JP2001166099A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィラメントが１本断線した場合でもそれ
を、サージ電圧の影響の少ない大地電位部において検出
することができるようにした電子線照射装置を提供す
る。 【解決手段】 この電子線照射装置は、実フィラメント
電流演算器５２および比較器５４を有するフィラメント
断線検出器５０を大地電位部に備えている。実フィラメ
ント電流演算器５２は、絶縁変圧器２４の１次電圧
Ｖ1 、１次電流Ｉ1 および加速電源３２に流れる電子線
電流ＩA の計測値と、共に定数として与えられる引出し
電源２８の出力電圧ＶE および電子線８の引出し効率ａ
とに基づいて、ＩF ＝Ｉ1 −ＩA ・ＶE ／ａ・Ｖ1 なる
演算を行って、フィラメント６の点灯に実際に使用され
た実フィラメント電流ＩF を求める。比較器５４は、こ
の実フィラメント電流ＩF と所定の基準値Ｒとを比較し
て、前者ＩF が後者Ｒよりも小さいときに断線検出信号
Ｓを出力する。
を、サージ電圧の影響の少ない大地電位部において検出
することができるようにした電子線照射装置を提供す
る。 【解決手段】 この電子線照射装置は、実フィラメント
電流演算器５２および比較器５４を有するフィラメント
断線検出器５０を大地電位部に備えている。実フィラメ
ント電流演算器５２は、絶縁変圧器２４の１次電圧
Ｖ1 、１次電流Ｉ1 および加速電源３２に流れる電子線
電流ＩA の計測値と、共に定数として与えられる引出し
電源２８の出力電圧ＶE および電子線８の引出し効率ａ
とに基づいて、ＩF ＝Ｉ1 −ＩA ・ＶE ／ａ・Ｖ1 なる
演算を行って、フィラメント６の点灯に実際に使用され
た実フィラメント電流ＩF を求める。比較器５４は、こ
の実フィラメント電流ＩF と所定の基準値Ｒとを比較し
て、前者ＩF が後者Ｒよりも小さいときに断線検出信号
Ｓを出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数本の互いに
並列接続されたフィラメントを有する電子線照射装置に
関し、より具体的には、当該フィラメントの断線を検出
する手段の改良に関する。
並列接続されたフィラメントを有する電子線照射装置に
関し、より具体的には、当該フィラメントの断線を検出
する手段の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の電子線照射装置の従来例を図２
に示す。この電子線照射装置は、電子線８を加速して引
き出す電子線加速器２と、それに必要な電力を供給する
電源装置２０とを備えている。
に示す。この電子線照射装置は、電子線８を加速して引
き出す電子線加速器２と、それに必要な電力を供給する
電源装置２０とを備えている。
【０００３】電子線加速器２は、この例では電子線８を
走査しない非走査型のものであり、筒状の真空容器４内
に設けられていて互いに並列接続された複数本のフィラ
メント６から引出し電極１０によって引き出した電子線
８を、引出し電極１０と真空容器４間の電位差によって
加速し、かつ窓箔１２を透過させて真空容器４外に引き
出し、被照射物１４に照射する構成をしている。
走査しない非走査型のものであり、筒状の真空容器４内
に設けられていて互いに並列接続された複数本のフィラ
メント６から引出し電極１０によって引き出した電子線
８を、引出し電極１０と真空容器４間の電位差によって
加速し、かつ窓箔１２を透過させて真空容器４外に引き
出し、被照射物１４に照射する構成をしている。
【０００４】電源装置２０は、フィラメント６を加熱す
る電力および引出し電源２８用の交流入力を大地電位部
から供給する絶縁変圧器２４と、この絶縁変圧器２４の
２次巻線２４ｂに接続されていて絶縁変圧器２４からの
電力を変圧（例えば４００Ｖ／２２Ｖ）してフィラメン
ト６に供給するフィラメント変圧器２６と、フィラメン
ト６と引出し電極１０間に前者を負極側にして直流の引
出し電圧Ｖｅ（例えば４００Ｖ程度）を印加する引出し
電源２８と、この引出し電源２８に直列接続された引出
し電圧制御器３０と、引出し電極１０およびそれに接続
された部分と大地電位部（この例では圧力容器２２）と
の間に前者を負極側にして直流の加速電圧Ｖａ（例えば
３００ｋＶ程度）を印加する加速電源３２とを備えてい
る。絶縁変圧器２４の２次巻線２４ｂ以降は負の高電位
になる。これらの機器は、絶縁ガス（例えばＳＦ6 ガ
ス）が充填される圧力容器２２内に収納して、当該電源
装置２０の小型化を図っている。この圧力容器２２およ
び上記真空容器４は電気的に接地されている。
る電力および引出し電源２８用の交流入力を大地電位部
から供給する絶縁変圧器２４と、この絶縁変圧器２４の
２次巻線２４ｂに接続されていて絶縁変圧器２４からの
電力を変圧（例えば４００Ｖ／２２Ｖ）してフィラメン
ト６に供給するフィラメント変圧器２６と、フィラメン
ト６と引出し電極１０間に前者を負極側にして直流の引
出し電圧Ｖｅ（例えば４００Ｖ程度）を印加する引出し
電源２８と、この引出し電源２８に直列接続された引出
し電圧制御器３０と、引出し電極１０およびそれに接続
された部分と大地電位部（この例では圧力容器２２）と
の間に前者を負極側にして直流の加速電圧Ｖａ（例えば
３００ｋＶ程度）を印加する加速電源３２とを備えてい
る。絶縁変圧器２４の２次巻線２４ｂ以降は負の高電位
になる。これらの機器は、絶縁ガス（例えばＳＦ6 ガ
ス）が充填される圧力容器２２内に収納して、当該電源
装置２０の小型化を図っている。この圧力容器２２およ
び上記真空容器４は電気的に接地されている。
【０００５】絶縁変圧器２４の１次巻線２４ａには、定
電圧電源３４から一定の大きさの１次電圧Ｖ1 が供給さ
れる。
電圧電源３４から一定の大きさの１次電圧Ｖ1 が供給さ
れる。
【０００６】上記引出し電源２８は、絶縁変圧器２４か
ら与えられる交流入力を変圧し（変圧器の図示は省略）
かつ整流するものであり、その出力電圧ＶE は一定であ
る。そのため、上記引出し電圧Ｖｅひいては引出し電極
１０から引き出す電子流の調整は、上記引出し電圧制御
器３０によって行われる。
ら与えられる交流入力を変圧し（変圧器の図示は省略）
かつ整流するものであり、その出力電圧ＶE は一定であ
る。そのため、上記引出し電圧Ｖｅひいては引出し電極
１０から引き出す電子流の調整は、上記引出し電圧制御
器３０によって行われる。
【０００７】ところで、上記複数本のフィラメント６の
内の１本でも断線すると、電子線８の分布が悪くなるの
で、この断線を検出する必要がある。しかし、このフィ
ラメント６の１本断線を、大地電位部において絶縁変圧
器２４の１次電流Ｉ1 を計測することで検出することは
できない。なぜなら、全フィラメント６に流れる合計の
フィラメント電流Ｉｆの変化はフィラメント６の１本断
線時には小さい（例えばフィラメントの総本数が１６本
の場合で、変化は約６．３％）のに加えて、絶縁変圧器
２４の１次電流Ｉ1 には引出し電源２８への電力供給用
の電流も含まれているので、フィラメント１本断線時の
絶縁変圧器２４の１次電流Ｉ1 の変化は微小なものとな
り、その変化を確実にとらえることはできないからであ
る。
内の１本でも断線すると、電子線８の分布が悪くなるの
で、この断線を検出する必要がある。しかし、このフィ
ラメント６の１本断線を、大地電位部において絶縁変圧
器２４の１次電流Ｉ1 を計測することで検出することは
できない。なぜなら、全フィラメント６に流れる合計の
フィラメント電流Ｉｆの変化はフィラメント６の１本断
線時には小さい（例えばフィラメントの総本数が１６本
の場合で、変化は約６．３％）のに加えて、絶縁変圧器
２４の１次電流Ｉ1 には引出し電源２８への電力供給用
の電流も含まれているので、フィラメント１本断線時の
絶縁変圧器２４の１次電流Ｉ1 の変化は微小なものとな
り、その変化を確実にとらえることはできないからであ
る。
【０００８】そのために従来は、高電位部に上記フィラ
メント電流Ｉｆを計測する電流計測器３６を設け、その
計測信号を電気／光変換器３８および光／電気変換器４
０を用いて光信号３９で大地電位部に伝送して、大地電
位部のフィラメント断線検出器４２でフィラメント６の
１本断線を検出するようにしている。
メント電流Ｉｆを計測する電流計測器３６を設け、その
計測信号を電気／光変換器３８および光／電気変換器４
０を用いて光信号３９で大地電位部に伝送して、大地電
位部のフィラメント断線検出器４２でフィラメント６の
１本断線を検出するようにしている。
【０００９】フィラメント断線検出器４２は、例えば、
上記フィラメント電流Ｉｆを一定の基準電流と比較し、
フィラメント電流Ｉｆがこの基準電流よりも小さくなっ
たときにフィラメント断線と判定するものである。これ
は、この電子線照射装置では、上記のように絶縁変圧器
２４に一定の大きさの１次電圧Ｖ1 が供給されるので、
フィラメント６の断線が起こっても各回路の電圧は全て
一定であり、従って、並列接続されたフィラメント６の
内の何本かが断線すると、その並列合成抵抗値が大きく
なってそのぶんフィラメント電流Ｉｆが減少するからで
ある。
上記フィラメント電流Ｉｆを一定の基準電流と比較し、
フィラメント電流Ｉｆがこの基準電流よりも小さくなっ
たときにフィラメント断線と判定するものである。これ
は、この電子線照射装置では、上記のように絶縁変圧器
２４に一定の大きさの１次電圧Ｖ1 が供給されるので、
フィラメント６の断線が起こっても各回路の電圧は全て
一定であり、従って、並列接続されたフィラメント６の
内の何本かが断線すると、その並列合成抵抗値が大きく
なってそのぶんフィラメント電流Ｉｆが減少するからで
ある。
【００１０】しかし、この従来の断線検出手段は、サー
ジ電圧に弱く、信頼性が低いという課題がある。これ
は、電子線加速器２内では、特に真空容器４内のコンデ
ィショニング（慣らし）が十分に行われるまでは、加速
電圧Ｖａが印加される引出し電極１０等と大地電位部と
の間で放電が発生することがあり、それによる高圧のサ
ージ電圧が、高電位部にある電気／光変換器３８に達し
てそれを構成する電子部品が故障する可能性が高いから
である。
ジ電圧に弱く、信頼性が低いという課題がある。これ
は、電子線加速器２内では、特に真空容器４内のコンデ
ィショニング（慣らし）が十分に行われるまでは、加速
電圧Ｖａが印加される引出し電極１０等と大地電位部と
の間で放電が発生することがあり、それによる高圧のサ
ージ電圧が、高電位部にある電気／光変換器３８に達し
てそれを構成する電子部品が故障する可能性が高いから
である。
【００１１】また、上記断線検出手段では、高電位部の
計測信号を光信号３９の形で大地電位部へ正確に伝送す
る電気／光変換器３８および光／電気変換器４０（光信
号伝送回路）が必要になるので、そのぶん機器構成が複
雑になるという課題もある。
計測信号を光信号３９の形で大地電位部へ正確に伝送す
る電気／光変換器３８および光／電気変換器４０（光信
号伝送回路）が必要になるので、そのぶん機器構成が複
雑になるという課題もある。
【００１２】そこでこの発明は、フィラメントが１本断
線した場合でもそれを、サージ電圧の影響の少ない大地
電位部において検出することができるようにした電子線
照射装置を提供することを主たる目的とする。
線した場合でもそれを、サージ電圧の影響の少ない大地
電位部において検出することができるようにした電子線
照射装置を提供することを主たる目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明の電子線照射装
置は、大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧器の
１次巻線に供給される１次電圧Ｖ1 を計測する１次電圧
計測器と、大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧
器の１次巻線に流れる１次電流Ｉ 1 を計測する１次電流
計測器と、大地電位部に設けられていて、前記電子線の
引き出しに伴って前記加速電源に流れる電子線電流ＩA
を計測する電子線電流計測器と、大地電位部に設けられ
ていて、前記計測された１次電圧Ｖ1 、１次電流Ｉ1 お
よび電子線電流ＩA と、定数として与えられる前記引出
し電源の出力電圧ＶE と、前記引出し電源の出力電流に
対する前記電子線電流の比であり定数として与えられる
引出し効率ａとに基づいて、次式の演算を行って、前記
フィラメントの点灯に実際に使用された実フィラメント
電流ＩF を求める実フィラメント電流演算手段と、 ＩF ＝Ｉ1 −ＩA ・ＶE ／ａ・Ｖ1 大地電位部に設けられていて、前記求められた実フィラ
メント電流と所定の基準値とを比較して、前者が後者よ
りも小さいときに断線検出信号を出力する比較手段とを
備えることを特徴としている。
置は、大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧器の
１次巻線に供給される１次電圧Ｖ1 を計測する１次電圧
計測器と、大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧
器の１次巻線に流れる１次電流Ｉ 1 を計測する１次電流
計測器と、大地電位部に設けられていて、前記電子線の
引き出しに伴って前記加速電源に流れる電子線電流ＩA
を計測する電子線電流計測器と、大地電位部に設けられ
ていて、前記計測された１次電圧Ｖ1 、１次電流Ｉ1 お
よび電子線電流ＩA と、定数として与えられる前記引出
し電源の出力電圧ＶE と、前記引出し電源の出力電流に
対する前記電子線電流の比であり定数として与えられる
引出し効率ａとに基づいて、次式の演算を行って、前記
フィラメントの点灯に実際に使用された実フィラメント
電流ＩF を求める実フィラメント電流演算手段と、 ＩF ＝Ｉ1 −ＩA ・ＶE ／ａ・Ｖ1 大地電位部に設けられていて、前記求められた実フィラ
メント電流と所定の基準値とを比較して、前者が後者よ
りも小さいときに断線検出信号を出力する比較手段とを
備えることを特徴としている。
【００１４】上記構成によれば、実フィラメント電流演
算手段によって、上記式の演算を行うことによって、前
記フィラメントの点灯に実際に使用された実フィラメン
ト電流ＩF を大地電位部において求めることができる。
この実フィラメント電流ＩFは、前記絶縁変圧器の１次
電流から前記引出し電源の出力に相当する電流を差し引
いた残りであるので、前記フィラメントに流れる合計の
フィラメント電流をほぼ忠実に表している。
算手段によって、上記式の演算を行うことによって、前
記フィラメントの点灯に実際に使用された実フィラメン
ト電流ＩF を大地電位部において求めることができる。
この実フィラメント電流ＩFは、前記絶縁変圧器の１次
電流から前記引出し電源の出力に相当する電流を差し引
いた残りであるので、前記フィラメントに流れる合計の
フィラメント電流をほぼ忠実に表している。
【００１５】従ってこの実フィラメント電流ＩF を、大
地電位部に設けられた比較手段において所定の基準値と
比較することによって、フィラメントが１本断線した場
合でもそれを、サージ電圧の影響の少ない大地電位部に
おいて検出することができる。
地電位部に設けられた比較手段において所定の基準値と
比較することによって、フィラメントが１本断線した場
合でもそれを、サージ電圧の影響の少ない大地電位部に
おいて検出することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る電子線照
射装置の一例を示す図である。図２に示した従来例と同
一または相当する部分には同一符号を付し、以下におい
ては当該従来例との相違点を主に説明する。
射装置の一例を示す図である。図２に示した従来例と同
一または相当する部分には同一符号を付し、以下におい
ては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００１７】この電子線照射装置においては、大地電位
部に、次のような１次電圧計測器４４、１次電流計測器
４６、電子線電流計測器４８およびフィラメント断線検
出器５０を設けている。
部に、次のような１次電圧計測器４４、１次電流計測器
４６、電子線電流計測器４８およびフィラメント断線検
出器５０を設けている。
【００１８】１次電圧計測器４４は、前記絶縁変圧器２
４の１次巻線２４ａに定電圧電源３４から供給される１
次電圧Ｖ1 を計測する。
４の１次巻線２４ａに定電圧電源３４から供給される１
次電圧Ｖ1 を計測する。
【００１９】１次電流計測器４６は、前記絶縁変圧器２
４の１次巻線２４ａに流れる１次電流Ｉ1 を計測する。
４の１次巻線２４ａに流れる１次電流Ｉ1 を計測する。
【００２０】電子線電流計測器４８は、前記電子線加速
器２からの電子線８の引き出しに伴って、アースを経由
して加速電源３２に流れる電子線電流ＩA を計測する。
この電子線電流ＩA は、加速電源３２の負荷電流と言う
こともできる。
器２からの電子線８の引き出しに伴って、アースを経由
して加速電源３２に流れる電子線電流ＩA を計測する。
この電子線電流ＩA は、加速電源３２の負荷電流と言う
こともできる。
【００２１】フィラメント断線検出器５０は、この例で
は、以下に詳述するような実フィラメント電流演算器
（実フィラメント電流演算手段）５２および比較器（比
較手段）５４を備えている。このフィラメント断線検出
器５０は、コンピュータで構成しても良い。
は、以下に詳述するような実フィラメント電流演算器
（実フィラメント電流演算手段）５２および比較器（比
較手段）５４を備えている。このフィラメント断線検出
器５０は、コンピュータで構成しても良い。
【００２２】さて、上記のような電子線照射装置におい
ては、引出し電源２８の出力電流Ｉ E の何割かが電子線
８として電子線加速器２から引き出される。この割合
（比率）ａは、装置の構造等によって定まり、一つの電
子線照射装置においてはほぼ一定である。この比率ａは
引出し効率と呼ばれ、０＜ａ＜１である。従って、電子
線加速器２から引き出される電子線８の量すなわち前記
電子線電流ＩA と引出し電源２８の出力電流ＩE との間
には、次式の関係が成立する。
ては、引出し電源２８の出力電流Ｉ E の何割かが電子線
８として電子線加速器２から引き出される。この割合
（比率）ａは、装置の構造等によって定まり、一つの電
子線照射装置においてはほぼ一定である。この比率ａは
引出し効率と呼ばれ、０＜ａ＜１である。従って、電子
線加速器２から引き出される電子線８の量すなわち前記
電子線電流ＩA と引出し電源２８の出力電流ＩE との間
には、次式の関係が成立する。
【００２３】
【数１】ＩE ＝ＩA ／ａ
【００２４】従って、引出し電源２８の出力ＰE は次式
で表される。ＶE は当該引出し電源２８の前述した出力
電圧である。
で表される。ＶE は当該引出し電源２８の前述した出力
電圧である。
【００２５】
【数２】ＰE ＝ＩE ・ＶE ＝ＩA ・ＶE ／ａ
【００２６】従って、大地電位部で計測した１次電流Ｉ
1 から、上記出力ＰE に相当する電流を差し引くことに
よって、即ち次式の演算を行うことによって、引出し電
源２８用の電力を除外して、前記フィラメント６の点灯
に実際に使用された正味の電流である実フィラメント電
流ＩF を大地電位部において求めることができる。
1 から、上記出力ＰE に相当する電流を差し引くことに
よって、即ち次式の演算を行うことによって、引出し電
源２８用の電力を除外して、前記フィラメント６の点灯
に実際に使用された正味の電流である実フィラメント電
流ＩF を大地電位部において求めることができる。
【００２７】
【数３】 ＩF ＝Ｉ1 −ＰE ／Ｖ1 ＝Ｉ1 −ＩA ・ＶE ／ａ・Ｖ1
【００２８】上記フィラメント断線検出器５０を構成す
る実フィラメント電流演算器５２は、この数３の演算を
行って実フィラメント電流ＩF を求め、それを出力す
る。この演算は、フィラメント断線検出中は常に行う。
そのためにこの実フィラメント電流演算器５２には、上
記１次電圧計測器４４で計測された１次電圧Ｖ1 、１次
電流計測器４６で計測された１次電流Ｉ1 および電子線
電流計測器４８で計測された電子線電流ＩA が入力され
る。更にこの実フィラメント電流演算器５２には、上記
引出し電源２８の出力電圧ＶE および上記引出し効率ａ
が定数として与えられる（設定される）。この引出し電
源２８の出力電圧ＶE も、装置ごとに決まり一定であ
る。この出力電圧ＶE および引出し効率ａの設定手段は
図示を省略しているが、例えばコンピュータのキーボー
ドである。
る実フィラメント電流演算器５２は、この数３の演算を
行って実フィラメント電流ＩF を求め、それを出力す
る。この演算は、フィラメント断線検出中は常に行う。
そのためにこの実フィラメント電流演算器５２には、上
記１次電圧計測器４４で計測された１次電圧Ｖ1 、１次
電流計測器４６で計測された１次電流Ｉ1 および電子線
電流計測器４８で計測された電子線電流ＩA が入力され
る。更にこの実フィラメント電流演算器５２には、上記
引出し電源２８の出力電圧ＶE および上記引出し効率ａ
が定数として与えられる（設定される）。この引出し電
源２８の出力電圧ＶE も、装置ごとに決まり一定であ
る。この出力電圧ＶE および引出し効率ａの設定手段は
図示を省略しているが、例えばコンピュータのキーボー
ドである。
【００２９】フィラメント断線検出器５０を構成する比
較器５４は、上記実フィラメント電流演算器５２から与
えられる実フィラメント電流ＩF と、予め設定された所
定の基準値Ｒとを比較して、前者ＩF が後者Ｒよりも小
さいときに断線検出信号Ｓを出力する。この基準値Ｒの
設定手段も図示を省略しているが、例えばコンピュータ
のキーボードである。
較器５４は、上記実フィラメント電流演算器５２から与
えられる実フィラメント電流ＩF と、予め設定された所
定の基準値Ｒとを比較して、前者ＩF が後者Ｒよりも小
さいときに断線検出信号Ｓを出力する。この基準値Ｒの
設定手段も図示を省略しているが、例えばコンピュータ
のキーボードである。
【００３０】上記基準値Ｒの定め方の例を説明する。
今、フィラメント６の並列総本数をｎ本とする。フィラ
メント６が１本も断線していない正常時の実フィラメン
ト電流ＩF は、上記数３から求められ、これをＩF0とす
る。ｎ本のフィラメント６の内の１本が断線すると、実
フィラメント電流ＩF はＩF0／ｎだけ減少するから、１
本断線時の実フィラメント電流ＩF1はＩF0（１−１／
ｎ）となる。
今、フィラメント６の並列総本数をｎ本とする。フィラ
メント６が１本も断線していない正常時の実フィラメン
ト電流ＩF は、上記数３から求められ、これをＩF0とす
る。ｎ本のフィラメント６の内の１本が断線すると、実
フィラメント電流ＩF はＩF0／ｎだけ減少するから、１
本断線時の実フィラメント電流ＩF1はＩF0（１−１／
ｎ）となる。
【００３１】従って、上記基準値Ｒを次式の範囲内に設
定しておけば、フィラメント６の１本断線時には、実フ
ィラメント電流演算器５２から与えられる実フィラメン
ト電流ＩF がこの基準値Ｒよりも小さくなるので、フィ
ラメント６の１本断線を確実に検出することができる。
フィラメント６の断線が２本以上の場合も同様である。
定しておけば、フィラメント６の１本断線時には、実フ
ィラメント電流演算器５２から与えられる実フィラメン
ト電流ＩF がこの基準値Ｒよりも小さくなるので、フィ
ラメント６の１本断線を確実に検出することができる。
フィラメント６の断線が２本以上の場合も同様である。
【００３２】
【数４】ＩF0（１−１／ｎ）＜Ｒ＜ＩF0
【００３３】具体的には、基準値Ｒは数４の範囲内の中
間位の値に、即ち次式のような値に設定しておけば良
い。そのようにすれば、実フィラメント電流ＩF の多少
の変動にも影響されずにフィラメント６の１本断線を確
実に検出することができる。
間位の値に、即ち次式のような値に設定しておけば良
い。そのようにすれば、実フィラメント電流ＩF の多少
の変動にも影響されずにフィラメント６の１本断線を確
実に検出することができる。
【００３４】
【数５】Ｒ≒ＩF0（１−１／２ｎ）
【００３５】より具体例を示すと、フィラメント６の総
本数ｎを１６、引出し電源２８の出力電圧ＶE を４００
Ｖ、引出し効率ａを０．２、電子線電流ＩA を１５０ｍ
Ａとし、そのときの１次電流Ｉ1 を１２Ａとすると、正
常時は上記数３から実フィラメント電流ＩF は１０．５
Ａとなる。フィラメント１本断線時には実フィラメント
電流ＩF は、その１／１６（≒０．６６Ａ）が減少する
ので、９．８４Ａに低下する。一方、上記数５に従って
基準値Ｒを設定しておけば、基準値Ｒは約１０．１７Ａ
であるので、比較器５４はこのフィラメント１本断線を
確実に検出することができる。フィラメント６の断線が
２本以上の場合も同様である。
本数ｎを１６、引出し電源２８の出力電圧ＶE を４００
Ｖ、引出し効率ａを０．２、電子線電流ＩA を１５０ｍ
Ａとし、そのときの１次電流Ｉ1 を１２Ａとすると、正
常時は上記数３から実フィラメント電流ＩF は１０．５
Ａとなる。フィラメント１本断線時には実フィラメント
電流ＩF は、その１／１６（≒０．６６Ａ）が減少する
ので、９．８４Ａに低下する。一方、上記数５に従って
基準値Ｒを設定しておけば、基準値Ｒは約１０．１７Ａ
であるので、比較器５４はこのフィラメント１本断線を
確実に検出することができる。フィラメント６の断線が
２本以上の場合も同様である。
【００３６】以上のようにこの電子線照射装置によれ
ば、フィラメント６が１本断線した場合でもそれを、サ
ージ電圧の影響の少ない大地電位部において確実に検出
することができる。従って、サージ電圧に強く信頼性も
高い。また、従来必要だったフィラメント電流計測のた
めの光信号伝送回路等が不要になるので、そのぶん機器
構成の簡素化を図ることができる。
ば、フィラメント６が１本断線した場合でもそれを、サ
ージ電圧の影響の少ない大地電位部において確実に検出
することができる。従って、サージ電圧に強く信頼性も
高い。また、従来必要だったフィラメント電流計測のた
めの光信号伝送回路等が不要になるので、そのぶん機器
構成の簡素化を図ることができる。
【００３７】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、上記実
フィラメント電流演算手段によって、フィラメントの点
灯に実際に使用された実フィラメント電流を大地電位部
において求めることができ、この実フィラメント電流を
大地電位部に設けられた比較手段において所定の基準値
と比較するようにしたので、フィラメントが１本断線し
た場合でもそれを、サージ電圧の影響の少ない大地電位
部において確実に検出することができる。従って、サー
ジ電圧に強く信頼性も高い。また、従来必要だったフィ
ラメント電流計測のための光信号伝送回路等が不要にな
るので、そのぶん機器構成の簡素化を図ることができ
る。
フィラメント電流演算手段によって、フィラメントの点
灯に実際に使用された実フィラメント電流を大地電位部
において求めることができ、この実フィラメント電流を
大地電位部に設けられた比較手段において所定の基準値
と比較するようにしたので、フィラメントが１本断線し
た場合でもそれを、サージ電圧の影響の少ない大地電位
部において確実に検出することができる。従って、サー
ジ電圧に強く信頼性も高い。また、従来必要だったフィ
ラメント電流計測のための光信号伝送回路等が不要にな
るので、そのぶん機器構成の簡素化を図ることができ
る。
【図１】この発明に係る電子線照射装置の一例を示す図
である。
である。
【図２】従来の電子線照射装置の一例を示す図である。
２ 電子線加速器 ６ フィラメント ８ 電子線 １０ 引出し電極 ２０ 電源装置 ２４ 絶縁変圧器 ２８ 引出し電源 ３２ 加速電源 ４４ １次電圧計測器 ４６ １次電流計測器 ４８ 電子線電流計測器 ５０ フィラメント断線検出器 ５２ 実フィラメント電流演算器（実フィラメント電流
演算手段） ５４ 比較器（比較手段）
演算手段） ５４ 比較器（比較手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 複数本の互いに並列接続されたフィラメ
ントと、このフィラメントから放出させた電子を電子線
として引き出す引出し電極と、交流入力を整流して前記
フィラメントと前記引出し電極との間に前者を負極側に
して直流の引出し電圧を印加する引出し電源と、前記フ
ィラメントを加熱する電力および前記引出し電源用の前
記交流入力を大地電位部から供給する絶縁変圧器と、前
記引出し電極と大地電位部との間に前者を負極側にして
直流の加速電圧を印加する加速電源とを備えていて、前
記絶縁変圧器の１次巻線に一定の大きさの１次電圧が供
給される電子線照射装置において、 大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧器の１次巻
線に供給される１次電圧Ｖ1 を計測する１次電圧計測器
と、 大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧器の１次巻
線に流れる１次電流Ｉ 1 を計測する１次電流計測器と、 大地電位部に設けられていて、前記電子線の引き出しに
伴って前記加速電源に流れる電子線電流ＩA を計測する
電子線電流計測器と、 大地電位部に設けられていて、前記計測された１次電圧
Ｖ1 、１次電流Ｉ1 および電子線電流ＩA と、定数とし
て与えられる前記引出し電源の出力電圧ＶE と、前記引
出し電源の出力電流に対する前記電子線電流の比であり
定数として与えられる引出し効率ａとに基づいて、次式
の演算を行って、前記フィラメントの点灯に実際に使用
された実フィラメント電流ＩF を求める実フィラメント
電流演算手段と、 ＩF ＝Ｉ1 −ＩA ・ＶE ／ａ・Ｖ1 大地電位部に設けられていて、前記求められた実フィラ
メント電流と所定の基準値とを比較して、前者が後者よ
りも小さいときに断線検出信号を出力する比較手段とを
備えることを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35415899A JP3636015B2 (ja) | 1999-12-14 | 1999-12-14 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35415899A JP3636015B2 (ja) | 1999-12-14 | 1999-12-14 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001166099A true JP2001166099A (ja) | 2001-06-22 |
| JP3636015B2 JP3636015B2 (ja) | 2005-04-06 |
Family
ID=18435688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35415899A Expired - Lifetime JP3636015B2 (ja) | 1999-12-14 | 1999-12-14 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3636015B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009139399A1 (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 株式会社日本Ａｅパワーシステムズ | 監視装置付き電子線照射装置 |
-
1999
- 1999-12-14 JP JP35415899A patent/JP3636015B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009139399A1 (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | 株式会社日本Ａｅパワーシステムズ | 監視装置付き電子線照射装置 |
| JP2009276062A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Japan Ae Power Systems Corp | 監視装置付き電子線照射装置 |
| US8227776B2 (en) | 2008-05-12 | 2012-07-24 | Japan AE Power System Corporation | Electron beam irradiating apparatus with monitoring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3636015B2 (ja) | 2005-04-06 |
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