JP2001144005A5 - - Google Patents

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【請求項１】 半導体露光装置を装置支持手段を介して搭載する架台を架台支持手段を介して建屋床に接続する半導体露光装置の架台支持方法において、前記架台および前記架台支持手段を、前記架台の質量と前記架台支持手段の剛性の積が３×１０11 ［ｋｇ／ｓ］ 2 より大きく６×１０12［ｋｇ／ｓ］2 より小さい範囲の値となるように、それぞれを設定することを特徴とする半導体露光装置の架台支持方法。
【請求項４】 半導体露光装置を装置支持手段を介して搭載する架台を架台支持手段を介して建屋床に接続して構成する半導体露光装置の架台支持装置において、前記架台の質量と前記架台支持手段の剛性の積が、３×１０11 ［ｋｇ／ｓ］ 2 より大きく６×１０12［ｋｇ／ｓ］2 より小さい範囲の値をとるように、前記架台および前記架台支持手段をそれぞれ設定して構成することを特徴とする半導体露光装置の架台支持装置。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の半導体露光装置の架台支持方法は、半導体露光装置を装置支持手段を介して搭載する架台を架台支持手段を介して建屋床に接続する半導体露光装置の架台支持方法において、前記架台および前記架台支持手段を、前記架台の質量と前記架台支持手段の剛性の積が３×１０11 ［ｋｇ／ｓ］ 2 より大きく６×１０12［ｋｇ／ｓ］2 より小さい範囲の値となるように、それぞれを設定することを特徴とする。
さらに、本発明の半導体露光装置の架台支持装置は、半導体露光装置を装置支持手段を介して搭載する架台を架台支持手段を介して建屋床に接続して構成する半導体露光装置の架台支持装置において、前記架台の質量と前記架台支持手段の剛性の積が、３×１０11 ［ｋｇ／ｓ］ 2 より大きく６×１０12［ｋｇ／ｓ］2 より小さい範囲の値をとるように、前記架台および前記架台支持手段をそれぞれ設定して構成することを特徴とする。
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