JP2001141651A - JUDGMENT METHOD FOR OPTICAL DAMAGE-RESISTANT PROPERTY OF MgO-DOPED LiNbO3 CRYSTAL AND ITS USE - Google Patents

JUDGMENT METHOD FOR OPTICAL DAMAGE-RESISTANT PROPERTY OF MgO-DOPED LiNbO3 CRYSTAL AND ITS USE

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JP2001141651A
JP2001141651A JP32082099A JP32082099A JP2001141651A JP 2001141651 A JP2001141651 A JP 2001141651A JP 32082099 A JP32082099 A JP 32082099A JP 32082099 A JP32082099 A JP 32082099A JP 2001141651 A JP2001141651 A JP 2001141651A
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JP
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crystal
transmittance
mgo
light
doped
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Japanese (ja)
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Masaru Nakamura
優 中村
Takashi Tsunekawa
高志 常川
Koichi Taniguchi
浩一 谷口
Kazuyuki Tadatomo
一行 只友
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Mitsubishi Cable Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Cable Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method in which the existence of the optical damage- resistant property of an MgO-doped LN crystal can be judged nondestructively on the basis of an actual crystal irrespective of a prepared composition, and to provide a use for the MgO-doped LN crystal whose optical damage-resistant property is judged to be existent by the judgment method. SOLUTION: The transmittance of light in an MgO-doped LiNbO3 crystal is measured. When the width of a drop in the transmittance near a wavelength of 2.83 μm is at 5% or more and the width of the drop in the transmittance near a wavelength of 2.87 μm is less than 5% with reference to a base transmittance in the band of a wavelength of 2.5 to 3.3 μm, the crystal is judged to have an optical damage-resistant property. When the periodic polarization inversion structure is formed in the MgO-doped LN crystal whose optical damage- resistant property is judged to be existent by this method, it is possible to obtain a preferable wavelength conversion element which comprises an optical damage-resistant property.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、非線形光学結晶の
技術分野に属し、特にMgOドープLiNbO3結晶の
耐光損傷性を判定する技術およびそれによって得られる
結晶の用途に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention belongs to the technical field of nonlinear optical crystals, and more particularly to a technique for determining the light damage resistance of an MgO-doped LiNbO 3 crystal and the use of the crystal obtained thereby.

【0002】[0002]

【従来の技術】LiNbO3 結晶(以下「LN結晶」と
もいう)およびこれに周期的分極反転構造を付与した結
晶(Periodically Poled LiNbO3 ;以下「PPLN結
晶」ともいう)は、大きな非線形光学定数を有し、波長
変換素子として有望である。しかし、これらのLN結晶
は、光損傷を生じ易く、安定な波長変換素子として用い
るには問題があった。光損傷は、レーザー光などの強い
光が照射されると照射部分の屈折率が変化してしまい、
元の屈折率に戻らないという現象である。
2. Description of the Related Art A LiNbO 3 crystal (hereinafter also referred to as “LN crystal”) and a crystal provided with a periodically poled structure (Periodically Poled LiNbO 3 ; hereinafter also referred to as “PPLN crystal”) have a large nonlinear optical constant. And is promising as a wavelength conversion element. However, these LN crystals are easily damaged by light, and there is a problem in using them as a stable wavelength conversion element. Optical damage is that when irradiated with strong light such as laser light, the refractive index of the irradiated part changes,
This is a phenomenon that the refractive index does not return to the original one.

【0003】そこで、耐光損傷性に優れたLN結晶につ
いて種々の研究が行なわれ、その結果、MgO、Zn
O、In2 3 、SC2 3 等をドープしたLN結晶
が、高い耐光損傷性を有することが報告されている。現
在その中でも特にMgOドープLN結晶が、結晶性の良
否の点からも、最も有望であると考えられている。
Therefore, various studies have been conducted on LN crystals having excellent light damage resistance, and as a result, MgO, Zn
It has been reported that LN crystals doped with O, In 2 O 3 , SC 2 O 3 and the like have high light damage resistance. At present, among them, the MgO-doped LN crystal is considered to be the most promising in terms of crystallinity.

【0004】MgOドープLN結晶の耐光損傷性につい
ては、ドープされるMgOの量によって、その耐光損傷
性が敏感に変化することが報告されている。これまでの
報告では、多少の誤差はあるが、MgOを5mol%以
上ドープした場合、光損傷はほぼ起こらないということ
が判明している。従って、眼前の材料であるMgOドー
プLN結晶がどの程度の耐光損傷性を有する物であるか
を知るためには、該結晶中のMgの量(=MgOの量)
を正確に知ることが必要になる。
With respect to the light damage resistance of MgO-doped LN crystals, it has been reported that the light damage resistance changes sensitively depending on the amount of MgO doped. Previous reports have shown that, although there is some error, optical damage hardly occurs when MgO is doped at 5 mol% or more. Therefore, in order to know the degree of light damage resistance of the MgO-doped LN crystal, which is the material in front of the eyes, the amount of Mg in the crystal (= the amount of MgO)
It is necessary to know exactly.

【0005】LN結晶中にドープされるMgOの量の制
御は、実際のMgOドープLN結晶の育成においては、
主に、仕込み組成におけるMgO量を制御することによ
って行なわれている。そして、得られた結晶中のMgO
ドープ量の表示は、得られた結晶を分析した結果ではな
く、仕込み組成におけるMgO量に基づいて推定した値
として表示される。これは、結晶中のMgO量が、仕込
み組成からどの程度変動するかが、およそ分かっている
ためであり、また、後述のように結晶の分析が困難なた
めである。
[0005] The control of the amount of MgO doped in the LN crystal is based on the fact that in the actual growth of the MgO-doped LN crystal,
It is mainly performed by controlling the amount of MgO in the charged composition. And MgO in the obtained crystal
The display of the doping amount is not a result of analyzing the obtained crystal but a value estimated based on the MgO amount in the charged composition. This is because it is generally known how much the amount of MgO in the crystal varies from the charged composition, and it is difficult to analyze the crystal as described later.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した仕込
み組成からのMgO量の変動量は、あくまで概略的な推
定であって、詳しく正確な値ではない。これは、仕込み
組成におけるMgO量が一定であったとしても、得られ
た結晶中のMgO量が結晶育成温度等によって大きく変
動するからである。実際の報告例においても、MgOド
ープLN結晶に関する物性のデータを各報告毎に比較す
ると、MgOの仕込み組成が同じであったとしても、耐
光損傷性については報告例毎に大きく異なるものとなっ
ている。
However, the amount of change in the amount of MgO from the charge composition described above is only a rough estimation and is not a precise value in detail. This is because even if the amount of MgO in the charged composition is constant, the amount of MgO in the obtained crystal greatly varies depending on the crystal growth temperature and the like. In the actual report examples as well, when comparing the data on the physical properties of the MgO-doped LN crystal for each report, the light damage resistance differs greatly from report to report even if the composition of MgO is the same. I have.

【0007】一方、MgOドープLN結晶を分析してそ
れに含まれるMg量を知ろうとする場合、そのための組
成分析方法としては、Inductively Coupled Plasma-Ato
micEmission Spectroscopy (ICP−AES)、Elect
ron Probe Micro Analysis(EPMA)などが考えられ
る。しかし、これらの方法でさえも、Mg量の測定は基
本的に難しい。その理由は、Mgが水中や手(汗などに
よる)に多く存在するため、Mg量の測定においてそれ
らが試料中に混入し易く、真の値が不明確になるからで
ある。また、ICP−AESでは、Mgのピークは弱
く、測定自体簡単ではない。EPMAにおいても、Mg
OドープLN結晶程度のMgドープ量では検出が簡単で
はない。
On the other hand, when the MgO-doped LN crystal is analyzed to determine the amount of Mg contained therein, a composition analysis method for that purpose is based on Inductively Coupled Plasma-Ato.
micEmission Spectroscopy (ICP-AES), Elect
ron Probe Micro Analysis (EPMA) can be considered. However, even with these methods, measuring the amount of Mg is basically difficult. The reason is that Mg is present in water and hands (due to sweat or the like) in large amounts, so that it tends to be mixed into the sample in the measurement of the amount of Mg, and the true value is unclear. In ICP-AES, the peak of Mg is weak, and the measurement itself is not easy. Even in EPMA, Mg
Detection is not easy with an Mg-doped amount of about O-doped LN crystal.

【0008】さらに上記分析方法では、分析のために試
料を破壊する必要があり、MgOドープLN結晶をウエ
ハーのままで評価することが困難である。以上の点が障
害となって、MgOドープLN結晶中のMgO量と、耐
光損傷性との正確な関係は、未だ明らかとなっていなか
った。
Further, in the above analysis method, it is necessary to destroy the sample for analysis, and it is difficult to evaluate the MgO-doped LN crystal as it is on a wafer. Because of the above points, the exact relationship between the amount of MgO in the MgO-doped LN crystal and the light damage resistance has not been clarified yet.

【0009】本発明の課題は、上記問題を解決し、Mg
OドープLN結晶の耐光損傷性の有無を、仕込み組成に
よらず現物の結晶をもとに非破壊で判定できる方法を提
供することである。さらに、本発明の他の課題は、本発
明による判定方法によって耐光損傷性を有すると判定さ
れたMgOドープLN結晶の用途を提供するものであ
る。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems,
An object of the present invention is to provide a method capable of non-destructively determining the presence or absence of light damage resistance of an O-doped LN crystal based on the actual crystal regardless of the charged composition. Still another object of the present invention is to provide a use of an MgO-doped LN crystal determined to have light damage resistance by the determination method according to the present invention.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、MgOド
ープLN結晶の光の透過率のなかでも、OH- イオンの
存在に起因するとされる2.8μm付近の細部の特定波
長(2.83μmおよび2.87μm)における透過率
と、MgO量との間に、強い関係があることを見出し、
さらにその透過率と耐光損傷性とを結び付けて本発明を
完成させた。本発明は、次の特徴を有するものである。
Means for Solving the Problems The present inventors have found that, among the light transmittances of MgO-doped LN crystals, specific wavelengths (2. 1) near 2.8 µm attributed to the presence of OH - ions are considered. 83 μm and 2.87 μm) and found that there is a strong relationship between the transmittance and the amount of MgO,
Further, the present invention has been completed by combining the transmittance with the light damage resistance. The present invention has the following features.

【0011】(1)MgOドープLiNbO3 結晶の光
の透過率を測定し、波長2.5μm〜3.3μmの波長
帯域におけるベース透過率に対して、波長2.83μm
付近での透過率の低下の幅が5%以上であり、かつ、波
長2.87μm付近での透過率の低下の幅が5%未満で
あるときに、該結晶が耐光損傷性を有すると判定する、
MgOドープLiNbO3 結晶の耐光損傷性の判定方
法。
(1) The light transmittance of the MgO-doped LiNbO 3 crystal was measured, and the base transmittance in the wavelength band of 2.5 μm to 3.3 μm was compared with the wavelength of 2.83 μm.
It is determined that the crystal has light damage resistance when the degree of decrease in transmittance in the vicinity is 5% or more and the degree of decrease in transmittance near the wavelength of 2.87 μm is less than 5%. Do
A method for determining light damage resistance of MgO-doped LiNbO 3 crystal.

【0012】(2)下記(A)のMgOドープLiNb
3 結晶が用いられ、該結晶に周期的分極反転構造が形
成されたものである波長変換素子。(A)当該結晶の光
の透過率が、波長2.5μm〜3.3μmの波長帯域に
おけるベース透過率に対して、波長2.83μm付近の
透過率の低下の幅が5%以上であり、かつ、波長2.8
7μm付近の透過率の低下の幅が5%未満である、Mg
OドープLiNbO3 結晶。
(2) MgO-doped LiNb of the following (A)
A wavelength conversion element in which an O 3 crystal is used and a periodically poled structure is formed in the crystal. (A) the transmittance of light of the crystal is 5% or more in a decrease in transmittance near a wavelength of 2.83 μm with respect to a base transmittance in a wavelength band of 2.5 μm to 3.3 μm; And a wavelength of 2.8
Mg having a transmittance decrease of less than 5% near 7 μm.
O-doped LiNbO 3 crystal.

【0013】本発明におけるLN結晶、MgOドープL
N結晶の組成は、いずれもコングルーエント組成であ
る。
The LN crystal and MgO-doped L in the present invention
The composition of each N crystal is a congruent composition.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明による判定方法を説明する
に際し、先ず、その判定の根拠となる重要な性質を先に
説明する。MgOドープLN結晶の波長毎の光の透過率
を大まかに見たとき、2.8μm付近に光の透過率が局
所的に低下するピーク部分があることは知られている。
これは、該結晶中のOH- イオンによる光吸収に起因す
るとされている。本発明による判定方法は、前記2.8
μm付近における結晶の性質をさらに細かい波長につい
て検討し新たに見い出された次の(イ)、(ロ)の性質
に基づくものである。 (イ)光の透過率が低下するピーク部分の波長(ピーク
波長)が、MgOの或る含有量を境として、2.87μ
m付近から2.83μm付近へとステップ状に変化する
という性質。 (ロ)上記(イ)の性質で述べた、2.87μm付近か
ら2.83μm付近へのステップ状の変化に一致して、
その結晶の耐光損傷性も、低い耐光損傷性から高い耐光
損傷性へと変化するという性質。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In describing a judgment method according to the present invention, first, important properties serving as a basis for the judgment will be described. It is known that when the transmittance of light for each wavelength of the MgO-doped LN crystal is roughly observed, there is a peak portion near 2.8 μm where the transmittance of light locally decreases.
This is attributed to light absorption by OH - ions in the crystal. The determination method according to the present invention includes the above-mentioned 2.8
This is based on the following properties (a) and (b) newly discovered by examining the properties of crystals near μm for finer wavelengths. (A) The wavelength (peak wavelength) at the peak where the light transmittance is reduced is 2.87 μm at a certain MgO content.
The property of changing stepwise from around m to around 2.83 μm. (B) In accordance with the stepwise change from about 2.87 μm to about 2.83 μm described in the above property (a),
The property that the light damage resistance of the crystal also changes from low light damage resistance to high light damage resistance.

【0015】2.87μm付近とは、より厳密には2.
865μm〜2.874μmの範囲である。また、2.
83μm付近とは、より厳密には2.825μm〜2.
834μmの範囲である。以下、これら幅を持った2つ
のピーク波長を、単に「2.87μm」、「2.83μ
m」と表記して説明する。
The term "around 2.87 μm" is more strictly equivalent to 2.87 μm.
The range is from 865 μm to 2.874 μm. Also, 2.
More specifically, the vicinity of 83 μm means 2.825 μm to 2.825 μm.
834 μm. Hereinafter, two peak wavelengths having these widths are simply referred to as “2.87 μm” and “2.83 μm”.
m ”.

【0016】前記2つのピーク波長において、光の透過
率がどれだけ低下するかを示すには、低下の度合いの基
準値となる透過率(ベース透過率)が必要である。本発
明では、波長2.5μm〜3.3μmの波長帯域におけ
る透過率のうち、2.8μm付近の変動部分を除いた、
残りのフラットな透過率部分の平均値を、ベース透過率
として用いる。ただし、これは前記の波長帯域2.5μ
m〜3.3μmを全域にわたって必ず測定しなければな
らないという意味ではなく、波長2.5μm〜3.3μ
mの帯域における基準の透過率を得られるならば、測定
する波長の値は限定されず、この範囲の外にわたっても
よい。算出方法は連続的なデータに基づくものでも、離
散的なデータに基づくものでもよく、測定ポイント数も
限定されない。ただし、ベース透過率を求めるための測
定においては、結晶軸と光の入射方向との関係を一定に
保つ必要がある。ベース透過率は、MgO量などによら
ず、どの結晶も、どの製造ロットも、ほぼ同様の値を示
す。そして、2つのピーク波長2.87μm、2.83
μmにおける透過率の、ベース透過率からの低下幅(即
ち、各ピーク波長での透過率と、ベース透過率との差)
をもって、各ピーク波長における透過率の低下の度合い
とする。
In order to indicate how much the transmittance of light decreases at the two peak wavelengths, a transmittance (base transmittance) which is a reference value of the degree of the decrease is required. In the present invention, in the transmittance in the wavelength band of 2.5 μm to 3.3 μm, a fluctuation portion around 2.8 μm is excluded.
The average value of the remaining flat transmittance portions is used as the base transmittance. However, this is the above-mentioned wavelength band of 2.5 μm.
m to 3.3 μm is not necessarily required to be measured over the entire range, but the wavelength is 2.5 μm to 3.3 μm.
If the reference transmittance in the m band can be obtained, the value of the wavelength to be measured is not limited and may be outside this range. The calculation method may be based on continuous data or discrete data, and the number of measurement points is not limited. However, in the measurement for obtaining the base transmittance, it is necessary to keep the relationship between the crystal axis and the light incident direction constant. Regardless of the MgO content or the like, the base transmittance shows almost the same value for every crystal and every production lot. And two peak wavelengths 2.87 μm, 2.83
The degree of decrease in the transmittance at μm from the base transmittance (that is, the difference between the transmittance at each peak wavelength and the base transmittance).
And the degree of decrease in transmittance at each peak wavelength.

【0017】図2は、ベース透過率、ピーク波長におけ
る透過率を説明するために、あるMgOドープLN結晶
試料に関する光の透過率を示したグラフ図である。同図
のグラフで明らかなように、この例では、2.83μm
に透過率が大きく低下する吸収ピークが見られる。この
例におけるベース透過率は、吸収ピークでの透過率の変
動を除いた残りのフラットな部分の平均値を計算すると
76%である。そして、2.83μmでの透過率は70
%である。よってベース透過率からの低下幅は、その差
6%である。
FIG. 2 is a graph showing the light transmittance of a certain MgO-doped LN crystal sample in order to explain the base transmittance and the transmittance at the peak wavelength. As is apparent from the graph of FIG.
An absorption peak at which the transmittance is greatly reduced is seen. The base transmittance in this example is 76% when the average value of the remaining flat portions excluding the variation of the transmittance at the absorption peak is calculated. The transmittance at 2.83 μm is 70.
%. Therefore, the width of decrease from the base transmittance is 6% of the difference.

【0018】上記(イ)の性質をさらに詳しく説明す
る。図1のグラフ図に示すように、MgOドープLN結
晶に含まれるMgO量を0 mol%から増加させていく
と、光の透過率が低下するピーク波長は、次の〜の
ように変化する。図1のグラフ図にプロットしたMgO
量は、仕込み組成ではなく、MgOドープLN結晶を分
析して得られた値である。 MgO量0〜4 mol%では、透過率低下のピーク波長
は2.87μmでほぼ安定している。そのときの透過率
の低下幅は、ベース透過率から5%以上である。また、
そのときの他方のピーク波長2.83μmにおける透過
率の低下幅は、ベース透過率から5%未満である。 MgO量4〜5 mol%は、臨界的な領域であって、こ
の間において、透過率低下のピーク波長は2.87μm
から2.83μmへと大きく変化する。 MgO量5 mol%以上では、透過率低下のピーク波長
は2.83μmでほぼ安定している。そのときの透過率
の低下幅は、ベース透過率から5%以上である。また、
そのときの他方のピーク波長2.87μmにおける透過
率の低下幅は、ベース透過率から5%未満である。以上
のように、図1のグラフは、明確に2段のステップ状を
呈する。
The property (a) will be described in more detail. As shown in the graph of FIG. 1, when the amount of MgO contained in the MgO-doped LN crystal is increased from 0 mol%, the peak wavelength at which the light transmittance decreases changes as follows. MgO plotted on the graph of FIG.
The amount is not the charged composition but a value obtained by analyzing the MgO-doped LN crystal. When the amount of MgO is 0 to 4 mol%, the peak wavelength of the transmittance decrease is almost stable at 2.87 μm. At this time, the width of decrease in transmittance is 5% or more from the base transmittance. Also,
At this time, the decrease in the transmittance at the other peak wavelength of 2.83 μm is less than 5% from the base transmittance. The MgO content of 4 to 5 mol% is a critical region, during which the peak wavelength of the transmittance decrease is 2.87 μm.
Greatly changes to 2.83 μm. When the amount of MgO is 5 mol% or more, the peak wavelength of transmittance decrease is almost stable at 2.83 μm. At this time, the width of decrease in transmittance is 5% or more from the base transmittance. Also,
At this time, the decrease in transmittance at the other peak wavelength of 2.87 μm is less than 5% from the base transmittance. As described above, the graph of FIG. 1 clearly shows two steps.

【0019】また、上記(ロ)の性質は、上記(イ)の
性質と耐光損傷性との強い相関関係を示すものである。
即ち、結晶中のMgO量が少ないうちは、透過率の低下
の度合いは2.87μmにピークとして現れるが、その
ときの耐光損傷性は低く、結晶中のMgO量が5 mol%
以上に多くなると、透過率の低下の度合いは2.83μ
mへと移り、そのときの耐光損傷性は高いということで
ある。
The property (b) shows a strong correlation between the property (a) and the light damage resistance.
That is, while the MgO content in the crystal is small, the degree of decrease in transmittance appears as a peak at 2.87 μm, but the light damage resistance at that time is low, and the MgO content in the crystal is 5 mol%.
When the number is larger than the above, the degree of decrease in transmittance is 2.83 μm.
m, the light damage resistance at that time is high.

【0020】従って、上記(イ)、(ロ)の性質を利用
すれば、耐光損傷性の高低(良、不良)を、現物の結晶
をもとに非破壊で検査することができる。即ち、眼前の
材料であるMgOドープLN結晶について、光の透過率
の低下の度合いを測定し、2.83μmにおける透過率
とベース透過率との差(低下幅)が5%以上であり、か
つ、2.87μmにおける透過率とベース透過率との差
(低下幅)が、5%未満であるならば、耐光損傷性を有
すると判定するのである。それ以外の場合は、耐光損傷
性を有しないと判定する。これが上記(1)に示した、
本発明の判定方法であり、この方法によって耐光損傷性
を有すると判定された結晶が、上記(A)の結晶であ
る。
Therefore, if the properties (a) and (b) described above are utilized, the degree of light damage resistance (good or bad) can be inspected nondestructively based on the actual crystal. That is, for the MgO-doped LN crystal as a material in front of the eyes, the degree of decrease in light transmittance was measured, and the difference (decrease width) between the transmittance at 2.83 μm and the base transmittance was 5% or more, and If the difference (decrease width) between the transmittance at 2.87 μm and the base transmittance is less than 5%, it is determined to have light damage resistance. In other cases, it is determined that there is no light damage resistance. This is shown in (1) above,
The crystal which is the determination method of the present invention and is determined to have light damage resistance by this method is the crystal of the above (A).

【0021】2つのピーク波長における光の透過率がベ
ース透過率からどの程度低下しているかを調べる方法と
しては、赤外線分光方法が挙げられる。なかでも特にフ
ーリエ変換赤外分光法(FT−IR)は、感度が良好で
あり好ましい方法である。
As a method of examining how much the light transmittance at the two peak wavelengths is lower than the base transmittance, there is an infrared spectroscopy method. In particular, Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR) is a preferable method because of its good sensitivity.

【0022】本発明の判定方法によって「耐光損傷性を
有する」と判定されたMgOドープLN結晶、即ち、上
記(A)の結晶を用い、これに周期的分極反転構造を形
成することによって、耐光損傷性に優れた種々の波長変
換素子が得られる。
The MgO-doped LN crystal determined to have “light damage resistance” by the determination method of the present invention, that is, the crystal of the above (A), is used to form a periodically poled structure to provide light resistance. Various wavelength conversion elements excellent in damage property can be obtained.

【0023】周期的分極反転構造は、非線形光学結晶を
用いた種々の波長変換(光パラメトリック発振、第2高
調波発生、和周波発生、差周波発生等)において、擬似
位相整合を行うために、非線形光学結晶中に形成される
特殊な分極状態であって、文字通り、結晶の分極が縞模
様のように周期的に反転されたものである。例えば、周
期的分極反転構造を用いた擬似位相整合による光パラメ
トリック発振では、分極反転周期を変えることにより、
容易に発振する光の波長を変えることが可能である。
The periodic domain inversion structure is used to perform quasi-phase matching in various wavelength conversions (optical parametric oscillation, second harmonic generation, sum frequency generation, difference frequency generation, etc.) using a nonlinear optical crystal. A special polarization state formed in a nonlinear optical crystal, in which the polarization of the crystal is inverted periodically like a stripe pattern, as the name suggests. For example, in optical parametric oscillation by quasi-phase matching using a periodically poled structure, by changing the poled period,
It is possible to change the wavelength of light that oscillates easily.

【0024】本発明によって耐光損傷性有りと判定され
たMgOドープLN結晶に周期的分極反転構造を形成し
たものは、それ自体で1個の独立した波長変換素子であ
り、単独で用いても第2高調波発生などの波長変換が可
能であるが、該結晶に光共振器を加えて光パラメトリッ
ク発振など発振可能な波長変換素子としてもよい。
The MgO-doped LN crystal determined to have light damage resistance according to the present invention and having a periodically poled structure formed thereon is a single independent wavelength conversion element. Although wavelength conversion such as generation of two harmonics is possible, a wavelength conversion element capable of oscillating such as optical parametric oscillation may be added by adding an optical resonator to the crystal.

【0025】光共振器は、本発明によって耐光損傷性有
りと判定されたMgOドープLN結晶とは別個のミラー
部材を用いたものでも、該結晶の端面をそのまま用いた
ものでも、該結晶の端面にコーティングなどを施して構
成したものなどでもよい。ミラー自体の態様、一対のミ
ラーの配置関係などは、公知技術を参照してよい。
The optical resonator may be one using a mirror member separate from the MgO-doped LN crystal determined to have light damage resistance according to the present invention, one using the end face of the crystal as it is, or one using the end face of the crystal. It may be formed by applying a coating or the like. For the aspect of the mirror itself, the arrangement relationship of the pair of mirrors, and the like, a known technique may be referred to.

【0026】[0026]

【実施例】実施例1 本実施例では、MgO量の異なるMgOドープLN結晶
の試料を用意し、透過率を調べて上記(イ)の性質を確
認し、さらに、それら試料の耐光損傷性を調べて上記
(ロ)の性質を確認する実験を行った。
Example 1 In this example, samples of MgO-doped LN crystals having different amounts of MgO were prepared, and the transmittance was checked to confirm the property (a) above. Further, the light damage resistance of these samples was checked. An experiment was conducted to check and confirm the properties of (b) above.

【0027】〔MgOドープLN結晶試料の作成〕Mg
Oの仕込み組成が、0 mol%、1 mol%、2 mol%、・
・・、8 mol%、9 mol%であるMgOドープLN結晶
を試料とし、各試料の一部をICP法によって破壊的に
測定し、各試料に実際に含有されているMgO量を得
た。
[Preparation of MgO-doped LN crystal sample]
The composition of O is 0 mol%, 1 mol%, 2 mol%,
.., 8 mol% and 9 mol% of MgO-doped LN crystals were used as samples, and a part of each sample was destructively measured by the ICP method to obtain the amount of MgO actually contained in each sample.

【0028】〔光の透過率低下のピーク波長の測定〕上
記試料に対して、フーリエ変換赤外分光法(FT−I
R)により、各試料の透過率を測定し、波長2.8μm
付近での透過率の状態を調べた。その結果、本実施例に
用いた試料では、図1のグラフに示すとおり、結晶に実
際に含まれているMgO量が0 mol%〜4.21 mol%
においては、2.87μmでのベース透過率からの透過
率低下の度合いは7%であり、そのときの2.83μm
でのベース透過率からの透過率低下の度合いは3%であ
った。また、MgO量4.89 mol%〜7.14 mol%
においては、2.83μmでのベース透過率からの透過
率低下の度合いが8%であり、そのときの2.87μm
でのベース透過率からの透過率低下の度合いは2.5%
であった。
[Measurement of Peak Wavelength of Decrease in Light Transmittance] The above sample was subjected to Fourier transform infrared spectroscopy (FT-I
R), the transmittance of each sample was measured, and the wavelength was 2.8 μm
The state of transmittance in the vicinity was examined. As a result, in the sample used in the present example, as shown in the graph of FIG. 1, the amount of MgO actually contained in the crystal was 0 mol% to 4.21 mol%.
, The degree of decrease in transmittance from the base transmittance at 2.87 μm is 7%, and at that time, 2.83 μm
The degree of decrease in transmittance from the base transmittance was 3%. In addition, the MgO content is 4.89 mol% to 7.14 mol%.
, The degree of transmittance decrease from the base transmittance at 2.83 μm is 8%, and at that time, 2.87 μm
2.5% decrease in transmittance from base transmittance
Met.

【0029】これらの測定結果から、透過率低下のピー
ク波長は、図1のグラフに示すとおり、MgO量に応じ
て2.87μmと、2.83μmとに、はっきりと分か
れることが判明した。
From the results of these measurements, it was found that the peak wavelength of the transmittance decrease clearly separated into 2.87 μm and 2.83 μm according to the amount of MgO as shown in the graph of FIG.

【0030】〔耐光損傷性の評価実験〕上記で2種類に
分けられた試料(透過率低下のピーク波長が2.87μ
mのものと、2.83μmのもの)に対して、Arレー
ザー光(488nm)を照射し、各試料の耐光損傷性を
評価した。
[Evaluation Experiment for Light Damage Resistance] The above two types of samples (the peak wavelength of transmittance decrease was 2.87 μm)
m and 2.83 μm) were irradiated with Ar laser light (488 nm) to evaluate the light damage resistance of each sample.

【0031】評価に用いた装置のシステムは、図3に示
すように、Arレーザー光をレンズを用いて集光し、各
試料に照射して透過させ、その透過したArレーザー光
を、光損傷の無い状態で透過したArレーザー光のビー
ム径と同程度の孔径のピンホールを通して、パワーメー
ターで出力をモニターする構成である。用いたArレー
ザーは直線偏光であり、その偏光方向と、試料であるM
gOドープLN結晶のZ軸方向とが一致するように該試
料を照射光路上に配置した。
As shown in FIG. 3, the system of the apparatus used for the evaluation collects Ar laser light using a lens, irradiates and transmits each sample, and transmits the transmitted Ar laser light to the optical damage. In this configuration, the output is monitored by a power meter through a pinhole having a hole diameter substantially equal to the beam diameter of the Ar laser light transmitted in the absence of the laser beam. The Ar laser used was linearly polarized light, and its polarization direction and M
The sample was placed on the irradiation optical path so that the gO-doped LN crystal coincided with the Z-axis direction.

【0032】上記の構成によって、試料に光損傷が全く
発生しない場合には、パワーメーターは初期のArレー
ザー光の強度を示し続けるが、光損傷が発生した場合に
は、内部に誘起された屈折率分布によってレーザー光の
光路が曲げられ、図3に示すように、ビーム径は偏光方
向に徐々に拡がって行く。従って、この拡がった部分は
ピンホールを透過できず、ピンホールを透過するArレ
ーザー光の強度は減少することになる。即ち、パワーメ
ーターでArレーザー光の強度をモニターした場合、光
損傷が発生すればレーザー光強度の低下となって観察さ
れる仕組みである。本実施例では、パワーメーターでモ
ニターしたArレーザー光の強度と、時間の経過との関
係を、ペンレコーダーを用いて記録した。
With the above configuration, if no optical damage occurs in the sample, the power meter continues to show the intensity of the initial Ar laser light, but if optical damage occurs, the refraction induced inside the sample will occur. The optical path of the laser light is bent by the rate distribution, and the beam diameter gradually expands in the polarization direction as shown in FIG. Therefore, the expanded portion cannot pass through the pinhole, and the intensity of the Ar laser beam passing through the pinhole decreases. That is, when the intensity of the Ar laser beam is monitored by a power meter, if optical damage occurs, the intensity of the laser beam is reduced and observed. In this example, the relationship between the intensity of Ar laser light monitored by a power meter and the passage of time was recorded using a pen recorder.

【0033】先の測定で透過率低下のピーク波長が2.
87μmであった試料に対しては、照射するArレーザ
ー光を、強度15.7mW、パワー密度200W/cm
2 とした。図4のグラフに示すように、レーザー光を照
射した直後から直ちに光損傷によるビームの拡がりを反
映した強度低下が認められ、測定されたArレーザー光
の強度は、照射開始から30秒程度で初期値の半分以下
になっていることがわかる。また、目視によっても、急
速に直ちに明らかにビームが拡がって行く様子がはっき
りと観察された。
In the above measurement, the peak wavelength at which the transmittance decreases is 2.
For the sample of 87 μm, the irradiating Ar laser beam was applied with an intensity of 15.7 mW and a power density of 200 W / cm.
And 2 . As shown in the graph of FIG. 4, immediately after the irradiation with the laser light, a decrease in the intensity reflecting the spread of the beam due to optical damage was observed, and the measured intensity of the Ar laser light was about 30 seconds from the start of the irradiation. It can be seen that the value is less than half of the value. Visual observation also clearly showed that the beam was immediately and clearly expanding.

【0034】また、先の測定で透過率低下のピーク波長
が2.83μmであった試料に対しては、耐光損傷性の
良好性をより詳細に調べるために、Arレーザー光の強
度を、100mW(パワー密度1273W/cm2 )、
400mW(パワー密度5093W/cm2 )、900
mW(パワー密度11459W/cm2 )の3種類に変
えて、同じ試料に順次強度を強めて照射した。
For the sample in which the peak wavelength of the transmittance decrease was 2.83 μm in the previous measurement, the intensity of the Ar laser beam was set to 100 mW in order to examine the good light damage resistance in more detail. (Power density 1273 W / cm 2 ),
400 mW (power density 5093 W / cm 2 ), 900
The same sample was irradiated with three types of mW (power density of 11459 W / cm 2 ) and the intensity was sequentially increased.

【0035】図5のグラフに示すように、照射光の強度
が100mWの時には約30分の照射でもモニターの強
度の低下は認められず、また、照射光の強度が400m
Wの時には約15分の照射でもモニターの強度の低下は
認められず、光損傷は発生しなかった。また、照射光の
強度が900mWの時には約20分の照射でもモニター
の強度の低下は認められず、光損傷は起こらなかった。
As shown in the graph of FIG. 5, when the intensity of the irradiation light is 100 mW, the intensity of the monitor does not decrease even after irradiation for about 30 minutes, and the intensity of the irradiation light is 400 mW.
In the case of W, no decrease in the intensity of the monitor was observed even with irradiation for about 15 minutes, and no light damage occurred. When the intensity of the irradiation light was 900 mW, no decrease in the intensity of the monitor was observed even after irradiation for about 20 minutes, and no light damage occurred.

【0036】以上の実験から、上記(イ)の性質、上記
(ロ)の性質が確認できた。これによって、MgOドー
プLN結晶の耐光損傷性の有無を判定するには、該結晶
中のMg量を調べるのではなく、ピーク波長2.83μ
m、2.87μmでの透過率の低下幅を調べればよいこ
とが確認できた。
From the above experiment, the property of (a) and the property of (b) were confirmed. Thus, in order to determine the light damage resistance of the MgO-doped LN crystal, the peak wavelength of 2.83 μm is used instead of examining the amount of Mg in the crystal.
m, 2.87 μm, it was confirmed that the degree of decrease in transmittance could be examined.

【0037】実施例2 本実施例では、実施例1において用いた10種類の試料
と同様のMgOドープLN結晶(即ち、耐光損傷性の有
無を判定された結晶)を用い、各試料に周期的分極反転
構造を形成し、擬似位相整合による光パラメトリック発
振(OPO)実験を行った。
Example 2 In this example, the same type of MgO-doped LN crystal as the ten types of samples used in Example 1 (ie, a crystal whose light damage resistance was determined) was used, and each sample was subjected to a periodic test. An optically parametric oscillation (OPO) experiment by quasi-phase matching was performed by forming a domain-inverted structure.

【0038】図6は、このOPO実験の光学系を示して
いる。ポンプ光源装置1としては、Nd:YLFレーザ
ー装置を用い、波長1.047μmのレーザー光をポン
プ光とした。試料であるMgOドープLN結晶2には、
縞模様を描いて示すように、周期的分極反転構造を形成
した。該結晶2の形状は、直方体であって、光路方向の
寸法が30mm、光路方向に垂直な断面の寸法が0.5
mm×0.5mmである。周的分極反転構造の反転周期
は29.4μmとした。この結晶2に光共振器3を加
え、擬似位相整合法によって3.4μmのアイドラ光を
光パラメトリック発振させ得る素子とし、目的波長以外
の光を除去するフィルターを通してアイドラ光の強度を
パワーメーターによって測定する構成とした。
FIG. 6 shows an optical system of this OPO experiment. A Nd: YLF laser device was used as the pump light source device 1, and a laser beam having a wavelength of 1.047 μm was used as the pump light. The sample MgO-doped LN crystal 2 has
A periodic domain-inverted structure was formed as shown by a striped pattern. The shape of the crystal 2 is a rectangular parallelepiped having a dimension in the optical path direction of 30 mm and a cross section perpendicular to the optical path direction of 0.5.
mm × 0.5 mm. The inversion period of the circumferentially domain-inverted structure was 29.4 μm. An optical resonator 3 is added to the crystal 2 to make an element capable of optically parametrically oscillating 3.4 μm idler light by a quasi-phase matching method, and the intensity of the idler light is measured by a power meter through a filter that removes light other than the target wavelength. Configuration.

【0039】それぞれの試料を用いた光パラメトリック
発振においては、ポンプ光の強度を260mWで一定と
し、結晶温度を20℃〜100℃へと変え、アイドラ光
の強度を測定した。その結果を図7のグラフに示す。同
グラフに示すように、透過率の低下幅が2.87μmで
5%以上、2.83μmで5%未満の試料(即ち、実施
例1で耐光損傷性が無しと判定された結晶)は、60℃
以下において、アイドラ光の強度が減少していることが
分かる。これは、光損傷によって光誘起による屈折率変
化が発生した結果であると考えられる。また、結晶の温
度が60℃以上においては、その高温によって、光損傷
が抑制されたと考えられる。一方、透過率の低下幅が
2.83μmで5%以上、2.87μmで5%未満の試
料(即ち、実施例1で耐光損傷性が有りと判定された結
晶)は、結晶温度には関係なく、アイドラ光の強度は一
定であった。よって、光損傷が起こらなかったと考えら
れる。以上のことから、本発明の判定方法によって耐光
損傷性が有りと判定されたMgOドープLN結晶は、周
期的分極反転構造を形成することによって、好ましい波
長変換素子となることがわかった。
In the optical parametric oscillation using each sample, the intensity of the pump light was kept constant at 260 mW, the crystal temperature was changed from 20 ° C. to 100 ° C., and the intensity of the idler light was measured. The results are shown in the graph of FIG. As shown in the graph, the sample having a transmittance decrease of 5% or more at 2.87 μm and less than 5% at 2.83 μm (that is, a crystal determined to have no light damage resistance in Example 1) 60 ° C
In the following, it can be seen that the intensity of the idler light has decreased. This is considered to be a result of a change in the refractive index induced by light due to optical damage. Further, when the temperature of the crystal is 60 ° C. or higher, it is considered that the optical damage was suppressed by the high temperature. On the other hand, a sample having a transmittance reduction range of 5% or more at 2.83 μm and less than 5% at 2.87 μm (that is, a crystal determined to have light damage resistance in Example 1) has no relation to the crystal temperature. And the intensity of the idler light was constant. Therefore, it is considered that no optical damage occurred. From the above, it was found that the MgO-doped LN crystal determined to have light damage resistance by the determination method of the present invention becomes a preferable wavelength conversion element by forming a periodically poled structure.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上のように、本発明の判定方法によっ
て、MgOドープLN結晶の耐光損傷性を、破壊的な分
析を行うこともなく、また、不正確な仕込み組成を参照
することもなく、用いようとする現物の結晶をもとに、
非破壊で簡単に判定することが可能となった。また、本
発明の判定方法によって、耐光損傷性を有する好ましい
波長変換素子が容易に提供できるようになった。
As described above, according to the judgment method of the present invention, the light damage resistance of the MgO-doped LN crystal can be measured without destructive analysis and without referring to an incorrect composition. , Based on the actual crystal to be used,
Non-destructive and easy to determine. Further, according to the determination method of the present invention, a preferable wavelength conversion element having light damage resistance can be easily provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】MgOドープLN結晶に含まれるMgO量と、
光吸収による透過率低下のピーク波長との関係を示すグ
ラフである。
FIG. 1 shows the amount of MgO contained in an MgO-doped LN crystal,
4 is a graph showing a relationship between a transmittance decrease due to light absorption and a peak wavelength.

【図2】MgOドープLN結晶の一試料を対象とし、光
の透過率を波長2.5μm〜3.3μmの帯域について
測定した結果の一例を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing an example of a result of measuring a light transmittance of a sample of an MgO-doped LN crystal in a wavelength band of 2.5 μm to 3.3 μm.

【図3】本発明の実施例1において、透過率低下のピー
クが2.87μmにある結晶と、2.83μmにある結
晶の試料の耐光損傷性を評価するための、Arレーザー
光照射システムの構成を示す図である。
FIG. 3 shows an Ar laser light irradiation system for evaluating the light damage resistance of a sample having a transmittance decrease peak at 2.87 μm and a sample having a transmittance decrease at 2.83 μm in Example 1 of the present invention. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration.

【図4】本発明の実施例1において、透過率低下のピー
クが2.87μmにある試料に対して、Arレーザー光
を照射したときの、モニター値の経時的な変化を示すグ
ラフである。
FIG. 4 is a graph showing a change over time of a monitor value when an Ar laser beam is irradiated to a sample having a peak of a transmittance decrease at 2.87 μm in Example 1 of the present invention.

【図5】本発明の実施例1において、透過率低下のピー
クが2.83μmにある試料に対して、Arレーザー光
を照射したときの、モニター値の経時的な変化を示すグ
ラフである。
FIG. 5 is a graph showing a change over time of a monitor value when an Ar laser beam is irradiated on a sample having a peak of a transmittance decrease at 2.83 μm in Example 1 of the present invention.

【図6】本発明の実施例2において行った、擬似位相整
合による光パラメトリック発振(OPO)実験のための
システム構成を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a system configuration for an optical parametric oscillation (OPO) experiment by quasi-phase matching performed in a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施例2において、各試料を用いて光
パラメトリック発振を行ったときの、結晶温度と、アイ
ドラ光の強度との関係を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing the relationship between the crystal temperature and the intensity of idler light when optical parametric oscillation is performed using each sample in Example 2 of the present invention.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 浩一 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 只友 一行 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 Fターム(参考) 2G050 AA02 BA09 EA03 EB07 2G059 AA02 AA10 BB20 CC20 EE01 EE05 EE11 GG01 GG04 GG09 HH01 HH06 JJ02 JJ11 JJ19 KK10 MM05 MM10 PP04 2K002 AB12 CA03 GA10  ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Koichi Taniguchi 4-3 Ikejiri, Itami-shi, Hyogo Mitsubishi Cable Industries, Ltd. Itami Works (72) Inventor Kazuyuki Tadomo 4-3-3 Ikejiri, Itami-shi, Hyogo Mitsubishi Electric Wire F-term (reference) in Itami Works 2G050 AA02 BA09 EA03 EB07 2G059 AA02 AA10 BB20 CC20 EE01 EE05 EE11 GG01 GG04 GG09 HH01 HH06 JJ02 JJ11 JJ19 KK10 MM05 MM10 PP04 2K002 AB12 CA03 GA10

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 MgOドープLiNbO3 結晶の光の透
過率を測定し、波長2.5μm〜3.3μmの波長帯域
におけるベース透過率に対して、波長2.83μm付近
での透過率の低下の幅が5%以上であり、かつ、波長
2.87μm付近での透過率の低下の幅が5%未満であ
るときに、該結晶が耐光損傷性を有すると判定する、M
gOドープLiNbO3 結晶の耐光損傷性の判定方法。
1. The light transmittance of a MgO-doped LiNbO 3 crystal is measured, and the transmittance of light near a wavelength of 2.83 μm is reduced with respect to the base transmittance in a wavelength band of 2.5 μm to 3.3 μm. When the width is 5% or more and the width of the decrease in transmittance near a wavelength of 2.87 μm is less than 5%, it is determined that the crystal has light damage resistance.
A method for determining the light damage resistance of a gO-doped LiNbO 3 crystal.
【請求項2】 下記(A)のMgOドープLiNbO3
結晶が用いられ、該結晶に周期的分極反転構造が形成さ
れたものである波長変換素子。(A)当該結晶の光の透
過率が、波長2.5μm〜3.3μmの波長帯域におけ
るベース透過率に対して、波長2.83μm付近の透過
率の低下の幅が5%以上であり、かつ、波長2.87μ
m付近の透過率の低下の幅が5%未満である、MgOド
ープLiNbO3 結晶。
2. The following (A) MgO-doped LiNbO 3
A wavelength conversion element, wherein a crystal is used and a periodically poled structure is formed in the crystal. (A) the transmittance of light of the crystal is 5% or more in a decrease in transmittance near a wavelength of 2.83 μm with respect to a base transmittance in a wavelength band of 2.5 μm to 3.3 μm; And a wavelength of 2.87μ
An MgO-doped LiNbO 3 crystal in which the decrease in transmittance near m is less than 5%.
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