JP2001074805A - Test board for ic tester - Google Patents

Test board for ic tester

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JP2001074805A
JP2001074805A JP24988699A JP24988699A JP2001074805A JP 2001074805 A JP2001074805 A JP 2001074805A JP 24988699 A JP24988699 A JP 24988699A JP 24988699 A JP24988699 A JP 24988699A JP 2001074805 A JP2001074805 A JP 2001074805A
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JP
Japan
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socket
test board
test
signal
tester
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Japanese (ja)
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Yoshiyuki Shimizu
禎之 清水
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Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the effect of a test by a method wherein every power- supply line which supplies a power supply to the prescribed terminal of an IC socket is provided, a GND line which grounds a terminal is provided and a plurality of signal line groups whose lengths are different according to every IC socket are provided. SOLUTION: An IC tester body 2, a test head 3 which is connected to the body 2 and a test board 5 which is connected to the test head 3 by a POGO pin 4 constitute this IC tester 1. By this constitution, (n) pieces of ICs which are to be tested are inserted respectively into corresponding sockets SO1 to SOn. When the same test is performed simultaneously in all the sockets SO1 to SOn, a through current flows to the respective ICs which are inserted into the respective sockets SO1 to SOn when a signal which is input to the respective sockets SO1 to SOn from the test board 5 is changed over. A peak current flows to the test board 5. Since the length of respective signal lines in signal line groups A1 to An id different in this constitution, the peak value of a current flowing to the test board 5 is lowered as compared with a case in which the timing of the peak is identical.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ICテスタ等に使
用されるテストボードに関し、特にICテスト時のピー
ク電流を低減するICテスタ用テストボードに関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test board used for an IC tester and the like, and more particularly to a test board for an IC tester for reducing a peak current at the time of an IC test.

【0002】[0002]

【従来の技術】図9は、従来のICテスタ用テストボー
ドを示した概略の構成図である。図9で示しているよう
に、複数のICソケット、例えば図9では2つのICソ
ケット101a,101bが、それぞれ複数の信号線で
構成された対応する信号線群102a,102b、対応
する電源線103a,103b及び対応するGND線1
04a,104bを用いてテストボード100に接続さ
れている。なお、電源線103a及び103bは、対応
するICソケット101a及び101bの所定の端子に
電源を供給する配線であり、GND線104a,104
bは、対応するICソケット101a及び101bの所
定の端子を接地するための配線である。
2. Description of the Related Art FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing a conventional test board for an IC tester. As shown in FIG. 9, a plurality of IC sockets, for example, two IC sockets 101a and 101b in FIG. 9 are provided with corresponding signal line groups 102a and 102b each formed of a plurality of signal lines and corresponding power supply line 103a. , 103b and the corresponding GND line 1
04a and 104b are used to connect to the test board 100. The power supply lines 103a and 103b are wirings for supplying power to predetermined terminals of the corresponding IC sockets 101a and 101b, and are GND lines 104a and 104b.
b is a wiring for grounding predetermined terminals of the corresponding IC sockets 101a and 101b.

【0003】ここで、信号線群102aと102bにお
ける各信号線は、それぞれ同じ長さであり、電源線10
3aと103b、及びGND線104aと104bの配
線長はそれぞれ同じ長さである。このため、同じテスト
をすべてのソケットで同時に行った場合、テスト用信号
の信号レベルの切り替わり時に、各ICソケットに挿入
されたそれぞれのICで貫通電流が流れ、各ICソケッ
ト101a及び101bには、図10で示すような過渡
的な電流Ia,Ibが流れる。なお、図10において、
SIaは、ICソケット101aとICとの接触部の信
号波形を、SIbは、ICソケット101bとICとの
接触部の信号波形をそれぞれ示しており、Iaは、IC
ソケット101aにおける貫通電流を、Ibは、ICソ
ケット101bにおける貫通電流をそれぞれ示してい
る。
Here, each signal line in the signal line groups 102a and 102b has the same length, and
The wiring lengths of 3a and 103b and the GND lines 104a and 104b are the same. For this reason, when the same test is performed simultaneously on all sockets, when the signal level of the test signal is switched, a through current flows through each IC inserted into each IC socket, and each IC socket 101a and 101b has Transient currents Ia and Ib flow as shown in FIG. In FIG. 10,
SIa indicates a signal waveform at a contact portion between the IC socket 101a and the IC, SIb indicates a signal waveform at a contact portion between the IC socket 101b and the IC, and Ia indicates an IC waveform.
The through current in the socket 101a and Ib indicate the through current in the IC socket 101b.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】このように、全てのI
Cソケットで同時に過渡的な貫通電流が流れると、テス
トボード100からは、これらの貫通電流が重なり、非
常に大きなピーク電流が流れる。このため、同時にテス
トを行うことがでできるICの数は、ドライバ数等によ
っても異なるが、B.I(バーン・イン)装置等に大電
流を流す場合、該装置の許容電流によって決まることが
多かった。このことから、同時にテストを行うことがで
きるICの数が制限されるため、テスト効率を向上させ
ることができなかった。
As described above, all of the I
When a transient through current flows simultaneously in the C socket, these through currents overlap from the test board 100, and a very large peak current flows. Therefore, the number of ICs that can be tested at the same time depends on the number of drivers and the like. However, when a large current flows through a BI (burn-in) device or the like, it may be determined by the allowable current of the device. There were many. For this reason, the number of ICs that can be tested at the same time is limited, so that the test efficiency cannot be improved.

【0005】本発明は、上記のような問題を解決するた
めになされたものであり、各ICソケットで流れる過渡
的な貫通電流のピークのタイミングをずらすことによっ
て、同時にテストを行うことができるICの数を増加さ
せ、テスト効率の向上を図ることができるICテスタ用
テストボードを得ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an IC capable of simultaneously performing a test by shifting the timing of a peak of a transient through current flowing in each IC socket. It is an object of the present invention to obtain an IC tester test board capable of increasing the number of test boards and improving test efficiency.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明に係るICテス
タ用テストボードは、ICのテストを行うICテスタの
本体と複数のICソケットとを接続するICテスタ用テ
ストボードにおいて、対応するICソケットの所定の端
子に対して電源の供給を行う各電源線と、対応するIC
ソケットの所定の端子を接地する各GND線と、各IC
ソケットの所定の端子に対応して接続され各ICソケッ
トに応じて長さが異なる同じ長さの複数の信号線からな
る各信号線群とを備えるものである。
An IC tester test board according to the present invention is an IC tester test board for connecting a main body of an IC tester for testing an IC and a plurality of IC sockets. Each power supply line for supplying power to a predetermined terminal and a corresponding IC
Each GND line for grounding a predetermined terminal of the socket, and each IC
A signal line group including a plurality of signal lines of the same length which are connected corresponding to predetermined terminals of the socket and have different lengths according to the respective IC sockets.

【0007】また、この発明に係るICテスタ用テスト
ボードは、請求項1において、各電源線がそれぞれ同じ
長さであると共に各GND線がそれぞれ同じ長さであ
り、各信号線群は、ICソケットごとにそれぞれ長さが
異なる同じ長さの複数の信号線からなるものである。
In the test board for an IC tester according to the present invention, the power supply lines have the same length and the GND lines have the same length. It consists of a plurality of signal lines of the same length, each having a different length for each socket.

【0008】また、この発明に係るICテスタ用テスト
ボードは、請求項1において、各電源線がそれぞれ同じ
長さであると共に各GND線がそれぞれ同じ長さであ
り、各ICソケットを複数のグループに分け、各信号線
群は、該各グループごとに長さが異なる同じ長さの複数
の信号線からなるものである。
In the test board for an IC tester according to the present invention, in claim 1, each power supply line has the same length, each GND line has the same length, and each IC socket has a plurality of groups. Each signal line group is composed of a plurality of signal lines having the same length and different lengths for each group.

【0009】また、この発明に係るICテスタ用テスト
ボードは、ICのテストを行うICテスタの本体と複数
のICソケットとを接続するICテスタ用テストボード
において、対応するICソケットの所定の端子に対して
電源の供給を行い各ICソケットに応じた長さを有する
各電源線と、対応するICソケットの所定の端子を接地
し各ICソケットに応じた長さを有する各GND線と、
各ICソケットの所定の端子に対応して接続される複数
の信号線からなる各信号線群とを備えるものである。
Further, the test board for an IC tester according to the present invention is a test board for an IC tester for connecting a main body of an IC tester for testing an IC to a plurality of IC sockets. Power supply lines for supplying power to the respective IC sockets, and ground lines for grounding predetermined terminals of the corresponding IC sockets, and GND lines having a length corresponding to the respective IC sockets;
And a signal line group including a plurality of signal lines connected to predetermined terminals of each IC socket.

【0010】また、この発明に係るICテスタ用テスト
ボードは、請求項4において、各信号線群を構成するす
べての信号線をそれぞれ同じ長さにし、各電源線及び各
GND線をICソケットごとにそれぞれ異なる長さにす
ると共に、同一ICソケットに対する電源線及びGND
線の長さを同じにしたものである。
In the test board for an IC tester according to the present invention, in claim 4, all signal lines constituting each signal line group have the same length, and each power supply line and each GND line are connected to each IC socket. Power supply line and GND for the same IC socket
Line lengths are the same.

【0011】また、この発明に係るICテスタ用テスト
ボードは、請求項4において、各信号線群を構成するす
べての信号線をそれぞれ同じ長さにし、各ICソケット
を複数のグループに分け、各電源線及び各GND線を各
グループごとに異なる長さにすると共に、同一ICソケ
ットに対する電源線及びGND線の長さが同じになるよ
うにしたものである。
Further, in the test board for an IC tester according to the present invention, in claim 4, all signal lines constituting each signal line group have the same length, and each IC socket is divided into a plurality of groups. The power supply lines and the GND lines have different lengths for each group, and the lengths of the power supply lines and the GND lines for the same IC socket are the same.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】次に、図面に示す実施の形態に基
づいて、本発明を詳細に説明する。 実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1における
ICテスタ用テストボードの例を示した概略の構成図で
あり、図1(a)は正面図を、図1(b)は平面図を示して
いる。図1において、ICのテストを行うテスト装置で
あるICテスタ1は、ICテスタ本体2と、該ICテス
タ本体2に接続され固定されたテストヘッド3と、該テ
ストヘッド3とポゴピン4で接続されたテストボード5
とで構成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in the drawings. Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of an IC tester test board according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 1 (a) shows a front view, and FIG. 1 (b) shows a plan view. I have. In FIG. 1, an IC tester 1 which is a test device for testing an IC is connected to an IC tester main body 2, a test head 3 connected to and fixed to the IC tester main body 2, and connected to the test head 3 and pogo pins 4. Test board 5
It is composed of

【0013】テストボード5には、n個(nは、2以上
の自然数)のICソケット(以下、ソケットと呼ぶ)S
1〜SOnが、それぞれ複数の信号線で構成された対応
する信号線群A1〜An、対応する電源線P1〜Pn及び対
応するGND線G1〜Gnを用いてそれぞれ接続されてい
る。なお、電源線P1〜Pnは、対応するソケットSO 1
〜SOnの所定の端子に電源を供給する配線であり、G
ND線G1〜Gnは、対応するソケットSO1〜SOnの所
定の端子を接地するための配線である。
The test board 5 has n pieces (n is 2 or more).
) Of IC sockets (hereinafter referred to as sockets) S
O1~ SOnBut each is composed of multiple signal lines
Signal line group A1~ An, Corresponding power line P1~ PnAnd pair
Corresponding GND line G1~ GnAre connected using
You. Note that the power line P1~ PnIs the corresponding socket SO 1
~ SOnIs a wiring for supplying power to a predetermined terminal of
ND line G1~ GnIs the corresponding socket SO1~ SOnPlace
This is a wiring for grounding a fixed terminal.

【0014】電源線P1〜Pn、及びGND線G1〜Gn
配線の長さはそれぞれ同じであるが、信号線群A1〜An
における各信号線の長さはそれぞれ異なっている。一
方、信号線群A1を構成する各信号線の長さは同じであ
るように、信号線群A1〜Anの個々において、構成する
各信号線はそれぞれ同じ長さである。なお、図1では、
信号線群A1から順に信号線の長さが長くなる場合を例
にして示している。
The power supply lines P 1 -P n and the GND lines G 1 -G n have the same length, but the signal line groups A 1 -A n.
Are different from each other in length. On the other hand, as the length of each signal line constituting the signal line group A 1 is the same, in each of the signal line groups A 1 to A n, the signal lines constituting the same length, respectively. In FIG. 1,
The case where the signal line group A 1 length of the signal line becomes longer in the order are shown as an example.

【0015】このような構成において、テストを行うn
個のICが対応する各ソケットSO 1〜SOnにそれぞれ
挿入され、同じテストをすべてのソケットSO1〜SOn
で同時に行った場合、テストボード5から各ソケットS
1〜SOnに入力される信号の切り替わり時に、各ソケ
ットSO1〜SOnに挿入されたそれぞれのICで貫通電
流が流れる。このため、各ソケットSO1〜SOnに、過
渡的な電流がそれぞれ流れることによって、テストボー
ド5にピーク電流が流れる。しかし、信号線群A1〜An
の各信号線の長さが異なることから、ソケットに流れる
過渡的な各貫通電流がピークとなるタイミングがそれぞ
れ異なり、該各貫通電流がピークとなるタイミングがす
べて同じである場合と比較して、テストボード5を流れ
る電流のピーク値が低下する。
In such a configuration, a test n
Sockets SO corresponding to each IC 1~ SOnTo each
Insert the same test into all sockets SO1~ SOn
If the test is performed at the same time,
O1~ SOnWhen switching signals input to the
SO1~ SOnThrough each IC inserted in
The current flows. Therefore, each socket SO1~ SOnTo, over
Test current
The peak current flows through the node 5. However, the signal line group A1~ An
Flows into the socket because the length of each signal line is different
The timing at which each transient through current peaks
However, the timing at which each through current reaches a peak is
Compared to the case where all are the same,
Current peak value decreases.

【0016】図2は、図1で示したICテスタ用テスト
ボードの各部の波形を示した図であり、図2を用いても
う少し詳細に説明する。図2において、SI1〜SI
nは、対応するICソケットSO1〜SOnとICとの接
触部の信号波形を、I1〜Inは、対応するICソケット
SO1〜SOnに流れる貫通電流を示している。テストボ
ード5から、信号線群A1〜Anを介して各ソケットSO
1〜SOnに対して、LowレベルからHighレベルに
立ち上がる所定のテスト用信号がそれぞれ出力される。
これに伴って、ソケットSO1〜SOnにおけるICとの
それぞれの接触部には、信号線群A1〜Anによって生じ
る遅延時間T1〜Tn後に該テスト用信号がそれぞれ入力
される。信号線群A1〜Anにおける各信号線長を、信号
線群A1から順に長くなるようにしたことから、遅延時
間T1<遅延時間T2<…………<遅延時間Tnとなる。
FIG. 2 is a diagram showing waveforms at various parts of the test board for the IC tester shown in FIG. 1, which will be described in more detail with reference to FIG. In FIG. 2, SI 1 to SI
n is a signal waveform of the contact portion of the corresponding IC socket SO 1 to SO n and IC, I 1 ~I n represents current flowing through the corresponding IC socket SO 1 to SO n. From the test board 5, each socket SO via the signal line group A 1 to A n
For 1 to SO n , predetermined test signals rising from a low level to a high level are output.
Along with this, the respective contact portions of the IC in the socket SO 1 to SO n, the test signal are input after the delay time T 1 through T n caused by the signal line group A 1 to A n. Each signal line length in the signal line group A 1 to A n, since it was set to be sequentially longer from the signal line group A 1, and the delay time T 1 <delay time T 2 <............ <delay time T n Become.

【0017】一方、テストボード5は、ポゴピン4を介
してテストヘッド3に接続される。ここで、キャリブレ
ーションをポゴピン4までしか行わず、テストボード5
のキャリブレーションを行わないようにする。このよう
にすることによって、ICテスタ本体2は、各信号線群
1〜Anはすべて同じ遅延値を有するものとしているこ
とから、ソケットSOnにおけるICとの接触部での信
号は、ソケットSOn-1におけるICとの接触部での信
号よりも(遅延時間Tn−遅延時間Tn-1)だけ遅れる。
例えば、ソケットSO2におけるICとの接触部での信
号は、ソケットSO1におけるICとの接触部での信号
よりも(遅延時間T2−遅延時間T1)だけ遅れる。
On the other hand, the test board 5 is connected to the test head 3 via the pogo pins 4. Here, the calibration is performed only up to the pogo pins 4 and the test board 5
Do not perform calibration of. By doing so, IC tester body 2, since it is assumed to have all the signal lines A 1 to A n are the same delay value, the signal at the contact portion of the IC in the socket SO n the socket It is delayed by (delay time T n -delay time T n-1 ) from the signal at the contact portion with the IC at SO n-1 .
For example, the signal at the contact portion of the IC in the socket SO 2, rather than the signal at the contact portion of the IC in the socket SO 1 (delay time T 2 - delay time T 1) delayed by.

【0018】したがって、テスト用信号の信号レベルの
切り替わり時での、各ICにおけるそれぞれの貫通電流
においても、ソケットSOnに挿入されたICの貫通電
流はソケットSOn-1に挿入されたICよりも(遅延時
間Tn−遅延時間Tn-1)だけ遅れる。このため、各IC
における貫通電流のピークのタイミングがそれぞれずれ
ることから、テストボード5から流れる電流のピーク値
は信号線群A1〜Anの各信号線の長さを同じにした場合
と比較して小さくなることが分かる。
[0018] Thus, at the time of switching of the signal level of the test signal, in each of the through current in each IC, through current IC inserted into the socket SO n than IC inserted into the socket SO n-1 Is also delayed by (delay time T n -delay time T n-1 ). Therefore, each IC
Timing of the peak of a through current from being displaced respectively, the peak value of the current flowing from the test board 5 be smaller as compared with the case where the length of each signal line of the signal line group A 1 to A n in the same in I understand.

【0019】このように、本実施の形態1におけるIC
テスタ用テストボードは、テストボード5から所定のテ
スト用信号を各ソケットSO1〜SOnに出力する際に使
用される信号線群A1〜Anをそれぞれ異なる配線長にし
て、ソケットSO1〜SOnに挿入された各ICへの上記
テスト用信号の到達遅延時間が異なるようにした。この
ことから、テストボード5から流れる電流のピーク値は
信号線群A1〜Anの各配線長を同じにした場合と比較し
て小さくすることができ、同時測定できるICの数を増
やすことができるため、テスト効率の向上を図ることが
できる。
As described above, the IC according to the first embodiment
Test board tester, and a signal line group A 1 to A n are used to output the test board 5 a predetermined test signal to each socket SO 1 to SO n to different wire lengths, socket SO 1 ... The arrival delay time of the test signal to each of the ICs inserted into .about.SO n is made different. Therefore, the peak value of the current flowing from the test board 5 can be reduced as compared with the case where the respective wiring lengths of the signal line groups A 1 to A n in the same, increasing the number of IC which can simultaneously measure Therefore, test efficiency can be improved.

【0020】実施の形態2.上記実施の形態1では、信
号線群A1〜Anをそれぞれ異なる配線長にしたが、ソケ
ットSO1〜SOnを所定の数のグループに分け、該グル
ープごとに信号線群の配線長を変えるようにしてもよ
く、このようにしたものを本発明の実施の形態2とす
る。図3は、本発明の実施の形態2におけるICテスタ
用テストボードの例を示した概略の構成図であり、図3
(a)は正面図を、図3(b)は平面図を示している。な
お、図3では、図1と同じものは同じ符号で示してお
り、ここではその説明を省略する。また、本実施の形態
2では、説明を分かりやすくするために、ICソケット
SO1〜SOnを2つのグループに分けた場合を例にして
説明する。
Embodiment 2 In the first embodiment, although the signal line group A 1 to A n into different wire lengths, divided socket SO 1 to SO n groups of a predetermined number, the wiring length of the signal line group for each said group This may be changed, and such a configuration is referred to as a second embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an example of an IC tester test board according to Embodiment 2 of the present invention.
3A shows a front view, and FIG. 3B shows a plan view. In FIG. 3, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted here. Further, in the second embodiment, for the sake of simplicity of description, a case where IC sockets SO 1 to SO n are divided into two groups will be described as an example.

【0021】図3で示しているように、テストボード5
には、ソケットSO1〜SOnが、対応する信号線群A1
〜An、電源線P1〜Pn及びGND線G1〜Gnでそれぞ
れ接続されている。ソケットSO1〜SOnは、2つのグ
ループGR1及びGR2に分けられており、電源線P1
〜Pn、及びGND線G1〜Gnの配線の長さはそれぞれ
同じであるが、グループGR1のソケットにおける信号
線群の配線の長さと、グループGR2のソケットにおけ
る信号線群の配線の長さは、それぞれ異なっている。
As shown in FIG. 3, the test board 5
Includes sockets SO 1 to SO n corresponding to signal line groups A 1.
To A n, they are connected in the power supply line P 1 to P n and GND lines G 1 ~G n. The sockets SO 1 to SO n are divided into two groups GR1 and GR2, and the power lines P 1
To P n and GND lines G 1 to G n have the same length, but the length of the signal line group in the socket of the group GR1 and the length of the signal line group in the socket of the group GR2. Each is different.

【0022】ここで、ソケットSO1〜SOnの内、例え
ば、nが奇数値の各ソケットをグループGR1とし、n
が偶数値の各ソケットをグループGR2とする。グルー
プGR1の各ソケットに対応する信号線群の配線長はそ
れぞれ同じであり、グループGR1の該信号線群の個々
において、構成する各信号線はそれぞれ同じ長さであ
る。同様に、グループGR2の各ソケットに対応する信
号線群の配線長はそれぞれ同じであり、グループGR2
の該信号線群の個々において、構成する各信号線はそれ
ぞれ同じ長さである。なお、図3では、グループGR2
の信号線群が、グループGR1の信号線群よりも配線の
長さが長くなる場合を例にして示している。
Here, among the sockets SO 1 to SO n , for example, each socket where n is an odd value is defined as a group GR 1, and n
Each socket having an even number is a group GR2. The wiring length of the signal line group corresponding to each socket of the group GR1 is the same, and each of the constituent signal lines is the same in each of the signal line groups of the group GR1. Similarly, the wiring length of the signal line group corresponding to each socket of the group GR2 is the same, and
Each of the constituent signal lines has the same length. In FIG. 3, the group GR2
In the example shown, the signal line group has a longer wiring length than the signal line group of the group GR1.

【0023】このような構成において、テストを行うn
個のICが対応する各ソケットSO 1〜SOnにそれぞれ
挿入され、同じテストをすべてのソケットSO1〜SOn
で同時に行った場合、テストボード5から各ソケットS
1〜SOnに入力されるテスト用信号の切り替わり時
に、各ソケットSO1〜SOnに挿入されたそれぞれのI
Cで貫通電流が流れる。このため、各ソケットSO1
SOnには、過渡的な電流がそれぞれ流れ、テストボー
ド5をピーク電流が流れる。
In such a configuration, a test n
Sockets SO corresponding to each IC 1~ SOnTo each
Insert the same test into all sockets SO1~ SOn
If the test is performed at the same time,
O1~ SOnWhen the test signal input to the
And each socket SO1~ SOnEach I inserted in
A through current flows at C. Therefore, each socket SO1~
SOnTransient currents flow through the test board
A peak current flows through the node 5.

【0024】しかし、グループGR1の信号線群の各信
号線の長さと、グループGR2の信号線群の各信号線の
長さが異なることから、テストボード5からグループG
R1の各ソケットに流れる過渡的な各貫通電流がピーク
となるタイミングと、テストボード5からグループGR
2の各ソケットに流れる過渡的な各貫通電流がピークと
なるタイミングとがそれぞれ異なり、該各貫通電流がピ
ークとなるタイミングがすべて同じである場合と比較し
て、テストボード5を流れる電流のピーク値が低下す
る。
However, since the length of each signal line of the signal line group of the group GR1 is different from the length of each signal line of the signal line group of the group GR2, the test board 5
The timing at which each transient through current flowing through each socket of R1 reaches a peak, and the timing from the test board 5 to the group GR
2 is different from the timing at which the transient through currents flowing through the sockets 2 are different from each other, and the peaks of the current flowing through the test board 5 are different from the case where the timings at which the respective through currents peak are all the same. The value decreases.

【0025】図4は、図3で示したICテスタ用テスト
ボードの各部の波形を示した図であり、図4を用いても
う少し詳細に説明する。なお、図4では、図2と同じも
のは同じ符号を用いて示している。テストボード5か
ら、信号線群A1〜Anを介して各ソケットSO1〜SOn
に対して、LowレベルからHighレベルに立ち上が
る所定のテスト用信号がそれぞれ出力される。これに伴
って、グループGR1の各ソケットにおけるICとのそ
れぞれの接触部には、対応する信号線群によって生じる
遅延時間Ta後に、グループGR2の各ソケットにおけ
るICとのそれぞれの接触部には、対応する信号線群に
よって生じる遅延時間Tb後にそれぞれ上記テスト用信
号が入力される。グループGR2の各信号線群における
それぞれの信号線長は、グループGR1の各信号線群に
おけるそれぞれの信号線長よりも長くなるようにしたこ
とから、遅延時間Tb>遅延時間Taとなる。
FIG. 4 is a diagram showing waveforms at various parts of the test board for the IC tester shown in FIG. 3, and will be described in more detail with reference to FIG. In FIG. 4, the same components as those in FIG. 2 are indicated by the same reference numerals. From the test board 5, each socket SO 1 via the signal line group A 1 ~A n ~SO n
, A predetermined test signal that rises from a low level to a high level is output. Accordingly, the respective contact portions with the ICs in the sockets of the group GR1 are provided with the respective contact portions with the ICs in the sockets of the group GR2 after the delay time Ta generated by the corresponding signal line group. Each of the test signals is input after a delay time Tb generated by the corresponding signal line group. Since each signal line length in each signal line group of the group GR2 is longer than each signal line length in each signal line group of the group GR1, the delay time Tb> the delay time Ta.

【0026】一方、キャリブレーションをポゴピン4ま
でしか行わず、テストボード5のキャリブレーションを
行わないようにする。このようにすることによって、I
Cテスタ本体2は、各信号線群A1〜Anはすべて同じ遅
延値を有するものとしていることから、グループGR2
の各ソケットにおけるICとの接触部での信号は、グル
ープGR1の各ソケットにおけるICとの接触部での信
号よりも(遅延時間Tb−遅延時間Ta)だけ遅れる。
例えば、ソケットSO2におけるICとの接触部での信
号は、ソケットSO1におけるICとの接触部での信号
よりも(遅延時間Tb−遅延時間Ta)だけ遅れる。
On the other hand, calibration is performed only up to the pogo pins 4 and calibration of the test board 5 is not performed. By doing so, I
C tester body 2, since it is assumed to have all the signal lines A 1 to A n are the same delay values, group GR2
The signal at the contact portion with the IC in each socket of the group GR1 lags behind the signal at the contact portion with the IC in each socket of the group GR1 by (delay time Tb-delay time Ta).
For example, the signal at the contact portion of the IC in the socket SO 2, rather than the signal at the contact portion of the IC in the socket SO 1 delayed (delay time Tb- delay time Ta).

【0027】したがって、テスト用信号の信号レベルの
切り替わり時での、各ICにおけるそれぞれの貫通電流
においても、グループGR2のソケットに挿入されたI
Cの貫通電流はグループGR1のソケットに挿入された
ICよりも(遅延時間Tb−遅延時間Ta)だけ遅れ
る。このため、グループGR1の各ICにおける貫通電
流のピークのタイミングとグループGR2の各ICにお
ける貫通電流のピークのタイミングとがずれることか
ら、テストボード5を流れる電流のピーク値は信号線群
1〜Anの各配線長を同じにした場合と比較して小さく
なることが分かる。
Therefore, when the signal level of the test signal is switched, the respective through currents in the respective ICs are also reduced by the I inserted in the socket of the group GR2.
The through current of C lags behind the IC inserted in the socket of group GR1 by (delay time Tb-delay time Ta). For this reason, the peak timing of the through current in each IC of the group GR1 and the peak timing of the through current in each IC of the group GR2 are shifted, so that the peak value of the current flowing through the test board 5 is the signal line group A 1 to as compared with the case where the same respective line length a n becomes it can be seen small.

【0028】なお、図3及び図4では、ソケットSO1
〜SOnを、nが奇数か偶数かで2つのグループに分け
る場合を例にして説明したが、これは一例であり、ソケ
ットSO1〜SOnを、ソケットSO1〜SOk(kは、k
<nの自然数)とソケットSO k+1〜SOnの2つのグル
ープに分けるようにしてもよい。また、ソケットSO1
〜SOnを、2つのグループに分ける場合を例にして説
明したが、これは一例であり、ソケットSO1〜SOn
任意の数m(mは、2≦m<nの自然数)のグループに
分け、信号線群の信号線の長さが各グループごとに異な
るようにすればよい。
In FIGS. 3 and 4, the socket SO1
~ SOnInto two groups depending on whether n is odd or even.
The above description is an example, but this is only an example.
SO1~ SOnTo the socket SO1~ SOk(K is k
<N a natural number) and the socket SO k + 1~ SOnTwo guru
May be divided into groups. Also, the socket SO1
~ SOnIs divided into two groups as examples.
As described above, this is an example, and the socket SO1~ SOnTo
Arbitrary number m (m is a natural number of 2 ≦ m <n)
The length of the signal lines in the signal line group is different for each group.
What should I do?

【0029】このようにした場合、グループ数mが多い
ほどテストボード5を流れる電流のピーク値は小さくな
るが、配線の長さを長くするとノイズの影響を受けた
り、配線スペースの増加等の問題が発生する。しかし、
該問題は、グループ分けの方法、例えばグループ数m
と、テスト装置の許容電流との兼ね合いを調整すること
によって解決することができる。更に、各グループごと
のソケット数がほぼ均等になるようにするにしたがっ
て、テストボード5を流れる電流のピーク値は小さくな
る。
In this case, the peak value of the current flowing through the test board 5 decreases as the number m of groups increases, but if the length of the wiring is increased, the influence of noise or an increase in the wiring space is increased. Occurs. But,
The problem is a grouping method, for example, the number of groups m
And adjusting the balance with the allowable current of the test apparatus. Further, as the number of sockets in each group becomes substantially equal, the peak value of the current flowing through the test board 5 becomes smaller.

【0030】このように、本実施の形態2におけるIC
テスタ用テストボードは、ソケットSO1〜SOnを所定
の数のグループに分け、テストボード5から所定のテス
ト用信号を各ソケットSO1〜SOnに出力する際に使用
される信号線群A1〜Anをそれぞれグループごとに異な
る配線長にして、ソケットSO1〜SOnに挿入された各
ICへの上記テスト用信号の到達遅延時間がグループご
とに異なるようにした。このことから、テストボード5
を流れる電流のピーク値は信号線群A1〜Anの各配線長
を同じにした場合と比較して小さくすることができ、同
時測定できるICの数を増やすことができるため、テス
ト効率の向上を図ることができる。
As described above, the IC according to the second embodiment
Test board tester, socket SO 1 to SO n were divided into groups of a predetermined number, the signal line group A which is used to output the test board 5 a predetermined test signal to each socket SO 1 to SO n and a 1 to a n into different wiring lengths for each group respectively, arrival delay time of the test signal to each IC inserted into the socket sO 1 to sO n is as different for each group. From this, test board 5
The peak value of the current flowing through can be reduced as compared with the case where the respective wiring lengths of the signal line groups A 1 to A n in the same, it is possible to increase the number of IC which can be simultaneously measured, the test efficiency Improvement can be achieved.

【0031】実施の形態3.上記実施の形態1及び実施
の形態2では、信号線群A1〜Anの各配線長を変えるよ
うにしたが、信号線群A1〜Anの各配線長を同じにし
て、電源線P1〜Pn、及びGND線G1〜Gnの配線の長
さを変えるようにしてもよく、このようにしたものを本
発明の実施の形態3とする。図5は、本発明の実施の形
態3におけるICテスタ用テストボードの例を示した概
略の構成図であり、図5(a)は正面図を、図5(b)は平
面図を示している。なお、図5では、実施の形態1の場
合を例にして示しており、図1と同じものは同じ符号で
示しており、ここではその説明を省略する。
Embodiment 3 In the second first embodiment and the above embodiment has been so changing the wiring length of the signal line groups A 1 to A n, and the respective wiring lengths of the signal line groups A 1 to A n in the same, the power supply line The lengths of P 1 to P n and the length of the GND lines G 1 to G n may be changed, and such a configuration is referred to as a third embodiment of the present invention. FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of a test board for an IC tester according to the third embodiment of the present invention. FIG. 5 (a) shows a front view, and FIG. 5 (b) shows a plan view. I have. In FIG. 5, the case of Embodiment 1 is shown as an example, and the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted here.

【0032】図5において、信号線群A1〜Anにおける
各配線の長さはそれぞれ同じであるが、電源線P1〜Pn
の各配線の長さ、及びGND線G1〜Gnの各配線の長さ
はそれぞれ異なっている。一方、ソケットSO1におけ
る電源線P1とGND線G1の配線長が同じであるよう
に、同一ソケットにおける電源線とGND線の配線長は
同じである。なお、図5では、電源線P1から順に電源
線の配線の長さが長くなると共に、GND線G1から順
にGND線の配線の長さが長くなる場合を例にして示し
ている。
In FIG. 5, the lengths of the wires in the signal line groups A 1 -A n are the same, but the power supply lines P 1 -P n
, And the length of each of the GND lines G 1 to G n are different from each other. On the other hand, as a wiring length of the power line P 1 and the GND line G 1 is the same in the socket SO 1, the wiring length of the power supply line and the GND line in the same socket are the same. In FIG. 5, with the length of the wiring between the power supply line from the power line P 1 is sequentially increased, it is shown in the case where the length of the wiring of the GND lines are longer a GND lines G 1 in sequence.

【0033】このような構成において、テストを行うn
個のICが対応する各ソケットSO 1〜SOnにそれぞれ
挿入され、同じテストをすべてのソケットSO1〜SOn
で同時に行った場合、テストボード5から各ソケットS
1〜SOnに入力されるテスト用信号の切り替わり時
に、各ソケットSO1〜SOnに挿入されたそれぞれのI
Cで貫通電流が流れる。このため、各ソケットSO1
SOnには、過渡的な電流がそれぞれ流れ、該各電流が
テストボード5を流れる。しかし、電源線P1〜Pnの長
さ、及びGND線G1〜Gnの長さが異なることから、テ
ストボード5からソケットSO1〜SOnに流れる過渡的
な各貫通電流がピークとなるタイミングがそれぞれ異な
り、該各貫通電流がピークとなるタイミングがすべて同
じである場合と比較して、テストボード5を流れる電流
のピーク値が低下する。
In such a configuration, a test n
Sockets SO corresponding to each IC 1~ SOnTo each
Insert the same test into all sockets SO1~ SOn
If the test is performed at the same time,
O1~ SOnWhen the test signal input to the
And each socket SO1~ SOnEach I inserted in
A through current flows at C. Therefore, each socket SO1~
SOn, Transient currents flow through each
Flows through the test board 5. However, the power line P1~ PnHead of
And GND line G1~ GnBecause the length of the
From board 5 to socket SO1~ SOnTransient
The timing at which each through current peaks differs
The timing at which each of the through currents peaks is the same.
Current flowing through the test board 5 compared to the same
Peak value decreases.

【0034】図6は、図5で示したICテスタ用テスト
ボードの各部の波形を示した図であり、図6を用いても
う少し詳細に説明する。なお、図6では、図2と同じも
のは同じ符号を用いて示しており、Ig1〜Ignは、対
応する電源線P1〜Pnとテストボード5とのそれぞれの
接触部に流れる貫通電流を示している。テストボード5
から、信号線群A1〜Anを介して各ソケットSO1〜S
nに対して、LowレベルからHighレベルに立ち
上がる所定のテスト用信号がそれぞれ出力される。これ
に伴って、ソケットSO1〜SOnにおけるICとのそれ
ぞれの接触部には、信号線群A1〜Anによって生じる遅
延時間T後に該テスト用信号がそれぞれ入力される。
FIG. 6 is a diagram showing the waveform of each part of the test board for the IC tester shown in FIG. 5, which will be described in more detail with reference to FIG. In FIG. 6, the same components as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and Ig 1 to Ig n indicate through holes flowing to respective contact portions between the corresponding power supply lines P 1 to P n and the test board 5. The current is shown. Test board 5
From via the signal line group A 1 to A n each socket SO 1 to S
Against O n, a predetermined test signal that rises from the Low level to the High level is outputted. Along with this, the respective contact portions of the IC in the socket SO 1 to SO n, the test signal are input after the delay time T caused by the signal line group A 1 to A n.

【0035】一方、キャリブレーションを通常通りテス
トボード5まで行うようにする。ソケットSO1〜SOn
に挿入されている各ICは、同時に動作し、テスト用信
号の信号レベルの切り替わり時に貫通電流がそれぞれ流
れる。これに伴って、ソケットSO1〜SOnにおける各
ICからのそれぞれの貫通電流は、電源線P1〜Pn及び
GND線G1〜Gnによって生じる遅延時間Tc1〜Tcn
後にテストボード5にそれぞれ伝わる。電源線P1〜Pn
における各配線長を、電源線P1から順に長くなるよう
にすると共に、GND線G1〜Gnにおける各配線長を、
GND線G1から順に長くなるようにしたことから、遅
延時間Tc1<遅延時間Tc2<…………<遅延時間Tc
nとなる。
On the other hand, calibration is performed up to the test board 5 as usual. Sockets SO 1 to SO n
Are operated at the same time, and a through current flows when the signal level of the test signal is switched. Accordingly, the socket SO 1 each through current from the IC in to SO n, the power supply line P 1 to P n and the delay time caused by the GND lines G 1 ~G n Tc 1 ~Tc n
Later, they are transmitted to the test board 5, respectively. Power line P 1 ~P n
Each wiring length, as well as to become sequentially longer from the power line P 1, the respective wiring lengths of GND lines G 1 ~G n in,
From what has been so that sequentially increase from the GND line G 1, the delay time Tc 1 <delay time Tc 2 <............ <delay time Tc
It becomes n .

【0036】したがって、各ソケットSO1〜SOnに流
れるそれぞれの貫通電流におけるピークのタイミングが
それぞれずれるため、テストボード5を流れる電流のピ
ーク値は電源線P1〜Pn及びGND線G1〜Gnの各配線
長を同じにした場合と比較して小さくなることが分か
る。
Therefore, the peak timing of each through current flowing through each of the sockets SO 1 to SO n is shifted, so that the peak values of the current flowing through the test board 5 are the power supply lines P 1 to P n and the GND lines G 1 to G 1 . It can be seen that the length becomes smaller compared to the case where the length of each wiring of G n is the same.

【0037】次に、実施の形態2と同様に、ソケットS
1〜SOnを所定の数のグループに分け、該グループご
とに電源線とGND線の配線長を変えるようにしてもよ
い。図7は、このようにした場合におけるICテスタ用
テストボードの例を示した概略の構成図であり、図7
(a)は正面図を、図7(b)は平面図を示している。な
お、図7では、図3と同じものは同じ符号で示してお
り、ここではその説明を省略する。また、図7では、説
明を分かりやすくするために、ICソケットSO1〜S
nを2つのグループに分けた場合を例にして示してい
る。
Next, as in the second embodiment, the socket S
O 1 to SO n may be divided into a predetermined number of groups, and the wiring length of the power supply line and the GND line may be changed for each group. FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing an example of an IC tester test board in such a case.
7A is a front view, and FIG. 7B is a plan view. In FIG. 7, the same components as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In FIG. 7, the IC sockets SO 1 to SO S are shown for easy understanding.
A case in which divided O n into two groups is shown as an example.

【0038】図7で示しているように、ソケットSO1
〜SOnは、2つのグループGR1及びGR2に分けら
れており、例えば、nが奇数値の各ソケットをグループ
GR1とし、nが偶数値の各ソケットをグループGR2
とする。ソケットSO1〜SOnにおける信号線群A1
nの配線の長さはそれぞれ同じであるが、グループG
R1のソケットにおける電源線の配線の長さとグループ
GR2のソケットにおける電源線の配線の長さ、及び、
グループGR1のソケットにおけるGND線の配線の長
さとグループGR2のソケットにおけるGND線の配線
の長さはそれぞれ異なっている。なお、図7では、グル
ープGR2の電源線及びGND線が、グループGR1の
ものよりも配線の長さが長くなる場合を例にして示して
いる。
As shown in FIG. 7, the socket SO 1
To SO n are divided into two groups GR1 and GR2, eg, n is each socket odd values a group GR1, n is a group of the socket even value GR2
And Socket SO 1 signal line group in ~SO n A 1 ~
The length of the wiring of the A n are the same respectively, the group G
The length of the power line in the socket of R1 and the length of the power line in the socket of group GR2;
The length of the GND line in the socket of the group GR1 is different from the length of the GND line in the socket of the group GR2. Note that FIG. 7 shows an example in which the power supply line and the GND line of the group GR2 have longer wiring lengths than those of the group GR1.

【0039】このような構成において、キャリブレーシ
ョンを通常通りテストボード5まで行うようにする。テ
ストを行うn個のICが対応する各ソケットSO1〜S
nにそれぞれ挿入され、同じテストをすべてのソケッ
トSO1〜SOnで同時に行った場合、テストボード5か
ら各ソケットSO1〜SOnに入力されるテスト用信号の
切り替わり時に、各ソケットSO1〜SOnに挿入された
それぞれのICで貫通電流が流れる。このため、各ソケ
ットSO1〜SOnには、テストボード5から過渡的な電
源電流がそれぞれ供給される。
In such a configuration, calibration is performed up to the test board 5 as usual. The sockets SO 1 to SO corresponding to the n ICs to be tested
O n respectively inserted into the case of performing simultaneously the same test on all sockets SO 1 to SO n, upon switching from the test board 5 of the test signal to be input to each socket SO 1 to SO n, each socket SO 1 through current flows in each of the IC inserted into to SO n. Therefore, a transient power supply current is supplied from the test board 5 to each of the sockets SO 1 to SO n .

【0040】しかし、グループGR1の各電源線及びG
ND線のそれぞれ長さと、グループGR2の各電源線及
びGND線のそれぞれの長さが異なることから、テスト
ボード5からグループGR1の各ソケットに供給される
過渡的な電流がピークとなるタイミングと、テストボー
ド5からグループGR2の各ソケットに供給される過渡
的な電流がピークとなるタイミングとがそれぞれ異な
り、該各過渡的な電流がピークとなるタイミングがすべ
て同じである場合と比較して、テストボード5を流れる
電流のピーク値が低下する。
However, each power supply line of group GR1 and G
Since the respective lengths of the ND line and the respective lengths of the power supply line and the GND line of the group GR2 are different, the timing at which the transient current supplied from the test board 5 to the respective sockets of the group GR1 becomes a peak, The timing at which the peak of the transient current supplied from the test board 5 to each socket of the group GR2 differs from the timing at which the peak of the transient current is all the same. The peak value of the current flowing through the board 5 decreases.

【0041】図8は、図7で示したICテスタ用テスト
ボードの各部の波形を示した図であり、図8を用いても
う少し詳細に説明する。なお、図8では、図6と同じも
のは同じ符号を用いて示している。テストボード5か
ら、信号線群A1〜Anを介して各ソケットSO1〜SOn
に対して、LowレベルからHighレベルに立ち上が
る所定のテスト用信号がそれぞれ出力される。これに伴
って、各ソケットSO1〜SOnにおけるICとのそれぞ
れの接触部には、対応する信号線群A1〜Anによって生
じる遅延時間T後に、同時に上記テスト用信号がそれぞ
れ入力される。ソケットSO1〜SOnに挿入されている
各ICは、同時に動作し、テスト用信号の信号レベルの
切り替わり時に貫通電流がそれぞれ流れる。
FIG. 8 is a diagram showing waveforms at various parts of the IC tester test board shown in FIG. 7, and will be described in more detail with reference to FIG. In FIG. 8, the same components as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals. From the test board 5, each socket SO 1 via the signal line group A 1 ~A n ~SO n
, A predetermined test signal that rises from a low level to a high level is output. Along with this, the respective contact portions of the IC in each socket SO 1 to SO n, after a delay time T caused by the corresponding signal line group A 1 to A n, the test signal is simultaneously inputted respectively . The ICs inserted in the sockets SO 1 to SO n operate simultaneously, and a through current flows when the signal level of the test signal changes.

【0042】しかし、グループGR2の各ソケットにお
ける電源線及びGND線の各配線長は、グループGR1
の各ソケットにおける電源線及びGND線の各配線長よ
りも長い。このことから、グループGR1の各ICは、
信号レベルが切り替わるテスト用信号が入力されてから
遅延時間Td後に貫通電流が流れ、グループGR2の各
ICは、信号レベルが切り替わるテスト用信号が入力さ
れてから遅延時間Te後に貫通電流が流れ、遅延時間T
d<遅延時間Teとなる。
However, each wiring length of the power supply line and the GND line in each socket of the group GR2 is different from that of the group GR1.
Are longer than the respective wiring lengths of the power supply line and the GND line in each socket. From this, each IC of the group GR1 is:
A through current flows after a delay time Td from the input of the test signal whose signal level is switched, and a through current flows after a delay time Te from the input of the test signal whose signal level is switched to each IC of the group GR2. Time T
d <the delay time Te.

【0043】したがって、テストボード5からグループ
GR1の各ソケットへ流れる電流のピークのタイミング
と、テストボード5からグループGR2の各ソケットへ
流れる電流のピークのタイミングとがずれるため、テス
トボード5を流れる電流のピーク値は電源線P1〜Pn
びGND線G1〜Gnの各配線長を同じにした場合と比較
して小さくなることが分かる。
Therefore, the peak timing of the current flowing from the test board 5 to each socket of the group GR1 is different from the peak timing of the current flowing from the test board 5 to each socket of the group GR2. peak is can be seen that small compared to the case where the same respective line lengths of the power lines P 1 to P n and GND lines G 1 ~G n.

【0044】なお、図7及び図8では、実施の形態2の
場合と同様に、ソケットSO1〜SOnを、nが奇数か偶
数かで2つのグループに分ける場合を例にして説明した
が、これは一例であり、ソケットSO1〜SOnを、ソケ
ットSO1〜SOk(kは、k<nの自然数)とソケット
SOk+1〜SOnの2つのグループに分けるようにしても
よい。また、ソケットSO1〜SOnを、2つのグループ
に分ける場合を例にして説明したが、これは一例であ
り、ソケットSO1〜SOnを任意の数m(mは、2≦m
<nの自然数)のグループに分け、電源線及びGND線
の長さが各グループごとに異なるようにすればよい。
[0044] In FIG. 7 and 8, as in the second embodiment, the socket SO 1 to SO n, but n has been described as an example a case divided into two groups with odd or even number This is merely an example, and the sockets SO 1 to SO n may be divided into two groups: sockets SO 1 to SO k (k is a natural number of k <n) and sockets SO k + 1 to SO n. Good. Also, the case where the sockets SO 1 to SO n are divided into two groups has been described as an example. However, this is an example, and the sockets SO 1 to SO n are set to an arbitrary number m (m is 2 ≦ m).
<N is a natural number), and the length of the power supply line and the length of the GND line may be different for each group.

【0045】このようにした場合、グループ数mが多い
ほどテストボード5を流れる電流のピーク値は小さくな
るが、配線の長さを長くするとノイズの影響を受けた
り、配線スペースの増加等の問題が発生する。しかし、
該問題は、グループ分けの方法、例えばグループ数m
と、テスト装置の許容電流との兼ね合いを調整すること
によって解決することができる。更に、各グループごと
のソケット数がほぼ均等になるようにするにしたがっ
て、テストボード5から流れる電流のピーク値は小さく
なる。
In such a case, the peak value of the current flowing through the test board 5 decreases as the number m of groups increases, but if the length of the wiring is increased, the influence of noise or an increase in the wiring space is increased. Occurs. But,
The problem is a grouping method, for example, the number of groups m
And adjusting the balance with the allowable current of the test apparatus. Furthermore, as the number of sockets in each group becomes substantially equal, the peak value of the current flowing from the test board 5 becomes smaller.

【0046】このように、本実施の形態3におけるIC
テスタ用テストボードは、テストボード5から所定のテ
スト用信号を各ソケットSO1〜SOnに出力する際に使
用される信号線群A1〜Anをそれぞれ同じ配線長にする
と共に、テストボード5から各ソケットSO1〜SOn
電源の供給を行う電源線P1〜Pn及びGND線G1〜Gn
の配線長を変えることによって、ソケットSO1〜SOn
に挿入された各ICに流れる貫通電流の遅延時間を各グ
ループごとに異なるようにした。このことから、テスト
ボード5を流れる電流のピーク値は電源線P1〜Pn及び
GND線G1〜Gnの配線長を同じにした場合と比較して
小さくすることができ、同時測定できるICの数を増や
すことができるため、テスト効率の向上を図ることがで
きる。
As described above, the IC according to the third embodiment
Test board tester, the signal line group A 1 to A n are used to output the test board 5 a predetermined test signal to each socket SO 1 to SO n with each the same wiring length, the test board power line for supplying power to each socket SO 1 to SO n from 5 P 1 to P n and GND lines G 1 ~G n
Of the sockets SO 1 -SO n
The delay time of the through current flowing through each IC inserted in each group was made different for each group. Therefore, the peak value of the current flowing through the test board 5 can be reduced as compared with the case of the same wiring length of the power line P 1 to P n and GND lines G 1 ~G n, can be simultaneously measured Since the number of ICs can be increased, test efficiency can be improved.

【0047】なお、上記実施の形態1から実施の形態3
におけるテストボード5上の各ソケットの配置は一例で
あり、本発明はこれに限定するものではなく、様々なソ
ケット配置に対して適用することができる。
It should be noted that the first to third embodiments are used.
Is merely an example, and the present invention is not limited to this, and can be applied to various socket arrangements.

【0048】[0048]

【発明の効果】請求項1に係るICテスタ用テストボー
ドは、テストボードから所定のテスト用信号を各ICソ
ケットに出力する際に使用される各信号線群において、
該信号線群を構成する同じ長さの各信号線を、信号線群
ごとにICソケットに応じた異なる長さにし、ICソケ
ットに応じてテスト用信号の到達遅延時間が異なるよう
にした。このことから、テストボードを流れる電流のピ
ーク値を、すべての信号線群の各信号線をすべて同じ長
さにした場合と比較して小さくすることができ、同時測
定できるICの数を増やすことができるため、テスト効
率の向上を図ることができる。
According to the test board for an IC tester according to the present invention, in the signal line group used when outputting a predetermined test signal from the test board to each IC socket,
The signal lines having the same length constituting the signal line group were set to have different lengths according to the IC socket for each signal line group, and the arrival delay time of the test signal was varied according to the IC socket. From this, the peak value of the current flowing through the test board can be made smaller than when all the signal lines of all the signal line groups have the same length, and the number of ICs that can be measured simultaneously can be increased. Therefore, test efficiency can be improved.

【0049】請求項2に係るICテスタ用テストボード
は、請求項1において、具体的には、各信号線群は、I
Cソケットごとにそれぞれ長さが異なる同じ長さの各信
号線からなるようにした。このことから、各ICソケッ
トに流れる過渡的な各電流がピークとなるタイミングが
それぞれ異なり、テストボードを流れる電流のピーク値
を低下させることができる。このため、同時測定できる
ICの数を増やすことができるため、テスト効率の向上
を図ることができる。
The test board for an IC tester according to claim 2 is the same as in claim 1, but more specifically, each signal line group is
Each C socket was made up of signal lines having the same length but different lengths. Therefore, the timings at which the transient currents flowing through the IC sockets become peaks differ from each other, and the peak value of the current flowing through the test board can be reduced. Therefore, the number of ICs that can be measured simultaneously can be increased, and the test efficiency can be improved.

【0050】請求項3に係るICテスタ用テストボード
は、請求項1において、具体的には、各ICソケットを
複数のグループに分け、各信号線群を、各グループごと
に長さが異なる同じ長さの各信号線からなるようにし、
各グループごとにテスト用信号の到達遅延時間が異なる
ようにした。このことから、テストボードを流れる電流
のピーク値を、すべての信号線群の各信号線をすべて同
じ長さにした場合と比較して小さくすることができ、同
時測定できるICの数を増やすことができるため、テス
ト効率の向上を図ることができる。
According to a third aspect of the present invention, in the IC tester test board according to the first aspect, each of the IC sockets is divided into a plurality of groups, and each of the signal line groups is different in length from each group. Length of each signal line,
The arrival delay time of the test signal differs for each group. From this, the peak value of the current flowing through the test board can be made smaller than when all the signal lines of all the signal line groups have the same length, and the number of ICs that can be measured simultaneously can be increased. Therefore, test efficiency can be improved.

【0051】請求項4に係るICテスタ用テストボード
は、テストボードから所定のテスト用信号を各ICソケ
ットに出力する際に使用される信号線群の各信号線をそ
れぞれ同じ長さにすると共に、テストボードから各IC
ソケットに電源の供給を行う電源線及びGND線の長さ
をICソケットに応じた長さにすることにより、各IC
ソケットに挿入されたICに流れる貫通電流の遅延時間
を変えるようにした。このことから、テストボードを流
れる電流のピーク値を、すべての電源線及びGND線を
同じ長さにした場合と比較して小さくすることができ、
同時測定できるICの数を増やすことができるため、テ
スト効率の向上を図ることができる。
According to the test board for an IC tester of the present invention, each signal line of a signal line group used when outputting a predetermined test signal from the test board to each IC socket has the same length. , Test board to each IC
By setting the length of the power supply line and the GND line for supplying power to the socket to a length corresponding to the IC socket, each IC
The delay time of the through current flowing through the IC inserted into the socket is changed. From this, the peak value of the current flowing through the test board can be reduced as compared with the case where all power supply lines and GND lines have the same length,
Since the number of ICs that can be simultaneously measured can be increased, test efficiency can be improved.

【0052】請求項5に係るICテスタ用テストボード
は、請求項4において、具体的には、テストボードから
所定のテスト用信号を各ICソケットに出力する際に使
用される信号線群の各信号線をそれぞれ同じ長さにする
と共に、テストボードから各ICソケットに電源の供給
を行う電源線及びGND線の長さをICソケットごとに
それぞれ異なる長さにすることにより、各ICソケット
に挿入されたICに流れる貫通電流の遅延時間がそれぞ
れ異なるようにした。このことから、テストボードを流
れる電流のピーク値を小さくすることができ、同時測定
できるICの数を増やすことができるため、テスト効率
の向上を図ることができる。
The test board for an IC tester according to the present invention is preferably arranged such that a specific test signal is output from the test board to each IC socket. Insert the signal lines into each IC socket by making the lengths of the signal lines the same and the length of the power supply line and the GND line that supply power from the test board to each IC socket to be different for each IC socket. The delay times of the through currents flowing through the ICs are different from each other. Accordingly, the peak value of the current flowing through the test board can be reduced, and the number of ICs that can be simultaneously measured can be increased, so that the test efficiency can be improved.

【0053】請求項6に係るICテスタ用テストボード
は、請求項4において、具体的には、各信号線群を構成
するすべての信号線をそれぞれ同じ長さにし、各ICソ
ケットを複数のグループに分け、各電源線及び各GND
線を各グループごとに異なる長さにすることにより、各
ICソケットに挿入されたICに流れる貫通電流の遅延
時間を各グループごとに異なるようにした。このことか
ら、テストボードを流れる電流のピーク値を、すべての
電源線及びGND線を同じ長さにした場合と比較して小
さくすることができ、同時測定できるICの数を増やす
ことができるため、テスト効率の向上を図ることができ
る。
According to a sixth aspect of the present invention, in the test board for an IC tester according to the fourth aspect, all the signal lines constituting each signal line group have the same length, and each IC socket has a plurality of groups. And each power line and each GND
By setting the length of the wire to be different for each group, the delay time of the through current flowing through the IC inserted into each IC socket is made different for each group. From this, the peak value of the current flowing through the test board can be reduced as compared with the case where all power supply lines and GND lines have the same length, and the number of ICs that can be measured simultaneously can be increased. Thus, test efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態1におけるICテスタ用
テストボードの例を示した概略の構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an IC tester test board according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 図1で示したICテスタ用テストボードの各
部の波形を示した図である。
FIG. 2 is a diagram showing waveforms of respective parts of the IC tester test board shown in FIG.

【図3】 本発明の実施の形態2におけるICテスタ用
テストボードの例を示した概略の構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an example of an IC tester test board according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 図3で示したICテスタ用テストボードの各
部の波形を示した図である。
FIG. 4 is a diagram showing waveforms at various parts of the IC tester test board shown in FIG. 3;

【図5】 本発明の実施の形態3におけるICテスタ用
テストボードの例を示した概略の構成図である。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of an IC tester test board according to a third embodiment of the present invention.

【図6】 図5で示したICテスタ用テストボードの各
部の波形を示した図である。
6 is a diagram showing waveforms at various parts of the IC tester test board shown in FIG. 5;

【図7】 本発明の実施の形態3におけるICテスタ用
テストボードの他の例を示した概略の構成図である。
FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing another example of an IC tester test board according to Embodiment 3 of the present invention.

【図8】 図7で示したICテスタ用テストボードの各
部の波形を示した図である。
8 is a diagram showing waveforms of respective parts of the IC tester test board shown in FIG. 7;

【図9】 従来のICテスタ用テストボードを示した概
略の構成図である。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing a conventional test board for an IC tester.

【図10】 図9で示したICテスタ用テストボードの
各部の波形を示した図である。
10 is a diagram showing waveforms at various parts of the test board for an IC tester shown in FIG. 9;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ICテスタ、 2 ICテスタ本体、 3 テスト
ヘッド、 4 ポゴピン、 5 テストボード、 SO
1〜SOn ソケット、 A1〜An 信号線群、P1〜Pn
電源線、 G1〜Gn GND線、 GR1,GR2
グループ。
1 IC tester, 2 IC tester main body, 3 test head, 4 pogo pin, 5 test board, SO
1 to SO n socket, A 1 to An signal line group, P 1 to P n
Power line, G 1 ~G n GND line, GR1, GR2
group.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ICのテストを行うICテスタの本体と
複数のICソケットとを接続するICテスタ用テストボ
ードにおいて、 対応するICソケットの所定の端子に対して電源の供給
を行う各電源線と、 対応するICソケットの所定の端子を接地する各GND
線と、 各ICソケットの所定の端子に対応して接続され、各I
Cソケットに応じて長さが異なる同じ長さの複数の信号
線からなる各信号線群と、を備えることを特徴とするI
Cテスタ用テストボード。
An IC tester test board for connecting a main body of an IC tester for testing an IC and a plurality of IC sockets, wherein each power supply line for supplying power to a predetermined terminal of a corresponding IC socket is provided. Each GND for grounding a predetermined terminal of the corresponding IC socket
Wire and a predetermined terminal of each IC socket.
A plurality of signal lines having a plurality of signal lines of the same length, the lengths corresponding to the C sockets.
Test board for C tester.
【請求項2】 上記各電源線がそれぞれ同じ長さである
と共に上記各GND線がそれぞれ同じ長さであり、上記
各信号線群は、各ICソケットごとにそれぞれ長さが異
なる同じ長さの複数の信号線からなることを特徴とする
請求項1に記載のICテスタ用テストボード。
2. The power supply lines have the same length, the GND lines have the same length, and the signal line groups have the same length different in length for each IC socket. 2. The test board for an IC tester according to claim 1, comprising a plurality of signal lines.
【請求項3】 上記各電源線がそれぞれ同じ長さである
と共に上記各GND線がそれぞれ同じ長さであり、上記
各ICソケットを複数のグループに分け、上記各信号線
群は、該各グループごとに長さが異なる同じ長さの複数
の信号線からなることを特徴とする請求項1に記載のI
Cテスタ用テストボード。
3. The power supply lines have the same length and the GND lines have the same length. The IC sockets are divided into a plurality of groups. 2. The I according to claim 1, comprising a plurality of signal lines of the same length, each of which has a different length.
Test board for C tester.
【請求項4】 ICのテストを行うICテスタの本体と
複数のICソケットとを接続するICテスタ用テストボ
ードにおいて、 対応するICソケットの所定の端子に対して電源の供給
を行い、各ICソケットに応じた長さを有する各電源線
と、 対応するICソケットの所定の端子を接地し、各ICソ
ケットに応じた長さを有する各GND線と、 各ICソケットの所定の端子に対応して接続される、複
数の信号線からなる各信号線群と、を備えることを特徴
とするICテスタ用テストボード。
4. An IC tester test board for connecting a main body of an IC tester for testing an IC to a plurality of IC sockets, wherein power is supplied to predetermined terminals of the corresponding IC sockets. In accordance with each power supply line having a length corresponding to each of the IC sockets and a predetermined terminal of the corresponding IC socket are grounded, corresponding to each GND line having a length corresponding to each of the IC sockets, and corresponding to a predetermined terminal of each IC socket A test board for an IC tester, comprising:
【請求項5】 上記各信号線群を構成するすべての信号
線は、それぞれ同じ長さであり、上記各電源線及び各G
ND線は、各ICソケットごとにそれぞれ長さが異なる
と共に同一ICソケットに対する電源線及びGND線の
長さが同じであることを特徴とする請求項4に記載のI
Cテスタ用テストボード。
5. All the signal lines constituting each of the signal line groups have the same length, and the power supply lines and the G lines
The I / D line according to claim 4, wherein the ND line has a different length for each IC socket, and has the same length of the power supply line and the GND line for the same IC socket.
Test board for C tester.
【請求項6】 上記各信号線群を構成するすべての信号
線は、それぞれ同じ長さであり、上記各ICソケットを
複数のグループに分け、各電源線及び各GND線は、該
各グループごとに長さが異なると共に同一ICソケット
に対する電源線及びGND線の長さが同じであることを
特徴とする請求項4に記載のICテスタ用テストボー
ド。
6. All the signal lines constituting each of the signal line groups have the same length, the IC sockets are divided into a plurality of groups, and each power supply line and each GND line are 5. The test board for an IC tester according to claim 4, wherein the power supply line and the GND line have the same length for the same IC socket.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030035870A (en) * 2001-10-22 2003-05-09 안도덴키 가부시키가이샤 Test board
KR100389804B1 (en) * 2001-05-25 2003-07-02 삼성전자주식회사 Parallel Test Board Used in Testing for Semiconductor Memory Devices
KR100471544B1 (en) * 2002-05-30 2005-03-10 주식회사 유니테스트 PC and ATE integrated Chip Test Equipment

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