JP2001110631A - Meta-magnetostrictive actuator and active damping device using the same - Google Patents

Meta-magnetostrictive actuator and active damping device using the same

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JP2001110631A
JP2001110631A JP28440399A JP28440399A JP2001110631A JP 2001110631 A JP2001110631 A JP 2001110631A JP 28440399 A JP28440399 A JP 28440399A JP 28440399 A JP28440399 A JP 28440399A JP 2001110631 A JP2001110631 A JP 2001110631A
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JP
Japan
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giant magnetostrictive
rod
yoke
magnetostrictive rod
magnetic
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Pending
Application number
JP28440399A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiro Matsui
井 康 浩 松
Takaaki Makino
野 隆 明 牧
Masayoshi Tatsu
正 義 達
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Moritex Corp
Japan Science and Technology Agency
Original Assignee
Moritex Corp
Japan Science and Technology Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a large output/great displacement by elongating/contracting a large meta-magnetostrictive rod with a small driving current and to surely suppress vibrations, even when a large-sized object is vibrated. SOLUTION: Respective members 5, 6 and 7 of a yoke Y, arranged with a supermagnetostrictive rod 3 as a center are formed from a ferromagnetic materials, a closed magnetic circuit is composed of the yoke Y and the supermagnetostrictive rod 3, and respective members 10, 12 and 13 of a pressure frame F, with which the yoke Y is assembled in the inside, and a push rod 9 provided at a free end 3b of the supermagnetostrictive rod 3 are formed from nonmagnetic materials. Since magnetic flux leaking from the yoke Y and the supermagnetostrictive rod 3 hardly occurs, the supermagnetostrictive rod 3 can be elongated/contracted while, effectively utilizing a magnetic force generated by a magnetic field coil 2 without waste, and a large output/great displacement can be provided with only little power consumption.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁界コイルにより
発生する磁力の大きさに応じて超磁歪ロッドを伸縮変形
させ、その自由端の動きを外部に伝達するように成され
た超磁歪アクチュエータと、それを用いて振動発生体の
振動を抑制するアクティブ制振装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a giant magnetostrictive actuator which expands and contracts a giant magnetostrictive rod according to the magnitude of a magnetic force generated by a magnetic field coil and transmits the movement of its free end to the outside. The present invention relates to an active vibration damping device that suppresses vibration of a vibration generator using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、発電と同時に熱も供給するコジェ
ネレーションシステムが注目されている。このコジェネ
レーションシステムは、ガソリン、重油、軽油、灯油、
ガスタービンなどのエンジンで発電機を回して電力を、
次いで排ガスの熱から蒸気を、さらに残っている熱で温
水を、と次々に取り出し、燃料のもつエネルギーを徹底
的に利用するものである。
2. Description of the Related Art In recent years, attention has been paid to a cogeneration system that supplies heat simultaneously with power generation. This cogeneration system includes gasoline, heavy oil, light oil, kerosene,
Power is generated by turning a generator with an engine such as a gas turbine.
Next, steam is extracted from the heat of the exhaust gas, and hot water is further extracted from the remaining heat, and the energy of the fuel is thoroughly used.

【0003】したがって、省エネ効果が抜群で熱効率に
優れており、ホテル、工場、病院、オフィスビルなどで
導入されている。また、得られた蒸気は、そのまま暖房
用・生産用等の各種熱源として利用されるだけでなく、
吸収式冷凍機により冷水を取り出して冷房用に用いるこ
ともできるので、その利用価値が非常に高い。
[0003] Therefore, it has a remarkable energy saving effect and excellent thermal efficiency, and is used in hotels, factories, hospitals, office buildings and the like. In addition, the obtained steam is not only used as it is as various heat sources for heating and production,
Since the cold water can be taken out by an absorption refrigerator and used for cooling, its use value is very high.

【0004】設備は、エンジン、発電機、ボイラー、熱
交換器などで構成されるが、出力が300〜500kW
の装置はその重量が2t程度もあり、エンジンを駆動す
ることにより重量2tの装置全体が振動して振動発生源
となるため、その防振対策及び防音対策を講ずる必要が
ある。特に、居住空間に隣接して設置されたコジェネレ
ーションシステムを深夜に運転する場合には、防振対策
及び防音対策は重要課題であり、このため従来は、防振
ゴム等で装置全体を支持すると共に、その振動を吸収す
ることとしている。
[0004] The equipment is composed of an engine, a generator, a boiler, a heat exchanger, etc., and has an output of 300 to 500 kW.
This device has a weight of about 2t, and when the engine is driven, the entire device having a weight of 2t vibrates and becomes a vibration source. Therefore, it is necessary to take measures against vibration and sound. In particular, when a cogeneration system installed adjacent to a living space is operated at midnight, anti-vibration measures and sound-proof measures are important issues. For this reason, conventionally, the entire apparatus is supported by anti-vibration rubber or the like. In addition, the vibration is to be absorbed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、防振ゴ
ムでは、ある程度振動が緩和されるもののまだ不十分で
あり、居住空間に隣接して設置した場合に深夜運転する
ことができる程度に制振することはできない。このた
め、本発明者らは、超磁歪アクチュエータを用いた制振
装置を試作したが、重量が2tもある振動発生源の振動
を緩和するためには、多数の超磁歪アクチュエータを用
いなければならなかった。
However, the vibration-proof rubber, although somewhat relieved of vibration, is still insufficient, so that when installed adjacent to a living space, the vibration is damped to such an extent that it can be operated at midnight. It is not possible. For this reason, the present inventors prototyped a vibration damping device using a giant magnetostrictive actuator, but in order to reduce the vibration of a vibration source having a weight of 2t, a large number of giant magnetostrictive actuators must be used. Did not.

【0006】例えば、直径12mm、長さ100mm程
度の超磁歪ロッドを用いた市販の超磁歪アクチュエータ
は、駆動電流が5Aのときに最大ダイナミックフォース
が880N(90kgf)程度であるから、計算上少な
くとも2000/90≒23個もの超磁歪アクチュエー
タを使用しなければならない。
For example, a commercially available giant magnetostrictive actuator using a giant magnetostrictive rod having a diameter of about 12 mm and a length of about 100 mm has a maximum dynamic force of about 880 N (90 kgf) when the driving current is 5 A, so that it is calculated to be at least 2,000 N. As many as / 90 @ 23 giant magnetostrictive actuators must be used.

【0007】しかし、23点もの多点で装置全体を支持
すると各支点での挙動が異なるため,これら全てのアク
チュエータを同期させて駆動することにより制振するこ
とはできず、その制御が極めて複雑になるだけでなく、
各アクチュエータに流れる駆動電流の総電流量が5×2
3=115Aにも達し、電力消費量が多過ぎるという問
題があった。
However, if the entire device is supported by as many as 23 points, the behavior at each fulcrum is different. Therefore, it is not possible to control all of these actuators in a synchronized manner to control the vibration, which makes the control extremely complicated. Not only
The total amount of drive current flowing through each actuator is 5 × 2
3 = 115 A, and there is a problem that the power consumption is too large.

【0008】また、少ない数の超磁歪アクチュエータで
装置全体を支持できるように、大型の超磁歪ロッドを用
いた超磁歪アクチュエータを試作したが、個々のアクチ
ュエータを駆動するための駆動電流が大きくなってしま
うため、総電流量を減少させることはできなかった。
Further, a giant magnetostrictive actuator using a large giant magnetostrictive rod has been prototyped so that the entire apparatus can be supported by a small number of giant magnetostrictive actuators. However, a drive current for driving each actuator is increased. Therefore, the total amount of current could not be reduced.

【0009】そこで本発明は、大型の超磁歪ロッドを用
いた場合でも小さい駆動電流で大きな変位を出力させる
ことができる超磁歪アクチュエータを提供すると共に、
そのような超磁歪アクチュエータを用いた制振装置を提
供することを技術的課題としている。
Accordingly, the present invention provides a giant magnetostrictive actuator capable of outputting a large displacement with a small driving current even when a large giant magnetostrictive rod is used.
It is a technical object to provide a vibration damping device using such a giant magnetostrictive actuator.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明に係る超磁歪アクチュエータは、周囲に磁界
コイルを巻回した超磁歪ロッドがヨークの中心に配さ
れ、当該ヨークが予圧フレーム内に組み付けられた超磁
歪アクチュエータであって、前記ヨークが、超磁歪ロッ
ドの固定端となる一端側を係合支持する固定支持部材
と、自由端となる他端側を摺動自在に支持する摺動支持
部材と、これら支持部材を連結する連結部材から成り、
前記超磁歪ロッドの自由端に、その変位を外部に伝達す
るプッシュロッドが直接的又は間接的に当接されて前記
摺動支持部材から突出形成され、前記予圧フレームが、
前記固定支持部材を係合支持する台座と、前記プッシュ
ロッドを摺動自在に貫設させると共に当該プッシュロッ
ドを介して超磁歪ロッドにスプリングによる圧縮力を付
与する予圧部材と、前記台座及び予圧部材を連結する連
結部材から成り、前記ヨークを構成する各部材が強磁性
材料で形成されて当該ヨークと超磁歪ロッドで閉磁気回
路が形成されると共に、前記プッシュロッド及び予圧フ
レームを構成する各部材が非磁性材料で形成されたこと
を特徴とする。
In order to solve this problem, a giant magnetostrictive actuator according to the present invention has a giant magnetostrictive rod around which a magnetic field coil is wound, which is arranged at the center of a yoke, and the yoke is a preload frame. A yoke, wherein the yoke slidably supports a fixed support member engaging and supporting one end serving as a fixed end of the giant magnetostrictive rod and another end serving as a free end. It consists of a sliding support member and a connecting member for connecting these support members,
At the free end of the giant magnetostrictive rod, a push rod for transmitting the displacement to the outside is directly or indirectly abutted, and is formed so as to protrude from the sliding support member.
A pedestal for engaging and supporting the fixed support member, a preload member for slidably penetrating the push rod and applying a compressive force by a spring to the giant magnetostrictive rod via the push rod, and the pedestal and the preload member The yoke and the giant magnetostrictive rod form a closed magnetic circuit, and the yoke and the giant magnetostrictive rod form a closed magnetic circuit, and the push rod and the preload frame. Is formed of a non-magnetic material.

【0011】本発明によれば、ヨークと超磁歪ロッドで
閉磁気回路が形成されているので、磁界コイルに電流を
供給すると、発生した磁力線が超磁歪ロッド及びヨーク
内を通る。
According to the present invention, since a closed magnetic circuit is formed by the yoke and the giant magnetostrictive rod, when a current is supplied to the magnetic field coil, the generated lines of magnetic force pass through the giant magnetostrictive rod and the yoke.

【0012】このとき、超磁歪ロッドの自由端の変位を
外部に伝達するプッシュロッドは非磁性材料で形成され
ているので、磁界コイルに駆動電流を供給したときに、
超磁歪ロッドの自由端からプッシュロッドを通り外部に
漏洩する磁束がほとんど無い。また、ヨークを組み付け
る予圧フレームも全て非磁性材料で形成されているの
で、閉磁気回路を構成するヨークから予圧フレームに漏
洩する磁束もほとんど無い。したがって、磁界コイルに
より生じた磁力を無駄なく有効に利用して超磁歪ロッド
を伸縮させることができるので、少ない消費電力で大出
力、大変位を得ることができる。
At this time, since the push rod for transmitting the displacement of the free end of the giant magnetostrictive rod to the outside is formed of a non-magnetic material, when the drive current is supplied to the magnetic field coil,
Almost no magnetic flux leaks from the free end of the giant magnetostrictive rod to the outside through the push rod. Also, since the preload frame to which the yoke is assembled is all formed of a non-magnetic material, almost no magnetic flux leaks from the yoke constituting the closed magnetic circuit to the preload frame. Therefore, the giant magnetostrictive rod can be expanded and contracted by effectively using the magnetic force generated by the magnetic field coil without waste, and a large output and a large displacement can be obtained with small power consumption.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて具体的に説明する。図1は本発明に係る超磁
歪アクチュエータを示す分解組立図、図2はその断面
図、図3は本発明に係るアクティブ制振装置を示す概略
説明図、図4は制振前後の振動変位の変化を示すグラフ
である。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. 1 is an exploded view showing a giant magnetostrictive actuator according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view thereof, FIG. 3 is a schematic explanatory view showing an active damping device according to the present invention, and FIG. It is a graph which shows a change.

【0014】図1及び図2に示す超磁歪アクチュエータ
1は、周囲に磁界コイル2を巻回した超磁歪ロッド3が
ヨークYの中心に配され、当該ヨークYが予圧フレーム
F内に組み付けられている。
In the giant magnetostrictive actuator 1 shown in FIGS. 1 and 2, a giant magnetostrictive rod 3 around which a magnetic field coil 2 is wound is disposed at the center of a yoke Y, and the yoke Y is assembled in a preload frame F. I have.

【0015】磁界コイル2は、例えば二本の導線4a,
4bが巻回されて、一方の導線4aで超磁歪ロッド3に
磁気バイアスを作用させるバイアスコイル2aが形成さ
れ、他方の導線4bで超磁歪ロッド3を伸縮変形させる
駆動コイル2bが形成されている。なお、本例では、超
磁歪ロッド3として、ETREMA TERFENOL
−D(エトリーマ社の商品名)が用いられている。
The magnetic field coil 2 includes, for example, two conductors 4a,
4b, a bias coil 2a for applying a magnetic bias to the giant magnetostrictive rod 3 is formed by one conductive wire 4a, and a drive coil 2b for expanding and contracting the giant magnetostrictive rod 3 is formed by the other conductive wire 4b. . In this example, the giant magnetostrictive rod 3 is ETREAMA TERENOL.
-D (trade name of Etrimer) is used.

【0016】ヨークYは、超磁歪ロッド3の固定端3a
となる一端側を係合支持する固定支持盤(固定支持部
材)5と、自由端3bとなる他端側を摺動自在に支持す
る摺動支持盤(摺動支持部材)6と、これら支持盤5,
6を連結する三本の連結ロッド(連結部材)7と、超磁
歪ロッド3の自由端3bに被せられるキャップ8とから
成る。
The yoke Y is a fixed end 3a of the giant magnetostrictive rod 3.
A fixed support plate (fixed support member) 5 that engages and supports one end side, a slide support plate (slide support member) 6 that slidably supports the other end side that is the free end 3b, Panel 5,
6 is composed of three connecting rods (connecting members) 7 for connecting 6 and a cap 8 which is put on the free end 3 b of the giant magnetostrictive rod 3.

【0017】固定支持盤5には、その中心に、超磁歪ロ
ッド3の固定端3aと係合される凹部5aが形成され、
周囲には、連結ロッド7の下端を挿し込む係合孔5bが
形成され、底面側には、後述する予圧フレームFと係合
する係合凸部5cが形成されている。摺動支持盤6に
は、その中心に、超磁歪ロッド3の自由端3bを摺動可
能に支持する貫通孔6aが形成され、周囲には、連結ロ
ッド7の上端を挿し込む係合孔6bが形成されている。
A recess 5a is formed at the center of the fixed support plate 5 so as to be engaged with the fixed end 3a of the giant magnetostrictive rod 3.
An engagement hole 5b into which the lower end of the connecting rod 7 is inserted is formed around the periphery, and an engagement protrusion 5c that engages with a preload frame F described later is formed on the bottom surface side. In the center of the sliding support plate 6, a through hole 6a is formed at the center thereof so as to slidably support the free end 3b of the giant magnetostrictive rod 3, and around the engaging hole 6b into which the upper end of the connecting rod 7 is inserted. Are formed.

【0018】なお、超磁歪ロッド3は、ヨークYの中心
に配された状態で、その自由端3bが摺動支持盤6から
突出しない長さに選定され、前記キャップ8は、その自
由端3bに被せられて貫通孔6aを塞ぎ、超磁歪ロッド
3の伸縮変形に伴って上下動するようになされている。
The free end 3b of the giant magnetostrictive rod 3 is selected so that its free end 3b does not protrude from the sliding support plate 6 in the state of being disposed at the center of the yoke Y. To cover the through hole 6a and move up and down with the expansion and contraction of the giant magnetostrictive rod 3.

【0019】そして、ヨークYを構成する各部材5〜8
は、いずれも、鉄、ニッケル、コバルト、これらを含む
合金、望ましくは45Niパーマロイやスーパーマロイ
等の軟磁性材料で形成され、その中心に配された超磁歪
ロッド3と共に、磁界コイル2により生じた磁束を閉じ
込める閉磁気回路を形成している。
The members 5 to 8 constituting the yoke Y
Are made of a soft magnetic material such as iron, nickel, cobalt, or alloys containing them, preferably 45Ni permalloy or supermalloy, and are generated by the magnetic field coil 2 together with the giant magnetostrictive rod 3 disposed at the center thereof. A closed magnetic circuit for confining magnetic flux is formed.

【0020】また、超磁歪ロッド3の自由端3bには、
その変位を外部に伝達するプッシュロッド9が前記キャ
ップ8を介して当接され、前記摺動支持盤6から突出形
成されている。
The free end 3b of the giant magnetostrictive rod 3 has
A push rod 9 for transmitting the displacement to the outside is abutted via the cap 8 and is formed so as to protrude from the sliding support board 6.

【0021】ヨークYを組み付ける予圧フレームFは、
前記固定支持盤5を係合支持する台座10と、前記プッ
シュロッド9を摺動自在に貫設させると共に当該プッシ
ュロッド9を介して超磁歪ロッド3にスプリング11に
よる圧縮力を付与する予圧盤(予圧部材)12と、前記
台座10及び予圧盤12に通されてナット14で締め止
められる締付ボルト(連結部材)13から成る。
The preload frame F to which the yoke Y is assembled is
A pedestal 10 that engages and supports the fixed support plate 5, and a preload plate that slidably penetrates the push rod 9 and applies a compressive force by a spring 11 to the giant magnetostrictive rod 3 via the push rod 9 ( A preloading member) 12 and a tightening bolt (connecting member) 13 which is passed through the base 10 and the preloading plate 12 and fastened by a nut 14.

【0022】台座10には、その中心に、固定支持盤5
の係合凸部5cと係合される係合凹部10aが形成さ
れ、周囲には、締付ボルト13のボルト孔10bが形成
されている。また、予圧盤12には、その中心に、プッ
シュロッド9を挿通する貫通孔12aが形成され、周囲
には、締付ボルト13のボルト孔12bが形成されてい
る。
The pedestal 10 has a fixed support plate 5 at its center.
An engaging recess 10a to be engaged with the engaging convex portion 5c is formed, and a bolt hole 10b of the tightening bolt 13 is formed around the engaging recess 10a. The preloading plate 12 has a through hole 12a at the center thereof through which the push rod 9 is inserted, and a bolt hole 12b of a tightening bolt 13 formed therearound.

【0023】前記プッシュロッド9の下端側にはフラン
ジ9fが形成されて、当該フランジ9fと予圧盤12と
の間に皿バネを重ねたスプリング11が配されている。
したがって、台座10及び予圧盤12に締付ボルト13
を通してナット14で締め付ければ、そのスプリング1
1の弾撥力によりプッシュロッド9が圧下され、超磁歪
ロッド3にプリストレスとして圧縮力を作用させること
ができる。
A flange 9f is formed at the lower end of the push rod 9, and a spring 11 having a disc spring overlapped between the flange 9f and the preloading plate 12 is disposed.
Therefore, the fastening bolt 13 is attached to the base 10 and the preloading plate 12.
Through the nut 14 and tighten the spring 1
The push rod 9 is pressed down by the elastic force of 1 and a compressive force can be applied to the giant magnetostrictive rod 3 as prestress.

【0024】なお、プッシュロッド9と、予圧フレーム
Fを構成する部材のうち少なくとも台座10、予圧盤1
2、締付ボルト13は、閉磁気回路を形成するヨークY
や超磁歪ロッド3に接触したり近接して配されても漏洩
磁束を生じないように、アルミ、チタン、SUS304
などの非磁性材料で形成されている。
The push rod 9 and at least the pedestal 10 and the preloading plate 1 among the members forming the preload frame F
2. The tightening bolt 13 is a yoke Y forming a closed magnetic circuit.
Aluminum, titanium, SUS304, etc., so as not to generate a leakage magnetic flux even if it is placed in contact with or near the magnetostrictive rod 3.
And the like.

【0025】以上が、本発明に係る超磁歪アクチュエー
タの一構成例であって、次に、その作用について説明す
る。超磁歪アクチュエータ1の組立順序について説明す
ると、まず、締付ボルト13を通した台座10の上に固
定支持盤5を置いて、その係合凹部10aと係合凸部5
cを係合させる。そして、固定支持盤5の中心に形成さ
れた凹部5aに超磁歪ロッド3を立て、その周囲に形成
された係合孔5bに連結ロッド7を立て、超磁歪ロッド
3に磁界コイル2を外装させて、その上から摺動支持盤
6を被せる。このとき、超磁歪ロッド3の自由端3bが
貫通孔6a内に挿通され、連結ロッド7の上端部が係合
孔6bに係合される。
The above is an example of the configuration of the giant magnetostrictive actuator according to the present invention. Next, the operation thereof will be described. The assembling sequence of the giant magnetostrictive actuator 1 will be described. First, the fixed support board 5 is placed on the pedestal 10 through which the tightening bolt 13 is passed, and the engaging concave portion 10a and the engaging convex portion 5 are formed.
c is engaged. Then, the giant magnetostrictive rod 3 is set up in the concave portion 5a formed at the center of the fixed support board 5, the connecting rod 7 is set up in the engaging hole 5b formed therearound, and the magnetic field coil 2 is covered with the giant magnetostrictive rod 3. Then, the sliding support plate 6 is put on the disk. At this time, the free end 3b of the giant magnetostrictive rod 3 is inserted into the through hole 6a, and the upper end of the connecting rod 7 is engaged with the engaging hole 6b.

【0026】次いで、摺動支持盤6の上から貫通孔6a
を塞ぐようにして超磁歪ロッド3の自由端3bにキャッ
プ8を被せ、さらに、キャップ8の上にプッシュロッド
9を立てる。そして、プッシュロッド9にスプリング1
1を装着して、その上から予圧盤12を載せる。このと
き、プッシュロッド9が貫通孔12a内に挿通され、締
付ボルト13がボルト孔12bに挿通される。そして、
締付ボルト13をナット14で締め付けることにより、
超磁歪アクチュエータ1の組み立てが終了する。
Next, the through holes 6a
The cap 8 is put on the free end 3b of the giant magnetostrictive rod 3 so as to close the rod, and the push rod 9 is set up on the cap 8. Then, the spring 1 is attached to the push rod 9.
1, and the preloading plate 12 is mounted thereon. At this time, the push rod 9 is inserted into the through hole 12a, and the tightening bolt 13 is inserted into the bolt hole 12b. And
By tightening the tightening bolt 13 with the nut 14,
The assembly of the giant magnetostrictive actuator 1 is completed.

【0027】ここで、磁界コイル2のバイアスコイル2
aに所定のバイアス電流を流してバイアス磁界を発生さ
せた状態で、駆動コイル2bに所定の交流駆動電流を流
すと交番磁界を生じ、これにより超磁歪ロッド3が伸縮
してプッシュロッド9が上下に移動する。
Here, the bias coil 2 of the magnetic field coil 2
When a predetermined alternating current is supplied to the drive coil 2b while a predetermined bias current is supplied to the drive coil 2a to generate a bias magnetic field, an alternating magnetic field is generated, whereby the giant magnetostrictive rod 3 expands and contracts, and the push rod 9 moves up and down. Go to

【0028】このときバイアスコイル2aは、超磁歪ロ
ッド3の全長にわたってその周囲に巻かれているので、
これにより生ずるバイアス磁界は、比較的磁気抵抗の高
い超磁歪ロッド3を貫通してその長手方向に略均一に作
用する。したがって、駆動コイル2bに駆動電流を流し
て超磁歪ロッド3を伸縮させるときの、磁界強度に対す
る変形量の直線性が優れる。
At this time, since the bias coil 2a is wound around the entire length of the giant magnetostrictive rod 3,
The bias magnetic field generated thereby penetrates the giant magnetostrictive rod 3 having a relatively high magnetoresistance and acts substantially uniformly in the longitudinal direction. Therefore, when the drive current is passed through the drive coil 2b to expand and contract the giant magnetostrictive rod 3, the linearity of the deformation amount with respect to the magnetic field strength is excellent.

【0029】また、強磁性材料で形成されたヨークY
が、超磁歪ロッド3と共に閉磁気回路を形成し、その閉
磁気回路からの漏洩磁束を非磁性材料で形成された予圧
フレームF及びプッシュロッド9で閉じ込めているの
で、磁界コイル2で生じた磁力を無駄なく有効に超磁歪
ロッド3に作用させることができる。この磁力を利用し
て超磁歪ロッド3を伸縮させることができるので、少な
い消費電力で大出力、大変位を得ることができ、発熱を
抑えることもできる。さらに、ヨークYの固定支持盤5
と摺動支持盤6が連結ロッド7で連結され、予圧フレー
ムFの台座10と予圧盤12が締付ボルト14で連結さ
れているので、磁界コイル2が外気に曝されることとな
り、通気性にも優れ、内部に熱がこもりにくい構造とな
っている。
A yoke Y made of a ferromagnetic material
Form a closed magnetic circuit together with the giant magnetostrictive rod 3 and confine the leakage magnetic flux from the closed magnetic circuit with the preload frame F and the push rod 9 made of a non-magnetic material. Can be effectively applied to the giant magnetostrictive rod 3 without waste. Since the giant magnetostrictive rod 3 can be expanded and contracted by using this magnetic force, a large output and a large displacement can be obtained with small power consumption, and heat generation can be suppressed. Further, the fixed support plate 5 of the yoke Y
And the sliding support board 6 are connected by the connecting rod 7, and the pedestal 10 of the preload frame F and the preload board 12 are connected by the tightening bolt 14, so that the magnetic field coil 2 is exposed to the outside air, and the air permeability is improved. It has a structure that is hard to trap heat inside.

【0030】発明者らの実験によれば、直径20mm、
長さ120mmの超磁歪ロッド3を用いたときに、最大
5Aの駆動電流で、最大変位140μm、最大ダイナミ
ックフォース4400N(約450kgf)が得られ、
略同じ大きさの超磁歪ロッドを用いた従来品と比較して
も、最大ダイナミックフォースで約5倍の値が得られ
た。したがって、重量2tのものを支える場合に、5〜
6個の超磁歪アクチュエータ1があればたりる。
According to our experiments, the diameter is 20 mm,
When a giant magnetostrictive rod 3 having a length of 120 mm is used, a maximum displacement of 140 μm and a maximum dynamic force of 4400 N (about 450 kgf) are obtained with a driving current of 5 A at maximum.
Compared with the conventional product using a giant magnetostrictive rod of approximately the same size, a value about 5 times as large as the maximum dynamic force was obtained. Therefore, when supporting a thing with a weight of 2t,
It is enough if there are six giant magnetostrictive actuators 1.

【0031】また、より大型の直径40mm、長さ15
0mmの超磁歪ロッド3を用いたときに、最大5Aの駆
動電流で、最大変位180μm、最大ダイナミックフォ
ース17700N(約1800kgf)が得られ、この
場合は、重量2tのものを支える場合に、安定性の問題
を別にすれば2個の超磁歪アクチュエータ1があれば足
り、安定性を考慮しても3個の超磁歪アクチュエータ1
があれば十分である。
Also, a larger diameter of 40 mm and a length of 15 mm
When a giant magnetostrictive rod 3 of 0 mm is used, a maximum displacement of 180 μm and a maximum dynamic force of 17700 N (about 1800 kgf) can be obtained with a driving current of 5 A at maximum. Aside from the problem described above, two giant magnetostrictive actuators 1 are sufficient, and three giant magnetostrictive actuators 1 are required in consideration of stability.
Is enough.

【0032】図3は、上述のような超磁歪アクチュエー
タ1を用いたアクティブ制振装置21であって、コジェ
ネレーションシステムに用いられる機械設備のような重
さ2t程度の重量物が振動発生体22であるときに、そ
の振動を抑制して、防音・防振を行うものである。
FIG. 3 shows an active vibration damping device 21 using the above-described giant magnetostrictive actuator 1, wherein a heavy object having a weight of about 2 t, such as mechanical equipment used in a cogeneration system, is used as a vibration generator 22. In such a case, the vibration is suppressed and sound and vibration are prevented.

【0033】この制振装置21は、ベースBに取り付け
られた4個の超磁歪アクチュエータ1の各プッシュロッ
ド9の先端が振動発生体22の底部に取り付けられると
共に、当該振動発生体22の振動変位を直接的に又は間
接的に検出するセンサ23と、当該センサ23で検出さ
れた振動変位に対して超磁歪ロッド3が逆位相で伸縮す
るように各超磁歪アクチュエータ1の磁界コイル2に同
時に交流電流を供給するコントローラ24を備えてい
る。
In this vibration damping device 21, the tips of the push rods 9 of the four giant magnetostrictive actuators 1 mounted on the base B are mounted on the bottom of the vibration generator 22, and the vibration displacement of the vibration generator 22 is controlled. 23 to the magnetic field coil 2 of each giant magnetostrictive actuator 1 so that the giant magnetostrictive rod 3 expands and contracts in the opposite phase to the vibration displacement detected by the sensor 23 directly or indirectly. It has a controller 24 for supplying current.

【0034】センサ23は、例えば、圧電素子を用いた
加速度センサが用いられており、コントローラ24で
は、その検出信号を2回積分することにより、振動発生
体22の振動変位とその周波数を算出している。
As the sensor 23, for example, an acceleration sensor using a piezoelectric element is used. The controller 24 calculates the vibration displacement of the vibration generator 22 and its frequency by integrating the detection signal twice. ing.

【0035】超磁歪ロッド3は、駆動コイル2bに正電
流が供給されたときに生ずる磁界により伸長し、逆電流
が供給されたときに生ずる磁界により収縮するので、コ
ントローラ24では、算出された振動変位及び周波数に
基づき、振動発生体22が下向きに変位するときは超磁
歪ロッド3が伸長し、上向きに変位するときは超磁歪ロ
ッド3が収縮するように、周波数の等しい逆位相の交流
駆動電流を供給する。
The giant magnetostrictive rod 3 expands due to a magnetic field generated when a positive current is supplied to the drive coil 2b, and contracts due to a magnetic field generated when a reverse current is supplied to the drive coil 2b. On the basis of the displacement and the frequency, the AC driving currents having the same frequency and opposite phases are arranged such that the giant magnetostrictive rod 3 expands when the vibration generator 22 is displaced downward, and contracts when the vibration generator 22 is displaced upward. Supply.

【0036】図4は、振動発生体22の制振前後の変位
と駆動電流を示すグラフであって、制振前の振動変位X
1 に対して周波数の等しい逆位相の駆動電流(2Aの交
流電流)Dを供給して制振したところ、制振後の振動変
位X2 は制振前に比して振幅が1/3程度まで減衰して
いることがわかる。このように、本発明に係る超磁歪ア
クチュエータ1を用いて重量物のアクティブ制振を行っ
たところ、少ない電力で確実に制振できることが確認さ
れた。
FIG. 4 is a graph showing the displacement and the drive current of the vibration generator 22 before and after damping, and shows the vibration displacement X before damping.
When a drive current (2 A alternating current) of the same phase and a drive current D having the same frequency as that of 1 is supplied and vibration is damped, the vibration displacement X 2 after vibration damping has an amplitude of about 1/3 of that before vibration damping. It can be seen that it has attenuated up to. As described above, when active damping of a heavy object was performed using the giant magnetostrictive actuator 1 according to the present invention, it was confirmed that the active mass could be reliably damped with low electric power.

【0037】なお、上述の説明では、磁界コイル2とし
て、バイアスコイル2aと駆動コイル2bの二つのコイ
ルを形成した場合について説明したが、一つのコイルで
双方を兼用してもよい。この場合は、一定のバイアス電
流を供給した状態で、そのバイアス電流を基準として交
流電流を供給すればよい。例えば、バイアス電流が直流
1Aであるときに、駆動電流として±2Aの交流電流を
供給する場合は、電流値を−1A〜+3Aの間で変化さ
せればよい。
In the above description, the case where two coils, the bias coil 2a and the drive coil 2b, are formed as the magnetic field coil 2, but one coil may be used for both. In this case, with a constant bias current supplied, an alternating current may be supplied with reference to the bias current. For example, in the case where an alternating current of ± 2 A is supplied as a driving current when the bias current is 1 A DC, the current value may be changed between -1 A and +3 A.

【0038】また、超磁歪ロッド3に磁気バイアスを作
用させる磁気発生手段として、バイアスコイル2aを超
磁歪ロッド3に巻回した場合について説明したが、本発
明はこれに限らず、閉磁気回路を形成するヨークYに永
久磁石や電磁石を組み込んでもよい。この場合は、バイ
アスコイルを連結ロッド7に巻回したり、連結ロッド7
の全部または一部を永久磁石で形成したり、超磁歪ロッ
ド3の両端に永久磁石を配すればよい。
Also, the case where the bias coil 2a is wound around the giant magnetostrictive rod 3 as the magnetism generating means for applying a magnetic bias to the giant magnetostrictive rod 3 has been described. However, the present invention is not limited to this. A permanent magnet or an electromagnet may be incorporated in the yoke Y to be formed. In this case, the bias coil is wound around the connecting rod 7 or the connecting rod 7
May be formed entirely or partially with permanent magnets, or permanent magnets may be provided at both ends of the giant magnetostrictive rod 3.

【0039】さらに、超磁歪ロッド3にバイアスコイル
2aを巻回したものとヨークYに永久磁石や電磁石を組
み込んだものとを併用する場合であってもよい。この場
合は、より均一な磁気バイアスを超磁歪ロッド3に作用
させることができるというメリットがある。即ち、超磁
歪ロッド3にバイアスコイル2aを巻回した磁気発生手
段は、超磁歪ロッド3の中央部に均一な磁気バイアスを
作用させることができるが、両端部で磁界が低下する傾
向にあり、ヨークYに磁気発生手段を形成した場合は、
超磁歪ロッド3の両端部に磁気バイアスを作用させるこ
とができるが、中央部まで届かない傾向にあるので、こ
れらを併用した複合磁気バイアスを作用させることによ
り、それぞれの欠点を補完し合ってより均質な磁気バイ
アスを作用させることができる。
Further, the case where the bias coil 2a is wound around the giant magnetostrictive rod 3 and the case where the yoke Y incorporates a permanent magnet or an electromagnet may be used in combination. In this case, there is an advantage that a more uniform magnetic bias can be applied to the giant magnetostrictive rod 3. That is, the magnetism generating means in which the bias coil 2a is wound around the giant magnetostrictive rod 3 can apply a uniform magnetic bias to the central part of the giant magnetostrictive rod 3, but the magnetic field tends to decrease at both ends, If the yoke Y is provided with a magnetic generating means,
A magnetic bias can be applied to both ends of the giant magnetostrictive rod 3, but it does not reach the center. Therefore, by applying a composite magnetic bias using them in combination, the disadvantages can be complemented by each other. A uniform magnetic bias can be applied.

【0040】なお、電磁石による磁気バイアスと、永久
磁石による磁気バイアスは、略同等の効果が得られる
が、電磁石を用いれば、電流をコントロールすることに
より、その磁力を調整することができる。また、連結ロ
ッド7にバイアスコイルを巻回する場合に、コアとなる
連結ロッド7の材質を45Niパーマロイなどの軟磁性
材料とすれば、極めて微小な電流で磁気バイアスするこ
とができ、わずかな電力で磁力調整可能な磁気バイアス
が得られる。
Although the magnetic bias by the electromagnet and the magnetic bias by the permanent magnet have substantially the same effect, the use of an electromagnet allows the magnetic force to be adjusted by controlling the current. When a bias coil is wound around the connecting rod 7, if the material of the connecting rod 7 serving as a core is made of a soft magnetic material such as 45Ni permalloy, it can be magnetically biased with an extremely small current, and a small amount of power can be obtained. Thus, a magnetic bias whose magnetic force can be adjusted is obtained.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、磁
界コイルにより生じた磁力を無駄なく有効に利用して超
磁歪ロッドを伸縮させることができるので、少ない消費
電力で大出力、大変位を得ることができ、したがって、
振動発生体が重い場合であってもこれを支持してその振
動変位と逆位相で超磁歪ロッドを伸縮させることにより
確実に制振することができるという大変優れた効果を有
する。
As described above, according to the present invention, the giant magnetostrictive rod can be expanded and contracted by effectively using the magnetic force generated by the magnetic field coil without waste. Rank, and therefore
Even if the vibration generator is heavy, there is an excellent effect that the vibration can be reliably damped by supporting it and expanding and contracting the giant magnetostrictive rod in a phase opposite to the vibration displacement.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る超磁歪アクチュエータを示す分解
組立図。
FIG. 1 is an exploded view showing a giant magnetostrictive actuator according to the present invention.

【図2】その断面図。FIG. 2 is a sectional view thereof.

【図3】本発明に係るアクティブ制振装置を示す概略説
明図。
FIG. 3 is a schematic explanatory view showing an active vibration damping device according to the present invention.

【図4】制振前後の振動変位の変化を示すグラフ。FIG. 4 is a graph showing changes in vibration displacement before and after vibration suppression.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1………超磁歪アクチュエータ 2………磁界コイル 2a……バイアスコイル 2b……駆動コイル 3………超磁歪ロッド 3a……固定端 3b……自由端 Y………ヨーク F………予圧フレーム 5………固定支持盤(固定支持部材) 6………摺動支持盤(摺動支持部材) 7………連結ロッド(連結部材) 8………キャップ 9………プッシュロッド 10………台座 11………スプリング 12………予圧盤(予圧部材) 13………締付ボルト(連結部材) 21………アクティブ制振装置 22………振動発生体 23………センサ 24………コントローラ 1 ... giant magnetostrictive actuator 2 ... magnetic field coil 2a ... bias coil 2b ... drive coil 3 ... giant magnetostrictive rod 3a ... fixed end 3b ... free end Y ... yoke F ... preload Frame 5: fixed support board (fixed support member) 6: sliding support board (sliding support member) 7: connecting rod (connecting member) 8: cap 9: push rod 10 ... Pedestal 11... Spring 12... Preloading plate (preloading member) 13... Tightening bolt (connecting member) 21... Active vibration damping device 22... Vibration generator 23. ………controller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧 野 隆 明 神奈川県横浜市青葉区あざみ野南一丁目3 番3号 株式会社モリテックス横浜技術セ ンター内 (72)発明者 達 正 義 神奈川県横浜市青葉区あざみ野南一丁目3 番3号 株式会社モリテックス横浜技術セ ンター内 Fターム(参考) 3J048 AB08 AC08 AD03 EA38 5E048 AA02 AA08 AD02  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Takaaki Makino 1-3-3 Azamino Minami, Aoba-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside Moritex Yokohama Technical Center (72) Inventor Masayoshi Tatsumi Aoba, Yokohama-shi, Kanagawa 1-3-3, Azaminominami, Ward F-term in the Moritex Yokohama Technical Center (reference) 3J048 AB08 AC08 AD03 EA38 5E048 AA02 AA08 AD02

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】周囲に磁界コイル(2)を巻回した超磁歪
ロッド(3)がヨーク(Y)の中心に配され、当該ヨー
ク(Y)が予圧フレーム(F)内に組み付けられた超磁
歪アクチュエータであって、 前記ヨーク(Y)が、超磁歪ロッド(3)の固定端(3
a)となる一端側を係合支持する固定支持部材(5)
と、自由端(3b)となる他端側を摺動自在に支持する摺
動支持部材(6)と、これら各支持部材(5, 6)を連
結する連結部材(7)から成り、 前記超磁歪ロッド(3)の自由端(3b)に、その変位を
外部に伝達するプッシュロッド(9)が直接的又は間接
的に当接されて前記摺動支持部材(6)から突出形成さ
れ、 前記予圧フレーム(F)が、前記固定支持部材(5)を
係合支持する台座(10)と、前記プッシュロッド(9)
を摺動自在に貫設させると共に当該プッシュロッド
(9)を介して超磁歪ロッド(3)にスプリング(11)
による圧縮力を付与する予圧部材(12)と、前記台座
(10)及び予圧部材(12)を連結する連結部材(13)か
ら成り、 前記ヨーク(Y)を構成する各部材(5,6,7)が強
磁性材料で形成されて当該ヨーク(Y)と超磁歪ロッド
(3)で閉磁気回路が形成されると共に、前記プッシュ
ロッド(9)及び予圧フレーム(F)を構成する各部材
(10,12,13)が非磁性材料で形成されたことを特徴と
する超磁歪アクチュエータ。
A giant magnetostrictive rod (3) having a magnetic field coil (2) wound therearound is disposed at the center of a yoke (Y), and the yoke (Y) is assembled in a preload frame (F). A magnetostrictive actuator, wherein the yoke (Y) is a fixed end (3) of a giant magnetostrictive rod (3).
a) A fixed support member (5) that engages and supports one end side as described above.
A sliding support member (6) for slidably supporting the other end, which is a free end (3b); and a connecting member (7) for connecting these support members (5, 6), A free end (3b) of the magnetostrictive rod (3) is directly or indirectly abutted on a push rod (9) for transmitting the displacement to the outside, and is formed to protrude from the sliding support member (6). A pedestal (10) for engaging and supporting the fixed support member (5) with a preload frame (F);
And a spring (11) is attached to the giant magnetostrictive rod (3) via the push rod (9).
Each of the members (5, 6, 6) comprising a preloading member (12) for applying a compressive force by the above and a connecting member (13) for connecting the pedestal (10) and the preloading member (12). 7) is formed of a ferromagnetic material, a closed magnetic circuit is formed by the yoke (Y) and the giant magnetostrictive rod (3), and the members () constituting the push rod (9) and the preload frame (F) are formed. A giant magnetostrictive actuator characterized in that (10, 12, 13) is formed of a non-magnetic material.
【請求項2】前記磁界コイル(2)が、超磁歪ロッド
(3)に磁気バイアスを作用させるバイアスコイル(2
a)と、超磁歪ロッド(3)を伸縮変形させる磁界を生
じさせる駆動コイル(2b)とから成る請求項1記載の超
磁歪アクチュエータ。
2. A bias coil (2) for applying a magnetic bias to a giant magnetostrictive rod (3).
2. A giant magnetostrictive actuator according to claim 1, comprising: a) and a drive coil (2b) for generating a magnetic field for expanding and contracting the giant magnetostrictive rod (3).
【請求項3】超磁歪ロッド(3)に磁気バイアスを作用
させる磁気発生手段が、前記閉磁気回路を形成するヨー
ク(Y)に形成されてなる請求項1又は2記載の超磁歪
アクチュエータ。
3. The giant magnetostrictive actuator according to claim 1, wherein magnetism generating means for applying a magnetic bias to the giant magnetostrictive rod is formed on a yoke forming the closed magnetic circuit.
【請求項4】前記ヨーク(Y)の連結部材がその上下両
端を固定支持部材(5)及び摺動支持部材(6)に係合
する連結ロッド(7)で形成され、前記予圧フレーム
(F)の連結部材が台座(10)及び予圧部材(12)に通
されてナット(14)で締め止められる締付ボルト(13)
で形成されて成る請求項1又は2記載の超磁歪アクチュ
エータ。
4. The connecting member of the yoke (Y) is formed at both upper and lower ends thereof by a connecting rod (7) engaged with a fixed supporting member (5) and a sliding supporting member (6). Tightening bolt (13) which is passed through the pedestal (10) and the preloading member (12) and fastened with the nut (14)
3. The giant magnetostrictive actuator according to claim 1, wherein the giant magnetostrictive actuator is formed of:
【請求項5】周囲に磁界コイル(2)を巻回した超磁歪
ロッド(3)がヨーク(Y)の中心に配され、当該ヨー
ク(Y)が予圧フレーム(F)内に組み付けられた一以
上の超磁歪アクチュエータ(1)で振動発生体(22)が
支持されると共に、当該振動発生体(22)の振動変位を
直接的に又は間接的に検出するセンサ(23)と、当該セ
ンサ(23)で検出された振動変位に対して超磁歪ロッド
(3)が逆位相で伸縮するように前記各超磁歪アクチュ
エータ(1)の磁界コイル(2)に交流電流を供給する
コントローラ(24)を備えたアクティブ制振装置であっ
て、 前記各超磁歪アクチュエータ(1)のヨーク(Y)が、
超磁歪ロッド(3)の固定端(3a)となる一端側を係合
支持する固定支持部材(5)と、自由端(3b)となる他
端側を摺動自在に支持する摺動支持部材(6)と、これ
ら各支持部材(5,6)を連結する連結部材(7)から
成り、 前記超磁歪ロッド(3)の自由端(3b)に、その変位を
外部に伝達するプッシュロッド(9)が直接的又は間接
的に当接されて前記摺動支持部材(6)から突出形成さ
れ、 前記予圧フレーム(F)が、前記固定支持部材(5)を
係合支持する台座(10)と、前記プッシュロッド(9)
を摺動自在に貫設させると共に当該プッシュロッド
(9)を介して超磁歪ロッド(3)にスプリング(11)
による圧縮力を付与する予圧部材(12)と、前記台座
(10)及び予圧部材(12)を連結する連結部材(13)か
ら成り、 前記ヨーク(Y)を構成する各部材(5,6,7)が強
磁性材料で形成されて当該ヨーク(Y)と超磁歪ロッド
(3)で閉磁気回路が形成されると共に、前記プッシュ
ロッド(9)及び予圧フレーム(F)を構成する各部材
(10,12,13)が非磁性材料で形成されたことを特徴と
するアクティブ制振装置。
A giant magnetostrictive rod (3) having a magnetic field coil (2) wound therearound is arranged at the center of a yoke (Y), and the yoke (Y) is assembled in a preload frame (F). The vibration generator (22) is supported by the giant magnetostrictive actuator (1), and a sensor (23) for directly or indirectly detecting the vibration displacement of the vibration generator (22); A controller (24) for supplying an alternating current to the magnetic field coil (2) of each of the giant magnetostrictive actuators (1) so that the giant magnetostrictive rod (3) expands and contracts in the opposite phase with respect to the vibration displacement detected in (23). An active vibration damping device comprising: a yoke (Y) of each giant magnetostrictive actuator (1);
A fixed support member (5) for engaging and supporting one end serving as a fixed end (3a) of the giant magnetostrictive rod (3), and a sliding support member for slidably supporting the other end serving as a free end (3b). (6) and a connecting member (7) for connecting these support members (5, 6), and a push rod (3) for transmitting the displacement to the free end (3b) of the giant magnetostrictive rod (3) to the outside. 9) abuts directly or indirectly to protrude from the slide support member (6), and the preload frame (F) engages and supports the fixed support member (5). And the push rod (9)
And a spring (11) is attached to the giant magnetostrictive rod (3) via the push rod (9).
Each of the members (5, 6, 6) comprising a preloading member (12) for applying a compressive force due to the above, and a connecting member (13) connecting the pedestal (10) and the preloading member (12). 7) is formed of a ferromagnetic material, a closed magnetic circuit is formed by the yoke (Y) and the giant magnetostrictive rod (3), and the members () constituting the push rod (9) and the preload frame (F) are formed. An active vibration damper characterized in that (10, 12, 13) is formed of a non-magnetic material.
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