JP2001110595A - アークプラズマ発生方法並びに物質処理方法及び装置 - Google Patents

アークプラズマ発生方法並びに物質処理方法及び装置

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JP2001110595A
JP2001110595A JP28381699A JP28381699A JP2001110595A JP 2001110595 A JP2001110595 A JP 2001110595A JP 28381699 A JP28381699 A JP 28381699A JP 28381699 A JP28381699 A JP 28381699A JP 2001110595 A JP2001110595 A JP 2001110595A
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microwave
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arc
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Ryoda Sato
亮拿 佐藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 非移行性の交流アークプラズマであるマルチ
アークプラズマにより有害物質を無害化処理する際の処
理効率を高める。 【構成】 マルチアークプラズマを発生させるために複
数本の電極棒1a,1b,1cに印加される多相交流電
圧に高電圧パルス及び/又はマイクロ波を重畳する。少
ない投入エネルギーでマルチアークプラズマが強化さ
れ、マルチアークプラズマによる処理効率が上がる。マ
ルチアークプラズマにより処理される被処理物質にマイ
クロ波を照射する。少ない投入エネルギーでマルチアー
クプラズマによる処理効率が上がる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種の物質を無害
化処理するのに適したアークプラズマの発生方法、並び
にそのアークプラズマを用いた各種物質の処理方法及び
処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、PCB、ダイオキシン、重金属等
の難分解性物質による土壌、ヘドロ、液体、気体等の汚
染が大きな問題となっており、この汚染は現在も急速に
進み続けている。従って、これら汚染物質の無害化処理
は、地球的規模で急ぎ進めなければならない重要課題で
ある。しかしながら、難分解性物質で汚染された各種汚
染物質の無害化処理は、当然のことながら非常に困難で
ある。
【0003】この困難を解消する技術として最近、大き
な注目を集めているのが、本出願人が開発したマルチア
ークである。従来のマルチアークの発生原理を図13
(a)〜(c)に示す。マルチアークを発生させるため
には、図13(a)に示すように、先端を所定の間隔で
突き合わせて中心線の周囲に対称的に配置した複数本の
電極棒1a,1b,1bを用いる。そして、電極棒1
a,1b,1bにトランス2を介して位相が異なる電圧
を印加する。これにより、複数本の電極棒1a,1b,
1bから非移行性アークが発生する。
【0004】このマルチアークは、超高温のプラズマを
伴う他、強力な回転磁界、電磁振動を伴い、更に紫外線
等の各種波動エネルギー等も伴う。このため、このマル
チアークプラズマを各種汚染物質に照射することによ
り、汚染物質中のPCB、ダイオキシン、重金属等の難
分解性物質が複合的なエネルギー作用により分子レベル
で効率よく分解し無害化される。
【0005】即ち、電極棒1a,1b,1bに印加され
る印加電圧は、通常は図13(b)に示すように、電極
棒1a,1b,1bの数(通常3の倍数)に応じた多相
交流電圧(通常3相交流電圧)である。このため、マル
チアークプラズマは、図13(c)に示すように、通常
の対極を必要とする直流の移行性プラズマと比べて、エ
ネルギーがその合成により多大となり、しかも直流のよ
うに安定し、強大なプラズマを発生させることができる
と共に、強力な回転磁界、電磁振動、紫外線等の各種波
動エネルギーを発生させることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
環境汚染は急速に進んでおり、これに伴い、各種汚染物
質を大量に処理する必要が生じた。その結果、マルチア
ークプラズマと言えども、処理施設は非常に大きくな
り、その数も非常に多く必要となる。このため、マルチ
アークプラズマによる物質処理効率を更に向上させる必
要が生じた。
【0007】本発明はかかる事情に鑑みて創案されたも
のであり、物質処理効率に優れたマルチアークプラズマ
を発生できるアークプラズマ発生方法を提供することを
第1の目的とする。また、本発明の第2の目的は、マル
チアークプラズマによる処理効率を簡単に向上させるで
きる物質処理方法及び装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
るために、本発明にかかるアークプラズマ発生方法は、
先端を所定の間隔で突き合わせて中心線の周囲に対称的
に配置した複数本の電極棒に位相が異なる電圧を印加し
て、複数本の電極棒から非移行性のアークプラズマを発
生させるアークプラズマ発生方法において、前記アーク
プラズマに高電圧パルス成分及び/又はマイクロ波成分
を付加する構成とする。
【0009】アークプラズマに高電圧パルス成分及び/
又はマイクロ波成分を付加するための具体的手段として
は、複数本の電極棒に印加される電圧、好ましくはアー
ク発生用多相交流電圧の各相に、高電圧パルス及び/又
はマイクロ波を重畳させるのがよい。高電圧パルスは、
例えばコンデンサ放電やトランスにより発生させること
ができ、これらを複合的に使用することもできる。
【0010】本発明にかかるアークプラズマ発生方法に
よると、少ない投入エネルギーでマルチアークプラズマ
のもつエネルギーが飛躍的に向上し、マルチアークプラ
ズマによる物質処理効率が大幅に向上する。
【0011】即ち、マルチアークプラズマによる物質処
理効率は、電極棒に印加される電圧の波高と過渡特性に
影響される。例えば、電極印加電圧に高電圧パルスを重
畳させると、印加電圧の波高が高くなり、物質処理効率
が上がる。高電圧パルスが最大電圧に達した後、波尾を
徐々に低下させると、各相毎の回転磁界のエネルギーが
増し、高電圧パルスはこの面からも物質処理効率を高め
る。マイクロ波は2450MHzで物質に同期共振作用
を引き起こす。これらのパワーがマルチアークプラズマ
のパワーに重畳され、原子レベル・分子レベルの結合分
離が起こることにより、物質処理効率が高められる。
【0012】また、上記第2の目的を達成するために、
本発明にかかる物質処理方法は、先端を所定の間隔で突
き合わせて中心線の周囲に対称的に配置した複数本の電
極棒に位相が異なる電圧を印加して、複数本の電極棒か
ら非移行性のアークプラズマを発生させ、そのアークプ
ラズマを物質に照射して物質を処理する物質処理方法に
おいて、前記物質にマイクロ波を照射するものである。
【0013】また、本発明にかかる物質処理装置は、先
端を所定の間隔で突き合わせて中心線の周囲に対称的に
配置した複数本の電極棒に位相が異なる電圧を印加し
て、複数本の電極棒から非移行性のアークプラズマを発
生させ、そのアークプラズマを物質に照射するプラズマ
照射手段と、前記物質にマイクロ波を照射するマイクロ
波照射手段とを備えたものである。
【0014】本発明にかかる物質処理方法及び装置で
は、マルチアークプラズマによる被処理物質にマイクロ
波が照射されることにより、少ない投入エネルギーで物
質処理能力が効果的に向上する。
【0015】即ち、マルチアークプラズマによる物質処
理効率を向上させるための具体的手段として、本発明に
かかるアークプラズマ発生方法は、マルチアークプラズ
マの発生段階で高電圧パルス及び/又はマイクロ波を付
加して、プラズマそのものエネルギーを増強するのに対
し、本発明にかかる物質処理方法及び装置は、処理段階
で被処理物にマイクロ波を付加的に照射して、総合的な
処理エネルギーを効率的に増強するものである。
【0016】そして、両者を組み合わせるならば、特に
優れた物質処理効率が得られることは言うまでもない。
なお、本発明にかかる物質処理方法及び装置で用いられ
るマイクロ波は回転場にして照射するのが好ましく、そ
の回転場を移動させるのが更に好ましい。
【0017】マルチアークプラズマを物質処理に使用す
ることの効能を列記すると以下の通りである。マルチア
ークプラズマ発生段階での高電圧パルス及び/又はマイ
クロ波の使用、物質処理段階でのマイクロ波の使用、更
にはこれらの併用は、以下に記載する効能を飛躍的に高
め、産業上多大の効果を奏するものである。
【0018】第1に、放射性物質をコンクリートや金属
で封入した固形廃棄物の容器ぐるみの無害化処理を可能
にするだけでなく、これら全てを溶融したものを微細化
して健康に良い商品として再生できる。
【0019】第2に、放射能汚染した冷却水等の液体の
無害化処理を可能にする。液体分を全て蒸発させ、残渣
を全て溶融微細化して健康に良い商品に転化できる。
【0020】第3に、原子力発電所の冷却工程で繁殖す
る貝類、クラゲ等の無害化処理と商品化を可能にする。
【0021】第4に、原子力発電所での事故で発生する
汚染水や汚染物の処理再生を可能にする。
【0022】第5に、水を水素と酸素に分解し、発電そ
の他への利用を可能にする。
【0023】第6に、メッキ汚泥、現像廃液、農薬汚染
水、埋立地の有害排水、ヘドロ、その他の工業的汚染物
質を処理再生できる。
【0024】第7に、ダイオキシン、PCB等の難分解
性毒性物質及びこれによる各種汚染物質を処理再生でき
る。
【0025】第8に、チタン、モリブデン等の直接精錬
の他、従来分離不可能であったトリウム等の純粋取り出
しを可能にする。
【0026】第9に、廃油、廃棄物から製造された固形
燃料、その他の有機物の燃料ガス化及びこれによる新種
発電を可能する。
【0027】第10に、病院や各種生物実験で生じる生
物学的及び化学的な汚染物質の無害化処理を可能にす
る。
【0028】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図1はアークプラズマ発生方法に使
用されるアーク発生回路の基本構成図、図2(a)は同
アーク発生回路に使用されるパルス発生回路の構成図、
(b)は同パルス発生回路を使用したときの印加電圧の
波形図、(c)は同パルス発生回路を使用したときの合
成エネルギーの波形図である。
【0029】本実施形態にかかるアークプラズマ発生方
法では、図1に示すように、先端を所定の間隔で突き合
わせて中心線の周囲に対称的に配置した複数本の電極棒
1a,1b,1cが使用される。各電極棒は炭素棒であ
る。電極棒1a,1b,1cにはトランス2を介して位
相が異なる多相交流電圧が印加される。ここで、トラン
ス2の1次側の各相コイル2a,2b,2cには、パル
ス発生回路3a,3b,3cがそれぞれ組み合わされて
いる。
【0030】各パルス発生回路は、図2(a)に示すよ
うに、トランスTで昇圧した2000V程度の高電圧で
コンデンサCを充電し、それをスイッチ回路Sの作動に
より1/1000秒以下の短時間で放電することによ
り、高電圧パルスPを所定周期で発生させる構成であ
る。
【0031】このような構成のパルス発生回路3a,3
b,3cをトランス2の1次側の各相コイル2a,2
b,2cに組み合わせることにより、電極棒1a,1
b,1cに印加される印加電圧は、図2(b)に示すよ
うに、本来の多相交流電圧の各相に所定周期で高電圧パ
ルスPが重畳された合成波となる。
【0032】その結果、電極棒1a,1b,1cから発
生するマルチアークプラズマは、図2(c)に示すよう
に、本来の平滑な合成エネルギーにパルスエネルギーが
重畳されたものになる。このようなマルチアークプラズ
マが高い物質処理効率を示すことは前述した通りであ
る。
【0033】図3(a)は別のパルス発生回路の構成
図、(b)は同パルス発生回路を使用したときの印加電
圧の波形図、(c)は同パルス発生回路を使用したとき
の合成エネルギーの波形図である。
【0034】前述の実施形態では、パルス発生回路3
a,3b,3cとして、コンデンサ放電によるものを使
用したが、図3(a)に示すように、スイッチS1,S
2によりトランスTを操作して瞬間的に高電圧パルスP
を発生せるものでもよい。
【0035】このような高電圧パルスPを本来の多相交
流電圧に重畳することによっても、前述の実施形態と同
様に、マルチアークプラズマによる物質処理効率を向上
させることができる〔図3(b)(c)参照〕。
【0036】図4(a)はパルス発生回路に代わるマイ
クロ波発生回路の構成図、(b)は同マイクロ波発生回
路を使用したときの印加電圧の波形図、(c)は同マイ
クロ波発生回路を使用したときの合成エネルギーの波形
図である。
【0037】前述の2つの実施形態では、多相交流電圧
に高電圧パルスを重畳したが、図4(a)に示すマイク
ロ波発生回路をトランス2の1次側の各相コイル2a,
2b,2cに組み合わせることもできる。こうすると、
電極棒1a,1b,1cに印加される印加電圧は、図4
(b)に示すように、本来の多相交流電圧の各相にマイ
クロ波Mが重畳された合成波となる。
【0038】その結果、電極棒1a,1b,1cから発
生するマルチアークプラズマは、図4(c)に示すよう
に、本来の平滑な合成エネルギーにマイクロ波エネルギ
ーが重畳されたものになる。このようなマルチアークプ
ラズマが高い物質処理効率を示すことも前述の通りであ
る。
【0039】なお、マイクロ波発生回路は、図4(a)
では、マグネトロンMTを利用する周知構成のものとさ
れているが、これに限定されないことは言うまでもな
い。
【0040】前述の3つの実施形態では、本来の印加電
圧である多相交流電圧に高電圧パルスP又はマイクロ波
Mを選択的に重畳したが、図5(a)(b)に示すよう
に、高電圧パルスP及びマイクロ波Mの両方を重畳する
ことも可能である。高電圧パルスPはコンデンサパルス
とトランスパルスを組み合わせたものがよい。これらの
場合、エネルギー的にもそれぞれのエネルギーが重畳さ
れ、物質処理効率が特に向上する。パルス発生回路及び
マイクロ波発生回路は、これまでの例ではトランス2の
1次側の各相コイル2a,2b,2cに組み合わせた
が、2次側の各相コイルに組み合わせてもよい。
【0041】以上、本発明の実施形態をアークプラズマ
発生方法について説明したが、次に、被処理物へのマイ
クロ波の直接照射についての実施形態を説明する。
【0042】図6(a)(b)(c)は本発明の実施形
態にかかる物質処理方法及び装置で使用されるマイクロ
波照射機構の説明図である。
【0043】本発明にかかる物質処理方法及び装置で
は、被処理物にマルチアークプラズマと共にマイクロ波
が直接照射される。その結果、マイクロ波による加熱作
用により、マルチアークプラズマによる物質処理効率が
向上する。
【0044】ここで、マイクロ波は通常は或る1点に照
射され、1次元的な作用のみを発揮するが、図6(a)
に示すように、複数本のマイクロ波発射トーチ4a,4
b,4cを一組とするトーチ群4′を使用して、マルチ
アークの如き回転場を形成することにより、超微視的に
は螺旋状のパワーとして時間的、空間的に多次元の作用
が発揮され、物質処理効率が一層向上する。
【0045】マイクロ波の回転場を形成するためには、
マルチアークと同様、複数本のマイクロ波発射トーチ4
a,4b,4cで各マイクロ波の位相をずらせる。マイ
クロ波発射トーチ4a,4b,4cの本数も、マルチア
ークの場合と同様、3又はその倍数が好ましい。マイク
ロ波発射トーチ4a,4b,4cの配置形態は、回転場
形成の点からは中心線の周囲に対称的に配置するのが好
ましい。なお、マイクロ波発射トーチ4a,4b,4c
は導波管により構成されている。
【0046】複数本のマイクロ波発射トーチ4a,4
b,4cを組み合わせたトーチ群4′を使用してマイク
ロ波の回転場を形成する技術は以上のように物質処理に
非常に有効であるが、図6(b)(c)に示すように、
そのトーチ群4′を複数組み合わせて回転させることに
より、物質処理効率は更に向上する。図6(b)では、
複数本のトーチ群4′,4′,4′は回転方向に配列さ
れている。この場合は、エネルギーの重畳的作用が期待
できる。図6(c)では、複数本のトーチ群4′,
4′,4′は回転方向に直角な半径方向に配列されてい
る。この場合は、エネルギー作用の領域を拡大できる。
つまり、前者は強力なエネルギーを必要とするときに有
効であり、後者は影響範囲を広げるのに有効である。
【0047】以下に物質処理方法及び装置についての実
施形態を説明する。
【0048】図7は本発明の実施形態にかかる物質処理
装置の概略構成図、図8は図7のA−A線矢示図、図9
は図7のB−B線矢示図、図10は図7のC−C線矢示
図である。
【0049】本実施形態にかかる物質処理装置は、図7
に示すように、液体PCB等の難分解性物質からなる第
1被処理物Xと、PCB等の難分解性物質により汚染さ
れた汚染土壌等の第2被処理物Yとを、マルチアークプ
ラズマとマイクロ波との組み合わせにより効率的に無害
化処理するものである。
【0050】この物質処理装置は、第1被処理物Xを処
理する第1処理部10と、第2被処理物Yを処理する第
2処理部20と、第2処理部20へ第2被処理物Yを導
入する第1導管30と、第2処理部20で処理を終えた
処理物を排出する第2導管40と、最終の処理物を収容
する最終収容部50と、第1処理部10で生じたガスを
燃料ガスとして第2処理部20に導く第3導管60とを
備えている。
【0051】第1処理部10は、第1被処理物Xを収容
するルツボ15と、ルツボ15内の第1被処理物Xにマ
ルチアークプラズマを照射するために設けられた複数本
の電極棒11,11・・と、同じくルツボ15内の第1
被処理物Xにマイクロ波を照射するために設けられた複
数本のマイクロ波発射トーチ14,14・・とを備えて
いる。
【0052】炭素棒からなる複数本の電極棒11,11
・・は、ルツボ15内の第1被処理物Xに上方から対向
するように、所定の間隔で先端を突き合わせて中心線の
周囲に傾斜配置されている。これらの電極棒11,11
・・には、電極棒11,11・・の本数に対応した本来
の多相交流電圧に高電圧パルス及び又はマイクロ波が重
畳された合成波が印加される。これにより、電極棒1
1,11・・は下方へ強力なマルチアークプラズマを発
生し、これをルツボ15内の第1被処理物Xに上方から
照射する。
【0053】複数本のマイクロ波発射トーチ14,14
・・は、図8に示すように、3本を一組として電極棒1
1,11・・の各間に配置され、且つルツボ15内の第
1被処理物Xに上方から対向するように傾斜配置されて
いる。3本1組のマイクロ波発射トーチ14,14・・
は、各マイクロ波(2450MHz)の位相を120°
ずらすことによりマイクロ波の回転場を形成し、これを
ルツボ15内の第1被処理物Xに上方から照射する。
【0054】第2処理部20に第2被処理物Yを導入す
る第1導管30は、モータで駆動される螺旋羽根状の搬
送機35を内部に備えている。第1導管30の上半部に
は、図9に示すように、複数本のマイクロ波発射トーチ
34,34・・が取付けられている。複数本のマイクロ
波発射トーチ34,34・・は、3本1組でマイクロ波
の回転場を形成し、これを第1導管30内を搬送される
第2被処理物Yに照射して、第2被処理物Yを予備加熱
する。
【0055】第2処理部20は、当該処理部内に導入さ
れた第2被処理物Yに上方からマルチアークプラズマを
照射する複数本の電極棒21,21・・と、同第2被処
理物Yに上方からマイクロ波を照射する複数本のマイク
ロ波発射トーチ24,24・・とを備えている。
【0056】複数本の電極棒21,21・・は、第1処
理部10に設けられた複数本の電極棒11,11・・と
同様の構成であり、高電圧パルス及び/又はマイクロ波
が重畳された多相交流電圧を印加されることにより、強
力なマルチアークプラズマを発生し、第2処理部20内
の第2被処理物Yに照射する。複数本のマイクロ波発射
トーチ24,24・・も、第1処理部10に設けられた
複数本のマイクロ波発射トーチ14,14・・と同様
に、第2処理部20内の第2被処理物Yにマイクロ波を
回転場として照射する。
【0057】第2処理部20と最終容器50を繋ぐ第2
導管40は、第2処理部20で生じた溶融状態の処理物
を自重で最終容器50に導けるように傾斜管となってい
る。第2導管40には、複数本のマイクロ波発射トーチ
44,44・・と、複数本の電極棒41,41・・とが
設けられている。複数本のマイクロ波発射トーチ44,
44・・も、他のマイクロ波発射トーチと同様、第2導
管40内を流動する処理物にマイクロ波を回転場にして
上方から照射する。複数本の電極棒41,41・・も、
他の電極棒と同様、高電圧パルス及び/又はマイクロ波
が重畳された多相交流電圧を印加されることにより、強
力なマルチアークプラズマを第2導管40内の処理物に
上方から照射する。
【0058】第1処理部10と第2処理部20を繋ぐ第
3導管60は、上方に凸の曲管部を中間部に有し、第1
処理部10で発生するガスを第2処理部20に上方から
供給する構造になっている。第3導管60には、複数本
のマイクロ波発射トーチ64,64・・が、第1処理部
10の真上に位置して設けられている。マイクロ波発射
トーチ64,64・・は、図10に示すように、第3導
管60内を通過する高温ガスにマイクロ波を効率的に照
射するために放射状に設けられ、且つ回転場を形成する
構成になっている。
【0059】次に、本実施形態にかかる物質処理装置を
用いた物質処理方法について具体的に説明する。
【0060】第1処理部10では、ルツボ15内に収容
された液体PCB等の第1被処理物Xが、複数本の電極
棒11,11・・から発生するマルチアークプラズマに
より高温熱処理され、ガス化する。マルチアークプラズ
マは、前述した通り、超高温、強力な回転磁界、電磁振
動、更に紫外線等の各種波動エネルギー等を伴い、PC
B、ダイオキシン、重金属等の難分解性物質について
も、複合的なエネルギー作用により分子レベルで効率よ
く分解し無害化する。
【0061】しかも、マルチアークプラズマは、高電圧
パルス及び/又はマイクロ波が重畳された多相交流電圧
により発生し、これまでのマルチアークプラズマよりエ
ネルギーレベルが高い。更に、このハイパワーのマルチ
アークプラズマに加え、複数本のマイクロ波発射トーチ
14,14・・から発射されたマイクロ波によって、ル
ツボ15内の第1被処理物Xが重畳的に処理される。こ
れらのため、第1処理部10での無害化処理効率は非常
に高いものになる。
【0062】第1処理部10での無害化処理に伴い、高
温の無害ガスが発生する。この無害ガスは、第3導管6
0を通って第2処理部20に送られる。このとき、無害
ガスはマイクロ波発射トーチ64,64・・から発射さ
れるマイクロ波の回転場によってもう一度処理され、無
害性を高められて第2処理部20に送られる。
【0063】第2処理部20では、第1導管30により
導入された汚染土壌等の第2被処理物Yが、複数本の電
極棒21,21・・から発生するマルチアークプラズマ
により高温熱処理され、溶融される。このマルチアーク
プラズマも、高電圧パルス及び/又はマイクロ波が重畳
された多相交流電圧により発生したものであり、しか
も、複数本のマイクロ波発射トーチ24,24・・から
発射されるマイクロ波の回転場と組み合わされている。
その上、第2処理部20に導入される第2被処理物Y
は、第1導管30で複数本のマイクロ波発射トーチ3
4,34・・から発射されるマイクロ波の回転場により
予備加熱されている。これらのため、第2被処理物Y内
に含まれる難分解性物質も第1被処理物Xと同様、極め
て効率よく分解され無害化される。
【0064】加えて、第2処理部20には、第1処理部
10での無害化処理に伴って発生した高温の無害ガスが
第3導管60を通って供給される。この無害ガスは、第
2処理部20内でマルチアークプラズマを通過し、この
とき燃焼してマルチアークプラズマの火勢を強めるの
で、有効な燃料ガスとなる。つまり、第1処理部10で
の無害化処理に伴って発生した高温の無害ガスが、第2
処理部20でのマルチアークプラズマの燃料ガスとして
利用される。
【0065】第2処理部20での高温熱処理によって生
じた溶融物は、第2導管40を通って最終容器50に送
られるが、このときも、マイクロ波発射トーチ44,4
4・・により形成されたマイクロ波の回転場と、複数本
の電極棒41,41・・で発生したマルチアークプラズ
マとによる処理が行われるため、その無害性が一層向上
する。即ち、今までの作用点に1方向から付加される波
動的影響が、ここでは回転場と螺旋場の波動パワーとな
って作用を増加する。
【0066】最終容器50内に収容された溶融状態の最
終処理物は、これらのパワーが重畳されたマルチアーク
プラズマ及びマイクロ波で完全無害化されており、廃棄
処分して問題ないだけでなく、溶融セラミックや溶融金
属を金型処理することによって各種有益物の製造にも利
用可能である。
【0067】即ち、本実施形態にかかる物質処理装置、
及びこれを用いた物資処理方法によれば、PCB、ダイ
オキシン、重金属等の難分解性物質や、これらに汚染さ
れた土壌等の汚染物質が、高い効率で無害化処理され、
しかも有益物として再利用されるのである。
【0068】なお、上記実施形態では、第1処理部10
での無害化処理に伴って発生した高温の無害ガスを第2
処理部20でのマルチアークプラズマの燃料ガスとして
利用したが、産業廃棄物から再生した固形燃料を燃焼さ
せたときに発生するガスを利用してもよい。固形燃料に
マルチアークプラズマを照射することにより、その固形
燃料はダイオキシンの発生を防ぎつつ熱エネルギーとし
て利用できる。また、生ゴミや都市ゴミを燃やしたとき
に生じるガスを燃料ガスとして利用することもできる。
これらの燃料ガスをマルチアークプラズマの中に通過さ
せるとき、同時に廃油又は廃油と水を混ぜたものをマル
チアークプラズマ中に霧状に噴射してもよい。
【0069】また、マルチアークプラズマを発生させる
ための電極棒は、使用中、赤熱する。水や廃油をこの赤
熱した電極棒に吹きつけることにより、これら瞬時に気
化してマルチアークプラズマ内に供給され、いずれも燃
料となってマルチアークプラズマの火勢を増す。つま
り、使用中の電極棒の赤熱を利用することにより、この
冷却を兼ねて水や廃油を気化する手間を省くことができ
る。なお、この激しい高温と振動パワーの中で、これま
で活動できなかった触媒の効果も多く引き出されるの
で、これらの廃棄物の処理再生に効果を上げる触媒の投
入も非常に効果的である。
【0070】図11は本発明の実施形態にかかる別の物
質処理装置の概略構成図、図12は図11のD−D線矢
示図である。
【0071】本実施形態にかかる物質処理装置は、放射
性汚染物質をコンクリートや金属等で密封した放射性固
形廃棄物からなる第3被処理物Zをマルチアークプラズ
マとマイクロ波により容器ごと無害化処理するものであ
る。この物質処理装置は、図11に示すように、気密性
の炉体70と、炉体70内に配置されて第3被処理物Z
を収容する可動式のルツボ80とを備えている。
【0072】炉体70は、図12に示すように、複数本
の電極棒71,71・・と、複数本のマイクロ波発射ト
ーチ74,74・・とを上部に備えている。複数本の電
極棒71,71・・は、3本を1組としてその複数組を
中心回りに配置した構成になっている。各組3本の電極
棒71,71,71は、高電圧パルス及び/又はマイク
ロ波が重畳された多相交流電圧を印加され、これによっ
て発生させたマルチアークプラズマをルツボ80内の第
3被処理物Zに照射する。
【0073】複数本のマイクロ波発射トーチ74,74
・・は、3本を1組としてその複数組を中心回り、より
具体的には隣接する電極組の間に配置した構成になって
いる。各組3本のマイクロ波発射トーチ74,74,7
4は、マイクロ波の回転場を形成し、これをルツボ80
内の第3被処理物Zに照射する。
【0074】ルツボ80は、炉体70の底部を貫通する
支持軸81の上に取付けられている。支持軸81は、ル
ツボ80を回転させ且つ上昇させるために、周方向及び
軸方向に駆動される。
【0075】本実施形態にかかる物質処理装置による
と、放射性固形廃棄物からなる第3被処理物Zが、マル
チアークプラズマ及びマイクロ波による処理で無害化さ
れる。マルチアークプラズマは、印加電圧に高電圧パル
ス及び/又はマイクロ波が重畳されており、マイクロ波
は回転場を形成している。このため、本実施形態でも高
い処理効率が得られる。
【0076】マルチアークプラズマ及びマイクロ波の照
射により、ルツボ80内の第3被処理物Zは上方から順
に溶融する。第3被処理物Zの溶融を放置すると、第3
被処理物Zの上面は複数本の電極棒71,71・・及び
複数本のマイクロ波発射トーチ74,74・・から遠ざ
かる。そこで、ルツボ80は支持軸81による駆動で回
転しながら上昇し、電極棒71,71・・及びマイクロ
波発射トーチ74,74・・までの距離を一体に保つ。
このため、第3被処理物Zの全量が完全無害化処理され
る。また、ルツボ80の回転は、電極棒71,71・・
及びマイクロ波発射トーチ74,74・・を中心回りに
回転させるのと同じ効果を奏する。
【0077】なお、高電圧パルス及び/又はマイクロ波
が重畳されたマルチアークプラズマの照射処理やマイク
ロ波の照射処理は、上記以外にも以下のような利用が可
能である。
【0078】汚染した表土を表面からのパワー照射処理
により無害の土に再生できる。毒性の強い有機物質で汚
染されたものは、水中でマルチアークを発生させたとき
に製造されるマルチアークアーク水を散布することによ
り、解毒作用が更に高まる。汚染が深いときは例えば3
0cmずつ地面を掘り返し、パワー照射処理とアーク水
散布処理を繰り返した後、処理後の土砂を埋め戻す。こ
れにより沖縄米軍基地のように数メートルの深さにわっ
たて汚染されている場所も栽培、土地造成等に利用でき
る。
【0079】重油を含む海洋浮遊汚染物質もこのパワー
照射処理により無害化される上に、飼料、肥料等の有用
な資源となる。パワー照射装置を処理船に搭載すれば、
簡単である。
【0080】最近、種々の菌に汚染された牛、豚、羊、
鶏等の家畜の処分が不十分で、これによる地球レベルで
の環境ホルモンの異常な悪化が問題にされているが、こ
のパワー照射処理によれば安全な大量処分が可能とな
り、処理した後のものは飼料、肥料等としての利用が可
能である。
【0081】
【発明の効果】以上に説明した通り、本発明の請求項1
に係るアークプラズマ発生方法は、マルチアークプラズ
マ中に高電圧パルス及び/又はマイクロ波を与えること
により、少ない投入エネルギーでアークプラズマのエネ
ルギーを効果的に増強し、そのアークプラズマによる物
質処理効率を高める。従って、同一予算内でより多くの
量の処理を可能にする。
【0082】本発明の請求項2に係るアークプラズマ発
生方法は、高電圧パルス及び/又はマイクロ波を電極印
加電圧、好ましくは多相交流電圧の各相に重畳させるこ
とにより、アークプラズマのエネルギーを簡単に且つ効
率的に増強し、簡単な装置構成で特に高い物資処理効率
を得ることができる。
【0083】本発明の請求項3に係る物質処理方法は、
マルチアークプラズマによる物質処理の段階でマイクロ
波を利用することにより、少ない投入エネルギーで処理
能力を効果的に増強し、そのアークプラズマによる物質
処理効率を高める。従って、同一予算内でより多くの量
の処理を可能にする。
【0084】本発明の請求項4に係る物質処理方法は、
複数のマイクロ波発射トーチの使用により、マイクロ波
の回転場を形成して物質に照射するので、特に高い物資
処理効率を得ることができる。
【0085】本発明の請求項5に係る物質処理方法は、
マルチアークプラズマとして、本発明の請求項1又は2
に係るアークプラズマ発生方法で発生させたアークプラ
ズマを使用するので、特に高い物資処理効率を得ること
ができる。
【0086】本発明の請求項6に係る物質処理方法は、
有害物質の無害化処理を行うので、特に大きい社会的効
果を得ることができる。
【0087】本発明の請求項7に係る物質処理装置は、
本発明の請求項3に係る物質処理方法と同様、マルチア
ークプラズマによる物質処理の段階でマイクロ波を利用
することにより、少ない投入エネルギーで処理能力を効
果的に増強し、そのアークプラズマによる物質処理効率
を高める。従って、同一予算内でより多くの量の処理を
可能にする。
【0088】本発明の請求項8に係る物質処理装置は、
本発明の請求項4に係る物質処理方法と同様、複数のマ
イクロ波発射トーチの使用により、マイクロ波の回転場
を形成して物質に照射するので、特に高い物資処理効率
を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかるアークプラズマ発生
方法に使用されるアーク発生回路の基本構成図である。
【図2】(a)は同アーク発生回路に使用されるパルス
発生回路の構成図、(b)は同パルス発生回路を使用し
たときの印加電圧の波形図、(c)は同パルス発生回路
を使用したときの合成エネルギーの波形図である。
【図3】(a)は別のパルス発生回路の構成図、(b)
は同パルス発生回路を使用したときの印加電圧の波形
図、(c)は同パルス発生回路を使用したときの合成エ
ネルギーの波形図である。
【図4】(a)はパルス発生回路に代わるマイクロ波発
生回路の構成図、(b)は同マイクロ波発生回路を使用
したときの印加電圧の波形図、(c)は同マイクロ波発
生回路を使用したときの合成エネルギーの波形図であ
る。
【図5】(a)は高電圧パルスとマイクロ波を併用した
ときの印加電圧の波形図、(b)はそのときの合成エネ
ルギーの波形図である。
【図6】(a)(b)(c)は本発明の実施形態にかか
る物質処理方法及び装置で使用されるマイクロ波照射機
構の説明図である。
【図7】本発明の実施形態にかかる物質処理装置の概略
構成図である。
【図8】図7のA−A線矢示図である。
【図9】図7のB−B線矢示図である。
【図10】図7のC−C線矢示図である。
【図11】本発明の実施形態にかかる別の物質処理装置
の概略構成図である。
【図12】図12は図11のD−D線矢示図である。
【図13】(a)は従来のアークプラズマ発生方法に使
用されるアーク発生回路の基本構成図、(b)は同アー
ク発生回路を使用したときの印加電圧の波形図、(c)
は同アーク発生回路を使用したときの合成エネルギーの
波形図である。
【符号の説明】
A 第1被処理物 B 第2被処理物 Z 第3被処理物 1a,1b,1c 電極棒 2 トランス 3a,3b,3c パルス発生回路 4a,4b,4c マイクロ波発射トーチ 4′ トーチ群 10 第1処理部 11 電極棒 14 マイクロ波発射トーチ 15 ルツボ 20 第2処理部 21 電極棒 24 マイクロ波発射トーチ 30 第1導管 34 マイクロ波発射トーチ 35 搬送機 40 第2導管 41 電極棒 44 マイクロ波発射トーチ 50 最終容器 60 第3導管 64 マイクロ波発射トーチ 70 炉体 71 電極棒 74 マイクロ波発射トーチ 80 ルツボ 81 支持軸

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 先端を所定の間隔で突き合わせて中心線
    の周囲に対称的に配置した複数本の電極棒に位相が異な
    る電圧を印加して、複数本の電極棒から非移行性のアー
    クプラズマを発生させるアークプラズマ発生方法におい
    て、前記アークプラズマに高電圧パルス成分及び/又は
    マイクロ波成分を付加することを特徴とするアークプラ
    ズマ発生方法。
  2. 【請求項2】 アークプラズマに高電圧パルス成分及び
    /又はマイクロ波成分を付加するために、複数本の電極
    棒に印加される電圧に高電圧パルス及び/又はマイクロ
    波を重畳させることを特徴とする請求項1に記載のアー
    クプラズマ発生方法。
  3. 【請求項3】 先端を所定の間隔で突き合わせて中心線
    の周囲に対称的に配置した複数本の電極棒に位相が異な
    る電圧を印加して、複数本の電極棒から非移行性のアー
    クプラズマを発生させ、そのアークプラズマを物質に照
    射して物質を処理する物質処理方法において、前記物質
    にマイクロ波を照射することを特徴とする物質処理方
    法。
  4. 【請求項4】 前記マイクロ波は、複数のマイクロ波発
    射トーチの使用により回転場を形成することを特徴とす
    る請求項3に記載の物質処理方法。
  5. 【請求項5】 前記アークプラズマは、請求項1又は2
    に記載のアークプラズマ発生方法により発生させたアー
    クプラズマであることを特徴とする請求項3又は4に記
    載の物質処理方法。
  6. 【請求項6】 前記アークプラズマ及びマイクロ波の照
    射により前記物質を無害化処理することを特徴とする請
    求項3、4又は5に記載の物質処理方法。
  7. 【請求項7】 先端を所定の間隔で突き合わせて中心線
    の周囲に対称的に配置した複数本の電極棒に位相が異な
    る電圧を印加して、複数本の電極棒から非移行性のアー
    クプラズマを発生させ、そのアークプラズマを物質に照
    射するプラズマ照射手段と、前記物質にマイクロ波を照
    射するマイクロ波照射手段とを備えたことを特徴とする
    物質処理装置。
  8. 【請求項8】 前記マイクロ波照射手段は、複数のマイ
    クロ波発射トーチによりマイクロ波の回転場を形成して
    前記物質に照射することを特徴とする請求項7に記載の
    物質処理装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170131520A (ko) * 2015-03-23 2017-11-29 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 직접 상향 변환을 이용한 마이크로파 필드의 회전 주파수에 대한 디지털 제어를 갖는 플라즈마 반응기

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JP2018510475A (ja) * 2015-03-23 2018-04-12 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated ダイレクトアップコンバージョンを用いてマイクロ波フィールドの回転周波数をデジタル制御するプラズマリアクタ
US10453655B2 (en) 2015-03-23 2019-10-22 Applied Materials, Inc. Plasma reactor having digital control over rotation frequency of a microwave field with direct up-conversion
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KR102520868B1 (ko) * 2015-03-23 2023-04-13 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 직접 상향 변환을 이용한 마이크로파 필드의 회전 주파수에 대한 디지털 제어를 갖는 플라즈마 반응기

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