JP2001084725A - Slider of disk-recording/reproducing apparatus - Google Patents

Slider of disk-recording/reproducing apparatus

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JP2001084725A
JP2001084725A JP26467799A JP26467799A JP2001084725A JP 2001084725 A JP2001084725 A JP 2001084725A JP 26467799 A JP26467799 A JP 26467799A JP 26467799 A JP26467799 A JP 26467799A JP 2001084725 A JP2001084725 A JP 2001084725A
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disk
pad
recording
lubricant
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善弘 上野
Shisei Den
志生 デン
Kaoru Matsuoka
薫 松岡
Masaru Nakakita
勝 中北
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a slider which can prevent contacting between a disk and a slider ABS and suppress wears, even if a float amount is minimized. SOLUTION: The slider has an inflow end 21 and an outflow end 22 positioned on the upstream side and the downstream side of an air flow generated between the slider and a recording medium. Moreover, the slider of the disk-recording/reproducing apparatus has a float facing opposite to the recording medium, and the slider has members 31, 32 and 33 for collecting the air flow which running from the inflow end 21 toward the outflow end 22.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は,ハードディスク装
置等の記憶装置に用いられるスライダに関する。
The present invention relates to a slider used for a storage device such as a hard disk device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ハードディスク装置(以下「HD
D」という)は、記録媒体であるディスクの両面に対し
てデータの記録再生を行なうヘッドを備えている。HD
Dでは、ヘッドはスライダと称するセラミック材質等の
支持体に実装されており、ディスクのデータ記録面に対
して、所定の間隔を以て浮上した状態で支持されてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, a hard disk drive (hereinafter referred to as "HD
D ") includes a head for recording and reproducing data on both sides of a disk as a recording medium. HD
In D, the head is mounted on a support made of a ceramic material or the like called a slider, and is supported in a state of flying above the data recording surface of the disk at a predetermined interval.

【0003】HDDは、1枚あるいは数枚のディスクを
包含している。それらのディスクは互いに接触しないよ
うに間隔を空けて主軸上に積み重ねられてある。
[0003] The HDD includes one or several disks. The disks are stacked on the main shaft at a distance so that they do not touch each other.

【0004】それぞれのディスクの表面は、見掛け上同
一である。しかし実際には、それぞれの表面は、トラッ
クと呼ばれるパッド区画に分割されており、そこにデー
タが記憶される。これらのトラックは、同心状の円とし
て配置されている。ディスクは、金属、樹脂、ガラス等
の種々の材料から作られている。CDに用いられている
ような樹脂のディスクでは、レーザがデータを記憶し検
索する。金属のディスクでは、一般にトランスとして知
られている電磁石によってデータを記憶し検索する。
[0004] The surface of each disk is apparently identical. However, in practice, each surface is divided into pad sections called tracks, in which data is stored. These tracks are arranged as concentric circles. Disks are made of various materials such as metal, resin, glass and the like. On resin disks such as those used for CDs, lasers store and retrieve data. On metal disks, data is stored and retrieved by electromagnets commonly known as transformers.

【0005】磁気ディスク上にデータを記憶するために
は、一般にスライダと呼ばれる小さなセラミックのブロ
ックを用いてディスク表面を磁化する。そのスライダ
は、いわゆる書込みヘッドである磁気変換器を内蔵して
いる。更に特記すると、その書き込みヘッドを内蔵する
スライダは、ディスク表面から数百NMから数十NMの
高さに浮いて、ヘッドはいくつかの状態に励起され、そ
の下に位置するトラックをデータに対応するように磁化
する。
In order to store data on a magnetic disk, the surface of the disk is magnetized using a small ceramic block generally called a slider. The slider incorporates a magnetic transducer, which is a so-called write head. More specifically, the slider containing the write head floats at a height of several hundred NM to several tens of NM from the disk surface, and the head is excited into several states, and the tracks located thereunder correspond to data. Magnetize so that

【0006】磁気ディスク上に記憶されたデータを検索
するためには、読取りヘッドを内蔵するスライダをディ
スク上で浮動させる。この時、トラック上の磁化された
部分によって、読取りヘッド内に電流が誘起される。こ
の読取りヘッドから出力される電流を解析することによ
りコンピュータシステムは、磁気ディスク上に記憶され
たデータを再生し利用することができる。いくつかのH
DDは、読取りと書込みの両方の動作をする変換器を用
いている。また,読み取りヘッドとして最近は,磁気抵
抗効果素子やインダクタンス素子が用いられている。
In order to retrieve data stored on a magnetic disk, a slider containing a read head is floated on the disk. At this time, a current is induced in the read head by the magnetized portion on the track. By analyzing the current output from the read head, the computer system can reproduce and use the data stored on the magnetic disk. Some h
DD uses a transducer that performs both read and write operations. Recently, a magnetoresistive element or an inductance element has been used as a read head.

【0007】レコードと同様に、ディスクの両面も通
常、データまたは他のHDDの操作に必要な情報を記憶
するために使われる。ディスクは積層されておりかつ互
いに間隔をあけているため、積層されたディスクの一枚
一枚の表面と裏面の両方に固有の読取り書込みヘッドを
有している。これはあたかも、両面にそれぞれレコード
針を備えたステレオが同時にレコードの両面を再生でき
るようなものである。
[0007] Like a record, both sides of the disc are usually used to store data or other information necessary for operation of the HDD. Because the disks are stacked and spaced apart from each other, each stacked disk has its own read / write head on both the front and back surfaces. This is as if a stereo with record hands on each side could play both sides of the record at the same time.

【0008】回転型のアクチュエータとリニア型のアク
チュエータを備えた二種類のHDDがある。回転型のア
クチュエータは、レコードプレーヤのトーンアームに似
たアクチュエータ・アームを持っている。トーンアーム
のように、そのアクチュエータ・アームは、読取り書込
みヘッドを内蔵したスライダがディスク上の色々なトラ
ックの上の位置に移動できるように回転する。
There are two types of HDDs having a rotary actuator and a linear actuator. The rotary actuator has an actuator arm similar to the tone arm of a record player. Like a tone arm, its actuator arm rotates so that a slider containing a read / write head can move to positions above various tracks on the disk.

【0009】このようにして、読取り書込みヘッドは、
データに対応するパターンにディスクの表面のトラック
を磁化したり、トラック上の磁化されたパターンを検出
したりするのに用いることができる。例えば、必要とさ
れるデータが、あるディスクの二つの異なるトラック上
に記憶されているとすると、磁気的にデータを表してい
るものを読取るために、アクチュエータ・アームは一方
のトラックから他方のトラックへと回転する。この発明
は、回転型アクチュエータ・HDDに関連するものであ
る。
Thus, the read / write head is:
It can be used to magnetize tracks on the surface of a disk to a pattern corresponding to data, or to detect a magnetized pattern on a track. For example, if the required data is stored on two different tracks of a disk, the actuator arm may move from one track to the other to read what is magnetically representative of the data. Rotate to. The present invention relates to a rotary actuator HDD.

【0010】リニア型アクチュエータも、類似のアクチ
ュエータ・アームを有しているが、位置の移動は、回転
ではなく直線的動きによって行なわれる。
[0010] Linear actuators also have a similar actuator arm, but the movement of position is performed by linear movement rather than rotation.

【0011】HDDのアクチュエータ・アームは、その
先端にスライダが取り付けられており、その中に読取り
書込みヘッドを内蔵している。また、スライダにはパッ
ドが固定されている。ディスクが回転する時、パッドと
ディスク表面の間にエアが引きこまれ、それによってデ
ィスクからヘッドを離しておくための圧力がかかるよう
になっている。こうしてヘッドは、前記したように回転
するディスク上を浮動する。その浮動高度は、エア潤滑
膜の厚さであり、即ちディスク表面とヘッドとの距離で
ある。
[0011] The actuator arm of the HDD has a slider attached to the tip thereof, and has a built-in read / write head therein. A pad is fixed to the slider. As the disk rotates, air is drawn between the pad and the disk surface, thereby applying pressure to keep the head away from the disk. The head then floats on the rotating disk as described above. The flying height is the thickness of the air lubrication film, that is, the distance between the disk surface and the head.

【0012】このように、パッドはエア・ベアリング表
面(ABS)をなし、ヘッドとディスク記憶面との間の
自己加圧式のエア潤滑膜を形成しかつこれを維持してい
る。この膜によって、摩擦及び、ディスク回転中にヘッ
ドとディスクが機械的に接触した場合に生じる摩耗がな
くなる。
Thus, the pad forms an air bearing surface (ABS) and forms and maintains a self-pressurizing air lubrication film between the head and the disk storage surface. This film eliminates friction and wear that occurs when the head and the disk come into mechanical contact during disk rotation.

【0013】従来のABSの設計は、基本的には、テー
パーフラット・スライダとして知られているテーパー形
状の二つのパッドから構成されている。二つのパッドの
テーパーフラットな形状は、典型的には、それぞれがテ
ーパー状の先端を持った二つ以上の平らなパッドを有し
ている。それらのパッドは延長されて、テーパー状の先
端がディスク表面の回転方向に向けられている。
[0013] Conventional ABS designs basically consist of two tapered pads known as tapered flat sliders. The two-pad tapered flat configuration typically has two or more flat pads, each with a tapered tip. The pads are extended with a tapered tip oriented in the direction of rotation of the disk surface.

【0014】このような設計は、ディスクとスライダの
間のエアが、基本的にパッドの長さ方向に沿った一方向
に流れるため、リニア型アクチュエータ・HDDにおい
てはうまく動作する。他の言い方をするなら、このよう
な設計は、スライダの下に粘性的に引き出されたエア
が、スライダの前面から後方へパッドと平行な縦軸に沿
って流れるように、ディスクに対してスライダを配置し
た場合にうまく動作するといえる。
Such a design works well in a linear actuator HDD because the air between the disk and the slider basically flows in one direction along the length of the pad. Stated another way, such a design requires that the slider be positioned relative to the disk such that viscously drawn air under the slider flows from the front of the slider to the rear along a longitudinal axis parallel to the pad. Can be said to work well.

【0015】テーパーフラット設計の考え方は、リニア
型アクチュエータを用いた、アクセス速度の相対的に遅
い、直径の大きいファイルの時代にさかのぼる。
The concept of tapered flat design dates back to the days of relatively slow access speed, large diameter files using linear actuators.

【0016】今日のHDDは、リニア型アクチュエータ
を用いた直径の大きいHDDとは大きく異なっている。
現在のファイルは、非常に小さくてデータのアクセスも
高速である。現在のところ、HDDは、5.25”、
3.50”、2.50”、1.80”の直径のディスク
を処理し、速いアクセス速度を得るために回転型アクチ
ュエータを備えている。
Today's HDDs are significantly different from large diameter HDDs using linear actuators.
Current files are very small and data access is fast. Currently, HDDs are 5.25 ",
It processes 3.50 ", 2.50", and 1.80 "diameter disks and has a rotary actuator for fast access speed.

【0017】主に回転型アクチュエータを使用している
ことにより、スライダの下のエアフローはもはや本質的
に一方向的ではなくなり、スライダの縦軸に関してさま
ざまな角度に広がっている。加えて、アクセス中のアク
チュエータの高速探索動作が、ヘッドとディスクの間の
フローが傾く原因となっている。
Due mainly to the use of rotary actuators, the airflow under the slider is no longer essentially unidirectional, but spreads at various angles with respect to the longitudinal axis of the slider. In addition, the high-speed search operation of the actuator being accessed causes the flow between the head and the disk to be tilted.

【0018】従って、近年の回転型アクチュエータ・H
DDにおいては、エアフローは、もはやスライダの前方
から後方へ移動する、あるいはわずかにそれから逸れる
程度とは考えられない。
Therefore, the recent rotary actuator H
In DD, the airflow is no longer considered to move from the front of the slider to the rear or slightly deviate from it.

【0019】スライダの縦軸に対するエアフローの角度
は、スキュー角と呼ばれる。エアフローが、スライダの
外側の端または外にあたるようにアクチュエータ・アー
ムが位置しているときは、傾斜角は正である。スライダ
の内側の端またはハブにあたるようにアクチュエータ・
アームが位置しているときは、スキュー角は負である。
The angle of the airflow relative to the vertical axis of the slider is called the skew angle. The tilt angle is positive when the actuator arm is positioned so that airflow hits the outer edge or outside of the slider. Actuator so that it touches the inner end of the slider or the hub
When the arm is located, the skew angle is negative.

【0020】テーパーフラット設計は、そのスライダが
回転型アクチュエータ用ではなくむしろリニア型アクチ
ュエータ用に設計されているために、正または負の高ス
キュー角でかつアクセス速度の速いときに浮動高度の極
端な低下が起きやすい。
The tapered flat design has extreme floating altitudes at high positive or negative skew angles and high access speeds because the slider is designed for linear actuators rather than rotary actuators. Drop is easy to occur.

【0021】また、エアフローのねじれによって、スラ
イダが回転するために、浮動高度が全てのパッドの下で
一定ではなくなる。
Also, due to the twisting of the airflow, the flying height is not constant under all pads due to the rotation of the slider.

【0022】スライダの回転は、飛行機が方向を変える
時に、機体を傾けるのに類似している。つまり、片方の
翼を揚げて、もう一方の翼を下げる動きである。HDD
においては、外パッドがディスク表面から離れるときに
正の回転が生じ、外パッドがディスク表面に近付くとき
に負の回転が生じる。
Rotating the slider is analogous to tilting the airframe as the airplane changes direction. In other words, one wing is lifted and the other is lowered. HDD
In, a positive rotation occurs when the outer pad moves away from the disk surface, and a negative rotation occurs when the outer pad approaches the disk surface.

【0023】HDDにおいては、スライダの浮動高度
は、制御を必要とする重要なパラメータである。浮動高
度が上昇すると、信号振幅が小さくなり、信号対雑音比
が減少し、従って誤り率が高くなる。
In the HDD, the flying height of the slider is an important parameter that needs to be controlled. As the floating altitude increases, the signal amplitude decreases and the signal-to-noise ratio decreases, thus increasing the error rate.

【0024】浮動高度が低下すると、ヘッドがディスク
表面と接触する可能性が高くなり、接触すれば、ヘッド
とディスク表面双方の摩耗が進み、信頼性が低下し、さ
らにはHDDの故障の原因ともなる。故障を引き起こす
ような極端なディスク表面との接触は、クラッシュと呼
ばれ、その結果データは再生不能になる。
When the flying height decreases, the possibility that the head comes into contact with the disk surface increases, and if it does, the wear of both the head and the disk surface progresses, and the reliability decreases. Become. Extreme contact with the disk surface that could cause a failure is called a crash, and the data becomes unplayable.

【0025】スライダの回転の制御もまた重要である。
回転によってスライダの端部分が低くなると、ヘッドが
ディスク表面と接触する可能性が高くなる。スライダの
一方の端部分を持ち揚げるような回転が起きると、読取
り書込みヘッドのディスク表面からの距離が長くなり、
浮動高度が高くなったときにデータエラーを生じるのと
同様にデータエラーの原因となる。このような回転の悪
影響は、読取り書込みヘッドがその持ち揚げられる端部
分に装着されている場合に、更にひどくなる。
Controlling the rotation of the slider is also important.
When the end portion of the slider is lowered by rotation, the possibility that the head comes into contact with the disk surface increases. When rotation occurs to lift one end of the slider, the distance of the read / write head from the disk surface increases,
As the floating altitude becomes higher, it causes a data error as well as a data error. The adverse effects of such rotation are exacerbated when the read / write head is mounted on its raised end.

【0026】従来の技術は,特開平8―255331号
公報に示されている。特開平8−255331号公報で
は,パッドのテーパ部の後端は,パッド幅が減少する位
置にあるように構成し,加工公差が浮上特性に影響しに
くくしている。
A conventional technique is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-255331. In Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-255331, the rear end of the tapered portion of the pad is configured so as to be located at a position where the pad width is reduced, so that the processing tolerance hardly affects the flying characteristics.

【0027】[0027]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら,近年の
HDDの記録密度の向上とともに浮上量が極小化し,さ
らにスキュー角の変化速度(シーク速度)が高速化して
いる。特開平8―255331号公報に示された従来の
構成では,シーク速度の高速化に伴い,浮上量の変化量
が大きく,スライダとディスクの接触による摩耗を発生
させるおそれが有るという課題がある。
However, as the recording density of HDDs has increased in recent years, the flying height has been minimized, and the speed of change (seek speed) of the skew angle has been increased. In the conventional configuration disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-255331, there is a problem that a change in the flying height is large with an increase in the seek speed, and there is a possibility that wear due to contact between the slider and the disk may occur.

【0028】本発明の目的は、浮上量が極小化しても浮
上量変動の小さいエア・ベアリング表面のスライダを提
供することである。
It is an object of the present invention to provide a slider having an air bearing surface with a small flying height variation even when the flying height is minimized.

【0029】本発明の他の目的は、浮上量が極小化して
もディスクとスライダのABSとの接触を防止でき摩耗
の抑制が図れるスライダを提供することである。
It is another object of the present invention to provide a slider which can prevent the disk from coming into contact with the ABS of the slider even when the flying height is minimized, thereby suppressing wear.

【0030】本発明のさらに他の目的は、浮上量が極小
化できるスライダを提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a slider capable of minimizing a flying height.

【0031】本発明のさらに他の目的は、ディスク停止
時にスライダが停止し,ディスク始動時およびディスク
停止動作中に発生する吸着力を抑制することのできるス
ライダを提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a slider in which the slider stops when the disk stops and the suction force generated at the start of the disk and during the operation of stopping the disk can be suppressed.

【0032】[0032]

【課題を解決するための手段】本発明に係るディスク記
録再生装置のスライダは、記録媒体との間に生じる空気
流の上流側及び下流側に位置する流入端と流出端を有
し、かつ記録媒体に対向する浮上面を有するディスク記
録再生装置のスライダであって、前記流入端から前記流
出端に向かう前記空気流を集める部材を有し、そのこと
により上記目的が達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION A slider of a disk recording / reproducing apparatus according to the present invention has an inflow end and an outflow end located upstream and downstream of an air flow generated between the disk and a recording medium. A slider of a disk recording / reproducing apparatus having an air bearing surface facing a medium, comprising a member for collecting the air flow from the inflow end to the outflow end, thereby achieving the above object.

【0033】前記部材は、溝部を含んでもよい。[0033] The member may include a groove.

【0034】前記部材は、前記浮上面に設けられた第1
の高さを有する第1突状部を含んでもよい。
The member is a first member provided on the air bearing surface.
May be included.

【0035】前記部材は、前記第1突状部に設けられた
第2の高さを有する第2突状部を含んでもよい。
The member may include a second protrusion having a second height provided on the first protrusion.

【0036】本発明に係るディスク記録再生方法は、記
録媒体との間に生じる空気流の上流側及び下流側に位置
する流入端と流出端を有し、かつ記録媒体に対向する浮
上面を有し、前記流入端から前記流出端に向かう前記空
気流あるいは潤滑剤を集める部材を有するディスク記録
再生装置のスライダを用いて記録再生する記録再生方法
であって、前記スライダは、前記ディスク上の潤滑剤に
接触しつつ記録再生を行い、そのことにより上記目的が
達成される。
The disk recording / reproducing method according to the present invention has an inflow end and an outflow end located upstream and downstream of an airflow generated between the disk and the recording medium, and has a floating surface facing the recording medium. And a recording / reproducing method for recording / reproducing using a slider of a disk recording / reproducing apparatus having a member for collecting the air flow or the lubricant flowing from the inflow end to the outflow end, wherein the slider The recording / reproduction is performed while being in contact with the agent, thereby achieving the above object.

【0037】前記部材は、溝部を含んでもよい。[0037] The member may include a groove.

【0038】前記部材は、前記浮上面に設けられた第1
の高さを有する第1突状部を含んでもよい。
The member includes a first member provided on the air bearing surface.
May be included.

【0039】前記部材は、前記第1突状部に設けられた
第2の高さを有する第2突状部を含んでもよい。 本発
明のある局面に従えば、スライダの浮上量が低い場合で
あっても,スライダの下面に生ずる圧力の発生を一定量
確保でき,浮上量を安定的に保つことができる。
The member may include a second protrusion having a second height provided on the first protrusion. According to one aspect of the present invention, even when the flying height of the slider is low, a constant amount of pressure generated on the lower surface of the slider can be secured, and the flying height can be stably maintained.

【0040】本発明の他の局面に従えば、スライダの浮
上量を低く保つことができ,さらに周辺の圧力の変動に
よる浮上量変動が少ない。
According to another aspect of the present invention, the flying height of the slider can be kept low, and the fluctuation of the flying height due to the fluctuation of the peripheral pressure is small.

【0041】本発明のさらに他の局面に従えば、スライ
ダの浮上量が低い場合であっても,スライダの下面に生
ずる圧力の発生を一定量確保でき,浮上量を安定的に保
つことができる。さらに,ディスク停止時の吸着力の抑
制が行える。
According to still another aspect of the present invention, even when the flying height of the slider is low, a constant amount of pressure generated on the lower surface of the slider can be secured, and the flying height can be stably maintained. . Further, the suction force at the time of stopping the disk can be suppressed.

【0042】[0042]

【発明の実施の形態】以下,本発明の実施の形態につい
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0043】(実施の形態1)図1は、HDD100の
内部の斜視図である。図2は,HDD100の断面図で
ある。HDD100は、ハウジングカバー(図示せず)
により覆われている。アクチュエータ軸20に回動可能
に取り付けられたアクチュエータ・アームの組5のそれ
ぞれの先端には,サスペンション14が取り付けられて
いる。それぞれのサスペンション14の先端には、磁気
変換器あるいは読取り書込みヘッド99(図1および図
2には図示せず)を運ぶスライダ3が取り付けられてい
る。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a perspective view of the inside of an HDD 100. FIG. 2 is a sectional view of the HDD 100. The HDD 100 has a housing cover (not shown).
Covered by A suspension 14 is attached to the tip of each of the actuator arm sets 5 rotatably attached to the actuator shaft 20. At the tip of each suspension 14 is mounted a slider 3 which carries a magnetic transducer or a read / write head 99 (not shown in FIGS. 1 and 2).

【0044】ハウジング7内には主軸1が装着されてい
る。主軸1には、多数のディスク2が回転可能に間隔を
あけて取り付けられている。ディスク2は、モーター8
によって回転する主軸1とともに矢印Aで示す方向に回
転する。スライダ3の中にあって、アクチュエータ・ア
ームの組5で位置決めされるヘッド99(図示せず)に
よって、情報がディスク2上に書込まれあるいはディス
ク2から読取られる。
The main shaft 1 is mounted in the housing 7. A large number of disks 2 are rotatably mounted on the main shaft 1 at intervals. Disk 2 is a motor 8
The main shaft 1 rotates in the direction indicated by the arrow A together with the main shaft 1. Information is written on or read from disk 2 by a head 99 (not shown) located in slider 3 and positioned by actuator arm set 5.

【0045】ディスク2のそれぞれの表面と裏面の両方
にスライダ3が設けられており,各ディスク2の表面と
裏面に情報が書き込まれあるいはディスク2から読み取
られる。ボイスコイルモータ6によって、アクチュエー
タの組5に動力があたえられ、アクチュエータアーム5
はアクチュエータ軸20の周りを揺動する。
Sliders 3 are provided on both the front and back surfaces of the disks 2, and information is written on or read from the front and back surfaces of each disk 2. Power is supplied to the actuator set 5 by the voice coil motor 6 and the actuator arm 5
Swings around the actuator shaft 20.

【0046】スライダ3とそれに一体化された磁気変換
器(図示せず)は、データの磁気的表示をディスク2上
のどのトラックにでも記憶できるようにディスク2の表
面上を動く。HDD100中では、この変換器の動き
は、アクチュエータ軸20の周りの回転によるものであ
る。アクチュエータ・アクチュエータアーム5を回転さ
せることで、スライダ3及びその中の変換器は、ディス
ク2の表面上のどのトラックの上にでも位置することが
できる。
The slider 3 and a magnetic transducer (not shown) integrated therewith move over the surface of the disk 2 so that a magnetic representation of the data can be stored on any track on the disk 2. In the HDD 100, the movement of this transducer is due to rotation about the actuator axis 20. By rotating the actuator / actuator arm 5, the slider 3 and the transducer therein can be positioned on any track on the surface of the disk 2.

【0047】図3は、ディスク2の中の一枚を上から見
た詳細図である。HDDの技術としてよく知られている
ように、それぞれのディスクには、磁気情報が記録され
る同心上のトラックの列がある。内直径(ID)11
は、データが記憶される最も内側の同心トラックであ
る。外直径(OD)10は、データが記憶される最も外
側の同心トラックである。
FIG. 3 is a detailed view of one of the disks 2 as viewed from above. As is well known in the HDD technology, each disk has a row of concentric tracks on which magnetic information is recorded. Inner diameter (ID) 11
Is the innermost concentric track where data is stored. Outer diameter (OD) 10 is the outermost concentric track where data is stored.

【0048】図4(a)に、実施の形態1のスライダ3
のエア・ベアリング表面(以下「ABS」という)の形
状を示す。ABSは、スライダ3の下面に形成され、デ
ィスク表面に向き合っている。ABSの形状は、型成
形、エッチング、レーザ切削加工、イオン粉砕加工、汎
用の機械加工、あるいは他の種々の方法によって形成さ
れる。
FIG. 4A shows the slider 3 according to the first embodiment.
Of the surface of the air bearing (hereinafter referred to as “ABS”). The ABS is formed on the lower surface of the slider 3 and faces the disk surface. The ABS shape is formed by molding, etching, laser cutting, ion pulverizing, general-purpose machining, or various other methods.

【0049】スライダ3には、流入端21、流出端2
2、内周側端23、外周側端24がある。図4(a)に
示すように、スライダ3には、内パッド31、外パッド
32、流出端パッド33が設けられている。
The slider 3 has an inflow end 21 and an outflow end 2
2. There are an inner peripheral end 23 and an outer peripheral end 24. As shown in FIG. 4A, the slider 3 is provided with an inner pad 31, an outer pad 32, and an outflow end pad 33.

【0050】また,内パッド31,外パッド32から一
段高さが低い流入端リセス41が設けられ,さらに高さ
の低い中心リセス43が設けられている。流入端リセス
41には,内パッド31と外パッド32が設けられてお
り,内パッド31と外パッド32の流入端21側には一
段低い流入端リセス41が位置している。
Further, an inflow end recess 41 whose height is one step lower than the inner pad 31 and the outer pad 32 is provided, and a lower center recess 43 is further provided. The inflow end recess 41 is provided with an inner pad 31 and an outer pad 32, and a lower inflow end recess 41 is located on the inflow end 21 side of the inner pad 31 and the outer pad 32.

【0051】流入端21は,ディスク表面が回転する方
向に向いている。回転するディスク2は、粘性効果によ
って、空気を流入端リセス41の下を通過し,内パッド
31と外パッド32の中へ押し込み、それによって、そ
れぞれのパッドの下方にディスク方向に圧力を生じ、そ
の結果エア潤滑膜を形成する。スライダ3のディスク2
方向に作用する圧力を正圧呼び,スライダ3の上方に作
用する圧力を負圧と呼ぶ。
The inflow end 21 faces the direction in which the disk surface rotates. Due to the viscous effect, the rotating disk 2 passes the air under the inflow end recess 41 and pushes it into the inner pad 31 and the outer pad 32, thereby creating pressure in the disk direction below each pad, As a result, an air lubrication film is formed. Disk 2 of slider 3
The pressure acting in the direction is called positive pressure, and the pressure acting above the slider 3 is called negative pressure.

【0052】中心リセス43は、エア潤滑膜効果によっ
て揚力が生じないように、十分な深さにつくられてい
る。記録用変換器あるいは読取り書込みヘッド99は、
通常、流出端パッド33の後端に位置している。
The central recess 43 is formed at a sufficient depth so that lift is not generated by the air lubrication film effect. The recording transducer or read / write head 99 is
Usually, it is located at the rear end of the outflow end pad 33.

【0053】流入端リセス41は,わずかな揚力が生じ
るように所定量の深さでつくられる。本実施の形態で
は,流入端リセス41は、0.2μmの深さであり,中
心リセス43は、1μmの深さである。
The inflow end recess 41 is formed with a predetermined depth so as to generate a slight lift. In the present embodiment, the inflow end recess 41 has a depth of 0.2 μm, and the center recess 43 has a depth of 1 μm.

【0054】図4(a)には、縦軸60も示している。
スライダ3の縦軸60に対するエアフローの角度は、ス
キュー角と呼ばれており、回転アクチュエータ軸20へ
のアクチュエータアーム5の取付け位置に依存する。
FIG. 4A also shows the vertical axis 60.
The angle of the airflow with respect to the longitudinal axis 60 of the slider 3 is called a skew angle, and depends on the mounting position of the actuator arm 5 on the rotary actuator shaft 20.

【0055】スキュー角はIDからODまでの間で大き
く変化する。また、スキュー角は、正にも負にもなる。
矢印Eで示すように,エアフローがスライダ3の外端2
4にあたるようにアクチュエータアーム5が位置してい
る場合は、スキュー角は正であるという。矢印Fで示す
ようにエアフローがスライダ3の内端23にあたるよう
にアクチュエータアーム5が位置している場合は、スキ
ュー角は負であるという。
The skew angle greatly changes between ID and OD. Also, the skew angle can be either positive or negative.
As shown by arrow E, the air flow is
If the actuator arm 5 is located as shown at 4, the skew angle is said to be positive. When the actuator arm 5 is positioned so that the airflow hits the inner end 23 of the slider 3 as shown by the arrow F, the skew angle is said to be negative.

【0056】実施の形態1においては、回転型アクチュ
エータ・アクチュエータアーム5は、ODにおいてスキ
ューが正の最大角度になり、IDにおいて負の最小角度
となるように設置されている。アクチュエータアーム5
の回動により,空気の流入方向が異なり,かつ全てのパ
ッドの下で流入速度も一定ではなくなる。
In the first embodiment, the rotary actuator / actuator arm 5 is installed such that the skew becomes a positive maximum angle at the OD and the negative minimum angle at the ID. Actuator arm 5
Due to the rotation, the inflow direction of the air is different, and the inflow speed is not constant under all the pads.

【0057】実施の形態1においては,ディスク2の回
転数は,一定であり,IDとODのディスク半径変動よ
り,スライダの下方でのディスク速度が異なり,空気の
流速が異なっている。IDでは,最低速度,ODでは最
高速度となる。
In the first embodiment, the rotation speed of the disk 2 is constant, the disk speed below the slider is different, and the air flow speed is different due to the disk radius fluctuation of ID and OD. The ID is the lowest speed, and the OD is the highest speed.

【0058】内パッド31,外パッド32,流出端パッ
ド33では,エア潤滑膜によりスライダの下方に正圧が
発生する。また,流入端リセス41の稜線81,82,
83,84および85では負圧が発生する。スライダ3
は,内パッド31,外パッド32,流出端パッド33と
流入端リセス41等で発生するエア潤滑膜による正圧と
エア潤滑膜による負圧とサスペンション14による押し
付け力によりつりあい,ディスク2から所定量浮上して
保持される。
At the inner pad 31, the outer pad 32, and the outflow end pad 33, a positive pressure is generated below the slider by the air lubricating film. Also, the ridge lines 81, 82,
At 83, 84 and 85, a negative pressure is generated. Slider 3
Is balanced by the positive pressure generated by the air lubricating film, the negative pressure generated by the air lubricating film, generated by the inner pad 31, the outer pad 32, the outflow end pad 33, the inflow end recess 41, etc., and the pressing force of the suspension 14. Floated and held.

【0059】流出端パッド33の空気流入側には,溝部
76が設けられている。溝部76は,くの字の形状に形
成されている。空気流入側稜線73側から流出端パッド
33の下方に流入した空気は,溝部76により中心軸6
0に向かって流れ、相対的に中心軸60上での空気流量
を増加させる。
On the air inflow side of the outflow end pad 33, a groove 76 is provided. The groove 76 is formed in a U shape. The air that has flowed in from the air inflow side ridge line 73 below the outflow end pad 33 flows through the groove 76 to the central shaft 6.
Flowing toward zero, the air flow on the central axis 60 is relatively increased.

【0060】中心軸60側に流れ込んだ空気は,さらに
溝部76の閉じたくの字の先端部の壁面に衝突し,ディ
スク2側に流れ込み圧力を発生させる。さらにヘッドの
99下方に流れ込み,ヘッド99の下方での圧力を増加
させる。
The air that has flowed into the central shaft 60 further collides with the wall surface of the groove-shaped front end of the closed square, and flows into the disk 2 to generate pressure. Further, it flows below the head 99 to increase the pressure below the head 99.

【0061】したがって,ヘッド99の下方の圧力は,
溝部76がない場合に比較して高く保つことが可能であ
り,浮上量が低い場合であっても高い圧力が保てるた
め,安定的に一定の浮上量が保てるばかりでなく,ディ
スク2とスライダ3のABSとの接触も防止できる。
Therefore, the pressure below the head 99 is
Since it is possible to maintain a high pressure even when the flying height is low, it is possible to stably maintain a constant flying height, as well as to keep the disk 2 and the slider 3 high. Can also be prevented from contacting the ABS.

【0062】実施の形態1では,溝部76の深さは,
0.06ミクロンである。溝部76の幅は,20ミクロ
ンである。溝部76と溝部76の間隔は,30ミクロン
である。
In the first embodiment, the depth of the groove 76 is
0.06 microns. The width of the groove 76 is 20 microns. The interval between the grooves 76 is 30 microns.

【0063】また,実施の形態1でディスクが停止し,
スライダがディスク上に停止する際に,スライダ3には
溝部76を設けてあるため,溝部76の部分はディスク
に接触せず,接触面積を減少させることができる。この
ため,ディスクとスライダの接触による吸着力を減少さ
せることができる。
In the first embodiment, the disk stops,
When the slider stops on the disk, the slider 3 is provided with the groove 76, so that the groove 76 does not contact the disk, so that the contact area can be reduced. For this reason, the attraction force due to the contact between the disk and the slider can be reduced.

【0064】さらに,実施の形態1でディスク2が停止
し,スライダ3がディスク2上に停止する際に,ディス
ク表面に設けられた潤滑剤がスライダに付着した場合,
スライダ3には溝部76を設けてあるため,余分な潤滑
剤が溝部76に流入し,適度な潤滑作用をディスクとス
ライダ間で保つことができる。
Further, when the lubricant provided on the disk surface adheres to the slider when the disk 2 stops and the slider 3 stops on the disk 2 in the first embodiment,
Since the slider 3 is provided with the groove 76, excess lubricant flows into the groove 76, and an appropriate lubricating action can be maintained between the disk and the slider.

【0065】図4(a)に示される溝部76の溝パター
ンはあくまで例示であり、流入端から流出端に向かう空
気流を集める限り、任意の溝パターンを採用し得る。例
えば、図4(b)および図4(c)に示す溝部76Aま
たは溝部76Bに示される溝パターンを採用しても良
い。
The groove pattern of the groove 76 shown in FIG. 4A is merely an example, and any groove pattern can be adopted as long as the air flow from the inflow end to the outflow end is collected. For example, the groove pattern shown in the groove 76A or the groove 76B shown in FIGS. 4B and 4C may be adopted.

【0066】図6に潤滑剤の膜厚と吸着力との関係を示
す。一点鎖線は,溝がない場合であり,実線は,溝があ
る場合の吸着力である。溝がある場合は,ない場合に比
較して,潤滑剤の膜厚に依存せず,吸着力を低く保つこ
とができることがわかる。
FIG. 6 shows the relationship between the thickness of the lubricant and the attraction force. The dashed line indicates the case where there is no groove, and the solid line indicates the attraction force when there is a groove. It can be seen that when there is a groove, the suction force can be kept low irrespective of the thickness of the lubricant, as compared with the case without the groove.

【0067】(実施の形態2)図7は、実施の形態2の
スライダの記録再生時の状態を模式的に現した図であ
る。図8は,実施の形態2のスライダのABSの形状の
一例を示す。実施の形態1と符号は同じであり,実施の
形態1と異なる部分のみ説明する。
(Embodiment 2) FIG. 7 is a diagram schematically showing the state of recording and reproduction of a slider according to Embodiment 2 of the present invention. FIG. 8 shows an example of the ABS shape of the slider according to the second embodiment. The reference numerals are the same as those in the first embodiment, and only different parts from the first embodiment will be described.

【0068】スライダ3Aには、流入端21、流出端2
2、内周側端23、外周側端24がある。図8に示すよ
うに、スライダ3Aには、内パッド31、外パッド3
2、流出端パッド33が設けられている。
The slider 3A has an inflow end 21 and an outflow end 2
2. There are an inner peripheral end 23 and an outer peripheral end 24. As shown in FIG. 8, the slider 3A has an inner pad 31, an outer pad 3
2. An outflow end pad 33 is provided.

【0069】また,内パッド31,外パッド32から一
段高さが低い流入端リセス41が設けられ,さらに高さ
の低い中心リセス43が設けられている。流入端リセス
41には,内パッド31と外パッド32が設けられてお
り,内パッド31と外パッド32の流入端21側には一
段低い流入端リセス41が位置している。
Further, an inflow end recess 41 whose height is one step lower than the inner pad 31 and the outer pad 32 is provided, and a center recess 43 whose height is further lower is provided. The inflow end recess 41 is provided with an inner pad 31 and an outer pad 32, and a lower inflow end recess 41 is located on the inflow end 21 side of the inner pad 31 and the outer pad 32.

【0070】流入端21は,ディスク表面が回転する方
向に向いている。回転するディスク2は、粘性効果によ
って、空気を流入端リセス41の下を通過し,内パッド
31と外パッド32の中へ押し込み、それによって、そ
れぞれのパッドの下方にディスク方向に圧力を生じ、そ
の結果エア潤滑膜を形成する。スライダ3のディスク2
方向に作用する圧力を正圧呼び,スライダ3の上方に作
用する圧力を負圧と呼ぶ。
The inflow end 21 faces the direction in which the disk surface rotates. Due to the viscous effect, the rotating disk 2 passes the air under the inflow end recess 41 and pushes it into the inner pad 31 and the outer pad 32, thereby creating pressure in the disk direction below each pad, As a result, an air lubrication film is formed. Disk 2 of slider 3
The pressure acting in the direction is called positive pressure, and the pressure acting above the slider 3 is called negative pressure.

【0071】ディスク2の表面には磁性層58が形成さ
れその上に保護膜59さらに潤滑膜60が形成されてい
る。
On the surface of the disk 2, a magnetic layer 58 is formed, on which a protective film 59 and a lubricating film 60 are formed.

【0072】回転するディスク2の表面の潤滑膜60と
流出端パッド33とは接触しながら,高速で回転する。
潤滑剤の粘性効果によって、潤滑膜60とスライダ3と
の間には圧力が発生する。その結果、潤滑剤スライダが
潤滑剤中で浮上する。
The rotating film 60 on the surface of the rotating disk 2 rotates at a high speed while being in contact with the outflow end pad 33.
Pressure is generated between the lubricant film 60 and the slider 3 due to the viscosity effect of the lubricant. As a result, the lubricant slider floats in the lubricant.

【0073】中心リセス43は、エア潤滑膜効果によっ
て揚力が生じないように、十分な深さにつくられてい
る。記録用変換器あるいは読取り書込みヘッド99は、
通常、流出端パッド33の後端に位置している。
The central recess 43 is formed at a sufficient depth so that lift is not generated by the air lubricating film effect. The recording transducer or read / write head 99 is
Usually, it is located at the rear end of the outflow end pad 33.

【0074】流入端リセス41は,エア潤滑膜効果によ
りわずかな揚力が生じるように所定量の深さでつくられ
る。実施の形態2では,流入端リセス41は,0.2μ
mの深さであり,中心リセス43は,1μmの深さであ
る。
The inflow end recess 41 is formed with a predetermined depth so that a slight lift is generated by the air lubrication film effect. In the second embodiment, the inflow end recess 41 is 0.2 μm.
m and the central recess 43 is 1 μm deep.

【0075】内パッド31,外パッド32ではエア潤滑
膜によりスライダの下方に正圧が発生する。また,流入
端リセス41の稜線81,82,83,84,85では
負圧が発生する。
At the inner pad 31 and the outer pad 32, a positive pressure is generated below the slider by the air lubricating film. Further, a negative pressure is generated at the ridge lines 81, 82, 83, 84, 85 of the inflow end recess 41.

【0076】流出端パッド33では,潤滑剤による粘性
効果により潤滑剤浮上力がスライダ3は,内パッド3
1,外パッド32,と流入端リセス41等で発生するエ
ア潤滑膜による正圧と,流出端パッド33で生ずる潤滑
剤浮上力とサスペンション14による押し付け力とによ
りつりあい,ディスク2から所定量浮上して保持され
る。
In the outflow end pad 33, the slider 3 has a floating force due to the viscous effect of the lubricant.
1, the outer pad 32, the positive pressure of the air lubricating film generated at the inflow end recess 41, and the like, the lubricant floating force generated at the outflow end pad 33, and the pressing force of the suspension 14, balance the disk 2 to a predetermined amount. Is held.

【0077】実施の形態1では,スライダ3は空気流に
よりディスクから浮上していたが,実施の形態2では,
スライダ3AはGで示す方向に進行しながら流入側のパ
ッドは浮上しているが,流出端側のパッド33はディス
ク表面に設けられた潤滑剤と接触している。
In the first embodiment, the slider 3 is levitated from the disk by the airflow, but in the second embodiment,
While the slider 3A moves in the direction indicated by G, the pad on the inflow side floats, while the pad 33 on the outflow end side is in contact with the lubricant provided on the disk surface.

【0078】図8に示すように,流出端側のパッド33
は,実施の形態1に比較して十分小さく形成されてい
る。実施の形態2では,スライダの幅1mmに対し流出
端のパッド33の幅は20ミクロンであり,長さは,3
0ミクロンである。
As shown in FIG. 8, the pad 33 on the outflow end side
Are formed sufficiently smaller than in the first embodiment. In the second embodiment, the width of the pad 33 at the outflow end is 20 μm and the length is 3 μm with respect to the slider width of 1 mm.
0 microns.

【0079】このように流出端側のパッド33を十分小
さく設定することにより,潤滑剤との接触により発生す
る潤滑剤の液体浮上力によりスライダ3Aは潤滑剤中で
浮上する。
By setting the pad 33 on the outflow end side to be sufficiently small in this way, the slider 3A floats in the lubricant due to the liquid floating force of the lubricant generated by contact with the lubricant.

【0080】このとき潤滑剤の下には,保護膜および磁
性層が形成されているが,潤滑剤浮上により保護膜およ
び磁性層とスライダとの接触は起こりにくい。潤滑剤に
よる浮上力を利用しているため,周辺の圧力環境による
浮上量変動が起こりにくい。
At this time, the protective film and the magnetic layer are formed under the lubricant, but the lubricant is hard to come into contact with the protective film and the magnetic layer and the slider. Since the floating force of the lubricant is used, fluctuations in the floating amount due to the surrounding pressure environment are unlikely to occur.

【0081】図9に周辺の圧力が減圧された際の磁性層
とスライダのヘッドとの間隔を示す。一点鎖線はパッド
33がディスクの潤滑剤から離れてエア潤滑により浮上
している場合であり,実線が実施の形態2による、潤滑
剤に接触し潤滑剤による粘性力により潤滑剤中で浮上し
ている場合である。
FIG. 9 shows the distance between the magnetic layer and the head of the slider when the peripheral pressure is reduced. The dashed-dotted line indicates the case where the pad 33 is separated from the lubricant of the disk and is floating by air lubrication, and the solid line is in contact with the lubricant and floats in the lubricant by viscous force of the lubricant according to the second embodiment. If it is.

【0082】実施の形態2によれば,圧力が変化しても
浮上量の変化が抑制される。これは,エア潤滑は大気圧
の影響を受けるが潤滑剤による浮上圧力は大気圧の影響
を受け難いためである。
According to the second embodiment, even if the pressure changes, the change in the flying height is suppressed. This is because air lubrication is affected by the atmospheric pressure, but the floating pressure by the lubricant is hardly affected by the atmospheric pressure.

【0083】また,図9で用いた潤滑剤の厚みは,空気
潤滑の場合は6nmであり,潤滑剤による粘性利用の場
合は,8nmである。図9に示すように、空気の潤滑膜
を利用する場合に比較して,圧力の影響を考慮せずにす
み磁性層とヘッドの間隔を低くたもつことができる。
The thickness of the lubricant used in FIG. 9 is 6 nm in the case of air lubrication, and is 8 nm in the case of viscous use by the lubricant. As shown in FIG. 9, the distance between the magnetic layer and the head can be reduced without considering the effect of pressure, as compared with the case where an air lubricating film is used.

【0084】なお,実施の形態2のスライダのABS形
状は,これに限るものではなく,図10、図11に示す
ような形状であってもよい。図10は本実施の形態2の
他のスライダ3Cの表面の形状を示す図であり,流出端
パッド33には溝が形成されている。
The ABS shape of the slider according to the second embodiment is not limited to this, but may be a shape as shown in FIGS. FIG. 10 is a view showing the shape of the surface of another slider 3C according to the second embodiment. The outflow end pad 33 has a groove formed therein.

【0085】図11には流出端パッドの拡大図を示す。
このように溝形成を行うことにより,潤滑剤が溝にそっ
て流れ,溝の中心軸上では高い潤滑剤の圧力が作用す
る。この潤滑剤の圧力により,容易にスライダが潤滑剤
中で浮上する。
FIG. 11 is an enlarged view of the outflow end pad.
By forming the groove in this manner, the lubricant flows along the groove, and a high lubricant pressure acts on the center axis of the groove. The slider easily floats in the lubricant by the pressure of the lubricant.

【0086】(実施の形態3)図12(a)に実施の形
態3のスライダ3DのABS形状を示す。ABSは、ス
ライダ3Dの下面に形成され、ディスク表面に向き合っ
ている。ABSの形状は、型成形、エッチング、レーザ
切削加工、イオン粉砕加工、汎用の機械加工、あるいは
他の種々の方法によって形成される。以下実施の形態1
および実施の形態2と共通する部分は説明を省略する。
(Third Embodiment) FIG. 12A shows the ABS shape of a slider 3D according to a third embodiment. The ABS is formed on the lower surface of the slider 3D and faces the disk surface. The ABS shape is formed by molding, etching, laser cutting, ion pulverizing, general-purpose machining, or various other methods. Embodiment 1
The description of the portions common to the second embodiment is omitted.

【0087】スライダ3には、流入端21、流出端2
2、内周側端23、外周側端24がある。図12(a)
に示すように、スライダ3には、内パッド31、外パッ
ド32、流出端パッド33が設けられている。また,内
パッド31,外パッド32から一段高さが低い流入端リ
セス41が設けられ,さらに高さの低い中心リセス43
が設けられている。
The slider 3 has an inflow end 21 and an outflow end 2
2. There are an inner peripheral end 23 and an outer peripheral end 24. FIG. 12 (a)
As shown in (1), the slider 3 is provided with an inner pad 31, an outer pad 32, and an outflow end pad 33. An inflow end recess 41 having a lower height from the inner pad 31 and the outer pad 32 is provided, and a lower center recess 43 is provided.
Is provided.

【0088】流入端リセス41には,内パッド31と外
パッド32が設けられており,内パッド31と外パッド
32の流入端21側には一段低い流入端リセス41が位
置している。流入端21は,ディスク表面が回転する方
向に向いている。
The inflow end recess 41 is provided with an inner pad 31 and an outer pad 32, and a lower inflow end recess 41 is located on the inflow end 21 side of the inner pad 31 and the outer pad 32. The inflow end 21 faces the direction in which the disk surface rotates.

【0089】回転するディスク2は、粘性効果によっ
て、空気を流入端リセス41の下を通過し,内パッド3
1と外パッド32の中へ押し込み、それによって、それ
ぞれのパッドの下方にディスク方向に圧力を生じ、その
結果エア潤滑膜を形成する。スライダ3のディスク2方
向に作用する圧力を正圧呼び,スライダ3の上方に作用
する圧力を負圧と呼ぶ。
The rotating disk 2 passes the air under the inflow end recess 41 due to the viscous effect, and the inner pad 3
1 and the outer pad 32, thereby creating a pressure in the disk direction below each pad, thereby forming an air lubricating film. The pressure acting on the slider 3 in the direction of the disk 2 is called positive pressure, and the pressure acting on the slider 3 above is called negative pressure.

【0090】中心リセス43は、エア潤滑膜効果によっ
て揚力が生じないように、十分な深さにつくられてい
る。記録用変換器あるいは読取り書込みヘッド99は、
通常、流出端パッド33の後端に位置している。
The central recess 43 is formed at a sufficient depth so that lift is not generated by the air lubrication film effect. The recording transducer or read / write head 99 is
Usually, it is located at the rear end of the outflow end pad 33.

【0091】流入端リセス41は,わずかな揚力が生じ
るように所定量の深さでつくられる。実施の形態3で
は,流入端リセス41は,0.2μmの深さであり,中
心リセス43は,1μmの深さである。
The inflow end recess 41 is formed with a predetermined depth so as to generate a slight lift. In the third embodiment, the inflow end recess 41 has a depth of 0.2 μm, and the center recess 43 has a depth of 1 μm.

【0092】内パッド31,外パッド32,流出端パッ
ド33では,エア潤滑膜によりスライダの下方に正圧が
発生する。また,流入端リセス41の稜線81,82,
83,84,85では負圧が発生する。
In the inner pad 31, the outer pad 32, and the outflow end pad 33, a positive pressure is generated below the slider by the air lubricating film. Also, the ridge lines 81, 82,
At 83, 84 and 85, a negative pressure is generated.

【0093】スライダ3は,内パッド31,外パッド3
2,流出端パッド33と流入端リセス41等で発生する
エア潤滑膜による正圧とエア潤滑膜による負圧とサスペ
ンション14による押し付け力によりつりあい,ディス
ク2から所定量浮上して保持される。
The slider 3 has an inner pad 31, an outer pad 3
2, balanced by the positive pressure of the air lubricating film generated at the outflow end pad 33 and the inflow end recess 41, the negative pressure of the air lubricating film, and the pressing force of the suspension 14, and floated above the disc 2 by a predetermined amount.

【0094】流出端パッド33の空気流入側には,突起
92が設けられている。突起92は,流出端パッド33
からディスク方向に突出するように形成される。突起9
2は,DLCのスパッタ等で形成される。
A protrusion 92 is provided on the air inflow side of the outflow end pad 33. The protrusion 92 is provided at the outflow end pad 33.
From the disk direction. Protrusion 9
2 is formed by DLC sputtering or the like.

【0095】また本実施の形態では突出量は,流出端パ
ッド表面から30nmである。空気流入側稜線73側か
ら流出端パッド33の下方に流入した空気は,突起92
により中心軸60に向かって流れ相対的に中心軸60上
での空気流量を増加させる。
In this embodiment, the amount of protrusion is 30 nm from the surface of the outflow end pad. The air that has flowed in from below the outflow end pad 33 from the air inflow side ridge line 73 side is
Thus, the air flows toward the central axis 60 and the air flow rate on the central axis 60 is relatively increased.

【0096】中心軸60側に流れ込んだ空気は,さらに
突起92の閉じたくの字の先端部の壁面に衝突し,ディ
スク2側に流れ込み圧力を発生させる。したがって,ヘ
ッド99の下方の圧力は,溝がない場合に比較して高く
保つことが可能であり,浮上量が低い場合であっても高
い圧力が保てるため,安定的に一定の浮上量が保てるば
かりでなく,ディスク2とスライダ3のABSとの接触
も防止できる。
The air that has flowed into the central shaft 60 further collides with the wall surface of the protruding portion 92 at the tip of the closed square, and flows into the disk 2 to generate pressure. Therefore, the pressure below the head 99 can be maintained higher than when there is no groove, and a high pressure can be maintained even when the flying height is low, so that a constant flying height can be stably maintained. In addition, contact between the disk 2 and the ABS of the slider 3 can be prevented.

【0097】また,実施の形態3でディスクが停止し,
スライダがディスク上に停止する際に,スライダ3には
突起92を設けてあるため,突起92の部分と稜線71
稜線72のみがディスクに接触し,スライダとディスク
の接触面積を減少させることができる。このため,ディ
スクとスライダの接触による吸着力を減少させることが
できる。
In the third embodiment, the disk stops,
When the slider stops on the disk, the slider 3 is provided with the projection 92.
Only the ridge line 72 contacts the disk, and the contact area between the slider and the disk can be reduced. For this reason, the attraction force due to the contact between the disk and the slider can be reduced.

【0098】さらに,実施の形態3でディスク2が停止
し,スライダ3がディスク2上に停止する際に,ディス
ク表面に設けられた潤滑剤が突起92にしか付着せず,
スライダ3の流出端パッド33の全面に潤滑剤が付着し
にくい。
Further, when the disk 2 stops in the third embodiment and the slider 3 stops on the disk 2, the lubricant provided on the disk surface adheres only to the projections 92,
The lubricant hardly adheres to the entire surface of the outflow end pad 33 of the slider 3.

【0099】図12(a)に示される突起92のパター
ンはあくまで例示であり、流入端から流出端に向かう空
気流を集める限り、任意のパターンを採用し得る。例え
ば、図12(b)に示す突起92Aに示されるパターン
を採用しても良い。図12(b)に示すように突起部は
複数あってもよい。
The pattern of the protrusion 92 shown in FIG. 12A is merely an example, and any pattern can be adopted as long as the air flow from the inflow end to the outflow end is collected. For example, a pattern shown by the protrusion 92A shown in FIG. As shown in FIG. 12B, there may be a plurality of protrusions.

【0100】[0100]

【発明の効果】以上のように本発明によれば,スライダ
とディスクの接触による摩耗を抑制できるという優れた
効果を有する。
As described above, according to the present invention, there is an excellent effect that wear due to contact between the slider and the disk can be suppressed.

【0101】また本発明によれば、ディスク停止時にス
ライダが停止し,ディスク始動時およびディスク停止動
作中、発生する吸着力を抑制することのできる優れた効
果を有する。
Further, according to the present invention, there is an excellent effect that the slider is stopped when the disk is stopped, and the suction force generated at the start of the disk and during the disk stop operation can be suppressed.

【0102】更に本発明によれば、浮上量が極小化でき
るスライダを提供できるという優れた効果を有する。
Further, according to the present invention, there is an excellent effect that a slider capable of minimizing the flying height can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】HDDの斜視図。FIG. 1 is a perspective view of an HDD.

【図2】HDDの断面図。FIG. 2 is a sectional view of an HDD.

【図3】ディスク2の中の一枚を上から見た詳細図。FIG. 3 is a detailed view of one of the disks 2 as viewed from above.

【図4】実施の形態1のスライダ3のエア・ベアリング
表面(ABS)の形状を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a shape of an air bearing surface (ABS) of the slider 3 according to the first embodiment.

【図5】実施の形態1のスライダ3の断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view of the slider 3 according to the first embodiment.

【図6】実施の形態1の潤滑剤の膜厚と吸着力の関係を
示すグラフ。
FIG. 6 is a graph showing a relationship between a lubricant film thickness and an attraction force according to the first embodiment.

【図7】実施の形態2のスライダの記録再生時の状態を
模式的に現した図。
FIG. 7 is a diagram schematically showing a state of the slider according to the second embodiment during recording and reproduction.

【図8】実施の形態2の実施の形態2のスライダのAB
S形状を示す図。
FIG. 8 is a diagram showing AB of a slider according to a second embodiment of the present invention;
The figure which shows S shape.

【図9】実施の形態2の周辺圧力環境と浮上量の関係を
示すグラフ。
FIG. 9 is a graph showing a relationship between a surrounding pressure environment and a flying height according to the second embodiment.

【図10】実施の形態2の他のスライダのABS形状を
示す図。
FIG. 10 is a diagram showing an ABS shape of another slider according to the second embodiment.

【図11】実施の形態2の他のスライダの流出端パッド
の拡大図。
FIG. 11 is an enlarged view of an outflow end pad of another slider according to the second embodiment.

【図12】実施の形態3のスライダのABS形状を示す
図。
FIG. 12 is a diagram showing an ABS shape of a slider according to the third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 主軸 2 ディスク 3 スライダ 5 アクチュエータ・アームの組 6 ボイスコイルモータ 7 ハウジング 8 モーター 14 サスペンション 20 アクチュエータ軸 99 ヘッド 11 内直径(ID) 10 外直径(OD) 21 流入端 22 流出端 23 内周側端 24 外周側端 31 内パッド 32 外パッド 33 流出端パッド 41 流入端リセス 43 中心リセス 59 保護膜 60 潤滑膜 92 突起 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main shaft 2 Disk 3 Slider 5 Actuator arm set 6 Voice coil motor 7 Housing 8 Motor 14 Suspension 20 Actuator shaft 99 Head 11 Inner diameter (ID) 10 Outer diameter (OD) 21 Inflow end 22 Outflow end 23 Inner circumference end 24 Outer end 31 Inner pad 32 Outer pad 33 Outflow end pad 41 Inflow end recess 43 Center recess 59 Protective film 60 Lubricating film 92 Projection

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松岡 薫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 中北 勝 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Kaoru Matsuoka 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inside the corporation

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録媒体との間に生じる空気流の上流側
及び下流側に位置する流入端と流出端を有し、かつ記録
媒体に対向する浮上面を有するディスク記録再生装置の
スライダであって、 前記流入端から前記流出端に向かう前記空気流を集める
部材を有するディスク記録再生装置のスライダ。
1. A slider of a disk recording / reproducing apparatus having an inflow end and an outflow end located upstream and downstream of an air flow generated between the recording medium and a floating surface facing the recording medium. A slider for a disk recording / reproducing apparatus, comprising: a member for collecting the air flow from the inflow end to the outflow end.
【請求項2】 前記部材は、溝部を含む、請求項1記載
のディスク記録再生装置のスライダ。
2. The slider according to claim 1, wherein the member includes a groove.
【請求項3】 前記部材は、前記浮上面に設けられた第
1の高さを有する第1突状部を含む、請求項1記載のデ
ィスク記録再生装置のスライダ。
3. The slider according to claim 1, wherein the member includes a first protrusion having a first height provided on the floating surface.
【請求項4】 前記部材は、前記第1突状部に設けられ
た第2の高さを有する第2突状部を含む、請求項3記載
のディスク記録再生装置のスライダ。
4. The slider according to claim 3, wherein the member includes a second protrusion having a second height provided on the first protrusion.
【請求項5】 記録媒体との間に生じる空気流の上流側
及び下流側に位置する流入端と流出端を有し、かつ記録
媒体に対向する浮上面を有し、前記流入端から前記流出
端に向かう前記空気流あるいは潤滑剤を集める部材を有
するディスク記録再生装置のスライダを用いて記録再生
する記録再生方法であって、前記スライダは、前記ディ
スク上の潤滑剤に接触しつつ記録再生を行うディスク記
録再生方法。
5. An inflow end and an outflow end positioned upstream and downstream of an air flow generated between the airflow and a recording medium, and a floating surface facing the recording medium, wherein the airflow is generated from the inflow end. A recording / reproducing method for performing recording / reproducing using a slider of a disk recording / reproducing apparatus having a member for collecting the airflow or lubricant toward an end, wherein the slider performs recording / reproducing while contacting a lubricant on the disk. Disc recording and playback method to be performed.
【請求項6】 前記部材は、溝部を含む、請求項5記載
のディスク記録再生方法。
6. The disk recording / reproducing method according to claim 5, wherein the member includes a groove.
【請求項7】 前記部材は、前記浮上面に設けられた第
1の高さを有する第1突状部を含む、請求項5記載のデ
ィスク記録再生方法。
7. The disk recording / reproducing method according to claim 5, wherein the member includes a first protrusion having a first height provided on the floating surface.
【請求項8】 前記部材は、前記第1突状部に設けられ
た第2の高さを有する第2突状部を含む、請求項7記載
のディスク記録再生方法。
8. The disk recording / reproducing method according to claim 7, wherein the member includes a second protrusion having a second height provided on the first protrusion.
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