JP2001155337A - Method for recording and reproducing information, device for recording and reproducing information and information recording medium - Google Patents
Method for recording and reproducing information, device for recording and reproducing information and information recording mediumInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大量の情報を迅速
かつ正確に格納するための情報記録装置にかかり、特
に、高性能でかつ高信頼性を有する情報記録用の記録媒
体、高密度な情報記録に好適な再生方式、さらに、その
記録媒体および再生方式を用いた情報記録再生装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information recording apparatus for storing a large amount of information quickly and accurately, and more particularly to a high-performance and highly reliable information recording medium, The present invention relates to a reproducing method suitable for information recording, and further relates to an information recording / reproducing apparatus using the recording medium and the reproducing method.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年の高度情報化社会の進展にはめざま
しいものがあり、各種形態の情報を統合したマルチメデ
ィアが急速に普及してきている。これを支える情報記録
装置として磁気ディスク装置や光ディスク装置がある。
これらの装置は、それぞれの特徴を生かした分野に用い
られている。2. Description of the Related Art In recent years, there has been a remarkable progress in the advanced information society, and multimedia in which various forms of information are integrated has rapidly spread. There are a magnetic disk device and an optical disk device as information recording devices supporting this.
These devices are used in fields that take advantage of their respective characteristics.
【0003】現在、磁気ディスク装置では、記録密度を
向上させつつ小型化が図られている。それと並行して、
ディスク装置の低価格化が急速に進められている。とこ
ろで、磁気ディスクの高密度化を実現するためには、
1)ディスクと磁気ヘッドとの距離をつめること、2)
媒体の保磁力を増大させること、3)信号処理方法を工
夫することなどが必須の技術である。中でも、磁気記録
媒体においては、高密度記録を実現するために、保磁力
の増大が必須である。これに加えて、40 Gb/in2を超え
る高密度な記録を実現するためには、磁化反転が生じる
単位を小さくしなければならない。そのためには、磁性
粒子のサイズを微細化することが必要で、これを実現す
る方法として、磁性膜の下にシード層を設けることが提
案されている。その一例としてUSP-4652499をあげるこ
とができる。[0003] At present, the magnetic disk drive is being downsized while improving the recording density. In parallel,
The cost reduction of disk devices is rapidly progressing. By the way, in order to realize high density of magnetic disk,
1) Reducing the distance between the disk and the magnetic head 2)
Indispensable techniques include increasing the coercive force of the medium and 3) devising a signal processing method. Above all, in a magnetic recording medium, an increase in coercive force is indispensable for realizing high-density recording. In addition, in order to achieve high-density recording exceeding 40 Gb / in 2 , the unit in which magnetization reversal occurs must be reduced. For that purpose, it is necessary to reduce the size of the magnetic particles, and as a method for achieving this, it has been proposed to provide a seed layer below the magnetic film. One example is USP-4652499.
【0004】一方、レーザー光を用いて記録や再生ある
いは消去を行う光ディスク装置においては、高密度記録
を行うために、波長の短いレーザー光を用いて微小磁気
ドメインを形成することが有効である。この場合、レー
ザー光の波長が短くなるとともに、記録媒体である希土
類元素と鉄族元素の非晶質合金が示すKerr効果が減少す
るために、再生出力対ノイズ比(S/N)が小さくなり、安
定した情報記録が行えない場合があった。この課題に対
し、400nm以下の短波長領域でも大きなKerr効果を示すP
tとCoを交互に積層した人工格子膜が提案されている。
その例として、特開平1-251356をあげることができる。
この他に、レンズの開口比が大きなレンズを用いた記録
方式などが提案されている。さらに、再生方式において
は、上述の短波長光をもしいた再生方法以外に、磁気超
解像法(MSR)を用いた再生方法が提案されている。これ
に加えて、再生時に形成した磁区を拡大させて再生信号
の増大を図った磁区拡大方式などが提案されている。On the other hand, in an optical disk device that performs recording, reproduction, or erasing using a laser beam, it is effective to form a minute magnetic domain using a laser beam having a short wavelength in order to perform high-density recording. In this case, the wavelength of the laser beam becomes shorter, and the Kerr effect exhibited by the amorphous alloy of the rare earth element and the iron group element, which is the recording medium, decreases, so that the reproduction output-to-noise ratio (S / N) decreases. In some cases, stable information recording cannot be performed. To solve this problem, P that exhibits a large Kerr effect even in the short wavelength region of 400 nm or less
An artificial lattice film in which t and Co are alternately stacked has been proposed.
As an example, JP-A-1-251356 can be mentioned.
In addition, a recording method using a lens having a large aperture ratio has been proposed. Further, in the reproducing method, a reproducing method using a magnetic super-resolution method (MSR) has been proposed in addition to the reproducing method using the short wavelength light. In addition, there has been proposed a magnetic domain enlarging method in which a magnetic domain formed at the time of reproduction is enlarged to increase a reproduction signal.
【0005】しかしながら、相変化型の光記録媒体や追
記型の光記録媒体では、磁気記録のような結晶粒子の微
細化による高密度記録の実現や光磁気記録のようなMSR
による記録密度の向上を図ることが困難であった。特
に、記録よりもクロストークなしの高分解能を有する再
生方法の確立が従来技術では十分になされていなかっ
た。However, in a phase change type optical recording medium or a write-once type optical recording medium, high density recording is realized by miniaturization of crystal grains such as magnetic recording or MSR such as magneto-optical recording.
It has been difficult to improve the recording density due to this. In particular, the prior art has not sufficiently established a reproducing method having higher resolution without crosstalk than recording.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術では、
相変化を用いた光記録や追記型の光記録における高密度
記録に対応した再生方式が十分には確立されておらず、
高密度記録が必ずしも十分に図られていなかった。In the above prior art,
A reproduction method corresponding to high-density recording in optical recording using phase change and write-once optical recording has not been fully established,
High density recording has not always been achieved sufficiently.
【0007】そこで、本発明の第1の目的は、微小記録
ドメインを高分解能で再生する方法を提供することにあ
る。また、本発明の第2の目的は、微小記録ドメインの
形成方法と形成したドメインを高分解能に再生する方法
とを一貫した記録再生方式として提供することにより、
高性能な情報記録媒体ならびに情報記録再生装置を提供
することにある。Accordingly, a first object of the present invention is to provide a method for reproducing a minute recording domain with high resolution. A second object of the present invention is to provide a method for forming a minute recording domain and a method for reproducing the formed domain with high resolution as a consistent recording / reproducing method.
An object of the present invention is to provide a high-performance information recording medium and an information recording / reproducing apparatus.
【0008】以上により、100Gb/inch2を超える超高密
度記録を行うのに好適な情報再生方式ならびに情報記録
媒体、さらにそれらを用いた情報記録再生装置を提供す
ることにある。As described above, an object of the present invention is to provide an information reproducing method and an information recording medium suitable for performing ultra-high-density recording exceeding 100 Gb / inch 2 and an information recording and reproducing apparatus using them.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的は、少なくと
も極微小な光源と情報を記録するための情報記録媒体と
を有する情報記録装置において、極微小な光源から出た
光が情報記録媒体表面に照射され、その情報記録媒体表
面に照射された光が媒体表面において反射した後の光
と、照射前の光との反射率の変化を検出することにより
情報記録媒体に記録した情報を再生することにより実現
できる。ところで、本発明で用いる極微小な光源が、光
の進行途中に微小なピンホールを有するスリット設けた
構造のものであり、そのピンホールの直径が300nm以下
であることが最も好ましい。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an information recording apparatus having at least a very small light source and an information recording medium for recording information. The information recorded on the information recording medium is reproduced by detecting a change in the reflectance between the light after the light irradiated on the information recording medium surface is reflected on the medium surface and the light before the irradiation. This can be achieved by: By the way, the extremely small light source used in the present invention has a structure in which a slit having a minute pinhole is provided in the course of light, and the diameter of the pinhole is most preferably 300 nm or less.
【0010】ここで、再生光が情報記録媒体表面での反
射の前後に生じる反射率は、レーザー照射された部分の
記録媒体の蒸発による変化、または、結晶-非晶質、結
晶-結晶、あるいは/および非晶質-非晶質間の相変態に
起因する変化であることが最も好ましい。そのために用
いられる情報記録媒体としては、カルコゲナイド化合物
系の材料であることが最も好適である。より具体的に
は、カルコゲナイド系化合物の情報記録材料として、G
e,Sb,In,Pb,As,Sn,Ag,Bi,Ga,Tl,Co,C,Pdのうちより選ば
れる少なくとも1種類の元素とTe,Seのうちより選べれ
る少なくとも1種類の元素とから構成される材料が好ま
しい。このような情報記録媒体をディスク円板、テー
プ、あるいは円形状のシートに形成することが最も好ま
しい。ディスク円板は、ガラス、アルミニウム合金、あ
るいは樹脂のいずれでも良く、また、円板の表面にNiP
膜を形成しても良いことは言うまでもない。[0010] Here, the reflectivity that occurs before and after the reproduction light is reflected on the surface of the information recording medium changes due to the evaporation of the recording medium in the portion irradiated with the laser, or the crystal-amorphous, crystal-crystal, or Most preferably, the change is caused by a phase transformation between / and amorphous-amorphous. The information recording medium used for this purpose is most preferably a chalcogenide compound-based material. More specifically, as an information recording material for chalcogenide compounds, G
e, Sb, In, Pb, As, Sn, Ag, Bi, Ga, Tl, Co, C, Pd and at least one element selected from Te and Se and at least one element selected from Are preferred. Most preferably, such an information recording medium is formed on a disk, a tape, or a circular sheet. The disc may be glass, aluminum alloy, or resin, and NiP
Needless to say, a film may be formed.
【0011】さらに詳しくは、少なくとも基板上に形成
した情報記録媒体、レンズにより一定のスポットサイズ
に絞り込めるレーザー光源、極微小光源、ディスク駆動
系および少なくとも信号処理や制御系を含む電気回路を
具備する情報記録再生装置を構成することが最も好まし
い。情報記録媒体へ情報の記録を行うのに、少なくとも
レンズにより一定のスポットサイズに絞り込んだレーザ
ー光源を用いる。そして、記録した情報の再生を行うの
に、少なくとも極微小光源を用い、再生信号として反射
率の変化を検出する情報記録再生装置を構成する。この
装置において、情報記録媒体に記録された情報の記録ド
メインサイズが、情報記録媒体の移動する方向(トラッ
ク方向)に測った幅で0.3μm以下である場合に特に大き
な効果が得られる。また、サイズの記録ドメインを形成
するのに、マルチパルスを記録パルスとして用いること
が最も好ましい。More specifically, the apparatus includes an information recording medium formed on at least a substrate, a laser light source that can be narrowed down to a fixed spot size by a lens, a micro light source, a disk drive system, and an electric circuit including at least a signal processing and control system. Most preferably, an information recording / reproducing device is configured. To record information on an information recording medium, a laser light source narrowed down to a certain spot size by at least a lens is used. Then, an information recording / reproducing apparatus configured to detect a change in reflectance as a reproduction signal by using at least an extremely small light source to reproduce the recorded information. In this device, a particularly great effect can be obtained when the recording domain size of the information recorded on the information recording medium is 0.3 μm or less in a width measured in the moving direction (track direction) of the information recording medium. It is most preferable to use a multi-pulse as a recording pulse to form a size recording domain.
【0012】上述の情報記録媒体、情報再生方式、なら
びに情報記録再生装置を用いて、各種の情報を記録、再
生あるいは消去を行う。そして、記録、消去あるいは再
生する情報が、少なくとも音声情報、コードデータ、画
像情報、ディスク装置を制御するための制御情報のうち
の1つであることが好ましい。また、光反射率の変化を
用いた記録が、1回記録できるかあるいは少なくとも2
回以上記録できることが好ましい。そのためには、この
情報記録媒体へ情報を記録するのに、情報記録媒体が記
録レーザー光を照射により溶融した後に、蒸発あるいは
冷却時に相変態を生じさせて記録する方式を用いること
が好適である。Various types of information are recorded, reproduced, or erased by using the information recording medium, the information reproducing method, and the information recording and reproducing apparatus described above. Preferably, the information to be recorded, erased or reproduced is at least one of audio information, code data, image information, and control information for controlling the disk device. In addition, recording using the change in light reflectance can be performed once or at least two times.
Preferably, recording can be performed more than once. For this purpose, it is preferable to use a method in which information is recorded on the information recording medium by causing the information recording medium to melt by irradiation with a recording laser beam and then undergoing a phase transformation upon evaporation or cooling to record the information. .
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下に、実施例を用いて、本発明
をさらに詳細に説明する。 (実施例1)本実施例は、結晶質と非晶質間の相変化に
伴う光反射率の変化を用いて記録-再生を行った場合で
ある。記録膜には、In-Sb-Teを用いた。記録膜の組成の
一例は、In22Sb37Te43である。作製したディスクの断面
構造の模式図を図1に示す。まず、ディスク用の基板(1)
として、表面に凹凸の案内溝を有する3.5″直径のポリ
カーボネイト基板を用いた。ここで用いた基板はほんの
1例であり、いずれのサイズのディスク基板を用いて
も、また、アモルファスポリオレフィンなどの基板を用
いても本発明の効果は左右されるものではないことは言
うまでもない。記録媒体用の基板としては、円板状に限
らず、テープ状でもシート状のフィルム基板でも良い。
さらに、ガラスやAl合金基板を用いても良い。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in more detail with reference to embodiments. (Embodiment 1) This embodiment is a case where recording / reproduction is performed by using a change in light reflectance accompanying a phase change between crystalline and amorphous. In-Sb-Te was used for the recording film. An example of the composition of the recording film is In 22 Sb 37 Te 43 . FIG. 1 shows a schematic diagram of a cross-sectional structure of the manufactured disk. First, the substrate for the disk (1)
A 3.5 ″ diameter polycarbonate substrate having uneven guide grooves on the surface was used as the substrate.
This is just an example, and it goes without saying that the effects of the present invention are not affected by using a disk substrate of any size or by using a substrate made of amorphous polyolefin or the like. The substrate for the recording medium is not limited to a disk shape, and may be a tape-shaped or sheet-shaped film substrate.
Further, a glass or Al alloy substrate may be used.
【0014】この基板(1)上に、光反射膜(2)としてAl-T
i膜を120nmの膜厚に形成した。純Arを放電ガスに、Al90
Ti10合金をターゲットにそれぞれ使用した。スパッタ時
の圧力は15mTorr、投入RF電力は0.5kW/150mmφである。
ここで、得られた薄膜の組成とターゲットの組成には違
いは見られなかった。次に、無機化合物薄膜(3)とし
て、酸化シリコン-硫化亜鉛膜をスパッタ法により形成
した。SiO2-ZnSをターゲットに、Arを放電ガスにそれぞ
れ使用した。スパッタ時の圧力は10mTorr、投入RF電力
は0.7kW/150mmφである。形成した無機化合物薄膜(3)の
膜厚は25nmである。この膜厚は、情報記録媒体の熱設
計において、徐冷型にする場合は200nm以上と厚く、逆
に、急冷型にするには30nm以下に薄くする。この膜の上
に、記録膜(4)として、In22Sb37Te43膜をスパッタ法に
より25nmの膜厚に形成した。スパッタ時の圧力は5mTor
r、投入RF電力は1.5kW/150mmφである。最後に、無機化
合物薄膜(3)として、酸化シリコン-硫化亜鉛膜をスパ
ッタ法により150nmの膜厚に形成した。On this substrate (1), Al-T is used as a light reflecting film (2).
An i film was formed to a thickness of 120 nm. Pure Ar as discharge gas, Al 90
Ti 10 alloy was used for each target. The pressure during sputtering is 15 mTorr, and the input RF power is 0.5 kW / 150 mmφ.
Here, no difference was found between the composition of the obtained thin film and the composition of the target. Next, as an inorganic compound thin film (3), a silicon oxide-zinc sulfide film was formed by a sputtering method. SiO 2 -ZnS was used as a target, and Ar was used as a discharge gas. The pressure during sputtering is 10 mTorr, and the input RF power is 0.7 kW / 150 mmφ. The thickness of the formed inorganic compound thin film (3) is 25 nm. In the thermal design of the information recording medium, the film thickness is as thick as 200 nm or more for the slow cooling type and conversely, 30 nm or less for the rapid cooling type. On this film, an In 22 Sb 37 Te 43 film was formed as a recording film (4) to a thickness of 25 nm by a sputtering method. The pressure during sputtering is 5mTor
r, Input RF power is 1.5kW / 150mmφ. Finally, as an inorganic compound thin film (3), a silicon oxide-zinc sulfide film was formed to a thickness of 150 nm by a sputtering method.
【0015】上記のディスクの再生特性を評価した。評
価に用いた装置の概略を図2に示す。情報記録媒体(104)
として、あらかじめトラック方向に幅が0.30μm、トラ
ックに垂直方向に0.5μmの記録ドメイン(107)を形成し
てある。再生には680nmの波長の半導体レーザーを用い
た光源(100)を用い、その光を200nm径のピンホール(10
2)を有するスリット(101)を介して情報記録媒体に照射
した。ここで、情報記録媒体(104)から反射して戻って
きた光をビームスプリッタ(103)で分取した。この光を
検出器(105)で電気信号に変換し、情報を再生する。こ
こで、検出するのは光反射率が変化するのを検出する。
この手法を用いることにより、トラック方向の幅が0.3
μmから0.2μmの磁区(トラックと垂直方向が0.4μm)を
良好に再生できた。再生信号出力を測定したところ、C/
N=55〜58dBが得られた。消去比は35dBであった。ここで
は、あらかじめ記録してあった情報を再生したが、ユー
ザーが自ら記録しても良く、その場合のこの情報記録媒
体の書き換え回数は105回以上であった。The reproduction characteristics of the above disk were evaluated. FIG. 2 shows an outline of the apparatus used for the evaluation. Information recording medium (104)
A recording domain (107) having a width of 0.30 μm in the track direction and 0.5 μm in the direction perpendicular to the track is formed in advance. For reproduction, a light source (100) using a semiconductor laser having a wavelength of 680 nm was used, and the light was converted to a pinhole (10 mm) having a diameter of 200 nm.
The information recording medium was irradiated through the slit (101) having 2). Here, the light reflected and returned from the information recording medium (104) was separated by the beam splitter (103). This light is converted into an electric signal by the detector (105), and the information is reproduced. Here, the change is detected when the light reflectance changes.
By using this method, the width in the track direction is 0.3
A magnetic domain of μm to 0.2 μm (0.4 μm perpendicular to the track) was successfully reproduced. When the playback signal output was measured, C /
N = 55-58 dB was obtained. The erasure ratio was 35 dB. Although reproducing the information had been pre-recorded, the user may be his recording, the number of times of rewriting of the information recording medium in this case was at least 10 5 times.
【0016】また、記録には、図3に示すパターンの記
録波形を用いる。ここでは、レーザーパワーは2つのレ
ベルからなり、1つがパワーの低い方が結晶化レベルで
あり、パワーの高い方が非晶質レベルであり、この間を
変調させることにより古いデータを消去すると同時に新
しいデータの記録を行う。このように、極微小光源を用
いて記録した情報を良好に再生できることがわかった。For recording, a recording waveform having a pattern shown in FIG. 3 is used. Here, the laser power is composed of two levels, one of which has a lower power is a crystallization level, and a higher power is an amorphous level. Record data. As described above, it was found that information recorded by using an extremely small light source can be favorably reproduced.
【0017】本実施例では、情報記録膜にIn-Sb-Teを用
いたが、これ以外に、Ge-Sb-Te,In-Sb-Se,In-Sb,Sn-Te-
Se,Ge-Te-Sn,In-Se-Tl-Coなどの記録材料を用いても同
様の効果が得られた。 (実施例2)本実施例では、追記型光ディスクの再生に
極微小光源からの光を用いた例である。ここでは、情報
記録材料にSe20Te75Pb5を用いた。ディスクの構造は、
ガラスやプラスチックの基板上に先の記録膜を真空蒸着
法により直接形成した。記録は、記録膜にレーザー光を
照射し、記録膜の暖められた部分の記録膜を蒸発させる
(記録膜に穴をあける)ことにより記録を行う。記録膜の
有無により反射率の変化を形成している。また、微小の
記録ドメインを形成するには、マルチパルスを用いるこ
とが特に有効である。これにより、記録した情報を図2
に示す系を用いて再生した。この手法を用いることによ
り、トラック方向の幅が0.3μmから0.2μmの磁区(トラ
ックと垂直方向が0.4μm)を良好に再生できた。再生信
号出力を測定したところ、C/N=56〜59dBが得られた。こ
のように、極微小光源を用いて記録した情報を良好に再
生できることがわかった。この他に、情報記録膜として
Te-C系、Te-Pd-O系やTe-C-Pd系などを用いても良い。In this embodiment, In-Sb-Te is used for the information recording film. However, Ge-Sb-Te, In-Sb-Se, In-Sb, Sn-Te-
Similar effects were obtained by using a recording material such as Se, Ge-Te-Sn, and In-Se-Tl-Co. (Embodiment 2) This embodiment is an example in which light from an extremely small light source is used for reproducing a write-once optical disc. Here, Se 20 Te 75 Pb 5 was used as the information recording material. The structure of the disc is
The recording film was directly formed on a glass or plastic substrate by a vacuum evaporation method. For recording, the recording film is irradiated with laser light to evaporate the heated portion of the recording film.
Recording is performed by making a hole in the recording film. A change in reflectance is formed depending on the presence or absence of the recording film. To form a minute recording domain, it is particularly effective to use a multi-pulse. As a result, the recorded information is
The regeneration was carried out using the system shown in FIG. By using this technique, a magnetic domain having a width in the track direction of 0.3 μm to 0.2 μm (0.4 μm in the direction perpendicular to the track) was successfully reproduced. When the reproduction signal output was measured, C / N = 56 to 59 dB was obtained. As described above, it was found that information recorded by using an extremely small light source can be favorably reproduced. In addition, as an information recording film
Te-C, Te-Pd-O, Te-C-Pd, etc. may be used.
【0018】(実施例3)本実施例は、情報記録膜とし
て、合金タイプの記録膜を用いた場合である。記録膜と
して、Sb2Se3/Bi2Te3なる2層構造の膜を用いる。記録
時に、記録膜が暖められ両層が相互拡散により合金を形
成するために反射率が変化することを利用して記録を行
う方式である。このディスクの断面構造を示す模式図を
図4に示す。まず、ディスク用の基板(1)として、表面
に凹凸の案内溝を有する3.5″直径のポリカーボネイト
基板を用いた。ここで用いた基板はほんの1例であり、
いずれのサイズのディスク基板を用いても、また、アモ
ルファスポリオレフィンなどの基板を用いても本発明の
効果は左右されるものではないことは言うまでもない。
さらに、ガラスやAl合金基板を用いても良い。(Embodiment 3) In this embodiment, an alloy type recording film is used as the information recording film. As the recording film, a film having a two-layer structure of Sb 2 Se 3 / Bi 2 Te 3 is used. In this method, recording is performed by utilizing the fact that the reflectivity changes because the recording film is warmed and the two layers form an alloy by mutual diffusion during recording. FIG. 4 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of this disk. First, a 3.5 ″ diameter polycarbonate substrate having an uneven guide groove on the surface was used as a substrate (1) for a disk. The substrate used here is only one example,
It goes without saying that the effect of the present invention is not affected by using a disk substrate of any size or by using a substrate made of amorphous polyolefin or the like.
Further, a glass or Al alloy substrate may be used.
【0019】この基板(1)上に、光反射膜(2)としてAl-T
i膜を100nmの膜厚に形成した。純Arを放電ガスに、Al90
Ti10合金をターゲットにそれぞれ使用した。スパッタ時
の圧力は15mTorr、投入RF電力は0.5kW/150mmφである。
ここで、得られた薄膜の組成とターゲットの組成には違
いは見られなかった。次に、断熱層(5)としてSb2Se3膜
を真空蒸着法により形成した。膜厚は、150nmである。
次に、記録層(6)として、Bi2Te3膜を15nmの膜厚に真
空蒸着法により形成した。次に、反射防止層(7)とし
て、Sb2Se3膜を真空蒸着法により形成した。膜厚は、30
nmである。ここでは、熱の吸収は主に記録層にて生じ
るように設計した。最後に、無機化合物層(3)として、
窒化シリコン膜をスパッタ法により形成した。膜厚は50
nmである。Siをターゲットに、Ar/N2を放電ガスにそれ
ぞれ使用した。スパッタ時の圧力は10mTorr、投入RF電
力は0.7kW/150mmφである。On the substrate (1), Al-T is used as a light reflecting film (2).
An i film was formed to a thickness of 100 nm. Pure Ar as discharge gas, Al 90
Ti 10 alloy was used for each target. The pressure during sputtering is 15 mTorr, and the input RF power is 0.5 kW / 150 mmφ.
Here, no difference was found between the composition of the obtained thin film and the composition of the target. Next, an Sb 2 Se 3 film was formed as a heat insulating layer (5) by a vacuum evaporation method. The film thickness is 150 nm.
Next, as the recording layer (6), a Bi 2 Te 3 film was formed to a thickness of 15 nm by a vacuum evaporation method. Next, an Sb 2 Se 3 film was formed as an antireflection layer (7) by a vacuum evaporation method. The film thickness is 30
nm. Here, the heat absorption is designed to mainly occur in the recording layer. Finally, as the inorganic compound layer (3),
A silicon nitride film was formed by a sputtering method. The film thickness is 50
nm. Si and Al / N2 were used as targets and discharge gases, respectively. The pressure during sputtering is 10 mTorr, and the input RF power is 0.7 kW / 150 mmφ.
【0020】記録した情報を図2に示す系を用いて再生
した。この手法を用いることにより、トラック方向の幅
が0.2μmから0.1μmの磁区(トラックと垂直方向が0.3〜
0.4μm)を良好に再生できた。再生信号出力を測定した
ところ、C/N=56〜59dBが得られた。このように、極微小
光源を用いて記録した情報を良好に再生できることがわ
かった。The recorded information was reproduced using the system shown in FIG. By using this method, magnetic domains with a width in the track direction of 0.2 μm to 0.1 μm (0.3 to
0.4 μm). When the reproduction signal output was measured, C / N = 56 to 59 dB was obtained. As described above, it was found that information recorded by using an extremely small light source can be favorably reproduced.
【0021】[0021]
【発明の効果】本発明によれば、300nm以下の微小ピン
ホールを有するスリットを通したレーザー光(極微小光
源)を用いて光反射率の変化を再生することにより、大
きな光再生出力を得ることができる。これにより、0.1
μm以下のサイズの記録ドメインでも高分解能で良好に
再生できる再生方式を提供することができた。これによ
り、超高密度情報記録再生装置、これに好適な再生方式
を提供できた。According to the present invention, a large light reproduction output is obtained by reproducing a change in light reflectance by using a laser beam (ultra-miniature light source) passing through a slit having a fine pinhole of 300 nm or less. be able to. This gives 0.1
It was possible to provide a reproducing method capable of reproducing with good resolution at a high resolution even in a recording domain having a size of μm or less. As a result, an ultra-high-density information recording / reproducing apparatus and a reproducing method suitable for the apparatus can be provided.
【図1】 情報記録媒体の断面構造を示す模式図。FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of an information recording medium.
【図2】 微小光源を用いた情報再生方式を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an information reproducing method using a minute light source.
【図3】 相変化型の光ディスクの記録波形の一例を示
す図。FIG. 3 is a diagram showing an example of a recording waveform of a phase change optical disk.
【図4】 情報記録媒体の断面構造を示す模式図。FIG. 4 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of an information recording medium.
1…基板 2…光反射膜 3…無機化合物膜 4…磁性膜 5…断熱層 6…記録層 7…反射防止層 100…レーザー光源 101…スリット 102…ピンホール 103…ビームスプリッタ 104…情報記録媒体 105…検出器 106…比較器 107…記録ドメイン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Light reflection film 3 ... Inorganic compound film 4 ... Magnetic film 5 ... Heat insulation layer 6 ... Recording layer 7 ... Antireflection layer 100 ... Laser light source 101 ... Slit 102 ... Pinhole 103 ... Beam splitter 104 ... Information recording medium 105… Detector 106… Comparator 107… Recording domain
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹内 輝明 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 若林 康一郎 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 Fターム(参考) 5D029 JB04 JC02 5D090 BB05 CC01 CC04 CC14 CC16 CC18 DD02 EE01 EE11 FF11 GG12 HH01 JJ01 LL02 LL09 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Teruaki Takeuchi 1-1-88 Ushitora, Ibaraki City, Osaka Prefecture Inside Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Koichiro Wakabayashi 1-1-88 Ushitora, Ibaraki City, Osaka Hitachi Maxell F term (reference) 5D029 JB04 JC02 5D090 BB05 CC01 CC04 CC14 CC16 CC18 DD02 EE01 EE11 FF11 GG12 HH01 JJ01 LL02 LL09
Claims (14)
録を行ない極微小な光源を用いて再生を行なう情報記録
再生方法において、該極微小な光源は、半導体レーザー
と半導体レーザーから出射するレーザー光の進行途中に
設けられた直径が50nm以上300nm以下のピンホール
を有するスリットを少なくとも備えた半導体パッケージ
であり、該ピンホールから出た光を該情報記録媒体表面
に照射し、該情報記録媒体表面に照射された光が媒体表
面において反射した後の光と反射前の光との間で生じる
反射率の変化を検出することにより該情報記録媒体の情
報を再生することを特徴とする情報記録再生方法。1. An information recording / reproducing method for irradiating an information recording medium with a laser beam to perform recording and performing reproduction using an extremely small light source, wherein the extremely small light source comprises a semiconductor laser and a laser emitted from the semiconductor laser. A semiconductor package provided with at least a slit having a pinhole having a diameter of 50 nm or more and 300 nm or less provided in the course of light, and irradiating light emitted from the pinhole to the surface of the information recording medium, Reproducing information from the information recording medium by detecting a change in reflectivity between the light after the light applied to the surface is reflected on the medium surface and the light before reflection on the medium surface; Playback method.
発による反射率の変化、または、結晶-非晶質、結晶-結
晶、あるいは/および非晶質-非晶質間の相変態に起因し
て生じていることを特徴とする請求項1記載の情報記録
再生方法。2. The change in reflectance is caused by a change in reflectance due to evaporation of an information recording medium, or a phase transformation between crystal-amorphous, crystal-crystal, and / or amorphous-amorphous. 2. The information recording / reproducing method according to claim 1, wherein the information recording / reproducing method occurs.
た記録マークの幅が前記ピンホールの直径以下であるこ
とを特徴とする請求項1記載の情報記録再生方法。3. The information recording / reproducing method according to claim 1, wherein a width of the recording mark measured in a moving direction of the information recording medium is smaller than a diameter of the pinhole.
合物系の材料を用いた記録層を有することを特徴とする
請求項1記載の情報記録再生方法。4. The information recording / reproducing method according to claim 1, wherein the information recording medium has a recording layer using a chalcogenide compound-based material.
i,Ga,Tl,Co,C,Pdのうちより選ばれる少なくとも1種類
の元素とTe,Seのうちより選べれる少なくとも1種類の元
素とから構成される材料であることを特徴とする請求項
4記載の情報記録再生方法。5. The recording layer is composed of Ge, Sb, In, Pb, As, Sn, Ag, B
A material comprising at least one element selected from i, Ga, Tl, Co, C, and Pd and at least one element selected from Te and Se. 4. The information recording / reproducing method according to item 4.
回記録できるかあるいは少なくとも2回以上記録できる
ことを特徴とする請求項1記載の情報記録再生方法。6. The recording using the change in the light reflectance is 1
2. The information recording / reproducing method according to claim 1, wherein the information can be recorded once or at least twice.
のに、マルチパルスを記録パルスとして用いたことを特
徴とする請求項1記載の情報記録再生方法。7. The information recording / reproducing method according to claim 1, wherein a multi-pulse is used as a recording pulse for recording by irradiating the laser beam.
て記録を行なうのに、前記記録層が溶融した後に、蒸発
あるいは冷却時に相変態を生じさせて記録したことを特
徴とする請求項1記載の情報記録再生方法。8. The recording method according to claim 1, wherein the recording is performed by irradiating the information recording medium with a laser beam, wherein the recording layer is melted and then undergoes a phase transformation upon evaporation or cooling. Information recording and reproduction method described.
射されるレーザー光を一定のスポットサイズに絞り込む
ためのレンズと、情報記録媒体を回転させるためのディ
スク駆動部と、電気回路を少なくとも具備する情報記録
再生装置において、該レーザー光源から出射するレーザ
ー光の進行途中に直径が50nm以上300nm以下のピン
ホールを有するスリットをことを特徴とする情報記録再
生装置。9. Information comprising at least a laser light source, a lens for narrowing a laser beam emitted from the laser light source to a fixed spot size, a disk drive for rotating an information recording medium, and an electric circuit. An information recording / reproducing apparatus, comprising: a slit having a pinhole having a diameter of 50 nm or more and 300 nm or less in the course of laser light emitted from the laser light source.
する回路を備えることを特徴とする請求項9記載の情報
記録再生装置。10. An information recording / reproducing apparatus according to claim 9, wherein said electric circuit includes a circuit for detecting a change in reflectance.
が、少なくとも音声情報、コードデータ、画像情報、磁
気ディスク装置を制御するための制御情報のうちの1つ
であることを特徴とする請求項10記載の情報記録再生
装置。11. The information recorded on the information recording medium is at least one of audio information, code data, image information, and control information for controlling a magnetic disk drive. 10. The information recording / reproducing apparatus according to 10.
出射するレーザー光の進行途中に設けられた直径が50n
m以上300nm以下のピンホールを有するスリットを少
なくとも備えた半導体パッケージから出た光を照射し、
照射された光が反射した後の光と反射前の光との間で生
じる反射率の変化を検出することにより情報を再生する
情報記録媒体において、前記情報記録媒体はGe,Sb,In,P
b,As,Sn,Ag,Bi,Ga,Tl,Co,C,Pdのうちより選ばれる少な
くとも1種類の元素とTe,Seのうちより選べれる少なく
とも1種類の元素とから構成される記録層を備えること
を特徴とする情報記録媒体。12. A semiconductor laser and a laser beam emitted from the semiconductor laser having a diameter of 50 n provided on the way.
irradiating light emitted from a semiconductor package having at least a slit having a pinhole of m or more and 300 nm or less,
In an information recording medium for reproducing information by detecting a change in reflectivity between light after irradiation and light before reflection, the information recording medium is Ge, Sb, In, P
b, As, Sn, Ag, Bi, Ga, Tl, Co, C, Pd, at least one element selected from the group consisting of at least one element selected from Te, Se An information recording medium comprising:
も音声情報、コードデータ、画像情報、磁気ディスク装
置を制御するための制御情報のうちの1つであることを
特徴とする請求項12記載の情報記録媒体。13. The information processing apparatus according to claim 12, wherein the information on the information recording medium is at least one of audio information, code data, image information, and control information for controlling a magnetic disk drive. Information recording medium.
ープ、あるいは円形状のシートであることを特徴とする
請求項12記載の情報記録媒体。14. The information recording medium according to claim 12, wherein said information recording medium is a disk, a tape, or a circular sheet.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33520999A JP2001155337A (en) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | Method for recording and reproducing information, device for recording and reproducing information and information recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33520999A JP2001155337A (en) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | Method for recording and reproducing information, device for recording and reproducing information and information recording medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2001155337A true JP2001155337A (en) | 2001-06-08 |
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ID=18285995
Family Applications (1)
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JP33520999A Withdrawn JP2001155337A (en) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | Method for recording and reproducing information, device for recording and reproducing information and information recording medium |
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1999
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