JP2001105641A - Thermal print head and manufacturing method thereof - Google Patents

Thermal print head and manufacturing method thereof

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JP2001105641A
JP2001105641A JP28341599A JP28341599A JP2001105641A JP 2001105641 A JP2001105641 A JP 2001105641A JP 28341599 A JP28341599 A JP 28341599A JP 28341599 A JP28341599 A JP 28341599A JP 2001105641 A JP2001105641 A JP 2001105641A
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JP
Japan
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glaze layer
thermal
layer
printing
print head
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JP28341599A
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Japanese (ja)
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Takumi Yamade
琢巳 山出
Hiroaki Hayashi
浩昭 林
Toshiyuki Fujita
俊幸 藤田
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Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/315Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
    • B41J2/32Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
    • B41J2/335Structure of thermal heads
    • B41J2/33555Structure of thermal heads characterised by type
    • B41J2/3357Surface type resistors

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal print head capable of maintaining printing in good condition and effectively preventing a thin film of a protection layer from being peeled. SOLUTION: There is disclosed a thermal print head wherein heat accumulating glaze layers 20A, 20B are formed on a printing portion P on a surface of a substrate 10 and a predetermined plane region S isolated therewith, respectively, a heating resistor 30 and an electrode layer 40 are formed on the heat accumulating glaze layers 20A, 20B as conductors, and a protection layer 50 is formed on the surface of the substrate 10 so as to cover the heat accumulating glaze layers 20A, 20B and the conductors 30, 40. The heat accumulating glaze layers 20A, 20B on the printing portion P and plane region S are formed to be continuously integrated with a glaze lower position layer 20C which is lower than the highest sections 20Aa, 20Ba of the heat accumulating glaze layers 20A, 20B.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本願発明は、たとえばカード
や厚紙などに印刷するためのサーマルプリントヘッド、
およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermal print head for printing on, for example, a card or cardboard,
And its manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】サーマルプリンタ用のサーマルプリント
ヘッドには、大別して厚膜型と薄膜型のものがあるが、
そのうちの薄膜型のサーマルプリントヘッドの一例を図
7に示す。この図7に示す薄膜型のサーマルプリントヘ
ッドは、基板100の表面における印刷部位Pと、その
部位Pから離隔して駆動IC(図示省略)などが搭載さ
れる平面領域Sに分けて蓄熱グレーズ層200A,20
0Bを印刷成膜法などにより膨隆形成したものである。
これらの蓄熱グレーズ層200A,200Bの上には、
導体としての発熱抵抗体300や電極層400がスパッ
タリング法により形成される一方、さらに基板100の
表面上から蓄熱グレーズ層200A,200Bおよび電
極層400などを覆うように保護層500がスパッタリ
ング法によって形成されている。
2. Description of the Related Art Thermal print heads for thermal printers are roughly classified into a thick film type and a thin film type.
FIG. 7 shows an example of a thin film type thermal print head. The thermal print head of the thin film type shown in FIG. 7 is divided into a printing area P on the surface of the substrate 100 and a plane area S which is separated from the area P and on which a driving IC (not shown) is mounted. 200A, 20
OB is formed by bulging by a printing film forming method or the like.
On these thermal storage glaze layers 200A, 200B,
The heating resistor 300 as a conductor and the electrode layer 400 are formed by the sputtering method, and the protective layer 500 is formed by the sputtering method so as to cover the heat storage glaze layers 200A and 200B and the electrode layer 400 from the surface of the substrate 100. Have been.

【0003】特に、印刷部位Pにおける蓄熱グレーズ層
200Aは、印刷対象物に対して接触面圧を向上させる
ために、他方の平面領域Sにおける蓄熱グレーズ層20
0Bとは別にされ、畝状に膨隆した部分グレーズ層とし
て形成されている。一方、最外層となる保護層500
は、スパッタリング法によって薄膜形成されたものであ
り、この保護層500の印刷部位P付近が蓄熱グレーズ
層200Aの形状に応じて部分的に膨隆したかたちとさ
れている。なお、蓄熱グレーズ層200A,200B厚
みは、せいぜい数十μm程度である。
[0003] In particular, the thermal storage glaze layer 200A in the printing area P has a thermal storage glaze layer 200 in the other flat area S in order to improve the contact surface pressure with respect to the printing object.
Apart from OB, it is formed as a partial glaze layer bulging in a ridge shape. On the other hand, the outermost protective layer 500
Is formed as a thin film by a sputtering method, and the vicinity of the printing portion P of the protective layer 500 is partially bulged in accordance with the shape of the heat storage glaze layer 200A. Note that the thickness of the heat storage glaze layers 200A and 200B is at most about several tens of μm.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ここで、蓄熱グレーズ
層200A,200Bは、印刷成膜法などによって平坦
な基板100の表面に部分形成された後、焼成、冷却を
経て基板100と一体化されている。ところが、蓄熱グ
レーズ層200A,200Bを焼成する際には、100
0℃以上もの高温にさらされ、そうした高温状態から冷
却すると、厚みに応じた冷却効果の違いから、もっとも
厚い部分の最上部200Aa,200Baに対して図7
に符号Xで示すしだいに薄くなる裾部分に微小な結晶が
析出してしまっていた。このような結晶がある裾部分X
の上に保護層500などを形成したのでは、その付近に
おける保護層500の表面が凹凸状となって粗くなり、
印刷部位Pにおいて保護層500に密接しながら摺動す
るたとえばカードや厚紙などの印刷状態に悪影響を及ぼ
す問題があった。
Here, the heat storage glaze layers 200A and 200B are partially formed on the surface of the flat substrate 100 by a printing film forming method or the like, and then integrated with the substrate 100 through firing and cooling. ing. However, when firing the heat storage glaze layers 200A and 200B, 100
When exposed to a high temperature of 0 ° C. or more, and cooled from such a high temperature state, the cooling effect depending on the thickness causes a difference between the thickest portions 200Aa and 200Ba as shown in FIG.
In this case, fine crystals were deposited on the skirt portion gradually becoming thinner as indicated by the symbol X. Hem part X with such crystals
When the protective layer 500 and the like are formed thereon, the surface of the protective layer 500 in the vicinity thereof becomes uneven and rough,
There is a problem that, for example, the printing state of a card, cardboard, or the like that slides while closely contacting the protective layer 500 at the printing portion P is adversely affected.

【0005】一方、たとえば印刷部位Pにおける保護層
500は、先述したようにその下層にある蓄熱グレーズ
層200Aの形状にならってスパッタリング法により畝
状に形成される。つまり、蓄熱グレーズ層200A,2
00Bの裾部分Xから下地となる基板100の表面にか
けては、図7に示すように水平面に対して傾斜状態から
急に水平状態とされ、保護層500をスパッタリング法
によって薄膜形成する際には、下地ごとに対して垂直な
方向に堆積成長していくという、いわゆるステップカバ
レッジ成長によってその裾部分X付近に断裂部500A
を結晶とは別に生じてしまっていた。このような断裂部
500Aは、保護層500が膜剥がれを起こす原因とな
り、特に印刷対象物が摺動する印刷部位Pでは、保護層
500に対して印刷対象物からの密接力が強く作用する
ことから、断裂部500Aを起点として保護層500が
剥がれやすくなる問題があった。
On the other hand, for example, the protective layer 500 at the printing portion P is formed in a ridge shape by sputtering according to the shape of the heat storage glaze layer 200A below it as described above. That is, the thermal storage glaze layers 200A, 2
From the skirt portion X of 00B to the surface of the substrate 100 serving as a base, as shown in FIG. 7, the state is rapidly changed from an inclined state to a horizontal plane, and when the protective layer 500 is formed into a thin film by a sputtering method, A so-called step coverage growth in which the growth is performed in a direction perpendicular to each base, that is, a tear portion 500A is formed near the foot X of the base.
Was generated separately from the crystal. Such a rupture portion 500A causes the protective layer 500 to peel off the film. In particular, in the printing portion P where the print target slides, the close contact force from the print target acts on the protective layer 500. Therefore, there was a problem that the protective layer 500 was easily peeled from the rupture part 500A as a starting point.

【0006】そこで、本願発明は、上記した事情のもと
で考え出されたものであって、印刷対象物に対する印刷
状態を良好に保つことができるとともに、いわゆるステ
ップカバレッジ成長による断裂部からの膜剥がれを防止
することができるサーマルプリントヘッド、およびその
製造方法を提供することをその課題とする。
Accordingly, the present invention has been conceived in view of the above-mentioned circumstances, and it is possible to maintain a good printing state on an object to be printed, and to obtain a film from a rupture portion due to so-called step coverage growth. It is an object of the present invention to provide a thermal print head capable of preventing peeling and a method for manufacturing the same.

【0007】[0007]

【発明の開示】上記課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
DISCLOSURE OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention employs the following technical means.

【0008】すなわち、本願発明の第1の側面により提
供されるサーマルプリントヘッドは、基板の表面におけ
る印刷部位と、その部位から離隔した所定の平面領域に
蓄熱グレーズ層を膨隆形成し、これらの蓄熱グレーズ層
の上に導体を形成する一方、さらに上記基板の表面上か
ら上記蓄熱グレーズ層および導体を覆うように保護層を
形成して得られるサーマルプリントヘッドであって、上
記印刷部位と平面領域における上記蓄熱グレーズ層は、
それらの最上部より低いグレーズ低位層と一体となって
互いに連ねられていることを特徴としている。
That is, in the thermal print head provided by the first aspect of the present invention, a thermal storage glaze layer is bulged and formed in a printing area on a surface of a substrate and a predetermined plane area separated from the area. A thermal printhead obtained by forming a conductor on the glaze layer, and further forming a protective layer on the surface of the substrate so as to cover the heat storage glaze layer and the conductor, wherein The thermal storage glaze layer,
It is characterized in that it is integrally connected to the lower glaze layer lower than the uppermost portion thereof.

【0009】なお、上記平面領域には、上記導体と電気
的に接続された駆動チップが搭載されている構成とする
ことができる。このような構成によれば、印刷部位にお
ける導体を駆動チップにより選択的に通電状態として発
熱駆動させることができ、そのような駆動チップを一体
的に備えたサーマルプリントヘッドとすることができ
る。
It is to be noted that a driving chip electrically connected to the conductor may be mounted on the plane area. According to such a configuration, it is possible to selectively heat the conductors in the printing area by the drive chips and to drive the heat generation, thereby providing a thermal print head integrally provided with such drive chips.

【0010】また、本願発明の第2の側面により提供さ
れるサーマルプリントヘッドの製造方法は、基板の表面
における印刷部位と、その部位から離隔した所定の平面
領域に蓄熱グレーズ層を膨隆形成し、これらの蓄熱グレ
ーズ層の上に導体を形成する一方、さらに上記基板の表
面上から上記蓄熱グレーズ層および導体を覆うように保
護層を形成して得られるサーマルプリントヘッドの製造
方法であって、上記印刷部位と平面領域における上記蓄
熱グレーズ層を形成する際には、それらの最上部より低
いグレーズ低位層を一体として互いに連続するように形
成することを特徴としている。
A method for manufacturing a thermal print head according to a second aspect of the present invention includes forming a thermal storage glaze layer in a printed area on a surface of a substrate and a predetermined plane area separated from the printed area by bulging the thermal storage glaze layer. A method for manufacturing a thermal print head obtained by forming a conductor on these thermal storage glaze layers and further forming a protective layer on the surface of the substrate to cover the thermal storage glaze layer and the conductor, When forming the thermal storage glaze layer in the printing region and the planar region, the glaze lower layer lower than the uppermost portion thereof is integrally formed so as to be continuous with each other.

【0011】上記技術的手段が講じられた第1の側面に
よるサーマルプリントヘッド、または第2の側面による
サーマルプリントヘッドの製造方法では、基板の表面に
おける印刷部位と所定の平面領域のみならず、これらの
印刷部位と平面領域における蓄熱グレーズ層が連続する
ように、ある程度の厚みを有するグレーズ低位層によっ
て一体化されている。要するに、印刷部位と平面領域で
は、所定の厚みをもって膨隆した蓄熱グレーズ層が存在
する一方、これらの印刷部位と平面領域との間にも、そ
れらに連続しつつも厚みの薄いグレーズ低位層が介在し
た状態とされるのである。
In the method of manufacturing a thermal print head according to the first aspect or the thermal print head according to the second aspect, in which the above technical means have been taken, not only the printing portion and the predetermined plane area on the surface of the substrate, but also Is integrated by a lower glaze layer having a certain thickness so that the heat storage glaze layer in the printing region and the plane region is continuous. In short, the thermal storage glaze layer having a predetermined thickness is present in the print portion and the flat region, while the glaze lower layer having a small thickness is continuous between the print portion and the flat region. It is in a state of having done.

【0012】したがって、本願発明の第1の側面にかか
るサーマルプリントヘッド、または第2の側面にかかる
サーマルプリントヘッドの製造方法によれば、印刷部位
および平面領域における蓄熱グレーズ層を高温状態で焼
成した後、冷却などすることによって膨隆形成する際、
ある程度の厚みを有したグレーズ低位層が蓄熱グレーズ
層と一体となって形成されるので、最低でもグレーズ低
位層分の厚みをかせぐことで厚みの相異からグレーズ層
に生じる結晶析出を防止することができ、蓄熱グレーズ
層の上に形成される保護層をなめらかな表面として印刷
対象物に対しての印刷状態を良好に保つことができる。
また、印刷部位から平面領域にわたる蓄熱グレーズ層
は、グレーズ低位層を介してなめらかに連なった状態に
あるので、たとえばスパッタリング法などによって保護
層を薄膜形成する場合、その下地である蓄熱グレーズ層
およびグレーズ低位層に対しても、いわゆるステップカ
バレッジ成長による断裂を生じることもなく、保護層を
均一に堆積成長させることができ、そのようなステップ
カバレッジ成長による断裂を原因とした保護層の膜剥が
れを防止することができる。
Therefore, according to the method for manufacturing a thermal print head according to the first aspect or the thermal print head according to the second aspect of the present invention, the heat storage glaze layer in the printing portion and the flat region is fired at a high temperature. Later, when forming a bulge by cooling, etc.,
Since the lower glaze layer with a certain thickness is formed integrally with the heat storage glaze layer, it is necessary to use at least the thickness of the lower glaze layer to prevent crystal precipitation occurring in the glaze layer due to differences in thickness. As a result, the protective layer formed on the heat storage glaze layer can be used as a smooth surface to maintain a good printing state on the printing target.
Further, since the thermal storage glaze layer extending from the printing portion to the plane area is in a state of being smoothly connected via the glaze lower layer, for example, when the protective layer is formed as a thin film by a sputtering method or the like, the thermal storage glaze layer and the glaze which are the bases are formed. Even for the lower layer, the protective layer can be uniformly deposited and grown without causing breakage due to so-called step coverage growth, and the peeling of the protective layer caused by such breakage due to the step coverage growth is prevented. can do.

【0013】上記第1の側面にかかるサーマルプリント
ヘッドの好ましい実施の形態としては、上記グレーズ低
位層は、上記蓄熱グレーズ層の最上部から緩やかに連続
一体となって裾野状に形成されている構成とすることが
できる。
In a preferred embodiment of the thermal print head according to the first aspect, the lower glaze layer is formed so as to be gently and continuously integrated from the uppermost portion of the thermal storage glaze layer in a skirt shape. It can be.

【0014】また、上記第2の側面にかかるサーマルプ
リントヘッドの製造方法の好ましい実施の形態として
は、上記グレーズ低位層は、上記蓄熱グレーズ層の最上
部から緩やかに連続一体となって裾野状に形成される構
成とすることができる。
In a preferred embodiment of the method for manufacturing a thermal print head according to the second aspect, the lower glaze layer is gently and continuously integrated from the uppermost portion of the thermal storage glaze layer to form a skirt. A configuration may be formed.

【0015】このような構成によれば、印刷部位から平
面領域にわたる蓄熱グレーズ層は、それらの最上部から
緩やかに連続一体となった裾野状のグレーズ低位層を介
してなめらかに連なった状態にあるので、これらの蓄熱
グレーズ層およびグレーズ低位層を下地として保護層を
堆積成長させる際には、ステップカバレッジ成長をより
効果的に防止することができ、保護層の膜剥がれを確実
に防止することができる。
According to such a configuration, the heat storage glaze layer extending from the printing portion to the plane region is in a state of being smoothly connected from the uppermost portion thereof through a flared lower glaze layer which is gradually and continuously integrated. Therefore, when depositing and growing the protective layer using the thermal storage glaze layer and the lower glaze layer as a base, the step coverage growth can be more effectively prevented, and the peeling of the protective layer can be reliably prevented. it can.

【0016】さらに、上記第2の側面にかかるサーマル
プリントヘッドの製造方法の他の好ましい実施の形態と
しては、上記蓄熱グレーズ層およびグレーズ低位層は、
上記基板の表面全体にわたってグレーズ層を形成した
後、上記印刷部位および平面領域以外の部分から所定の
厚み分をエッチングにより除去してさらに焼成すること
で形成される構成とすることができる。
Further, as another preferred embodiment of the method for manufacturing a thermal print head according to the second aspect, the thermal storage glaze layer and the glaze lower layer include:
After the glaze layer is formed over the entire surface of the substrate, a predetermined thickness may be removed from portions other than the printing portion and the flat region by etching, and the structure may be further baked.

【0017】このような構成によれば、蓄熱グレーズ層
およびグレーズ低位層を連続的に一体として形成するこ
とができ、しかも、ある程度の厚みとなめらかな表面と
を有するグレーズ層によって基板の表面全体が覆われる
ので、結晶の析出やステップカバレッジ成長が基板の表
面全体にわたって皆無とされ、印刷対象物に対しての印
刷状態を全面にわたって良好に保つことができるととも
に、保護層の膜剥がれを効果的に防止することができ
る。
According to such a configuration, the heat storage glaze layer and the lower glaze layer can be formed continuously and integrally, and the entire surface of the substrate is formed by the glaze layer having a certain thickness and a smooth surface. Because it is covered, crystal precipitation and step coverage growth are completely eliminated over the entire surface of the substrate, and the printing state on the printing object can be kept good over the entire surface, and the film peeling of the protective layer can be effectively prevented. Can be prevented.

【0018】本願発明のその他の特徴および利点につい
ては、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明
らかになるであろう。
Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments of the present invention.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について、図面を参照して具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【0020】図1は、本願発明にかかるサーマルプリン
トヘッドの一実施形態を示した断面図、図2は、図1の
矢印Pが指す部分を上面側から示した平面図である。な
お、図2においては、図1の符号50で示される保護層
が省略されている。また、各図においては、サーマルプ
リントヘッドの外形全体を示さないが、このサーマルプ
リントヘッドは、たとえばカードや厚紙などいった印刷
対象物に応じて縦長状の外形を有するとともに、長手方
向(図1に対して貫通する方向、または図2の左右方
向)に沿って同一のパターンを有したものである。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a thermal print head according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing a portion indicated by an arrow P in FIG. In FIG. 2, the protective layer denoted by reference numeral 50 in FIG. 1 is omitted. Further, in each of the drawings, the entire outer shape of the thermal print head is not shown. However, the thermal print head has a vertically long outer shape in accordance with a printing target such as a card or cardboard and has a longitudinal direction (FIG. 1). (The left and right directions in FIG. 2).

【0021】図1および図2に示すように、本願発明に
かかるサーマルプリントヘッドは、矢印Pで指し示され
る部位を印刷部位とし、その印刷部位Pからある程度離
れた平面領域Sに図示しない駆動ICなどを搭載した、
いわゆる薄膜型のタイプに属するものである。このサー
マルプリントヘッドは、基板10、蓄熱グレーズ層20
A,20B、グレーズ低位層20C、導体としての発熱
抵抗体30、同じく導体としての電極層40、および保
護層50などを具備して概略構成されている。このよう
なサーマルプリントヘッドを印刷時に使用する際には、
図1によく示すように、プラテンローラCに印刷部位P
を圧接させた状態とし、それらの間に印刷対象物Mを差
し挟むようにして印刷が行われる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the thermal printhead according to the present invention has a portion indicated by an arrow P as a printing portion, and a driving IC (not shown) in a plane area S which is somewhat away from the printing portion P. Equipped with,
It belongs to the so-called thin film type. The thermal print head includes a substrate 10, a thermal storage glaze layer 20.
A, 20B, a lower glaze layer 20C, a heating resistor 30 as a conductor, an electrode layer 40 also as a conductor, a protective layer 50, and the like. When using such a thermal printhead for printing,
As is well shown in FIG.
Are pressed against each other, and printing is performed such that the printing target M is inserted between them.

【0022】さらに本実施形態にかかるサーマルプリン
トヘッドについて詳しく説明すると、たとえばアルミナ
セラミックなどでできた基板10の表面全体には、図1
によく示すように、印刷部位Pと平面領域Sに分かれて
それぞれ最上部20Aa,20Baを有する蓄熱グレー
ズ層20A,20Bが膨隆形成されているとともに、こ
れらの印刷部位Pと平面領域Sとの間にも、最上部20
Aa,20Baより低いグレーズ低位層20Cが蓄熱グ
レーズ層20A,20Bと一体となって連続形成されて
いる。この印刷部位Pにおける蓄熱グレーズ層20A
は、印刷対象物Mに対して接触面圧を向上させるため
に、平面領域Sとは分けて部分的に膨隆形成されたもの
である。また、グレーズ低位層20Cは、図1によく示
すように、印刷部位Pから平面領域Sにかけて蓄熱グレ
ーズ層20A,20Bの最上部20Aa,20Baから
緩やかに連続一体となって裾野状に形成されている。な
お、蓄熱グレーズ層20A,20Bおよびグレーズ低位
層20Cの形成方法については、後述の製造方法に説明
を委ねる。
The thermal print head according to this embodiment will be described in detail. For example, the entire surface of a substrate 10 made of alumina ceramic or the like is shown in FIG.
As shown in FIG. 2, thermal storage glaze layers 20A and 20B having uppermost portions 20Aa and 20Ba are respectively formed by being divided into a print region P and a plane region S, and a bulge is formed between the print region P and the plane region S. Also, the top 20
The lower glaze layer 20C lower than Aa and 20Ba is continuously formed integrally with the heat storage glaze layers 20A and 20B. The heat storage glaze layer 20A at the printing portion P
Is formed to be partially bulged separately from the plane region S in order to improve the contact surface pressure with respect to the printing object M. As shown in FIG. 1, the lower glaze layer 20 </ b> C is formed gradually and continuously from the uppermost portions 20 </ b> Aa, 20 </ b> Ba of the thermal storage glaze layers 20 </ b> A, 20 </ b> B from the printing portion P to the planar region S in a skirt shape. I have. The method of forming the heat storage glaze layers 20A and 20B and the lower glaze layer 20C will be described later in a manufacturing method.

【0023】蓄熱グレーズ層20A,20Bおよびグレ
ーズ低位層20Cの表面には、線状の発熱抵抗体30が
等ピッチ間隔Tをもって多数形成されている。このピッ
チ間隔Tが印刷解像度を決定する。さらに、各発熱抵抗
体30の上に重なるようにして線状の電極層40が多数
形成されており、これらの電極層40が平面領域Sに搭
載された駆動ICと電気的に接続されている。一方、印
刷部位Pにおける電極層40の所定部分には、下層側の
発熱抵抗体30に達する小孔40aが開けられている。
つまり、駆動ICにより電極層40が選択的に通電され
ると、通電した電極層40に接する発熱抵抗体30が発
熱する。そして発熱抵抗体30から生じた熱は、蓄熱グ
レーズ層20A,20Bなどで断熱されつつ、電極層4
0の小孔40aを通じて外部の印刷対象物Mに伝わり、
その結果、印刷対象物Mに印刷が施されるのである。
On the surfaces of the heat storage glaze layers 20A and 20B and the lower glaze layer 20C, a large number of linear heating resistors 30 are formed at equal pitch intervals T. This pitch interval T determines the printing resolution. Further, a large number of linear electrode layers 40 are formed so as to overlap on the respective heating resistors 30, and these electrode layers 40 are electrically connected to the driving IC mounted on the plane area S. . On the other hand, a small hole 40a reaching the lower heating resistor 30 is formed in a predetermined portion of the electrode layer 40 in the printing portion P.
That is, when the electrode layer 40 is selectively energized by the drive IC, the heating resistor 30 in contact with the energized electrode layer 40 generates heat. The heat generated from the heating resistor 30 is insulated by the heat storage glaze layers 20A and 20B and the like, while the electrode layer 4 is insulated.
0 to the external print object M through the small hole 40a,
As a result, the print target M is printed.

【0024】さらに、基板10の表面全体にわたって
は、蓄熱グレーズ層20A,20Bおよびグレーズ低位
層20C、ならびに導体としての発熱抵抗体30および
電極層40を覆うようにして保護層50が形成されてい
る。この保護層50は、印刷部位Pなどにおいて印刷対
象物Mが電極層40に直接触れないように設けられたも
のであり、印刷対象物Mは、保護層50に密接しながら
摺動可能とされている。
Further, over the entire surface of the substrate 10, a protective layer 50 is formed so as to cover the heat storage glaze layers 20A and 20B and the lower glaze layer 20C, the heating resistor 30 as a conductor, and the electrode layer 40. . The protection layer 50 is provided so that the printing target M does not directly touch the electrode layer 40 at the printing portion P or the like. The printing target M is slidable while being in close contact with the protection layer 50. ing.

【0025】次に、上記構成を有するサーマルプリント
ヘッドの製造方法について図面を参照して説明する。
Next, a method of manufacturing the thermal print head having the above configuration will be described with reference to the drawings.

【0026】図3ないし図6は、本願発明にかかるサー
マルプリントヘッドの製造方法について、各工程を説明
するために示した説明図である。
FIG. 3 to FIG. 6 are explanatory views showing the steps of the method for manufacturing a thermal print head according to the present invention.

【0027】まず、図3に示すように、基板10の表面
全体には、印刷成膜法などによって成膜を施し、たとえ
ば1300℃程度の焼成などを経ることで均一な厚みT
n1のグレーズ層20を形成する。その厚みTn1は、
たとえば80μm程度である。
First, as shown in FIG. 3, a film is formed on the entire surface of the substrate 10 by a printing film forming method or the like, and is baked at, for example, about 1300.degree.
An n1 glaze layer 20 is formed. The thickness Tn1 is
For example, it is about 80 μm.

【0028】次に、図4に示すように、グレーズ層20
は、印刷部位Pと平面領域Sに相当する部分に分けられ
る。この図に示すような断面形状のグレーズ層20は、
マスクを用いたフォトエッチングなどによって不要部分
を除去することで形成される。なお、この際には、不要
部分が完全に除去されるのではなく、たとえば20〜3
0μm程度の厚みTn2が残された状態とされる。ま
た、エッチング直後の状態では、印刷部位Pと平面領域
Sとの間などに比較的角張った凹部Hが形成される。こ
の凹部Hが後述するグレーズ低位層20Cに相当するこ
ととなる。
Next, as shown in FIG.
Is divided into a portion corresponding to a print portion P and a plane region S. The glaze layer 20 having a sectional shape as shown in FIG.
It is formed by removing unnecessary portions by photo-etching using a mask or the like. At this time, the unnecessary portion is not completely removed, but may be 20 to 3 for example.
The thickness Tn2 of about 0 μm is left. In a state immediately after the etching, a relatively angular concave portion H is formed between the print portion P and the plane region S. This concave portion H corresponds to a glaze lower layer 20C described later.

【0029】さらに、エッチングされた後のグレーズ層
20は、再び焼成を経て冷却されることで、図5に示す
ような印刷部位Pと平面領域Sとで最も厚く膨隆した蓄
熱グレーズ層20A,20Bと、これらの蓄熱グレーズ
層20A,20Bと一体となって比較的薄いグレーズ低
位層20Cが形成される。この際、熱特性の異なる基板
10とグレーズ層20とが接した状態で焼成され、図3
に示す角張った形状の凹部Hがしだいになめらかな表面
形状とされるが、基板10の表面に最も近い凹部Hで
も、グレーズ低位層20Cの厚みTn2が存在すること
から、グレーズ層20全体にわたって一様な温度変化が
もたらされる。つまり、蓄熱グレーズ層20A,20B
の最上部20Aa,20Baからグレーズ低位層20C
にかけてしだいに薄くなる裾部分Yにおいても、部分的
に急激な温度変化が生じることはなく、この裾部分Yに
結晶析出といった不具合が生じることはない。なお、印
刷部位Pの蓄熱グレーズ層20Aと平面領域Sの蓄熱グ
レーズ層20Bとは、グレーズ低位層20Cを介してな
めらかに連なっていることから、印刷部位Pにおける蓄
熱グレーズ層20Aの表面に沿う長手方向のうねりを、
0.5μm/mm以下に抑えることができ、これによ
り、プラスチックカードなどの硬質の印刷対象物Mに対
する印刷を良好なものとすることができる。
Further, the glaze layer 20 after the etching is cooled again after baking, so that the thermal storage glaze layers 20A, 20B which are thickest and bulge at the print portion P and the plane region S as shown in FIG. Then, a relatively thin glaze lower layer 20C is formed integrally with the heat storage glaze layers 20A and 20B. At this time, firing is performed in a state where the substrate 10 and the glaze layer 20 having different thermal characteristics are in contact with each other.
Although the concave portion H having an angular shape shown in FIG. 4 has a gradually smoother surface shape, even the concave portion H closest to the surface of the substrate 10 has a thickness Tn2 of the lower glaze layer 20C, and therefore, the entire glaze layer 20 has a flat surface. Such a temperature change is caused. That is, the heat storage glaze layers 20A, 20B
From the uppermost portions 20Aa and 20Ba to the lower glaze layer 20C
Even in the skirt portion Y that gradually becomes thinner, a rapid temperature change does not occur partially, and no trouble such as crystal precipitation occurs in the skirt portion Y. In addition, since the heat storage glaze layer 20A of the printing part P and the heat storage glaze layer 20B of the plane area S are smoothly connected via the lower glaze layer 20C, the longitudinal direction along the surface of the heat storage glaze layer 20A at the printing part P The swell of the direction,
It can be suppressed to 0.5 μm / mm or less, whereby the printing on the hard printing target M such as a plastic card can be made good.

【0030】続いて、蓄熱グレーズ層20A,20B、
およびグレーズ低位層30Cを所望の形状に形成した
後、これらの上には、図6に示すように、スパッタリン
グ法によって発熱抵抗体30および電極層40の薄膜を
全面にわたって順次積層形成し、さらにフォトリソグラ
フィ法によるエッチング処理などを経ることで、図2に
示すような線状の発熱抵抗体30および電極層40を形
成する。この際、印刷部位Pにおける電極層40の所定
箇所は、エッチング処理によって除去され、これにより
電極層40に小孔40aが開けられる。
Subsequently, the heat storage glaze layers 20A, 20B,
After the lower glaze layer 30C is formed in a desired shape, a thin film of the heating resistor 30 and the electrode layer 40 is sequentially formed over the entire surface by sputtering, as shown in FIG. By performing an etching process by a lithography method or the like, a linear heating resistor 30 and an electrode layer 40 as shown in FIG. 2 are formed. At this time, a predetermined portion of the electrode layer 40 in the printing portion P is removed by an etching process, whereby a small hole 40a is formed in the electrode layer 40.

【0031】導体としての発熱抵抗体30および電極層
40を形成した後、最終的には、図1に示すように、こ
れらの導体を覆いつつ蓄熱グレーズ層20A,20Bお
よびグレーズ低位層30Cの表面全体を覆うように、ス
パッタリング法によって保護層50が薄膜形成される。
この際、保護層50は、下地となる蓄熱グレーズ層20
A,20Bおよびグレーズ低位層30Cの表面に対して
垂直上方に堆積成長していくことで、これらのグレーズ
層の表面にならった形状に形成される。つまり、保護層
50は、印刷部位Pと平面領域Sとの間でなだらかに落
ち込むような様相を呈する。そのため、保護層50の形
成に際しては、蓄熱グレーズ層20A,20Bの最上部
20Aa,20Baからグレーズ低位層20Cにかけて
しだいに薄くなる裾部分Yでもなだらかな表面形状であ
ることから、いわゆるステップカバレッジ成長による断
裂が生じることもなく、下地の形状に応じてなめらかな
表面形状で、ほぼ均一な厚みをもって連続した保護層5
0が形成されるのである。
After forming the heating resistor 30 and the electrode layer 40 as conductors, finally, as shown in FIG. 1, the surfaces of the heat storage glaze layers 20A, 20B and the lower glaze layer 30C are covered while covering these conductors. The protective layer 50 is formed as a thin film by a sputtering method so as to cover the whole.
At this time, the protective layer 50 is formed as a heat storage glaze layer 20 serving as a base.
By depositing and growing vertically upward on the surfaces of A, 20B and the lower glaze layer 30C, a shape similar to the surfaces of these glaze layers is formed. That is, the protective layer 50 has such a form that it falls smoothly between the print portion P and the plane region S. Therefore, when the protective layer 50 is formed, the hem portion Y that gradually becomes thinner from the uppermost portion 20Aa, 20Ba of the heat storage glaze layers 20A, 20B to the lower glaze layer 20C has a gentle surface shape, and is formed by so-called step coverage growth. A continuous protective layer 5 having a smooth surface shape according to the shape of the base and having a substantially uniform thickness without tearing.
0 is formed.

【0032】したがって、上記構成を有するサーマルプ
リントヘッドの製造方法によれば、印刷部位Pおよび平
面領域Sにおける蓄熱グレーズ層20A,20Bを高温
状態で焼成した後、冷却などすることによって膨隆形成
する際、ある程度の厚みTn2を有したグレーズ低位層
20Cが蓄熱グレーズ層20A,20Bと一体となって
形成されるので、基板10の表面に近いグレーズ層の部
分に生じる結晶析出を効果的に防止することができ、蓄
熱グレーズ層20A,20Bの上に形成される保護層5
0をなめらかな表面として印刷対象物Mに対しての印刷
状態を良好なサーマルプリントヘッドを得ることができ
る。
Therefore, according to the method of manufacturing a thermal print head having the above-described structure, the thermal storage glaze layers 20A and 20B in the printing area P and the plane area S are fired at a high temperature and then cooled to form a bulge. Since the lower glaze layer 20C having a certain thickness Tn2 is formed integrally with the heat storage glaze layers 20A and 20B, it is possible to effectively prevent crystal precipitation that occurs in the glaze layer near the surface of the substrate 10. Protection layer 5 formed on heat storage glaze layers 20A and 20B.
It is possible to obtain a thermal print head in which the printing state on the printing object M is good with 0 being a smooth surface.

【0033】また、印刷部位Pから平面領域Sにわたる
蓄熱グレーズ層20A,20Bは、グレーズ低位層20
Cを介してなめらかに連なった状態にあるので、スパッ
タリング法によって保護層50を薄膜形成する場合、そ
の下地である蓄熱グレーズ層20A,20Bおよびグレ
ーズ低位層20Cに対しても、いわゆるステップカバレ
ッジ成長による断裂を生じることもなく、保護層50を
均一に堆積成長させることができ、そのようなステップ
カバレッジ成長による断裂を原因とした保護層50の膜
剥がれを防止することができる。つまり、印刷部位Pの
保護層50に断裂が皆無とされることから、印刷対象物
Mの接触によってそのような断裂部分からの保護層50
の膜剥がれが生じることはなく、長期間にわたって良好
な印刷性能を維持することができる。
The heat storage glaze layers 20A and 20B extending from the printing portion P to the plane region S are formed by the low glaze layers 20A and 20B.
When the protective layer 50 is formed as a thin film by a sputtering method, the thermal storage glaze layers 20A and 20B and the lower glaze layer 20C, which are the underlying layers, are formed by the so-called step coverage growth. The protective layer 50 can be uniformly deposited and grown without causing a fracture, and the peeling of the protective layer 50 due to the fracture due to the step coverage growth can be prevented. That is, since there is no tear in the protective layer 50 at the print site P, the contact of the print object M causes the protective layer 50 from such a tear portion.
Does not occur, and good printing performance can be maintained over a long period of time.

【0034】なお、本願発明は、上述の実施形態に限定
されるものではない。
The present invention is not limited to the above embodiment.

【0035】たとえば、本実施形態とは異なるタイプの
厚膜型についても、同様の構成を採用することができ、
本実施形態と同様の効果を達成することができる。
For example, the same configuration can be adopted for a thick film type different from the present embodiment.
The same effect as that of the present embodiment can be achieved.

【0036】また、印字対象としては、カードや厚紙な
どに限られず、これら以外の普通紙などについてももち
ろん適用可能である。
The object to be printed is not limited to a card or cardboard, but can be applied to plain paper other than these.

【0037】さらに、グレーズ層の厚み寸法や形成方法
などについては、仕様に応じて適宜設計変更することが
でき、上記実施形態で示した値や印刷成膜法に限定する
ものではない。導体や保護層の形成方法についても、ス
パッタリング法に限定することなく、その他の成膜方法
を採用しても良い。
Further, the design and the thickness of the glaze layer can be appropriately changed according to the specifications, and are not limited to the values and the print film forming method described in the above embodiment. The method for forming the conductor and the protective layer is not limited to the sputtering method, and other film forming methods may be employed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本願発明にかかるサーマルプリントヘッドの一
実施形態を示した断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a thermal print head according to the present invention.

【図2】図1の矢印Pが指す部分を上面側から示した平
面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a portion pointed by an arrow P in FIG. 1 from a top surface side.

【図3】本願発明にかかるサーマルプリントヘッドの製
造方法について、一工程を説明するために示した説明図
である。
FIG. 3 is an explanatory view showing one step in a method of manufacturing a thermal print head according to the present invention.

【図4】本願発明にかかるサーマルプリントヘッドの製
造方法について、一工程を説明するために示した説明図
である。
FIG. 4 is an explanatory view showing one step in a method of manufacturing a thermal print head according to the present invention.

【図5】本願発明にかかるサーマルプリントヘッドの製
造方法について、一工程を説明するために示した説明図
である。
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining one process in the method of manufacturing a thermal print head according to the present invention.

【図6】本願発明にかかるサーマルプリントヘッドの製
造方法について、一工程を説明するために示した説明図
である。
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining one process in the method of manufacturing a thermal print head according to the present invention.

【図7】従来例として薄膜型のサーマルプリントヘッド
の一例を示した断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a thin-film type thermal print head as a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 基板 20A,20B 蓄熱グレーズ層 20Aa,20Ba 最上部 20C グレーズ低位層 30 発熱抵抗体(導体) 40 電極層(導体) 50 保護層 P 印刷部位 S 平面領域 Y 裾部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate 20A, 20B Thermal storage glaze layer 20Aa, 20Ba Uppermost 20C Glaze lower layer 30 Heating resistor (conductor) 40 Electrode layer (conductor) 50 Protective layer P Printing part S Flat area Y Foot part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 俊幸 京都市右京区西院溝崎町21番地 ローム株 式会社内 Fターム(参考) 2C065 JC09 JH05 JH10 JH12 JH14 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Toshiyuki Fujita 21 Ryozaki-cho, Saiin, Ukyo-ku, Kyoto F-term in Rohm Co., Ltd. (reference) 2C065 JC09 JH05 JH10 JH12 JH14

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板の表面における印刷部位と、その部
位から離隔した所定の平面領域に蓄熱グレーズ層を膨隆
形成し、これらの蓄熱グレーズ層の上に導体を形成する
一方、さらに上記基板の表面上から上記蓄熱グレーズ層
および導体を覆うように保護層を形成して得られるサー
マルプリントヘッドであって、 上記印刷部位と平面領域における上記蓄熱グレーズ層
は、それらの最上部より低いグレーズ低位層と一体とな
って互いに連ねられていることを特徴とする、サーマル
プリントヘッド。
1. A thermal storage glaze layer is formed in a bulging manner on a printing portion on a surface of a substrate and a predetermined plane region separated from the printing portion, and a conductor is formed on the thermal storage glaze layer. A thermal print head obtained by forming a protective layer so as to cover the thermal storage glaze layer and the conductor from above, wherein the thermal storage glaze layer in the printing region and the planar region has a lower glaze lower layer than their top. A thermal printhead, wherein the thermal printhead is integrally connected to each other.
【請求項2】 上記グレーズ低位層は、上記蓄熱グレー
ズ層の最上部から緩やかに連続一体となって裾野状に形
成されている、請求項1に記載のサーマルプリントヘッ
ド。
2. The thermal printhead according to claim 1, wherein the lower glaze layer is formed gradually and continuously from the uppermost portion of the thermal storage glaze layer into a skirt shape.
【請求項3】 上記平面領域には、上記導体と電気的に
接続された駆動チップが搭載されている、請求項1また
は請求項2に記載のサーマルプリントヘッド。
3. The thermal printhead according to claim 1, wherein a driving chip electrically connected to the conductor is mounted on the plane area.
【請求項4】 基板の表面における印刷部位と、その部
位から離隔した所定の平面領域に蓄熱グレーズ層を膨隆
形成し、これらの蓄熱グレーズ層の上に導体を形成する
一方、さらに上記基板の表面上から上記蓄熱グレーズ層
および導体を覆うように保護層を形成して得られるサー
マルプリントヘッドの製造方法であって、 上記印刷部位と平面領域における上記蓄熱グレーズ層を
形成する際には、それらの最上部より低いグレーズ低位
層を一体として互いに連続するように形成することを特
徴とする、サーマルプリントヘッドの製造方法。
4. A thermal storage glaze layer is bulged in a printing area on a surface of a substrate and a predetermined plane area separated from the printing area, and a conductor is formed on the thermal storage glaze layer. A method of manufacturing a thermal print head obtained by forming a protective layer so as to cover the thermal storage glaze layer and the conductor from above, wherein when forming the thermal storage glaze layer in the printing region and a planar region, A method for manufacturing a thermal printhead, wherein a lower glaze layer lower than the uppermost part is integrally formed so as to be continuous with each other.
【請求項5】 上記グレーズ低位層は、上記蓄熱グレー
ズ層の最上部から緩やかに連続一体となって裾野状に形
成される、請求項4に記載のサーマルプリントヘッド。
5. The thermal printhead according to claim 4, wherein the lower glaze layer is formed gradually and continuously from the uppermost portion of the thermal storage glaze layer into a skirt shape.
【請求項6】 上記蓄熱グレーズ層およびグレーズ低位
層は、上記基板の表面全体にわたってグレーズ層を形成
した後、上記印刷部位および平面領域以外の部分から所
定の厚み分をエッチングにより除去してさらに焼成する
ことで形成される、請求項4または請求項5に記載のサ
ーマルプリントヘッドの製造方法。
6. The heat storage glaze layer and the lower glaze layer are formed by forming a glaze layer over the entire surface of the substrate, removing a predetermined thickness from portions other than the printing portion and the flat region by etching, and further firing. The method of manufacturing a thermal print head according to claim 4, wherein the thermal print head is formed by:
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JP2010253739A (en) * 2009-04-23 2010-11-11 Toshiba Hokuto Electronics Corp Thermal print head and method for manufacturing the same

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