JP2001093429A - Electrode structure for gas discharge display panel - Google Patents

Electrode structure for gas discharge display panel

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JP2001093429A JP27145699A JP27145699A JP2001093429A JP 2001093429 A JP2001093429 A JP 2001093429A JP 27145699 A JP27145699 A JP 27145699A JP 27145699 A JP27145699 A JP 27145699A JP 2001093429 A JP2001093429 A JP 2001093429A
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芳彦 南山
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease deterioration of a cathode caused by spatter, to improve deterioration of the cathode and inhomogeneous discharge caused by arc discharge, to realize a safe and low-voltage discharge on the whole area of a panel, and to provide a gas discharge display panel having a long span of life. SOLUTION: In a gas discharge display panel, anodes 11 and cathodes 12 which are exposed in a discharge space 10 are faced with each other and spaced away from each other by the discharge space 10. The anodes 11 and the cathodes 12 are sealed in an air-tight container together with a gas that can be ionized so as to make the gas discharge display panel. The cathode 12 is made of mixtures of at least conductive particles which are excellent in high secondary electron discharge and spatter-resistive characteristics, and insulation particles which are excellent in low secondary electron discharge and spatter- resistive characteristics. The cathode is formed of at least two layers, one is a coating electrode 14 which has such a mixing ratio of the mixtures that the number of the conductive particles decreases toward the discharge space 10 in a distribution in the direction of a film thickness of the cathode 12, while the other is a bas electrode 13 which is arranged on an inner layer of the cathode 12.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、DC駆動型のガス
放電表示パネルの電極構造及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode structure of a gas discharge display panel of a DC drive type and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、DC駆動型のガス放電表示パネル
はNi、Al等の導電性材料が陰極として用いられた。
最近では、導電性材料の陰極基体の表面にLaB6と絶
縁体であるBaAl24を混合した物質を被覆する陰極
の構造(特開平7−230770号公報)が提案されて
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a DC-driven gas discharge display panel uses a conductive material such as Ni or Al as a cathode.
Recently, a cathode structure (Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-230770) has been proposed in which the surface of a cathode base made of a conductive material is coated with a substance obtained by mixing LaB 6 and BaAl 2 O 4 as an insulator.

【0003】図3a及び図3bは上記従来例のガス放電
表示パネルの構造を示す模式図である。このガス放電表
示パネルはプラズマアドレス表示装置(特開平1−21
7396号公報)に特開平7−230770号公報の電
極構造を適用したものである。このガス放電表示パネル
は表示セル1と放電セル2と両者の間に介在する厚み5
0μmのガラスシートからなる共通の薄板ガラス3とを
積層したフラットパネル構造を有する。
FIGS. 3A and 3B are schematic views showing the structure of the conventional gas discharge display panel. This gas discharge display panel is a plasma addressed display device (Japanese Patent Laid-Open No. 1-21).
No. 7396) to which the electrode structure of JP-A-7-230770 is applied. This gas discharge display panel has a display cell 1 and a discharge cell 2 and a thickness 5 between them.
It has a flat panel structure in which a common thin glass 3 made of a glass sheet of 0 μm is laminated.

【0004】表示セル1は透明ガラスからなる前面板4
を用いて構成されており、片面に図示しないカラーフィ
ルタ及び信号電極7が順次積層形成された前面板4と、
前面板4の片面側に設けられた薄板ガラス3とが、スペ
ーサ17を介して所定の間隔で接着され、その間隙内が
液晶層6で満たされている。信号電極7は、例えば酸化
インジウム・酸化スズからなるITO電極材料を放電セ
ルの隔壁8とは直交する方向に、カラーフィルタの各色
素列の直上に配置し、各色素列(カラーフィルタ)と略
同一寸法となるように、上記カラーフィルタ上に例えば
蒸着法やスパッタリング法によって形成した後、フォト
リソグラフィによりパターン化されたものである。
The display cell 1 has a front plate 4 made of transparent glass.
A front plate 4 in which a color filter and a signal electrode 7 (not shown) are sequentially laminated on one surface;
The thin glass 3 provided on one side of the front plate 4 is adhered at predetermined intervals via spacers 17, and the gap is filled with the liquid crystal layer 6. The signal electrode 7 is formed by disposing an ITO electrode material made of, for example, indium oxide / tin oxide, in a direction orthogonal to the partition walls 8 of the discharge cell, immediately above each dye row of the color filter, and substantially equivalent to each dye row (color filter). After being formed on the color filter by, for example, a vapor deposition method or a sputtering method so as to have the same dimensions, it is patterned by photolithography.

【0005】放電セル2は透明ガラスからなる背面板5
を用いて構成されており、背面板5上には陽極11と陰
極12が放電空間10内に露出して形成されている。陰
極12は、図3bに示すようにバス電極13と被覆電極
14から成り、バス電極13及び陽極11はAg、被覆
電極14はLaB6とBaAl24の混合物で構成され
る。なお、隔壁8は陽極11上に沿って形成されてい
る。さらに周縁部において前面板4及び背面板5の片面
が相互に向かい合う状態であり、薄板ガラス3は片面に
複数の隔壁、陽極、陰極が形成された背面板5と、シー
ル材9を用いて気密接合される。
The discharge cells 2 are made of a back plate 5 made of transparent glass.
The anode 11 and the cathode 12 are formed on the back plate 5 so as to be exposed in the discharge space 10. The cathode 12 comprises a bus electrode 13 and a coating electrode 14, as shown in FIG. 3b. The bus electrode 13 and the anode 11 are made of Ag, and the coating electrode 14 is made of a mixture of LaB 6 and BaAl 2 O 4 . The partition 8 is formed along the anode 11. Further, one surface of the front plate 4 and one surface of the back plate 5 face each other at the periphery, and the thin glass 3 is hermetically sealed using a back plate 5 having a plurality of partitions, anodes, and cathodes formed on one surface, and a sealing material 9. Joined.

【0006】また、前面板4と背面板5のそれぞれ上記
片面とは反対側の他面には図示しない互いに直交する偏
光板が配されている。
On the other side of the front plate 4 and the back plate 5 opposite to the one surface, polarizing plates (not shown) orthogonal to each other are arranged.

【0007】以上より、上記ガス放電表示パネルは背面
板5及び前面板4を薄板ガラス3を介して互いに結合
し、薄板ガラス3、背面板5、複数の隔壁8によって形
成される複数の放電空間10内に、イオン化可能なガス
を封入することで製造される。ここで、イオン化可能な
ガス種として例えばヘリウム、ネオン、アルゴン、キセ
ノン及びこれら混合ガスが封入される。
As described above, in the gas discharge display panel, the back plate 5 and the front plate 4 are connected to each other via the thin glass 3, and a plurality of discharge spaces formed by the thin glass 3, the back plate 5, and the plurality of partition walls 8. It is manufactured by encapsulating an ionizable gas in 10. Here, for example, helium, neon, argon, xenon, and a mixed gas thereof are sealed as ionizable gas species.

【0008】以上の構成において、例えば、放電空間1
0に対応する陽極11及び陰極12間に所定の電圧が印
加されると、陽極11及び陰極12がそれぞれアノー
ド、カソードとして作用し、放電空間10の部分のガス
が選択的にイオン化されてプラズマ放電が発生し、その
内部は略アノード電位に維持される。この状態で、信号
電極7にデータ電圧が印加されると、放電空間10に対
応する画素の液晶層6に薄板ガラス3を介してデータ電
圧が書き込まれる。プラズマ放電が終了すると、放電空
間10は浮遊電位となり、対応する画素の液晶層6に書
き込まれた電圧は、次の書き込み期間(例えば1フレー
ム後)まで保持される。この時、放電空間10はサンプ
リングスイッチとして機能し、各画素の液晶層6はサン
プリングキャパシターとして機能している。各画素の液
晶層6に対して信号電極7から書き込まれたデータ電圧
によって液晶が動作することから画素単位で表示が行わ
れる。従って、プラズマ放電を発生させて列方向に並ぶ
複数の画素の液晶層6にデータ電圧を書き込む一対の放
電空間を行方向に順次走査していくことで、二次元画像
の表示を行うことができる。
In the above configuration, for example, the discharge space 1
When a predetermined voltage is applied between the anode 11 and the cathode 12 corresponding to 0, the anode 11 and the cathode 12 act as an anode and a cathode, respectively, and the gas in the portion of the discharge space 10 is selectively ionized and the plasma discharge is performed. Is generated, and the inside thereof is maintained at substantially the anode potential. When a data voltage is applied to the signal electrode 7 in this state, the data voltage is written to the liquid crystal layer 6 of the pixel corresponding to the discharge space 10 via the thin glass 3. When the plasma discharge ends, the discharge space 10 becomes a floating potential, and the voltage written to the liquid crystal layer 6 of the corresponding pixel is held until the next writing period (for example, after one frame). At this time, the discharge space 10 functions as a sampling switch, and the liquid crystal layer 6 of each pixel functions as a sampling capacitor. Since the liquid crystal operates with the data voltage written from the signal electrode 7 to the liquid crystal layer 6 of each pixel, display is performed in pixel units. Accordingly, a two-dimensional image can be displayed by sequentially scanning a pair of discharge spaces in which data voltages are written to the liquid crystal layers 6 of a plurality of pixels arranged in the column direction by generating a plasma discharge in the row direction. .

【0009】図4も上記従来例のガス放電表示パネルの
構造を示す模式図である。このガス放電表示パネルはD
C駆動型のプラズマディスプレイパネル(特開平8−3
35439号公報、以下、DC−PDPと記す)であ
り、陰極材料として内層にAg、外層にAlを用いた2
層構造の例を示している。このガス放電表示パネルはガ
ラスからなる平板状の背面板5と前面板4とが互いに平
行かつ対向して配設され、この両基板4、5はその間に
設けられた隔壁8により一定の間隔に保持されている。
また、前面板4の背面側には陰極12が設けられてお
り、さらに前記陰極はバス電極13と被覆電極14の2
層構造を有している。背面板5の前面側には陽極11が
陰極12と直交するようにして設けられている。さら
に、背面板5及び隔壁8の壁面にはそれぞれの発光色に
対応した蛍光体18が形成される。したがって前面板4
と背面板5と隔壁8に囲まれる放電空間10が形成さ
れ、放電空間10にイオン化可能なガスが封入される。
また、イオン化可能なガス種として例えばヘリウム、ネ
オン、アルゴン、キセノン及びこれら混合ガスが封入さ
れる。
FIG. 4 is a schematic diagram showing the structure of the above-mentioned conventional gas discharge display panel. This gas discharge display panel is D
C-drive type plasma display panel (JP-A-8-3
No. 35439, hereinafter referred to as DC-PDP), in which Ag is used as a cathode material and Al is used as an outer layer.
2 shows an example of a layer structure. In this gas discharge display panel, a flat back plate 5 and a front plate 4 made of glass are disposed parallel to and opposed to each other, and the substrates 4 and 5 are separated at a predetermined interval by a partition wall 8 provided therebetween. Is held.
Further, a cathode 12 is provided on the back side of the front plate 4, and the cathode is a bus electrode 13 and a coating electrode 14.
It has a layered structure. An anode 11 is provided on the front side of the back plate 5 so as to be orthogonal to the cathode 12. Further, phosphors 18 corresponding to the respective emission colors are formed on the wall surfaces of the back plate 5 and the partition walls 8. Therefore, front panel 4
, A discharge space 10 surrounded by the back plate 5 and the partition 8, and an ionizable gas is sealed in the discharge space 10.
Further, for example, helium, neon, argon, xenon, and a mixed gas thereof are sealed as ionizable gas species.

【0010】このDC−PDPでは、陰極と陽極の間に
図示しない直流電源から所定の電圧を印加することによ
り放電が行われる。そして、この放電により生じる紫外
線により蛍光体18が励起され、蛍光体の種類に応じた
発光色を備えた光が、前面板4を透過して外部に放射さ
れる。この結果、表示面として前面板4に二次元画像が
表示される。
In this DC-PDP, a discharge is performed by applying a predetermined voltage from a DC power supply (not shown) between a cathode and an anode. Then, the phosphor 18 is excited by ultraviolet rays generated by the discharge, and light having an emission color corresponding to the type of the phosphor is transmitted through the front plate 4 and emitted to the outside. As a result, a two-dimensional image is displayed on the front panel 4 as a display surface.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】従来のDC駆動型ガス
放電表示パネルの放電セル構造(特開平7−23077
0号公報)には以下の課題がある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION A discharge cell structure of a conventional DC-driven gas discharge display panel (JP-A-7-23077).
No. 0) has the following problems.

【0012】特開平7−230770号公報において被
覆電極に耐スパッタ性に優れるLaB6とBaAl24
を混合した材料を用いた電極構造が開示されている。発
明者達は、上記発明を元に種々の検討を重ねた結果、放
電過程においてLaB6が積極的に放電に寄与し、Ba
Al24はほとんど放電に寄与していないことを確認し
た。すなわちLaB6のみで構成される被覆電極と比較
し、LaB6とBaAl 24を混合した材料を用いた電
極構造は放電空間に露出する被覆電極表面の放電に寄与
する領城(二次電子放出に優れるLaB6占有分)が狭
くなるため放電電流が減少し、陰極の劣化抑制に効果が
あることを我々は新たに見出した。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-230770,
LaB with excellent sputter resistance on the coated electrode6And BaAlTwoOFour
An electrode structure using a material in which is mixed is disclosed. Departure
As a result of various studies based on the above invention, the
LaB in the electricity process6Actively contributes to the discharge, and Ba
AlTwoOFourMake little contribution to the discharge
Was. That is, LaB6Compared to coated electrode consisting only of
And LaB6And BaAl TwoOFourUsing a material mixed with
The pole structure contributes to the discharge of the coated electrode surface exposed in the discharge space
Territory (LaB with excellent secondary electron emission)6Occupancy) is narrow
Discharge current decreases, which is effective in suppressing cathode deterioration.
We have found something new.

【0013】しかしながら、上記発明において誘電体で
あるBaAl24の混合割合を増やし放電電流を制限す
るほど、放電空間とバス電極間を結ぶ導電性粒子の連鎖
が途切れ易く、導通路が確保され難い。その結果、陰極
膜内部で電位差が生じアーク放電が発生する。特に陰極
の活性化工程(初期エージング)中が顕著であり、アー
ク放電の発生した場所では陰極の劣化が助長される。初
期エージング後も、初期エージング時のアーク放電によ
り陰極の劣化した部分と正常に初期化された部分では放
電特性が異なるため、放電の均一性に欠け、被覆電極全
体が正常に活性化されたものより陰極の劣化が早い。
However, in the above invention, as the mixing ratio of BaAl 2 O 4 as a dielectric is increased and the discharge current is limited, the chain of the conductive particles connecting the discharge space and the bus electrode is more likely to be broken, and the conduction path is secured. hard. As a result, a potential difference occurs inside the cathode film, and an arc discharge occurs. Particularly during the step of activating the cathode (initial aging), the deterioration of the cathode is promoted at the place where the arc discharge occurs. After initial aging, the discharge characteristics are different between the part of the cathode that has deteriorated due to the arc discharge at the time of initial aging and the part that has been properly initialized, so the uniformity of discharge is lacking and the entire coated electrode is normally activated. Deterioration of the cathode is faster.

【0014】したがって、特開平7−230770号公
報において示されるように電流を制限することでスパッ
タリングエネルギーを滅らし陰極の劣化を低減しても、
アーク放電に起因する陰極の劣化が助長され、パネル寿
命を大幅に改善することは困難である。更に放電の均一
性が損なわれ安定した表示品位が得難い。
Therefore, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-230770, even if the current is limited to reduce the sputtering energy and reduce the deterioration of the cathode,
The deterioration of the cathode due to the arc discharge is promoted, and it is difficult to greatly improve the panel life. Furthermore, uniformity of discharge is impaired, and it is difficult to obtain stable display quality.

【0015】そこで本発明は、上記問題点を鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、導電性粒子
と絶縁性粒子の混合物からなる被覆電極を、放電電流を
制限しスパッタによる陰極の劣化を低減する放電層と、
放電層とバス電極間の電気的導通を確保することでアー
ク放電を抑制し陰極の劣化を低減する導通層で構成する
ことで、放電電流を制限し陰極の劣化を抑制したまま、
バス電極と放電空間との導通路を確保し、アーク放電に
よる陰極の劣化及び放電の不均一性を改善し、画面全域
が安定且つ低電圧で放電し、長寿命なガス放電表示パネ
ルを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a coated electrode made of a mixture of conductive particles and insulating particles by limiting a discharge current to a cathode formed by sputtering. A discharge layer that reduces the deterioration of
With a conductive layer that suppresses arc discharge and reduces cathode deterioration by securing electrical conduction between the discharge layer and the bus electrode, the discharge current is limited and the cathode deterioration is suppressed,
Provide a gas discharge display panel that secures a conductive path between a bus electrode and a discharge space, improves deterioration of a cathode due to arc discharge and non-uniformity of discharge, discharges the entire screen stably at a low voltage, and has a long life. The purpose is to:

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】放電空間に露出した陽極
と陰極を、放電間隔を隔てて対向配置し、これを気密容
器内にイオン化可能なガスと共に封入してなるガス放電
表示パネルにおいて、陰極は少なくとも高二次電子放出
及び耐スパッタ性に優れる導電性粒子と、低二次電子放
出及び耐スパッタ性に優れる絶縁性粒子の混合物からな
り、両混合物の混合割合が陰極の膜厚方向の分布におい
て放電空間側ほど、導電性粒子の割合が減少する被覆電
極とバス電極の少なくとも2層で構成する。さらに、1
つの実施態様では被覆電極の一部或いは全体が以下の2
層から構成されてもよく、各層の導電性粒子と絶縁性粒
子の混合割合が、放電層で両粒子の総体積に対して導電
性粒子の体積が20%以上かつ50%未満であり、導通
層で両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積が50%
以上かつ100%未満である。1つの実施態様では導電
性粒子と絶縁性粒子が放電層と導通層でそれぞれ同一物
質である。1つの実施態様では放電層を構成する導電性
粒子の連鎖が放電層の膜厚方向に2〜10連鎖相当の膜
厚を有する。1つの実施態様では導電性粒子は希土類元
素La、Gd、Y,Nd,Ceの六ホウ化物又は四ホウ
化物のいずれかであり、絶縁性粒子は、BaAl23
たはAl23又はLa23のいずれかからなる。1つの
実施態様ではガス放電表示パネルが液晶層を有するプラ
ズマアドレス表示装置である。
In a gas discharge display panel in which an anode and a cathode exposed in a discharge space are opposed to each other with a discharge interval therebetween and sealed with an ionizable gas in an airtight container, Is composed of a mixture of conductive particles having at least high secondary electron emission and excellent sputter resistance, and insulating particles having low secondary electron emission and excellent sputter resistance, and the mixing ratio of both mixtures in the thickness direction distribution of the cathode. It is composed of at least two layers of a coating electrode and a bus electrode in which the ratio of the conductive particles decreases toward the discharge space. In addition, 1
In one embodiment, part or all of the coated electrode is
And the mixing ratio of the conductive particles and the insulating particles in each layer is 20% or more and less than 50% of the total volume of both particles in the discharge layer. 50% of the volume of conductive particles is based on the total volume of both particles in the layer
More than and less than 100%. In one embodiment, the conductive particles and the insulating particles are the same material in the discharge layer and the conduction layer, respectively. In one embodiment, the chain of the conductive particles constituting the discharge layer has a thickness equivalent to 2 to 10 chains in the film thickness direction of the discharge layer. In one embodiment, the conductive particles are either hexaboride or tetraboride of the rare earth elements La, Gd, Y, Nd, Ce, and the insulating particles are BaAl 2 O 3 or Al 2 O 3 or La. It consists of any of 2 O 3 . In one embodiment, the gas discharge display panel is a plasma addressed display having a liquid crystal layer.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態のガス
放電表示パネルについて、図面を参照して説明する。な
お、以下の説明において図面の各部の寸法の比は必ずし
も正確なものではない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a gas discharge display panel according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the dimensional ratio of each part in the drawings is not always accurate.

【0018】図1a及び図1bはプラズマアドレス表示
装置に本発明を適用した第一の実施形態であり、本発明
に係わる放電表示パネルの放電セルおよびその形成方法
について説明する。なお、実際には薄板ガラス3の上に
表示セル1が存在するが、図1aは表示セル1を省略し
ている。
FIGS. 1A and 1B show a first embodiment in which the present invention is applied to a plasma addressed display device. A discharge cell of a discharge display panel according to the present invention and a method for forming the same will be described. Although the display cell 1 actually exists on the thin glass 3, the display cell 1 is omitted in FIG. 1A.

【0019】図1aに示すガス放電表示パネルの放電セ
ル2の形成方法について説明する。先ず最初に洗浄及び
アニール処理をした背面板5上にAgを主成分とする感
光性電極ぺースト(デュポン製DC206)を使用し、
スクリーン印刷法で1層べた印刷した後、ベルト式乾燥
炉にて140℃を10分間保持し乾燥させる。その後、
所定の条件で、露光、現像、乾燥を行ないパターンニン
グした後、焼成を行ない、陽極11及びバス電極13を
形成する。本実施例では焼成後でバス電極13は幅10
0μm、膜厚5μm、陽極11は幅400μm、膜厚5
μmを得た。その材質としてAgを用いるが、例えばア
ルミニウム、ニッケル、銀−パラジウム等、従来の導電
性材料を用いることもできる。なお、上記バス電極13
及び陽極11は蒸着法、スパッタリング法などで薄膜を
形成した後フォトエッチングでのパターンニングや、サ
ンドブラスト法、スクリーン印刷法によるパターン印刷
などの形成法を用いてもよい。
A method for forming the discharge cells 2 of the gas discharge display panel shown in FIG. 1A will be described. First, a photosensitive electrode paste containing Ag as a main component (DC206 manufactured by DuPont) is used on the back plate 5 that has been washed and annealed.
After printing one solid layer by the screen printing method, it is dried at 140 ° C. for 10 minutes in a belt type drying furnace. afterwards,
After patterning by exposure, development and drying under predetermined conditions, baking is performed to form the anode 11 and the bus electrode 13. In this embodiment, the bus electrode 13 has a width of 10 after firing.
0 μm, thickness 5 μm, anode 11 has a width of 400 μm, thickness 5
μm was obtained. Although Ag is used as the material, a conventional conductive material such as aluminum, nickel, and silver-palladium can also be used. The bus electrode 13
The anode 11 may be formed by forming a thin film by a vapor deposition method, a sputtering method, or the like, and then patterning by photoetching, a sand blast method, a pattern printing method by a screen printing method, or the like.

【0020】被覆電極14は、放電空間に露出する電極
表面において、放電に寄与する面積を狭くすることで放
電電流を抑制する放電層15と、放電層15とバス電極
13の電気的導通を確保する導通層16の2層から構成
される。
The coated electrode 14 has a discharge layer 15 for suppressing a discharge current by reducing an area contributing to discharge on the electrode surface exposed to the discharge space, and an electrical connection between the discharge layer 15 and the bus electrode 13 is ensured. And two conductive layers 16.

【0021】上記放電層15及び導通層16とも高二次
電子放出効率及び耐スパッタ性に優れる導電性粒子と、
低二次電子放出効率及び耐スパッタ性に優れる絶縁性粒
子の混合物質からなり、各層により混合割合が異なる。
Both the discharge layer 15 and the conductive layer 16 are made of conductive particles having high secondary electron emission efficiency and excellent sputter resistance.
It is made of a mixed material of insulating particles having excellent low secondary electron emission efficiency and spatter resistance, and the mixing ratio differs depending on each layer.

【0022】特に、放電時間の経過により、被覆電極1
4の放電層15が劣化し、導通層16が露出した場合で
も、放電特性の急激な変化を防止するため、上記2層に
おいてそれぞれ導電性粒子と絶縁性粒子は同じ種、類を
使用する方が望ましい。ここでは、上記被覆電極の形成
が容易なサンドブラスト法による形成法を以下の方法で
行なった。
In particular, as the discharge time elapses, the coated electrode 1
In order to prevent a rapid change in the discharge characteristics even when the discharge layer 15 is deteriorated and the conductive layer 16 is exposed, it is preferable to use the same kind and kind of conductive particles and insulating particles in the two layers. Is desirable. Here, the formation method by the sandblast method in which the formation of the coated electrode is easy was performed by the following method.

【0023】陽極11及びバス電極13を形成した後
に、被覆電極14(導通層16)形成のため下記のぺー
ストを使用し、スクリーン印刷法によって1層べた印刷
を行ない、ベルト式乾燥炉にて140℃を10分間保持
し乾燥させる。
After forming the anode 11 and the bus electrode 13, one layer is printed by a screen printing method using the following paste for forming the coating electrode 14 (conductive layer 16), and the belt-type drying furnace is used. Hold at 140 ° C. for 10 minutes and dry.

【0024】以下に、被覆電極14(導通層16)をサ
ンドブラスト法で形成する際のぺースト組成を説明す
る。前記ぺーストは、主成分である粒子と、バインダー
として機能する焼成により絶縁性金属酸化物となる有機
金属又はガラスフリットと、溶剤、更に樹脂の有機性添
加物の混合物からなる。
Hereinafter, the paste composition when the coated electrode 14 (conductive layer 16) is formed by the sandblast method will be described. The paste is composed of a mixture of particles as a main component, an organic metal or a glass frit which becomes an insulating metal oxide by firing which functions as a binder, a solvent, and an organic additive of a resin.

【0025】粒子成分としては高二次電子放出効率及び
耐スパッタ性に優れる導電性粒子と、低二次電子放出効
率及び耐スパッタ性に優れる絶縁性粒子からなる混合物
質を用いる。導通層16における上記粒子の混合比は放
電層15とバス電極13の電気的導通を良好にするた
め、導電性粒子を絶縁性粒子に対し多く含み、具体的に
は両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積の割合が5
0%以上かつ100%未満であることが好ましい。さら
に好ましくは両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積
の割合が50%以上かつ99%以下である。さらに好ま
しくは両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積の割合
が50%以上かつ80%以下である。
As the particle component, a mixed material composed of conductive particles having high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance and insulating particles having low secondary electron emission efficiency and excellent sputter resistance is used. The mixing ratio of the particles in the conductive layer 16 includes a large amount of conductive particles with respect to the insulating particles in order to improve the electrical conduction between the discharge layer 15 and the bus electrode 13, and specifically, with respect to the total volume of both particles. And the volume ratio of the conductive particles is 5
It is preferably 0% or more and less than 100%. More preferably, the ratio of the volume of the conductive particles to the total volume of both particles is 50% or more and 99% or less. More preferably, the ratio of the volume of the conductive particles to the total volume of both particles is 50% or more and 80% or less.

【0026】本実施例では導電性粒子としてGdB6
絶縁性粒子としてBaAl24を体積比2:1の割合で
混合したものを使用する。
In this embodiment, a mixture of GdB 6 as conductive particles and BaAl 2 O 4 as insulating particles at a volume ratio of 2: 1 is used.

【0027】上記粒子は、導電性粒子は少なくとも高二
次電子放出効率、耐スパッタ性に優れるものであれば特
に限定はなく、例えば、GdB6の他、LaB6、YB4
等を用いても良い。更に絶縁性粒子は少なくとも低二次
電子放出効率、耐スパッタ性であればよく、例えばBa
Al24の他、Al23,La23などを用いても良
い。
The above-mentioned particles are not particularly limited as long as the conductive particles have at least high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance. For example, in addition to GdB 6 , LaB 6 and YB 4
Etc. may be used. Further, the insulating particles only need to have at least low secondary electron emission efficiency and spatter resistance.
In addition to Al 2 O 4 , Al 2 O 3 , La 2 O 3 or the like may be used.

【0028】また、上記粒子の混合物の上記ぺーストに
対する含有量は陰極として機能する範囲であればよい。
The content of the mixture of the particles with respect to the paste may be within a range that functions as a cathode.

【0029】上記有機金属はアルカリ土類金属元素、ア
ルカリ金属元素、又は希土類元素のアルコキシド又はカ
ルボン酸塩を選択することができ、上記有機金属が焼成
により生成された絶縁性金属酸化物がバインダーとして
の機能以外に陰極としての役割を果たす場合もある。
As the organic metal, an alkoxide or a carboxylate of an alkaline earth metal element, an alkali metal element, or a rare earth element can be selected. An insulating metal oxide formed by firing the organic metal is used as a binder. In addition to the function described above, it may also serve as a cathode.

【0030】上記ガラスフリットはホウ酸塩及びケイ酸
塩を主成分とし、鉛、硫黄、セレン、ビスマス等の一種
類以上を含有した、例えばホウケイ酸鉛ガラス又はホウ
ケイ酸ビスマスガラスなどの各種ガラスを用いることが
できる。尚、これら粒子又はガラスフリットの粒径は、
数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に用いるこ
とができる。
The above glass frit is made of various glasses such as lead borosilicate glass or bismuth borosilicate glass containing borate and silicate as main components and containing at least one kind of lead, sulfur, selenium, bismuth and the like. Can be used. Incidentally, the particle size of these particles or glass frit,
Those having a size of several tens of microns to submicron can be suitably used.

【0031】尚、前記有機金属はぺースト中において液
体状に存在しているため、ガラスフリットを混入したも
のより粒子の分散性が優れている。上記有機金属及びガ
ラスフリットの含有量は、粒子の粒径にもよるが、ガラ
スフリット又は有機金属から熱工程を経て形成される金
属酸化物が粒子成分に対して1重量%以下だと焼成後の
各粒子間又は粒子と前記背面板との密着性が損なわれ、
また、30重量%以上であれば導電性の低下や陰極とし
ての特性が損なわれるため、1〜30重量%の間が望ま
しい。
Since the organic metal exists in a liquid state in the paste, the dispersibility of the particles is superior to that in which glass frit is mixed. The content of the above-mentioned organic metal and glass frit depends on the particle size of the particles. However, if the metal oxide formed from the glass frit or the organic metal through a heating step is 1% by weight or less with respect to the particle components, the content after firing is reduced. The adhesion between the particles or between the particles and the back plate is impaired,
If the content is 30% by weight or more, the conductivity is lowered and the characteristics as a cathode are impaired.

【0032】更に、上記ぺーストに添加する有機性添加
物としては、セルロース樹脂、尿素樹脂、メラミン樹
脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステ
ル、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナイト、ポリシ
ロキ酸シリケートなどが挙げられる。前記有機性添加物
の含有量は、ガラス又は粒子との混合物の流動性及び成
形性を維持するためには、粘性が高くならないようにす
る必要があり、一方、乾燥後の硬化時には十分な保形性
を有していることが望ましい。このような点から、有機
性添加物の含有量は粒子成分に対して0.5重量%以
上、10重量%以下が望ましい。
Further, the organic additives to be added to the above-mentioned paste include cellulose resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester, alkyd resin, urethane resin, ebonite, polysiloxy silicate and the like. No. In order to maintain the fluidity and moldability of the mixture with the glass or the particles, the content of the organic additive must be such that the viscosity does not increase. It is desirable to have shape. From such a point, the content of the organic additive is desirably 0.5% by weight or more and 10% by weight or less based on the particle component.

【0033】また、上記ぺースト中に加えられる溶媒と
は、前記有機性添加物を相溶するものであれば特に限定
するものではなく、例えばα−テルピネオール、トルエ
ン、キシレン、ベンゼン、フタル酸エステル等の芳香族
溶剤や、ヘキサノール、オクタノール、デカノール、オ
キシアルコール等の高級アルコール類、あるいはジエチ
レングリコールモノブチルエーテルアセテート、酢酸エ
ステル、グリセライド等のエステル類を用いることがで
きる。更に、溶媒を緩やかに揮発させるために、前記溶
媒を2種類以上併用することも可能である。また、前記
溶媒の含有量は、前記の有機性添加物の種類、添加量に
よって異なるが、印刷性を維持するためある程度粘性を
低くすることが望ましい。
The solvent to be added to the paste is not particularly limited as long as it is compatible with the organic additive. For example, α-terpineol, toluene, xylene, benzene, phthalate And higher alcohols such as hexanol, octanol, decanol and oxyalcohol, and esters such as diethylene glycol monobutyl ether acetate, acetate and glyceride. Furthermore, in order to volatilize the solvent slowly, it is also possible to use two or more of the above solvents in combination. The content of the solvent varies depending on the type and amount of the organic additive, but it is desirable to lower the viscosity to some extent in order to maintain printability.

【0034】以上より、1つの実施態様において上記ぺ
ーストの組成は、上記ぺーストに対して成分として体積
比でGdB6とBaAl24の混合比が2:1となるよ
うに、平均粒3μmのGdB6粉末を42重量%、平均
粒径2μmのBaAl24粉末を18重量%、ガラスフ
リットとして平均粒径2μmのホウケイ酸鉛ガラスを6
重量%、α−テルピネオール、ジエチレングリコールモ
ノブチルエーテルアセテートを各14重量%、エチルセ
ルロース系樹脂を6重量%含有するものを使用する。
As described above, in one embodiment, the composition of the above-mentioned paste is such that the mixing ratio of GdB 6 and BaAl 2 O 4 as a component to the above-mentioned paste is 2: 1 by an average particle size. 42% by weight of 3 μm GdB 6 powder, 18% by weight of BaAl 2 O 4 powder having an average particle size of 2 μm, and 6% of lead borosilicate glass having an average particle size of 2 μm as a glass frit.
%, Α-terpineol, diethylene glycol monobutyl ether acetate, each containing 14% by weight, and an ethylcellulose resin containing 6% by weight.

【0035】更に被覆電極14における放電層15形成
のため下記のぺーストを使用し、スクリーン印刷法によ
って1層べた印刷を行ない、ベルト式乾燥炉にて140
℃を10分間保持し乾燥させる。
Further, in order to form the discharge layer 15 on the coated electrode 14, the following paste was used, and a single layer was printed by a screen printing method.
Hold at 0 ° C. for 10 minutes and dry.

【0036】以下に、放電層15をサンドブラストで形
成する際のぺースト組成を説明する。前記ぺーストは、
主成分である粒子と、バインダーとして機能する焼成に
より絶縁性金属酸化物となる有機金属又はガラスフリッ
トと、溶剤と、更に樹脂の有機性添加物との混合物から
なる。
The paste composition when forming the discharge layer 15 by sand blast will be described below. The past is
It is composed of a mixture of particles that are the main components, an organic metal or glass frit that becomes an insulating metal oxide by firing that functions as a binder, a solvent, and an organic additive of a resin.

【0037】粒子成分は高二次電子放出効率及び耐スパ
ッタ性に優れる導電性粒子と、低二次電子放出効率及び
耐スパッタ性に優れる絶縁性粒子からなる混合物質を用
いる。上記粒子の混合比は放電空間に露出する電極表面
において放電に寄与する領域(二次電子放出効率に優れ
た導電性粒子の占有分)を狭くすることで、放電電流を
抑制するため、絶縁性粒子を導電性粒子に対し多く含
み、具体的には両粒子の総体積に対して導電性粒子の体
積の割合が20%以上50%未満であることが望まし
い。
As the particle component, a mixed material composed of conductive particles having high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance and insulating particles having low secondary electron emission efficiency and excellent sputter resistance is used. The mixing ratio of the above particles is reduced by reducing the discharge current by narrowing the region contributing to the discharge (occupied by the conductive particles having excellent secondary electron emission efficiency) on the electrode surface exposed to the discharge space. More particles are contained in the conductive particles, and more specifically, the ratio of the volume of the conductive particles to the total volume of both particles is preferably 20% or more and less than 50%.

【0038】本実施例では導電性粒子としてGdB6
絶縁性粒子としてBaAl24を体積比で1:2の割合
で混合したものを使用する。
In this embodiment, a mixture of GdB 6 as conductive particles and BaAl 2 O 4 as insulating particles at a volume ratio of 1: 2 is used.

【0039】上記粒子は、導電性粒子は少なくとも高二
次電子放出効率、耐スパッタ性に優れるものであれば特
に限定はなく、例えば、GdB6の他、LaB6,YB4
等を用いても良い。更に絶縁性粒子は少なくとも低二次
電子放出効率であればよく、例えばBaAl24の他、
Al23、La23などを用いても良い。
The particles are not particularly limited as long as the conductive particles have at least high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance. For example, in addition to GdB 6 , LaB 6 and YB 4
Etc. may be used. Furthermore, the insulating particles only need to have at least a low secondary electron emission efficiency. For example, in addition to BaAl 2 O 4 ,
Al 2 O 3 , La 2 O 3 or the like may be used.

【0040】また、上記粒子の混合物の上記ぺーストに
対する含有量は陰極として機能する範囲であればよい。
The content of the mixture of the particles with respect to the paste may be within a range that functions as a cathode.

【0041】上記有機金属はアルカリ土類金属元素、ア
ルカリ金属元素、又は希土類元素のアルコキシド又はカ
ルボン酸塩を選択することができ、上記有機金属が焼成
により生成された絶縁性金属酸化物がバインダーとして
の機能以外に陰極としての役割を果たす場合もある。
As the organic metal, an alkoxide or a carboxylate of an alkaline earth metal element, an alkali metal element, or a rare earth element can be selected, and an insulating metal oxide produced by firing the organic metal is used as a binder. In addition to the function described above, it may also serve as a cathode.

【0042】上記ガラスフリットはホウ酸塩及びケイ酸
塩を主成分とし、鉛、硫黄、セレン、ビスマス等の一種
類以上を含有した、例えばホウケイ酸鉛ガラス又はホウ
ケイ酸ビスマスガラスなどの各種ガラスを用いることが
できる。尚、これら粒子又はガラスフリットの粒径は、
数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に用いるこ
とができる。
The above glass frit is made of various glasses such as lead borosilicate glass or bismuth borosilicate glass containing borate and silicate as main components and containing at least one kind of lead, sulfur, selenium, bismuth and the like. Can be used. Incidentally, the particle size of these particles or glass frit,
Those having a size of several tens of microns to submicron can be suitably used.

【0043】尚、前記有機金属はぺースト中において液
体状に存在しているため、ガラスフリットを混入したも
のより粒子の分散性が優れている。上記有機金属及びガ
ラスフリットの含有量は、粒子の粒径にもよるが、ガラ
スフリット又は有機金属から熱工程を経て形成される金
属酸化物が粒子成分に対し1重量%以下だと焼成後の各
粒子間又は粒子と前記背面板との密着性が損なわれ、ま
た、30重量%以上であれば導電性の低下や陰極として
の特性が損なわれるため、1〜30重量%の間が望まし
い。
Since the organic metal exists in a liquid state in the paste, the dispersibility of the particles is superior to that in which glass frit is mixed. The content of the organic metal and the glass frit depends on the particle size of the particles. However, if the metal oxide formed from the glass frit or the organic metal through a heating step is 1% by weight or less based on the particle components, the content after firing is reduced. The adhesion between the particles or between the particles and the back plate is impaired, and if it is 30% by weight or more, the conductivity is lowered and the characteristics as a cathode are impaired.

【0044】更に、上記ぺーストに添加する有機性添加
物としては、セルロース樹脂、尿素樹脂、メラミン樹
脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステ
ル、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナイト、ポリシ
ロキ酸シリケートなどが挙げられる。前記有機性添加物
の含有量は、ガラス又は粒子との混合物の流動性及び成
形性を維持するためには、粘性が高くならないようにす
る必要があり、一方、乾燥後の硬化時には十分な保形性
を有していることが望ましい。このような点から、有機
性添加物の含有量は粒子成分に対して0.5重量%以
上、10重量%以下が望ましい。
Further, the organic additives to be added to the above-mentioned paste include cellulose resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester, alkyd resin, urethane resin, ebonite, polysiloxy silicate and the like. No. In order to maintain the fluidity and moldability of the mixture with the glass or the particles, the content of the organic additive must be such that the viscosity does not increase. It is desirable to have shape. From such a point, the content of the organic additive is desirably 0.5% by weight or more and 10% by weight or less based on the particle component.

【0045】また、上記ぺースト中に加えられる溶媒と
は、前記有機性添加物を相溶するものであれば特に限定
するものではなく、例えばα−テルピネオール、トルエ
ン、キシレン、ベンゼン、フタル酸エステル等の芳香族
溶剤や、ヘキサノール、オクタノール、デカノール、オ
キシアルコール等の高級アルコール類、あるいはジエチ
レングリコールモノブチルエーテルアセテート、酢酸エ
ステル、グリセライド等のエステル類を用いることがで
きる。更に、溶媒を緩やかに揮発させるために、前記溶
媒を2種類以上併用することも可能である。また、前記
溶媒の含有量は、前記の有機性添加物の種類、添加量に
よって異なるが、印刷性を維持するためある程度粘性を
低くすることが望ましい。
The solvent to be added to the paste is not particularly limited as long as it is compatible with the organic additive. For example, α-terpineol, toluene, xylene, benzene, phthalate And higher alcohols such as hexanol, octanol, decanol and oxyalcohol, and esters such as diethylene glycol monobutyl ether acetate, acetate and glyceride. Furthermore, in order to volatilize the solvent slowly, it is also possible to use two or more of the above solvents in combination. The content of the solvent varies depending on the type and amount of the organic additive, but it is desirable to lower the viscosity to some extent in order to maintain printability.

【0046】以上より、1つの実施態様において上記ぺ
ーストの組成は、上記ぺーストに対して粒子成分として
体積比でGdB6とBaAl24の混合比が1:2とな
るように、平均粒径3μmのGdB6粉末を22重量
%、平均粒径2μmのBaAl24粉末を38重量%、
ガラスフリットとして平均粒径2μmのホウケイ酸鉛ガ
ラスを6重量%、α−テルピネオール、ジエチレングリ
コールモノブチルエーテルアセテートを各14重量%、
エチルセルロース系樹脂を6重量%含有するものを使用
する。
As described above, in one embodiment, the composition of the above-mentioned paste is an average so that the mixing ratio of GdB 6 and BaAl 2 O 4 as a particle component to the above-mentioned paste is 1: 2. 22% by weight of GdB 6 powder having a particle diameter of 3 μm, 38% by weight of BaAl 2 O 4 powder having an average particle diameter of 2 μm,
6% by weight of lead borosilicate glass having an average particle size of 2 μm as a glass frit, 14% by weight each of α-terpineol and diethylene glycol monobutyl ether acetate,
A resin containing 6% by weight of an ethylcellulose resin is used.

【0047】然る後、所定の条件でドライフィルムレジ
ストをラミネート及び露光、現像、サンドブラストを行
ないパターンニングした後、ドライフィルムレジストの
剥離を行なうことで被覆電極14を形成する。
Thereafter, after laminating, exposing, developing and sandblasting the dry film resist under predetermined conditions and patterning, the dry film resist is peeled off to form the coated electrode 14.

【0048】本実施例では、膜厚20μm(放電層10
μm、導通層10μm)、幅150μmを得た。特に放
電層15に関して、ある程度の導通路を確保するため、
導電性粒子と絶縁性粒子の混合比にもよるが、本実施例
は膜を構成する導電性粒子の連鎖が2〜10程度の膜厚
を有することが望ましい。
In this embodiment, the film thickness is 20 μm (discharge layer 10
μm, conductive layer 10 μm) and width 150 μm. Especially for the discharge layer 15, in order to secure a certain conduction path,
In this embodiment, it is desirable that the chain of the conductive particles constituting the film has a thickness of about 2 to 10, although it depends on the mixing ratio of the conductive particles and the insulating particles.

【0049】被覆電極14の形成方法において、本実施
例では高価で複雑な装置の必要がなく、しかも簡単な工
程で形成できることからサンドブラスト法で形成してい
るが、本発明の実施の形態はこれに限るものではなく、
サンドブラスト法のほか、スクリーン印刷法、蒸着法、
電着法、スパッタリング法、溶射法等の形成法を用いて
もよい。また、本実施例は陰極12がバス電極13と被
覆電極14から構成されているが、陽極11も同様な構
造を有してもよい。
In the method of forming the coated electrode 14, the present embodiment does not require an expensive and complicated apparatus and can be formed by a simple process, but is formed by a sand blast method. It is not limited to
In addition to sandblasting, screen printing, vapor deposition,
A forming method such as an electrodeposition method, a sputtering method, and a thermal spraying method may be used. In this embodiment, the cathode 12 is composed of the bus electrode 13 and the coating electrode 14, but the anode 11 may have the same structure.

【0050】次に隔壁8を、低融点ガラス及び適当な充
填剤を含む厚膜絶縁ぺースト(奥野製薬工業G3−21
25)を使用し、スクリーン印刷法により形成した後、
ベルト式乾燥炉にて140℃を10分間保持し乾燥させ
る。本実施例では11層印刷を行ない、膜厚200μm
を得た。なお、隔壁8の形成にはサンドブラスト法など
で形成してもよい。
Next, the partition wall 8 is made of a thick film insulating paste containing low melting glass and a suitable filler (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. G3-21).
25), and after forming by screen printing method,
It is dried by holding at 140 ° C. for 10 minutes in a belt type drying furnace. In this embodiment, 11-layer printing is performed, and the film thickness is 200 μm.
I got The partition 8 may be formed by a sand blast method or the like.

【0051】その後、背面板5が熱変形を起こさない範
囲の所定の温度、ここでは585℃で焼成することによ
り、隔壁8及び陽極11、陰極12が形成される。ただ
し、陽極11、陰極12、隔壁8の配置及び膜厚、寸法
はこれらに限られず、従来の様々な構造を有する放電セ
ル形状と同様であってもよい。また、ここでは放電セル
構成物である陰極12、陽極11、隔壁8を形成した後
に一斉に焼成を行なっているが、各放電セル構成物を形
成する毎に個々に焼成を行なってもよい。
Thereafter, the rear plate 5 is baked at a predetermined temperature in a range that does not cause thermal deformation, here 585 ° C., thereby forming the partition wall 8, the anode 11 and the cathode 12. However, the arrangement, the film thickness, and the dimensions of the anode 11, the cathode 12, and the partition 8 are not limited to these, and may be the same as the shape of a conventional discharge cell having various structures. Although the firing is performed simultaneously after forming the cathode 12, the anode 11, and the partition 8, which are the discharge cell components, the firing may be performed individually each time each discharge cell component is formed.

【0052】その後洗浄及びアニール処理をした薄板ガ
ラス3を重ね、周辺部を低融点ガラスなどのシール材9
で気密的に接合する。さらに、放電空間10にイオン化
可能なガスを封入して放電セル2を完成させる。本実施
例にはイオン化可能なガス種としてキセノンを用いる
が、その他ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン及
びこれら混合ガスを封入してもよい。この放電セルは、
DC駆動型のプラズマアドレス表示装置となるが、以上
説明した放電セルに関する陰極構造、製造方法以外は従
来技術と同様に製造される。
Thereafter, the thin glass 3 which has been washed and annealed is overlaid, and the periphery thereof is sealed with a sealing material 9 such as a low melting point glass.
And airtightly joined. Further, an ionizable gas is sealed in the discharge space 10 to complete the discharge cell 2. In this embodiment, xenon is used as the ionizable gas, but helium, neon, argon, krypton, or a mixed gas thereof may be filled. This discharge cell
Although it is a DC-driven plasma addressed display device, it is manufactured in the same manner as the prior art except for the cathode structure and manufacturing method for the discharge cell described above.

【0053】第二の実施の形態として、DC−PDPに
本発明を適用した例を示す。図2a及び図2bに示すガ
ス放電表示パネルの製造方法について以下説明する。洗
浄及びアニール処理をした前面板4にスクリーン印刷法
によりAgを主成分とする電極ぺースト(ナミックス製
XFP5392)を使用しバス電極13を形成した後、
ベルト式乾燥炉にて140℃を10分間保持し乾燥させ
る。本実施例では2層印刷を行ない、幅100μm、膜
厚5μmを得た。その他のバス電極材料として例えばア
ルミニウム、ニッケル、銀、銀−パラジウム等、従来の
導電性材料を用いることもできる。なお、上記バス電極
13は蒸着法、スパッタリング法などで薄膜を形成した
後、フォトエッチングでのパターンニングやサンドブラ
スト法等の形成法を用いてもよい。
As a second embodiment, an example in which the present invention is applied to a DC-PDP will be described. A method for manufacturing the gas discharge display panel shown in FIGS. 2A and 2B will be described below. After the bus plate 13 is formed on the front plate 4 which has been washed and annealed, using an electrode paste containing Ag as a main component (NFP XFP5392) by a screen printing method.
It is dried by holding at 140 ° C. for 10 minutes in a belt type drying furnace. In this embodiment, two-layer printing was performed to obtain a width of 100 μm and a film thickness of 5 μm. As the other bus electrode material, for example, a conventional conductive material such as aluminum, nickel, silver, and silver-palladium can be used. The bus electrode 13 may be formed by forming a thin film by a vapor deposition method, a sputtering method, or the like, and then using a patterning method by photoetching or a forming method such as a sandblast method.

【0054】被覆電極14は、放電空間に露出する電極
表面において、放電に寄与する面積を狭くすることで放
電電流を抑制する放電層15と、放電層15とバス電極
13の電気的導通を確保する導通層16の2層から構成
される。
The covering electrode 14 has a discharge layer 15 that suppresses a discharge current by reducing an area contributing to discharge on the electrode surface exposed to the discharge space, and secures electrical continuity between the discharge layer 15 and the bus electrode 13. And two conductive layers 16.

【0055】上記放電層15及び導通層16とも高二次
電子放出効率及び耐スパッタ性に優れる導電性粒子と、
低二次電子放出効率及び耐スパッタ性に優れる絶縁性粒
子の混合物質からなり、各層により混合割合が異なる。
Both the discharge layer 15 and the conduction layer 16 are made of conductive particles having high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance.
It is made of a mixed material of insulating particles having excellent low secondary electron emission efficiency and spatter resistance, and the mixing ratio differs depending on each layer.

【0056】特に、放電時間の経過により、放電層15
が劣化し、導通層16が露出した場合でも、放電特性の
急激な変化を少なくするため、上記2層においてそれぞ
れ導電性粒子と絶縁性粒子は同じ種類を使用することが
望ましい。ここでは、上記被覆電極14の形成が容易な
スクリーン印刷法による形成法を以下の方法で行なっ
た。
In particular, as the discharge time elapses, the discharge layer 15
When the conductive layer 16 is deteriorated and the conductive layer 16 is exposed, it is desirable to use the same type of conductive particles and insulating particles in each of the two layers in order to reduce a sudden change in the discharge characteristics. Here, the formation method by the screen printing method in which the formation of the coated electrode 14 is easy was performed by the following method.

【0057】バス電極13を形成した後に、被覆電極1
4の導通層16形成のため下記のぺーストを使用し、ス
クリーン印刷法により1層パターン印刷を行ない、ベル
ト式乾燥炉にて140℃を10分間保持し乾燥させる。
本実施例では、膜厚10μm、幅120μmを得た。
After forming the bus electrode 13, the coated electrode 1
To form the conductive layer 16 of 4, the following paste is used to perform one-layer pattern printing by a screen printing method, and dried at 140 ° C. for 10 minutes in a belt-type drying furnace.
In this example, a film thickness of 10 μm and a width of 120 μm were obtained.

【0058】以下に、導通層16をスクリーン印刷法で
形成する際のぺースト組成を説明する。前記ぺースト
は、主成分である粒子と、バインダーとして機能する焼
成により絶縁性金属酸化物となる有機金属又はガラスフ
リットと、溶剤、更に樹脂の有機性添加物の混合物から
なる。
Hereinafter, a paste composition when the conductive layer 16 is formed by the screen printing method will be described. The paste is composed of a mixture of particles as a main component, an organic metal or a glass frit which becomes an insulating metal oxide by firing which functions as a binder, a solvent, and an organic additive of a resin.

【0059】粒子成分としては高二次電子放出効率及び
耐スパッタ性に優れる導電性粒子と、低二次電子放出効
率及び耐スパッタ性に優れる絶縁性粒子からなる混合物
質を用いる。導通層16における上記粒子の混合比は放
電層15とバス電極13の電気的接触を良好にするた
め、導電性粒子を絶縁性粒子に対し多く含み、具体的に
は両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積が50%以
上かつ100%未満であることが好ましい。さらに好ま
しくは両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積の割合
が50%以上かつ99%以下である。さらに好ましくは
両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積の割合が50
%以上かつ80%以下である。
As the particle component, a mixed material composed of conductive particles having high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance and insulating particles having low secondary electron emission efficiency and excellent sputter resistance is used. The mixing ratio of the particles in the conductive layer 16 is such that the electrical contact between the discharge layer 15 and the bus electrode 13 is good, so that the conductive particles contain a large amount of conductive particles with respect to the insulating particles. Therefore, the volume of the conductive particles is preferably 50% or more and less than 100%. More preferably, the ratio of the volume of the conductive particles to the total volume of both particles is 50% or more and 99% or less. More preferably, the ratio of the volume of the conductive particles to the total volume of both particles is 50.
% Or more and 80% or less.

【0060】本実施例では、導電性粒子としてLa
6、絶縁性粒子は混合しないものを使用する。
In this embodiment, La is used as the conductive particles.
B 6 and insulating particles that are not mixed are used.

【0061】上記金属粒子は、導電性粒子は少なくとも
高二次電子放出効率、耐スパッタ性に優れるものであれ
ば特に限定はなく、例えば、LaB6の他、GdB6、Y
4等を用いても良い。
The metal particles are not particularly limited as long as the conductive particles have at least high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance. For example, in addition to LaB 6 , GdB 6 , Y
B 4 or the like may be used.

【0062】また、上記粒子の混合物の上記ぺーストに
対する含有量は陰極として機能する範囲であればよい。
The content of the mixture of the particles with respect to the paste may be within a range that functions as a cathode.

【0063】上記有機金属はアルカリ土類金属元素、ア
ルカリ金属元素、又は希土類元素のアルコキシド又はカ
ルボン酸塩を選択することができ、上記有機金属が焼成
により生成された絶縁性金属酸化物がバインダーとして
の機能以外に陰極としての役割を果たす場合もある。
As the organic metal, an alkoxide or a carboxylate of an alkaline earth metal element, an alkali metal element, or a rare earth element can be selected. An insulating metal oxide produced by firing the organic metal is used as a binder. In addition to the function described above, it may also serve as a cathode.

【0064】上記ガラスフリットはホウ酸塩及びケイ酸
塩を主成分とし、鉛、硫黄、セレン、ビスマス等の一種
類以上を含有した、例えばホウケイ酸鉛ガラス又はホウ
ケイ酸ビスマスガラスなどの各種ガラスを用いることが
できる。尚、これら粒子又はガラスフリットの粒径は、
数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に用いるこ
とができる。
The above-mentioned glass frit is made of various glasses such as lead borosilicate glass or bismuth borosilicate glass containing borate and silicate as main components and containing at least one kind of lead, sulfur, selenium and bismuth. Can be used. Incidentally, the particle size of these particles or glass frit,
Those having a size of several tens of microns to submicron can be suitably used.

【0065】尚、前記有機金属はぺースト中において液
体状に存在しているため、ガラスフリットを混入したも
のより粒子の分散性が優れている。上記有機金属及びガ
ラスフリットの含有量は、粒子の粒径にもよるが、ガラ
スフリット又は有機金属から熱工程を経て形成される金
属酸化物が粒子成分に対して1重量%以下だと焼成後の
各粒子間又は粒子と前記背面板との密着性が損なわれ、
また、30重量%以上であれば導電性の低下や陰極とし
ての特性が損なわれるため、1〜30重量%の間が望ま
しい。
Since the organic metal is present in a liquid state in the paste, the dispersibility of the particles is superior to that in which glass frit is mixed. The content of the above-mentioned organic metal and glass frit depends on the particle size of the particles. However, if the metal oxide formed from the glass frit or the organic metal through a heating step is 1% by weight or less with respect to the particle components, the content after firing is reduced. The adhesion between the particles or between the particles and the back plate is impaired,
If the content is 30% by weight or more, the conductivity is lowered and the characteristics as a cathode are impaired.

【0066】更に、上記ぺーストに添加する有機性添加
物としては、セルロース樹脂、尿素樹脂、メラミン樹
脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステ
ル、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナイト、ポリシ
ロキ酸シリケートなどが挙げられる。前記有機性添加物
の含有量は、ガラス又は粒子との混合物の流動性及び成
形性を維持するためには、粘性が高くならないようにす
る必要があり、一方、乾燥後の硬化時には十分な保形性
を有していることが望ましい。このような点から、有機
性添加物の含有量は粒子成分に対して0.5重量%以
上、10重量%以下が望ましい。
Further, the organic additives to be added to the above-mentioned paste include cellulose resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester, alkyd resin, urethane resin, ebonite, polysiloxy silicate and the like. No. In order to maintain the fluidity and moldability of the mixture with the glass or the particles, the content of the organic additive must be such that the viscosity does not increase. It is desirable to have shape. From such a point, the content of the organic additive is desirably 0.5% by weight or more and 10% by weight or less based on the particle component.

【0067】また、上記ぺースト中に加えられる溶媒と
は、前記有機性添加物を相溶するものであれば特に限定
するものではなく、例えばα−テルピネオール、トルエ
ン、キシレン、ベンゼン、フタル酸エステル等の芳香族
溶剤や、ヘキサノール、オクタノール、デカノール、オ
キシアルコール等の高級アルコール類、あるいはジエチ
レングリコールモノブチルエーテルアセテート、酢酸エ
ステル、グリセライド等のエステル類を用いることがで
きる。更に、溶媒を緩やかに揮発させるために、前記溶
媒を2種類以上併用することも可能である。また、前記
溶媒の含有量は、前記の有機性添加物の種類、添加量に
よって異なるが、印刷性を維持するためある程度粘性を
低くすることが望ましい。
The solvent to be added to the paste is not particularly limited as long as it is compatible with the organic additive. For example, α-terpineol, toluene, xylene, benzene, phthalate And higher alcohols such as hexanol, octanol, decanol and oxyalcohol, and esters such as diethylene glycol monobutyl ether acetate, acetate and glyceride. Furthermore, in order to volatilize the solvent slowly, it is also possible to use two or more of the above solvents in combination. The content of the solvent varies depending on the type and amount of the organic additive, but it is desirable to lower the viscosity to some extent in order to maintain printability.

【0068】以上より、1つの実施態様において上記ペ
ーストの組成は、上記ペーストに対して粒子成分として
平均粒径3μmのLaB6粉末を60重量%、ガラスフ
リットとして平均粒径2μmのホウケイ酸鉛ガラスを6
重量%、α−テルピネオール、ジエチレングリコールモ
ノブチルエーテルアセテートを各14重量%、エチルセ
ルロース系樹脂を6重量%含有するものを使用する。
As described above, in one embodiment, the composition of the paste is 60% by weight of LaB 6 powder having an average particle size of 3 μm as a particle component, and lead borosilicate glass having an average particle size of 2 μm as a glass frit. 6
%, Α-terpineol, diethylene glycol monobutyl ether acetate, each containing 14% by weight, and an ethylcellulose resin containing 6% by weight.

【0069】更に被覆電極14における放電層15形成
のため下記のペーストを使用し、スクリーン印刷法によ
って1層パターン印刷を行ない、ベルト式乾燥炉にて1
40℃を10分間保持し乾燥させる。本実施例では、膜
厚20μm、幅140μmを得た。
Further, in order to form the discharge layer 15 on the coated electrode 14, the following paste was used, and a one-layer pattern was printed by a screen printing method.
Hold at 40 ° C. for 10 minutes and dry. In this example, a film thickness of 20 μm and a width of 140 μm were obtained.

【0070】以下に、被覆電極14(放電層15)をス
クリーン印刷法で形成する際のペースト組成を説明す
る。前記ペーストは、主成分である粒子と、バインダー
として機能する焼成により絶縁性金属酸化物となる有機
金属又はガラスフリットと、溶剤と、更に樹脂の有機性
添加物の混合物からなる。
The paste composition when forming the covering electrode 14 (discharge layer 15) by screen printing will be described below. The paste is composed of a mixture of particles as a main component, an organic metal or glass frit which becomes an insulating metal oxide by baking functioning as a binder, a solvent, and an organic additive of a resin.

【0071】粒子成分は高二次電子放出効率及び耐スパ
ッタ性に優れる導電性粒子と、低二次電子放出効率及び
耐スパッタ性に優れる絶縁性粒子からなる混合物質を用
いる。上記粒子の混合比は放電空間に露出する電極表面
において放電に寄与する領域(二次電子放出効率に優れ
た導電性粒子の占有分)を狭くすることで、放電電流を
抑制するため、絶縁性粒子を導電性粒子に対し多く含
み、具体的には両粒子の総体積に対して導電性粒子の体
積割合が20%以上50%未満であることが望ましい。
As the particle component, a mixed material composed of conductive particles having high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance and insulating particles having low secondary electron emission efficiency and excellent sputter resistance is used. The mixing ratio of the above particles is reduced by reducing the discharge current by narrowing the region contributing to the discharge (occupied by the conductive particles having excellent secondary electron emission efficiency) on the electrode surface exposed to the discharge space. More particles are contained in the conductive particles, and specifically, the volume ratio of the conductive particles to the total volume of both particles is preferably 20% or more and less than 50%.

【0072】本実施例では導電性粒子としてLaB6
絶縁性粒子としてLa23を1:2の割合で混合したも
のを使用する。
In this embodiment, a mixture of LaB 6 as conductive particles and La 2 O 3 as insulating particles at a ratio of 1: 2 is used.

【0073】上記粒子は、導電性粒子は少なくとも高二
次電子放出効率、耐スパッタ性に優れるものであれば特
に限定はなく、例えば、LaB6の他、GdB6、YB4
等を用いても良い。更に絶縁性粒子は少なくとも低二次
電子放出効率であればよく、例えばLa23の他、Al
23、BaAl24などを用いても良い。
The particles are not particularly limited as long as the conductive particles have at least high secondary electron emission efficiency and excellent spatter resistance. For example, in addition to LaB 6 , GdB 6 , YB 4
Etc. may be used. Furthermore, the insulating particles need only have at least a low secondary electron emission efficiency. For example, in addition to La 2 O 3 ,
2 O 3 , BaAl 2 O 4 or the like may be used.

【0074】また、上記粒子の混合物の上記ペーストに
対する含有量は陰極として機能する範囲であればよい。
[0074] The content of the mixture of the particles with respect to the paste may be within a range that functions as a cathode.

【0075】上記有機金属はアルカリ土類金属元素、ア
ルカリ金属元素、又は希土類元素のアルコキシド又はカ
ルボン酸塩を選択することができ、上記有機金属が焼成
により生成された絶縁性金属酸化物がバインダーとして
の機能以外に陰極としての役割を果たす場合もある。
As the organic metal, an alkoxide or carboxylate of an alkaline earth metal element, an alkali metal element, or a rare earth element can be selected, and an insulating metal oxide produced by firing the organic metal is used as a binder. In addition to the function described above, it may also serve as a cathode.

【0076】上記ガラスフリットはホウ酸塩及びケイ酸
塩を主成分とし、鉛、硫黄、セレン、ビスマス等の一種
類以上を含有した、例えばホウケイ酸鉛ガラス又はホウ
ケイ酸ビスマスガラスなどの各種ガラスを用いることが
できる。尚、これら粒子又はガラスフリットの粒径は、
数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に用いるこ
とができる。
The above-mentioned glass frit is made of various glasses such as lead borosilicate glass or bismuth borosilicate glass containing, as main components, borates and silicates and containing at least one of lead, sulfur, selenium, bismuth and the like. Can be used. Incidentally, the particle size of these particles or glass frit,
Those having a size of several tens of microns to submicron can be suitably used.

【0077】尚、前記有機金属はペースト中において液
体状に存在しているため、ガラスフリットを混入したも
のより粒子の分散性が優れている。上記有機金属及びガ
ラスフリットの含有量は、粒子の粒径にもよるが、ガラ
スフリット又は有機金属から熱工程を経て形成される金
属酸化物が粒子成分に対し1重量%以下だと焼成後の各
粒子間又は粒子と前記背面板との密着性が損なわれ、ま
た、30重量%以上であれば導電性の低下や陰極として
の特性が損なわれるため、1〜30重量%の間が望まし
い。
Since the organic metal is present in a liquid state in the paste, the dispersibility of the particles is superior to that in which glass frit is mixed. The content of the organic metal and the glass frit depends on the particle size of the particles. However, if the metal oxide formed from the glass frit or the organic metal through a heating step is 1% by weight or less based on the particle components, the content after firing is reduced. The adhesion between the particles or between the particles and the back plate is impaired, and if it is 30% by weight or more, the conductivity is lowered and the characteristics as a cathode are impaired.

【0078】更に、上記ペーストに添加する有機性添加
物としては、セルロース樹脂、尿素樹脂、メラミン樹
脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステ
ル、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナイト、ポリシ
ロキ酸シリケートなどが挙げられる。前記有機性添加物
の含有量は、ガラス又は粒子との混合物の流動性及び成
形性を維持するためには、粘性が高くならないようにす
る必要があり、一方、乾燥後の硬化時には十分な保形性
を有していることが望ましい。このような点から、有機
性添加物の含有量は金属粒子成分に対して0.5重量%
以上、10重量%以下が望ましい。
Further, examples of the organic additives to be added to the above paste include cellulose resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester, alkyd resin, urethane resin, ebonite, polysiloxane silicate and the like. Can be In order to maintain the fluidity and moldability of the mixture with the glass or the particles, the content of the organic additive must be such that the viscosity does not increase. It is desirable to have shape. From such a point, the content of the organic additive is 0.5% by weight with respect to the metal particle component.
The content is desirably at least 10% by weight.

【0079】また、上記ペースト中に加えられる溶媒と
は、前記有機性添加物を相溶するものであれば特に限定
するものではなく、例えばα−テルピネオール、トルエ
ン、キシレン、ベンゼン・フタル酸エステル等の芳香族
溶剤や、ヘキサノール、オクタノール、デカノール、オ
キシアルコール等の高級アルコール類、あるいはジエチ
レングリコールモノブチルエーテルアセテート、酢酸エ
ステル、グリセライド等のエステル類を用いることがで
きる。更に、溶媒を緩やかに揮発させるために、前記溶
媒を2種類以上併用することも可能である。また、前記
溶媒の含有量は、前記の有機性添加物の種類、添加量に
よって異なるが、印刷性を維持するためある程度粘性を
低くすることが望ましい。
The solvent added to the paste is not particularly limited as long as it is compatible with the organic additive. Examples of the solvent include α-terpineol, toluene, xylene, benzene / phthalate, and the like. And higher alcohols such as hexanol, octanol, decanol and oxyalcohol, or esters such as diethylene glycol monobutyl ether acetate, acetate and glyceride. Furthermore, in order to volatilize the solvent slowly, it is also possible to use two or more of the above solvents in combination. The content of the solvent varies depending on the type and amount of the organic additive, but it is desirable to lower the viscosity to some extent in order to maintain printability.

【0080】以上より、上記ぺーストの組成は、上記ペ
ーストに対して粒子成分として体積比でLaB6とLa2
3の混合比が1:2となるように、平均粒径3μmの
LaB6粉末を20重量%、平均粒径2μmのLa23
粉未を40重量%、ガラスフリットとして平均粒径2μ
mのホウケイ酸鉛ガラスを6重量%、α−テルピネオー
ル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテー
トを各14重量%、エチルセルロース系樹脂を6重量%
含有するものを使用する。
From the above, the composition of the above paste was LaB 6 and La 2 as a particle component with respect to the paste in a volume ratio.
20 wt% of LaB 6 powder having an average particle size of 3 μm and La 2 O 3 having an average particle size of 2 μm so that the mixing ratio of O 3 becomes 1: 2.
40% by weight of powder, average particle size 2μ as glass frit
6% by weight of lead borosilicate glass, 14% by weight each of α-terpineol and diethylene glycol monobutyl ether acetate, and 6% by weight of ethyl cellulose resin
Use what it contains.

【0081】本実施例では、膜厚20μm(放電層10
μm、導通層10μm)、幅150μmを得た。特に放
電層15に関して、ある程度の導通路を確保するため、
導電性粒子と絶縁性粒子の混合比にもよるが、本実施例
では膜を構成する導電性粒子の連鎖が2〜10相当の膜
厚であることが望ましい。
In this embodiment, the film thickness is 20 μm (discharge layer 10
μm, conductive layer 10 μm) and width 150 μm. Especially for the discharge layer 15, in order to secure a certain conduction path,
Although it depends on the mixing ratio of the conductive particles and the insulating particles, in this embodiment, it is desirable that the chain of the conductive particles constituting the film has a thickness of 2 to 10 or more.

【0082】被覆電極14の形成方法において、本実施
例では高価で複雑な装置の必要がなく、しかも簡単な工
程で形成できることからスクリーン印刷法で形成してい
るが、本発明の実施の形態はこれに限るものではなく、
スクリーン印刷法のほか、サンドブラスト法、蒸着法、
電着法、スパッタリング法、溶射法等の従来の形成法を
用いてもよい。また、本実施例は陰極12がバス電極1
3と被覆電極14から構成されているが、陽極11も同
様な構造を有してもよい。
In the method of forming the coated electrode 14, the present embodiment does not require an expensive and complicated apparatus and can be formed by a simple process. Therefore, the coated electrode 14 is formed by a screen printing method. It is not limited to this,
In addition to screen printing, sandblasting, vapor deposition,
Conventional forming methods such as an electrodeposition method, a sputtering method, and a thermal spraying method may be used. In this embodiment, the cathode 12 is used as the bus electrode 1.
3 and the coated electrode 14, the anode 11 may have a similar structure.

【0083】洗浄及びアニール処理された背面板5には
前面板4の陰極12と直行する方向に陽極11が形成さ
れる。陽極11はスクリーン印刷法によりAgを主成分
とする電極ぺースト(ナミックス製 XFP5392)
を使用し形成した後、ベルト式乾燥炉にて140℃を1
0分間保持し乾燥させる。本実施例では1層印刷を行な
い、幅100μm、膜厚10μmを得た。その他の陽極
材料として例えばアルミニウム、ニッケル、銀、銀−パ
ラジウム等、従来の導電性材料を用いることもできる。
なお、上記陽極は蒸着法、スパッタリング法などで薄膜
を形成した後、フォトエッチングでのパターンニングや
サンドブラスト法等の従来の形成法を用いてもよい。
An anode 11 is formed on the back plate 5 which has been cleaned and annealed, in a direction perpendicular to the cathode 12 of the front plate 4. The anode 11 is made of an electrode paste containing Ag as a main component by a screen printing method (NFP XFP5392).
After forming using a belt-type drying furnace, 140 ° C.
Hold for 0 minutes and dry. In this embodiment, one-layer printing was performed to obtain a width of 100 μm and a film thickness of 10 μm. Other conductive materials such as aluminum, nickel, silver, and silver-palladium can be used as other anode materials.
The anode may be formed into a thin film by an evaporation method, a sputtering method, or the like, and then may be formed by a conventional forming method such as patterning by photoetching or sandblasting.

【0084】次に、隔壁8を陽極11の間の背面板5上
に、低融点ガラス及び適当な充填剤を含む厚膜絶縁ペー
スト(奥野製薬工業G3−2125)を使用し、スクリ
ーン印刷法により形成した後、ベルト式乾燥炉にて14
0℃を10分間保持し乾燥させる。本実施例では10層
印刷を行ない、幅150μm、膜厚200μmを得た。
なお、隔壁8の形成にはサンドブラスト法など従来の方
法で形成してもよい。次に、背面板5や隔壁8の側面に
スクリーン印刷法によりそれぞれの表示色に対応する蛍
光体18を塗布する。
Next, the partition walls 8 are formed on the back plate 5 between the anodes 11 by screen printing using a thick film insulating paste (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. G3-2125) containing low melting point glass and a suitable filler. After forming, 14
Hold at 0 ° C. for 10 minutes and dry. In this embodiment, 10-layer printing was performed to obtain a width of 150 μm and a film thickness of 200 μm.
The partition 8 may be formed by a conventional method such as a sand blast method. Next, phosphors 18 corresponding to the respective display colors are applied to the side surfaces of the back plate 5 and the partition walls 8 by screen printing.

【0085】その後、前面板4及び背面板5が熱変形を
起こさない範囲の所定の温度、ここでは585℃で焼成
することにより、隔壁8及び陽極11、陰極12が形成
される。ただし、陽極11、陰極12、隔壁8の配置及
び膜厚、寸法はこれらに限られず、従来の様々な構造を
有する放電セル形状と同様であってもよい。また、ここ
では放電セル構成物である陰極12、陽極11、隔壁
8、蛍光体18を形成した後に一斉に焼成を行なってい
るが、各放電セル構成物を形成する毎に個々に焼成を行
なってもよい。
Then, the partition 8, the anode 11, and the cathode 12 are formed by firing at a predetermined temperature in a range where the front plate 4 and the rear plate 5 do not undergo thermal deformation, here 585 ° C. However, the arrangement, the film thickness, and the dimensions of the anode 11, the cathode 12, and the partition 8 are not limited to these, and may be the same as the shape of a conventional discharge cell having various structures. In addition, here, the firing is performed all at once after forming the cathode 12, the anode 11, the partition 8, and the phosphor 18, which are the discharge cell components, but the firing is performed individually each time each discharge cell component is formed. You may.

【0086】その後、前面板4上の陰極12と背面板5
上の陽極11が向かい合うように前面板4と背面板5を
重ね、周辺部を低融点ガラスなどのシール材9で気密的
に接合する。さらに、放電空間10にイオン化可能なガ
スを封入して本実施例におけるガス放電表示パネルが完
成する。本実施例にはイオン化可能なガス種としてXe
を用いるが、その他ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリ
プトン及びこれら混合ガスを封入してもよい。
Then, the cathode 12 on the front plate 4 and the back plate 5
The front plate 4 and the back plate 5 are overlapped so that the upper anodes 11 face each other, and the periphery is hermetically bonded with a sealing material 9 such as low-melting glass. Further, an ionizable gas is sealed in the discharge space 10 to complete the gas discharge display panel in this embodiment. In this embodiment, Xe is used as an ionizable gas type.
However, helium, neon, argon, krypton, and a mixed gas thereof may be filled.

【0087】第三の実施の形態として、第1の実施の形
態において被覆電極14(導通層16及び放電層15)
を構成するバインダーに、熱工程により絶縁性金属酸化
物となる有機金属を適用した例を示すものであり、以下
に被覆電極14を形成する際に用いるペーストを示す。
As a third embodiment, the covering electrode 14 (conduction layer 16 and discharge layer 15) in the first embodiment
This is an example in which an organic metal which becomes an insulating metal oxide by a heat process is applied to the binder constituting the above. The paste used when forming the coated electrode 14 is shown below.

【0088】被覆電極14(導通層16)を形成する際
に用いるペーストの組成は、上記ペーストに対して粒子
成分として体積比でGdB6とBaAl24の混合比が
2:1となるように、平均粒径3μmのGdB6粉末を
38重量%、平均粒径2μmのBaAl24粉末を22
重量%、有機アルミニウムを25重量%、α−テルピネ
オール、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセ
テートを各5重量%、エチルセルロース系樹脂を5重量
%含有するものを使用する。
The composition of the paste used to form the coated electrode 14 (conductive layer 16) is such that the mixing ratio of GdB 6 and BaAl 2 O 4 as a particle component to the paste is 2: 1. 38% by weight of GdB 6 powder having an average particle size of 3 μm and 22% of BaAl 2 O 4 powder having an average particle size of 2 μm.
%, 25% by weight of organic aluminum, 5% by weight of α-terpineol, 5% by weight of diethylene glycol monobutyl ether acetate, and 5% by weight of an ethylcellulose resin.

【0089】被覆電極14(放電層15)を形成する際
に用いるペーストの組成は、上記ペーストに対して粒子
成分として体積比でGdB6とBaAl24の混合比が
1:2となるように、平均粒径3μmのGdB6粉末を
22重量%、平均粒径2μmのBaAl24粉末を38
重量%、有機アルミニウムを25重量%、α−テルピネ
オール、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセ
テートを各5重量%、エチルセルロース系樹脂を5重量
%含有するものを使用する。
The composition of the paste used to form the coated electrode 14 (discharge layer 15) is such that the mixing ratio of GdB 6 and BaAl 2 O 4 as a particle component to the paste is 1: 2. 22% by weight of GdB 6 powder having an average particle size of 3 μm and 38% of BaAl 2 O 4 powder having an average particle size of 2 μm.
%, 25% by weight of organic aluminum, 5% by weight of α-terpineol, 5% by weight of diethylene glycol monobutyl ether acetate, and 5% by weight of an ethylcellulose resin.

【0090】なお、上記被覆電極14を形成する際に用
いるペースト組成以外の、材料、構造、形成法等は第一
の実施の形態と同一でありここでは省略する。
The material, structure, forming method, etc., other than the paste composition used when forming the coated electrode 14 are the same as in the first embodiment, and will not be described here.

【0091】[0091]

【発明の効果】本発明によれば、被覆電極を、放電電流
を制限しスパッタによる陰極の劣化を低滅する放電層
と、放電層とバス電極間の電気的導通を確保することで
アーク放電を抑制し陰極の劣化を低減する導通層の2層
構造とし、上記放電層及び導通層を構成する高二次電子
放出効率及び耐スパッタ性に優れる導電性粒子と、低二
次電子放出効率及び耐スパッタ性に優れる絶縁性粒子
を、放電層で両粒子の総体積に対して導電性粒子の体積
の割合が20%以上50%未満であり、導通層で両粒子
の総体積に対して導電性粒子の体積の割合が50%以上
100%未満の混合比で構成することで以下の効果があ
る。
According to the present invention, arc discharge is achieved by providing a coated electrode with a discharge layer which limits discharge current and reduces deterioration of the cathode due to sputtering, and ensures electrical conduction between the discharge layer and the bus electrode. A conductive layer having a high secondary electron emission efficiency and excellent sputter resistance constituting the discharge layer and the conductive layer; and a low secondary electron emission efficiency and sputter resistance. The ratio of the volume of the conductive particles to the total volume of both particles in the discharge layer is 20% or more and less than 50%, and the ratio of the conductive particles to the total volume of both particles in the conductive layer The following effects can be obtained by configuring the mixing ratio of 50% or more and less than 100% by volume.

【0092】放電空間に露出する被覆電極表面(放電
層)とバス電極間の導通路が良好になりアーク放電が減
少した。特に初期エージング時に多発するアーク放電が
顕著に減り、初期エージングが容易になる。
The conduction path between the coated electrode surface (discharge layer) exposed in the discharge space and the bus electrode was improved, and arc discharge was reduced. In particular, arc discharge which occurs frequently during initial aging is significantly reduced, and initial aging is facilitated.

【0093】したがって、初期エージング時のアーク
放電による局所的な陰極の劣化が抑制され、初期エージ
ング後の放電の均一性が向上する。
Therefore, local deterioration of the cathode due to arc discharge at the time of initial aging is suppressed, and the uniformity of discharge after initial aging is improved.

【0094】さらに、初期エージング後の電極表面状
態が均一になることで、放電時間の経過に伴う陰極の劣
化が低減された。その結果、スパッタ飛散物の付着によ
る透過率劣化が抑制されパネル寿命が改善される。
Further, since the surface of the electrode after the initial aging became uniform, the deterioration of the cathode with the passage of discharge time was reduced. As a result, the transmittance is prevented from deteriorating due to the attachment of the spattered substances, and the panel life is improved.

【0095】放電空間に露出する被覆電極表面におい
て放電に寄与する領域(二次電子放出効率に優れた導電
性粒子の占有割合)を狭くすることで、放電電流を低減
し放電時間の経過に伴う陰極の劣化が低減された。その
結果、スパッタ飛散物の付着による透過率劣化が抑制さ
れパネル寿命が改善される。
The discharge current is reduced by reducing the area contributing to the discharge (the occupation ratio of the conductive particles having excellent secondary electron emission efficiency) on the surface of the coated electrode exposed to the discharge space, thereby reducing the discharge current and increasing the discharge time. Cathode degradation was reduced. As a result, the transmittance is prevented from deteriorating due to the attachment of the spattered substances, and the panel life is improved.

【0096】放電層とバス電極の間に放電層と組成が
類似した導通層を挟むことで、放電時間の経過と共に放
電層が劣化し、露出した導通層が放電に寄与しても、導
通層の組成が放電層と類似しているため放電特性の経時
変化が少ない。
By interposing a conductive layer having a composition similar to that of the discharge layer between the discharge layer and the bus electrode, the discharge layer deteriorates with the lapse of discharge time. Is similar to that of the discharge layer, so that the change over time in the discharge characteristics is small.

【0097】したがって、放電層の誘電体比率を増し
放電電流を抑制する場合、放電層の導通路の不均一性に
よるアーク放電を低減するため放電層の膜厚を薄くし放
電層の導通路を確保することが可能である。
Therefore, when the discharge current is suppressed by increasing the dielectric ratio of the discharge layer, the thickness of the discharge layer is reduced by reducing the thickness of the discharge layer in order to reduce arc discharge due to the non-uniformity of the conduction path of the discharge layer. It is possible to secure.

【0098】以上より、本発明により画面全域が安定且
つ低電圧で放電し、長寿命なガス放電表示パネルの提供
が可能となる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a gas discharge display panel in which the entire screen is discharged stably at a low voltage and has a long life.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1a】本発明の第一の実施例における、プラズマア
ドレス表示装置の製造方法を説明するための模式的な断
面図である。
FIG. 1a is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a plasma addressed display device according to a first embodiment of the present invention.

【図1b】図1aの被覆電極の詳細な構造を示す模式的
な断面図である。
FIG. 1b is a schematic sectional view showing a detailed structure of the coated electrode of FIG. 1a.

【図2a】本発明の第二の実施例における、DC駆動型
プラズマディスプレイパネルの製造方法を説明するため
の模式的な断面図である。
FIG. 2a is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a DC-driven plasma display panel according to a second embodiment of the present invention.

【図2b】図2aの被覆電極の詳細な構造を示す模式的
な断面図である。
FIG. 2b is a schematic sectional view showing a detailed structure of the coated electrode of FIG. 2a.

【図3a】従来のプラズマアドレス表示装置の構造を示
す模式的な断面図である。
FIG. 3a is a schematic sectional view showing a structure of a conventional plasma addressed display device.

【図3b】図3aの被覆電極の詳細な構造を示す模式的
な断面図である。
FIG. 3b is a schematic sectional view showing a detailed structure of the coated electrode of FIG. 3a.

【図4】従来のDC駆動型プラズマディスプレイパネル
の構造を示す模式的な断面図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing the structure of a conventional DC-driven plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 放電空間 11 陽極 12 陰極 13 バス電極 14 被覆電極 15 被覆電極放電層 16 被覆電極導通層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Discharge space 11 Anode 12 Cathode 13 Bus electrode 14 Coated electrode 15 Coated electrode discharge layer 16 Coated electrode conduction layer

フロントページの続き (72)発明者 橋本 智志 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 石地 弘樹 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 南山 芳彦 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 5C040 FA02 FA09 GB08 GC03 GC05 GC18 KA02 KA04 KB03 KB17 KB19 KB28 MA10 MA17 Continuing on the front page (72) Inventor Satoshi Hashimoto 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Within Sharp Corporation (72) Inventor Hiroki Ishiji 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Corporation (72) Inventor Yoshihiko Minamiyama 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka City, Osaka F-term (reference) 5C040 FA02 FA09 GB08 GC03 GC05 GC18 KA02 KA04 KB03 KB17 KB19 KB28 MA10 MA17

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 放電空間に露出した陽極と陰極を、該放
電間隔を隔てて基板上に対向配置し、この陽極と陰極を
気密容器内にイオン化可能なガスと共に封入してなるガ
ス放電表示パネルにおいて、 該陰極は該基板上に設けられたバス電極と、該バス電極
の該放電空間側に設けられた被覆電極との少なくとも2
層を有し、該被覆電極は導電性粒子と絶縁性粒子を含有
し、該被覆電極に含まれる該導電性粒子の割合が該被覆
電極の膜厚方向の分布において該放電空間側ほど減少し
ていることを特徴とするガス放電表示パネル。
1. A gas discharge display panel comprising an anode and a cathode which are exposed in a discharge space and opposed to each other on a substrate with a discharge interval therebetween, and the anode and the cathode are sealed in an airtight container together with an ionizable gas. Wherein the cathode is at least two of a bus electrode provided on the substrate and a coating electrode provided on the discharge space side of the bus electrode.
The coated electrode contains conductive particles and insulating particles, and the ratio of the conductive particles contained in the coated electrode decreases toward the discharge space in the distribution of the coated electrode in the thickness direction. A gas discharge display panel comprising:
【請求項2】 前記被覆電極の一部或いは全体が、前記
放電空間に近い層である放電層と前記バス電極に近い層
である導通層の2層からなり前記導電性粒子と前記絶縁
性粒子の混合割合が、該放電層において両粒子の総体積
に対して該導電性粒子の体積が20%以上かつ50%未
満であり、該導通層において両粒子の総体積に対して該
導電性粒子の体積が50%以上かつ100%未満である
ことを特徴とする請求項1に記載のガス放電表示パネ
ル。
2. The conductive particles and the insulating particles, wherein a part or the whole of the covering electrode is composed of a discharge layer which is a layer near the discharge space and a conductive layer which is a layer near the bus electrode. Is less than or equal to 20% and less than 50% of the total volume of both particles in the discharge layer, and the conductive particles are more than 50% of the total volume of both particles in the conductive layer. The gas discharge display panel according to claim 1, wherein a volume of the gas discharge display panel is 50% or more and less than 100%.
【請求項3】 前記導電性粒子と前記絶縁性粒子が前記
放電層と前記導通層でそれぞれ同一物質であることを特
徴とする請求項2に記載のガス放電表示パネル。
3. The gas discharge display panel according to claim 2, wherein the conductive particles and the insulating particles are made of the same material in the discharge layer and the conductive layer, respectively.
【請求項4】 前記放電層において、該放電層を構成す
る前記導電性粒子の連鎖が該放電層の膜厚方向に2〜1
0連鎖相当の膜厚を有することを特徴とする請求項2に
記載のガス放電表示パネル。
4. In the discharge layer, a chain of the conductive particles constituting the discharge layer is 2 to 1 in a thickness direction of the discharge layer.
3. The gas discharge display panel according to claim 2, wherein the gas discharge display panel has a thickness equivalent to zero chains.
【請求項5】 前記導電性粒子が希土類元素La、G
d、Y、Nd、Ceの六ホウ化物又は四ホウ化物からな
り、前記絶縁性粒子が、BaAl23、Al23又はL
23からなることを特徴とする請求項1から請求項4
のいずれか1項に記載のガス放電表示パネル。
5. The method according to claim 1, wherein the conductive particles are rare earth elements La and G.
d, Y, Nd, Ce hexaboride or tetraboride, wherein the insulating particles are BaAl 2 O 3 , Al 2 O 3 or L
5. The semiconductor device according to claim 1, comprising a 2 O 3.
A gas discharge display panel according to any one of the preceding claims.
【請求項6】 前記ガス放電表示パネルが液晶層を有す
るプラズマアドレス表示装置であることを特徴とする請
求項1から請求項5のいずれか1項に記載のガス放電表
示パネル。
6. The gas discharge display panel according to claim 1, wherein the gas discharge display panel is a plasma addressed display device having a liquid crystal layer.
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