JP2001174620A - Color filter and its manufacturing method - Google Patents
Color filter and its manufacturing methodInfo
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イやエレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィール
ドエミッションディスプレイ、液晶ディスプレイなどの
各種表示装置や個体撮像素子に用いられ、反射率低減、
色合成あるいは色分解などのためのカラーフィルタ及び
その製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used for various display devices such as a plasma display, an electroluminescence display, a field emission display, and a liquid crystal display, and a solid-state imaging device.
The present invention relates to a color filter for color synthesis or color separation and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えば、カラー液晶ディスプレイではカ
ラー表示を行うためのカラーフィルタが必要であり、公
知の染色法や顔料分散法等の方法で製造されたカラーフ
ィルタが用いられている。これは有機染料や有機顔料を
用いて樹脂層を着色してカラーフィルタとするものであ
る。また、プラズマディスプレイにおいても、映像を表
示した際のコントラスト向上のためにカラーフィルタを
用いることが提案されている。このように、いくつかの
ディスプレイデバイスではカラー表示や画質向上のため
にカラーフィルタが不可欠となっている。2. Description of the Related Art For example, a color liquid crystal display requires a color filter for performing color display, and a color filter manufactured by a known method such as a dyeing method or a pigment dispersion method is used. This is to color a resin layer using an organic dye or an organic pigment to form a color filter. In a plasma display, it has been proposed to use a color filter in order to improve contrast when displaying an image. Thus, in some display devices, a color filter is indispensable for improving color display and image quality.
【0003】ところで、プラズマディスプレイの場合、
その作製プロセスには約600℃で焼成するプロセスが
含まれている。もし、液晶ディスプレイ用カラーフィル
タをプラズマディスプレイ用カラーフィルタに流用する
と、これを構成する有機染料、有機顔料、樹脂バインダ
ーがこうしたプロセスにおいて燃焼あるいは分解反応が
生じ、カラーフィルタとしての特性が得られなくなって
しまう。[0003] In the case of a plasma display,
The fabrication process includes a process of firing at about 600 ° C. If a color filter for a liquid crystal display is used for a color filter for a plasma display, the organic dyes, organic pigments, and resin binders constituting the color filter may undergo a combustion or decomposition reaction in such a process, and the characteristics of the color filter may not be obtained. I will.
【0004】この問題の解決方法として、耐熱性の無機
顔料を基板上へ形成したものをカラーフィルタとして用
いることが提案されている。これは、無機顔料を適当な
バインダー樹脂および溶剤と混合したペーストを、所定
の基板へスクリーン印刷等の方法でパターニングし、し
かるのち焼成することによりバインダ樹脂及び溶剤の除
去を行い、無機顔料フィルタを得るものである。この場
合、カラーフィルタは無機顔料であることから、プラズ
マディスプレイ作製にかかわる高温プロセスに耐えるこ
とが可能である。As a solution to this problem, it has been proposed to use a heat-resistant inorganic pigment formed on a substrate as a color filter. In this method, a paste obtained by mixing an inorganic pigment with an appropriate binder resin and a solvent is patterned on a predetermined substrate by a method such as screen printing, and thereafter, the binder resin and the solvent are removed by firing, and the inorganic pigment filter is removed. What you get. In this case, since the color filter is an inorganic pigment, it can withstand a high-temperature process involved in manufacturing a plasma display.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】プラズマディスプレイ
やエレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールド
エミッションディスプレイなどにカラーフィルタを用い
る場合、パネル構造上からカラーフィルタ上部あるいは
下部に透明電極が配線される。透明電極は断線やピンホ
ールを防ぐことが極めて肝要であり、そのためにフィル
タ層には耐熱性はもとより、電極パターン配線工程に於
ける耐薬品性、密着性、表面平滑性が要求される。When a color filter is used in a plasma display, an electroluminescence display, a field emission display, or the like, a transparent electrode is wired above or below the color filter from the panel structure. It is extremely important for the transparent electrode to prevent disconnection and pinholes. Therefore, the filter layer is required to have not only heat resistance but also chemical resistance, adhesion and surface smoothness in an electrode pattern wiring process.
【0006】これまでの方法によって製造されるカラー
フィルタは基板上へフィルタ層を所定の位置にパターン
形成していることから、表面凹凸が生じるものとなって
いる。[0006] The color filter manufactured by the conventional method has a pattern formed on a substrate at a predetermined position of a filter layer, so that surface irregularities occur.
【0007】こうした表面構造に起因して透明電極の断
線などの欠陥、不良を発生させずに、その性能を確保す
るために、ガラスのオーバーコート層を形成することや
フィルタ層自身にガラス成分を導入することが提案され
ている。しかしながら、単にオーバーコート層を表示エ
リアに塗布形成しただけでは機械強度がなくフィルタ層
から剥離する事や、またフィルタ層にガラス成分を導入
しただけではフィルタ層段差に対して平滑性が不十分で
あるなど、要求性能を満たせずにいた。更に、オーバー
コート層のみに対しては、ピンホールの発生や低透過率
に伴うカラーフィルタ分光透過率の低下、電極配線工程
での耐薬品性といった課題も解決できずにいた。In order to ensure the performance without causing defects or defects such as disconnection of the transparent electrode due to such a surface structure, it is necessary to form a glass overcoat layer or add a glass component to the filter layer itself. It is proposed to be introduced. However, simply applying the overcoat layer to the display area does not provide mechanical strength and peels off from the filter layer, and simply introducing a glass component into the filter layer results in insufficient smoothness with respect to the filter layer step. It did not meet the required performance. Furthermore, with respect to only the overcoat layer, problems such as generation of pinholes, reduction in spectral transmittance of a color filter due to low transmittance, and chemical resistance in an electrode wiring process could not be solved.
【0008】特に、色分解用にボトム透過率を十分吸収
するようにフィルタ層の膜厚を厚くすると、各色膜厚が
10〜50μmに及び表面平滑性が悪くなるばかりでな
く、焼成によりバインダー除去を行うと顔料間の付着力
だけでは密着力を保持できずに、フィルタ層からオーバ
ーコート層ごと剥離してしまい、機械的強度を確保でき
ない問題が生じていた。In particular, when the thickness of the filter layer is increased so as to absorb the bottom transmittance sufficiently for color separation, the thickness of each color is increased to 10 to 50 μm, the surface smoothness is deteriorated, and the binder is removed by firing. In this case, the adhesion cannot be maintained only by the adhesion between the pigments, and the entire overcoat layer is peeled off from the filter layer, resulting in a problem that the mechanical strength cannot be secured.
【0009】さらに、使用する基板とオーバーコート層
の熱膨張係数が合わなければ、基板のそり、歪み、フィ
ルタ層やオーバーコート層自身のクラックの発生といっ
た問題が生じていた。Further, if the thermal expansion coefficient of the substrate used does not match the thermal expansion coefficient of the overcoat layer, there have been problems such as warpage and distortion of the substrate and cracks in the filter layer and the overcoat layer themselves.
【0010】本発明はこのような問題点を解決するする
ためになされたものであり、上面平滑でピンホールがな
く、透明で高い密着性を有するカラーフィルタ及びその
製造方法を提供することを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such problems, and it is an object of the present invention to provide a color filter having a smooth upper surface, having no pinholes, being transparent and having high adhesion, and a method of manufacturing the same. And
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明はかかる課題を解
決するため、請求項1記載の発明においては基板と、該
基板上に形成されたオーバーコート層間に色素層及び遮
光層が規則的に配列されたカラーフィルタにおいて、該
色素層は無機顔料からなり、該遮光層は無機顔料と低融
点ガラスからなり、該オーバーコート層は低融点ガラス
からなるものであって、該遮光層及びオーバーコート層
の低融点ガラスにはPbO50〜65重量%、SiO2
25〜35重量%を含有することを特徴とするカラーフ
ィルタとしたものである。According to the present invention, a dye layer and a light-shielding layer are regularly arranged between a substrate and an overcoat layer formed on the substrate. In the arranged color filters, the dye layer is made of an inorganic pigment, the light-shielding layer is made of an inorganic pigment and a low-melting glass, and the overcoat layer is made of a low-melting glass. PbO50~65 wt% in the low-melting glass layer, SiO 2
A color filter characterized by containing 25 to 35% by weight.
【0012】また請求項2記載の発明においては、前記
遮光層中の低融点ガラスの割合が無機顔料100重量部
に対して、30〜400重量部であることを特徴とする
請求項1記載のカラーフィルタとしたものである。In the invention according to the second aspect, the ratio of the low melting point glass in the light shielding layer is 30 to 400 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic pigment. This is a color filter.
【0013】また請求項3記載の発明においては、請求
項1又は2に記載のカラーフィルタの製造方法におい
て、遮光層及び色素層を透明基板上にパターン形成した
後、焼成を行い、次いで該基板全面を覆うようにオーバ
ーコート層をパターン形成した後、再び焼成して、該基
板上に遮光層、色素層及びオーバーコート層を構成する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法としたもの
である。According to a third aspect of the present invention, in the method for manufacturing a color filter according to the first or second aspect, after the light-shielding layer and the dye layer are patterned on the transparent substrate, baking is performed, and then the substrate is fired. After forming a pattern of an overcoat layer so as to cover the entire surface, it is baked again to form a light-shielding layer, a dye layer, and an overcoat layer on the substrate. .
【0014】また請求項4記載の発明においては、請求
項1又は2に記載のカラーフィルタの製造方法におい
て、遮光層、色素層及びオーバーコート層を透明基板上
に順次パターン形成した後、一括して焼成を行い、該基
板上に遮光層、色素層及びオーバーコート層を構成する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法としたもの
である。According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a color filter according to the first or second aspect, after the light-shielding layer, the dye layer, and the overcoat layer are sequentially patterned on the transparent substrate, they are collectively formed. And baking to form a light-shielding layer, a dye layer, and an overcoat layer on the substrate.
【0015】本発明のカラーフィルタによれば、オーバ
ーコート層のみならず遮光層にも低融点ガラスを含有さ
せているため、フィルタ層のガラス基板への密着力が高
くなる。また、オーバーコート層に含有する低融点ガラ
スのPbOとSiO2を規定したことによって、ピンホ
ールの発生や分光透過率の低下を抑え、電極配線工程で
の対薬品性を向上させることができる。According to the color filter of the present invention, since the low melting point glass is contained not only in the overcoat layer but also in the light shielding layer, the adhesion of the filter layer to the glass substrate is increased. Further, by defining PbO and SiO 2 of the low-melting glass contained in the overcoat layer, generation of pinholes and reduction in spectral transmittance can be suppressed, and chemical resistance in the electrode wiring step can be improved.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下に、本発明を詳説する。本発
明のカラーフィルタは図1に示されるように、基板10
と所定位置にパターニングされて規則的に配置された色
素層11及び遮光層12と、これを覆うオーバーコート
層13を具備する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail. As shown in FIG. 1, the color filter of the present invention has a substrate 10
And a dye layer 11 and a light-shielding layer 12 which are patterned at predetermined positions and arranged regularly, and an overcoat layer 13 which covers them.
【0017】基板は透明性が高く、耐熱性や耐候性とい
った諸特性に優れた任意のものが使用でき、通常カラー
フィルタに使用されているソーダライムガラス、ホウケ
イ酸ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス等の耐熱性無アル
カリ板ガラスなどを用いることができる。As the substrate, any substrate having high transparency and excellent properties such as heat resistance and weather resistance can be used. Examples of the substrate include soda lime glass, borosilicate glass, and aluminosilicate glass which are usually used for color filters. A heat-resistant non-alkali plate glass or the like can be used.
【0018】基板上の所定の位置に規則的に形成される
遮光層12は光を隠蔽するための無機顔料とPbO−S
iO2を基本組成とした低融点ガラスで構成される。The light-shielding layer 12, which is regularly formed at a predetermined position on the substrate, comprises an inorganic pigment for shielding light and PbO-S
It is composed of low melting point glass having iO 2 as a basic composition.
【0019】無機顔料としては、例えばCu−Cr−M
n、Cu−Fe−Mn、Co−Fe−Cr−Mn、Co
−Ni−Fe−Mnを上げられるが、赤色顔料のFe2
O3、緑色顔料のTiO2−CoO−NiO−ZnO、C
oO−CrO−TiO2−Al 2O3、青色顔料のCoO
−Al2、CoO−CrO、CoO−Al2O3等のカラ
ー顔料を適宜混合して用いることができる。無機顔料の
粒径は0.03〜0.1μmである。As the inorganic pigment, for example, Cu-Cr-M
n, Cu-Fe-Mn, Co-Fe-Cr-Mn, Co
-Ni-Fe-Mn, but the red pigment FeTwo
OThree, Green pigment TiOTwo—CoO—NiO—ZnO, C
oO-CrO-TiOTwo-Al TwoOThree, Blue pigment CoO
-AlTwo, CoO-CrO, CoO-AlTwoOThreeEtc.
-Pigments can be appropriately mixed and used. Of inorganic pigments
The particle size is between 0.03 and 0.1 μm.
【0020】低融点ガラスとしては、その成分がPbO
50〜65重量%、SiO225〜35重量%を基本構
成として含有しているものを用いる。PbO50重量%
以下であるとガラスの軟化点が高くなり、高い焼成温度
工程が必要となる。このため用いる基板によっては歪み
や変形が生じてしまい、選定できる基板に制約を受けて
しまう事や耐熱性の低い色素層は変色を生じてしまう。
また、PbO65重量%以上ではガラス化が困難になる
為、失透し易くなってしまう。一方、SiO225重量
%以下では強度や耐酸性は低下する傾向にあり、特に電
極配線のエッチング工程で耐薬品性の低下や剥離が生じ
やすくなる。また、SiO235重量%以上ではガラス
の軟化点が高くなり、失透やピンホールが残り易くなる
為である。The low melting glass is composed of PbO
50-65 wt%, used those containing SiO 2 25 to 35 wt% as a basic configuration. PbO 50% by weight
Below this, the softening point of the glass increases and a high firing temperature step is required. For this reason, distortion or deformation occurs depending on the substrate to be used, and the selectable substrate is restricted, and the dye layer having low heat resistance causes discoloration.
On the other hand, if PbO is 65% by weight or more, vitrification becomes difficult, so that devitrification tends to occur. On the other hand, if the SiO 2 content is 25% by weight or less, the strength and the acid resistance tend to decrease, and in particular, the chemical resistance tends to decrease and peeling tends to occur in the electrode wiring etching step. On the other hand, if the SiO 2 content is 35% by weight or more, the softening point of the glass becomes high, and devitrification and pinholes tend to remain.
【0021】こうした、PbOとSiO2の基本成分の
他にBaO、ZnO、B2O3、Na2O、K2O或いはF
2を加えた組成で、低融点ガラスを溶融粉砕して作るガ
ラスフリットの軟化点、熱膨張係数を適宜コントロール
して用いることができる。尚、ガラスフリットと基板の
熱膨張係数の差は、±5×10-7/℃以内にすることが
望ましい。In addition to the basic components of PbO and SiO 2 , BaO, ZnO, B 2 O 3 , Na 2 O, K 2 O or F
With the composition to which 2 is added, the softening point and the coefficient of thermal expansion of the glass frit formed by melting and pulverizing the low melting point glass can be appropriately used. The difference between the thermal expansion coefficient of the glass frit and that of the substrate is preferably within ± 5 × 10 −7 / ° C.
【0022】また、遮光層中の低融点ガラスの割合は無
機顔料に対して、30〜400重量部の範囲で構成して
いることが好ましい。30重量部より少ないと遮光層の
密着力が得られなくなる傾向があり、有機成分除去のた
めの焼成や電極配線のためのエッチングといった後工程
で、剥離を生じてしまう。一方、400重量部より多い
と隠蔽力が低下してしまい所望の光学濃度を得られなく
なる為である。The ratio of the low melting point glass in the light shielding layer is preferably in the range of 30 to 400 parts by weight based on the weight of the inorganic pigment. If the amount is less than 30 parts by weight, the adhesion of the light-shielding layer tends not to be obtained, and peeling will occur in a post-process such as baking for removing organic components or etching for electrode wiring. On the other hand, if the amount is more than 400 parts by weight, the hiding power is reduced, and a desired optical density cannot be obtained.
【0023】色素層11には遮光層に用いる無機顔料で
示したものをそれぞれの色に応じて好適にが用いること
ができ、複数種混合し色味の調整も適宜可能である。As the dye layer 11, those indicated by the inorganic pigments used for the light-shielding layer can be suitably used in accordance with the respective colors, and a plurality of kinds can be mixed to adjust the color.
【0024】基板上にストライプ又はマトリックスなど
規則的な遮光層をパターン形成するためには、無機顔
料、粒径10μm以下の低融点ガラスフリット、バイン
ダー樹脂、溶剤から構成される遮光層ペーストを用い
て、印刷法、フォトリソグラフィー法等によって行うこ
とができる。色素層は無機顔料、バインダー樹脂、溶剤
のみから構成される色素ペーストを用い、入色数に応じ
て遮光層と同様な方法で繰り返しパターン形成を行う。In order to form a regular light-shielding layer such as a stripe or a matrix on a substrate, a light-shielding layer paste composed of an inorganic pigment, a low-melting glass frit having a particle diameter of 10 μm or less, a binder resin, and a solvent is used. , A printing method, a photolithography method, or the like. For the dye layer, a dye paste composed of only an inorganic pigment, a binder resin, and a solvent is used, and a pattern is repeatedly formed by the same method as that for the light-shielding layer according to the number of colors.
【0025】印刷法の場合、無機顔料と低融点ガラスフ
リットを適当なバインダー樹脂に混練した遮光層ペース
トを所定の形状で開口したスクリーンメッシュを介して
押圧塗布し、パターン形成するスクリーン印刷法が挙げ
られる。この他、平版オフセット印刷法等各種印刷方式
で行うことが可能である。In the case of the printing method, there is a screen printing method in which a light-shielding layer paste obtained by kneading an inorganic pigment and a low-melting glass frit into an appropriate binder resin is pressed and applied through a screen mesh having a predetermined shape to form a pattern. Can be In addition, the printing can be performed by various printing methods such as a lithographic offset printing method.
【0026】また、フォトリソグラフィー法では無機顔
料、低融点ガラスフリットを適当な感光性樹脂に混練を
行い、得られた遮光層ペーストを基板上に塗布し、これ
を所定のマスクを用いて露光し、しかる後現像してパタ
ーニングできる。In the photolithography method, an inorganic pigment and a low-melting glass frit are kneaded in an appropriate photosensitive resin, the obtained light-shielding layer paste is applied on a substrate, and the paste is exposed using a predetermined mask. Thereafter, patterning can be performed by developing.
【0027】遮光層及び色素層が形成された基板上にオ
ーバーコート層を形成するために、粒径10μm以下の
低融点ガラスフリット、バインダー樹脂、溶剤から構成
されるオーバーコートペーストを用いてスクリーン印刷
法やディップコートディング法、スピンコーティング法
により塗布することができる。In order to form an overcoat layer on a substrate on which a light-shielding layer and a dye layer are formed, screen printing is performed using an overcoat paste composed of a low-melting glass frit having a particle size of 10 μm or less, a binder resin, and a solvent. It can be applied by a method, dip coating or spin coating.
【0028】遮光層、色素層及びオーバーコート層に用
いられるバインダー樹脂としては焼成により有機物を除
去できる組成であることが重要である。特に、酸素導入
量の限られた雰囲気中において分解することが必要で、
焼成後に炭素質等を残留させてはならない。従って、水
酸基の一部または全部が炭素数1〜3の炭化水素残基で
エーテル化されたセルロース化合物やエチレン性不飽和
二重結合を少なくとも1個含有する付加重合可能な光重
合性組成物(エチレン性化合物)と、紫外線又は可視光
を吸収する増感剤、増感色素からなる光重合開始剤を含
有するものが使用される。It is important that the binder resin used in the light-shielding layer, the dye layer and the overcoat layer has a composition capable of removing organic substances by firing. In particular, it is necessary to decompose in an atmosphere with a limited amount of oxygen introduced,
No carbonaceous matter should be left after firing. Accordingly, a part or all of the hydroxyl groups are etherified with a hydrocarbon residue having 1 to 3 carbon atoms, or an addition-polymerizable photopolymerizable composition containing at least one ethylenically unsaturated double bond ( An ethylenic compound), a sensitizer that absorbs ultraviolet light or visible light, and a photopolymerization initiator composed of a sensitizing dye are used.
【0029】エチレン性化合物としては、アクリロイル
基またはメタアクリロイル基を含有する紫外線硬化性化
合物として知られるジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アク
リレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレー
トなどの(メタ)アクリレート系エチレン性化合物が挙
げられる。また、N−ビニルピロリドンも使用し得る。Examples of the ethylenic compound include dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, and ethylene glycol di (meth) acrylate which are known as ultraviolet curable compounds containing an acryloyl group or a methacryloyl group. And (meth) acrylate-based ethylenic compounds such as tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate. Also, N-vinylpyrrolidone can be used.
【0030】なおバインダー樹脂としては光硬化による
架橋密度を上げパターン解像性を良くする目的で、アク
リル酸アルキル、ポリアクリル酸アルキル、又はメタク
リル酸アルキル、ポリメタクリル酸アルキル又はその各
種共重合体アクリル系共重合体等を適宜選択して使用す
ることもできる。As the binder resin, alkyl acrylate, polyalkyl acrylate, or alkyl methacrylate, polyalkyl methacrylate, or various copolymer acrylics thereof are used for the purpose of increasing the crosslink density by photocuring and improving the pattern resolution. A system copolymer or the like can be appropriately selected and used.
【0031】溶剤としては不活性液体の有機溶媒が使用
でき、沸点は100〜350℃の範囲であることが好ま
しい。このため適当な溶媒としてはメチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンのよう
なケトン類、α又はβテルピネオールのようなテルペ
ン、又はケロセン、ジブチルフタレート、ブチルカルビ
トール、ブチルカルビトールアセテート、ヘキサメチエ
ン、グリコール、及び高沸点のアルコール及びアルコー
ルエステルのような他の溶媒との混合物である。これら
の溶剤は、各種塗工方式について所望の粘度及び揮発性
要件を得るために適宜選択して使用する。An inert liquid organic solvent can be used as the solvent, and the boiling point is preferably in the range of 100 to 350 ° C. Thus, suitable solvents include methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ketones such as cyclohexanone, terpenes such as α or β terpineol, or kerosene, dibutyl phthalate, butyl carbitol, butyl carbitol acetate, hexamethienene, glycol, and Mixtures with other solvents such as boiling alcohols and alcohol esters. These solvents are appropriately selected and used in order to obtain desired viscosity and volatility requirements for various coating methods.
【0032】遮光層ペースト、オーバーコートペースト
に用いる低融点ガラスフリットは粒径10μm以下であ
ることが好ましい。10μm以上になると遮光層ペース
トにおいてはパターン解像性が低下する傾向になり、オ
ーバーコートペーストにおいては焼成工程による軟化を
行っても表面平滑性が得られ難く、ピンホールなどの発
生を招き易くなる為である。The low melting point glass frit used for the light shielding layer paste and the overcoat paste preferably has a particle size of 10 μm or less. When the thickness is 10 μm or more, the pattern resolution tends to decrease in the light-shielding layer paste, and it is difficult to obtain surface smoothness even if softening is performed in the baking step in the overcoat paste, and pinholes and the like easily occur. That's why.
【0033】以上のようにして遮光層及び色素層のパタ
ーン形成後とオーバーコート層の形成後に、それぞれ焼
成して有機成分の除去と低融点ガラスフリットの軟化を
行う。或いは遮光層、色素層及びオーバーコート層をパ
ターン形成した後、焼成して有機成分の除去と低融点ガ
ラスフリットの軟化を行う。After the patterning of the light-shielding layer and the dye layer and the formation of the overcoat layer as described above, baking is performed to remove organic components and soften the low-melting glass frit. Alternatively, after patterning the light-shielding layer, the dye layer, and the overcoat layer, baking is performed to remove organic components and soften the low-melting glass frit.
【0034】[0034]
【実施例】<実施例1>はじめに低融点ガラスフリット
を以下の手順で作製した。ガラス原料としてPbO62
重量%、SiO228重量%、B2O35重量%、Na2O
2.5重量%、F22.5重量%の比率でルツボを用
い、1300℃で泡がなくなるまで溶融を行った。こう
して溶融が終了した後、純水中への投入を行いガラス粉
末を得た。更にミル添加剤を加え、水と混合してボール
ミルで粉砕を行った。こうして粒径3〜7μmの粒度分
布を有し軟化点560℃、熱膨張係数61×10-7/℃
の低融点ガラスフリットを作製した。<Example 1> First, a low-melting glass frit was produced in the following procedure. PbO62 as glass material
Wt%, SiO 2 28 wt%, B 2 O 3 5 wt%, Na 2 O
Using a crucible in a ratio of 2.5% by weight and 2.5% by weight of F 2 , melting was carried out at 1300 ° C. until bubbles disappeared. After the melting was completed, the mixture was put into pure water to obtain a glass powder. Further, a mill additive was added, mixed with water, and pulverized by a ball mill. Thus, it has a particle size distribution of 3 to 7 μm, a softening point of 560 ° C., and a thermal expansion coefficient of 61 × 10 −7 / ° C.
Was prepared.
【0035】次に、黒色顔料として大日精化製「TMカ
ラー#3480」100重量部と上記の低融点ガラスフ
リット100重量部をバインダー樹脂としてエチルセル
ロース(関東化学製)5重量部、溶剤としてα−テルピ
ネオール(関東化学製)40重量部を混合してビーズミ
ル分散した遮光層ペーストを調整した。Next, 100 parts by weight of "TM Color # 3480" manufactured by Dainichi Seika as a black pigment and 100 parts by weight of the above-mentioned low melting point glass frit were used as a binder resin in 5 parts by weight of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Kagaku) and α-solvent as a solvent. Terpineol (manufactured by Kanto Chemical Co.) was mixed with 40 parts by weight to prepare a light-shielding layer paste dispersed in a bead mill.
【0036】この遮光層ペーストをストライプ状に開口
したポリエステル300メッシュのスクリーン版を用い
て印刷を行い、ソーダライムガラス基板10上(熱膨張
係数75×10-7/℃)に線幅150μm、ピッチ22
0μm、膜厚8μmの遮光層(ブラックストライプ)パ
ターン12を印刷形成した。This light-shielding layer paste was printed using a screen stencil of polyester 300 mesh having stripe openings, and a line width of 150 μm and a pitch of 150 μm on a soda-lime glass substrate 10 (coefficient of thermal expansion: 75 × 10 −7 / ° C.). 22
A light-shielding layer (black stripe) pattern 12 having a thickness of 0 μm and a thickness of 8 μm was formed by printing.
【0037】次に、青色含顔料としてアサヒ化成製「ア
サヒス−パーブルーCR」100重量部をバインダー樹
脂としてエチルセルロース(関東化学製)5重量部、溶
剤としてα−テルピネオール(関東化学製)40重量部
を混合しビーズミル分散した青色ペーストを調整した。Next, 100 parts by weight of Asahi Kasei's “Asahi-Per Blue CR” as a pigment containing blue, 5 parts by weight of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Chemical) as a binder resin, and 40 parts by weight of α-terpineol (manufactured by Kanto Chemical) as a solvent are used. A blue paste mixed and dispersed in a bead mill was prepared.
【0038】この青色ペーストをストライプ状に開口し
たポリエステル300メッシュのスクリーン版を用いて
印刷を行い、ブラックストライプの所定の開口部に線幅
250μ、ピッチ660μm、膜厚10μmの青色スト
ライプパターン11Bを印刷形成した。This blue paste is printed using a polyester 300 mesh screen stencil having a stripe opening, and a blue stripe pattern 11B having a line width of 250 μm, a pitch of 660 μm, and a film thickness of 10 μm is printed in a predetermined opening of the black stripe. Formed.
【0039】以下同様に、緑色顔料として大日精化製
「TMカラー #3330」を用い、また赤色顔料とし
て大日精化製「トランスオキサイドレッド」を用いて何
れも同じ配合組成比でペースト化し、スクリーン版の位
置合わせを行って、所定の位置に緑色のストライプパタ
ーン11Gと赤色のストライプパターン11Rを印刷し
た。共に線幅250μm、膜厚10μmであった。Similarly, using TM Color # 3330 (manufactured by Dainichi Seika) as a green pigment and Transoxide Red (manufactured by Dainichi Seika) as a red pigment, all were made into pastes at the same composition ratio and screened. The alignment of the plate was performed, and a green stripe pattern 11G and a red stripe pattern 11R were printed at predetermined positions. Both had a line width of 250 μm and a film thickness of 10 μm.
【0040】この後、大気中420℃で60分間と60
0℃で30分の連続した工程で焼成し、遮光層12及び
色素層11中の有機成分であるα−テルピネオール及び
エチルセルロースを蒸発且つ燃焼させて除去し、更に遮
光層12中の低融点ガラスフリットの軟化を行った。こ
うして、無機顔料と低融点ガラスからからなる遮光層1
2と、青、緑、赤の各色無機顔料からなる色素層11
B、11G、11Rをガラス基板10上に形成した。After that, at 420 ° C. for 60 minutes and 60
It is baked in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes to remove α-terpineol and ethyl cellulose, which are organic components, in the light-shielding layer 12 and the dye layer 11 by evaporation and burning, and further, the low-melting glass frit in the light-shielding layer 12. Was softened. Thus, the light shielding layer 1 made of the inorganic pigment and the low melting point glass
2, and a pigment layer 11 composed of an inorganic pigment of each color of blue, green, and red
B, 11G, and 11R were formed on the glass substrate 10.
【0041】また、同様に上記の低融点ガラスフリット
100重量部をエチルセルロース(関東化学製)2.5
重量部、2−(2−エトキシエトキシ)エタノール20
重量部に加え、これを3本ロールミルで分散したオーバ
ーコートペーストを調整した。Similarly, 100 parts by weight of the above-mentioned low melting glass frit were mixed with 2.5 parts of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Chemical).
Parts by weight, 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol 20
In addition to the above parts by weight, an overcoat paste was prepared by dispersing the mixture in a three-roll mill.
【0042】この後、所定の位置にストライプパターン
の遮光層12と青、緑、赤色ストライプパターンの色素
層11が形成されたガラス基板10上に、このオーバー
コートペーストをポリエステル300メッシュのスクリ
ーン版を用いて、パターン全域を含むようにベタで塗布
した。塗布膜厚は20μmであった。Thereafter, the overcoat paste is applied to a screen plate of polyester 300 mesh on a glass substrate 10 on which a light-shielding layer 12 of a stripe pattern and a dye layer 11 of a blue, green and red stripe pattern are formed at predetermined positions. The solid was applied so as to cover the entire area of the pattern. The applied film thickness was 20 μm.
【0043】次いで、大気中420℃で60分と600
℃で30分間の連続した工程で焼成し、オーバーコート
ペースト中の有機成分であるエチルセルロース及び2−
2(2−エトキシエトキシ)エタノールを蒸発かつ燃焼
させて除去し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、
ガラス基板10上に遮光層12と青、緑、赤色の色素層
11B、11G、11Rとオーバーコート層13が順次
積層した構造のカラーフィルタを製造した(図1)。Then, at 420 ° C. for 60 minutes and 600
Baked in a continuous process at 30 ° C. for 30 minutes.
2 (2-ethoxyethoxy) ethanol is removed by evaporation and burning, and the low melting glass frit is further softened;
A color filter having a structure in which a light-shielding layer 12, blue, green, and red dye layers 11B, 11G, and 11R and an overcoat layer 13 were sequentially laminated on a glass substrate 10 was manufactured (FIG. 1).
【0044】以上の工程により、基板と遮光層とオーバ
ーコート層とが相互にシーリングされ且つ上面平滑なカ
ラーフィルタが製造された。このカラーフィルタの表面
凹凸は、1μm以内の平坦性に優れるものであった。さ
らにパネル工程へと進み、カラーフィルタ基板上面には
ITO(Indium Tin Oxde)をスパッタ
法によって成膜し、任意のレジストパターンをマスクと
して塩化第二鉄と塩酸を混合したエッチング液で透明電
極を配線した。Through the above steps, the substrate, the light-shielding layer, and the overcoat layer were sealed with each other, and a color filter having a smooth upper surface was manufactured. The surface unevenness of this color filter was excellent in flatness within 1 μm. Further proceeding to a panel process, a film of ITO (Indium Tin Oxde) is formed on the upper surface of the color filter substrate by a sputtering method, and a transparent electrode is wired with an etching solution in which ferric chloride and hydrochloric acid are mixed using an arbitrary resist pattern as a mask. did.
【0045】こうして得られたカラーフィルタ基板は配
線電極にピンホールや断線などの欠陥がなくまた、色素
層の剥離、変色、クラックなどの問題のない良好なカラ
ーフィルタ基板を得ることができた。このカラーフィル
タの分光透過率の測定結果は図2の通りである。The color filter substrate thus obtained was free from defects such as pinholes and disconnections in the wiring electrodes, and a good color filter substrate free from problems such as peeling, discoloration and cracking of the dye layer was obtained. FIG. 2 shows the measurement results of the spectral transmittance of the color filter.
【0046】<実施例2>次の感光性樹脂組成物を以下
の手順で合成した。メタクリル酸40重量部、メチルメ
タクリレート40重量部、2−ヒドロキシエチルメタク
リレート20重量部を混合してジエチレングリコールモ
ノエチルエーテルを溶媒にして、常法に従って共重合を
行った。固形分比は40%とした。Example 2 The following photosensitive resin composition was synthesized by the following procedure. 40 parts by weight of methacrylic acid, 40 parts by weight of methyl methacrylate, and 20 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate were mixed, and copolymerization was performed according to a conventional method using diethylene glycol monoethyl ether as a solvent. The solid content ratio was 40%.
【0047】上記共重合体をバインダー樹脂とし、固形
分100重量部に対し、黒色顔料として大日精化製「T
Mカラー#3480」500重量部、実施例1で作製し
た低融点ガラスフリット300重量部、光重合性組成物
としてテトラエチレングリコールジアクリレート(東亜
合成製:2官能アクリルモノマーM240)80重量
部、光重合開始剤(東京化成製:2,2−ジメトキシ−
2−フェニルアセトフェノン)30重量部の比率で混合
し、遮光層用のペーストを得た。The above copolymer was used as a binder resin, and 100 parts by weight of solids was used as a black pigment “T
500 parts by weight of M color # 3480, 300 parts by weight of the low melting glass frit prepared in Example 1, 80 parts by weight of tetraethylene glycol diacrylate (Toa Gosei: bifunctional acrylic monomer M240) as a photopolymerizable composition, light Polymerization initiator (Tokyo Kasei: 2,2-dimethoxy-
(2-phenylacetophenone) was mixed at a ratio of 30 parts by weight to obtain a paste for a light-shielding layer.
【0048】上記感光性ペーストをポリエステル300
メッシュのスクリーン版を用いてソーダライムガラス基
板10(熱膨張係数75×10-7/℃)上へ全面にベタ
で塗布し乾燥を行い、ストライプパターンのクロム蒸着
石英マスクを介して紫外線露光し、0.1%Na2CO3
水溶液で遮光領域を現像除去し、線幅150μm、ピッ
チ220μm、膜厚8μmの遮光層(ブラックストライ
プ)パターン12を印刷形成した。The above photosensitive paste was converted to polyester 300
A soda lime glass substrate 10 (coefficient of thermal expansion: 75 × 10 −7 / ° C.) is solid-coated over the entire surface using a mesh screen plate, dried, and exposed to ultraviolet light through a chromium-deposited quartz mask having a stripe pattern. 0.1% Na 2 CO 3
The light-shielding region was developed and removed with an aqueous solution, and a light-shielding layer (black stripe) pattern 12 having a line width of 150 μm, a pitch of 220 μm, and a film thickness of 8 μm was formed by printing.
【0049】続いて、低融点ガラスフリットを配合せず
に黒色顔料の代わりに青色顔料としてアサヒ化成製「ア
サヒス−パーブルーCR」を、また緑色顔料として大日
精化製「TMカラー #3330」を、また赤色顔料と
して大日精化製「トランスオキサイドレッド」を用いた
こと以外は全て前記遮光層と同じ条件で青、緑、赤色の
感光性ペーストをそれぞれ作製した。Subsequently, "Asahi-Per Blue CR" manufactured by Asahi Kasei as a blue pigment and "TM Color # 3330" manufactured by Dainichi Seika as a green pigment were used instead of a black pigment without blending a low melting point glass frit. Except for using "Transoxide Red" manufactured by Dainichi Seika as the red pigment, blue, green, and red photosensitive pastes were respectively prepared under the same conditions as those of the light-shielding layer.
【0050】こうして得た各色ペーストをポリエステル
300メッシュのスクリーン版を用いてストライプ状の
遮光パターンが形成されたガラス基板10上へ全面にベ
タで塗布し乾燥を行い、クロム蒸着石英マスクの位置あ
わせを行って紫外線露光・現像を繰り返し行い、青色の
ストライプパターン11B、緑色のストライプパターン
11G、赤色のストライプパターン11Rをそれぞれ形
成した。The pastes of the respective colors thus obtained are applied to the entire surface of the glass substrate 10 on which a stripe-shaped light-shielding pattern is formed by using a screen plate of polyester 300 mesh and dried, and the chrome-deposited quartz mask is aligned. The exposure and development were repeated to form a blue stripe pattern 11B, a green stripe pattern 11G, and a red stripe pattern 11R.
【0051】また、実施例1で用いたオーバーコートペ
ーストを実施例1と同様の方法でパターン全域を含むよ
うにベタで塗布しオーバーコート層を形成した。この
後、大気中420℃で60分間と600℃で30分間の
連続した工程で焼成し、色素層とオーバーコート層中の
有機成分を蒸発かつ燃焼させて除去し、更に低融点ガラ
スフリットを軟化させ、ガラス基板10上に遮光層12
と青、緑、赤色の色素層11とオーバーコート層13と
が順次積層した構造のカラーフィルタを製造した(図
1)。The overcoat paste used in Example 1 was applied in a solid manner so as to cover the entire pattern in the same manner as in Example 1 to form an overcoat layer. Thereafter, firing is performed in a continuous process at 420 ° C. for 60 minutes and at 600 ° C. for 30 minutes in the air to remove organic components in the dye layer and the overcoat layer by evaporation and burning, and further softens the low melting glass frit. To form a light shielding layer 12 on the glass substrate 10.
A color filter having a structure in which a blue, green, and red dye layer 11 and an overcoat layer 13 were sequentially laminated was manufactured (FIG. 1).
【0052】以上の工程により、基板と遮光層とオーバ
ーコート層とが相互にシーリングされ且つ表面凹凸が、
1μm以内の平坦性に優れたカラーフィルタが製造され
た。このカラーフィルタ基板上面にパネル化工程になる
透明電極を配線した結果、ピンホールや断線などの欠陥
がなくまた、色素層の剥離、変色、クラックなどの問題
のない良好なカラーフィルタ基板を得ることができた。By the above steps, the substrate, the light-shielding layer, and the overcoat layer are mutually sealed, and the surface irregularities are reduced.
A color filter having excellent flatness of 1 μm or less was manufactured. As a result of wiring a transparent electrode to be a paneling process on the upper surface of the color filter substrate, it is possible to obtain a good color filter substrate free from defects such as pinholes and disconnections and free from problems such as peeling, discoloration, and cracks of the dye layer. Was completed.
【0053】<実施例3>ガラス原料としてPbO55
重量%、SiO235重量%、B2O35重量%、Na2O
2.5重量%、F22.5重量%の比率で同様にルツボ
で溶融し、次いで冷却を行ってガラス粉末を得た後、ボ
ールミルで粉砕を行って平均粒径3〜7μmの低融点ガ
ラスフリットを得た。こうして作製したガラスフリット
の軟化点は620℃、熱膨張係数は53×10-7/℃で
あった。<Example 3> PbO55 as a glass raw material
Wt%, SiO 2 35 wt%, B 2 O 3 5 wt%, Na 2 O
Similarly, the mixture was melted in a crucible at a ratio of 2.5% by weight and 2.5% by weight of F 2 , then cooled to obtain a glass powder, and then pulverized by a ball mill to obtain a low melting point having an average particle size of 3 to 7 μm. A glass frit was obtained. The glass frit thus produced had a softening point of 620 ° C. and a coefficient of thermal expansion of 53 × 10 −7 / ° C.
【0054】次に実施例1と同様な手法で黒色の顔料と
上記低融点ガラスフリット、エチルセルロース、α−テ
ルピネオールをビーズミル分散して遮光層ペーストを調
整した。Next, in the same manner as in Example 1, a black pigment, the low melting glass frit, ethyl cellulose, and α-terpineol were dispersed in a bead mill to prepare a light-shielding layer paste.
【0055】同様にストライプ状に開口したポリエステ
ル300メッシュのスクリーン版を用いて、低膨張無ア
ルカリガラス(日本電気硝子製:OA−2、熱膨張係数
48×10-7/℃)基板10上に線幅150μm、ピッ
チ220μm、膜厚8μmの遮光層(ブラックストライ
プ)パターン12を印刷形成した。Similarly, a low-expansion non-alkali glass (OA-2, manufactured by NEC Corporation, thermal expansion coefficient: 48 × 10 −7 / ° C.) substrate 10 was formed on a screen plate of polyester 300 mesh opened in a stripe shape. A light shielding layer (black stripe) pattern 12 having a line width of 150 μm, a pitch of 220 μm, and a film thickness of 8 μm was formed by printing.
【0056】続いて、低融点ガラスフリットを配合せず
に黒色顔料の代わりに青色顔料としてアサヒ化成製「ア
サヒス−パーブルーCR」を、また緑色顔料として大日
精化製「TMカラー #3330」を、また赤色顔料と
して大日精化製「トランスオキサイドレッド」を用いた
こと以外は全て遮光層と同じ条件で青、緑、赤色の各色
ストライプパターン11B、11G、11Rをそれぞれ
印刷紙形成した。Subsequently, "Asahi-Per Blue CR" manufactured by Asahi Kasei as a blue pigment and "TM Color # 3330" manufactured by Dainichi Seika as a green pigment were used instead of a black pigment without blending a low melting point glass frit. Except for using "Transoxide Red" manufactured by Dainichi Seika as the red pigment, blue, green, and red stripe patterns 11B, 11G, and 11R were formed on printing paper under the same conditions as the light-shielding layer.
【0057】また、上記の低融点ガラスフリット100
重量部をエチルセルロース(関東化学製)2.5重量
部、2−(2−エトキシエトキシ)エタノール20重量
部に加え、これを3本ロールミルで分散したオーバーコ
ートペーストを調整した。Further, the above-mentioned low melting point glass frit 100
The weight part was added to 2.5 parts by weight of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Kagaku) and 20 parts by weight of 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol, and this was dispersed in a three-roll mill to prepare an overcoat paste.
【0058】この後、遮光層12と青、緑、赤の色素層
11がパターン形成されたガラス基板10上にこのオー
バーコートペーストをポリエステル300メッシュのス
クリーン版を用いて、パターン全域を含むようにベタで
膜厚20μmを塗布した。Thereafter, this overcoat paste is applied to the glass substrate 10 on which the light-shielding layer 12 and the blue, green, and red pigment layers 11 are formed by patterning, using a polyester 300 mesh screen plate so as to cover the entire pattern. A film thickness of 20 μm was applied with a solid.
【0059】次いで、大気中420℃で60分間と64
0℃で30分間の連続した工程で焼成し、遮光層、色素
層とオーバーコート層の有機成分を、一括して蒸発かつ
燃焼させて除去し、更に低融点ガラスフリットを軟化さ
せた。こうしてガラス基板10上に遮光層12、青、
緑、赤色の色素層11とオーバーコート層13が順次積
層した構造のカラーフィルタを製造した(図1)。Next, at 420 ° C. in the atmosphere for 60 minutes and 64
It was baked in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes, and the organic components of the light-shielding layer, the dye layer and the overcoat layer were removed by evaporating and burning all together, and the low-melting glass frit was further softened. Thus, the light-shielding layer 12, blue,
A color filter having a structure in which green and red dye layers 11 and an overcoat layer 13 were sequentially laminated was manufactured (FIG. 1).
【0060】以上の工程により、基板10と遮光層12
とオーバーコート層13とが相互にシーリングされた密
着力の強い、上面平滑なカラーフィルタを製造した。こ
の表面凹凸を測定した結果1μm以内の平坦性に優れる
ものであった。また、ガラス基板10の熱膨張係数が4
8×10-7/℃で小さかったが、低融点ガラスフリット
との熱膨張係数差が5×10-7/℃でマッチングしてお
り、遮光層、各色色素層、オーバーコート層などのクラ
ックの発生といった問題は発生しておらず良好なカラー
フィルタ基板を製造することができた。Through the above steps, the substrate 10 and the light shielding layer 12
And the overcoat layer 13 were sealed to each other to produce a color filter having strong adhesion and a smooth upper surface. As a result of measuring the surface unevenness, the surface was excellent in flatness within 1 μm. The glass substrate 10 has a coefficient of thermal expansion of 4
Although it was small at 8 × 10 −7 / ° C., the thermal expansion coefficient difference with the low melting point glass frit was matched at 5 × 10 −7 / ° C., and cracks in the light-shielding layer, each color dye layer, overcoat layer, etc. No problem such as occurrence occurred, and a good color filter substrate could be manufactured.
【0061】<実施例4>ガラス原料としてPbO55
重量%、SiO235重量%、B2O35重量%、Na2O
2.5重量%、F22.5重量%の比率で平均粒径3〜
7μmの低融点ガラスフリット(軟化点620℃、熱膨
張係数53×10-7/℃)と実施例2で得られた共重合
体樹脂(メタクリル酸40/メチルメタクリレート40
/2−ヒドロキシエチルメタクリレート20)の固形分
100重量部に対し、黒色顔料を500重量部、上記低
融点ガラスフリット300重量部、光重合性組成物とし
てテトラエチレングリコールジアクリレート(東亜合成
製:2官能アクリルモノマーM240)80重量部、光
重合開始剤(東京化成製:2,2−ジメトキシ−2−フ
ェニルアセトフェノン)30重量部の比率で混合し、得
られた感光性ペーストをベタでOA−2ガラス基板10
上へ塗布し、露光、現像を行い遮光層(ブラックストラ
イプ)12を形成した。Example 4 PbO55 as a glass material
Wt%, SiO 2 35 wt%, B 2 O 3 5 wt%, Na 2 O
2.5% by weight, 2.5% by weight of F 2 at an average particle size of 3 to
7 μm low melting glass frit (softening point: 620 ° C., thermal expansion coefficient: 53 × 10 −7 / ° C.) and the copolymer resin obtained in Example 2 (methacrylic acid 40 / methyl methacrylate 40)
/ 100 weight parts of 2-hydroxyethyl methacrylate 20), 500 parts by weight of a black pigment, 300 parts by weight of the above low melting point glass frit, and tetraethylene glycol diacrylate (2, manufactured by Toa Gosei: 2) as a photopolymerizable composition. 80 parts by weight of a functional acrylic monomer M240) and 30 parts by weight of a photopolymerization initiator (manufactured by Tokyo Chemical Industry: 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone) were mixed, and the resulting photosensitive paste was solidly mixed with OA-2. Glass substrate 10
It was applied on the upper surface, exposed and developed to form a light-shielding layer (black stripe) 12.
【0062】続いて、低融点ガラスフリットを使わずに
黒色顔料の代わりに青色顔料としてアサヒ化成製「アサ
ヒス−パーブルーCR」を、また緑色顔料として大日精
化製「TMカラー #3330」を、また赤色顔料とし
て大日精化製「トランスオキサイドレッド」を用いたこ
と以外は遮光層と全て同じ条件で青、緑、赤色の感光性
ペーストをそれぞれ作製し、各色分ペースト塗布、露
光、現像を繰り返して青、緑、赤のストライプパターン
11B、11G、11Rを形成した。次いで上記の低融
点ガラスフリットを用いたオーバーコートペーストを用
いて、パターン全域を含むようにベタで塗布した。こう
してオーバーコート層まで形成した後に、大気中420
℃で60分間と640℃で30分間の連続した工程で焼
成し、遮光層、色素層とオーバーコート層の有機成分を
一括して蒸発かつ燃焼させて除去し、更に低融点ガラス
を溶融させ、ガラス基板10上に遮光層12と青、緑、
赤色の色素層11とオーバーコート層13とが順次積層
した構造のカラーフィルタを製造した(図1)。Then, instead of using a low melting point glass frit, instead of a black pigment, "Asahi-Per Blue CR" manufactured by Asahi Kasei as a blue pigment, "TM Color # 3330" manufactured by Dainichi Seika as a green pigment, Except for using `` Transoxide Red '' manufactured by Dainichi Seika as a red pigment, blue, green, and red photosensitive pastes were prepared under the same conditions as the light-shielding layer, and paste application, exposure, and development were repeated for each color. Blue, green, and red stripe patterns 11B, 11G, and 11R were formed. Next, using the above-mentioned overcoat paste using a low melting point glass frit, a solid coating was performed so as to cover the entire pattern. After forming up to the overcoat layer in this way, 420
Baked in a continuous process of 60 minutes at 60 ° C. and 30 minutes at 640 ° C., and the organic components of the light-shielding layer, the dye layer and the overcoat layer are removed by evaporating and burning at a time, and the low-melting glass is further melted. A light-shielding layer 12 and blue, green,
A color filter having a structure in which a red dye layer 11 and an overcoat layer 13 were sequentially laminated was manufactured (FIG. 1).
【0063】以上の工程により、基板と遮光層とオーバ
ーコート層とが相互にシーリングされ、上面平滑且つク
ラックや基板のそりのないカラーフィルタが製造され
た。このカラーフィルタ基板上面にパネル化工程になる
透明電極を配線した結果、ピンホールや断線などの欠陥
がなくまた、色素層の剥離、変色、クラックなどの問題
のない良好なカラーフィルタ基板を得ることができた。Through the above steps, the substrate, the light-shielding layer and the overcoat layer were mutually sealed, and a color filter having a smooth upper surface and free from cracks and warpage of the substrate was produced. As a result of wiring a transparent electrode to be a paneling process on the upper surface of the color filter substrate, it is possible to obtain a good color filter substrate free from defects such as pinholes and disconnections and free from problems such as peeling, discoloration, and cracks of the dye layer. Was completed.
【0064】<比較例1>ガラス原料としてPbO70
重量%、SiO220重量%、B2O35重量%、、Na2
O2.5重量%、F22.5重量%の比率で同様にルツ
ボで溶融し、次いで冷却を行ってガラス粉末を得た後、
ボールミルで粉砕を行って平均粒径3〜7μmの低融点
ガラスフリットを得た。こうして作製したガラスフリッ
トの軟化点は521℃、熱膨張係数は68×10-7/℃
であった。Comparative Example 1 PbO70 was used as a glass raw material.
Wt%, SiO 2 20 wt%, B 2 O 3 5 wt% ,, Na 2
Similarly, the mixture was melted in a crucible at a ratio of 2.5% by weight of O and 2.5% by weight of F 2 and then cooled to obtain a glass powder.
Pulverization was performed with a ball mill to obtain a low-melting glass frit having an average particle size of 3 to 7 μm. The glass frit thus produced has a softening point of 521 ° C. and a coefficient of thermal expansion of 68 × 10 −7 / ° C.
Met.
【0065】このガラスフリット100重量部、黒色顔
料として実施例1で用いた大日精化製「TMカラー#3
480」100重量部をバインダー樹脂としてエチルセ
ルロース(関東化学製)5重量部、溶剤としてα−テル
ピネオール(関東化学製)40重量部を混合してビーズ
ミル分散した遮光層ペーストを調整した。100 parts by weight of this glass frit, “TM Color # 3” manufactured by Dainichi Seika used in Example 1 as a black pigment
480 "(100 parts by weight) as a binder resin was mixed with 5 parts by weight of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Kagaku) and 40 parts by weight of α-terpineol (manufactured by Kanto Kagaku) as a solvent to prepare a light-shielding layer paste dispersed in a bead mill.
【0066】この遮光層ペーストをストライプ状に開口
したポリエステル300メッシュのスクリーン版を用い
て印刷を行い、ソーダライムガラス基板10上(熱膨張
係数75×10-7/℃)に線幅150μm、ピッチ22
0μm、膜厚8μmの遮光層(ブラックストライプ)パ
ターン12を印刷形成した。This light-shielding layer paste was printed on a screen plate of polyester 300 mesh having stripe openings, and a 150 μm line width and a pitch of 150 μm were formed on a soda lime glass substrate 10 (coefficient of thermal expansion: 75 × 10 −7 / ° C.). 22
A light-shielding layer (black stripe) pattern 12 having a thickness of 0 μm and a thickness of 8 μm was formed by printing.
【0067】次に、青色含顔料としてアサヒ化成製「ア
サヒス−パーブルーCR」100重量部をバインダー樹
脂としてエチルセルロース(関東化学製)5重量部、溶
剤としてα−テルピネオール(関東化学製)40重量部
を混合しビーズミル分散した青色ペーストを調整した。Next, 100 parts by weight of Asahi Kasei's "Asahi-Per Blue CR" as a pigment containing blue, 5 parts by weight of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Kagaku) as a binder resin, and 40 parts by weight of α-terpineol (manufactured by Kanto Kagaku) as a solvent. A blue paste mixed and dispersed in a bead mill was prepared.
【0068】この青色ペーストをストライプ状に開口し
たポリエステル300メッシュのスクリーン版を用いて
印刷を行い、ブラックストライプの所定の開口部に線幅
250μ、ピッチ660μm、膜厚10μmの青色スト
ライプパターン11Bを印刷形成した。The blue paste is printed using a screen mesh of polyester 300 mesh having stripe openings, and a blue stripe pattern 11B having a line width of 250 μm, a pitch of 660 μm, and a film thickness of 10 μm is printed in a predetermined opening of the black stripe. Formed.
【0069】以下同様に、緑色顔料として大日精化製
「TMカラー #3330」を用い、また赤色顔料とし
て大日精化製「トランスオキサイドレッド」を用いて何
れも同じ配合組成比でペースト化し、スクリーン版の位
置合わせを行って、所定の位置に緑色のストライプパタ
ーン11Gと赤色のストライプパターン11Rを印刷し
た。共に線幅250μm、膜厚10μmであった。Similarly, using TM Color # 3330 manufactured by Dainichi Seika as a green pigment, and Transoxide Red manufactured by Dainichi Seika as a red pigment, all were made into pastes at the same blending composition ratio and screened. The alignment of the plate was performed, and a green stripe pattern 11G and a red stripe pattern 11R were printed at predetermined positions. Both had a line width of 250 μm and a film thickness of 10 μm.
【0070】この後、大気中420℃で60分間と60
0℃で30分の連続した工程で焼成し、遮光層12及び
色素層11中の有機成分であるα−テルピネオール及び
エチルセルロースを蒸発且つ燃焼させて除去し、更に遮
光層12中の低融点ガラスフリットの軟化を行った。こ
うして、無機顔料と低融点ガラスからからなる遮光層1
2と、青、緑、赤の各色無機顔料からなる色素層11
B、11G、11Rをガラス基板10上に形成した。After that, at 420 ° C. for 60 minutes and 60
It is baked in a continuous process at 0 ° C. for 30 minutes to remove α-terpineol and ethyl cellulose, which are organic components, in the light-shielding layer 12 and the dye layer 11 by evaporation and burning, and further, the low-melting glass frit in the light-shielding layer 12. Was softened. Thus, the light shielding layer 1 made of the inorganic pigment and the low melting point glass
2, and a pigment layer 11 composed of an inorganic pigment of each color of blue, green, and red
B, 11G, and 11R were formed on the glass substrate 10.
【0071】また、同様に上記の低融点ガラスフリット
100重量部をエチルセルロース(関東化学製)2.5
重量部、2−(2−エトキシエトキシ)エタノール20
重量部に加え、これを3本ロールミルで分散したオーバ
ーコートペーストを調整し、遮光層12と青、緑、赤色
の色素層11がストライプ状にパターン形成されたガラ
ス基板10上に、このオーバーコートペーストをポリエ
ステル300メッシュのスクリーン版を用いて、パター
ン全域を含むようにベタで塗布した。塗布膜厚は20μ
mであった。Similarly, 100 parts by weight of the above-mentioned low-melting glass frit was mixed with 2.5 parts of ethyl cellulose (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.).
Parts by weight, 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol 20
In addition to the above, the overcoat paste prepared by dispersing the overcoat paste with a three-roll mill was prepared, and the overcoat paste was formed on a glass substrate 10 on which a light-shielding layer 12 and blue, green, and red dye layers 11 were patterned in a stripe pattern. The paste was applied solid using a screen plate of polyester 300 mesh so as to cover the entire pattern. The coating thickness is 20μ
m.
【0072】次いで、大気中420℃で60分と600
℃で30分間の連続した工程で焼成し、オーバーコート
ペースト中の有機成分であるエチルセルロース及び2−
2(2−エトキシエトキシ)エタノールを蒸発かつ燃焼
させて除去し、更に低融点ガラスフリットを軟化させ、
ガラス基板10上に遮光層12と青、緑、赤色の色素層
11B、11G、11Rとオーバーコート層13が順次
積層した構造のカラーフィルタを製造した。Next, at 420 ° C. in the atmosphere for 60 minutes and 600
Baked in a continuous process at 30 ° C. for 30 minutes.
2 (2-ethoxyethoxy) ethanol is removed by evaporation and burning, and the low melting glass frit is further softened;
A color filter having a structure in which a light-shielding layer 12, blue, green, and red dye layers 11B, 11G, and 11R and an overcoat layer 13 were sequentially laminated on a glass substrate 10 was manufactured.
【0073】このカラーフィルタはその表面凹凸が滑ら
かであったが、パネル工程で上面にITO(Indiu
m Tin Oxde)の透明電極をエッチングによっ
て配線した結果、耐エッチング性に劣り、オーバーコー
トガラスの一部に溶解をきたしていた。この為、配線電
極は断線しまたエッチング液の浸透により色素層におい
て変色、剥離と言った欠陥が発生した。Although the surface of this color filter was smooth, ITO (Indiu) was formed on the upper surface in the panel process.
As a result of wiring a transparent electrode of (m Tin Oxde) by etching, the etching resistance was poor and a part of the overcoat glass was melted. For this reason, the wiring electrode was disconnected and defects such as discoloration and peeling occurred in the dye layer due to penetration of the etching solution.
【0074】また、ガラスフリット中のPbO成分が多
いためオーバーコートの非晶質化は不十分で透明性に劣
り、カラーフィルタとしての青、緑、赤のピーク透過率
が10〜20%低下した。Further, since the PbO component in the glass frit is large, the overcoat is not sufficiently amorphized and has poor transparency, and the peak transmittance of blue, green and red as a color filter is reduced by 10 to 20%. .
【0075】<比較例2>ガラス原料としてPbO45
重量%、SiO245重量%、B2O35重量%、Na2O
2.5重量%、F22.5重量%の比率で平均粒径3〜
7μmの低融点ガラスフリット(軟化点650℃、熱膨
張係数44×10-7/℃)と実施例2で得られた共重合
体樹脂(メタクリル酸40/メチルメタクリレート40
/2−ヒドロキシエチルメタクリレート20)の固形分
100重量部に対し、黒色顔料顔料を500重量部、上
記低融点ガラスフリット300重量部、光重合性組成物
としてテトラエチレングリコールジアクリレート(東亜
合成製:2官能アクリルモノマーM240)80重量
部、光重合開始剤(東京化成製:2,2−ジメトキシ−
2−フェニルアセトフェノン)30重量部の比率で混合
し、遮光層用のペーストを得た。Comparative Example 2 PbO45 was used as a glass raw material.
Wt%, SiO 2 45 wt%, B 2 O 3 5 wt%, Na 2 O
2.5% by weight, 2.5% by weight of F 2 at an average particle size of 3 to
7 μm low melting point glass frit (softening point 650 ° C., thermal expansion coefficient 44 × 10 −7 / ° C.) and the copolymer resin obtained in Example 2 (methacrylic acid 40 / methyl methacrylate 40)
/ 2-hydroxyethyl methacrylate 20) with respect to 100 parts by weight of the solid content, 500 parts by weight of a black pigment pigment, 300 parts by weight of the low melting point glass frit, and tetraethylene glycol diacrylate (Toa Gosei: 80 parts by weight of a bifunctional acrylic monomer M240), a photopolymerization initiator (manufactured by Tokyo Chemical Industry: 2,2-dimethoxy-)
(2-phenylacetophenone) was mixed at a ratio of 30 parts by weight to obtain a paste for a light-shielding layer.
【0076】上記感光性ペーストをベタでOA−2ガラ
ス基板10上へ塗布し、露光、現像を行いストライプ状
の遮光層(ブラックストライプ)12を形成した。The above-mentioned photosensitive paste was applied onto the OA-2 glass substrate 10 in a solid state, and exposed and developed to form a stripe-shaped light-shielding layer (black stripe) 12.
【0077】続いて、実施例4と同様にしてストライプ
パターン11B、11G、11Rを形成し、上記の低融
点ガラスフリットを用いたオーバーコートペーストを用
いて、パターン全域を含むようにベタで塗布した。こう
してオーバーコート層まで形成した後に、大気中420
℃で60分間と700℃で30分間の連続した工程で焼
成し、遮光層、色素層とオーバーコート層の有機成分を
一括して蒸発かつ燃焼させて除去し、更に低融点ガラス
を溶融させ、ガラス基板10上に遮光層12と青、緑、
赤色の色素層11とオーバーコート層13とが順次積層
した構造のカラーフィルタを製造した。Subsequently, stripe patterns 11B, 11G and 11R were formed in the same manner as in Example 4, and the entire pattern was solid-coated using the above-mentioned overcoat paste using a low-melting glass frit. . After forming up to the overcoat layer in this way, 420
Baked in a continuous process of 60 minutes at 70 ° C. and 30 minutes at 700 ° C., the organic components of the light-shielding layer, the dye layer and the overcoat layer are removed by evaporating and burning all together, and the low-melting glass is further melted. A light-shielding layer 12 and blue, green,
A color filter having a structure in which a red dye layer 11 and an overcoat layer 13 were sequentially laminated was manufactured.
【0078】このカラーフィルタの表面平滑性、電極配
線での耐エッチング性には問題が無かったが、低融点ガ
ラスフリットの軟化点が高く軟化させるための700℃
という焼成温度に、色素層の無機顔料は耐熱性を満足で
きず変色を来す結果となった。実際にカラーフィルタの
分光透過率を測定したところ、図3のような結果が得ら
れ、青、緑、赤のピーク透過率が実施例1の透過率であ
る図2と比較して30〜40%低下した。Although there was no problem with the surface smoothness of the color filter and the etching resistance of the electrode wiring, the low melting point glass frit had a high softening point and was 700 ° C. for softening.
At such a firing temperature, the inorganic pigment in the dye layer could not satisfy the heat resistance, resulting in discoloration. When the spectral transmittance of the color filter was actually measured, a result as shown in FIG. 3 was obtained, and the peak transmittance of blue, green, and red was 30 to 40 as compared with FIG. % Decreased.
【0079】[0079]
【発明の効果】本発明のカラーフィルタによれば、ガラ
ス基板上で分光特性を低下させることなく且つ遮光層や
色素層をクラックや歪みなく密着させることが可能で、
また表面平滑性に優れたカラーフィルタを提供できる。
このため、後工程で形成される電極或いは誘電体層の断
線やピンホール、この工程に於ける色素層への変色、ク
ラック、剥離のなどの欠陥が生じない為、ディスプレイ
パネルとしての信頼性を格段に向上できる。また、本発
明のカラーフィルタの製造方法によれば、各層毎の3回
の焼成ではなく、遮光層と色素層のパターン形成後と、
オーバーコート層の形成後に2回の焼成を行う場合や、
あるいは焼成工程を1回にすることにより、製造工程が
簡略化され、スループットの短縮や製造コストの削減を
図ることができる。According to the color filter of the present invention, it is possible to adhere the light-shielding layer and the dye layer on the glass substrate without cracking or distortion without deteriorating the spectral characteristics.
In addition, a color filter having excellent surface smoothness can be provided.
Therefore, there is no defect such as disconnection or pinhole of the electrode or the dielectric layer formed in the subsequent process, discoloration to the dye layer, crack, and peeling in this process, so that the reliability as the display panel is improved. It can be significantly improved. According to the method for manufacturing a color filter of the present invention, instead of firing three times for each layer, after forming the pattern of the light-shielding layer and the dye layer,
When baking is performed twice after forming the overcoat layer,
Alternatively, by performing the firing step only once, the manufacturing process can be simplified, thereby reducing the throughput and the manufacturing cost.
【0080】[0080]
【図1】本発明のカラーフィルタの断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a color filter of the present invention.
【図2】本発明の一実施例であるカラーフィルタの分光
透過率測定結果である。FIG. 2 shows a result of measuring a spectral transmittance of a color filter according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の比較例であるカラーフィルタの分光透
過率測定結果である。FIG. 3 shows a result of measuring a spectral transmittance of a color filter which is a comparative example of the present invention.
10・・・・ガラス基板 11・・・・色素層 11B・・・・青色色素層 11G・・・・緑色色素層 11R・・・・赤色色素層 12・・・・遮光層 13・・・・オーバーコート層 10 Glass substrate 11 Dye layer 11B Blue dye layer 11G Green dye layer 11R Red dye layer 12 Light-shielding layer 13 Overcoat layer
Claims (4)
ート層間に色素層及び遮光層が規則的に配列されたカラ
ーフィルタにおいて、該色素層は無機顔料からなり、該
遮光層は無機顔料と低融点ガラスからなり、該オーバー
コート層は低融点ガラスからなるものであって、該遮光
層及びオーバーコート層の低融点ガラスにはPbO50
〜65重量%、SiO225〜35重量%を含有するこ
とを特徴とするカラーフィルタ。1. A color filter in which a dye layer and a light-shielding layer are regularly arranged between a substrate and an overcoat layer formed on the substrate, wherein the dye layer is made of an inorganic pigment, and the light-shielding layer is made of an inorganic pigment. And the overcoat layer is made of a low-melting glass, and the light-shielding layer and the low-melting glass of the overcoat layer are made of PbO50.
65 wt%, a color filter characterized by containing a SiO 2 25 to 35 wt%.
顔料100重量部に対して、30〜400重量部である
ことを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ。2. The color filter according to claim 1, wherein the ratio of the low melting point glass in the light shielding layer is 30 to 400 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic pigment.
製造方法において、遮光層及び色素層を透明基板上にパ
ターン形成した後、焼成を行い、次いで該基板全面を覆
うようにオーバーコート層をパターン形成した後、再び
焼成して、該基板上に遮光層、色素層及びオーバーコー
ト層を構成することを特徴とするカラーフィルタの製造
方法。3. The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the light-shielding layer and the dye layer are patterned on a transparent substrate, and then baked, and then the overcoat layer is formed so as to cover the entire surface of the substrate. And forming a light-shielding layer, a dye layer, and an overcoat layer on the substrate after forming a pattern.
製造方法において、遮光層、色素層及びオーバーコート
層を透明基板上に順次パターン形成した後、一括して焼
成を行い、該基板上に遮光層、色素層及びオーバーコー
ト層を構成することを特徴とするカラーフィルタの製造
方法。4. The method for manufacturing a color filter according to claim 1, wherein a light-shielding layer, a dye layer, and an overcoat layer are sequentially patterned on a transparent substrate and then fired collectively. A light-shielding layer, a dye layer and an overcoat layer.
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