JP2001143251A - Magnetic recording medium and magnetic recorder - Google Patents
Magnetic recording medium and magnetic recorderInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体および
これを用いた磁気記録装置に存する。特に、保磁力に優
れ、且つS/N比等の電磁変換特性や磁気記録層の熱的
安定性に優れた、高記録密度媒体およびこれを用いた磁
気記録装置に存する。[0001] The present invention relates to a magnetic recording medium and a magnetic recording apparatus using the same. In particular, the present invention relates to a high recording density medium and a magnetic recording apparatus using the same, which are excellent in coercive force, and excellent in electromagnetic conversion characteristics such as S / N ratio and thermal stability of a magnetic recording layer.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、磁気ディスク装置、フロッピー
(登録商標)ディスク装置、磁気テープ装置等の磁気記
録装置の適用範囲は著しく増大され、その重要性が増す
と共に、これらの装置や、これに用いられる磁気記録媒
体について、高記録密度への対応が図られてきた。例え
ば磁気記録媒体の高記録密度化に伴い、記録・再生ヘッ
ドとしてMRヘッドやGMRヘッドの使用やデジタル信
号エラー修正技術としてPRML(Partial R
esponse Maximum Likelifoo
d)技術の導入以来、記録密度の増加はさらに激しさを
増し、最近では1年に60%ものペースで増加を続けて
いる。2. Description of the Related Art In recent years, the application range of magnetic recording devices such as magnetic disk devices, floppy (registered trademark) disk devices, and magnetic tape devices has been remarkably increased, and their importance has been increased. Magnetic recording media have been adapted to high recording densities. For example, as the recording density of a magnetic recording medium increases, an MR head or a GMR head is used as a recording / reproducing head, and a PRML (Partial R) is used as a digital signal error correction technique.
esponse Maximum Likelihood
d) Since the introduction of technology, the increase in recording density has become even more intense, and has recently been increasing at a rate of 60% per year.
【0003】このように、磁気記録媒体については今後
更に高記録密度化を達成することが要求されており、そ
のために磁気記録層の高保磁力化と高信号対雑音比(S
/N比)、高分解能を達成することが要求されている。
さらに、近年では、高記録密度を達成するために磁気記
録層の膜厚がより薄膜化の傾向にあり、これに伴い磁気
記録された磁化が微細化された磁性粒子の熱的攪乱によ
って弱められるという現象が顕在化し、磁気記録の熱的
安定性が大きな技術的課題となっている。とりわけ、S
/N比を改善しようとするとこの熱的安定性が低下する
ケースが多く、この二つの性能を両立させることが開発
の目標となっている。これは、一般的にS/N比に優れ
た磁気記録媒体では、磁気記録層を構成する磁性粒子の
結晶粒子サイズが微細であり、これが磁気記録媒体のノ
イズ低減に有効である反面、磁気記録の熱的安定性の観
点からは不安定な状態となりやすいためである。As described above, it is required to further increase the recording density of the magnetic recording medium in the future. For this purpose, a higher coercive force of the magnetic recording layer and a higher signal-to-noise ratio (S) are required.
/ N ratio) and high resolution are required.
Furthermore, in recent years, in order to achieve high recording density, the thickness of the magnetic recording layer has been becoming thinner, and accordingly, the magnetically recorded magnetization has been weakened by thermal disturbance of the fine magnetic particles. This phenomenon has become apparent, and the thermal stability of magnetic recording has become a major technical issue. Above all, S
In many cases, the thermal stability is reduced in order to improve the / N ratio, and it is a development goal to make these two performances compatible. This is because, in general, in a magnetic recording medium having an excellent S / N ratio, the crystal grain size of the magnetic particles constituting the magnetic recording layer is fine, which is effective for reducing noise of the magnetic recording medium. This is because an unstable state is likely to occur from the viewpoint of thermal stability.
【0004】また、近年の磁気記録媒体においては、急
激な記録密度の上昇に対応するためにS/N比、PW5
0といった電磁変換特性のファクターが一段と重視され
ている。ここでPW50とは、磁気記録において記録信
号の孤立波を記録再生した場合に観測される孤立波形の
半値幅のことであり、信号の分解能に直結する量であ
る。この量が小さいほど、優れた磁気記録媒体である。Further, in recent magnetic recording media, the S / N ratio, PW5
Factors of the electromagnetic conversion characteristics such as 0 are more emphasized. Here, the PW50 is a half-value width of an isolated waveform observed when recording and reproducing an isolated wave of a recording signal in magnetic recording, and is an amount directly connected to the signal resolution. The smaller the amount, the better the magnetic recording medium.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】これまで高保磁力、高
S/N比を実現するための技術としてhcp構造を有す
るCo合金中間層をCr又はCr合金下地層とCo合金
磁気記録層との間に形成する方法が知られている(特開
平8−329444号公報等)。この方法では、Co合
金磁気記録層の保磁力を大幅に増大させ、電磁変換特性
を改善する効果が報告されている。しかしながら、この
技術をそのまま利用しても前述のような媒体の熱的安定
性に対する効果は、十分なものではなかった。これは先
に述べたように、S/N比の改善をしようとするとそれ
に伴う磁気記録の熱的安定性の低下を招いてしまったた
めである。従来のCo合金中間層を用いる高保磁力、高
S/N比化の技術においては、Co合金中間層の膜厚が
厚すぎると著しく電磁変換特性が低下するので、S/N
比やPW50等の電磁変換特性を向上させるためにはC
o合金中間層の膜厚を可能な限り薄く設定することが必
要であった。その一方で熱的安定性確保の観点からは、
Co合金中間層膜厚をある程度以上とする必要があっ
た。As a technique for achieving a high coercive force and a high S / N ratio, a Co alloy intermediate layer having an hcp structure has been used between a Cr or Cr alloy underlayer and a Co alloy magnetic recording layer. Is known (for example, JP-A-8-329444). According to this method, the effect of significantly increasing the coercive force of the Co alloy magnetic recording layer and improving the electromagnetic conversion characteristics has been reported. However, even if this technique is used as it is, the effect on the thermal stability of the medium as described above has not been sufficient. This is because, as described above, an attempt to improve the S / N ratio causes a reduction in thermal stability of magnetic recording. In the conventional technology of high coercive force and high S / N ratio using a Co alloy intermediate layer, if the thickness of the Co alloy intermediate layer is too thick, the electromagnetic conversion characteristics are significantly reduced.
In order to improve the electromagnetic conversion characteristics such as the ratio and PW50, C
It was necessary to set the thickness of the o alloy intermediate layer as thin as possible. On the other hand, from the viewpoint of securing thermal stability,
It was necessary to make the Co alloy intermediate layer film thickness more than a certain level.
【0006】このようにPW50やS/N比をはじめと
した電磁変換特性が極めて重視されている今日において
は、従来のCo合金中間層を用いた技術では優れた熱的
安定性と電磁変換特性とを両立させることは極めて困難
であった。As the electromagnetic conversion characteristics such as the PW50 and the S / N ratio are regarded as very important in the present day, the conventional technology using the Co alloy intermediate layer has excellent thermal stability and electromagnetic conversion characteristics. It was extremely difficult to achieve both.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明はCo合金中間層
とこの上に形成されるCo合金磁気記録層の結晶構造の
関係をコントロールすることによって、Co合金磁気記
録層が微細化された磁性粒子を含むものであっても磁気
記録媒体におけるPW50やS/N比等の電磁変換特性
を損なうことなく、磁気記録の熱的安定性を向上させる
ことを見出し、本発明を完成させた。すなわち本発明の
要旨は、基板上に少なくともCo合金中間層、Co合金
磁気記録層を順次設けてなる磁気記録媒体において、該
Co合金中間層およびCo合金磁気記録層の結晶構造が
hcp構造であり、Co合金中間層の結晶格子定数をL
i、Co合金磁気記録層の結晶格子定数をLmとしたと
き、SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, by controlling the relationship between the crystal structure of a Co alloy intermediate layer and the Co alloy magnetic recording layer formed thereon, the magnetic properties of the Co alloy magnetic recording layer are reduced. The present inventors have found that even if the magnetic recording medium contains particles, the thermal stability of magnetic recording can be improved without impairing the electromagnetic conversion characteristics such as PW50 and S / N ratio of the magnetic recording medium, and the present invention has been completed. That is, the gist of the present invention is that, in a magnetic recording medium in which at least a Co alloy intermediate layer and a Co alloy magnetic recording layer are sequentially provided on a substrate, the crystal structure of the Co alloy intermediate layer and the Co alloy magnetic recording layer is an hcp structure. , The crystal lattice constant of the Co alloy intermediate layer is L
i, when the crystal lattice constant of the Co alloy magnetic recording layer is Lm,
【0008】[0008]
【数2】|Lm−Li|/Lm<0.019 であることを特徴とする磁気記録媒体、およびこれを用
いた磁気記録装置に存する。| Lm−Li | / Lm <0.019 The present invention resides in a magnetic recording medium and a magnetic recording apparatus using the same.
【0009】本発明によって、従来のCo合金中間層の
欠点を克服した、優れた高記録密度磁気記録媒体を提供
することが可能となる。According to the present invention, it is possible to provide an excellent high-density magnetic recording medium which overcomes the drawbacks of the conventional Co alloy intermediate layer.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の磁気記録媒体は基板上に非磁性のCo合金中間
層とCo合金磁気記録層を順次、設けたものである。本
発明の磁気記録媒体における基板としては、Alを主成
分とした例えばAl−Mg合金等のAl合金基板や、通
常のソーダガラス、アルミノシリケート系ガラス、結晶
化ガラス類、シリコン、チタン、セラミックス、各種樹
脂からなる基板など、任意のものを用いることができ
る。中でもAl合金基板や結晶化ガラス等のガラス基板
を用いることが好ましい。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The magnetic recording medium of the present invention has a non-magnetic Co alloy intermediate layer and a Co alloy magnetic recording layer sequentially provided on a substrate. As the substrate in the magnetic recording medium of the present invention, for example, an Al alloy substrate containing Al as a main component such as an Al-Mg alloy, ordinary soda glass, aluminosilicate glass, crystallized glass, silicon, titanium, ceramics, Any material such as a substrate made of various resins can be used. Among them, it is preferable to use an Al alloy substrate or a glass substrate such as crystallized glass.
【0011】本発明においては、Co合金磁気記録層に
は任意のCo合金磁性材料を用いることができ、例えば
CoやCoNi、CoSm、CoCrTa、CoNiC
r、CoCrPtなどや、これらのCo合金に更にN
i、Cr、Pt、Ta、W、Bなどの元素やSiO2等
の化合物を加えたもの、例えばCoCrPtTa、Co
CrPtB、CoNiPt、CoNiCrPtB等の、
Coを主成分とする合金磁性材料を使用できる。本発明
では1原子%以上、30原子%未満のCrを含有するC
o合金が特に好ましい。更に、ホウ素(B)を含有させ
ることによって、Co合金磁気記録層における結晶粒子
が微細化し、S/N比が良好であり且つ熱的安定性の低
下を抑制し、本発明の効果を著しく示しているので好ま
しい。Bの含有量は1〜10原子%が好ましい。Co合
金磁気記録層の膜厚は製造する磁気記録媒体により適宜
選択すればよいが、一般的に厚すぎると電磁変換特性の
低下がみられることがあるので、膜厚は50〜400
Å、好ましくは100〜300Å、さらに好ましくは1
00〜250Åである。In the present invention, any Co alloy magnetic material can be used for the Co alloy magnetic recording layer. For example, Co, CoNi, CoSm, CoCrTa, CoNiC
r, CoCrPt, and these Co alloys
i, Cr, Pt, Ta, W, B and other elements and compounds such as SiO 2 , for example, CoCrPtTa, Co
CrPtB, CoNiPt, CoNiCrPtB, etc.
An alloy magnetic material containing Co as a main component can be used. In the present invention, C containing 1 atomic% or more and less than 30 atomic% of Cr is used.
An o-alloy is particularly preferred. Further, by containing boron (B), the crystal grains in the Co alloy magnetic recording layer are refined, the S / N ratio is good, and the decrease in thermal stability is suppressed. Is preferred. The content of B is preferably 1 to 10 atomic%. The thickness of the Co alloy magnetic recording layer may be appropriately selected depending on the magnetic recording medium to be manufactured. However, in general, if the thickness is too large, the electromagnetic conversion characteristics may be reduced.
Å, preferably 100-300Å, more preferably 1
00 to 250 °.
【0012】Co合金中間層は通常、Crを含有させた
Co合金よりなる非磁性層である。この際のCrの含有
量は例えば、30〜60原子%、特に35〜50原子%
とするのが好ましい。30原子%未満になると中間層自
体が磁性を持つことがあり、Co合金磁気記録層の記録
磁化に悪影響を与えるので好ましくない。一方、Crの
含有量が60原子%を超えて多すぎる場合は、やはり該
Co合金中間層の結晶構造を損ねてしまうことがある。The Co alloy intermediate layer is usually a non-magnetic layer made of a Co alloy containing Cr. At this time, the content of Cr is, for example, 30 to 60 atomic%, particularly 35 to 50 atomic%.
It is preferred that If the content is less than 30 atomic%, the intermediate layer itself may have magnetism, which adversely affects the recording magnetization of the Co alloy magnetic recording layer, which is not preferable. On the other hand, if the content of Cr exceeds 60 atomic% and is too large, the crystal structure of the Co alloy intermediate layer may be damaged.
【0013】該Co合金中間層の膜厚は、製造する磁気
記録媒体によって適宜選択すればよいが、通常、1〜3
00Å、中でも5〜100Å、特に10〜50Åである
ことが好ましい。Co合金中間層とCo合金磁気記録層
は共にCoをベースとした合金層であるが、それぞれの
層の役割の違いのため、配合されるCo以外の元素の種
類やその量がそれぞれの層で大きく異なってくる場合が
多い。Co合金磁気記録層はより高密度記録を達成する
ためにより高保磁力としたり、層内の結晶粒をより小粒
径にすることが求められ、その目的のために配合される
元素の種類や量が最適化される。一方Co合金中間層は
Co合金磁気記録層への記録磁化への悪影響を最小にす
るために、非磁性とすることが好ましい。この点におい
て、Co合金磁気記録層とCo合金中間層は必然的に異
なった組成を持つことになる。しかし、一方これらの層
を作製する時には、Co合金中間層を成膜した後このC
o合金中間層の上にCo合金磁気記録層を成膜するとい
うことを考えれば、Co合金中間層の結晶構造がCo合
金磁気記録層の結晶構造にできるだけ近くするように、
Co合金中間層の結晶構造を調節することが、良好なC
o合金磁気記録層を得る上で必要となる。The thickness of the Co alloy intermediate layer may be appropriately selected depending on the magnetic recording medium to be manufactured.
00 °, preferably 5-100 °, particularly preferably 10-50 °. The Co alloy intermediate layer and the Co alloy magnetic recording layer are both Co-based alloy layers. However, due to differences in the roles of the respective layers, the types and amounts of elements other than Co to be compounded in each layer are different. Often it is very different. The Co alloy magnetic recording layer is required to have a higher coercive force to achieve higher-density recording and a smaller crystal grain size in the layer, and the types and amounts of elements to be blended for that purpose are required. Is optimized. On the other hand, the Co alloy intermediate layer is preferably non-magnetic in order to minimize the adverse effect on the recording magnetization of the Co alloy magnetic recording layer. In this regard, the Co alloy magnetic recording layer and the Co alloy intermediate layer necessarily have different compositions. However, on the other hand, when producing these layers, the C
Considering that the Co alloy magnetic recording layer is formed on the o alloy intermediate layer, the crystal structure of the Co alloy intermediate layer should be as close as possible to the crystal structure of the Co alloy magnetic recording layer.
Adjusting the crystal structure of the Co alloy intermediate layer provides a good C
Necessary for obtaining an o-alloy magnetic recording layer.
【0014】そこで、本発明においては、Co合金中間
層とCo合金磁気記録層の相互の結晶状態を特定範囲に
制御する必要がある。すなわち、本発明では前記中間層
と磁気記録層の結晶がhcp構造であり、Co合金中間
層の結晶格子定数(Li)とCo合金磁気記録層の結晶
格子定数(Lm)との関係を次の式を満足させることに
より、良好な層構造をもつCo合金磁気記録媒体が得ら
れる。Therefore, in the present invention, it is necessary to control the mutual crystal state of the Co alloy intermediate layer and the Co alloy magnetic recording layer to a specific range. That is, in the present invention, the crystals of the intermediate layer and the magnetic recording layer have an hcp structure, and the relationship between the crystal lattice constant (Li) of the Co alloy intermediate layer and the crystal lattice constant (Lm) of the Co alloy magnetic recording layer is as follows. By satisfying the expression, a Co alloy magnetic recording medium having a good layer structure can be obtained.
【0015】[0015]
【数3】|Lm−Li|/Lm<0.019 つまり、Co合金中間層の結晶格子定数を調節し、Co
合金磁気記録層の結晶格子定数との差違が、上記の式を
満足する特定の値より小さい時、すなわち、Co合金磁
気記録層の結晶格子定数LmとCo合金中間層の結晶格
子定数Liの差|Lm−Li|をCo合金磁気記録層の
結晶格子定数Lmの1.9%より小さくすることによ
り、本発明を達成するものである。この|Lm−Li|
/Lmは小さければ小さいほど、つまりCo合金磁気記
録層の結晶格子定数とCo合金中間層の結晶格子定数が
できるだけ近いほうがよい。より好ましくは、|Lm−
Li|/Lmが0.017以下であり、更に好ましくは
0.015以下であり、最も好ましくは0.005以下
である。| Lm−Li | / Lm <0.019 That is, by adjusting the crystal lattice constant of the Co alloy intermediate layer,
When the difference between the crystal lattice constant of the alloy magnetic recording layer and the crystal lattice constant of the Co alloy magnetic recording layer is smaller than the specific value satisfying the above expression, that is, the difference between the crystal lattice constant Lm of the Co alloy magnetic recording layer and the crystal lattice constant Li of the Co alloy intermediate layer. The present invention is achieved by setting | Lm-Li | to be smaller than 1.9% of the crystal lattice constant Lm of the Co alloy magnetic recording layer. This | Lm-Li |
The smaller / Lm is, the better the crystal lattice constant of the Co alloy magnetic recording layer and the crystal lattice constant of the Co alloy intermediate layer are as close as possible. More preferably, | Lm-
Li | / Lm is 0.017 or less, more preferably 0.015 or less, and most preferably 0.005 or less.
【0016】この|Lm−Li|/Lmを求める方法の
一つとして、X線回折装置で通常のθ−2θ測定によ
り、Coの結晶面の面間隔d値を求め、そのd値のCo
合金中間層とCo合金磁気記録層の差をCo合金磁気記
録層のd値で割ることによって求める方法を用いること
ができる。As one method of calculating | Lm−Li | / Lm, the plane distance d of the crystal plane of Co is determined by ordinary θ-2θ measurement using an X-ray diffractometer, and the d value of Co is determined.
A method can be used in which the difference between the alloy intermediate layer and the Co alloy magnetic recording layer is divided by the d value of the Co alloy magnetic recording layer.
【0017】[0017]
【数4】|Lm−Li|/Lm=|dm−di|/dm dm:Co合金磁気記録層のd値 di:Co合金中間層のd値 Co合金中間層の結晶格子定数を調節する方法として
は、通常、Co合金中間層に適当な元素を配合すること
によって達成することができる。ここで配合する元素と
しては、貴金属元素が代表的に用いられる。貴金属元素
としては、通常、一般に知られているものであり、具体
的にはPt、Ir、Os、Pd、Rh、Ru、Ag、A
u、好ましくは、Pt、Os、Pd、Rh、Ru、特
に、Ptが挙げられる。| Lm−Li | / Lm = | dm−di | / dm dm: d value of Co alloy magnetic recording layer di: d value of Co alloy intermediate layer Method of adjusting crystal lattice constant of Co alloy intermediate layer Can usually be achieved by mixing an appropriate element into the Co alloy intermediate layer. A noble metal element is typically used as an element to be blended here. The noble metal element is generally known in general, and specifically, Pt, Ir, Os, Pd, Rh, Ru, Ag, A
u, preferably Pt, Os, Pd, Rh, Ru, especially Pt.
【0018】Co合金中間層に含有させる貴金属元素
は、金属結合半径が1.4Å以下のものが好ましい。代
表的な貴金属元素の金属結合半径としては、Pt=1.
385Å、Ir=1.355Å、Os=1.35Å、P
d=1.37Å、Rh=1.34Å、Ru=1.34Å
である。Co合金中間層中の貴金属元素の配合量は、通
常1原子%以上では有意な効果が期待できる反面、含有
量が多すぎるとCo合金中間層の結晶構造をかえって損
ない、その上に設けるCo合金磁気記録層の結晶粒子の
微細化に影響がでることがあるので、20原子%以下が
好ましく、15原子%以下とするのがより好ましく、1
0原子%以下とするのが更に好ましい。The noble metal element contained in the Co alloy intermediate layer preferably has a metal bonding radius of 1.4 ° or less. As a metal bonding radius of a typical noble metal element, Pt = 1.
385 °, Ir = 1.355 °, Os = 1.35 °, P
d = 1.37 °, Rh = 1.34 °, Ru = 1.34 °
It is. If the content of the noble metal element in the Co alloy intermediate layer is usually 1 atomic% or more, a significant effect can be expected, but if the content is too large, the crystal structure of the Co alloy intermediate layer is rather spoiled. Since it may affect the miniaturization of crystal grains of the magnetic recording layer, the content is preferably 20 atomic% or less, more preferably 15 atomic% or less, and 1 atomic% or less.
More preferably, it is set to 0 atomic% or less.
【0019】また本発明においては、基板とCo合金中
間層との間に、純CrまたはCrを主成分とするCr合
金層からなる下地層を設けることが好ましい。これは該
下地層のCrの結晶構造が、Co合金中間層におけるエ
ピタキシャル結晶成長を良好なものとし、結晶粒子を微
細化し且つ結晶面の配向を制御するためである。下地層
の膜厚は製造する磁気記録媒体により適宜選択すればよ
いが、通常10〜300Å、特に50〜200Åが好ま
しい。また合金組成としては純Crの他、Co層との結
晶マッチングなどの目的でCrにV、Ti、Mo、Z
r、Hf、Ta、W、Ge、Nb、Si、Cu、Bなど
の第二、第三元素を添加したものや、酸化Crなども含
む。中でも純CrやTi、Mo、W、V、Ta、Si、
Nb、Zr、Hfを有するものが好ましい。これら第
二、第三元素の含有量はそれぞれの元素によって最適な
量が異なるが、一般には1〜60原子%、好ましくは5
〜50原子%、さらに好ましくは5〜30原子%の範囲
である。膜厚はCo合金中間層の配向性を発現させ得る
に十分なものであればよく、1〜500Å、中でも3〜
300Å、特に5〜100Åが好ましい。In the present invention, it is preferable to provide an underlayer made of pure Cr or a Cr alloy layer containing Cr as a main component between the substrate and the Co alloy intermediate layer. This is because the crystal structure of Cr in the underlayer improves epitaxial crystal growth in the Co alloy intermediate layer, refines crystal grains, and controls the orientation of crystal planes. The thickness of the underlayer may be appropriately selected depending on the magnetic recording medium to be manufactured, but is usually 10 to 300 °, particularly preferably 50 to 200 °. In addition to pure Cr, V, Ti, Mo, and Z are added to Cr for the purpose of crystal matching with the Co layer.
Also includes those to which second and third elements such as r, Hf, Ta, W, Ge, Nb, Si, Cu, and B are added, and Cr oxide. Above all, pure Cr, Ti, Mo, W, V, Ta, Si,
Those having Nb, Zr, and Hf are preferable. The optimum content of the second and third elements differs depending on each element, but is generally 1 to 60 atomic%, preferably 5 to 60 atomic%.
-50 at%, more preferably 5-30 at%. The film thickness may be sufficient if the orientation of the Co alloy intermediate layer can be expressed, and is 1 to 500 °, and particularly 3 to 500 °.
300 °, especially 5-100 °, is preferred.
【0020】さらには、この下地層と基板との間に、N
iAlなどのB2結晶構造の種子層を設けることが好ま
しい。これは各層の結晶粒子を微細化するためであり、
膜厚は50〜5000Å、中でも100〜2000Å、
特に300〜800Åが好ましい。近年では、耐衝撃性
確保の観点から磁気記録媒体基板としてガラスを使用す
ることが多いが、ガラス基板使用の場合は特に、NiA
l等の種子層を設けることが好ましい。Further, N.sub.2 is provided between the underlayer and the substrate.
It is preferable to provide a seed layer having a B2 crystal structure such as iAl. This is to make the crystal grains of each layer finer,
The film thickness is 50-5000Å, especially 100-2000Å,
Particularly, 300 to 800 ° is preferable. In recent years, glass is often used as a magnetic recording medium substrate from the viewpoint of ensuring impact resistance.
It is preferable to provide a seed layer such as l.
【0021】本発明の磁気ディスクの製造法としては、
従来公知の方法を適宜用いればよい。一般的にはまず基
板の洗浄・乾燥が行われるのが通常であり、本発明にお
いても各層の密着性を確保する見地からもその形成前に
洗浄、乾燥を行うことが望ましい。本発明の磁気記録媒
体の製造に際しては、基板表面にNiP等の非磁性金属
被覆層を形成することが好ましい場合もある。非磁性金
属被覆層を形成する手法としては、無電解めっき法、ス
パッタリング法、真空蒸着法、CVD法など薄膜形成に
用いられる方法を利用することができる。導電性の材料
からなる基板の場合であれば電解めっきを使用すること
が可能である。非磁性金属被覆層の膜厚は500Å以上
あればよい。ただし、磁気記録媒体の生産性などを考慮
すると500〜5000Åであることが好ましい。さら
に好ましくは500〜3000Åである。As a method of manufacturing the magnetic disk of the present invention,
A conventionally known method may be appropriately used. Generally, the substrate is generally washed and dried first. In the present invention, it is preferable to perform washing and drying before forming the substrate from the viewpoint of securing the adhesion of each layer. In manufacturing the magnetic recording medium of the present invention, it may be preferable to form a nonmagnetic metal coating layer such as NiP on the substrate surface. As a method for forming the nonmagnetic metal coating layer, a method used for forming a thin film such as an electroless plating method, a sputtering method, a vacuum evaporation method, and a CVD method can be used. In the case of a substrate made of a conductive material, it is possible to use electrolytic plating. The thickness of the non-magnetic metal coating layer may be 500 ° or more. However, in consideration of the productivity of the magnetic recording medium, it is preferable that the angle is 500 to 5000 °. More preferably, it is 500 to 3000 °.
【0022】また、アルミノシリケートガラス、結晶化
ガラスなどガラス基板を用いる場合には被覆層として先
述のNiAl合金層を成膜するのが好ましい。この場
合、被覆層の膜厚は先述のNiAl種子層と同様であ
る。非磁性金属被覆層を成膜する領域は基板表面全域が
望ましいが、一部だけ、例えばテキスチャリングを施す
領域のみでも実施可能である。When a glass substrate such as aluminosilicate glass or crystallized glass is used, it is preferable to form the above-mentioned NiAl alloy layer as a coating layer. In this case, the thickness of the coating layer is the same as that of the aforementioned NiAl seed layer. The region where the non-magnetic metal coating layer is formed is desirably the entire region of the substrate surface, but it is also possible to implement only a part, for example, only the region to be textured.
【0023】さらに基板表面、又は非磁性金属被覆層が
形成された基板表面には、記録方向に、例えばディスク
基板であれば同心状にテキスチャリングを施すのが好ま
しい。本発明において同心状テキスチャリングとは、例
えば遊離砥粒とテキスチャーテープを使用した機械式テ
キスチャリングやレーザー光線などを利用したテキスチ
ャリング加工、またこれらを併用することによって、円
周方向に研磨することによって基板円周方向に微小溝を
多数形成した状態を指称する。Further, it is preferable that the substrate surface or the substrate surface on which the non-magnetic metal coating layer is formed be textured concentrically in the recording direction, for example, in the case of a disk substrate. In the present invention, concentric texturing is, for example, mechanical texturing using loose abrasive grains and texture tape or texturing using a laser beam, or by using these together, by polishing in the circumferential direction. This refers to a state in which a large number of microgrooves are formed in the circumferential direction of the substrate.
【0024】機械的テキスチャリングを施すための遊離
砥粒の種類としてはダイヤモンド砥粒、中でも表面がグ
ラファイト化処理されているものが最も好ましい。機械
的テキスチャリングに用いられる砥粒としては他にアル
ミナ砥粒が広く用いられているが、特にテキスチャリン
グ溝に沿って磁化容易軸を配向させるという観点から考
えるとダイヤモンド砥粒が極めて良い性能を発揮する。
この原因については現在のところ明確になってはいない
が、極めて再現性の良い結果が得られている。As the type of free abrasive grains for mechanical texturing, diamond abrasive grains, particularly those whose surfaces have been subjected to a graphitization treatment, are most preferred. Alumina abrasive grains are widely used as abrasive grains for mechanical texturing, but diamond abrasive grains have extremely good performance, especially from the viewpoint of orienting the axis of easy magnetization along the texturing grooves. Demonstrate.
Although the cause has not been clarified at present, extremely reproducible results have been obtained.
【0025】基板の表面は、表面粗さ(Ra)がどのよ
うな値をとっても本発明の効果には基本的には影響はな
いが、ヘッド浮上量ができるだけ小さいことが高密度記
録の実現には有効であり、またこれら基板の特徴のひと
つが優れた表面平滑性にあることから、基板表面のRa
は10Å以下、さらには5Å以下であることが好まし
く、中でも3Å以下であることが好ましい。ただし、こ
こでRaの決定は、触針式表面粗さ計を用いて測定した
場合を想定している。このとき測定用の針の先端は半径
0.2μm程度の大きさのものが使用される。The surface of the substrate has basically no effect on the effect of the present invention no matter what value the surface roughness (Ra) takes, but the fact that the head flying height is as small as possible is necessary for realizing high density recording. Is effective, and one of the features of these substrates is excellent surface smoothness.
Is preferably 10 ° or less, more preferably 5 ° or less, and particularly preferably 3 ° or less. However, the determination of Ra here is based on the case where measurement is performed using a stylus type surface roughness meter. At this time, the tip of the measuring needle has a radius of about 0.2 μm.
【0026】一般的にはCo合金磁気記録層上には、任
意の保護層を形成し、次いで潤滑層を形成する。保護層
としては、炭素(C)、水素化C、窒素化C、アモルフ
ァスC、SiC等の炭素質層やSiO2、Zr2O3、T
iNなど通常用いられる保護層材料を用いることができ
る。また、保護層が2層以上の層から構成されていても
よい。保護層の膜厚は10〜500Å、特に10〜10
0Åであり、耐久性を確保できる範囲でできるだけ薄く
設定することが好ましい。潤滑層に用いる潤滑剤として
は、フッ素系潤滑剤、炭化水素系潤滑剤及びこれらの混
合物等が挙げられ、通常1〜50Å、好ましくは10〜
30Åの膜厚で潤滑層を形成する。尚、本発明の磁気記
録媒体においてはさらに、Co合金磁気記録層を2種以
上の積層構造としたものとしてもよい。Generally, an arbitrary protective layer is formed on the Co alloy magnetic recording layer, and then a lubricating layer is formed. As the protective layer, a carbonaceous layer of carbon (C), hydrogenated C, nitrogenated C, amorphous C, SiC or the like, or SiO 2 , Zr 2 O 3 , T
A commonly used protective layer material such as iN can be used. Further, the protective layer may be composed of two or more layers. The thickness of the protective layer is 10 to 500 °, particularly 10 to 10 °.
0 °, and it is preferable to set the thickness as thin as possible within a range where durability can be ensured. Examples of the lubricant used in the lubricating layer include a fluorine-based lubricant, a hydrocarbon-based lubricant and a mixture thereof, and are usually 1 to 50 °, preferably 10 to 50 °.
A lubricating layer is formed with a thickness of 30 °. In the magnetic recording medium of the present invention, the Co alloy magnetic recording layer may have a laminated structure of two or more types.
【0027】磁気記録媒体の各層を形成する成膜方法と
しては任意であるが、例えば直流(マグネトロン)スパ
ッタリング法、高周波(マグネトロン)スパッタリング
法、ECRスパッタリング法、真空蒸着法などの物理的
蒸着法が挙げられる。又、成膜時の条件としても特に制
限はなく、到達真空度、基板加熱の方式と基板温度、ス
パッタリングガス圧、バイアス電圧等は、成膜装置によ
り適宜決定すればよい。例えば、スパッタリング成膜で
は、通常の場合、到達真空度は1×10-6Torr以
下、基板温度は室温〜400℃、スパッタリングガス圧
は1×10-3〜20×10-3Torr、バイアス電圧は
一般的には0〜−500Vである。 成膜に当たって
は、Co合金磁気記録層のCrの偏析を促進するため
に、一般に基板を100〜350℃程度に加熱すること
が好ましい。基板加熱は、下地層形成前に行っても良い
し、熱吸収率が低い透明な基板を使用する場合には、熱
吸収率を高くするため、あらかじめNiP等の金属被覆
膜を形成してから、または種子層等を形成してから基板
を加熱し、しかる後に下地層やCo合金中間層、Co合
金磁気記録層を形成してもよい。The film forming method for forming each layer of the magnetic recording medium is arbitrary. For example, physical vapor deposition methods such as direct current (magnetron) sputtering, high frequency (magnetron) sputtering, ECR sputtering, and vacuum deposition are used. No. There are no particular restrictions on the conditions at the time of film formation, and the ultimate vacuum degree, substrate heating method and substrate temperature, sputtering gas pressure, bias voltage, and the like may be appropriately determined by the film formation apparatus. For example, in the case of sputtering film formation, the ultimate degree of vacuum is usually 1 × 10 −6 Torr or less, the substrate temperature is from room temperature to 400 ° C., the sputtering gas pressure is 1 × 10 −3 to 20 × 10 −3 Torr, and the bias voltage. Is generally from 0 to -500V. In film formation, it is generally preferable to heat the substrate to about 100 to 350 ° C. in order to promote the segregation of Cr in the Co alloy magnetic recording layer. The substrate heating may be performed before the formation of the underlayer, or when a transparent substrate having a low heat absorption is used, a metal coating film such as NiP is formed in advance to increase the heat absorption. Alternatively, the substrate may be heated after forming a seed layer or the like, and then an underlayer, a Co alloy intermediate layer, or a Co alloy magnetic recording layer may be formed.
【0028】本発明の磁気記録装置は、少なくとも上述
してきた磁気記録媒体と、これを記録方向に駆動する駆
動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘッドと、磁気ヘ
ッドを磁気記録媒体に対して相対運動させる手段と、磁
気ヘッドへの信号入力と磁気ヘッドからの出力信号再生
を行うための記録再生信号処理手段を有する磁気記録装
置である。上述の磁気ヘッドの再生部をMRヘッドで構
成することにより、高記録密度においても十分な信号強
度を得ることができ、高記録密度を持った磁気記録装置
を実現することができる。またこの磁気ヘッドを、浮上
量が0.01μm以上、0.05μm未満と、従来より
低い高さで浮上させると、出力が向上して高い装置S/
Nが得られ、大容量で高信頼性の磁気記録装置を提供す
ることができる。また、最尤複号法による信号処理回路
を組み合わせるとさらに記録密度を向上でき、例えば、
トラック密度10kTPI以上、線記録密度200kF
CI以上、1平方インチ当たり2Gビット以上の記録密
度で記録・再生する場合にも十分なS/Nが得られる。A magnetic recording apparatus according to the present invention comprises at least the magnetic recording medium described above, a driving unit for driving the magnetic recording medium in a recording direction, a magnetic head including a recording unit and a reproducing unit, and The magnetic recording apparatus has means for performing relative motion by means of a magnetic head and recording / reproducing signal processing means for performing signal input to the magnetic head and reproduction of an output signal from the magnetic head. By configuring the reproducing section of the magnetic head with an MR head, a sufficient signal intensity can be obtained even at a high recording density, and a magnetic recording device having a high recording density can be realized. Also, when the magnetic head is levitated at a height of 0.01 μm or more and less than 0.05 μm, which is lower than that of the conventional magnetic head, the output is improved and the device S / S is increased.
N can be obtained, and a high-capacity, high-reliability magnetic recording device can be provided. Further, by combining a signal processing circuit using the maximum likelihood decoding method, the recording density can be further improved.
Track density 10kTPI or more, linear recording density 200kF
A sufficient S / N can be obtained even when recording / reproducing at a recording density of CI or more and 2 Gbits / square inch or more.
【0029】さらに磁気ヘッドの再生部を、互いの磁化
方向が外部磁界によって相対的に変化することによって
大きな抵抗変化を生じる複数の導電性磁性層と、その導
電性磁性層の間に配置された導電性非磁性層からなるG
MRヘッド、あるいはスピン・バルブ効果を利用したG
MRヘッドとすることにより、信号強度をさらに高める
ことができ、1平方インチ当たり3ギガビット以上、2
40kFCI以上の線記録密度を持った信頼性の高い磁
気記録装置の実現が可能となる。Further, the reproducing portion of the magnetic head is disposed between a plurality of conductive magnetic layers which generate a large resistance change due to a relative change in their magnetization directions due to an external magnetic field, and the conductive magnetic layers. G consisting of a conductive non-magnetic layer
MR head or G using spin valve effect
By using an MR head, the signal strength can be further increased, and 3 gigabits or more per square inch can be achieved.
A highly reliable magnetic recording device having a linear recording density of 40 kFCI or more can be realized.
【0030】特に本発明の磁気記録媒体はトラック密度
34kTPI以上、線記録密度415kFCI以上、1
平方インチ当たり15ギガビット以上の記録密度で記録
する場合に効果がある。記録密度が大きくなると、1ビ
ットに相当する磁化領域は小さくなり、その磁化の熱安
定性は悪くなる傾向がある。従って、記録密度が大きく
なるに従って、記録磁化の熱安定性は悪くなり、記録信
号の減衰等が起こりやすくなる。本発明はこの記録磁化
の熱安定性を向上するのに効果があり、この効果は本発
明を使用しないものに比較すると、より高記録密度の
時、例えば前述した1平方インチ当たり15ギガビット
以上のような場合に顕著となる。In particular, the magnetic recording medium of the present invention has a track density of 34 kTPI or more and a linear recording density of 415 kFCI or more.
This is effective when recording is performed at a recording density of 15 gigabits or more per square inch. As the recording density increases, the magnetization region corresponding to one bit decreases, and the thermal stability of the magnetization tends to deteriorate. Therefore, as the recording density increases, the thermal stability of the recording magnetization deteriorates, and the recording signal tends to attenuate. The present invention is effective in improving the thermal stability of this recording magnetization, and this effect is higher at higher recording densities, for example, at the above-mentioned 15 gigabits per square inch or more, as compared with those not using the present invention. It becomes remarkable in such a case.
【0031】[0031]
【実施例】以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的
に説明する。但し、本発明はその要旨を超えない限り、
以下の実施例に限定されるものではない。 (実施例1〜4、比較例1、参考例1、2)HD用ガラ
ス基板をセットした真空チャンバをあらかじめ1.0×
10-5Pa以下に真空排気した。ここで使用したガラス
基板はリチウム強化結晶化ガラスを材質とし、Ra約5
Å、外径65mm、内径20mmである。さらに該基板
を約250℃に加熱し、Ni50Al50層、Cr94Mo6
層、CoCrPt層、Co66Cr20B6Pt8層、カーボ
ン保護層、フッ素系潤滑剤(Fonblin Z−Do
l2000:アウジモント社製)の順に薄膜を積層し
た。フッ素系潤滑剤層以外の層の成膜はすべてDCスパ
ッタリング法を用いて行い、基板へのバイアス電圧印加
は行わなかった。また、成膜時のアルゴンガス分圧は約
7.0×10-1Paに設定した。The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. However, unless the present invention exceeds the gist,
The present invention is not limited to the following embodiments. (Examples 1 to 4, Comparative Example 1, Reference Examples 1 and 2) A vacuum chamber in which a glass substrate for HD is set is set to 1.0 × in advance.
The chamber was evacuated to 10 -5 Pa or less. The glass substrate used here was made of lithium-reinforced crystallized glass and had a Ra of about 5
Å, outer diameter 65 mm, inner diameter 20 mm. Further, the substrate is heated to about 250 ° C., and a Ni 50 Al 50 layer, Cr 94 Mo 6
Layer, CoCrPt layer, Co 66 Cr 20 B 6 Pt 8 layer, carbon protective layer, fluorine-based lubricant (Fomblin Z-Do)
12000: manufactured by Audimont Co.). All layers other than the fluorine-based lubricant layer were formed by DC sputtering, and no bias voltage was applied to the substrate. The partial pressure of argon gas during film formation was set to about 7.0 × 10 −1 Pa.
【0032】層構成は上からC/CoCrBPt/Co
CrPt/CrMo/NiAl/基板とした。このう
ち、CoCrPt層の組成はCo56Cr42Pt2原子%
と設定した。それぞれの層の膜厚はNiAl層600
Å、Cr94Mo6層100Å 、Co66Cr20B6Pt8層
250Å、カーボン保護層50Åとし、CoCrPt層
の膜厚は0、3、5、10、20Åと変化させた。この
うちCoCrPt中間層膜厚が0Åであるものを比較例
1、同様にCoCrPt中間層膜厚が3、5、10、2
0Åのものをそれぞれ実施例1、2、3、4とした。こ
のようにして作製した磁気記録媒体について、出力減衰
を調べた。一般的にはS/N比(SNR)が高い媒体ほ
ど熱的に不安定になる傾向があり、高S/N比と出力減
衰の抑制を両立することが本発明の特徴である。The layer structure is C / CoCrBPt / Co from above.
CrPt / CrMo / NiAl / substrate was used. Among them, the composition of the CoCrPt layer is Co 56 Cr 42 Pt 2 atomic%.
Was set. The thickness of each layer is NiAl layer 600
And Å, Cr 94 Mo 6 layer 100Å, Co 66 Cr 20 B 6 Pt 8 layer 250 Å, and a carbon protective layer 50 Å, the thickness of the CoCrPt layer was changed as 0,3,5,10,20A. Among them, the CoCrPt intermediate layer having a thickness of 0 ° was determined as Comparative Example 1, and similarly, the CoCrPt intermediate layer having a thickness of 3, 5, 10, and 2 was used.
Those of 0 ° were referred to as Examples 1, 2, 3, and 4, respectively. The output attenuation of the magnetic recording medium thus manufactured was examined. Generally, a medium having a higher S / N ratio (SNR) tends to be thermally unstable, and it is a feature of the present invention to achieve both a high S / N ratio and suppression of output attenuation.
【0033】参考例として、前述の結晶化ガラス基板上
に同様のNiAl、CrMo、CoCrTaPt系磁性
膜材料、カーボン保護層を、この順に積層した磁気ディ
スクのS/N比、出力減衰を参考例1に示した。同様
に、結晶化ガラス基板上にNiAl、CrMo、CoC
rBPt系磁性材料、カーボン保護層を、この順に積層
した磁気ディスク媒体のS/N比、出力減衰を参考例2
に示す。S/N比が向上するにつれて出力減衰が増えて
いることがわかる。表1にこれらの測定結果を記す。As a reference example, the S / N ratio and output attenuation of a magnetic disk in which the same NiAl, CrMo, CoCrTaPt-based magnetic film material and carbon protective layer were laminated in this order on the crystallized glass substrate were used. It was shown to. Similarly, NiAl, CrMo, CoC on a crystallized glass substrate
Reference Example 2 The S / N ratio and output attenuation of a magnetic disk medium in which an rBPt-based magnetic material and a carbon protective layer were laminated in this order were measured.
Shown in It can be seen that the output attenuation increases as the S / N ratio increases. Table 1 shows the measurement results.
【0034】[0034]
【表1】 [Table 1]
【0035】これをグラフにすると図1のようになる。
Pt含有Co合金中間層を挿入することにより、S/N
比の低下がほとんどないまま出力減衰が小さくなってい
くことがはっきり認められる。参考例と比較例にみられ
るような、一直線上にあるSNRと出力減衰との関係を
はずれて、SNRがほぼ一定のままで、出力減衰だけが
CoCrPt中間層の膜厚増とともに減少していること
が明らかに認められる。 (実施例5〜8、比較例2〜5)さらに、同様の方法で
Co合金中間層にCo63Cr37を用いたもの、および本
発明Pt含有Co合金中間層を用いたものを作製した。
それぞれ、中間層の膜厚を20、50、100、200
Åと変化させた。Ptを含まないCo63Cr37中間層を
使用した試料を比較例2〜5、Ptを含んだCo56Cr
42Pt2を中間層に用いた試料を実施例5〜8とする。
このとき、各磁気ディスクのPW50値がどのように変
化するかを測定して表2にまとめた。PW50値は前述
したように、磁気ディスクの線記録密度を上げる上でき
わめて重要なパラメーターであり、小さいほど良好な特
性であるといえる。FIG. 1 is a graph of this.
By inserting a Pt-containing Co alloy intermediate layer, S / N
It can be clearly seen that the output attenuation decreases with little decrease in the ratio. As shown in the reference example and the comparative example, the relationship between SNR and output attenuation on a straight line is deviated, and only the output attenuation decreases with an increase in the thickness of the CoCrPt intermediate layer while the SNR remains almost constant. This is clearly recognized. (Examples 5 to 8 and Comparative Examples 2 to 5) Further, in the same manner, those using Co 63 Cr 37 for the Co alloy intermediate layer and those using the Pt-containing Co alloy intermediate layer of the present invention were produced.
The thickness of the intermediate layer is set to 20, 50, 100, 200, respectively.
Å was changed. Samples using the Co 63 Cr 37 intermediate layer not containing Pt were compared with Comparative Examples 2 to 5, and Co 56 Cr containing Pt.
Samples using 42 Pt 2 for the intermediate layer are referred to as Examples 5 to 8.
At this time, how the PW50 value of each magnetic disk changes was measured and summarized in Table 2. As described above, the PW50 value is a very important parameter for increasing the linear recording density of a magnetic disk, and the smaller the value, the better the characteristics.
【0036】比較例4(中間層の膜厚100Åの場合)
において、Co合金中間層を形成した後、Philip
s社のX線回折装置を用い、通常のθ−2θ測定により
Co合金中間層のCo(100)面間隔d値を求めた。
また、Co合金磁性層を形成した後、同様の方法でCo
合金磁性層のCo(100)面間隔d値を求めた。Co
(100)面間隔d値とこれに基づいて求めた、|Lm
−Li|/Lmの値を表3に示した。Comparative Example 4 (when the thickness of the intermediate layer is 100 °)
, After forming a Co alloy intermediate layer,
Using an X-ray diffractometer of Company s, the d value of the Co (100) plane distance d of the Co alloy intermediate layer was obtained by ordinary θ-2θ measurement.
After the formation of the Co alloy magnetic layer, the Co
The Co (100) plane spacing d value of the alloy magnetic layer was determined. Co
(100) face distance d value and | Lm obtained based on this value
Table 3 shows the values of −Li | / Lm.
【0037】[0037]
【表2】 [Table 2]
【0038】これらの結果をグラフにしたものを図2に
示す。従来のPt無添加Co合金中間層においては、そ
の膜厚を厚くしていくにしたがってPW50は急激に劣
化していくのに対し、Pt含有Co合金中間層の場合
は、ほとんど劣化がみられない。このことは前述の熱的
安定性を確保しつつ、高い記録再生特性を得る上で極め
て有利な特徴である。FIG. 2 shows a graph of these results. In the conventional Pt-free Co alloy intermediate layer, the PW50 rapidly deteriorates as the film thickness increases, whereas in the case of the Pt-containing Co alloy intermediate layer, almost no deterioration is observed. . This is an extremely advantageous feature in obtaining high recording and reproducing characteristics while securing the above-mentioned thermal stability.
【0039】(実施例9)Co合金中間層の組成をCo
54Cr37Pt9とした以外は比較例4と同じ条件で磁気
ディスクを作製した。比較例4と同じ方法を用いてCo
合金中間層およびCo合金磁性層のCo(100)面間
隔d値を求めた。Co(100)面間隔d値とこれに基
づいて求めた|Lm−Li|/Lmの値を表3に示し
た。Example 9 The composition of the Co alloy intermediate layer was Co
A magnetic disk was manufactured under the same conditions as in Comparative Example 4, except that 54 Cr 37 Pt 9 was used. Using the same method as in Comparative Example 4, Co
The Co (100) plane distance d value of the alloy intermediate layer and the Co alloy magnetic layer was determined. Table 3 shows the Co (100) plane spacing d value and the value of | Lm−Li | / Lm obtained based on this value.
【0040】[0040]
【表3】 [Table 3]
【0041】実施例7(Co合金中間層に2原子%のP
tを含有)は良好なPW50を示しており、その|Lm
−Li|/Lmは約0.016と推定される。比較例4
(Co合金中間層にPtを含まないもの)の|Lm−L
i|/Lmは測定の結果0.020であり、記録特性P
W50は劣る。Co合金中間層にPtを9%含有させた
実施例9の場合、|Lm−Li|/Lmは測定の結果
0.002であり、Co合金中間層の結晶格子定数はC
o合金磁気記録層の結晶格子定数に非常に近くなってい
ることがわかり、良好な記録特性PW50を示すことが
予想される。Example 7 (2 atomic% of P in the Co alloy intermediate layer)
t) shows a good PW50, and | Lm
-Li | / Lm is estimated to be about 0.016. Comparative Example 4
(Lt-L of Co alloy intermediate layer not containing Pt)
i | / Lm is 0.020 as a result of the measurement, and the recording characteristic P
W50 is inferior. In the case of Example 9 in which Pt was contained in the Co alloy intermediate layer at 9%, | Lm−Li | / Lm was 0.002 as a result of measurement, and the crystal lattice constant of the Co alloy intermediate layer was C
It can be seen that it is very close to the crystal lattice constant of the o-alloy magnetic recording layer, and it is expected that a good recording characteristic PW50 will be exhibited.
【0042】[0042]
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれ
ば、電磁変換特性を損なわずかつ熱的安定性に優れた磁
気記録媒体を供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic recording medium that has a small amount of electromagnetic conversion characteristics and excellent thermal stability.
【図1】図1は本発明及び比較例、参考例の磁気記録媒
体における、出力減衰とS/N比を示したものである。FIG. 1 shows output attenuation and S / N ratio in magnetic recording media of the present invention, a comparative example, and a reference example.
【図2】図2は本発明及び比較例の磁気記録媒体におけ
るPW50値とPt含有Co含有中間層膜厚を示したも
のである。FIG. 2 shows a PW50 value and a Pt-containing Co-containing intermediate layer thickness in magnetic recording media of the present invention and a comparative example.
Claims (17)
性の中間層、Co合金磁気記録層を順次設けてなる磁気
記録媒体であって、前記中間層および前記磁気記録層の
結晶構造が共にhcp構造であり、前記中間層の結晶格
子定数(Li)と前記磁気記録層の結晶格子定数(Lm)
との関係が下式 【数1】|Lm−Li|/Lm<0.019 を満足することを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium comprising a substrate and a non-magnetic intermediate layer made of at least a Co alloy and a Co alloy magnetic recording layer sequentially provided on a substrate, wherein both the intermediate layer and the magnetic recording layer have hcp crystal structures. A crystal lattice constant (Li) of the intermediate layer and a crystal lattice constant (Lm) of the magnetic recording layer.
And Lm-Li | / Lm <0.019, which satisfies the following expression: | Lm−Li | / Lm <0.019.
とを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the Co alloy intermediate layer contains a noble metal element.
る請求項2に記載の磁気記録媒体。3. The magnetic recording medium according to claim 2, wherein an atomic radius of the noble metal element is 1.4 ° or less.
Ruから選ばれた少なくとも1種の元素である請求項2
または3に記載の磁気記録媒体。4. The noble metal element is at least one element selected from Pt, Os, Pd, Rh and Ru.
Or the magnetic recording medium according to 3.
記載の磁気記録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 2, wherein the noble metal element is Pt.
〜20原子%である請求項2乃至5に記載の磁気記録媒
体。6. The precious metal element content of the Co alloy intermediate layer is 1
The magnetic recording medium according to any one of claims 2 to 5, wherein the content of the magnetic recording medium is from 20 to 20 atomic%.
からなる非磁性層である請求項1乃至6に記載の磁気記
録媒体。7. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the Co alloy intermediate layer is a nonmagnetic layer made of a Co alloy containing Cr.
る非磁性層である請求項1乃至7に記載の磁気記録媒
体。8. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the Co alloy intermediate layer is a non-magnetic layer made of a CoCrPt alloy.
〜60原子%である請求項7または8に記載の磁気記録
媒体。9. A Co alloy intermediate layer having a Cr content of 30.
9. The magnetic recording medium according to claim 7, wherein the content of the magnetic recording medium is about 60 to 60 atomic%.
項1乃至9に記載の磁気記録媒体。10. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the thickness of the intermediate layer is 1 to 300 °.
0原子%未満のCrを含有するCo合金である請求項1
乃至10に記載の磁気記録媒体。11. The magnetic recording layer according to claim 1, wherein said Co alloy magnetic recording layer is at least 1 atomic%.
2. A Co alloy containing less than 0 atomic% of Cr.
11. The magnetic recording medium according to any one of claims 10 to 10.
請求項1乃至11に記載の磁気記録媒体。12. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the Co alloy magnetic recording layer contains boron.
下である請求項1乃至12に記載の磁気記録媒体。13. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the thickness of the Co alloy magnetic recording layer is 400 ° or less.
はCr合金からなる下地層を有する請求項1乃至13に
記載の磁気記録媒体。14. The magnetic recording medium according to claim 1, further comprising an underlayer made of Cr or a Cr alloy between the substrate and the Co alloy intermediate layer.
求項14に記載の磁気記録媒体。15. The magnetic recording medium according to claim 14, further comprising a seed layer between the substrate and the underlayer.
15に記載の磁気記録媒体。16. The magnetic recording medium according to claim 15, wherein the seed layer is made of a NiAl alloy.
体を記録方向に駆動する駆動部と、記録部と再生部から
なる磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して
相対運動させる手段と、磁気ヘッドへの記録信号入力と
磁気ヘッドからの再生信号出力を行うための記録再生信
号処理手段を有する磁気記録装置において、磁気記録媒
体が請求項1乃至16に記載の磁気記録媒体である磁気
記録装置。17. A magnetic recording medium, a drive unit for driving at least the magnetic recording medium in a recording direction, a magnetic head including a recording unit and a reproducing unit, and means for moving the magnetic head relative to the magnetic recording medium; 17. A magnetic recording apparatus having a recording / reproducing signal processing means for inputting a recording signal to a magnetic head and outputting a reproduction signal from the magnetic head, wherein the magnetic recording medium is the magnetic recording medium according to claim 1. apparatus.
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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2000
- 2000-08-28 JP JP2000256700A patent/JP2001143251A/en active Pending
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