JP3588039B2 - Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device - Google Patents

Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device Download PDF

Info

Publication number
JP3588039B2
JP3588039B2 JP2000215121A JP2000215121A JP3588039B2 JP 3588039 B2 JP3588039 B2 JP 3588039B2 JP 2000215121 A JP2000215121 A JP 2000215121A JP 2000215121 A JP2000215121 A JP 2000215121A JP 3588039 B2 JP3588039 B2 JP 3588039B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
underlayer
film
magnetic recording
recording medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000215121A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2001093139A (en
Inventor
謙治 清水
浩志 酒井
彰 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko KK
Original Assignee
Showa Denko KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Showa Denko KK filed Critical Showa Denko KK
Priority to JP2000215121A priority Critical patent/JP3588039B2/en
Publication of JP2001093139A publication Critical patent/JP2001093139A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3588039B2 publication Critical patent/JP3588039B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体およびこの磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
現在市販されている磁気記録媒体は、磁性膜内の磁化容易軸が主に基板に対し水平に配向した面内磁気記録媒体がほとんどである。
このような面内磁気記録媒体では、高記録密度化するとビット体積が小さくなりすぎ、熱揺らぎ効果により再生特性が悪化する可能性がある。また、高記録密度化した際に、記録ビット境界での反磁界の影響により媒体ノイズが増加することがある。
これに対し、磁性膜内の磁化容易軸が主に基板に対し垂直に配向した、いわゆる垂直磁気記録媒体は、高記録密度化した場合でもビット境界での反磁界の影響が小さく、境界が鮮明な記録磁区が形成されるため低ノイズ化が可能であり、しかも比較的ビット体積が大きくても高記録密度化が可能であることから熱揺らぎ効果にも強く、近年大きな注目を集めており、垂直磁気記録に適した媒体の構造などが提案されている。
例えば、特開昭58−77025号公報、特開昭58−141435号公報には、Co合金材料からなる垂直磁性膜の下地層の材料としてTiを用いることが開示されている。また特開平8−180360号公報には、上記下地層の材料として、CoとRuからなる合金を用いることが開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年では、磁気記録媒体の更なる高記録密度化が要望されており、これに伴いノイズ特性の向上が要求されている。
しかしながら従来の磁気記録媒体は、ノイズ特性の点で決して満足できるものでなく、よりノイズ特性に優れた磁気記録媒体が要望されていた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ノイズ特性に優れた磁気記録媒体および磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気記録媒体は、基板上に第1下地膜、第2下地膜が設けられ、その上にCo合金からなり、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性膜が設けられ、 第1下地膜がB2構造をなす材料からなり、第2下地膜がhcp構造をなす材料からなり、これら第1下地膜と第2下地膜とが接しており、第2下地膜と垂直磁性膜との間に、hcp構造を有する非磁性中間膜が設けられ、この非磁性中間膜がCoCr合金からなることを特徴とする。
第1下地膜は、NiAl、FeAl、CoFe、CoZr、NiTi、AlCo、およびAlMnのうち1種または2種以上の合金を主成分とする材料からなるものとすることができる。
第1下地膜を、NiAl、FeAl、CoFe、CoZr、NiTi、AlCo、およびAlMnのうちいずれかの2元系合金を主成分とする材料からなるものとする場合には、この2元系合金を構成する2つの成分の含有率はいずれも40〜60at%、好ましくは45〜55at%とするのが好ましい。
第2下地膜は、Ti、Zr、Ru、Re、Y、Gd、およびTbのうち1種または2種以上を主成分とする材料を用いることができる。
垂直磁性膜は、Co/Cr/Pt系、Co/Cr/Ta系、Co/Cr/Pt/X系(X:Ta、Zr、Nb、Cu、Re、Ni、およびBのうち1種または2種以上)のうちいずれかの合金からなるものとするのが好ましい。
第1下地膜の膜厚は、500Å以下とするのが好ましい。
垂直磁性膜の膜厚は、100〜1000Åとするのが好ましい。
本発明の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備え、磁気記録媒体が、基板上に第1下地膜、第2下地膜が設けられ、その上にCo合金からなり、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性膜が設けられ、第1下地膜がB2構造をなす材料からなり、第2下地層がhcp構造をなす材料からなり、これら第1下地膜と第2下地膜とが接しており、第2下地膜と垂直磁性膜との間に、hcp構造を有する非磁性中間膜が設けられ、この非磁性中間膜がCoCr合金からなることを特徴とすることを特徴とする。
【0005】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の磁気記録媒体の一実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、基板1上に、第1下地膜2、第2下地膜3、非磁性中間膜4、垂直磁性膜5、および保護膜6を順次形成してなるものである。
基板1としては、磁気記録媒体用基板として一般に用いられるNiPメッキ膜が形成されたアルミニウム合金基板(以下、「NiPメッキAl基板」という)、ガラス基板、セラミック基板、カーボン基板、可撓性樹脂基板、またはこれらの基板にNiP膜をメッキあるいはスパッタ法により形成した基板などを用いることができる。
【0006】
第1下地膜2は、保磁力、角型比を向上させ、磁気記録媒体のノイズ特性を向上させるためのもので、B2構造をなす材料からなるものである。
B2構造をなす材料としては、NiAl、FeAl、CoFe、CoZr、NiTi、AlCo、およびAlMnのうち1種または2種以上の合金を主成分とするものが使用できる。また、これらの合金にCr、Nb、V、W、Mo等の元素を添加した材料を用いることもできる。
【0007】
上記2元系合金(NiAl、FeAl、CoFe、CoZr、NiTi、AlCo、AlMn)のうちいずれかを主成分とする材料を用いる場合には、この合金を構成する2つの成分の含有率は、いずれも40〜60at%(好ましくは45〜55at%)とするのが好ましい。
この含有率が上記範囲未満である場合、または上記範囲を越える場合には、第1下地膜2内のB2構造が乱れ、ノイズ特性を向上させる効果が低下するおそれがある。
【0008】
第1下地膜2の厚さは、次のように定めるのが好ましい。
図2は、上記構成の磁気記録媒体において、第1下地膜2の厚さと、垂直磁性膜5の(0002)面の配向性との関係を示すグラフである。
このグラフにおいて、横軸は第1下地膜2の厚さを示し、縦軸は垂直磁性膜5の(0002)面に相当するX線回折強度を示す。
このグラフに示すように、X線回折強度は、第1下地膜2の厚さが25Åであるときにピークに達し、以後、第1下地膜2の厚さを大きくするにつれて小さくなる。
このグラフより、垂直磁性膜5の垂直配向性は、第1下地膜2の厚さが25Å前後、すなわち15〜40Å(特に20〜30Å)であるときに高くなり、第1下地膜2の厚さをさらに厚くすると徐々に低下することがわかる。
以下、第1下地膜2の厚さが25Å前後(すなわち15〜40Å)である領域をA領域と呼ぶ。
【0009】
図3は、通常の面内磁気記録媒体に用いられる磁気ヘッドであるリング型ヘッドを用いた場合において、上記磁気記録媒体の保磁力Hc(Oe)とSNR(dB)を測定した結果を示すグラフである。
このグラフにおいて、横軸は上記第1下地膜2の厚さを示し、縦軸は保磁力(Hc)とSNRを示す。
このグラフより、Hcは、第1下地膜2の厚さがA領域に達するまで急激に上昇し、それ以後ごくわずかずつ上昇することがわかる。
SNRに関しては、第1下地膜2の厚さがA領域に達するまで上昇し、一旦ほぼ一定値となった後、第1下地膜2の厚さが80〜500Åである領域において再び上昇し、この領域を経た後、若干下降しほぼ一定値となることがわかる。
以下、この第1下地膜2の厚さが80〜500Åである領域をB領域と呼ぶ。このB領域の中でも特に、厚さ80〜300Å、さらには80〜150Åの範囲において、SNRは特に高い値となっている。
【0010】
このグラフより、通常の面内磁気記録媒体に用いられる磁気ヘッド(リング型ヘッド)を用いた場合には、垂直磁性膜5の垂直配向性が高いA領域よりも、垂直配向性が低いB領域において優れたSNR特性が得られることがわかる。
垂直配向性が低いB領域においてSNR特性が向上するのは、垂直配向性が高いA領域では磁化の向きが大部分垂直方向となるのに対し、B領域では、磁性膜5の配向性がある程度ランダムとなるため、面内方向の磁化も大きくなり、これら垂直方向と面内方向とからなるループ状の磁化曲線が形成され、これによって磁化が安定し、出力が向上することによるものであると考えられる。
【0011】
また、第1下地膜2の厚さがB領域よりも大きい領域では、B領域に比べHcが高くなっており、Hcの上昇に応じて再生出力レベルも高くなっていると考えられる。
このため、下地膜2の厚さがB領域よりも大きい領域では、B領域に比べ、再生出力とノイズとの比であるSNRはごくわずかしか低下しないものの、ノイズの増加は顕著であると考えられる。
このことから、第1下地膜2の厚さをB領域に設定することによって、下地膜2の厚さをB領域を越える値に設定する場合に比べ、ノイズレベルを低く抑えることができると考えられる。
【0012】
以上の結果より、第1下地膜2の厚さは、次のように定めるのが好ましいことがわかる。
通常の面内磁気記録媒体に用いられる磁気ヘッドであるリング型ヘッドを用いることを想定した場合には、第1下地膜2の厚さは、上記B領域に相当する厚さである80〜500Å(好ましくは80〜300Å、さらに好ましくは80〜150Å)とすると、SNR特性をより高めることができるため好ましい。
この厚さが上記範囲未満であると、SNR特性が低下する。これは、この厚さが上記範囲未満である場合には、垂直配向性が高まることにより面内方向の磁化が起こりにくくなり、その結果、上述のループ状磁化曲線の形成による出力向上効果が得られにくくなるためであると考えられる。
またこの厚さが上記範囲を越えると、ノイズ特性が低下する。これは、この厚さが上記範囲を越えると、第1下地膜2内で結晶粒が粗大化することにより、下地膜2上に形成される非磁性中間膜4、垂直磁性膜5内においても結晶粒の粗大化が進行し、これによってノイズが増加するためであると考えられる。
【0013】
第2下地膜3は、非磁性中間膜4および垂直磁性膜5の垂直配向性を高めるためのもので、hcp構造をなす材料が用いられている
第2下地膜3の構成材料としては、Ti、Zr、Ru、Re、Y、Gd、およびTbのうち1種または2種以上を主成分とする材料を挙げることができる。
この材料としては、Ti、Zr、Ru、Re、Y、Gd、およびTbのうちいずれかを単体として用いることもできるし、非磁性中間膜4および垂直磁性膜5に対する格子のマッチング(整合性)を考慮してこれら材料にCr、Co、Fe、Ni等を添加した合金を用いることもできる。
なお、第2下地膜3は部分的にfcc構造となったものを用いることもできる。
【0014】
非磁性中間膜4は、媒体の保磁力を高めるためのもので、hcp構造を有する非磁性材料からなるものとされる。
非磁性中間膜4の材料としては、Co/Cr系、Co/Cr/Pt系、Co/Cr/Ta系、Co/Cr/Pt/X系(X:Ta、Zr、Nb、Cu、Re、Ni、およびBのうち1種または2種以上)のうちいずれかの合金を用いるのが好適である。
特に、Crの含有率が25〜50at%、Ptの含有率が0〜15at%、Xの含有率が0〜10at%、残部がCoからなるCo合金を主成分とするものを用いるのが好ましい。
非磁性中間膜4は、単層構造をなすものとしてもよいし、多層構造をなすものとしてもよい。多層構造とする場合には、上記材料から選ばれた互いに同一または異なる複数の材料を積層したものとすることができる。
【0015】
非磁性中間膜4の厚さは、500Å以下とするのが好ましい。
この厚さが500Åを越えると、垂直磁性膜5内の磁性粒子の粗大化が起きやすくなり、ノイズ特性が低下するため好ましくない。
非磁性中間膜4の厚さは20〜300Åとするのがより好ましい。多層にした場合の非磁性中間膜4の厚さは、上記理由から、全体で500Å以下、好ましくは50〜200Åとするのが望ましい。
【0016】
垂直磁性膜5は、その磁化容易軸が基板に対し主に垂直方向に配向した磁性材料からなる膜であり、その材料としては、Co/Cr/Pt系、Co/Cr/Ta系、Co/Cr/Pt/X系(X:Ta、Zr、Nb、Cu、Re、Ni、およびBのうち1種または2種以上)のうちいずれかの合金を用いるのが好ましい。
特に、Crの含有率が13〜28at%、Ptの含有率が0〜15at%、Xの含有率が0〜5at%、残部がCoからなるCo合金を用いるのが好ましい。上記各成分の含有率が上記範囲を外れると、ノイズ特性または再生出力が低下するため好ましくない。
【0017】
垂直磁性膜5の厚さは、100〜1000Åとするのが好ましい。垂直磁性膜5の厚さが100Å未満であると、十分な磁束が得られず、再生出力が低下する。
また垂直磁性膜5の厚さが1000Åを越えると、垂直磁性膜5内の磁性粒子の粗大化が起き、ノイズ特性が低下するため好ましくない。
垂直磁性膜5の厚さは、200〜700Åとするのがさらに好ましい。これは、垂直磁性膜5の厚さをこの範囲とすると、再生出力をさらに向上させるとともに、垂直磁性膜5内の磁性粒子の粗化化を防ぎ、ノイズ特性をより高めることができるためである。
【0018】
保護膜6は、垂直磁性膜5の腐食を防ぐとともに、ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷を防ぎ、かつヘッドと媒体の間の潤滑特性を確保するためのもので、従来公知の材料を使用でき、例えばC、SiO、ZrOの単一組成、またはこれらを主成分とし他元素を含むものが使用可能である。
保護膜6の厚さは、10〜100Åが望ましい。
また、保護膜6上には、パーフルオロポリエーテル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などからなる潤滑膜を設けるのが好ましい。
【0019】
上記構成の磁気記録媒体を製造するには、基板1上に、第1下地膜2、第2下地膜3、非磁性中間膜4、垂直磁性膜5を順次をスパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティングなどの手法により形成し、次いで保護膜6を、好ましくはプラズマCVD法、イオンビーム法、スパッタリング法により形成する。
第1下地膜2を形成する際には、B2構造をなす材料からなるスパッタリングターゲットを用いるのが好ましい。この材料としては、上述のものを用いることができる。
また、潤滑膜を形成するには、ディッピング法、スピンコート法などの従来公知の方法を採用することができる。
【0020】
上記構成の磁気記録媒体にあっては、第1下地膜2が、B2構造をなす材料からなるものであるので、保磁力、角型比を向上させるとともに、ノイズ特性を高めることができる。
B2構造をなす材料からなる第1下地膜2を設けることによって、上記効果が得られる理由は明らかでないが、この理由は以下のようなものであると推定できる。
すなわち、第2下地膜3,非磁性中間膜4を介して第1下地膜2上に形成される垂直磁性膜5は、B2構造をなす第1下地膜2に影響を受けて成長する。
B2構造をなす第1下地膜2の影響下で成長する垂直磁性膜5では、結晶粒の微細化、孤立化、均一化が進行すると考えられる。
これによって、保磁力、角型比が高められるとともに、境界が鮮明な記録磁区が形成されるため低ノイズ化が可能となると考えられる。
【0021】
また第2下地膜3をhcp構造をなす材料からなるものとすることによって、第2下地膜3の上に非磁性中間膜4を介して形成される垂直磁性膜5の垂直配向性を高め、ノイズ特性および保磁力を向上させることができる。
この効果は、hcp構造の第2下地膜3が、第1下地膜2と非磁性中間膜4との間の格子のマッチングを向上させることにより得られると考えられる。
【0022】
また、第2下地膜3と垂直磁性膜5との間に、hcp構造を有する非磁性中間膜4を設けることによって、垂直磁性膜5の初期成長時における結晶配向性の乱れを防ぎ、垂直磁性膜5の結晶配向性を向上させ、高保磁力化、低ノイズ化を図ることができる。
【0023】
本発明では、図4に示すように、基板1と第1下地膜2との間に軟磁性膜12を設けることができる。
軟磁性膜12の構成材料としては、Coアモルファス材料(例えばCoZrNb、CoTaNb、パーマロイ、センダスト等の合金)を挙げることができる。軟磁性膜12の厚さは50nm以上(好ましくは100nm以上、さらに好ましくは200nm以上)とするのが好ましい。この厚さが上記範囲未満であると、上記ループ状の磁化曲線が形成されにくくなる。
【0024】
図5は、上記磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の例を示すものである。ここに示す磁気記録再生装置は、図1に示す構成の磁気記録媒体7と、磁気記録媒体7を回転駆動させる媒体駆動部8と、磁気記録媒体7に情報を記録再生する磁気ヘッド9と、ヘッド駆動部10と、記録再生信号処理系11とを備えている。記録再生信号処理系11は、入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド9に送ったり、磁気ヘッド9からの再生信号を処理してデータを出力することができるようになっている。
磁気ヘッド9としては、通常の面内磁気記録媒体に用いられるリング型ヘッドを例示することができる。
磁気ヘッド9において、ギャップが形成された部分の材料、ギャップ長、書き込み条件などは、適宜設定される。
例えば、リング型ヘッドの記録部の素子のギャップ長は0.08μm以上、好ましくは0.1μm以上、さらに好ましくは0.12μm以上とするのが好適である。またリング型ヘッドの記録部の素子のギャップ長は、0.4μm以下とするのが好ましい。
【0025】
また、上記磁気記録再生装置によれば、上記磁気記録媒体を用いるので、保磁力、角型比を向上させるとともに、ノイズ特性を高めることができる。従って、高記録密度化を図ることができる。
【0026】
なお、上記構成の磁気記録媒体は、 hcp構造を有する材料からなる非磁性中間膜4を設けたが、非磁性中間膜4を備えていない磁気記録媒体の例を図6に示す。また本明細書において主成分とは当該成分を50at%を越えて含むことを指す。
【0027】
【実施例】
(試験例1)
以下、具体例を示して本発明の作用効果を明確にする。
ガラス基板1(オハラTS−10SX)をDCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製3010)のチャンバ内にセットした。
チャンバ内を真空到達度2×10−7Paとなるまで排気するとともに、基板1を200℃まで加熱した後、この基板1上に、Ni−50at%Al(Al含有量:50at%、残部:Ni。以下「Ni50Al」という。)からなる第1下地膜2、Ruからなりhcp構造を有する第2下地膜3、Co−40at%Cr(Co40Cr)からなる非磁性中間膜4、Co−22at%Cr−12at%Pt−2at%Ta(Co22Cr12Pt2Ta)からなる垂直磁性膜5を順次スパッタリングにより形成した。
垂直磁性膜5上には、プラズマCVD法を用いて厚さ70Åのカーボン保護膜6を形成した。
【0028】
(試験例2〜24)
各膜の材料、厚さなどを表1に示すとおりとして磁気記録媒体を作製した。
【0029】
上記試験例1〜24の磁気記録媒体の静磁気特性を振動式磁気特性測定装置(VSM)を用いて測定した。
また、これら磁気記録媒体の電磁変換特性を、GUZIK社製リードライトアナライザRWA1632、およびスピンスタンドS1701MPを用いて測定した。
電磁変換特性の評価には、磁気ヘッドとして、再生部に巨大磁気抵抗(GMR)素子を有する複合型薄膜磁気記録ヘッドを用い、記録条件を線記録密度250kFCIとして測定を行った。
なお、上記電磁変換特性の評価に用いられる磁気ヘッドは、通常の面内磁気記録媒体に用いられる磁気ヘッドと同様のものである。またX線回折試験の結果、いずれの試験例においても第1下地膜2はB2構造をなすものであることが確認できた。
上記試験例1〜24の磁気記録媒体の静磁気特性、電磁変換特性の測定結果を表1に示す。
なお、表1中、Mr/Msは角型比を示し、Co(0002)強度は垂直磁性膜5の(0002)面に相当するX線回折強度を示す。
【0030】
【表1】

Figure 0003588039
【0031】
表1より、第1下地膜2を設けない磁気記録媒体(試験例2)に比べ、第1下地膜2を設けたものは、ノイズ特性(SNR)、保磁力(Hc)の点で優れた結果が得られたことがわかる。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の磁気記録媒体は、第1下地膜が、B2構造をなす材料からなるものであるので、保磁力、角型比を向上させるとともに、ノイズ特性を高めることができる。
また、本発明の磁気記録再生装置によれば、上記磁気記録媒体を用いるので、保磁力、角型比を向上させるとともに、ノイズ特性を高めることができる。従って、高記録密度化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気記録媒体の第1実施形態を示す一部断面図である。
【図2】第1下地膜の厚さと、垂直磁性膜の(0002)面の配向性との関係を示すグラフである。
【図3】通常の面内磁気記録媒体に用いられる磁気ヘッドを用いた場合において、上記磁気記録媒体の保磁力(Hc)とSNRを測定した結果を示すグラフである。
【図4】本発明の磁気記録媒体の第2実施形態を示す一部断面図である。
【図5】図1に示す磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の一例を示す概略構成図である。
【図6】本発明の磁気記録媒体の第3実施形態を示す一部断面図である。
【符号の説明】
1・・・基板、2・・・第1下地膜、3・・・第2下地膜、4・・・非磁性中間膜、5・・・垂直磁性膜[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic recording medium and a magnetic recording / reproducing apparatus using the magnetic recording medium.
[0002]
[Prior art]
Most magnetic recording media currently on the market are in-plane magnetic recording media in which the easy axis of magnetization in the magnetic film is mainly oriented horizontally with respect to the substrate.
In such an in-plane magnetic recording medium, when the recording density is increased, the bit volume becomes too small, and the reproduction characteristics may be deteriorated due to the thermal fluctuation effect. Further, when the recording density is increased, medium noise may increase due to the influence of a demagnetizing field at a recording bit boundary.
In contrast, so-called perpendicular magnetic recording media, in which the easy axis of magnetization in the magnetic film is mainly oriented perpendicular to the substrate, are less affected by the demagnetizing field at the bit boundaries even when the recording density is increased, and the boundaries are sharp. Low magnetic noise is possible due to the formation of a large recording magnetic domain, and the high recording density is possible even with a relatively large bit volume. A medium structure suitable for perpendicular magnetic recording has been proposed.
For example, JP-A-58-77025 and JP-A-58-141435 disclose the use of Ti as a material for an underlayer of a perpendicular magnetic film made of a Co alloy material. Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-180360 discloses that an alloy composed of Co and Ru is used as a material of the underlayer.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, there has been a demand for higher recording densities of magnetic recording media, and accordingly, there has been a demand for improved noise characteristics.
However, the conventional magnetic recording medium is never satisfactory in terms of noise characteristics, and a magnetic recording medium having more excellent noise characteristics has been demanded.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a magnetic recording medium and a magnetic recording / reproducing apparatus having excellent noise characteristics.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
In the magnetic recording medium of the present invention, a first underlayer and a second underlayer are provided on a substrate, and a perpendicular magnetic film made of a Co alloy and having an easy axis of magnetization mainly oriented perpendicular to the substrate is provided thereon. The first underlayer is made of a material having a B2 structure, the second underlayer is made of a material having an hcp structure, and the first underlayer and the second underlayer are in contact with each other and are perpendicular to the second underlayer. A non-magnetic intermediate film having an hcp structure is provided between the magnetic film and the magnetic film, and the non-magnetic intermediate film is made of a CoCr alloy .
The first underlayer can be made of a material mainly containing one or more alloys of NiAl, FeAl, CoFe, CoZr, NiTi, AlCo, and AlMn.
In the case where the first base film is made of a material mainly containing any binary alloy of NiAl, FeAl, CoFe, CoZr, NiTi, AlCo, and AlMn, the binary alloy is The content of each of the two components is 40 to 60 at%, and preferably 45 to 55 at%.
For the second underlayer, a material containing one or more of Ti, Zr, Ru, Re, Y, Gd, and Tb as a main component can be used.
The perpendicular magnetic film is made of one of Co / Cr / Pt, Co / Cr / Ta, Co / Cr / Pt / X (X: Ta, Zr, Nb, Cu, Re, Ni, and B, or 2 Or more of them).
It is preferable that the thickness of the first underlayer be 500 ° or less.
The thickness of the perpendicular magnetic film is preferably set to 100 to 1000 °.
The magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention includes a magnetic recording medium and a magnetic head for recording / reproducing information on / from the magnetic recording medium, wherein the magnetic recording medium is provided with a first underlayer and a second underlayer on a substrate. And a perpendicular magnetic film having a Co-alloy thereon and an axis of easy magnetization oriented mainly perpendicular to the substrate is provided, the first underlayer is made of a material having a B2 structure, and the second underlayer is formed of an hcp structure. The first base film and the second base film are in contact with each other, and a non-magnetic intermediate film having an hcp structure is provided between the second base film and the perpendicular magnetic film. The film is made of a CoCr alloy .
[0005]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 shows an embodiment of a magnetic recording medium according to the present invention. The magnetic recording medium shown in FIG. 1 includes a substrate 1, a first base film 2, a second base film 3, a non-magnetic intermediate film 4, A perpendicular magnetic film 5 and a protective film 6 are sequentially formed.
As the substrate 1, an aluminum alloy substrate on which a NiP plating film generally used as a substrate for a magnetic recording medium is formed (hereinafter, referred to as “NiP plated Al substrate”), a glass substrate, a ceramic substrate, a carbon substrate, a flexible resin substrate Alternatively, a substrate in which a NiP film is formed on these substrates by plating or sputtering can be used.
[0006]
The first underlayer 2 is for improving coercive force and squareness ratio and improving noise characteristics of the magnetic recording medium, and is made of a material having a B2 structure.
As the material having the B2 structure, a material mainly containing one or more alloys of NiAl, FeAl, CoFe, CoZr, NiTi, AlCo, and AlMn can be used. Further, a material in which elements such as Cr, Nb, V, W, and Mo are added to these alloys can also be used.
[0007]
When a material containing any of the above binary alloys (NiAl, FeAl, CoFe, CoZr, NiTi, AlCo, and AlMn) as a main component is used, the content of the two components constituting the alloy is Is preferably 40 to 60 at% (preferably 45 to 55 at%).
If the content is less than the above range or exceeds the above range, the B2 structure in the first underlayer 2 may be disturbed, and the effect of improving noise characteristics may be reduced.
[0008]
The thickness of the first base film 2 is preferably determined as follows.
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the thickness of the first underlayer 2 and the orientation of the (0002) plane of the perpendicular magnetic film 5 in the magnetic recording medium having the above configuration.
In this graph, the horizontal axis represents the thickness of the first underlayer 2, and the vertical axis represents the X-ray diffraction intensity corresponding to the (0002) plane of the perpendicular magnetic film 5.
As shown in this graph, the X-ray diffraction intensity reaches a peak when the thickness of the first underlayer 2 is 25 °, and thereafter decreases as the thickness of the first underlayer 2 increases.
According to this graph, the vertical orientation of the perpendicular magnetic film 5 increases when the thickness of the first underlayer 2 is about 25 °, that is, 15 to 40 ° (particularly, 20 to 30 °). It can be seen that when the thickness is further increased, it gradually decreases.
Hereinafter, a region where the thickness of the first base film 2 is about 25 ° (that is, 15 to 40 °) is referred to as a region A.
[0009]
FIG. 3 is a graph showing the measurement results of the coercive force Hc (Oe) and SNR (dB) of the magnetic recording medium when a ring-type head, which is a magnetic head used for a normal longitudinal magnetic recording medium, is used. It is.
In this graph, the horizontal axis indicates the thickness of the first underlayer 2, and the vertical axis indicates coercive force (Hc) and SNR.
From this graph, it can be seen that Hc sharply increases until the thickness of the first underlayer 2 reaches the region A, and thereafter increases very little.
As for the SNR, the thickness of the first underlayer 2 increases until reaching the region A, and once becomes substantially constant, then increases again in the region where the thickness of the first underlayer 2 is 80 to 500 °, It can be seen that after passing through this region, the temperature slightly decreases and becomes a substantially constant value.
Hereinafter, a region where the thickness of the first base film 2 is 80 to 500 ° is referred to as a B region. In particular, the SNR has a particularly high value in the range of 80 to 300 °, and more particularly, 80 to 150 ° in the B region.
[0010]
According to this graph, when a magnetic head (ring-type head) used for a normal in-plane magnetic recording medium is used, a region B having a lower perpendicular orientation than a region A having a higher perpendicular orientation of the perpendicular magnetic film 5 is used. It can be seen that excellent SNR characteristics can be obtained in
The reason that the SNR characteristic is improved in the region B having a low vertical orientation is that the magnetization direction is mostly in the vertical direction in the region A having a high vertical orientation, whereas the orientation of the magnetic film 5 has a certain degree in the region B. Since the magnetization is random, the magnetization in the in-plane direction also increases, and a loop-shaped magnetization curve composed of the perpendicular direction and the in-plane direction is formed, whereby the magnetization is stabilized and the output is improved. Conceivable.
[0011]
In a region where the thickness of the first base film 2 is larger than the region B, Hc is higher than that in the region B, and it is considered that the reproduction output level is higher in accordance with the increase of Hc.
For this reason, in the region where the thickness of the base film 2 is larger than the region B, although the SNR, which is the ratio between the reproduction output and the noise, decreases only slightly, compared to the region B, the increase in the noise is considered to be remarkable. Can be
From this, it is considered that setting the thickness of the first base film 2 in the B region can suppress the noise level lower than the case where the thickness of the base film 2 is set to a value exceeding the B region. Can be
[0012]
From the above results, it is understood that the thickness of the first base film 2 is preferably determined as follows.
When it is assumed that a ring-type head, which is a magnetic head used for a normal longitudinal magnetic recording medium, is used, the thickness of the first underlayer 2 is 80 to 500 [deg.] Corresponding to the B region. (Preferably 80 to 300 °, more preferably 80 to 150 °) is preferable because the SNR characteristics can be further improved.
If the thickness is less than the above range, the SNR characteristics deteriorate. This is because, when the thickness is less than the above range, the magnetization in the in-plane direction is less likely to occur due to an increase in the vertical orientation, and as a result, the effect of improving the output by forming the above-mentioned loop-shaped magnetization curve is obtained. It is thought that this is because it is difficult to be performed.
If the thickness exceeds the above range, the noise characteristics deteriorate. If the thickness exceeds the above range, the crystal grains become coarse in the first underlayer 2, so that the nonmagnetic intermediate film 4 and the perpendicular magnetic film 5 formed on the underlayer 2 also become large. This is considered to be because the coarsening of the crystal grains progresses, thereby increasing noise.
[0013]
The second underlayer 3 is for enhancing the vertical orientation of the nonmagnetic intermediate film 4 and the perpendicular magnetic film 5, and is made of a material having an hcp structure.
As a constituent material of the second base film 3, a material containing one or more of Ti, Zr, Ru, Re, Y, Gd, and Tb as main components can be used.
As this material, any one of Ti, Zr, Ru, Re, Y, Gd, and Tb can be used alone, and lattice matching (matching) with the nonmagnetic intermediate film 4 and the perpendicular magnetic film 5 can be used. In consideration of the above, an alloy in which Cr, Co, Fe, Ni, or the like is added to these materials may be used.
Note that the second base film 3 may have a partially fcc structure.
[0014]
The non-magnetic intermediate film 4 is for increasing the coercive force of the medium, and is made of a non-magnetic material having an hcp structure.
Examples of the material of the non-magnetic intermediate film 4 include Co / Cr-based, Co / Cr / Pt-based, Co / Cr / Ta-based, and Co / Cr / Pt / X-based (X: Ta, Zr, Nb, Cu, Re, It is preferable to use an alloy of one or more of Ni and B).
In particular, it is preferable to use a material whose main component is a Co alloy having a Cr content of 25 to 50 at%, a Pt content of 0 to 15 at%, an X content of 0 to 10 at%, and a balance of Co. .
The nonmagnetic intermediate film 4 may have a single-layer structure or a multi-layer structure. In the case of a multilayer structure, a plurality of the same or different materials selected from the above materials may be stacked.
[0015]
It is preferable that the thickness of the non-magnetic intermediate film 4 be 500 ° or less.
If the thickness exceeds 500 °, the magnetic particles in the perpendicular magnetic film 5 are likely to become coarse, and the noise characteristics are undesirably reduced.
More preferably, the thickness of the non-magnetic intermediate film 4 is 20 to 300 °. For the above reason, the thickness of the non-magnetic intermediate film 4 in the case of a multilayer is preferably 500 ° or less in total, preferably 50 to 200 °.
[0016]
The perpendicular magnetic film 5 is a film made of a magnetic material whose easy axis of magnetization is mainly oriented in a direction perpendicular to the substrate, and includes Co / Cr / Pt-based, Co / Cr / Ta-based, Co / It is preferable to use any alloy of the Cr / Pt / X system (X: one or more of Ta, Zr, Nb, Cu, Re, Ni, and B).
In particular, it is preferable to use a Co alloy having a Cr content of 13 to 28 at%, a Pt content of 0 to 15 at%, an X content of 0 to 5 at%, and a balance of Co. When the content of each of the above components is out of the above range, the noise characteristics or the reproduction output are undesirably reduced.
[0017]
It is preferable that the thickness of the perpendicular magnetic film 5 be 100 to 1000 °. If the thickness of the perpendicular magnetic film 5 is less than 100 °, sufficient magnetic flux cannot be obtained, and the reproduction output decreases.
On the other hand, if the thickness of the perpendicular magnetic film 5 exceeds 1000 °, the magnetic particles in the perpendicular magnetic film 5 become coarse, and the noise characteristics deteriorate, which is not preferable.
More preferably, the thickness of the perpendicular magnetic film 5 is 200 to 700 °. This is because, when the thickness of the perpendicular magnetic film 5 is in this range, the reproduction output can be further improved, and the magnetic particles in the perpendicular magnetic film 5 can be prevented from being roughened, and the noise characteristics can be further improved. .
[0018]
The protective film 6 is for preventing corrosion of the perpendicular magnetic film 5, preventing damage to the medium surface when the head comes in contact with the medium, and ensuring lubrication characteristics between the head and the medium. A material can be used, for example, a single composition of C, SiO 2 , or ZrO 2 , or a material containing these as a main component and containing other elements can be used.
The thickness of the protective film 6 is desirably 10 to 100 °.
Further, it is preferable to provide a lubricating film made of perfluoropolyether, fluorinated alcohol, fluorinated carboxylic acid, or the like on the protective film 6.
[0019]
In order to manufacture the magnetic recording medium having the above structure, a first underlayer 2, a second underlayer 3, a non-magnetic intermediate film 4, and a perpendicular magnetic film 5 are sequentially formed on a substrate 1 by sputtering, vacuum deposition, ion plating. Then, the protective film 6 is formed preferably by a plasma CVD method, an ion beam method, or a sputtering method.
When forming the first base film 2, it is preferable to use a sputtering target made of a material having a B2 structure. As this material, those described above can be used.
Further, in order to form a lubricating film, a conventionally known method such as a dipping method and a spin coating method can be adopted.
[0020]
In the magnetic recording medium having the above structure, the first underlayer 2 is made of a material having the B2 structure, so that the coercive force and the squareness can be improved, and the noise characteristics can be improved.
The reason why the above effects can be obtained by providing the first base film 2 made of the material having the B2 structure is not clear, but it can be assumed that the reason is as follows.
That is, the perpendicular magnetic film 5 formed on the first base film 2 via the second base film 3 and the non-magnetic intermediate film 4 grows under the influence of the first base film 2 having the B2 structure.
It is considered that in the perpendicular magnetic film 5 grown under the influence of the first underlayer 2 having the B2 structure, the crystal grains become finer, isolated and uniform.
Thus, it is considered that the coercive force and the squareness ratio are increased, and a recording magnetic domain having a sharp boundary is formed, so that noise can be reduced.
[0021]
Further, by forming the second underlayer 3 from a material having an hcp structure, the perpendicular orientation of the perpendicular magnetic film 5 formed on the second underlayer 3 via the non-magnetic intermediate film 4 is enhanced, Noise characteristics and coercive force can be improved.
This effect is considered to be obtained by improving the matching of the lattice between the first underlayer 2 and the non-magnetic intermediate layer 4 in the second underlayer 3 having the hcp structure.
[0022]
Further, by disposing the non-magnetic intermediate film 4 having the hcp structure between the second underlayer 3 and the perpendicular magnetic film 5, disturbance of crystal orientation during initial growth of the perpendicular magnetic film 5 is prevented, and The crystal orientation of the film 5 can be improved, and high coercive force and low noise can be achieved.
[0023]
In the present invention, as shown in FIG. 4, a soft magnetic film 12 can be provided between the substrate 1 and the first underlayer 2.
As a constituent material of the soft magnetic film 12, a Co amorphous material (for example, an alloy such as CoZrNb, CoTaNb, Permalloy, or Sendust) can be used. The thickness of the soft magnetic film 12 is preferably 50 nm or more (preferably 100 nm or more, more preferably 200 nm or more). If the thickness is less than the above range, it is difficult to form the loop-shaped magnetization curve.
[0024]
FIG. 5 shows an example of a magnetic recording / reproducing apparatus using the magnetic recording medium. The magnetic recording / reproducing apparatus shown here comprises a magnetic recording medium 7 having the configuration shown in FIG. 1, a medium driving unit 8 for rotating and driving the magnetic recording medium 7, a magnetic head 9 for recording / reproducing information on / from the magnetic recording medium 7, A head drive unit 10 and a recording / reproducing signal processing system 11 are provided. The recording / reproducing signal processing system 11 can process input data and send a recording signal to the magnetic head 9, or can process a reproducing signal from the magnetic head 9 and output data.
As the magnetic head 9, a ring type head used for a normal longitudinal magnetic recording medium can be exemplified.
In the magnetic head 9, the material of the portion where the gap is formed, the gap length, the writing conditions, and the like are set as appropriate.
For example, the gap length of the element in the recording portion of the ring type head is preferably 0.08 μm or more, preferably 0.1 μm or more, and more preferably 0.12 μm or more. Further, it is preferable that the gap length of the element of the recording portion of the ring type head is 0.4 μm or less.
[0025]
According to the magnetic recording / reproducing apparatus, since the magnetic recording medium is used, the coercive force and the squareness can be improved, and the noise characteristics can be improved. Therefore, high recording density can be achieved.
[0026]
Although the magnetic recording medium having the above-described configuration has the non-magnetic intermediate film 4 made of a material having the hcp structure, an example of a magnetic recording medium without the non-magnetic intermediate film 4 is shown in FIG. Further, in this specification, the main component indicates that the component is contained in an amount exceeding 50 at%.
[0027]
【Example】
(Test Example 1)
Hereinafter, the working effects of the present invention will be clarified by showing specific examples.
The glass substrate 1 (OHARA TS-10SX) was set in a chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (3010 manufactured by Anelva).
The chamber was evacuated to a vacuum attainment of 2 × 10 −7 Pa and the substrate 1 was heated to 200 ° C., and then Ni-50 at% Al (Al content: 50 at%, balance: Ni, hereinafter referred to as “Ni50Al”), a second underlayer 3 made of Ru and having an hcp structure, a non-magnetic intermediate film 4 made of Co-40 at% Cr (Co40Cr), and Co-22 at%. A perpendicular magnetic film 5 made of Cr-12at% Pt-2at% Ta (Co22Cr12Pt2Ta) was sequentially formed by sputtering.
On the perpendicular magnetic film 5, a carbon protective film 6 having a thickness of 70 ° was formed by using a plasma CVD method.
[0028]
(Test Examples 2 to 24)
A magnetic recording medium was manufactured with the materials and thicknesses of each film as shown in Table 1.
[0029]
The magnetostatic properties of the magnetic recording media of Test Examples 1 to 24 were measured using a vibrating magnetic property measuring device (VSM).
The electromagnetic conversion characteristics of these magnetic recording media were measured using a read / write analyzer RWA1632 manufactured by GUZIK and a spin stand S1701MP.
For the evaluation of the electromagnetic conversion characteristics, a composite thin film magnetic recording head having a giant magnetoresistive (GMR) element in the reproducing section was used as a magnetic head, and the recording conditions were measured at a linear recording density of 250 kFCI.
The magnetic head used for the evaluation of the electromagnetic conversion characteristics is the same as the magnetic head used for a normal longitudinal magnetic recording medium. As a result of the X-ray diffraction test, it was confirmed that the first underlayer 2 had a B2 structure in each of the test examples.
Table 1 shows the measurement results of the magnetostatic characteristics and the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic recording media of Test Examples 1 to 24.
In Table 1, Mr / Ms indicates a squareness ratio, and Co (0002) intensity indicates an X-ray diffraction intensity corresponding to the (0002) plane of the perpendicular magnetic film 5.
[0030]
[Table 1]
Figure 0003588039
[0031]
As shown in Table 1, the magnetic recording medium provided with the first base film 2 was superior in the noise characteristics (SNR) and the coercive force (Hc) as compared with the magnetic recording medium without the first base film 2 (Test Example 2). It can be seen that the result was obtained.
[0032]
【The invention's effect】
As described above, in the magnetic recording medium of the present invention, since the first underlayer is made of the material having the B2 structure, the coercive force and the squareness can be improved, and the noise characteristics can be improved. .
Further, according to the magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention, since the magnetic recording medium is used, the coercive force and the squareness can be improved, and the noise characteristics can be improved. Therefore, high recording density can be achieved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial sectional view showing a first embodiment of a magnetic recording medium according to the present invention.
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the thickness of a first underlayer and the orientation of the (0002) plane of a perpendicular magnetic film.
FIG. 3 is a graph showing the results of measuring the coercive force (Hc) and SNR of the magnetic recording medium when a magnetic head used for a normal longitudinal magnetic recording medium is used.
FIG. 4 is a partial sectional view showing a second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention.
FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of a magnetic recording / reproducing apparatus using the magnetic recording medium shown in FIG.
FIG. 6 is a partial sectional view showing a third embodiment of the magnetic recording medium of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate, 2 ... 1st under film, 3 ... 2nd under film, 4 ... Non-magnetic intermediate film, 5 ... Perpendicular magnetic film

Claims (7)

基板上に第1下地膜、第2下地膜が設けられ、その上に、Co合金からなり、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性膜が設けられ、
第1下地膜がB2構造をなす材料からなり、第2下地膜がhcp構造をなす材料からなり、これら第1下地膜と第2下地膜とが接しており、
第2下地膜と垂直磁性膜との間に、hcp構造を有する非磁性中間膜が設けられ、この非磁性中間膜がCoCr合金からなることを特徴とする磁気記録媒体。
A first underlayer and a second underlayer are provided on a substrate, and a perpendicular magnetic film made of a Co alloy and having an easy axis of magnetization mainly oriented perpendicular to the substrate is provided thereon,
The first underlayer is made of a material having a B2 structure, the second underlayer is made of a material having an hcp structure, and the first underlayer and the second underlayer are in contact with each other;
A non-magnetic intermediate film having an hcp structure is provided between a second underlayer and a perpendicular magnetic film, and the non-magnetic intermediate film is made of a CoCr alloy .
請求項1記載の磁気記録媒体において、第1下地膜は、NiAl、FeAl、CoFe、CoZr、NiTi、AlCo、およびAlMnのうち1種または2種以上の合金を主成分とする材料からなるものであることを特徴とする磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the first underlayer is made of a material mainly composed of one or more alloys of NiAl, FeAl, CoFe, CoZr, NiTi, AlCo, and AlMn. A magnetic recording medium, comprising: 請求項1または2に記載の磁気記録媒体において、第2下地膜が、Ti、Zr、Ru、Re、Y、Gd、およびTbのうち1種または2種以上を主成分とする材料からなることを特徴とする磁気記録媒体。3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the second underlayer is made of a material mainly containing one or more of Ti, Zr, Ru, Re, Y, Gd, and Tb. A magnetic recording medium characterized by the above-mentioned. 請求項1〜3のうちいずれか1項記載の磁気記録媒体において、垂直磁性膜が、Co/Cr/Pt系、Co/Cr/Ta系、Co/Cr/Pt/X系(X:Ta、Zr、Nb、Cu、Re、Ni、およびBのうち1種または2種以上)のうちいずれかの合金からなるものであることを特徴とする磁気記録媒体。4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the perpendicular magnetic film is made of a Co / Cr / Pt system, a Co / Cr / Ta system, or a Co / Cr / Pt / X system (X: Ta, A magnetic recording medium comprising an alloy of one or more of Zr, Nb, Cu, Re, Ni, and B). 請求項1〜4のうちいずれか1項記載の磁気記録媒体において、第1下地膜の膜厚が500Å以下であることを特徴とする磁気記録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein a thickness of the first underlayer is 500 [deg.] Or less. 請求項1〜5のうちいずれか1項記載の磁気記録媒体において、垂直磁性膜の膜厚が100〜1000Åであることを特徴とする磁気記録媒体。6. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the perpendicular magnetic film has a thickness of 100 to 1000 [deg.]. 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備え、磁気記録媒体が、基板上に第1下地膜、第2下地膜が設けられ、その上に、Co合金からなり、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性膜が設けられ、
第1下地膜がB2構造をなす材料からなり、第2下地層がhcp構造をなす材料からなり、これら第1下地膜と第2下地膜とが接しており、
第2下地膜と垂直磁性膜との間に、hcp構造を有する非磁性中間膜が設けられ、この非磁性中間膜がCoCr合金からなることを特徴とすることを特徴とする磁気記録再生装置。
A magnetic recording medium; and a magnetic head for recording and reproducing information on and from the magnetic recording medium. The magnetic recording medium is provided with a first underlayer and a second underlayer on a substrate, and is made of a Co alloy thereon. , A perpendicular magnetic film whose easy axis is mainly oriented perpendicular to the substrate is provided,
The first underlayer is made of a material having a B2 structure, the second underlayer is made of a material having an hcp structure, and these first and second underlayers are in contact with each other;
A non-magnetic intermediate film having an hcp structure is provided between the second underlayer and the perpendicular magnetic film, and the non-magnetic intermediate film is made of a CoCr alloy .
JP2000215121A 1999-07-16 2000-07-14 Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device Expired - Fee Related JP3588039B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000215121A JP3588039B2 (en) 1999-07-16 2000-07-14 Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20394799 1999-07-16
JP11-203947 1999-07-16
JP2000215121A JP3588039B2 (en) 1999-07-16 2000-07-14 Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001093139A JP2001093139A (en) 2001-04-06
JP3588039B2 true JP3588039B2 (en) 2004-11-10

Family

ID=16482321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000215121A Expired - Fee Related JP3588039B2 (en) 1999-07-16 2000-07-14 Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP3588039B2 (en)
MY (1) MY138888A (en)
SG (1) SG86421A1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4757400B2 (en) * 2001-05-09 2011-08-24 昭和電工株式会社 Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing apparatus
JP4127775B2 (en) * 2002-07-12 2008-07-30 昭和電工株式会社 Magnetic recording medium, manufacturing method thereof, and magnetic recording / reproducing apparatus
JP2006155865A (en) 2004-10-29 2006-06-15 Ken Takahashi Perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recording/reproducing device
WO2006107068A1 (en) 2005-03-30 2006-10-12 Tohoku University Perpendicular magnetic recording medium, and perpendicular magnetic recording and reproducing apparatus
JP2008192249A (en) * 2007-02-06 2008-08-21 Showa Denko Kk Vertical magnetic recording medium, method for manufacturing the same, and magnetic recording and reproducing device
US8105707B2 (en) 2007-04-13 2012-01-31 Fuji Electric Co., Ltd. Perpendicular magnetic recording medium

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2613956B2 (en) * 1990-04-27 1997-05-28 学校法人早稲田大学 Magnetic recording medium and method of manufacturing the same
JP3273374B2 (en) * 1990-12-21 2002-04-08 株式会社アルバック Magnetic recording medium
JPH04368611A (en) * 1991-06-17 1992-12-21 Hitachi Ltd Intrasurface magnetic recording medium and magnetic memory device
JPH05325163A (en) * 1992-05-18 1993-12-10 Nippon Sheet Glass Co Ltd Magnetic recording medium
US5536585A (en) * 1993-03-10 1996-07-16 Hitachi, Ltd. Magnetic recording medium and fabrication method therefor
JPH0721544A (en) * 1993-07-07 1995-01-24 Hitachi Ltd Magnetic recording medium and its production
JPH08138228A (en) * 1994-11-11 1996-05-31 Hitachi Ltd Magnetic recording medium, its production and magnetic recorder

Also Published As

Publication number Publication date
SG86421A1 (en) 2002-02-19
JP2001093139A (en) 2001-04-06
MY138888A (en) 2009-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3143611B2 (en) Ultrathin nucleation layer for magnetic thin film media and method of making the layer
JP5103097B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing apparatus using the same
JP4380577B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium
US8771849B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing apparatus using the same
JP4379817B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium, manufacturing method thereof, and magnetic recording apparatus
US20030211364A1 (en) Magnetic recording media and magnetic recording system using the same
JP3755449B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium
JP2005044464A (en) Perpendicular magnetic recording medium
JPWO2007129687A1 (en) Magnetic recording medium, manufacturing method thereof, and magnetic recording / reproducing apparatus
US20100209741A1 (en) Perpendicular magnetic recording medium, process for production thereof, and magnetic recording/reproduction apparatus
JP4707265B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium
JP4534711B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium
JP2005251373A (en) Magnetic recording medium, manufacturing method of the same, and magnetic storage device
JP5569213B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium
JP3900999B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium
US20100079911A1 (en) Magnetic recording medium, process for producing same, and magnetic recording reproducing apparatus using the magnetic recording medium
JP2002216331A (en) Perpendicular magnetic recording layer for extra-high density recording
JP3588039B2 (en) Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device
JP2006185489A (en) Magnetic recording medium and magnetic storage device
EP0809238B1 (en) Magnetic recording media and magnetic recording system using the same
US20030219627A1 (en) Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus
JP4233710B2 (en) Magnetic recording medium
JPH0831638A (en) Metal thin film magnetic recording medium
JP2009064501A (en) Magnetic recording medium and magnetic recording and playback apparatus
JP2001283427A (en) Magnetic recording medium, its manufacture method, sputtering target and magnetic recording and reproducing device

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040406

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040607

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20040621

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040803

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040811

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees