JP2001136728A - Electric operation actuator having speed control function - Google Patents
Electric operation actuator having speed control functionInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、シリンダー孔内に
収容された可動体を電気的に駆動する電動アクチュエー
ターに関するものであり、更に詳しくは、上記可動体の
速度を調整する機能を備えた速度調整機能付き電動アク
チュエーターに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric actuator for electrically driving a movable body accommodated in a cylinder bore, and more particularly to a speed actuator having a function of adjusting the speed of the movable body. The present invention relates to an electric actuator with an adjustment function.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シリンダー孔内に収容された可動体をリ
ニアモーターや回転式モーター等により電気的に駆動す
る電動アクチュエーターは、既に公知である。このよう
な電動アクチュエーターにおいては、一般に、上記可動
体の移動速度を制御する場合、エンコーダーを搭載して
該可動体の位置等を検出し、それに基づいてモーターへ
の通電電圧や電流等を制御することによって上記移動速
度を制御するようにしている。このため、エンコーダー
や速度制御用のコントローラー等が必要になって装置が
大掛かりになるという欠点があった。2. Description of the Related Art An electric actuator for electrically driving a movable body accommodated in a cylinder hole by a linear motor, a rotary motor or the like is already known. In general, in such an electric actuator, when controlling the moving speed of the movable body, an encoder is mounted to detect a position or the like of the movable body, and based on the detected power, a voltage or a current supplied to the motor is controlled. Thereby, the moving speed is controlled. For this reason, there is a disadvantage that an encoder, a controller for speed control, and the like are required, and the device becomes large.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、電動アクチュエーターにおける可動体の速度調整
を、従来のような電気的な制御用機器や制御システム等
を使用することなく、エアを利用した簡単な機構により
確実に行うことができるようにすることにある。A technical object of the present invention is to adjust the speed of a movable body in an electric actuator by using air without using a conventional electric control device or control system. It is to ensure that the operation can be performed by a simple mechanism.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明によれば、内部にシリンダー孔を有するケーシン
グと、上記シリンダー孔内に摺動自在に収容された可動
体と、電動モーターを駆動源として上記可動体を移動さ
せる電気式の推進機構と、上記可動体の両側に区画形成
されて通孔により外気に開放し、可動体の摺動に伴って
上記通孔から外気を吸入しかつ排出する２つのエアチャ
ンバーと、少なくとも一方のエアチャンバーに通じる上
記通孔中に設けられ、該通孔を流れる通気の流量を制御
することによって可動体の移動速度を調整する流量制御
機構と、、を有することを特徴とする速度調整機能付き
電動アクチュエーターが提供される。According to the present invention, a casing having a cylinder hole therein, a movable body slidably accommodated in the cylinder hole, and an electric motor are driven. An electric propulsion mechanism that moves the movable body as a source, and is formed on both sides of the movable body and is opened to the outside air through a through hole, and the outside air is sucked from the through hole along with sliding of the movable body; Two air chambers for discharging, a flow control mechanism provided in the through hole communicating with at least one of the air chambers, and adjusting a moving speed of the movable body by controlling a flow rate of air flowing through the through hole; An electric actuator with a speed adjusting function is provided.
【０００５】上記構成を有する本発明の電動アクチュエ
ーターは、可動体の移動に伴ってエアチャンバー内に吸
入される吸気の流量か又はエアチャンバーから排出され
る排気の流量を制御することにより、従来のような電気
的な制御用機器や制御システム等を一切使用することな
く、上記可動体の移動速度を簡単な機構により確実に調
整することができる。[0005] The electric actuator of the present invention having the above-described structure controls the flow rate of the intake air drawn into the air chamber or the flow rate of the exhaust gas discharged from the air chamber with the movement of the movable body. The moving speed of the movable body can be surely adjusted by a simple mechanism without using any electric control device or control system.
【０００６】本発明の一つの具体的な実施形態によれ
ば、上記流量制御機構が絞り弁により構成され、この絞
り弁で吸気及び排気の両方の流量を制御可能なるように
構成される。According to one specific embodiment of the present invention, the flow rate control mechanism is constituted by a throttle valve, and the throttle valve is configured to be able to control the flow rates of both intake air and exhaust gas.
【０００７】本発明の他の具体的な実施形態によれば、
上記流量制御機構が、相互に並列に設置した絞り弁と逆
止弁とでそれを構成すると共に、上記逆止弁をエアチャ
ンバーが吸気を行うときは閉弁して排気を行う時は開弁
する向きに設置することにより、吸気の流量を制御可能
なるように構成されている。あるいは上記逆止弁を、エ
アチャンバーが吸気を行うときは開弁して排気を行う時
は閉弁する向きに設置することにより、排気の流量を制
御可能なるように構成することもできる。According to another specific embodiment of the present invention,
The flow control mechanism comprises a throttle valve and a check valve installed in parallel with each other, and the check valve is closed when the air chamber takes in air and opened when exhausting. It is configured so that the flow rate of the intake air can be controlled by installing it in the right direction. Alternatively, the check valve may be arranged so as to open when the air chamber performs intake and to close when exhausting, so that the flow rate of exhaust gas can be controlled.
【０００８】本発明の一つの具体的な実施態様において
は、上記推進機構が、可動体の外周に取り付けられたマ
グネットと、上記ケーシングにおけるシリンダー孔の回
りに設けられた磁気コイルとを有し、該磁気コイルへの
通電により発生する磁力と上記マグネットによる磁力と
の相互作用によって可動体の推進力を発生させるように
構成されている。[0008] In one specific embodiment of the present invention, the propulsion mechanism includes a magnet attached to an outer periphery of a movable body, and a magnetic coil provided around a cylinder hole in the casing. The magnetic force generated by energizing the magnetic coil and the magnetic force generated by the magnet interact to generate a propulsion force of the movable body.
【０００９】本発明の他の具体的な実施態様において
は、上記駆動機構が、回転式の電動モーターと、該電動
モーターの回転軸と上記可動体との間に接続されて回転
軸の回転を可動体の推進力に変換する変換機構とを有し
ている。In another specific embodiment of the present invention, the driving mechanism is connected between a rotating electric motor and a rotating shaft of the electric motor and the movable body to rotate the rotating shaft. A conversion mechanism for converting the propulsion force of the movable body.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。図１及び図２は本発明
に係る電動アクチュエーターの第１実施例を示すもの
で、この電動アクチュエーター１Ａは、内部にシリンダ
ー孔２ａを有するケーシング２を備えていて、上記シリ
ンダー孔２ａ内には可動体３が摺動自在に収容され、こ
の可動体３が、電動式の推進機構４によって駆動される
ようになっている。図中５は上記可動体３からケーシン
グ２の外部に延出するロッドである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIGS. 1 and 2 show a first embodiment of an electric actuator according to the present invention. This electric actuator 1A has a casing 2 having a cylinder hole 2a therein, and is movable in the cylinder hole 2a. The body 3 is slidably accommodated, and the movable body 3 is driven by an electric propulsion mechanism 4. In the drawing, reference numeral 5 denotes a rod extending from the movable body 3 to the outside of the casing 2.
【００１１】上記推進機構４は、リニア式の電動モータ
ー８Ａを駆動源とするもので、この電動モーター８Ａ
は、上記シリンダー孔２ａの回りに設けられた複数（２
つ）の磁気コイル１０，１０と、可動体３の外周に取り
付けられた複数のマグネット１１とを有していて、上記
磁気コイル１０，１０への通電により発生する磁力とマ
グネット１１の磁力との相互作用によって可動体３の推
進力を得るように構成されている。The propulsion mechanism 4 uses a linear electric motor 8A as a drive source.
Are a plurality (2) provided around the cylinder hole 2a.
), And a plurality of magnets 11 attached to the outer periphery of the movable body 3, and a magnetic force generated by energizing the magnetic coils 10, 10 and a magnetic force of the magnet 11. The propulsion of the movable body 3 is obtained by the interaction.
【００１２】上記磁気コイル１０，１０は、シリンダー
孔２ａ内に収容されたボビン１３に巻かれていて、２つ
の磁気コイル１０，１０の巻線の方向は相互に逆向きと
なっている。そしてこれらの磁気コイル１０，１０に
は、図示しないコントローラーから直流電流が互いに逆
向きに供給されると共に、可動体３の駆動方向に応じて
それらの通電方向が正逆に切り換えられるようになって
いる。The magnetic coils 10, 10 are wound around a bobbin 13 accommodated in a cylinder hole 2a, and the winding directions of the two magnetic coils 10, 10 are opposite to each other. Direct currents are supplied to these magnetic coils 10, 10 in opposite directions from a controller (not shown), and their energizing directions are switched between forward and reverse in accordance with the driving direction of the movable body 3. I have.
【００１３】また、上記可動体３は、上記ロッド５の基
端部外周に、ヨーク１４を挟んで複数の円環状のマグネ
ット１１を取り付けることにより形成されたもので、こ
れらの各マグネット１１は、軸線方向にＮ極とＳ極とを
着磁され、隣接するマグネット１１，１１の磁極を交互
に逆向きにした状態に配設されている。そして、上記マ
グネット列の両端にはエンドプレート１５ａ，１５ｂが
設けられ、これらのエンドプレート１５ａ，１５ｂにそ
れぞれパッキン１６，１６が取り付けられている。The movable body 3 is formed by mounting a plurality of annular magnets 11 on the outer periphery of the base end of the rod 5 with a yoke 14 interposed therebetween. The N pole and the S pole are magnetized in the axial direction, and the magnetic poles of the adjacent magnets 11 and 11 are alternately reversed. End plates 15a and 15b are provided at both ends of the magnet row, and packings 16 and 16 are attached to these end plates 15a and 15b, respectively.
【００１４】上記シリンダー孔２ａ内における可動体３
の両側には、上記パッキン１６，１６によって第１、第
２の２つのエアチャンバー１８ａ，１８ｂが区画形成さ
れている。これらのエアチャンバー１８ａ，１８ｂはそ
れぞれ通孔２０により外気に開放し、可動体３の摺動に
伴って該通孔２０から外気を吸入しかつ排出するように
なっている。上記各通孔２０中にはそれぞれ、該通孔２
０を流れる通気の流量を制御することによって可動体３
の移動速度を調整する流量制御機構２１Ａが設けられて
いる。The movable body 3 in the cylinder hole 2a
The first and second two air chambers 18a and 18b are defined by the packings 16 on both sides. These air chambers 18a and 18b are each opened to the outside air through a through hole 20, and the outside air is sucked and discharged from the through hole 20 as the movable body 3 slides. Each of the through holes 20 is provided in each of the through holes 20.
Moving body 3 by controlling the flow rate of ventilation flowing through
Is provided with a flow control mechanism 21A for adjusting the moving speed.
【００１５】上記流量制御機構２１Ａ，２１Ａは何れ
も、吸気の流量を制御するように構成されたもので、相
互に並列に設置した絞り弁２２と逆止弁２３とで構成さ
れている。このうち絞り弁２２は、上記通孔２０から分
岐する第１分岐孔２０ａにニードル２２ａを取り付ける
ことにより形成され、このニードル２２ａによって該第
１分岐孔２０ａの流路断面積を調節できるようになって
いる。一方の逆止弁２３は、上記通孔２０から分岐する
第２分岐孔２０ｂ内に配設された球状弁体２３ａと、該
弁体２３ａを排気弁座２４側に向けて弾発する復帰ばね
２３ｂとで形成され、エアチャンバー１８ａ，１８ｂが
吸気を行うときは上記弁体２３ａが復帰ばね２３ｂの弾
発力で排気弁座２４を閉鎖し、エアチャンバー１８ａ，
１８ｂが排気を行う時は、排気圧により上記弁体２３ａ
が復帰ばね２３ｂを圧縮して排気弁座２４を開放するよ
うな向きに設けられている。Each of the flow control mechanisms 21A, 21A is configured to control the flow rate of intake air, and includes a throttle valve 22 and a check valve 23 installed in parallel with each other. The throttle valve 22 is formed by attaching a needle 22a to a first branch hole 20a branched from the through hole 20, and the needle 22a can adjust the flow path cross-sectional area of the first branch hole 20a. ing. The one check valve 23 includes a spherical valve body 23a provided in a second branch hole 20b branched from the through hole 20 and a return spring 23b which resiliently moves the valve body 23a toward the exhaust valve seat 24. When the air chambers 18a and 18b take in air, the valve body 23a closes the exhaust valve seat 24 by the elastic force of the return spring 23b, and the air chambers 18a and 18b are closed.
When the valve 18a performs exhaust, the exhaust valve 23a
Are provided so as to compress the return spring 23b and open the exhaust valve seat 24.
【００１６】上記構成を有する電動アクチュエーター１
Ａにおいて、図示しないコントローラーから２つの磁気
コイル１０，１０に直流電流が一方向に供給されると、
これらの磁気コイル１０，１０により発生する磁力線と
各マグネット１１による磁力線との相互作用によって可
動体３に推進力が発生し、該可動体３は何れか一方向に
向けて移動する。上記電流の向きを逆にすると、推進力
の向きが逆転して可動体３は逆方向に移動する。The electric actuator 1 having the above configuration
In A, when a direct current is supplied in one direction from the controller (not shown) to the two magnetic coils 10, 10,
The interaction between the magnetic lines of force generated by these magnetic coils 10, 10 and the magnetic lines of force of the respective magnets 11 generates a propulsive force on the movable body 3, and the movable body 3 moves in any one direction. When the direction of the current is reversed, the direction of the propulsion is reversed, and the movable body 3 moves in the reverse direction.
【００１７】ここで、図１において上記可動体３が左方
向に移動する場合、右側の第１エアチャンバー１８ａが
吸気側となり、左側の第２エアチャンバー１８ｂが排気
側となる。このとき第２エアチャンバー１８ｂ側の流量
制御機構２１Ａにおいては、逆止弁２３の弁体２３ａが
排気により押し開かれるため、第２エアチャンバー１８
ｂからの排気は流量制限されることなく自由に外部に流
出するが、第１エアチャンバー１８ａ側の流量制御機構
２１Ａにおいては、逆止弁２３の弁体２３ａが閉弁状態
を保つため、吸気は絞り弁２２のみを通じて制限的に第
１エアチャンバー１８ａ内に吸入されることになり、吸
気の流量を制限されることによって第１エアチャンバー
１８ａ内が負圧になるため、上記可動体３の移動速度が
減速調整される。Here, in FIG. 1, when the movable body 3 moves to the left, the first air chamber 18a on the right is on the intake side, and the second air chamber 18b on the left is on the exhaust side. At this time, in the flow control mechanism 21A on the side of the second air chamber 18b, the valve body 23a of the check valve 23 is pushed open by the exhaust, so that the second air chamber 18b is opened.
Although the exhaust gas from b flows out freely without being restricted in the flow rate, in the flow control mechanism 21A on the first air chamber 18a side, since the valve body 23a of the check valve 23 keeps the valve closed state, the intake air is discharged. Is restrictedly sucked into the first air chamber 18a only through the throttle valve 22, and the flow rate of the intake air is restricted, so that the pressure inside the first air chamber 18a becomes negative. The moving speed is decelerated and adjusted.
【００１８】上述した場合とは逆に、上記可動体３が図
１において右方向に移動する場合には、２つのエアチャ
ンバー１８ａ，１８ｂにおける吸気と排気の関係が逆転
するが、吸気側である第２エアチャンバー１８ｂ内に絞
り弁２２のみを通じて吸気が制限的に吸入されるため、
上述した場合と同様に可動体３の移動速度は減速調整さ
れる。Contrary to the case described above, when the movable body 3 moves rightward in FIG. 1, the relationship between the intake and exhaust in the two air chambers 18a and 18b is reversed, but on the intake side. Since the intake air is restrictedly sucked into the second air chamber 18b only through the throttle valve 22,
As in the case described above, the moving speed of the movable body 3 is decelerated and adjusted.
【００１９】図３は本発明の第２実施例を示すもので、
この第２実施例の電動アクチュエーター１Ｂが上記第１
実施例の電動アクチュエーター１Ａと相違する点は、流
量制御機構２１Ｂが各エアチャンバー１８ａ，１８ｂか
らの排気の流量を制限するように構成されている点であ
る。すなわち、逆止弁２３が、球状弁体２３ａを復帰ば
ね２３ｂで吸気弁座２５側に向けて弾発することによ
り、各エアチャンバー１８ａ，１８ｂが排気を行うとき
は上記弁体２３ａが復帰ばね２３ｂの弾発力で吸気弁座
２５を閉鎖し、エアチャンバー１８ａ，１８ｂが吸気を
行う時は上記弁体２３ａが復帰ばね２３ｂを圧縮して吸
気弁座２５を開放するような向きに設けられていて、各
エアチャンバー１８ａ，１８ｂが排気側となったときに
その排気を絞り弁２２のみを通じて制限的に排出させる
ことにより、上記可動体３の移動速度を減速調整するも
のである。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention.
The electric actuator 1B of the second embodiment is similar to the first embodiment.
The difference from the electric actuator 1A of the embodiment is that the flow control mechanism 21B is configured to limit the flow rate of the exhaust gas from each of the air chambers 18a and 18b. In other words, the check valve 23 springs the spherical valve body 23a toward the intake valve seat 25 with the return spring 23b, so that when the air chambers 18a and 18b exhaust, the valve body 23a is returned to the return spring 23b. When the air chambers 18a and 18b perform intake, the valve body 23a is provided in such a direction as to compress the return spring 23b and open the intake valve seat 25 when the air chambers 18a and 18b perform intake. When the air chambers 18a and 18b are on the exhaust side, the exhaust is restricted and exhausted only through the throttle valve 22, thereby reducing the moving speed of the movable body 3.
【００２０】なお、上記以外の構成及び作用については
第１実施例と実質的に同じであるため、同一の主要構成
部分に第１実施例と同一の符号を付してそれらの説明は
省略する。Since the configuration and operation other than those described above are substantially the same as those of the first embodiment, the same reference numerals are given to the same main components and the description thereof will be omitted. .
【００２１】図４は本発明の第３実施例を示すもので、
この第３実施例の電動アクチュエーター１Ｃが上記第１
実施例の電動アクチュエーター１Ａと相違する点は、流
量制御機構２１Ｃが絞り弁２２のみにより構成されてい
て、この絞り弁２２で各エアチャンバー１８ａ，１８ｂ
における吸気と排気の両方の流量を制限するように構成
されている点である。これ以外の構成及び作用について
は第１実施例と実質的に同じであるため、同一の主要構
成部分に第１実施例と同一の符号を付してそれらの説明
は省略する。FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention.
The electric actuator 1C of the third embodiment is similar to the first embodiment.
The difference from the electric actuator 1A of the embodiment is that the flow control mechanism 21C is constituted only by the throttle valve 22, and this throttle valve 22 allows the air chambers 18a and 18b to be controlled.
Is to restrict both the flow rates of the intake air and the exhaust gas. Other configurations and operations are substantially the same as those of the first embodiment, and therefore, the same main components are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and description thereof is omitted.
【００２２】図５は本発明の第４実施例を示すもので、
この第４実施例の電動アクチュエーター１Ｄが上記第１
実施例の電動アクチュエーター１Ａと相違する点は、第
１実施例では推進機構４の駆動源としてリニア式の電動
モーター８Ａを使用しているのに対し、この第４実施例
では、推進機構４の駆動源に回転式の電動モーター８Ｄ
を使用している点である。FIG. 5 shows a fourth embodiment of the present invention.
The electric actuator 1D of the fourth embodiment is the same as the first embodiment.
The difference from the electric actuator 1A of the embodiment is that a linear electric motor 8A is used as a drive source of the propulsion mechanism 4 in the first embodiment, whereas the propulsion mechanism 4 is used in the fourth embodiment. Rotary electric motor 8D as drive source
This is the point that is used.
【００２３】すなわちこの第４実施例においては、ケー
シング２のシリンダー孔２ａ内に可動体３がパッキン１
６とウエアリング３０とを介して気密にかつ摺動自在に
収容され、該可動体３の端部にはナット３１が固定され
ている。一方、ケーシング２に取り付けられたヘッド側
カバー３２には、該カバー３２を貫通する駆動軸３３が
軸受３４とパッキン３５とに支持されて気密にかつ回転
自在なるように取り付けられ、この駆動軸３３の先端に
はボールねじ３６が形成されていて、該ボールねじ３６
が上記ナット３１に螺合している。また、上記駆動軸３
３の基端部は、カップリング３８を介して電動モーター
８Ｄの回転軸３９に連結され、この電動モーター８Ｄで
正逆方向に駆動回転されるようになっている。そして、
上記駆動軸３３が正逆に駆動回転されることにより、ボ
ールねじ３６に沿ってナット３１が移動するため、上記
可動体３が図の左右方向に往復移動する。従って上記ボ
ールねじ３６とナット３１とは、電動モーター８Ｄの回
転軸３９の回転を可動体３の直線運動に変換する変換機
構４０を構成するものである。That is, in the fourth embodiment, the movable body 3 is provided in the cylinder hole 2a of the casing 2 with the packing 1
The movable body 3 is housed in an airtight and slidable manner via the wear ring 6 and a wear ring 30, and a nut 31 is fixed to an end of the movable body 3. On the other hand, a drive shaft 33 penetrating through the cover 32 is mounted on the head side cover 32 attached to the casing 2 so as to be airtightly and rotatably supported by a bearing 34 and a packing 35. A ball screw 36 is formed at the tip of the ball screw 36.
Are screwed into the nut 31. The drive shaft 3
The base end of 3 is connected to a rotating shaft 39 of an electric motor 8D via a coupling 38, and is driven and rotated in the forward and reverse directions by the electric motor 8D. And
The nut 31 moves along the ball screw 36 when the drive shaft 33 is driven and rotated in the forward and reverse directions, so that the movable body 3 reciprocates in the left-right direction in the drawing. Therefore, the ball screw 36 and the nut 31 constitute a conversion mechanism 40 that converts the rotation of the rotating shaft 39 of the electric motor 8D into the linear motion of the movable body 3.
【００２４】上記可動体３の移動速度の調整は流量制御
機構２１Ａにより行われるが、この流量制御機構２１Ａ
は、上記第１実施例の場合と同様に吸気の流量を制限す
るもので、その構成及び作用は第１実施例の場合と同じ
である。The moving speed of the movable body 3 is adjusted by the flow control mechanism 21A.
Restricts the flow rate of intake air in the same manner as in the first embodiment, and has the same configuration and operation as in the first embodiment.
【００２５】なお、上記第４実施例において、吸気流量
を制限する方式の上記流量制御機構２１Ａに代えて、第
２実施例に設けられているような排気流量を制限する方
式の流量制御機構２１Ｂを設けることもでき、あるい
は、第３実施例に設けられているような、絞り弁２２の
みにより吸気流量と排気流量の両方を制限するように構
成された流量制御機構２１Ｃを設けることもできる。In the fourth embodiment, the flow rate control mechanism 21B of the second embodiment is replaced with the flow rate control mechanism 21B of the second embodiment instead of the flow rate control mechanism 21A of the second embodiment. Alternatively, a flow control mechanism 21C configured to limit both the intake flow rate and the exhaust flow rate by only the throttle valve 22 as provided in the third embodiment may be provided.
【００２６】また、上記各実施例においては、２つのエ
アチャンバー１８ａ，１８ｂにそれぞれ流量制御機構２
１Ａ〜２１Ｃを設けているが、何れか１つのエアチャン
バー１８ａ又は１８ｂだけに流量制御機構２１Ａ〜２１
Ｃを設けることもできる。この場合、１つのエアチャン
バー１８ａ又は１８ｂに上記第１実施例の流量制御機構
２１Ａ又は第２実施例の流量制御機構２１Ｂを設けたと
きは、可動体３の移動速度を何れか一方のストロークに
ついて調整することができ、第３実施例の流量制御機構
２１Ｃを設けたときは、可動体３の移動速度を両方のス
トロークについて調整することができる。In each of the above embodiments, the two air chambers 18a and 18b have the flow control mechanism 2 respectively.
1A to 21C, but only one of the air chambers 18a or 18b has a flow control mechanism 21A to 21C.
C can also be provided. In this case, when the flow control mechanism 21A according to the first embodiment or the flow control mechanism 21B according to the second embodiment is provided in one air chamber 18a or 18b, the moving speed of the movable body 3 is set to one of the strokes. When the flow control mechanism 21C of the third embodiment is provided, the moving speed of the movable body 3 can be adjusted for both strokes.
【００２７】[0027]
【発明の効果】このように本発明によれば、電動アクチ
ュエーターにおける可動体の速度調整を、従来のような
電気的な制御用機器や制御システム等を使用することな
く、かつ電動モーターへの通電電圧を変えることなく、
エアを利用した簡単な機構により確実に行うことができ
る。As described above, according to the present invention, the speed of the movable body in the electric actuator can be adjusted without using an electric control device or control system as in the prior art, and by energizing the electric motor. Without changing the voltage
It can be reliably performed by a simple mechanism using air.
【図１】本発明に係る電動アクチュエーターの第１実施
例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of an electric actuator according to the present invention.
【図２】図１の電動アクチュエーターの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the electric actuator of FIG.
【図３】本発明に係る電動アクチュエーターの第２実施
例を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a second embodiment of the electric actuator according to the present invention.
【図４】本発明に係る電動アクチュエーターの第３実施
例を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a third embodiment of the electric actuator according to the present invention.
【図５】本発明に係る電動アクチュエーターの第４実施
例を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a fourth embodiment of the electric actuator according to the present invention.
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ 電動アクチュエーター ２ ケーシング ２ａ シリンダー孔 ３ 可動体 ４ 推進機構 ８Ａ，８Ｄ 電動モーター １０ 磁気コイル １１ マグネット １８ａ，１８ｂ エアチャンバー ２０ 通孔 ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ 流量制御機構 ２２ 絞り弁 ２３ 逆止弁 ３９ 回転軸 ４０ 変換機構 1A, 1B, 1C, 1D Electric actuator 2 Casing 2a Cylinder hole 3 Moving body 4 Propulsion mechanism 8A, 8D Electric motor 10 Magnetic coil 11 Magnet 18a, 18b Air chamber 20 Through hole 21A, 21B, 21C Flow control mechanism 22 Throttle valve 23 Check valve 39 Rotary shaft 40 Conversion mechanism
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H607 AA14 CC03 EE52 5H633 BB03 GG02 GG05 GG09 GG13 GG16 HH03 HH07 HH08 HH14 5H641 BB01 BB14 BB19 GG02 GG08 GG12 HH03 HH06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5H607 AA14 CC03 EE52 5H633 BB03 GG02 GG05 GG09 GG13 GG16 HH03 HH07 HH08 HH14 5H641 BB01 BB14 BB19 GG02 GG08 GG12 HH03 HH06
Claims (6)
と、 上記シリンダー孔内に摺動自在に収容された可動体と、 電動モーターを駆動源として上記可動体を移動させる電
気式の推進機構と、 上記可動体の両側に区画形成されて通孔により外気に開
放し、可動体の摺動に伴って上記通孔から外気を吸入し
かつ排出する２つのエアチャンバーと、 少なくとも一方のエアチャンバーに通じる上記通孔中に
設けられ、該通孔を流れる通気の流量を制御することに
よって可動体の移動速度を調整する流量制御機構と、を
有することを特徴とする速度調整機能付き電動アクチュ
エーター。A casing having a cylinder hole therein; a movable body slidably accommodated in the cylinder hole; an electric propulsion mechanism for moving the movable body by using an electric motor as a drive source; Two air chambers formed on both sides of the movable body and opened to the outside air through the through-holes, and sucks and discharges the outside air from the through-holes as the movable body slides; and An electric actuator with a speed adjusting function, comprising: a flow rate control mechanism provided in the through hole to adjust a moving speed of the movable body by controlling a flow rate of the air flowing through the through hole.
おいて、上記流量制御機構が絞り弁からなっていて、吸
気及び排気の両方の流量を制御可能であることを特徴と
するもの。2. The electric actuator according to claim 1, wherein said flow control mechanism comprises a throttle valve, and is capable of controlling both the flow rates of the intake air and the exhaust gas.
おいて、上記流量制御機構が、相互に並列に設置した絞
り弁と逆止弁とで構成されると共に、上記逆止弁をエア
チャンバーが吸気を行うときは閉弁して排気を行う時は
開弁する向きに設置することにより、吸気の流量を制御
するように構成されていることを特徴とするもの。3. The electric actuator according to claim 1, wherein the flow control mechanism comprises a throttle valve and a check valve arranged in parallel with each other, and the check valve is provided with an air chamber for suctioning air. It is characterized in that it is configured to close the valve when performing and to open when exhausting, thereby controlling the flow rate of intake air.
おいて、上記流量制御機構が、相互に並列に設置した絞
り弁と逆止弁とで構成されると共に、上記逆止弁をエア
チャンバーが吸気を行うときは開弁して排気を行う時は
閉弁する向きに設置することにより、排気の流量を制御
するように構成されていることを特徴とするもの。4. The electric actuator according to claim 1, wherein the flow control mechanism comprises a throttle valve and a check valve installed in parallel with each other, and the check valve is connected to an air chamber by the air chamber. It is characterized in that it is configured to open the valve when performing and to close the valve when performing exhaust, thereby controlling the flow rate of exhaust.
クチュエーターにおいて、上記推進機構が、可動体の外
周に取り付けられたマグネットと、上記ケーシングにお
けるシリンダー孔の回りに設けられた磁気コイルとを有
し、該磁気コイルへの通電により発生する磁力と上記マ
グネットによる磁力との相互作用によって可動体の推進
力を得るように構成されていることを特徴とするもの。5. The electric actuator according to claim 1, wherein the propulsion mechanism includes a magnet attached to an outer periphery of a movable body, and a magnetic coil provided around a cylinder hole in the casing. Wherein the magnetic force generated by energization of the magnetic coil and the magnetic force of the magnet are used to obtain a propulsive force of the movable body.
クチュエーターにおいて、上記推進機構が、回転式の電
動モーターと、該電動モーターの回転軸と上記可動体と
の間に接続されて上記回転軸の回転を可動体の推進力に
変換する変換機構とを有することを特徴とするもの。6. An electric actuator according to claim 1, wherein said propulsion mechanism is connected to a rotary electric motor and a rotating shaft of said electric motor and said movable body. A conversion mechanism for converting the rotation of the rotating shaft into a propulsion force of the movable body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31583599A JP2001136728A (en) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | Electric operation actuator having speed control function |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31583599A JP2001136728A (en) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | Electric operation actuator having speed control function |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001136728A true JP2001136728A (en) | 2001-05-18 |
Family
ID=18070155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31583599A Pending JP2001136728A (en) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | Electric operation actuator having speed control function |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001136728A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1999-11-05 JP JP31583599A patent/JP2001136728A/en active Pending
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