JP2001185966A - Microwave power amplifier - Google Patents

Microwave power amplifier

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JP2001185966A
JP2001185966A JP36722099A JP36722099A JP2001185966A JP 2001185966 A JP2001185966 A JP 2001185966A JP 36722099 A JP36722099 A JP 36722099A JP 36722099 A JP36722099 A JP 36722099A JP 2001185966 A JP2001185966 A JP 2001185966A
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resistor
slit
power amplifier
transmission line
chip
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Isao Takenaka
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide loop oscillation stopping technology which has higher efficiency than before and to provide a microwave power amplifier equipped with a small-sized, high-performance, and high-output FET chip which stably operates by efficiently absorbing loop oscillation power generated nearby the FET chip by a resistor. SOLUTION: A high-output power amplifier which uses a multicell-constituted FET chip 1 is provided with comb-shaped slits 16 in a transmission line nearby the FET chip 1 and loaded with the resistor in the slits 16 in the form of a sheet resistance.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ループ発振の抑止
技術に係り、特に従来よりも高効率的なループ発振抑止
技術を提供することを目的として、FETチップ近傍で
生じるループ発振電力を抵抗体で効率よく吸収して安定
に動作する小型、高性能かつ高出力なFETチップを備
えたマイクロ波電力増幅器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for suppressing loop oscillation, and more particularly to providing a technique for suppressing loop oscillation which is more efficient than conventional techniques. The present invention relates to a microwave power amplifier provided with a small, high-performance, and high-output FET chip that efficiently absorbs light and operates stably.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、マイクロ波帯で使用される高出
力の増幅器は、数W以上の高出力を得るために、マイク
ロ波帯で使用される複数個の高出力GaAs電界効果型
トランジスタ(以下GaAsFETチップ)と入出力イ
ンピーダンス整合回路とが1つのパッケージ内に実装さ
れた回路構成が知られている。マイクロ波帯で高出力を
得るためには多フィンガー多セル化が一般的に行われて
いるが、チップサイズが大きくなってしまうといった問
題や、1チップでは製造上あるいはチップの機械的強度
などの問題が原因となって、得られる出力には限界が生
じる。従って、1パッケージで高出力を得るためには、
複数のFETチップで増幅器を構成しなくてはならな
い。
2. Description of the Related Art In general, a high-power amplifier used in a microwave band is provided with a plurality of high-power GaAs field-effect transistors (hereinafter referred to as a plurality) used in a microwave band in order to obtain a high output of several W or more. There is known a circuit configuration in which a GaAs FET chip) and an input / output impedance matching circuit are mounted in one package. In order to obtain high output in the microwave band, multi-finger multi-cells are generally used. However, there is a problem that the chip size becomes large, and in the case of one chip, there is a problem in terms of manufacturing or mechanical strength of the chip. Due to problems, the available power is limited. Therefore, to obtain high output in one package,
An amplifier must be composed of a plurality of FET chips.

【0003】図6は従来の実施の形態を説明する回路構
成図であって、4つのFETチップ1を並列に合成して
高出力増幅器を構成する場合の等価回路図である。図6
を参照すると、入力端子14から入力されるRF信号
は、等価入力整合回路2a,2b,2c,2dを介して
各FETチップ1に分配され、さらに、各FETチップ
1で増幅されたRF信号は、等価出力整合回路6a,6
b,6c,6dを介して、出力端子15へ電力合成され
る。また、FETチップ1と等価出力整合回路6a,6
b,6c,6dとで構成される閉ループ回路における発
振条件により、奇モード発振(ループ上のFETチップ
1同士が逆相で動作している発振)を起こすことがある
ために、図6に示すように、ループ内に並列に入力側抵
抗体10および出力側抵抗体11を装荷することによ
り、2チップ間奇モード発振電力αおよび4チップ間奇
モード発振電力βを入力側抵抗体10および出力側抵抗
体11で吸収し増幅器の動作安定化を図っている。
FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a conventional embodiment, and is an equivalent circuit diagram in the case where a high-output amplifier is formed by combining four FET chips 1 in parallel. FIG.
Referring to FIG. 2, the RF signal input from the input terminal 14 is distributed to the respective FET chips 1 via the equivalent input matching circuits 2a, 2b, 2c and 2d, and the RF signal amplified by the respective FET chips 1 is , Equivalent output matching circuits 6a, 6
The power is combined to the output terminal 15 via b, 6c, 6d. Also, the FET chip 1 and the equivalent output matching circuits 6a, 6
Odd mode oscillation (oscillation in which the FET chips 1 on the loop operate in opposite phases) may occur depending on the oscillation conditions in the closed loop circuit composed of b, 6c, and 6d. Thus, by loading the input-side resistor 10 and the output-side resistor 11 in parallel in the loop, the odd-mode oscillating power α between two chips and the odd-mode oscillating power β between four chips are supplied to the input-side resistor 10 and the output. Absorption by the side resistor 11 stabilizes the operation of the amplifier.

【0004】ループ内に並列に装荷される入力側抵抗体
10および出力側抵抗体11の値は、次式のように入力
側励振のループ利得S1および出力側励振のループ利得
S2が1以下となるように設定される。入力側励振のル
ープ利得S1および出力側励振のループ利得S2が減衰
することにより、奇モード発振電力が増幅器の出力端子
15に現れることはない。 S1=Re{ΓsΓin}<1 S2=Re{ΓlΓout}<1 ここで、Γsは増幅器を構成する単位トランジスタに接
続される等価入力整合回路2a,2b,2c,2d側を
見た反射係数であり、Γinは単位トランジスタの入力
反射係数であり、Γlは等価出力整合回路6a,6b,
6c,6d側を見た反射係数であり、Γoutは単位ト
ランジスタの出力反射係数であるとする。
The values of the input-side resistor 10 and the output-side resistor 11 loaded in parallel in the loop are such that the input-side excitation loop gain S1 and the output-side excitation loop gain S2 are 1 or less as shown in the following equation. Is set to Since the loop gain S1 of the input side excitation and the loop gain S2 of the output side excitation are attenuated, the odd mode oscillation power does not appear at the output terminal 15 of the amplifier. S1 = Re {ΓsΓin} <1 S2 = Re {ΓlΓout} <1 Here, Γs is a reflection coefficient as viewed from the side of the equivalent input matching circuits 2a, 2b, 2c, 2d connected to the unit transistors constituting the amplifier. , Γin are the input reflection coefficients of the unit transistors, and Γl is the equivalent output matching circuits 6a, 6b,
It is assumed that the reflection coefficient is the reflection coefficient as viewed from the side of 6c and 6d, and that Γout is the output reflection coefficient of the unit transistor.

【0005】図7は従来の実施の形態を説明する具体的
な構成図であって、4つのFETチップ1を並列に合成
して高出力増幅器を小型のパッケージ17内に構成した
外観図である。図7を参照すると、入力端子14から入
力されるRF信号は、アルミナ基板上に形成された伝送
線路および高誘電率基板上に形成された平板キャパシタ
からなる等価入力整合回路2a,2b,2cを介して各
FETチップ1に分配される。各FETチップ1で増幅
されたRF信号は、アルミナ基板上に形成された伝送線
路からなる等価出力整合回路6a,6bを介して出力端
子15で電力合成される。また、入力側抵抗体10およ
び出力側抵抗体11は誘電体基板上に形成された薄膜抵
抗で、チップ間に関する閉ループ回路内の対抗して配置
される等価入力整合回路2a,2b,2cを構成する伝
送線路間の一部と等価出力整合回路6a,6bを構成す
る伝送線路間の一部に設けてあり、各伝送線路に接続さ
れている。なお、図7において、4はゲート端子、5は
入力側ボンディングワイヤー、7はドレイン端子、8は
出力側ボンディングワイヤーをそれぞれ示している。
FIG. 7 is a specific configuration diagram illustrating a conventional embodiment, and is an external view in which four FET chips 1 are combined in parallel to form a high-output amplifier in a small package 17. . Referring to FIG. 7, an RF signal input from the input terminal 14 is transmitted through an equivalent input matching circuit 2a, 2b, 2c composed of a transmission line formed on an alumina substrate and a plate capacitor formed on a high dielectric constant substrate. And distributed to each of the FET chips 1. The RF signal amplified by each FET chip 1 is power-combined at an output terminal 15 via equivalent output matching circuits 6a and 6b formed of a transmission line formed on an alumina substrate. The input-side resistor 10 and the output-side resistor 11 are thin-film resistors formed on a dielectric substrate, and constitute equivalent input matching circuits 2a, 2b, and 2c which are arranged oppositely in a closed loop circuit between chips. Are provided between the transmission lines constituting the equivalent output matching circuits 6a and 6b and connected to each transmission line. In FIG. 7, reference numeral 4 denotes a gate terminal, 5 denotes an input side bonding wire, 7 denotes a drain terminal, and 8 denotes an output side bonding wire.

【0006】以上のように従来の高出力増幅器は、複数
のFETチップ1と等価出力整合回路6a,6b,6
c,6d間に生じる閉ループ回路内に並列に抵抗を装荷
することにより、奇モード発振電力を抵抗で吸収し増幅
器の動作安定化を図っている。
As described above, the conventional high-power amplifier comprises a plurality of FET chips 1 and equivalent output matching circuits 6a, 6b, 6
By loading a resistor in parallel in a closed loop circuit generated between c and 6d, the odd-mode oscillation power is absorbed by the resistor and the operation of the amplifier is stabilized.

【0007】上記のような従来の高出力増幅器に対し
て、特開平9−139639号公報に開示された高周波
半導体増幅器では、複数のFETチップ1と等価入力整
合回路2a,2b,2c,2d−等価出力整合回路6
a,6b,6c,6d間に生じる閉ループ回路で起こる
ループ発振だけでなく、FETチップ1内に生じる小閉
ループ回路での発振をも抑止するために、等価入力整合
回路2a,2b,2c,2dまたは等価出力整合回路6
a,6b,6c,6dに半導体チップ近傍の線路内に埋
め込んだシート抵抗の形の抵抗体を装荷している。
In contrast to the conventional high-power amplifier described above, the high-frequency semiconductor amplifier disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-139,939 has a plurality of FET chips 1 and equivalent input matching circuits 2a, 2b, 2c, 2d-. Equivalent output matching circuit 6
The equivalent input matching circuits 2a, 2b, 2c, 2d are used to suppress not only the loop oscillation occurring in the closed loop circuit generated between a, 6b, 6c, 6d but also the small closed loop circuit generated in the FET chip 1. Or equivalent output matching circuit 6
Each of a, 6b, 6c, and 6d is loaded with a resistor in the form of a sheet resistor embedded in a line near a semiconductor chip.

【0008】図8は従来の他の実施形態を説明する構成
図であって、1チップ近傍の様子のみを示している。図
8を参照すると、FETチップ1は、等価入力整合回路
2の伝送線路と入力側ボンディングワイヤー5を介して
FETチップ1のゲート端子4と接続され、等価出力整
合回路6の伝送線路と出力側ボンディングワイヤー8を
介してドレイン端子7が接続される。出力側抵抗体11
は、等価出力整合回路6でFETチップ1に接続される
伝送線路内に埋め込んだシート抵抗の形で装荷される。
これにより、FETチップ1近傍の小閉ループ回路に生
じる1チップ内奇モード発振電力A,Bを吸収できる構
成となっている。なお、図8において、14は入力端
子、15は出力端子をそれぞれ示している。
FIG. 8 is a block diagram for explaining another embodiment of the related art, and shows only a state in the vicinity of one chip. Referring to FIG. 8, the FET chip 1 is connected to the transmission line of the equivalent input matching circuit 2 and the gate terminal 4 of the FET chip 1 via the input side bonding wire 5, and the transmission line of the equivalent output matching circuit 6 is connected to the output side. The drain terminal 7 is connected via the bonding wire 8. Output resistor 11
Are loaded in the form of sheet resistance embedded in the transmission line connected to the FET chip 1 by the equivalent output matching circuit 6.
Thereby, the configuration is such that the odd-mode oscillation powers A and B in one chip generated in the small closed loop circuit near the FET chip 1 can be absorbed. In FIG. 8, reference numeral 14 denotes an input terminal, and 15 denotes an output terminal.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術には以下に掲げる問題点があった。まず第1の問題点
は、シート抵抗の周囲長に相当する電気長をもった1チ
ップ内奇モード発振電力Bに対しては抵抗が効果的に働
くが、シート抵抗の周囲長以上の電気長をもった1チッ
プ内奇モード発振電力Aには効果が発揮できないことで
ある。そして、第2の問題点は、ループ発振電力を抵抗
体で効率よく吸収するためには、ループ発振周波数に対
し1/2波長の電気長があるループ間に適切なアイソレ
ーション抵抗を装荷する必要があり、大抵の場合、低損
失な整合回路特性を得るために、FETチップ1近傍の
整合回路は幅広の低インピーダンスラインとなることが
多く、しかも、整合回路およびFETチップ1は小型パ
ッケージに収納され、寸法には制限があり、そのため、
FETチップ1近傍の小閉ループに対し、1/2波長の
電気長を確保することが困難となることが多く、従っ
て、従来のような伝送線路内に埋め込む形の抵抗では、
比較的電気長の長いループ発振を抑止することが難しい
ことである。
However, the prior art has the following problems. First, the first problem is that the resistor works effectively for the odd-mode oscillation power B in one chip having an electrical length corresponding to the peripheral length of the sheet resistor, but the electrical length is longer than the peripheral length of the sheet resistor. The effect cannot be exerted on the odd-mode oscillation power A in one chip having the above. The second problem is that in order to efficiently absorb the loop oscillation power with a resistor, it is necessary to load an appropriate isolation resistor between loops having an electrical length of 波長 wavelength with respect to the loop oscillation frequency. In most cases, in order to obtain a low-loss matching circuit characteristic, the matching circuit near the FET chip 1 is often a wide low-impedance line, and the matching circuit and the FET chip 1 are housed in a small package. And dimensions are limited, so
It is often difficult to secure an electrical length of 波長 wavelength with respect to a small closed loop near the FET chip 1. Therefore, with a conventional resistor embedded in a transmission line,
It is difficult to suppress loop oscillation having a relatively long electrical length.

【0010】本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、従来よりも高効率
的なループ発振抑止技術を提供することを目的として、
FETチップ近傍で生じるループ発振電力を抵抗体で効
率よく吸収して安定に動作する小型、高性能かつ高出力
なFETチップを備えたマイクロ波電力増幅器を提供す
る点にある。
The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a technique for suppressing loop oscillation which is more efficient than in the past.
An object of the present invention is to provide a microwave power amplifier having a small, high-performance, and high-output FET chip that operates stably by efficiently absorbing loop oscillation power generated in the vicinity of the FET chip with a resistor.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明の
要旨は、マルチセル化したFETチップの近傍の伝送線
路内に所定外周長を有する所定形状のスリットを設け、
ループ発振を防止するためのシート形状の抵抗体を当該
スリット内に装荷した構造を備えていることを特徴とす
るマイクロ波電力増幅器に存する。また、請求項2に記
載の発明の要旨は、マルチセル化したFETチップの近
傍の伝送線路内に所定外周長を有する櫛形のスリットを
設け、ループ発振を防止するためのシート形状の抵抗体
を当該スリット内に装荷した構造を備えていることを特
徴とするマイクロ波電力増幅器に存する。また、請求項
3に記載の発明の要旨は、マルチセル化したFETチッ
プの近傍の伝送線路内に所定外周長を有する所定形状の
スリットを設け、ループ発振を防止するための抵抗体を
当該スリット内に装荷した構造を備えていることを特徴
とするマイクロ波電力増幅器に存する。また、請求項4
に記載の発明の要旨は、マルチセル化したFETチップ
の近傍の伝送線路内に所定外周長を有する櫛形のスリッ
トを設け、ループ発振を防止するための抵抗体を当該ス
リット内に装荷した構造を備えていることを特徴とする
マイクロ波電力増幅器に存する。また、請求項5に記載
の発明の要旨は、シート抵抗による抵抗体が装荷され所
定外周長を有する所定形状のスリットを、FETチップ
の近傍の伝送線路内に設けてループ発振を防止するよう
な構造を備えていることを特徴とするマイクロ波電力増
幅器に存する。また、請求項6に記載の発明の要旨は、
シート抵抗による抵抗体が装荷され所定外周長を有する
櫛形のスリットを、FETチップの近傍の伝送線路内に
設けてループ発振を防止するような構造を備えているこ
とを特徴とするマイクロ波電力増幅器に存する。また、
請求項7に記載の発明の要旨は、ループ発振を防止する
ための抵抗体が装荷され所定外周長を有する所定形状の
スリットを、FETチップの近傍の伝送線路内に設けた
構造を備えていることを特徴とするマイクロ波電力増幅
器に存する。また、請求項8に記載の発明の要旨は、ル
ープ発振を防止するための抵抗体が装荷され所定外周長
を有する櫛形のスリットを、FETチップの近傍の伝送
線路内に設けた構造を備えていることを特徴とするマイ
クロ波電力増幅器に存する。また、請求項9に記載の発
明の要旨は、前記スリットの外周長は、FETチップ間
のアイソレーションが最もよくなる周波数に応じた寸法
に設定されていることを特徴とする請求項1乃至8のい
ずれか一項に記載のマイクロ波電力増幅器に存する。
The gist of the present invention is to provide a slit having a predetermined peripheral length in a transmission line near a multi-cell FET chip,
A microwave power amplifier has a structure in which a sheet-shaped resistor for preventing loop oscillation is loaded in the slit. The gist of the invention described in claim 2 is that a sheet-shaped resistor for preventing loop oscillation is provided by providing a comb-shaped slit having a predetermined outer peripheral length in a transmission line near a multi-cell FET chip. A microwave power amplifier having a structure loaded in a slit. The gist of the invention described in claim 3 is that a slit of a predetermined shape having a predetermined outer peripheral length is provided in a transmission line near a multi-cell FET chip, and a resistor for preventing loop oscillation is provided in the slit. And a microwave power amplifier characterized by having a structure loaded therein. Claim 4
The gist of the invention described in (1) has a structure in which a comb-shaped slit having a predetermined outer peripheral length is provided in a transmission line near a multi-cell FET chip, and a resistor for preventing loop oscillation is loaded in the slit. A microwave power amplifier is characterized in that: The gist of the invention described in claim 5 is to provide a slit having a predetermined shape, which is loaded with a resistor by sheet resistance and has a predetermined outer peripheral length, in a transmission line near the FET chip to prevent loop oscillation. A microwave power amplifier having a structure. The gist of the invention described in claim 6 is that
A microwave power amplifier having a structure in which a comb-shaped slit having a predetermined outer peripheral length and loaded with a resistor by sheet resistance is provided in a transmission line near an FET chip to prevent loop oscillation. Exists. Also,
The gist of the invention according to claim 7 has a structure in which a resistor of a predetermined shape having a predetermined outer peripheral length and loaded with a resistor for preventing loop oscillation is provided in a transmission line near an FET chip. A microwave power amplifier characterized in that: The gist of the invention described in claim 8 is a structure provided with a comb-shaped slit provided with a resistor for preventing loop oscillation and having a predetermined outer peripheral length in a transmission line near an FET chip. Microwave power amplifier. According to a ninth aspect of the present invention, an outer peripheral length of the slit is set to a size corresponding to a frequency at which isolation between FET chips is best. A microwave power amplifier according to any one of the preceding claims.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明は、マルチセル化したFE
Tチップを用いた高出力電力増幅器において、FETチ
ップ近傍の伝送線路内に(櫛形の)スリットが設けら
れ、抵抗体が当該スリット内にシート抵抗の形で装荷さ
れることを特徴とする。以下、本発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a multi-cell FE.
In a high output power amplifier using a T chip, a (comb-shaped) slit is provided in a transmission line near an FET chip, and a resistor is loaded in the slit in the form of a sheet resistor. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0013】(第1の実施の形態)以下、図面に基づき
実施形態を説明する。図1は本発明の第1の実施の形態
に係るマイクロ波電力増幅器を説明するための具体的な
構成図である。図1において、1はFETチップ、2
a,2b,2cは等価入力整合回路、4はゲート端子、
5は入力側ボンディングワイヤー、6a,6bは等価出
力整合回路、7はドレイン端子、8は出力側ボンディン
グワイヤー、10は入力側抵抗体、11は出力側抵抗
体、14は入力端子、15は出力端子、16はスリッ
ト、17はパッケージ、18はスリット内薄膜シート抵
抗体を示している。
(First Embodiment) An embodiment will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a specific configuration diagram for explaining the microwave power amplifier according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is an FET chip, 2
a, 2b, 2c are equivalent input matching circuits, 4 is a gate terminal,
5 is an input-side bonding wire, 6a and 6b are equivalent output matching circuits, 7 is a drain terminal, 8 is an output-side bonding wire, 10 is an input-side resistor, 11 is an output-side resistor, 14 is an input terminal, and 15 is an output. Terminals, 16 are slits, 17 is a package, and 18 is a thin film sheet resistor in the slit.

【0014】本実施の形態では、4つのFETチップ1
を並列に合成して高出力増幅器を小型パッケージ内に構
成した構成について説明を行う。
In this embodiment, four FET chips 1
Will be described in which a high-output amplifier is configured in a small package by combining the above-described components in parallel.

【0015】図1を参照すると、本実施の形態では、入
力端子14から入力されるRF信号は、アルミナ基板上
に形成された伝送線路および高誘電率基板上に形成され
た平板キャパシタを備えた等価入力整合回路2a,2
b,2cを介して、各FETチップ1に分配される。各
FETチップ1で増幅されたRF信号は、アルミナ基板
上に形成された伝送線路を備えた等価出力整合回路6
a,6bを介して、出力端子15へ電力合成される。ま
た、入力側抵抗体10(入力側チップ間抵抗体)および
出力側抵抗体11(出力側チップ間抵抗体)は誘電体基
板上に形成された薄膜抵抗で、チップ間に関する閉ルー
プ回路内の対抗して配置される等価入力整合回路2a,
2b,2cを構成する伝送線路間の一部と等価出力整合
回路6a,6bを構成する伝送線路間の一部に設けてあ
り、各伝送線路に接続されている。
Referring to FIG. 1, in the present embodiment, an RF signal input from input terminal 14 has a transmission line formed on an alumina substrate and a flat plate capacitor formed on a high dielectric constant substrate. Equivalent input matching circuits 2a, 2
The data is distributed to each of the FET chips 1 via b and 2c. The RF signal amplified by each FET chip 1 is converted to an equivalent output matching circuit 6 having a transmission line formed on an alumina substrate.
The power is synthesized to the output terminal 15 via the terminals a and 6b. The input-side resistor 10 (input-side inter-chip resistor) and the output-side resistor 11 (output-side inter-chip resistor) are thin-film resistors formed on a dielectric substrate, and oppose each other between chips in a closed loop circuit. Input matching circuits 2a,
It is provided in a part between the transmission lines forming the 2b and 2c and a part between the transmission lines forming the equivalent output matching circuits 6a and 6b, and is connected to each transmission line.

【0016】(第2の実施の形態)図2は本発明の第2
の実施の形態に係るマイクロ波電力増幅器を説明するた
めの構成図であって、1チップ近傍の様子を示してい
る。図2において、1はFETチップ、2は等価入力整
合回路、4はゲート端子、5は入力側ボンディングワイ
ヤー、6は等価出力整合回路、7はドレイン端子、8は
出力側ボンディングワイヤー、14は入力端子、15は
出力端子、16はスリット、18はスリット内薄膜シー
ト抵抗体、Aは1チップ内奇モード発振電力を示してい
る。
(Second Embodiment) FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram for explaining the microwave power amplifier according to the embodiment, and shows a state in the vicinity of one chip. In FIG. 2, 1 is an FET chip, 2 is an equivalent input matching circuit, 4 is a gate terminal, 5 is an input side bonding wire, 6 is an equivalent output matching circuit, 7 is a drain terminal, 8 is an output side bonding wire, and 14 is an input. Terminal, 15 is an output terminal, 16 is a slit, 18 is a thin film sheet resistor in the slit, and A indicates odd mode oscillation power in one chip.

【0017】図2を参照すると、本実施の形態のFET
チップ1は、等価入力整合回路2の伝送線路と入力側ボ
ンディングワイヤー5を介してFETチップ1のゲート
端子4と接続され、等価出力整合回路6の伝送線路と出
力側ボンディングワイヤー8を介してFETチップ1の
ドレイン端子7が接続される。等価出力整合回路6の伝
送線路には、スリット16が設けられる。スリット内薄
膜シート抵抗体18は、等価出力整合回路6の伝送線路
に設けたスリット16内にシート抵抗の形で装荷され
る。これにより、FETチップ1近傍の小閉ループ回路
に生じる奇モード発振電力を効率よく吸収できる。
Referring to FIG. 2, the FET according to the present embodiment
The chip 1 is connected to the gate terminal 4 of the FET chip 1 via the transmission line of the equivalent input matching circuit 2 and the input side bonding wire 5, and is connected to the FET via the transmission line of the equivalent output matching circuit 6 and the output side bonding wire 8. The drain terminal 7 of the chip 1 is connected. A slit 16 is provided in the transmission line of the equivalent output matching circuit 6. The in-slit thin film sheet resistor 18 is loaded in the form of sheet resistance in the slit 16 provided in the transmission line of the equivalent output matching circuit 6. Thereby, the odd mode oscillation power generated in the small closed loop circuit near the FET chip 1 can be efficiently absorbed.

【0018】(第3の実施の形態)図3は本発明の第3
の実施の形態に係るマイクロ波電力増幅器を説明するた
めの回路構成図である。本実施の形態は、図3に示すよ
うな、伝送線路内に櫛形のスリット16を設けて、櫛形
のスリット16内に抵抗を装荷した回路構成を備えてい
る。図3において、6は等価出力整合回路、16はスリ
ット、18はスリット内薄膜シート抵抗体、19は信号
出力端子、20,21はFET側接続端子を示してい
る。
(Third Embodiment) FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a circuit configuration diagram for describing a microwave power amplifier according to an embodiment. This embodiment has a circuit configuration in which a comb-shaped slit 16 is provided in a transmission line and a resistor is loaded in the comb-shaped slit 16 as shown in FIG. In FIG. 3, 6 is an equivalent output matching circuit, 16 is a slit, 18 is a thin film sheet resistor in the slit, 19 is a signal output terminal, and 20 and 21 are FET-side connection terminals.

【0019】次に、回路の外形寸法は変えずに、櫛形の
スリット16の櫛の数を増やすなどして櫛形のスリット
16の外周長だけを変化させたときの、FETチップ1
が接続されるFET側接続端子20とFET側接続端子
21間のアイソレーション(単位は[dB])および信
号出力端子19におけるリターンロス(単位は[d
B])の変化を計算した結果を図4に示す。
Next, when the outer peripheral length of the comb-shaped slit 16 is changed by increasing the number of combs in the comb-shaped slit 16 without changing the external dimensions of the circuit, the FET chip 1
Is connected between the FET side connection terminal 20 and the FET side connection terminal 21 (unit is [dB]) and return loss at the signal output terminal 19 (unit is [d
FIG. 4 shows the result of calculating the change in B]).

【0020】図4は上記第1乃至第3の実施の形態のマ
イクロ波電力増幅器におけるFET側接続端子20−2
1間のアイソレーション特性を示すグラフ、図5は図3
の信号出力端子19におけるリターンロス特性を示すグ
ラフである。本実施の形態では、例えば、厚さ0.25
mmのアルミナ基板上に、幅が3mm、長さが5mmの
伝送線路に0.05mm幅のスリット16を設け、FE
Tチップ1のインピーダンス2Ωに対して4Ωの抵抗を
装荷して、スリット16のスリット外周長Lを変化させ
た場合、図4に示すように、スリット16のスリット外
周長Lが長くなるにつれて、アイソレーションが最もよ
くなる周波数が低域に移行していく。
FIG. 4 shows an FET-side connection terminal 20-2 in the microwave power amplifier according to the first to third embodiments.
FIG. 5 is a graph showing the isolation characteristics between FIG.
6 is a graph showing return loss characteristics at the signal output terminal 19 of FIG. In the present embodiment, for example, a thickness of 0.25
A slit 16 having a width of 0.05 mm was provided on a transmission line having a width of 3 mm and a length of 5 mm on an alumina substrate having a width of 3 mm.
When a resistance of 4Ω is loaded with respect to the impedance of 2Ω of the T chip 1 and the slit outer peripheral length L of the slit 16 is changed, as shown in FIG. The frequency at which the best rate is obtained shifts to the lower frequency range.

【0021】これに対して、信号出力端子19のリター
ンロスは、図5に示すように、あまり変化しない。これ
より、スリット幅が基本波の等価出力整合回路6の特性
に影響を及ばさないほど細くても、回路の外形寸法を変
えずに、伝送線路内に設けたスリット16のスリット外
周長Lを変えることで、FETチップ1間のアイソレー
ションが最もよくなる周波数を変化させることができる
ことがわかる。
On the other hand, the return loss of the signal output terminal 19 does not change much, as shown in FIG. Thus, even if the slit width is small enough not to affect the characteristics of the equivalent output matching circuit 6 for the fundamental wave, the slit outer peripheral length L of the slit 16 provided in the transmission line can be changed without changing the external dimensions of the circuit. It can be seen that by changing the frequency, the frequency at which the isolation between the FET chips 1 becomes the best can be changed.

【0022】このように、小型で低損失化した等価出力
整合回路6において、等価出力整合回路6の伝送線路内
に櫛形のスリット16を設け、櫛形のスリット16のス
リット外周長Lをループ発振周波数に対し1/2波長の
電気長に設定し、アイソレーション抵抗をループ間に装
荷することで、FETチップ1近傍の小閉ループ回路に
生じる奇モード発振電力を効率よく吸収してループ発振
を抑制できる。
As described above, in the small-sized and low-loss equivalent output matching circuit 6, the comb-shaped slit 16 is provided in the transmission line of the equivalent output matching circuit 6, and the slit outer peripheral length L of the comb-shaped slit 16 is determined by the loop oscillation frequency. By setting the electrical length to 波長 wavelength and loading an isolation resistor between the loops, the odd mode oscillation power generated in the small closed loop circuit near the FET chip 1 can be efficiently absorbed and the loop oscillation can be suppressed. .

【0023】なお、本発明が上記実施の形態に限定され
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施の形態
は適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成
部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定され
ず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にす
ることができる。また、各図において、同一構成要素に
は同一符号を付している。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it is clear that each embodiment can be appropriately modified within the scope of the technical idea of the present invention. Further, the number, position, shape, and the like of the constituent members are not limited to the above-described embodiment, and can be set to numbers, positions, shapes, and the like suitable for carrying out the present invention. In each drawing, the same components are denoted by the same reference numerals.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、以下に掲げる効果を奏する。FETチップ近傍で生
じるループ発振電力を抵抗体で効率よく吸収して安定に
動作する小型、高性能かつ高出力なFETチップを実現
でき、その結果、従来よりも高効率的なループ発振抑止
技術を実現することができるといった効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained. A small, high-performance, and high-output FET chip that can stably operate by efficiently absorbing the loop oscillation power generated near the FET chip with a resistor can be realized. As a result, a more efficient loop oscillation suppression technology than before can be realized. It has the effect that it can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係るマイクロ波電
力増幅器を説明するための具体的な構成図である。
FIG. 1 is a specific configuration diagram for explaining a microwave power amplifier according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施の形態に係るマイクロ波電
力増幅器を説明するための構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a microwave power amplifier according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施の形態に係るマイクロ波電
力増幅器を説明するための回路構成図である。
FIG. 3 is a circuit configuration diagram for explaining a microwave power amplifier according to a third embodiment of the present invention.

【図4】第1乃至第3の実施の形態のマイクロ波電力増
幅器におけるFET側接続端子間のアイソレーション特
性を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing isolation characteristics between FET-side connection terminals in the microwave power amplifiers of the first to third embodiments.

【図5】第1乃至第3の実施の形態のマイクロ波電力増
幅器における信号出力端子におけるリターンロス特性を
示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a return loss characteristic at a signal output terminal in the microwave power amplifier according to the first to third embodiments.

【図6】従来の実施の形態を説明する回路構成図であ
る。
FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a conventional embodiment.

【図7】従来の実施の形態を説明する具体的な構成図で
ある。
FIG. 7 is a specific configuration diagram illustrating a conventional embodiment.

【図8】従来の他の実施形態を説明する構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram illustrating another conventional embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…FETチップ 2,2a,2b,2c,2d…等価入力整合回路 4…ゲート端子 5…入力側ボンディングワイヤー 6,6a,6b,6c,6d…等価出力整合回路 7…ドレイン端子 8…出力側ボンディングワイヤー 10…入力側抵抗体 11…出力側抵抗体 14…入力端子 15…出力端子 16…スリット 17…パッケージ 18…スリット内薄膜シート抵抗体 19…信号出力端子 20,21…FET側接続端子 A,B…1チップ内奇モード発振電力 L…スリット外周長 S1…入力側励振のループ利得 S2…出力側励振のループ利得 α…2チップ間奇モード発振電力 β…4チップ間奇モード発振電力 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... FET chip 2, 2a, 2b, 2c, 2d ... Equivalent input matching circuit 4 ... Gate terminal 5 ... Input side bonding wire 6, 6a, 6b, 6c, 6d ... Equivalent output matching circuit 7 ... Drain terminal 8 ... Output side Bonding wire 10 Input resistor 11 Output resistor 14 Input terminal 15 Output terminal 16 Slit 17 Package 18 Thin film sheet resistor in slit 19 Signal output terminal 20, 21 FET connection terminal A , B: Odd mode oscillation power within one chip L: Slit outer circumference length S1: Loop gain of input side excitation S2: Loop gain of output side excitation α: Odd mode oscillation power between two chips β: Odd mode oscillation power between four chips

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5J067 AA01 AA04 AA41 CA35 CA36 CA54 CA92 FA16 HA09 HA25 KA29 KA68 KS11 LS01 MA19 QA04 QS06 TA03 5J069 AA01 AA04 AA41 CA35 CA36 CA54 CA92 FA16 HA09 HA25 KA29 KA68 MA19 TA03  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5J067 AA01 AA04 AA41 CA35 CA36 CA54 CA92 FA16 HA09 HA25 KA29 KA68 KS11 LS01 MA19 QA04 QS06 TA03 5J069 AA01 AA04 AA41 CA35 CA36 CA54 CA92 FA16 HA09 HA25 KA29 KA68 TA19

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マルチセル化したFETチップの近傍の
伝送線路内に所定外周長を有する所定形状のスリットを
設け、ループ発振を防止するためのシート形状の抵抗体
を当該スリット内に装荷した構造を備えていることを特
徴とするマイクロ波電力増幅器。
1. A structure in which a slit of a predetermined shape having a predetermined peripheral length is provided in a transmission line near a multi-cell FET chip, and a sheet-shaped resistor for preventing loop oscillation is loaded in the slit. A microwave power amplifier, comprising:
【請求項2】 マルチセル化したFETチップの近傍の
伝送線路内に所定外周長を有する櫛形のスリットを設
け、ループ発振を防止するためのシート形状の抵抗体を
当該スリット内に装荷した構造を備えていることを特徴
とするマイクロ波電力増幅器。
2. A structure in which a comb-shaped slit having a predetermined outer peripheral length is provided in a transmission line near a multi-cell FET chip, and a sheet-shaped resistor for preventing loop oscillation is loaded in the slit. A microwave power amplifier, comprising:
【請求項3】 マルチセル化したFETチップの近傍の
伝送線路内に所定外周長を有する所定形状のスリットを
設け、ループ発振を防止するための抵抗体を当該スリッ
ト内に装荷した構造を備えていることを特徴とするマイ
クロ波電力増幅器。
3. A structure in which a slit of a predetermined shape having a predetermined peripheral length is provided in a transmission line near a multi-cell FET chip, and a resistor for preventing loop oscillation is loaded in the slit. A microwave power amplifier, characterized in that:
【請求項4】 マルチセル化したFETチップの近傍の
伝送線路内に所定外周長を有する櫛形のスリットを設
け、ループ発振を防止するための抵抗体を当該スリット
内に装荷した構造を備えていることを特徴とするマイク
ロ波電力増幅器。
4. A structure in which a comb-shaped slit having a predetermined outer peripheral length is provided in a transmission line near a multi-cell FET chip, and a resistor for preventing loop oscillation is loaded in the slit. A microwave power amplifier.
【請求項5】 シート抵抗による抵抗体が装荷され所定
外周長を有する所定形状のスリットを、FETチップの
近傍の伝送線路内に設けてループ発振を防止するような
構造を備えていることを特徴とするマイクロ波電力増幅
器。
5. A structure in which a resistor having a predetermined peripheral length and loaded with a resistor by sheet resistance is provided in a transmission line near a FET chip to prevent loop oscillation. And a microwave power amplifier.
【請求項6】 シート抵抗による抵抗体が装荷され所定
外周長を有する櫛形のスリットを、FETチップの近傍
の伝送線路内に設けてループ発振を防止するような構造
を備えていることを特徴とするマイクロ波電力増幅器。
6. A structure in which a comb-shaped slit having a predetermined outer peripheral length and loaded with a resistor by sheet resistance is provided in a transmission line near an FET chip to prevent loop oscillation. Microwave power amplifier.
【請求項7】 ループ発振を防止するための抵抗体が装
荷され所定外周長を有する所定形状のスリットを、FE
Tチップの近傍の伝送線路内に設けた構造を備えている
ことを特徴とするマイクロ波電力増幅器。
7. A FE having a predetermined shape and having a predetermined outer circumference and loaded with a resistor for preventing loop oscillation is formed in the FE.
A microwave power amplifier having a structure provided in a transmission line near a T chip.
【請求項8】 ループ発振を防止するための抵抗体が装
荷され所定外周長を有する櫛形のスリットを、FETチ
ップの近傍の伝送線路内に設けた構造を備えていること
を特徴とするマイクロ波電力増幅器。
8. A microwave having a structure in which a comb-shaped slit having a predetermined peripheral length and loaded with a resistor for preventing loop oscillation is provided in a transmission line near an FET chip. Power amplifier.
【請求項9】 前記スリットの外周長は、FETチップ
間のアイソレーションが最もよくなる周波数に応じた寸
法に設定されていることを特徴とする請求項1乃至8の
いずれか一項に記載のマイクロ波電力増幅器。
9. The micro device according to claim 1, wherein an outer peripheral length of the slit is set to a size corresponding to a frequency at which isolation between FET chips is best. Wave power amplifier.
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