JP2001194425A - Integrated circuit and lot-sorting system - Google Patents

Integrated circuit and lot-sorting system

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JP2001194425A
JP2001194425A JP34104199A JP34104199A JP2001194425A JP 2001194425 A JP2001194425 A JP 2001194425A JP 34104199 A JP34104199 A JP 34104199A JP 34104199 A JP34104199 A JP 34104199A JP 2001194425 A JP2001194425 A JP 2001194425A
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reference voltage
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秋彦 吉沢
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily discriminated a nondefective from a defective, by measuring the jitter value of a PLL circuit without increasing the cost for a testing. SOLUTION: In a phase-error generation circuit 9 for a test circuit which is mounted on the integrated circuit, a reference signal Fref and a frequency division signal Fvar of the PLL circuit which is mounted on the integrated circuit are input, a phase error between both is found, and a phase error signal Esig is generated so as to be output to an integrator 10. The integrator integrates the input phase error signal Esig, so as to generate an integrated voltage Verr corresponding to the phase error to be output to a voltage comparator 11. The voltage comparator compares the input integrated voltage Verr with a reference voltage Vref. When the integrated voltage Verr is larger than the reference voltage Vref, a high-level signal which indicates the defective is output. When the integrated voltage Verr is smaller than the reference voltage Vref, a low-level signal which indicates the nondefective is output. Consequently, by merely detecting the binary output of the voltage comparator, it is possible to immediately detect whether the integrated circuit is nondefective or defective.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、PLL(Phase Lo
cked Loop)回路を搭載した集積回路及びこの集積回路
の良品と不良品を選別するロット選別システムに係り、
特に、PLL回路の特性をテストするテスト回路に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a PLL (Phase Lo
related to an integrated circuit equipped with a cked Loop) circuit and a lot selection system for selecting good and defective products of the integrated circuit.
In particular, the present invention relates to a test circuit for testing characteristics of a PLL circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、PLL(Phase Locked Loop)回
路では、基準となる周波数に対して生成される周波数が
低ジッタで安定度の高い特性が要求されてきている。そ
のため、PLL(Phase Locked Loop)回路により生成
された周波数のジッタ値が、テスト回路により精度良く
測定され、良品と不良品を選別することが行われてい
る。図15は従来技術による基本的なPLL回路の構成
例を示したブロック図である。位相比較器(以下PFD
と略称する)1の一方の入力端子に基準周波数を有する
基準信号Frefを入力し、他方の入力端子には電圧制
御発振器(以下VCOと略称する)4で発振している周
波数の出力信号Foutを分周器(DIV)5でN分周
した周波数(Fout/N)の分周信号Fvarを入力
する。ここで、PFD1は周波数Fout/Nと基準周
波数Frefの位相状態に応じて、UP信号とDOWN
信号を出力する。
2. Description of the Related Art In recent years, in a PLL (Phase Locked Loop) circuit, a characteristic that a frequency generated with respect to a reference frequency has low jitter and high stability has been required. Therefore, a jitter value of a frequency generated by a PLL (Phase Locked Loop) circuit is accurately measured by a test circuit, and a good product and a defective product are selected. FIG. 15 is a block diagram showing a configuration example of a basic PLL circuit according to the related art. Phase comparator (hereinafter PFD)
A reference signal Fref having a reference frequency is input to one input terminal of an input terminal 1 and an output signal Fout of a frequency oscillated by a voltage controlled oscillator (hereinafter abbreviated as VCO) 4 is input to the other input terminal. A frequency-divided signal Fvar having a frequency (Fout / N) obtained by dividing the frequency by N with a frequency divider (DIV) 5 is input. Here, the PFD 1 determines whether the UP signal and the DOWN signal correspond to the phase state of the frequency Fout / N and the reference frequency Fref.
Output a signal.

【0003】PFD1が出力するUP信号とDOWN信
号はチャージポンプ(CP)回路2に入力され、UP信
号が出力されている間、CP回路2は高レベルを出力す
る。また、DOWN信号が出力されている間、CP回路
2は低レベルを出力する。
The UP signal and the DOWN signal output from the PFD 1 are input to a charge pump (CP) circuit 2, and the CP circuit 2 outputs a high level while the UP signal is output. Also, while the DOWN signal is being output, the CP circuit 2 outputs a low level.

【0004】ここで、PFD1は周波数Fout/Nが
Frefより低いか、位相において遅れている場合に、
その遅れている期間だけUP信号を出力する。そして、
そのUP信号が入力されたCP回路2は高レベルを出力
する。この高レベルのパルスが低域通過フィルタ(以下
LPFと略す)3で積分されDCレベルになる。
[0004] Here, the PFD1 has a frequency Fout / N lower than Fref or is delayed in phase.
The UP signal is output only during the delay period. And
The CP circuit 2 to which the UP signal is input outputs a high level. This high-level pulse is integrated by a low-pass filter (hereinafter abbreviated as LPF) 3 to become a DC level.

【0005】このLPF3が抵抗と容量で構成されるパ
ッシブフィルタとすると、LPF3の出力レベルは前の
状態に比べて高くなる。この結果、VCO4は前の発振
周波数より高い周波数で発振する。このFout/Nが
Frefよりまだ低ければ、前と同様の過程を辿り、更
に高い周波数を発振する。
If the LPF 3 is a passive filter composed of a resistor and a capacitor, the output level of the LPF 3 is higher than in the previous state. As a result, the VCO 4 oscillates at a higher frequency than the previous oscillation frequency. If this Fout / N is still lower than Fref, the same process as before is followed, and a higher frequency is oscillated.

【0006】この結果、逆にFout/NがFrefよ
り高くなれば、前とは逆にPFD1は位相差と同じ期間
だけDOWN信号を出力する。そして、そのDOWN信
号が入力されたCP回路2は低レベルを出力する。この
低レベルのパルスはLPF3で積分されDCレベルにな
る。
As a result, if Fout / N is higher than Fref, the PFD 1 outputs the DOWN signal for the same period as the phase difference, contrary to the previous case. Then, the CP circuit 2 to which the DOWN signal has been input outputs a low level. This low-level pulse is integrated by the LPF 3 to become a DC level.

【0007】そして、LPF3の出力レベルは前の状態
と比べて低くなる。この結果、VCO4は前の発振周波
数より低い周波数で発振する。この様にして何回かFo
ut/NとFrefが比較され、たえず位相誤差を無く
すようにループが動作する。そして、最後にはFout
/NとFrefの位相差が0になる。この結果、PFD
1からは、UP信号もDOWN信号も出力されなくな
り、UP信号もDOWN信号も入力されないCP回路2
の出力はハイ・インピーダンスの状態になり、LPF3
の出力レベルは前の状態と同じレベルを保持する。この
結果、VCO4も前の発振周波数と同じ周波数を維持す
る。
[0007] The output level of the LPF 3 is lower than in the previous state. As a result, the VCO 4 oscillates at a lower frequency than the previous oscillation frequency. Fo several times like this
ut / N and Fref are compared, and a loop operates so as to constantly eliminate the phase error. And finally, Fout
The phase difference between / N and Fref becomes zero. As a result, PFD
1, the CP circuit 2 in which neither the UP signal nor the DOWN signal is output, and neither the UP signal nor the DOWN signal is input.
Is in a high impedance state, and LPF3
Keeps the same level as the previous state. As a result, the VCO 4 also maintains the same frequency as the previous oscillation frequency.

【0008】PLLの出力周波数(Fout)は、基準
周波数(Fref)と分周器の分周数(N)によって定
まり、 Fout=Fref×N となり、出力周波数(Fout)は基準周波数(Fre
f)のN逓倍された周波数となる。
The output frequency (Fout) of the PLL is determined by the reference frequency (Fref) and the frequency division number (N) of the frequency divider. Fout = Fref × N, and the output frequency (Fout) is the reference frequency (Fref).
The frequency becomes the frequency multiplied by N in f).

【0009】ここでPLL回路に、ノイズ等の外乱が加
わった場合に、生成される出力周波数は、外乱のパワー
に応じて周波数変動を生ずる。変動した出力周波数はP
LL回路のフィードバック制御により、元の周波数に戻
る。
Here, when disturbance such as noise is applied to the PLL circuit, the generated output frequency fluctuates according to the power of the disturbance. The fluctuating output frequency is P
The frequency returns to the original frequency by the feedback control of the LL circuit.

【0010】しかし、その外乱が周期的に生ずるような
場合には、その生成される出力周波数も周期的な変動を
繰り返すこととなる。また、外乱以外でも、PLL回路
のループ内にプロセス等の問題から不具合を生じた場
合、ループ応答の変動からループ応答の安定性が損なわ
れることによって、その生成される出力周波数も周期的
な変動を生ずる場合もある。この出力周波数の変動量を
ジッタと称して、PLL回路の性能を示す重要な要素と
なっている。
However, when the disturbance occurs periodically, the generated output frequency repeats a periodic change. In addition to the disturbance, when a problem occurs in the loop of the PLL circuit due to a process or the like, the stability of the loop response is impaired by the fluctuation of the loop response, and the generated output frequency also varies periodically. May occur. This fluctuation amount of the output frequency is called jitter, and is an important factor indicating the performance of the PLL circuit.

【0011】従って、特に高精度のジッタ性能が要求さ
れる製品や、ジッタ性能が要求性能に対して十分なマー
ジンが取れていない場合においては、ジッタ値を測定し
て良品と不良品とを選別する必要性がある。通常、PL
L等の出力周波数のジッタ値を測定するには、タイムイ
ンターバルアナライザ等の専用で高精度の測定器が用い
られる。
Therefore, in the case of a product that requires high-precision jitter performance or a case where the jitter performance does not have a sufficient margin with respect to the required performance, the jitter value is measured to discriminate a good product from a defective product. There is a need to do. Usually PL
In order to measure the jitter value of the output frequency such as L, a dedicated high-precision measuring instrument such as a time interval analyzer is used.

【0012】尚、上記したPLL回路のテスト回路の技
術分野としては、マイクロ・コンピュータ(MCU)や
デジタル・シグナル・プロセッサ(DSP)等のLSI
内部用に高周波のクロックを生成するために用いられる
PLL回路の付属回路となる。これらのPLL技術は、
LSIの外部クロックに低周波のクロックを用い、LS
Iの内部クロックに高周波のクロックを用いることによ
り、LSIの処理性能を向上させたり、システム全体の
パワーを抑えるような応用分野に用いられる。
The technical field of the test circuit for the PLL circuit includes LSIs such as a microcomputer (MCU) and a digital signal processor (DSP).
It is an auxiliary circuit of a PLL circuit used to generate a high-frequency clock for internal use. These PLL technologies are:
A low frequency clock is used as the external clock of the LSI,
By using a high-frequency clock as the internal clock of I, it is used in an application field where the processing performance of the LSI is improved or the power of the entire system is suppressed.

【発明が解決しようとする課題】タイムインターバルア
ナライザ等の専用で高精度の測定器は、測定器自体が高
価であり、測定時間もかかることからLSI等の量産時
に用いる場合には、テストコストの上昇を招いている。
また、PLL回路はノイズ等の外乱に非常に影響を受け
やすいため、測定基板や測定環境を調整する必要性があ
り、PLL回路のジッタ値を高い精度で測定することを
困難にしている。このため、集積回路に搭載されている
PLLのジッタ値を測定して良品と不良品を迅速に選別
することを困難にしている。
A dedicated and high-precision measuring instrument such as a time interval analyzer is expensive and requires a long measuring time. Therefore, when used in mass production of LSIs and the like, the test cost is low. Has led to a rise.
Further, since the PLL circuit is very susceptible to disturbance such as noise, it is necessary to adjust the measurement substrate and the measurement environment, which makes it difficult to measure the jitter value of the PLL circuit with high accuracy. For this reason, it is difficult to measure the jitter value of the PLL mounted on the integrated circuit and quickly sort out good and defective products.

【0013】ところで、PLL回路の性能としてジッタ
性能の他に、出力信号のデューティ値が50%でない
と、デューティ値が50%以下の期間に同期して行う処
理が時間不足で出来なくなってしまう恐れがある。この
ため、出力信号のデューティ値が50%からどれだけず
れているかを測定し、出力信号のデューティ値が50%
を満たすPLL回路を選択することが要請されている
が、このような測定は今のところ行われていないのが、
現状である。
If the duty ratio of the output signal is not 50% in addition to the jitter performance as the performance of the PLL circuit, the processing performed in synchronization with the period when the duty ratio is 50% or less may not be possible due to a shortage of time. There is. Therefore, it is measured how much the duty value of the output signal deviates from 50%, and the duty value of the output signal is 50%.
It is required to select a PLL circuit that satisfies the following condition, but such a measurement has not been performed so far.
It is the current situation.

【0014】本発明は、上述の如き従来の課題を解決す
るためになされたもので、その目的は、テストコストの
上昇を招くことなく、PLL回路のジッタ値を測定して
容易に良品と不良品を判別することができ、また、PL
L回路のデューティ値のずれを容易に測定することがで
きる集積回路を提供すること、及びPLL回路を搭載し
た集積回路の良品と不良品を迅速に自動選別することが
できるロット選別システムを提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to measure a jitter value of a PLL circuit and easily determine a non-defective product without increasing test cost. A good product can be determined.
Provided is an integrated circuit capable of easily measuring a deviation of a duty value of an L circuit, and a lot selection system capable of quickly and automatically selecting good and defective integrated circuits equipped with a PLL circuit. That is.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明の特徴は、電圧制御発振器の発振信
号を分周した信号と基準信号とを入力して両者の位相誤
差信号を検出する位相誤差生成回路と、前記位相誤差生
成回路が出力する誤差信号を積分する積分回路と、所定
の基準電圧を生成する基準電圧生成回路と、前記積分回
路から出力される積分結果電圧と前記基準電圧生成回路
で生成された基準電圧を比較する電圧比較回路とを具備
することにある。
In order to achieve the above object, a feature of the present invention is that a signal obtained by dividing the oscillation signal of the voltage controlled oscillator and a reference signal are inputted, and a phase error signal of both signals is inputted. A phase error generation circuit that detects the error, an integration circuit that integrates an error signal output by the phase error generation circuit, a reference voltage generation circuit that generates a predetermined reference voltage, and an integration result voltage output from the integration circuit. A voltage comparison circuit for comparing the reference voltage generated by the reference voltage generation circuit.

【0016】請求項1の発明によれば、通常PLL回路
では、基準信号と電圧制御発振器の出力信号を分周した
信号の両者の位相誤差を小さくするようにフィードバッ
ク制御が動作するために、ジッタ値が小さい場合には両
者の位相誤差は小さくなり、従って、位相誤差信号を積
分して生成される位相誤差の積分電圧Verrも小さく
なる。逆に、ジッタ値が大きい場合には、基準信号とV
COの出力信号を分周した信号Fvarの両者の位相誤
差は大きくなり、従って、位相誤差信号を積分して生成
される位相誤差の積分電圧Verrも大きくなる。この
ため、上記のように時間軸方向の位相誤差信号を積分し
て電圧値Verrに変換し、この電圧値を基準値と比較
することにより間接的ではあるがジッタ値を容易に評価
することができる。
According to the first aspect of the present invention, in the normal PLL circuit, the feedback control operates so as to reduce the phase error between the reference signal and the signal obtained by dividing the output signal of the voltage controlled oscillator. When the value is small, the phase error between the two becomes small, and therefore, the integrated voltage Verr of the phase error generated by integrating the phase error signal also becomes small. Conversely, when the jitter value is large, the reference signal and V
The phase error of both of the signal Fvar obtained by dividing the output signal of the CO increases, and accordingly, the integrated voltage Verr of the phase error generated by integrating the phase error signal also increases. Therefore, as described above, the jitter value can be easily evaluated indirectly by integrating the phase error signal in the time axis direction and converting it into a voltage value Verr, and comparing this voltage value with a reference value. it can.

【0017】請求項2の発明の前記位相誤差生成回路
は、PLL回路内部で用いられる位相比較器により発生
されるDOWN信号とUP信号を入力して、両信号の論
理和を取る論理和回路から成る。
According to a second aspect of the present invention, the phase error generating circuit receives a DOWN signal and an UP signal generated by a phase comparator used in a PLL circuit, and obtains a logical sum of the two signals. Become.

【0018】請求項3の発明の前記位相誤差生成回路
は、電圧制御発振器の発振信号を分周した信号を分周す
る第1の分周回路と、基準信号を入力して分周する第2
の分周回路と、前記第1、第2の分周回路から出力され
る分周信号の排他的論理和を取る排他的論理和回路とを
具備する。
According to a third aspect of the present invention, the phase error generating circuit includes a first frequency dividing circuit for dividing a signal obtained by dividing the oscillation signal of the voltage controlled oscillator, and a second frequency dividing circuit for receiving and dividing a reference signal.
And an exclusive OR circuit for taking the exclusive OR of the divided signals output from the first and second frequency divider circuits.

【0019】請求項4の発明の特徴は、電圧制御発振器
の発振信号の正転信号を入力して積分する第1の積分回
路と、前記発振信号の反転信号を入力して積分する第2
の積分回路と、前記第1、第2の積分回路から出力され
る積分結果電圧の差分を取る減算回路とを具備すること
にある。
According to a fourth aspect of the present invention, a first integration circuit for inputting and integrating a non-inverted signal of an oscillation signal of a voltage controlled oscillator, and a second integration circuit for inputting and integrating an inverted signal of the oscillation signal.
And a subtraction circuit for obtaining a difference between the integration result voltages output from the first and second integration circuits.

【0020】請求項5の発明の特徴は、電圧制御発振器
の発振信号の正転信号を入力して積分する第1の積分回
路と、前記発振信号の反転信号を入力して積分する第2
の積分回路と、前記第1、第2の積分回路から出力され
る積分結果電圧の差分を取る減算回路と、所定の中間電
位より高い基準電圧と低い基準電圧を生成する基準電圧
生成回路と、前記減算回路から出力される差分電圧と前
記基準電圧生成回路で生成された高い基準電圧を比較す
る第1の電圧比較回路と、前記減算回路から出力される
差分電圧と前記基準電圧生成回路で生成された低い基準
電圧を比較する第2の電圧比較回路と、前記第1、第2
の電圧比較回路から出力される比較結果の論理和を取る
論理和回路とを具備することにある。
A fifth aspect of the present invention is characterized in that a first integration circuit for inputting and integrating a non-inverted signal of an oscillation signal of a voltage controlled oscillator, and a second integration circuit for inputting and integrating an inverted signal of the oscillation signal.
An integration circuit, a subtraction circuit that takes a difference between integration result voltages output from the first and second integration circuits, a reference voltage generation circuit that generates a reference voltage higher and lower than a predetermined intermediate potential, A first voltage comparison circuit for comparing a difference voltage output from the subtraction circuit with a high reference voltage generated by the reference voltage generation circuit; and a difference voltage output from the subtraction circuit and generated by the reference voltage generation circuit. A second voltage comparison circuit for comparing the obtained low reference voltage, and the first and second voltage comparison circuits.
And a logical sum circuit for calculating a logical sum of the comparison results output from the voltage comparison circuit.

【0021】請求項6の発明の特徴は、電圧制御発振器
の発振信号を分周した信号と基準信号とを入力して両者
の位相誤差信号を検出する位相誤差生成回路と、前記位
相誤差生成回路が出力する誤差信号を積分する積分回路
と、所定の基準電圧を生成する基準電圧生成回路と、前
記積分回路から出力される積分結果電圧と前記基準電圧
生成回路で生成された基準電圧を比較する電圧比較回路
と、前記電圧比較回路から出力される比較結果より前記
各回路を搭載するLSIチップの良、不良を判定する判
定回路と、前記判別回路の判定結果によって前記LSI
チップを選別するロット選別機とを具備することにあ
る。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a phase error generating circuit for inputting a frequency-divided signal of an oscillation signal of a voltage controlled oscillator and a reference signal to detect a phase error signal of the two, and the phase error generating circuit. An integration circuit that integrates the error signal output by the reference voltage generator, a reference voltage generation circuit that generates a predetermined reference voltage, and a comparison between the integration result voltage output from the integration circuit and the reference voltage generated by the reference voltage generation circuit. A voltage comparison circuit, a judgment circuit for judging pass / fail of an LSI chip on which each of the circuits is mounted based on a comparison result output from the voltage comparison circuit, and the LSI based on a judgment result of the judgment circuit
And a lot sorter for sorting chips.

【0022】請求項7の発明の特徴は、電圧制御発振器
の発振信号の正転信号を入力して積分する第1の積分回
路と、前記発振信号の反転信号を入力して積分する第2
の積分回路と、前記第1、第2の積分回路から出力され
る積分結果電圧の差分を取る減算回路と、所定の中間電
位より高い基準電圧と低い基準電圧を生成する基準電圧
生成回路と、前記減算回路から出力される差分電圧と前
記基準電圧生成回路で生成された高い基準電圧を比較す
る第1の電圧比較回路と、前記減算回路から出力される
差分電圧と前記基準電圧生成回路で生成された低い基準
電圧を比較する第2の電圧比較回路と、前記第1、第2
の電圧比較回路から出力される比較結果の論理和を取る
論理和回路と、前記論理和回路から出力される比較結果
より前記各回路を搭載するLSIチップの良、不良を判
定する判定回路と、前記判別回路の判定結果によって前
記LSIチップを選別するロット選別機とを具備するこ
とにある。
The invention according to claim 7 is characterized in that a first integration circuit for inputting and integrating a non-inverted signal of an oscillation signal of a voltage controlled oscillator, and a second integration circuit for inputting and integrating an inverted signal of the oscillation signal.
An integration circuit, a subtraction circuit that takes a difference between integration result voltages output from the first and second integration circuits, a reference voltage generation circuit that generates a reference voltage higher and lower than a predetermined intermediate potential, A first voltage comparison circuit for comparing a difference voltage output from the subtraction circuit with a high reference voltage generated by the reference voltage generation circuit; and a difference voltage output from the subtraction circuit and generated by the reference voltage generation circuit. A second voltage comparison circuit for comparing the obtained low reference voltage, and the first and second voltage comparison circuits.
An OR circuit that takes a logical sum of the comparison results output from the voltage comparison circuits, and a determination circuit that determines the acceptability or failure of the LSI chip mounting each of the circuits based on the comparison results output from the OR circuit. A lot sorter that sorts the LSI chip according to the determination result of the determination circuit.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1は、本発明の集積回路が搭載
するテスト回路の第1の実施の形態を示したブロック図
である。本例の集積回路が搭載するテスト回路は、本集
積回路が搭載するPLL回路(図示されない)の基準信
号FrefとVCOの出力信号を分周した信号Fvar
を入力し、両者の位相誤差を求めて位相誤差信号Esi
gを生成する位相誤差生成回路9と、生成された位相誤
差信号Esigを積分して位相誤差の積分電圧Verr
を生成する積分器10と、位相誤差の積分電圧Verr
と基準電圧Vrefを入力して両者の電圧値の大小を判
別する電圧比較器11及び基準電圧Vrefを生成して
電圧比較器11に供給する基準電圧生成回路12から構
成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of a test circuit mounted on the integrated circuit of the present invention. The test circuit mounted on the integrated circuit of the present embodiment includes a reference signal Fref of a PLL circuit (not shown) mounted on the integrated circuit and a signal Fvar obtained by dividing the output signal of the VCO.
And obtain a phase error between the two to obtain a phase error signal Esi
g, and a phase error integrated voltage Verr by integrating the generated phase error signal Esig.
And an integrated voltage Verr of the phase error
And a reference voltage Vref, and a reference voltage generation circuit 12 for generating a reference voltage Vref and supplying the reference voltage Vref to the voltage comparator 11.

【0024】尚、基準信号Frefと分周信号Fvar
は図15に示すような本集積回路が搭載するPLL回路
(図示されない)の基準信号Frefと分周信号Fva
rである。
The reference signal Fref and the divided signal Fvar
Is a reference signal Fref and a frequency-divided signal Fva of a PLL circuit (not shown) mounted on the integrated circuit as shown in FIG.
r.

【0025】次に本実施の形態の動作について説明す
る。本例の集積回路が搭載するテスト回路は、同集積回
路が搭載するPLL回路の基本的なジッタ値を測定する
ものである。位相誤差生成回路9は基準信号Frefと
分周信号Fvarを入力して両者の位相誤差を求めて位
相誤差信号Esigを生成し、これを積分器10に出力
する。積分器10は、生成された位相誤差信号Esig
を積分して前記位相誤差に対応する積分電圧Verrを
生成し、これを電圧比較器11に出力する。電圧比較器
11は入力された積分電圧Verrを基準電圧Vref
と比較し、積分電圧Verrが基準電圧Vrefより大
きい場合は、ハイレベル(“1”)を出力し、積分電圧
Verrが基準電圧Vrefを小さい場合は、ローレベ
ル(“0”)を出力する。
Next, the operation of this embodiment will be described. The test circuit mounted on the integrated circuit of this embodiment measures a basic jitter value of the PLL circuit mounted on the integrated circuit. The phase error generation circuit 9 receives the reference signal Fref and the frequency-divided signal Fvar, obtains a phase error between them, generates a phase error signal Esig, and outputs this to the integrator 10. The integrator 10 generates the phase error signal Esig
To generate an integrated voltage Verr corresponding to the phase error, and output this to the voltage comparator 11. The voltage comparator 11 compares the input integrated voltage Verr with the reference voltage Vref.
If the integrated voltage Verr is higher than the reference voltage Vref, a high level (“1”) is output. If the integrated voltage Verr is lower than the reference voltage Vref, a low level (“0”) is output.

【0026】ここで、通常PLL回路では、基準信号F
refとVCOの出力信号を分周した信号Fvarの両
者の位相誤差を小さくするようにフィードバック制御が
動作するために、ジッタ値が小さい場合には両者の位相
誤差は小さくなり、従って、位相誤差信号を積分して生
成される位相誤差の積分電圧Verrも小さくなる。
Here, in the normal PLL circuit, the reference signal F
Since the feedback control operates so as to reduce the phase error between the ref and the signal Fvar obtained by dividing the output signal of the VCO, when the jitter value is small, the phase error between the two becomes small. , The integral voltage Verr of the phase error generated by integrating is also reduced.

【0027】逆に、ジッタ値が大きい場合には、基準信
号FrefとVCOの出力信号を分周した信号Fvar
の両者の位相誤差は大きくなり、従って、位相誤差信号
を積分して生成される位相誤差の積分電圧Verrも大
きくなる。このため、上記のように時間軸方向の位相誤
差信号Esigを電圧値Verrに変換して、この電圧
値に基づき間接的ではあるがジッタ値を容易に評価する
ことができる。
Conversely, when the jitter value is large, the reference signal Fref and the signal Fvar obtained by dividing the output signal of the VCO are output.
Of the phase error signal, the integrated voltage Verr of the phase error generated by integrating the phase error signal also increases. Therefore, as described above, the phase error signal Esig in the time axis direction is converted into the voltage value Verr, and the jitter value can be easily evaluated indirectly based on the voltage value.

【0028】すなわち、積分器10から出力された積分
電圧Verrが小さければ、前記PLL回路のジッタ値
が小さいと判定でき、積分電圧Verrが大きければ、
前記PLL回路のジッタ値が大きいと判定できる。
That is, if the integrated voltage Verr output from the integrator 10 is small, it can be determined that the jitter value of the PLL circuit is small, and if the integrated voltage Verr is large,
It can be determined that the jitter value of the PLL circuit is large.

【0029】そこで、電圧比較器11に入力される基準
電圧をジッタ値が小さい良品と、ジッタ値が大きい不良
品とを区別する適切な値に設定しておけば、電圧比較器
11の出力がハイレベル(“1”)の時は不良品で、ロ
ーレベル(“0”)の時は良品であることが判明する。
If the reference voltage input to the voltage comparator 11 is set to an appropriate value for distinguishing a good product having a small jitter value from a defective product having a large jitter value, the output of the voltage comparator 11 becomes When it is at the high level ("1"), it is determined to be defective, and when it is at the low level ("0"), it is determined to be non-defective.

【0030】本実施の形態によれば、PLL回路を搭載
する集積回路にテスト回路が搭載され、且つそのテスト
回路の出力の2値信号により当該集積回路のPLL回路
のジッタ値が小さい良品であるか、或いは同集積回路の
PLL回路のジッタ値が大きい不良品であるかを容易且
つ迅速に判定できる。
According to this embodiment, a test circuit is mounted on an integrated circuit on which a PLL circuit is mounted, and the jitter value of the PLL circuit of the integrated circuit is small due to a binary signal output from the test circuit. It can be easily and quickly determined whether the PLL circuit of the integrated circuit is a defective product having a large jitter value.

【0031】しかも、PLL回路のジッタ値を測定する
テスト回路をLSIチップ(集積回路)上に内蔵するこ
とにより、追加回路による多少のチップコストの増加分
はあるものの、測定時間の短縮や高価な測定器の不要化
ができるため、テストコストを大幅に削減することがで
きる。
In addition, by incorporating a test circuit for measuring the jitter value of the PLL circuit on an LSI chip (integrated circuit), although the chip cost is slightly increased by the additional circuit, the measurement time is shortened and the cost is increased. Since a measuring instrument can be eliminated, test costs can be significantly reduced.

【0032】更にスループットの向上などにも寄与し、
トータルなチップコストの低減も可能となる。また、テ
スト回路をLSIのチップ上に内蔵することにより、測
定環境に纏わるノイズ等の外乱の影響を受けにくくする
ことが可能になり、測定基板や測定環境の調整を簡易に
することができる。
Further, it contributes to the improvement of the throughput, etc.
It is also possible to reduce the total chip cost. Further, by incorporating the test circuit on the LSI chip, it is possible to make the measurement environment less susceptible to disturbance such as noise related to the measurement environment, and to simplify the adjustment of the measurement substrate and the measurement environment.

【0033】図2は図1に示した位相誤差生成回路の第
1の実施例の構成を示した回路図と動作タイミング波形
を示した波形図である。図2(a)において、位相誤差
生成回路は位相比較器(PFD)13とOR回路14と
から成る。
FIG. 2 is a circuit diagram showing the configuration of the first embodiment of the phase error generating circuit shown in FIG. 1 and a waveform diagram showing operation timing waveforms. In FIG. 2A, the phase error generation circuit includes a phase comparator (PFD) 13 and an OR circuit 14.

【0034】位相比較器13は、PLL回路内で用いら
れているものを利用し、基準信号FrefとVCOの出
力周波数を分周した信号Fvarを入力して、両信号の
位相差信号であるUP信号とDOWN信号を出力する。
OR回路14は、位相比較器13から出力される図2
(b)に示すようなUP信号とDOWN信号の論理和
(OR)を取り、得られた信号を図2(b)に示すよう
に位相誤差信号Esigとして出力する。従って、位相
誤差生成器の構成としては、実質的には2入力のOR回
路14だけの構成となる。
The phase comparator 13 uses a signal used in the PLL circuit, inputs a reference signal Fref and a signal Fvar obtained by dividing the output frequency of the VCO, and outputs an UP signal which is a phase difference signal between the two signals. And a DOWN signal.
The OR circuit 14 outputs the signal shown in FIG.
The logical sum (OR) of the UP signal and the DOWN signal as shown in FIG. 2B is obtained, and the obtained signal is output as the phase error signal Esig as shown in FIG. 2B. Therefore, the configuration of the phase error generator is substantially a configuration of only the two-input OR circuit 14.

【0035】図3は図1に示した位相誤差生成回路の第
2の実施例の構成を示した回路図と動作タイミングを示
した波形図である。図3(a)において、位相誤差生成
回路は2分の1分周回路15、16及び排他的論理和回
路(EX−OR)回路17とから成る。
FIG. 3 is a circuit diagram showing the configuration of the second embodiment of the phase error generating circuit shown in FIG. 1 and a waveform diagram showing the operation timing. In FIG. 3A, the phase error generating circuit includes half frequency dividing circuits 15 and 16, and an exclusive OR circuit (EX-OR) circuit 17.

【0036】図3(b)に示すような基準信号Fref
とVCOの出力周波数を分周した信号Fvarは、それ
ぞれ2分の1分周回路15、16で1/2分周されてF
ref2、Fvar2になり、デューティ値50%の波
形に整形される。EX−OR回路17は波形整形された
基準周波数と波形整形されたVCOの出力周波数を分周
した信号の排他的論理和(EX−OR)を取り、その結
果を位相誤差信号Esigとして出力する。
The reference signal Fref as shown in FIG.
And the signal Fvar obtained by dividing the output frequency of the VCO are halved by 1/2 frequency dividers 15 and 16, respectively.
ref2 and Fvar2, and are shaped into a waveform with a duty value of 50%. The EX-OR circuit 17 takes an exclusive OR (EX-OR) of a signal obtained by dividing the waveform-shaped reference frequency and the waveform-shaped output frequency of the VCO, and outputs the result as a phase error signal Esig.

【0037】図4は図1に示した積分器の第1の実施例
を示した回路図である。積分器は、位相誤差信号Esi
gを極性反転するインバータ18と、位相誤差信号Es
igを極性反転した信号と積分期間を制御する制御信号
CHGTMGとのNORを取るNOR回路19と、一方
を電源電圧に接続した定電流源20と、定電流源20と
出力端子との間に挿入され、NOR回路19のNOR出
力で制御された蓄積用スイッチ回路21と、出力端子と
接地電位との間に挿入され、制御信号CHGTMGで制
御される放電用スイッチ回路22と、出力端子と接地電
位との間に接続された容量素子23とから構成される。
FIG. 4 is a circuit diagram showing a first embodiment of the integrator shown in FIG. The integrator calculates the phase error signal Esi
inverter 18 for inverting the polarity of g, and a phase error signal Es
a NOR circuit 19 for NORing a signal obtained by inverting the polarity of ig and a control signal CHGTMG for controlling the integration period, a constant current source 20 having one connected to a power supply voltage, and a constant current source 20 inserted between the constant current source 20 and the output terminal The storage switch circuit 21 controlled by the NOR output of the NOR circuit 19, the discharge switch circuit 22 inserted between the output terminal and the ground potential and controlled by the control signal CHGTMG, the output terminal and the ground potential And a capacitive element 23 connected between them.

【0038】上記積分器の動作は図6に示したタイミン
グで行なわれる。図6(a)に示すように制御信号CH
GTMGが高レベルになると、蓄積用スイッチ回路21
がOFF状態となり、NOR出力がハイレベルになって
放電用スイッチ回路21がON状態となる。そして放電
用スイッチ回路21により容量素子23に蓄積された電
荷を放電して、出力電圧Verrの電位は接地電位とな
る。
The operation of the integrator is performed at the timing shown in FIG. As shown in FIG. 6A, the control signal CH
When GTMG goes high, the storage switch circuit 21
Is turned off, the NOR output goes high, and the discharge switch circuit 21 is turned on. Then, the electric charge accumulated in the capacitive element 23 is discharged by the discharging switch circuit 21, and the potential of the output voltage Verr becomes the ground potential.

【0039】次に制御信号CHGTMGが低レベルにな
ると、蓄積用スイッチ回路21が位相誤差信号Esig
の高レベル時にON状態となり、放電用スイッチ回路2
2がOFF状態となる。そして蓄積用スイッチ回路21
を通して容量素子23に電荷を蓄積すると、出力電圧V
errの電位は徐々に増加していく。図6(b)は出力
電圧Verrのある時点の波形と、その時の位相誤差信
号Esigを示した拡大図である。
Next, when the control signal CHGTMG goes low, the storage switch circuit 21 switches the phase error signal Esig.
Is turned on at a high level of the switch circuit 2 for discharging.
2 is turned off. And the storage switch circuit 21
When charge is accumulated in the capacitive element 23 through the
The potential of err gradually increases. FIG. 6B is an enlarged view showing the waveform of the output voltage Verr at a certain time and the phase error signal Esig at that time.

【0040】出力電圧Verrの電位は、位相誤差信号
Esigの高レベルの時間に依存し、高レベルの時間が
長ければ急峻に上昇し、その時間が短ければ緩やかに上
昇する。そして位相誤差信号Esigの高レベルの時間
は、基準信号FrefとVCOの出力周波数を分周した
信号Fvarの両者の位相誤差、即ち、ジッタ値に依存
することとなる。
The potential of the output voltage Verr depends on the high-level time of the phase error signal Esig, and rises sharply when the high-level time is long, and rises slowly when the time is short. The high level time of the phase error signal Esig depends on the phase error between the reference signal Fref and the signal Fvar obtained by dividing the output frequency of the VCO, that is, the jitter value.

【0041】従って、制御信号CHGTMGの立下がり
から一定時間で出力電圧を観測した場合に、ジッタ値が
大きくなるほど、出力電圧が高くなる。そして、その出
力電圧を測定することで、ジッタ値を推定することがで
きる。但し、事前にジッタ値と出力電圧値の相関関係を
測定しておく必要性がある。
Therefore, when the output voltage is observed for a fixed time from the fall of the control signal CHGTMG, the output voltage increases as the jitter value increases. Then, the jitter value can be estimated by measuring the output voltage. However, it is necessary to measure the correlation between the jitter value and the output voltage value in advance.

【0042】次に図1のテスト回路においては、図6
(c)に示すように制御信号CHGTMGの立下がりか
ら一定時間で、その出力の2値出力を観測した場合に、
ジッタ値が大きいと、高レベル出力となり、ジッタ値が
小さいと低レベル出力となる。この場合、制御信号CH
GTMGの立ち上がりから高レベル出力の観測時までの
時間がジッタ値に依存する。そして、その時間を測定す
ることで、ジッタ値を推定することができる。但し、事
前にジッタ値とその時間の相関関係を測定しておく必要
性がある。
Next, in the test circuit of FIG.
As shown in (c), when a binary output of the control signal CHGTMG is observed for a certain period of time from the fall,
When the jitter value is large, the output becomes high level, and when the jitter value is small, the output becomes low level. In this case, the control signal CH
The time from the rise of GTMG to the time of observation of the high-level output depends on the jitter value. The jitter value can be estimated by measuring the time. However, it is necessary to measure the correlation between the jitter value and the time in advance.

【0043】そこで、仕様上のジッタ値に対応する時間
に測定時間を設定しておけば、設定した測定時に出力の
2値出力が高レベル出力の場合は、ジッタ値が仕様より
も大きいと考えられる。従って、設定した測定時に出力
の2値出力が、低レベル出力か高レベル出力かによっ
て、ジッタ値が仕様に対して小さいか、大きいかが判別
できる。即ち、前述したようにPLL回路を搭載した集
積回路が良品か、不良品かの判別が簡単にできることに
なる。
Therefore, if the measurement time is set to a time corresponding to the jitter value in the specification, if the binary output of the output is a high-level output at the set measurement, the jitter value is considered to be larger than the specification. Can be Therefore, it is possible to determine whether the jitter value is smaller or larger than the specification, depending on whether the binary output of the output during the set measurement is the low level output or the high level output. That is, as described above, it is possible to easily determine whether the integrated circuit on which the PLL circuit is mounted is good or defective.

【0044】図5は図1に示した積分器の第2の実施例
を示した回路図である。本例は、電源電圧が蓄積用スイ
ッチ回路21の一方の端子に直接接続されている点を除
いては、図4に示した回路と同一であり、同様の動作を
行うことができる。
FIG. 5 is a circuit diagram showing a second embodiment of the integrator shown in FIG. This example is the same as the circuit shown in FIG. 4 except that the power supply voltage is directly connected to one terminal of the storage switch circuit 21, and can perform the same operation.

【0045】図7は本発明の集積回路に搭載されたPL
L回路のデューティ値を測定するためのテスト回路の第
1の実施の形態を示したブロック図である。本例のテス
ト回路は、PLL回路のVCOの出力信号の正転信号F
outを積分する積分器24と、前記出力信号の反転信
号/Foutを積分する積分器25と、積分器24、2
5の積分値を減算する減算器26を有している。
FIG. 7 shows a PL mounted on the integrated circuit of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a first embodiment of a test circuit for measuring a duty value of an L circuit. The test circuit of the present example is a non-inverted signal F of the output signal of the VCO of the PLL circuit.
out, an integrator 25 for integrating an inverted signal / Fout of the output signal, and integrators 24, 2
5 is provided with a subtractor 26 for subtracting the integral value of 5.

【0046】次に本実施の形態の動作について説明す
る。積分器24、25は、VCOの出力信号の正転信号
FOUTと反転信号/FOUTをそれぞれ別々に積分
し、その積分結果を示した信号を減算器26に入力す
る。減算器26は入力された積分器24、25の出力信
号の差分を取り、その結果を出力電圧Vdutyとして
出力する。
Next, the operation of this embodiment will be described. The integrators 24 and 25 separately integrate the non-inverted signal FOUT and the inverted signal / FOUT of the output signal of the VCO, and input a signal indicating the result of the integration to the subtractor 26. The subtractor 26 calculates the difference between the input output signals of the integrators 24 and 25 and outputs the result as an output voltage Vduty.

【0047】ここで、それぞれの積分器24、25は、
正転信号FOUTと反転信号/FOUTの波形におい
て、高レベルの期間に電荷を蓄積するため、出力電圧V
dutyは上昇する。そして低レベルの期間に電荷を放
電して出力電圧Vdutyは下降する。
Here, each of the integrators 24 and 25 is
In the waveforms of the non-inverting signal FOUT and the inverting signal / FOUT, the output voltage V
Duty increases. Then, the charge is discharged during the low level period, and the output voltage Vduty falls.

【0048】例えば、それぞれの積分器24、25は出
力信号が同レベルの場合は、出力信号間の差分はゼロと
なり、減算器26の出力は中間電位(電源電圧と接地電
位の半分の電位)となる。これは、VCOから出力され
る信号の波形のデューティ値が、50%になっている事
を示している。そして、出力信号の波形のデューティ値
が、50%からずれてくると、VCOの出力信号の正転
信号FOUTと反転信号/FOUTの信号波形における
高レベルの時間が異なってくる。
For example, when the output signals of the integrators 24 and 25 are at the same level, the difference between the output signals becomes zero, and the output of the subtracter 26 is at the intermediate potential (half the power supply voltage and half the ground potential). Becomes This indicates that the duty value of the waveform of the signal output from the VCO is 50%. If the duty value of the output signal waveform deviates from 50%, the high-level time in the signal waveform of the non-inverted signal FOUT and the inverted signal / FOUT of the output signal of the VCO differs.

【0049】このことから、これらの信号を入力するそ
れぞれの積分器24、25の出力信号間に電位差を生じ
る。
As a result, a potential difference occurs between the output signals of the integrators 24 and 25 for inputting these signals.

【0050】減算器26の出力は、この電位差であるた
め、この減算器26の出力は中間電位から電源電圧側
へ、或いは接地電位側ヘシフトする。従って、減算器2
6の出力電圧が中間電位からどの程度シフトしているか
を測定することによって、デューティ値が50%からど
の程度ずれているかが推定できる。
Since the output of the subtracter 26 is this potential difference, the output of the subtracter 26 shifts from the intermediate potential to the power supply voltage side or to the ground potential side. Therefore, subtracter 2
By measuring how much the output voltage 6 is shifted from the intermediate potential, it is possible to estimate how much the duty value deviates from 50%.

【0051】本実施の形態によれば、VCOの出力信号
の正転信号FOUTと反転信号/FOUTをそれぞれ積
分して得られた積分電圧の差分電圧を出力するテスト回
路をPLL回路を搭載する集積回路に搭載し、前記差分
電圧を測定するだけで、PLL回路の出力信号のデュー
ティ値が50%からずれていることを容易且つ安価に検
出することができ、LSIチップの良品、不良品の選別
などに供することができる。
According to the present embodiment, a test circuit for outputting a differential voltage of an integrated voltage obtained by integrating the non-inverted signal FOUT and the inverted signal / FOUT of the output signal of the VCO is integrated with a PLL circuit. By simply mounting the circuit on the circuit and measuring the differential voltage, it is possible to easily and inexpensively detect that the duty value of the output signal of the PLL circuit deviates from 50%. And so on.

【0052】図8は本発明の集積回路に搭載された基本
的なデューティ値を測定するためのテスト回路の第2の
実施の形態を示したブロック図である。本例のテスト回
路はPLL回路の出力信号の正転信号Foutを積分す
る積分器27と、前記出力信号の反転信号/Foutを
積分する積分器28と、積分器27、28の積分値の差
分を取る減算器29と、ある一定の中間電位より高い基
準電圧(VRH)及びある一定の中間電位より低い基準
電圧(VRL)を生成する基準電圧生成回路30と、減
算器29から出力される差分電圧と高い基準電圧(VR
H)を比較する電圧比較器31と、減算器29から出力
される差分電圧と低い基準電圧(VRL)を比較する電
圧比較器32及び電圧比較器31、32の出力の論理和
を取るOR回路33を有している。
FIG. 8 is a block diagram showing a second embodiment of a test circuit for measuring a basic duty value mounted on an integrated circuit of the present invention. The test circuit according to the present embodiment includes an integrator 27 for integrating the non-inverted signal Fout of the output signal of the PLL circuit, an integrator 28 for integrating the inverted signal / Fout of the output signal, and a difference between the integrated values of the integrators 27 and 28. , A reference voltage generation circuit 30 that generates a reference voltage (VRH) higher than a certain fixed potential and a reference voltage (VRL) lower than a certain fixed potential, and a difference output from the subtractor 29. Voltage and high reference voltage (VR
H), a voltage comparator 32 for comparing the difference voltage output from the subtractor 29 with a low reference voltage (VRL), and an OR circuit for taking the logical sum of the outputs of the voltage comparators 31 and 32. 33.

【0053】次に本実施の形態の動作について説明す
る。積分器27、28はPLL回路の出力信号の正転信
号Foutと反転信号/Foutを入力してそれぞれを
積分し、得られた積分電圧を減算器29に出力する。減
算器29は入力された積分電圧の差分を取り、得られた
差分電圧Vdutyを電圧比較器31、32に出力す
る。
Next, the operation of this embodiment will be described. The integrators 27 and 28 receive the non-inverted signal Fout and the inverted signal / Fout of the output signal of the PLL circuit, integrate the respective signals, and output the obtained integrated voltages to the subtractor 29. The subtracter 29 calculates the difference between the input integrated voltages, and outputs the obtained difference voltage Vduty to the voltage comparators 31 and 32.

【0054】電圧比較器31は入力された差分電圧と、
ある一定の中間電位より高い基準電圧(VRH)を比較
し、その結果をOR回路33を通して出力する。電圧比
較器32は入力された差分電圧とある一定の中間電位よ
り低い基準電圧(VRL)を比較し、その結果をOR回
路33を通して出力する。
The voltage comparator 31 calculates the input differential voltage,
A reference voltage (VRH) higher than a certain intermediate potential is compared, and the result is output through an OR circuit 33. The voltage comparator 32 compares the input difference voltage with a reference voltage (VRL) lower than a certain intermediate potential, and outputs the result through an OR circuit 33.

【0055】ここで、減算器29の出力と高い基準電圧
(VRH)の電位差を比較する電圧比較器31は、減算
器29の出力が基準電圧(VRH)より高くなった時
に、ハイレベルの信号を出力し、逆に低くなった時に、
ローレベルの信号を出力する。そして、減算器29の出
力と低い基準電圧(VRL)の電位差を比較する電圧比
較器32は、減算器29の出力が基準電圧(VRL)よ
り低くなった時に、ハイレベルの信号を出力し、逆に高
くなった時に、ローレベルの信号を出力する。
Here, the voltage comparator 31 for comparing the potential difference between the output of the subtractor 29 and the high reference voltage (VRH) outputs a high-level signal when the output of the subtractor 29 becomes higher than the reference voltage (VRH). Is output, and when it becomes low,
Outputs a low-level signal. Then, the voltage comparator 32 that compares the potential difference between the output of the subtractor 29 and the low reference voltage (VRL) outputs a high-level signal when the output of the subtractor 29 becomes lower than the reference voltage (VRL), On the other hand, when it becomes high, it outputs a low level signal.

【0056】従って、デューテイ値が50%の時は、減
算器29の出力が中間電位となっているため、2つの電
圧比較器31、32の出力はどちらもローレベルの2値
信号を出力する。更に、2つの電圧比較器31、32の
出力を入力するOR回路33もローレベルの信号を出力
する。
Therefore, when the duty value is 50%, the output of the subtractor 29 is at the intermediate potential, and the outputs of the two voltage comparators 31 and 32 both output low-level binary signals. . Further, the OR circuit 33 that inputs the outputs of the two voltage comparators 31 and 32 also outputs a low-level signal.

【0057】そして、デューティ値が50%からずれて
いる時は、減算器29の出力も中間電位からずれるた
め、高い基準電圧(VRH)より高くなるか、或いは低
い基準電圧(VRL)より低くなるかするので、2つの
電圧比較器31、32の出力は、どちらか一方がハイレ
ベルの2値信号を出力する。更に、2つの電圧比較器3
1、32の出力を入力するOR回路33もハイレベルの
2値信号を出力する。
When the duty value deviates from 50%, the output of the subtractor 29 also deviates from the intermediate potential, so that it becomes higher than the high reference voltage (VRH) or lower than the low reference voltage (VRL). Therefore, one of the outputs of the two voltage comparators 31 and 32 outputs a high-level binary signal. Furthermore, two voltage comparators 3
The OR circuit 33 that inputs the outputs of the signals 1 and 32 also outputs a high-level binary signal.

【0058】このことにより、OR回路33の出力が、
ローレベル出力か、ハイレベル出力かを測定することに
よって、PLL回路のデューティ値の50%からのずれ
が小さいか、大きいかが判別する。即ち、PLL回路と
本テスト回路を搭載する集積回路が良品か不良品かを容
易に判別することができる。
As a result, the output of the OR circuit 33 becomes
By measuring the low level output or the high level output, it is determined whether the deviation of the duty value of the PLL circuit from 50% is small or large. That is, it is possible to easily determine whether the PLL circuit and the integrated circuit on which the test circuit is mounted are non-defective or defective.

【0059】本実施の形態によれば、集積回路が搭載す
るPLL回路が良品か不良品かを2値出力で知らせるこ
とができ、外部に測定器を必要とすることなく、容易且
つ迅速にデューティ値の50%からのずれが大きいロッ
トを検出することができる。
According to the present embodiment, whether the PLL circuit mounted on the integrated circuit is good or defective can be notified by a binary output, and the duty cycle can be easily and quickly performed without the need for an external measuring device. A lot with a large deviation from 50% of the value can be detected.

【0060】また、PLL回路のジッタ値を測定するテ
スト回路をLSIのチップ上に内蔵することにより、追
加回路による多少のチップコストの増加分はあるもの
の、測定時間の短縮や高価な測定器の不要化ができるた
め、テストコストを大幅に削減することができる。
Further, by incorporating a test circuit for measuring the jitter value of the PLL circuit on the LSI chip, although the chip cost is slightly increased by the additional circuit, the measurement time is shortened and the cost of an expensive measuring instrument is reduced. Since this can be eliminated, the test cost can be significantly reduced.

【0061】図9は、図7、図8の回路で用いられる積
分器の第1の実施例を示した回路図である。一方を電源
電圧に接続した定電流源34と、定電流源34と出力端
子との間に挿入され、VCOの出力信号の正転信号FO
UT、或いは反転信号/FOUTで制御される蓄積用ス
イッチ回路35と、出力端子と接地電位との間に接続さ
れた放電用の抵抗素子36と、出力端子と接地電位との
間に接続された容量素子37とから構成される。
FIG. 9 is a circuit diagram showing a first embodiment of the integrator used in the circuits of FIGS. A constant current source 34 having one connected to the power supply voltage, and a normal signal FO of the output signal of the VCO inserted between the constant current source 34 and the output terminal.
A storage switch circuit 35 controlled by the UT or the inverted signal / FOUT, a discharge resistor 36 connected between the output terminal and the ground potential, and a discharge resistor 36 connected between the output terminal and the ground potential. And a capacitor 37.

【0062】図10は、図7、図8の回路で用いられる
積分器の第2の実施例を示した回路図である。一方を電
源電圧に接続した定電流源38と、定電流源38と出力
端子との間に挿入され、VCOの出力信号の正転信号F
OUT、或いは反転信号/FOUTで制御される蓄積用
スイッチ回路39と、蓄積用スイッチ回路39を制御す
る制御信号を反転させるインバータ回路40と、一方を
接地電位に接続した定電流源42と、定電流源42と出
力端子との間に挿入され、蓄積用スイッチ回路39を制
御する制御信号の反転信号で制御される放電用スイッチ
回路41と、出力端子と接地電位との間に接続された容
量素子43とから構成される。
FIG. 10 is a circuit diagram showing a second embodiment of the integrator used in the circuits of FIGS. A constant current source 38 having one connected to the power supply voltage, and a non-inverting signal F of the output signal of the VCO inserted between the constant current source 38 and the output terminal.
A storage switch circuit 39 controlled by OUT or an inverted signal / FOUT; an inverter circuit 40 for inverting a control signal for controlling the storage switch circuit 39; a constant current source 42 having one connected to the ground potential; A discharge switch circuit 41 inserted between the current source 42 and the output terminal and controlled by an inverted signal of a control signal for controlling the storage switch circuit 39; and a capacitor connected between the output terminal and the ground potential And an element 43.

【0063】ここで、蓄積用スイッチ回路39をPMO
Sトランジスタで構成し、放電用スイッチ回路41をN
MOSトランジスタで構成した場合には、トランジスタ
の極性が異なることから、同一の制御信号で蓄積用スイ
ッチ回路39と放電用スイッチ回路41を制御すること
ができるため、制御信号を反転させる図10中のインバ
ータ回路40は不要となる。
Here, the storage switch circuit 39 is connected to the PMO
The discharge switch circuit 41 is composed of N transistors.
When a MOS transistor is used, the storage switch circuit 39 and the discharge switch circuit 41 can be controlled by the same control signal because the polarity of the transistor is different. Therefore, the control signal is inverted in FIG. The inverter circuit 40 becomes unnecessary.

【0064】図11は、図7、図8の回路で用いられる
積分器の第3の実施例を示した回路図である。VCOの
出力信号の正転信号FOUT、或いは反転信号/FOU
Tで制御され、一方を電源電圧に接続した蓄積用スイッ
チ回路44と、蓄積用スイッチ回路44を制御する制御
信号を反転するインバータ回路46と、蓄積用スイッチ
回路44を制御する制御信号の反転信号で制御され、一
方を接地電位に接続し、他方を蓄積用スイッチ回路44
に接続した放電用スイッチ回路45と、蓄積用スイッチ
回路44と放電用スイッチ回路45の共通の接続端子と
出力端子との間に接続された抵抗素子48と、出力端子
と接地電位との間に接続された容量素子47とから構成
される。
FIG. 11 is a circuit diagram showing a third embodiment of the integrator used in the circuits of FIGS. Forward signal FOUT of the output signal of the VCO or inverted signal / FOU
A storage switch circuit 44 controlled by T, one of which is connected to a power supply voltage, an inverter circuit 46 for inverting a control signal for controlling the storage switch circuit 44, and an inverted signal of a control signal for controlling the storage switch circuit 44 One is connected to the ground potential, and the other is connected to the storage switch circuit 44.
, A resistor element 48 connected between a common connection terminal and an output terminal of the storage switch circuit 44 and the discharge switch circuit 45, and a resistor element 48 connected between the output terminal and the ground potential. And a capacitive element 47 connected thereto.

【0065】ここで、蓄積用スイッチ回路44をPMO
Sトランジスタで構成し、放電用スイッチ回路45をN
MOSトランジスタで構成した場合には、トランジスタ
の極性が異なることから、同一の制御信号で蓄積用スイ
ッチ回路44と放電用スイッチ回路45を制御すること
ができる。従って、制御信号を反転させる図11中のイ
ンバータ回路46は不要となる。
Here, the storage switch circuit 44 is connected to the PMO
An S transistor, and the discharging switch circuit 45
In the case of using MOS transistors, the storage switch circuit 44 and the discharge switch circuit 45 can be controlled by the same control signal because the transistors have different polarities. Therefore, the inverter circuit 46 in FIG. 11 for inverting the control signal becomes unnecessary.

【0066】図12は、図7、図8の回路で用いられる
減算器の一実施例を示した回路図である。入力抵抗素子
R1と、2個の帰還抵抗素子R2と、演算増幅器55
と、各帰還抵抗素子R2と並列に挿入された容量素子5
1、52とから構成される。抵抗素子R1、R2の比率
のR2/R1で減算器55の増幅度を調節できることか
ら、PLL回路のデューティ値のずれに対する減算器5
5の出力電圧の変化量、即ち感度を可変とすることがで
きる。
FIG. 12 is a circuit diagram showing one embodiment of the subtractor used in the circuits of FIGS. An input resistance element R1, two feedback resistance elements R2, and an operational amplifier 55
And a capacitive element 5 inserted in parallel with each feedback resistance element R2.
1 and 52. Since the amplification degree of the subtractor 55 can be adjusted by the ratio R2 / R1 of the ratio of the resistance elements R1 and R2, the subtracter 5 can adjust the deviation of the duty value of the PLL circuit.
The amount of change in the output voltage of No. 5, ie, the sensitivity, can be made variable.

【0067】一方の帰還抵抗素子R2と並列に挿入され
た容量素子51は、減算器55の出力から高調波のノイ
ズ成分を除去するためのもので、もう一方の帰還抵抗素
子R2に並列に挿入された容量素子52は入力からノイ
ズ成分を除去して,その電位を安定させるものである。
端子VAM、VASから入力された電圧の差分が端子V
OUTから出力される。
The capacitive element 51 inserted in parallel with one feedback resistance element R2 is for removing a harmonic noise component from the output of the subtractor 55, and is inserted in parallel with the other feedback resistance element R2. The capacitance element 52 removes a noise component from the input and stabilizes its potential.
The difference between the voltages input from the terminals VAM and VAS is
Output from OUT.

【0068】図13は本発明のロット選別システムの第
1の実施の形態を示したブロック図である。本例のロッ
ト選別システムは、選別対象の集積回路が搭載するPL
L回路(図示されない)の基準信号FrefとVCOの
出力周波数を分周した信号Fvarを入力し、両者の位
相誤差から位相誤差信号Esigを生成する位相誤差生
成回路9と、生成された位相誤差信号Esigを積分し
て位相誤差の積分電圧Verrを生成する積分器10
と、位相誤差の積分電圧Verrと基準電圧Vrefを
入力して両者の電圧値の大小を判別する電圧比較器11
及び基準電圧Vrefを生成して電圧比較器11に供給
する基準電圧生成回路12と、選別対象の集積回路をテ
ストするコンピュータなどから成るテスター61と、テ
スター61からの制御信号により、ロット(集積回路)
を選別するロット選別機62を有している。ここで、位
相誤差生成回路9と、積分器10と、電圧比較器11及
び基準電圧生成回路12はジッタをテストするテスト回
路で、選別対象の集積回路100に搭載されている。
FIG. 13 is a block diagram showing a first embodiment of the lot selection system according to the present invention. The lot selection system according to the present embodiment includes a PL mounted on an integrated circuit to be selected.
A reference signal Fref of an L circuit (not shown) and a signal Fvar obtained by dividing the output frequency of the VCO, and a phase error generating circuit 9 for generating a phase error signal Esig from a phase error between the two; and a generated phase error signal Integrator 10 that integrates Esig to generate integrated voltage Verr of phase error
And a voltage comparator 11 which receives the integrated voltage Verr of the phase error and the reference voltage Vref to determine the magnitude of the voltage value of both.
And a reference voltage generation circuit 12 that generates a reference voltage Vref and supplies the reference voltage Vref to the voltage comparator 11, a tester 61 including a computer or the like that tests an integrated circuit to be sorted, and a lot (integrated circuit) )
And a lot sorter 62 that sorts the pieces. Here, the phase error generation circuit 9, the integrator 10, the voltage comparator 11 and the reference voltage generation circuit 12 are test circuits for testing jitter, and are mounted on the integrated circuit 100 to be sorted.

【0069】テスター61が生産ラインの集積回路(L
SIチップ)100をテストモードにし、搭載されてい
るPLL回路のジッタ値をテストすると、その結果がテ
スト回路から2値出力となって、テスター61に入力さ
れる。テスター61は2値出力がハイレベルで、不良品
を示している時は、ロット選別機62に当該集積回路1
00を取り除く制御信号を出力し、ローレベルで、良品
を示している時は、ロット選別機62に当該集積回路1
00を出荷するように選別する制御信号を出力する。こ
れにより、ロット選別機62は不良品を取り除き、良品
のみを出荷するように集積回路を選別する。
The tester 61 uses the integrated circuit (L
When the SI chip 100 is set to the test mode and the jitter value of the mounted PLL circuit is tested, the result is converted into a binary output from the test circuit and input to the tester 61. When the binary output is high and indicates a defective product, the tester 61 sends the integrated circuit 1 to the lot sorter 62.
00 is output at a low level to indicate a non-defective product.
A control signal for selecting 00 to be shipped is output. As a result, the lot sorter 62 sorts out the integrated circuits so as to remove defective products and ship only non-defective products.

【0070】本実施の形態によれば、PLL回路のジッ
タ値を測定してその良、不良を示すテスト回路をLSI
のチップ上に内蔵しているため、ジッタ値の大小により
良品、不良品を選別する自動選別システムを極めて簡単
な構成で構築することができ、集積回路の生産性及びそ
の品質管理を飛躍的に向上させることができる。
According to the present embodiment, the test circuit which measures the jitter value of the PLL circuit and indicates the good or bad
Built-in chip, it is possible to build an automatic sorting system with an extremely simple configuration that sorts good and bad products according to the magnitude of the jitter value, dramatically improving the productivity and quality control of integrated circuits. Can be improved.

【0071】尚、テスト回路として、図8に示したPL
L回路のデューティ値のずれを検出する回路を搭載した
集積回路を自動選別する場合のシステムも、図14に示
すように構成でき、同様の作用、効果がある。
As a test circuit, the PL shown in FIG.
A system for automatically selecting an integrated circuit equipped with a circuit for detecting a shift in the duty value of the L circuit can be configured as shown in FIG. 14 and has the same operation and effect.

【0072】[0072]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1乃
至3の発明によれば、テストコストの上昇を招くことな
く、PLL回路のジッタ値を測定して容易に良品と不良
品を判別することができる。
As described above in detail, according to the first to third aspects of the present invention, the jitter value of the PLL circuit is measured and the non-defective product is easily discriminated without increasing the test cost. can do.

【0073】請求項4又は5の発明によれば、PLL回
路のデューティ値のずれを容易に測定することができ、
更にPLL回路のデューティ値の50%からのずれが小
さい良品と、ずれが大きい不良品を容易に判別すること
ができる。
According to the fourth or fifth aspect of the invention, the deviation of the duty value of the PLL circuit can be easily measured,
Further, it is possible to easily discriminate a non-defective product having a small deviation from 50% of the duty value of the PLL circuit from a defective product having a large deviation.

【0074】請求項6又は7の発明によれば、PLL回
路を搭載した集積回路の良品と不良品を迅速に自動選別
することができる。
According to the invention of claim 6 or 7, a good product and a bad product of the integrated circuit on which the PLL circuit is mounted can be quickly and automatically selected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の集積回路が搭載するテスト回路の第1
の実施の形態を示したブロック図である。
FIG. 1 shows a first example of a test circuit mounted on an integrated circuit of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した位相誤差生成回路の第1の実施例
の構成を示した回路図と動作タイミング波形を示した波
形図である。
FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of a first embodiment of the phase error generation circuit shown in FIG. 1 and a waveform diagram showing operation timing waveforms.

【図3】図1に示した位相誤差生成回路の第2の実施例
の構成を示した回路図と動作タイミングを示した波形図
である。
FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration of a second embodiment of the phase error generation circuit shown in FIG. 1 and a waveform diagram showing operation timings.

【図4】図1に示した積分器の第1の実施例を示した回
路図である。
FIG. 4 is a circuit diagram showing a first embodiment of the integrator shown in FIG. 1;

【図5】図1に示した積分器の第2の実施例を示した回
路図である。
FIG. 5 is a circuit diagram showing a second embodiment of the integrator shown in FIG. 1;

【図6】図4に示した積分器の動作を説明する波形図で
ある。
FIG. 6 is a waveform chart for explaining the operation of the integrator shown in FIG.

【図7】本発明の集積回路に搭載された基本的なデュー
ティ値を測定するためのテスト回路の第1の実施の形態
を示したブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a first embodiment of a test circuit for measuring a basic duty value mounted on the integrated circuit of the present invention.

【図8】本発明の集積回路に搭載された基本的なデュー
ティ値を測定するためのテスト回路の第2の実施の形態
を示したブロック図である。
FIG. 8 is a block diagram showing a second embodiment of a test circuit for measuring a basic duty value mounted on an integrated circuit of the present invention.

【図9】図7、図8の回路で用いられる積分器の第1の
実施例を示した回路図である。
FIG. 9 is a circuit diagram showing a first embodiment of an integrator used in the circuits of FIGS. 7 and 8;

【図10】図7、図8の回路で用いられる積分器の第2
の実施例を示した回路図である。
FIG. 10 shows a second example of the integrator used in the circuits of FIGS. 7 and 8;
FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the embodiment.

【図11】図7、図8の回路で用いられる積分器の第3
の実施例を示した回路図である。
FIG. 11 shows a third example of the integrator used in the circuits of FIGS. 7 and 8;
FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the embodiment.

【図12】図7、図8の回路で用いられる減算器の一実
施例を示した回路図である。
FIG. 12 is a circuit diagram showing one embodiment of a subtractor used in the circuits of FIGS. 7 and 8;

【図13】本発明のロット選別システムの第1の実施の
形態を示したブロック図である。
FIG. 13 is a block diagram showing a first embodiment of the lot selection system of the present invention.

【図14】本発明のロット選別システムの第2の実施の
形態を示したブロック図である。
FIG. 14 is a block diagram showing a second embodiment of the lot selection system of the present invention.

【図15】基本的なPLL回路の構成例を示したブロッ
ク図である。
FIG. 15 is a block diagram showing a configuration example of a basic PLL circuit.

【符号の説明】 9 位相誤差生成回路 10、24、25、27、28 積分器 11、31、32 電圧比較器 12、30 基準電圧生成回路 13 位相比較器 14、33 論理和回路(OR回路) 15、16 2分の1分周回路 17 排他的論理和回路(EX−OR回路) 26、29 減算器 30 基準電圧生成回路 55 演算増幅器 61 テスター 62 ロット選別機 100 集積回路[Description of Signs] 9 Phase error generation circuit 10, 24, 25, 27, 28 Integrator 11, 31, 32 Voltage comparator 12, 30 Reference voltage generation circuit 13 Phase comparator 14, 33 Logical OR circuit (OR circuit) 15, 16 1/2 frequency divider 17 Exclusive OR circuit (EX-OR circuit) 26, 29 Subtractor 30 Reference voltage generator 55 Operational amplifier 61 Tester 62 Lot sorter 100 Integrated circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G032 AC03 AD04 AE07 AE08 AG01 5F038 BB01 DF01 DF14 DT10 DT11 EZ20 5J106 AA04 CC01 CC24 CC27 CC52 DD02 DD06 DD13 DD32 DD34 KK32 9A001 BB05 KK31 KK54 LL05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G032 AC03 AD04 AE07 AE08 AG01 5F038 BB01 DF01 DF14 DT10 DT11 EZ20 5J106 AA04 CC01 CC24 CC27 CC52 DD02 DD06 DD13 DD32 DD34 KK32 9A001 BB05 KK31 KK54 LL05

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電圧制御発振器の発振信号を分周した信
号と基準信号とを入力して両者の位相誤差信号を検出す
る位相誤差生成回路と、 前記位相誤差生成回路が出力する誤差信号を積分する積
分回路と、 所定の基準電圧を生成する基準電圧生成回路と、 前記積分回路から出力される積分結果電圧と前記基準電
圧生成回路で生成された基準電圧を比較する電圧比較回
路と、を具備することを特徴とする集積回路。
1. A phase error generation circuit for inputting a signal obtained by dividing the oscillation signal of a voltage controlled oscillator and a reference signal and detecting a phase error signal of the two, and integrating an error signal output by the phase error generation circuit An integration circuit that generates a predetermined reference voltage; and a voltage comparison circuit that compares an integration result voltage output from the integration circuit with a reference voltage generated by the reference voltage generation circuit. An integrated circuit, comprising:
【請求項2】 前記位相誤差生成回路は、PLL回路内
部で用いられる位相比較器により発生されるDOWN信
号とUP信号を入力して、両信号の論理和を取る論理和
回路から成ることを特徴とする請求項1記載の集積回
路。
2. The phase error generating circuit according to claim 1, further comprising a logical sum circuit that inputs a DOWN signal and an UP signal generated by a phase comparator used inside the PLL circuit and takes a logical sum of the two signals. The integrated circuit according to claim 1, wherein
【請求項3】 前記位相誤差生成回路は、電圧制御発振
器の発振信号を分周した信号を分周する第1の分周回路
と、 基準信号を入力して分周する第2の分周回路と、 前記第1、第2の分周回路から出力される分周信号の排
他的論理和を取る排他的論理和回路と、 を具備することを特徴とする請求項1記載の集積回路。
3. The phase error generating circuit according to claim 1, wherein the first frequency dividing circuit divides a signal obtained by dividing the oscillation signal of the voltage controlled oscillator, and the second frequency dividing circuit divides the frequency by inputting a reference signal. 2. The integrated circuit according to claim 1, further comprising: an exclusive-OR circuit for performing an exclusive-OR operation on the divided signals output from the first and second frequency dividing circuits.
【請求項4】 電圧制御発振器の発振信号の正転信号を
入力して積分する第1の積分回路と、 前記発振信号の反転信号を入力して積分する第2の積分
回路と、 前記第1、第2の積分回路から出力される積分結果電圧
の差分を取る減算回路と、 を具備することを特徴とする集積回路。
4. A first integration circuit for inputting and integrating a non-inverted signal of an oscillation signal of a voltage controlled oscillator; a second integration circuit for receiving and integrating an inverted signal of the oscillation signal; And a subtraction circuit for taking a difference between the integration result voltages output from the second integration circuit.
【請求項5】 電圧制御発振器の発振信号の正転信号を
入力して積分する第1の積分回路と、 前記発振信号の反転信号を入力して積分する第2の積分
回路と、 前記第1、第2の積分回路から出力される積分結果電圧
の差分を取る減算回路と、 所定の中間電位より高い基準電圧と低い基準電圧を生成
する基準電圧生成回路と、 前記減算回路から出力される差分電圧と前記基準電圧生
成回路で生成された高い基準電圧を比較する第1の電圧
比較回路と、 前記減算回路から出力される差分電圧と前記基準電圧生
成回路で生成された低い基準電圧を比較する第2の電圧
比較回路と、 前記第1、第2の電圧比較回路から出力される比較結果
の論理和を取る論理和回路と、 を具備することを特徴とする集積回路。
5. A first integration circuit for inputting and integrating a non-inverted signal of an oscillation signal of a voltage controlled oscillator; a second integration circuit for receiving and integrating an inverted signal of the oscillation signal; A subtraction circuit for obtaining a difference between the integration result voltages output from the second integration circuit, a reference voltage generation circuit for generating a reference voltage higher and lower than a predetermined intermediate potential, and a difference output from the subtraction circuit A first voltage comparison circuit that compares a voltage with a high reference voltage generated by the reference voltage generation circuit; and compares a difference voltage output from the subtraction circuit with a low reference voltage generated by the reference voltage generation circuit. An integrated circuit, comprising: a second voltage comparison circuit; and a logical sum circuit that performs a logical sum of comparison results output from the first and second voltage comparison circuits.
【請求項6】 電圧制御発振器の発振信号を分周した信
号と基準信号とを入力して両者の位相誤差信号を検出す
る位相誤差生成回路と、 前記位相誤差生成回路が出力する誤差信号を積分する積
分回路と、 所定の基準電圧を生成する基準電圧生成回路と、 前記積分回路から出力される積分結果電圧と前記基準電
圧生成回路で生成された基準電圧を比較する電圧比較回
路と、 前記電圧比較回路から出力される比較結果より前記各回
路を搭載するLSIチップの良、不良を判定する判定回
路と、 前記判別回路の判定結果によって前記LSIチップを選
別するロット選別機と、 を具備することを特徴とするロット選別システム。
6. A phase error generation circuit for inputting a signal obtained by dividing the oscillation signal of a voltage controlled oscillator and a reference signal and detecting a phase error signal of the two, and integrating an error signal output by the phase error generation circuit An integration circuit that generates a predetermined reference voltage; a voltage comparison circuit that compares an integration result voltage output from the integration circuit with a reference voltage generated by the reference voltage generation circuit; A judgment circuit for judging good or bad of an LSI chip on which each of the circuits is mounted based on a comparison result output from a comparison circuit; and a lot sorter for sorting the LSI chip based on the judgment result of the judgment circuit A lot sorting system.
【請求項7】 電圧制御発振器の発振信号の正転信号を
入力して積分する第1の積分回路と、 前記発振信号の反転信号を入力して積分する第2の積分
回路と、 前記第1、第2の積分回路から出力される積分結果電圧
の差分を取る減算回路と、 所定の中間電位より高い基準電圧と低い基準電圧を生成
する基準電圧生成回路と、 前記減算回路から出力される差分電圧と前記基準電圧生
成回路で生成された高い基準電圧を比較する第1の電圧
比較回路と、 前記減算回路から出力される差分電圧と前記基準電圧生
成回路で生成された低い基準電圧を比較する第2の電圧
比較回路と、 前記第1、第2の電圧比較回路から出力される比較結果
の論理和を取る論理和回路と、 前記論理和回路から出力される比較結果より前記各回路
を搭載するLSIチップの良、不良を判定する判定回路
と、 前記判別回路の判定結果によって前記LSIチップを選
別するロット選別機と、 を具備することを特徴とするロット選別システム。
7. A first integration circuit for inputting and integrating a non-inverted signal of an oscillation signal of a voltage controlled oscillator; a second integration circuit for receiving and integrating an inverted signal of the oscillation signal; A subtraction circuit for obtaining a difference between the integration result voltages output from the second integration circuit, a reference voltage generation circuit for generating a reference voltage higher and lower than a predetermined intermediate potential, and a difference output from the subtraction circuit A first voltage comparison circuit that compares a voltage with a high reference voltage generated by the reference voltage generation circuit; and compares a difference voltage output from the subtraction circuit with a low reference voltage generated by the reference voltage generation circuit. A second voltage comparison circuit, a logical sum circuit for calculating a logical sum of comparison results output from the first and second voltage comparison circuits, and each of the circuits based on the comparison result output from the logical sum circuit LSI chip Goodness, lots sorting system characterized by comprising a lot sorter for sorting the LSI chip and the determination circuit, the judgment result of the judgment circuit failure.
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