有するとと
もに遷移金属元素の副格子磁気モーメント優勢の磁性層
であることを特徴とする請求項17ないし21のいずれ
かに記載の光磁気記録媒体。
22. The first magnetic layer has a rare earth-transition metal alloy and is a magnetic layer in which a sub-lattice magnetic moment of a rare earth element is predominant. The second magnetic layer has a rare earth-transition metal alloy and has a transition. 22. The magneto-optical recording medium according to claim 17, wherein the magneto-optical recording medium is a magnetic layer in which a sublattice magnetic moment of a metal element is dominant.
【請求項23】 再生時における、前記光ビームにより
形成されるビームスポット内の前記低温領域における信
号量は、前記ビームスポット内の前記所定の高温の領域
における信号量に対して10分の1以下の大きさである
ことを特徴とする請求項20に記載の光磁気記録媒体。
23. The signal amount in the low-temperature region in the beam spot formed by the light beam at the time of reproduction is 1/10 or less of the signal amount in the predetermined high-temperature region in the beam spot. 21. The magneto-optical recording medium according to claim 20, wherein
【請求項24】 再生時における、前記光ビームにより
形成されるビームスポット内の前記所定の高温の領域で
は、前記第1磁性層で反射した光ビームの偏光面の回転
が、前記第2磁性層で反射した光ビームの偏光面の回転
より大きいことを特徴とする請求項20または23に記
載の光磁気記録媒体。
24. In the predetermined high-temperature region in a beam spot formed by the light beam during reproduction, rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the first magnetic layer is caused by rotation of the second magnetic layer. 24. The magneto-optical recording medium according to claim 20, wherein the rotation is larger than the rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the recording medium.
【請求項25】 前記第1磁性層の膜厚は、40nm以
下であることを特徴とする請求項17ないし24のいず
れかに記載の光磁気記録媒体。
25. The magneto-optical recording medium according to claim 17, wherein the thickness of the first magnetic layer is 40 nm or less.
【請求項26】 前記第1磁性層の膜厚は、5nm以上
であることを特徴とする請求項17ないし25のいずれ
かに記載の光磁気記録媒体。
26. The magneto-optical recording medium according to claim 17, wherein the first magnetic layer has a thickness of 5 nm or more.
【請求項27】 請求項17ないし26のいずれかに記
載の光磁気記録媒体に、光ビームを照射して、前記第2
磁性層に記録された情報を、前記第1磁性層と前記第2
磁性層とを磁気的に結合させることにより再生を行う光
磁気記録媒体の再生方法であって、 前記ビームスポット内の高温領域では、前記第1磁性層
を垂直磁化膜とし、前記第1磁性層と前記第2磁性層と
を磁気的に結合させることにより、前記第2磁性層に記
録された情報を前記第1磁性層に転写するステップと、 前記ビームスポット内の低温領域では、前記第1磁性層
で反射した光ビームの偏光面の回転と、前記第1磁性層
を透過して前記第2磁性層で反射した光ビームの偏光面
の回転とが互いに補償して相殺することにより、前記情
報の再生を行うステップとを含むことを特徴とする光磁
気記録媒体の再生方法。
27. The magneto-optical recording medium according to claim 17, wherein the magneto-optical recording medium is irradiated with a light beam.
The information recorded on the magnetic layer is transferred between the first magnetic layer and the second magnetic layer.
A reproducing method for a magneto-optical recording medium for performing reproduction by magnetically coupling with a magnetic layer, wherein in a high-temperature region in the beam spot, the first magnetic layer is a perpendicular magnetization film, and the first magnetic layer is Transferring the information recorded on the second magnetic layer to the first magnetic layer by magnetically coupling the second magnetic layer to the first magnetic layer; The rotation of the polarization plane of the light beam reflected by the magnetic layer and the rotation of the polarization plane of the light beam transmitted through the first magnetic layer and reflected by the second magnetic layer compensate for each other and cancel each other, so that Reproducing information from the magneto-optical recording medium.
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