JP2001076452A - ヘッドサスペンションおよびディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐衝撃性が高く、且つヘッドスライダの安定
した浮上を確保するヘッドサスペンションを提供する。 【解決手段】 ディスクと垂直な方向について剛性を持
つ剛体部４と、ディスクと垂直な方向についてバネ性を
持つバネ部５とを備えるヘッドサスペンション１に、弾
性体を含んでなる制振材６を前記剛体部および前記バネ
部に形成し、バネ部５における制振材６に開口６３が形
成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ディスク装置におい
て、ヘッドスライダを支持するヘッドサスペンションに
関し、特に、ヘッドスライダに伝わる振動を抑制するた
めの構造に関する。

【０００２】ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）や光磁
気ドライブ等のディスク装置においては、ヘッドスライ
ダは回転している磁気ディスクの上を浮上し、ヘッドス
ライダに搭載されたヘッド素子はディスクに対して情報
の読み出しまたは書き込みを行う。近年、ディスクの記
録密度を高めるために、ヘッドスライダの浮上量を低下
させることや、ヘッド素子を小型にすることが進められ
ている。ヘッド素子を所定の位置に正確に位置付けるた
め、ヘッドスライダの振動を抑制することが必要であ
る。

【０００３】

【従来の技術】図１は従来のヘッドサスペンションを示
す図である。図１（ａ）は、ヘッドサスペンションの平
面図であり、ディスクと向き合う面を示す。図１（ｂ）
はヘッドサスペンションの側面図である。

【０００４】ヘッドサスペンション１３は、先端部にヘ
ッドスライダ３が搭載されるジンバル２を有し、基端部
がスペーサ７を介して図示されないアームに取り付けら
れる。アームは回転軸を中心に回動し、ヘッドスライダ
３をディスクの所定の位置へ駆動する。

【０００５】ヘッドサスペンション１３の長手方向に沿
うエッジの一部は折り曲げられ、リブ８を形成する。リ
ブ８が設けられた領域は剛性が大きくなり、剛体部４を
構成する。一方、スペーサ７に取り付けられる領域と剛
体部４との間の領域は比較的剛性が弱いバネ部５を構成
する。

【０００６】図１に示されるヘッドサスペンション１３
は、アームを駆動するボイスコイルモータ（図示されな
い）やディスクを回転するスピンドルモータ（図示され
ない）の振動をヘッドスライダ３に伝えやすい構造であ
った。ヘッドスライダ３に振動が与えられることより、
ヘッドスライダ３の位置決め制御が困難になり、高速動
作が妨げられる。また、読み出し或いは書き込みエラー
が起きやすくなり、ディスク装置の信頼性の低下を招
く。

【０００７】そこで、ヘッドスライダ３に振動が伝わる
ことを防止すべく、図２に示されるように、制振材６が
貼りつけられるヘッドサスペンション１４が提案され
た。制振材６は、ヘッドサスペンション１４のヘッドス
ライダ３が搭載される面と反対側の面に貼り付けられ
る。この構造によると、制振材６がヘッドサスペンショ
ン１４の振動を受けて変形し、振動エネルギーが熱エネ
ルギーに変換される。その結果、ヘッドスライダ３に伝
達される振動が大幅に抑制される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、ディス
ク装置の性能向上に伴い、アクセス速度が速くなってき
た。高速アクセスするためには、ヘッドサスペンション
に大きな加速度を与え、ヘッドスライダを高速に駆動す
る必要がある。そのため、ヘッドサスペンションに今ま
で以上の振動が加わり、制振材が設けられているにもか
かわらず、ヘッドスライダに無視できない振動が現れる
ようになった。

【０００９】これを防止するには、制振材６に覆われる
領域を剛体部４だけでなくバネ部５にまで拡大すること
が考えられる。しかし、バネ部５が制振材に覆われるこ
とにより、適正な値に設定されているヘッドサスペンシ
ョンのバネ圧が変化する。ヘッドサスペンションのバネ
圧はヘッドの浮上量に影響を与える。ヘッドサスペンシ
ョンのバネ圧が大き過ぎると、ヘッドスライダ３の浮上
量が低くなり過ぎて、ヘッドクラッシュの要因となる。
逆に、ヘッドサスペンションのバネ圧が小さ過ぎると、
ヘッドスライダ３の浮上量が高くなり過ぎて、ディスク
の情報が読み取れなくなり、エラーが頻繁に発生する恐
れがある。

【００１０】そこで、本発明の第１の目的は、高速動作
が可能なディスク装置を提供することである。

【００１１】本発明の第２の目的は、信頼性が高いディ
スク装置を提供することである。

【００１２】本発明の第３の目的は、ヘッドスライダの
振動を抑制するヘッドサスペンションを提供することで
ある。

【００１３】本発明の第４の目的は、ヘッドスライダの
浮上を安定させるヘッドサスペンションを提供すること
である。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明のヘッドサスペン
ションは、弾性体を含む制振材がバネ部に形成され、バ
ネ部における制振材はスリット或いは開口が形成されて
いる。この構造によると、バネ部を覆う制振材の面積が
適正な値に保たれ、制振材の被覆に伴うヘッドサスペン
ションのバネ圧の変化が抑制される。その結果、ヘッド
サスペンションのバネ圧は適切な値に保たれ、ヘッドス
ライダへの振動の伝搬抑制だけでなく、ヘッドスライダ
の安定した浮上が確保される。

【００１５】また、上記制振材は、前記剛体部および前
記バネ部に跨がって形成される。この構造によると、制
振材がヘッドサスペンション上に広く分布するが、開口
またはスリットによって、バネ部における制振材で覆わ
れる領域は減少する。その結果、制振材の振動抑制効果
を損なうことなく、ヘッドサスペンションのバネ圧が強
くなり過ぎるのが抑制され、ヘッドの安定した浮上が実
現できる。

【００１６】更に、本発明の制振材は、前記剛体部とバ
ネ部とに分割されて形成されてもよい。制振材が分割さ
れることにより、バネ部において制振材で覆われる領域
が途中で途切れる。その結果、剛体部とバネ部に跨がっ
て制振材が形成されるヘッドサスペンションと比較し
て、ヘッドサスペンションのバネ圧が小さいヘッドサス
ペンションが実現され、先に述べられた形態と同様に、
制振材の振動抑制効果を損なうことなく、ヘッドの安定
した浮上が実現できる。

【００１７】バネ部側の制振材が前記バネ部と基端部の
スペーサとの境界に形成されてもよい。この構造による
と、制振材とスペーサとが協同して振動を抑制する。ま
た、バネ部において制振材に覆われる領域が僅かである
ため、ヘッドサスペンションのバネ圧の変化を最小限に
止められる。

【００１８】更に、本発明は、前述のヘッドサスペンシ
ョンが搭載されたディスク装置である。本発明のディス
ク装置によると、ヘッドサスペンションが適切なバネ圧
を持つとともに、ヘッドスライダへの振動を効果的に抑
制するため、高速な動作と高い信頼性が確保される。

【００１９】

【発明の実施の形態】図３は本発明のヘッドサスペンシ
ョンが搭載されるディスクドライブの斜視図である。

【００２０】図３に示されるディスクドライブは、デー
タが記録される磁気ディスク等のディスク２１、ディス
ク２１を回転駆動するスピンドルモータ２２、ヘッドス
ライダをディスク２１の所定トラックへ駆動するアクチ
ュエータ２３、アクチュエータ２３を揺動駆動するボイ
スコイルモータ（ＶＣＭ）２４等が、カバー３１とベー
ス３２からなるエンクロージャ３０の内部に収納したも
のである。

【００２１】ディスク２１は、スピンドルモータ２２の
ロータ部に固定されている。ディスク２１は、ディスク
ドライブが動作しているとき、スピンドルモータ２２の
スピンドル軸を中心にして回転駆動され、ディスクドラ
イブが非動作のとき、回転停止（静止）する。ディスク
２１の表面には、データおよびサーボ情報が記録される
トラックが同心円状に配置されているデータゾーンと、
ディスクドライブが非動作状態のときにヘッドスライダ
３が退避する停止領域（ＣＳＳゾーン）が設けられてい
る。ディスク２２は本実施形態では複数枚搭載されてい
るが、枚数は１枚であってもよい。

【００２２】図４は本発明のアクチュエータの平面図で
あり、ディスクに対向する面と反対側の面を示す。

【００２３】アクチュエータ２３は、ヘッドアーム２５
とコイルアーム２６とを有する。アクチュエータ２３は
揺動軸２７を中心として回転運動可能に支持されてい
る。ヘッドアーム２５とコイルアーム２６とは、揺動軸
２７を挟んで互いに反対側になるように配設されてい
る。なお、コイルアーム２５とヘッドアーム２６は、ア
ルミからなり、一体に形成されている。

【００２４】コイルアーム２６の面内にはボイスコイル
５１が実装される。ボイスコイル、５１、図３における
ヨーク５２および永久磁石５３は、アクチュエータ２３
を駆動するボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２４を構成す
る。

【００２５】ヘッドアーム２５は、先端において、ヘッ
ドスライダ３が搭載されたヘッドサスペンション１を支
持する。

【００２６】ヘッドサスペンション１は、ディスク２１
の記録面毎に設けられている。ヘッドサスペンション１
は先端にジンバル２を有し、ジンバル２のディスク２１
に対向する面には、ヘッドスライダ３が搭載されてい
る。

【００２７】ヘッドスライダ３は、対応するディスク２
１の記録面に対向し、ヘッドワイヤ４１等により、図示
しない制御部に接続されている。このヘッドスライダ３
は、図示されない制御部からのデータをディスク２１の
表面のトラックに記録し、またトラックに記録されたデ
ータを読み込んで制御部に送るヘッド素子（図示されな
い）を備えている。ヘッドスライダ３はディスクドライ
ブが非動作のときは、ディスク２１の、例えばインナー
領域に設けられたＣＳＳゾーンに接し、ディスクドライ
ブが動作状態にあるときは、回転するディスク２１の表
面を浮上する。ヘッドスライダの浮上量は２０ｎｍ〜３
０ｎｍである。

【００２８】図５は、本発明の第１の実施の形態におけ
るヘッドサスペンション１を示す図であり、対応するデ
ィスクに対向する面と反対側の面を示す。なお、ヘッド
サスペンション１のディスクと対向する面、ヘッドサス
ペンション１の側面は、それぞれ図１（ａ）、図（ｂ）
と同じである。

【００２９】ヘッドサスペンション１の基体は、ステン
レスからなる厚さ約２６μｍの薄板であり、長手方向の
寸法（長さ）は、１５ｍｍ〜２０ｍｍである。

【００３０】ヘッドサスペンション１の先端にはスリッ
ト９が形成される。スリット９に囲まれる領域は、ヘッ
ドサスペンション１が搭載されるジンバル２として機能
する。

【００３１】ヘッドサスペンション１の長手方向に沿う
エッジの一部は折り曲げられ、図１（ｂ）に示されるよ
うに、リブ８が形成されている。リブ８が設けられた領
域は剛性が大きくなり、剛体部４を構成する。

【００３２】ヘッドサスペンション１の基端は、スペー
サ７にスポット溶接等により固着される。ヘッドサスペ
ンション１は、このスペーサ７を介してヘッドアーム２
５にカシメ止めされる。スペーサ７の厚さは０．２ｍｍ
〜０．２５ｍｍであり、ステンレスのような金属からな
る。

【００３３】ヘッドサスペンション１の基体と剛体部４
との間の領域は比較的剛性が弱いバネ部５を構成する。
ここで、剛体部４の長さは３ｍｍ、バネ部５の長さは２
ｍｍ、スペーサ７に重なる部分の長さは３ｍｍ〜５ｍｍ
である。なおバネ部５と剛体部４の長手方向に直交する
方向の寸法（幅）は２ｍｍである。

【００３４】ヘッドスライダ３には、ディスクに対して
情報の読み出しおよび書き込みを行う図示されないヘッ
ド素子が搭載されている。ヘッドサスペンション１の対
応するディスクと対向する面には、図１（ａ）に示され
るように、ヘッド素子に対する読み出しデータおよび書
き込みデータを伝送するケーブル４２が敷設されてい
る。ケーブル４２は、データを伝送する導体よりなる４
本の信号線４３（書き込み用２本、読み出し用２本）と
信号線４３を被覆する絶縁体よりなるフィルム４４から
なる。フィルム４４の厚さは２０μｍ〜３０μｍであ
る。フィルムの材料としてはポリイミドがよく用いられ
る。ケーブル４２は基端部において折り曲げられる。折
り曲げられた領域には、各信号線に対応するパッド端子
４５が配列される。

【００３５】ヘッドサスペンション１の対応するディス
クに対向する面と反対側の面には、ヘッドサスペンショ
ン１の振動を抑制する制振材６が貼りつけられている。
本実施の形態においては、制振材６はヘッドサスペンシ
ョン１の剛体部４とバネ部５に跨がって貼り付けられて
いる。制振材６の外形はＲ長方形であり、長さは４．１
ｍｍ、幅は１．６ｍｍである。ヘッドサスペンションの
剛体部４には、位置併せのための貫通孔１０が設けら
れ、制振材６も貫通孔１０とほぼ同一形状の位置決め穴
６５を有している。制振材６は貫通孔１０と位置決め穴
６５が重なるようにヘッドサスペンション１上に貼り付
けられる。

【００３６】制振材６の構造は図６に示される。制振材
６は複数の層が積層されてなり、本実施の形態において
は、拘束層６１と粘弾性層６２の２つの層からなる。粘
弾性層６１は、粘性と弾性を併せ持ち、制振材６をヘッ
ドサスペンション１に密着させるとともに、ヘッドサス
ペンション１に加わった振動エネルギーを熱エネルギー
に変換する。粘弾性層６１の厚さは５０μｍである。粘
弾性層６１の材料としては、アクリル系樹脂が挙げられ
る。拘束層６２は密着層６１上に形成され、振動を受け
た粘弾性層６２の伸縮を押さえ込み、ヘッドスライダ３
への振動の伝達を抑制する。拘束層６２の厚さは５０μ
ｍである。拘束層６２の材料としては、ポリイミドのよ
うな樹脂やステンレスのような金属が挙げられる。

【００３７】制振材６のバネ部５を覆う領域には開口６
３が形成されている。開口６３は拘束体６２および粘弾
性体６１の両方を貫通し、長さは２０μｍ〜４０μｍ、
幅は８０μｍ〜１００μｍ、面積は０．００１６ｍｍ²
〜０．００４ｍｍ² である。開口６３によって、バネ部
５における制振材６に覆われる面積が広くなり過ぎるの
が抑えられ、制振材６の被覆に伴うヘッドサスペンショ
ン１のバネ圧の変動が軽減される。本実施の形態では、
図５に示される制振材６が貼り付けられたヘッドサスペ
ンション１のバネ圧は０．５ｇｆであるが、制振材６に
開口６３が形成されていなければ、バネ圧は５〜１０％
変化した値となる。

【００３８】ところで、上記制振材６は長円形の開口６
３が形成されているが、開口６３の形状は問われない。
また、開口でなくてもよい。

【００３９】図７は制振材６の表面形状の例を示す。図
７（ａ）は、バネ部５を覆う領域に複数の開口６３が形
成された制振材６を示す。図７（ｂ）は、長手方向につ
いての両エッジにスリット６４が形成された制振材６を
示す。スリット６４は、サスペンションの中心線に対し
て線対象の位置に形成される。なお、変形例として、長
手方向に複数、或いは片側のエッジのみにスリット６４
が形成されてもよい。また、図７（ｃ）は、長手方向の
エッジにスリット６４が交互に形成された制振材６を示
す。

【００４０】制振材６に覆われる面積を増やすことによ
り、耐衝撃性は向上するが、ヘッドサスペンション１の
バネ圧が変化し、ヘッドスライダ３の浮上特性に影響を
与える。そこで、上述のような開口６３やスリット６４
が制振材６に形成される。これにより、バネ部５におい
て、制振材６の幅が狭くなる領域が発生し、ヘッドサス
ペンション１のバネ圧の変動が抑制される。この構造に
より、耐衝撃性が向上するとともに、ヘッドサスペンシ
ョン１の適正なバネ圧が維持され、ヘッドスライダ３の
安定した浮上が確保される。

【００４１】図８は、本発明の第２の実施の形態におけ
るヘッドサスペンション１１の平面図であり、ディスク
２１と対向する面と反対側の面を示す。なお、制振材６
を除いて、本実施の形態におけるヘッドサスペンション
１１と、先に述べられた第１の実施の形態におけるヘッ
ドサスペンション１は同一の構造を有するため、同一部
分の説明は省略する。

【００４２】先に述べられた第１の実施の形態における
ヘッドサスペンション１は、制振材６が剛体部４および
バネ部５に跨がって形成されていたが、本実施の形態に
おいては、剛体部４を覆う先端側制振材６６と基端部側
制振材６７とに分割される。先端側制振材６６および基
端部側制振材６７はともにＲ長方形であり、幅、厚さ、
材料及び層構造については、第１の実施の形態における
制振材６と同じであるが、長さが異なる。先端側制振材
６６の長さは３．５ｍｍ、基端部側制振材６７の長さは
０．４ｍｍである。

【００４３】第２の実施の形態においては、制振材が連
続的には形成されず、途中で分断されている。従って、
第１の実施の形態と同様に、バネ部５の制振材に覆われ
る面積の拡大が抑制され、ヘッドサスペンション１１の
バネ圧の変動が抑制される。それゆえ、耐衝撃性が向上
するとともに、ヘッドサスペンション１１の適正なバネ
圧が維持され、ヘッドスライダ３の安定した浮上が確保
される。

【００４４】図９は、本発明の第３の実施の形態におけ
るヘッドサスペンション１２の平面図であり、ディスク
２１と対向する面と反対側の面を示す。なお、制振材６
を除いて、本実施の形態におけるヘッドサスペンション
１２と、先に述べられた第１および第２の実施の形態に
おけるヘッドサスペンションは同一の構造を有するた
め、同一部分の説明は省略する。

【００４５】先に述べられた第１および第２の実施の形
態におけるヘッドサスペンションは、二層構造の制振材
が剛体部４およびバネ部５の両方に形成されていたが、
本実施の形態においては、二層構造の制振材６６は剛体
部４のみに形成される。バネ部５においては、スペーサ
との境界に粘弾性樹脂６９が形成される。剛体部４にお
ける制振材６の外形はＲ長方形であり、長さは３ｍｍ
３．５ｍｍであり、厚さ、幅、層構造および材料は、前
述の第１の実施の形態における制振材６と同一である。

【００４６】一方、バネ部５上の粘弾性樹脂は、アクリ
ル系樹脂のような材料から形成される。

【００４７】本実施の形態では、バネ部５には拘束体と
粘弾性体とからなる制振材は形成されていないが、スペ
ーサ７が拘束体の役目を果たす。つまり、粘弾性樹脂６
９が振動を吸収し、スペーサ７が粘弾性樹脂６９の伸縮
を押さえ込むことにより、ヘッドスライダ３への振動の
伝搬が抑制される。

【００４８】本実施の形態によると、バネ部５に拘束体
が形成されていないため、バネ部５の剛性が大きくなる
ことが抑えられ、耐衝撃性の向上と、ヘッドスライダ３
の安定した浮上が確保される。

【００４９】また、本発明の第１の実施の形態における
ヘッドサスペンション１と図１および図２に示される従
来のヘッドサスペンションとを振動特性およびダンピン
グ効果の点について比較した。

【００５０】まず、各ヘッドサスペンションの振動特性
を確認すべく、各ヘッドサスペンションをディスク装置
に搭載された状態でスペーサ７に振動を与え、ヘッドス
ライダ３における振幅を計測した。その結果は図１０に
示される。図１０において、横軸は周波数（Ｈｚ）、縦
軸は振幅（ｄＢ）を示す。図１０より、従来のヘッドサ
スペンションにおいては、振動が発振し、ヘッドスライ
ダ搭載領域において大きなピーク値を持つことが確認さ
れた。ここで、図１０に示されるピーク２は、図２に示
されるヘッドサスペンション１４における値を表し、ピ
ーク３は図１に示されるヘッドサスペンション１３にお
ける値を表す。一方、本発明のヘッドサスペンション１
においては、振動は増幅されず、図１のピーク１に示さ
れるように、ヘッドスライダへ伝搬される振動が抑制さ
れていることが確認された。

【００５１】次に、各ヘッドサスペンションのダンピン
グ効果を確認すべく、各ヘッドサスペンションに振動を
与え、振動の減衰時間を計測した。その結果を図１１に
示す。図１１において、横軸は時間、縦軸は振幅を示
す。図１１において、図１１（ａ）は、本発明のヘッド
サスペンション１における結果を示し、図１１（ｂ）、
図１１（ｃ）は、ぞれぞれ、図２、図１に示されるヘッ
ドサスペンションにおける結果を示す。

【００５２】図１１より、図１に示される制振材を持た
ないヘッドサスペンション１３においては、振動が収束
するまでに極めて長い時間を要することが分かる。ま
た、図２に示される制振材を有するヘッドサスペンショ
ン１４においても、振動が効果的に抑制されているとは
いえない。一方、同じく制振材が形成されている本発明
のヘッドサスペンション１においては、制振材がバネ部
まで覆われることにより、より短い時間で振動の減衰が
図れている。図２に示されるヘッドサスペンション１４
と比較すると、本発明のヘッドサスペンション１は、約
２倍速く振動を収束させる能力がある。

【００５３】以上のように、本発明のヘッドサスペンシ
ョンは、バネ部において制振材が一部削減されている
が、図１０および図１１が示すように、振動抑制の点に
おいて何ら問題を生じないことが分かる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、制振
材がヘッドサスペンションのバネ部にまで形成されるこ
とにより、振動が効果的に抑制される。更に、バネ部の
一部に制振材で覆われない領域が設けられることによ
り、ヘッドサスペンションのバネ圧の変動が抑制され、
ヘッドサスペンションの安定した浮上が確保される。そ
して、このようなヘッドサスペンションがディスク装置
に搭載されることにより、高速動作と信頼性の向上が図
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来におけるヘッドサスペンションを示す図で
ある。

【図２】従来における制振材が形成されたヘッドサスペ
ンションを示す図である。

【図３】本発明におけるディスク装置の斜視図である。

【図４】本発明におけるアクチュエータの平面図である

【図５】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。

【図６】制振材を示す図である

【図７】制振材の他の形状を示す図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。

【図９】本発明の第３の実施の形態におけるヘッドサス
ペンションを示す図である。

【図１０】ヘッドサスペンションの振動特性を示すグラ
フである。

【図１１】ヘッドサスペンションの振動の減衰特性を示
すグラフである。

【符号の説明】

１，１１，１２・・・ヘッドサスペンション ３・・・ヘッドスライダ ４・・・剛体部 ５・・・バネ部 ６，６６，６８・・・制振材 ６３・・・開口 ６４・・・スリット ６９・・・粘弾性樹脂

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスクに対して情報の読み出し又は書
   き込みを行うヘッドスライダを支持し、前記ディスクと
   垂直な方向について剛性を持つ剛体部と、該ディスクと
   垂直な方向についてバネ性を持つバネ部とを備えるヘッ
   ドサスペンションにおいて、 弾性体が前記バネ部に形成され、該バネ部における前記
   弾性体に開口或いはスリットが形成されていることを特
   徴とするヘッドサスペンション。
2. 【請求項２】 前記弾性体は、前記剛体部および前記バ
   ネ部に跨がって形成されることを特徴とする請求項１に
   記載のヘッドサスペンション。
3. 【請求項３】 ディスクに対して情報の読み出し又は書
   き込みを行うヘッドスライダを支持し、前記ディスクと
   垂直な方向について剛性を持つ剛体部と、該ディスクと
   垂直な方向についてバネ性を持つバネ部とを備えるヘッ
   ドサスペンションにおいて、 前記剛体部を覆う第１の弾性体と、該第１の弾性体と間
   隔をあけて前記バネ部を覆う第２の弾性体とを有してな
   ることを特徴とするヘッドサスペンション。
4. 【請求項４】 前記第２の弾性材は前記バネ部と基端部
   のスペーサとの境界に形成されることを特徴とする請求
   項３に記載のヘッドサスペンション。
5. 【請求項５】 情報が記録されるディスクと、該ディス
   クを回転させるスピンドルモータと、前記ディスクに対
   してデータの読み出し或いは書き込みを行うヘッドとを
   備えるディスク装置であって、 前記ヘッドを支持し、前記前記ディスクと垂直な方向に
   ついて剛性を持つ剛体部と、該ディスクと垂直な方向に
   ついてバネ性を持つバネ部とを備え、前記バネ部上に弾
   性体が形成されてなり、該バネ部上の前記弾性体に開口
   或いはスリットが形成されていることを特徴とするヘッ
   ドサスペンションを有することを特徴とするディスク装
   置。
6. 【請求項６】 情報が記録されるディスクと、該ディス
   クを回転させるスピンドルモータと、前記ディスクに対
   してデータの読み出し或いは書き込みを行うヘッドとを
   備えるディスク装置であって、 前記ヘッドを支持し、前記前記ディスクと垂直な方向に
   ついて剛性を持つ剛体部と、該ディスクと垂直な方向に
   ついてバネ性を持つバネ部とを備え、前記剛体部上に第
   １の弾性体が形成されてなり、前記バネ部上に該第１の
   弾性体と間隔をあけて第２の弾性体が形成されてなるヘ
   ッドサスペンションを有することを特徴とするディスク
   装置。