JP2001143970A - Tantalum powder, manufacturing method thereof, porous sintered body, and solid electrolytic capacitor - Google Patents

Tantalum powder, manufacturing method thereof, porous sintered body, and solid electrolytic capacitor

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JP2001143970A JP32613599A JP32613599A JP2001143970A JP 2001143970 A JP2001143970 A JP 2001143970A JP 32613599 A JP32613599 A JP 32613599A JP 32613599 A JP32613599 A JP 32613599A JP 2001143970 A JP2001143970 A JP 2001143970A
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tantalum powder
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide tantalum powder for a porous sintered body having a large surface area and hardly to cause a defect in formation of a solid state electrolytic coating film. SOLUTION: A raw material for tantalum ions is solved in molten salt 3. A reducing agent 8 in a crucible 9 is reacted with the molten salt 3 to reduce the tantalum ions in the molten salt 3 into a metallic state. Then, tantalum powder with radial aggregate particles, in which cylindrical particles are aggregated in a radial form, is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は固体電解コンデンサ
ーを構成する陽極の材料として有用なタンタル粉末とそ
の製造方法に関し、特に低い等価直列抵抗(以下、ES
Rと記す)と大容量特性を備えた陽極を提供できるもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tantalum powder useful as a material for an anode constituting a solid electrolytic capacitor and a method for producing the same, and particularly to a low equivalent series resistance (hereinafter referred to as ES).
R) and an anode having a large capacity characteristic can be provided.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のタンタルを用いた固体電解コンデ
ンサーの陽極は、例えば空孔率が70容量%程度の多孔
質焼結体から構成されている。その材料であるタンタル
粉末は、相互に連結した多数の略球状の空孔を備えたス
ポンジ状の凝集粒であって、粒径が数十から数百μmの
球状のものである。従来のタンタル粉末は例えば以下の
ようにして製造したものである。まず、フッ化タンタル
酸カリウムのナトリウム還元、五塩化タンタルの水素還
元などの公知の方法によってプライマリーパウダーを製
造する。そして、このプライマリーパウダーを必要に応
じて酸・水洗浄処理し、脱ガス処理と1000℃以上で
の高温熱処理を行い、さらに過剰酸素を除去する脱酸素
処理を行ってタンタル粉末を得る。
2. Description of the Related Art The anode of a conventional solid electrolytic capacitor using tantalum is formed of, for example, a porous sintered body having a porosity of about 70% by volume. The tantalum powder as the material is sponge-like agglomerated particles having a large number of interconnected substantially spherical holes, and has a spherical shape with a particle size of several tens to several hundreds of μm. Conventional tantalum powder is produced, for example, as follows. First, a primary powder is produced by a known method such as sodium reduction of potassium fluorotantalate and hydrogen reduction of tantalum pentachloride. Then, the primary powder is subjected to an acid / water washing treatment as required, a degassing treatment, a high-temperature heat treatment at 1000 ° C. or higher, and a deoxidation treatment for removing excess oxygen to obtain a tantalum powder.

【0003】そして、このタンタル粉末を所定形状にプ
レス加工し、焼結することにより、前記凝集粒(タンタ
ル粉末)の空孔に起因する多数の空孔を備えた陽極を得
ることができる。固体電解コンデンサーは、例えばこの
多孔質焼結体(陽極)の表面に固体電解質の被膜(以
下、固体電解質被膜という)を形成し、その上にNi線
などからなる陰極をハンダ付けし、さらにこれらを難燃
性エポキシ樹脂などの外装樹脂によって一体に覆うこと
によって構成される。
Then, by pressing this tantalum powder into a predetermined shape and sintering, an anode having a large number of pores caused by the pores of the aggregated particles (tantalum powder) can be obtained. For example, a solid electrolytic capacitor is formed by forming a solid electrolyte film (hereinafter, referred to as a solid electrolyte film) on the surface of the porous sintered body (anode), soldering a cathode made of Ni wire or the like thereon, Is integrally covered with an exterior resin such as a flame-retardant epoxy resin.

【0004】固体電解質としては、従来、酸化マンガン
が主に用いられている。酸化マンガンからなる固体電解
質被膜は、例えば、多孔質焼結体を常法によって化成処
理した後、この多孔質焼結体を硝酸マンガン溶液に含浸
し、熱分解して形成する。このとき、多孔質焼結体に
は、上述のように相互に連結する多数の略球状の空孔が
形成されているため、多孔質焼結体を硝酸マンガン溶液
に浸漬すると、多孔質焼結体の表面に開口する空孔から
硝酸マンガン溶液が浸透し、これに連結する多孔質焼結
体内部の空孔に至り、さらに多孔質焼結体の表面に開口
する他の開口状態の空孔に至り、硝酸マンガン溶液が多
孔質焼結体全体に行き渡る。その結果、大きい面積の固
体電解質被膜が形成され、陽極の表面全体が有効に利用
される。最近では電子機器と回路の小型化・高周波化に
伴い、大容量で低いESRを有する固体電解コンデンサ
ーが求められている。そして、固体電解コンデンサーの
容量は、その陽極の表面積に比例するため、大容量の固
体電解コンデンサーを構成するためには、できるだけ多
孔質焼結体の空孔率が高いと好ましい。
Conventionally, manganese oxide has been mainly used as a solid electrolyte. The solid electrolyte coating made of manganese oxide is formed, for example, by subjecting a porous sintered body to a chemical conversion treatment by a conventional method, impregnating the porous sintered body with a manganese nitrate solution, and thermally decomposing the porous sintered body. At this time, since the porous sintered body has a large number of substantially spherical holes interconnected as described above, when the porous sintered body is immersed in a manganese nitrate solution, the porous sintered body becomes porous. The manganese nitrate solution penetrates from the pores opened on the surface of the body, reaches the pores inside the porous sintered body connected to the manganese nitrate solution, and further opens in the open state on the surface of the porous sintered body. And the manganese nitrate solution spreads throughout the porous sintered body. As a result, a solid electrolyte film having a large area is formed, and the entire surface of the anode is effectively used. Recently, with the miniaturization and higher frequency of electronic devices and circuits, a solid electrolytic capacitor having a large capacity and a low ESR has been demanded. Since the capacity of the solid electrolytic capacitor is proportional to the surface area of the anode, it is preferable that the porosity of the porous sintered body be as high as possible in order to constitute a large-capacity solid electrolytic capacitor.

【0005】一方、固体電解コンデンサーを組み込んだ
パソコンのCPU、電源回路において、陽極のESRの
増加は電子回路の高速化に伴う信号処理の不良の原因と
なり、重要な特性である。この陽極におけるESRの増
加の主な原因は、固体電解質被膜の形成不良である。
On the other hand, in a CPU and a power supply circuit of a personal computer in which a solid electrolytic capacitor is incorporated, an increase in the ESR of the anode causes a failure in signal processing accompanying an increase in the speed of an electronic circuit, and is an important characteristic. The main cause of the increase in ESR at the anode is poor formation of the solid electrolyte film.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多孔質
焼結体の空孔率を高めるためにタンタル粉末の空孔率を
高めると、タンタル粉末の強度が低下し、プレス加工の
際に空孔が潰れやすくなり、逆に多孔質焼結体の空孔率
が低下する場合がある。よって、タンタル粉末の空孔率
は適度な強度が得られる程度に調整する必要がある。
However, if the porosity of the tantalum powder is increased in order to increase the porosity of the porous sintered body, the strength of the tantalum powder decreases, and the porosity is reduced during the press working. The porous sintered body may be easily crushed, and conversely, the porosity of the porous sintered body may decrease. Therefore, it is necessary to adjust the porosity of the tantalum powder to such an extent that an appropriate strength can be obtained.

【0007】また、固体電解質被膜の形成不良は、主に
多孔質焼結体の空孔の不均一性に起因する。すなわち、
多孔質焼結体の内部の空孔が、多孔質焼結体の表面に開
口する開口状態の空孔と連結せず、閉孔し、独立して存
在していると、この空孔内には硝酸マンガン溶液が浸透
せず、固体電解質被膜の形成不良が発生する。あるい
は、内部の空孔が開口状態の空孔のひとつに連結してい
たとしても、他の開口状態の空孔に連結していない場合
は、いわゆる有底の壺状空孔が形成され、硝酸マンガン
溶液は十分に浸透せず、固体電解質被膜の形成不良が発
生する。図6は、空孔が閉孔し、壺状空孔が形成されて
いる様子の例を示した従来のタンタル粉末からなる多孔
質焼結体の走査型電子顕微鏡(SEM)による顕微鏡子
写真である。閉孔や壺状空孔の発生は、タンタル粉末の
粒度分布、プレス加工する際のタンタル粉末の空孔のつ
ぶれ安さ(凝集強度)、タンタル粉末の内部に存在する
空孔の状態や割合などによって変化する。また、最近で
は酸化マンガンにかわって導電性高分子を用いた技術が
実用化されている。導電性高分子は分子が大きいため、
多孔質焼結体の空孔に浸透しにくく、さらに多孔質焼結
体の精密な空孔制御が必要である。
[0007] Further, the poor formation of the solid electrolyte film is mainly caused by the non-uniformity of the pores of the porous sintered body. That is,
If the pores inside the porous sintered body are not connected to the open pores opened on the surface of the porous sintered body but are closed and exist independently, In this case, the manganese nitrate solution does not penetrate, resulting in poor formation of the solid electrolyte film. Alternatively, even if the inner hole is connected to one of the open holes, if it is not connected to the other open hole, a so-called bottomed pot-shaped hole is formed and nitric acid is formed. The manganese solution does not penetrate sufficiently, resulting in poor formation of the solid electrolyte film. FIG. 6 is a micrograph of a conventional porous sintered body made of tantalum powder, taken by a scanning electron microscope (SEM), showing an example of a state in which holes are closed and a pot-like hole is formed. is there. The occurrence of closed holes and pot-shaped voids depends on the particle size distribution of the tantalum powder, the collapse of the voids in the tantalum powder during press working (cohesive strength), the state and ratio of the voids present inside the tantalum powder, etc. Change. Recently, a technique using a conductive polymer instead of manganese oxide has been put to practical use. Since conductive polymers have large molecules,
It is difficult to penetrate the pores of the porous sintered body, and it is necessary to precisely control the pores of the porous sintered body.

【0008】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、大きい表面積を備え、固体電解質被膜の形成不良が
生じにくい多孔質焼結体を提供できるタンタル粉末を得
ることを目的とする。具体的には、均一な空孔と適当な
強度を備えたタンタル粉末を提供することを課題とす
る。さらに具体的には、前記空孔において、閉孔や壺状
空孔が生じにくい技術を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to obtain a tantalum powder capable of providing a porous sintered body having a large surface area and in which formation failure of a solid electrolyte film hardly occurs. Specifically, it is an object to provide a tantalum powder having uniform pores and appropriate strength. More specifically, it is an object of the present invention to provide a technique in which a closed hole or a pot-shaped hole is less likely to occur in the hole.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、特定の製
造方法によってタンタル粉末が柱状の粒子として得ら
れ、さらにはこの柱状の粒子が放射状に集合した放射状
集合粒子として得られることを見出し、本発明を完成さ
せるに至った。すなわち、前記課題を解決するために、
本発明においては以下の解決手段を提供する。第1の発
明は、柱状の粒子が集合してなることを特徴とするタン
タル粉末である。第2の発明は、第1の発明のタンタル
粉末において、柱状の粒子が複数放射状に集合した放射
状集合粒子を含むことを特徴とするタンタル粉末であ
る。第3の発明は、第1または第2の発明のタンタル粉
末において、タンタル塩と還元剤とを直接接触させず
に、該タンタル塩を還元して得たことを特徴とするタン
タル粉末である。第4の発明は、前記還元剤がマグネシ
ウム還元剤またはナトリウム還元剤であることを特徴と
する第3の発明のタンタル粉末である。第5の発明は、
タンタル塩と還元剤とを直接接触させずに、該タンタル
塩を還元してタンタル粉末を得ることを特徴とするタン
タル粉末の製造方法である。第6の発明は、前記還元剤
がマグネシウム還元剤またはナトリウム還元剤であるこ
とを特徴とする第5の発明のタンタル粉末の製造方法で
ある。第7の発明は、第1〜4のいずれかの発明のタン
タル粉末からなることを特徴とする多孔質焼結体であ
る。第8の発明は、第7の発明の多孔質焼結体からなる
陽極を備えていることを特徴とする固体電解コンデンサ
ーである。
Means for Solving the Problems The present inventors have found that tantalum powder can be obtained as columnar particles by a specific production method, and that the columnar particles can be obtained as radially aggregated particles which are radially aggregated. Thus, the present invention has been completed. That is, in order to solve the problem,
The present invention provides the following solutions. A first invention is a tantalum powder characterized in that columnar particles are aggregated. A second invention is a tantalum powder according to the first invention, characterized in that the tantalum powder contains radially aggregated particles in which a plurality of columnar particles are radially aggregated. A third invention is a tantalum powder obtained by reducing the tantalum salt without directly contacting the tantalum salt with a reducing agent in the tantalum powder according to the first or second invention. A fourth invention is the tantalum powder according to the third invention, wherein the reducing agent is a magnesium reducing agent or a sodium reducing agent. The fifth invention is
A method for producing a tantalum powder, characterized in that the tantalum salt is reduced to obtain a tantalum powder without directly contacting the tantalum salt with a reducing agent. A sixth invention is the method for producing a tantalum powder according to the fifth invention, wherein the reducing agent is a magnesium reducing agent or a sodium reducing agent. A seventh invention is a porous sintered body comprising the tantalum powder according to any one of the first to fourth inventions. An eighth invention is a solid electrolytic capacitor comprising an anode made of the porous sintered body of the seventh invention.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明のタンタル粉末は、例えば
以下のプロセスを備えた製造方法によって得ることがで
きる。 1.タンタルイオン源となる原料を溶融塩(媒体)に溶
解する。 2.この溶融塩に対して還元剤を作用させる。すると、
この還元剤が溶融塩に溶解したタンタルイオンを金属状
態に還元し、その結果溶融塩内にタンタル粉末が晶出し
て沈降する。このとき還元反応の副生物は溶融塩に溶け
込み、副生物の活量が減少するため、反応性が良好であ
る。また、タンタル粉末の周囲には溶融塩が存在してい
るため、タンタル粉末間の衝突、結合による粗大化が生
じ難い。そのため、比較的小さな粉末が得られ、表面積
拡大の観点から好ましい。 3.溶融塩からタンタル粉末を回収する。 4.溶融塩に含まれる還元剤イオンを回収し、電気分解
などの方法で還元剤としてリサイクルする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The tantalum powder of the present invention can be obtained, for example, by a production method having the following process. 1. A raw material serving as a tantalum ion source is dissolved in a molten salt (medium). 2. A reducing agent acts on the molten salt. Then
This reducing agent reduces the tantalum ions dissolved in the molten salt to a metal state, and as a result, the tantalum powder crystallizes and precipitates in the molten salt. At this time, the by-product of the reduction reaction dissolves in the molten salt, and the activity of the by-product decreases, so that the reactivity is good. Further, since a molten salt is present around the tantalum powder, the tantalum powder is unlikely to become coarse due to collision and bonding between the tantalum powders. Therefore, a relatively small powder can be obtained, which is preferable from the viewpoint of increasing the surface area. 3. The tantalum powder is recovered from the molten salt. 4. The reducing agent ions contained in the molten salt are collected and recycled as a reducing agent by a method such as electrolysis.

【0011】このように、タンタル塩と還元剤とを直接
接触させずにタンタル塩を還元するとは、タンタル塩と
還元剤とを混合するなどして直接接触させる従来の操作
とは異なり、タンタル塩を媒体(溶融塩)に溶解し、こ
の媒体に液化、あるいは気化した還元剤を作用させ、こ
の媒体を介して媒体中のタンタル塩を還元する操作をい
う。
The reduction of the tantalum salt without directly contacting the tantalum salt and the reducing agent is different from the conventional operation of directly contacting the tantalum salt with the reducing agent by mixing the tantalum salt with the reducing agent. Is dissolved in a medium (molten salt), a liquefied or vaporized reducing agent is allowed to act on the medium, and the tantalum salt in the medium is reduced through the medium.

【0012】本発明において、原料としては、従来、タ
ンタル金属精錬産業分野で原材料として用いられてきた
フッ化タンタル酸カリウム、フッ化タンタル酸ナトリウ
ムなどを用いることができる。その他、溶融塩への溶解
性を考慮して使用量などを調節することにより、五塩化
タンタル、五フッ化タンタル、五ヨウ化タンタルなどタ
ンタルのハロゲン化物なども使用可能である。
In the present invention, as a raw material, potassium fluoride tantalate, sodium fluoride tantalate and the like which have been conventionally used as raw materials in the tantalum metal refining industry can be used. In addition, tantalum pentachloride, tantalum pentafluoride, tantalum pentaiodide, and other tantalum halides can be used by adjusting the amount of use in consideration of solubility in the molten salt.

【0013】還元剤とし13、熱力学的にタンタルイオ
ンを金属状態まで還元する能力を持つナトリウム、カリ
ウムなどのアルカリ金属、あるいはカルシウム、マグネ
シウムなどのアルカリ土類金属などを例示できるが、以
下の条件を満足するものが好ましい。 (1)溶融塩に溶解する。 (2)タンタルと相互に溶解しない。 (3)反応の副生物である還元剤の塩化物、フッ化物、
ヨウ化物などの塩が溶融塩に溶解する。 (4)溶融塩との比重差が大きい。 (5)反応終了後に副生物のみを電気分解によってリサ
イクルできる。 (6)安価で資源的に豊富である。 これらの条件を満足するものとしては、ナトリウム、マ
グネシウムなどを例示することができる。マグネシウム
は工業的に再生が容易であるため好ましい。
Examples of the reducing agent 13 include alkali metals such as sodium and potassium or alkaline earth metals such as calcium and magnesium which have the ability to thermodynamically reduce tantalum ions to a metallic state. Are preferably satisfied. (1) Dissolve in molten salt. (2) It does not dissolve mutually with tantalum. (3) chlorides and fluorides of reducing agents, which are by-products of the reaction,
Salts such as iodide dissolve in the molten salt. (4) The specific gravity difference from the molten salt is large. (5) After the reaction, only by-products can be recycled by electrolysis. (6) Inexpensive and resource-rich. Examples of those satisfying these conditions include sodium and magnesium. Magnesium is preferred because it is industrially easy to regenerate.

【0014】溶融塩としては、以下の条件を満足すると
好ましい。 (1)還元剤およびタンタル粉末に対して熱化学的に安
定で、化学反応の媒質となる。 (2)高温で使用されるため、蒸気圧が低く、飛散しに
くい特性を備えている。 (3)安価で資源的に豊富である。 (4)省エネルギーの観点から低温で溶融する。したが
って、(5)不純物の混入をさけるため、例えば原料が
タンタルの塩化物であれば、溶融塩も塩化物であること
が望ましい。
The molten salt preferably satisfies the following conditions. (1) It is thermochemically stable with respect to a reducing agent and tantalum powder, and serves as a medium for a chemical reaction. (2) Since it is used at a high temperature, it has a low vapor pressure and has a property of hardly scattering. (3) Inexpensive and resource-rich. (4) Melting at low temperature from the viewpoint of energy saving. Therefore, (5) in order to avoid mixing of impurities, for example, if the raw material is tantalum chloride, it is desirable that the molten salt is also chloride.

【0015】これらの条件を満足し、かつ還元剤に対す
る安定性の観点から、アルカリ金属もしくはアルカリ土
類金属の塩などが好ましく、塩を形成する陰イオンは、
前記(5)に示したように原料にあわせて選択すると好
ましい。還元反応終了後の還元イオンとタンタルの分離
・回収、および還元剤のリサイクルを考慮すると、アル
カリ金属もしくはアルカリ土類金属の塩化物などが好ま
しい。
From the viewpoint of satisfying these conditions and stability against the reducing agent, an alkali metal or alkaline earth metal salt or the like is preferable.
It is preferable to select according to the raw material as shown in the above (5). Considering separation and recovery of reduced ions and tantalum after completion of the reduction reaction and recycling of the reducing agent, chlorides of alkali metals or alkaline earth metals are preferred.

【0016】以下、本発明のタンタル粉末の製造方法に
ついて、第1ないし第2の例を示して説明する。 (第1の例)図1は第1の例のタンタル粉末の製造方法
に使用する装置構成の説明図であっって、図中符号1は
緻密質のムライト、あるいはステンレス製などの容器1
である。この容器1は上部に開口する有底中空円筒体の
本体1aと、その蓋1bとからなり、本体1aの周囲に
はヒータ1cが設けられている。蓋1bには温度計4、
パイプ(ランス)7が設けられ、これらが容器1内に挿
入されている。なお、パイプ7の詳細については後述す
るが、溶融塩を製造するまでは閉じた状態にしておく。
さらに蓋1bにはガス流通管6が設けられており、ここ
から容器1内の雰囲気の置換、容器1内の真空引きを行
うようになっている。
Hereinafter, the method for producing tantalum powder of the present invention will be described with reference to first and second examples. (First Example) FIG. 1 is an explanatory view of the structure of an apparatus used in the method of manufacturing a tantalum powder of the first example. In the figure, reference numeral 1 denotes a container 1 made of dense mullite or stainless steel.
It is. The container 1 includes a main body 1a of a hollow cylindrical body having a bottom and an upper opening, and a lid 1b. A heater 1c is provided around the main body 1a. Thermometer 4 on lid 1b,
Pipes (lances) 7 are provided, and these are inserted into the container 1. Although the details of the pipe 7 will be described later, the pipe 7 is kept closed until the molten salt is produced.
Further, the lid 1b is provided with a gas flow pipe 6, from which the atmosphere inside the container 1 is replaced and the inside of the container 1 is evacuated.

【0017】まず、上部に開口する有底中空円筒体の緻
密質アルミナ(Al23)製、あるいは酸化マグネシウ
ム製などのるつぼ2に、溶融前の塩を装填して本体1a
内に設置する。この例において、塩はKCl−NaCl
共晶組成のものであり、その使用量は200g、るつぼ
2のサイズは内径42mmφ、高さ155mmである。
ついで、ヒータ1cを作動させるとともに、ガス流通管
6を通じて容器1内を真空にすることによって、室温〜
600℃、1〜24時間の条件で真空乾燥する。この例
の具体的な条件は200℃、2時間である。この真空乾
燥により、溶融塩の安定性を高め、また、生成するタン
タル粉末が、溶融塩中の水から生じる酸素によって酸化
するのを防ぐことができる。
First, a salt before melting is charged into a crucible 2 made of dense alumina (Al 2 O 3 ) or a magnesium oxide made of a hollow cylinder with a bottom and opened at the upper portion.
Install inside. In this example, the salt is KCl-NaCl
The crucible 2 has an inner diameter of 42 mm and a height of 155 mm.
Next, the heater 1c is operated, and the inside of the container 1 is evacuated through the gas flow pipe 6, so that the temperature from room temperature to
Vacuum dry at 600 ° C. for 1 to 24 hours. The specific condition of this example is 200 ° C. for 2 hours. By this vacuum drying, the stability of the molten salt can be enhanced, and the generated tantalum powder can be prevented from being oxidized by oxygen generated from water in the molten salt.

【0018】ついで、容器1内をガス流通管6を通じて
アルゴンガス、窒素ガスなどの不活性ガスで置換した
後、660〜1000℃まで昇温して0〜2時間保持
し、容器1内の塩を溶融状態(溶融塩3)とする。この
例において、昇温温度は約900℃、保持時間は0.5
時間である。そして、還元剤8を入れたるつぼ9をこの
溶融塩3中に降下し、660〜1000℃で、0.5〜
12時間程度保持する。この例において、保持温度は約
900℃、保持時間は0.5時間である。るつぼ9の壁
面には複数の孔が形成されており、気体や液体が、この
孔を介してるつぼ9の内部と外部を流通するようになっ
ている。
Then, after the inside of the container 1 is replaced with an inert gas such as argon gas or nitrogen gas through a gas flow pipe 6, the temperature is raised to 660 to 1000 ° C. and maintained for 0 to 2 hours. In a molten state (molten salt 3). In this example, the heating temperature is about 900 ° C., and the holding time is 0.5
Time. Then, the crucible 9 containing the reducing agent 8 is lowered into the molten salt 3, and at 660 to 1000 ° C., 0.5 to
Hold for about 12 hours. In this example, the holding temperature is about 900 ° C. and the holding time is 0.5 hour. A plurality of holes are formed in the wall surface of the crucible 9 so that gas and liquid can flow between the inside and the outside of the crucible 9 through the holes.

【0019】なお、るつぼ9の材料は還元剤に対する熱
力学的な安定性、化学反応性などの観点から選択され
る。この例においては還元剤としてマグネシウムを用い
ているので、るつぼ9の材料は、マグネシウムに対して
熱力学的に安定性な酸化マグネシウムが選択されてい
る。しかし、この場合、マグネシウムと酸化マグネシウ
ムの熱力学的酸素ポテンシャルより、酸素が溶融塩3中
に溶け出し、その結果酸素を含んだタンタル粉末が得ら
れる。したがって、酸素の混入が問題となる場合には、
るつぼ9の材料は還元剤と化学反応を起こさない材質を
選択すると好ましい。還元剤がマグネシウムの場合は、
例えば鉄などが好適である。
The material of the crucible 9 is selected from the viewpoint of thermodynamic stability to a reducing agent, chemical reactivity, and the like. In this example, since magnesium is used as the reducing agent, the material of the crucible 9 is selected from magnesium oxide which is thermodynamically stable with respect to magnesium. However, in this case, oxygen is dissolved in the molten salt 3 due to the thermodynamic oxygen potential of magnesium and magnesium oxide, and as a result, a tantalum powder containing oxygen is obtained. Therefore, when mixing of oxygen is a problem,
It is preferable to select a material that does not cause a chemical reaction with the reducing agent for the material of the crucible 9. When the reducing agent is magnesium,
For example, iron is suitable.

【0020】ついで、蓋1bの上方からパイプ7を溶融
塩3に挿入した状態で、溶融塩3の温度を900〜95
0℃に維持し、このパイプ7から加熱してガス状とした
原料を供給し、溶融塩3中に吹き込む。あるいは溶融塩
3の温度は、通常原料の沸点をこえているため、常温で
固体状態の還元剤粒子を、アルゴンガス、窒素ガスなど
の不活性ガスとともにパイプ7に投入するとともにガス
状とし、溶融塩3に吹き込む方法なども例示できる。こ
の例において、原料は五酸化タンタルを用いており、そ
の沸点は約240℃なので、約900℃に維持された溶
融塩3に投入すると、速やかに気化される。
Next, with the pipe 7 inserted into the molten salt 3 from above the lid 1b, the temperature of the molten salt 3 is increased to 900-95.
While maintaining the temperature at 0 ° C., the raw material which is heated and gasified is supplied from the pipe 7 and is blown into the molten salt 3. Alternatively, since the temperature of the molten salt 3 usually exceeds the boiling point of the raw material, the reducing agent particles in a solid state at room temperature are put into a pipe 7 together with an inert gas such as an argon gas or a nitrogen gas and gasified. A method of blowing into the salt 3 can also be exemplified. In this example, tantalum pentoxide is used as the raw material, and its boiling point is about 240 ° C. Therefore, when it is put into the molten salt 3 maintained at about 900 ° C., it is quickly vaporized.

【0021】その結果、溶融塩3中の還元剤と原料との
化学反応が進行する。この例においてパイプ7の材料と
してはるつぼ9の材料と同様の理由によって酸化マグネ
シウムが選択されている。その後、るつぼ9とパイプ7
を引き上げて自然冷却する。
As a result, the chemical reaction between the reducing agent in the molten salt 3 and the raw material proceeds. In this example, magnesium oxide is selected as the material of the pipe 7 for the same reason as the material of the crucible 9. Then, crucible 9 and pipe 7
And let it cool naturally.

【0022】ついで、溶融塩3を流水と酢酸などの酸で
洗い流して回収し、水とタンタル粉末の混合物を得る。
この混合物中のタンタル粉末を遠心分離もしくは濾過な
どの操作によって水と分離し、乾燥してタンタル粉末を
回収する。このタンタル粉末を構成する粒子の形状、サ
イズなどは、エネルギー分散X線分光(EDX)による
元素分析、粉末回折装置による相同定、走査型電子顕微
鏡(SEM)による形状分析などによって特定すること
ができる。
Next, the molten salt 3 is recovered by washing with running water and an acid such as acetic acid to obtain a mixture of water and tantalum powder.
The tantalum powder in the mixture is separated from water by an operation such as centrifugation or filtration, and dried to collect the tantalum powder. The shape and size of the particles constituting the tantalum powder can be specified by elemental analysis using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), phase identification using a powder diffractometer, shape analysis using a scanning electron microscope (SEM), and the like. .

【0023】(第2の例)第2の例のタンタル粉末の製
造方法は、溶融塩中にタンタルイオンが存在する混合塩
を製造する第1工程と、この混合塩に還元剤を作用させ
てタンタル粉末を得る第2工程とからなる。また、還元
剤、溶融塩および原料は、第1の例と同様のものを用い
る。
(Second Example) The method for producing tantalum powder of the second example is a first step of producing a mixed salt in which a tantalum ion is present in a molten salt, and a reducing agent is acted on this mixed salt. A second step of obtaining tantalum powder. Further, the same reducing agent, molten salt and raw material as in the first example are used.

【0024】図2は第1工程に使用する装置の概略構成
図であって、図1に示した装置と同様の構成については
同符号を付して説明を省略する。なお、この例におい
て、るつぼ12は緻密な酸化マグシウム製とする。ま
た、原料を供給するパイプ17の先端にはタンタル箔1
7aが充填されており、このタンタル箔17aを透過し
てガス状の原料が供給されるようになっている。タンタ
ル箔17aを透過して原料を供給することにより、不均
化という効果が得られる。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an apparatus used in the first step. The same components as those of the apparatus shown in FIG. In this example, the crucible 12 is made of dense magnesium oxide. Also, a tantalum foil 1 is provided at the tip of the pipe 17 for supplying the raw material.
7a, and a gaseous raw material is supplied through the tantalum foil 17a. By supplying the raw material through the tantalum foil 17a, an effect of disproportionation can be obtained.

【0025】まず、パイプ17をセットして容器1内
に、温度850〜950℃(この例においては900
℃)の条件で原料を吹き込んで、溶融塩に原料を溶解す
る。その後パイプ17を取り外して自然冷却し、原料中
のタンタルイオンを含む溶融塩からなる混合塩を得る。
First, the pipe 17 is set, and a temperature of 850 to 950 ° C. (900 in this example) is set in the vessel 1.
The raw material is blown under the condition of (° C.) to dissolve the raw material in the molten salt. Thereafter, the pipe 17 is removed and the mixture is naturally cooled to obtain a mixed salt composed of a molten salt containing tantalum ions in the raw material.

【0026】図3は第2工程に使用する装置の概略構成
図である。上述のようにして得た混合塩22(この例に
おいては30g)をるつぼ23に入れて、このるつぼ2
3をステンレスなどからなる密封容器21内に設置す
る。密封容器21にはヒータ21aが設けられている。
この例において、るつぼ23はアルミナ製である。一
方、るつぼ24に入れた還元剤25を密封容器21内に
配置する。この例において、るつぼ24の材料は還元剤
25であるマグネシウムに対する熱安定性を考慮して、
酸化マグネシウムあるいは鉄などを用いると好ましく、
この例においては酸化マグネシウムが用いられている。
FIG. 3 is a schematic structural view of an apparatus used in the second step. The mixed salt 22 (30 g in this example) obtained as described above is put into a crucible 23 and
3 is placed in a sealed container 21 made of stainless steel or the like. The sealed container 21 is provided with a heater 21a.
In this example, the crucible 23 is made of alumina. On the other hand, the reducing agent 25 put in the crucible 24 is arranged in the sealed container 21. In this example, the material of the crucible 24 is made in consideration of thermal stability to magnesium as the reducing agent 25,
It is preferable to use magnesium oxide or iron,
In this example, magnesium oxide is used.

【0027】ついで、減圧ポンプなどを用いて密封容器
21内を真空状態とした後、還元剤が酸化して消失する
のを防ぐため、アルゴンガス、窒素ガスなどの不活性ガ
スで密封容器21内の雰囲気を置換し、850〜950
℃に昇温して1〜6時間保持する。この例においては昇
温温度は900℃、保持する時間は3時間である。する
と、るつぼ24内の還元剤25が気化して密封容器21
の雰囲気中にガス状の還元剤が存在する状態となる。そ
して、このガス状の還元剤はるつぼ23内の混合塩22
に作用し、混合塩22内にタンタル粉末が生成する。つ
いで、混合塩22を水、酢酸などの酸で洗い流して回収
し、第1の例と同様にしてタンタル粉末を得る。
Next, after the inside of the sealed container 21 is evacuated using a decompression pump or the like, an inert gas such as argon gas or nitrogen gas is used to prevent the reducing agent from oxidizing and disappearing. 850 to 950
C. and maintain for 1-6 hours. In this example, the heating temperature is 900 ° C., and the holding time is 3 hours. Then, the reducing agent 25 in the crucible 24 evaporates and the sealed container 21
Is in a state in which a gaseous reducing agent is present in the atmosphere. The gaseous reducing agent is mixed with the mixed salt 22 in the crucible 23.
And a tantalum powder is generated in the mixed salt 22. Next, the mixed salt 22 is washed away with an acid such as water or acetic acid and collected, and a tantalum powder is obtained in the same manner as in the first example.

【0028】図4は、本発明のタンタル粉末の一例につ
いて、SEMによって撮影した写真である。四角柱状の
粒子が複数形成され、これら柱状の粒子が10〜100
0本程度放射状に集合した放射状集合粒子が形成されて
いる。本発明のタンタル粉末において、柱状の粒子の長
さは2〜20μm、この長さ方向に直交する断面である
四角形の1辺の長さは0.1〜2μmである。また、前
記粒子の長さに対する、前記四角形の1辺の長さの比率
は1/2〜1/100好ましくは1/5〜1/30であ
る。1/2をこえると従来の球状粒子の場合との差が小
さく、1/100未満であると柱状の粒子自体の強度が
低下しやすくなる場合がある。また、放射状集合粒子の
平均粒径は0.2〜10μm、好ましくは0.3〜5μ
mである。0.2μm未満の場合はハンドリングが困難
であり、10μmをこえるとタンタル粉末の表面積が小
さくなるため不都合である。
FIG. 4 is a photograph taken by an SEM of an example of the tantalum powder of the present invention. A plurality of square columnar particles are formed, and these columnar particles are 10 to 100.
Radially aggregated particles are formed in which approximately 0 radially aggregated particles are formed. In the tantalum powder of the present invention, the length of the columnar particles is 2 to 20 μm, and the length of one side of the square, which is a cross section orthogonal to the length direction, is 0.1 to 2 μm. The ratio of the length of one side of the square to the length of the particles is 1/2 to 1/100, preferably 1/5 to 1/30. If it exceeds 1 /, the difference from the case of the conventional spherical particles is small, and if it is less than 1/100, the strength of the columnar particles themselves tends to decrease. The average diameter of the radially aggregated particles is 0.2 to 10 μm, preferably 0.3 to 5 μm.
m. If it is less than 0.2 μm, handling is difficult, and if it exceeds 10 μm, the surface area of the tantalum powder becomes small, which is inconvenient.

【0029】このように柱状の粒子からなるタンタル粉
末を用いて、常法によって多孔質焼結体を形成すると、
複数の柱状の粒子が交差して多孔質焼結体内の空孔が形
成されるため、プレス加工の際に空孔が潰れにくく、表
面積が大きく、かつ適度な強度を備えた多孔質焼結体が
得られる。また、閉孔や壺状空孔が生じにくいため、固
体電解質被膜の形成不良が生じにくいものが得られる。
そして、放射状集合粒子からなるタンタル粉末を用いる
と、隣接する粒子間に確実に空孔が形成されるため、こ
れらの効果はさらに向上する。
When a porous sintered body is formed by a conventional method using the tantalum powder composed of columnar particles,
Since a plurality of columnar particles intersect to form pores in the porous sintered body, the pores are not easily crushed during press working, and have a large surface area and moderate strength. Is obtained. In addition, since a closed hole and a pot-shaped void are not easily generated, a solid electrolyte film that is hardly formed is poorly obtained.
When tantalum powder composed of radially aggregated particles is used, voids are surely formed between adjacent particles, so that these effects are further improved.

【0030】また、図5は本発明のタンタル粉末の一例
についてX線(EDX)による成分同定を行った結果を
示したチャートである。横軸はX線のエネルギーであっ
て、単位はkeV、左端が0.000keV、右端が1
0.110keVである。また、予め分かっているタン
タルのX線ピークの位置には、Taの記号が自動的に付
与されている。縦軸はX線の強度で、単位は100秒間
のカウント数である。下端はゼロ、上端は5000カウ
ントである。最強のピークは5000カウントをこえて
いる。このチャートより、タンタルが強く検出されてい
ることがわかる。また、るつぼの材料などに起因するア
ルミニウムが不純物としてわずかに検出された。
FIG. 5 is a chart showing the results of component identification by X-ray (EDX) of one example of the tantalum powder of the present invention. The horizontal axis is the energy of the X-ray, the unit is keV, the left end is 0.000 keV, and the right end is 1
0.110 keV. The symbol of Ta is automatically given to the position of the X-ray peak of tantalum which is known in advance. The vertical axis is the X-ray intensity, and the unit is the number of counts in 100 seconds. The bottom is zero and the top is 5000 counts. The strongest peak is over 5000 counts. This chart shows that tantalum is strongly detected. Further, aluminum caused by the material of the crucible was slightly detected as an impurity.

【0031】なお、本発明のタンタル粉末を用いた固体
電解コンデンサーは、上述のような常法によって多孔質
焼結体とし、この多孔質焼結体(陽極)の表面に酸化マ
ンガンなどからなる固体電解質被膜を形成し、その上に
Ni線などからなる陰極をハンダ付けし、さらにこれら
を難燃性エポキシ樹脂などの外装樹脂によって一体に覆
うことによって構成することができる。
The solid electrolytic capacitor using the tantalum powder of the present invention is formed into a porous sintered body by the above-described ordinary method, and the surface of the porous sintered body (anode) is made of a solid material such as manganese oxide. It can be constituted by forming an electrolyte film, soldering a cathode made of a Ni wire or the like on the electrolyte film, and further integrally covering these with an exterior resin such as a flame-retardant epoxy resin.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように本発明のタンタル粉
末を用いることにより、適度な強度を有し、かつ空孔率
が高い多孔質焼結体が得られる。よって、大容量の固体
電解コンデンサーを得ることができる。また、多孔質焼
結体において、閉孔や壺状空孔が生じにくいため、固体
電解質被膜の形成不良が生じにく、固体電解コンデンサ
ーのESRの増加を防ぐことができる。
As described above, by using the tantalum powder of the present invention, a porous sintered body having appropriate strength and high porosity can be obtained. Therefore, a large-capacity solid electrolytic capacitor can be obtained. Further, in the porous sintered body, since closed holes and pot-shaped voids are hardly generated, poor formation of the solid electrolyte film does not easily occur, and an increase in ESR of the solid electrolytic capacitor can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1の例のタンタル粉末の製造方法
に使用する装置構成の説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of an apparatus configuration used for a method of manufacturing a tantalum powder according to a first example of the present invention.

【図2】 本発明の第2の例のタンタル粉末の製造方法
の第1工程に使用する装置構成の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view of an apparatus configuration used in a first step of a method of manufacturing a tantalum powder according to a second example of the present invention.

【図3】 本発明の第2の例のタンタル粉末の製造方法
の第2工程に使用する装置構成の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view of an apparatus configuration used in a second step of a method for producing a tantalum powder according to a second example of the present invention.

【図4】 本発明のタンタル粉末の一例について、SE
Mによって撮影した顕微鏡写真である。
FIG. 4 shows an example of the tantalum powder of the present invention in SE
3 is a micrograph taken by M.

【図5】 本発明のタンタル粉末の一例についてX線
(EDX)による成分同定を行った結果を示したチャー
トである。
FIG. 5 is a chart showing the results of component identification by X-ray (EDX) for an example of the tantalum powder of the present invention.

【図6】 従来のタンタル粉末からなる多孔質焼結体の
一例について、SEMによって撮影した顕微鏡写真であ
る。
FIG. 6 is a photomicrograph taken by SEM of an example of a conventional porous sintered body made of tantalum powder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3…溶融塩、 8…還元剤、 22…混合塩、 25…還元剤。 3 ... molten salt, 8 ... reducing agent, 22 ... mixed salt, 25 ... reducing agent.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C22F 1/18 C22F 1/00 621 H01G 9/00 628 // C22F 1/00 621 661Z 628 H01G 9/05 K 661 9/24 C (72)発明者 飯島 均 福島県河沼郡河東町大字東長原字長谷地 111 昭和キャボットスーパーメタル株式 会社内 Fターム(参考) 4K017 AA03 BA07 DA08 EH01 FB10 FB11 4K018 AA40 BA03 BB01 BB10 DA11 KA22 KA39 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C22F 1/18 C22F 1/00 621 H01G 9/00 628 // C22F 1/00 621 661Z 628 H01G 9/05 K 661 9/24 C (72) Inventor Hitoshi Iijima Haseji, Higashi-Nagahara, Kato-cho, Kawanuma-gun, Fukushima Prefecture Showa Cabot Super Metal Co., Ltd. F-term (reference) 4K017 AA03 BA07 DA08 EH01 FB10 FB11 4K018 AA40 BA03 BB01 BB10 DA11 KA22 KA39

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 柱状の粒子を含むことを特徴とするタン
タル粉末。
1. A tantalum powder comprising columnar particles.
【請求項2】 請求項1のタンタル粉末において、柱状
の粒子が複数放射状に集合した放射状集合粒子を含むこ
とを特徴とするタンタル粉末。
2. The tantalum powder according to claim 1, wherein said tantalum powder includes radially aggregated particles in which a plurality of columnar particles are radially aggregated.
【請求項3】 請求項1または2に記載のタンタル粉末
において、タンタル塩と還元剤とを直接接触させずに、
該タンタル塩を還元して得たことを特徴とするタンタル
粉末。
3. The tantalum powder according to claim 1, wherein the tantalum salt and the reducing agent are not brought into direct contact with each other,
A tantalum powder obtained by reducing the tantalum salt.
【請求項4】 前記還元剤がマグネシウム還元剤または
ナトリウム還元剤であることを特徴とする請求項3に記
載のタンタル粉末。
4. The tantalum powder according to claim 3, wherein the reducing agent is a magnesium reducing agent or a sodium reducing agent.
【請求項5】 タンタル塩と還元剤とを直接接触させず
に、該タンタル塩を還元してタンタル粉末を得ることを
特徴とするタンタル粉末の製造方法。
5. A method for producing a tantalum powder, comprising reducing the tantalum salt without directly contacting the tantalum salt with a reducing agent to obtain a tantalum powder.
【請求項6】 前記還元剤がマグネシウム還元剤または
ナトリウム還元剤であることを特徴とする請求項5に記
載のタンタル粉末の製造方法。
6. The method according to claim 5, wherein the reducing agent is a magnesium reducing agent or a sodium reducing agent.
【請求項7】 請求項1〜4のいずれか一項に記載のタ
ンタル粉末からなることを特徴とする多孔質焼結体。
7. A porous sintered body comprising the tantalum powder according to any one of claims 1 to 4.
【請求項8】 請求項7に記載の多孔質焼結体からなる
陽極を備えていることを特徴とする固体電解コンデンサ
ー。
8. A solid electrolytic capacitor comprising an anode made of the porous sintered body according to claim 7.
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