JP2001160642A - Integrated variable wavelength laser - Google Patents

Integrated variable wavelength laser

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JP2001160642A
JP2001160642A JP34324699A JP34324699A JP2001160642A JP 2001160642 A JP2001160642 A JP 2001160642A JP 34324699 A JP34324699 A JP 34324699A JP 34324699 A JP34324699 A JP 34324699A JP 2001160642 A JP2001160642 A JP 2001160642A
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integrated
wavelength
variable wavelength
waveguide
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JP34324699A
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Inventor
Mitsuo Maeda
三男 前田
Yuji Ko
雄司 興
Takayoshi Matsuoka
孝義 松岡
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Japan Science and Technology Agency
Seiko Electric Co Ltd
Original Assignee
Seiko Electric Co Ltd
Japan Science and Technology Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact and inexpensive integrated variable wavelength laser. SOLUTION: In an integrated variable wavelength laser, an optical waveguide 13 constituted of a laser medium is provided with cyclic refractivity controllable from the outside part, and distribution feedback is obtained so that a laser medium, an optical resonator, and a wavelength tuning element are integrated on a single substrate 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、単一の基板上に集
積化させる集積型可変波長レーザーに関するものであ
る。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an integrated tunable laser integrated on a single substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の可変波長レーザーは、以下に示す
ように構成されていた。
2. Description of the Related Art A conventional tunable laser has the following configuration.

【0003】図5はかかる従来の可変波長レーザーの模
式図である。
FIG. 5 is a schematic view of such a conventional variable wavelength laser.

【0004】この図に示すように、従来の可変波長レー
ザーは、光の増幅を行うレーザー媒質1と、2枚の鏡2
A,2Bよりなる光共振器2と、波長同調素子3と、励
起光源としての励起用レーザー4の4つの部分(エレメ
ント)より成り立っている。
As shown in FIG. 1, a conventional variable wavelength laser comprises a laser medium 1 for amplifying light and two mirrors 2.
It comprises four parts (elements) of an optical resonator 2 composed of A and 2B, a wavelength tuning element 3, and an excitation laser 4 as an excitation light source.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の可変波長レーザーは、4つのエレメントを備え
ているため、大型化するとともに、コストの上昇が避け
られないものであった。
However, since the above-mentioned conventional variable wavelength laser has four elements, it is unavoidable that the size is increased and the cost is increased.

【0006】本発明は、上記問題点を除去し、小型で低
コストな集積型可変波長レーザーを提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to eliminate the above-mentioned problems and to provide a compact and low-cost integrated tunable laser.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕集積型可変波長レーザーにおいて、レーザー媒質
により構成される光導波路に、外部から制御可能な周期
的屈折率分布を設け分布帰還を得ることにより、レーザ
ー媒質、光共振器、波長同調素子を単一の基板上に集積
化させることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides: [1] In an integrated type variable wavelength laser, an optical waveguide constituted by a laser medium is provided with an externally controllable periodic refractive index. A laser medium, an optical resonator, and a wavelength tuning element are integrated on a single substrate by providing a distribution and obtaining a distributed feedback.

【0008】〔2〕上記〔1〕記載の集積型可変波長レ
ーザーにおいて、前記基板に半導体レーザーや半導体レ
ーザー励起固体レーザーなどを励起光源として組み合わ
せることを特徴とする。
[2] The integrated tunable laser according to [1], wherein a semiconductor laser or a solid-state laser excited by a semiconductor laser is combined with the substrate as an excitation light source.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】ここで、可変波長レーザーとは、色素レー
ザー、アレキサンドライトレーザー、チタン・サファイ
アレーザー、色中心レーザー、光パラメトリック発振器
など、発振する光の波長を10nm以上にわたって制御
して連続的に変化できるレーザーのことをいう。この種
のレーザーは、分光分析などの用途に使われている。半
導体レーザーも広い意味では可変波長レーザーである。
Here, the variable wavelength laser is a laser such as a dye laser, an alexandrite laser, a titanium / sapphire laser, a color center laser, an optical parametric oscillator, etc., which can continuously change the wavelength of emitted light by controlling it over 10 nm or more. Means This type of laser is used for applications such as spectroscopic analysis. Semiconductor lasers are also tunable lasers in a broad sense.

【0011】一方、光導波路に沿って周期的な凹凸をつ
け、導波路を伝搬する光がその凹凸の周期で決まる特定
の波長で反射される現象を利用して、単色性の良いレー
ザー発振を得る技術は、分布帰還(DFB:Distr
ibuted Feedback)法と呼ばれ、半導体
レーザーに適用され、その単色性の向上に寄与してい
る。
On the other hand, a laser having good monochromaticity is produced by making use of a phenomenon in which periodic irregularities are formed along the optical waveguide and light propagating through the waveguide is reflected at a specific wavelength determined by the period of the irregularities. The technique to obtain is distributed feedback (DFB: Distr)
The method is called an “Improved Feedback” method and is applied to a semiconductor laser, which contributes to the improvement of monochromaticity.

【0012】本発明は、可変波長レーザーの媒質を薄膜
化して導波型レーザーを形成し、上記分布帰還法を用い
てレーザー媒質・光共振器・波長同調素子の3者を長さ
数ミリメートル(10mm程度)のサイズに一体化して
集積した点に特徴がある。
According to the present invention, a waveguide laser is formed by thinning the medium of a tunable laser, and the laser medium, the optical resonator, and the wavelength tuning element are made several millimeters long by using the distributed feedback method. (About 10 mm).

【0013】また、従来のように導波路に固定した周期
的な凹凸をつけるのではなく、外部から音波や光波、電
子ビームの波動を与えて、導波路内に屈折率の周期構造
を誘起し、それによって、分布帰還動作を達成する点に
特徴がある。
In addition, instead of providing periodic irregularities fixed to the waveguide as in the prior art, a wave of an acoustic wave, a light wave, or an electron beam is given from outside to induce a periodic structure of a refractive index in the waveguide. , Thereby achieving a distributed feedback operation.

【0014】その結果、誘起した周期構造の周期を外部
から制御して変化させることにより、発振波長を連続的
に広く変化させることができる。
As a result, the oscillation wavelength can be continuously and widely changed by externally controlling and changing the period of the induced periodic structure.

【0015】図1は本発明の実施例を示す集積型可変波
長レーザーの模式図である。
FIG. 1 is a schematic view of an integrated type variable wavelength laser showing an embodiment of the present invention.

【0016】この図に示すように、この集積型可変波長
レーザーは、各エレメントを一体化して平板光導波路上
に集積化することによって得られる。つまり、基板11
上に励起用レーザー12と、外部から周期を制御する、
屈折率の周期構造を持った薄膜レーザー媒質(光導波
路)13を備える。
As shown in this figure, this integrated type variable wavelength laser is obtained by integrating the respective elements and integrating them on a flat optical waveguide. That is, the substrate 11
Above the excitation laser 12 and externally control the period,
A thin film laser medium (optical waveguide) 13 having a periodic structure of refractive index is provided.

【0017】上記のように構成することにより、従来の
ものと比べ、著しく小型で低コストの可変波長レーザー
を実現することができる。
With the above configuration, it is possible to realize a remarkably small and low-cost variable wavelength laser as compared with the conventional one.

【0018】ここで、可変波長レーザーの4エレメント
である、レーザー媒質と、光共振器、波長同調素子、及
び励起用レーザーの4エレメントを一体化するには、本
発明では光導波路をレーザー媒質13で構成し、この導
波路13に沿って外部から屈折率の周期的な変化を与え
て、特定波長での光帰還を行わせる。更に、励起用レー
ザー12として半導体レーザー(LD)あるいは半導体
レーザー励起のマイクロチップ固体レーザーを励起源と
して、その出力を光導波路13に結合することにより達
成される。
Here, in order to integrate the laser medium, which is the four elements of the variable wavelength laser, and the four elements of the optical resonator, the wavelength tuning element, and the excitation laser, in the present invention, the optical waveguide is formed by the laser medium 13. And periodically changes the refractive index from the outside along the waveguide 13 to cause optical feedback at a specific wavelength. Further, it is achieved by using a semiconductor laser (LD) or a semiconductor laser-excited microchip solid-state laser as an excitation source as the excitation laser 12 and coupling its output to the optical waveguide 13.

【0019】具体的には、まず、屈折率の僅かに異なる
基板11上に可変波長レーザー媒質(導波路)13を2
〜5ミクロンの厚さに薄膜化して堆積させる。その導波
路13を励起用レーザー12で照射し、励起すると同時
に、導波路13に発振させたい波長の整数分の1の周期
の屈折率変化をつけることで、定められた波長の光だけ
を帰還させ、フィルター効果により狭いスペクトル幅で
レーザー発振を得る。
More specifically, first, a tunable laser medium (waveguide) 13 is placed on a substrate 11 having a slightly different refractive index.
Thin and deposit to a thickness of ~ 5 microns. The waveguide 13 is irradiated with the excitation laser 12 to excite it, and at the same time, the waveguide 13 is given a refractive index change of a period that is an integer fraction of the wavelength to be oscillated, so that only light of a predetermined wavelength is fed back. Then, laser oscillation is obtained with a narrow spectrum width due to the filter effect.

【0020】光導波路に沿って屈折率変化をつけ、さら
にその周期を外部から制御する方法としては、超音波を
導波路に沿って伝搬させる方法、励起光や電子ビームを
干渉させる方法がある。超音波の場合にはその周波数を
制御し、光や電子ビームの場合には入射角を変化させ
て、発振波長を制御する。
As a method of changing the refractive index along the optical waveguide and controlling the period from the outside, there are a method of transmitting ultrasonic waves along the waveguide, and a method of causing excitation light or an electron beam to interfere. In the case of ultrasonic waves, the frequency is controlled, and in the case of light or electron beams, the incident angle is changed to control the oscillation wavelength.

【0021】さらに、励起用レーザー12として半導体
レーザー(LD)、あるいは半導体レーザーを励起源と
する固体のマイクロチップレーザーを使い、その出力を
直接、あるいは光導波路13を介して上述の集積型可変
波長レーザーの導波路13に結合させることにより、全
体の小型集積化が達成される。
Further, a semiconductor laser (LD) or a solid-state microchip laser using a semiconductor laser as an excitation source is used as the excitation laser 12, and the output thereof is directly or via the optical waveguide 13 to the above-mentioned integrated variable wavelength. By coupling to the waveguide 13 of the laser, an overall compact integration is achieved.

【0022】以下、これまでに行ってきた実証実験につ
いて図2を参照しながら説明する。
Hereinafter, a demonstration experiment performed so far will be described with reference to FIG.

【0023】(1)導波路に凹凸の周期構造をつける従
来方法と、(2)励起光を干渉させる方法について、下
記のように動作を確認している。
The following operations have been confirmed for (1) a conventional method of providing a periodic structure with irregularities in a waveguide and (2) a method of causing excitation light to interfere.

【0024】(A)まず、導波路に凹凸の周期構造をつ
ける分布帰還の実験では、図2(a)に示すように、励
起源21はパルスNd:YAG固体レーザーであり、レ
ンズ系22により細長いビームパターンに整形される。
23は試作した集積型可変波長レーザーであり、ガラス
基板上に有機色素をドープした厚さ5ミクロンのアクリ
ル樹脂である。その表面に予め紫外線レーザー光を2方
向から照射して、干渉縞を露光後エッチングして、回折
格子を形成しておく。この素子に励起光をあてると、分
布帰還を起こして、図3に示すような、特定の狭いスペ
クトルでレーザー発振を起こした。なお、図3におい
て、横軸は波長(nm)、縦軸は分布帰還レーザーの出
力(任意スケール)を表しており、色素はローダミン6
G1.28×10-2mol/l、励起強度は点線の場合
は1.6(mJ/cm2 )、実線の場合は4.4(mJ
/cm2 )である。
(A) First, in a distributed feedback experiment in which a waveguide is provided with a periodic structure of irregularities, as shown in FIG. 2A, the excitation source 21 is a pulsed Nd: YAG solid-state laser, It is shaped into an elongated beam pattern.
Reference numeral 23 denotes a prototype integrated variable wavelength laser, which is an acrylic resin having a thickness of 5 μm and doped with an organic dye on a glass substrate. The surface is irradiated with ultraviolet laser light from two directions in advance, and the interference fringes are exposed and then etched to form a diffraction grating. When excitation light was applied to this element, distributed feedback occurred and laser oscillation occurred in a specific narrow spectrum as shown in FIG. In FIG. 3, the horizontal axis represents the wavelength (nm), the vertical axis represents the output (arbitrary scale) of the distributed feedback laser, and the dye is rhodamine 6
G1.28 × 10 −2 mol / l, the excitation intensity is 1.6 (mJ / cm 2 ) for the dotted line, and 4.4 (mJ / cm 2 ) for the solid line.
/ Cm 2 ).

【0025】(B)図2(b)は、励起光を干渉させる
方法による分布帰還の実験である。励起光ビームを鏡2
4により二つに分け、2方向から照射することにより、
膜内に励起光の干渉縞が生じ、分布帰還が達成される。
この場合は、上記(A)と違って、入射角を変えること
により縞の周期が変化し、発振波長を制御できる。図4
は入射角を変えることによって、発振スペクトルが変化
したことを示す実験結果である。なお、図4において、
横軸は波長(nm)、縦軸は分布帰還レーザーの出力
(任意スケール)を表しており、色素はローダミン6G
3.5×10-2mol/l、導波路の長さt=5.4μ
m、入力エネルギー203μJである。
(B) FIG. 2B is an experiment of distributed feedback by a method of causing excitation light to interfere. Excitation light beam to mirror 2
By dividing into two by 4 and irradiating from two directions,
Interference fringes of excitation light are generated in the film, and distributed feedback is achieved.
In this case, unlike the above (A), the period of the fringes changes by changing the incident angle, and the oscillation wavelength can be controlled. FIG.
Is an experimental result showing that the oscillation spectrum was changed by changing the incident angle. In FIG. 4,
The horizontal axis represents the wavelength (nm), the vertical axis represents the output (arbitrary scale) of the distributed feedback laser, and the dye is rhodamine 6G.
3.5 × 10 −2 mol / l, waveguide length t = 5.4 μ
m, and the input energy is 203 μJ.

【0026】(C)図2(c)は超音波により屈折率の
周期的変化を導波路内に誘起する方法である。すなわ
ち、電子発振器25により超音波発振器26を駆動し、
その音波を光導波路に沿って伝搬させ、同時に励起光を
照射することによって、分布帰還を達成する。この方法
では、電子発振器の周波数を変えることにより電気的に
波長同調が可能である。なお、27は超音波吸収体であ
る。
(C) FIG. 2C shows a method of inducing a periodic change in the refractive index in the waveguide by ultrasonic waves. That is, the ultrasonic oscillator 26 is driven by the electronic oscillator 25,
The distributed feedback is achieved by propagating the sound wave along the optical waveguide and simultaneously irradiating the excitation light. In this method, the wavelength can be electrically tuned by changing the frequency of the electronic oscillator. In addition, 27 is an ultrasonic absorber.

【0027】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible based on the spirit of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

【0029】(1)小型で低コストな集積型可変波長レ
ーザーを得ることができる。
(1) A compact and low-cost integrated tunable laser can be obtained.

【0030】(2)基板に半導体レーザーや半導体レー
ザー励起固体レーザーなどを励起光源として組み合わせ
る。例えば、超音波により屈折率の周期的変化を導波路
内に誘起する。すなわち、電子発振器により超音波発振
器を駆動し、その音波を光導波路に沿って伝搬させ、同
時に励起光を照射することによって、分布帰還を達成す
る。そして、電子発振器の周波数を変えることにより電
気的に波長同調が可能となる。
(2) A semiconductor laser or a semiconductor laser-excited solid-state laser is combined with a substrate as an excitation light source. For example, ultrasonic waves induce periodic changes in the refractive index in the waveguide. That is, the ultrasonic oscillator is driven by the electronic oscillator, the sound wave is propagated along the optical waveguide, and the excitation light is irradiated at the same time, thereby achieving distributed feedback. By changing the frequency of the electronic oscillator, the wavelength can be electrically tuned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例を示す集積型可変波長レーザー
の模式図である。
FIG. 1 is a schematic view of an integrated tunable laser showing an embodiment of the present invention.

【図2】分布帰還の実験例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an experimental example of distributed feedback.

【図3】図2(a)の実験における分布帰還発振時のス
ペクトルの例を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a spectrum at the time of distributed feedback oscillation in the experiment of FIG. 2 (a).

【図4】図2(b)の実験における励起光の干渉による
分布帰還発振時のスペクトルの例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an example of a spectrum at the time of distributed feedback oscillation due to interference of pump light in the experiment of FIG. 2 (b).

【図5】従来の可変波長レーザーの模式図である。FIG. 5 is a schematic view of a conventional variable wavelength laser.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基板 12 励起用レーザー 13 薄膜レーザー媒質(光導波路) 21 励起源 22 レンズ系 23 集積型可変波長レーザー 24 鏡 25 電子発振器 26 超音波発振器 27 超音波吸収体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Substrate 12 Excitation laser 13 Thin-film laser medium (optical waveguide) 21 Excitation source 22 Lens system 23 Integrated tunable laser 24 Mirror 25 Electronic oscillator 26 Ultrasonic oscillator 27 Ultrasonic absorber

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01S 3/094 Z (72)発明者 松岡 孝義 福岡県福岡市東区箱崎1−29−23 Fターム(参考) 5F072 AB20 AK10 JJ08 JJ20 MM20 PP07 PP10 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (Reference) H01S 3/094 Z (72) Inventor Takayoshi Matsuoka 1-29-23 Hakozaki, Higashi-ku, Fukuoka, Fukuoka F-term (Reference) 5F072 AB20 AK10 JJ08 JJ20 MM20 PP07 PP10

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 集積型可変波長レーザーにおいて、 レーザー媒質により構成される光導波路に、外部から制
御可能な周期的屈折率分布を設け分布帰還を得ることに
より、レーザー媒質、光共振器、波長同調素子を単一の
基板上に集積化させることを特徴とする集積型可変波長
レーザー。
1. An integrated tunable wavelength laser, wherein an optical waveguide composed of a laser medium is provided with an externally controllable periodic refractive index distribution to obtain a distributed feedback, thereby obtaining a laser medium, an optical resonator, wavelength tuning. An integrated tunable laser, wherein the elements are integrated on a single substrate.
【請求項2】 請求項1記載の集積型可変波長レーザー
において、前記基板に半導体レーザーや半導体レーザー
励起固体レーザーなどを励起光源として組み合わせるこ
とを特徴とする集積型可変波長レーザー。
2. The integrated tunable wavelength laser according to claim 1, wherein a semiconductor laser or a semiconductor laser pumped solid-state laser is combined with the substrate as an excitation light source.
JP34324699A 1999-12-02 1999-12-02 Integrated variable wavelength laser Pending JP2001160642A (en)

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