JP2001187409A - Method and apparatus for resin-hardening - Google Patents

Method and apparatus for resin-hardening

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JP2001187409A
JP2001187409A JP2000328916A JP2000328916A JP2001187409A JP 2001187409 A JP2001187409 A JP 2001187409A JP 2000328916 A JP2000328916 A JP 2000328916A JP 2000328916 A JP2000328916 A JP 2000328916A JP 2001187409 A JP2001187409 A JP 2001187409A
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Japan
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resin
tape
transport tape
curing
heating
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JP2000328916A
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Yoshihiro Dobashi
美博 土橋
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Original Assignee
Athlete FA Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease a risk for peeling-off of resin by making adhesion of resin to a carrier tape better. SOLUTION: The resin-hardening method has a tape feed exhaust process wherein the carrier tape 3 to which resin 5 for sealing an element 4 is applied, is fed from a tape inlet 15 of an oven 2, and discharged from a tape outlet 16 of the oven 2, and a heat hardening process wherein the resin 5 is hardened by heating in the oven 2 while a feed direction of the carrier tape 3 is reversed by reversing means 6 and 7 for reversing the carrier tape 3 in the tape feed discharge process. Then, in the heat hardening process, nitrogen gas is introduced from below the carrier tape 3 being an opposite side surface to a resin coated surface of the carrier tape 3, and an inside of the oven 2 is kept in a non-oxidizing atmosphere state. Further, a resin-hardening apparatus realizes the resin-hardening method as the apparatus.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送テープの素子
を樹脂で封止し、封止された樹脂を加熱硬化させる樹脂
硬化方法および樹脂硬化装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin curing method and a resin curing device for sealing an element of a transport tape with a resin and heating and curing the sealed resin.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の封止された樹脂を加熱硬化させる
方法は、搬送テープに封止された樹脂を、発熱体として
遠赤外線を用いて直接加熱して硬化させたり、樹脂を温
風を用いて直接加熱して硬化させたりして樹脂硬化が行
われていた。
2. Description of the Related Art A conventional method of heating and curing a sealed resin is to directly heat and cure the resin sealed in a transport tape using far-infrared rays as a heating element, or to blow the resin with warm air. The resin was cured by directly heating and curing the resin.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来方
法では遠赤外線や温風により樹脂を直接加熱するため、
樹脂表面に「焼け」と呼ぶ樹脂の変質が発生したり、樹
脂の形状変形が頻繁に発生したりしていた。特に、直接
加熱のために樹脂表面が早く硬化し、表面の硬化皮膜に
より閉じこめられた溶剤が蒸発する際に硬化皮膜を押し
上げ、「ふくれ」と呼ぶ品質欠陥が発生したりするとい
う問題点を有していた。また、樹脂の周辺部が加熱によ
って早く硬化するために、周辺部の樹脂が搬送テープ面
まで廻り込めず、搬送テープとの接着が悪く、剥離して
しまうという問題点も有していた。
However, in the conventional method, the resin is directly heated by far infrared rays or hot air.
Deterioration of the resin called "burn" has occurred on the surface of the resin, and shape deformation of the resin has frequently occurred. In particular, there is a problem that the resin surface is hardened quickly due to direct heating, and when the solvent trapped by the hardened film on the surface evaporates, the hardened film is pushed up, causing a quality defect called "bloating". Was. In addition, since the peripheral portion of the resin is quickly cured by heating, the resin in the peripheral portion cannot go around to the surface of the transport tape, and has a problem that adhesion to the transport tape is poor and peels off.

【0004】本発明は、従来方法における問題点を解消
するためになされたもので、樹脂と搬送テープとの密着
性を良くし、樹脂が剥離する危険性を減少させ得る樹脂
硬化方法および樹脂硬化装置を提供することを目的とし
ている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the problems in the conventional method, and a resin curing method and a resin curing method capable of improving the adhesion between a resin and a transport tape and reducing the risk of peeling of the resin. It is intended to provide a device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明による樹脂硬化方
法は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テー
プを炉のテープ入口から供給し、炉のテープ出口から排
出するテープ供給排出工程と、このテープ供給排出工程
中で、搬送テープを反転させる反転手段によって搬送テ
ープの送り方向を反転させつつ、炉内で樹脂を加熱し硬
化させる加熱硬化工程と、を有する樹脂硬化方法におい
て、加熱硬化工程では、窒素ガスを、搬送テープの樹脂
塗布面とは反対側の面であって、搬送テープの下方から
導入し、炉内を無酸化雰囲気状態に保持している。
According to the present invention, there is provided a method for curing a resin, comprising: feeding a supply tape coated with a resin for sealing an element from a tape inlet of a furnace, and discharging the tape from a tape outlet of the furnace. In a resin curing method having a step and a heat curing step of heating and curing the resin in a furnace while reversing the transport direction of the transport tape by a reversing means for reversing the transport tape during the tape supply and discharge step, In the heat hardening step, nitrogen gas is introduced from the lower side of the transport tape on the side opposite to the resin application surface of the transport tape, and the furnace is kept in a non-oxidizing atmosphere.

【0006】この構成によれば、炉内を無酸化雰囲気状
態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図ることがで
きる。また、窒素ガスを、樹脂コート面に当たらないよ
うに樹脂塗布面とは反対側の面から導入しているので、
窒素ガスによって樹脂部分が悪影響を受けないようにな
る。このため、樹脂が搬送テープから剥離してしまう等
の危険性を減少させることができる。また、窒素ガス
は、装置内の熱源によって加熱されることで温まり、搬
送テープの下方から自然に上昇し、炉内に充満すること
となる。
According to this configuration, the inside of the furnace can be maintained in a non-oxidizing atmosphere state, and the curing of the resin can be stabilized. Also, since nitrogen gas is introduced from the side opposite to the resin coated surface so as not to hit the resin coated surface,
The resin portion is not adversely affected by the nitrogen gas. For this reason, it is possible to reduce the risk that the resin is separated from the transport tape. Further, the nitrogen gas is heated by being heated by the heat source in the apparatus, naturally rises from below the transport tape, and fills the furnace.

【0007】他の発明の樹脂硬化方法は、素子を封止す
るための樹脂が塗布された搬送テープをテープ入口から
供給し、テープ出口から排出するテープ供給排出工程
と、このテープ供給排出工程中で、搬送テープを駆動し
つつ樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化工程と、を有する
樹脂硬化方法において、加熱硬化工程では、窒素ガス
を、搬送テープの樹脂塗布面とは反対側の面であって、
搬送テープの下方から導入し、搬送テープの周囲を無酸
化雰囲気状態に保持している。
According to another aspect of the present invention, there is provided a resin curing method in which a transport tape coated with a resin for encapsulating elements is supplied from a tape entrance and discharged from a tape exit. In a resin curing method having a heat curing step of heating and curing the resin while driving the transport tape, in the heat curing step, the nitrogen gas is applied to the surface of the transport tape opposite to the resin application surface. ,
It is introduced from below the transport tape, and the periphery of the transport tape is maintained in a non-oxidizing atmosphere.

【0008】この樹脂硬化方法によれば、搬送テープの
周囲を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化を図ることができる。また、窒素ガスを、樹脂コ
ート面に当たらないように樹脂塗布面とは反対側の面か
ら導入しているので、窒素ガスによって樹脂部分が悪影
響を受けないようになる。このため、樹脂が搬送テープ
から剥離してしまう等の危険性を減少させることができ
る。また、窒素ガスは、装置内の熱源によって加熱され
ることで温まり、搬送テープの下方から自然に上昇し、
炉内に充満することとなる。
According to this resin curing method, the periphery of the transport tape can be kept in a non-oxidizing atmosphere state, and the curing of the resin can be stabilized. Further, since the nitrogen gas is introduced from the surface opposite to the resin-coated surface so as not to hit the resin-coated surface, the resin portion is not adversely affected by the nitrogen gas. For this reason, it is possible to reduce the risk that the resin is separated from the transport tape. Also, the nitrogen gas is warmed by being heated by the heat source in the apparatus, and naturally rises from below the transport tape,
The furnace will be filled.

【0009】他の発明は、上述の各発明の樹脂硬化方法
に加え、加熱硬化工程では、搬送テープを挟んで発熱体
とは反対側に配置された反射板により搬送テープの一方
の片面を間接的に加熱すると共に、発熱体で加熱される
熱板により搬送テープの他方の片面を間接的に加熱する
間接加熱工程を設けている。このように構成すると、搬
送テープを間接的に加熱するので、樹脂は、均一かつ適
度に加熱され、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない
樹脂硬化ができる。また、搬送テープの両面が、熱板と
反射板とでそれぞれ間接的に加熱されるので、一層、
「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化が可能
となる。また、熱板と反射板の設置によって、搬送テー
プの両面を同じ熱源で容易に加熱できるようになる。さ
らに、一方の熱源によって樹脂を硬化させる際に、搬送
テープの他方の面側を間接的に加熱することとなり、樹
脂周辺部が搬送テープへ廻り込むのが容易になり、搬送
テープと樹脂との密着性を高めることができる。
According to another aspect of the invention, in addition to the resin curing method of each of the above-mentioned inventions, in the heating and curing step, one side of the transport tape is indirectly connected to a reflector disposed on the opposite side of the transport tape from the heating element. And an indirect heating step of indirectly heating the other side of the transport tape with a hot plate heated by a heating element. With this configuration, since the transport tape is indirectly heated, the resin is uniformly and appropriately heated, so that the resin can be cured without “burning”, “bloating”, and shape deformation. Also, since both sides of the transport tape are indirectly heated by the hot plate and the reflective plate, respectively,
"Burning", "swelling", and resin curing without shape deformation are possible. Further, by providing the hot plate and the reflection plate, both sides of the transport tape can be easily heated by the same heat source. Further, when the resin is cured by one of the heat sources, the other surface side of the transport tape is indirectly heated, so that the resin peripheral portion can easily wrap around the transport tape, and the transport tape and the resin Adhesion can be improved.

【0010】また、他の発明は、上述の発明の樹脂硬化
方法に加え、反射板は、熱板からの輻射熱を反射するも
のとしている。このため、搬送テープの面が万遍なく加
熱されることとなる。
According to another aspect of the present invention, in addition to the resin curing method of the above-described invention, the reflecting plate reflects radiant heat from the hot plate. For this reason, the surface of the transport tape is uniformly heated.

【0011】本発明の樹脂硬化装置は、素子を封止する
ための樹脂が塗布された搬送テープが炉内に供給される
テープ入口と、炉内に供給された搬送テープの送り方向
を反転させる反転手段と、炉の内部に配置され樹脂を加
熱し硬化させる加熱硬化手段と、搬送テープを炉内から
排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装置において、
炉内を無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガスを炉内に導
入するための導入口を、搬送テープの樹脂塗布面とは反
対側の面側であって、搬送テープの下方位置に設けてい
る。
According to the resin curing apparatus of the present invention, a tape entrance through which a transfer tape coated with a resin for sealing the element is supplied into a furnace and a feed direction of the transfer tape supplied into the furnace are reversed. In a resin curing device having a reversing means, a heat curing means arranged inside the furnace to heat and cure the resin, and a tape outlet for discharging the transport tape from the furnace,
An introduction port for introducing nitrogen gas, which keeps the inside of the furnace in a non-oxidizing atmosphere state, into the furnace, is provided on a surface side opposite to the resin application surface of the transfer tape and at a position below the transfer tape. .

【0012】この構成によれば、炉内を無酸化雰囲気状
態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図ることがで
きる。また、窒素ガスを、樹脂コート面に当たらないよ
うに樹脂塗布面とは反対側の面から導入しているので、
窒素ガスによって樹脂部分が悪影響を受けないようにな
る。このため、樹脂が搬送テープから剥離してしまう等
の危険性を減少させることができる。また、窒素ガス
は、装置内の熱源によって加熱されることで温まり、搬
送テープの下方から自然に上昇し、炉内に充満すること
となる。
According to this configuration, the inside of the furnace can be kept in a non-oxidizing atmosphere, and the curing of the resin can be stabilized. Also, since nitrogen gas is introduced from the side opposite to the resin coated surface so as not to hit the resin coated surface,
The resin portion is not adversely affected by the nitrogen gas. For this reason, it is possible to reduce the risk that the resin is separated from the transport tape. Further, the nitrogen gas is heated by being heated by the heat source in the apparatus, naturally rises from below the transport tape, and fills the furnace.

【0013】また、他の発明の樹脂硬化装置は、素子を
封止するための樹脂が塗布された搬送テープが供給され
るテープ入口と、その内部に配置され樹脂を加熱し硬化
させる加熱硬化手段と、搬送テープを排出するテープ出
口とを有する樹脂硬化装置において、装置内を無酸化雰
囲気状態に保持する窒素ガスをこの装置内に導入するた
めの導入口を、搬送テープの樹脂塗布面とは反対側の面
側であって、搬送テープの下方位置に設けている。
In another aspect of the present invention, there is provided a resin curing device, comprising: a tape inlet to which a transport tape coated with a resin for sealing an element is supplied; and a heating and curing means disposed therein for heating and curing the resin. And, in a resin curing device having a tape outlet for discharging a transport tape, an introduction port for introducing nitrogen gas that keeps the inside of the device in a non-oxidizing atmosphere state into the device is a resin coating surface of the transport tape. It is provided on the opposite surface side and below the transport tape.

【0014】この樹脂硬化装置によれば、装置内を無酸
化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図
ることができる。また、窒素ガスを、樹脂コート面に当
たらないように樹脂塗布面とは反対側の面から導入して
いるので、窒素ガスによって樹脂部分が悪影響を受けな
いようになる。このため、樹脂が搬送テープから剥離し
てしまう等の危険性を減少させることができる。また、
窒素ガスは、装置内の熱源によって加熱されることで温
まり、搬送テープの下方から自然に上昇し、炉内に充満
することとなる。
According to this resin curing device, the inside of the device can be kept in a non-oxidizing atmosphere, and the curing of the resin can be stabilized. Further, since the nitrogen gas is introduced from the surface opposite to the resin-coated surface so as not to hit the resin-coated surface, the resin portion is not adversely affected by the nitrogen gas. For this reason, it is possible to reduce the risk that the resin is separated from the transport tape. Also,
The nitrogen gas is heated by being heated by the heat source in the apparatus, naturally rises from below the transport tape, and fills the furnace.

【0015】他の発明は、上述の各発明の樹脂硬化装置
に加え、搬送テープを挟んで発熱体とは反対側に配置さ
れ、搬送テープの一方の片面を間接的に加熱する反射板
と、発熱体で加熱され、搬送テープの他方の片面を間接
的に加熱する熱板と、を設けている。このように構成す
ると、搬送テープを間接的に加熱するので、樹脂は、均
一かつ適度に加熱され、「焼け」、「ふくれ」、形状変
形のない樹脂硬化ができる。また、搬送テープの両面
が、熱板と反射板とでそれぞれ間接的に加熱されるの
で、一層、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂
硬化が可能となる。また、熱板と反射板の設置によっ
て、搬送テープの両面を同じ熱源で容易に加熱できるよ
うになる。さらに、一方の熱源によって樹脂を硬化させ
る際に、搬送テープの他方の面側を間接的に加熱するこ
ととなり、樹脂周辺部が搬送テープへ廻り込むのが容易
になり、搬送テープと樹脂との密着性を高めることがで
きる。
According to another aspect of the present invention, in addition to the resin curing device of each of the above-mentioned inventions, there is provided a reflector disposed on the opposite side of the heating element with the transport tape therebetween, and indirectly heating one side of the transport tape. A heating plate that is heated by the heating element and indirectly heats the other side of the transport tape. With this configuration, since the transport tape is indirectly heated, the resin is uniformly and appropriately heated, so that the resin can be cured without “burning”, “bloating”, and shape deformation. Further, since both surfaces of the transport tape are indirectly heated by the hot plate and the reflection plate, respectively, the resin can be hardened further without "burn", "bulge" and shape deformation. Further, by providing the hot plate and the reflection plate, both sides of the transport tape can be easily heated by the same heat source. Further, when the resin is cured by one of the heat sources, the other surface side of the transport tape is indirectly heated, so that the resin peripheral portion can easily wrap around the transport tape, and the transport tape and the resin Adhesion can be improved.

【0016】さらに、他の発明は、上述の発明の樹脂硬
化装置に加え、反射板は、熱板からの輻射熱を反射する
ものとしている。この構成のため、搬送テープの面が万
遍なく加熱されることとなる。
Further, in another invention, in addition to the resin curing device of the above-mentioned invention, the reflecting plate reflects radiant heat from the hot plate. With this configuration, the surface of the transport tape is uniformly heated.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明による実施の形態を図面に
基づいて説明する。図1は、本発明による実施の形態を
示す筐体と炉体の断面図である。図2は、本発明の実施
の形態を示す図1のA−A拡大断面図である。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a housing and a furnace body showing an embodiment according to the present invention. FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along the line AA of FIG. 1 showing the embodiment of the present invention.

【0018】図において、1は筐体、2は筐体1上に設
けられている炉体、3は搬送テープで、素子4がボンデ
ィングされ、樹脂5により封止されている。6、7は、
炉体内で搬送テープ3を反転させるためのキュアガイ
ド、8、9は、搬送テープ3とキュアガイド6で反転さ
れた搬送テープ3との間に設けられている加熱硬化手段
の一部となる発熱体、10は、キュアガイド7で反転さ
れた搬送テープ3の上方に設けられている加熱硬化手段
の一部となる発熱体である。
In the figure, 1 is a housing, 2 is a furnace body provided on the housing 1, 3 is a transport tape, and an element 4 is bonded and sealed with a resin 5. 6, 7
The curing guides 8 and 9 for reversing the transport tape 3 in the furnace are heat generated as a part of the heat curing means provided between the transport tape 3 and the transport tape 3 reversed by the cure guide 6. The body 10 is a heating element that is a part of the heating and curing means provided above the transport tape 3 inverted by the cure guide 7.

【0019】11は、搬送テープ3と発熱体8との間に
配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加
熱手段となる熱板、12は搬送テープ3と発熱体9との
間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間
接加熱手段となる熱板、13は、搬送テープ3と発熱体
10との間に配設されている加熱硬化手段の一部となる
と共に間接加熱手段となる熱板、14は、搬送テープ3
を挟んで熱板11と対向する位置に配設されている加熱
硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる反射板
である。
Reference numeral 11 denotes a heating plate which is a part of the heating and curing means provided between the transport tape 3 and the heating element 8 and also serves as an indirect heating means. The hot plate 13 which becomes a part of the heat-curing means provided therebetween and also serves as an indirect heating means, is provided with a part of the heat-curing means provided between the transport tape 3 and the heating element 10. The hot plate 14 serving as the indirect heating means is a transport tape 3
The reflector is a part of the heat-curing means disposed at a position facing the hot plate 11 with respect to the heating plate 11 and also serves as an indirect heating means.

【0020】搬送テープ3は、テープ入口15から供給
され、反転手段となるキュアガイド6と7により反転さ
せられてテープ出口16から排出される。テープ入口1
5から供給された搬送テープ3は、キュアガイド6で反
転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱
される。
The transport tape 3 is supplied from a tape inlet 15, reversed by cure guides 6 and 7 as reversing means, and discharged from a tape outlet 16. Tape entrance 1
The transport tape 3 supplied from 5 is heated as follows in a heating start stage until it is reversed by the cure guide 6.

【0021】すなわち、素子4を封止した樹脂5は、遠
赤外線等の発熱体8により加熱された熱板11により間
接的に加熱されると共に、熱板11と対向する位置に配
設された反射板14により熱板11の熱が輻射され搬送
テープ3の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送
テープ3の表面側と裏面側が均一に加熱される。これに
より、樹脂5は、熱板11により間接的に加熱されるた
めに、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬
化させることができる。また、搬送テープ3面への樹脂
5の廻り込みを容易にし、搬送テープ3と樹脂5の周辺
部との密着性が高められ、搬送テープ3に樹脂5を密着
させることができる。
That is, the resin 5 sealing the element 4 is indirectly heated by the heating plate 11 heated by the heating element 8 such as far infrared rays, and is disposed at a position facing the heating plate 11. The heat of the heating plate 11 is radiated by the reflection plate 14 to indirectly heat the back side of the transport tape 3. As a result, the front side and the back side of the transport tape 3 are uniformly heated. Thereby, since the resin 5 is indirectly heated by the hot plate 11, it is possible to cure the resin without "burn", "bulge", and shape deformation. Further, the resin 5 can be easily wrapped around the surface of the transport tape 3, and the adhesiveness between the transport tape 3 and the peripheral portion of the resin 5 can be increased, so that the resin 5 can be adhered to the transport tape 3.

【0022】キュアガイド7で反転されるまでの加熱中
間段階において、搬送テープ3は発熱体9により加熱さ
れた熱板12により間接的に加熱される。これにより、
樹脂5の硬化が促進される。キュアガイド7で反転され
てテープ出口16までの加熱最終段階において、搬送テ
ープ3は発熱体10により加熱された熱板13により間
接的に加熱される。これにより、樹脂5の硬化が更に促
進される。また、炉体2は、気密性を保つようになって
いるので、筐体1に設けられた導入口17から窒素ガス
等を導入し、炉体2に設けられた排出口18から排出す
るようにすれば、炉体2内を無酸化雰囲気状態に保つこ
とができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。
In a heating intermediate stage before being reversed by the cure guide 7, the transport tape 3 is indirectly heated by the hot plate 12 heated by the heating element 9. This allows
Curing of the resin 5 is promoted. At the final stage of heating up to the tape outlet 16 after being inverted by the cure guide 7, the transport tape 3 is indirectly heated by the hot plate 13 heated by the heating element 10. Thereby, the curing of the resin 5 is further promoted. Since the furnace body 2 is kept airtight, nitrogen gas or the like is introduced from an inlet 17 provided in the housing 1 and discharged from an outlet 18 provided in the furnace body 2. By doing so, the inside of the furnace body 2 can be kept in a non-oxidizing atmosphere state, and the curing of the resin can be stabilized.

【0023】なお、図1に示されるように、炉体2内を
無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガス等を炉体2内に導
入するための導入口17を、搬送テープ3の樹脂塗布面
とは反対側の面側であって、搬送テープ3の下方位置に
設けている。また、導入された窒素ガス等を排出する排
出口18を、炉体2の上方位置に設け、加熱された窒素
ガス等が上昇した際に、排出しやすくしている。
As shown in FIG. 1, an inlet 17 for introducing a nitrogen gas or the like for maintaining the inside of the furnace body 2 in a non-oxidizing atmosphere state is provided with a resin coating surface of the transport tape 3. And on the opposite side to the lower side of the transport tape 3. In addition, a discharge port 18 for discharging the introduced nitrogen gas or the like is provided at a position above the furnace body 2 so that the heated nitrogen gas or the like can be easily discharged when it rises.

【0024】[0024]

【発明の効果】各発明によれば、搬送テープの周囲や炉
内等を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化と、樹脂と搬送テープの密着性の向上を図ること
ができる。また、窒素ガスを、樹脂塗布面に当たらない
ように樹脂塗布面とは反対側の面から導入しているの
で、窒素ガスによって樹脂部分が悪影響を受けないよう
になる。また、窒素ガスは、装置内の熱源によって加熱
されることで温まり、搬送テープの下方から自然に上昇
し、炉内のゴミを舞い上げることなく、炉内に充満する
こととなる。
According to each invention, the periphery of the transfer tape, the inside of the furnace, and the like can be maintained in a non-oxidizing atmosphere state, and the curing of the resin can be stabilized, and the adhesion between the resin and the transfer tape can be improved. it can. Further, since the nitrogen gas is introduced from the surface opposite to the resin application surface so as not to hit the resin application surface, the resin portion is not adversely affected by the nitrogen gas. Further, the nitrogen gas is heated by being heated by the heat source in the apparatus, naturally rises from below the transport tape, and fills the furnace without sowing dust in the furnace.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a housing and a furnace body showing an embodiment according to the present invention.

【図2】 本発明の実施の形態を示す図
1のA−A拡大断面図である。
FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along the line AA of FIG. 1 showing the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 筐体 2 炉体 3 搬送テープ 4 素子 5 樹脂 6,7 キュアガイド(反転手段) 8,9,10 発熱体(加熱硬化手段の一部) 11,12,13 熱板(加熱硬化手段の一部であり間
接加熱手段) 14 反射板(加熱硬化手段の一部であり間接加熱手
段) 15 テープ入口 16 テープ出口 17 導入口 18 排出口
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Case 2 Furnace body 3 Conveying tape 4 Element 5 Resin 6,7 Cure guide (inversion means) 8,9,10 Heating element (part of heat hardening means) 11,12,13 Heat plate (one of heat hardening means) Part and indirect heating means) 14 Reflector (part of heating and curing means and indirect heating means) 15 Tape inlet 16 Tape outlet 17 Inlet 18 Outlet

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープを炉のテープ入口から供給し、上記炉のテー
プ出口から排出するテープ供給排出工程と、このテープ
供給排出工程中で、上記搬送テープを反転させる反転手
段によって上記搬送テープの送り方向を反転させつつ、
上記炉内で上記樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化工程
と、を有する樹脂硬化方法において、 上記加熱硬化工程では、窒素ガスを、上記搬送テープの
樹脂塗布面とは反対側の面であって、上記搬送テープの
下方から導入し、上記炉内を無酸化雰囲気状態に保持す
ることを特徴とする樹脂硬化方法。
1. A tape supply / discharge step of supplying a transport tape coated with a resin for sealing an element from a tape inlet of a furnace and discharging the tape from a tape outlet of the furnace; While reversing the feed direction of the transport tape by reversing means for reversing the transport tape,
A heat curing step of heating and curing the resin in the furnace, and the resin curing method, comprising: in the heat curing step, the nitrogen gas is a surface opposite to the resin application surface of the transport tape, A resin curing method, wherein the resin is introduced from below the transfer tape and the inside of the furnace is kept in a non-oxidizing atmosphere.
【請求項2】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープをテープ入口から供給し、テープ出口から排
出するテープ供給排出工程と、このテープ供給排出工程
中で、上記搬送テープを駆動しつつ上記樹脂を加熱し硬
化させる加熱硬化工程と、を有する樹脂硬化方法におい
て、 上記加熱硬化工程では、窒素ガスを、上記搬送テープの
樹脂塗布面とは反対側の面であって、上記搬送テープの
下方から導入し、上記搬送テープの周囲を無酸化雰囲気
状態に保持することを特徴とする樹脂硬化方法。
2. A tape supply / discharge step of supplying a transport tape coated with a resin for sealing an element from a tape inlet and discharging the tape from a tape outlet, and driving the transport tape during the tape supply / discharge step. A heat curing step of heating and curing the resin while heating, wherein in the heat curing step, the nitrogen gas is applied to the transfer tape on a surface opposite to the resin-coated surface of the transfer tape. A resin curing method, wherein the resin is introduced from below the tape and the periphery of the transport tape is maintained in a non-oxidizing atmosphere.
【請求項3】 前記加熱硬化工程では、前記搬送テープ
を挟んで発熱体とは反対側に配置された反射板により前
記搬送テープの一方の片面を間接的に加熱すると共に、
上記発熱体で加熱される熱板により前記搬送テープの他
方の片面を間接的に加熱する間接加熱工程を設けたこと
を特徴とする請求項1または2記載の樹脂硬化方法。
3. In the heat curing step, one side of the transport tape is indirectly heated by a reflector disposed on the opposite side of the heating element with the transport tape therebetween,
3. The resin curing method according to claim 1, further comprising an indirect heating step of indirectly heating the other side of the transport tape by a hot plate heated by the heating element.
【請求項4】 前記反射板は、前記熱板からの輻射熱を
反射することを特徴とする請求項3記載の樹脂硬化方
法。
4. The method according to claim 3, wherein the reflection plate reflects radiant heat from the hot plate.
【請求項5】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープが炉内に供給されるテープ入口と、炉内に供
給された上記搬送テープの送り方向を反転させる反転手
段と、炉の内部に配置され上記樹脂を加熱し硬化させる
加熱硬化手段と、上記搬送テープを炉内から排出するテ
ープ出口とを有する樹脂硬化装置において、 上記炉内を無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガスを炉内
に導入するための導入口を、上記搬送テープの樹脂塗布
面とは反対側の面側であって、上記搬送テープの下方位
置に設けたことを特徴とする樹脂硬化装置。
5. A tape inlet through which a transfer tape coated with a resin for sealing elements is supplied into a furnace, a reversing means for reversing a feed direction of the transfer tape supplied into the furnace, and a furnace. In a resin curing device having a heat-curing means disposed inside and heating and curing the resin, and a tape outlet for discharging the transport tape from the furnace, nitrogen gas for maintaining the furnace in a non-oxidizing atmosphere state is provided. A resin curing device, wherein an introduction port for introducing into a furnace is provided on a surface side opposite to a resin application surface of the transport tape and below the transport tape.
【請求項6】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープが供給されるテープ入口と、その内部に配置
され上記樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化手段と、上記
搬送テープを排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装
置において、 装置内を無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガスをこの装
置内に導入するための導入口を、上記搬送テープの樹脂
塗布面とは反対側の面側であって、上記搬送テープの下
方位置に設けたことを特徴とする樹脂硬化装置。
6. A tape inlet to which a transport tape coated with a resin for encapsulating the element is supplied, a heat-curing means disposed therein for heating and curing the resin, and discharging the transport tape. In a resin curing device having a tape outlet, an introduction port for introducing a nitrogen gas that keeps the inside of the device in a non-oxidizing atmosphere state into the device is provided on a surface side opposite to a resin application surface of the transport tape. And a resin curing device provided at a position below the transport tape.
【請求項7】 前記搬送テープを挟んで発熱体とは反対
側に配置され、前記搬送テープの一方の片面を間接的に
加熱する反射板と、上記発熱体で加熱され、前記搬送テ
ープの他方の片面を間接的に加熱する熱板と、を設けた
ことを特徴とする請求項5または6記載の樹脂硬化装
置。
7. A reflection plate which is arranged on the opposite side of the heating element with the transport tape therebetween and which indirectly heats one side of the transport tape, and which is heated by the heating element and which is the other of the transport tape. The resin curing device according to claim 5, further comprising: a hot plate for indirectly heating one surface of the resin curing device.
【請求項8】 前記反射板は、前記熱板からの輻射熱を
反射することを特徴とする請求項7記載の樹脂硬化装
置。
8. The resin curing device according to claim 7, wherein the reflection plate reflects radiant heat from the hot plate.
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